KR101394900B1 - Apparatus for cutting nonmetal-substrate and method for cutting nonmetal-substrate using the same - Google Patents

Apparatus for cutting nonmetal-substrate and method for cutting nonmetal-substrate using the same Download PDF

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Abstract

비금속 기판을 절단 시 휨 현상을 억제해 직진성을 향상시키는 비금속 기판의 절단장치가 개시된다. 절단될 비금속 기판을 수용하는 베이스유닛과 상기 베이스유닛에 설치되어 상기 비금속 기판이 절단될 시작점에 초기 균열을 형성하는 제1 이니셜 크랙커와 상기 베이스 유닛에 설치되어 상기 비금속 기판에 형성된 초기 균열을 따라 레이저 빔을 조사하는 스크라이빙유닛 및 상기 베이스유닛에 설치되며, 상기 초기 균열이 형성된 시작점의 반대편에 상기 시작점과 일직선을 이루도록 유도 균열을 형성하는 제2 이니셜 크랙커를 구비함으로서, 유도 균열을 초기 균열과 일직선을 이루도록 형성해 스크라이빙이 형성된 뒤 비금속 기판을 절단할 때 끝부분이 휨 현상 없이 일직선으로 비금속 기판을 절단 할 수 있는 장점이 있다.Disclosed is a non-metallic substrate cutting apparatus for suppressing warpage when cutting a non-metallic substrate to improve straightness. A first initial cracker provided in the base unit to form an initial crack at a starting point of cutting the non-metallic substrate, and a second initial cracker provided in the base unit, A scribing unit for irradiating the beam and a second initial cracker provided in the base unit and forming an induction crack so as to be in line with the starting point on the opposite side of the starting point where the initial crack is formed, When the non-metal substrate is cut after the scribing is formed, the non-metal substrate can be cut straightly without warpage at the end portion.

Description

비금속 기판 절단장치 및 이를 이용한 비금속 기판 절단방법{APPARATUS FOR CUTTING NONMETAL-SUBSTRATE AND METHOD FOR CUTTING NONMETAL-SUBSTRATE USING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an apparatus for cutting a non-metal substrate, and a method for cutting a non-

본 발명은 비금속 기판의 절단장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 글라스(Glass) 기판과 같은 비금속 기판을 일직선으로 절단하는 장치 및 이를 이용한 비금속 기판을 절단하는 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cutting apparatus for a non-metal substrate, and more particularly, to a device for cutting a non-metal substrate such as a glass substrate in a straight line and a method for cutting a non-metal substrate using the same.

일반적으로 비금속 기판 특히, 글라스(Glass) 기판을 절단하는 공정은 넓은 면적을 가지는 글라스 기판을 일정한 크기로 절단하기위해 기구적인 절단 방법과 화학적인 절단 방법이 사용되고 있다.In general, in the process of cutting a non-metallic substrate, particularly a glass substrate, a mechanical cutting method and a chemical cutting method are used to cut a glass substrate having a large area to a predetermined size.

기구적인 절단방법은 다이아몬드 휠이나 샌드 블러스터 등을 사용하며, 화학적인 절단방법으로는 웨트 에칭(wet dtching)방법을 사용하고 있다.The mechanical cutting method uses a diamond wheel or a sandblaster, and the wet cutting method is used as a chemical cutting method.

상기 기구적인 절단 방법은 글라스 기판을 절단 시 절단면에 미세 크랙과 파티클(Particle)이 발생되며, 화학적인 절단 방법은 화학약품을 사용하기 때문에 환경오염과 가공 시간이 길어 생산량이 저하되는 문제점이 있었다.In the mechanical cutting method, fine cracks and particles are generated on the cut surface when the glass substrate is cut, and since the chemical cutting method uses chemicals, environmental pollution and processing time are long and the production amount is decreased.

이를 개선하기위해 글라스 기판의 특정 위치에 초기 균열을 형성하고 레이저 빔을 이용해 초기 균열을 따라 스크라이빙을 형성해 글라스 기판을 절단 하였다.In order to improve this, an initial crack was formed at a specific position of the glass substrate, and a laser beam was used to form a scribing along the initial crack to cut the glass substrate.

그러나, 레이저 빔을 글라스 기판에 조사할 때 초기 균열을 중심으로 정확이 조사되어야 하지만 좌우가 어긋나게 조사되는 경우 글라스 기판의 끝부분까지 일직선으로 절단되지 않고 한쪽으로 치우치는 휨 현상이 발생하는 문제점이 발생한다.However, when the laser beam is irradiated onto the glass substrate, the laser beam must be accurately focused on the initial crack, but when the laser beam is irradiated in a shifted direction, the laser beam is not cut straight to the end portion of the glass substrate, .

또는, 넓은 면적의 글라스 기판의 일부를 절단할 때 글라스 기판의 좌우에 가해지는 하중의 불균형으로 인해 글라스의 끝부분에 휨 현상이 발생하는 문제점이 발생한다.Or, when a part of the glass substrate having a large area is cut, there is a problem that a warp phenomenon occurs at the end portion of the glass due to the imbalance of the load applied to the right and left of the glass substrate.

상기 서술한 글라스 기판의 끝부분에 발생하는 휨 현상으로 인해 발생되는 문제를 살펴보면, 글라스의 끝부분이 외측으로 휨 현상이 발생해 일부가 돌출되는 글라스 기판은 절단된 기판의 주변을 다듬는 공정에서 돌출된 부위를 다듬기 위해 더 많은 시간을 투자해야 한다. 또한, 글라스 기판의 특성상 일부분에 높은 부하가 발생하면 해당 부위가 깨져 나가 불량이 발생할 수 있다.The problems caused by the bending phenomenon occurring at the end portion of the glass substrate described above are as follows. When the glass substrate is partially protruded due to the outward bending phenomenon of the end portion of the glass, You should invest more time to trim the area. In addition, due to the characteristics of the glass substrate, if a high load is applied to a part of the glass substrate, the corresponding region may be broken and a defect may occur.

또한, 글라스 기판의 끝부분이 내측으로 휨 현상이 발생한 글라스 기판은 휨현상이 발생한 끝부분으로 인해 글라스 기판의 절단된 전체면적 중 일부를 상품화 할 수 없어 초기 생산 의도와 다르게 작은 디스플레이 면적을 가지는 제품으로 상품화해야 하는 문제점이 발생한다.In addition, since a glass substrate in which the end portion of the glass substrate is warped inward can not be partially commercialized due to the end portion where the warpage occurs, the product can not be partially commercialized and thus has a small display area There arises a problem to be commercialized.

따라서 본 발명의 목적은 비금속 기판을 휨 현상 없이 일직선으로 절단할 수 있는 비금속 기판의 절단장치 및 이를 이용한 비금속 기판을 절단하는 방법을 제공하는 것이다.Therefore, it is an object of the present invention to provide a cutting apparatus for a non-metal substrate which can cut a non-metal substrate in a straight line without bending, and a method for cutting a non-metal substrate using the same.

본 발명에 따른 비금속 기판의 절단장치는, 절단될 비금속 기판을 수용하는 베이스유닛과 상기 베이스유닛에 설치되어 상기 비금속 기판이 절단될 시작점에 초기 균열을 형성하는 제1 이니셜 크랙커와 상기 베이스 유닛에 설치되어 상기 비금속 기판에 형성된 초기 균열을 따라 레이저 빔을 조사하는 스크라이빙유닛 및 상기 베이스유닛에 설치되며, 상기 초기 균열이 형성된 시작점의 반대편에 상기 시작점과 일직선을 이루도록 유도 균열을 형성하는 제2 이니셜 크랙커를 포함하여 구성되되, 상기 베이스유닛은, 제1 이송판 및 제2 이송판으로 구성되어, 상기 비금속 기판이 절단되기 전에는 서로 밀착되어 있으며, 상기 스크라이빙 유닛에 의해 스크라이빙이 형성된 후 상기 비금속 기판이 절단되는 순간 상기 제1 이송판 및 제2 이송판이 각각 양측으로 이송하는 것을 특징으로 한다.The apparatus for cutting a non-metallic substrate according to the present invention includes a base unit for receiving a non-metallic substrate to be cut, a first initial cracker provided in the base unit for forming an initial crack at a starting point at which the non- A scribing unit for irradiating a laser beam along an initial crack formed on the non-metallic substrate, and a second initializing unit provided on the base unit for forming an induction crack on the opposite side of the starting point where the initial crack is formed, And a cracker, wherein the base unit is composed of a first transfer plate and a second transfer plate, the first and second transfer plates being in close contact with each other before the non-metal substrate is cut, and after the scribing is formed by the scribing unit The first conveying plate and the second conveying plate are disposed on both sides of the non- Thereby transferring.

그 중, 상기 제1 이니셜 크랙커는 상기 비금속 기판의 상측 또는 하부 중 어느 한곳에 위치하며, 상기 비금속 기판의 상단 또는 하단중 어느 한쪽에 초기 균열을 형성할 수 있다.The first initial cracker may be located on an upper side or a lower side of the non-metallic substrate, and an initial crack may be formed on either the upper end or the lower end of the non-metallic substrate.

그리고, 상기 제2 이니셜 크랙커는 상기 비금속 기판의 상측 또는 하측 중 어느 한곳에 위치하며, 상기 비금속 기판의 상단 또는 하단 중 어느 한쪽에 유도 균열을 형성할 수 있다.The second initial cracker is located on the upper side or the lower side of the non-metallic substrate, and induction cracks can be formed on either the upper end or the lower end of the non-metallic substrate.

상기 스크라이빙유닛은, 상기 레이저 빔으로 가열된 비금속 기판에 미스트를 분사해 냉각하는 냉각부를 포함할 수 있다.The scribing unit may include a cooling unit for spraying and cooling the mist on the non-metallic substrate heated by the laser beam.

상기 제1 이니셜 크랙커 및 제2 이니셜 크랙커는, 본체와 상기 본체 및 베이스 유닛과 결합되어 상기 본체가 이송할 수 있도록 동력을 전달하는 구동부 및 상기 본체에 결합되어 비금속 기판에 초기 균열을 형성하는 말단장치를 포함할 수 있으며, 상기 구동부는, 서보 모터 또는 압축공기를 동력원으로 이용할 수 있다.The first and second initial crackers may include a main body, a driving unit coupled to the main body and the base unit to transmit power for transferring the main body, and a driving unit connected to the main body to form an initial crack in the non- And the driving unit may use a servo motor or compressed air as a power source.

본 발명에 따른 비금속 기판의 절단방법은,비금속 기판의 절단이 시작되는 위치에 초기 균열을 형성하는 단계; 상기 비금속 기판의 절단이 끝나는 위치에 유도 균열을 형성하는 단계; 상기 비금속 기판의 초기 균열이 형성된 부분에서부터 상기 유도 균열 방향으로 순차적으로 스크라이빙유닛을 통해 레이저 빔을 조사하여 상기 비금속 기판에 스크라이빙을 형성하는 단계; 및 상기 레이저 빔이 상기 유도 균열 위치까지 조사되면 상기 초기 균열을 시점으로 상기 레이저 빔에 의해 기 형성된 스크라이빙을 따라 상기 비금속 기판이 절단되는 단계:를 포함하여 구성되되, 상기 기 형성된 스크라이빙을 따라 상기 비금속 기판이 절단되는 단계에서는, 상기 비금속 기판의 하측에 위치하는 베이스 유닛의 제1 이송판 및 제2 이송판이, 상기 비금속 기판이 절단되는 순간 양측으로 이송하여 절단된 비금속 기판이 서로 충돌하는 것을 방지한다.A method of cutting a non-metallic substrate according to the present invention includes: forming an initial crack at a position where cutting of a non-metallic substrate starts; Forming an induced crack at a position where cutting of the non-metallic substrate ends; Forming a scribing line on the non-metallic substrate by irradiating a laser beam through a scribing unit sequentially from an initial cracked portion of the non-metallic substrate to the induction cracking direction; And cutting the non-metallic substrate along a pre-formed scribing line by the laser beam when the laser beam is irradiated to the induction crack position, wherein the pre- The first transfer plate and the second transfer plate of the base unit positioned below the non-metal substrate are separated from each other when the non-metal substrate is transferred to both sides of the non- .

한편, 본 발명의 일실시예에 의한 비금속 기판 절단방법은, 상기 레이저 빔이 유도 균열 위치까지 조사된 후 상기 비금속 기판의 유도 균열 위치부터 절단이 종료되는 부분까지 상기 레이저 빔이 한 번 더 조사될 수 있다.Meanwhile, in the non-metal substrate cutting method according to an embodiment of the present invention, after the laser beam is irradiated to the induction crack position, the laser beam is further irradiated from the induction crack position of the non-metal substrate to the cut- .

일예를 들면, 상기 레이저 빔은 상기 스크라이빙유닛이 이동되면서 상기 비금속 기판에 조사될 수 있다.For example, the laser beam can be irradiated onto the non-metallic substrate while moving the scribing unit.

다른 예를 들면, 상기 레이저 빔은 상기 비금속 기판이 이동되면서 상기 비금속 기판에 조사될 수 있다.In another example, the laser beam can be irradiated onto the non-metallic substrate while the non-metallic substrate is being moved.

한편, 상기 레이저 빔은 상기 비금속 기판과 스크라이빙유닛이 서로 반대 방향으로 이동되면서 상기 비금속 기판에 조사될 수 있다.On the other hand, the laser beam can be irradiated to the non-metal substrate while moving the non-metal substrate and the scribing unit in opposite directions.

이와 더불어, 상기 레이저 빔은 상기 비금속 기판의 절단이 종료되는 부분에서부터 초기 균열 방향 또는 유도균열방향으로 순차적으로 조사될 수 있다.In addition, the laser beam can be sequentially irradiated from the portion where the cutting of the non-metallic substrate is finished to the initial crack direction or the induction crack direction.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 비금속 기판 절단장치 및 이를 이용한 비금속 기판 절단방법은 제1 이니셜 크랙커에 의해 초기 균열을 형성하고 그 반대 측에 제2 이니셜 크랙커를 통해 유도 균열을 형성하되, 유도 균열은 초기 균열과 일직선을 이루도록 형성해 스크라이빙이 형성된 뒤 비금속 기판을 절단할 때 끝부분이 휨 현상 없이 일직선으로 비금속 기판을 절단 할 수 있는 장점이 있다.As described above, the apparatus for cutting a non-metal substrate according to an embodiment of the present invention and the method for cutting a non-metal substrate using the same may form an initial crack by a first initial cracker and an induction crack through a second initial cracker on the opposite side , The induction cracks are formed to be in line with the initial cracks, and scribing is formed, and there is an advantage that the nonmetal substrate can be cut straightly without warpage at the end portions when cutting the nonmetal substrate.

도 1은 제1 실시예에 따른 비금속 기판의 절단장치 및 방법을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 제1 실시예에 따른 비금속 기판의 절단장치의 작동과정을 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 3은 제1 실시예에 따른 비금속 기판의 절단장치의 작동과정을 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 4은 제1 실시예에 따른 비금속 기판의 절단장치의 작동과정을 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 5은 제1 실시예에 따른 비금속 기판의 절단장치의 작동과정을 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 6은 제1 실시예에 따른 비금속 기판의 절단장치의 작동과정을 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 7은 제1 실시예 따른 비금속 기판의 절단장치의 작동과정을 나타내는 개략적인 블럭도이다.
1 is a schematic perspective view for explaining an apparatus and a method for cutting a non-metallic substrate according to the first embodiment.
FIG. 2 is a schematic structural view showing the operation of a cutting apparatus for a nonmetal substrate according to the first embodiment.
FIG. 3 is a schematic structural view showing the operation of a cutting apparatus for a non-metallic substrate according to the first embodiment.
FIG. 4 is a schematic view showing the operation of a cutting apparatus for a nonmetal substrate according to the first embodiment.
FIG. 5 is a schematic view showing the operation of a cutting apparatus for a non-metallic substrate according to the first embodiment.
FIG. 6 is a schematic view showing the operation of a cutting apparatus for a non-metal substrate according to the first embodiment.
7 is a schematic block diagram showing the operation of the cutting apparatus for a non-metallic substrate according to the first embodiment.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the relevant art and are to be interpreted as ideal or overly formal in meaning unless explicitly defined in the present application Do not.

이하 도면을 참조하여, 본 발명에 의한 비금속 기판의 절단장치의 구성에 대하여 설명한다.Hereinafter, a configuration of a cutting apparatus for a non-metallic substrate according to the present invention will be described with reference to the drawings.

<제1 실시예>&Lt; Embodiment 1 >

도 1은 제1 실시예에 따른 비금속 기판의 절단장치의 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view of a cutting apparatus for a non-metallic substrate according to the first embodiment.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 비금속 기판의 절단장치는 베이스유닛(100), 제1 이니셜 크랙커(200), 스크라이빙 유닛(300), 제2 이니셜 크랙커(400)를 포함할 수 있다.1, the apparatus for cutting a non-metallic substrate according to the present invention may include a base unit 100, a first initial cracker 200, a scribing unit 300, and a second initial cracker 400 .

상기 베이스유닛(100)의 상부면 에는 절단될 비금속 기판(G)이 수용된다. 예를 들면, 상기 베이스유닛(100)의 상면에 비금속 기판(G)이 놓여진다. 상기 베이스유닛(100)에는 도시되지 않았지만 상기 비금속 기판(G)을 이송할 수 있도록 이송부재(미도시)가 설치될 수 있다. 여기서, 상기 이송부재(미도시)는 컨베이어로 이뤄질 수 있다. 또는 도시되지 않았지만, 상기 베이스유닛(100)에는 높낮이가 조절될 수 있도록 실린더 또는 모터를 이용해 승강 또는 하강 할 수도 있다. 이는, 생산 자동화 공정이 변화될 때 즉, 새로운 품목을 생산하기 위해 셋업을 다시 하는 과정에서 좀 더 최적의 조건으로 설정하기 위해 사용될 수 있다. 또는, 전 공정에서 공급되는 비금속 기판(G)이 하부에서 공급된다고 가정하면, 상기 베이스유닛(100)가 상기 비금속 기판(G)을 스크라이빙유닛(300)에 다다르도록 하부로 이송해서 비금속 기판을 공급받은 뒤 다시 상부로 이송해서 스크라이빙유닛(300)에 근접하게 이송되도록 할 수 있다.A non-metal substrate (G) to be cut is accommodated in the upper surface of the base unit (100). For example, a non-metal substrate G is placed on the upper surface of the base unit 100. Although not shown, the base unit 100 may be provided with a transfer member (not shown) to transfer the non-metal substrate G. Here, the conveying member (not shown) may be a conveyor. Alternatively, the base unit 100 may be raised or lowered using a cylinder or a motor so that the height of the base unit 100 can be adjusted. This can be used to set more optimal conditions as the production automation process changes, that is, in the process of re-setup to produce new items. Alternatively, if it is assumed that the non-metal substrate G supplied in the previous process is supplied from the bottom, the base unit 100 transfers the non-metal substrate G down to the scribing unit 300, After the substrate is supplied, it can be transferred to the upper portion and transferred to the scribing unit 300 in close proximity.

또한, 상기 베이스유닛(100)은 상기 비금속 기판(G)이 절단되는 라인을 기준으로 양측으로 벌어지도록 제1 이송판(110)과 제2 이송판(120)이 구비될 수 있다.In addition, the base unit 100 may include a first conveying plate 110 and a second conveying plate 120 so that the base plate 100 may extend to both sides of the line along which the non-metallic substrate G is cut.

상기 제1 이송판(110)과 상기 제2 이송판(120)은 상기 비금속 기판(G)이 절단되기 전에는 서로 밀착되어 있으며, 스크라이빙(S)이 형성된 후 상기 비금속 기판(G)이 절단되는 순간 상기 제1 이송판(110)과 상기 제2 이송판(120)이 양측으로 이송하며 상기 비금속 기판(G)이 원활하게 절단될 수 있도록 할 수 있다. 예를 들면, 상기 비금속 기판(G)이 절단되는 순간 상기 제1 이송판(110)과 상기 제2 이송판(120)이 양측으로 이송되며, 절단된 비금속 기판(G)들이 서로 충돌하는 것을 방지한다. 이러한 작용으로 상기 비금속 기판(G)이 충격에 의한 파손 또는 칩핑(Chipping)이나 파티클(Particle)의 발생을 차단할 수 있는 효과가 있다.The first transfer plate 110 and the second transfer plate 120 are in close contact with each other before the non-metallic substrate G is cut. After the scribing S is formed, the non- The first transfer plate 110 and the second transfer plate 120 are transferred to both sides so that the non-metal substrate G can be smoothly cut. For example, when the non-metallic substrate G is cut, the first conveying plate 110 and the second conveying plate 120 are conveyed to both sides to prevent the cut non-metallic substrates G from colliding with each other do. In this way, the non-metal substrate G can be prevented from being damaged due to an impact or from generating chipping or particles.

상기 제1 이니셜 크랙커(200)는 상기 베이스유닛(100)에 설치되어 상기 비금속 기판(G)이 절단될 시작점에 초기 균열(201)을 형성한다. 상기 제1 이니셜 크랙커(200)은 상기 비금속 기판(G)의 상부 또는 하부 중 어느 한곳에 위치할 수 있다. 물론, 상기 제1 이니셜 크랙커(200)가 상기 베이스유닛(100)의 상부 또는 하부 중 한곳에 위치함에 따라 상기 비금속 기판(G)의 상단 또는 하단 중 어느 한쪽에 초기 균열(201)이 형성된다.The first initial cracker 200 is installed in the base unit 100 to form an initial crack 201 at a starting point at which the non-metallic substrate G is cut. The first initial cracker 200 may be located on either the top or the bottom of the non-metallic substrate G. [ Of course, as the first initial cracker 200 is located in one of the upper and lower portions of the base unit 100, an initial crack 201 is formed at either the upper end or the lower end of the non-metallic substrate G. [

또한, 상기 제1 이니셜 크랙커(200)는, 본체(210), 구동부(220), 말단장치(230)를 포함할 수 있다.The first initial cracker 200 may include a main body 210, a driving unit 220, and an end unit 230.

상기 본체는(210) 상기 구동부(210)와 결합하여 구동부(210)에 의해 승강 및 하강 할 수 있다. 또한, 하부에는 상기 말단장치(230)가 결합한다. 상기 본체(210)는 금속재로 이뤄질 수 있다,The main body 210 can be moved up and down by the driving unit 210 in combination with the driving unit 210. In addition, the end device 230 is coupled to the lower part. The body 210 may be made of a metal material,

상기 구동부는(220), 일측이 상기 베이스유닛(100)과 결합한다. 예를 들면, 상기 베이스 유닛(100)과 상기 구동부(220)는 나사와 나사산을 통해 암수 결합 될 수 있다. 상기 구동부(220)는 상기 본체(210)를 승강 및 하강 할 수 있도록 일측에 직선운동을 할 수 있는 액추에이터(미도시)가 구비될 수 있다. 좀 더 자세히 설명하면 상기 구동부는 서보모터(미도시)를 통해 회전운동을 발생시키고 상기 회전운동을 직선운동으로 변환할 수 있는 스크류(미도시)를 결합해 상기 본체(210)를 승,하강 시킬 수 있다. 또는 리니어 모터(미도시)를 통해 상기 본체(210)를 승, 하강 시킬 수 있다. 또는, 에어 실린더(미도시)에 압축공기를 공급해 상기 본체(210)를 승, 하강 시킬 수 있다.The driving unit 220 is coupled to the base unit 100 at one side. For example, the base unit 100 and the driving unit 220 may be male and female threads and threads. The driving unit 220 may include an actuator (not shown) that can linearly move on one side of the main body 210 so that the main body 210 can be lifted and lowered. In more detail, the driving unit may include a screw (not shown) that generates rotational motion through a servo motor (not shown) and converts the rotational motion into a linear motion to move the main body 210 up and down . Or the linear motor (not shown). Alternatively, compressed air may be supplied to an air cylinder (not shown) to raise and lower the main body 210.

상기 말단장치(230)는, 상기 본체(210)의 하부에 결합한다. 좀 더 자세히 설명하면 상기 말단장치(230)는 상기 본체의 하부에 회전가능하게 힌지 결합한다. 상기 말단장치(230)는 원형의 디스크 형태로 이뤄질 수 있다. 상기 말단 장치(230)는 비금속 기판(G)에 물리적인 스트레스를 인가해 작은 균열을 발생시킬 수 있도록 상기 비금속 기판(G)과 접촉하는 부분에 경도가 높은 재질로 이뤄진 팁이 결합될 수 있다. 예를 들면, 상기 팁은 공업용 다이아몬드로 이뤄질 수 있다.The end device 230 is coupled to the lower portion of the main body 210. In more detail, the end device 230 is rotatably hinged to the lower portion of the body. The end device 230 may be in the form of a circular disk. The end device 230 may be coupled with a tip made of a material having a high hardness at a portion contacting the non-metal substrate G so that a small stress can be applied to the non-metal substrate G to generate small cracks. For example, the tip can be made of industrial diamond.

상기 스크라이빙유닛(300)은, 상기 베이스 유닛(100)에 설치되어 상기 비금속 기판(G)에 형성된 초기 균열(201)을 따라 레이저 빔(L)을 조사한다. 상기 스크라이빙유닛(300)은 레이저 빔(L)을 이용해 상기 비금속 기판(G)에 스크라이빙(Scribing)을 형성한다. 상기 스크라이빙유닛(300)은 상기 베이스유닛(100)에 놓인 비금속 기판(G)의 상부에 위치해 상기 비금속 기판(G)에 레이저 빔(L)을 조사한다. 도시되지 않았지만, 상기 스크라이빙유닛(300)에는 상기 레이저 빔(L)의 강도를 조절할 수 있는 수단이 포함될 수 있다. 이에 더불어, 도시되지 않았지만 상기 스크라이빙유닛(300)에는 레이저 빔(L)을 넓게 또는 좁게 조사할 수 있는 조사범위 조절수단이 더 포함될 수 있다. 이를 위해, 상기 스크라이빙유닛(300)에는 복수의 렌즈가 배치될 수 있다.The scribing unit 300 is installed in the base unit 100 and irradiates a laser beam L along an initial crack 201 formed on the nonmetal substrate G. [ The scribing unit 300 scribes the non-metal substrate G using a laser beam L. The scribing unit 300 scribes the non- The scribing unit 300 is positioned on a non-metallic substrate G placed on the base unit 100 and irradiates the non-metallic substrate G with a laser beam L. Although not shown, the scribing unit 300 may include means for adjusting the intensity of the laser beam L. [ In addition, though not shown, the scribing unit 300 may further include irradiation range adjusting means for irradiating the laser beam L broadly or narrowly. To this end, the scribing unit 300 may be provided with a plurality of lenses.

상기 냉각부(310)는 상기 레이저 빔(L)으로 가열된 상기 비금속 기판(G)에 미스트(M)를 분사해 냉각할 수 있다.The cooling unit 310 can cool mist by spraying mist M onto the non-metallic substrate G heated by the laser beam L.

상기 냉각부(310)는 상기 스크라이빙유닛(300)과 인접하게 설치되거나 상기 스크라이빙유닛(300)의 일측에 설치된다. 또한 상기 냉각부(310)는 냉각액을 저장하는 냉각액저장탱크(미도시)연결될 수 있다. 여기서, 냉각액은 정제된 물을 사용할 수 있다. 상기 냉각부(310)는 상기 냉각액저장탱크(미도시)에 저장된 냉각액을 상기 비금속 기판(G)에 작은 입자인 미스트로 변환하여 분사해 상기 스크라이빙유닛(300)에 의해 가열된 상기 비금속 기판(G)을 냉각한다.The cooling unit 310 is installed adjacent to the scribing unit 300 or installed on one side of the scribing unit 300. The cooling unit 310 may be connected to a coolant storage tank (not shown) for storing a coolant. Here, purified water can be used as the cooling liquid. The cooling unit 310 converts the cooling liquid stored in the cooling liquid storage tank (not shown) into a mist of small particles in the non-metallic substrate G and injects the mist into the non-metallic substrate G heated by the scribing unit 300, (G).

상기 제2 이니셜 크랙커(400)는 상기 베이스유닛(100)에 설치되며, 상기 초기 균열(201)이 형성된 시작점의 반대편에 상기 시작점과 일직선을 이루도록 유도 균열(401)을 형성한다. 상기 제2 이니셜 크랙커(400)는 상기 비금속 기판의 상부 또는 하부 중 어느 한곳에 위치할 수 있도록 상기 베이스 유닛과 결합할 수 있다. 물론, 상기 제2 이니셜 크랙커(400)가 상기 비금속 기판에 상부 또는 하부중 어느 한곳에 위치함에 따라 상기 유도 균열도 상기 제2 이니셜 크랙커가 위치한 비금속 기판의 상단 또는 하단 중 어느 한쪽에 형성되는 것이 바람직하다.The second initial cracker 400 is installed in the base unit 100 and forms an induction crack 401 so as to be in line with the starting point on the opposite side of the starting point where the initial crack 201 is formed. The second initial cracker 400 may be coupled to the base unit such that the second initial cracker 400 may be positioned on either the top or the bottom of the non-metallic substrate. As a matter of course, as the second initial cracker 400 is located either on the non-metallic substrate or on the lower substrate, the induced crack is also formed on either the upper or lower end of the non-metallic substrate on which the second initial cracker is located .

또한, 상기 제2 이니셜 크랙커(200)는, 본체(410), 구동부(420), 말단장치(430)를 포함할 수 있다.The second initial cracker 200 may include a main body 410, a driving unit 420, and an end unit 430.

상기 본체는(410) 상기 구동부(410)와 결합하여 구동부(410)에 의해 승강 및 하강 할 수 있다. 또한, 하부에는 상기 말단장치(430)가 결합한다. 상기 본체(410)는 금속재로 이뤄질 수 있다,The main body 410 can be moved up and down by the driving unit 410 in combination with the driving unit 410. In addition, the end device 430 is coupled to the lower part. The body 410 may be made of a metal material,

상기 구동부는(420), 일측이 상기 베이스유닛(100)과 결합한다. 예를 들면, 상기 베이스 유닛(100)과 상기 구동부(420)는 나사와 나사산을 통해 암수 결합 될 수 있다. 상기 구동부(420)는 상기 본체(410)를 승강 및 하강 할 수 있도록 일측에 직선운동을 할 수 있는 액추에이터(미도시)가 구비될 수 있다. 좀 더 자세히 설명하면 상기 구동부(420)는 서보모터(미도시)를 통해 회전운동을 발생시키고 상기 회전운동을 직선운동으로 변환할 수 있는 스크류(미도시)를 결합해 상기 본체(410)를 승,하강 시킬 수 있다. 또는 리니어 모터(미도시)를 통해 상기 본체(410)를 승, 하강 시킬 수 있다. 또는, 에어 실린더(미도시)에 압축공기를 공급해 상기 본체(410)를 승, 하강 시킬 수 있다.The driving unit 420 is coupled to the base unit 100 at one side. For example, the base unit 100 and the driving unit 420 may be male and female threads and threads. The driving unit 420 may include an actuator (not shown) that can linearly move on one side of the main body 410 so as to move up and down the main body 410. In more detail, the driving unit 420 may include a screw (not shown) that generates a rotational motion through a servo motor (not shown) and converts the rotational motion into a linear motion, , It can be lowered. Or the linear motor (not shown). Alternatively, compressed air may be supplied to an air cylinder (not shown) to raise and lower the main body 410.

상기 말단장치(430)는, 상기 본체(410)의 하부에 결합한다. 좀 더 자세히 설명하면 상기 말단장치(430)는 상기 본체(410)의 하부에 회전가능하게 힌지 결합한다. 상기 말단장치(430)는 원형의 디스크 형태로 이뤄질 수 있다. 상기 말단 장치(430)는 비금속 기판(G)에 물리적인 스트레스를 인가해 작은 균열을 발생시킬 수 있도록 상기 비금속 기판(G)과 접촉하는 부분에 경도가 높은 재질로 이뤄진 팁이 결합될 수 있다. 예를 들면, 상기 팁은 공업용 다이아몬드로 이뤄질 수 있다.The end device 430 is coupled to the lower portion of the main body 410. In more detail, the end device 430 rotatably hinges to the lower portion of the main body 410. The end device 430 may be in the form of a circular disk. The end device 430 may be coupled with a tip made of a material having a high hardness at a portion contacting the non-metal substrate G so that a small stress can be applied to the non-metal substrate G to generate a small crack. For example, the tip can be made of industrial diamond.

이하, 도 2, 내지 도 7,을 참조하여 본 발명에 따른 비금속 기판의 절단장치를 이용한 비금속 기판의 절단방법에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, a method for cutting a non-metallic substrate using a cutting apparatus for a non-metallic substrate according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 7.

도 7은 본 발명의 제1 실시예의한 비금속 기판의 절단과정을 설명하기 위한 블록도이다.7 is a block diagram for explaining a cutting process of a non-metallic substrate according to the first embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 비금속 기판의 절단방법에 의해 비금속 기판(G)를 절단하기 위해서는, 먼저 도 2에서와 같이 비금속 기판의 절단장치가 초기 세팅 위치에 정렬된 상태에서 상기 비금속 기판(G)이 상기 베이스유닛(100)으로 이송되어 탑재한다.2 to 6, in order to cut the non-metallic substrate G by the cutting method of the non-metallic substrate according to the first embodiment of the present invention, first, as shown in FIG. 2, And the non-metallic substrate G is transferred to the base unit 100 in an aligned state.

그 다음 단계로 도 3에서와 같이 상기 제1 이니셜크랙커(200)가 비금속 기판(G)의 절단이 시작되는 위치에 초기 균열(201)을 형성한다(S10). 그리고 상기 제 2 이니셜 크랙커(400)가 상기 비금속 기판(G)에 형성된 상기 초기 균열(201)의 반대 되는 위치에 유도 균열(401)을 형성한다(S20). 이때, 상기 초기 균열(201)과 유도 균열은 서로 일직선상에 형성되는 것이 바람직하다. 또는, 상기 제1 이니셜 크랙커(200)와 상기 제2 이니셜 크랙커(400)가 상기 비금속 기판(G)의 양단에 각각 초기 균열(201)과 유도 균열(401)을 동시에 형성할 수도 있다.Next, as shown in FIG. 3, the first initial cracker 200 forms an initial crack 201 at a position where the cutting of the non-metallic substrate G starts (S10). The second initial cracker 400 forms an induced crack 401 at an opposite position to the initial crack 201 formed on the non-metallic substrate G (S20). At this time, it is preferable that the initial crack 201 and the induced crack are formed in a straight line. Alternatively, the first initial cracker 200 and the second initial cracker 400 may simultaneously form an initial crack 201 and an induced crack 401 at both ends of the non-metallic substrate G, respectively.

이와 같이 유도 균열을 형성하면, 상기 비금속 기판(G)을 절단할 때 초기 균열의 반대측 끝단이 임의대로 휘어져 절단되는 현상을 방지할 수 있다.By forming the induction cracks as described above, it is possible to prevent the opposite end of the initial crack from being bent and cut at an arbitrary time when the non-metal substrate G is cut.

상기 초기 균열(201)과 상기 유도 균열(401)이 형성되고 나면 도 4와 같이 상기 비금속 기판(G)의 초기 균열(201)이 형성된 부분에서부터 상기 유도 균열(401) 방향으로 순차적으로 스크라이빙유닛(300)을 통해 레이저 빔(L)을 조사하여 상기 비금속 기판(G)에 스크라이빙(S)을 형성한다(S30). 상기 스크라이빙유닛이 비금속 기판(G)에 레이저 빔(L)을 조사할 때, 상기 비금속 기판(G)은 레이저 빔(L)에 의해 고온으로 가열되는데 가열된 비금속 기판(G)을 냉각하기 위해 상기 냉각부(310)에서 정제된 물을 미스트로 변환하여 상기 비금속 기판에 분무한다.After the initial crack 201 and the induced crack 401 are formed, the initial crack 201 and the induced crack 401 are sequentially formed in the direction of the induced crack 401 from the portion where the initial crack 201 of the nonmetal substrate G is formed, The laser beam L is irradiated through the unit 300 to form a scribe S on the non-metallic substrate G (S30). When the scribing unit irradiates the laser beam L onto the non-metallic substrate G, the non-metallic substrate G is heated to a high temperature by the laser beam L, The purified water in the cooling unit 310 is converted into mist and sprayed on the non-metallic substrate.

한편, 상기 레이저 빔(L)은 초기 균열(201)에서부터 유도 균열(401) 위치까지 조사된 후 상기 비금속 기판(G)의 유도 균열(401) 위치부터 초기 균열(201)까지 상기 레이저 빔(L)이 한 번 더 조사될 수 있다. 이는, 상기 레이저 빔(L)을 반복 조사하여 상기 비금속 기판(G)은 한층 더 깨끗한 절단면을 가지며, 칩핑(Chipping)이나 파티클(Particle) 등의 발생현상을 한층 더 저감시킬 수 있을 뿐만 아니라, 비금속 기판을 한층 더 신속하게 절단할 수 있다.The laser beam L is irradiated from the initial crack 201 to the position of the induction crack 401 and then irradiated with the laser beam L from the induction crack 401 position of the nonmetal substrate G to the initial crack 201 ) Can be investigated once more. This is because the non-metal substrate G has a more clean cut surface by repeatedly irradiating the laser beam L so that occurrence of chipping or particles can be further reduced, The substrate can be cut more quickly.

또는 상기 레이저 빔(L)은 상기 스크라이빙유닛(300)이 이동되면서 상기 비금속 기판(G)에 조사될 수 있다. 다른 예를 들면, 상기 레이저 빔(L)은 상기 비금속 기판(G)이 이동되면서 상기 비금속 기판(G)에 조사될 수 있다. 한편, 상기 레이저 빔(L)은 상기 비금속 기판(G)과 스크라이빙유닛(300)이 서로 반대 방향으로 이동되면서 상기 비금속 기판(G)에 조사될 수 있다.Alternatively, the laser beam L may be irradiated onto the non-metal substrate G while the scribing unit 300 is moved. Alternatively, the laser beam L may be irradiated onto the non-metallic substrate G while the non-metallic substrate G is being moved. The laser beam L may be irradiated onto the non-metal substrate G while the non-metal substrate G and the scribing unit 300 are moved in opposite directions.

이와 같은 방법을 통해 비금속 기판(G)의 절단공정을 좀 더 신속하게 수행할 수 있는 장점이 있다.The non-metallic substrate G can be cut more quickly through the above-described method.

또는, 상기 레이저 빔(L)은 상기 비금속 기판(G)의 절단이 종료되는 부분에서부터 초기 균열(201) 방향 또는 유도 균열(401) 방향으로 순차적으로 조사될 수 있다. 예를 들면, 상기 스크라이빙유닛(300)이 유도 균열(401) 방향에서 스크라이빙(S) 형성을 끝마쳤으면 다음은 유도 균열(401) 방향에서 초기 균열(201) 방향으로 스크라이빙(S)을 순차적으로 형성할 수 있다. 이러한 방법으로 하나의 비금속 기판(G)의 절단작업이 끝나면 초기 세팅 위치로 다시 이동해 다음 비금속 기판(G)을 절단 할 필요 없이 작업이 끝나는 위치에서 반대측으로 이송하며 스크라이빙(S)을 형성할 수 있어 작업시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.Alternatively, the laser beam L may be sequentially irradiated in the direction of the initial crack 201 or the direction of the induction crack 401 from the portion where the cutting of the non-metallic substrate G is terminated. For example, when the scribing unit 300 finishes forming the scribing S in the direction of the induction crack 401, the scribing unit 300 moves in the direction of the induction crack 401 toward the initial crack 201, (S) can be sequentially formed. In this way, once the cutting operation of one non-metallic substrate G is completed, it is moved back to the initial setting position and transferred to the opposite side from the position where the work is finished without cutting the next non-metallic substrate G to form the scribing S So that the working time can be shortened.

도 5에서와 상기 레이저 빔(L)이 상기 유도 균열(401) 위치까지 조사되면 상기 초기 균열(201)을 시점으로 상기 레이저 빔(L)에 의해 기 형성된 스크라이빙(S)을 따라 상기 비금속 기판(G)이 절단된다(S40).5, when the laser beam L is irradiated to the position of the induction crack 401, the laser beam L is irradiated to the initial crack 201 at a time point along the scribing S formed by the laser beam L, The substrate G is cut (S40).

이때, 상기 비금속 기판(G)에는 물리적인 스트레스가 인가되어 절단될 수 있다. 또는 상기 베이스유닛(100)에 포함된 제1 이송판(110)과 제2 이송판(120)이 양측으로 이송되며 상기 비금속 기판(G)을 절단할 수도 있다.At this time, physical stress is applied to the non-metal substrate G to be cut. Alternatively, the first transfer plate 110 and the second transfer plate 120 included in the base unit 100 may be transferred to both sides, and the non-metal substrate G may be cut.

도 6에서와 같이 상기 비금속 기판(G)은 절단되어져 상기 베이스유닛(100)에서 다음 공정으로 이송되어진다. 이때, 상기 베이스유닛(100)에는 절단된 비금속 기판(G)이 외부로 이송된 후 절단될 비금속 기판(G)이 공급된다. As shown in FIG. 6, the non-metal substrate G is cut and transferred from the base unit 100 to the next process. At this time, the base unit 100 is supplied with a non-metal substrate G to be cut after the cut non-metal substrate G is transported to the outside.

한편, 본 발명의 일실시예에 의한 비금속 기판 절단방법은 제1 이니셜 크랙커에 의해 초기 균열을 형성하고 그 반대 측에 제2 이니셜 크랙커를 통해 유도 균열을 형성하되, 유도 균열은 초기 균열과 일직선을 이루도록 형성해 스크라이빙이 형성된 뒤 비금속 기판을 절단할 때 끝부분이 휨 현상 없이 일직선으로 비금속 기판을 절단 할 수 있는 장점이 있다.Meanwhile, in the method for cutting a non-metallic substrate according to an embodiment of the present invention, an initial crack is formed by a first initial cracker and an induced crack is formed through a second initial cracker on the opposite side, Metal scribing is formed and the non-metal substrate can be cut straightly without warpage at the end when cutting the non-metal substrate.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

(G) : 비금속 기판 (100) : 베이스유닛
(200) : 제1 이니셜 크랙커 (210) : 본체
(220) : 구동부 (230) : 말단장치
(300) : 스크라이빙유닛 (310) : 냉각부
(311) : 냉각 노즐 (L) : 레이저 빔
(M) : 미스트 (S) : 스크라이빙
(400) : 제2 이니셜 크랙커 (401) : 유도균열
(G): non-metallic substrate (100): base unit
(200): first initial cracker (210): main body
(220): driving part (230): end device
(300): scribing unit (310): cooling unit
(311): Cooling nozzle (L): Laser beam
(M): mist (S): scribing
(400): second initial cracker (401): induced crack

Claims (12)

절단될 비금속 기판을 수용하는 베이스유닛;
상기 베이스유닛에 설치되어 상기 비금속 기판이 절단될 시작점에 초기 균열을 형성하는 제1 이니셜 크랙커;
상기 베이스 유닛에 설치되어 상기 비금속 기판에 형성된 초기 균열을 따라 레이저 빔을 조사하는 스크라이빙유닛; 및
상기 베이스유닛에 설치되며, 상기 초기 균열이 형성된 시작점의 반대편에 상기 시작점과 일직선을 이루도록 유도 균열을 형성하는 제2 이니셜 크랙커;
를 포함하여 구성되되,
상기 베이스유닛은,
제1 이송판 및 제2 이송판으로 구성되어, 상기 비금속 기판이 절단되기 전에는 서로 밀착되어 있으며, 상기 스크라이빙 유닛에 의해 스크라이빙이 형성된 후 상기 비금속 기판이 절단되는 순간 상기 제1 이송판 및 제2 이송판이 각각 양측으로 이송하는 것을 특징으로 하는 비금속 기판의 절단장치.
A base unit for receiving a non-metallic substrate to be cut;
A first initial cracker installed in the base unit to form an initial crack at a starting point at which the non-metal substrate is cut;
A scribing unit installed on the base unit and irradiating a laser beam along an initial crack formed on the non-metallic substrate; And
A second initial cracker installed in the base unit and forming an induction crack so as to be in line with the starting point on the opposite side of the starting point where the initial crack is formed;
, &Lt; / RTI &gt;
The base unit includes:
Wherein the first and second transfer plates are in close contact with each other before the non-metal substrate is cut, and after the scribing is formed by the scribing unit, when the non-metal substrate is cut, And the second transfer plate are respectively transferred to both sides.
제1 항에 있어서, 상기 제1 이니셜 크랙커는,
상기 비금속 기판의 상측 또는 하측 중 어느 한곳에 위치하며, 상기 비금속 기판의 상단 또는 하단중 어느 한쪽에 초기 균열을 형성하는 것을 특징으로 하는 비금속 기판의 절단장치.
The apparatus of claim 1, wherein the first initial cracker comprises:
Wherein the non-metal substrate is located at an upper side or a lower side of the non-metal substrate, and an initial crack is formed in either the upper end or the lower end of the non-metal substrate.
제1 항에 있어서, 상기 제2 이니셜 크랙커는,
상기 비금속 기판의 상측 또는 하측 중 어느 한곳에 위치하며, 상기 비금속 기판의 상단 또는 하단중 어느 한쪽에 유도 균열을 형성하는 것을 특징으로 하는 비금속 기판의 절단장치.
The apparatus of claim 1, wherein the second initial cracker comprises:
Wherein the non-metal substrate is located on an upper side or a lower side of the non-metal substrate, and induction cracks are formed on either the upper end or the lower end of the non-metal substrate.
제1 항에 있어서, 상기 스크라이빙유닛은,
상기 레이저 빔으로 가열된 비금속 기판에 미스트를 분사해 냉각하는 냉각부를 포함하는 비금속 기판의 절단장치
The apparatus according to claim 1, wherein the scribing unit comprises:
And a cooling unit for spraying mist on a non-metallic substrate heated by the laser beam to cool the non-
제1 항에 있어서, 상기 제1 이니셜 크랙커 및 제2 이니셜 크랙커는,
본체;
상기 본체 및 베이스 유닛과 결합되어 상기 본체가 이송할 수 있도록 동력을 전달하는 구동부; 및
상기 본체에 결합되어 비금속 기판에 초기 균열을 형성하는 말단장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 비금속 기판의 절단장치
The apparatus of claim 1, wherein the first and second initial crackers
main body;
A driving unit coupled to the main body and the base unit to transmit power to the main body so as to be conveyed; And
And an end device coupled to the body to form an initial crack in the non-metallic substrate.
제5 항에 있어서, 상기 구동부는,
서보 모터 또는 압축공기를 동력원으로 이용하는 것을 특징으로 하는 비금속 기판의 절단장치.
6. The apparatus according to claim 5,
Wherein a servo motor or compressed air is used as a power source.
비금속 기판의 절단이 시작되는 위치에 초기 균열을 형성하는 단계;
상기 비금속 기판의 절단이 끝나는 위치에 유도 균열을 형성하는 단계;
상기 비금속 기판의 초기 균열이 형성된 부분에서부터 상기 유도 균열 방향으로 순차적으로 스크라이빙유닛을 통해 레이저 빔을 조사하여 상기 비금속 기판에 스크라이빙을 형성하는 단계; 및
상기 레이저 빔이 상기 유도 균열 위치까지 조사되면 상기 초기 균열을 시점으로 상기 레이저 빔에 의해 기 형성된 스크라이빙을 따라 상기 비금속 기판이 절단되는 단계:
를 포함하여 구성되되,
상기 기 형성된 스크라이빙을 따라 상기 비금속 기판이 절단되는 단계에서는,
상기 비금속 기판의 하측에 위치하는 베이스 유닛의 제1 이송판 및 제2 이송판이, 상기 비금속 기판이 절단되는 순간 양측으로 이송하여 절단된 비금속 기판이 서로 충돌하는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 비금속 기판 절단방법.
Forming an initial crack at a position where cutting of the non-metallic substrate is started;
Forming an induced crack at a position where cutting of the non-metallic substrate ends;
Forming a scribing line on the non-metallic substrate by irradiating a laser beam through a scribing unit sequentially from an initial cracked portion of the non-metallic substrate to the induction cracking direction; And
Wherein when the laser beam is irradiated to the induction crack position, the non-metallic substrate is cut along the pre-formed scribing by the laser beam at the start of the initial crack,
, &Lt; / RTI &gt;
In the step of cutting the non-metallic substrate along the pre-formed scribing,
Wherein the first transfer plate and the second transfer plate of the base unit located below the non-metal substrate prevent the non-metal substrates from being collided with each other when the non- Way.
제 7 항에 있어서,
상기 레이저 빔이 유도 균열 위치까지 조사된 후 상기 비금속 기판의 유도 균열 위치부터 절단이 종료되는 부분까지 상기 레이저 빔이 한 번 더 조사되는 단계를 더 포함하는 비금속 기판 절단방법.
8. The method of claim 7,
Further comprising the step of irradiating the laser beam once more from the induction crack position of the non-metallic substrate to the end of cutting after the laser beam is irradiated to the induction crack position.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 레이저 빔은 상기 스크라이빙유닛이 이동되면서 상기 비금속 기판에 조사되는 것을 특징으로 하는 비금속 기판 절단방법.
9. The method according to claim 7 or 8,
Wherein the laser beam is irradiated onto the non-metal substrate while moving the scribing unit.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 레이저 빔은 상기 비금속 기판이 이동되면서 상기 비금속 기판에 조사되는 것을 특징으로 하는 비금속 기판 절단방법.
9. The method according to claim 7 or 8,
Wherein the laser beam is irradiated onto the non-metal substrate while the non-metal substrate is being moved.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 레이저 빔은 상기 비금속 기판과 스크라이빙유닛이 서로 반대 방향으로 이동되면서 상기 비금속 기판에 조사되는 것을 특징으로 하는 비금속 기판 절단방법.
9. The method according to claim 7 or 8,
Wherein the laser beam is irradiated to the non-metal substrate while moving the non-metal substrate and the scribing unit in directions opposite to each other.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 레이저 빔은 상기 비금속 기판의 절단이 종료되는 부분에서부터 초기 균열 방향 또는 유도균열방향으로 순차적으로 조사되는 것을 특징으로 하는 비금속 기판 절단방법.
9. The method according to claim 7 or 8,
Wherein the laser beam is sequentially irradiated from a portion where the cutting of the non-metal substrate is terminated to an initial crack direction or an induction crack direction.
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