KR101398396B1 - Bar type ionizer and static charge eliminating method thereof - Google Patents

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    • H01T23/00—Apparatus for generating ions to be introduced into non-enclosed gases, e.g. into the atmosphere

Abstract

본 발명은 이온의 발생 효율을 향상시킴으로써 제전 영역에서 제전 효율(즉, 이온이 이오나이저로부터 방출되는 효율)을 증가시키기 위한 바형 이오나이저 및 그 제전 방법에 관한 것으로, 고전압을 발생시키는 고전압 발생 유닛; 수평한 길이방향으로 연장되어 바형태로 형성되어 상기 고전압을 인가받는 고압전극과, 상기 고압전극과 대응되어 일정 거리를 유지하도록 바형태로 형성된 대면접지전극으로 구성되어 다수의 이온을 발생시키는 선상대면전극; 및 상기 선상대면전극의 상부에 형성되고, 상기 선상대면전극에서 발생된 다수의 이온을 그 하부의 대전체 쪽으로 송풍시키는 송풍유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a bar type ionizer and a method of eliminating the same in order to increase the erasing efficiency (i.e., the efficiency with which ions are emitted from the ionizer) in the erasure area by improving the generation efficiency of ions, and a high voltage generating unit for generating a high voltage. A high voltage electrode formed in a bar shape extending in a horizontal direction to receive the high voltage and a facing ground electrode formed in a bar shape in correspondence with the high voltage electrode to maintain a constant distance, electrode; And an air blowing unit formed on the line-facing electrode and blowing a large number of ions generated from the line-facing electrode toward the entire lower portion of the line-facing electrode.

Description

바형 이오나이저 및 그 제전 방법{BAR TYPE IONIZER AND STATIC CHARGE ELIMINATING METHOD THEREOF}BAR TYPE IONIZER AND STATIC CHARGE ELIMINATING METHOD THEREOF FIELD OF THE INVENTION [0001]

본 발명은 이오나이저 및 그 제전 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제전 영역에서 정전기를 제거하는 바형 이오나이저 및 그 제전 방법에 관한 것이다.
Field of the Invention [0002] The present invention relates to an ionizer and a static elimination method thereof, and more particularly to a bar type ionizer and a static elimination method for removing static electricity in the static elimination region.

지금까지 코로나 방전을 이용하는 이오나이저는 제전 영역(예컨대, 정전기가 대전된 물체)에서 정전기를 제거하기 위한 일종의 제전 장치로 알려져 있다. Until now, an ionizer utilizing a corona discharge has been known as a sort of static eliminator for removing static electricity from a static elimination region (for example, a static-charged object).

예컨대, 미국 특허 No. 6,693,788, 일본 특허 공개 No. 2008-288072에 개시된 이오나이저는 전극에 대한 고전압의 인가에 의해 야기된 코로나 방전에 의해 발생되는 정이온 또는 부이온을 제전 영역에 방출하고, 그 결과 제전 영역에 포함된 정전기가 정이온 또는 부이온에 의해 제거된다.See, for example, U.S. Pat. 6,693,788; 2008-288072 discloses that the ionizer emits a positive ion or a negative ion generated by a corona discharge caused by application of a high voltage to an electrode to a static elimination region so that the static electricity contained in the static elimination region is a positive ion or a negative ion Lt; / RTI >

도 1에 도시된 바와 같이, 미국등록특허 제6,693,788호의 설명에 따른 이오나이저는 침 전극(100)과 정전기가 제거된 물체(104)와 침 전극(100) 사이에 배치된 접지 전극(102)이 구비되어 있다. 이 경우에 있어서 예컨대 T의 기간과 50%의 듀티비(duty ratio)(즉, +V의 전압이 인가되고, -V의 전압이 인가된 고전압이 상호적으로 반복됨)를 가진 교류 전압이 침 전극(100)에 인가되고, 도시되지 않은 전계(electric field)(전기력선)은 침 전극(100)과 침 전극(100)을 대향하는 접지 전극 사이에 형성된다. 이에 따라, 교류 전압(인가 전압 +V)의 정의 반주기에 코로나 방전에 의해 침 전극(100)의 선단부에 전계 집중이 발생되고, 교류 전압(인가 전압 -V)의 부의 반주기에 선단부 근방에 정이온(106)이 발생되고, 선단부 근방에 부이온(108)이 발생된다. 따라서, 정이온(106) 또는 부이온(108)을 2개의 접지 전극(102) 사이에서(즉, 이오나이저에서 제공된 개구를 통해) 통과시키고, 물체(104)를 향해 이 이온을 방출함으로써 물체(104)에 대전된 전하가 제거된다.1, an ionizer 100 according to the teachings of U.S. Patent No. 6,693,788, a ground electrode 102 disposed between an electrostatic free object 104 and a needle electrode 100, Respectively. In this case, for example, an AC voltage having a period of T and a duty ratio of 50% (i.e., a voltage of + V is applied and a high voltage to which the voltage of -V is applied is mutually repeated) An electric field (electric force line) not shown is formed between the needle electrode 100 and the ground electrode facing the needle electrode 100. As a result, electric field concentration occurs at the tip of the needle electrode 100 by corona discharge in the positive half cycle of the AC voltage (applied voltage + V), and in the negative half cycle of the AC voltage (applied voltage -V) (106) is generated, and secondary ions (108) are generated in the vicinity of the tip portion. Thus, by passing the positive ions 106 or the negative ions 108 between the two ground electrodes 102 (i.e., through the openings provided in the ionizer) and discharging the ions toward the object 104 104 are removed.

도 2에 도시된 바와 같이, 일본공개특허 제2008-288072호에 개시된 이오나이저에 있어서, 이온화가 물체(104)로부터 관찰되면 2개의 침 전극(100a, 100b)이 2개의 접지 전극(102) 사이에 배치된다. 이 경우에 +V 직류전압이 한쪽 침 전극(100a)에 인가되면 -V 직류 전압은 다른쪽 침 전극(100b)에 인가되고, 상기 전압은 니들 전압(100a)과 접지 전극(102) 사이뿐만 아니라 침 전극(100b)과 접지 전극(102) 사이에 인가되고, 도시되지 않은 전계(전기력선)는 침 전극(100a)과 침 전극(100b) 사이에 형성된다. 따라서, 침 전극(100a, 100b)의 선단부에서 발생된 전계 집중에 의해 야기된 코로나 방전으로 인해 정이온(106)은 침 전극(100a)의 선단부 근방에서 대량으로 발생되고, 부이온(108)은 침 전극(100b)의 선단부 근방에서 대량으로 발생된다. 정이온(106)과 부이온(108)은 각 접지 전극(102) 사이의 개구를 통과하고, 물체(104)의 정전기가 제거된 물체(104)를 향하여 각각 방출된다.2, when ionization is observed from the object 104 in the ionizer disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2008-288072, two needle electrodes 100a and 100b are arranged between the two ground electrodes 102 . In this case, when a + V DC voltage is applied to one needle electrode 100a, a -V DC voltage is applied to the other needle electrode 100b, and the voltage is applied not only between the needle voltage 100a and the ground electrode 102 Is applied between the needle electrode 100b and the ground electrode 102 and an electric field (electric force line) not shown is formed between the needle electrode 100a and the needle electrode 100b. Therefore, due to the corona discharge caused by the electric field concentration generated at the tip portion of the needle electrodes 100a and 100b, the positive ions 106 are generated in a large amount in the vicinity of the tip portion of the needle electrodes 100a, A large amount is generated in the vicinity of the distal end of the needle electrode 100b. The positive ions 106 and the negative ions 108 pass through the openings between the respective ground electrodes 102 and are respectively emitted toward the object 104 from which the static electricity of the object 104 is removed.

그러나, 상기와 같이 종래기술에 따른 이오나이저에 의하면, 미국등록특허의 경우 정이온(106)과 부이온(108)이 유도되고, 침 전극(100)과 접지 전극(102) 사이에 형성된 도시되지 않은 전기력선을 따라 접지 전극(102)에 의해 흡수되기 때문에 물체(104)에 실제로 도달하는 정이온(106)과 부이온(108)의 수가 감소된다.However, according to the ionizer according to the prior art as described above, in the case of the US registered patent, the positive ions 106 and the negative ions 108 are induced and not shown between the needle electrodes 100 and the ground electrode 102 The number of the positive ions 106 and the negative ions 108 actually reaching the object 104 is reduced because it is absorbed by the ground electrode 102 along the electric force line.

또한, 일본공개특허의 이오나이저는 침 전극(100a, 100b)의 선단부에서의 전계 집중이 미국특허의 명세서에 개시된 아오나이저에 비해 크기 때문에 정이온(106) 또는 부이온(108)을 대량으로 발생할 수 있으나, 그럼에도 불구하고, 미국 특허와 마찬가지로 접지 전극(102)에 의해 정이온(106)과 부이온(108)이 각각 유도 및 흡수되기 쉽고 또한, 정이온(106)은 침 전극(100b)을 향하여 이동하고, 부이온(108)은 침 전극(100a)을 향하여 이동하므로, 이로 인해 정이온(106)과 부이온(108)이 그 이동중에 결합되고, 부이온(108)은 침 전극(100a)에 의해 유도 및 흡수되고, 또한 정이온(106)은 침전극(100b)에 의해 유도 및 흡수된다. 따라서, 정이온(106)과 부이온(108)이 대량으로 발생되더라도 물체(104)로부터 정전기를 제거하는데 필요한 정이온과 부이온의 수가 증가될 수 없는 문제점이 있었다.
In addition, since the ion concentration in the front end portion of the needle electrodes 100a and 100b of Japanese Laid-open Patent Publication No. Hei 10-919 is larger than that of the aonizer disclosed in the specification of the U.S. Patent, the positive ions 106 or the negative ions 108 are generated in a large amount The positive ions 106 and the negative ions 108 are easily guided and absorbed by the ground electrode 102 and the positive ions 106 are attracted to the needle electrodes 100b And the secondary ions 108 move toward the needle electrodes 100a so that the static ions 106 and the secondary ions 108 are coupled during the movement and the secondary ions 108 move toward the needle electrodes 100a And the static ions 106 are guided and absorbed by the needle electrodes 100b. Therefore, even if a large amount of positive ions 106 and negative ions 108 are generated, there is a problem that the number of positive ions and negative ions necessary for removing static electricity from the object 104 can not be increased.

미국등록특허 제6,693,788호U.S. Patent No. 6,693,788 일본공개특허 제2008-288072호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-288072

본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 이온의 발생 효율을 향상시킴으로써 제전 영역에서 제전 효율(즉, 이온이 이오나이저로부터 방출되는 효율)을 증가시키기 위한 바형 이오나이저 및 그 제전 방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to overcome the problems of the prior art described above, and it is an object of the present invention to provide a bar type ionizer for increasing the erasing efficiency in the erasing area (i.e., And the like.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 바형 이오나이저는, 고전압을 발생시키는 고전압 발생 유닛; 수평한 길이방향으로 연장되어 바형태로 형성되어 상기 고전압을 인가받는 고압전극과, 상기 고압전극과 대응되어 일정 거리를 유지하도록 바형태로 형성된 대면접지전극으로 구성되어 다수의 이온을 발생시키는 선상대면전극; 및 상기 선상대면전극의 상부에 형성되고, 상기 선상대면전극에서 발생된 다수의 이온을 그 하부의 대전체 쪽으로 송풍시키는 송풍유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the above object, a bar type ionizer according to the present invention includes: a high voltage generating unit for generating a high voltage; A high voltage electrode formed in a bar shape extending in a horizontal direction to receive the high voltage and a facing ground electrode formed in a bar shape in correspondence with the high voltage electrode to maintain a constant distance, electrode; And an air blowing unit formed on the line-facing electrode and blowing a large number of ions generated from the line-facing electrode toward the entire lower portion of the line-facing electrode.

또한, 수평한 길이방향으로 연장되어 직사각형의 바형태로 형성되고, 상기 고전압 발생 유닛, 선상대면전극 및 송풍유닛을 내장하며, 하부로 길이방향의 다수의 송풍장공이 형성되어 다수의 이온을 하부로 통과시키는 케이스를 포함한다.Further, a plurality of air ventilating holes are formed in the lower portion of the lower portion so as to form a plurality of air holes, which are formed in a rectangular bar shape extending in the horizontal longitudinal direction, And a case for passing through.

상기 선상대면전극의 고압전극 및 대면접지전극을 각각 감싸는 석영관을 더 포함하는 것이 바람직하다.And a quartz tube which surrounds the high voltage electrode and the facing ground electrode of the line facing face electrode, respectively.

또한, 상기 고압전극은 2개 이상의 전극으로 형성되고, 상기 고전압 발생 유닛은, 제 1 교류 전압을 2개 이상의 전극 중 제 1 전극에 인가하고, 제 1 교류 전압의 주파수보다 낮은 주파수를 가진 제 2 교류 전압을 2개 이상의 전극 중 제 2 전극에 인가하는 것이 더욱 바람직하다.The high-voltage electrode is formed of two or more electrodes. The high-voltage generating unit applies a first alternating-current voltage to the first one of the two or more electrodes, and applies a second alternating- It is more preferable to apply the alternating voltage to the second one of the two or more electrodes.

본 발명에 따른 바형 이오나이저의 제전 방법은, 고전압을 발생시키는 고전압 발생 단계; 수평한 길이방향으로 연장되어 바형태로 형성되어 상기 고전압을 인가받는 고압전극과, 상기 고압전극과 대응되어 일정 거리를 유지하도록 바형태로 형성된 대면접지전극으로 구성되어 다수의 이온을 발생시키는 단계; 및 상기에서 발생된 다수의 이온을 그 하부의 대전체 쪽으로 송풍시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention provides a method of eliminating static electricity in a bar type ionizer, comprising: a high voltage generating step of generating a high voltage; A high voltage electrode formed in a bar shape extending in a horizontal direction to receive the high voltage and a counter electrode formed in a bar shape to correspond to the high voltage electrode and to maintain a constant distance; And blowing a large number of ions generated in the above to the whole of the lower part of the lower part.

이때, 상기 고압전극은 2개 이상의 전극으로부터 제 1 전극에 제 1 교류전압을 인가하고 2개 이상의 전극으로부터 제 2 전극에 제 1 교류 전압의 주파수보다 낮은 주파수를 가진 제 2 교류 전압을 인가함으로써 정이온과 부이온을 발생하는 단계와, 발생된 정이온과 발생된 부이온을 제전 영역으로 방출함으로써 제전 영역의 정전기를 제거하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
In this case, the high-voltage electrode applies a first alternating-current voltage to the first electrode from two or more electrodes and a second alternating-current voltage having a frequency lower than the frequency of the first alternating-current voltage from the two or more electrodes to the second electrode, Ions and negative ions; and discharging the generated positive ions and generated negative ions to the static elimination region to remove static electricity in the static elimination region.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 바형 이오나이저 및 그 제전 방법에 의하면, 바형 전극과 송풍 유닛을 이용하여 이온의 발생 효율을 향상시킴으로써 제전 영역에서 제전 효율 즉, 이온이 이오나이저로부터 방출되는 효율을 증가시키는 효과가 있다.According to the bar ionizer and the elimination method of the present invention constructed as described above, by improving the efficiency of generating ions using the bar-shaped electrode and the air blowing unit, it is possible to increase the efficiency of discharging ions, that is, .

도 1 및 도 2는 종래기술에 따른 이오나이저를 나타낸 도면.
도 3 및 도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 바형 이오나이저 및 그 제전 방법을 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 바형 이오나이저의 케이스를 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 바형 이오나이저의 다양한 실시예를 나타낸 도면.
도 7은 본 발명과 종래 침전극의 전극에 의한 제전의 차이를 나타낸 비교 그래프.
도 8은 본 발명과 종래 침전극의 이온 송풍 속도와 제전 특성을 나타낸 비교 그래프.
도 9는 본 발명과 종래 침전극의 시간대별 전압변화를 나타낸 비교 그래프.
도 10은 본 발명과 종래 침전극의 Si웨이퍼 보호필름의 박리 제전량의 저감량을 나타낸 비교 그래프이다.Figures 1 and 2 show an ionizer according to the prior art.
FIG. 3 and FIG. 4 are diagrams illustrating a bar type ionizer and a method of eliminating the same according to a preferred embodiment of the present invention.
5 is a perspective view illustrating a case of a bar type ionizer according to a preferred embodiment of the present invention.
Figure 6 shows various embodiments of a bar type ionizer according to the present invention;
7 is a comparative graph showing the difference in charge elimination by the electrodes of the present invention and conventional needle electrodes.
8 is a comparative graph showing the ion blowing speed and electrification characteristics of the present invention and conventional needle electrodes.
FIG. 9 is a graph showing a comparison of voltage changes of the present invention and conventional needle electrodes with respect to time.
10 is a comparative graph showing the reduction amount of the release amount of the Si wafer protective film of the present invention and the conventional needle electrode.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3 및 도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 바형 이오나이저 및 그 제전 방법을 나타낸 도면이다.FIG. 3 and FIG. 4 are views showing a bar type ionizer according to a preferred embodiment of the present invention and a method of removing the same.

도시된 바와 같이, 본 발명은 , 고전압 발생 유닛(10), 고압전극(21), 대면접지전극(22)을 포함하는 선상대면전극(20), 송풍유닛(30), 대전체(40), 석영관(50), 송풍장공(61)이 형성된 케이스(60)를 포함한다.As shown in the figure, the present invention is a plasma display panel comprising a high voltage generating unit 10, a high voltage electrode 21, a linear facing electrode 20 including a facing ground electrode 22, an air blowing unit 30, A quartz tube 50, and a case 60 having a ventilating slot 61 formed therein.

고전압 발생 유닛(10)은 고전압을 발생시킨다.The high voltage generating unit 10 generates a high voltage.

선상대면전극(20)은 수평한 길이방향으로 연장되어 바형태로 형성되어 상기 고전압을 인가받는 고압전극(21)과, 상기 고압전극과 대응되어 일정 거리를 유지하도록 바형태로 형성된 대면접지전극(22)으로 구성되어 다수의 이온을 발생시킨다.The line facing electrode 20 includes a high voltage electrode 21 extending in a horizontal direction and formed in a bar shape to receive the high voltage and a facing ground electrode (not shown) formed in a bar shape to correspond to the high voltage electrode 22) to generate a large number of ions.

송풍유닛(30)은 상기 선상대면전극(20)의 상부에 형성되고, 상기 선상대면전극(20)에서 발생된 다수의 이온을 그 하부의 대전체(40)쪽으로 송풍시킨다.The air blowing unit 30 is formed on the upper surface of the line facing electrode 20 and blows a large number of ions generated from the line facing electrode 20 toward the lower large body 40.

석영관(50)은 상기 선상대면전극(20)의 고압전극(21) 및 대면접지전극(22)을 각각 감싸도록 구성된다.The quartz tube 50 is configured to surround the high voltage electrode 21 and the facing ground electrode 22 of the liner facing electrode 20, respectively.

또한, 상기 고압전극(21)은 2개 이상의 전극으로 형성되고, 상기 고전압 발생 유닛(10)은, 제 1 교류 전압을 2개 이상의 전극 중 제 1 전극에 인가하고, 제 1 교류 전압의 주파수보다 낮은 주파수를 가진 제 2 교류 전압을 2개 이상의 전극 중 제 2 전극에 인가하는 것이 바람직하다.The high-voltage electrode 21 is formed of two or more electrodes, and the high-voltage generating unit 10 applies a first alternating voltage to the first one of the two or more electrodes, It is preferable to apply a second alternating voltage having a low frequency to the second one of the two or more electrodes.

따라서, 제 1 전극과 제 2 전극에 인가된 교류 전압의 극성으로 인해 제 1 전극과 제 2 전극에 인가된 교류 전압이 서로 상이한 시간대(즉, 한쪽 전극의 극성이 정이고 다른쪽 전극의 극성이 부인 시간대)와, 제 1 전극과 제 2 전극에 인가된 교류 전압이 서로 동일한 시간대(즉, 한쪽 전극과 다른쪽 전극의 극성이 각각 정 또는 부로동일한 시간대)가 발생된다. Accordingly, the polarity of the AC voltage applied to the first electrode and the second electrode causes the AC voltage applied to the first electrode and the second electrode to differ from each other at a time zone (i.e., when the polarity of one electrode is positive and the polarity of the other electrode is negative And a time zone in which the alternating voltages applied to the first electrode and the second electrode are equal to each other (i.e., a time zone in which the polarities of one electrode and the other electrode are equal to each other in the positive or negative direction) are generated.

이 경우에 있어서, 극성이 서로 상이한 경우의 시간대 중에 정이온과 부이온은 각 전극의 근방에서 발생된다. 또한, 극성이 서로 동일한 경우의 시간대 중에 각 전극의 근방에서 발생된 이온의 극성도 서로 동일하므로 이온과 각 전극 사이에서 동작하는 척력의 결과로서 이오나이저로부터 제전 영역을 향하여 이온이 방출된다.In this case, the positive ions and the negative ions are generated in the vicinity of the respective electrodes during the time when the polarities are different from each other. In addition, since the polarities of the ions generated in the vicinity of the respective electrodes are the same during the time when the polarities are equal to each other, ions are emitted from the ionizer toward the erasing region as a result of the repulsive force acting between the ions and each electrode.

도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 바형 이오나이저의 케이스를 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 바형 이오나이저의 다양한 실시예를 나타낸 도면이다.FIG. 5 is a perspective view showing a case of a bar type ionizer according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a view showing various embodiments of a bar type ionizer according to the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명은 수평한 길이방향으로 연장되어 직사각형의 바형태로 형성되고, 상기 고전압 발생 유닛(10), 선상대면전극(20) 및 송풍유닛(30)을 내장하며, 하부로 길이방향의 다수의 송풍장공(61)이 형성되어 다수의 이온을 하부로 통과시키는 케이스(60)를 포함할 수 있다.5, the present invention includes a high voltage generating unit 10, a line-facing electrode 20, and a blowing unit 30, which are formed in a rectangular bar shape extending in a horizontal longitudinal direction, And a case 60 in which a plurality of longitudinal ventilation holes 61 are formed in the lower portion to allow a plurality of ions to pass downward.

또한, 도 6에 도시된 바와 같이 케이스(60)의 길이와 다수의 송풍장공(61)의 갯수 및 크기를 사용 목적에 따라 다양하게 변경하여 구성할 수도 있다.As shown in FIG. 6, the length of the case 60 and the number and size of the plurality of ventilation slots 61 may be varied according to the purpose of use.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 바형 이오나이저의 제전 방법은, 고전압을 발생시키는 고전압 발생 단계; 수평한 길이방향으로 연장되어 바형태로 형성되어 상기 고전압을 인가받는 고압전극(21)과, 상기 고압전극(21)과 대응되어 일정 거리를 유지하도록 바형태로 형성된 대면접지전극(22)으로 구성되어 다수의 이온을 발생시키는 단계; 및 상기에서 발생된 다수의 이온을 그 하부의 대전체(40) 쪽으로 송풍시키는 단계를 포함할 수 있다.The method of eliminating the negative ionizer according to the present invention comprises: a high voltage generating step of generating a high voltage; A high voltage electrode 21 formed in a bar shape extending in a horizontal direction to receive the high voltage and a facing ground electrode 22 formed in a bar shape so as to correspond to the high voltage electrode 21 and to maintain a constant distance therebetween Thereby generating a plurality of ions; And a step of blowing the plurality of ions generated in the above to the whole of the lower portion 40 of the same.

이때, 상기 고압전극(21)은 2개 이상의 전극으로부터 제 1 전극에 제 1 교류전압을 인가하고 2개 이상의 전극으로부터 제 2 전극에 제 1 교류 전압의 주파수보다 낮은 주파수를 가진 제 2 교류 전압을 인가함으로써 정이온과 부이온을 발생하는 단계와, 발생된 정이온과 발생된 부이온을 제전 영역으로 방출함으로써 제전 영역의 정전기를 제거하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.Here, the high voltage electrode 21 applies a first AC voltage to the first electrode from two or more electrodes and a second AC voltage having a frequency lower than the frequency of the first AC voltage from the two or more electrodes to the second electrode A step of generating positive ions and negative ions by applying positive ions and negative ions generated in the negative ions, and a step of removing static electricity in the neutralization regions by discharging generated negative ions and generated negative ions to the neutralization regions.

도 7은 본 발명과 종래 침전극의 전극에 의한 제전의 차이를 나타낸 비교 그래프로서, 도시된 바와 같이 제전시간 변화율은 질소유속 2.7m/s 일때, 본 발명의 선상대면전극(a)이 종래의 침전극(b)에 비교하여 안정된 변화율을 나타내는 것을 알 수 있다.FIG. 7 is a graph showing the difference in charge elimination between electrodes according to the present invention and conventional electrodes. As shown in FIG. 7, when the rate of change in charge removal time is 2.7 m / s at a nitrogen flow rate, The stable change rate is shown as compared with the needle electrode (b).

도 8은 본 발명과 종래 침전극의 이온 송풍 속도와 제전 특성을 나타낸 비교 그래프로서, 도시된 바와 같이 본 발명의 선상대면전극(a)이 종래의 침전극(b)에 비교하여 안정된 대전압을을 나타내는 것을 알 수 있다.8 is a comparative graph showing the ion blowing speed and antistatic characteristics of the present invention and conventional needle electrodes. As shown in the figure, the linearly facing electrode (a) of the present invention has a stable voltage higher than that of the conventional needle electrode . ≪ / RTI >

도 9는 본 발명과 종래 침전극의 시간대별 전압변화를 나타낸 비교 그래프로서, 도시된 바와 같이 본 발명의 선상대면전극(c)이 종래의 침전극(a)(b)에 비교하여 대상물의 역대전을 저레벨로 억제하고, 고주파로(60~400Hz)로 가변하며, 고주파 전원을 위한 양질의 이온발란스 특성을 나타내는 것을 알 수 있다.FIG. 9 is a graph showing a change in voltage of the electrode according to the present invention and a conventional electrode. As shown in FIG. 9, the line-by-line electrode c of the present invention has a reversed It is possible to suppress the charge to the low level and change it to the high frequency (60 to 400 Hz), and it is found that the ion balance characteristic is good for the high frequency power supply.

도 10은 본 발명과 종래 침전극의 Si웨이퍼 보호필름의 박리 제전량의 저감량을 나타낸 비교 그래프로서, 도시된 바와 같이 실리콘 웨이퍼부터시트 박리시의 대전압은 표준설정일 경우 200Hz, 최저설정일 경우 60Hz, 이오나이저 없을 경우 30kV까지 대전된다.FIG. 10 is a comparative graph showing the reduction amount of the release amount of the Si wafer protective film of the present invention and the conventional needle electrode. As shown in FIG. 10, the large voltage at the time of peeling the sheet from the silicon wafer is 200 Hz, If there is no ionizer, it is charged up to 30 kV.

따라서, 본 발명에 따른 바형 이오나이저 및 그 제전 방법에 의하면, 바형 전극과 송풍 유닛을 이용하여 이온의 발생 효율을 향상시킴으로써 제전 영역에서 제전 효율 즉, 이온이 이오나이저로부터 방출되는 효율을 증가시킬 수 있다.Therefore, according to the bar type ionizer and the elimination method thereof according to the present invention, it is possible to improve the efficiency of generating ions by using the bar type electrode and the air blowing unit, thereby increasing the efficiency of discharging ions from the ionizer have.

본 명세서에 기재된 본 발명의 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시예에 관한 것으로 발명의 기술적 사상을 모두 포괄하는 것은 아니므로, 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 따라서, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 권리범위 내에 있게 된다.
The embodiments of the present invention described in the present specification and the configurations shown in the drawings relate to the most preferred embodiments of the present invention and are not intended to encompass all of the technical ideas of the present invention so that various equivalents And variations are possible. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. , And such changes are within the scope of the claims.

10 : 고전압 발생 유닛 20 : 선상대면전극
21 : 고압전극 22 : 대면접지전극
30 : 송풍유닛 40 : 대전체
50 : 석영관 60 : 케이스
61 : 송풍장공10: High-voltage generating unit 20: Line-facing electrode
21: high voltage electrode 22: facing ground electrode
30: air blowing unit 40:
50: quartz tube 60: case
61: ventilation slot

Claims (6)

고전압을 발생시키는 고전압 발생 유닛(10);
수평한 길이방향으로 연장되어 바형태로 형성되어 상기 고전압을 인가받는 고압전극(21)과, 상기 고압전극(21)은 2개 이상의 전극으로 형성되고, 상기 고전압 발생 유닛(10)은, 제 1 교류 전압을 2개 이상의 전극 중 제 1 전극에 인가하고, 제 1 교류 전압의 주파수보다 낮은 주파수를 가진 제 2 교류 전압을 2개 이상의 전극 중 제 2 전극에 인가하고,
상기 고압전극과 대응되어 일정 거리를 유지하도록 바형태로 형성된 대면접지전극(22)으로 구성되어 다수의 이온을 발생시키는 선상대면전극(20); 및
상기 선상대면전극(20)의 상부에 형성되고, 상기 선상대면전극(20)에서 발생된 다수의 이온을 그 하부의 대전체(40)쪽으로 송풍시키는 송풍유닛(30)을 포함하는 바형 이오나이저.
A high voltage generating unit (10) for generating a high voltage;
A high voltage electrode 21 formed in a bar shape extending in a horizontal direction and adapted to receive the high voltage, and the high voltage electrode 21 is formed of two or more electrodes, and the high voltage generating unit 10 includes: Applying a second alternating voltage having a frequency lower than the frequency of the first alternating voltage to the second one of the two or more electrodes, applying an alternating voltage to the first electrode of the two or more electrodes,
Facing electrode (20) composed of a facing ground electrode (22) formed in a bar shape to correspond to the high voltage electrode and maintaining a certain distance, and generating a plurality of ions; And
And an air blowing unit (30) formed on the line facing electrode (20) and blowing a large number of ions generated in the line facing electrode (20) toward the lower large body (40).
제 1항에 있어서,
수평한 길이방향으로 연장되어 직사각형의 바형태로 형성되고, 상기 고전압 발생 유닛(10), 선상대면전극(20) 및 송풍유닛(30)을 내장하며, 하부로 길이방향의 다수의 송풍장공(61)이 형성되어 다수의 이온을 하부로 통과시키는 케이스(60)를 포함하는 것을 특징으로 하는 바형 이오나이저.
The method according to claim 1,
And a plurality of ventilating holes 61 in the lengthwise direction are formed in the lower portion of the lower electrode assembly 20. The high voltage generating unit 10, the line-facing electrode 20, , And a case (60) through which a plurality of ions are passed downward.
제 1항에 있어서,
상기 선상대면전극(20)의 고압전극(21) 및 대면접지전극(22)을 각각 감싸는 석영관(50)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바형 이오나이저.
The method according to claim 1,
Further comprising a quartz tube (50) which surrounds the high voltage electrode (21) and the facing ground electrode (22) of the liner facing electrode (20), respectively.
삭제delete 고전압을 발생시키는 고전압 발생 단계;
수평한 길이방향으로 연장되어 바형태로 형성되어 고전압을 인가받으며, 고압전극(21)은 2개 이상의 전극으로부터 제 1 전극에 제 1 교류전압을 인가하고 2개 이상의 전극으로부터 제 2 전극에 제 1 교류 전압의 주파수보다 낮은 주파수를 가진 제 2 교류 전압을 인가함으로써 정이온과 부이온을 발생하는 단계와, 발생된 정이온과 발생된 부이온을 제전 영역으로 방출함으로써 제전 영역의 정전기를 제거하는 단계의 고압전극(21)과, 상기 고압전극(21)과 대응되어 일정 거리를 유지하도록 바형태로 형성된 대면접지전극(22)으로 구성되어 다수의 이온을 발생시키는 단계; 및
상기에서 발생된 다수의 이온을 그 하부의 대전체(40) 쪽으로 송풍시키는 단계를 포함하는 바형 이오나이저의 제전 방법.

A high voltage generating step of generating a high voltage;
The high voltage electrode 21 applies a first AC voltage to the first electrode from two or more electrodes and applies a first AC voltage to the second electrode from the two or more electrodes to form a first Generating positive ions and negative ions by applying a second alternating voltage having a frequency lower than the frequency of the alternating voltage and removing static electricity in the erasing region by discharging the generated positive ions and generated negative ions to the erasing region A ground electrode 22 formed in a bar shape to correspond to the high voltage electrode 21 so as to maintain a predetermined distance therebetween to generate a plurality of ions; And
And blowing a large number of ions generated in the above-mentioned direction to the lower main body (40).

삭제delete
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