KR101401237B1 - Composition of photo sensitive resin - Google Patents

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KR101401237B1
KR101401237B1 KR1020130030227A KR20130030227A KR101401237B1 KR 101401237 B1 KR101401237 B1 KR 101401237B1 KR 1020130030227 A KR1020130030227 A KR 1020130030227A KR 20130030227 A KR20130030227 A KR 20130030227A KR 101401237 B1 KR101401237 B1 KR 101401237B1
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홍성재
서광범
황준식
서재필
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(주)이그잭스
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Abstract

A photosensitive resin composition includes: a polyimide binder; a black polyimide dispersing agent comprising a polyimide binder, carbon black, and a dispersing agent; a diazonaphthoquinone sensitive emulsion, and a residual solvent. The polyimide binder and the black polyimide dispersing agent has a volume ratio of 0.25-2.25 : 1. The diazonaphthoquinone sensitive emulsion has a ratio of 0.015-0.048g per the total unit volume (ml) of the polyimide binder and the black polyimide dispersing agent.

Description

감광성 수지 조성물{COMPOSITION OF PHOTO SENSITIVE RESIN}COMPOSITION OF PHOTO SENSITIVE RESIN [0002]

본 발명은 감광성 수지 조성물에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 본 발명은 유기발광 다이오드 디스플레이에 포함되는 광차단용 절연막을 형성하기 위한 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. The present invention relates to a photosensitive resin composition, and more particularly, to a photosensitive resin composition for forming a light-blocking insulating film included in an organic light emitting diode display.

디스플레이 산업 발전과 함께 유기발광 다이오드 디스플레이용 감광성 수지 조성물은 상대적으로 낮은 유전율, 우수한 해상도, 낮은 흡습률, 우수한 열적 안정성 등 많은 특성들이 끊임없이 요구되어 지고 있다.With the development of the display industry, photosensitive resin compositions for organic light emitting diode displays are continuously required to have many characteristics such as relatively low dielectric constant, excellent resolution, low moisture absorption rate, and excellent thermal stability.

폴리이미드는 상기의 특성들을 충족시킬 수 있는 우수한 물성을 갖는 고분자 재료로서 많은 연구개발이 이루어지고 있다. 그러나, 기존의 폴리이미드 매트릭스 구조는 친수성 카르복실 그룹을 가지고 있는 폴리아믹산에 해당하여, 알칼리 현상액에 지나치게 용해되기 때문에 현상 시의 막 감소가 크다는 등의 문제가 있어 비노광부와 노광부 구역 사이의 충분한 용해도 차를 나타낼 수 없었으며, 이를 개선하기 위해 친수성 카르복실 그룹에 도입한 수산기를 가진 디아민 구조는 비노광부와 노광부 구역 사이의 충분한 용해도 차이를 가졌지만, 그로 인한 막 감소율이 높고, 접착력이 낮으며 기계적 강도가 약한 단점을 가지고 있다.Polyimide has been extensively researched and developed as a polymer material having excellent physical properties capable of satisfying the above characteristics. However, since the conventional polyimide matrix structure corresponds to a polyamic acid having a hydrophilic carboxyl group, it is excessively dissolved in an alkali developing solution, and therefore, there is a problem that a membrane is reduced during development, The diamine structure having a hydroxyl group introduced into the hydrophilic carboxyl group has a sufficient solubility difference between the unexposed portion and the exposed portion in order to improve the degree of solubility, And the mechanical strength is weak.

최근에는 폴리이미드 수지로 셀 들 사이에 빛의 차단할 격벽으로서 이용될 필요가 있다. 상기 폴리이미드 수지는 상대적으로 낮은 흡습률을 갖는 장점이 있는 반면에 상기 빛을 차단하기 위한 블랙 안료를 분산시키는 데 어려움이 있다. In recent years, polyimide resin needs to be used as a partition wall for blocking light between cells. The polyimide resin has an advantage of having a relatively low moisture absorption rate, but has difficulty in dispersing the black pigment for blocking the light.

본 발명의 목적은 빛샘 현상을 억제하는 블랙 안료를 내부에서 균일하게 분산시킬 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of uniformly dispersing a black pigment which suppresses light leakage phenomenon from the inside.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 감광성 수지 조성물은 하기 화학식1로 표시되는 폴리이미드 바인더, 하기 화학식1로 표시되는 폴리이미드 바인더, 카본 블랙 및 분산제로 이루어진 블랙 폴리이미드 분산액, 디아조 나프토퀴논 감광제 및 나머지 용매를 포함하고, 상기 폴리이미드 바인더(a) 및 상기 블랙 폴리이미드 분산액(b)은 0.25 내지 2.25 : 1의 부피비를 갖고, 상기 디아조 나프토퀴논 감광제(c)는 상기 폴리이미드 바인더(a) 및 상기 블랙 폴리이미드 분산액(b)이 합산된 단위 부피(ml)당 0.015 내지 0.048g의 비율을 갖는다.In order to accomplish the objects of the present invention, a photosensitive resin composition according to an embodiment of the present invention includes a polyimide binder represented by the following formula (1), a polyimide binder represented by the following formula (1), carbon black, Wherein the polyimide binder (a) and the black polyimide dispersion (b) have a volume ratio of 0.25 to 2.25: 1, the diazonaphthoquinone sensitizer (c) has a ratio of 0.015 to 0.048 g per unit volume (ml) of the polyimide binder (a) and the black polyimide dispersion (b).

화학식 1Formula 1

Figure 112013024472816-pat00001
Figure 112013024472816-pat00001

상기 화학식1에서 m,n,o …… w는 자연수이고, R1, R2는 각각 독립적으로 수소 또는 하기 화학식 2로 나타내는 에폭시 아크릴레이트 치환기이고, R3, R4은 각각 독립적으로 수소 또는 하기 화학식3으로 나타내는 우레탄 아크릴레이트 치환기이고, X, Y는 각각 독립적으로 할로겐, 수산기, 술폰기, 니트로기 또는 시아노 기로 치환되거나 치환되지 않은 탄화수소 체인이거나 탄소 골격의 일부가 N, O 또는 S로 치환된 헤테로 체인이거나 방향족 환이 서로 연결되거나 융합된 것을 나타내고, R5 내지 R16은 각각 독립적으로 수소, 할로겐, 수산기, 카르복실기, 술폰기, 니트로기 또는 시아노기로 치환되거나 치환되지 않은 탄소수 1내지 30의 알킬기 또는 알콕시기, 할로겐, 수산기, 카르복실기, 술폰기, 니트로기 또는 시아노기를 나타낸다.In the above formula (1), m, n, o ... ... and w and q are independently a hydrogen atom or an epoxy acrylate substituent represented by the following formula (2), R3 and R4 are each independently hydrogen or a urethane acrylate substituent represented by the following formula (3), X and Y are A hydrocarbon chain which is independently substituted or unsubstituted with a halogen, a hydroxyl group, a sulfone group, a nitro group or a cyano group, or a part of the carbon skeleton is a hetero chain substituted by N, O or S, or an aromatic ring is connected or fused, To R16 each independently represents an alkyl or alkoxy group having 1 to 30 carbon atoms which is optionally substituted with hydrogen, halogen, hydroxyl, carboxyl, sulfonic group, nitro group or cyano group, halogen, hydroxyl group, carboxyl group, sulfone group, Cyano group.

화학식 2(2)

Figure 112013024472816-pat00002
Figure 112013024472816-pat00002

상기 화학식 2에서 R17은 탄소수 2 내지 50의 결합수 2개의 탄화수소기이다In the above formula (2), R17 is a hydrocarbon group having 2 to 50 carbon atoms and a bonding number of 2

화학식 3(3)

Figure 112013024472816-pat00003
Figure 112013024472816-pat00003

상기 화학식 3에서, R18은 탄소수 2 내지 50의 결합수 2개의 탄화수소기이다.In the above formula (3), R 18 is a hydrocarbon group having 2 to 50 carbon atoms and a bonding number of 2.

여기서, 상기 폴리이미드 바인더는, 상기 화학식 1의 a 부분은 방향족 디안하이드라이드로부터 유도된 2 종류 이상의 잔기를 포함하고, 상기 화학식 b 부분은 유기 디아민으로부터 유도된 2 종류 이상의 잔기를 포함하며,Here, the polyimide binder may include two or more kinds of moieties derived from an aromatic dianhydride, and the moiety (b) includes two or more kinds of moieties derived from an organic diamine,

R1과 R2 중 적어도 하나가 상기 화학식2의 에폭시 아크릴레이트로 치환된 상기 화학식1의 a 부분의 잔기의 개수가 전체 디안하이드라이드로부터 유도된 잔기 개수의 2 내지 50%이며, R3과 R4 중 적어도 하나가 상기 화학식3의 우레탄 아크릴레이트로 치환된 상기 화학식1의 b 부분의 잔기의 개수가 전체 유기 디아민으로부터 유도된 잔기 개수의 2 내지 50% 일 수 있다.Wherein at least one of R 1 and R 2 is substituted with an epoxy acrylate of Formula 2 and the number of moieties in a portion of Formula 1 is 2 to 50% of the total number of moieties derived from dianhydride, and at least one of R 3 and R 4 May be 2 to 50% of the number of the residues derived from the total organic diamine, wherein the number of the moieties of the moiety (b) of the formula (1) substituted with the urethane acrylate of the formula (3)

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 블랙 폴리이미드 분산액은 상기 화학식 1로 표시되는 폴리이미드 바인더 5.00-20.00 중량%, 상기 카본 블랙 5.00-20.00 중량%, 분산제 0.01-0.70 중량% 및 여분의 용매를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 분산제는, 폴리에틸렌계 화합물, 폴리에스테르계 화합물, 폴리카르본산에스테르계 화합물, 불포화 폴리아미드계 화합물, 폴리카르본산계 화합물, 폴리카르본산알킬염 화합물, 폴리아크릴계 화합물, 폴리에틸렌이민계 화합물 또는 폴리우레탄계 화합물로 이루어질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the black polyimide dispersion contains 5.00-20.00 wt% of the polyimide binder represented by Formula 1, 5.00-20.00 wt% of the carbon black, 0.01-0.70 wt% of the dispersing agent, . Here, the dispersant may be at least one selected from the group consisting of a polyethylene compound, a polyester compound, a polycarboxylic acid ester compound, an unsaturated polyamide compound, a polycarboxylic acid compound, a polycarboxylic acid alkyl salt compound, a polyacrylic compound, A polyurethane-based compound.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 이렇게 얻어진 폴리이미드 전구체는 유리전이온도(Tg)가 210℃내지 380℃인 것이 바람직하다.In one embodiment of the present invention, the polyimide precursor thus obtained preferably has a glass transition temperature (Tg) of 210 캜 to 380 캜.

본 발명에서 사용하는 감광제는 디아조 나프토퀴논 화합물이다. 예를 들면, 하기 화학식 4 내지 9로 표시된 화합물이다.The photosensitive agent used in the present invention is a diazonaphthoquinone compound. For example, compounds represented by the following formulas (4) to (9).

화학식 4Formula 4

Figure 112013024472816-pat00004
Figure 112013024472816-pat00004

화학식 5Formula 5

Figure 112013024472816-pat00005
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화학식 66

Figure 112013024472816-pat00006
Figure 112013024472816-pat00006

화학식 7Formula 7

Figure 112013024472816-pat00007
Figure 112013024472816-pat00007

화학식 88

Figure 112013024472816-pat00008
Figure 112013024472816-pat00008

화학식 9Formula 9

Figure 112013024472816-pat00009
Figure 112013024472816-pat00009

상기 식4 내지 식9에서 D는 수소와 하기 식10 또는 식11의 치환기에서 선택된다.In the above formulas 4 to 9, D is selected from hydrogen and the substituent of the following formula 10 or formula 11:

화학식 1010

Figure 112013024472816-pat00010
Figure 112013024472816-pat00010

1,2,4-디아조나프토퀴논디아자이드1,2,4-diazonaphthoquinone diazide

화학식 11Formula 11

Figure 112013024472816-pat00011
Figure 112013024472816-pat00011

1,2,5-디아조나프토퀴논디아자이드
1,2,5-diazonaphthoquinone diazide

본 발명에서 사용하는 용매는 통상적으로 디메틸포름아미드, N-메틸피롤리돈, 디메틸아세트아미드, 디메틸디설폭시드외에 테트라히드로피란, 자일렌, 디클로로벤젠, 프로필렌글리콜메틸에테르, 감마 부티로락톤 등을 단독 또는 2종 이상을 혼합물을 포함할 수 있다. 또한 코팅성을 개선하기 위하여 에틸락테이트 나 4-부톡시 에탄올을 첨가할 수 있다.The solvent used in the present invention is usually tetrahydrofuran, xylene, dichlorobenzene, propylene glycol methyl ether, gamma butyrolactone and the like in addition to dimethylformamide, N-methylpyrrolidone, dimethylacetamide and dimethyl disulfoxide. Or a mixture of two or more thereof. Ethyl lactate or 4-butoxyethanol may be added to improve coating properties.

본 발명에서 사용하는 감광제는 1 내지 3 중량%를 가질 수 있다. 여기서, 감광제의 함량이 상기 감광제의 함량이 1 중량%미만이면 얻어진 막의 잔막율이 저하될 뿐 아니라, 패턴 형성, 해상도 등이 떨어지는 경향을 보이며, 감광제 함량이 3 중량%를 초과하는 경우 현상이 느려 잔막이 발생하고, 감도가 저하되는 경향이 있다.The photosensitizer used in the present invention may have 1 to 3% by weight. If the content of the photosensitizer is less than 1% by weight, not only the film retention rate of the obtained film is lowered but also pattern formation and resolution tend to be lowered. When the photosensitizer content exceeds 3% by weight, A residual film is generated, and sensitivity tends to decrease.

본 발명에서 폴리이미드 전구체 조성물에는 기판과의 접착성을 향상시키기 위해 실란 커플링제를 사용할 수 있는데, 그 예로는 카르복실기, 메타크릴로일기, 이소시아네이트기, 에폭시기 등의 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제를 들 수 있고, 보다 구체적으로는 트리메톡시실릴벤조산, γ-메타크릴로옥시프로필트리메톡시실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐트리메톡시실란, γ-이소시아네이트프로필트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란, 2-(3',4'-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란 등을 들 수 있다. 실란 커플링제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 상기 실란 커플링제는 상기 전체 감광성 수지 조성물를 기준으로, 1 중량% 이하의 비율로 조절될 수 있다.In the present invention, a polyimide precursor composition may contain a silane coupling agent for improving adhesion with a substrate. Examples of the polyimide precursor composition include silane coupling agents having a reactive functional group such as carboxyl group, methacryloyl group, isocyanate group, More specifically, it may include trimethoxysilylbenzoic acid,? -Methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane,? -Isocyanate propyltriethoxysilane,? -Glycidyl Isopropyltrimethoxysilane, 2- (3 ', 4'-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, and the like. The silane coupling agents may be used alone or in admixture of two or more. The silane coupling agent may be adjusted in a proportion of 1% by weight or less based on the whole photosensitive resin composition.

본 발명의 일 실시예에 따른 감광성 수지 조성물은 레벨링제, 광증감제, 열중합 방지제, 소포제 또는 증감제를 더 포함할 수 있다. The photosensitive resin composition according to an embodiment of the present invention may further include a leveling agent, a photosensitizer, a thermal polymerization inhibitor, a defoaming agent or a sensitizer.

추가될 수 있는 첨가제의 예로는 도포성을 향상시키기 위한 레벨링제를 들 수 있다. 상기 레벨링제의 시판품으로 예를 들면, R-08, R-475, R-30(DIC사 제조), BM-1000, BM-1100(BM CHEMIE사 제조), 플로우라이드 FC-135, 동 FC-170C, 동 FC-430, 동 FC-431(스미또모 쓰리엠(주) 제조), 서프론 S-112, 동 S-113, 동 S-131, 동 S-141, 동 S-145, 동 S-382, 동 SC-101, 동 SC-102, 동 SC-103, 동 SC-104, 동 SC-105, 동 SC-106(아사히 글라스(주) 제조), SH-28 PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190(도레이 실리콘(주) 제조) 등의 불소계 또는 실리콘계 계면 활성제를 들 수 있다. 이들 레벨링제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 레벨링제 배합량은 전체 감광성 수지 조성물을 기준으로 1 중량% 이하의 범위에서 사용한다. An example of an additive which can be added is a leveling agent for improving the coatability. R-08, R-475, R-30 (manufactured by DIC), BM-1000, BM-1100 (manufactured by BM CHEMIE), Fluoride FC-135, FC- S-131, S-141, S-145, S-112, S-113, S-131, S- (Manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), SH-28 PA, SH-190, SH (available from Asahi Glass Co., Ltd.), SC-101, SC-102, SC- Fluorine-based or silicone-based surfactants such as S-603, S-603, SF-8428, DC-57 and DC-190 (manufactured by Toray Silicone Co., Ltd.) These leveling agents may be used alone or in combination of two or more. The leveling agent is used in an amount of 1% by weight or less based on the entire photosensitive resin composition.

이렇게 제조된 본 발명에 따른 감광성 수지 조성물의 경우, 낮은 유전율을 가지며, 현상이 빠르며 막감소율이 적고, 우수한 내열성, 접착력 및 평탄성과 광차단 효과를 가진 고감도, 고해상도 수지 조성물을 얻을 수 있다.In the photosensitive resin composition according to the present invention thus prepared, a high-sensitivity, high-resolution resin composition having a low dielectric constant, fast development, low film reduction rate, excellent heat resistance, adhesive force, flatness and light shielding effect can be obtained.

기판에 도포된 감광성 수지 조성물은 포토리소그라피 공정을 통해 남은 패턴은 베이킹에 의해 이미드화하여 폴리이미드 필름으로 형성되고 사용 목적에 따라 OLED 셀 사이에 빛샘 현상을 억제할 수 있는 격벽 등으로 제공될 수 있다.The photosensitive resin composition applied to the substrate may be provided as a barrier rib or the like that is formed of a polyimide film by imidizing by baking the remaining pattern through a photolithography process and can suppress the light leakage phenomenon between OLED cells depending on the use purpose .

이하, 도표, 합성예 및 실시예를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 감광성 수지 조성물에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. Hereinafter, the photosensitive resin composition according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to tables, synthesis examples and examples. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

합성예 1 폴리이미드 전구체[PI1] 합성 Synthesis Example 1 Synthesis of polyimide precursor [PI1]

2,2-비스(3-아미노-4-히드록시페닐)헥사플로로프로판 23.6g를 감마부티로락톤 81.58g에 녹인 후, 4,4'-(헥사플로로이소프로필리덴)디프탈릭안하이드라이드를 25.77g, 말레익안하이드라이드를 0.63g, 디아미노페닐에테르 5.80g, 4,4'-옥시디아닐린 8.46g을 넣고, 상온에서 4시간 30분간 교반하여 폴리이미드 전구체[PI1]를 얻었다.23.6 g of 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane was dissolved in 81.58 g of gamma-butyrolactone, and 4,4 '- (hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride 25.17 g of rye, 0.63 g of maleic anhydride, 5.80 g of diaminophenyl ether and 8.46 g of 4,4'-oxydianiline were placed and stirred at room temperature for 4 hours and 30 minutes to obtain a polyimide precursor [PI1].

합성예 2 우레탄 아크릴레이트[UA1] 합성 Synthesis Example 2 Synthesis of urethane acrylate [UA1]

디페닐메탄 디이소시아네이트 25g과 2-히드록시에틸메타아크릴레이트 7.5g,디부틸틴디라우레이트 1.0mg, 부틸레이티드히드록시톨루엔3.0mg을 넣은 후, 60℃에서 4시간 반응하여 우레탄 아크릴레이트[UA1]을 얻었다.After adding 25 g of diphenylmethane diisocyanate, 7.5 g of 2-hydroxyethyl methacrylate, 1.0 mg of dibutyltin dilaurate and 3.0 mg of butylated hydroxytoluene and reacting at 60 ° C. for 4 hours to obtain urethane acrylate [UA1 ].

합성예 3 에폭시 아크릴레이트[EA1] 합성 Synthesis Example 3 Synthesis of epoxy acrylate [EA1]

에틸렌 글리콜 디글리시딜 에테르 4630mg을 감마부티로락톤 20ml에 묽힌 후, 아크릴산 0.76ml, 테트라부틸포스포늄브로마이드 60mg, 2,6-디-터트-부틸-4-메틸 페놀 2.4mg을 넣은 후, 온도를 110℃로 교반하면서 12시간 반응하여 에폭시 아크릴레이트[EA1]를 얻었다.After diluting 4630 mg of ethylene glycol diglycidyl ether with 20 ml of gamma-butyrolactone, 0.76 ml of acrylic acid, 60 mg of tetrabutylphosphonium bromide and 2.4 mg of 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol were added, Was reacted with stirring at 110 캜 for 12 hours to obtain an epoxy acrylate [EA1].

합성예 4 [PI1+UA1]의 합성 Synthesis Example 4 Synthesis of [PI1 + UA1]

상기 합성예 5에서 얻은 [PI1] 40g에 합성예 1로부터 얻은 [UA1] 5g을 넣고, 디부틸틴디라우레이트 0.8mg, 부틸레이티드히드록시톨루엔1.5mg을 넣은 후, 60℃에서 4시간 반응시켜 폴리이미드 전구체의 수산기에 우레탄 아크릴레이트가 치환된 폴리이미드 전구체[PI1+UA1]를 얻었다.5 g of [UA1] obtained in Synthesis Example 1 was added to 40 g of [PI1] obtained in the above Synthesis Example 5, and 0.8 mg of dibutyltin dilaurate and 1.5 mg of butylated hydroxytoluene were added thereto, followed by reaction at 60 ° C. for 4 hours A polyimide precursor [PI1 + UA1] having urethane acrylate substituted in the hydroxyl group of the polyimide precursor was obtained.

합성예 5 [PI1+EA1+UA1]의 합성 Synthesis Example 5 Synthesis of [PI1 + EA1 + UA1]

상기 합성예 6에서 얻은 [PI1+UA1] 25g에 합성예 3로부터 얻은 [EA1] 1.5g을 넣고, 테트라부틸포스포늄브로마이드 38mg, 2,6-디-터트-부틸-4-메틸 페놀 1.6mg을 넣은 후, 온도를 110℃로 교반하면서 12시간 반응하여 [PI1]의 카르복실기에 에폭시 아크릴레이트가 치환된 본 발명의 폴리이미드 전구체[PI1+EA1+UA1]를 얻었다.
1.5 g of [EA1] obtained in Synthesis Example 3 was added to 25 g of [PI1 + UA1] obtained in Synthesis Example 6, and 38 mg of tetrabutylphosphonium bromide and 1.6 mg of 2,6-di-tert- And then reacted for 12 hours at a temperature of 110 ° C with stirring to obtain a polyimide precursor [PI1 + EA1 + UA1] of the present invention in which an epoxy acrylate was substituted for the carboxyl group of [PI1].

실시예 1Example 1

(블랙 폴리이미드 분산액 [A1]의 제조)(Production of black polyimide dispersion [A1]

상기 합성예 4에서 얻은 [PI1+UA1] 50g에 카본블랙(스페셜 블랙 550, 에보닉데구사㈜, 독일) 200g, 분산제 (DISPER BYK-111, BYK-chemie, 독일) 0.1g, 용제로 감마부티로락톤 749.9g을 직경 0.2 mm의 ZrO2 비드(bead)를 사용하여 수직 타입의 고에너지 밀링 장비(beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, 일본)를 이용하여 분산 공정을 10분 동안 진행하여 블랙 폴리이미드 분산액 [A1]을 얻었다.
200 g of carbon black (Special Black 550, Ebonic Gosei, Germany), 0.1 g of a dispersing agent (DISPER BYK-111, BYK-chemie, Germany), 50 g of Gamma butyrolactone as a solvent were added to 50 g of [PI1 + UA1] obtained in the above- 749.9 g of lactone was subjected to a dispersion process for 10 minutes using a vertical type high energy milling equipment (beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, Japan) using a ZrO 2 bead having a diameter of 0.2 mm to obtain a black polyimide dispersion [A1] was obtained.

(감광성 수지조성물 [PR1]의 제조)
(Preparation of photosensitive resin composition [PR1]) [

<합성예4>로부터 얻어진 바인더 [PI1+UA1] 10ml에 상기에서 얻어진 블랙 폴리이미드 분산액 [A1] 용액 20mL을 넣고, 하기 화학식 12에서 D가 5개 중 평균적으로 3.0개가 디아조나프토퀴논설페이트그룹이며, 나머지 2개는 수소로 치환된 구조의 감광제 1.0g을 가하고, 용매 감마부티로락톤을 60mL를 가하고, 실란커플링제로서 γ-글리시독시프로필트리메톡시실란를 0.01g 가하고, 레벨링제로서 R-08을 0.01g 가하여 본 발명의 감광성 수지조성물[PR1]을 제조하였다. 20 mL of the solution of the black polyimide dispersion [A1] obtained above was added to 10 mL of the binder [PI1 + UA1] obtained from Synthesis Example 4, and an average of 3.0 out of 5 D in the following Formula 12 was added to the diazonaphthoquinonesulfonate group And 1.0 g of the photosensitive agent having a structure in which the remaining two are substituted with hydrogen, 60 mL of solvent gamma butyrolactone was added, 0.01 g of? -Glycidoxypropyltrimethoxysilane was added as a silane coupling agent, and R -08 was added in an amount of 0.01 g to prepare a photosensitive resin composition [PR1] of the present invention.

화학식 12Formula 12

Figure 112013024472816-pat00012

Figure 112013024472816-pat00012

실시예 2Example 2

(블랙 폴리이미드 분산액 [A2]의 제조)(Preparation of Black Polyimide Dispersion [A2]) [

상기 합성예 4에서 얻은 [PI1+UA1] 100g에 카본블랙(스페셜 블랙 550, 에보닉데구사㈜, 독일) 150g, 분산제 (DISPER BYK-111, BYK-chemie, 독일) 7.0g, 용제로 감마부티로락톤 743.0g을 직경 0.2 mm의 ZrO2 비드(bead)를 사용하여 수직 타입의 고에너지 밀링 장비(beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, 일본)를 이용하여 분산 공정을 10분 동안 진행하여 블랙 폴리이미드 분산액 [A2]을 얻었다.
150 g of carbon black (SPECIAL BLACK 550, manufactured by Ebonix KK, Germany), 7.0 g of dispersant (DISPER BYK-111, BYK-chemie, Germany), 100 g of [PI1 + UA1] obtained in Synthesis Example 4, 743.0 g of lactone was dispersed using a vertical type high energy milling equipment (beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, Japan) for 10 minutes by using a ZrO 2 bead having a diameter of 0.2 mm to obtain a black polyimide dispersion [A2] was obtained.

(감광성 수지조성물 [PR2]의 제조)
(Preparation of photosensitive resin composition [PR2]) [

<합성예4>로부터 얻어진 바인더 [PI1+UA1] 45ml에 상기에서 얻어진 블랙 폴리이미드 분산액 [A2] 용액 20mL을 넣는 것을 제외하고, 실시예1과 동일한 방법으로 본 발명의 감광성 수지조성물[PR2]을 제조하였다.
The photosensitive resin composition [PR2] of the present invention was prepared in the same manner as in Example 1, except that 20 ml of the solution of the black polyimide dispersion [A2] obtained above was added to 45 ml of the binder [PI1 + UA1] obtained from <Synthesis Example 4> .

실시예 3Example 3

(블랙 폴리이미드 분산액 [A3]의 제조)(Production of black polyimide dispersion [A3]

상기 합성예 4에서 얻은 [PI1+UA1] 150g에 카본블랙(스페셜 블랙 550, 에보닉데구사㈜, 독일) 100g, 분산제 (DISPER BYK-111, BYK-chemie, 독일) 1.5g, 용제로 감마부티로락톤 748.5g을 직경 0.2 mm의 ZrO2 비드(bead)를 사용하여 수직 타입의 고에너지 밀링 장비(beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, 일본)를 이용하여 분산 공정을 10분 동안 진행하여 블랙 폴리이미드 분산액 [A3]을 얻었다.
100 g of carbon black (SPECIAL BLACK 550, available from Efonic Chemical Co., Germany), 1.5 g of a dispersant (DISPER BYK-111, BYK-chemie, Germany), 150 g of [PI1 + UA1] obtained in the above- 748.5 g of lactone was dispersed using a vertical type high energy milling machine (beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, Japan) for 10 minutes by using a ZrO 2 bead having a diameter of 0.2 mm to obtain a black polyimide dispersion [A3].

(감광성 수지조성물 [PR3]의 제조)(Preparation of photosensitive resin composition [PR3]) [

<합성예4>로부터 얻어진 바인더 [PI1+UA1] 25ml에 상기에서 얻어진 블랙 폴리이미드 분산액 [A3] 용액 20mL을 넣는 것을 제외하고, 실시예1과 동일한 방법으로 본 발명의 감광성 수지조성물[PR3]을 제조하였다.
The photosensitive resin composition [PR3] of the present invention was prepared in the same manner as in Example 1 except that 20 ml of the black polyimide dispersion solution [A3] solution obtained above was added to 25 ml of the binder [PI1 + UA1] obtained from <Synthesis Example 4> .

실시예 4Example 4

(블랙 폴리이미드 분산액 [A4]의 제조)(Preparation of Black Polyimide Dispersion [A4]

상기 합성예 4에서 얻은 [PI1+UA1] 200g에 카본블랙(스페셜 블랙 550, 에보닉데구사㈜, 독일) 50g, 분산제 (DISPER BYK-111, BYK-chemie, 독일) 0.5g, 용제로 감마부티로락톤 749.5g을 직경 0.2 mm의 ZrO2 비드(bead)를 사용하여 수직 타입의 고에너지 밀링 장비(beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, 일본)를 이용하여 분산 공정을 10분 동안 진행하여 블랙 폴리이미드 분산액 [A4]을 얻었다.
50 g of carbon black (Special Black 550, Ebonix Co., Germany), 0.5 g of dispersant (DISPER BYK-111, BYK-chemie, Germany), 200 g of [PI1 + UA1] obtained in Synthesis Example 4, 749.5 g of lactone was dispersed using a vertical type high energy milling equipment (beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, Japan) using a ZrO 2 bead having a diameter of 0.2 mm for 10 minutes to obtain a black polyimide dispersion [A4] was obtained.

(감광성 수지조성물 [PR4]의 제조)(Preparation of photosensitive resin composition [PR4]) [

<합성예4>로부터 얻어진 바인더 [PI1+UA1] 5ml에 상기에서 얻어진 블랙 폴리이미드 분산액 [A4] 용액 20mL을 넣는 것을 제외하고, 실시예1과 동일한 방법으로 본 발명의 감광성 수지조성물[PR4]을 제조하였다.
The photosensitive resin composition [PR4] of the present invention was prepared in the same manner as in Example 1, except that 20 ml of the black polyimide dispersion [A4] solution obtained above was added to 5 ml of the binder [PI1 + UA1] obtained from <Synthesis Example 4> .

실시예 5Example 5

(블랙 폴리이미드 분산액 [B1]의 제조)(Production of black polyimide dispersion [B1]

상기 합성예 5에서 얻은 [PI1+UA1+EA1] 50g에 카본블랙(스페셜 블랙 550, 에보닉데구사㈜, 독일) 200g, 분산제 (DISPER BYK-111, BYK-chemie, 독일) 0.1g, 용제로 감마부티로락톤 749.9g을 직경 0.2 mm의 ZrO2 비드(bead)를 사용하여 수직 타입의 고에너지 밀링 장비(beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, 일본)를 이용하여 분산 공정을 10분 동안 진행하여 블랙 폴리이미드 분산액 [B1]을 얻었다.
200 g of carbon black (SPECIAL BLACK 550, Ebonic Gose Co., Germany), 0.1 g of a dispersant (DISPER BYK-111, BYK-chemie, Germany) and 50 g of gamma -allycopherol as solvents were added to 50 g of [PI1 + UA1 + EA1] 749.9 g of butyrolactone was dispersed for 10 minutes using a vertical type high energy milling machine (beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, Japan) using a ZrO 2 bead having a diameter of 0.2 mm for 10 minutes, To obtain a mid dispersion [B1].

(감광성 수지조성물 [PR5]의 제조)(Preparation of photosensitive resin composition [PR5]) [

<합성예5>로부터 얻어진 바인더 [PI1+UA1+EA1] 10ml에 상기에서 얻어진 블랙 폴리이미드 분산액 [B1] 용액 30mL을 넣고 하기 화학식 13에서 D가 4개 중 평균적으로 2.0개가 디아조나프토퀴논설페이트그룹이며, 나머지 2개는 수소로 치환된 구조의 감광제 1.2g을 가하고, 용매 감마부티로락톤을 60mL를 가하고, 실란커플링제로서 γ-글리시독시프로필트리메톡시실란를 0.01g 가하고, 레벨링제로서 R-08을 0.01g 가하여 본 발명의 감광성 수지조성물[PR5]을 제조하였다. 30 ml of the solution of the black polyimide dispersion [B1] obtained above was added to 10 ml of the binder [PI1 + UA1 + EA1] obtained from Synthesis Example 5, and on the average, 2.0 out of the four Ds in the following Formula 13 was reacted with diazonaphthoquinonesulphate And 1.2 g of a photosensitive agent having a structure in which the other two are substituted with hydrogen, 60 mL of solvent gamma-butyrolactone was added, 0.01 g of? -Glycidoxypropyltrimethoxysilane was added as a silane coupling agent, R-08 was added in an amount of 0.01 g to prepare a photosensitive resin composition [PR5] of the present invention.

화학식 13Formula 13

Figure 112013024472816-pat00013
Figure 112013024472816-pat00013

실시예 6Example 6

(블랙 폴리이미드 분산액 [B2]의 제조)(Production of Black Polyimide Dispersion [B2]

상기 합성예 5에서 얻은 [PI1+UA1+EA1] 100g에 카본블랙(스페셜 블랙 550, 에보닉데구사㈜, 독일) 150g, 분산제 (DISPER BYK-111, BYK-chemie, 독일) 7.0g, 용제로 감마부티로락톤 743.0g을 직경 0.2 mm의 ZrO2 비드(bead)를 사용하여 수직 타입의 고에너지 밀링 장비(beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, 일본)를 이용하여 분산 공정을 10분 동안 진행하여 블랙 폴리이미드 분산액 [B2]을 얻었다.
150 g of carbon black (SPECIAL BLACK 550, Ebonite KK, Germany), 7.0 g of a dispersing agent (DISPER BYK-111, BYK-chemie, Germany) and 100 g of [PI1 + UA1 + EA1] obtained in the above- 743.0 g of butyrolactone was dispersed for 10 minutes using a vertical type high energy milling equipment (beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, Japan) using a ZrO 2 bead having a diameter of 0.2 mm for 10 minutes, To obtain a mid dispersion [B2].

(감광성 수지조성물 [PR6]의 제조)
(Preparation of photosensitive resin composition [PR6]) [

<합성예5>로부터 얻어진 바인더 [PI1+UA1+UA1] 45ml에 상기에서 얻어진 블랙 폴리이미드 분산액 [B2] 용액 30mL을 넣는 것을 제외하고, 실시예5와 동일한 방법으로 본 발명의 감광성 수지조성물[PR6]을 제조하였다.
The same procedure as in Example 5 was carried out except that 30 ml of the black polyimide dispersion solution [B2] solution obtained above was added to 45 ml of the binder [PI1 + UA1 + UA1] obtained from Synthesis Example 5 to obtain the photosensitive resin composition [PR6 ].

실시예 7Example 7

(블랙 폴리이미드 분산액 [B3]의 제조)(Production of black polyimide dispersion [B3]

상기 합성예 5에서 얻은 [PI1+UA1+EA1] 150g에 카본블랙(스페셜 블랙 550, 에보닉데구사㈜, 독일) 100g, 분산제 (DISPER BYK-111, BYK-chemie, 독일) 1.5g, 용제로 감마부티로락톤 748.5g을 직경 0.2 mm의 ZrO2 비드(bead)를 사용하여 수직 타입의 고에너지 밀링 장비(beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, 일본)를 이용하여 분산 공정을 10분 동안 진행하여 블랙 폴리이미드 분산액 [B3]을 얻었다.
100 g of carbon black (SPECIAL BLACK 550, available from Efonic Chemical Co., Germany), 1.5 g of a dispersant (DISPER BYK-111, BYK-chemie, Germany) and 150 g of gamma -butyrolactone were dissolved in 150 g of [PI1 + UA1 + EA1] 748.5 g of butyrolactone was dispersed for 10 minutes using a vertical type high energy milling machine (beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, Japan) using a ZrO 2 bead having a diameter of 0.2 mm for 10 minutes, To obtain a mid dispersion [B3].

(감광성 수지조성물 [PR7]의 제조)(Preparation of photosensitive resin composition [PR7]) [

<합성예5>로부터 얻어진 바인더 [PI1+UA1+UA1] 25ml에 상기에서 얻어진 블랙 폴리이미드 분산액 [B3] 용액 30mL을 넣는 것을 제외하고, 실시예5와 동일한 방법으로 본 발명의 감광성 수지조성물[PR7]을 제조하였다.
The same procedure as in Example 5 was carried out except that 30 ml of the black polyimide dispersion solution [B3] solution obtained above was added to 25 ml of the binder [PI1 + UA1 + UA1] obtained from Synthesis Example 5 to obtain the photosensitive resin composition [PR7 ].

실시예 8Example 8

(블랙 폴리이미드 분산액 [B4]의 제조)(Production of black polyimide dispersion [B4]

상기 합성예 5에서 얻은 [PI1+UA1+EA1] 200g에 카본블랙(스페셜 블랙 550, 에보닉데구사㈜, 독일) 50g, 분산제 (DISPER BYK-111, BYK-chemie, 독일) 0.5g, 용제로 감마부티로락톤 749.5g을 직경 0.2 mm의 ZrO2 비드(bead)를 사용하여 수직 타입의 고에너지 밀링 장비(beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, 일본)를 이용하여 분산 공정을 10분 동안 진행하여 블랙 폴리이미드 분산액 [B4]을 얻었다.
50 g of carbon black (SPECIAL BLACK 550, Ebonix KK, Germany), 0.5 g of a dispersant (DISPER BYK-111, BYK-chemie, Germany) were added to 200 g of [PI1 + UA1 + EA1] obtained in Synthesis Example 5, 749.5 g of butyrolactone was dispersed for 10 minutes using a vertical type high energy milling machine (beads mill, UAM-015, KOTOBUKI, Japan) using a ZrO 2 bead having a diameter of 0.2 mm for 10 minutes, MeD dispersion [B4].

(감광성 수지조성물 [PR8]의 제조)(Preparation of photosensitive resin composition [PR8]) [

<합성예5>로부터 얻어진 바인더 [PI1+UA1+UA1] 5ml에 상기에서 얻어진 블랙 폴리이미드 분산액 [B4] 용액 30mL을 넣는 것을 제외하고, 실시예5와 동일한 방법으로 본 발명의 감광성 수지조성물[PR8]을 제조하였다.
The photosensitive resin composition [PR8] of the present invention was prepared in the same manner as in Example 5 except that 30 ml of the black polyimide dispersion solution [B4] solution obtained above was added to 5 ml of the binder [PI1 + UA1 + UA1] ].

비교예Comparative Example

합성예1에서 제조된 [PI1+UA1] 용액 20mL에 상기 화학식 6에서 D가 5개중 평균적으로 3.0개가 디아조나프토퀴논설페이트그룹이며, 나머지 2개는 수소로 치환된 구조의 감광제 1.0g을 가하고, 감마부티로락톤을 10mL를 가하고, 실란커플링제로 γ-글리시독시프로필트리메톡시실란를 0.01g 가하고, 레벨링 제인 R-08을 0.01g 가하여 비교예로서 감광성 수지조성물(PR9)을 제조하였다.
To 20 mL of the [PI1 + UA1] solution prepared in Synthesis Example 1, 1.0 g of a photosensitizer having a diazonaphthoquinonesulfonate group on an average of 3.0 out of 5, and the remaining two of which were substituted with hydrogen, was added to 5 , 10 ml of gamma-butyrolactone was added, 0.01 g of? -Glycidoxypropyltrimethoxysilane was added as a silane coupling agent, and 0.01 g of a leveling agent R-08 was added to prepare a photosensitive resin composition (PR9) as a comparative example.

상기 실시예 1 내지 8 및 비교예에 대한 조성을 아래 표1로 나타낸다.The compositions for Examples 1 to 8 and Comparative Examples are shown in Table 1 below.

감광성 수지Photosensitive resin 바인더/mlBinder / ml 블랙 폴리이미드분산액/mlBlack polyimide dispersion / ml 감광제
/g
Photosensitive agent
/ g
실란커플링제/gSilane coupling agent / g 레벨링제Leveling agent 용제solvent
실시예1(PR1)Example 1 (PR1) PI1+UA1/10PI1 + UA1 / 10 A1/20A1 / 20 화학식6/1.06 / 1.0 γ-글리시독시프로필트리메톡시실란/0.1gamma -glycidoxypropyltrimethoxysilane / 0.1 R-08/0.01gR-08 / 0.01g 감마티로락톤/60mlGamma Tyrone Lactone / 60ml 실시예2(PR2)Example 2 (PR2) PI1+UA1/45PI1 + UA1 / 45 A2/20A2 / 20 실시예3(PR3)Example 3 (PR3) PI1+UA1/25PI1 + UA1 / 25 A3/20A3 / 20 실시예4(PR4)Example 4 (PR4) PI1+UA1/5PI1 + UA1 / 5 A4/20A4 / 20 실시예5(PR5)Example 5 (PR5) PI1+UA1+EA1/10PI1 + UA1 + EA1 / 10 B1/20B1 / 20 화학식4/1.2Formula 4 / 1.2 실시예6(PR6)Example 6 (PR6) PI1+UA1+EA1/45PI1 + UA1 + EA1 / 45 B2/20B2 / 20 실시예7(PR7)Example 7 (PR7) PI1+UA1+EA1/25PI1 + UA1 + EA1 / 25 B3/20B3 / 20 실시예8(PR8)Example 8 (PR8) PI1+UA1+EA1/5PI1 + UA1 + EA1 / 5 B4/20B4 / 20 비교예 (PR9)Comparative Example (PR9) PI1+UA1+EA1/10PI1 + UA1 + EA1 / 10 -- 화학식6/1.06 / 1.0

상기 표1에서의 블랙 폴리이미드 분산액은 아래의 표2와 같다.The black polyimide dispersion in Table 1 is shown in Table 2 below.

블랙 폴리이미드 분산액Black polyimide dispersion 바인더/gBinder / g 카본 블랙
(스페셜 블랙 550)/g
Carbon black
(Special Black 550) / g
분산제/g
(DISPER BYK-111)
Dispersant / g
(DISPER BYK-111)
용제/g
(감마부티로락톤)
Solvent / g
(Gamma butyrolactone)
A1A1 PI1+UA1PI1 + UA1 5050 200200 0.10.1 749.9749.9 A2A2 100100 150150 7.07.0 743.0743.0 A3A3 150150 100100 1.51.5 748.5748.5 A4A4 200200 5050 0.50.5 749.5749.5 B1B1 PI1+UA1+EA1


PI1 + UA1 + EA1


5050 200200 0.10.1 749.9749.9
B2B2 100100 150150 7.07.0 743.0743.0 B3B3 150150 100100 1.51.5 748.5748.5 B4B4 200200 5050 0.50.5 749.5749.5

상기의 실시예와 비교예로부터 얻은 감광성 폴리이미드전구체 조성물 용액을 포토리소그라피 공정을 진행하여 패턴을 형성한다. 즉, 패턴 형성에 이용되는 투명 기판으로서는, 유리 기판을 사용하였고, 상기 조성물을 3um의 두께가 되도록 도포한 후, 100 ℃에서 90초간 가열(프리베이크)하고, 이어서, 패턴이 있는 광마스크를 통해 g,h,i-line의 혼합파장의 자외선을 100mJ/cm2을 노광한 후, 테트라암모늄히드록시드 2.38 중량% 수용액에 의해, 25 ℃에 서 60초간 현상한 후, 순수로 1분간 세정하고, 또한 250 ℃의 오븐 속에서 60분간 가열함으로써, 패턴을 형성하였다.The photosensitive polyimide precursor composition solution obtained from the above Examples and Comparative Examples is subjected to a photolithography process to form a pattern. That is, as a transparent substrate used for pattern formation, a glass substrate was used, and the composition was coated so as to have a thickness of 3 mu m, and then heated (prebaked) at 100 DEG C for 90 seconds. Then, g, h, and i-line at a wavelength of 100 mJ / cm &lt; 2 &gt;, developed with a 2.38 wt% aqueous solution of tetraammonium hydroxide at 25 DEG C for 60 seconds, washed with pure water for 1 minute, And further heated in an oven at 250 DEG C for 60 minutes to form a pattern.

이어서, 하기의 방법으로 각종 평가를 행하였다. Then, various evaluations were carried out by the following methods.

(1) 차광성(OD)(1) Shading property (OD)

차광성은 25 ℃에서 현상을 마친 유리 기판 위에 1.0um도포된 감광성 수지 조성물을 250℃ 컨벡션 오븐에서 30 분간 포스트베이크(Post Bake)한 후, OD meter (X-rite 3000, 상부하이텍 제품)를 이용하여 차광성을 측정하였다. OD값은 3.4~3.6이면 양호하다고 할 수 있다. 기준표는 아래와 같다. The light-shielding property was evaluated by post-baking the photosensitive resin composition coated on the glass substrate at 25 캜 with 1.0 탆 for 30 minutes in a convection oven at 250 캜 and then using an OD meter (X-rite 3000, And the light shielding properties were measured. The OD value is preferably 3.4 to 3.6. The reference table is as follows.

◎ > 3.6 , 3.6≥ ○ >3.4, 3.4≥ △ > 3.2, 3.2 ≥ X? 3.6, 3.6?? 3.4, 3.4?? 3.2, 3.2? X

(2) 블랙 폴리이미드 분산액 입자 사이드(nm)(2) black polyimide dispersion particle side (nm)

블랙 폴리이미드 분산액을 이소프로필알코올을 이용하여 100배 희석한 후, NICOMP 380(제조사: PSS.NICOMP, USA) 장비를 사용하여 블랙 폴리이미드 분산액에 분산되어진 평균 입자 사이즈를 측정하였다. 측정값은 150~500nm일 경우 양호하다고 할 수 있다. 기준표는 아래와 같다. The black polyimide dispersion was diluted 100 times with isopropyl alcohol and then the average particle size dispersed in the black polyimide dispersion was measured using NICOMP 380 (manufacturer: PSS.NICOMP, USA). It can be said that the measured value is in the range of 150 to 500 nm. The reference table is as follows.

150 > ◎ , 150 ≤ ○ <500, 500 ≤ △ < 1500, X ≥ 1500
150?, 150?? <500, 500??? 1500, X? 1500

(3) 해상도의 평가(3) Evaluation of resolution

상기 포토리소그라피 공정을 진행하여 미세패턴의 형성상태를 확인하였다. 이때 10um 내지 15um의 패턴이 형성되었을 경우, 양호하다고 할 수 있다. 기준표는 아래와 같다.The photolithography process was performed to confirm the formation of fine patterns. At this time, when a pattern of 10 um to 15 um is formed, it can be said that it is good. The reference table is as follows.

10 > ◎ , 10 ≤ ○ <15, 15 ≤ △ < 20, X ≥ 205
10?, 10? 15, 15?? 20, X? 205

(4) 유전율의 측정(4) Measurement of dielectric constant

ITO전극이 배선된 기판위에 상기 폴리이미드 전구체 조성물을 도포하여 두께 1.5um의 박막을 형성하여 포토리소그라피 공정을 진행한 후, 박막 위에 백금을 증착한 후 전극을 연결하여 유전율 측정하며, 유전율이 3.6 내지 3.8 범위이면 양호하다고 할 수 있다. 기준표는 아래와 같다.The polyimide precursor composition was coated on the substrate on which the ITO electrode was wired to form a thin film having a thickness of 1.5 um and a photolithography process was performed. Then, platinum was deposited on the thin film and electrodes were connected to measure the dielectric constant. 3.8 range, it can be said that it is good. The reference table is as follows.

3.6 > ◎ , 3.6 ≤ ○ <3.8, 3.8 ≤ △ < 4.2, X ≥ 4.2
3.6?, 3.6?? <3.8, 3.8?? <4.2, X? 4.2

(5) 내열성 평가(5) Evaluation of heat resistance

포토마스크를 사용하지 않는 이외에는 상기 스페이서의 형성과 동일하게 하여 경화막을 형성한 후, 230 ℃의 오븐 속에서 30분간 추가 가열하고 얻어진 시료를 DSC분석 장비를 통해 유리전이온도를 측정하였다. 이때의 온도가 210 내지 270℃일 경우, 양호하다. 기준표는 아래와 같다.A cured film was formed in the same manner as in the formation of the spacer except that the photomask was not used. The cured film was further heated in an oven at 230 캜 for 30 minutes, and the obtained glass transition temperature was measured using a DSC analyzer. When the temperature at this time is 210 to 270 占 폚, it is preferable. The reference table is as follows.

◎ > 270 , 270≥ ○ >250, 250 ≥ △ > 220, 220 ≥ X
? 270, 270?? 250, 250? 220, 220? X

6) 비저항(Resistivity)6) Resistivity

유리기판 위에 상기 감광성 수지 조성물을 도포하여 두께 1.5um의 박막을 형성하여 포토리소그라피 공정을 진행한 후 MCP-HT450(Mitubishi제품)를 사용하여 Resistivity 을 측정하였다. 1013 Ω/cm2이상이면 양호하다고 할수 있다. 기준표는 아래와 같다.The photosensitive resin composition was coated on a glass substrate to form a thin film having a thickness of 1.5 um, and the resistivity was measured using MCP-HT450 (manufactured by Mitubishi) after the photolithography process. 10 13 Ω / cm 2 or more. The reference table is as follows.

◎ ≥ 10^13 , 10^13 > ○ ≥ 10^10, 10^10 > △ ≥ 10^6, 10^6 > X
≥ 10 ^ 13, 10 ^ 13> ≥ 10 ^ 10, 10 ^ 10> △ ≥ 10 ^ 6, 10 ^ 6> X

상기 항목 (1) 내지 (6)에 대한 평가 결과를 [표3]에 나타내었다.
The evaluation results of the above items (1) to (6) are shown in [Table 3].

PR조성PR composition 차광성Shading 분산액 입자 크기Dispersion particle size 해상도resolution 유전율permittivity 내열성Heat resistance 비저항Resistivity 실시예1Example 1 실시예2Example 2 ×× ×× 실시예3Example 3 실시예4Example 4 실시예5Example 5 실시예6Example 6 ×× ×× 실시예7Example 7 실시예8Example 8 비교예Comparative Example ×× --

◎:아주 좋음, ○:좋음, △: 보통, ×: 나쁨
Good: Good: Fair: Fair: Fair: Bad: Good

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

Claims (6)

(a) 하기 화학식1로 표시되는 폴리이미드 바인더;
(b) 하기 화학식1로 표시되는 폴리이미드 바인더, 카본 블랙 및 분산제로 이루어진 블랙 폴리이미드 분산액;
(c) 디아조 나프토퀴논 감광제; 및
(d) 나머지 용매를 포함하고,
상기 폴리이미드 바인더(a) 및 상기 블랙 폴리이미드 분산액(b)은 0.25 내지 2.25 : 1의 부피비를 갖고,
상기 디아조 나프토퀴논 감광제(c)는 상기 폴리이미드 바인더(a) 및 상기 블랙 폴리이미드 분산액(b)이 합산된 단위 부피(ml)당 0.015 내지 0.048g의 비율을 갖는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
화학식 1
Figure 112014022937721-pat00014

상기 화학식1에서 m,n,o …… w는 자연수이고, R1, R2는 각각 독립적으로 수소 또는 하기 화학식 2로 나타내는 에폭시 아크릴레이트 치환기이고, R3, R4은 각각 독립적으로 수소 또는 하기 화학식3으로 나타내는 우레탄 아크릴레이트 치환기이고, X, Y는 각각 독립적으로 할로겐, 수산기, 술폰기, 니트로기 또는 시아노 기로 치환되거나 치환되지 않은 탄화수소 체인이거나 탄소 골격의 일부가 N, O 또는 S로 치환된 헤테로 체인이거나 방향족 환이 서로 연결되거나 융합된 것을 나타내고, R5 내지 R16은 각각 독립적으로 수소, 할로겐, 수산기, 카르복실기, 술폰기, 니트로기 또는 시아노기로 치환되거나 치환되지 않은 탄소수 1내지 30의 알킬기 또는 알콕시기, 할로겐, 수산기, 카르복실기, 술폰기, 니트로기 또는 시아노기를 나타낸다.

화학식 2
Figure 112014022937721-pat00015

상기 화학식 2에서 R17은 탄소수 2 내지 50의 결합수 2개의 탄화수소기이다.

화학식 3
Figure 112014022937721-pat00016

상기 화학식 3에서, R18은 탄소수 2 내지 50의 결합수 2개의 탄화수소기이다.
(a) a polyimide binder represented by the following formula (1);
(b) a black polyimide dispersion comprising a polyimide binder represented by the following formula (1), carbon black and a dispersant;
(c) a diazonaphthoquinone photosensitizer; And
(d) the remaining solvent,
Wherein the polyimide binder (a) and the black polyimide dispersion (b) have a volume ratio of 0.25 to 2.25: 1,
Wherein the diazonaphthoquinone photosensitive agent (c) has a ratio of 0.015 to 0.048 g per unit volume (ml) of the sum of the polyimide binder (a) and the black polyimide dispersion (b) Composition.
Formula 1
Figure 112014022937721-pat00014

In the above formula (1), m, n, o ... ... and w and q are independently a hydrogen atom or an epoxy acrylate substituent represented by the following formula (2), R3 and R4 are each independently hydrogen or a urethane acrylate substituent represented by the following formula (3), X and Y are A hydrocarbon chain which is independently substituted or unsubstituted with a halogen, a hydroxyl group, a sulfone group, a nitro group or a cyano group, or a part of the carbon skeleton is a hetero chain substituted by N, O or S, or an aromatic ring is connected or fused, To R16 each independently represents an alkyl or alkoxy group having 1 to 30 carbon atoms which is optionally substituted with hydrogen, halogen, hydroxyl, carboxyl, sulfonic group, nitro group or cyano group, halogen, hydroxyl group, carboxyl group, sulfone group, Cyano group.

(2)
Figure 112014022937721-pat00015

In the formula (2), R17 is a hydrocarbon group having 2 to 50 carbon atoms and a bonding number of 2.

(3)
Figure 112014022937721-pat00016

In the general formula (3), R 18 is a hydrocarbon group having 2 to 50 carbon atoms and a bonding number of 2.
제1항에 있어서, 상기 폴리이미드 바인더는, 상기 화학식 1의 a 부분은 방향족 디안하이드라이드로부터 유도된 2 종류 이상의 잔기를 포함하고, 상기 화학식 b 부분은 유기 디아민으로부터 유도된 2 종류 이상의 잔기를 포함하며,
R1과 R2 중 적어도 하나가 상기 화학식2의 에폭시 아크릴레이트로 치환된 상기 화학식1의 a 부분의 잔기의 개수가 전체 디안하이드라이드로부터 유도된 잔기 개수의 2 내지 50%이며, R3과 R4 중 적어도 하나가 상기 화학식3의 우레탄 아크릴레이트로 치환된 상기 화학식1의 b 부분의 잔기의 개수가 전체 유기 디아민으로부터 유도된 잔기 개수의 2 내지 50%인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
The polyimide binder according to claim 1, wherein the polyimide binder comprises two or more kinds of moieties derived from an aromatic dianhydride, and the moiety (b) includes two or more kinds of moieties derived from an organic diamine In addition,
Wherein at least one of R 1 and R 2 is substituted with an epoxy acrylate of Formula 2 and the number of moieties in a portion of Formula 1 is 2 to 50% of the total number of moieties derived from dianhydride, and at least one of R 3 and R 4 Is substituted with urethane acrylate of the above formula (3) is 2 to 50% of the number of residues derived from the total organic diamine.
제1항에 있어서, 상기 블랙 폴리이미드 분산액은
상기 화학식1로 표시되는 폴리이미드 바인더 5.00-20.00 중량%;
상기 카본 블랙 5.00-20.00 중량%;
분산제 0.01-0.70 중량%; 및
여분의 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
The black polyimide dispersion of claim 1, wherein the black polyimide dispersion comprises
5.00-20.00 wt% of the polyimide binder represented by Formula 1;
5.00-20.00 wt% of the carbon black;
0.01-0.70 wt% dispersant; And
Wherein the photosensitive resin composition further comprises an excess solvent.
제3항에 있어서, 상기 분산제는, 폴리에틸렌계 화합물, 폴리에스테르계 화합물, 폴리카르본산에스테르계 화합물, 불포화 폴리아미드계 화합물, 폴리카르본산계 화합물, 폴리카르본산알킬염 화합물, 폴리아크릴계 화합물, 폴리에틸렌이민계 화합물 또는 폴리우레탄계 화합물로 이루어진 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.[5] The method of claim 3, wherein the dispersing agent is selected from the group consisting of a polyethylene compound, a polyester compound, a polycarboxylic acid ester compound, an unsaturated polyamide compound, a polycarboxylic acid compound, a polycarboxylic acid alkyl salt compound, An imine compound or a polyurethane compound. 삭제delete 제1항에 있어서, 레벨링제, 광증감제, 열중합 방지제, 소포제 및 증감제가 이루는 군에서 선택된 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물. The photosensitive resin composition according to claim 1, further comprising at least one selected from the group consisting of a leveling agent, a photosensitizer, a thermal polymerization inhibitor, a defoaming agent and a sensitizer.
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