KR101384508B1 - Fitting device for connecting fluid feeding line - Google Patents

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KR101384508B1
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이창우
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주식회사 한얼인터프론
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Abstract

A fitting device for connecting a fluid supply pipe is disclosed. The fitting device for connecting a fluid supply pipe according to an embodiment of the present invention includes a male connector and a nut. The male connector has a hollow for receiving a fluid supply pipe, and includes a screw part on the outer surface. The nut is screwed to the male connector to fix the fluid supply pipe inserted into the hollow. The male connector includes a first locking block protrusion on a surface that faces an end surface of the nut when the nut is screwed to the male connector. The nut includes a second locking block protrusion on the end surface. When the nut is screwed to the male connector, the second locking block protrusion meets the first locking block protrusion. The first locking block protrusion and the second locking block protrusion have slope surfaces that meet each other when the nut is screwed to the male connector, and vertical surfaces opposite to the slope surfaces. According to the present invention, since coupling of the male connector and the nut is locked, when the male connector and the nut are applied to a semiconductor apparatus, the nut is prevented from being unscrewed by vibration of a liquid chemical supply motor.

Description

유체공급배관 연결용 피팅기구{fitting device for connecting fluid feeding line} Fitting device for connecting fluid feeding line

본 발명은 피팅기구(fitting device)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유체공급배관을 연결하기 위한 피팅기구에 관한 것이다.
The present invention relates to a fitting device, and more particularly to a fitting device for connecting a fluid supply pipe.

반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 적게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대되고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작으며 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다. BACKGROUND With the rapid development of semiconductor technology, the use of light and space-saving flat panel display devices is rapidly increasing. There are various kinds of flat panel displays, among which low power consumption and small volume, and low voltage driven type liquid crystal displays (Liquid Crystal Display) are widely used.

이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 증착, 식각, 세정 등의 다양한 기판처리 공정들이 수행되며, 이러한 공정들 중에는 약액이 사용되는 공정이 포함된다. Various substrate treatment processes such as deposition, etching, and cleaning are performed to manufacture such a liquid crystal display, and these processes include processes in which chemical liquids are used.

약액이 사용되는 공정 장치에 약액을 공급하는 구조는 약액이 흐르는 배관과 배관을 연결하는 구조인 피팅기구(fitting device)를 포함하여 구성된다. 피팅기구는 내열성, 고순수성이 뛰어나며 초순수와 고순도 약액을 사용하는 반도체 및 첨단기술 산업분야에 기계조립 용도로 사용된다. The structure for supplying the chemical liquid to the process equipment in which the chemical liquid is used is configured to include a fitting device (fitting device) that is a structure for connecting the pipe and the pipe flowing the chemical liquid. The fittings have excellent heat resistance and high purity, and are used for machine assembly in the semiconductor and high technology industries that use ultrapure water and high purity chemicals.

피팅기구는 메일 커넥터와 너트를 포함하여 구성된다. 메일 커넥터는 약액이 흐르는 배관을 삽입하기 위한 중공을 갖고 외주면에 나사부가 형성된 것이다. 메일 커넥터의 중공에 삽입된 배관은 너트와 메일 커넥터의 나사결합을 통해 고정된다. 고정된 배관을 통해 공급되는 약액은 메일 커넥터의 타측 개구를 통해 다른 배관 등에 연결된다. The fitting mechanism comprises a male connector and a nut. The male connector has a hollow for inserting a pipe through which chemical liquid flows and has a threaded portion formed on its outer circumferential surface. The pipe inserted into the hollow of the male connector is fixed by screwing the nut and the male connector. The chemical liquid supplied through the fixed pipe is connected to the other pipe through the other opening of the male connector.

종래의 피팅기구에 대해서는 공개특허공보 제10-2011-0116248호, 공개특허공보 제 특2002-0039671호 등이 개시하고 있다. 그러나, 종래의 피팅기구에 있어서는 메일 커넥터와 너트가 별도의 잠금장치 없이 수나사와 암나사로만 결합된다. 그래서, 반도체 장비에 사용시 약액 공급 모터의 진동 등에 의해 너트 풀림 현상이 발생할 수 있다는 문제점이 있다. As for the conventional fitting mechanism, there is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 10-2011-0116248, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-0039671, and the like. However, in the conventional fitting mechanism, the male connector and the nut are coupled only by the male thread and the female thread without a separate locking device. Thus, there is a problem that the nut loosening phenomenon may occur due to vibration of the chemical liquid supply motor when used in the semiconductor equipment.

너트가 풀리면 메일 커넥터와 너트 사이의 틈새로 유해물질인 약액이 누출될 수 있다. 따라서, 종래의 피팅기구를 사용하는 경우에는 너트 풀림 여부를 수시로 점검하여 너트를 조여줘야 한다는 문제점이 있다.
If the nut is loosened, harmful chemicals may leak into the gap between the mail connector and the nut. Therefore, when using a conventional fitting mechanism there is a problem that the nut should be tightened by checking whether the nut is loosened at any time.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 진동으로 인한 너트 풀림 현상을 방지할 수 있는 유체공급배관 연결용 피팅기구를 제공하는데 있다.
The problem to be solved by the present invention is to provide a fitting mechanism for connecting the fluid supply pipe that can prevent the nut loosening phenomenon due to vibration.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유체공급배관 연결용 피팅기구는 메일 커넥터 및 너트를 포함한다. 상기 메일 커넥터는 유체공급배관을 삽입하기 위한 중공을 갖고 외주면에 나사부가 형성된 것이다. 상기 너트는 상기 메일 커넥터와의 나사결합을 통해 상기 중공에 삽입된 유체공급배관을 고정하기 위한 것이다. The fitting mechanism for connecting the fluid supply pipe according to an embodiment of the present invention for solving the above problems includes a male connector and a nut. The male connector has a hollow for inserting a fluid supply pipe and has a threaded portion formed on an outer circumferential surface thereof. The nut is for fixing the fluid supply pipe inserted into the hollow through screwing with the male connector.

상기 메일 커넥터는 상기 너트와의 나사결합시 상기 너트의 단부면과 마주보게 되는 면에 제1 잠금블록 돌기가 형성된 것이다. 상기 너트는 상기 단부면에 상기 메일 커넥터와의 나사결합시 상기 제1 블록 돌기와 만나게 되는 제2 잠금블록 돌기가 형성된 것이다. The male connector has a first locking block protrusion formed on a surface facing the end surface of the nut when screwed with the nut. The nut has a second locking block protrusion formed on the end face to meet the first block protrusion when screwed with the male connector.

상기 제1 잠금블록 돌기와 상기 제2 잠금블록 돌기는 상기 나사결합시 서로 만나게 되는 면이 경사면이고 상기 경사면의 반대면이 수직면인 것이다.
The first locking block protrusion and the second locking block protrusion are inclined surfaces that meet each other when the screw is coupled, and opposite surfaces of the inclined surfaces are vertical surfaces.

본 발명에 의하면, 메일 커넥터와 너트의 결합이 잠기기 때문에 이들을 반도체 장비에 사용하더라도 약액 공급 모터의 진동 등에 의한 너트 풀림 현상이 발생하지 않는다. 뿐만 아니라, 메일 커넥터와 너트를 PFA (Perfluoroalkoxy) 등으로 제조하는 경우에는 이러한 잠금 기능을 일회에 그치지 않고 수회에 걸쳐 반복하여 사용할 수 있다.
According to the present invention, since the coupling between the male connector and the nut is locked, the nut loosening phenomenon due to vibration of the chemical liquid supply motor does not occur even when these are used in semiconductor equipment. In addition, when the male connector and the nut are manufactured by PFA (Perfluoroalkoxy) or the like, the locking function can be repeated several times instead of once.

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체공급배관 연결용 피팅기구에 포함되는 메일 커넥터의 사시도이다.
도2는 도1의 유체공급배관 연결용 피팅기구에 포함되는 너트의 사시도이다.
도3은 도1에 원으로 표시된 부분(A)의 확대도이다.
도4는 도2에 원으로 표시된 부분(B)의 확대도이다.
도5는 도2의 너트가 도1의 메일 커넥터에 나사결합된 상태의 요부 확대도이다.
도6은 도5의 부분 절개도이다. 1 is a perspective view of a male connector included in the fitting mechanism for connecting a fluid supply pipe according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view of a nut included in the fitting mechanism for connecting the fluid supply pipe of Figure 1;
3 is an enlarged view of a portion A circled in FIG.
4 is an enlarged view of the portion B circled in FIG. 2.
FIG. 5 is an enlarged view of a main portion of the nut of FIG. 2 in a state in which the nut of FIG.
6 is a partial cutaway view of FIG. 5.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 구체적으로 설명한다. 본 명세서에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The terms or words used herein should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms and the inventor is of the opinion that the concept of a term can be properly defined to describe its invention in the best way possible And should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체공급배관 연결용 피팅기구에 포함되는 메일 커넥터의 사시도이고, 도2는 도1의 유체공급배관 연결용 피팅기구에 포함되는 너트의 사시도이다. FIG. 1 is a perspective view of a male connector included in a fluid supply pipe connection fitting mechanism according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of a nut included in the fluid supply pipe connection fitting mechanism of FIG.

도1 및 도2를 참조하면, 메일 커넥터(100)는 유체공급배관(미도시)을 삽입하기 위한 중공(110)을 갖는다. 예를 들어, 유체공급배관은 유체공급튜브이다. 메일 커넥터(100)의 외주면에는 나사부(120)가 형성된다. 1 and 2, the male connector 100 has a hollow 110 for inserting a fluid supply pipe (not shown). For example, the fluid supply pipe is a fluid supply tube. The thread portion 120 is formed on the outer circumferential surface of the male connector 100.

메일 커넥터(100)는 나사부(120)를 통해 너트(200)와 나사결합된다. 이를 위해, 너트(200)의 내주면에는 메일 커넥터(100)의 나사부(120)와 나사결합하기 위한 나사부(220)가 형성된다. 메일 커넥터(100)와 너트(200)의 나사부(120, 220)는 오른나사로 형성될 수 있다. The male connector 100 is screwed with the nut 200 through the thread part 120. To this end, a screw portion 220 for screwing with the screw portion 120 of the male connector 100 is formed on the inner circumferential surface of the nut 200. The threaded portions 120 and 220 of the male connector 100 and the nut 200 may be formed with right-hand threads.

메일 커넥터의 중공(110)에 삽입된 유체공급배관은 메일 커넥터(100)와 너트(200)의 나사결합을 통해 고정된다. 고정된 유체공급배관을 통해 공급되는 약액은 메일 커넥터(100)의 타측 개구(190)들을 통해 다른 배관 등에 연결될 수 있다.  The fluid supply pipe inserted into the hollow 110 of the male connector is fixed by screwing the male connector 100 and the nut 200. The chemical liquid supplied through the fixed fluid supply pipe may be connected to another pipe through the other opening 190 of the male connector 100.

유체공급배관 연결용 피팅기구는 유체공급배관과 메일 커넥터(100) 사이의 밀봉을 위하여 너트(200)와 유체공급배관 사이에 위치하는 페룰(ferrule)(미도시) 등을 더 포함할 수 있다. The fitting mechanism for connecting the fluid supply pipe may further include a ferrule (not shown) positioned between the nut 200 and the fluid supply pipe for sealing between the fluid supply pipe and the male connector 100.

메일 커넥터(100)의 외주면에는 또한 잠금블록 돌기 설치부(130)가 형성된다. 도1에는 잠금블록 돌기 설치부(130)가 메일 커넥터(100)의 외주면에 돌출된 형태로 형성되었다. 그러나, 잠금블록 돌기 설치부(130)는 메일 커넥터(100)의 외주면에 단차 형상, 플랜지 형상 등으로 형성될 수도 있다. On the outer circumferential surface of the male connector 100, a lock block protrusion installation unit 130 is also formed. In FIG. 1, the locking block protrusion installation unit 130 is formed to protrude on the outer circumferential surface of the male connector 100. However, the locking block protrusion installation unit 130 may be formed in a step shape, a flange shape, or the like on the outer circumferential surface of the male connector 100.

잠금블록 돌기 설치부(130)에는 제1 잠금블록 돌기(140)가 형성된다. 제1 잠금블록 돌기(140)는 메일 커넥터(100)와 너트(200)의 나사결합시 메일 커넥터(100)의 잠금블록 돌기 설치부(130)가 너트의 단부면(235)과 마주보게 되는 면(135)에 형성된다. The first locking block protrusion 140 is formed in the locking block protrusion installation unit 130. The first locking block protrusion 140 is a surface in which the locking block protrusion mounting portion 130 of the mail connector 100 faces the end surface 235 of the nut when the mail connector 100 and the nut 200 are screwed together. Is formed at 135.

너트의 단부면(235)에는 제2 잠금블록 돌기(240)가 형성된다. 메일 커넥터(100)와 너트(200)의 나사결합은 너트의 나사부(220)가 메일 커넥터의 나사부(120)에 접한 상태에서 너트(200)를 전진방향으로 돌림으로써 진행된다. 제2 잠금블록 돌기(240)는 메일 커넥터(100)와 너트(200)의 나사결합시 너트(200)를 거의 다 돌린 상태에서 제1 잠금블록 돌기(140)와 만나도록 위치한다. The second locking block protrusion 240 is formed on the end surface 235 of the nut. The screwing of the male connector 100 and the nut 200 proceeds by turning the nut 200 in the forward direction in a state where the threaded portion 220 of the nut is in contact with the threaded portion 120 of the male connector. The second locking block protrusion 240 is positioned to meet the first locking block protrusion 140 in a state in which the nut 200 is almost turned while screwing the male connector 100 and the nut 200.

도3은 도1에 원으로 표시된 부분(A)의 확대도이다. 도3을 참조하면, 제1 잠금블록 돌기(140)는 경사면(142)과 수직면(144)을 갖는다. 경사면(142)은 메일 커넥터에 너트가 나사결합될 때 제2 잠금블록 돌기와 만나게 되는 면이다. 수직면(144)은 경사면(142)의 반대쪽 면이다. 3 is an enlarged view of a portion A circled in FIG. Referring to FIG. 3, the first locking block protrusion 140 has an inclined surface 142 and a vertical surface 144. The inclined surface 142 is a surface that meets the second locking block protrusion when the nut is screwed to the male connector. Vertical surface 144 is the opposite surface of inclined surface 142.

예를 들어, 경사면(142)은 바닥면에 대하여 35°의 경사를 갖는다. 수직면(144)은 바람직하게는 바닥면에 대하여 90°의 경사를 갖지만 그에 근사한 경사를 가질 수도 있다. For example, the inclined surface 142 has an inclination of 35 degrees with respect to the bottom surface. Vertical surface 144 preferably has a slope of 90 ° with respect to the bottom surface, but may also have a slope close to that.

도4는 도2에 원으로 표시된 부분(B)의 확대도이다. 도4를 참조하면, 제2 잠금블록 돌기(240)는 메일 커넥터의 제1 잠금블록 돌기와 마찬가지로 경사면(242)과 수직면(244)을 갖는다. 4 is an enlarged view of the portion B circled in FIG. 2. Referring to FIG. 4, the second locking block protrusion 240 has an inclined surface 242 and a vertical surface 244 like the first locking block protrusion of the male connector.

경사면(242)은 너트가 메일 커넥터에 나사결합될 때 제1 잠금블록 돌기와 만나게 되는 면이다. 전술한 바와 같이, 메일 커넥터와 너트가 나사결합될 때 제1 잠금블록 돌기에서 제2 잠금블록 돌기와 만나게 되는 면도 경사면이다. 이와 같이, 제1 잠금블록 돌기와 제2 잠금블록 돌기는 메일 커넥터와 너트의 나사결합시에 각자의 경사면에서 서로 만나게 된다. The inclined surface 242 is a surface that meets the first locking block protrusion when the nut is screwed into the male connector. As described above, when the male connector and the nut are screwed, it is a shaved inclined surface which meets the second locking block protrusion at the first locking block protrusion. As such, the first locking block protrusion and the second locking block protrusion are mutually met at respective inclined surfaces when the male connector and the nut are screwed together.

바람직하게는, 제2 잠금블록 돌기의 경사면(242)이 바닥면에 대하여 갖는 각도는 제1 잠금블록 돌기의 경사면이 바닥면에 대하여 갖는 각도와 동일하게 형성된다. 그러나, 양 각도가 상이할 수도 있다. Preferably, the angle of the inclined surface 242 of the second locking block protrusion with respect to the bottom surface is formed to be the same as the angle of the inclined surface of the first locking block protrusion with respect to the bottom surface. However, both angles may be different.

수직면(244)은 경사면(242)의 반대쪽 면이다. 제2 잠금블록 돌기의 수직면(244)은 제1 잠금블록 돌기의 수직면과 마찬가지로 바람직하게는 바닥면에 대하여 90°의 경사를 갖지만 그에 근사한 경사를 가질 수도 있다. Vertical surface 244 is the opposite surface of inclined surface 242. The vertical surface 244 of the second locking block projection, like the vertical surface of the first locking block projection, preferably has an inclination of 90 ° with respect to the bottom surface, but may have an inclination close thereto.

너트의 단부면에는 제2 잠금블록 돌기(240)에 더하여 걸림턱(250)이 형성된다. 걸림턱(250)은 제2 잠금블록 돌기(240)로부터 너트의 전진 방향으로 일정거리 떨어진 위치에 형성된다. 제2 잠금블록 돌기(240)와 걸림턱(250) 사이의 거리는 메일 커넥터와 너트의 나사결합이 완료된 상태에서 제1 잠금블록 돌기가 제2 잠금블록 돌기(240)와 걸림턱(250) 사이에 위치할 수 있도록 결정된다. A locking jaw 250 is formed on the end surface of the nut in addition to the second locking block protrusion 240. The locking jaw 250 is formed at a position away from the second locking block protrusion 240 by a predetermined distance in the forward direction of the nut. The distance between the second locking block protrusion 240 and the locking jaw 250 is the first locking block protrusion between the second locking block protrusion 240 and the locking jaw 250 in a state where the screw connection of the mail connector and the nut is completed. It is determined to be located.

걸림턱(250)에서 제2 잠금블록 돌기의 수직면(244)을 바라보는 면(252) 및 그 반대쪽 면(254)은 모두 경사면으로 형성될 수 있다. Both the surface 252 and the opposite surface 254 facing the vertical surface 244 of the second locking block protrusion on the locking jaw 250 may be formed as inclined surfaces.

다시 도1 및 도2를 참조하면, 너트의 단부면(235)에는 제2 잠금블록 돌기(240)와 걸림턱(250)의 쌍이 원주 방향을 따라 두개 이상 형성될 수 있다. 도2에는 예시적으로 제2 잠금블록 돌기(240)와 걸림턱(250)의 쌍이 여덟개 형성된 경우가 도시되었다. 1 and 2, two or more pairs of the second locking block protrusion 240 and the locking step 250 may be formed in the circumferential direction on the end surface 235 of the nut. 2 illustrates an example in which eight pairs of the second locking block protrusion 240 and the locking step 250 are formed.

제2 잠금블록 돌기(240)와 걸림턱(250)의 쌍들 사이에는 공간(260)이 확보된다. 이 공간(260)은 너트(200)를 메일 커넥터(100)에 나사결합하여 조을 때 제1 잠금블록 돌기(140)가 손상되는 것을 방지하기 위한 것이다. A space 260 is secured between the pair of second locking block protrusions 240 and the locking step 250. The space 260 is for preventing the first locking block protrusion 140 from being damaged when the nut 200 is screwed into the male connector 100.

메일 커넥터(100)와 너트(200)의 소재는 불소수지인 테프론(Teflon)이다. 바람직하게는, 메일 커넥터(100)와 너트(200)의 소재는 PFA(Perfluoroalkoxy)이다. PFA는 사출성형이나 압출성형도 가능하다는 특징을 갖고 PTFE (Polytetrafluoroethylene) 와 마찬가지로 마찰계수가 작다는 기계적 특성을 갖는다. The material of the male connector 100 and the nut 200 is Teflon, which is a fluororesin. Preferably, the material of the male connector 100 and the nut 200 is perfluoroalkoxy (PFA). PFA has the characteristics that injection molding or extrusion molding is possible, and mechanical properties such as PTFE (Polytetrafluoroethylene) have a small coefficient of friction.

너트(200)를 메일 커넥터(100)에 나사결합하기 위해 돌리다 보면 거의 다 돌렸을 때 제1 잠금블록 돌기(140)의 경사면과 제2 잠금블록 돌기(240)의 경사면이 서로 만나게 된다. 이렇게 경사면들끼리 만나는데다가 PFA의 마찰계수가 작기 때문에, 제2 잠금블록 돌기(240)는 나사결합 과정에서 제1 잠금블록 돌기(140)를 만났을 때 너트(200)에 가해지는 약간의 힘에 의해서도 제1 잠금블록 돌기(140)의 경사면을 미끄러져(slip) 타고 넘어갈 수 있게 된다. 즉, 제2 잠금블록 돌기(240)는 약간의 힘으로도 조여질 수 있게 된다. 제2 잠금블록 돌기(240)가 제1 잠금블록 돌기(140)를 미끄러져 타고 넘어간 후에 너트(200)의 조임이 완료되면 메일 커넥터(100)와 너트(200)의 나사결합이 완료된다. When the nut 200 is turned to screw the male connector 100, the inclined surface of the first locking block protrusion 140 and the inclined surface of the second locking block protrusion 240 meet each other when almost turned. Since the friction coefficients of the PFA are small while the inclined surfaces meet each other, the second locking block protrusion 240 is also caused by a slight force applied to the nut 200 when the first locking block protrusion 140 is met during the screwing process. The inclined surface of the first locking block protrusion 140 may be slipped over. That is, the second locking block protrusion 240 can be tightened with a slight force. After the second locking block protrusion 240 slides over the first locking block protrusion 140 and the tightening of the nut 200 is completed, screwing of the male connector 100 and the nut 200 is completed.

도5는 도2의 너트가 도1의 메일 커넥터에 나사결합된 상태의 요부 확대도이고, 도6은 도5의 부분 절개도이다. 도5 및 도6을 참조하면, 메일 커넥터(100)와 너트(200)의 나사부들(120, 220)이 나사결합을 하는 과정에서 제2 잠금블록 돌기(240)가 제1 잠금블록 돌기(140)의 경사면을 미끄러져 타고 넘어가게 되고, 너트(200)가 다 조여져서 나사결합이 완료되면 제1 잠금블록 돌기(140)는 제2 잠금블록 돌기(240)와 걸림턱(250)의 사이에 위치한다. 5 is an enlarged view of a main portion of the nut of FIG. 2 screwed to the male connector of FIG. 1, and FIG. 6 is a partial cutaway view of FIG. 5 and 6, the second locking block protrusion 240 is the first locking block protrusion 140 in the process of screwing the screw parts 120 and 220 of the male connector 100 and the nut 200. Sliding the inclined surface of the) and the nut 200 is tightened to complete the screw coupling, the first locking block projection 140 is between the second locking block projection 240 and the locking jaw 250 Located.

이 때, 제2 잠금블록 돌기(240)의 수직면은 제1 잠금블록 돌기(140)의 수직면과 마주보게 된다. 이에 따라, 너트(200)가 후진방향으로 돌려지는 경우에는 제2 잠금블록 돌기(240)의 수직면이 제1 잠금블록 돌기(140)의 수직면에 걸리게 되어 너트(200)가 풀리지 않게 된다. 즉, 메일 커넥터(100)와 너트(200)의 나사결합이 잠기게 된다. 이는 유체공급배관 연결용 피팅기구를 반도체 장비에 사용하더라도 약액 공급 모터의 진동 등에 의해 너트가 풀리는 현상을 방지할 수 있다. At this time, the vertical surface of the second locking block projection 240 is to face the vertical surface of the first locking block projection 140. Accordingly, when the nut 200 is turned in the reverse direction, the vertical surface of the second locking block protrusion 240 is caught by the vertical surface of the first locking block protrusion 140 so that the nut 200 is not loosened. That is, the screw coupling of the mail connector 100 and the nut 200 is locked. This can prevent the nut from loosening due to vibration of the chemical supply motor even if the fitting mechanism for fluid supply pipe connection is used in semiconductor equipment.

한편, PFA는 마찰계수가 작을 뿐만 아니라 일정 범위의 탄성을 가지기 때문에 너트(200)의 후진방향으로 약액 공급 모터의 진동 등에 의한 힘보다 훨씬 강한 힘을 가함으로써 잠금을 해제할 수도 있다. 잠금을 해제한 후에 너트(200)를 다시 메일 커넥터(100)에 나사결합하더라도 메일 커넥터(100)와 너트(200)의 나사결합이 다시 잠길 수 있다. 예를 들면, 제2 잠금블록 돌기(240)가 제1 잠금블록 돌기(140)를 타고 넘어갈 때 잠금블록 돌기 설치부(130)가 휘어지고, 제2 잠금블록 돌기(240)가 제1 잠금블록 돌기(140)를 완전히 넘어서면 휘어진 잠금블록 돌기 설치부(130)가 복원되며, 이에 따라 제2 잠금블록 돌기(240)가 제1 잠금블록 돌기(140)에 걸려서 너트(200)가 메일 커넥터(100)에 잠겨서 고정된다. 한편, 메일 커넥터(100)로부터 너트(200)를 해제할 때에는 잠금블록 돌기 설치부(130)를 메일 커넥터(100) 방향 쪽으로 당기거나 누르면, 제2 잠금블록 돌기(240)로부터 제1 잠금블록 돌기(140)가 해제되고, 잠금블록 돌기 설치부(130)를 당기거나 누른 상태에서 너트(200)를 회전시키면 제2 잠금블록 돌기(240)가 제1 잠금블록 돌기(140)로부터 완전히 빠져나와 메일 커넥터(100)로부터 너트(200)가 해제된다. 즉, 나사결합의 잠금 기능은 일회에 그치지 않고 수회에 걸쳐 반복하여 사용할 수 있다.On the other hand, since the PFA has a small coefficient of friction as well as a certain range of elasticity, the PFA may be unlocked by applying a force much stronger than the force of vibration of the chemical liquid supply motor in the backward direction of the nut 200. After releasing the lock, even though the nut 200 is screwed into the mail connector 100 again, the screw coupling of the mail connector 100 and the nut 200 may be locked again. For example, when the second locking block protrusion 240 passes over the first locking block protrusion 140, the locking block protrusion installation unit 130 is bent, and the second locking block protrusion 240 is the first locking block. When the protrusion 140 completely exceeds the curved lock block protrusion installation unit 130, the second lock block protrusion 240 is caught by the first lock block protrusion 140 so that the nut 200 is connected to the mail connector ( Locked in 100). On the other hand, when releasing the nut 200 from the male connector 100, when the locking block projection mounting portion 130 is pulled or pressed toward the male connector 100, the first locking block projection from the second locking block projection 240 When the 140 is released and the nut 200 is rotated while pulling or pressing the locking block protrusion installation unit 130, the second locking block protrusion 240 completely exits from the first locking block protrusion 140. The nut 200 is released from the connector 100. That is, the locking function of the screwing can be used repeatedly, not only once but several times.

이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
The present invention has been described with reference to the preferred embodiments. Those skilled in the art will understand that the present invention may be implemented in a modified form without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in an illustrative rather than a restrictive sense. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than by the foregoing description, and all differences within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the present invention.

100: 메일 커넥터 110: 중공
120: 나사부 130: 잠금블록 돌기 설치부
135: 너트와의 나사결합시 너트의 단부면과 마주보는 면
140: 제1 잠금블록 돌기 142: 경사면
144: 수직면 190: 개구
200: 너트 220: 나사부
235: 단부면 240: 제2 잠금블록 돌기
242: 경사면 244: 수직면
252, 254, 경사면 250: 걸림턱
260: 제1 잠금블록 돌기의 손상 방지 공간100: mail connector 110: hollow
120: screw 130: locking block protrusion mounting portion
135: Face to end face of nut when screwed with nut
140: first locking block projection 142: inclined surface
144: vertical surface 190: opening
200: nut 220: screw portion
235: end face 240: second locking block projection
242: slope 244: vertical
252, 254, slope 250: Jaw
260: damage prevention space of the first locking block projection

Claims (3)

유체공급배관을 삽입하기 위한 중공을 갖고 외주면에 나사부가 형성된 메일 커넥터; 및
상기 메일 커넥터와의 나사결합을 통해 상기 중공에 삽입된 유체공급배관을 고정하기 위한 너트를 포함하되,
상기 메일 커넥터는 둘레에 상기 너트와의 나사결합시 상기 너트의 단부면과 마주보게 되는 면에 제1 잠금블록 돌기가 마련되면서 탄성을 가지는 잠금블록 돌기 설치부가 상기 너트의 회전중심 선상을 기준으로 방사상의 어느 한 방향으로 돌출되어 구비되고,
상기 너트는 상기 단부면에 상기 메일 커넥터와의 나사결합시 상기 제1 블록 돌기와 만나게 되는 제2 잠금블록 돌기가 상기 단부면의 원주방향을 따라 등간격으로 복수로 구비되며,
상기 제1 잠금블록 돌기와 상기 제2 잠금블록 돌기는 상기 나사결합시 서로 만나게 되는 면이 경사면이고 상기 경사면의 반대쪽 면이 수직면이되,
상기 너트와 상기 메일 커넥터가 나사결합시 상기 제2 잠금블록 돌기가 상기 제1 잠금블록 돌기를 타고 넘어가면서 상기 잠금블록 돌기 설치부가 상기 너트의 진입방향으로 휘어지고, 상기 제2 잠금블록 돌기가 상기 제1 잠금블록 돌기를 완전히 타고 넘어간 후에는 상기 잠금블록 돌기 설치부가 상기 너트의 진입방향과 반대방향으로 복원되고 상기 제2잠금블록 돌기의 수직면이 상기 제1 잠금블록 돌기의 수직면에 걸려서 상기 메일 커넥터와 상기 너트가 서로 잠김으로써 외부의 충격으로부터 상기 너트가 풀리는 것을 방지하며, 상기 잠금블록 돌기 설치부를 상기 너트의 진입방향으로 누르거나 잡아당긴 상태에서 상기 너트를 풀면 상기 제2 잠금블록 돌기가 상기 제1 잠금블록 돌기로부터 해제되어 상기 커넥터로부터 상기 너트를 완전히 해제시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 유체공급배관 연결용 피팅기구.A male connector having a hollow for inserting a fluid supply pipe and having a threaded portion at an outer circumferential surface thereof; And
It includes a nut for fixing the fluid supply pipe inserted into the hollow through the screw connection with the male connector,
The male connector is provided with a first locking block protrusion on the surface facing the end surface of the nut when screwed with the nut on the periphery, the locking block protrusion installation portion having elasticity radially based on the rotation center line of the nut Protrudes in any one direction of
The nut is provided with a plurality of second locking block projections that meet with the first block projections when screwed with the male connector on the end surface at equal intervals along the circumferential direction of the end surface,
The first locking block protrusion and the second locking block protrusion are inclined surfaces that meet each other when the screw is coupled and the opposite surface of the inclined surface is a vertical surface,
When the nut and the mail connector are screwed in, the second locking block protrusion passes over the first locking block protrusion, and the locking block protrusion installation portion is bent in the direction of entry of the nut, and the second locking block protrusion is After completely passing over the first locking block protrusion, the locking block protrusion mounting portion is restored in the opposite direction to the inflow direction of the nut, and the vertical surface of the second locking block protrusion is caught on the vertical surface of the first locking block protrusion so that the male connector And the nut are locked to each other to prevent the nut from being released from an external impact, and the second locking block protrusion is released when the nut is released while the locking block protrusion mounting portion is pushed or pulled in the direction of entry of the nut. 1 is released from the locking block protrusion to completely release the nut from the connector. Fitting mechanism for a fluid supply pipe connection, characterized in that. 제1항에 있어서, 상기 메일 커넥터와 상기 너트의 소재는 PFA (Perfluoroalkoxy) 인 것인, 유체공급배관 연결용 피팅기구. According to claim 1, wherein the material of the male connector and the nut is PFA (Perfluoroalkoxy), the fitting mechanism for fluid supply pipe connection. 삭제delete
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