KR20090123104A - A leakage preventing unit of liquid supply tube - Google Patents

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KR20090123104A
KR20090123104A KR1020080049011A KR20080049011A KR20090123104A KR 20090123104 A KR20090123104 A KR 20090123104A KR 1020080049011 A KR1020080049011 A KR 1020080049011A KR 20080049011 A KR20080049011 A KR 20080049011A KR 20090123104 A KR20090123104 A KR 20090123104A
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김용재
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주식회사 동부하이텍
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Abstract

PURPOSE: A leak preventing unit of a fluid supply tube is provided to prevent the release of a combining nut due to the heat of a chemical solution and the vibration of a pump by combining a lock unit to a body and a combining nut. CONSTITUTION: A leak preventing unit of a fluid supply tube is composed of a fluid supply tube(4), a body(110), a sleeve(10), a combining nut(120), and a lock unit(130). The fluid flows inside the fluid supply tube. The end of the fluid supply tube is combined to both sides of the body. The sleeve is inserted into the end of the fluid supply tube to fix the fluid supply tube to the body. The combining nut is formed in the outer circumference of the fluid supply tube. The combining nut is combined to a screw thread of a male screw(112) of the body side and controls the contact degree between the fluid supply tube and the body. The lock unit is combined to the body and the combining nut and prevents the release of the combining nut.

Description

유체공급튜브의 누설방지 유니트{A leakage preventing unit of liquid supply tube}A leakage preventing unit of liquid supply tube

본 발명은 유체공급튜브의 누설방지 유니트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 공정용 화학용액(chemical) 등 유체의 공급과 각종 순환라인에 파이프의 이음새로 사용되는 누설방지 유니트에 있어서, 유체공급튜브를 몸체에 고정시키는 결합너트의 일측에 락유니트(lock unit)를 추가로 구비하여 결합너트를 밀착고정시킴으로써, 유체공급튜브의 내부로 흐르는 유체의 열에 의한 결합너트의 변형과 펌프의 진동에 의한 결합너트의 풀림현상을 방지할 수 있도록 된 유체공급튜브의 누설방지 유니트에 관한 것이다.The present invention relates to a leak prevention unit of a fluid supply tube, and more particularly, a fluid supply tube in a leak prevention unit that is used as a joint of a pipe in various supply lines and supply of a fluid such as a chemical solution for a semiconductor process. A lock unit is further provided on one side of the coupling nut for fixing the body to the body, thereby tightly fixing the coupling nut, so that the coupling nut is deformed by the heat of the fluid flowing into the fluid supply tube and coupled by vibration of the pump. A leak prevention unit of a fluid supply tube is provided to prevent loosening of a nut.

반도체 제조 공정중 습식 세정(wet cleaning), 사진(photo) 또는 확산(diffusion) 공정 등에는 화학용액(chemical)이 사용되며, 해당 공정에서 화학용액이 공급되는 배관은 설치장소나 반도체 장비의 구조에 따라서 다수의 배관이 서로 연결된 구조로 설치된다.During the semiconductor manufacturing process, chemical cleaning is used for the wet cleaning, photo or diffusion process, and the piping supplied with the chemical solution is used for the installation site or the structure of the semiconductor equipment. Therefore, a plurality of pipes are installed in a structure connected to each other.

상기 다수의 배관을 연결하는 이음새 부분에는 배관 내부로 흐르는 화학용액 등의 액체가 배관의 외부로 누설되는 것을 방지하기 위한 누설방지 유니트(피팅, fitting)를 구비하고 있다.The joint portion connecting the plurality of pipes is provided with a leakage preventing unit (fitting, fitting) for preventing liquid such as chemical solution flowing into the pipe from leaking to the outside of the pipe.

도 1은 종래 유체공급튜브의 누설방지 유니트의 측면도이고, 도 2는 종래 유체공급튜브의 누설방지 유니트의 일부를 절개한 측면도이다.1 is a side view of a leakproof unit of a conventional fluid supply tube, and FIG. 2 is a side view of a portion of the leakproof unit of a conventional fluid supply tube.

종래 유체공급튜브의 누설방지 유니트(1)는, 화학용액이 내부로 흐르는 유체공급튜브(4)를 몸체(2)의 일측에 끼워서 결합하고, 상기 몸체(2)의 타측에는 또 다른 유체공급튜브(4')를 끼워서 결합시킴으로써 상기 화학용액의 이동 통로를 형성함과 아울러 화학용액의 이동 경로를 변경할 수 있도록 구성되어 있다.The leakage preventing unit 1 of the conventional fluid supply tube is coupled to one side of the body 2 by supplying a fluid supply tube 4 through which a chemical solution flows therein, and another fluid supply tube on the other side of the body 2. By inserting and combining the 4 ', it is configured to form a moving passage of the chemical solution and to change the moving route of the chemical solution.

상기 유체공급튜브(4)의 외측 둘레에는 결합너트(6)가 설치되며, 상기 결합너트(6)를 회전시켜 상기 유체공급튜브(4)를 상기 몸체(2)측으로 밀착시킴으로써 상기 유체공급튜브(4)와 몸체(2)간의 연결부에서 화학용액이 외부로 누설되는 현상을 방지하고 있다.A coupling nut 6 is installed at an outer circumference of the fluid supply tube 4, and the fluid supply tube 4 is brought into close contact with the body 2 by rotating the coupling nut 6. 4) prevents the leakage of chemical solution to the outside at the connection between the body (2).

상기 유체공급튜브(4)를 상기 몸체(2)측으로 이동시켜 밀착시키는 경우에, 상기 결합너트(6)의 잠김상태를 소리와 육안으로 가늠할 수 있도록 결합너트(6)와 몸체(2) 사이에는 게이지링(8)이 개재된다.When the fluid supply tube 4 is moved to the body 2 to be in close contact with each other, the coupling nut 6 and the body 2 are disposed between the coupling nut 6 and the body 2 so that the locked state of the coupling nut 6 can be measured with sound and naked eyes. The gauge ring 8 is interposed.

상기 게이지링(8)은 고정부(8a)와 신축부(8b)로 구성되고, 상기 신축부(8b)에는 돌기(8c)가 형성되어 상기 결합너트(6)가 조여지는 경우에 상기 돌기(8c)는 상기 결합너트(6)가 조여질 때 접촉되면서 눌려져 상기 고정부(8a)에 형성된 홈(8d)의 내측으로 상기 신축부(8b)가 눌려질 때 발생하는 소리와 눌려진 정도를 육안으로 관찰할 수 있도록 구성되어 있다. The gauge ring 8 includes a fixing part 8a and an elastic part 8b, and a protrusion 8c is formed in the elastic part 8b so that the protrusion nut is tightened when the coupling nut 6 is tightened. 8c) is pressed when the coupling nut 6 is tightened, the sound generated when the expansion portion 8b is pressed into the groove 8d formed in the fixing portion 8a and the degree of being pressed visually. It is configured to be observed.

도 1의 (a)는 결합너트(6)가 게이지링(8)의 돌기(8c)에 닿지 않을 정도로 풀 려진 상태를 나타내고, 도 1의 (b)는 결합너트(6)가 조여져서 게이지링(8)의 신축부(8b)가 홈(8d)의 내측으로 눌려진 상태를 나타낸 것이다.FIG. 1 (a) shows the state in which the coupling nut 6 is loosened so as not to touch the protrusion 8c of the gauge ring 8, and FIG. 1 (b) shows that the coupling nut 6 is tightened and gauged. The expansion and contraction part 8b of (8) shows the state pressed in the groove 8d.

한편, 유체공급튜브(4)의 내주면에는 몸체(2)와의 연결을 매개하기 위한 슬리브(10)가 삽입되며, 상기 슬리브(10) 끝단의 결합돌기(14)가 몸체(2)에 형성된 결합홈(16)의 내측으로 삽입되어 상기 유체공급튜브(4)와 상기 몸체(2)가 끼움결합된다.On the other hand, the inner peripheral surface of the fluid supply tube (4) is inserted into the sleeve 10 for mediating the connection with the body 2, the coupling protrusion 14 of the end of the sleeve 10 is formed in the coupling groove 2 Inserted into the inside of the 16 is the fluid supply tube 4 and the body 2 is fitted.

상기 결합너트(6)의 내주면에 형성된 나사산(6a)은 상기 몸체(2)의 측부 외주면에 형성된 몸체측 수나사(12)의 나사산(12a)에 치합되며, 상기 슬리브(10)의 타측 끝단이 삽입되는 상기 유체공급튜브(4)에는 슬리브(10)의 삽입을 위한 확관부(4a)가 형성되어 있다. The thread 6a formed on the inner circumferential surface of the coupling nut 6 is engaged with the thread 12a of the body-side male thread 12 formed on the side outer circumferential surface of the body 2, and the other end of the sleeve 10 is inserted. The expansion tube 4a for inserting the sleeve 10 is formed in the fluid supply tube 4.

따라서 상기 결합너트(6)를 시계방향으로 회전시켜 조일 경우에는 상기 확관부(4a)에 상기 결합너트(6)의 내측면(6b)이 걸리게 되어, 상기 유체공급튜브(4)를 상기 몸체(4)를 향하는 방향으로 밀착시키게 된다. Therefore, when the coupling nut 6 is rotated in the clockwise direction, the inner surface 6b of the coupling nut 6 is caught by the expansion pipe 4a, and the fluid supply tube 4 is connected to the body. 4) will be in close direction.

이와는 반대로 상기 결합너트(6)를 반시계방향으로 회전시킬 경우에는 상기 유체공급튜브(4)와 상기 몸체(2)간의 밀착력이 해제되어 상기 유체공급튜브(4)를 상기 몸체(2)로부터 빼내어 분리시킬 수 있게 된다.On the contrary, when the coupling nut 6 is rotated counterclockwise, the adhesion between the fluid supply tube 4 and the body 2 is released, and the fluid supply tube 4 is removed from the body 2. Can be separated.

그러나 상기와 같은 종래의 유체공급튜브의 누설방지 유니트(1)는 열이나 펌프작동에 의한 유체의 흔들림에 의해 결합너트(6)가 풀려지는 문제점이 있다.However, the leak prevention unit 1 of the conventional fluid supply tube as described above has a problem in that the coupling nut 6 is released by shaking of the fluid by heat or pump operation.

특히, 반도체 제조 공정에 사용되는 황산(H2SO4), 인산(H3PO4) 등의 화학용액 은 120 ~ 170 ℃의 고온상태이므로, 화학용액과 직접적으로 접촉되는 누설방지 유니트(1)는 고온의 열에 의해 변형될 수 있을 뿐만 아니라, 화학용액의 흐름을 제어하는 펌프(미도시)의 작동에 의한 진동으로 결합너트(6)가 풀려져 화학용액이 외부로 누설되어 장치 부품이 부식되거나 인재사고를 초래하게 되는 문제점이 있다.In particular, since the chemical solution such as sulfuric acid (H 2 SO 4 ), phosphoric acid (H 3 PO 4 ) used in the semiconductor manufacturing process is a high temperature of 120 ~ 170 ℃, the leakage preventing unit (1) in direct contact with the chemical solution Not only can be deformed by the heat of high temperature, but also the coupling nut 6 is released by the vibration of the pump (not shown) that controls the flow of the chemical solution, and the chemical solution is leaked to the outside to corrode the device parts. There is a problem that causes human resource accidents.

또한, 이러한 화학용액의 누설을 방지하기 위해서는 일정시간 사용후에 주기적으로 결합너트(6)를 조여서 사용해야 하므로 장비관리상의 불편이 따르는 문제점이 있다.In addition, in order to prevent the leakage of the chemical solution, it is necessary to tighten the coupling nut 6 periodically after a predetermined time, so there is a problem in the equipment management inconvenience.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 반도체 공정용 화학용액 등 액체의 순환통로인 유체공급튜브의 연결부위에 구비되는 누설방지 유니트의 결합너트가 화학용액의 열과 펌프 작동에 의한 진동이 존재하는 공정환경에서도 체결된 상태를 그대로 유지할 수 있도록 하여 화학용액의 누설을 방지할 수 있도록 된 유체공급튜브의 누설방지 유니트를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, the coupling nut of the leakage preventing unit provided at the connection portion of the fluid supply tube, which is the circulation passage of the liquid, such as the chemical solution for semiconductor process by the heat of the chemical solution and the pump operation It is an object of the present invention to provide a leakage preventing unit of a fluid supply tube which can prevent a leakage of a chemical solution by maintaining a fastened state even in a process environment in which vibration is present.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 유체공급튜브의 누설방지 유니트는, 반도체 공정용 화학용액 등 유체의 순환라인의 이음새로 사용되는 누설방지 유니트에 있어서, 유체가 내부로 흐르도록 중공 형성된 유체공급튜브; 상기 유체공급튜브의 끝단이 일측에 결합되고, 타측으로는 또 다른 유체공급튜브의 끝단이 결합되는 몸체; 상기 유체공급튜브의 끝단부 내측으로 삽입되어, 상기 유체공급튜브를 상기 몸체에 밀착 고정되도록 매개하는 슬리브; 상기 유체공급튜브의 외측 둘레에 구비되며, 내측면에 형성된 나사산이 상기 몸체의 측단부 외주면에 형성된 몸체측 수나사의 나사산에 치합되어 회전됨에 따라 상기 유체공급튜브와 상기 몸체간의 밀착정도를 조절하기 위한 결합너트;및 상기 몸체에 일측단이 결합되고 상기 결합너트에 타측단이 결합되어, 상기 결합너트의 풀림을 방지하기 위한 락유니트;를 포함하는 것을 특징으로 한다.Leak prevention unit of the fluid supply tube of the present invention for achieving the object as described above, in the leakage prevention unit used as a joint of the circulation line of the fluid, such as a chemical solution for semiconductor processing, the hollow formed so that the fluid flows inside Fluid supply tube; An end of the fluid supply tube is coupled to one side, the other end of the body is coupled to the other end of the fluid supply tube; A sleeve inserted into an end of the fluid supply tube to mediate the fluid supply tube to the body; It is provided on the outer circumference of the fluid supply tube, the screw thread formed on the inner side is engaged with the screw thread of the body side male thread formed on the outer peripheral surface of the side end of the body to rotate the degree of adhesion between the fluid supply tube and the body Coupled nut; And one end is coupled to the body and the other end is coupled to the coupling nut, lock unit for preventing the loosening of the coupling nut; characterized in that it comprises a.

상기 몸체의 측단부 외주면에는 일정한 폭으로 음각진 요홈부가 형성되고, 상기 요홈부의 양측에는 걸림턱이 형성되며, 상기 락유니트의 일측단에는 내측으로 절곡된 걸림단이 형성되어 상기 몸체에 형성된 걸림턱에 의해 수평방향의 이동이 제한되고, 상기 락유니트의 타측단에는 내측으로 절곡된 걸림단이 형성되되 끝단면에는 나사산이 형성되어 상기 결합너트의 외주면에 형성된 결합너트측 수나사의 나사산에 치합되는 것을 특징으로 한다.The outer peripheral surface of the side end of the body is formed with a concave groove having a predetermined width, the engaging jaw is formed on both sides of the groove portion, the locking end bent inwardly formed on one side end of the lock unit is formed in the body The horizontal movement of the lock unit is limited, and the other end of the lock unit is formed with a locking end bent inwardly, and a thread is formed at the end surface thereof to be engaged with the thread of the coupling nut side thread formed on the outer circumferential surface of the coupling nut. It features.

상기 몸체측 수나사와 상기 결합너트측 수나사의 나사산은 서로 반대방향으로 형성된 것을 특징으로 한다.Threads of the body side male thread and the coupling nut side male thread is formed in opposite directions to each other.

상기 락유니트와 몸체 사이의 상기 요홈부 둘레에는, 반원의 고리 형태로 된 두 개의 암의 끝단이 회동 가능하게 결합되고, 일측 암에 형성된 결합홈에 타측 암에 형성된 결합돌기가 체결되는 고정링이 추가로 구비된 것을 특징으로 한다.Around the groove portion between the lock unit and the body, the ends of the two arms in the form of a semi-circular ring is rotatably coupled, the fixing ring is coupled to the engaging projection formed on the other arm to the coupling groove formed on one arm It is characterized in that the additionally provided.

본 발명에 따른 유체공급튜브의 누설방지 유니트에 의하면, 유체공급튜브를 몸체에 연결하여 고정시키는 결합너트의 일측에 상기 결합너트와 반대방향으로 나사산이 형성된 락유니트를 추가로 구비하여 결합너트를 밀착고정시킴으로써, 화학용액의 열과 펌프의 진동에 의한 결합너트의 풀림현상을 방지할 수 있게 되어, 화학용액의 누설에 따른 문제점을 방지할 수 있는 장점이 있다.According to the leakage preventing unit of the fluid supply tube according to the present invention, a lock unit having a screw thread formed in a direction opposite to the coupling nut is further provided on one side of the coupling nut for connecting and fixing the fluid supply tube to the body to close the coupling nut. By fixing, it is possible to prevent the loosening of the coupling nut due to the heat of the chemical solution and the vibration of the pump, there is an advantage that can prevent the problem due to the leakage of the chemical solution.

이하에서는 종래기술의 구성요소와 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 도면부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략하며, 본 발명에서 새롭게 부가된 구성요소를 중심으로 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, the same reference numerals are given to the same components as those of the prior art, and a detailed description thereof will be omitted, and will be described in detail with reference to the newly added components.

도 3은 본 발명에 따른 유체공급튜브와 몸체간의 결합을 설명하기 위한 측단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 유체공급튜브의 누설방지 유니트의 일부를 절개한 측면도로서, (a)는 양측 락유니트가 모두 조여진 상태, (b)는 좌측의 락유니트는 조여지고, 우측의 락유니트는 풀려진 상태를 나타낸 것이다.Figure 3 is a side cross-sectional view for explaining the coupling between the fluid supply tube and the body according to the present invention, Figure 4 is a side view of a part of the leakage preventing unit of the fluid supply tube according to the present invention, (a) is a side lock (B) shows that the lock unit on the left side is tightened and the lock unit on the right side is unlocked.

본 발명의 유체공급튜브의 누설방지 유니트(100)는, 유체공급튜브(4)를 몸체(110)에 체결하는 결합너트(120)의 풀림현상을 방지하기 위하여 상기 몸체(110)와 상기 결합너트(120)를 연결하여 결합시키는 락유니트(130)가 개재된 것을 특징으로 한다.Leak prevention unit 100 of the fluid supply tube of the present invention, the body 110 and the coupling nut to prevent the loosening of the coupling nut 120 for fastening the fluid supply tube 4 to the body 110. Lock unit 130 for connecting and coupling the 120 is characterized in that it is interposed.

상기 락유니트(130)는 일측단(130a)이 상기 몸체(110)에 결합되고 타측단(130b)은 상기 결합너트(120)에 결합되어, 상기 결합너트(120)가 상기 몸체(110)에 체결된 상태에서 열과 진동에 의해 풀려짐을 방지하는 역할을 한다.The lock unit 130 has one end 130a coupled to the body 110 and the other end 130b coupled to the coupling nut 120 such that the coupling nut 120 is connected to the body 110. In the fastened state serves to prevent loosening by heat and vibration.

상기 락유니트(130)와 상기 몸체(110)간의 결합을 위하여, 상기 몸체(110) 의 외주면에는 일정한 폭으로 음각진 요홈부(115)가 형성되고, 상기 요홈부(115)의 양측에는 걸림턱(118;118a,118b)이 돌출되도록 형성된다.In order to couple between the lock unit 130 and the body 110, an indented recess 115 is formed on the outer circumferential surface of the body 110 at a predetermined width, and both sides of the recess 115 are locked. 118; 118a, 118b are formed to protrude.

상기 락유니트(130)는 중공된 너트의 형상을 갖고, 일측단(130a)에는 내측으로 돌출되도록 절곡된 걸림단(132)이 형성되어 상기 걸림단(132)의 끝단이 상기 몸체(110)에 형성된 요홈부(115)의 바닥면에 닿게 되며, 상기 요홈부(115) 양측의 걸림턱(118)에 의해 수평방향의 이동이 제한된다.The lock unit 130 has a hollow nut shape, and a locking end 132 bent to protrude inward is formed at one end 130a such that an end of the locking end 132 is connected to the body 110. The bottom surface of the groove 115 is formed, and the movement in the horizontal direction is limited by the locking jaws 118 on both sides of the groove 115.

한편, 상기 결합너트(120)의 외주면상에는 결합너트측 수나사(122)의 나사산이 형성되어, 상기 락유니트(130)의 타측단(130b)에 내측으로 돌출되도록 절곡된 걸림단(131)의 끝단면에 형성된 나사산에 치합된다.On the other hand, the thread of the coupling nut side thread 122 is formed on the outer peripheral surface of the coupling nut 120, the end of the locking end 131 bent to protrude inward to the other end (130b) of the lock unit 130 It is engaged with the thread formed in the cross section.

상기 결합너트측 수나사(122)의 나사산 방향과 상기 몸체(120)의 측단 외주면에 형성된 몸체측 수나사(112)의 나사산 방향은 서로 반대방향이 되도록 형성되어, 상기 결합너트(120)와 상기 락유니트(130) 중 어느 하나가 일방향으로 회전되더라도 상호간에 풀림현상을 방지할 수 있게 된다.The thread direction of the coupling nut side male thread 122 and the thread direction of the body side male thread 112 formed on the outer peripheral surface of the side end of the body 120 are formed to be opposite to each other, so that the coupling nut 120 and the lock unit are opposite to each other. Even if any one of the 130 is rotated in one direction it is possible to prevent the mutual loosening phenomenon.

도 4에서는 일실시예로서, 상기 결합너트측 수나사(122)의 나사산은 반시계 방향으로 형성되고, 상기 몸체측 수나사(112)의 나사산은 시계 방향으로 형성된 경우를 나타낸 것이다.In FIG. 4, the thread of the coupling nut side male thread 122 is formed in a counterclockwise direction, and the thread of the body side male thread 112 is formed in a clockwise direction.

본 발명의 누설방지 유니트(100)를 조이는 순서는 다음과 같다.The order of tightening the leakage preventing unit 100 of the present invention is as follows.

우선 락유니트(130)를 몸체(110)측으로 밀어넣은 상태에서, 결합너트(120)를 시계방향으로 회전시키게 되면 상기 결합너트(120) 내주면의 나사산이 상기 몸체(110)의 측단부 외주면에 형성된 몸체측 수나사(112)의 나사산에 치합되어 회전됨에 따라 상기 유체공급튜브(4)를 상기 몸체(110)측으로 밀착시키게 되며, 상기 유체공급튜브(4)의 내주면에 삽입된 슬리브(10)의 결합돌기(14)가 몸체(110)에 형성된 결합홈(16)에 삽입되어 끼움결합된다. First, in the state in which the lock unit 130 is pushed toward the body 110, when the coupling nut 120 is rotated in the clockwise direction, threads of the inner circumferential surface of the coupling nut 120 are formed on the outer peripheral surface of the side end of the body 110. The fluid supply tube 4 is brought into close contact with the body 110 as it is engaged with the thread of the body side male screw 112 and the sleeve 10 is inserted into the inner circumferential surface of the fluid supply tube 4. Protrusion 14 is inserted into the coupling groove 16 formed in the body 110 is fitted.

상기와 같이 결합너트(120)를 회전시켜 상기 몸체(110)에 끼움결합시킨 후에는, 상기 락유니트(130)를 결합너트(120)측으로 이동시켜 상기 락유니트(130)의 걸림단(131)의 끝단면에 형성된 나사산과 상기 결합너트(120)의 외주면에 형성된 결합너트측 수나사(122)의 나사산이 치합되도록 하고 상기 락유니트(130)를 반시계방향으로 회전시켜 결합너트(120)를 고정시킨다.After the coupling nut 120 is rotated as described above and fitted to the body 110, the lock unit 130 is moved to the coupling nut 120 to engage the locking end 130 of the lock unit 130. The screw thread formed on the end surface of the coupling nut and the thread of the coupling nut side thread 122 formed on the outer circumferential surface of the coupling nut 120 are engaged, and the lock unit 130 is rotated counterclockwise to fix the coupling nut 120. Let's do it.

다음으로 상기 결합너트(120)를 반시계방향으로 회전시켜 상기 락유니트(130)와 상기 결합너트(120)간의 미세한 틈을 제거하여 완벽하게 조여지도록 한다. 여기서 상기 결합너트(120)를 반시계방향으로 회전시키는 이유는 상기 몸체측 수나사(112)와 상기 결합너트측 수나사(122)에 형성된 나사산은 서로 반대방향으로 형성되어 있으므로 상기 결합너트(120)를 반시계방향으로 회전시킬수록 더욱 완벽하게 조여지게 되기 때문이다.Next, the coupling nut 120 is rotated in a counterclockwise direction to remove the minute gap between the lock unit 130 and the coupling nut 120 to be completely tightened. The reason for rotating the coupling nut 120 in the counterclockwise direction is that the threads formed on the body side male thread 112 and the coupling nut side male thread 122 are formed in opposite directions to each other so that the coupling nut 120 is formed. This is because the more you turn it counterclockwise, the more you tighten it.

또한, 상기 유체공급튜브(4)의 내부로 흐르는 화학용액의 고온에 의한 열과 펌프의 작동에 의한 진동으로 인해 상기 결합너트(120)가 회전되어 풀림현상이 발생하는 경우라도, 상기 락유니트(130)는 상기 결합너트(120)와 반대방향으로 회전하게 되므로 상기 결합너트(120)가 회전된 만큼 반대방향으로 회전되어 풀려진 길이 만큼 반대방향으로 조여지게 되므로 상기 결합너트(120)와 상기 락유니트(130)간의 결합상태를 일정하게 유지할 수 있게 된다.In addition, even when the coupling nut 120 is rotated due to the heat caused by the high temperature of the chemical solution flowing into the fluid supply tube 4 and the vibration caused by the operation of the pump, the lock unit 130 may occur. ) Is rotated in the opposite direction to the coupling nut 120, so that the coupling nut 120 is rotated in the opposite direction and tightened in the opposite direction by the length unwinded, so that the coupling nut 120 and the lock unit The coupling state between the 130 can be kept constant.

한편, 장비의 점검이나 교체를 위하여 상기 누설방지 유니트(100)를 풀 때에는, 상기 락유니트(130)를 시계방향으로 회전시키고, 이어서 상기 결합너트(120)를 반시계방향으로 회전시켜 상기 유체공급튜브(4)을 상기 몸체(110)로부터 분리시킬 수 있다.On the other hand, when loosening the leakage preventing unit 100 for the inspection or replacement of the equipment, the lock unit 130 is rotated clockwise, and then the coupling nut 120 is rotated counterclockwise to supply the fluid The tube 4 can be separated from the body 110.

도 5는 본 발명에 따른 락유니트와 몸체 사이에 고정링이 추가로 구비된 상태를 나타낸 측면도이다.Figure 5 is a side view showing a state in which the fixing ring is further provided between the lock unit and the body according to the present invention.

본 발명에서는 상기 구성에 추가하여, 상기 락유니트(130)가 조여진 상태에서 상기 락유니트(130)와 상기 몸체(110) 사이의 요홈부(115) 둘레에 반원의 고리 형태로 된 제1암(141)과 제2암(142)의 끝단이 결합부(145)를 중심으로 회동 가능하게 결합되고, 상기 제1암(141)의 타측 끝단에 형성된 결합홈(141a)에 상기 제2암(142)의 타측 끝단에 형성된 결합돌기(142a)가 체결되는 고정링(140)이 추가로 구비된다.In the present invention, in addition to the above configuration, the first arm in the form of a semi-circular ring around the groove 115 between the lock unit 130 and the body 110 in a state in which the lock unit 130 is tightened ( 141 and the end of the second arm 142 is rotatably coupled around the coupling portion 145, the second arm 142 in the coupling groove (141a) formed on the other end of the first arm (141) A fixing ring 140 to which the coupling protrusion 142a formed at the other end of the) is additionally provided.

도 5의 (a)에는 고정링(140)을 결합시킨 상태를 도시한 것이고, 도 5의 (b)에는 고정링(140)을 펼쳐 놓은 상태를 도시한 것이다.5 (a) shows a state in which the fixing ring 140 is coupled, and FIG. 5 (b) shows a state in which the fixing ring 140 is unfolded.

상기 고정링(140)은 락유니트(130)가 조여진 상태에서 열이나 진동에 의해 풀려지는 현상을 방지함으로써 결합너트(120)와 락유니트(130)간의 체결상태를 고정시키는 역할을 하게 된다.The fixing ring 140 serves to fix the fastening state between the coupling nut 120 and the lock unit 130 by preventing the phenomenon that the lock unit 130 is released by heat or vibration in the tightened state.

한편, 본 발명의 누설방지 유니트(100)를 구성하는 모든 구성요소는 테프론(TEFLON) 재질인 퍼플루오로 알콕시 알켄 중합체(PFA; Perfluoro Alkoxy Alkene Polymer), 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF; Polyvinylidene Fluoride), 폴리비닐 클로라이드(PVC; Polyvinyl Chloride), 폴리프로필렌(PP; Polypropylene), 폴리에테르에테르케톤(PEEK; Polyetheretherketon) 등으로 구성하여 내열성과 내화학성을 향상시킴으로써 고온상태의 화학용액에 의한 재질의 변형으로 초래되는 화학용액의 누설현상을 방지할 수 있도록 구성함이 바람직하다. On the other hand, all components constituting the leak-proof unit 100 of the present invention is a Perfluoro Alkoxy Alkene Polymer (PFA), polyvinylidene fluoride (PVDF) made of TEFLON (TEFLON) material , Polyvinyl chloride (PVC; Polyvinyl Chloride), polypropylene (PP; Polypropylene), polyether ether ketone (PEEK; Polyetheretherketon), etc. to improve the heat resistance and chemical resistance by deformation of the material by the chemical solution at high temperature It is desirable to be configured to prevent the leakage of the chemical solution caused.

또한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명을 유니온 형(Union-Type), L 형(L-Type), T 형(T-Type), 메일 커넥터 형(Mail Connector-Type), 케미컬-에어 피팅(Chemical & Air Fitting) 등의 피팅(Fitting)에 다양하게 응용하여 실시 가능할 것이다.In addition, those skilled in the art to which the present invention belongs, Union-Type, L-type (L-Type), T-type (T-Type), Mail Connector- Type), and chemical-air fittings (Chemical & Air Fitting), such as fitting (Fitting) will be implemented in various applications.

도 1은 종래 유체공급튜브의 누설방지 유니트의 측면도,1 is a side view of a leakage preventing unit of a conventional fluid supply tube;

도 2는 종래 유체공급튜브의 누설방지 유니트의 일부를 절개한 측면도,Figure 2 is a side view of a portion of the leak prevention unit of the conventional fluid supply tube,

도 3은 본 발명에 따른 유체공급튜브와 몸체간의 결합을 설명하기 위한 측단면도,Figure 3 is a side cross-sectional view for explaining the coupling between the fluid supply tube and the body according to the invention,

도 4는 본 발명에 따른 유체공급튜브의 누설방지 유니트의 일부를 절개한 측면도로서, (a)는 양측 락유니트가 모두 조여진 상태, (b)는 좌측의 락유니트는 조여지고, 우측의 락유니트는 풀려진 상태를 나타낸 측면도,Figure 4 is a side view of a portion of the leakage preventing unit of the fluid supply tube according to the present invention cut in (a) both the lock unit is tightened state, (b) the left lock unit is tightened, the right lock unit Is a side view showing the unlocked state,

도 5는 본 발명에 따른 락유니트와 몸체 사이에 고정링이 추가로 구비된 상태를 나타낸 측면도이다.Figure 5 is a side view showing a state in which the fixing ring is further provided between the lock unit and the body according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1,100 : 누설방지 유니트 2,110 : 몸체1,100: Leak prevention unit 2,110: Body

4,4' : 유체공급튜브 6,120 : 결합너트4,4 ': Fluid supply tube 6,120: Coupling nut

8 : 게이지링 10 : 슬리브8: gauge ring 10: sleeve

12,112 : 몸체측 수나사 14 : 결합돌기12,112 body side male thread 14: engaging projection

16 : 결합홈 115 : 요홈부16: coupling groove 115: groove

118,118a,118b : 걸림턱 122 : 결합너트측 수나사118,118a, 118b: engaging jaw 122: coupling nut side male thread

130 : 락유니트 131,132 : 걸림단130: lock unit 131,132: hang end

140 : 고정링140: retaining ring

Claims (4)

반도체 공정용 화학용액 등 유체의 순환라인의 이음새로 사용되는 누설방지 유니트에 있어서,In the leakage preventing unit used as a joint of the circulation line of the fluid, such as a chemical solution for semiconductor processing, 유체가 내부로 흐르도록 중공 형성된 유체공급튜브;A fluid supply tube hollowed out to allow fluid to flow therein; 상기 유체공급튜브의 끝단이 일측에 결합되고, 타측으로는 또 다른 유체공급튜브의 끝단이 결합되는 몸체;An end of the fluid supply tube is coupled to one side, the other end of the body is coupled to the other end of the fluid supply tube; 상기 유체공급튜브의 끝단부 내측으로 삽입되어, 상기 유체공급튜브를 상기 몸체에 밀착 고정되도록 매개하는 슬리브;A sleeve inserted into an end of the fluid supply tube to mediate the fluid supply tube to the body; 상기 유체공급튜브의 외측 둘레에 구비되며, 내측면에 형성된 나사산이 상기 몸체의 측단부 외주면에 형성된 몸체측 수나사의 나사산에 치합되어 회전됨에 따라 상기 유체공급튜브와 상기 몸체간의 밀착정도를 조절하기 위한 결합너트;및It is provided on the outer circumference of the fluid supply tube, the screw thread formed on the inner side is engaged with the screw thread of the body side male thread formed on the outer peripheral surface of the side end of the body to rotate the degree of adhesion between the fluid supply tube and the body Coupling nut; and 상기 몸체에 일측단이 결합되고 상기 결합너트에 타측단이 결합되어, 상기 결합너트의 풀림을 방지하기 위한 락유니트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체공급튜브의 누설방지 유니트.One end is coupled to the body and the other end is coupled to the coupling nut, the lock unit for preventing the loosening of the coupling nut; Leakage prevention unit of the fluid supply tube comprising a. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 몸체의 측단부 외주면에는 일정한 폭으로 음각진 요홈부가 형성되고, 상기 요홈부의 양측에는 걸림턱이 형성되며, 상기 락유니트의 일측단에는 내측으로 절곡된 걸림단이 형성되어 상기 몸체에 형성된 걸림턱에 의해 수평방향의 이동이 제한되고, 상기 락유니트의 타측단에는 내측으로 절곡된 걸림단이 형성되되 끝단면에는 나사산이 형성되어 상기 결합너트의 외주면에 형성된 결합너트측 수나사의 나사산에 치합되는 것을 특징으로 하는 유체공급튜브의 누설방지 유니트.The outer peripheral surface of the side end of the body is formed with a concave groove having a predetermined width, the engaging jaw is formed on both sides of the groove portion, the locking end bent inwardly formed on one side end of the lock unit is formed in the body The horizontal movement of the lock unit is limited, and the other end of the lock unit is formed with a locking end bent inwardly, and a thread is formed at the end surface thereof to be engaged with the thread of the coupling nut side thread formed on the outer circumferential surface of the coupling nut. A leakage preventing unit of a fluid supply tube. 제2항에 있어서, 상기 몸체측 수나사와 상기 결합너트측 수나사의 나사산은 서로 반대방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 유체공급튜브의 누설방지 유니트.3. The leakage preventing unit of the fluid supply tube according to claim 2, wherein the threads of the body side male thread and the coupling nut side male thread are formed in opposite directions. 제2항에 있어서, 상기 락유니트와 몸체 사이의 상기 요홈부 둘레에는, 반원의 고리 형태로 된 두 개의 암의 끝단이 회동 가능하게 결합되고, 일측 암에 형성된 결합홈에 타측 암에 형성된 결합돌기가 체결되는 고정링이 추가로 구비된 것을 특징으로 하는 유체공급튜브의 누설방지 유니트.According to claim 2, Around the groove between the lock unit and the body, the ends of the two arms in the form of a semi-circular ring rotatably coupled, the engaging projection formed on the other arm in the coupling groove formed on one arm The leakage preventing unit of the fluid supply tube, characterized in that the fixing ring is further provided.
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KR101887676B1 (en) * 2018-01-22 2018-09-06 오영호 Pipe fitting apparatus
KR101973010B1 (en) * 2018-12-14 2019-04-26 주식회사 이노디스 Tube fitting apparatus
KR102227458B1 (en) 2020-08-28 2021-03-15 신영수 Fitting device for making connection tube

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