KR101427883B1 - Surface-modified abrasive particle, method for preparing the same and slurry composition having the same - Google Patents
Surface-modified abrasive particle, method for preparing the same and slurry composition having the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR101427883B1 KR101427883B1 KR1020130014390A KR20130014390A KR101427883B1 KR 101427883 B1 KR101427883 B1 KR 101427883B1 KR 1020130014390 A KR1020130014390 A KR 1020130014390A KR 20130014390 A KR20130014390 A KR 20130014390A KR 101427883 B1 KR101427883 B1 KR 101427883B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- group
- slurry composition
- soluble polymer
- water
- coupling agent
- Prior art date
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 83
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 239000002002 slurry Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 36
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 56
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 51
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 51
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 50
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims abstract description 22
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 50
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 50
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 39
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 claims description 39
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 claims description 34
- 239000003607 modifier Substances 0.000 claims description 30
- -1 carboxyl-amino group Chemical group 0.000 claims description 24
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 235000001014 amino acid Nutrition 0.000 claims description 17
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 17
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 claims description 16
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims description 15
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims description 14
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 claims description 12
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 10
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 9
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 9
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 claims description 8
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 claims description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 8
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium dioxide Chemical compound O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229920000729 poly(L-lysine) polymer Polymers 0.000 claims description 8
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 claims description 8
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims description 7
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims description 7
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 2h-tetrazol-5-amine Chemical compound NC1=NN=NN1 ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- JXLHNMVSKXFWAO-UHFFFAOYSA-N azane;7-fluoro-2,1,3-benzoxadiazole-4-sulfonic acid Chemical compound N.OS(=O)(=O)C1=CC=C(F)C2=NON=C12 JXLHNMVSKXFWAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 claims description 6
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 6
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 6
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 claims description 5
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 claims description 5
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 5
- DPBJAVGHACCNRL-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)ethyl prop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCOC(=O)C=C DPBJAVGHACCNRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000004475 Arginine Substances 0.000 claims description 4
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- MSWZFWKMSRAUBD-QZABAPFNSA-N beta-D-glucosamine Chemical class N[C@H]1[C@H](O)O[C@H](CO)[C@@H](O)[C@@H]1O MSWZFWKMSRAUBD-QZABAPFNSA-N 0.000 claims description 4
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 4
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 4
- WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N pimelic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCC(O)=O WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920000724 poly(L-arginine) polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 229920000371 poly(diallyldimethylammonium chloride) polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 claims description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 4
- OKFSBQOGHYYGRZ-UHFFFAOYSA-N 4-hexyl-2h-benzotriazole Chemical compound CCCCCCC1=CC=CC2=C1N=NN2 OKFSBQOGHYYGRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 4H-1,2,4-triazole Chemical compound C=1N=CNN=1 NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- FJRZOOICEHBAED-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-1h-1,2,4-triazol-3-amine Chemical compound CC1=NNC(N)=N1 FJRZOOICEHBAED-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 claims description 3
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004343 Calcium peroxide Substances 0.000 claims description 3
- 229920002319 Poly(methyl acrylate) Polymers 0.000 claims description 3
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 claims description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims description 3
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 claims description 3
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000012935 ammoniumperoxodisulfate Substances 0.000 claims description 3
- ZJRXSAYFZMGQFP-UHFFFAOYSA-N barium peroxide Chemical compound [Ba+2].[O-][O-] ZJRXSAYFZMGQFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 claims description 3
- LHJQIRIGXXHNLA-UHFFFAOYSA-N calcium peroxide Chemical compound [Ca+2].[O-][O-] LHJQIRIGXXHNLA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 235000019402 calcium peroxide Nutrition 0.000 claims description 3
- IQDGSYLLQPDQDV-UHFFFAOYSA-N dimethylazanium;chloride Chemical compound Cl.CNC IQDGSYLLQPDQDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 claims description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims description 3
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PFUVRDFDKPNGAV-UHFFFAOYSA-N sodium peroxide Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][O-] PFUVRDFDKPNGAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 claims description 3
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims description 3
- RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 1-methylsulfonylpiperidin-4-one Chemical compound CS(=O)(=O)N1CCC(=O)CC1 RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- LRUDIIUSNGCQKF-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-1H-benzotriazole Chemical compound C1=C(C)C=CC2=NNN=C21 LRUDIIUSNGCQKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XUJNEKJLAYXESH-REOHCLBHSA-N L-Cysteine Chemical compound SC[C@H](N)C(O)=O XUJNEKJLAYXESH-REOHCLBHSA-N 0.000 claims description 2
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 claims description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Natural products C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N anhydrous glutaric acid Natural products OC(=O)CCCC(O)=O JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000018417 cysteine Nutrition 0.000 claims description 2
- XUJNEKJLAYXESH-UHFFFAOYSA-N cysteine Natural products SCC(N)C(O)=O XUJNEKJLAYXESH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims description 2
- LJXQPZWIHJMPQQ-UHFFFAOYSA-N pyrimidin-2-amine Chemical compound NC1=NC=CC=N1 LJXQPZWIHJMPQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 63
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 7
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 abstract 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 17
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 17
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 15
- 229940024606 amino acid Drugs 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 3
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilane Chemical compound CO[SiH](OC)OC YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KSCAZPYHLGGNPZ-UHFFFAOYSA-N 3-chloropropyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCCl KSCAZPYHLGGNPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOC(=O)C(C)=C URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVJKKWFAADXIJK-UHFFFAOYSA-N Allylamine Chemical compound NCC=C VVJKKWFAADXIJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N Glycine Chemical compound NCC(O)=O DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 2
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N ethyl(trimethoxy)silane Chemical compound CC[Si](OC)(OC)OC SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 2
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 2
- ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(phenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MTCFGRXMJLQNBG-REOHCLBHSA-N (2S)-2-Amino-3-hydroxypropansäure Chemical compound OC[C@H](N)C(O)=O MTCFGRXMJLQNBG-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFILDYMJSTXBAR-UHFFFAOYSA-N (4-chlorophenyl)-triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C1=CC=C(Cl)C=C1 AFILDYMJSTXBAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DZSVIVLGBJKQAP-UHFFFAOYSA-N 1-(2-methyl-5-propan-2-ylcyclohex-2-en-1-yl)propan-1-one Chemical compound CCC(=O)C1CC(C(C)C)CC=C1C DZSVIVLGBJKQAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSSNTDFYBPYIEC-UHFFFAOYSA-N 1-ethenylimidazole Chemical compound C=CN1C=CN=C1 OSSNTDFYBPYIEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylbenzenesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKOZPUORKCHONH-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropane-1-sulfonic acid Chemical compound CC(C)CS(O)(=O)=O FKOZPUORKCHONH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOYKFSOCSXVQAN-UHFFFAOYSA-N 3-[diethoxy(methyl)silyl]propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCOC(=O)C(C)=C DOYKFSOCSXVQAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZMNXXQIQIHFGC-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C LZMNXXQIQIHFGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BBMCJNPOAXOEKR-UHFFFAOYSA-N 3-bicyclo[2.2.1]hept-2-enyl(trichloro)silane Chemical compound C1CC2C([Si](Cl)(Cl)Cl)=CC1C2 BBMCJNPOAXOEKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUNGBOQAZQUJMZ-UHFFFAOYSA-N 3-bromopropyl(trichloro)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)CCCBr UUNGBOQAZQUJMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXYZDRAJMHGSMW-UHFFFAOYSA-N 3-chloropropyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCCl OXYZDRAJMHGSMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OLBGECWYBGXCNV-UHFFFAOYSA-N 3-trichlorosilylpropanenitrile Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)CCC#N OLBGECWYBGXCNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVUMYOWDFZAGPN-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropanenitrile Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCC#N KVUMYOWDFZAGPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATIPSPPGPYJOOP-UHFFFAOYSA-N 4-bicyclo[2.2.1]hept-2-enyl(trichloro)silane Chemical compound C1CC2C=CC1([Si](Cl)(Cl)Cl)C2 ATIPSPPGPYJOOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NMWDYCNYWCIATE-UHFFFAOYSA-N 4-nitro-n-(3-triethoxysilylpropyl)benzamide Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCNC(=O)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 NMWDYCNYWCIATE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HHKDWDAAEFGBAC-UHFFFAOYSA-N 5-bicyclo[2.2.1]hept-2-enyl(triethoxy)silane Chemical compound C1C2C([Si](OCC)(OCC)OCC)CC1C=C2 HHKDWDAAEFGBAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- DCXYFEDJOCDNAF-UHFFFAOYSA-N Asparagine Natural products OC(=O)C(N)CC(N)=O DCXYFEDJOCDNAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004471 Glycine Substances 0.000 description 1
- ODKSFYDXXFIFQN-BYPYZUCNSA-P L-argininium(2+) Chemical compound NC(=[NH2+])NCCC[C@H]([NH3+])C(O)=O ODKSFYDXXFIFQN-BYPYZUCNSA-P 0.000 description 1
- DCXYFEDJOCDNAF-REOHCLBHSA-N L-asparagine Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CC(N)=O DCXYFEDJOCDNAF-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- ZDXPYRJPNDTMRX-VKHMYHEASA-N L-glutamine Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CCC(N)=O ZDXPYRJPNDTMRX-VKHMYHEASA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MTCFGRXMJLQNBG-UHFFFAOYSA-N Serine Natural products OCC(N)C(O)=O MTCFGRXMJLQNBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910008051 Si-OH Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006358 Si—OH Inorganic materials 0.000 description 1
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N ammonium lauryl sulfate Chemical compound [NH4+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- ODKSFYDXXFIFQN-UHFFFAOYSA-N arginine Natural products OC(=O)C(N)CCCNC(N)=N ODKSFYDXXFIFQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001230 asparagine Drugs 0.000 description 1
- 235000009582 asparagine Nutrition 0.000 description 1
- 125000003354 benzotriazolyl group Chemical group N1N=NC2=C1C=CC=C2* 0.000 description 1
- GONOPSZTUGRENK-UHFFFAOYSA-N benzyl(trichloro)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)CC1=CC=CC=C1 GONOPSZTUGRENK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPLASELWOOUNGW-UHFFFAOYSA-N benzyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CC1=CC=CC=C1 CPLASELWOOUNGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQEKAFQSVPLXON-UHFFFAOYSA-N butyl(trichloro)silane Chemical compound CCCC[Si](Cl)(Cl)Cl FQEKAFQSVPLXON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXPLZNMUBFBFIA-UHFFFAOYSA-N butyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCC[Si](OC)(OC)OC SXPLZNMUBFBFIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- FPOSCXQHGOVVPD-UHFFFAOYSA-N chloromethyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](CCl)(OC)OC FPOSCXQHGOVVPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- YGUFXEJWPRRAEK-UHFFFAOYSA-N dodecyl(triethoxy)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCC[Si](OCC)(OCC)OCC YGUFXEJWPRRAEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940060296 dodecylbenzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOXXJEVNDJOOLV-UHFFFAOYSA-N ethenyl-tris(2-methoxyethoxy)silane Chemical compound COCCO[Si](OCCOC)(OCCOC)C=C WOXXJEVNDJOOLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- ZDXPYRJPNDTMRX-UHFFFAOYSA-N glutamine Natural products OC(=O)C(N)CCC(N)=O ZDXPYRJPNDTMRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hcl hcl Chemical compound Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZWLNMOIEMTDJY-UHFFFAOYSA-N hexyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCCCC[Si](OC)(OC)OC CZWLNMOIEMTDJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- RJMRIDVWCWSWFR-UHFFFAOYSA-N methyl(tripropoxy)silane Chemical compound CCCO[Si](C)(OCCC)OCCC RJMRIDVWCWSWFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- CSNJSTXFSLBBPX-UHFFFAOYSA-N n'-(trimethoxysilylmethyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CNCCN CSNJSTXFSLBBPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFENKTCEEGOWLB-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(methylamino)-2-methylidenepentanamide Chemical compound CCCC(=C)C(=O)N(NC)NC DFENKTCEEGOWLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGNDVXPHQJMHLX-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)cyclohexanamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1CCCCC1 KGNDVXPHQJMHLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- MSRJTTSHWYDFIU-UHFFFAOYSA-N octyltriethoxysilane Chemical compound CCCCCCCC[Si](OCC)(OCC)OCC MSRJTTSHWYDFIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960003493 octyltriethoxysilane Drugs 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010979 pH adjustment Methods 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- WAVDTGAEZWDLLN-UHFFFAOYSA-N pyrimidin-2-amine Chemical compound NC1=NC=CC=N1.NC1=NC=CC=N1 WAVDTGAEZWDLLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004448 titration Methods 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXYVBFOZDSGKNO-UHFFFAOYSA-N trichloro(1,2-dichloroethyl)silane Chemical compound ClCC(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl PXYVBFOZDSGKNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CAPIMQICDAJXSB-UHFFFAOYSA-N trichloro(1-chloroethyl)silane Chemical compound CC(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl CAPIMQICDAJXSB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FLPXNJHYVOVLSD-UHFFFAOYSA-N trichloro(2-chloroethyl)silane Chemical compound ClCC[Si](Cl)(Cl)Cl FLPXNJHYVOVLSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GBXOGFTVYQSOID-UHFFFAOYSA-N trichloro(2-methylpropyl)silane Chemical compound CC(C)C[Si](Cl)(Cl)Cl GBXOGFTVYQSOID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WEUBQNJHVBMUMD-UHFFFAOYSA-N trichloro(3,3,3-trifluoropropyl)silane Chemical compound FC(F)(F)CC[Si](Cl)(Cl)Cl WEUBQNJHVBMUMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OOXSLJBUMMHDKW-UHFFFAOYSA-N trichloro(3-chloropropyl)silane Chemical compound ClCCC[Si](Cl)(Cl)Cl OOXSLJBUMMHDKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BNCXNUWGWUZTCN-UHFFFAOYSA-N trichloro(dodecyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl BNCXNUWGWUZTCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C=C GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOYFEXPFPVDYIS-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethyl)silane Chemical compound CC[Si](Cl)(Cl)Cl ZOYFEXPFPVDYIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SRQHGWJPIZXDTA-UHFFFAOYSA-N trichloro(heptyl)silane Chemical compound CCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl SRQHGWJPIZXDTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFXJGGDONSCPOF-UHFFFAOYSA-N trichloro(hexyl)silane Chemical compound CCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl LFXJGGDONSCPOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIWLOZPAQDZWQN-UHFFFAOYSA-N trichloro(icosyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl JIWLOZPAQDZWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PYJJCSYBSYXGQQ-UHFFFAOYSA-N trichloro(octadecyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl PYJJCSYBSYXGQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RCHUVCPBWWSUMC-UHFFFAOYSA-N trichloro(octyl)silane Chemical compound CCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl RCHUVCPBWWSUMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWDQAHIRKOXFAV-UHFFFAOYSA-N trichloro(pentyl)silane Chemical compound CCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl KWDQAHIRKOXFAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPMVYGAHBSNGHP-UHFFFAOYSA-N trichloro(tetradecyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl LPMVYGAHBSNGHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYSTWJVCHKDRDR-UHFFFAOYSA-N trichloro-(2-chloro-2-phenylethyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)CC(Cl)C1=CC=CC=C1 XYSTWJVCHKDRDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(ethyl)silane Chemical compound CCO[Si](CC)(OCC)OCC DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZMJEGJVKFTGMU-UHFFFAOYSA-N triethoxy(octadecyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[Si](OCC)(OCC)OCC FZMJEGJVKFTGMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FHVAUDREWWXPRW-UHFFFAOYSA-N triethoxy(pentyl)silane Chemical compound CCCCC[Si](OCC)(OCC)OCC FHVAUDREWWXPRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(phenyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1 JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOCC1CO1 JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXYMWKLNCJPAKW-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(3-piperazin-1-ylpropyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN1CCNCC1 HXYMWKLNCJPAKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PUFJKMYZVNKQCV-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(3-piperidin-1-ylpropyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN1CCCCC1 PUFJKMYZVNKQCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC)(OC)OC)CCC2OC21 DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJOOZNCPHALTKK-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilylmethanethiol Chemical compound CO[Si](CS)(OC)OC QJOOZNCPHALTKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000005050 vinyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1436—Composite particles, e.g. coated particles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/30625—With simultaneous mechanical treatment, e.g. mechanico-chemical polishing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/31051—Planarisation of the insulating layers
- H01L21/31053—Planarisation of the insulating layers involving a dielectric removal step
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 표면 개질된 연마입자, 그의 제조 방법 및 그를 포함하는 슬러리 조성물에 관한 것이다.
The present invention relates to a surface-modified abrasive particle, a method for producing the same, and a slurry composition containing the same.
최근, 반도체집적회로(large scale integration; LSI)의 고집적화, 고성능화에 따라 새로운 미세 가공 기술이 개발되고 있다. 화학기계적 연마(chemical mechanical polishing; CMP) 방법도 그 중 하나이고, LSI 제조 공정, 특히 다층 배선 형성 공정에 있어서 층간 절연막의 평탄화, 금속 플러그 형성 및 매립 배선 형성 등에 있어서 빈번하게 이용되는 기술이다. 또한, 최근에는 LSI를 고성능화하기 위해서 배선 재료로서 구리 또는 구리 합금이 사용되고 있다. 그러나, 구리 또는 구리 합금은 종래의 알루미늄 합금 배선의 형성에 빈번하게 사용된 드라이 에칭 방법에 의한 미세가공이 곤란하다. 따라서, 미리 홈이 형성되어 있는 절연막 상에 구리 또는 구리 합금 박막을 퇴적하여 매립하고, 홈 부분 이외의 구리 또는 구리 합금의 박막을 CMP에 의해 제거하여 매립 배선을 형성하는, 다마신(Damascene) 방법이 주로 이용되고 있다.2. Description of the Related Art [0002] In recent years, a new microfabrication technique has been developed in accordance with the high integration and high performance of a large scale integration (LSI). One of them is a chemical mechanical polishing (CMP) method, which is frequently used in planarization of an interlayer insulating film, formation of a metal plug, and buried wiring in an LSI manufacturing process, particularly a multilayer wiring forming process. In recent years, copper or a copper alloy has been used as a wiring material in order to improve the performance of the LSI. However, copper or copper alloy is difficult to micro-process by the dry etching method which is frequently used in the formation of conventional aluminum alloy wiring. Therefore, a Damascene method (hereinafter referred to as a " Damascene method ") in which a copper or copper alloy thin film is deposited and buried on an insulating film on which a trench is formed in advance and a thin film of copper or a copper alloy other than the trench is removed by CMP Is mainly used.
일반적으로 구리 또는 구리 합금의 배선 형성이나 텅스텐 등의 플러그 배선의 형성과 같은 금속 매립 형성에 있어서, 금속 막질에 대해 높은 연마량을 갖는 1차 연마 슬러리 조성물을 사용하여 대부분의 금속 막질을 제거하고, 금속 매립 부분과 유전막에 대해서 동등한 연마속도를 갖는 2차 연마 슬러리 조성물을 사용함으로써 디싱(dishing)과 부식(erosion) 등의 표면 결함이 발생하는 문제가 있다.In general, most metal films are removed by using a primary polishing slurry composition having a high polishing amount with respect to a metal film quality in the formation of a wiring of copper or a copper alloy, formation of a plug wiring such as tungsten, There is a problem that surface defects such as dishing and erosion are generated by using a secondary polishing slurry composition having a polishing rate equivalent to that of the metal buried portion and the dielectric film.
스크래치(scratch) 및 결함(defect)을 절감하기 위하여 실리카의의 경우 표면을 개질하는 방법이 제시되었다 (미국특허 제3,963,627호). 실리카 표면에 실라놀기(Si-OH)를 가지고 있어 이들 실라놀기가 시간이 경과할수록 슬러리의 물성을 저하시키는 문제점을 안고 있다. 물성 저하의 대표적인 예는 입자가 평균 크기보다 큰 입자가 자체적으로 생성되어 연마후에 마이크로 스크래치와 같은 표면 결함을 일으키며, 분산성이 저하되어 입자가 급속도로 침강하는 현상 등이 나타난다. 이러한 실리카의 물성 변화를 억제하기 위해서, 분말 상태에서 커플링제를 사용하여 실리카 표면의 OH기를 적절하게 커플링(보호 또는 개질시키는 개념 포함) 방법들이 제안되어 있다. 이러한 방법의 일례로 실라놀기와 반응성이 있는 실리콘계 커플링제를 사용하는 방법 (미국특허 제 3,963,627호) 또는 R0H 등을 사용하여 에스테르화시키는 방법 (미국특허 제4,664,679호) 등이 제안되어 있다. 그러나, 이들 방법들은 분산전의 실리카를 컬럼제를 사용하여 전처리하는 방법으로 기상에서 고온 반응을 통해 전처리해야 하기 때문에 공정이 복잡해지는 단점이 있다.
In order to reduce scratches and defects, a method of modifying the surface of silica has been proposed (US Pat. No. 3,963,627). (Si-OH) on the surface of silica, and these silanol groups have a problem of deteriorating the physical properties of the slurry over time. A representative example of the degradation of physical properties is a phenomenon in which particles having an average particle size larger than that of the particles themselves are generated to cause surface defects such as micro scratches after polishing, and the dispersibility of the particles is lowered so that the particles precipitate rapidly. To suppress the change in physical properties of silica, methods of appropriately coupling (protecting or modifying) OH groups on the surface of silica using a coupling agent in a powder state have been proposed. As an example of such a method, there have been proposed a method of using a silicon-based coupling agent reactive with a silanol group (U.S. Patent No. 3,963,627) or a method of esterifying R0H (U.S. Patent No. 4,664,679). However, these methods are disadvantageous in that the process becomes complicated because it is necessary to perform pretreatment through a high-temperature reaction in a gas phase by pretreating silica before dispersion using a column agent.
본 발명은, 연마입자 표면을 개질시킴으로써 소프트한 연마입자를 제조하여 구리막, 구리 배리어막, 연질 유전막 등 다양한 CMP 공정에 사용할 수 있고, 스크래치 또는 결함을 감소시킬 수 있는 표면 개질된 연마입자, 그의 제조 방법 및 그를 포함하는 슬러리 조성물을 제공하고자 한다.The present invention relates to a surface-modified abrasive particle which can be used in various CMP processes such as a copper film, a copper barrier film, a soft dielectric film, etc., by producing soft abrasive grains by modifying the abrasive grain surface and capable of reducing scratches or defects, And a slurry composition containing the same.
또한, 본 발명은, 산성 영역에서 구리막에 대한 우수한 연마율 및 연마 속도를 가지며, 다른 박막과의 연마 선택비를 자유롭게 조절할 수 있고, 연마 후 구리막의 표면 상태를 우수하게 유지할 수 있는 표면 개질된 연마입자, 그의 제조 방법 및 그를 포함하는 슬러리 조성물을 제공하고자 한다.The present invention also provides a method for polishing a copper film having an excellent polishing rate and a polishing rate for a copper film in an acidic region and capable of freely adjusting a polishing selectivity ratio with respect to another thin film, And a slurry composition comprising the same.
그러나, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
However, the problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
본 발명의 표면 개질된 연마입자의 제조 방법은, 분산액에 연마입자를 분산시켜 콜로이달 입자 용액을 준비하는 단계; 상기 콜로이달 입자를, 제1 수용성 고분자 및 실란 커플링제를 포함하는 제1 표면개질제로 1차 코팅하는 단계; 및 상기 1차 코팅된 콜로이달 입자를, 제2 수용성 고분자를 포함하는 제2 표면개질제로 2차 코팅하는 단계;를 포함한다.A method for producing a surface-modified abrasive particle of the present invention comprises the steps of: preparing a colloidal particle solution by dispersing abrasive particles in a dispersion; First coating the colloidal particles with a first surface modifier comprising a first water soluble polymer and a silane coupling agent; And secondarily coating the first coated colloidal particles with a second surface modifier comprising a second water soluble polymer.
상기 연마입자는, 실리카, 세리아, 지르코니아, 알루미나, 티타니아, 바륨티타니아, 게르마니아, 망가니아 및 마그네시아로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.The abrasive grains may include at least one selected from the group consisting of silica, ceria, zirconia, alumina, titania, barium titania, germania, manganese, and magnesia.
상기 콜로이달 입자 용액 중 상기 연마입자는 1 내지 20 중량%인 것일 수 있다.The abrasive grains in the colloidal particle solution may be 1 to 20% by weight.
상기 제1 수용성 고분자 및 상기 제2 수용성 고분자는, 각각, 폴리에틸렌이민(polyethylenimine), 폴리메틸아크릴레이트(Polymethylacrylate), 폴리알리아민 하이드로 클로라이드(polyallyaminehydrochloride; PAH), 폴리-L-알지닌(poly-L-arginine; PARG), 폴리-L-리신(poly-L-lysine; PLL), 아크릴 아마이드(acrylamide) 유도 중합체, 4차 폴리아민(quaternary polyamine), 폴리디메틸아민(polydimethylamine), 폴리알릴디메틸 암모늄 클로라이드(polydiallyldimethyl ammonium chloride), 디시안디아마이드(dicyandiamide), 디시안디아민드(Dicyandiaminde), 아크릴아마이드(acrylamide), 디메틸아미노에틸 아크릴레이트(dimethylaminoethyl acrylate), 폴리에틸렌이민(polyethyleneimine), 폴리아마이드-아민(polyamide-amine), D-글루코사민(D-glucosamine) 유도체, 양성 폴리머(amphoteric polymer), 폴리아민계 폴리머(polyamine based polymer), 설폰화 화합물 폴리머(sulphonated compound polymer), 소듐 폴리스티렌 설포네이트(sodium polystyrene sulphonate), 소듐 폴리비닐 설포네이트(sodium polyvinyl sulphonate), 아크릴계 공중합체(copolymer of acrylic), 2-아크릴아마이드-2메틸프로판설포닉산(2-acrylamide-2methylpropanesulphonic acid), 양이온성기를 포함하는 단량체 및 음이온성기를 가지는 단량체로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.The first water-soluble polymer and the second water-soluble polymer may be selected from the group consisting of polyethylenimine, polymethylacrylate, polyallyaminehydrochloride (PAH), poly-L-arginine -arginine (PARG), poly-L-lysine (PLL), acrylamide derivative polymer, quaternary polyamine, polydimethylamine, polyallyl dimethyl ammonium chloride a polyimide-amine, a polydiallyldimethyl ammonium chloride, a dicyandiamide, a dicyandiaminde, an acrylamide, a dimethylaminoethyl acrylate, a polyethyleneimine, a polyimide-amine ), D-glucosamine derivatives, amphoteric polymers, polyamine based polymers, sulfonated compound polymers (su lphonated compound polymer, sodium polystyrene sulphonate, sodium polyvinyl sulphonate, copolymer of acrylic, 2-acrylamide-2-methylpropane sulfonic acid, 2-methylpropanesulphonic acid), a monomer having a cationic group and a monomer having an anionic group.
상기 실란 커플링제는, 실리콘계 커플링제, 비닐계 커플링제 및 이 둘을 포함하는 것일 수 있다.The silane coupling agent may be a silicon-based coupling agent, a vinyl-based coupling agent, or both.
상기 제1 표면개질제 중 상기 제1 수용성 고분자는 0.05 내지 5 중량%이고, 상기 제1 표면개질제 중 상기 실란 커플링제는 0.05 내지 5 중량%이고, 상기 제2 표면개질제 중 상기 제2 수용성 고분자는 0.01 내지 5 중량%인 것일 수 있다.Wherein the amount of the first water-soluble polymer is 0.05 to 5 wt%, the amount of the silane coupling agent is 0.05 to 5 wt%, and the amount of the second water-soluble polymer is 0.01 To 5% by weight.
상기 제1 표면개질제는, 30 내지 100℃의 온도에서 상기 제1 수용성 고분자 및 상기 실란 커플링제를 혼합한 것일 수 있다.The first surface modifier may be a mixture of the first water-soluble polymer and the silane coupling agent at a temperature of 30 to 100 ° C.
상기 제2 표면개질제는, 실란 커플링제를 더 포함하는 것일 수 있다.The second surface modifier may further comprise a silane coupling agent.
상기 제2 표면개질제 중 상기 실란 커플링제는 0.001 내지 3 중량%인 것일 수 있다.The silane coupling agent of the second surface modifier may be 0.001 to 3 wt%.
상기 2차 코팅 상에 상기 1차 코팅 또는 상기 2차 코팅과 동일한 3차 코팅을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것일 수 있다.And forming a tertiary coating identical to the primary coating or the secondary coating on the secondary coating.
본 발명의 표면 개질된 연마입자는, 연마입자; 상기 연마입자의 표면에 형성된 제1 수용성 고분자 및 실란 커플링제를 포함하는 제1 표면개질제를 포함하는 1차 코팅; 및 상기 1차 코팅 상에 형성된 제2 수용성 고분자를 포함하는 제2 표면개질제를 포함하는 2차 코팅;을 포함한다.The surface-modified abrasive grains of the present invention may be abrasive grains; A primary coating comprising a first surface modifier comprising a first water soluble polymer and a silane coupling agent formed on the surface of the abrasive particles; And a second surface modifier comprising a second water-soluble polymer formed on the primary coating.
상기 2차 코팅 상에 상기 1차 코팅 또는 상기 2차 코팅과 같은 3차 코팅을 더 포함하는 것일 수 있다.The secondary coating may further comprise a tertiary coating such as the primary coating or the secondary coating.
본 발명의 슬러리 조성물은, 본 발명의 표면 개질된 연마입자를 포함하는 거하는 것이다.The slurry composition of the present invention comprises the surface-modified abrasive particles of the present invention.
상기 슬러리 조성물은, 카르복실-아미노 그룹을 포함하는 구리 착화제, 연마조절제, 부식방지제 및 산화제로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것일 수 있다.The slurry composition may further comprise at least one selected from the group consisting of a copper complexing agent containing a carboxyl-amino group, a polishing regulator, a corrosion inhibitor and an oxidizing agent.
상기 구리 착화제는, 지방족 아미노산, 하이드록실기를 포함하는 비방향족 아미노산, 황을 포함하는 아미노산, 산성 아미노산, 염기성 아미노산, 방향족 아미노산, 이미노산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.The copper complexing agent may include at least one selected from the group consisting of an aliphatic amino acid, a nonaromatic amino acid including a hydroxyl group, an amino acid including sulfur, an acidic amino acid, a basic amino acid, an aromatic amino acid, have.
상기 구리 착화제는, 상기 슬러리 조성물 중 0.01 중량% 내지 2 중량%인 것일 수 있다.The copper complexing agent may be 0.01 wt% to 2 wt% of the slurry composition.
상기 부식방지제는, 벤조트리아졸(BTA), 1,2,4-트리아졸, 5-아미노테트라졸(ATA), 5-메틸-1H-벤조트리아졸, 3-아미노1,2,4 트리아졸, 톨리 트리아졸, 5-페닐-1H-테트라졸, 3-아미노-5-메틸-4H-1,2,4 트리아졸, K-소베이트, 2-아미노피리미다인(2-aminopyrimidine), 하이드록시 큐이노라인(hydroxy quinoline), N-페닐-1,4-페닐렌아민(N-phenyl-1,4-phenleneaine), 헥실 벤조트리아졸(Hexyl-benzotriazole), 및 폴리파이롤(Polypyrrole)로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.The corrosion inhibitor may be selected from the group consisting of benzotriazole (BTA), 1,2,4-triazole, 5-aminotetrazole (ATA), 5-methyl-1H- benzotriazole, Amino-5-methyl-4H-1,2,4-triazole, K-sobait, 2-aminopyrimidine, Consisting of hydroxy quinoline, N-phenyl-1,4-phenyleneene, hexyl-benzotriazole, and polypyrrole. And at least one selected from the group.
상기 부식방지제는, 상기 슬러리 조성물 중 0.01 중량% 내지 0.5 중량%인 것일 수 있다.The corrosion inhibitor may be 0.01% by weight to 0.5% by weight of the slurry composition.
상기 산화제는, 과산화수소, 과산화황산암모늄, 벤조일 퍼옥사이드, 칼슘 퍼옥사이드, 바륨 퍼옥사이드 및 소듐 퍼옥사이드로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있다.The oxidizing agent may be at least one selected from the group consisting of hydrogen peroxide, ammonium peroxodisulfate, benzoyl peroxide, calcium peroxide, barium peroxide and sodium peroxide.
상기 산화제는, 상기 슬러리 조성물 중 0.01 중량% 내지 5 중량%인 것일 수 있다.The oxidizing agent may be 0.01% by weight to 5% by weight of the slurry composition.
상기 슬러리 조성물은, 폴리에틸렌 글리콜, 에틸렌 글리콜, 글리세롤, 폴리에틸렌 프로필렌 글리콜, 폴리아크릴산, 폴리메타아크릴산, 폴리아크릴산/스티렌 공중합체 및 이들의 염들로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 분산제를 더 포함하는 것일 수 있다.
The slurry composition further includes a dispersant comprising at least one selected from the group consisting of polyethylene glycol, ethylene glycol, glycerol, polyethylene propylene glycol, polyacrylic acid, polymethacrylic acid, polyacrylic acid / styrene copolymer and salts thereof .
본 발명은 콜로이달 연마입자 상태에서 표면을 개질함으로써 연마입자의 표면 전하를 조절할 수 있으며 소프트한 연마입자로 개질함으로써 이를 이용한 구리막, 구리 배리어막 및 연질의 유전막 CMP에 사용하는 슬러리 조성물을 제조할 수 있다. 특히, 본 발명에 따르면 산성 영역에서도 구리막에 대한 우수한 연마율을 나타내면서도, 다른 박막들과의 연마 선택비를 자유롭게 조절할 수 있고, 연마 과정에서 연마 대상막에 디싱, 부식 또는 스크래치 등이 발생하는 것을 억제해 연마 대상막의 표면 상태를 우수하게 유지할 수 있다. 따라서, 상기 표면 개질된 연마입자, 그의 제조 방법 및 그를 포함하는 슬러리 조성물을 통해, 신뢰성 및 특성이 우수한 반도체 디바이스의 구리 배선층 등을 보다 효율적으로 형성할 수 있으므로, 고성능의 반도체 디바이스를 얻는데 크게 기여할 수 있다.
The present invention can adjust the surface charge of the abrasive particles by modifying the surface in the state of colloidal abrasive grains and modify the soft abrasive particles to prepare a copper film, a copper barrier film and a slurry composition for use in a flexible dielectric film CMP . Particularly, according to the present invention, it is possible to freely adjust the polishing selectivity with other thin films while exhibiting an excellent polishing rate against the copper film even in the acidic region, and it is possible to control dishing, corrosion or scratches in the polishing target film So that the surface state of the polishing target film can be maintained excellent. Therefore, the copper interconnection layer or the like of the semiconductor device having excellent reliability and characteristics can be more efficiently formed through the above-described surface-modified abrasive grains, a method for producing the same, and a slurry composition containing the same, which can greatly contribute to obtaining a high- have.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 개질된 연마입자의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면 개질된 연마입자의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 3a 및 도 3b는 각각 연마입자의 표면개질 전과 후의 연마입자 평균 크기를 나타낸 PSD(Particle size distribution)을 나타낸다.
도 4는 연마입자의 표면개질 전(a)과 후(b)의 연마입자 형상을 촬영한 TEM 사진이다.
도 5는 표면 개질하지 않은 연마입자를 포함하는 슬러리 조성물(a) 및 본 발명에 따라 표면 개질된 연마입자를 포함하는 슬러리 조성물(b)을 이용하여 CMP 후 AIT-XP를 이용하여 측정한 결함 맵(defect map)을 나타낸 것이다.1 is a flow chart showing a method for producing a surface-modified abrasive grain according to an embodiment of the present invention.
2 is a flow chart illustrating a method of manufacturing a surface-modified abrasive particle according to another embodiment of the present invention.
3A and 3B show a particle size distribution (PSD) showing the average size of the abrasive grains before and after the surface modification of the abrasive grains, respectively.
4 is a TEM photograph showing the shape of the abrasive grains before and after the surface modification of the abrasive grains (a) and (b).
5 is a graph showing the relationship between a defect map (A) measured using AIT-XP after CMP using a slurry composition (a) containing abrasive particles not surface-modified and a slurry composition (b) containing abrasive particles surface- (defect map).
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 용어(terminology)들은 본 발명의 바람직한 실시예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. Also, terminologies used herein are terms used to properly represent preferred embodiments of the present invention, which may vary depending on the user, intent of the operator, or custom in the field to which the present invention belongs. Therefore, the definitions of these terms should be based on the contents throughout this specification. Like reference symbols in the drawings denote like elements.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it includes not only "directly connected" but also "electrically connected" with another part in between .
명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout the specification, when a member is located on another member, it includes not only when a member is in contact with another member but also when another member exists between the two members.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
Throughout the specification, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements as well, without excluding other elements unless specifically stated otherwise.
이하, 본 발명의 표면 개질된 연마입자, 그의 제조 방법 및 그를 포함하는 슬러리 조성물에 대하여 실시예 및 도면을 참조하여 구체적으로 설명하도록 한다. 그러나, 본 발명이 이러한 실시예 및 도면에 제한되는 것은 아니다.
Hereinafter, the surface-modified abrasive grains of the present invention, a method for producing the same, and a slurry composition containing the same will be described in detail with reference to examples and drawings. However, the present invention is not limited to these embodiments and drawings.
본 발명의 제1 측면에 따른 표면 개질된 연마입자의 제조 방법은, 분산액에 연마입자를 분산시켜 콜로이달 입자 용액을 준비하는 단계; 상기 콜로이달 입자를, 제1 수용성 고분자 및 실란 커플링제를 포함하는 제1 표면개질제로 1차 코팅하는 단계; 및 상기 1차 코팅된 콜로이달 입자를, 제2 수용성 고분자를 포함하는 제2 표면개질제로 2차 코팅하는 단계;를 포함한다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a surface-modified abrasive particle, comprising: preparing a colloidal particle solution by dispersing abrasive particles in a dispersion; First coating the colloidal particles with a first surface modifier comprising a first water soluble polymer and a silane coupling agent; And secondarily coating the first coated colloidal particles with a second surface modifier comprising a second water soluble polymer.
콜로이달 실리카의 경도가 연질의 막질, 특히 구리막과 같은 경우 표면 접촉에 의해서 스크래치 발생 가능성이 높다. 이를 해결하기 위해서 콜로이달 입자를 표면 개질하여 부드러운 표면상태를 갖게 해줌으로써 결합(스크래치) 발생을 억제할 수 있는 것이다.When the hardness of the colloidal silica is a soft film quality, particularly a copper film, scratches are likely to be generated by surface contact. In order to solve this problem, the surface of the colloidal particles is modified to have a smooth surface state, thereby suppressing the occurrence of scratches.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 개질된 연마입자의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.1 is a flow chart showing a method for producing a surface-modified abrasive grain according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 측면에 따른 표면 개질된 연마입자의 제조 방법은, 먼저, 분산액에 연마입자를 분산시켜 콜로이달 입자 용액을 준비한다 (S110).Referring to FIG. 1, in a method of manufacturing a surface-modified abrasive particle according to the first aspect of the present invention, first, a colloidal particle solution is prepared by dispersing abrasive particles in a dispersion liquid (S110).
본 발명의 일측에 따르면, 상기 분산액은, 물, 알코올, 또는 이 둘을 포함하는 것일 수 있으나, 상기 연마입자가 분산될 수 있는 용매이면, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the dispersion liquid may contain water, alcohol, or both, but is not limited thereto as long as the abrasive particles can be dispersed.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 연마입자는, 실리카, 세리아, 지르코니아, 알루미나, 티타니아, 바륨티타니아, 게르마니아, 망가니아 및 마그네시아로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 요구되는 특성 또는 필요에 따라 다양한 연마입자를 포함하는 것일 수 있고, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the abrasive grains may include at least any one selected from the group consisting of silica, ceria, zirconia, alumina, titania, barium titania, germania, manganese and magnesia, Or may include various abrasive particles as necessary, but is not limited thereto.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 콜로이달 입자 용액 중 상기 연마입자는 약 1 내지 약 20 중량%인 것일 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 연마입자가 약 1 중량% 미만인 경우, 연마율 저하 문제가 발생할 수 있고, 상기 연마입자가 약 20 중량% 초과인 경우, 과연마에 의한 디싱(dishing) 또는 결합(scratch)의 문제가 발생할 수 있다.According to one aspect of the present invention, the abrasive particles in the colloidal particle solution may be from about 1 to about 20 weight percent. However, the present invention is not limited thereto. If the abrasive grains are less than about 1% by weight, problems of lowering the polishing rate may occur. If the abrasive grains are more than about 20% by weight, dishing or scratching may occur due to abrasion .
이어서, 상기 콜로이달 입자를, 제1 수용성 고분자 및 실란 커플링제를 포함하는 제1 표면개질제로 1차 코팅한다 (S120).Subsequently, the colloidal particles are first coated with a first surface modifier comprising a first water-soluble polymer and a silane coupling agent (S120).
본 발명의 일측에 따르면, 상기 제1 수용성 고분자는, 폴리에틸렌이민(polyethylenimine),폴리메틸아크릴레이트(Polymethyacrylate) 폴리알리아민 하이드로 클로라이드(polyallyaminehydrochloride; PAH), 폴리-L-알지닌(poly-L-arginine; PARG), 폴리-L-리신(poly-L-lysine; PLL), 아크릴 아마이드(acrylamide) 유도 중합체, 4차 폴리아민(quaternary polyamine), 폴리디메틸아민(polydimethylamine), 폴리알릴디메틸 암모늄 클로라이드(polydiallyldimethyl ammonium chloride), 디시안디아마이드(dicyandiamide), 디시안디아민드(dicyandiaminde), 아크릴아마이드(acrylamide), 디메틸아미노에틸 아크릴레이트(dimethylaminoethyl acrylate), 폴리에틸렌이민(polyethyleneimine), 폴리아마이드-아민(polyamide-amine), D-글루코사민(D-glucosamine) 유도체, 양성 폴리머(amphoteric polymer), 폴리아민계 폴리머(polyamine based polymer), 설폰화 화합물 폴리머(sulphonated compound polymer), 소듐 폴리스티렌 설포네이트(sodium polystyrene sulphonate), 소듐 폴리비닐 설포네이트(sodium polyvinyl sulphonate), 아크릴계 공중합체(copolymer of acrylic), 2-아크릴아마이드-2메틸프로판설포닉산(2-acrylamide-2methylpropanesulphonic acid), 양이온성기를 포함하는 단량체 및 음이온성기를 가지는 단량체로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 양이온성기를 포함하는 단량체는, 예를 들어, 알릴아민, N,N-디메틸아미노프로필아크릴아미드, N-비닐이미다졸, 및 이들의 염들로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 음이온성기를 가지는 단량체는 예를 들어, 아크릴산, 말레산, 이타콘산, 메타크릴산 및 이들의 염들로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the first water-soluble polymer is selected from the group consisting of polyethylenimine, polymethyacrylate polyallyaminehydrochloride (PAH), poly-L-arginine ; PARG), poly-L-lysine (PLL), acrylamide derived polymers, quaternary polyamines, polydimethylamines, polydiallyldimethylammonium chlorides dicyandiamide, dicyandiaminde, acrylamide, dimethylaminoethyl acrylate, polyethyleneimine, polyamide-amine, and the like. D-glucosamine derivatives, amphoteric polymers, polyamine based polymers, sulphonated co-polymers 2-acrylamide-2methylpropanesulphonic acid, 2-acrylamide-2methylpropanesulphonic acid, 2-acrylamide-2methylpropanesulphonic acid, 2-acrylamide-2methylpropanesulphonic acid, acid, a monomer having a cationic group and a monomer having an anionic group, but the present invention is not limited thereto. The monomer containing the cationic group includes at least any one selected from the group consisting of allylamine, N, N-dimethylaminopropylacrylamide, N-vinylimidazole, and salts thereof But is not limited thereto. The monomer having an anionic group may be, for example, at least one selected from the group consisting of acrylic acid, maleic acid, itaconic acid, methacrylic acid and salts thereof, but is not limited thereto.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 제1 표면개질제 중 상기 제1 수용성 고분자는 약 0.05 내지 약 5 중량%인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 제1 수용성 고분자가 약 0.05 중량% 미만인 경우, 표면개질이 효과적으로 이루어지지 않는 문제가 발생할 수 있고, 상기 제1 수용성 고분자가 약 5 중량% 초과인 경우, 응집 문제가 발생할 수 있다.According to one aspect of the present invention, the first water-soluble polymer among the first surface modifiers may be about 0.05 to about 5 wt%, but is not limited thereto. If the amount of the first water-soluble polymer is less than about 0.05% by weight, surface modification may not be effectively performed. If the first water-soluble polymer is more than about 5% by weight, agglomeration may occur.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 실란 커플링제는, 실리콘계 커플링제, 비닐계 커플링제 및 이 둘을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 구체적으로, 상기 실란 커플링제는, 3-아미노 프로필트리메톡시실란, 2-아미노 에틸아미노메틸트리메톡시실란, 트리메톡시 페닐실란, 메르캅토프로필 트리메톡시실란, 비닐트리메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 비닐트리클로로실란, 1,2-디클로로에틸트리클로로실란, 1-클로로에틸트리클로로실란, 2-클로로에틸트리클로로실란, 에틸트리클로로실란, 3,3,3-트리플루오르 프로필트리클로로실란, 2-시아노에틸트리클로로실란, 아릴트리클로로실란, 3-브로모프로필트리클로로실란, 3-클로로프로필트리클로로실란, n-프로필 트리클로로실란, 3-시아노프로필트리클로로실란, n-부틸트리클로로실란, 이소부틸트리클로로실란, 펜틸트리클로로실란, 헥실트리클로로실란, 벤질트리클로로실란, p-트릴트리클로로실란, 6-트리클로로시릴-2-노르볼넨, 2-트리클로로시릴노르볼넨, 헵틸트리클로로실란, 2-(4-시크로헥세닐에틸)트리클로로실란, 옥틸트리클로로실란, 클로로페닐에틸트리클로로실란, 테트라데실트리클로로실란, 옥타데실트리클로로실란, 에이코실트리클로로실란, 독실트리클로로실란, 클로로메틸트리메톡시실란, 메틸트리메톡시실란, 메르캅토메틸트리메톡시실란, 에틸 트리메톡시실란, 3,3,3-트리플루오로프로필트리메톡시실란, 2-시아노에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메르캅토프로필트리메톡시실란, 부틸트리메톡시실란, 3-트리플오로아세톡시프로필트리메톡시실란, 3-(아미노 에틸아미노프로필)트리메톡시실란, 페닐트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-아릴아미노프로필트리메톡시실란, 헥실트리메톡시실란, 3-모르폴리노프로필트리메톡시실란, 3-피페라지노프로필트리메톡시실란, 3-2-(2-아미노에틸아미노에틸아미노)프로필〕트리메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-피페리지노프로필트리메톡시실란, 3-페닐아미노프로필트리메톡시실란, 3-시클로헥실아미노프로필트리메톡시실란, O, O'-디에틸S-(2-트리에톡시시릴에틸)디티오포스페이트, 3-벤질아미노프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴록시프로필트리메톡시실란, 메틸트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 에틸트리에톡시실란, 3-클로로프로필트리에톡시실란, 프로필트리에톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 2-(2-아미노 에틸티오에틸)트리에톡시실란, 펜틸트리에톡시실란, 4-클로로페닐트리에톡시실란, 페닐트리에톡시실란, 벤질트리에톡시실란, 6-트리에톡시시릴-2-노르볼넨, 옥틸트리에톡시실란, 3-(트리에톡시시릴프로필)-p-니트로벤즈아미드, 도데실트리에톡시실란, 옥타데실트리에톡시실란, 아릴트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-메타크릴록시프로필트리에톡시실란, 3-(아미노에틸아미노프로필)트리에톡시실란, 메틸트리프로폭시실란, 비닐트리스(2--메톡시에톡시)실란, 3-글리시독시프로필메틸디에톡시실란, 3-메타크릴록시프로필메틸디메톡시실란, 3-메타크릴록시프로필메틸디에톡시실란 및 3-(아미노에틸아미노프로필)메틸디메톡시실란으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the silane coupling agent may be a silicon-based coupling agent, a vinyl-based coupling agent, or both, but is not limited thereto. Specifically, the silane coupling agent is at least one member selected from the group consisting of 3-aminopropyltrimethoxysilane, 2-aminoethylaminomethyltrimethoxysilane, trimethoxyphenylsilane, mercaptopropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, N Vinyltrichlorosilane, 1,2-dichloroethyltrichlorosilane, 1-chloroethyltrichlorosilane, 2-chloroethyltrichlorosilane, ethyltrichlorosilane, ethyltrimethoxysilane, Silane, 3,3,3-trifluoropropyltrichlorosilane, 2-cyanoethyltrichlorosilane, aryltrichlorosilane, 3-bromopropyltrichlorosilane, 3-chloropropyltrichlorosilane, n- Butyl trichlorosilane, isobutyl trichlorosilane, pentyl trichlorosilane, hexyl trichlorosilane, benzyl trichlorosilane, p-trityl trichlorosilane, 6-tert-butyl trichlorosilane, Trichlorosilyl-2- Norbornene, 2-trichlorosilylnorbornene, heptyltrichlorosilane, 2- (4-cyclohexenylethyl) trichlorosilane, octyltrichlorosilane, chlorophenylethyltrichlorosilane, tetradecyltrichlorosilane, octa Decyltrichlorosilane, eicosyl trichlorosilane, dodecyl trichlorosilane, chloromethyltrimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, mercaptomethyltrimethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, 3,3,3-tri 2-cyanoethyltrimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, butyltrimethoxysilane, 3-trifiuoroacetoxypropyltrimethoxysilane, (Meth) acrylates such as trimethoxysilane, 3- (aminoethylaminopropyl) trimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-arylaminopropyltrimethoxysilane, hexyltrimethoxysilane , 3-morpholino propyl Trimethoxysilane, 3-piperazinopropyltrimethoxysilane, 3-2- (2-aminoethylaminoethylamino) propyl] trimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxy Silane, 3-piperidinopropyltrimethoxysilane, 3-phenylaminopropyltrimethoxysilane, 3-cyclohexylaminopropyltrimethoxysilane, O, O'-diethyl S- (2-triethoxysilyl Methacryloxypropyltrimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, ethyltriethoxysilane, 3-chloropropyltriethoxysilane, 3-chloropropyltriethoxysilane, Aminopropyltriethoxysilane, 2- (2-aminoethylthioethyl) triethoxysilane, pentyltriethoxysilane, 4-chlorophenyltriethoxysilane, phenyl Triethoxy silane, benzyl triethoxy silane, 6-triethoxysilyl-2-norbornene, octyltriethoxy silane , 3- (triethoxysilylpropyl) -p-nitrobenzamide, dodecyltriethoxysilane, octadecyltriethoxysilane, aryltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 3- Methacryloxypropyltriethoxysilane, methacryloxypropyltriethoxysilane, 3- (aminoethylaminopropyl) triethoxysilane, methyltripropoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, 3- glycidoxypropylmethyldiethoxy And at least one selected from the group consisting of silane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, and 3- (aminoethylaminopropyl) methyldimethoxysilane. But is not limited thereto.
상기 제1 표면개질제 중 상기 실란 커플링제는 약 0.05 내지 약 5 중량%인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 실란 커플링제가 약 0.05 중량% 미만인 경우, 표면개질이 효과적으로 이루어지지 않는 문제가 발생할 수 있고, 상기 실란 커플링제가 약 5 중량% 초과인 경우, 응집 문제가 발생할 수 있다.The silane coupling agent of the first surface modifier may be about 0.05 to about 5 wt%, but is not limited thereto. If the amount of the silane coupling agent is less than about 0.05 wt%, the surface modification may not be effectively performed. If the amount of the silane coupling agent is more than about 5 wt%, cohesion may occur.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 제1 표면개질제는, 약 30 내지 약 100℃, 바람직하게는 약 40 내지 약 80℃의 온도에서 상기 제1 수용성 고분자 및 상기 실란 커플링제를 순차적인 과정으로 표면개질을 진행할 수 있거나 혼합한 것일 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 온도가 30℃ 보다 낮은 경우에는 용해성의 문제가 있을 수 있고, 100℃보다 높은 경우에는 응집 문제가 있을 수 있다.According to one aspect of the present invention, the first surface modifying agent is a surface modifying agent which is formed by sequentially performing the first water-soluble polymer and the silane coupling agent at a temperature of about 30 to about 100 캜, preferably about 40 to about 80 캜, Or may be mixed, but is not limited thereto. If the temperature is lower than 30 ° C, there may be a problem of solubility. If the temperature is higher than 100 ° C, there may be a coagulation problem.
이러한 제1 표면개질제로 1차 코팅된 콜로이달 입자는 표면이 양전하로 개질된다.The primary coated colloidal particles with this first surface modifier modifies the surface to a positive charge.
상기 제1 수용성 고분자 및 상기 실란 커플링제의 농도, 가열 온도 및 시간을 조절함으로써 1차 코팅 두께를 조절할 수 있다.The primary coating thickness can be controlled by adjusting the concentration, heating temperature and time of the first water-soluble polymer and the silane coupling agent.
이때, 1차 코팅되는 두께는 5 내지 20 nm인 것이 바람직하다. At this time, the thickness of the primary coating is preferably 5 to 20 nm.
이어서, 상기 1차 코팅된 콜로이달 입자에 제2 수용성 고분자를 포함하는 제2 표면개질제로 2차 코팅한다 (S130).Subsequently, the primary coated colloidal particles are secondarily coated with a second surface modifier containing a second water-soluble polymer (S130).
본 발명의 일측에 따르면, 상기 제2 수용성 고분자는, 상기 제1 수용성 고분자의 예들과 같은 물질일 수 있으며, 상기 제1 수용성 고분자와 같은 물질을 사용할 수도 있고, 다른 물질을 사용할 수도 있다.According to one aspect of the present invention, the second water-soluble polymer may be the same material as the first water-soluble polymer, and the same material as the first water-soluble polymer may be used, or other materials may be used.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 제2 표면개질제 중 상기 제2 수용성 고분자는 약 0.01 내지 약 5 중량%인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 제2 수용성 고분자가 약 0.01 중량% 미만인 경우, 스웰링(swelling) 문제가 발생할 수 있고, 상기 제2 수용성 고분자가 약 5 중량% 초과인 경우, 입자 불균일의 문제가 발생할 수 있다.According to one aspect of the present invention, the second water-soluble polymer among the second surface modifiers may be about 0.01 to about 5 wt%, but is not limited thereto. If the second water-soluble polymer is less than about 0.01 wt%, a swelling problem may occur, and if the second water-soluble polymer is more than about 5 wt%, a problem of particle unevenness may occur.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 제2 표면개질제는, 실란 커플링제를 더 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the second surface modifier may further include a silane coupling agent, but is not limited thereto.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 실란 커플링제는, 상기 제1 표면개질제에 포함되는 실란 커플링제의 예들과 같은 물질일 수 있으며, 상기 제1 표면개질제에 포함되는 실란 커플링제와 같은 물질을 사용할 수도 있고, 다른 물질을 사용할 수도 있다.According to one aspect of the present invention, the silane coupling agent may be the same as the examples of the silane coupling agent included in the first surface modifier, and may be the same material as the silane coupling agent included in the first surface modifier Other materials may be used.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 제2 표면개질제 중 상기 실란 커플링제는 약 0.001 내지 약 3중량%인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 실란 커플링제가 약 0.001 중량% 미만인 경우, 스웰링(swelling) 문제가 발생할 수 있고, 상기 실란 커플링제가 약 3 중량% 초과인 경우, 응집이 발생하는 문제가 발생할 수 있다.According to one aspect of the present invention, the silane coupling agent of the second surface modifier may be about 0.001 to about 3 wt%, but is not limited thereto. If the silane coupling agent is less than about 0.001 wt%, a swelling problem may occur, and if the silane coupling agent is more than about 3 wt%, coagulation may occur.
상기 제2 수용성 고분자 및 상기 실란 커플링제의 농도, 가열 온도 및 시간을 조절함으로써 2차 코팅 두께를 조절할 수 있다.The secondary coating thickness can be controlled by adjusting the concentration, heating temperature and time of the second water-soluble polymer and the silane coupling agent.
이때, 2차 코팅되는 두께는 5 내지 50 nm인 것이 바람직하다. At this time, the thickness of the secondary coating is preferably 5 to 50 nm.
1차 코팅 및 2차 코팅 결과 전체적으로 10 내지 70 nm의 두께로 표면개질제가 코팅될 수 있다. 상기 범위를 벗어나는 경우 안정적인 연마입자 기능을 할 수 없으며, 연마율 조절과 디싱 및 부식을 감소시키기 위하여 표면 개질의 두께와 강도를 조절하여 사용할 수 있다.As a result of the primary coating and the secondary coating, the surface modifying agent may be coated to a thickness of 10 to 70 nm as a whole. If it is out of the above range, stable abrasive grain function can not be performed, and the thickness and strength of the surface modification can be adjusted in order to control the polishing rate and reduce the dishing and corrosion.
상기 1차 코팅 및 2차 코팅 각각은 드래프트법 및 레이어 바이 레이어(Layer by layer) 방법으로 수행될 수 있다. Each of the primary coating and the secondary coating may be performed by a draft method and a layer by layer method.
상기 연마 입자와 상기 1차 코팅간, 상기 1차 코팅과 상기 2차 코팅 간의 결합은 공유 결합일 수도 있고, 단순한 물리적 결합일 수도 있다.Between the abrasive particles and the primary coating, the bond between the primary coating and the secondary coating may be a covalent bond or a simple physical bond.
본 발명의 표면 개질된 연마입자의 제조방법은 필요에 따라 상기 2차 코팅 상에 상기 1차 코팅 또는 상기 2차 코팅과 동일한 3차 코팅을 형성하는 단계;를 더 포함할 수 있다.The method for preparing the surface-modified abrasive particles of the present invention may further comprise forming a third coating on the secondary coating if necessary, such as the primary coating or the secondary coating.
더 나아가 필요에 따라 기형성된 코팅 상에 동일한 공정을 적용하여 추가 코팅을 진행할 수 있다.Further, the same process may be applied to the preformed coating as needed to further conduct the coating.
한편, 본 발명의 표면 개질된 연마입자의 제조방법은 경우에 따라, 도 2에 개시된 바와 같이, 분산액에 연마입자를 분산시켜 콜로이달 입자 용액 준비하고, 콜로이달 입자에 실란 커플링제를 코팅하는 단계; 실란 커플링제가 코팅된 콜로이달 입자에 고분자 폴리머를 코팅하는 단계; 및 1차 코팅된 콜로이달 입자에 2차로 코팅하는 단계를 포함하는 것일 수도 있다.
Meanwhile, the method for producing the surface-modified abrasive particles of the present invention may include the steps of preparing a colloidal particle solution by dispersing abrasive particles in a dispersion liquid and coating a silane coupling agent on the colloidal particles, ; Coating the polymeric polymer on the colloidal particles coated with the silane coupling agent; And secondarily coating the first coated colloidal particles.
본 발명의 제2 측면에 따른 표면 개질된 연마입자는, 연마입자; 상기 연마입자의 표면에 형성된 제1 수용성 고분자 및 실란 커플링제를 포함하는 제1 표면개질제를 포함하는 1차 코팅; 및 상기 1차 코팅 상에 형성된 제2 수용성 고분자를 포함하는 제2 표면개질제를 포함하는 2차 코팅;을 포함한다.The surface-modified abrasive particles according to the second aspect of the present invention include abrasive particles; A primary coating comprising a first surface modifier comprising a first water soluble polymer and a silane coupling agent formed on the surface of the abrasive particles; And a second surface modifier comprising a second water-soluble polymer formed on the primary coating.
본 발명의 표면 개질된 연마입자는, 콜로이달 연마입자 상태에서 표면을 개질함으로써 연마입자의 표면 전하를 조절할 수 있으며 소프트한 연마입자로 개질함으로써 이를 이용한 구리막, 구리 배리어막 및 연질의 유전막 CMP에 사용하는 슬러리 조성물을 제조할 수 있다.
The surface-modified abrasive particles of the present invention can modulate the surface charge of the abrasive particles by modifying the surface in the state of colloidal abrasive grains and can be modified into soft abrasive grains to form a copper film, a copper barrier film and a soft dielectric film CMP The slurry composition to be used can be prepared.
본 발명의 제3 측면에 따른, 슬러리 조성물은, 제2 측면에 따라 표면 개질된 연마입자를 포함한다. According to a third aspect of the present invention, the slurry composition comprises abrasive particles surface-modified according to the second aspect.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 표면 개질된 연마입자의 전하는 약 5 mV에서 약 50 mV 이상의 포지티브 전하를 갖고 소프트하게 개질되어 디싱이나 스크래치의 발생 우려가 적다.According to one aspect of the present invention, the charge of the surface-modified abrasive grains is softly modified with a positive charge of about 50 mV or more at about 5 mV, thereby reducing the risk of dishing or scratching.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 슬러리 조성물은, 카르복실-아미노 그룹을 포함하는 구리 착화제, 연마조절제, 부식방지제 및 산화제로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the slurry composition may further include at least one selected from the group consisting of a copper complexing agent containing a carboxyl-amino group, a polishing regulator, a corrosion inhibitor and an oxidizing agent, It is not.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 구리 착화제는, 지방족 아미노산, 하이드록실기를 포함하는 비방향족 아미노산, 황을 포함하는 아미노산, 산성 아미노산, 염기성 아미노산, 방향족 아미노산 및 이미노산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 구체적으로, 상기 구리 착화제는, 예를 들어, 글라이신, 세린, 아스파라긴, 글루타민 및 아르기닌으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the copper complexing agent is at least one selected from the group consisting of an aliphatic amino acid, a nonaromatic amino acid including a hydroxyl group, an amino acid containing sulfur, an acidic amino acid, a basic amino acid, But it is not limited thereto. Specifically, the copper complexing agent may include, but is not limited to, at least one selected from the group consisting of glycine, serine, asparagine, glutamine and arginine.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 구리 착화제는, 상기 슬러리 조성물 중 약 0.01 중량% 내지 약 2 중량%인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the copper complexing agent may be from about 0.01% to about 2% by weight of the slurry composition, but is not limited thereto.
상기 구리 착화제가 이러한 함량으로 포함됨에 따라, 상기 연마 대상막의 연마 속도를 최적화하면서도, 연마된 후의 연마 대상막 표면에 디싱 또는 부식 등이 발생하는 것을 줄일 수 있다. 상기 구리 착화제가 지나치게 큰 함량으로 포함되는 경우, 연마 대상막의 표면에 부식 등이 발생할 수 있고, 상기 연마 대상막의 균일도, 즉, WIWNU(Within Wafer Non-Uniformity)가 악화될 수 있다.As the copper complexing agent is contained in such an amount, it is possible to reduce the occurrence of dishing or corrosion on the polished surface of the polished film while optimizing the polishing rate of the polished film. If the copper complexing agent is contained in an excessively large content, corrosion may occur on the surface of the film to be polished, and the uniformity of the film to be polished, that is, WIWNU (In Wafer Non-Uniformity) may deteriorate.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 연마조절제는, 에틸렌 디아민 테트라 아세트산, 시스테인, 글루타릭산 및 피멜산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the polishing regulator may include at least one selected from the group consisting of ethylenediaminetetraacetic acid, cysteine, glutaric acid, and pimelic acid, but is not limited thereto.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 연마조절제는, 상기 슬러리 조성물 중 약 0.01 중량% 내지 약 5 중량%인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 연마조절제가 약 0.01 중량% 미만인 경우, 배리어막의 연마율이 낮아지는 문제가 발생할 수 있고, 상기 연마조절제가 약 5 중량% 초과인 경우, 구리막과 배리어막의 연마율이 증가하는 문제가 발생할 수 있다.According to one aspect of the present invention, the abrasive modifier may be from about 0.01% to about 5% by weight of the slurry composition, but is not limited thereto. If the polishing regulator is less than about 0.01 wt%, the polishing rate of the barrier film may be lowered. If the polishing regulator is more than about 5 wt%, the polishing rate of the copper film and the barrier film may increase have.
상기 부식방지제는 연마 대상막의 움푹 패인 부분에서 이러한 연마 대상막이 구리 착화제 등에 의한 지나친 화학적 공격을 받는 것을 억제하여 디싱 등이 발생하는 것을 막기 위해 첨가되는 성분이다.The corrosion inhibitor is a component added to prevent such a polishing target film from being subjected to excessive chemical attack by a copper complexing agent or the like to prevent dishing or the like from occurring at the recessed portion of the film to be polished.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 부식방지제는, 벤조트리아졸(BTA), 1,2,4-트리아졸, 5-아미노테트라졸(ATA), 5-메틸-1H-벤조트리아졸, 3-아미노1,2,4 트리아졸, 톨리 트리아졸, 5-페닐-1H-테트라졸, 3-아미노-5-메틸-4H-1,2,4 트리아졸, K-소베이트, 2-아미노피리미다인(2-aminopyrimidine), 하이드록시 큐이노라인(hydroxy quinoline), N-페닐-1,4-페닐렌아민(N-phenyl-1,4-phenleneamine), 헥실 벤조트리아졸(Hexyl-benzotriazole) 및 폴리파이롤(Polypyrrole)로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한 부식방지제로서, 음이온성 계면활정제를 사용할 수 있으며, 예를 들어, 소듐 도데실 설페이트, 암모니움 도데실 설페이트, 도데실 벤젠니 설퍼네이트, 도데실 벤젠니설퍼닉 엑시드 및 소듐 도데실 설퍼네이트로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the corrosion inhibitor is selected from the group consisting of benzotriazole (BTA), 1,2,4-triazole, 5-aminotetrazole (ATA) Tetraazole, 5-phenyl-1H-tetrazole, 3-amino-5-methyl-4H-1,2,4 triazole, K-sowate, 2-aminopyrimidine 2-aminopyrimidine, hydroxy quinoline, N-phenyl-1,4-phenyleneamine, hexyl-benzotriazole and polypyridines. But is not limited to, at least one selected from the group consisting of polypyrrole. As an anticorrosive agent, an anionic surfactant can be used. Examples thereof include sodium dodecyl sulfate, ammonium dodecyl sulfate, dodecylbenzenisulfuronate, dodecylbenzenesulfonic acid and sodium dodecylsulfuronate But it should not be construed as being limited thereto.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 부식방지제는, 부식 억제 효과, 연마 속도 및 슬러리 조성물의 저장 안정성 측면에서 상기 슬러리 조성물 중 약 0.01 중량% 내지 약 0.5 중량%인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 부식방지제가 약 0.01 중량% 미만인 경우, 구리막의 연마제어가 불가능하여 디싱 문제가 발생할 수 있고, 상기 부식방지제가 약 0.5 중량% 초과인 경우, 구리막의 연마가 낮아지고 유기물 잔유물(residue)이 남는 문제가 발생할 수 있다.According to one aspect of the present invention, the corrosion inhibitor may be from about 0.01% to about 0.5% by weight of the slurry composition in terms of corrosion inhibiting effect, polishing rate and storage stability of the slurry composition, but is not limited thereto. If the corrosion inhibitor is less than about 0.01 wt%, the polishing of the copper film is not possible and dishing problems may occur. If the corrosion inhibitor is more than about 0.5 wt%, the polishing of the copper film is lowered and the organic residue remains Problems can arise.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 표면 개질된 연마입자는, 실리카, 세리아, 지르코니아, 알루미나, 티타니아, 바륨티타니아, 게르마니아, 망가니아 및 마그네시아로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the surface-modified abrasive particles may include at least one selected from the group consisting of silica, ceria, zirconia, alumina, titania, barium titania, germania, manganese, and magnesia, But is not limited thereto.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 표면 개질된 연마입자는, 1차 입자의 크기가 약 1 nm 내지 약 100 nm 이고, 2차 입자의 크기가 약 30 nm 내지 약 300 nm인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 연마 슬러리 중 1차 입자의 평균 크기에 있어서, 액상에서 합성하기 때문에 입자 균일성을 확보하기 위해서 100 nm 이하이어야 하며, 1 nm 미만일 경우에는 연마율이 저하되는 문제점이 있을 수 있다. 본 발명의 표면 개질된 연마입자는, 연마율 조절과 디싱 및 부식을 감소시키기 위하여 표면 개질의 두께와 강도를 조절하여 사용할 수 있다.According to one aspect of the present invention, the surface-modified abrasive particles may have a primary particle size of about 1 nm to about 100 nm and a secondary particle size of about 30 nm to about 300 nm, It is not. The average size of primary particles in the polishing slurry should be 100 nm or less in order to ensure uniformity of particles in a liquid phase. If the average primary particle size is less than 1 nm, the polishing rate may decrease. The surface modified abrasive particles of the present invention can be used by adjusting the thickness and strength of the surface modification to reduce the polishing rate and reduce the dishing and corrosion.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 표면 개질된 연마입자는, 상기 슬러리 조성물 중 약 0.1 중량% 내지 약 20 중량%인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 연마입자가 약 0.1 중량% 미만인 경우 산화막 연마 속도가 감소되며, 약 20 중량% 초과일 경우에는, 연마입자에 의한 결함 발생이 우려된다.According to one aspect of the present invention, the surface modified abrasive particles may be from about 0.1% to about 20% by weight of the slurry composition, but are not limited thereto. When the abrasive grains are less than about 0.1 wt%, the polishing rate of the oxide film is decreased. When the abrasive grains are more than about 20 wt%, the abrasive grains may cause defects.
상기 산화제는 연마 대상막, 예를 들어, 구리막을 산화시켜 산화막을 형성하는 작용을 하며, 이러한 산화막을 슬러리 조성물의 물리적, 화학적 연마 작용에 의해 제거함으로써 상기 연마 대상막에 대한 CMP 연마가 진행된다.The oxidizing agent functions to oxidize a film to be polished, for example, a copper film to form an oxide film. The oxide film is removed by the physical and chemical polishing action of the slurry composition, whereby CMP polishing for the film to be polished proceeds.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 산화제는, 과산화수소, 과산화황산암모늄, 벤조일 퍼옥사이드, 칼슘 퍼옥사이드, 바륨 퍼옥사이드 및 소듐 퍼옥사이드로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the oxidizing agent may include at least any one selected from the group consisting of hydrogen peroxide, ammonium peroxodisulfate, benzoyl peroxide, calcium peroxide, barium peroxide and sodium peroxide, It is not.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 산화제는, 상기 슬러리 조성물 중 약 0.01 중량% 내지 약 5 중량%인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the oxidant may be from about 0.01% to about 5% by weight of the slurry composition, but is not limited thereto.
상기 산화제의 함량이 약 0.01 중량% 미만인 경우에는 상기 연마 대상막에 대한 연마 속도가 저하될 수 있고, 상기 산화제의 함량이 약 5 중량% 초과인 경우에는 상기 연마 대상막 표면의 산화막이 하드(hard)해져서 연마가 이루어지지 않고 산화막이 성장하여 구리막의 특성을 저하시킬 수 있다. If the content of the oxidizing agent is less than about 0.01% by weight, the polishing rate for the film to be polished may be lowered. If the content of the oxidizing agent is greater than about 5% by weight, ), Polishing is not performed, and an oxide film is grown, which may deteriorate the characteristics of the copper film.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 슬러리 조성물의 분산성을 높여주기 위하여 비이온 계면활성제를 더 포함할 수 있다. 상기 비이온 계면활성제는, 예를 들어, 에틸렌 글리콜, 폴리에틸렌 글리콜, 글리세롤, 폴리에틸렌 프로필렌 글리콜, 프로필렌 글리콜로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, a nonionic surfactant may be further added to improve the dispersibility of the slurry composition. The nonionic surfactant may include, but is not limited to, at least one selected from the group consisting of ethylene glycol, polyethylene glycol, glycerol, polyethylene propylene glycol, and propylene glycol.
pH 조절이 필요한 경우, 상기 슬러리 조성물은 pH 조절제를 더 포함할 수 있으며, 예를 들어, 산성으로 적정하는 경우는 질산(HNO3), 염산(HCl) 및 황산(H2SO4), 아세트산(CH3COOH)으로 이루어진 강산제 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있으며, 알칼리로 적정하는 경우는 암모니아, TMAH를 사용할 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. When pH adjustment is required, the slurry composition may further comprise a pH adjusting agent. For example, when the acid is titrated, the slurry composition may contain nitric acid (HNO 3 ), hydrochloric acid (HCl) and sulfuric acid (H 2 SO 4 ) CH 3 COOH), and in the case of titration with an alkali, ammonia and TMAH may be used, but the present invention is not limited thereto.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 pH 조절제는, 상기 슬러리 조성물 중 약 0.01 중량% 내지 약 1 중량%인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 산성 pH 조절제에 의하여, 상기 슬러리 조성물은, pH가 약 2 내지 약 5의 산성인 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.According to one aspect of the present invention, the pH adjusting agent may be about 0.01 wt% to about 1 wt% of the slurry composition, but is not limited thereto. With the acidic pH adjusting agent, the slurry composition may be acidic, such as, but not limited to, an acid having a pH of about 2 to about 5.
본 발명의 일측에 따르면, 상기 연마 대상막은 구리막, 구리 배리어막 및 연질의 유전막을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 상기 슬러리 조성물은, 구리 함유막과 같은 연마 대상막에 대해 상술한 높은 연마율을 유지하면서도 다른 박막, 예를 들어, 배리어막으로 사용되는 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 루테늄(Ru), 몰리브덴(Mo), 코발트(Co) 및 금(Au)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 박막 또는 반도체 소자의 절연막으로 사용되는 산화막에 대해 낮은 연마율을 나타낸다. 이에 따라, 상기 슬러리 조성물은 연마 대상막과 다른 박막 간의 우수한 연마 선택비도 나타낼 수 있다.
According to one aspect of the present invention, the polishing target film may include, but is not limited to, a copper film, a copper barrier film, and a soft dielectric film. Further, the slurry composition can be used for other thin films, for example, titanium (Ti), tantalum (Ta), ruthenium (Ru) used as a barrier film, ), Molybdenum (Mo), cobalt (Co), and gold (Au), and exhibits a low polishing rate for an oxide film used as an insulating film of a semiconductor device. Thus, the slurry composition can exhibit excellent polishing selectivity between the polishing target film and another thin film.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명하고자 하나, 하기의 실시예는 단지 설명의 목적을 위한 것이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the following examples are for illustrative purposes only and are not intended to limit the scope of the present invention.
[표면개질 전과 후의 연마입자 평가][Evaluation of abrasive particles before and after surface modification]
도 3a 및 도 3b는 각각 연마입자의 표면개질 전과 후의 연마입자 평균 크기를 나타낸 PSD(Particle size distribution)을 나타낸다. 연마입자의 표면개질 후의 크기 변화를 확인할 수 있다. 표면 개질 전 연마입자 평균 크기는 57 nm이고, 2차 표면 개질 후 연마입자의 평균 크기는 75 nm이다.3A and 3B show a particle size distribution (PSD) showing the average size of the abrasive grains before and after the surface modification of the abrasive grains, respectively. The change in size after the surface modification of the abrasive grains can be confirmed. The average size of the abrasive grains before surface modification is 57 nm and the average size of abrasive grains after the second surface modification is 75 nm.
도 4는 연마입자의 표면개질 전과 후의 연마입자 형상을 촬영한 TEM 사진이다. 표면개질 후의 표면 형상이 변화가 있음을 확인할 수 있다.
4 is a TEM photograph of the shape of the abrasive grains before and after the surface modification of the abrasive grains. It can be confirmed that there is a change in the surface shape after surface modification.
[연마 조건 1] [Polishing condition 1]
1. 연마 장비: 1 인치용 Mini Polisher - MetPrep 3 (APPLIED High tech products 社)1. Polishing equipment: Mini Polisher for 1 inch - MetPrep 3 (APPLIED High tech products)
2. 연마 패드: Politex 8 (Dow 社)2. Polishing pad: Politex 8 (Dow)
3. 플레이튼 스피드 (Platen speed): 150 rpm3. Platen speed: 150 rpm
4. 유량 (Flow rate): 100 cc/min4. Flow rate: 100 cc / min
5. 압력: 7 Lpf(2 psi)
5. Pressure: 7 Lpf (2 psi)
[연마 조건 2][Polishing condition 2]
1. 연마 장비: 8 인치용(200 mm) CMP 장비 - Uniplar 231 (Doosan Mechatech 社)1. Polishing equipment: 8 inch (200 mm) CMP equipment - Uniplar 231 (Doosan Mechatech)
2. 연마 패드: H800 (Fujibo社)2. Polishing pad: H800 (Fujibo)
3. 플레이튼 스피드 (Platen speed): 24 rpm (스핀들 스피드 (spindle speed): 60 rpm)3. Platen speed: 24 rpm (spindle speed: 60 rpm)
4. 유량 (Flow rate): 200 cc/min4. Flow rate: 200 cc / min
5. 압력: 3 psi
5. Pressure: 3 psi
8 인치용(200 mm) CMP 장비를 이용하여 연마한 경우, Cu, Ta의 연마율은 4-포인트 프로브를 이용하여 계산하였으며 OXIDE인 PTEOS는 나노메트릭스 社의 Atlas 장비를 이용하여 CMP 전후 두께 변화를 측정하여 연마율을 계산하였다.The polishing rate of Cu and Ta was calculated using a 4-point probe when 8-inch (200 mm) CMP equipment was used. PTEOS, which is OXIDE, was measured by Atlas of Nanometrics Co. And the polishing rate was calculated.
결함 측정은 KLA Tencor의 AIT-XP를 이용하여 CMP후의 구리막과 산화막의 DEFECT를 측정하였다.
The defects were measured by DEFECT of copper film and oxide film after CMP using AIT-XP of KLA Tencor.
1. 표면 개질된 실리카 입자의 연마율 평가1. Evaluation of polishing rate of surface-modified silica particles
표면 개질하지 않은 연마입자를 포함하는 CMP 슬러리 조성물은 산화제 0.15 중량%에 구리 착화제 1 중량%, 부식방지제 0.5 중량%를 포함하고, 본 발명에 따라 표면 개질된 연마입자를 포함하는 CMP 슬러리 조성물은 구리 착화제 및 부식방지제는 포함하지 않고, 산화제만 0.15 중량%가 포함하도록 하였다.A CMP slurry composition comprising non-surface modified abrasive particles comprises 0.1% by weight of an oxidizer and 1% by weight of a copper complexing agent and 0.5% by weight of a corrosion inhibitor, and the CMP slurry composition comprising abrasive particles surface- The copper complexing agent and the corrosion inhibitor were not included, and only 0.15 wt% of the oxidizing agent was included.
표면 개질하지 않은 연마입자를 포함하는 슬러리 조성물을 이용한 연마의 경우와 본 발명에 따라 표면 개질된 연마입자를 포함하는 슬러리 조성물을 이용하여 연마한 경우를 비교해보면 구리막의 연마율은 유의차가 없으나 산화막의 연마율은 낮아짐을 확인할 수 있다.There is no significant difference in the polishing rate of the copper film when polishing using the slurry composition containing the surface-modified abrasive particles and polishing using the slurry composition containing the surface-modified abrasive particles according to the present invention, It can be seen that the polishing rate is lowered.
표면 개질된 연마입자를 포함하는 슬러리 조성물은 구리 착화제와 부식방지제를 포함하지 않은 것을 고려할 때 더욱 의미 있는 성능 향상이라고 할 것이다.
A slurry composition comprising surface modified abrasive grains will be a more meaningful performance improvement considering that it does not include a copper complexing agent and a corrosion inhibitor.
2. 표면 개질된 입자의 결함 평가2. Evaluation of surface modified particle defects
표 2는 AIT-XP를 이용한 결함 수를 나타내고, 도 5는 표면 개질하지 않은 연마입자를 포함하는 슬러리 조성물(a) 및 본 발명에 따라 표면 개질된 연마입자를 포함하는 슬러리 조성물(b)을 이용하여 CMP 후 AIT-XP를 이용하여 측정한 결함 맵(defect map)을 나타낸 것이다.Table 2 shows the number of defects using AIT-XP, and Fig. 5 shows a slurry composition (a) containing abrasive particles which were not surface-modified and a slurry composition (b) comprising abrasive particles surface- And a defect map measured using AIT-XP after CMP.
연마입자의 표면 개질 전에는 CMP 후의 구리막에서의 결함 수가 높아 측정이 불가능한 상태였으나 개질 후에는 매우 양호한 수준으로 낮아짐을 알 수 있다. 산화막의 결함 수는 유사한 수준을 나타내었다. 표면 개질에 의해서 실리카 입자가 소프트해져서 구리막에서의 결함(damage)이 발생하지 않는 것으로 판단된다.
Before the surface modification of the abrasive grains, the number of defects in the copper film after CMP was high, which made it impossible to measure, but it was found to be very good after the reforming. The number of defects in the oxide film was similar. It is judged that the silica particles are softened by the surface modification so that no damage occurs in the copper film.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. This is possible. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined by the equivalents of the claims, as well as the claims.
Claims (21)
상기 콜로이달 입자를, 제1 수용성 고분자 및 실란을 포함하는 실란 커플링제를 포함하는 제1 표면개질제로 1차 코팅하는 단계; 및
상기 1차 코팅된 콜로이달 입자를, 제2 수용성 고분자를 포함하는 제2 표면개질제로 2차 코팅하는 단계;
를 포함하고,
상기 분산액은, 물, 알코올, 또는 이 둘을 포함하는 것이고,
상기 제1 수용성 고분자 및 상기 제2 수용성 고분자는, 각각, 폴리에틸렌이민(polyethylenimine), 폴리메틸아크릴레이트(Polymethylacrylate), 폴리알리아민 하이드로 클로라이드(polyallyaminehydrochloride; PAH), 폴리-L-알지닌(poly-L-arginine; PARG), 폴리-L-리신(poly-L-lysine; PLL), 아크릴 아마이드(acrylamide) 유도 중합체, 4차 폴리아민(quaternary polyamine), 폴리디메틸아민(polydimethylamine), 폴리알릴디메틸 암모늄 클로라이드(polydiallyldimethyl ammonium chloride), 디시안디아마이드(dicyandiamide), 디시안디아민드(Dicyandiaminde), 아크릴아마이드(acrylamide), 디메틸아미노에틸 아크릴레이트(dimethylaminoethyl acrylate), 폴리에틸렌이민(polyethyleneimine), 폴리아마이드-아민(polyamide-amine), D-glucosamine 유도체, 양성 폴리머(amphoteric polymer), 폴리아민계 폴리머(polyamine based polymer), 설폰화 화합물 폴리머(sulphonated compound polymer), 소듐 폴리스티렌 설포네이트(sodium polystyrene sulphonate), 소듐 폴리비닐 설포네이트(sodium polyvinyl sulphonate), 아크릴계 공중합체(copolymer of acrylic), 2-아크릴아마이드-2메틸프로판설포닉산(2-acrylamide-2methylpropanesulphonic acid), 양이온성기를 포함하는 단량체 및 음이온성기를 가지는 단량체로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인,
표면 개질된 연마입자의 제조 방법.
Dispersing abrasive particles in a dispersion to prepare a colloidal particle solution;
First coating the colloidal particles with a first surface modifier comprising a silane coupling agent comprising a first water soluble polymer and a silane; And
Secondarily coating the first coated colloidal particles with a second surface modifier comprising a second water soluble polymer;
Lt; / RTI >
The dispersion may contain water, an alcohol, or both,
The first water-soluble polymer and the second water-soluble polymer may be selected from the group consisting of polyethylenimine, polymethylacrylate, polyallyaminehydrochloride (PAH), poly-L-arginine -arginine (PARG), poly-L-lysine (PLL), acrylamide derivative polymer, quaternary polyamine, polydimethylamine, polyallyl dimethyl ammonium chloride a polyimide-amine, a polydiallyldimethyl ammonium chloride, a dicyandiamide, a dicyandiaminde, an acrylamide, a dimethylaminoethyl acrylate, a polyethyleneimine, a polyimide-amine ), D-glucosamine derivatives, amphoteric polymers, polyamine based polymers, sulphonated compounds polymer, sodium polystyrene sulphonate, sodium polyvinyl sulphonate, copolymer of acrylic, 2-acrylamide-2methylpropanesulphonic acid, ), A monomer having a cationic group, and a monomer having an anionic group.
A method for producing surface modified abrasive grains.
상기 연마입자는, 실리카, 세리아, 지르코니아, 알루미나, 티타니아, 바륨티타니아, 게르마니아, 망가니아 및 마그네시아로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 표면 개질된 연마입자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the abrasive grains contain at least one selected from the group consisting of silica, ceria, zirconia, alumina, titania, barium titania, germania, manganese and magnesia.
상기 콜로이달 입자 용액 중 상기 연마입자는 1 내지 20 중량%인 것인, 표면 개질된 연마입자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the amount of the abrasive grains in the colloidal particle solution is 1 to 20% by weight.
상기 실란 커플링제는, 실리콘계 커플링제, 비닐계 커플링제 또는 이 둘을 포함하는 것인, 표면 개질된 연마입자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the silane coupling agent is a silicone-based coupling agent, a vinyl-based coupling agent, or both.
상기 제1 표면개질제 중 상기 제1 수용성 고분자는 0.05 내지 5 중량%이고, 상기 제1 표면개질제 중 상기 실란 커플링제는 0.05 내지 5 중량%이고,
상기 제2 표면개질제 중 상기 제2 수용성 고분자는 0.01 내지 5 중량%인 것인, 표면 개질된 연마입자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The first water-soluble polymer is 0.05 to 5% by weight, the silane coupling agent is 0.05 to 5% by weight,
Wherein the second water-soluble polymer in the second surface modifier is 0.01 to 5% by weight.
상기 제1 표면개질제는, 30 내지 100℃의 온도에서 상기 제1 수용성 고분자 및 상기 실란 커플링제를 혼합한 것인, 표면 개질된 연마입자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the first surface modifier is a mixture of the first water-soluble polymer and the silane coupling agent at a temperature of 30 to 100 캜.
상기 제2 표면개질제는, 실란을 포함하는 실란 커플링제를 더 포함하는 것인, 표면 개질된 연마입자의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the second surface modifier further comprises a silane coupling agent containing silane.
상기 제2 표면개질제 중 상기 실란 커플링제는 0.001 내지 3 중량%인 것인, 표면 개질된 연마입자의 제조 방법.
9. The method of claim 8,
And the silane coupling agent in the second surface modifier is 0.001 to 3% by weight.
상기 2차 코팅 상에 상기 1차 코팅 또는 상기 2차 코팅과 동일한 3차 코팅을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것인, 표면 개질된 연마입자의 제조방법.
The method according to claim 1,
And forming a tertiary coating identical to the primary coating or the secondary coating on the secondary coating.
상기 연마입자의 표면에 형성된 제1 수용성 고분자 및 실란을 포함하는 실란 커플링제를 포함하는 제1 표면개질제를 포함하는 1차 코팅; 및
상기 1차 코팅 상에 형성된 제2 수용성 고분자를 포함하는 제2 표면개질제를 포함하는 2차 코팅;
을 포함하고,
상기 제1 수용성 고분자 및 상기 제2 수용성 고분자는, 각각, 폴리에틸렌이민(polyethylenimine), 폴리메틸아크릴레이트(Polymethylacrylate), 폴리알리아민 하이드로 클로라이드(polyallyaminehydrochloride; PAH), 폴리-L-알지닌(poly-L-arginine; PARG), 폴리-L-리신(poly-L-lysine; PLL), 아크릴 아마이드(acrylamide) 유도 중합체, 4차 폴리아민(quaternary polyamine), 폴리디메틸아민(polydimethylamine), 폴리알릴디메틸 암모늄 클로라이드(polydiallyldimethyl ammonium chloride), 디시안디아마이드(dicyandiamide), 디시안디아민드(Dicyandiaminde), 아크릴아마이드(acrylamide), 디메틸아미노에틸 아크릴레이트(dimethylaminoethyl acrylate), 폴리에틸렌이민(polyethyleneimine), 폴리아마이드-아민(polyamide-amine), D-glucosamine 유도체, 양성 폴리머(amphoteric polymer), 폴리아민계 폴리머(polyamine based polymer), 설폰화 화합물 폴리머(sulphonated compound polymer), 소듐 폴리스티렌 설포네이트(sodium polystyrene sulphonate), 소듐 폴리비닐 설포네이트(sodium polyvinyl sulphonate), 아크릴계 공중합체(copolymer of acrylic), 2-아크릴아마이드-2메틸프로판설포닉산(2-acrylamide-2methylpropanesulphonic acid), 양이온성기를 포함하는 단량체 및 음이온성기를 가지는 단량체로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인,
표면 개질된 연마입자.
Abrasive particles;
A primary coating comprising a first surface modifier comprising a silane coupling agent comprising a first water-soluble polymer and a silane formed on the surface of the abrasive grains; And
A secondary coating comprising a second surface modifier comprising a second water soluble polymer formed on the primary coating;
/ RTI >
The first water-soluble polymer and the second water-soluble polymer may be selected from the group consisting of polyethylenimine, polymethylacrylate, polyallyaminehydrochloride (PAH), poly-L-arginine -arginine (PARG), poly-L-lysine (PLL), acrylamide derivative polymer, quaternary polyamine, polydimethylamine, polyallyl dimethyl ammonium chloride a polyimide-amine, a polydiallyldimethyl ammonium chloride, a dicyandiamide, a dicyandiaminde, an acrylamide, a dimethylaminoethyl acrylate, a polyethyleneimine, a polyimide-amine ), D-glucosamine derivatives, amphoteric polymers, polyamine based polymers, sulphonated compounds polymer, sodium polystyrene sulphonate, sodium polyvinyl sulphonate, copolymer of acrylic, 2-acrylamide-2methylpropanesulphonic acid, ), A monomer having a cationic group, and a monomer having an anionic group.
Surface modified abrasive particles.
상기 2차 코팅 상에 상기 1차 코팅 또는 상기 2차 코팅과 같은 3차 코팅을 더 포함하는 것인, 표면 개질된 연마입자.
12. The method of claim 11,
Wherein the secondary coating further comprises a tertiary coating such as the primary coating or the secondary coating on the secondary coating.
A slurry composition comprising the surface modified abrasive particles of claim 11.
상기 슬러리 조성물은, 카르복실-아미노 그룹을 포함하는 구리 착화제, 연마조절제, 부식방지제 및 산화제로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 더 포함하고,
상기 연마조절제는, 에틸렌 디아민 테트라 아세트산, 시스테인, 글루타릭산 및 피멜산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것이고,
상기 부식방지제는, 벤조트리아졸(BTA), 1,2,4-트리아졸, 5-아미노테트라졸(ATA), 5-메틸-1H-벤조트리아졸, 3-아미노1,2,4 트리아졸, 톨리 트리아졸, 5-페닐-1H-테트라졸, 3-아미노-5-메틸-4H-1,2,4 트리아졸, K-소베이트, 2-아미노피리미다인(2-aminopyrimidine), 하이드록시 큐이노라인(hydroxy quinoline), N-페닐-1,4-페닐렌아민(N-phenyl-1,4-phenleneamine), 헥실 벤조트리아졸(Hexyl-benzotriazole) 및 폴리파이롤(Polypyrrole)로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것이고,
상기 산화제는, 과산화수소, 과산화황산암모늄, 벤조일 퍼옥사이드, 칼슘 퍼옥사이드, 바륨 퍼옥사이드 및 소듐 퍼옥사이드로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 슬러리 조성물.
14. The method of claim 13,
Wherein the slurry composition further comprises at least one selected from the group consisting of a copper complexing agent containing a carboxyl-amino group, a polishing regulator, a corrosion inhibitor and an oxidizing agent,
Wherein the polishing regulator comprises at least one selected from the group consisting of ethylenediaminetetraacetic acid, cysteine, glutaric acid, and pimelic acid,
The corrosion inhibitor may be selected from the group consisting of benzotriazole (BTA), 1,2,4-triazole, 5-aminotetrazole (ATA), 5-methyl-1H- benzotriazole, Amino-5-methyl-4H-1,2,4-triazole, K-sobait, 2-aminopyrimidine, A group consisting of hydroxyquinoline, N-phenyl-1,4-phenyleneamine, hexyl-benzotriazole and polypyrrole. And at least one selected from the group consisting of < RTI ID = 0.0 >
Wherein the oxidizing agent comprises at least any one selected from the group consisting of hydrogen peroxide, ammonium peroxodisulfate, benzoyl peroxide, calcium peroxide, barium peroxide and sodium peroxide.
상기 구리 착화제는, 지방족 아미노산, 하이드록실기를 포함하는 비방향족 아미노산, 황을 포함하는 아미노산, 산성 아미노산, 염기성 아미노산, 방향족 아미노산, 이미노산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 슬러리 조성물.
15. The method of claim 14,
Wherein the copper complexing agent comprises at least any one selected from the group consisting of an aliphatic amino acid, a nonaromatic amino acid including a hydroxyl group, an amino acid including sulfur, an acidic amino acid, a basic amino acid, an aromatic amino acid, , Slurry composition.
상기 구리 착화제는, 상기 슬러리 조성물 중 0.01 중량% 내지 2 중량%인 것인, 슬러리 조성물.
15. The method of claim 14,
Wherein the copper complexing agent is from 0.01% to 2% by weight of the slurry composition.
상기 부식방지제는, 상기 슬러리 조성물 중 0.01 중량% 내지 0.5 중량%인 것인, 슬러리 조성물.
15. The method of claim 14,
Wherein the corrosion inhibitor is 0.01% to 0.5% by weight of the slurry composition.
상기 산화제는, 상기 슬러리 조성물 중 0.01 중량% 내지 5 중량%인 것인, 슬러리 조성물.
15. The method of claim 14,
Wherein the oxidizing agent is 0.01% to 5% by weight of the slurry composition.
상기 슬러리 조성물은, 폴리에틸렌 글리콜, 에틸렌 글리콜, 글리세롤, 폴리에틸렌 프로필렌 글리콜, 폴리아크릴산, 폴리메타아크릴산, 폴리아크릴산/스티렌 공중합체 및 이들의 염들로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 분산제를 더 포함하는 것인, 슬러리 조성물.15. The method of claim 14,
The slurry composition further includes a dispersant comprising at least one selected from the group consisting of polyethylene glycol, ethylene glycol, glycerol, polyethylene propylene glycol, polyacrylic acid, polymethacrylic acid, polyacrylic acid / styrene copolymer and salts thereof ≪ / RTI >
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130014390A KR101427883B1 (en) | 2013-02-08 | 2013-02-08 | Surface-modified abrasive particle, method for preparing the same and slurry composition having the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130014390A KR101427883B1 (en) | 2013-02-08 | 2013-02-08 | Surface-modified abrasive particle, method for preparing the same and slurry composition having the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101427883B1 true KR101427883B1 (en) | 2014-08-07 |
Family
ID=51749887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020130014390A KR101427883B1 (en) | 2013-02-08 | 2013-02-08 | Surface-modified abrasive particle, method for preparing the same and slurry composition having the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101427883B1 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108026432A (en) * | 2015-09-09 | 2018-05-11 | 嘉柏微电子材料股份公司 | Selective nitride slurry with improved stability and improved polishing characteristic |
| KR20180068426A (en) * | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 솔브레인 주식회사 | Chemical-mechanical polishing slurry composition and method for manufacturing semiconductor by using the same |
| US10047248B2 (en) | 2015-10-15 | 2018-08-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Slurry composition for chemical mechanical polishing, method of preparing the same, and polishing method using the same |
| KR20200028236A (en) | 2018-09-06 | 2020-03-16 | 동우 화인켐 주식회사 | Silica Particles for CMP and Preparation Method thereof |
| KR20200101033A (en) * | 2019-02-19 | 2020-08-27 | 주식회사 동운아나텍 | Method and apparatus for driving a haptic motor based on user ipnut signals |
| KR20210111643A (en) * | 2020-03-03 | 2021-09-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | Cmp slurry composition for polishing copper and method for polishing copper layer using the same |
| CN113999654A (en) * | 2021-11-25 | 2022-02-01 | 河南崇锋新材料科技有限公司 | Superhard abrasive cluster and manufacturing method thereof |
| KR20220049424A (en) * | 2020-10-14 | 2022-04-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | Cmp slurry composition for polishing tungsten pattern wafer and method for polishing tungsten pattern wafer using the same |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10182841A (en) * | 1996-11-01 | 1998-07-07 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Composite, production thereof and moldings containing |
| JP2007088499A (en) | 1999-07-07 | 2007-04-05 | Cabot Microelectronics Corp | Cmp composition containing silane modified abrasive particle |
| JP2008288398A (en) | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Nippon Chem Ind Co Ltd | Semiconductor wafer polishing composition, manufacturing method thereof, and polish treatment method |
| KR20100137537A (en) * | 2008-03-24 | 2010-12-30 | 가부시키가이샤 아데카 | Colloidal silica with modified surface and polishing composition for cmp containing the same |
-
2013
- 2013-02-08 KR KR1020130014390A patent/KR101427883B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10182841A (en) * | 1996-11-01 | 1998-07-07 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Composite, production thereof and moldings containing |
| JP2007088499A (en) | 1999-07-07 | 2007-04-05 | Cabot Microelectronics Corp | Cmp composition containing silane modified abrasive particle |
| JP2008288398A (en) | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Nippon Chem Ind Co Ltd | Semiconductor wafer polishing composition, manufacturing method thereof, and polish treatment method |
| KR20100137537A (en) * | 2008-03-24 | 2010-12-30 | 가부시키가이샤 아데카 | Colloidal silica with modified surface and polishing composition for cmp containing the same |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108026432B (en) * | 2015-09-09 | 2022-06-14 | Cmc材料股份有限公司 | Selective nitride slurries with improved stability and improved polishing characteristics |
| CN108026432A (en) * | 2015-09-09 | 2018-05-11 | 嘉柏微电子材料股份公司 | Selective nitride slurry with improved stability and improved polishing characteristic |
| US10047248B2 (en) | 2015-10-15 | 2018-08-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Slurry composition for chemical mechanical polishing, method of preparing the same, and polishing method using the same |
| KR20180068426A (en) * | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 솔브레인 주식회사 | Chemical-mechanical polishing slurry composition and method for manufacturing semiconductor by using the same |
| KR102704751B1 (en) | 2016-12-14 | 2024-09-10 | 솔브레인 주식회사 | Chemical-mechanical polishing slurry composition and method for manufacturing semiconductor by using the same |
| KR20200028236A (en) | 2018-09-06 | 2020-03-16 | 동우 화인켐 주식회사 | Silica Particles for CMP and Preparation Method thereof |
| KR102273804B1 (en) | 2019-02-19 | 2021-07-06 | 주식회사 동운아나텍 | Method and apparatus for driving a haptic motor based on user ipnut signals |
| KR20200101033A (en) * | 2019-02-19 | 2020-08-27 | 주식회사 동운아나텍 | Method and apparatus for driving a haptic motor based on user ipnut signals |
| KR20210111643A (en) * | 2020-03-03 | 2021-09-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | Cmp slurry composition for polishing copper and method for polishing copper layer using the same |
| KR102589505B1 (en) | 2020-03-03 | 2023-10-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | Cmp slurry composition for polishing copper and method for polishing copper layer using the same |
| KR20220049424A (en) * | 2020-10-14 | 2022-04-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | Cmp slurry composition for polishing tungsten pattern wafer and method for polishing tungsten pattern wafer using the same |
| KR102678848B1 (en) | 2020-10-14 | 2024-06-26 | 삼성에스디아이 주식회사 | Cmp slurry composition for polishing tungsten pattern wafer and method for polishing tungsten pattern wafer using the same |
| CN113999654A (en) * | 2021-11-25 | 2022-02-01 | 河南崇锋新材料科技有限公司 | Superhard abrasive cluster and manufacturing method thereof |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101427883B1 (en) | Surface-modified abrasive particle, method for preparing the same and slurry composition having the same | |
| JP7130608B2 (en) | Composite abrasive particles for chemical-mechanical planarizing compositions and methods of use thereof | |
| TWI760589B (en) | Tungsten buff polishing compositions with improved topography | |
| TWI615450B (en) | Barrier chemical mechanical planarization slurries using ceria-coated silica abrasives | |
| JP4814784B2 (en) | Modular barrier removal polishing slurry | |
| US8157877B2 (en) | Chemical mechanical polishing aqueous dispersion, chemical mechanical polishing method, and kit for preparing chemical mechanical polishing aqueous dispersion | |
| JP4285480B2 (en) | Abrasive and polishing method | |
| CN102585765B (en) | Cmp polishing agent and method for polishing substrate | |
| CN101767295B (en) | Chemical mechanical polishing composition and methods relating thereto | |
| JP6352060B2 (en) | Polishing liquid composition for polishing silicon oxide film | |
| US20070037892A1 (en) | Aqueous slurry containing metallate-modified silica particles | |
| EP1930938A1 (en) | Polishing agent, method for polishing surface to be polished, and method for manufacturing semiconductor integrated circuit device | |
| EP1616927B1 (en) | Chemical mechanical polishing aqueous dispersion and chemical mechanical polishing method | |
| JP2011181946A (en) | Cmp polishing agent and method for polishing substrate | |
| JPWO2004068570A1 (en) | CMP abrasive and polishing method | |
| US20100035433A1 (en) | Polishing agent composition and method for manufacturing semiconductor integrated circuit device | |
| JP2006352042A (en) | Composition for polishing semiconductor | |
| US20080171441A1 (en) | Polishing compound and method for producing semiconductor integrated circuit device | |
| KR20100065304A (en) | Polishing liquid for metal and method of polishing | |
| TW201840802A (en) | Polishing liquid and polishing method | |
| KR101470980B1 (en) | Surface-modified abrasive particle and slurry composition having the same | |
| KR101465604B1 (en) | Cmp slurry composition for polishing copper barrier layer and polishing method using the same | |
| JP2013165088A (en) | Polishing agent and polishing method | |
| JP2009272418A (en) | Abrasive composition, and method of manufacturing semiconductor integrated circuit device | |
| KR100770571B1 (en) | Chemical mechanical polishing slurry of tungsten layer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180710 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190801 Year of fee payment: 6 |