KR101415035B1 - 변위 센서 및 이를 이용한 변위 감지 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 수신 코일에 대한 구조를 나타낸 것이다.
도 3은 도 2에 수신 코일과 커플러 소자의 일 실시예 형태를 함께 나타낸 것이다.
도 4는 커플러 소자가 0도에서 30도로 회전하는 경우에 대한 일 예를 나타낸 것이다.
도 5는 커플러 소자의 변위에 따른 수신 신호 파형에 대한 일 예를 나타낸 것이다.
도 6은 도 5에 도시된 수신 신호로부터 생성되는 변위 신호와 보상 신호의 일 예를 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 변위 센서를 이용한 변위 감지 방법에 대한 동작 흐름도를 나타낸 것이다.
Claims (12)
- 부품 위치와 상호 연관되는 운동 가능한 커플러 소자;
여기 신호에 의해 여기되어 전자기 방사를 생성하는 송신 코일;
권선 방향이 서로 다른 두 루프를 포함하며, 상기 커플러 소자에 의한 상기 전자기 방사의 차폐에 따른 상기 송신 코일과의 유도 결합에 의하여 각각의 수신 신호를 생성하는 복수의 수신 코일; 및
상기 복수의 수신 코일로부터 생성된 복수의 수신 신호 각각의 신호 변화량 중 상기 커플러 소자의 변위에 따른 신호 변화량이 나머지 수신 신호와 다른 어느 하나의 수신 신호를 선택하고, 상기 선택된 상기 어느 하나의 수신 신호를 이용하여 상기 커플러 소자의 변위 정보를 획득하며, 상기 나머지 수신 신호를 이용하여 상기 커플러 소자와 상기 송신 코일 또는 상기 복수의 수신 코일 간의 갭에 대한 정보를 획득하고, 상기 획득된 상기 갭에 대한 정보를 이용하여 상기 획득된 상기 변위 정보를 보상하는 신호 처리부
를 포함하는 변위 센서. - 제1항에 있어서,
상기 신호 처리부는
상기 나머지 수신 신호를 이용하여 상기 갭에 대한 정보 - 상기 갭에 대한 정보는 상기 커플러 소자의 변위에 독립적인 정보임 - 를 포함하는 보상 신호를 획득하며, 상기 획득된 상기 보상 신호를 이용하여 상기 획득된 상기 변위 정보를 보상하는 것을 특징으로 하는 변위 센서. - 제1항에 있어서,
상기 복수의 수신 코일은
상기 커플러 소자의 변위에 따라 상기 어느 하나의 수신 신호와 상기 나머지 수신 신호의 신호 변화량이 서로 다른 상기 복수의 수신 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 변위 센서. - 제1항에 있어서,
상기 신호 처리부는
상기 복수의 수신 신호 중 상기 커플러 소자의 변위 범위에 따라 미리 결정된 수신 신호를 상기 어느 하나의 수신 신호로 선택하는 것을 특징으로 하는 변위 센서. - 제1항에 있어서,
상기 복수의 수신 코일 각각은
상기 서로 다른 두 루프가 이웃하게 형성되는 것을 특징으로 하는 변위 센서. - 제5항에 있어서,
상기 두 루프는
동일한 면적을 가지며,
상기 커플러 소자는
상기 두 루프 중 어느 하나의 루프 면적과 다른 면적을 가지는 적어도 하나 이상의 폴을 포함하는 것을 특징으로 하는 변위 센서. - 제1항에 있어서,
상기 수신 코일의 수와 상기 커플러 소자의 폴 수가 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 변위 센서.
- 부품 위치와 상호 연관되는 운동 가능한 커플러 소자; 및 여기 신호에 의해 여기되어 전자기 방사를 생성하는 송신 코일을 포함하는 변위 센서를 이용한 변위 감지 방법에 있어서,
상기 커플러 소자에 의한 상기 전자기 방사의 차폐에 따른 상기 송신 코일과 권선 방향이 서로 다른 두 루프를 포함하는 복수의 수신 코일 간의 유도 결합에 의하여 상기 복수의 수신 코일로부터 복수의 수신 신호를 생성하는 단계;
상기 생성된 복수의 수신 신호 각각의 신호 변화량 중 상기 커플러 소자의 변위에 따른 신호 변화량이 나머지 수신 신호와 다른 어느 하나의 수신 신호를 선택하는 단계;
상기 선택된 상기 어느 하나의 수신 신호를 이용하여 상기 커플러 소자의 변위 정보를 획득하며, 상기 나머지 수신 신호를 이용하여 상기 커플러 소자와 상기 송신 코일 또는 상기 복수의 수신 코일 간의 갭에 대한 정보를 획득하는 단계; 및
상기 획득된 상기 갭에 대한 정보를 이용하여 상기 획득된 상기 변위 정보를 보상하는 단계
를 포함하는 변위 감지 방법. - 제8항에 있어서,
상기 획득하는 단계는
상기 나머지 수신 신호를 이용하여 상기 갭에 대한 정보 - 상기 갭에 대한 정보는 상기 커플러 소자의 변위에 독립적인 정보임 - 를 포함하는 보상 신호를 획득하고,
상기 보상하는 단계는
상기 획득된 상기 보상 신호를 이용하여 상기 획득된 상기 변위 정보를 보상하는 것을 특징으로 하는 변위 감지 방법. - 제8항에 있어서,
상기 생성하는 단계는
상기 커플러 소자의 변위에 따라 상기 어느 하나의 수신 신호와 상기 나머지 수신 신호의 신호 변화량이 서로 다른 상기 복수의 수신 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 변위 감지 방법.
- 삭제
- 제8 내지 제10항 중 어느 한 항의 방법을 실행하기 위한 프로그램이 기록되어 있는 것을 특징으로 하는 컴퓨터에서 판독 가능한 기록 매체.
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
KR20070010053A (ko) * | 2004-04-09 | 2007-01-19 | 케이에스알 인터내셔널 컴퍼니 | 유도 위치 센서 |
KR20100110820A (ko) * | 2007-12-12 | 2010-10-13 | 케이에스알 테크놀로지즈 컴퍼니 | 유도형 위치 센서 |
KR20100003172A (ko) * | 2008-06-30 | 2010-01-07 | 주식회사 트루윈 | 인덕티브 변위센서 및 그 수신코일구조와 갭 보정을 위한 신호처리방법 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160046520A (ko) * | 2014-10-21 | 2016-04-29 | 박남철 | 인덕티브 변위 센싱장치 및 그 제어방법 |
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