KR101429942B1 - Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치는 기판; 상기 기판의 일 면에 형성되고, 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막; 상기 반사 방지막 상에 형성되고, 박막 트랜지스터 및 금속 배선을 포함하는 구동 소자부; 및 상기 박막 트랜지스터 및 상기 금속 배선에 대응되는 상기 반사 방지막 상에 형성된 보조 금속 배선을 포함하고, 상기 박막 트랜지스터는 게이트 전극, 게이트 절연막, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다.An organic light emitting display according to an aspect of the present invention includes: a substrate; An antireflection film formed on one surface of the substrate and including at least one metal layer and at least one insulating layer; A driving element formed on the antireflection film and including a thin film transistor and a metal wiring; And an auxiliary metal interconnection formed on the antireflection film corresponding to the thin film transistor and the metal interconnection, wherein the thin film transistor includes a gate electrode, a gate insulating film, a source electrode, and a drain electrode.

Description

유기전계발광표시장치 및 그 제조방법{Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent display device,

본 발명은 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 능동형 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an active organic light emitting display and a method of manufacturing the same.

최근 들어 정보화 사회가 발달하면서 가볍고 얇은 평판표시장치(Flat Panel Display)의 개발이 활발히 진행되고 있다. 대표적인 평판표시장치로 액정표시장치(Liquid Crystal Display)와 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Diode Display Device)가 있다. 유기전계발광표시장치는 액정표시장치에서 사용되는 백라이트와 같은 별도의 광원이 필요 없고, 색재현율이 뛰어나 더 얇고 더 선명한 화질을 구현한다.Recently, as the information society has developed, a light and thin flat panel display has been actively developed. Typical flat panel display devices include a liquid crystal display device and an organic light emitting diode display device. The organic electroluminescent display device does not need a separate light source such as a backlight used in a liquid crystal display device, and is superior in color reproduction rate to realize a thinner and clearer image.

이와 같은 유기전계발광표시장치는 일반적으로 적색, 녹색 및 청색의 세 가지 서브 픽셀로 이루어진 픽셀들이 화면 전체에 배열되며, 각 서브 픽셀은 게이트 라인 및 데이터 라인이 교차되어 정의된다. 각 서브 픽셀은 별도의 박막 트랜지스터(thin film transistor)를 포함하는 구동 소자에 의해 독립적으로 구동되며, 박막 트랜지스터 및 각종 금속 배선이 구동 소자 내부에 배치된다. 이 때, 구동 소자 영역의 박막 트랜지스터 및 금속 배선이 외광을 반사하면 외부 시인성이 떨어지게 된다.In such an organic light emitting display device, generally, pixels having three subpixels of red, green, and blue are arranged on the entire screen, and each subpixel is defined by intersecting a gate line and a data line. Each sub-pixel is independently driven by a driving element including a separate thin film transistor, and a thin film transistor and various metal wires are disposed inside the driving element. At this time, when the thin film transistor and the metal wiring of the driving element region reflect external light, the external visibility is deteriorated.

도 1은 종래의 능동형 유기전계발광표시장치(이하 유기전계발광표시장치)의 일부분을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a portion of a conventional active type organic electroluminescence display device (hereinafter referred to as an organic electroluminescence display device).

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 유기전계발광표시장치는 유기발광소자(120)및 유기발광소자(120)에서 방출되는 빛이 외부로 나가는 기판(101) 상에 형성된 편광판(110)을 포함한다. 편광판(110)은 외부에서 들어오는 광의 반사를 최소화하여 외부 시인성을 향상시키며, 들어오는 빛을 수평으로 선편광시키는 선편광판(linear polarizer, 111)과 λ/4 위상 지연판(λ/4 phase retarder, 113)을 조합하여 형성되며, 이들 사이에는 제 1 접착층(112)이 형성되어 각 층을 접합한다. 그리고 편광판(110)은 제 2 접착층(114)에 의해 기판(101)에 부착된다. 유기발광소자(120)는 애노드 전극(121), 유기 발광층(122) 및 캐소드 전극(123)을 포함한다.1, a conventional organic light emitting display device includes a polarizer 110 formed on a substrate 101 on which an organic light emitting device 120 and light emitted from the organic light emitting device 120 are directed to the outside do. The polarizer 110 includes a linear polarizer 111 and a? / 4 phase retarder 113 for minimizing reflection of light coming from the outside to improve external visibility and linearly polarizing incoming light. And a first adhesive layer 112 is formed between them to bond the respective layers. The polarizing plate 110 is attached to the substrate 101 by the second adhesive layer 114. The organic light emitting diode 120 includes an anode electrode 121, an organic light emitting layer 122, and a cathode electrode 123.

외부에서 들어온 빛은 선편광판(111)를 거쳐 수평으로 선편광되며, 이후 λ/4 위상 지연판(113)을 거쳐 원편광된다. 상기 원편광된 외부광은 유기발광소자(120)에서도 특히 캐소드 전극(123)에서 대부분 반사되어 되돌아 나오다가, λ/4 위상 지연판(113)을 거쳐 수직으로 선편광된 후 다시 선편광판(111)을 거치면서 소멸된다.The light coming from the outside is linearly polarized through the linear polarizer 111, and then circularly polarized through the? / 4 phase delay plate 113. The circularly polarized extraneous light is mostly reflected by the cathode electrode 123 in the organic light emitting diode 120 and linearly polarized through the lambda / 4 phase delay plate 113, .

상기와 같이 편광판(110)을 이용하여 외광 반사를 최소화하게 되는 경우, 유기발광소자(120)에서 발광하는 빛의 45% 미만의 빛만을 투과하게 되어 휘도가 절반 이상 감소하게 된다. 이에 따라, 줄어든 휘도를 보상하기 위해서 더 많은 소비전력을 사용하게 되면 유기 발광부의 수명이 감소하게 된다.When reflection of external light is minimized by using the polarizer 110 as described above, only less than 45% of light emitted from the organic light emitting diode 120 is transmitted, and the brightness is reduced by half or more. Accordingly, if more power is used to compensate for the reduced luminance, the lifetime of the organic light emitting portion is reduced.

또한, 편광판(110)은 고가이기 때문에, 반사 방지 기능만을 위해 편광판(110)을 적용하는 경우 가격 경쟁력이 떨어질 수 있는 단점이 있다.
In addition, since the polarizing plate 110 is expensive, there is a disadvantage that the price competitiveness may be lowered when the polarizing plate 110 is applied only for the antireflection function.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 수명을 개선시키고 제조 비용을 감소시킬 수 있는 유기전계발광표시장치를 제공하는 것을 그 기술적 과제로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an organic light emitting display capable of improving the lifetime and reducing the manufacturing cost.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치는 기판; 상기 기판의 일 면에 형성되고, 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막; 상기 반사 방지막 상에 형성되고, 박막 트랜지스터 및 금속 배선을 포함하는 구동 소자부; 및 상기 박막 트랜지스터 및 상기 금속 배선에 대응되는 상기 반사 방지막 상에 형성된 보조 금속 배선을 포함하고, 상기 박막 트랜지스터는 게이트 전극, 게이트 절연막, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an organic light emitting display including: a substrate; An antireflection film formed on one surface of the substrate and including at least one metal layer and at least one insulating layer; A driving element formed on the antireflection film and including a thin film transistor and a metal wiring; And an auxiliary metal interconnection formed on the antireflection film corresponding to the thin film transistor and the metal interconnection, wherein the thin film transistor includes a gate electrode, a gate insulating film, a source electrode, and a drain electrode.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치 제조방법은, 기판의 일면에 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막을 형성하는 단계; 상기 반사 방지막 상에 금속을 증착하는 단계; 상기 증착된 금속을 패터닝하여 게이트 전극, 제 1 금속 배선 및 보조 금속 배선을 형성하는 단계; 및 상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막, 엑티브 층, 소스 전극,드레인 전극 및 제 2 금속 배선을 형성하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an organic light emitting display, including: forming an antireflection film including at least one metal layer and at least one insulating layer on one surface of a substrate; Depositing a metal on the anti-reflective coating; Patterning the deposited metal to form a gate electrode, a first metal line, and an auxiliary metal line; And forming a gate insulating film, an active layer, a source electrode, a drain electrode, and a second metal interconnection on the gate electrode.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은, 기판의 일 면에 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막을 형성하는 단계; 상기 반사 방지막 상에 게이트 전극, 제 1 금속 배선을 형성하는 단계; 상기 게이트 전극 및 제 1 금속 배선 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트 절연막을 패터닝하여 상기 반사 방지막을 노출시키는 단계; 상기 게이트 절연막 상에 엑티브 층을 형성하는 단계; 상기 노출된 반사 방지막 상에 제 2 금속 배선을 형성하는 단계; 및 상기 엑티브 층 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an organic light emitting display, including: forming an antireflection film including at least one metal layer and at least one insulating layer on one surface of a substrate; Forming a gate electrode and a first metal interconnection on the antireflection film; Forming a gate insulating film on the gate electrode and the first metal interconnection; Exposing the anti-reflection film by patterning the gate insulation film; Forming an active layer on the gate insulating layer; Forming a second metal interconnection on the exposed anti-reflection film; And forming a source electrode and a drain electrode on the active layer.

본 발명에 따르면, 유기전계발광표시장치에 금속층 및 절연층으로 이루어진 복층 구조의 반사 방지막을 적용하여 고가의 편광판을 대체함으로써, 생산비를 절감할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to reduce the production cost by replacing an expensive polarizing plate by applying an antireflection film having a multilayer structure composed of a metal layer and an insulating layer to an organic light emitting display.

또한, 본 발명에 따르면, 투과율이 낮음에도 불구하고 반사 방지를 위해 적용했던 편광판을 제거하여 패널의 투과율을 향상시켜 휘도를 높일 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, there is an effect that the polarizer applied for preventing reflection can be removed in spite of a low transmittance, and the transmittance of the panel can be improved to increase the brightness.

또한, 본 발명에 따르면, 고 투과율의 반사 방지막을 적용하여 소비전력을 감소시키고 수명을 개선시킬 수 있는 효과가 있다.
Further, according to the present invention, an antireflection film having a high transmittance can be applied to reduce power consumption and improve lifetime.

도 1은 일반적인 편광판을 적용한 유기전계발광표시장치의 반사 방지 구조를 도시한 단면도;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도; 및
도 5 내지 도 8은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 반사 방지막의 반사 방지 원리를 도시한 단면도.
1 is a cross-sectional view illustrating an anti-reflection structure of an organic light emitting display device using a general polarizing plate;
2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention;
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention; FIG. And
5 to 8 are cross-sectional views illustrating the antireflection principle of an antireflection film according to various embodiments of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 단면을 나타내는 도면이다.2 is a cross-sectional view of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는, 기판(210), 유기 발광부, 구동 소자부 및 반사 방지막(220), 반사 방지 필름(211) 및 마이크로 렌즈 필름(Micro Lens Film, 212)을 포함한다.2, an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a substrate 210, an organic light emitting portion, a driving element portion and an antireflection layer 220, an antireflection layer 211, And a lens film (Micro Lens Film) 212.

먼저, 기판(210)은 유리, 투명 또는 불투명한 플렉시블 소재 등으로 형성될 수 있다. 투명한 플렉시블 소재는 폴리이미드(polyimide)를 비롯하여, 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide) 및 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate) 등이 있다.First, the substrate 210 may be formed of glass, transparent or opaque flexible material or the like. Transparent flexible materials include polyimide, polyetherimide (PEI), and polyethyeleneterephthalate (PET).

다음으로, 유기 발광부는 유기 발광층(270)이 애노드 전극(260) 및 캐소드 전극(280)과 접촉되어 있는 영역을 의미하며 이 곳에서 백색광이 방출된다. 발광된 빛은 유기 발광층(270) 하부에 형성된 컬러 리파이너(250)를 통과하면서 적색, 녹색 및 청색 중 하나로 색이 변환되어 기판(210) 외부로 방출된다.Next, the organic light emitting portion refers to a region where the organic light emitting layer 270 is in contact with the anode electrode 260 and the cathode electrode 280, where white light is emitted. The emitted light passes through the color refiner 250 formed under the organic light emitting layer 270, and is converted into one of red, green, and blue, and is emitted to the outside of the substrate 210.

다음으로, 구동 소자부는 박막 트랜지스터(230), 금속 배선(240) 및 보조 금속 배선(235)을 포함한다. 도 2에서 박막 트랜지스터(230)는 편의상 한 개만 표현했으나, 일반적으로 유기전계발광표시장치에서 박막 트랜지스터는 한 개의 서브픽셀 안에 스위칭 트랜지스터 및 구동 트랜지스터를 포함하여 두 개 이상 형성된다.Next, the driving element portion includes the thin film transistor 230, the metal wiring 240, and the auxiliary metal wiring 235. [ In FIG. 2, the thin film transistor 230 is represented by only one electrode for convenience, but in an organic light emitting display, a thin film transistor includes two or more switching transistors and a driving transistor in one sub-pixel.

박막 트랜지스터(230)는 게이트 전극(231), 게이트 절연막(237), 소스 및 드레인 전극(232, 233) 및 액티브층(234)를 포함한다. 금속 배선(240)은 편의상 형성된 층에 따라 제 1 및 제 2 금속 배선으로 구분될 수 있다. 구체적으로 반사 방지막(220) 상에 형성된 금속 배선(240)이 제 1 금속 배선으로, 게이트 절연막(237) 상에 형성된 금속 배선(240)이 제 2 금속 배선으로 구분될 수 있다.The thin film transistor 230 includes a gate electrode 231, a gate insulating film 237, source and drain electrodes 232 and 233, and an active layer 234. The metal wiring 240 may be conveniently divided into first and second metal wirings according to the formed layer. The metal wiring 240 formed on the antireflection film 220 may be divided into the first metal wiring and the metal wiring 240 formed on the gate insulating film 237 may be divided into the second metal wiring.

또한, 금속 배선(240)은 구동 소자 내부에 형성된 보상회로(미도시), 게이트 라인(241), 데이터 라인(242) 및 전원전압 라인(243)을 포함한다. 보상회로는 상기 스위칭 트랜지스터 및 구동 트랜지스터를 연결하거나 애노드 전극(260) 및 캐소드 전극(280)을 연결하는 배선 및 회로 소자를 포함하며, 도시하기 복잡하고 여러 가지 형상으로 설계될 수 있어, 편의상 도면에서의 도시를 생략하기로 한다. 한편, 보상회로도 금속 배선(240)과 마찬가지로 편의상, 반사 방지막(220) 상에 형성된 제 1 보상회로 라인 및 게이트 절연막(237) 상에 형성된 제 2 보상회로 라인으로 구분될 수 있다. The metal wiring 240 includes a compensation circuit (not shown) formed inside the driving element, a gate line 241, a data line 242, and a power source voltage line 243. The compensation circuit includes wiring and circuit elements connecting the switching transistor and the driving transistor or connecting the anode electrode 260 and the cathode electrode 280 and can be designed in various shapes and complex shapes as shown in the drawings, Will be omitted. The compensation circuit may be divided into a first compensation circuit line formed on the antireflection film 220 and a second compensation circuit line formed on the gate insulation film 237 for the sake of convenience.

보조 금속 배선(235)은 박막 트랜지스터(230)의 소스 전극(232) 또는 드레인 전극(233)과 같이 적어도 하나의 절연막 상에 형성되는 금속 배선(240)과 대응되는 영역에 형성되어, 반사 방지막(220) 상에서 바로 외광을 반사하는 역할을 한다. 상기 설명대로 적어도 하나의 절연막 상에 형성되는 금속 배선(240)은 제 2 금속 배선일 수 있다.The auxiliary metal wiring 235 is formed in a region corresponding to the metal wiring 240 formed on at least one insulating film such as the source electrode 232 or the drain electrode 233 of the thin film transistor 230, 220 to reflect external light immediately. As described above, the metal wiring 240 formed on at least one insulating film may be a second metal wiring.

다음으로, 반사 방지막(220)은 기판(210) 상에 형성되어 외부로부터 들어오는 빛의 반사를 최소화시킨다. 반사 방지막(220)은 기판(210) 전체에 형성될 수 있다. 기판(210) 전체에 반사 방지막(220)을 형성했을 경우, 유기 발광부 영역에서는 반사 방지막(220)이 유기 발광층(270)에서 발광된 빛을 흡수하여 휘도가 낮아지는 원인이 될 수 있지만, 포토리소그라피 공정을 제거할 수 있어서 공정을 단순화 할 수 있다. 더 자세한 반사 방지막(220)의 구조 및 반사 방지 원리는 도 5에서 설명하기로 한다.Next, the anti-reflection film 220 is formed on the substrate 210 to minimize the reflection of light coming from the outside. The antireflection film 220 may be formed on the entire surface of the substrate 210. When the antireflection film 220 is formed on the entire substrate 210, the antireflection film 220 absorbs light emitted from the organic light emitting layer 270 in the organic light emitting region, The lithography process can be eliminated, and the process can be simplified. The structure and antireflection principle of the antireflection film 220 will be described in detail with reference to FIG.

다음으로, 반사 방지 필름(211)은 반사 방지막(220)이 형성되지 않은 기판(210)의 타면에 형성된다. 외광이 패널 내부로 들어올 때 기판(210)에서도 반사가 일어나기 때문에, 반사 방지필름(211)은 기판(210)의 외광 반사를 방지하는 기능을 한다. 반사 방지 필름(211)은 필름 형태로 제작되어, 기판(210) 상에 붙여지거나, 기판(210)에서 반사 방지막(220)이 형성되지 않은 표면에 증착 등의 공정을 통해 형성될 수 있으며, 상기 설명에 제한되지 않는다.Next, the anti-reflection film 211 is formed on the other surface of the substrate 210 on which the anti-reflection film 220 is not formed. Since the reflection occurs also on the substrate 210 when the external light enters the inside of the panel, the anti-reflection film 211 functions to prevent reflection of the external light of the substrate 210. The antireflection film 211 may be formed in the form of a film and attached to the substrate 210 or may be formed on the surface of the substrate 210 on which the antireflection film 220 is not formed through a process such as deposition, But is not limited to description.

다음으로, 마이크로 렌즈 필름(212)은 기판(210) 상에 혹은, 반사 방지 필름(211) 상에 형성될 수 있다. 도면에는 반사 방지 필름(211) 상에 형성되는 것으로 도시되어 있으나 이제 제한되지 않고 기판(210)의 일면 또는 타면에 형성될 수 있다. 마이크로 렌즈 필름(212)을 적용하면 유기 발광층(270)에서 발광한 빛이 전반사에 의해 내부에 갇혀서 소멸되지 않고, 보다 많이 출광되어 휘도 향상에 도움이 된다. 마이크로 렌즈 필름(212)은 필름 형태로 제작되어 기판(210)에 접착되거나 스퍼터링, 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition)을 포함한 공정 중 하나로 증착되어 기판(210) 전체에 형성될 수 있다.Next, the micro-lens film 212 may be formed on the substrate 210 or on the anti-reflection film 211. In the drawings, the anti-reflection film 211 is shown as being formed on the substrate 210, but it is not limited thereto and may be formed on one side or the other side of the substrate 210. When the microlens film 212 is applied, the light emitted from the organic light emitting layer 270 is trapped inside by the total reflection, and is not extinct. The micro lens film 212 may be formed in the form of a film and adhered to the substrate 210 or may be formed over the entire substrate 210 by one of processes including sputtering and chemical vapor deposition.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는 기판(210) 상의 구동 소자부 영역에 형성된 반사 방지막(220)을 포함한다. 유기 발광부 영역에는 반사 방지막(220)을 형성하지 않음으로써, 유기 발광부에서 발광하는 빛이 반사 방지막(220)의 금속층(221)에서 흡수되는 것을 방지하여 투과율 및 휘도를 향상시킬 수 있다.As shown in FIG. 3, the organic light emitting display according to another embodiment of the present invention includes an anti-reflection layer 220 formed on a driving element region on a substrate 210. The antireflection film 220 is not formed on the organic light emitting region to prevent the light emitted from the organic light emitting region from being absorbed in the metal layer 221 of the antireflection film 220 to improve transmittance and brightness.

반사 방지막(220)을 유기 발광부를 제외한 구동 소자부 영역에 형성하기 위해서는 컬러 리파이너(250)층을 형성하기 위한 마스크, 또는 뱅크층(261)을 형성하기 위한 마스크와 동일한 마스크를 사용하여 형성할 수 있다. 따라서, 별도의 마스크를 구비하지 않고 반사 방지막(220)을 형성할 수 있어 생산비용이 크게 증가하지 않으면서, 반사 방지막(220)을 형성할 수 있는 이점이 있다.In order to form the antireflection film 220 in the driving element region except for the organic light emitting portion, a mask for forming the color refiner 250 layer or a mask for forming the bank layer 261 may be used. have. Therefore, since the anti-reflection film 220 can be formed without providing a separate mask, there is an advantage that the anti-reflection film 220 can be formed without significantly increasing the production cost.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반사 방지막(220)은 구동 소자부의 박막 트랜지스터(230) 및 금속 배선(240) 영역에 대응되는 기판(210)의 일면에 형성된다. 금속 배선(240)은 구동 소자 내부에 형성된 보상회로, 게이트 라인(241), 데이터 라인(242) 및 전원전압 라인(243)을 포함한다.4, the antireflection film 220 according to another embodiment of the present invention is formed on one surface of the substrate 210 corresponding to the thin film transistor 230 and the metal wiring 240 in the driving element portion . The metal wiring 240 includes a compensation circuit formed in the driving element, a gate line 241, a data line 242 and a power supply voltage line 243.

상기 보상회로는 박막 트랜지스터(230) 및 금속 배선을 서로 연결하는 배선과 스토리지 전극(Storage Electrode) 등을 포함한다. 이러한 보상회로는 유기전계발광표시장치의 구동 방식에 따라 다양하게 설계될 수 있기 때문에 도시를 생략하기로 한다.The compensation circuit includes a thin film transistor (TFT) 230, a wiring for connecting the metal wiring to each other, a storage electrode, and the like. Such a compensation circuit can be variously designed according to the driving method of the organic light emitting display, so that the illustration thereof will be omitted.

여기서, 방사 방지막(220)은 마스크 추가 없이 기존에 사용하던 두 개의 마스크를 사용하여, 여러 번의 노광 공정을 통해 형성하거나 새로운 마스크를 추가하여 단일 노광 공정을 거처 형성할 수 있다. 새로운 마스크를 추가하면 공정이 단순해지는 효과가 있고, 기존의 마스크를 사용하면 제조비용이 절감되는 효과가 있다.Here, the spin-on prevention film 220 may be formed through a plurality of exposure processes using a conventional mask without adding a mask, or a single exposure process may be performed by adding a new mask. Adding a new mask has the effect of simplifying the process, and the use of existing masks has the effect of reducing manufacturing costs.

기존의 마스크를 사용하는 제조방법을 설명하면, 우선 기판(210)의 제 1 면에 반사 방지막(220) 형성 물질을 도포한 후, 게이트 라인(241) 및 게이트 전극(231) 형성 시 사용하는 마스크와 소스 및 드레인 전극(232, 233) 형성 시 사용하는 마스크를 차례로 사용하여 노광한다. 그 다음, 현상 공정 이후 식각하면 도 5에 보이는 영역에만 반사 방지막(220)이 형성된다. 게이트 라인(241)은 게이트 전극(231)을 형성할 때 같이 형성되며, 데이터 라인(242) 및 전원전압 라인(243)은 소스 및 드레인 전극(232, 233)을 형성할 때 같이 형성되기 때문에, 두 개의 마스크로 반사 방지막(220)을 박막 트랜지스터(230) 및 금속 배선(240) 영역과 대응되는 영역에 형성할 수 있다.The gate electrode 241 and the gate electrode 231 are formed on the first surface of the substrate 210 after the anti-reflection film 220 is formed on the first surface of the substrate 210. [ And the mask used for forming the source and drain electrodes 232 and 233 in this order. Then, after the development process, the antireflection film 220 is formed only in the region shown in FIG. Since the gate line 241 is formed when the gate electrode 231 is formed and the data line 242 and the power source voltage line 243 are formed when forming the source and drain electrodes 232 and 233, The antireflection film 220 can be formed in the region corresponding to the region of the thin film transistor 230 and the metal wiring 240 with two masks.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 방지막(220) 및 반사 방지 원리를 도시한 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating an anti-reflection film 220 and an anti-reflection principle according to an embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 방지막(220)은 적어도 하나의 금속층(221) 및 적어도 하나의 절연층(222)을 포함한다. 반사 방지막(220)은 기판(210)의 일면에 금속층(221) 및 절연층(222)이 순차적으로 적층되어 형성되며, 기판(210)과 금속층(221)의 접착성 향상을 위해 금속층(221)과 기판(210) 사이에 추가 절연층(미도시)이 더 형성될 수 있다.5, the anti-reflective layer 220 includes at least one metal layer 221 and at least one insulating layer 222. The metal layer 221 may include at least one metal layer 221 and at least one insulating layer 222. Referring to FIG. The antireflection film 220 is formed by sequentially laminating a metal layer 221 and an insulating layer 222 on one surface of a substrate 210 and includes a metal layer 221 for improving the adhesion between the substrate 210 and the metal layer 221, An additional insulating layer (not shown) may be further formed between the substrate 210 and the substrate 210.

본 발명의 반사 방지막(220)이 외광의 반사를 방지하는 과정은 크게 두가지로 나뉜다. 하나는 금속층(221)의 외광 흡수 과정과 다른 하나는 금속층(221)과 구동 소자부에 형성된 금속 배선 중 하나인 게이트 라인(241)에서 각각 반사된 제 1 및 제 2 반사광(R1, R2)의 상쇄간섭에 의한 외광의 소멸 과정이다. 도 5에는 게이트 라인(241)만 도시되어 있으나, 게이트 라인(241)와 동일층에 형성되는 금속 배선은 모두 도 5에 도시된 바와 동일한 원리로 외광의 반사가 방지될 수 있다. 게이트 라인(241)과 동일층에 형성되는 금속 배선은 제 1 금속 배선으로 구분될 수 있다. 또한, 금속 배선은 아니지만 박막 트랜지스터(230)의 게이트 전극(231)도 게이트 라인(241)와 동일층에 형성되며, 도 5에 도시된 바와 같이 외광의 반사가 방지될 수 있다.The process of preventing the reflection of external light by the antireflection film 220 of the present invention is roughly divided into two processes. One is the external light absorption process of the metal layer 221 and the other is the reflection of the first and second reflected lights R 1 and R 2 reflected by the gate line 241, which is one of the metal lines formed on the metal layer 221 and the driving element. It is a process of destruction of external light by destructive interference. Although only the gate line 241 is shown in FIG. 5, the metal wiring formed in the same layer as the gate line 241 can be prevented from reflection of external light by the same principle as shown in FIG. The metal wiring formed on the same layer as the gate line 241 may be divided into a first metal wiring. Also, although not the metal wiring, the gate electrode 231 of the thin film transistor 230 is also formed in the same layer as the gate line 241, and reflection of external light can be prevented as shown in FIG.

상기 외광의 반사를 방지하는 과정의 원리를 자세히 설명하면, 일단 기판(210)을 통해 입사한 외광이 금속층(221)을 만나면 일부가 제 1 반사광(R1)으로 반사되고, 일부는 금속층(221)에 흡수되며, 나머지는 투과하게 된다. 투과한 빛 중 일부가 다시 절연층(222)을 통과하여, 게이트 라인(241)에서 제 2 반사광(R2)으로 반사된다. 이때, 제 1 및 제 2 반사광(R1, R2)의 위상이 도시된 바와 같이 서로 반대 위상을 갖게 되면, 제 1 및 제 2 반사광(R1, R2)이 서로 상쇄간섭을 일으켜 소멸된다.A part of the external light incident through the substrate 210 is reflected by the first reflected light R1 when the external light reaches the metal layer 221 and a part of the external light is reflected by the metal layer 221. [ And the remainder is transmitted. A part of the transmitted light passes through the insulating layer 222 again and is reflected from the gate line 241 to the second reflected light R2. At this time, if the phases of the first and second reflected lights R 1 and R 2 have opposite phases as shown in the figure, the first and second reflected lights R 1 and R 2 cancel each other out due to destructive interference.

상기와 같은 상쇄간섭이 일어나게 하기 위해 금속층(221)은 금속 중에서도 특히, 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo) 및 크롬(Cr)을 포함한 그룹 중 어느 하나로 형성되며, 대략 50Å ~ 200Å의 두께로 형성된다. 절연층(222)은 투명한 무기물 중에서도 특히, 산화규소(SiOx), 질화규소(SiNx), 실리콘 산화 질화막(SiON) 및 산화알루미늄(AlOx) 중 어느 하나로 형성되며, 대략 500Å ~ 3000Å의 두께로 형성된다.In order to cause the destructive interference as described above, the metal layer 221 is formed of any one of metals including titanium (Ti), molybdenum (Mo), and chromium (Cr) . The insulating layer 222 is formed of any one of silicon oxide (SiO x), silicon nitride (SiN x), silicon oxynitride (SiON) and aluminum oxide (AlO x) among transparent inorganic materials and is formed to a thickness of about 500 Å to 3000 Å.

도 6은 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 반사 방지막(220) 및 반사 방지 원리를 도시한 단면도이다.6 is a cross-sectional view illustrating an anti-reflection film 220 and an anti-reflection principle of an organic light emitting display according to another embodiment.

도 6에 도시된 바와 같이, 금속 배선과 절연층(222) 사이에 절연막인 게이트 절연막(237)이 개재되어 있다. 도 6에서는 금속 배선으로 데이터 라인(242)이 도시되어 있으나 이에 한정되지 않고, 데이터 라인(242)과 동일층에 형성되는 금속 배선은 모두 해당될 수 있으며, 게이트 라인(241)을 포함하는 제 1 금속 배선과 구분되는 제 2 금속 배선으로 정의될 수 있다. 또한, 절연막으로 게이트 절연막(237)이 도시되어 있으나 이에 한정되지 않는다. 절연막의 경우 금속 배선과 절연층(222) 사이에 다른 절연막이 개재되거나 복수의 절연막이 개재될 수도 있다. 상기와 같은 다양한 경우 중 게이트 절연막(237)이 금속 배선과 절연층(222) 사이에 개재된 경우에 효과적으로 외부광의 반사를 방지할 수 있는 원리를 설명하고자 한다.As shown in FIG. 6, a gate insulating film 237, which is an insulating film, is interposed between the metal wiring and the insulating layer 222. Although the data lines 242 are shown as metal wirings in FIG. 6, the metal wirings formed in the same layer as the data lines 242 are not limited thereto, and the first metal lines including the gate lines 241 And a second metal wiring separated from the metal wiring. Further, although the gate insulating film 237 is shown as an insulating film, it is not limited thereto. In the case of the insulating film, another insulating film may be interposed between the metal wiring and the insulating layer 222, or a plurality of insulating films may be interposed. The principle of effectively preventing the reflection of external light when the gate insulating film 237 is interposed between the metal wiring and the insulating layer 222 is explained.

도 5에서 설명한 원리로 상쇄간섭을 발생시키기 위해서는 금속층(221) 및 절연층(222) 순서로 형성된 반사 방지막(220)의 절연층(222) 상에 광을 투과하지 않는 금속이 형성되어야 한다. 이 때, 금속층(221)에서 반사된 제 1 반사광(R1)과 절연층(222) 상에 형성된 데이터 라인(242)에서 반사된 제 2 반사광(R2)의 마루와 골이 중첩되어 상쇄간섭을 일으킬 수 있다.5, a metal that does not transmit light should be formed on the insulating layer 222 of the antireflection film 220 formed in the order of the metal layer 221 and the insulating layer 222 in order to generate destructive interference. At this time, the first reflection light R1 reflected from the metal layer 221 and the second reflection light R2 reflected from the data line 242 formed on the insulating layer 222 overlap with the floor and the valleys, .

이에 따라, 데이터 라인(242)에 대응되는 영역에 보조 금속 배선(235)이 절연층(222) 상에 형성된다. 보조 금속 배선(235)는 게이트 전극과 동일한 물질로 동시에 형성될 수 있다. 상기와 같이 보조 금속 배선(235)이 절연층(222) 상에 형성됨으로써, 금속막(221)을 투과한 외부광이 데이터 라인(242)이 형성된 영역까지 투과하지 못하고 보조 금속 배선(235)에 막혀 반사된 후 제 2 반사광(R2)이 되어 다시 외부로 출사된다. 이때, 제 2 반사광(R2)이 외부로 출사되는 도중 금속막(221)에서 반사된 제 1 반사광(R1)과 상쇄간섭되어 외부광의 반사를 방지하게 된다.Thus, an auxiliary metal interconnection 235 is formed on the insulating layer 222 in a region corresponding to the data line 242. The auxiliary metal wiring 235 can be formed simultaneously with the same material as the gate electrode. As described above, since the auxiliary metal wiring 235 is formed on the insulating layer 222, external light transmitted through the metal film 221 can not be transmitted to the region where the data line 242 is formed, And the reflected light R2 becomes the second reflected light R2 and exits to the outside again. At this time, the second reflected light R 2 is canceled with the first reflected light R 1 reflected by the metal film 221 during the outgoing to prevent reflection of external light.

만약, 금속막(221)을 투과한 외부광이 게이트 절연막(237)을 지난 후 데이터 라인(245)에서 반사되면 게이트 절연막(237)의 두께만큼 외부광이 더 진행하다가 반사된다. 따라서 데이터 라인(242) 에서 반사된 제 2 반사광(R2)과 금속막(221)에서 반사된 제 1 반사광(R1)의 마루와 골이 완전히 중첩되지 않아 상쇄간섭으로 인한 광파의 소멸 현상이 일어나지 않게 되며, 이에 따라 외부광의 반사를 방지하지 못하게 된다.If the external light transmitted through the metal film 221 is reflected by the data line 245 after passing through the gate insulating film 237, the external light advances further by the thickness of the gate insulating film 237 and is reflected. Therefore, the second reflected light R 2 reflected from the data line 242 and the first reflected light R 1 reflected from the metal film 221 are not completely overlapped with the floor of the metal film 221, so that extinction of the light wave due to destructive interference does not occur Thereby preventing reflection of external light.

도 7은 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 반사 방지막(220) 및 반사 방지 원리를 도시한 단면도이다.7 is a cross-sectional view illustrating an antireflection film 220 and an anti-reflection principle of an organic light emitting display according to another embodiment.

도 7에 도시된 바와 같이, 금속 배선과 절연층(222) 사이에 절연막인 게이트 절연막(237)이 개재되어 있다.As shown in FIG. 7, a gate insulating film 237, which is an insulating film, is interposed between the metal wiring and the insulating layer 222.

도면에는, 금속 배선으로 전원전압 라인(243)이 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않고, 적어도 하나의 절연막 상에 형성된 금속 배선이면 모두 다 해당될 수 있으며, 도 6에서의 설명과 같이 제 2 금속 배선으로 구분될 수 있다. 일 예로, 전원전압 라인(243)과 동일층에 형성되는 데이터 라인도 해당될 수 있다. 금속 배선(240)과 절연층 사이에 개재된 절연막은 게이트 절연막(237)에 한정되지 않고 다양한 절연막 및 유기막이 될 수 있다.In the figure, the power supply voltage line 243 is shown as a metal wiring, but not limited thereto, and all of the metal wiring formed on at least one insulating film may be applicable. As described in FIG. 6, . For example, a data line formed on the same layer as the power source voltage line 243 may also be applicable. The insulating film interposed between the metal wiring 240 and the insulating layer is not limited to the gate insulating film 237 but may be various insulating films and organic films.

도 7에서는 도 6에서와 다르게 절연층(222) 상에 별도의 보조 금속 배선을 형성하지 않고 전원전압 라인(243)이 절연층(222) 상에 형성된다. 전원전압 라인(246)이 절연층(222)에 직접 접하도록 하기 위해 전원전압 라인(243)이 형성되는 영역의 게이트 절연막(237)이 식각되어 컨택 패턴(247)이 형성되고, 전원전압 라인(246)이 컨택 패턴(247) 내부에 형성되어 절연층(222)과 직접 접하게 된다. 따라서 전원전압 라인(243)에서 반사된 제 2 반사광(R2)이 금속막(221)에서 반사된 제 1 반사광(R1)과 상쇄간섭을 일으켜 소멸된다.7, a power supply voltage line 243 is formed on the insulating layer 222 without forming an auxiliary metal interconnection on the insulating layer 222, unlike in FIG. The gate insulating film 237 in the region where the power supply voltage line 243 is formed is etched so that the contact pattern 247 is formed so that the power supply voltage line 246 directly contacts the insulating layer 222, 246 are formed inside the contact pattern 247 and directly contact the insulating layer 222. Therefore, the second reflected light R 2 reflected from the power source voltage line 243 is canceled by destructive interference with the first reflected light R 1 reflected from the metal film 221.

이때, 게이트 라인과 교차되는 영역의 게이트 절연막(237)은 식각되지 않아야 한다. 게이트 라인과 교차되는 영역의 게이트 절연막(237)이 식각되면, 게이트 라인과 데이터 라인 또는 전원전압 라인(243)이 직접 접촉하여 단락되기 때문에 구동에 문제가 발생할 수 있다. 따라서 화소 내의 다른 회로배선과 절연되는 범위에서 게이트 절연막(237)이 식각되는 것이 바람직하다.At this time, the gate insulating film 237 in the region intersecting with the gate line should not be etched. When the gate insulating film 237 in the region intersecting the gate line is etched, the gate line and the data line or the power source voltage line 243 are directly in contact with each other and short-circuited. Therefore, it is preferable that the gate insulating film 237 is etched in a range that is insulated from other circuit wiring in the pixel.

도 8은 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 반사 방지막(220) 및 반사 방지 원리를 도시한 단면도이다.8 is a cross-sectional view illustrating an antireflection film 220 and an anti-reflection principle of an organic light emitting display according to another embodiment.

도 8은 특히, 박막 트랜지스터(230)의 소스 전극(232) 및 드레인 전극(233)의 외광 반사를 방지할 수 있는 반사 방지막(220) 및 그 주변을 도시한 단면도이다.8 is a cross-sectional view showing an antireflection film 220 and its periphery that can prevent external light reflection of the source electrode 232 and the drain electrode 233 of the thin film transistor 230. FIG.

도 8에 도시된 바와 같이, 게이트 전극(231)을 사이에 두고 소스 전극(232) 및 드레인 전극(233)에 대응되는 영역에 보조 금속 배선(235)이 절연층(222) 상에 형성된다. 상기와 같이 보조 금속 배선(235)이 절연층(222) 상에 형성됨으로써, 금속막(221)을 투과한 외부광이 소스 전극(232) 및 드레인 전극(233)이 형성된 영역까지 투과하지 못하고 보조 금속 배선(235)에 막혀 반사된 후 제 2 반사광(R2)이 되어 다시 외부로 출사된다. 이때, 마찬가지로 제 2 반사광(R2)이 외부로 출사되는 도중 금속막(221)에서 반사된 제 1 반사광(R1)과 상쇄간섭되어 외부광의 반사를 방지하게 된다.An auxiliary metal wiring 235 is formed on the insulating layer 222 in a region corresponding to the source electrode 232 and the drain electrode 233 with the gate electrode 231 interposed therebetween. External light transmitted through the metal film 221 can not be transmitted to the region where the source electrode 232 and the drain electrode 233 are formed and the auxiliary metal interconnection 235 is formed on the insulating layer 222, It is blocked by the metal wiring 235, reflected therefrom, becomes the second reflected light R2, and exits to the outside again. At this time, similarly, the second reflected light R2 interferes with the first reflected light R1 reflected by the metal film 221 during the emission to the outside, thereby preventing reflection of external light.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

210: 기판 211: 반사 방지 필름
212: 마이크로 렌즈 필름 220: 반사 방지막
230: 박막 트랜지스터 231: 게이트 전극
232: 소스 전극 233: 드레인 전극
240: 금속 배선 241: 게이트 라인
242: 데이터 라인 243: 전원전압 라인
250: 컬러 리파이너 260: 애노드 전극
261: 뱅크층 270: 유기 발광층
280: 캐소드 전극
210: substrate 211: antireflection film
212: micro lens film 220: antireflection film
230: Thin film transistor 231: Gate electrode
232: source electrode 233: drain electrode
240: metal wiring 241: gate line
242: Data line 243: Power supply voltage line
250: Color Refiner 260: Anode electrode
261: bank layer 270: organic light emitting layer
280: cathode electrode

Claims (23)

기판;
상기 기판의 일 면에 형성되고, 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막;
상기 반사 방지막 상에 형성되고, 게이트 전극, 게이트 절연막, 엑티브 층, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터 및 금속 배선을 포함하는 구동 소자부; 및
상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에 형성된 제 1 보조 금속 배선을 포함하는 유기전계발광표시장치.
Board;
An antireflection film formed on one surface of the substrate and including at least one metal layer and at least one insulating layer;
A driving element formed on the antireflection film and including a thin film transistor and a metal wiring including a gate electrode, a gate insulating film, an active layer, a source electrode, and a drain electrode; And
And a first auxiliary metal interconnection formed between the antireflection film under the source electrode and the drain electrode and the gate insulating film.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 보조 금속 배선은 상기 게이트 전극과 동일층 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the first auxiliary metal interconnection is formed on the same layer as the gate electrode.
제 1 항에 있어서,
상기 금속 배선은 게이트 라인을 포함하고, 상기 게이트 라인은 상기 보조 금속 배선 및 상기 게이트 전극과 동일한 물질인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the metal interconnection includes a gate line, and the gate line is the same material as the auxiliary metal interconnection and the gate electrode.
제 1 항에 있어서,
상기 금속 배선은 데이터 라인을 포함하고, 상기 데이터 라인은 상기 게이트 절연막이 식각되어 노출된 상기 반사 방지막 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the metal wiring includes a data line, and the data line is formed on the exposed antireflection film by etching the gate insulation film.
제 1 항에 있어서,
상기 반사 방지막은 상기 구동 소자부와 대응되는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
And the anti-reflection film is formed in a region corresponding to the driving element portion.
제 1 항에 있어서,
상기 반사 방지막은 상기 박막 트랜지스터 및 상기 금속 배선과 대응되는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the antireflection film is formed in a region corresponding to the thin film transistor and the metal interconnection.
제 1 항에 있어서,
상기 금속층은 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo) 및 크롬(Cr) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the metal layer comprises one of titanium (Ti), molybdenum (Mo), and chromium (Cr).
제 1 항에 있어서,
상기 절연층은 산화규소(SiOx), 질화규소(SiNx), 실리콘 산화 질화막(SiON) 및 산화알루미늄(AlOx) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the insulating layer comprises any one of silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), and aluminum oxide (AlOx).
제 1 항에 있어서,
상기 기판의 타 면에 반사 방지필름 및 마이크로 렌즈필름 중 적어도 하나의 필름이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein at least one of an anti-reflection film and a micro-lens film is further formed on the other surface of the substrate.
기판의 일면에 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막을 형성하는 단계;
상기 반사 방지막 상에 금속을 증착하는 단계;
상기 증착된 금속을 패터닝하여 게이트 전극, 제 1 금속 배선 및 제 1 보조 금속 배선을 형성하는 단계; 및
상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막, 엑티브 층, 소스 전극,드레인 전극 및 제 2 금속 배선을 형성하는 단계
를 포함하고,
상기 제 1 보조 금속 배선은, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에 형성되는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
Forming an antireflection film including at least one metal layer and at least one insulating layer on one surface of a substrate;
Depositing a metal on the anti-reflective coating;
Forming a gate electrode, a first metal interconnection, and a first auxiliary metal interconnection by patterning the deposited metal; And
Forming a gate insulating film, an active layer, a source electrode, a drain electrode, and a second metal interconnection on the gate electrode;
Lt; / RTI >
Wherein the first auxiliary metal interconnection is formed between the antireflection film under the source electrode and the drain electrode and the gate insulating film.
제 10 항에 있어서,
상기 제 1 금속 배선은 게이트 라인 및 제 1 보상회로 라인을 포함하고, 상기 제 1 금속 배선은 상기 게이트 전극 및 상기 제 1 보조 금속 배선과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the first metal interconnection includes a gate line and a first compensation circuit line, and the first metal interconnection is formed simultaneously with the gate electrode and the first auxiliary metal interconnection. ≪ / RTI >
제 10 항에 있어서,
상기 제 2 금속 배선은 데이터 라인, 전원전압 라인 및 제 2 보상회로 라인을 포함하고, 상기 제 2 금속 배선은 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the second metal interconnection includes a data line, a power supply voltage line, and a second compensation circuit line, and the second metal interconnection is formed simultaneously with the source electrode and the drain electrode. ≪ / RTI >
제 10 항에 있어서,
상기 반사 방지막을 상기 게이트 전극, 상기 소스 전극, 상기 드레인 전극,상기 제 1 금속 배선 및 상기 제 2 금속 배선과 대응되는 영역에 형성하는 것을 특징으로 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the antireflection film is formed in a region corresponding to the gate electrode, the source electrode, the drain electrode, the first metal interconnection, and the second metal interconnection.
제 10 항에 있어서,
상기 기판의 타 면에 반사 방지필름 및 마이크로 렌즈필름 중 적어도 하나의 필름을 형성하는 단계를 더 포함하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
And forming at least one film of an anti-reflection film and a micro-lens film on the other surface of the substrate.
기판의 일 면에 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막을 형성하는 단계;
상기 반사 방지막 상에 게이트 전극, 제 1 금속 배선 및 제 1 보조 금속 배선을 형성하는 단계;
상기 게이트 전극, 상기 제 1 금속 배선 및 상기 제 1 보조 금속 배선 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;
상기 게이트 절연막 상에 엑티브 층을 형성하는 단계; 및
상기 엑티브 층 상에 소스 전극, 드레인 전극 및 제 2 금속 배선을 형성하는 단계
를 포함하고,
상기 제 1 보조 금속 배선은, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에 형성되는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
Forming an antireflection film including at least one metal layer and at least one insulating layer on one side of a substrate;
Forming a gate electrode, a first metal interconnection, and a first auxiliary metal interconnection on the antireflection film;
Forming a gate insulating film on the gate electrode, the first metal interconnection, and the first auxiliary metal interconnection;
Forming an active layer on the gate insulating layer; And
Forming a source electrode, a drain electrode, and a second metal interconnection on the active layer
Lt; / RTI >
Wherein the first auxiliary metal interconnection is formed between the antireflection film under the source electrode and the drain electrode and the gate insulating film.
제 15항에서,
상기 제 1 금속 배선은 게이트 라인을 포함하고, 상기 게이트 라인은 상기 제 1 보조 금속 배선 및 상기 게이트 전극과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the first metal interconnection includes a gate line, and the gate line is formed simultaneously with the first auxiliary metal interconnection and the gate electrode.
제 15항에서,
상기 제 2 금속 배선은 데이터 라인을 포함하고, 상기 데이터 라인은 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the second metal interconnection includes a data line, and the data line is formed simultaneously with the source electrode and the drain electrode.
제 15항에서,
상기 제 2 금속 배선은 전원전압 라인을 포함하고, 상기 전원전압 라인은 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the second metal interconnection includes a power source voltage line and the power source voltage line is formed simultaneously with the source electrode and the drain electrode.
제 1 항에서,
상기 금속 배선은 데이터 라인을 포함하고, 상기 데이터 라인 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에는 제 2 보조 금속 배선이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method of claim 1,
Wherein the metal interconnection includes a data line, and a second auxiliary metal interconnection is formed between the antireflection film under the data line and the gate insulating film.
제 10 항에서,
상기 제 2 금속 배선은 상기 게이트 절연막이 식각되어 노출된 상기 반사 방지막 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the second metal interconnection is formed on the antireflection film exposed by etching the gate insulating film.
제 10 항에서,
상기 제 2 금속 배선 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에는 제 2 보조 금속 배선이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
And a second auxiliary metal interconnection is formed between the antireflection film under the second metal interconnection and the gate insulating film.
제 15 항에서,
상기 게이트 절연막을 패터닝하여 상기 반사 방지막을 노출시키는 단계를 더 포함하고,
상기 제 2 금속 배선은 노출된 상기 반사 방지막 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
16. The method of claim 15,
And exposing the anti-reflection film by patterning the gate insulation film,
Wherein the second metal interconnection is formed on the exposed anti-reflection film.
제 15 항에서,
상기 제 2 금속 배선 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에는 제 2 보조 금속 배선이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
16. The method of claim 15,
And a second auxiliary metal interconnection is formed between the antireflection film under the second metal interconnection and the gate insulating film.
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