KR101439154B1 - 나노잉크 및 제조방법, 이를 포함하는 박막형 초고용량 커패시터용 전극 및 제조방법 - Google Patents

나노잉크 및 제조방법, 이를 포함하는 박막형 초고용량 커패시터용 전극 및 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 바이오매스를 원료로 사용하여 수열탄화반응에서 생성되는 여과액으로 나노잉크를 제조하는 방법, 상기 나노잉크를 이용한 박막형 초고용량 커패시터용 전극 및 제조방법에 관한 것이다.

Description

나노잉크 및 제조방법, 이를 포함하는 박막형 초고용량 커패시터용 전극 및 제조방법 {Nanoink and method thereof, thin-film ultracapacitor electrode and method comprising the same}
본 발명은 나노잉크 및 제조방법, 이를 포함하는 박막형 초고용량 커패시터용 전극 및 제조방법에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 바이오매스를 원료로 사용하여 수열탄화시킨 여과액으로 나노잉크를 제조하고, 상기 나노잉크를 집전체에 도포하여 제조된 박막형 초고용량 커패시터용 전극에 관한 것이다.
휴대폰, 노트북, 태블릿 PC 등 각종 모바일 기기가 대중화되면서 전지의 중요성 역시 커져왔다. 더욱이 최근 들어 소형 디지털 가전의 변신 및 신규시장 창출 가능성이 커지면서 전자종이, 플렉서블 디스플레이, 플렉서블 스마트폰 등 기존 전자제품이 변신을 꾀한다거나, RFID 및 각종센서, 초소형 에너지 하비스팅 장치, 코즈메틱 (cosmetic) 마스크팩, 의료용 패치 등에서도 전기를 사용한 제품이 등장하면서 신규시장 창출 가능성이 커지고 있다. 이 같은 제품들의 개발이 본격화된 가운데, 이를 위한 얇고 유연성이 있는 박막형 에너지저장장치의 필요성이 증대되고 있다.
이처럼 최근 들어 박막형 에너지저장장치에 대한 관심과 필요성이 늘면서 충방전 특성이 우수하고 고용량이면서도, 수명이 길고 저렴한 차세대 에너지저장장치를 개발하기 위한 노력이 계속되고 있다. 휴대용 전자기기, 초소형 의료기기 및 센서, 코즈메틱 제품에 응용되는 소용량 배터리의 경우 전원과 연결되어 있는 시간이 짧아 충방전 속도가 높고 충방전이 편리해야 하며, 수명이 길고 무엇보다 안정성이 매우 중요시 되어야 한다. 초고용량 커패시터는 충방전이 매우 빠르고, 고출력, 장수명, 고안정성 등의 우수한 특성을 보유하고 있기 때문에 박막형 이차전지와의 병용 또는 대체 가능한 에너지저장장치로서 매우 적합하다고 볼 수 있다. 특히 최근 잇달아 발생하는 모바일 IT 전원용 리튬이차전지의 폭발사고 등의 안전성 문제로 인하여 고온에서도 폭발 위험이 없는 초고용량 커패시터가 리튬이차전지 후속으로 부각될 것으로 예측되고 있다. 따라서 박막형 초고용량 커패시터의 개발이 필수적이다.
초고용량 커패시터는 일반적으로 탄소기반 재료를 사용한 양극과 음극의 두 전극으로 구성되어 있으며, 공업적으로 생산되고 있는 초고용량 커패시터 전극용 탄소재료로써 사용되는 활성탄으로는 주로 야자곽이나 석탄/석유 피치, 페놀수지계 등을 약품 활성화하여 사용하는 경우가 대부분이다. 그러나 상기 원료들은 외국으로부터의 수입에 의존하고 있어 원료 공급에 제약이 따르거나 높은 비용이 드는 단점이 있다.
일반적으로 유기물은 탄소(C)가 포함되어 있기 때문에 연소될 수 있고, 연소될 수 있는 물질이라면 무엇이나 활성탄의 원료가 될 수 있다. 따라서 왕겨, 볏짚, 목재칩 등과 같은 농·임산 폐기물과 부산물, 포도주, 맥주, 막걸리 등 양조장에서 발생하는 찌꺼기 및 커피 찌꺼기뿐만 아니라 음식물 쓰레기 등 다양한 종류의 바이오매스를 이용하여 활성탄을 제조하고, 이를 기반으로 한 초고용량 커패시터 전극소재를 개발한다면 폐자원의 재활용이 가능할 뿐 아니라 안정적인 활성탄 제조 재료를 수급할 수 있다.
초고용량 커패시터 제조를 위하여 통상적으로 사용되고 있는 활성탄 슬러지를 이용한 코팅 공정으로는 50μm 이하의 박막을 균일하게 제조하기 어려우므로 박막형 초고용량 커패시터를 제조하기 어렵다. 현재까지 박막형 초고용량 커패시터의 제조는 증착 등의 반도체 공정을 이용하거나 전기 도금 등의 전기화학적 공정을 이용하고 있다. 하지만, 박막 증착공정의 경우 진공을 요하는 공정이 필요하고, 대면적의 증착을 위해서 시설 및 장비 투자비가 크게 필요하여 대량 생산이 어려운 단점이 있다. 또한, 전기 도금 공정도 대면적과 대량 생산이 어렵다는 기술적 한계가 있다.
이러한 기존 공정의 단점은 최근 주목받고 있는 인쇄기술의 도입을 통해 극복할 수 있다. 나노 잉크와 같은 용액을 기반으로 한 박막 프린팅/코팅 기술을 박막형 초고용량 커패시터 제조에 이용하면, 비진공 방식의 공정이 가능하여 시설 투자비 및 공정비용이 크게 감소할 수 있다. 또한 대면적 롤투롤 공정을 이용한 연속생산방식에도 응용이 가능하여 고속 대량생산을 통하여 생산비를 낮추는 효과를 얻을 수 있다. 또한 얇은 금속 기판을 집전체로 사용하여 매우 얇은 박막형 초고용량 커패시터의 제조를 통하여 플렉서블 초고용량 커패시터로의 개발도 가능하다.
박막형 초고용량 커패시터의 개발을 위해서는 무엇보다도 박막 프린팅/코팅 공정에 적합한 나노잉크의 개발이 중요하다. 원하는 위치에 패터닝이 가능하고, 대면적 롤투롤 방식의 프린팅 공정에 이용하기 위해서는 분산성이 우수하고, 프린팅 증착 후에도 고용량/고출력 특성을 유지할 수 있는 나노잉크의 제조가 필수적이다. 또한, 활물질이 집전체에 결착되는 기계적 강도가 우수하고 활물질층과 집전체의 접촉저항을 극소화하는 기술이 필요하다.
현재까지 프린팅/코팅 공정에 응용되고 있는 나노잉크는 탄소나노튜브(CNT)를 이용한 전기이중층 커패시터 (Electrochemical double layer capacitor, EDLC)에 국한되어 왔다. 최근에는 그래핀, 나노카본, 전도성 고분자, 금속산화물 등 또는 이들의 복합체를 이용하여 초고용량 커패시터의 고용량, 박막화를 위한 전극 개발을 위한 많은 노력들이 진행되고 있다. 하지만 이 같은 연구들은 아직까지는 전 세계적으로 개념확인 단계에 머물러 있으며, 차세대 저가형 박막 초고용량 커패시터 생산을 위한 연속공정에 적용하기에는 어려움이 있다.
본 발명은 탄소를 포함하는 바이오매스를 원료로 하여 제조된 나노잉크 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 나노잉크를 집전체에 도포한 후 활성화시켜 높은 비표면적을 가지는 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄이 도포된 박막형 초고용량 커패시터 전극 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여,
본 발명은 (1)바이오매스, 물 및 활성화 촉매를 혼합하여 혼합용액을 제조하는 단계;
(2)상기 혼합용액을 수열탄화하는 단계; 및
(3)상기 수열탄화된 혼합용액을 여과하여 분리된 여과액으로 나노잉크를 제조하는 단계를 포함하는 나노잉크 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 방법으로 제조된 나노잉크를 제공한다.
또한, 본 발명은 (1)상기 나노잉크를 집전체 위에 도포하는 단계;
(2)상기 도포된 나노잉크를 건조하여 집전체 위에 코팅시키는 단계;
(3)상기 집전체 위에 코팅된 나노잉크를 불활성 기체 분위기에서 400 내지 1000℃의 온도로 가열하여 탄소 입자에 기공을 형성하도록 활성화시켜 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄을 제조하는 단계; 및
(4)상기 집전체 위에 형성된 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄 위에 결착제를 도포하고, 건조하는 단계를 포함하는 박막형 초고용량 커패시터용 전극 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 방법으로 제조된 박막형 초고용량 커패시터용 전극을 제공한다.
본 발명의 나노잉크는 친환경적이며, 분산성이 우수하여 원하는 위치에 패터닝이 가능하며, 대면적 롤투롤 방식의 프린팅 공정에 적용이 적합하다.
또한, 본 발명의 나노잉크를 박막형 초고용량 커패시터용 전극 제조에 사용하면 공정을 단순화 시킬 수 있으며 생산비용을 절감할 수 있다.
또한, 본 발명의 나노잉크를 집전체 위에 도포한 후 활성화시켜 제조된 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄은 집전체와 결착이 우수하여 활물질 층과 집전체의 접촉저항을 극소화시킬 수 있어 고출력, 고안정성 및 고성능의 박막형 초고용량 전극의 제조가 가능하다.
도 1은 본 발명의 나노잉크를 사용하여 제조한 박막형 초고용량 커패시터용 전극의 제조방법을 나타낸 모식도이다.
도 2는 본 발명의 나노잉크에 분산되어 있는 수열탄화물 나노입자를 나타낸 SEM 사진이다.
도 3은 집전체 위해 형성된 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄을 나타낸 SEM 사진이다.
도 4는 도 3을 확대한 SEM 사진이다.
도 5는 결착제가 도포된 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄을 나타낸 SEM 사진이다.
도 6은 도 5를 확대한 SEM 사진이다.
도 7은 본 발명의 박막형 초고용량 커패시터용 전극에 대한 순환전류 충·방전 실험 결과를 나타낸 그래프이다.
도 8은 도 7의 주사속도별 비용량을 나타낸 그래프이다.
이하, 본 발명을 보다 자세히 설명한다.
본 발명은 원료로 바이오매스를 사용하며, 수열탄화반응시 생성되는 여과액으로 나노잉크를 제조하는 방법에 관한 것으로, 제조방법은 하기와 같다.
(1)바이오매스, 물 및 활성화 촉매를 혼합하여 혼합용액을 제조하는 단계;
(2)상기 혼합용액을 수열탄화하는 단계; 및
(3)상기 수열탄화된 혼합용액을 여과하여 분리된 여과액으로 나노잉크를 제조하는 단계를 거쳐 나노잉크를 제조한다.
본 발명은 탄소를 포함하는 바이오매스를 사용하여 나노잉크를 제조하므로 폐자원의 재활용이 가능하다. 본 발명에서는 전분을 사용하여 나노잉크를 제조하였다.
상기 (1)단계에서 활성화 촉매는 0.01 내지 10M을 포함하는 것이 바람직하며, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산칼륨, 탄산나트륨, 인산, 염화주석, 염화아연, 알칼리금속타르트레이트, 알칼리금속시트레이트 및 알칼리금속말레이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용하며, 알칼리금속타르트레이트, 알칼리금속시트레이트 및 알칼리금속말레이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 상기 바이오매스와 물의 비율은 0.1g/L 내지 100g/L인 것이 바람직하다.
상기 (2)단계에서는 상기 (1)단계에서 제조한 혼합용액을 수열탄화하는 단계로, 종래에는 수열탄화 후 활성화 촉매를 첨가하지만, 본 발명에서는 바이오매스, 물 및 활성화 촉매를 모두 혼합한 후 수열탄화반응을 진행하므로 공정을 단순화하여 나노잉크를 제조할 수 있다.
일반적으로, 수열탄화반응은 친환경적이고, 간편한 합성공정으로 상기 반응을 통하여 탄소입자의 크기, 모양 및 표면 작용기 등의 조절이 가능하다. 또한, 수열 조건에서 탄소재료는 용해도가 증가하거나 변하고, 결정화 부분이 녹으며, 용매와 반응물질간의 물리적/화학적 상호작용이 가속화되며, 이온 및 산/염기 반응이 용이하며, 탄소를 포함한 구조의 형성/침전을 일으킨다.
본 발명에서는 150 내지 350℃의 온도 및 6 내지 48시간으로 상기 (2)단계의 수열탄화반응을 진행하였다.
그 후, 상기 (3)단계에서는 수열탄화된 혼합용액을 여과하여 여과액만을 따로 분리한다. 상기 단계에서 분리된 여과액이 바로 본 발명의 나노잉크이며, 상기 나노잉크에는 1 내지 900nm 크기의 수열탄화물이 고르게 분산되어 있으며, 바람직하게는 1 내지 500nm 크기의 수열 탄화물이 고르게 분산되어 있다. 상기 수열탄화물의 크기는 상기 (1)단계의 바이오매스, 물 및 활성화 촉매의 농도에 따라 조절이 가능하며, 첨가된 활성화 촉매의 양이 같더라도 바이오매스와 물의 농도가 높으면 생성되는 수열탄화물의 입자 크기는 증가하게 된다.
또한, 본 발명은 상기 방법으로 제조된 나노잉크를 제공하며, 상기 나노잉크에는 1 내지 900nm 크기의 수열탄화물이 고르게 분산되어 있어 박막형 초고용량 커패시터용 전극 제조시, 집전체 표면 위에 상기 나노잉크를 고르게 도포할 수 있다.
본 발명은 상기 나노잉크를 사용하여 박막형 초고용량 커패시터용 전극을 제조하는 방법을 제공하며, 제조방법은 하기와 같다.
(1)상기 나노잉크를 집전체 위에 도포하는 단계;
(2)상기 도포된 나노잉크를 건조하여 집전체 위에 코팅시키는 단계;
(3)상기 집전체 위에 코팅된 나노잉크를 불활성 기체 분위기에서 400 내지 1000℃의 온도로 가열하여 탄소 입자에 기공을 형성하도록 활성화시켜 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄을 제조하는 단계; 및
(4)상기 집전체 위에 형성된 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄 위에 결착제를 도포하고, 건조하여 박막형 초고용량 커패시터용 전극을 제조하는 단계로 구성된다.
상기 집전체는 공지의 재질 및 형상인 것을 사용할 수 있고, 예컨대 알루미늄, 티탄, 탄탈, 니켈 등의 금속, 또는 스테인리스 등의 합금, 상기 금속의 호일, 상기 금속의 폼(foam) 등을 이용할 수 있으며, 바람직하게는 니켈폼이 사용된다.
상기 (1)단계에서 집전체 위에 도포하는 나노잉크의 두께는 특별히 제한하는 것은 없으나 바람직하게는 수 내지 수십μm 정도의 두께로 도포한다.
상기 (2)단계에서 집전체 위에 도포된 나노잉크는 60 내지 90℃의 온도로 가열하여 건조시키며, 상기 (3)단계에서는 아르곤 가스를 포함하는 불활성 기체 분위기에서 400 내지 1000℃의 온도로 가열하여 탄소 입자에 무수히 많은 기공들이 형성될 수 있도록 활성화시켜주어 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄을 형성하게 한다. 상기 나노잉크에는 수열탄화물과 활성화 촉매물질이 함께 함유되어 있으므로 수열탄화물에 활성화 촉매물질의 함침 과정을 추가적으로 실시하지 않고서도 열처리만을 통하여 간단하게 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄을 제조할 수 있다.
상기 (4)단계에서는 집전체 위에 형성된 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄 위에 결착제를 도포하는 단계로, 상기 결착제는 공지의 것을 사용할 수 있으며, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀류, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리비닐리덴플루오라이드, 플루오로올레핀 비닐에테르 공중합체 가교 폴리머 등의 플루오르화 폴리머류, 카르복시메틸셀룰로스 등의 셀룰로스류, 폴리비닐피롤리돈, 폴리비닐알콜 등의 비닐계 폴리머류 및 폴리아크릴산으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 결착제는 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄 및 결착제를 합산한 총 중량에 대하여 0.1 내지 30 중량%로 포함되는 것이 바람직하다. 상기 결착제는 용매에 용해시켜 집전체 위에 도포하는 것이 바람직하며, 상기 용매는 NMP(N-Methyl-2-pyrrolidone) 또는 물 등 통상적으로 사용되는 용매를 사용한다. 상기 결착제가 도포된 집전체는 가열 건조시켜 최종적으로 나노잉크가 균일하게 도포된 박막형 초고용량 커패시터용 전극이 제조된다.
따라서, 본 발명은 상기 방법으로 제조된 박막형 초고용량 커패시터용 전극을 제공한다.
이하, 본 발명을 실시예에 의해 상세히 설명한다.
단, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
실시예 1. 나노잉크 제조
stainless steel 수열 반응기에 감자 전분 10g과 물 500mL를 넣고, 감자 전분이 물에 잘 풀어지도록 잘 섞어주었다. 그 후 활성화 촉매인 칼륨 나트륨 타르트레이트 테트라하이드레이트(KNaC4H4O6·4H2O) 0.1mol을 첨가한 후 혼합용액을 잘 저어주었다. 상기 혼합용액이 들어있는 수열반응기를 195℃로 13시간 동안 가열하여 수열탄화반응을 진행하였다. 반응이 완료된 후 여과를 통하여 여과액을 분리하여 100nm 이하 크기의 수열탄화물이 고르게 분산된 나노잉크를 얻었다(도 2).
실시예 2. 박막형 초고용량 커패시터용 전극 제조
니켈 호일 lead 선이 연결되어 있고, 약 4cm2의 면적 및 280μm의 두께를 가진 니켈폼 전극에 상기 실시예 1에서 제조한 나노잉크를 도포하였다. 상기 나노잉크가 도포된 니켈폼 전극을 핫플레이트 위에 올려놓고 70 ℃의 온도로 가열하여 나노잉크를 건조시켰다. 그 후 질소 분위기에서 800℃로 가열하여 열처리하여 니켈폼 전극 위에 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄을 형성하게 하였다(도 3 및 도 4). 상기 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄을 SEM-EDS를 사용하여 성분을 분석한 결과는 하기 표 1과 같다.
Element C O K Na
Atomic % 81.23 18.26 0.51 -
상기 니켈 전극 위에 형성된 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄 위에 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF, 18 중량%)를 NMP 용매에 용해시킨 결착제 용액을 도포한 후 약 120℃의 온도로 12시간 동안 건조하여 박막형 초고용량 커패시터용 전극을 제조하였다(도 5 및 도 6).
실험예 1. 박막형 초고용량 커패시터용 전극의 순환전류 충·방전 측정
상기 실시예 2에서 제조한 박막형 초고용량 커패시터용 전극을 6M KOH 전해질 용액을 사용하여 반쪽 전극 실험(half-cell test)을 통해 순환전류 충·방전(cycle voltammetry) 특성을 측정하였다(도 7). 본 측정에서는 통상적으로 사용되는 도전제(카본블랙, 분말 그래파이트 등)를 사용하지 않았다.
본 발명의 박막형 초고용량 커패시터용 전극은 주사 속도를 높이더라도 모두 가역적으로 반응이 진행되는 것을 실험을 통해 확인하였다. 또한 주사 속도 5mV/s에서 117.1 F/g, 10 mV/s에서 114.6 F/g, 50mV/s에서 107.1, 100mV/s에서 104.3 F/g 및 500mV/s에서 95.7 F/g의 비용량을 나타내 주사 속도가 높아지더라도 안정적인 비용량을 확보하는 것을 관찰하였다(도 8).
따라서, 본 발명의 나노 잉크 및 이를 이용하여 제조된 박막형 초고용량 커패시터용 전극은 두께가 더욱 얇아지고, 경량화 및 초소형화되는 각종 휴대용 전자장치, 입는 스마트기기 (wearable devices), 플렉서블 디스플레이, RFID 및 각종센서, 초소형 에너지 하비스팅 장치, 코즈메틱 및 의료용 제품, 바이오 센서 등과 같은 다양한 응용분야에서 고출력, 장수명, 고안정 특성의 전원 소자로써 응용 될 수 있을 것으로 기대된다.

Claims (14)

  1. (1)바이오매스, 물 및 활성화 촉매를 혼합하여 혼합용액을 제조하는 단계;
    (2)상기 혼합용액을 수열탄화하는 단계; 및
    (3)상기 수열탄화된 혼합용액을 여과하여 분리된 여과액으로 나노잉크를 제조하는 단계를 포함하는 나노잉크 제조방법.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 활성화 촉매의 농도는 0.1 내지 10M인 것을 특징으로 하는 나노잉크 제조방법.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 바이오매스 및 물의 비율은 0.1g/L 내지 100g/L인 것을 특징으로 하는 나노잉크 제조방법.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 활성화 촉매는 수산화나트륨, 수산화 칼륨, 탄산칼륨, 탄산나트륨, 인산, 염화주석, 염화아연, 알칼리금속타르트레이트, 알칼리금속시트레이트 및 알칼리금속말레이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 나노잉크 제조방법.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 (2)단계는 150 내지 350℃의 온도 및 6 내지 48시간으로 수열탄화하는 것을 특징으로 하는 나노잉크 제조방법.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 나노잉크는 1 내지 900nm 크기의 수열탄화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노잉크 제조방법.
  7. 청구항 1의 방법으로 제조된 나노잉크.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 나노잉크는 1 내지 900nm 크기의 수열탄화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노잉크.
  9. (1)청구항 7의 나노잉크를 집전체 위에 도포하는 단계;
    (2)상기 도포된 나노잉크를 건조하여 집전체 위에 코팅시키는 단계;
    (3)상기 집전체 위에 코팅된 나노잉크를 불활성 기체 분위기에서 400 내지 1000℃의 온도로 가열하여 탄소 입자에 기공을 형성하도록 활성화시켜 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄을 제조하는 단계; 및
    (4)상기 집전체 위에 형성된 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄 위에 결착제를 도포하고, 건조하는 단계를 포함하는 박막형 초고용량 커패시터용 전극 제조방법.
  10. 청구항 9에 있어서, 상기 결착제는 폴리올레핀류, 플루오르화 폴리머류, 비닐계 폴리머류 및 폴리아크릴산으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 박막형 초고용량 커패시터용 전극 제조방법.
  11. 청구항 9에 있어서, 상기 결착제는 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄 및 결착제를 합산한 총 중량에 대하여 0.1 내지 30 중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 초고용량 커패시터용 전극 제조방법.
  12. 청구항 9에 있어서, 상기 결착제는 용매에 용해시켜 집전체 위에 형성된 3차원 계층구조의 바이오 나노 활성탄 위에 도포하는 것을 특징으로 하는 박막형 초고용량 커패시터용 전극 제조방법.
  13. 청구항 12에 있어서, 상기 용매는 NMP(N-Methyl-2-pyrrolidone) 또는 물인 것을 특징으로 하는 박막형 초고용량 커패시터용 전극 제조방법.
  14. 청구항 9의 방법으로 제조된 박막형 초고용량 커패시터용 전극.
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