KR101429942B1 - Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same - Google Patents
Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same Download PDFInfo
- Publication number
- KR101429942B1 KR101429942B1 KR1020120100222A KR20120100222A KR101429942B1 KR 101429942 B1 KR101429942 B1 KR 101429942B1 KR 1020120100222 A KR1020120100222 A KR 1020120100222A KR 20120100222 A KR20120100222 A KR 20120100222A KR 101429942 B1 KR101429942 B1 KR 101429942B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- metal interconnection
- film
- gate
- electrode
- metal
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 34
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 130
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 129
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 129
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 claims description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 69
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02172—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing at least one metal element, e.g. metal oxides, metal nitrides, metal oxynitrides or metal carbides
- H01L21/02175—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing at least one metal element, e.g. metal oxides, metal nitrides, metal oxynitrides or metal carbides characterised by the metal
- H01L21/02186—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing at least one metal element, e.g. metal oxides, metal nitrides, metal oxynitrides or metal carbides characterised by the metal the material containing titanium, e.g. TiO2
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
- H01L21/0276—Photolithographic processes using an anti-reflective coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14627—Microlenses
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치는 기판; 상기 기판의 일 면에 형성되고, 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막; 상기 반사 방지막 상에 형성되고, 박막 트랜지스터 및 금속 배선을 포함하는 구동 소자부; 및 상기 박막 트랜지스터 및 상기 금속 배선에 대응되는 상기 반사 방지막 상에 형성된 보조 금속 배선을 포함하고, 상기 박막 트랜지스터는 게이트 전극, 게이트 절연막, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다.An organic light emitting display according to an aspect of the present invention includes: a substrate; An antireflection film formed on one surface of the substrate and including at least one metal layer and at least one insulating layer; A driving element formed on the antireflection film and including a thin film transistor and a metal wiring; And an auxiliary metal interconnection formed on the antireflection film corresponding to the thin film transistor and the metal interconnection, wherein the thin film transistor includes a gate electrode, a gate insulating film, a source electrode, and a drain electrode.
Description
본 발명은 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 능동형 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE
최근 들어 정보화 사회가 발달하면서 가볍고 얇은 평판표시장치(Flat Panel Display)의 개발이 활발히 진행되고 있다. 대표적인 평판표시장치로 액정표시장치(Liquid Crystal Display)와 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Diode Display Device)가 있다. 유기전계발광표시장치는 액정표시장치에서 사용되는 백라이트와 같은 별도의 광원이 필요 없고, 색재현율이 뛰어나 더 얇고 더 선명한 화질을 구현한다.Recently, as the information society has developed, a light and thin flat panel display has been actively developed. Typical flat panel display devices include a liquid crystal display device and an organic light emitting diode display device. The organic electroluminescent display device does not need a separate light source such as a backlight used in a liquid crystal display device, and is superior in color reproduction rate to realize a thinner and clearer image.
이와 같은 유기전계발광표시장치는 일반적으로 적색, 녹색 및 청색의 세 가지 서브 픽셀로 이루어진 픽셀들이 화면 전체에 배열되며, 각 서브 픽셀은 게이트 라인 및 데이터 라인이 교차되어 정의된다. 각 서브 픽셀은 별도의 박막 트랜지스터(thin film transistor)를 포함하는 구동 소자에 의해 독립적으로 구동되며, 박막 트랜지스터 및 각종 금속 배선이 구동 소자 내부에 배치된다. 이 때, 구동 소자 영역의 박막 트랜지스터 및 금속 배선이 외광을 반사하면 외부 시인성이 떨어지게 된다.In such an organic light emitting display device, generally, pixels having three subpixels of red, green, and blue are arranged on the entire screen, and each subpixel is defined by intersecting a gate line and a data line. Each sub-pixel is independently driven by a driving element including a separate thin film transistor, and a thin film transistor and various metal wires are disposed inside the driving element. At this time, when the thin film transistor and the metal wiring of the driving element region reflect external light, the external visibility is deteriorated.
도 1은 종래의 능동형 유기전계발광표시장치(이하 유기전계발광표시장치)의 일부분을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a portion of a conventional active type organic electroluminescence display device (hereinafter referred to as an organic electroluminescence display device).
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 유기전계발광표시장치는 유기발광소자(120)및 유기발광소자(120)에서 방출되는 빛이 외부로 나가는 기판(101) 상에 형성된 편광판(110)을 포함한다. 편광판(110)은 외부에서 들어오는 광의 반사를 최소화하여 외부 시인성을 향상시키며, 들어오는 빛을 수평으로 선편광시키는 선편광판(linear polarizer, 111)과 λ/4 위상 지연판(λ/4 phase retarder, 113)을 조합하여 형성되며, 이들 사이에는 제 1 접착층(112)이 형성되어 각 층을 접합한다. 그리고 편광판(110)은 제 2 접착층(114)에 의해 기판(101)에 부착된다. 유기발광소자(120)는 애노드 전극(121), 유기 발광층(122) 및 캐소드 전극(123)을 포함한다.1, a conventional organic light emitting display device includes a
외부에서 들어온 빛은 선편광판(111)를 거쳐 수평으로 선편광되며, 이후 λ/4 위상 지연판(113)을 거쳐 원편광된다. 상기 원편광된 외부광은 유기발광소자(120)에서도 특히 캐소드 전극(123)에서 대부분 반사되어 되돌아 나오다가, λ/4 위상 지연판(113)을 거쳐 수직으로 선편광된 후 다시 선편광판(111)을 거치면서 소멸된다.The light coming from the outside is linearly polarized through the
상기와 같이 편광판(110)을 이용하여 외광 반사를 최소화하게 되는 경우, 유기발광소자(120)에서 발광하는 빛의 45% 미만의 빛만을 투과하게 되어 휘도가 절반 이상 감소하게 된다. 이에 따라, 줄어든 휘도를 보상하기 위해서 더 많은 소비전력을 사용하게 되면 유기 발광부의 수명이 감소하게 된다.When reflection of external light is minimized by using the
또한, 편광판(110)은 고가이기 때문에, 반사 방지 기능만을 위해 편광판(110)을 적용하는 경우 가격 경쟁력이 떨어질 수 있는 단점이 있다.
In addition, since the polarizing
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 수명을 개선시키고 제조 비용을 감소시킬 수 있는 유기전계발광표시장치를 제공하는 것을 그 기술적 과제로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an organic light emitting display capable of improving the lifetime and reducing the manufacturing cost.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치는 기판; 상기 기판의 일 면에 형성되고, 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막; 상기 반사 방지막 상에 형성되고, 박막 트랜지스터 및 금속 배선을 포함하는 구동 소자부; 및 상기 박막 트랜지스터 및 상기 금속 배선에 대응되는 상기 반사 방지막 상에 형성된 보조 금속 배선을 포함하고, 상기 박막 트랜지스터는 게이트 전극, 게이트 절연막, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an organic light emitting display including: a substrate; An antireflection film formed on one surface of the substrate and including at least one metal layer and at least one insulating layer; A driving element formed on the antireflection film and including a thin film transistor and a metal wiring; And an auxiliary metal interconnection formed on the antireflection film corresponding to the thin film transistor and the metal interconnection, wherein the thin film transistor includes a gate electrode, a gate insulating film, a source electrode, and a drain electrode.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치 제조방법은, 기판의 일면에 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막을 형성하는 단계; 상기 반사 방지막 상에 금속을 증착하는 단계; 상기 증착된 금속을 패터닝하여 게이트 전극, 제 1 금속 배선 및 보조 금속 배선을 형성하는 단계; 및 상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막, 엑티브 층, 소스 전극,드레인 전극 및 제 2 금속 배선을 형성하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an organic light emitting display, including: forming an antireflection film including at least one metal layer and at least one insulating layer on one surface of a substrate; Depositing a metal on the anti-reflective coating; Patterning the deposited metal to form a gate electrode, a first metal line, and an auxiliary metal line; And forming a gate insulating film, an active layer, a source electrode, a drain electrode, and a second metal interconnection on the gate electrode.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은, 기판의 일 면에 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막을 형성하는 단계; 상기 반사 방지막 상에 게이트 전극, 제 1 금속 배선을 형성하는 단계; 상기 게이트 전극 및 제 1 금속 배선 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트 절연막을 패터닝하여 상기 반사 방지막을 노출시키는 단계; 상기 게이트 절연막 상에 엑티브 층을 형성하는 단계; 상기 노출된 반사 방지막 상에 제 2 금속 배선을 형성하는 단계; 및 상기 엑티브 층 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an organic light emitting display, including: forming an antireflection film including at least one metal layer and at least one insulating layer on one surface of a substrate; Forming a gate electrode and a first metal interconnection on the antireflection film; Forming a gate insulating film on the gate electrode and the first metal interconnection; Exposing the anti-reflection film by patterning the gate insulation film; Forming an active layer on the gate insulating layer; Forming a second metal interconnection on the exposed anti-reflection film; And forming a source electrode and a drain electrode on the active layer.
본 발명에 따르면, 유기전계발광표시장치에 금속층 및 절연층으로 이루어진 복층 구조의 반사 방지막을 적용하여 고가의 편광판을 대체함으로써, 생산비를 절감할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to reduce the production cost by replacing an expensive polarizing plate by applying an antireflection film having a multilayer structure composed of a metal layer and an insulating layer to an organic light emitting display.
또한, 본 발명에 따르면, 투과율이 낮음에도 불구하고 반사 방지를 위해 적용했던 편광판을 제거하여 패널의 투과율을 향상시켜 휘도를 높일 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, there is an effect that the polarizer applied for preventing reflection can be removed in spite of a low transmittance, and the transmittance of the panel can be improved to increase the brightness.
또한, 본 발명에 따르면, 고 투과율의 반사 방지막을 적용하여 소비전력을 감소시키고 수명을 개선시킬 수 있는 효과가 있다.
Further, according to the present invention, an antireflection film having a high transmittance can be applied to reduce power consumption and improve lifetime.
도 1은 일반적인 편광판을 적용한 유기전계발광표시장치의 반사 방지 구조를 도시한 단면도;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도; 및
도 5 내지 도 8은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 반사 방지막의 반사 방지 원리를 도시한 단면도.1 is a cross-sectional view illustrating an anti-reflection structure of an organic light emitting display device using a general polarizing plate;
2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention;
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention; FIG. And
5 to 8 are cross-sectional views illustrating the antireflection principle of an antireflection film according to various embodiments of the present invention.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 단면을 나타내는 도면이다.2 is a cross-sectional view of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는, 기판(210), 유기 발광부, 구동 소자부 및 반사 방지막(220), 반사 방지 필름(211) 및 마이크로 렌즈 필름(Micro Lens Film, 212)을 포함한다.2, an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a
먼저, 기판(210)은 유리, 투명 또는 불투명한 플렉시블 소재 등으로 형성될 수 있다. 투명한 플렉시블 소재는 폴리이미드(polyimide)를 비롯하여, 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide) 및 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate) 등이 있다.First, the
다음으로, 유기 발광부는 유기 발광층(270)이 애노드 전극(260) 및 캐소드 전극(280)과 접촉되어 있는 영역을 의미하며 이 곳에서 백색광이 방출된다. 발광된 빛은 유기 발광층(270) 하부에 형성된 컬러 리파이너(250)를 통과하면서 적색, 녹색 및 청색 중 하나로 색이 변환되어 기판(210) 외부로 방출된다.Next, the organic light emitting portion refers to a region where the organic
다음으로, 구동 소자부는 박막 트랜지스터(230), 금속 배선(240) 및 보조 금속 배선(235)을 포함한다. 도 2에서 박막 트랜지스터(230)는 편의상 한 개만 표현했으나, 일반적으로 유기전계발광표시장치에서 박막 트랜지스터는 한 개의 서브픽셀 안에 스위칭 트랜지스터 및 구동 트랜지스터를 포함하여 두 개 이상 형성된다.Next, the driving element portion includes the
박막 트랜지스터(230)는 게이트 전극(231), 게이트 절연막(237), 소스 및 드레인 전극(232, 233) 및 액티브층(234)를 포함한다. 금속 배선(240)은 편의상 형성된 층에 따라 제 1 및 제 2 금속 배선으로 구분될 수 있다. 구체적으로 반사 방지막(220) 상에 형성된 금속 배선(240)이 제 1 금속 배선으로, 게이트 절연막(237) 상에 형성된 금속 배선(240)이 제 2 금속 배선으로 구분될 수 있다.The
또한, 금속 배선(240)은 구동 소자 내부에 형성된 보상회로(미도시), 게이트 라인(241), 데이터 라인(242) 및 전원전압 라인(243)을 포함한다. 보상회로는 상기 스위칭 트랜지스터 및 구동 트랜지스터를 연결하거나 애노드 전극(260) 및 캐소드 전극(280)을 연결하는 배선 및 회로 소자를 포함하며, 도시하기 복잡하고 여러 가지 형상으로 설계될 수 있어, 편의상 도면에서의 도시를 생략하기로 한다. 한편, 보상회로도 금속 배선(240)과 마찬가지로 편의상, 반사 방지막(220) 상에 형성된 제 1 보상회로 라인 및 게이트 절연막(237) 상에 형성된 제 2 보상회로 라인으로 구분될 수 있다. The
보조 금속 배선(235)은 박막 트랜지스터(230)의 소스 전극(232) 또는 드레인 전극(233)과 같이 적어도 하나의 절연막 상에 형성되는 금속 배선(240)과 대응되는 영역에 형성되어, 반사 방지막(220) 상에서 바로 외광을 반사하는 역할을 한다. 상기 설명대로 적어도 하나의 절연막 상에 형성되는 금속 배선(240)은 제 2 금속 배선일 수 있다.The
다음으로, 반사 방지막(220)은 기판(210) 상에 형성되어 외부로부터 들어오는 빛의 반사를 최소화시킨다. 반사 방지막(220)은 기판(210) 전체에 형성될 수 있다. 기판(210) 전체에 반사 방지막(220)을 형성했을 경우, 유기 발광부 영역에서는 반사 방지막(220)이 유기 발광층(270)에서 발광된 빛을 흡수하여 휘도가 낮아지는 원인이 될 수 있지만, 포토리소그라피 공정을 제거할 수 있어서 공정을 단순화 할 수 있다. 더 자세한 반사 방지막(220)의 구조 및 반사 방지 원리는 도 5에서 설명하기로 한다.Next, the
다음으로, 반사 방지 필름(211)은 반사 방지막(220)이 형성되지 않은 기판(210)의 타면에 형성된다. 외광이 패널 내부로 들어올 때 기판(210)에서도 반사가 일어나기 때문에, 반사 방지필름(211)은 기판(210)의 외광 반사를 방지하는 기능을 한다. 반사 방지 필름(211)은 필름 형태로 제작되어, 기판(210) 상에 붙여지거나, 기판(210)에서 반사 방지막(220)이 형성되지 않은 표면에 증착 등의 공정을 통해 형성될 수 있으며, 상기 설명에 제한되지 않는다.Next, the
다음으로, 마이크로 렌즈 필름(212)은 기판(210) 상에 혹은, 반사 방지 필름(211) 상에 형성될 수 있다. 도면에는 반사 방지 필름(211) 상에 형성되는 것으로 도시되어 있으나 이제 제한되지 않고 기판(210)의 일면 또는 타면에 형성될 수 있다. 마이크로 렌즈 필름(212)을 적용하면 유기 발광층(270)에서 발광한 빛이 전반사에 의해 내부에 갇혀서 소멸되지 않고, 보다 많이 출광되어 휘도 향상에 도움이 된다. 마이크로 렌즈 필름(212)은 필름 형태로 제작되어 기판(210)에 접착되거나 스퍼터링, 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition)을 포함한 공정 중 하나로 증착되어 기판(210) 전체에 형성될 수 있다.Next, the
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는 기판(210) 상의 구동 소자부 영역에 형성된 반사 방지막(220)을 포함한다. 유기 발광부 영역에는 반사 방지막(220)을 형성하지 않음으로써, 유기 발광부에서 발광하는 빛이 반사 방지막(220)의 금속층(221)에서 흡수되는 것을 방지하여 투과율 및 휘도를 향상시킬 수 있다.As shown in FIG. 3, the organic light emitting display according to another embodiment of the present invention includes an
반사 방지막(220)을 유기 발광부를 제외한 구동 소자부 영역에 형성하기 위해서는 컬러 리파이너(250)층을 형성하기 위한 마스크, 또는 뱅크층(261)을 형성하기 위한 마스크와 동일한 마스크를 사용하여 형성할 수 있다. 따라서, 별도의 마스크를 구비하지 않고 반사 방지막(220)을 형성할 수 있어 생산비용이 크게 증가하지 않으면서, 반사 방지막(220)을 형성할 수 있는 이점이 있다.In order to form the
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반사 방지막(220)은 구동 소자부의 박막 트랜지스터(230) 및 금속 배선(240) 영역에 대응되는 기판(210)의 일면에 형성된다. 금속 배선(240)은 구동 소자 내부에 형성된 보상회로, 게이트 라인(241), 데이터 라인(242) 및 전원전압 라인(243)을 포함한다.4, the
상기 보상회로는 박막 트랜지스터(230) 및 금속 배선을 서로 연결하는 배선과 스토리지 전극(Storage Electrode) 등을 포함한다. 이러한 보상회로는 유기전계발광표시장치의 구동 방식에 따라 다양하게 설계될 수 있기 때문에 도시를 생략하기로 한다.The compensation circuit includes a thin film transistor (TFT) 230, a wiring for connecting the metal wiring to each other, a storage electrode, and the like. Such a compensation circuit can be variously designed according to the driving method of the organic light emitting display, so that the illustration thereof will be omitted.
여기서, 방사 방지막(220)은 마스크 추가 없이 기존에 사용하던 두 개의 마스크를 사용하여, 여러 번의 노광 공정을 통해 형성하거나 새로운 마스크를 추가하여 단일 노광 공정을 거처 형성할 수 있다. 새로운 마스크를 추가하면 공정이 단순해지는 효과가 있고, 기존의 마스크를 사용하면 제조비용이 절감되는 효과가 있다.Here, the spin-on
기존의 마스크를 사용하는 제조방법을 설명하면, 우선 기판(210)의 제 1 면에 반사 방지막(220) 형성 물질을 도포한 후, 게이트 라인(241) 및 게이트 전극(231) 형성 시 사용하는 마스크와 소스 및 드레인 전극(232, 233) 형성 시 사용하는 마스크를 차례로 사용하여 노광한다. 그 다음, 현상 공정 이후 식각하면 도 5에 보이는 영역에만 반사 방지막(220)이 형성된다. 게이트 라인(241)은 게이트 전극(231)을 형성할 때 같이 형성되며, 데이터 라인(242) 및 전원전압 라인(243)은 소스 및 드레인 전극(232, 233)을 형성할 때 같이 형성되기 때문에, 두 개의 마스크로 반사 방지막(220)을 박막 트랜지스터(230) 및 금속 배선(240) 영역과 대응되는 영역에 형성할 수 있다.The
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 방지막(220) 및 반사 방지 원리를 도시한 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating an
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 방지막(220)은 적어도 하나의 금속층(221) 및 적어도 하나의 절연층(222)을 포함한다. 반사 방지막(220)은 기판(210)의 일면에 금속층(221) 및 절연층(222)이 순차적으로 적층되어 형성되며, 기판(210)과 금속층(221)의 접착성 향상을 위해 금속층(221)과 기판(210) 사이에 추가 절연층(미도시)이 더 형성될 수 있다.5, the
본 발명의 반사 방지막(220)이 외광의 반사를 방지하는 과정은 크게 두가지로 나뉜다. 하나는 금속층(221)의 외광 흡수 과정과 다른 하나는 금속층(221)과 구동 소자부에 형성된 금속 배선 중 하나인 게이트 라인(241)에서 각각 반사된 제 1 및 제 2 반사광(R1, R2)의 상쇄간섭에 의한 외광의 소멸 과정이다. 도 5에는 게이트 라인(241)만 도시되어 있으나, 게이트 라인(241)와 동일층에 형성되는 금속 배선은 모두 도 5에 도시된 바와 동일한 원리로 외광의 반사가 방지될 수 있다. 게이트 라인(241)과 동일층에 형성되는 금속 배선은 제 1 금속 배선으로 구분될 수 있다. 또한, 금속 배선은 아니지만 박막 트랜지스터(230)의 게이트 전극(231)도 게이트 라인(241)와 동일층에 형성되며, 도 5에 도시된 바와 같이 외광의 반사가 방지될 수 있다.The process of preventing the reflection of external light by the
상기 외광의 반사를 방지하는 과정의 원리를 자세히 설명하면, 일단 기판(210)을 통해 입사한 외광이 금속층(221)을 만나면 일부가 제 1 반사광(R1)으로 반사되고, 일부는 금속층(221)에 흡수되며, 나머지는 투과하게 된다. 투과한 빛 중 일부가 다시 절연층(222)을 통과하여, 게이트 라인(241)에서 제 2 반사광(R2)으로 반사된다. 이때, 제 1 및 제 2 반사광(R1, R2)의 위상이 도시된 바와 같이 서로 반대 위상을 갖게 되면, 제 1 및 제 2 반사광(R1, R2)이 서로 상쇄간섭을 일으켜 소멸된다.A part of the external light incident through the
상기와 같은 상쇄간섭이 일어나게 하기 위해 금속층(221)은 금속 중에서도 특히, 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo) 및 크롬(Cr)을 포함한 그룹 중 어느 하나로 형성되며, 대략 50Å ~ 200Å의 두께로 형성된다. 절연층(222)은 투명한 무기물 중에서도 특히, 산화규소(SiOx), 질화규소(SiNx), 실리콘 산화 질화막(SiON) 및 산화알루미늄(AlOx) 중 어느 하나로 형성되며, 대략 500Å ~ 3000Å의 두께로 형성된다.In order to cause the destructive interference as described above, the
도 6은 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 반사 방지막(220) 및 반사 방지 원리를 도시한 단면도이다.6 is a cross-sectional view illustrating an
도 6에 도시된 바와 같이, 금속 배선과 절연층(222) 사이에 절연막인 게이트 절연막(237)이 개재되어 있다. 도 6에서는 금속 배선으로 데이터 라인(242)이 도시되어 있으나 이에 한정되지 않고, 데이터 라인(242)과 동일층에 형성되는 금속 배선은 모두 해당될 수 있으며, 게이트 라인(241)을 포함하는 제 1 금속 배선과 구분되는 제 2 금속 배선으로 정의될 수 있다. 또한, 절연막으로 게이트 절연막(237)이 도시되어 있으나 이에 한정되지 않는다. 절연막의 경우 금속 배선과 절연층(222) 사이에 다른 절연막이 개재되거나 복수의 절연막이 개재될 수도 있다. 상기와 같은 다양한 경우 중 게이트 절연막(237)이 금속 배선과 절연층(222) 사이에 개재된 경우에 효과적으로 외부광의 반사를 방지할 수 있는 원리를 설명하고자 한다.As shown in FIG. 6, a
도 5에서 설명한 원리로 상쇄간섭을 발생시키기 위해서는 금속층(221) 및 절연층(222) 순서로 형성된 반사 방지막(220)의 절연층(222) 상에 광을 투과하지 않는 금속이 형성되어야 한다. 이 때, 금속층(221)에서 반사된 제 1 반사광(R1)과 절연층(222) 상에 형성된 데이터 라인(242)에서 반사된 제 2 반사광(R2)의 마루와 골이 중첩되어 상쇄간섭을 일으킬 수 있다.5, a metal that does not transmit light should be formed on the insulating
이에 따라, 데이터 라인(242)에 대응되는 영역에 보조 금속 배선(235)이 절연층(222) 상에 형성된다. 보조 금속 배선(235)는 게이트 전극과 동일한 물질로 동시에 형성될 수 있다. 상기와 같이 보조 금속 배선(235)이 절연층(222) 상에 형성됨으로써, 금속막(221)을 투과한 외부광이 데이터 라인(242)이 형성된 영역까지 투과하지 못하고 보조 금속 배선(235)에 막혀 반사된 후 제 2 반사광(R2)이 되어 다시 외부로 출사된다. 이때, 제 2 반사광(R2)이 외부로 출사되는 도중 금속막(221)에서 반사된 제 1 반사광(R1)과 상쇄간섭되어 외부광의 반사를 방지하게 된다.Thus, an
만약, 금속막(221)을 투과한 외부광이 게이트 절연막(237)을 지난 후 데이터 라인(245)에서 반사되면 게이트 절연막(237)의 두께만큼 외부광이 더 진행하다가 반사된다. 따라서 데이터 라인(242) 에서 반사된 제 2 반사광(R2)과 금속막(221)에서 반사된 제 1 반사광(R1)의 마루와 골이 완전히 중첩되지 않아 상쇄간섭으로 인한 광파의 소멸 현상이 일어나지 않게 되며, 이에 따라 외부광의 반사를 방지하지 못하게 된다.If the external light transmitted through the
도 7은 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 반사 방지막(220) 및 반사 방지 원리를 도시한 단면도이다.7 is a cross-sectional view illustrating an
도 7에 도시된 바와 같이, 금속 배선과 절연층(222) 사이에 절연막인 게이트 절연막(237)이 개재되어 있다.As shown in FIG. 7, a
도면에는, 금속 배선으로 전원전압 라인(243)이 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않고, 적어도 하나의 절연막 상에 형성된 금속 배선이면 모두 다 해당될 수 있으며, 도 6에서의 설명과 같이 제 2 금속 배선으로 구분될 수 있다. 일 예로, 전원전압 라인(243)과 동일층에 형성되는 데이터 라인도 해당될 수 있다. 금속 배선(240)과 절연층 사이에 개재된 절연막은 게이트 절연막(237)에 한정되지 않고 다양한 절연막 및 유기막이 될 수 있다.In the figure, the power
도 7에서는 도 6에서와 다르게 절연층(222) 상에 별도의 보조 금속 배선을 형성하지 않고 전원전압 라인(243)이 절연층(222) 상에 형성된다. 전원전압 라인(246)이 절연층(222)에 직접 접하도록 하기 위해 전원전압 라인(243)이 형성되는 영역의 게이트 절연막(237)이 식각되어 컨택 패턴(247)이 형성되고, 전원전압 라인(246)이 컨택 패턴(247) 내부에 형성되어 절연층(222)과 직접 접하게 된다. 따라서 전원전압 라인(243)에서 반사된 제 2 반사광(R2)이 금속막(221)에서 반사된 제 1 반사광(R1)과 상쇄간섭을 일으켜 소멸된다.7, a power
이때, 게이트 라인과 교차되는 영역의 게이트 절연막(237)은 식각되지 않아야 한다. 게이트 라인과 교차되는 영역의 게이트 절연막(237)이 식각되면, 게이트 라인과 데이터 라인 또는 전원전압 라인(243)이 직접 접촉하여 단락되기 때문에 구동에 문제가 발생할 수 있다. 따라서 화소 내의 다른 회로배선과 절연되는 범위에서 게이트 절연막(237)이 식각되는 것이 바람직하다.At this time, the
도 8은 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 반사 방지막(220) 및 반사 방지 원리를 도시한 단면도이다.8 is a cross-sectional view illustrating an
도 8은 특히, 박막 트랜지스터(230)의 소스 전극(232) 및 드레인 전극(233)의 외광 반사를 방지할 수 있는 반사 방지막(220) 및 그 주변을 도시한 단면도이다.8 is a cross-sectional view showing an
도 8에 도시된 바와 같이, 게이트 전극(231)을 사이에 두고 소스 전극(232) 및 드레인 전극(233)에 대응되는 영역에 보조 금속 배선(235)이 절연층(222) 상에 형성된다. 상기와 같이 보조 금속 배선(235)이 절연층(222) 상에 형성됨으로써, 금속막(221)을 투과한 외부광이 소스 전극(232) 및 드레인 전극(233)이 형성된 영역까지 투과하지 못하고 보조 금속 배선(235)에 막혀 반사된 후 제 2 반사광(R2)이 되어 다시 외부로 출사된다. 이때, 마찬가지로 제 2 반사광(R2)이 외부로 출사되는 도중 금속막(221)에서 반사된 제 1 반사광(R1)과 상쇄간섭되어 외부광의 반사를 방지하게 된다.An
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.
그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.
210: 기판 211: 반사 방지 필름
212: 마이크로 렌즈 필름 220: 반사 방지막
230: 박막 트랜지스터 231: 게이트 전극
232: 소스 전극 233: 드레인 전극
240: 금속 배선 241: 게이트 라인
242: 데이터 라인 243: 전원전압 라인
250: 컬러 리파이너 260: 애노드 전극
261: 뱅크층 270: 유기 발광층
280: 캐소드 전극210: substrate 211: antireflection film
212: micro lens film 220: antireflection film
230: Thin film transistor 231: Gate electrode
232: source electrode 233: drain electrode
240: metal wiring 241: gate line
242: Data line 243: Power supply voltage line
250: Color Refiner 260: Anode electrode
261: bank layer 270: organic light emitting layer
280: cathode electrode
Claims (23)
상기 기판의 일 면에 형성되고, 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 절연층을 포함하는 반사 방지막;
상기 반사 방지막 상에 형성되고, 게이트 전극, 게이트 절연막, 엑티브 층, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터 및 금속 배선을 포함하는 구동 소자부; 및
상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에 형성된 제 1 보조 금속 배선을 포함하는 유기전계발광표시장치.
Board;
An antireflection film formed on one surface of the substrate and including at least one metal layer and at least one insulating layer;
A driving element formed on the antireflection film and including a thin film transistor and a metal wiring including a gate electrode, a gate insulating film, an active layer, a source electrode, and a drain electrode; And
And a first auxiliary metal interconnection formed between the antireflection film under the source electrode and the drain electrode and the gate insulating film.
상기 제 1 보조 금속 배선은 상기 게이트 전극과 동일층 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the first auxiliary metal interconnection is formed on the same layer as the gate electrode.
상기 금속 배선은 게이트 라인을 포함하고, 상기 게이트 라인은 상기 보조 금속 배선 및 상기 게이트 전극과 동일한 물질인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the metal interconnection includes a gate line, and the gate line is the same material as the auxiliary metal interconnection and the gate electrode.
상기 금속 배선은 데이터 라인을 포함하고, 상기 데이터 라인은 상기 게이트 절연막이 식각되어 노출된 상기 반사 방지막 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the metal wiring includes a data line, and the data line is formed on the exposed antireflection film by etching the gate insulation film.
상기 반사 방지막은 상기 구동 소자부와 대응되는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
And the anti-reflection film is formed in a region corresponding to the driving element portion.
상기 반사 방지막은 상기 박막 트랜지스터 및 상기 금속 배선과 대응되는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the antireflection film is formed in a region corresponding to the thin film transistor and the metal interconnection.
상기 금속층은 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo) 및 크롬(Cr) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the metal layer comprises one of titanium (Ti), molybdenum (Mo), and chromium (Cr).
상기 절연층은 산화규소(SiOx), 질화규소(SiNx), 실리콘 산화 질화막(SiON) 및 산화알루미늄(AlOx) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the insulating layer comprises any one of silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), and aluminum oxide (AlOx).
상기 기판의 타 면에 반사 방지필름 및 마이크로 렌즈필름 중 적어도 하나의 필름이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein at least one of an anti-reflection film and a micro-lens film is further formed on the other surface of the substrate.
상기 반사 방지막 상에 금속을 증착하는 단계;
상기 증착된 금속을 패터닝하여 게이트 전극, 제 1 금속 배선 및 제 1 보조 금속 배선을 형성하는 단계; 및
상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막, 엑티브 층, 소스 전극,드레인 전극 및 제 2 금속 배선을 형성하는 단계
를 포함하고,
상기 제 1 보조 금속 배선은, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에 형성되는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
Forming an antireflection film including at least one metal layer and at least one insulating layer on one surface of a substrate;
Depositing a metal on the anti-reflective coating;
Forming a gate electrode, a first metal interconnection, and a first auxiliary metal interconnection by patterning the deposited metal; And
Forming a gate insulating film, an active layer, a source electrode, a drain electrode, and a second metal interconnection on the gate electrode;
Lt; / RTI >
Wherein the first auxiliary metal interconnection is formed between the antireflection film under the source electrode and the drain electrode and the gate insulating film.
상기 제 1 금속 배선은 게이트 라인 및 제 1 보상회로 라인을 포함하고, 상기 제 1 금속 배선은 상기 게이트 전극 및 상기 제 1 보조 금속 배선과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the first metal interconnection includes a gate line and a first compensation circuit line, and the first metal interconnection is formed simultaneously with the gate electrode and the first auxiliary metal interconnection. ≪ / RTI >
상기 제 2 금속 배선은 데이터 라인, 전원전압 라인 및 제 2 보상회로 라인을 포함하고, 상기 제 2 금속 배선은 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the second metal interconnection includes a data line, a power supply voltage line, and a second compensation circuit line, and the second metal interconnection is formed simultaneously with the source electrode and the drain electrode. ≪ / RTI >
상기 반사 방지막을 상기 게이트 전극, 상기 소스 전극, 상기 드레인 전극,상기 제 1 금속 배선 및 상기 제 2 금속 배선과 대응되는 영역에 형성하는 것을 특징으로 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the antireflection film is formed in a region corresponding to the gate electrode, the source electrode, the drain electrode, the first metal interconnection, and the second metal interconnection.
상기 기판의 타 면에 반사 방지필름 및 마이크로 렌즈필름 중 적어도 하나의 필름을 형성하는 단계를 더 포함하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
And forming at least one film of an anti-reflection film and a micro-lens film on the other surface of the substrate.
상기 반사 방지막 상에 게이트 전극, 제 1 금속 배선 및 제 1 보조 금속 배선을 형성하는 단계;
상기 게이트 전극, 상기 제 1 금속 배선 및 상기 제 1 보조 금속 배선 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;
상기 게이트 절연막 상에 엑티브 층을 형성하는 단계; 및
상기 엑티브 층 상에 소스 전극, 드레인 전극 및 제 2 금속 배선을 형성하는 단계
를 포함하고,
상기 제 1 보조 금속 배선은, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에 형성되는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
Forming an antireflection film including at least one metal layer and at least one insulating layer on one side of a substrate;
Forming a gate electrode, a first metal interconnection, and a first auxiliary metal interconnection on the antireflection film;
Forming a gate insulating film on the gate electrode, the first metal interconnection, and the first auxiliary metal interconnection;
Forming an active layer on the gate insulating layer; And
Forming a source electrode, a drain electrode, and a second metal interconnection on the active layer
Lt; / RTI >
Wherein the first auxiliary metal interconnection is formed between the antireflection film under the source electrode and the drain electrode and the gate insulating film.
상기 제 1 금속 배선은 게이트 라인을 포함하고, 상기 게이트 라인은 상기 제 1 보조 금속 배선 및 상기 게이트 전극과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the first metal interconnection includes a gate line, and the gate line is formed simultaneously with the first auxiliary metal interconnection and the gate electrode.
상기 제 2 금속 배선은 데이터 라인을 포함하고, 상기 데이터 라인은 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the second metal interconnection includes a data line, and the data line is formed simultaneously with the source electrode and the drain electrode.
상기 제 2 금속 배선은 전원전압 라인을 포함하고, 상기 전원전압 라인은 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.16. The method of claim 15,
Wherein the second metal interconnection includes a power source voltage line and the power source voltage line is formed simultaneously with the source electrode and the drain electrode.
상기 금속 배선은 데이터 라인을 포함하고, 상기 데이터 라인 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에는 제 2 보조 금속 배선이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method of claim 1,
Wherein the metal interconnection includes a data line, and a second auxiliary metal interconnection is formed between the antireflection film under the data line and the gate insulating film.
상기 제 2 금속 배선은 상기 게이트 절연막이 식각되어 노출된 상기 반사 방지막 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the second metal interconnection is formed on the antireflection film exposed by etching the gate insulating film.
상기 제 2 금속 배선 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에는 제 2 보조 금속 배선이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
11. The method of claim 10,
And a second auxiliary metal interconnection is formed between the antireflection film under the second metal interconnection and the gate insulating film.
상기 게이트 절연막을 패터닝하여 상기 반사 방지막을 노출시키는 단계를 더 포함하고,
상기 제 2 금속 배선은 노출된 상기 반사 방지막 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
16. The method of claim 15,
And exposing the anti-reflection film by patterning the gate insulation film,
Wherein the second metal interconnection is formed on the exposed anti-reflection film.
상기 제 2 금속 배선 하부의 상기 반사 방지막과 상기 게이트 절연막 사이에는 제 2 보조 금속 배선이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.16. The method of claim 15,
And a second auxiliary metal interconnection is formed between the antireflection film under the second metal interconnection and the gate insulating film.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/717,873 US9000665B2 (en) | 2012-03-20 | 2012-12-18 | Organic light emitting diode display device and method of manufacturing the same |
CN201210599016.XA CN103325811B (en) | 2012-03-20 | 2012-12-28 | Organic LED display device and manufacture method thereof |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120028179 | 2012-03-20 | ||
KR20120028179 | 2012-03-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130106754A KR20130106754A (en) | 2013-09-30 |
KR101429942B1 true KR101429942B1 (en) | 2014-08-14 |
Family
ID=49454535
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020120100222A KR101429942B1 (en) | 2012-03-20 | 2012-09-11 | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101429942B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11545650B2 (en) | 2020-03-11 | 2023-01-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102086805B1 (en) * | 2013-11-19 | 2020-03-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Display Device |
KR102265751B1 (en) * | 2014-08-22 | 2021-06-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display apparatus |
KR102224029B1 (en) * | 2014-08-22 | 2021-03-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display panel and display device |
KR102332108B1 (en) * | 2014-09-05 | 2021-11-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method of manufacturing the same |
KR20180047331A (en) | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device |
CN112687722B (en) * | 2020-12-24 | 2024-03-05 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Display backboard, preparation method thereof and display panel |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030050273A (en) * | 2001-12-18 | 2003-06-25 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Array substrate of transflective liquid crystal display device and the fabrication method |
KR20030095430A (en) * | 2002-06-10 | 2003-12-24 | 삼성전자주식회사 | A method of forming a metal pattern and a method of fabricating TFT array panel by using the same |
JP2006012726A (en) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Bridgestone Corp | Organic electroluminescent panel |
KR20100137272A (en) * | 2009-06-22 | 2010-12-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method for fabricating the same |
-
2012
- 2012-09-11 KR KR1020120100222A patent/KR101429942B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030050273A (en) * | 2001-12-18 | 2003-06-25 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Array substrate of transflective liquid crystal display device and the fabrication method |
KR20030095430A (en) * | 2002-06-10 | 2003-12-24 | 삼성전자주식회사 | A method of forming a metal pattern and a method of fabricating TFT array panel by using the same |
JP2006012726A (en) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Bridgestone Corp | Organic electroluminescent panel |
KR20100137272A (en) * | 2009-06-22 | 2010-12-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method for fabricating the same |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11545650B2 (en) | 2020-03-11 | 2023-01-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130106754A (en) | 2013-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9000665B2 (en) | Organic light emitting diode display device and method of manufacturing the same | |
US9859355B2 (en) | Organic lighting emitting display device including light absorbing layer and method for manufacturing same | |
KR101480928B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Display Device | |
CN108122954B (en) | Organic light emitting display device and method for manufacturing organic light emitting display device | |
KR101429942B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same | |
US8421341B2 (en) | Organic electroluminescent device | |
US9436053B2 (en) | Display unit and electronic apparatus | |
CN106328674B (en) | Organic EL device, method for manufacturing organic EL device, and electronic apparatus | |
US20180122868A1 (en) | Organic light emitting display device | |
KR102659854B1 (en) | Organic light emitting display device and method of manufacturing the same | |
US9324972B2 (en) | Organic light emitting display device | |
US9899622B2 (en) | Organic light emitting diode display device including antireflection line | |
JP2012038677A (en) | Organic el device, manufacturing method of organic el device, and electronic apparatus | |
US8698152B2 (en) | Display panel and thin film transistor substrate | |
JP4637831B2 (en) | ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE ELEMENT, ITS MANUFACTURING METHOD, AND DISPLAY DEVICE | |
KR20180009827A (en) | Display appartus | |
KR20100063292A (en) | Top emission type organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
CN111326671B (en) | Display device | |
KR20200058154A (en) | Electro-luminescence display apparatus | |
KR101957145B1 (en) | Organic Light Emitting diode display and method of manufacturing the same | |
KR20170071019A (en) | Organic light emitting diodes display panel | |
KR20140060642A (en) | Organic light emitting device | |
KR102047746B1 (en) | Organic electro-luminescent device and methode of fabricating the same | |
JP5117553B2 (en) | Manufacturing method of display device | |
KR102648979B1 (en) | Display apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170713 Year of fee payment: 4 |