KR101450120B1 - 복수의 광원에 따른 이미지들을 동시에 획득하는 형광이미지 획득장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 광원들로부터 각각 발광되는 서로 다른 파장을 갖는 광들을 광 필터를 통해 렌즈를 통해 규합시켜 관찰객체로 동시에 조사하고 상기 관찰객체로부터 반사되는 반사광을 통해 형광이미지를 획득함으로써, 각 광의 파장마다 서로 다르게 획득할 수 있는 형광이미지들을 하나의 이미지를 통해 동시에 획득할 수 있는 형광이미지 획득장치에 관한 것이다.

Description

복수의 광원에 따른 이미지들을 동시에 획득하는 형광이미지 획득장치{FLUORESCENCE IMAGE ACQUISITION APPARATUS FOR ACQUIRING IMAGES BY MULTIPLE LIGHT SOURCES AT ONCE}

본 발명은 복수의 광원에 따른 이미지들을 동시에 획득하는 형광이미지 획득장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광원들로부터 각각 발광되는 서로 다른 파장을 갖는 광들을 광 필터를 통해 렌즈를 통해 규합시켜 관찰객체로 동시에 조사하고 상기 관찰객체로부터 반사되는 반사광을 통해 형광이미지를 획득함으로써, 각 광의 파장마다 서로 다르게 획득할 수 있는 형광이미지들을 하나의 이미지를 통해 동시에 획득할 수 있는 형광이미지 획득장치에 관한 것이다.

형광 현미경은 관찰객체가 특정 파장의 빛에 노출 되었을 때 형광을 발산하는 원리를 이용한 것으로, 특정 파장의 빛에 대응한 형광이미지를 획득하는 장치이다. 즉, 관찰객체가 특정 파장의 빛을 흡수하여 형광을 발산하면, 발산된 형광을 통해 형광 영상을 획득하는 것이다.

이와 같이 형광 현미경을 통해 획득되는 이미지는 파장마다 하나씩 대응하므로 하나의 파장에 하나의 이미지를 획득할 수 밖에 없다. 따라서 종래의 형광 현미경은 단일 형광 이미지를 획득하는 구조로 이루어져 있으므로 다양한 파장 광을 이용하여 다양한 형광 이미지를 획득하는데 어려움을 내포하고 있다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 파장 별 광원과 필터를 교체하여 각기 다른 파장 별 이미지를 획득하는 형광 현미경이 개발되어 사용되고 있다. 그러나 이러한 형광 현미경 또한 한번에 하나의 이미지를 통해 파장 별 이미지들을 동시에 획득하는 것이 아니라, 광원과 필터를 교체해가면서 한번에 하나의 파장 이미지를 획득하여 서로 비교하는 방식으로 구현되고 있다. 따라서 이러한 방법 또한 각 광원 별 형광 이미지를 각각 관찰함으로 인해 발생될 수 밖에 없는 각 파장에 따른 초점의 차이로 인해 각 타임마다 획득된 형광이미지 간의 비교 시 대상객체의 이미지 별 좌표 값의 오차가 필연적으로 발생할 수 밖에 없다는 문제점을 내포하고 있다.

이와 같이 종래기술에 따른 형광현미경은 각 파장 별 이미지간의 초점이 맞지 않는다는 문제점과 파장 별 광원을 교체하는데 소모되는 불필요한 시간의 발생, 초점을 매번 변경하는데 발생되는 불필요한 시간 등의 단점을 가지고 있다. 이에, 이러한 종래의 형광현미경의 문제점을 극복하여 한번에 하나의 이미지를 통해 파장 별 이미지들을 동시에 획득할 수 있는 장치의 개발이 요구되고 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 광원들로부터 각각 발광되는 서로 다른 파장을 갖는 광들을 광 필터를 통해 렌즈를 통해 규합시켜 관찰객체로 동시에 조사하고 상기 관찰객체로부터 반사되는 반사광을 통해 형광이미지를 획득함으로써, 각 광의 파장마다 서로 다르게 획득할 수 있는 형광이미지들을 하나의 이미지를 통해 동시에 획득할 수 있는 형광이미지 획득장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 목적을 이루고 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일실시예에 따른 형광이미지 획득장치는, 백색 광(White Light)을 발광하는 하나 이상의 화이트 LED를 포함하는 제1 광원(111); 선정된(predetermined) 단일파장을 갖는 빛을 발광하는 하나 이상의 단일파장 LED를 포함하는 제2 광원(112); 상기 제1 광원(111)의 하측에 위치하고 상기 제2 광원(112)의 우측에 위치하며, 중심점을 기준으로 좌측 종단은 10시 내지 11시 방향으로 틸팅되고 우측 종단은 4시 내지 5시 방향으로 틸팅되도록 설치되며, 상기 백색 광은 투과시키고 상기 단일파장 광은 반사하는 물성을 갖는 다이크로익 필터(dichroic filter)(120); 상기 다이크로익 필터(120)와 근접하는 영역에 위치하고, 상기 다이크로익 필터(120)로부터 투과되어 전달되는 상기 백색 광과 반사되어 전달되는 상기 단일파장 광을 빔 스플리터(140)가 위치한 방향으로 반사하는 거울(130); 상기 거울(130)과 근접하는 영역에 위치하고, 상기 거울(130)로부터 반사되어 전달되는 상기 백색 광과 상기 단일파장 광을 대물렌즈(150) 방향으로 반사하고, 상기 대물렌즈(150)로부터 전달되는 반사광은 투과시켜 결상렌즈(Immersion Lens)로 전달하는 빔 스플리터(Beam Splitter)(140); 상기 빔 스플리터(140) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 관찰객체(162) 사이의 영역에 위치하고, 상기 빔 스플리터(140)로부터 전달되는 상기 백색 광과 상기 단일파장 광을 투과시켜 상기 OLED 관찰객체(162)로 전달하며, 상기 백색 광과 상기 단일파장 광이 상기 OLED 관찰객체(162)로 조사되어 상기 OLED 관찰객체(162)로부터 반사되는 반사광은 반대방향으로 투과시켜 상기 결상렌즈(180) 방향으로 전달하고, 각각의 선정된 배율을 갖는 하나 이상의 대물렌즈(150); 상기 대물렌즈(150)로부터 전달되는 상기 반사광에 대한 광량을 선정된 값에 따라 조절하고 상기 반사광의 배율을 선정된 값으로 변경한 후, 상기 반사광을 이미지 획득부(190)로 전달하는 결상렌즈(Immersion Lens)(180); 상기 결상렌즈(180)로부터 전달되는 상기 반사광을 통해 상기 백색 광이 상기 OLED 관찰객체(162)를 조사함에 따라 획득하는 백색 광 이미지와, 상기 단일파장 광이 상기 OLED 관찰객체(162)를 조사함에 따라 획득하는 단일파장 광 이미지를 하나의 이미지로 통합하여 동시에 획득하는 이미지 획득부(190); 및 상기 이미지 획득부(190)를 통해 획득한 상기 백색 광 및 상기 단일파장 광에 대한 동시통합 OLED 이미지로부터, 상기 OLED 관찰객체(162)의 기준패턴과 증착패턴을 판독하는 이미지 분석부를 포함한다.

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본 발명의 형광이미지 획득장치에 따르면, 각 광의 파장마다 서로 다르게 획득할 수 있는 형광이미지들을 하나의 이미지를 통해 동시에 획득할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명의 형광이미지 획득장치에 따르면, 광원을 변경하며 획득하는 이미지를 관찰할 때 발생하는 초점 변경의 문제와 초점이 맞지 않아 불분명한 이미지가 획득되는 문제점을 사전에 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명의 형광이미지 획득장치에 따르면, 기계적임 움직임으로 구현되는 광원의 변경에 따른 불필요한 시간의 낭비와 초점변경에 따라 발생하는 초점 재조정 시간의 낭비를 사전에 방지할 수 있으며, 다수의 이미지 획득에 따른 영상처리시간의 소모를 최소화할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 형광이미지 획득장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 광원부 및 광 필터의 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 형광이미지 획득장치의 형상을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따라 다이크로익 필터를 광 필터로 사용하여 획득한 형광이미지와 광 필터 대신 거울을 사용하여 획득한 형광이미지를 비교한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따라 다이크로익 필터를 광 필터로 사용하여 획득한 백색광 미지와 광 필터 대신 거울을 사용하여 획득한 백색광 이미지를 비교한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따라 다이크로익 필터 사용유무에 따른 백색광 이미지의 광량을 비교한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따라 UV 형광 광원과 화이트 LED 광원의 광량의 세기를 조절하여 동시에 UV 형광이미지 및 백색광 이미지를 동시에 획득한 형광이미지를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 형광이미지 획득장치를 통해 백색광 이미지와 UV 이미지를 하나의 이미지를 통해 동시에 획득한 형광이미지를 도시한 도면이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 형광이미지 획득장치의 구성을 도시한 도면이다.

본 발명의 일실시예에 따른 형광이미지 획득장치는 제1 광원(111), 제2 광원(112), 제3 광원(113), 제1 광 필터(120), 거울(130), 빔 스플리터(Beam Splitter)(140), 렌즈(150), 제2 광 필터(170), 결상렌즈(180), 이미지 획득부(190)을 포함한다.

제1 광원(111)은 제1 파장을 갖는 제1 광을 발광한다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 제1 광원(111)은 백색광을 발광하는 화이트 LED로 구현될 수 있다. 제2 광원(112)은 제2 파장을 갖는 제2 광을 발광한다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 제2 광원(112)은 특정 단일파장을 갖는 빛을 발광하는 단일파장 LED로 구현될 수 있다.

제1 광원(111) 및 제2 광원(112)은 각각 복수 개가 구비되어 수명이 다한 경우 자동으로 새로운 광원이 자동으로 교체되도록 하는 형태로 구현될 수 있다. 또한, 제3 광원(113)은 제3 파장을 갖는 단일파장 LED로 구현될 수 있는데, 사용자가 조사하고자 하는 광의 파장 선택에 따라 제2 광원(112)과 제3 광원(113)을 물리적으로 교체하여 사용하도록 구현될 수 있다. 제3 광원(113) 또한 여분의 제3 광원이 구비되도록 구현될 수 있다. 제1 광원(111), 제2 광원(112)을 포함하는 광원부의 모든 광원의 밝기는 각각 개별적으로 조정 가능하도록 구현될 수 있다.

제1 광원(111)으로부터 발광되는 제1 광 및 제2 광원(112)로부터 발광되는 제2 광은 각각 제1 광 필터(120)로 조사된다. 제1 광 필터(120)는 다이크로익 필터(dichroic filter)로 구현될 수 있다. 상기 다이크로익 필터(dichroic filter), 즉 제1 광 필터(120)는 제1 광원(111)으로부터 전달되는 제1 광은 투과시키고 제2 광원(112)으로부터 전달되는 제2 광은 반사하도록 동작할 수 있다. 즉, 제1 광 필터(120)는 특정파장의 빛만 반사하는 물성을 갖는 다이크로익 필터(dichroic filter)로 구현될 수 있다.

제1 광 필터(120)는 중심점을 기준으로 좌우가 선정된 방향의 각도만큼 틸팅되도록 설치될 수 있다. 예를 들어, 제1 광 필터(120)는 도 1에 도시된 바와 같이 중심점을 기준으로 좌측 종단은 10시에서 11시 방향으로 틸팅되고 우측 종단은 4시에서 5시 방향으로 틸팅되도록 설치될 수 있다. 제1 광원(111)은 제1 광 필터(120)의 상측에 위치하도록 설치될 수 있고, 제2 광원(112)은 제1 광 필터(120)의 좌측에 위치하도록 설치될 수 있다.

또한, 제1 광 필터(120)는 형광이미지 획득장치에 다수 개가 구비되도록 설치될 수 있다. 즉, 서로 다른 파장을 갖는 제2 광원(112)과 제3 광원(113)이 서로 교체되는 경우, 제1 광 필터(120) 또한 제2 광원(112)의 파장에 대응하는 특성을 갖는 광 필터와 제3 광원(113)의 파장에 대응하는 특성을 갖는 광 필터로 각각 교체될 수 있도록 복수 개가 구비되도록 구현될 수 있다. 파장 별 각 광원의 개수와 제1 광 필터(120)의 개수는 당업자의 선택에 따라 다양한 개수가 구비되도록 구현될 수 있다.

제1 광원(111)으로부터 조사되는 제1 광은 제1 광 필터(120)를 통과하여 거울(130)로 전달되고, 제2 광원(112)으로부터 조사되는 제2 광은 제1 광 필터(120)에서 반사되어 제1 광과 함께 나란히 거울(130)로 전달된다. 거울(130)은 제1 광 및 제2 광을 모두 반사하여 빔 스플리터(Beam Splitter)(140)로 전달한다.

빔 스플리터(Beam Splitter)(140)는 거울(130)로부터 전달되는 제1 광 및 제2 광을 렌즈(150) 방향으로 반사시켜 전달한다. 렌즈(150)는 빔 스플리터(Beam Splitter)(140)로부터 전달받는 제1 광 및 제2 광을 받침대(161)에 위치한 관찰객체(162)로 조사한다. 렌즈(150)는 복수 개가 구비될 수 있다. 다양한 배율의 관찰을 위하여 렌즈(150)는 5x 렌즈, 10x 렌즈, 20x 렌즈, 50x 렌즈 등 사용자의 선택에 따른 다양한 배율을 갖는 렌즈들이 서로 자동 교체될 수 있도록 설치될 수 있다.

관찰객체(162)로 조사된 제1 광 및 제2 광이 반사되는 반사광은 다시 렌즈(150)를 통해 빔 스플리터(Beam Splitter)(140)로 전달된다. 상기 반사광은 빔 스플리터(Beam Splitter)(140)를 통과하여 제2 광 필터(170)로 전달된다. 이를 위하여, 빔 스플리터(Beam Splitter)(140)는 상기 제1 광 및 상기 제2 광은 반사시키고 상기 반사광은 투과하도록 구현될 수 있다. 또한, 빔 스플리터(Beam Splitter)(140)는 제1 광 및 제2 광의 파장 변경에 따라 반사 및 투과에 적절히 대응할 수 있도록 하는 하나 이상의 다른 빔 스플리터(Beam Splitter)로 교체될 수 있도록 다수 개가 구비될 수 있다.

제2 광 필터(170) 또한 제1 광, 제2 광이 갖는 다양한 파장에 각각 대응할 수 있도록 하는 복수 개의 광 필터가 구비되도록 구현될 수 있다. 제2 광 필터(170)는 반사광의 노이즈 성분을 필터링하여 상기 반사광을 결상렌즈(180)로 전달한다. 결상렌즈(180)는 상기 반사광에 대한 광량조절동작과 배율변경동작을 수행하여 이미지 획득부(190)로 상기 반사광을 전달한다. 이미지 획득부(190)는 카메라로 구현될 수 있다. 이미지 획득부(190)는 상기 반사광을 통해 상기 제1 광에 대응하는 제1 이미지와 상기 제2 광에 대응하는 제2 이미지를 하나의 이미지로 동시에 획득한다.

또한 본 발명의 일실시예에 따른 형광이미지 획득장치는 이미지 분석부를 더 포함할 수 있다. 이미지 분석부는 관찰객체(162)가 OLED(Organic Light Emitting Diodes)인 경우, 이미지 획득부(190)를 통해 획득된 OLED 이미지로부터 기준패턴과 증착패턴의 형태, 크기, 위치 등을 판독할 수 있다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 광원부(210) 및 광 필터(230)의 구성을 도시한 도면이다. 도 2를 참조하면 광원부(210, 220) 내부를 통해 형광이미지 획득장치에서 광원의 구성 및 배치를 상세히 알 수 있다. 화이트 LED(210)와 단일파장 LED(220)는 복수개로 LED 보드(BOARD)를 통해 구성되고, 단일 파장 LED(220)는 다양한 파장의 단일 파장 LED가 사용자 선택에 따라 서로 교체될 수 있도록 구성될 수 있다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 형광이미지 획득장치의 형상을 도시한 도면이다. 본 발명에 따른 형광이미지 획득장치는 복수의 광원과 다이크로익 필터 및 거울을 포함하는 광원파트(310), 빔 스플리터(Beam Splitter)와 제2 광 필터를 포함하는 필터부(320), 다양한 배율을 갖는 각각의 렌즈군이 형성되는 렌즈부(330), 결상렌즈(340), 및 이미지 획득부(카메라)(350)로 구성될 수 있다.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따라 다이크로익 필터를 광 필터로 사용하여 획득한 형광이미지와 광 필터 대신 거울을 사용하여 획득한 형광이미지를 비교한 도면이다.

도 4는 동시 형광이미지 획득을 위하여 다이크로익 필터를 사용하였을 때 광원세기에 따른 영상을 테스트한 결과와, 다이크로익 필터 대신 거울을 사용한 경우로 테스트를 진행하였다. 광원부는 화이트 LED와 단일파장 LED로서 UV LED를 사용하였다. 도 4에 따른 실험의 광원은 UV 형광광원만을 이용하여 비교한 테스트 결과이다. 결과에서 확인할 수 있듯이 조금 더 밝은 영상을 확인 할 수 있어 오히려 거울보다 다이크로익 필터를 사용하였을 때 광량의 이득을 얻을 수 있었다.

레벨(LEVEL)은 광원의 세기 정도를 나타내며, 밝기는 카메라의 게인(Gain) 값이며, 노출은 카메라의 셔터스피드를 의미한다. 카메라의 세팅 값을 동일시 하기 위해 밝기와 노출 값은 동일한 환경에서 실험을 실시하였다. 거울 사용은 다이크로익 필터 대신 거울을 사용하여 반사를 통해 빛이 전달 되도록 구성해 실험하여 비교 대상으로 삼았다. 도 4을 통해 UV 형광광원은 거울을 통하여 이미지 획득하였을 때 보다 다이크로익 필터를 사용하였을 때 동일한 조건에서 영상의 밝기가 더 밝아지는 것을 확인할 수 있다.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따라 다이크로익 필터를 광 필터로 사용하여 획득한 백색광 이미지와 광 필터 대신 거울을 사용하여 획득한 백색광 이미지를 비교한 도면이다.

동시 형광 이미지 획득을 위하여 다이크로익 필터를 사용하였을 때, 광원세기에 따른 영상을 테스트한 결과와 다이크로익 필터 대신 거울을 사용한 경우로 테스트 진행 하였다. 실험의 광원은 화이트 LED만을 이용하여 비교 테스트한 결과이다. 카메라의 세팅 값을 동일시 하기 위해 밝기와 노출 값은 동일한 환경에서 실험을 실시하였고, 광원의 세기만을 변경하여 실험하였다. 결과에서 확인할 수 있듯이 다이크로익 필터를 사용하였을 때, 더 어두운 영상을 획득할 수 있었다.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따라 다이크로익 필터 사용유무에 따른 백색광 이미지의 광량을 비교한 도면이다.

화이트 LED의 다이크로익 필터 필터의 사용유무에 따른 영상의 밝기 비교를 하였다. 실험 결과는 도 6에서 볼 수 있듯이 영상의 밝기가 소폭 감소된 것을 볼 수 있으나, 도 5의 거울로 반사하였을 때 보다는 감소폭이 작다는 것을 확인할 수 있었다. 또한, 도 6을 통해 백색형광광원은 다이크로익 필터를 통해 대부분 투과되는 것도 확인 할 수 있었다. 이와 같이 화이트 LED의 광원의 광량이 떨어지는 것은 개별적으로 광량을 조절 가능하므로 광원의 세기를 높여 주는 방법을 사용하면 원하는 형광이미지를 획득할 수 있어 동시에 형광이미지를 획득하는데 어려움이 없음을 확인할 수 있다.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따라 UV 형광 광원과 화이트 LED 광원의 광량의 세기를 조절하여 동시에 UV 형광이미지 및 백색광 이미지를 동시에 획득한 형광이미지를 도시한 도면이다.

도 7은 도 4, 5, 6의 실험결과를 바탕으로 도 1의 본 발명의 구조에서 화이트 LED와 단일파장 LED는 UV LED를 사용하여 형광이미지를 획득한 도면이다. 도 4, 5, 6의 실험에서 확인하였듯이 UV 형광광원의 광량은 부족하지 않았고, 화이트 LED 광원은 단일구조와 비교해서 광량의 세기를 조정하면 원하는 형광이미지를 획득할 수 있었다. 도 1의 광원부 구조를 사용하였을 때, 영상의 균일도 문제도 발생하지 않았고 동시에 형광이미지를 획득 할 수 있음을 도 7을 통해 확인할 수 있다.

도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 형광이미지 획득장치를 통해 백색광 이미지와 UV 이미지를 하나의 이미지를 통해 동시에 획득한 형광이미지를 도시한 도면이다. 도 8은 동일한 시료로 광원에 따라 영상이미지가 보여지는 결과를 나타내고 있다. 도 8의 (l)은 화이트 LED 광원을 조사하였을 때, 기준패턴의 이미지는 잘 보여지지만 증착패턴 이미지는 잘 보이지 않는다.

도 8의 (m)은 단일파장 LED 중에서 UV LED 광원을 조사하였을 때, 기준패턴의 이미지는 잘 보이지 않지만 증착패턴의 이미지는 잘 보임으로 인해 증착패턴 이미지를 찾은 영상이다. 상기 도면에서 증착패턴 이미지의 에지(edge)가 정확히 표현되지 않는 것도 확인할 수 있다. 상기 에지(edge)가 잘 표현 되지 않은 것은 화이트 LED에 초점을 맞추었기 때문이다.

도 8의 (n)은 화이트 LED + UV LED를 사용하여 영상을 관측한 결과이며 영상처리를 통해 기준패턴 이미지를 획득하였다. 동시에 두 개의 광원을 통해 영상을 관측한 결과이며 영상 처리를 통해 증착패턴의 이미지를 찾았다. 이러한 도면을 통해 화이트 LED 광원과 단일파장 LED 광원을 동시에 조사하여 형광이미지를 획득하였을 때, 특정파장의 광원에서만 잘 보여지는 이미지를 동시에 획득할 수 있어 검사효율을 높일 수 있음을 확인할 수 있다.

이러한 본 발명의 일실시예에 따른 형광이미지 획득장치를 통한 OLED 검사장치 내부 프로그램으로 이미지 좌표 값 획득과정은 다음과 같다. 우선 동시에 형광이미지가 최적으로 올라 올 수 있도록 각 광원의 광량과 초점을 맞춘다. 이후, 상기 획득된 최적의 이미지로 기준 패턴을 찾아내고 기준 패턴 이미지의 좌표 값을 획득한다. 이후, 상기 획득된 최적의 이미지로 증착 패턴을 찾아내고 기준 패턴 좌표 값을 이용하여 증착 패턴 이미지의 좌표 값을 획득한다. 상술한 과정을 통해 원하는 이미지 및 원하는 이미지의 좌표값을 보다 정확하면서도 빠른 시간 내에 획득할 수 있다.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.

그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

111: 제1 광원
112: 제2 광원
113: 제3 광원
120: 제1 광 필터
130: 거울
140: 빔 스플리터(Beam Splitter)
150: 렌즈
161: 받침대
162: 관찰객체
170: 제2 광 필터
180: 결상렌즈
190: 이미지 획득부

Claims (5)

1. 백색 광(White Light)을 발광하는 하나 이상의 화이트 LED를 포함하는 제1 광원(111);
   선정된(predetermined) 단일파장을 갖는 빛을 발광하는 하나 이상의 단일파장 LED를 포함하는 제2 광원(112);
   상기 제1 광원(111)의 하측에 위치하고 상기 제2 광원(112)의 우측에 위치하며, 중심점을 기준으로 좌측 종단은 10시 내지 11시 방향으로 틸팅되고 우측 종단은 4시 내지 5시 방향으로 틸팅되도록 설치되며, 상기 백색 광은 투과시키고 상기 단일파장 광은 반사하는 물성을 갖는 다이크로익 필터(dichroic filter)(120);
   상기 다이크로익 필터(120)와 근접하는 영역에 위치하고, 상기 다이크로익 필터(120)로부터 투과되어 전달되는 상기 백색 광과 반사되어 전달되는 상기 단일파장 광을 빔 스플리터(140)가 위치한 방향으로 반사하는 거울(130);
   상기 거울(130)과 근접하는 영역에 위치하고, 상기 거울(130)로부터 반사되어 전달되는 상기 백색 광과 상기 단일파장 광을 대물렌즈(150) 방향으로 반사하고, 상기 대물렌즈(150)로부터 전달되는 반사광은 투과시켜 결상렌즈(Immersion Lens)로 전달하는 빔 스플리터(Beam Splitter)(140);
   상기 빔 스플리터(140) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 관찰객체(162) 사이의 영역에 위치하고, 상기 빔 스플리터(140)로부터 전달되는 상기 백색 광과 상기 단일파장 광을 투과시켜 상기 OLED 관찰객체(162)로 전달하며, 상기 백색 광과 상기 단일파장 광이 상기 OLED 관찰객체(162)로 조사되어 상기 OLED 관찰객체(162)로부터 반사되는 반사광은 반대방향으로 투과시켜 상기 결상렌즈(180) 방향으로 전달하고, 각각의 선정된 배율을 갖는 하나 이상의 대물렌즈(150);
   상기 대물렌즈(150)로부터 전달되는 상기 반사광에 대한 광량을 선정된 값에 따라 조절하고 상기 반사광의 배율을 선정된 값으로 변경한 후, 상기 반사광을 이미지 획득부(190)로 전달하는 결상렌즈(Immersion Lens)(180);
   상기 결상렌즈(180)로부터 전달되는 상기 반사광을 통해 상기 백색 광이 상기 OLED 관찰객체(162)를 조사함에 따라 획득하는 백색 광 이미지와, 상기 단일파장 광이 상기 OLED 관찰객체(162)를 조사함에 따라 획득하는 단일파장 광 이미지를 하나의 이미지로 통합하여 동시에 획득하는 이미지 획득부(190); 및
   상기 이미지 획득부(190)를 통해 획득한 상기 백색 광 및 상기 단일파장 광에 대한 동시통합 OLED 이미지로부터, 상기 OLED 관찰객체(162)의 기준패턴과 증착패턴을 판독하는 이미지 분석부
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 형광이미지 획득장치.
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