KR101394785B1 - Apparatus and method of connecting direction input peripheral to remote semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 원격지 오피스 컴퓨터에 연결된 방향 입력장치를 이용하여 반도체 라인의 FAB 장비를 제어하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for controlling FAB equipment in a semiconductor line using a directional input device connected to a remote office computer.
일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 회로 패턴을 형성하는 포토 공정과 이온주입공정, 박막을 증착하는 박막증착 공정 및 증착된 박막을 연마하는 평탄화 공정 등의 단위공정들을 반복 수행함으로써 제조된다.Generally, a semiconductor device is manufactured by repeating unit processes such as a photolithography process for forming a circuit pattern on a wafer, an ion implantation process, a thin film deposition process for depositing a thin film, and a planarization process for polishing the deposited thin film.
이때, 각 단위 공정의 공정진행조건을 레시피로 저장하여 제조설비와 구동프로그램이 이를 참조로 자동으로 공정을 진행하게 되며, 작업자는 제조하고자 하는 반도체 소자별로 레시피를 셋업한다.At this time, the process progress condition of each unit process is stored as a recipe, and the manufacturing facility and the driving program automatically perform the process with reference thereto, and the worker sets up the recipe for each semiconductor device to be manufactured.
한편, 웨이퍼의 이상유무를 검사하는 웨이퍼 인스펙션 공정이 수행되는데 이후 필요에 따라 작업자는 매뉴얼로 스테이지를 제어한다.On the other hand, a wafer inspection process is performed to check whether there is an abnormality in the wafer, and then the operator manually controls the stage as needed.
이와 같은 스테이지의 수동 조작은 반도체 라인 내에서 작업자가 제조공정을 모니터링하다 필요하다 판단되는 경우에 수행하게 된다.Such manual operation of the stage is performed when it is determined that the operator needs to monitor the manufacturing process in the semiconductor line.
한편, 작업자 등에 의해 발생되는 미세한 분진은 반도체 공정에 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 이러한 까닭에 장비의 오작동을 점검하거나 조작하기 위해서 작업자는 필히 방진복을 착용한 상태에서야 비로소 반도체 라인에 들어갈 수 있다.On the other hand, fine dust generated by an operator or the like may cause a fatal result in the semiconductor process. Therefore, in order to check or operate the malfunction of the equipment, the operator may enter the semiconductor line only after wearing the protective clothing.
따라서, 반도체를 생산하고 검사하는 등의 각종 반도체 장비의 가동시 작업자가 클린룸에 들어가지 아니하고서 원격지에서 제어하기 위한 기술들이 개발되고 있다.Accordingly, technologies for controlling a remote site without a worker entering a clean room when various semiconductor equipment such as a semiconductor are manufactured and inspected are being developed.
스테이지의 매뉴얼 조작의 경우에도 장비를 직접 눈으로 확인하고, 작업자의 판단에 따라 스테이지를 수동으로 조작해야할 필요성이 있어 원격지에서의 제어가 쉽지 않을 뿐, 원격지에서 이러한 작업이 가능하도록 하기 위한 기술개발의 필요성은 동일하다.Even in the case of manual operation of the stage, it is necessary to manually view the equipment and operate the stage manually according to the judgment of the operator, so that it is not easy to control at the remote place, The necessity is the same.
그러나, 기존의 공정장비에 대한 원격 제어기술은 생산 자동화를 위한 데이터 베이스 및 스케쥴링 기술의 측면에 초점이 맞추어져 있어, 작업자에 의한 정밀한 제어와 계측작업의 원격제어에 그대로 적용하기 어렵다는 문제점이 있다.However, the remote control technology for existing process equipment is focused on the side of database and scheduling technology for production automation, so that it is difficult to apply precise control by the operator and remote control of the measurement operation as it is.
따라서, 원격지에서 반도체 장비를 직관적이고도 정확하게 조작하기 위한 제어시스템의 개발이 필요하다.Therefore, it is necessary to develop a control system for intuitively and accurately operating the semiconductor equipment at a remote site.
본 출원인의 특허출원 제10-2012-90576호 "조이스틱을 이용하는 반도체 장비의 원격제어 장치"는 바로 이러한 문제점을 해소하기 위하여 개발된 것이다.The applicant's patent application No. 10-2012-90576 entitled " Remote Control Device for Semiconductor Equipment Using Joystick "has been developed in order to solve this problem.
그러나, 본 출원인의 상기 특허출원 제10-2012-90576호는 원격지에 구비된 입력장치의 출력신호를 이용하여 FAB 장비를 제어하는 경우를 전제로 개발된 것이지만, 오피스와 반도체 라인에 각각 조이스틱이 구비되고 양쪽에서의 조작이 동시에 이루어지는 경우의 충돌 문제를 해소하지 못하는 한계가 있다.However, the above-mentioned patent application No. 10-2012-90576 of the present applicant has been developed on the assumption that the FAB equipment is controlled using the output signal of the input device provided at the remote place, but the joystick is provided in each of the office and semiconductor lines There is a limitation in that the problem of collision can not be solved when both operations are simultaneously performed.
특히, 오피스와 반도체 라인에 다수의 컴퓨터와 FAB 장비가 구비되며 이들 가운데 임의의 조합에 의한 통신세션 수립을 통해 원격지 제어가 이루어지는 경우에 제어신호의 중복인가에 의한 충돌 문제를 해소하지 못하는 한계가 있다.In particular, there is a limitation in that a plurality of computers and FAB equipment are provided in an office and a semiconductor line, and a collision problem due to the duplication of control signals can not be solved when remote control is performed through establishment of a communication session by any combination of them .
본 발명은 본 출원인의 특허출원번호 제10-2012-0017880호 "반도체 장비의 원격 모니터링 및 제어 시스템", 특허출원번호 제10-2012-0052544호 "CD-SEM의 원격 제어 장치" 특허출원번호 제10-2012-90576호 "조이스틱을 이용하는 반도체 장비의 원격제어 장치"를 더욱 개선한 것으로,The present invention relates to a remote monitoring and control system for semiconductor devices, Patent Application No. 10-2012-0017880, Patent Application No. 10-2012-0052544, "Remote Control Device for CD-SEM ", Patent Application No. 10-2012-90576 "Remote control device of semiconductor equipment using joystick"
오피스와 반도체 라인에 각각 방향 입력장치가 구비되는 경우, 양측에서의 동시 조작에 의한 충돌 문제를 해소하기 위한 방안을 제시하고자 한다.In the case where a direction input device is provided in each of the office and semiconductor lines, a solution for solving the collision problem by simultaneous operation on both sides is proposed.
한편 본 발명은 오피스에 다수의 관리자 컴퓨터, 반도체 라인에 다수의 FAB 장비가 구비되는 경우에 어느 한 쌍의 연결수립시 다른 컴퓨터나 FAB 장비에 의한 중복연결을 배제하여 독점적이고 안정적인 연결을 제공하기 위한 방안의 제시를 또다른 목적으로 한다.In the meantime, the present invention can be applied to the case where a plurality of administrator computers in the office and a plurality of FAB equipments are provided in the semiconductor line, and to provide a monopolistic and stable connection by eliminating redundant connection by another computer or FAB equipment Another purpose is to present the plan.
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동시스템은 원격지 오피스 컴퓨터에 연결된 원격 방향 입력장치로부터 네트워크를 통해 수신한 패킷화된 입력신호를 복호화하여 FAB 장비로 인가하는 디코더; 로컬 방향 입력장치와 직접 연결되되, 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 FAB 장비로 바이패스하는 입력장치 연결수단; 및 상기 원격 방향 입력장치에 입력 권한이 있는 경우 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 무시하고 상기 원격 방향 입력장치로부터 수신한 신호를 복호화하여 인가하되, 상기 로컬 방향 입력장치에 입력권한이 있는 경우 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 FAB 장비로 바이패스하는 권한 처리수단;을 갖지며, FAB 장비와 직접 연결되되, 네트워크를 통해 원격 오피스 컴퓨터에 의한 접속을 허용하는 FAB 원격제어장치; 및In order to achieve the above object, a remote direction input device and an interworking system of a semiconductor device according to the present invention includes a decoder for decoding a packetized input signal received through a network from a remote direction input device connected to a remote office computer, ; An input device connection means directly connected to the local direction input device, for bypassing an input signal from the local direction input device to the FAB equipment; And if the remote direction input device has an input right, ignores the input signal from the local direction input device and decodes and applies the signal received from the remote direction input device, An FAB remote control device directly connected to the FAB equipment, the FAB remote control device allowing connection by a remote office computer through a network; and an authorization processing unit for bypassing an input signal from the local direction input device to the FAB equipment. And
사용자 조작에 따라 각 방향마다 기준신호 및 보조신호에 해당하는 펄스를 위상차를 두고서 생성하는 펄스 생성수단; 매 단위 샘플링 구간마다 상기 기준신호 및 보조신호의 위상차에 따라 각 방향마다 정방향인지 역방향인지를 판정하는 방향판정 수단; 매 단위 샘플링 구간마다 상기 기준신호 또는 보조신호 가운데 하나 이상을 샘플링하여 펄스 레이트를 판정하거나 또는 펄스의 수를 카운트하는 샘플링 수단; 및 매 단위 샘플링 구간마다 평균 펄스 레이트 또는 펄스의 수 가운데 하나와 판정된 방향정보를 인코딩하여 패킷을 생성하는 패킷 생성수단;을 구비하되, 원격 오피스 컴퓨터에 연결되며, 사용자 조작에 따라 하나 이상의 방향으로의 입력신호를 생성하는 원격 방향 입력장치;를 구비한다.Pulse generating means for generating a pulse corresponding to the reference signal and the auxiliary signal in each phase by a phase difference according to a user operation; Direction determining means for determining whether each direction is a forward direction or a backward direction in accordance with a phase difference between the reference signal and the auxiliary signal in every unit sampling period; Sampling means for sampling at least one of the reference signal or the auxiliary signal for every unit sampling interval to determine a pulse rate or to count the number of pulses; And packet generating means for generating a packet by encoding one of the average pulse rate or the number of pulses per unit sampling interval and the determined direction information, wherein the packet generating means is connected to the remote office computer, And a remote direction input device for generating an input signal of the remote control device.
이때, 상기 원격 방향 입력장치는 트랙볼 또는 조이스틱이며, 상기 펄스 생성수단은 사용자에 의한 상기 원격 방향 입력장치 조작시, 상기 원격 방향 입력장치의 동작 방향에 따라서 펄스를 생성할 수 있다.Here, the remote direction input device may be a track ball or a joystick, and the pulse generating means may generate a pulse according to an operation direction of the remote direction input device when the user operates the remote direction input device.
이때, FAB 원격제어장치는, 원격 방향 입력장치에 입력 권한이 있는지, 로컬 방향 입력장치에 입력 권한이 있는지, 원격 오피스 컴퓨터로부터의 권한 요청이 발생했는지 가운데 하나 이상을 표시하는 표시수단; 및At this time, the FAB remote control device displays the at least one among the remote direction input device, the local direction input device, and the remote office computer. And
사용자 조작에 따라서 권한 요청 또는 권한 요청 거부를 위한 요청대응수단;을 더 구비하며,And request response means for requesting permission or denying permission request according to a user operation,
상기 권한 처리 수단은 로컬 방향 입력장치에 권한이 있는 동안 원격 오피스 컴퓨터로부터 권한 요청이 있으면 상기 표시수단을 통해 표시하되, 일정 시간 내에 상기 요청대응수단을 통한 사용자 조작 여부에 따라 상기 원격 오피스 컴퓨터로 요청 거부 신호를 전송하거나 요청 수락 신호 전송 또는 아무런 동작을 하지 않도록 처리한다.Wherein the authority processing means displays, through the display means, an authorization request from the remote office computer while the local direction input device is authorized, and displays the request to the remote office computer in response to the user operation through the request response means within a predetermined time And transmits the reject signal or the request accept signal or does not perform any operation.
한편, 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동방법의 일 측면은According to another aspect of the present invention, there is provided a remote direction input device,
원격 방향 입력장치에 입력 권한이 존재하는 경우, 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 무시하고, 원격 방향 입력장치로부터 수신한 입력신호를 복호화하여 FAB 장비로 인가하는 단계; 및Ignoring an input signal from the local direction input device and decrypting the input signal received from the remote direction input device and applying the decoded input signal to the FAB device when the input direction exists in the remote direction input device; And
로컬 방향 입력장치에 입력권한이 존재하는 경우, 원격 방향 입력장치로부터 전송받은 패킷을 무시하고, 로컬 방향 입력장치의 입력신호를 FAB 장비로 바이패스하는 단계;를 포함하되,And bypassing the input signal of the local direction input device to the FAB equipment if the input right exists in the local direction input device, ignoring the packet received from the remote direction input device,
상기 입력신호의 복호화 단계에서, 수신한 패킷을 복호화하여 평균 펄스 레이트 또는 카운트된 펄스의 수를 획득하되, 단위 샘플링 구간의 시간값에 소정의 보정값을 더한 시간동안 상기 평균 펄스 레이트로 펄스를 생성하여 FAB 장비로 인가한다.Wherein the decoding unit decodes the received signal to obtain an average pulse rate or a counted number of pulses and generates a pulse at the average pulse rate for a time period obtained by adding a predetermined correction value to a time value of a unit sampling period And applied with FAB equipment.
한편, 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동방법의 다른 일 측면은 원격 오피스 컴퓨터가 다수의 FAB 원격제어장치 가운데 다른 원격 오피스 컴퓨터와 통신 세션이 수립된 FAB 원격제어장치를 제외한 나머지의 목록을 화면에 표시하는 단계;According to another aspect of the present invention, there is provided a method for interworking between a remote directional input device and a semiconductor device, the remote office computer including a plurality of FAB remote controllers, a FAB remote Displaying the remaining list except for the control device on the screen;
상기 어느 하나의 원격 오피스 컴퓨터가 사용자 조작에 의해 선택된 어느 하나의 FAB 원격제어장치로서 다른 원격 오피스 컴퓨터와 통신 세션이 수립되지 않은 FAB 원격제어장치와의 통신 세션을 수립하는 단계;Establishing a communication session with a FAB remote control device in which any one of the remote office computers is selected as a FAB remote control device selected by a user operation and a communication session is not established with another remote office computer;
원격 오피스 컴퓨터가 상기 통신 세션이 수립된 FAB 원격제어장치로 원격 방향 입력장치로의 입력권한 이전을 요청하는 단계;Requesting the remote office computer to transfer the input authority to the remote directional input device to the FAB remote control device in which the communication session is established;
상기 FAB 원격제어장치로부터 입력권한의 승낙신호를 수신하거나, 또는 일정시간 동안 아무런 신호를 수신하지 못하면 상기 원격 오피스 컴퓨터가 원격 방향 입력장치의 입력권한을 설정하는 단계;Receiving an acceptance signal of the input authority from the FAB remote control device or setting the input authority of the remote directional input device when the remote office computer fails to receive any signal for a predetermined time;
입력권한 설정 후 원격 방향 입력장치의 조작 방향과 크기를 매 단위 샘플링 구간마다 인코딩하여 패킷화하는 단계; 및Encoding the operation direction and the size of the remote direction input device after setting the input authority every unit sampling period and packetizing the same; And
상기 생성된 패킷을 네트워크를 통해 FAB 원격제어장치로 전송하는 단계;를 포함한다.And transmitting the generated packet to the FAB remote controller through the network.
이러한 본 발명에 의할 때, 원격지 오피스와 FAB 장비에 각각 방향 입력장치가 구비되는 경우에도 양측에서의 동시 조작에 의한 충돌 문제가 해소될 수 있다.According to the present invention, even when the remote office and the FAB equipment each have a direction input device, the collision problem due to simultaneous operation on both sides can be solved.
뿐만 아니라, 원격지 오피스에 다수의 관리자 컴퓨터가 구비되고 반도체 라인에 다수의 FAB 장비가 구비되는 경우에 임의의 한 쌍에 대한 독점적이고 안정적인 연결을 제공할 수 있다는 효과가 있다.In addition, when a plurality of administrator computers are provided in a remote office and a plurality of FAB devices are provided in a semiconductor line, it is possible to provide an exclusive and stable connection to any pair.
도 1은 반도체 라인의 FAB 장비와 원격지 오피스의 방향 입력장치가 연결되는 관계를 설명하는 도면이며,
도 2는 RCS와 원격 방향입력장치의 외형을 각각 도시하는 참고도이며,
도 3은 본 발명에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연결시스템의 구성을 설명하는 기능블록도이며,
도 4는 FAB 원격제어장치의 주변기기 형태로 제조된 표시수단의 외형을 예시하는 도면이며,
도 5는 원격 방향입력장치에 의하여 생성되는 기준신호와 보조신호를 나타내는 그래프이며,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연결 방법을 설명하는 플로우차트이며,
도 7은 다수의 반도체 장비와 다수의 원격 오피스 컴퓨터의 연결관계를 설명하는 참고도이며,
도 8은 본 발명의 이 실시예에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연결 방법을 설명하는 플로우차트이다.1 is a view for explaining the connection of a FAB equipment of a semiconductor line and a direction input device of a remote office,
2 is a reference view showing the outline of the RCS and the remote direction input device,
3 is a functional block diagram illustrating a configuration of a system for connecting a remote direction input device and a semiconductor device according to the present invention,
4 is a view illustrating the appearance of display means made in the form of a peripheral of the FAB remote control apparatus,
5 is a graph showing a reference signal and an auxiliary signal generated by the remote direction input device,
6 is a flowchart illustrating a method of connecting a remote direction input device and a semiconductor device according to an embodiment of the present invention,
7 is a reference view for explaining a connection relationship between a plurality of semiconductor equipments and a plurality of remote office computers,
8 is a flowchart illustrating a method of connecting a remote direction input device and a semiconductor device according to this embodiment of the present invention.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예 및 첨부하는 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 한편, 본 발명을 명확히 하기 위하여 본 발명의 구성과 관련없는 내용은 생략하기로 하되, 도면의 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭함을 전제하여 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments and accompanying drawings. In order to clarify the present invention, contents which are not related to the configuration of the present invention will be omitted, and the same reference numerals are used for the same components.
한편, 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에서 어느 하나의 구성요소가 다른 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 당해 구성요소만으로 이루어지는 것으로 한정되어 해석되지 아니하며, 다른 구성요소들을 더 포함할 수 있는 것으로 이해되어야 한다.On the other hand, when an element is referred to as being "comprising" another element in the description of the invention or in the claims, it is not interpreted as being limited to only that element, Elements may be further included.
또한, 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에서 "~수단", "~부", "~모듈", "~블록"으로 명명된 구성요소들은 적어도 하나 이상의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이들 각각은 소프트웨어 또는 하드웨어, 또는 이들의 결합에 의하여 구현될 수 있다.Also, in the description of the invention or the claims, the components named as "means", "parts", "modules", "blocks" refer to units that process at least one function or operation, Each of which may be implemented by software or hardware, or a combination thereof.
도 1은 본 발명에 의한 FAB 원격제어장치과 반도체 장비 및 원격 오피스 컴퓨터의 연결관계를 설명하는 도면이다.1 is a view for explaining a connection relationship between an FAB remote control device, a semiconductor device, and a remote office computer according to the present invention.
도 1에 도시된 바에 의할 때, 원격지 오피스 컴퓨터(2)는 FAB 원격 제어장치(10)를 경유하여 FAB 장비(1)와 네트워크를 통해 연결된다.1, the
FAB 장비(1)는 반도체 라인에 다수가 구비되며, 원격지 오피스 컴퓨터(2) 또한 오피스에 다수가 구비될 수 있다.A plurality of
이러한 FAB 장비(1)와 원격지 오피스 컴퓨터(2)는 각각 공지의 구성요소에 해당한다.The
한편, FAB 원격 제어장치(10)는 네트워크에 직접 연결되며 FAB 장비(1)에 연결되어, 원격지 오피스 컴퓨터(2)로 하여금 FAB 장비(1)를 모니터링 하거나, 원격지 오피스 컴퓨터(2)로부터의 제어신호를 FAB 장비(1)로 인가하는 역할을 한다.The FAB
써드파티에 의해 FAB 장비의 모니터링을 위해 제조된 바 있는 RCS(Remote Control System)에 대응되는 구성요소라 할 수 있다.It is a component corresponding to RCS (Remote Control System) which has been manufactured for monitoring FAB equipment by a third party.
다만, 본 발명에서 FAB 원격 제어장치(10)는 기존의 RCS의 기능에 더하여 로컬 방향 입력장치(3)와 원격 방햐 입력장치(20)로부터의 입력신호를 선택적으로 FAB 장비(1)로 인가하고, 원격지와 반도체 라인간의 입력권한을 설정하는 역할을 한다.In the present invention, the FAB
이러한 FAB 원격 제어장치(10)는 공지의 RCS의 형태로 제조될 수도 있으나, RCS와는 별개의 하드웨어로 구현될 수도 있다.The FAB
도 2의 (a)는 본 발명에 의한 FAB 원격제어장치(10)의 외형을 나타낸다. 도 2의 (a)에 도시된 FAB 원격제어장치(10)는 본 출원인에 의하여 기 개발된 바 있는 RCS 제품의 형태로 개발된 것이다.2 (a) shows the outline of the FAB
한편, 원격 오피스 컴퓨터(2)는 원격지에서 네트워크를 통해 FAB 원격제어장치(10)로 접속하며, FAB 원격제어장치(10)를 통해 FAB 장비(1)를 모니터링하거나 원격 방향 입력장치(20)에 의한 입력신호를 FAB 장비(1)로 인가한다.On the other hand, the
이때, 원격 오피스 컴퓨터(2)와 FAB 원격제어장치(10)간 광케이블을 매설하여 연결할 수도 있으나, 이전설치나 설비의 교체 등의 경우 매번 광케이블을 새롭게 매설해야하는 번거로움이 있으며, 바람직하게는 기존의 인트라넷 망을 이용하여 연결함으로써 이러한 번거로움과 비경제성을 해소할 수 있다.At this time, the optical cable between the
다만, 기존 랜 설비를 이용하여 원격 오피스 컴퓨터(2)와 FAB 원격제어장치(10)를 연결하는 경우 네트워크 상황에 따른 신호의 지연문제가 발생할 수 있는데, 이에 대해서는 후술하는 바와 같은 방법에 의하여 해결한다.However, when the
한편, 원격 방향입력장치(20)와 로컬 방향입력장치(3)는 각각 작업자가 FAB 장비(1)를 조작하기 위한 입력도구에 해당한다.On the other hand, the remote
이러한 원격 방향입력장치(20)와 로컬 방향입력장치(3)는 사용자 조작에 따라서, 바람직하게는 두 방향 또는 그 이상의 방향으로의 입력신호를 발생시킨다.The remote
로컬 방향입력장치(3)는 공지의 트랙볼이나 조이스틱과 같은 형태의 입력도구일 수 있다. 이러한 로컬 방향입력장치(3)는 FAB 장비(1)에 단독으로 직접 연결될 수 있으며, 반도체 라인의 작업자는 이러한 로컬 방향입력장치(3)를 이용하여 FAB 장비(1)를 조작할 수 있다.The local direction input device 3 may be an input tool in the form of a known track ball or joystick. This local direction input device 3 can be connected directly to the
단, 본 발명에서는 원격 방향입력장치(20)와 로컬 방향입력장치(3)의 권한의 설정을 위하여 FAB 장비(1)에 직접 연결되는 대신, FAB 원격제어장치(10)에 연결되는 것으로 전제한다.However, in the present invention, it is assumed that the remote
한편, 원격 방향입력장치(20)는 이러한 로컬 방향입력장치(3)를 원격지에서 사용할 수 있도록 별도로 개발된 입력도구에 해당한다.On the other hand, the remote
바람직하게는 로컬 방향입력장치(3)와 동일한 방식에 의한 조작을 지원한다.And preferably supports operation in the same manner as the local direction input device 3. [
즉, 로컬 방향입력장치(3)가 공지의 트랙볼이라면, 원격 방향입력장치(20) 또한 트랙볼과 유사한 형태로 개발하는 것이 바람직하다.That is, if the local direction input device 3 is a known track ball, the remote
다만, 인트라넷을 통해 원격지에서 FAB 장비(1)로 연결되는 상황을 전제로 하기 때문에 원격 방향입력장치(20)는 패킷 통신을 이용하는 까닭에 피치 못하게 발생하는 지연문제, 원격 방향입력장치(20)가 생성한 입력신호와 실제 FAB 장비(1)로 인가되는 신호의 불일치문제, 시간차 문제를 해소하기 위하여 후술하는 바와 같은 구조를 갖는다.However, since the remote
도 2의 (b)는 본 출원인에 의하여 트랙볼과 동일한 기능을 할 수 있도록 개발된 원격 방향입력장치(20)의 외형을 예시한다.2 (b) illustrates the outline of the remote
도 2의 (b)에 도시된 원격 방향입력장치(20)는 사용자가 트랙볼을 움직임에 따라, 트랙볼 동작방향에 대응하여 X축과 Y축, 두 방향으로의 입력신호를 발생시킨다.The remote
원격 방향입력장치(20)는 하나 이상의 축에 대한 입력신호를 동시에 생성할 수 있는 것이라면 반드시 이러한 형태에 국한되는 것은 아니며, 스틱이나 다이얼과 같은 형태로 구현될 수도 있다.The remote
원격 오피스 컴퓨터(2)는 반도체 라인에서 이격된 원격지의 오피스에서 FAB 장비(1)를 모니터링하고 제어하기 위한 컴퓨터(2)에 해당한다.The
원격 오피스 컴퓨터(2)의 사용자는 FAB 원격제어장치(10)과의 통신 세션이 수립된 후, 원격 오피스 컴퓨터(2)를 이용하여 FAB 장비(1)의 상황을 실시간으로 모니터링 할 수 있다.The user of the
그리고, 레시피 셋업이나 웨이퍼 인스펙션 후의 디펙트 리뷰 등의 작업시에 후술하는 바와 같이 원격 오피스 컴퓨터(2)에 연결된 원격 방향 입력장치(20)를 이용하여 매뉴얼로 FAB 장비(1)의 스테이지 제어와 같은 조작을 할 수 있다.As described later, when the remote
도 3은 본 발명에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연결시스템의 구성을 설명하는 기능블록도이다.3 is a functional block diagram illustrating a configuration of a system for connecting a remote direction input device and a semiconductor device according to the present invention.
도 3에 도시된 바에 의할 때, 본 발명에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연결시스템은 FAB 원격제어장치(10)와 원격 방향 입력장치(20)를 구비한다. 3, the system for connecting the remote direction input device and the semiconductor device according to the present invention includes a FAB
한편, FAB 원격제어장치(10)는 디코더(11), 입력장치 연결수단(12), 권한 처리수단(13), 표시수단(14) 및 요청대응수단(15)를 구비한다.On the other hand, the FAB
FAB 원격제어장치(10)는 FAB 장비(1)와는 직접 연결되며, 네트워크를 통해 원격 오피스 컴퓨터(2)에 의한 접속을 허용한다.The FAB
FAB 원격제어장치(10)가 네트워크를 통해 원격지 오피스 컴퓨터(2)에 연결된 원격 방향 입력장치(20)로부터 패킷화 된 입력신호를 수신하면, 디코더(11)가 이를 복호화한 다음 소정의 신호를 생성하여 FAB 장비로 인가한다.When the FAB
후술하는 바와 같이 원격 방향 입력장치(20)로부터 수신한 패킷은 각 방향별로 단위 샘플링 구간 동안의 평균 펄스 레이트 또는 카운트된 펄스의 수, 단위 샘플링 구간 동안 판정된 방향정보를 포함한다.As described later, the packet received from the remote
이때, 방향정보란 역방향 입력인지 정방향 입력인지를 나타내는 정보이다.At this time, the direction information is information indicating whether the input is a reverse input or a forward input.
예컨대, 도 2의 (b)에 도시된 봐와 같은 원격 방향 입력장치(20)는 X, Y 두 축으로 입력신호를 생성하며, 원격 방향 입력장치(20)로부터 수신한 패킷은 X, Y 두 축에 대하여 각각 해당 샘플링 구간 동안의 방향정보와 평균 펄스 레이트 또는 카운트된 펄스의 수 정보를 갖는다.For example, the remote
디코더(11)는 수신한 패킷을 복호화하여 상기와 같은 정보를 획득한 다음, 단위 샘플링 구간의 시간값에 소정의 보정값을 더한 시간동안 상기 평균 펄스 레이트로 펄스를 생성하여 FAB 장비(1)로 인가한다.The decoder 11 decodes the received packet and obtains the information as described above. Then, the decoder 11 generates a pulse at the average pulse rate for a time period obtained by adding a predetermined correction value to the time value of the unit sampling interval, .
예컨대, 단위 샘플링 구간이 100ms, 보정값이 50ms라 한다면 디코더(11)는 150ms 동안 상기 평균 펄스 레이트로 아날로그 신호 - 즉, 펄스를 생성하여 FAB 장비(1)로 인가하는 것이다.For example, if the unit sampling period is 100 ms and the correction value is 50 ms, the decoder 11 generates an analog signal (i.e., a pulse) at the average pulse rate for 150 ms and applies it to the
해당 샘플링 구간 동안 카운트 된 펄스의 수를 이용하는 경우에도 동일하다. 펄스의 수를 샘플링 구간의 시간값으로 나누면 단위 시간당 펄스의 수인 펄스 레이트가 나오며, 이를 이용하여 샘플링 구간의 시간값에 보정값을 더한 시간동안 아날로그 신호를 생성한다.The same is true when the number of pulses counted during the sampling interval is used. When the number of pulses is divided by the time value of the sampling period, a pulse rate, which is the number of pulses per unit time, is obtained. An analog signal is generated for a time period obtained by adding the correction value to the time value of the sampling period.
후술하는 바와 같이 각 방향별로 기준신호와 보조신호를 생성하되 소정의 위상차를 갖도록 하여 FAB 장비(1)로 인가한다.The reference signal and the auxiliary signal are generated for each direction and have a predetermined phase difference to be applied to the
한편, 보정값을 더하는 것에 의하여 원격지 오피스 단에서의 패킷화에 소요되는 시간 지연과 네트워크 전송에 따른 지연을 보상한다.On the other hand, by adding the correction value, the time delay required for packetization at the remote office and the delay due to the network transmission are compensated.
후술하는 바와 같이 원격지 오피스 단에서는 매 단위 샘플링 구간 사이에 상기 보정값에 대응하는 시간만큼 시차를 두고서 샘플링을 진행한다.As will be described later, at the remote office, sampling is performed with a time difference corresponding to the correction value between every sampling interval.
즉, 원격 방향 입력장치(20)를 통한 입력 가운데 매 단위 샘플링 구간에 해당하는 신호만이 인코딩되며, 그 사이 구간의 값은 버려진다.That is, only the signal corresponding to every unit sampling interval among the input through the remote
그럼에도 불구하고, 보정값을 50ms 정도로, 단위 샘플링 구간을 100ms 정도로 충분히 작게 유지하는 것에 의하여 원격 방향 입력장치(20)를 통한 입력과 실제 FAB 장비(1)로 인가되는 신호간의 차이는 최소화될 수 있다.Nevertheless, by maintaining the correction value as small as about 50 ms and the unit sampling interval as small as about 100 ms, the difference between the input through the remote
오히려, 신호가 뚝뚝 끊어지는 문제, 시차의 문제가 해소될 수 있다.Rather, the problem of the signal being cut off and the time lag problem can be solved.
한편, 입력장치 연결수단(12)은 로컬 방향 입력장치(3)와 직접 연결된다.On the other hand, the input
그리고, 상기 로컬 방향 입력장치(3)로부터 입력신호가 있으면 이를 FAB 장비(1)로 바이패스한다.If there is an input signal from the local direction input device 3, it is bypassed to the
즉, 로컬 방향 입력장치(3)와 원격 방향 입력장치(20)에 의한 입력의 처리방식이 상이하다. 전자의 경우에는 단순히 바이패스하지만, 후자의 경우에는 패킷을 복호화하여 정보를 인출하고 이에 기반하여 아날로그 신호를 생성한 다음 FAB 장비(1)로 인가하는 것이다.That is, the processing methods of input by the local direction input device 3 and the remote
한편, 원격지 오피스에서의 조작과 반도체 라인에서의 조작이 충돌하는 경우 심각한 결과를 초래할 수 있기 때문에, 로컬 방향 입력장치(3)와 원격 방향 입력장치(20)의 어느 한 쪽에만 입력 권한이 배타적으로 존재하도록 한다.On the other hand, when the operation at the remote office and the operation at the semiconductor line collide with each other, serious consequences may occur. Therefore, the input authority is exclusively limited to either the local direction input device 3 or the remote
권한 처리수단(13)은 로컬 방향 입력장치(3)와 원격 방향 입력장치(20) 가운데 입력 권한이 있는 쪽으로부터의 입력이 FAB 장비(1)로 인가되도록 처리한다.The authority processing means 13 processes the input from the side having the input authority among the local direction input device 3 and the remote
즉, 원격 방향 입력장치(20)에 입력 권한이 있는 경우에는 로컬 방향 입력장치(3)로부터의 입력신호를 무시하고, 오로지 원격 방향 입력장치(20)로부터 수신한 신호를 복호화하여 이에 대응하는 신호를 생성하여 FAB 장비(1)로 인가한다.That is, when the remote
반면, 로컬 방향 입력장치(3)에 입력권한이 있는 경우에는 원격 방향 입력장치(20)로부터 패킷의 전송되건 무관하게 로컬 방향 입력장치(3)로부터의 입력신호만을 FAB 장비(1)로 바이패스한다.On the other hand, when the local direction input device 3 has an input right, only the input signal from the local direction input device 3 is bypassed to the
한편, FAB 원격제어장치(10)는 로컬 방향 입력장치(3)와 원격 방향 입력장치(20) 가운데 권한이 어느 쪽에 있는지를 표시하는 표시수단(14)과, 권한을 요청하거나 권한 요청에 대한 응답을 하기 위한 요청대응수단(15)을 더 구비할 수 있다.On the other hand, the FAB
이러한 표시수단(14)과 요청대응수단(15)은 FAB 원격제어장치(10)에 연결되는 별도의 주변기기 형태로 구현될 수 있다.The display means 14 and the request responding means 15 may be implemented as separate peripherals connected to the FAB
도 4는 FAB 원격제어장치의 주변기기 형태로 제조된 표시수단의 외형을 예시하는 도면이다.Fig. 4 is a diagram illustrating the appearance of a display means manufactured in the form of a peripheral of the FAB remote control apparatus.
도 4에 도시된 3개의 LED는 표시수단(14)에 해당한다.The three LEDs shown in Fig. 4 correspond to the display means 14.
각 LED는 순서대로 로컬 방향 입력장치(3)에 입력 권한이 있는지 여부, 원격 방향 입력장치(20)에 입력 권한이 있는지 여부, 원격 오피스로부터의 권한 양도 요청이 있는지 여부를 나타낸다.Each LED sequentially indicates whether the local direction input device 3 has an input right, whether the remote
한편, 도 4에 도시된 버튼은 요청대응수단(15)에 해당한다.On the other hand, the button shown in FIG. 4 corresponds to the request corresponding means 15.
원격 오피스로부터의 권한 요청시 작업자는 해당 버튼을 눌러서 거부하거나, 또는 버튼을 누르지 않고서 그냥 두는 것에 의해 권한을 넘겨줄 수 있다.When requesting permission from the remote office, the operator can give permission by pressing the corresponding button or rejecting it without leaving the button.
이러한 일련의 처리는 권한 처리수단(13)에 의하여 이루어진다.This series of processing is performed by the authority processing means 13.
권한 처리수단(13)은 표시수단(14)을 통해 어느 쪽에 입력권한이 있는지를 표시한다.The authority processing means (13) displays on the display means (14) which input authority is available.
또한, 원격 오피스 컴퓨터(2)로부터의 요청이 있으면 권한요청이 있었음을 표시수단(14)를 통해 표시하는 등의 제어를 수행한다.In addition, if there is a request from the
그리고, 원격 오피스 컴퓨터(2)로부터의 요청이 있으면 권한요청이 있는 경우에 작업자가 요청대응수단(15)을 눌러 거부하면, 상기 원격 오피스 컴퓨터(2)로 요청 거부 신호를 전송한다.If there is a request from the
일정 시간 내에 상기 요청대응수단(15)이 눌러지지 않으면 원격 방향 입력장치(20)으로 입력 권한이 넘어간다. 권한 처리수단(13)은 작업자가 버튼을 누르지 않으면 아무런 신호를 전송하지 않을 수도, 또는 명시적으로 상기 원격 오피스 컴퓨터(2)로 요청 승낙 신호를 전송할 수도 있다.If the request corresponding means 15 is not pressed within a predetermined time, the input authority is passed to the remote
한편, 권한이 넘어가면 권한 처리수단(13)은 LED를 점등시키는 것에 의해 입력권한이 넘어갔음을 표시하게 된다.On the other hand, when the authority is exceeded, the authority processing means 13 indicates that the input authority is passed by turning on the LED.
도 3에 도시된 바에 의할 때 원격 방향 입력장치(20)는 펄스 생성수단(21), 방향판정 수단(22), 샘플링 수단(23) 및 패킷 생성수단(24)를 구비한다.3, the remote
펄스 생성수단(21)은 사용자 조작에 따라 각 방향마다 기준신호 및 보조신호에 해당하는 펄스를 위상차를 두고서 생성한다.The pulse generating means 21 generates a pulse corresponding to the reference signal and the auxiliary signal for each direction in accordance with the user's operation with a phase difference.
예컨대, 도 2의 (b)에 도시된 바와 같은 트랙볼 형태의 원격 방향 입력장치(20)는 트랙볼을 X축 및 Y축으로 움직여 조작할 수 있는데, 펄스 생성수단(21)은 이 경우 X축 및 Y축 각각에 대하여 기준신호와 보조신호에 해당하는 펄스를 발생시킨다.For example, the remote
도 5는 펄스 생성수단이 생성하는 펄스의 형태를 설명하는 도면으로, X축 및 Y축 가운데 X축에 해당하는 펄스를 나타낸다.5 is a view for explaining the shape of a pulse generated by the pulse generating means, and shows pulses corresponding to the X-axis among the X-axis and the Y-axis.
도 5에 도시된 바에 의할 때 기준신호에 해당하는 펄스(X)와 보조신호에 해당하는 펄스(X')가 소정의 위상차를 보이는 것을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 5, it can be seen that the pulse X corresponding to the reference signal and the pulse X 'corresponding to the auxiliary signal exhibit a predetermined phase difference.
예컨대, 기준신호 X가 보조신호 X'에 선행하는 경우 X축의 방향으로 정방향 신호, 기준신호 X가 보조신호 X'에 선행하는 경우 X축의 방향으로 역방향의 신호이다.For example, when the reference signal X precedes the auxiliary signal X ', it is a forward signal in the direction of the X axis, and when the reference signal X precedes the auxiliary signal X', it is a signal in the direction of the X axis.
펄스 생성수단(21)은 X축 이외에 Y축에 대해서도 이와 동일하게 Y축 기준신호인 Y, 보조신호인 Y' 펄스를 소정의 위상차를 두고서 발생시킬 수 있다.The pulse generating means 21 can generate the Y-axis reference signal Y and the auxiliary signal Y 'pulse with the predetermined phase difference in the same manner for the Y-axis in addition to the X-axis.
도 2의 (b)에 도시된 트랙볼 형태의 원격 방향 입력장치(20)를 이용한다 가정할 때에, 작업자가 트랙볼을 좌측 상단 방향으로 움직이면 X축 방향으로는 X좌표값이 줄어드는 역방향, Y축 방향으로는 Y축 좌표값이 증가하는 정방향에 해당하는 입력이 이루어질 것이다.Assuming that the remote
이러한 경우 펄스 생성수단(21)은 X, X',Y,Y'펄스를 동시에 생성하되, X'가 X에 선행하도록 위상차를 두어 생성함으로써 X축으로 역방향임을, Y가 Y'에 선행하도록 위상차를 둠으로써 Y축으로는 정방향임을 나타낼 수 있다.In this case, the pulse generating means 21 generates the X, X ', Y and Y' pulses at the same time and generates the phase difference so that X 'precedes X, Axis, it can be shown that it is a forward direction in the Y-axis.
한편, 방향판정 수단(22)과 샘플링 수단(23)은 매 단위 샘플링 구간마다 상기 펄스 생성수단(21)에 의하여 생성되는 신호를 샘플링한다.On the other hand, the direction determination means 22 and the sampling means 23 sample the signal generated by the pulse generation means 21 every unit sampling period.
단위 샘플링 구간은 예컨대 100ms와 같이 정해질 수 있으며, 매 단위 샘플링 구간 사이에 소정의 시간차를 두고서 샘플링을 할 수 있다.The unit sampling period may be set to 100 ms, for example, and sampling may be performed with a predetermined time difference between every unit sampling period.
한편, 방향판정 수단(22)은 매 샘플링 구간의 시작시에 한 차례 상기 기준신호 및 보조신호의 위상차를 판정하고, 이에 따라 각 방향마다 정방향인지 역방향인지를 판정한다. On the other hand, the direction determination means 22 determines the phase difference between the reference signal and the auxiliary signal once at the beginning of each sampling period, and determines whether the phase difference is forward or backward in each direction.
즉, 상기 예에서는 X축으로 정방향인지 역방향인지, Y축으로 정방향인지 역방향인지를 판정하는 것이다.That is, in the above example, it is determined whether the X axis is the forward direction or the reverse direction, and whether the Y axis is the forward direction or the reverse direction.
샘플링 구간 동안 방향이 변경될 수도 있으나, 단위 샘플링 구간을 100ms 정도로 충분히 짧게 하는 것에 의하여 방향변화로 인한 오류를 막을 수 있다.The direction may be changed during the sampling period, but error caused by the direction change can be prevented by shortening the unit sampling period to about 100 ms.
한편, 샘플링 수단(23)은 매 단위 샘플링 구간마다 상기 기준신호 또는 보조신호 가운데 하나 이상을 샘플링하여 해당 구간의 펄스 레이트를 판정하거나 또는 펄스의 수를 카운트한다.On the other hand, the sampling means 23 samples at least one of the reference signal or the auxiliary signal at every unit sampling interval to determine the pulse rate of the corresponding interval or counts the number of pulses.
그리고, 패킷 생성수단(24)은 매 단위 샘플링 구간마다 평균 펄스 레이트 또는 펄스의 수 가운데 하나와 판정된 방향정보를 인코딩하여 패킷을 생성한다.The packet generating means 24 encodes one of the average pulse rate or the number of pulses per unit sampling interval and the determined direction information to generate a packet.
즉, 매 단위 샘플링 구간마다 한 차례 판정된 방향 정보와, 해당 구간 동안의 평균 펄스레이트(즉, 카운트된 펄스의 수를 단위 샘플링 구간의 시간값으로 나눈 결과)를 인코딩하여 패킷화한다.That is, the direction information determined once for each unit sampling interval and the average pulse rate (i.e., the result of dividing the number of counted pulses by the time value of the unit sampling interval) during the interval are encoded and packetized.
이와 같이 생성된 패킷은 네트워크를 통해 FAB 원격제어장치(10)로 전송된다.The generated packet is transmitted to the FAB
원격 방향 입력장치(20)는 직접 네트워크에 연결되어 FAB 원격제어장치(10)로 생성한 패킷을 전송할 수도 있으며, 또는 원격 오피스 컴퓨터(2)로 패킷을 전달하여, 원격 오피스 컴퓨터(2)로 하여금 전송하도록 할 수도 있다.The remote
한편, 이하에서는 도 6을 참조하여 본 발명에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동방법을 상세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, a method of interlocking the remote direction input device and the semiconductor device according to the present invention will be described in detail with reference to FIG.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연결 방법을 설명하는 플로우차트이다.6 is a flowchart illustrating a method of connecting a remote direction input device and a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.
도 6에 도시된 본 발명은 도 1에 도시된 바와 같은 FAB 장비(1)와 원격 오피스 컴퓨터(2)의 연결관계를 전제로 한다.The present invention shown in FIG. 6 assumes the connection relationship between the
한편, 도 6에 도시된 본 발명은 FAB 장비(1)와 직접 연결되어 원격 오피스 컴퓨터(2)와 소정의 방식에 의하여 데이터를 송수신하고 처리하는 FAB 원격제어장치(10)의 관점에서 기술된다.On the other hand, the present invention shown in Fig. 6 is described in terms of the FAB
도 5에 도시된 바에 의할 때, FAB 원격제어장치(10)는 원격 방향 입력장치(20)에 입력 권한이 존재하는 경우, 로컬 방향 입력장치(3)로부터의 입력신호를 무시하고, 원격 방향 입력장치(20)로부터 수신한 입력신호를 복호화한 다음, 이에 해당하는 아날로그 신호를 생성하여 FAB 장비(1)로 인가한다(S11).5, the FAB
복호화 과정을 살펴보면, 우선 FAB 원격제어장치(10)는 수신한 패킷을 복호화하여 평균 펄스 레이트 또는 카운트된 펄스의 수를 획득한다.The FAB
그리고, 단위 샘플링 구간의 시간값에 소정의 보정값을 더한 시간동안 상기 평균 펄스 레이트로 펄스를 생성하여 FAB 장비(1)로 인가한다.A pulse is generated at the average pulse rate for a period of time obtained by adding a predetermined correction value to the time value of the unit sampling period, and is applied to the
한편, 원격 방향 입력장치(20)에 입력권한이 존재하는 동안, 작업자 조작에 따라 로컬 방향 입력장치(3)로의 권한 요청이 있으면 - 예컨대, 도 4에 도시된 바와 같은 버튼을 작업자가 누르면 - FAB 원격제어장치(10)는 원격 오피스 컴퓨터(2)로 권한 요청 신호를 전송한다(S12).On the other hand, if there is an authorization request to the local direction input device 3 in response to an operator operation while the input authority exists in the remote
이후, 원격 오피스 컴퓨터(2)로부터 입력 권한의 승낙신호를 수신하거나, 또는 일정시간 동안 아무런 신호를 수신하지 못하면 FAB 원격제어장치(10)는 로컬 방향 입력장치(3)의 입력권한을 설정한다(S13).Thereafter, the FAB
오피스에 작업자가 없거나, 다른 작업을 하고 있는 등, 요청에 대하여 아무런 반응이 없다면 강제로 권한을 가져오는 것이다.If there is no response to the request, for example, if there is no worker in the office, or if you are doing other work, you will be forced to fetch the privilege.
반면, 로컬 방향 입력장치(3)에 입력권한이 존재하는 경우에는, 원격 방향 입력장치(20)로부터 전송받은 패킷을 무시한다. (권한이 없음에도 불구하고 원격 방향 입력장치(20)로부터 패킷이 전송되는 경우를 가정한다.) 대신, 로컬 방향 입력장치(3)의 입력신호를 FAB 장비(1)로 바이패스한다(S14).On the other hand, when there is an input right in the local direction input device 3, the packet received from the remote
한편, 로컬 방향 입력장치(3)에 입력권한이 존재하는 동안, 원격 오피스 컴퓨터(2)로부터 입력권한의 요청이 있으면 도 4에 도시된 LED 등을 통해 입력권한의 요청이 있었음을 표시한다(S15).On the other hand, if there is a request for input authority from the
이때, 작업자가 도 4에 도시된 바와 같은 버튼을 누르면 FAB 원격제어장치(10)는 원격 오피스 컴퓨터(2)로 입력권한 거부신호를 전송한다.At this time, when the operator presses a button as shown in Fig. 4, the FAB
한편, 작업자가 자리를 비운 경우 등 일정 시간 동안 사용자 조작이 없으면 FAB 원격제어장치(10)는 상기 원격 오피스 컴퓨터(2)로 아무런 신호를 전송하지 않거나 또는 명시적으로 입력권한 승낙신호를 전송할 수 있다(S16).On the other hand, if there is no user operation for a predetermined period of time, such as when the operator is left out, the FAB
한편, 이하에서는 도 7 및 도 8을 참조하여 본 발명에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동방법의 다른 일 측면을 상세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, another aspect of a method for interlocking a remote directional input device and a semiconductor device according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 7 and 8. FIG.
도 7은 다수의 반도체 장비와 다수의 원격 오피스 컴퓨터의 연결관계를 설명하는 참고도이며,7 is a reference view for explaining a connection relationship between a plurality of semiconductor equipments and a plurality of remote office computers,
도 8은 본 발명의 이 실시예에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연결 방법을 설명하는 플로우차트이다.8 is a flowchart illustrating a method of connecting a remote direction input device and a semiconductor device according to this embodiment of the present invention.
도 8에 도시된 본 발명은 반도체 라인에 다수의 FAB 장비(1)가 각각 존재하며, 각 FAB 장비(1)마다 FAB 원격제어장치(10)이 하나씩 구비되는 경우를 가정한다.The present invention shown in FIG. 8 assumes that there are a plurality of
또한, 원격지 오피스에도 다수의 원격 오피스 컴퓨터(2)가 존재하여, 임의의 어느 하나의 원격 오피스 컴퓨터(2)가 FAB 원격제어장치(10)를 통해 임의의 어느 하나의 FAB 장비(1)를 제어하는 경우의 처리과정을 한정한다.It is also possible that a plurality of
도 8에 도시된 본 발명은 원격 방향입력장치(20)와 상기 원격 방향입력장치(20)가 연결된 원격 오피스 컴퓨터(2)에 의하여 실행된다.The present invention shown in Fig. 8 is executed by a
즉, 하기의 각 단계는 원격 방향입력장치(20)와 원격 오피스 컴퓨터(2) 가운데 어느 하나에 의해 실행될 수 있다.That is, each of the following steps can be executed by either the remote
원격 방향입력장치(20)와 원격 오피스 컴퓨터(2)는 편의상 구분된 하드웨어인 것으로 설명하였으나, 반드시 별개의 하드웨어로 구분될 필요는 없으며 일체형으로 제작되어도 무방하다.Although the remote
따라서, 하기의 각 단계는 원격 방향입력장치(20)와 원격 오피스 컴퓨터(2) 가운데 어느 곳에서 실행되어도 무방하다.Accordingly, each of the following steps may be executed anywhere in the remote
도 8에 도시된 바에 의할 때, 원격지 오피스의 작업자가 임의의 FAB 장비(1)를 조작하거나 모니터링하기 위하여 FAB 원격제어장치(10)와의 통신 세션을 연결하고자 하는 경우, 원격 오피스 컴퓨터(2)는 다수의 FAB 원격제어장치 가운데 다른 원격 오피스 컴퓨터(2)와 통신 세션이 수립된 FAB 원격제어장치(10)를 제외한 나머지의 목록을 화면에 표시하여 선택할 수 있도록 한다(S21).8, when an operator of the remote office wants to connect a communication session with the FAB
즉, 이미 통신 세션이 수립된 FAB 원격제어장치(10)는 화면에 표시하거나 하지 않을 수 있으며, 표시한다고 하여도 선택할 수 없도록 한다.That is, the FAB
한편, 원격 오피스의 작업자가 어느 하나의 FAB 장비(1)를 선택하면, 원격 오피스 컴퓨터(2)가 상기 선택된 FAB 장비(1)와 직접 연결된 FAB 원격제어장치(10)와의 통신 세션을 수립한다(S22).On the other hand, when the operator of the remote office selects one of the
다른 원격 오피스 컴퓨터(2)와 이미 통신 세션이 수립된 FAB 원격제어장치(10)와의 통신 세션의 중복 수립은 허용되지 않는다.It is not allowed to establish a communication session with the FAB
한편, 이와 같이 통신 세션이 수립된 상태에서 원격 오피스 작업자가 원격 오피스 컴퓨터(2)를 이용하여 입력권한 이전을 요청하면, 원격 오피스 컴퓨터(2)는 상기 통신 세션이 수립된 FAB 원격제어장치(10)로 입력권한 요청 신호를 전송한다(S23).On the other hand, when the remote office worker requests the transfer of the input authority by using the
이후, FAB 원격제어장치(10)로부터 입력권한의 승낙신호를 수신하거나, 또는 일정시간 동안 아무런 신호를 수신하지 못하면 원격 오피스 컴퓨터(2)는 원격 방향 입력장치(20)의 입력권한을 설정한다(S24).When the FAB
즉, 강제로 입력권한을 가져오는 것이다.That is, it forces you to get the input authority.
이후, 작업자에 의하여 원격 방향 입력장치(20)의 입력이 있으면, 원격 방향 입력장치(20)의 조작 방향과 크기를 매 단위 샘플링 구간마다 인코딩하여 패킷화한다(S25).Thereafter, if there is an input from the remote
인코딩 단계를 상세히 살펴보면, 매 샘플링 구간마다 이산적(Discrete)으로 사용자에 의한 원격 방향입력장치 조작 방향을 판정한다.The encoding step will be described in detail. The direction of operation of the remote direction input device by the user is determined in a discrete manner for every sampling interval.
이산적이란 연속적으로 조작 방향을 판정하는 대신 바람직하게는 각 샘플링 구간마다 한 차례 판정한다는 의미이다.The discrete value means that the operation direction is determined successively, preferably once for each sampling period.
한편, 이와는 별개로 매 샘플링 구간마다 소정의 샘플링 레이트에 의하여 원격 방향 입력장치에 의해 생성되는 펄스의 수를 카운트하거나 평균 펄스레이트를 판정한다.On the other hand, separately from this, the number of pulses generated by the remote direction input device is counted or the average pulse rate is determined at a predetermined sampling rate every sampling interval.
그리고, 매 샘플링 구간마다 카운트한 펄스의 수 또는 평균 펄스레이트와 판정한 조작방향 정보를 인코딩한다.Then, the number of pulses counted per sampling interval or the average pulse rate and the determined operation direction information are encoded.
그리고, 생성된 패킷을 네트워크를 통해 FAB 원격제어장치(10)로 전송한다(S26).Then, the generated packet is transmitted to the FAB
이러한 인코딩 및 패킷 전송 과정은 매 샘플링 구간마다 반복하여 진행된다.This encoding and packet transmission process is repeated for each sampling interval.
한편, 본 발명에 의한 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동방법은 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현되어 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체에 수록될 수 있다.Meanwhile, the method of interlocking the remote direction input device and the semiconductor device according to the present invention can be embodied as computer-readable code and recorded in a computer-readable recording medium.
이때, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽을 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 매체를 포함할 수 있으며, 그 예로는 DVD-ROM, CD-ROM, 하드 디스크, USB 메모리, 플래쉬 메모리 등을 들 수 있다.The computer-readable recording medium may include any type of medium in which data readable by a computer system is stored. Examples of the medium include a DVD-ROM, a CD-ROM, a hard disk, a USB memory, a flash memory And the like.
한편, 기록매체에 수록된다는 표현은 대량으로 기록매체에 수록되어 패키지 형태로 유통되는 경우는 물론 데이터 패킷의 형태로 네트워크를 통해 제공되어 기록매체에 수록되는 경우를 모두 포괄한다.On the other hand, the expression to be recorded on the recording medium encompasses not only a case where a large amount is recorded on a recording medium, a case where it is distributed in the form of a package, a case where it is provided on a recording medium through a network in the form of a data packet.
본 발명은 첨부 도면 및 상기와 같은 실시예를 참조하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 권리범위는 오직 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이며 상기와 같은 실시예에 국한되지 아니한다.While the present invention has been described with reference to the accompanying drawings and embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. . Accordingly, the scope of the present invention should be determined only by the technical idea of the appended claims, and is not limited to the above embodiments.
본 발명은 반도체 장비의 원격제어 기술 분야에 적용될 수 있다.The present invention can be applied to the field of remote control technology of semiconductor equipment.
1 : FAB 장비
2 : 원격 오피스 컴퓨터
10 : FAB 원격제어장치
11 : 디코더
12 : 입력장치 연결수단
13 : 권한 처리수단
14 : 표시수단
15 : 요청대응수단
20 : 원격 방향 입력장치
21 : 펄스 생성수단
22 : 방향판정 수단
23 : 샘플링 수단
24 : 패킷 생성수단1: FAB equipment
2: remote office computer
10: FAB remote control device
11: decoder
12: Input device connecting means
13: Authorization processing means
14: display means
15: Request response means
20: Remote direction input device
21: Pulse generating means
22: Direction determination means
23: sampling means
24: packet generation means
Claims (9)
상기 FAB 원격제어장치는 원격지 오피스 컴퓨터에 연결된 원격 방향 입력장치로부터 네트워크를 통해 수신한 패킷화된 입력신호를 복호화하여 FAB 장비로 인가하는 디코더;
로컬 방향 입력장치와 직접 연결되되, 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 FAB 장비로 바이패스하는 입력장치 연결수단; 및
상기 원격 방향 입력장치에 입력 권한이 있는 경우 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 무시하고 상기 원격 방향 입력장치로부터 수신한 신호를 복호화하여 인가하되, 상기 로컬 방향 입력장치에 입력권한이 있는 경우 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 FAB 장비로 바이패스하는 권한 처리수단;을 더 포함하되,
상기 디코더는 상기 원격 방향 입력장치로부터 수신한 패킷을 복호화하여 평균 펄스 레이트 또는 카운트된 펄스의 수를 획득하되,
단위 샘플링 구간의 시간값에 패킷화 또는 네트워크 전송에 따른 지연에 해당하는 보정값을 더한 시간동안 상기 평균 펄스 레이트로 펄스를 생성하여 FAB 장비로 인가하는 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동시스템.A FAB remote control device directly connected to the FAB device, the FAB remote control device allowing connection by a remote office computer through a network,
The FAB remote control apparatus includes a decoder for decoding a packetized input signal received through a network from a remote direction input device connected to a remote office computer and applying the decoded input signal to the FAB equipment;
An input device connection means directly connected to the local direction input device, for bypassing an input signal from the local direction input device to the FAB equipment; And
If the remote direction input device has an input right, ignores an input signal from the local direction input device and decodes and applies a signal received from the remote direction input device, Authorization processing means for bypassing an input signal from the local direction input device to the FAB equipment,
Wherein the decoder decodes a packet received from the remote direction input device to obtain an average pulse rate or the number of counted pulses,
A system for interfacing a remote directional input device and a semiconductor device, which generates pulses at the average pulse rate and applies the pulses to the FAB equipment for a time period obtained by adding a correction value corresponding to a delay according to network transmission to a time value of a unit sampling interval.
상기 FAB 원격제어장치는 원격지 오피스 컴퓨터에 연결된 원격 방향 입력장치로부터 네트워크를 통해 수신한 패킷화된 입력신호를 복호화하여 FAB 장비로 인가하는 디코더;
로컬 방향 입력장치와 직접 연결되되, 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 FAB 장비로 바이패스하는 입력장치 연결수단; 및
상기 원격 방향 입력장치에 입력 권한이 있는 경우 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 무시하고 상기 원격 방향 입력장치로부터 수신한 신호를 복호화하여 인가하되, 상기 로컬 방향 입력장치에 입력권한이 있는 경우 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 FAB 장비로 바이패스하는 권한 처리수단;을 더 포함하되,
원격 오피스 컴퓨터에 연결되되, 사용자 조작에 따라 하나 이상의 방향으로의 입력신호를 생성하는 원격 방향 입력장치;를 더 포함하되,
상기 원격 방향 입력장치는 사용자 조작에 따라 각 방향마다 기준신호 및 보조신호에 해당하는 펄스를 위상차를 두고서 생성하는 펄스 생성수단;
매 단위 샘플링 구간마다 상기 기준신호 및 보조신호의 위상차에 따라 각 방향마다 정방향인지 역방향인지를 판정하는 방향판정 수단;
매 단위 샘플링 구간마다 상기 기준신호 또는 보조신호 가운데 하나 이상을 샘플링하여 펄스 레이트를 판정하거나 또는 펄스의 수를 카운트하는 샘플링 수단; 및
매 단위 샘플링 구간마다 평균 펄스 레이트 또는 펄스의 수 가운데 하나와 판정된 방향정보를 인코딩하여 패킷을 생성하는 패킷 생성수단;을 더 포함하는 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동시스템.A FAB remote control device directly connected to the FAB device, the FAB remote control device allowing connection by a remote office computer through a network,
The FAB remote control apparatus includes a decoder for decoding a packetized input signal received through a network from a remote direction input device connected to a remote office computer and applying the decoded input signal to the FAB equipment;
An input device connection means directly connected to the local direction input device, for bypassing an input signal from the local direction input device to the FAB equipment; And
If the remote direction input device has an input right, ignores an input signal from the local direction input device and decodes and applies a signal received from the remote direction input device, Authorization processing means for bypassing an input signal from the local direction input device to the FAB equipment,
And a remote direction input device connected to the remote office computer for generating an input signal in at least one direction according to a user operation,
Wherein the remote direction input device comprises: pulse generating means for generating a pulse corresponding to a reference signal and an auxiliary signal in each direction in accordance with a user operation;
Direction determining means for determining whether each direction is a forward direction or a backward direction in accordance with a phase difference between the reference signal and the auxiliary signal in every unit sampling period;
Sampling means for sampling at least one of the reference signal or the auxiliary signal for every unit sampling interval to determine a pulse rate or to count the number of pulses; And
And packet generating means for generating a packet by encoding one of the average pulse rate or the number of pulses per unit sampling interval and the determined direction information.
상기 원격 방향 입력장치는 트랙볼 또는 조이스틱이며,
상기 펄스 생성수단은 사용자에 의한 상기 원격 방향 입력장치의 조작시, 상기 원격 방향 입력장치의 동작 방향에 따라서 펄스를 생성하는 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동시스템.The method of claim 3,
Wherein the remote directional input device is a track ball or a joystick,
Wherein said pulse generating means generates a pulse in accordance with an operation direction of said remote direction input device when said remote direction input device is operated by a user.
상기 FAB 원격제어장치는 원격지 오피스 컴퓨터에 연결된 원격 방향 입력장치로부터 네트워크를 통해 수신한 패킷화된 입력신호를 복호화하여 FAB 장비로 인가하는 디코더;
로컬 방향 입력장치와 직접 연결되되, 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 FAB 장비로 바이패스하는 입력장치 연결수단; 및
상기 원격 방향 입력장치에 입력 권한이 있는 경우 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 무시하고 상기 원격 방향 입력장치로부터 수신한 신호를 복호화하여 인가하되, 상기 로컬 방향 입력장치에 입력권한이 있는 경우 상기 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 FAB 장비로 바이패스하는 권한 처리수단;을 더 포함하되,
상기 FAB 원격제어장치는,
원격 방향 입력장치에 입력 권한이 있는지, 로컬 방향 입력장치에 입력 권한이 있는지, 원격 오피스 컴퓨터로부터의 권한 요청이 발생했는지 가운데 하나 이상을 표시하는 표시수단; 및
사용자 조작에 따라서 권한 요청 또는 권한 요청 거부를 위한 요청대응수단;을 더 구비하되,
상기 권한 처리 수단은 로컬 방향 입력장치에 권한이 있는 동안 원격 오피스 컴퓨터로부터 권한 요청이 있으면 상기 표시수단을 통해 표시하되, 일정 시간 내에 상기 요청대응수단을 통한 사용자 조작 여부에 따라 상기 원격 오피스 컴퓨터로 요청 거부 신호를 전송하거나 요청 수락 신호 전송 또는 아무런 동작을 하지 않도록 처리하는 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동시스템.A FAB remote control device directly connected to the FAB device, the FAB remote control device allowing connection by a remote office computer through a network,
The FAB remote control apparatus includes a decoder for decoding a packetized input signal received through a network from a remote direction input device connected to a remote office computer and applying the decoded input signal to the FAB equipment;
An input device connection means directly connected to the local direction input device, for bypassing an input signal from the local direction input device to the FAB equipment; And
If the remote direction input device has an input right, ignores an input signal from the local direction input device and decodes and applies a signal received from the remote direction input device, Authorization processing means for bypassing an input signal from the local direction input device to the FAB equipment,
The FAB remote control device comprises:
Display means for displaying at least one of whether the remote direction input device has an input right, the local direction input device has an input right, and an authorization request has been issued from the remote office computer; And
And request response means for requesting permission or denying permission request according to a user operation,
Wherein the authority processing means displays, through the display means, an authorization request from the remote office computer while the local direction input device is authorized, and displays the request to the remote office computer in response to the user operation through the request response means within a predetermined time A system for interfacing a semiconductor device with a remote directional input device for processing a rejection signal, request acceptance signal, or no operation.
원격 방향 입력장치에 입력 권한이 존재하는 경우, 로컬 방향 입력장치로부터의 입력신호를 무시하고, 원격 방향 입력장치로부터 수신한 입력신호를 복호화하여 FAB 장비로 인가하는 단계; 및
로컬 방향 입력장치에 입력권한이 존재하는 경우, 원격 방향 입력장치로부터 전송받은 패킷을 무시하고, 로컬 방향 입력장치의 입력신호를 FAB 장비로 바이패스하는 단계;를 포함하되,
상기 입력신호의 복호화 단계에서, 수신한 패킷을 복호화하여 평균 펄스 레이트 또는 카운트된 펄스의 수를 획득하되, 단위 샘플링 구간의 시간값에 패킷화 또는 네트워크 전송에 따른 지연에 해당하는 보정값을 더한 시간동안 상기 평균 펄스 레이트로 펄스를 생성하여 FAB 장비로 인가하는 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동방법.CLAIMS What is claimed is: 1. A method implemented in a FAB remote control device that receives a packetized input signal from a remote directional input device over a network, and that is directly connected to a local directional input device and a FAB device,
Ignoring an input signal from the local direction input device and decrypting the input signal received from the remote direction input device and applying the decoded input signal to the FAB device when the input direction exists in the remote direction input device; And
And bypassing the input signal of the local direction input device to the FAB equipment if the input right exists in the local direction input device, ignoring the packet received from the remote direction input device,
Wherein the decoding unit decodes the received signal to obtain an average pulse rate or a counted number of pulses, wherein a time value obtained by adding a correction value corresponding to a packetization or a delay corresponding to a network transmission to a time value of a unit sampling interval And generating a pulse at the average pulse rate and applying the pulses to the FAB equipment.
원격 방향 입력장치에 입력권한이 존재하는 동안, 사용자 조작에 따라 로컬 방향 입력장치의 권한 요청 신호를 원격 오피스 컴퓨터로 전송하는 단계;
원격 오피스 컴퓨터로부터 입력 권한의 승낙신호를 수신하거나, 또는 일정시간 동안 아무런 신호를 수신하지 못하면 로컬 방향 입력장치의 입력권한을 설정하는 단계;
로컬 방향 입력장치에 입력권한이 존재하는 동안, 원격 오피스 컴퓨터로부터 입력권한의 요청이 있으면 입력권한의 요청이 있었음을 표시하는 단계; 및
사용자의 조작에 따라 상기 원격 오피스 컴퓨터로 입력권한 거부신호를 전송하거나, 또는 일정 시간 동안 사용자 조작이 없으면 상기 원격 오피스 컴퓨터로 입력권한 승낙신호 전송 또는 아무런 동작을 하지 않는 단계;를 더 포함하는 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동방법.The method according to claim 6,
Transmitting an authorization request signal of the local direction input device to the remote office computer according to a user operation while the input authority exists in the remote direction input device;
Receiving an acceptance signal of an input authority from a remote office computer, or setting an input authority of the local direction input apparatus if no signal is received for a predetermined period of time;
Indicating that there is a request for input authority from the remote office computer if there is a request for input authority while the input authority exists in the local direction input apparatus; And
Transmitting an input permission denial signal to the remote office computer according to an operation of a user or not transmitting an input permission acknowledgment signal to the remote office computer or performing no operation if there is no user operation for a predetermined period of time; A method of linking an input device and a semiconductor device.
원격 오피스 컴퓨터가 다수의 FAB 원격제어장치 가운데 다른 원격 오피스 컴퓨터와 통신 세션이 수립된 FAB 원격제어장치를 제외한 나머지의 목록을 화면에 표시하는 단계;
상기 어느 하나의 원격 오피스 컴퓨터가 사용자 조작에 의해 선택된 어느 하나의 FAB 원격제어장치로서 다른 원격 오피스 컴퓨터와 통신 세션이 수립되지 않은 FAB 원격제어장치와의 통신 세션을 수립하는 단계;
원격 오피스 컴퓨터가 상기 통신 세션이 수립된 FAB 원격제어장치로 원격 방향 입력장치로의 입력권한 이전을 요청하는 단계;
상기 FAB 원격제어장치로부터 입력권한의 승낙신호를 수신하거나, 또는 일정시간 동안 아무런 신호를 수신하지 못하면 상기 원격 오피스 컴퓨터가 원격 방향 입력장치의 입력권한을 설정하는 단계;
입력권한 설정 후 원격 방향 입력장치의 조작 방향과 크기를 매 단위 샘플링 구간마다 인코딩하여 패킷화하는 단계; 및
상기 생성된 패킷을 네트워크를 통해 FAB 원격제어장치로 전송하는 단계;를 포함하는 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동방법.CLAIMS What is claimed is: 1. A method executed on a remote office computer directly connected to a remote directional input device, the remote office computer connecting to a FAB remote control device via a network,
Displaying a list of remaining FAB remote control devices other than the FAB remote control device in which a remote office computer has established a communication session with the other remote office computers among the plurality of FAB remote control devices;
Establishing a communication session with a FAB remote control device in which any one of the remote office computers is selected as a FAB remote control device selected by a user operation and a communication session is not established with another remote office computer;
Requesting the remote office computer to transfer the input authority to the remote directional input device to the FAB remote control device in which the communication session is established;
Receiving an acceptance signal of the input authority from the FAB remote control device or setting the input authority of the remote directional input device when the remote office computer fails to receive any signal for a predetermined time;
Encoding the operation direction and the size of the remote direction input device after setting the input authority every unit sampling period and packetizing the same; And
And transmitting the generated packet to a FAB remote control apparatus through a network.
상기 인코딩하는 단계는, 매 샘플링 구간마다 이산적으로 사용자에 의한 원격 방향입력장치 조작 방향을 판정하는 단계;
매 샘플링 구간마다 소정의 샘플링 레이트에 의하여 원격 방향 입력장치에 의해 생성되는 펄스의 수를 카운트하거나 평균 펄스레이트를 판정하는 단계; 및
매 샘플링 구간마다 카운트한 펄스의 수 또는 평균 펄스레이트와 판정한 조작방향 정보를 인코딩하는 단계;를 더 포함하되
매 샘플링 구간의 사이에 FAB 원격제어장치가 복호화시 샘플링 시간에 더하는 패킷화 또는 네트워크 전송에 따른 지연에 해당하는 보정값에 대응하는 만큼의 시간 간격을 두는 원격 방향 입력장치와 반도체 장비의 연동방법. 9. The method of claim 8,
Wherein the encoding step comprises the steps of: discretionally determining a direction of the remote direction input device by the user for every sampling interval;
Counting the number of pulses generated by the remote direction input device at a predetermined sampling rate every sampling interval or determining an average pulse rate; And
Encoding the number of pulses counted every sampling interval or the average pulse rate and the determined operation direction information,
Wherein the FAB remote control device has a time interval corresponding to a correction value corresponding to a packetization time added to a sampling time at the time of decoding or a delay corresponding to a network transmission between every sampling interval.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130122686A KR101394785B1 (en) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | Apparatus and method of connecting direction input peripheral to remote semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130122686A KR101394785B1 (en) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | Apparatus and method of connecting direction input peripheral to remote semiconductor device |
Publications (1)
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|---|---|---|---|---|
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-
2013
- 2013-10-15 KR KR1020130122686A patent/KR101394785B1/en active IP Right Grant
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