KR101377168B1 - 이미지 소자의 검사 장치 및 이미지 소자 검사 방법 - Google Patents

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Abstract

이미지 소자의 검사 장치 및 이미지 소자의 검사 방법이 개시된다. 이미지 소자의 검사 장치는 제1 기판, 제2 기판, 연결부재, 접촉부재 및 확산부재를 포함한다. 상기 제1 기판은 광이 투과되는 제1 홀 및 상기 제1 홀의 주변에 형성되고, 이미지 소자에 인가되는 전기적 신호를 전송하는 제1 배선을 포함한다. 제2 기판은 상기 제1 홀의 하부에 형성된 제2 홀 및 상기 제2 홀의 주변에 형성되고, 상기 이미지 소자에 인가되는 전기적 신호를 전송하는 제2 배선을 포함한다. 상기 연결부재는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 사이에 배치되고, 상기 제1 배선과 제2 배선을 전기적으로 연결한다. 상기 접촉부재는 상기 제2 배선과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 기판의 하면으로부터 돌출되어 상기 이미지 소자에 전기적으로 접촉한다. 상기 확산부재는 상기 제2 홀에 삽입되고, 상기 제1 홀에 입사한 광을 이미지 소자에 균일하게 제공하기 위하여 확산시킨다.
프로브 카드, 시모스(CMOS)이미지 센서,집광렌즈, 발산렌즈

Description

이미지 소자의 검사 장치 및 이미지 소자 검사 방법{APPARATUS FOR INSPECTING AN IMAGE SENSOR AND METHOD FOR INSPECTING THE SAME}
본 발명은 이미지 소자의 검사 장치 및 이미지 소자의 검사 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 광의 효율을 증가시킬 수 있으며, 이미지 소자에 광을 균일하게 제공할 수 있는 이미지 소자의 검사 장치 및 이에 의해 수행되는 이미지 소자의 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제품을 생산하기 위해서는 순수 실리콘 웨이퍼를 제조하는 공정, 순수 실리콘 웨이퍼 상에 패턴을 형성하여 반도체 칩을 제조하는 공정, 반도체 칩의 양부를 판별하기 위하여 반도체 칩의 전기적 특성을 테스트하는 이디에스(EDS: electronic die sorting) 공정, 양품 반도체 칩을 패키징하는 공정, 패키징된 반도체 칩을 최종 테스트하는 공정 등이 필요하다.
전기적 특성을 테스트하는 공정을 통하여 불량으로 판별된 칩들 중 리페어가 가능한 칩은 리페어(repair)하여 재생시키고, 리페어가 불가능한 칩은 어셈블리 공정을 수행하기 이전에 제거된다. 따라서, 전기적 특성 테스트 공정은 어셈블리 공정에서 조립 비용을 감소시키고, 반도체 칩 제조 공정의 수율을 향상시키는 중요한 공정 중 하나이다.
이디에스 공정을 수행하는 장치는 웨이퍼와 같은 검사 대상물에 형성된 전도성 패드와 접촉되어 이에 전기적 신호를 인가하는 프로브 팁(probe tip)들이 제공된 프로브 카드를 포함한다. 프로브 카드로 시모스 이미지 센서(CIS: CMOS image sensor)의 불량 여부를 검사하는 경우, 시모스 이미지 센서에 광 및 전기적 신호가 인가된다. 특히, 상기 광을 제공하는 경우에 있어서, 검사 대상물인 시모스 이미지 센서에 광이 균일하게 제공되지 않는 경우 정확한 테스트가 불가능한 문제점을 야기한다.
이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 이미지 소자에 광을 균일하게 제공할 수 있는 이미지 소자의 검사 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 광의 이용 효율을 증가시키고, 이미지 소자에 광을 균일하게 제공할 수 있는 이미지 소자의 검사 방법을 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 소자의 검사 장치는 제1 기판, 제2 기판, 연결부재, 접촉부재 및 확산부재를 포함한다. 상기 제1 기판에는 제1 홀 및 제1 배선이 형성된다. 상기 제1 배선은 상기 제1 홀의 주변에 형성되고, 상기 제1 배선은 이미지 소자에 인가되는 전기적 신호를 전송한다. 상기 제2 기판에는 제2 홀 및 제2 배선이 형성된다. 상기 제2 홀은 상기 제1 홀의 하부에 형성된다. 상기 제2 배선은 상기 제2 홀의 주변에 형성되고, 상기 이미지 소자에 인가되는 전기적 신호를 전송한다. 상기 연결부재는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 사이에 배치되고, 상기 제1 배선과 제2 배선을 전기적으로 연결한다. 상기 접촉부재는 상기 제2 배선과 전기적으로 연결된다. 또한, 상기 접촉부재는 상기 제2 기판의 하면으로부터 돌출되어 상기 이미지 소자에 전기적으로 접촉한다. 상기 확산부재는 상기 제2 홀에 삽입되고, 상기 제1 홀에 입사한 광을 이미지 소자에 균일하게 제공하기 위하여 확산시킨다.
상기 확산 부재는 상기 제2 기판의 상면 상에 배치되어 상기 제1 홀에 입사한 광이 입사되는 제1 단부 및 상기 제2 베이스 기판의 하면 상에 배치되어 상기 입사된 광이 출사되는 제2 단부를 갖는 발산 렌즈를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 소자의 검사 장치는 집광부재를 더 포함할 수 있다. 상기 집광부재는 상기 제1 기판의 상부에 배치되어 상기 제1 홀로 광을 집광하는 집광 렌즈를 포함한다. 상기 집광부재는 상기 집광렌즈가 고정되는 고정모듈 및 상기 고정모듈 및 상기 제1 기판과 결합하는 보강모듈을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 집광부재는 상기 집광 렌즈와 상기 확산 부재간의 이격 거리를 조절하여 상기 확산 부재에 제공되는 광량을 조절하는 조절부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 이미지 소자의 검사 방법은 이미지 소자에 제1 전기적 신호를 인가하여 상기 이미지 소자를 활성화시키는 단계; 외부에서 제공 된 광을 집광하는 단계; 상기 집광된 광을 확산시켜 상기 활성화된 이미지 소자에 제공하는 단계; 상기 제1 전기적 신호 및 상기 광에 응답하여 상기 이미지 신호로부터 발생되는 제2 전기적 신호를 검출하는 단계; 및 상기 검출된 제2 전기적 신호를 기준 신호와 비교하여 상기 이미지 소자의 불량 여부를 판별하는 단계를 포함한다. 상기 외부에서 제공된 광을 집광하는 단계는 집광 렌즈를 이용하여 수행될 수 있다. 또한, 상기 집광된 광을 확산시켜 이미지 소자에 제공하는 단계는 발산 렌즈를 이용하여 수행될 수 있다.
이와 같은 이미지 소자의 검사 장치 및 이미지 소자의 검사 방법 따르면, 이미지 소자에 제공되는 광의 효율을 증가시킬 수 있고, 이미지 소자에 광을 균일하게 제공할 수 있으며, 또한, 제2 기판에 배선을 형성할 수 있는 충분한 공간을 확보할 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예를 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예들을 설명하기 위한 것으로 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 본 명세서에서 사용되는 “포함한다(comprise)” 및/또는 “포함하는(comprising)”은 언급된 구성 요소, 단계, 동작 및/또는 소자에 하나 이상의 다른 구성 요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한 본 명세서에서 층 또는 막의 “위”,“상”,“상부” 또는 “아래”,“하부”로 지칭되는 것은 중간에 다른 층 또는 막을 개재한 경우를 포함한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 “중첩”은 하부 구조물과 상부 구조물이 서로 공통된 중심을 갖고 겹쳐져 있는 형상을 나타내고, 하부 구조물과 상부 구조물 사이에 다른 구조물이 개재한 경우를 포함하며, 상부 구조물과 하부 구조물 중 어느 하나의 구조물은 다른 구조물에 완전히 겹쳐지는 것을 의미한다. 또한 본 명세서에서 사용되는 용어에 대해 다른 정의가 없다면, 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 소자의 검사 장치의 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 라인 I-I'을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 소자의 검사 장치(100)는 제1 기판(110), 제2 기판(120), 연결부재(130), 접촉부재(140) 및 확산부재(150)를 포함한다.
상기 제1 기판(110)에는 제1 홀(111) 및 제1 배선(미도시)이 형성된다. 상기 제1 기판(110)은 강화 유리섬유나 플라스틱 등의 절연기판 상에 구리로 형성된 배선을 포함하는 인쇄회로기판(printed circuit board)일 수 있다. 상기 제1 홀(111)을 통해 광이 상기 제1 기판(110)을 투과할 수 있다. 상기 제1 홀(111)에 제공되는 광은 자연광 및 인공 광원으로부터 발생된 인공광을 포함한다. 상기 제1 배선은 검사 대상인 이미지 소자(미도시)에 인가되는 전기적 신호를 전송한다.
상기 제2 기판(120)은 상기 제1 기판(110)의 하부에 배치된다. 상기 제2 기판(120)에는 제2 홀(121) 및 제2 배선(미도시)이 형성된다. 상기 제2 홀(121)은 상기 제1 홀(111)의 하부에 형성된다. 상기 제2 홀(121)에는 이 후 설명될 확산부재(150)가 삽입된다. 따라서, 상기 제2 홀(121)의 형상 및 크기는 상기 확산부재(150)의 형상 및 크기에 따라 달라진다. 예를 들어, 상기 확산부재(150)가 원통형상의 발산렌즈를 다수개 포함할 경우, 상기 제2 홀(121)은 상기 발산렌즈의 수만큼의 홀을 포함하고, 각각의 홀은 상기 발산렌즈와 동일한 원통형상을 갖는다. 상기 제2 배선은 상기 제2 홀(121)의 주변에 형성되고, 이미지 소자에 인가되는 전기적 신호를 전송한다.
상기 연결부재(130)는 상기 제1 기판(110)과 제2 기판(120)의 사이에 배치된다. 상기 연결부재(130)는 상기 제1 기판(110)에 형성된 제1 배선과 상기 제2 기판(120)에 형성된 제2 배선을 전기적으로 연결한다. 따라서, 외부로부터 상기 제1 배선에 인가된 전기적 신호는 연결부재(130)를 통하여 상기 제2 배선으로 전송된다.
상기 접촉부재(140)는 상기 제2 기판(120)의 하면으로부터 돌출되어 있다. 상기 접촉부재(140)는 상기 제2 배선과 전기적으로 연결되어 있고, 또한, 이미지 소자에 전기적으로 접촉한다. 따라서, 상기 제1 배선에 인가된 전기적 신호는 상기 연결부재(130), 제2 배선을 거쳐 상기 접촉부재(140)에 전송되고, 상기 접촉부재(140)에 전송된 전기적 신호는 상기 이미지 소자에 인가된다. 상기 접촉부재(140)의 형상은 다양하게 변경될 수 있다. 도 1 및 도 2에는 제2 기판(120)의 하면으로부터 돌출된 수직형 프로브 팁(vertical probe tip) 형상의 접촉부재(140)가 도시되어 있으나, 상기 접촉부재(140)는 니들 팁(niddle tip) 형상의 접촉부재(140)일 수 있다.
상기 확산부재(150)는 상기 제2 홀(121)에 삽입된다. 상기 제1 홀(111)에 입사한 광을 확산시킨다. 상기 확산부재(150)에 의하여 이미지 소자의 표면에 광이 균일하게 제공될 수 있다. 따라서, 검사의 정확도를 향상시킬 수 있다. 일례로, 상기 확산부재(150)는 발산렌즈를 포함할 수 있다. 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)는 상기 제2 기판(120)의 상면 상에 배치되고, 상기 제1 단부(151)에 대향하는 상기 발산렌즈의 제2 단부(153)는 상기 제2 기판(120)의 하면 상에 배치될 수 있다. 즉, 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)는 상기 제2 기판(120)의 상면으로부터 소정 길이만큼 돌출될 수 있고, 상기 발산렌즈의 제2 단부(153)는 상기 제2 기판(120)의 하면으로부터 소정 길이만큼 돌출될 수 있다. 예를 들면, 상기 발산렌즈는 원통형상을 가질 수 있다. 상기 제1 홀(111)에 입사한 광은 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)로 입사되어 상기 발산렌즈의 제2 단부(153)를 통하여 출사된다. 상기 발산렌즈로부터 출사된 광은 발산렌즈의 길이방향에 대해 외곽으로 확산된다. 따라서, 이미지 소자의 중심부뿐만 아니라 가장자리에도 균일하게 광이 제공될 수 있다.
상기 제1 홀(111)을 통해 상기 제1 기판(110)을 투과한 광은 상기 제2 홀(121)에 삽입된 확산부재(150)를 통해 상기 제2 기판(120)은 투과하게 된다. 즉, 상기 제1 홀(111)이 상기 제1 기판(110)의 투과창의 역할을 하며, 상기 제2 홀(121)은 상기 제2 기판(120)의 투과창의 역할을 한다. 이미지 소자의 불량 여부를 검사하기 위해서는 이미지 소자에 광 및 전기적 신호를 인가하고, 이에 응답하여 상기 이미지 소자로부터 발생되는 전기적 신호를 분석한다. 이미지 소자의 정확한 검사를 위해서는 이미지 소자의 표면에 균일하게 광이 제공되어야 한다. 따라서, 일반적으로 상기 제1 기판(110)의 투과창 및 상기 제2 기판(120)의 투과창의 면적은 검사대상인 이미지 소자의 표면적보다 커야한다. 하지만, 본 발명의 일실시예에 따른 이미지 소자의 검사장치에 따르면, 제2 기판(120)에 확산부재(150)를 삽입하여 광을 확산시켜 상기 이미지 소자에 제공하므로, 상기 확산부재(150)가 삽입되는 제2 홀(121)의 면적은 상기 이미지 소자의 표면적보다 작아도 된다. 최근 한번에 검사하는 이미지 소자의 개수가 증가되고 있고, 이에 따라 이미지 소자의 검사를 위해 상기 제2 기판(120)에 형성되는 배선 및 집적회로의 수도 증가하고 있다. 본발명에 따르면, 상기 제2 기판(120)에 검사대상의 표면적보다 작은 면적을 가지는 홀을 형성하더라도 검사 대상에 균일하게 광을 제공할 수 있으므로, 상기 제2 기판(120)에는 이미지 소자의 검사를 위한 배선 및 기타 집적회로가 형성될 공간이 충분히 확보된다.
본 발명에 따른 이미지 소자의 검사 장치(100)는 상기 연결부재(130) 및 사기 제2 기판(120)을 수납하는 커버부재(170)를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 이미지 소자의 검사 장치(100)는 상기 커버부재(170)의 하부에 배치되어 상기 접촉부재(140)를 검사 대상인 이미지 소자에 용이하게 접촉할 수 있도록 얼라인시키는 배열부재(190) 및 상기 커버부재(170)와 상기 배열부재(190) 사이에 배치되어 배열부재(190)를 상기 커버부재(170)에 고정시키는 보강부재(180)를 더 포함할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 집광 부재의 사시도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 소자의 검사 장치(100)는 집광부재(160)를 더 포함할 수 있다. 상기 집광부재(160)는 상기 제1 기판(110)의 상부에 배치되어 상기 제1 기판(110)에 형성된 제1 홀(111)로 광을 집광하는 집광렌즈(161)를 포함한다. 상기 집광렌즈(161)의 형상은 다양하게 변경될 수 있으나, 상기 제1 홀(111)의 형상에 대응하는 형상을 갖는 것이 바람직하다. 예를 들면, 상기 집광렌즈(161)는 사각형상을 가질 수 있다. 상기 집광렌즈(161)로 광을 집광하여 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)에 제공하고, 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)를 통해 입사된 광은 제2 단부(153)를 통해 출사되어 상기 이미지 소자에 제공된다. 이미지 소자의 정확한 검사를 위해서는 충분한 양의 광을 이미지 소자에 제공하여야 하고, 이를 위하여 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)에 입사되는 광의 양을 증가시켜야 한다. 상기 발산렌즈는 광을 집광하여 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)에 제공하므로, 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)에 입사되는 광의 양을 증가시킬 수 있다.
상기 집광부재(160)는 고정모듈(163) 및 보강모듈(165)을 더 포함할 수 있다.
상기 고정모듈(163)은 상기 집광렌즈(161)와 결합하여, 상기 집광렌즈(161)를 지지한다. 상기 고정모듈(163)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 집광렌즈(161)가 사각형상을 가지는 경우, 상기 고정모듈(163)은 중심부에 상기 집광렌즈(161)가 삽입될 수 있는 홀이 형성된 사각 플레이트 형상을 가질 수 있다.
상기 보강모듈(165)은 상기 고정모듈(163) 및 상기 제1 기판(110)과 결합하여, 상기 집광렌즈(161)를 상기 제1 기판(110)에 고정시킨다. 상기 보강모듈(165)은 상기 고정모듈(163)과 상기 제1 기판(110)의 사이에 배치된다. 상기 보강모듈(165)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 보강모듈(165)은 중심부에 제1 기판(110)에 형성된 제1 홀(111)에 대응하는 홀이 형성된 원형 플레이트 형상을 가질 수 있다. 상기 고정모듈(163) 및 보강모듈(165)에 의해 상기 집광렌즈(161)는 제1 기판(110)에지지 및 고정된다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정모듈의 사시도이고, 도 5는 도 4의 라인 II-II'을 따라 절단한 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 집광부재(160)는 조절부재(167)를 더 포함할 수 있다. 상기 조절부재(167)는 상기 집광렌즈(161)와 상기 확산부재(150)간의 이격 거리를 조절하여 확산부재(150)에 제공되는 광의 양을 조절한다.
구체적으로, 상기 고정모듈(163)은 상기 집광렌즈(161)와 결합하는 제1 플레이트(163a) 및 상기 제1 플레이트(163a)의 하부에 배치되어 상기 보강모듈(165)에 결합되는 제2 플레이트(163b)를 포함할 수 있고, 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)는 상기 제2 플레이트(163b)에 삽입되어 상기 제2 플레이트(163b)의 상면을 통해 노출될 수 있다. 이 경우, 상기 조절부재(167)는 상기 제1 플레이트(163a) 및 제2 플레이트(163b)에 삽입되어 제1 플레이트(163a)와 제2 플레이트(163b)의 이격 거리를 조절하는 볼트를 포함할 수 있다.
다수의 이미지 소자를 한번에 검사하기 위해서는 제2 기판(120)에는 상기 이미지 소자의 개수에 대응하는 다수개의 발산렌즈가 삽입되어야 한다. 또한, 다수개의 이미지 소자 모두를 정확히 검사하기 위해서는 상기 다수개의 발산렌즈에 동일한 양의 광이 제공되어야 한다. 집광렌즈(161)에 평행한 단면을 고려할 때, 집광렌즈(161)를 통과한 광이 진행하는 단면의 면적은 집광렌즈(161)로부터의 거리에 따라 달라진다. 구체적으로, 집광렌즈(161)로부터의 거리가 거의 제로일 때는 상기 집광렌즈(161)를 통과한 광은 상기 집광렌즈(161)의 면적과 동일한 면적의 단면을 통과하게 되고, 이 후 집광렌즈(161)로부터의 거리가 멀어질수록 상기 집광렌즈(161)를 통과한 광이 진행하는 단면의 면적은 감소하게 된다. 따라서, 다수개의 발산렌즈의 제1 단부(151)들이 제2 플레이트(163b)의 상면 상의 일정한 면적 내에 배치될 때, 상기 발산렌즈를 통과한 광이 진행하는 단면이 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)들이 배치된 면적보다 크거나 같아지도록 상기 조절부재(167)는 상기 제1 플레이트(163a)와 제2 플레이트(163b)의 이격 거리가 조절한다. 따라서, 상기 조절부재(167)는 상기 발산렌즈의 제1 단부(151)에 입사되는 광의 양을 조절할 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이미지 소자의 검사 방법을 설명하기 위한 플로 차트(flow chart)이다.
도 6을 참조하면, 검사 대상인 이미지 소자에 제1 전기적 신호가 인가하여 상기 이미지 소자를 활성화시킨다(S10).
이미지 소자의 불량 여부를 검사하기 위하여, 상기 활성화된 이미지 소자에 광이 제공된다. 이미지 소자에 제공되는 광의 양을 증가시키고, 이미지 소자에 균일하게 광을 제공하기 위하여 외부에서 공급된 광을 집광하고(S20), 그 집광된 광을 확산시켜 상기 이미지 소자에 제공한다(S30). 상기 집광하는 단계(S20)는 외부에서 제공된 광을 집광렌즈를 통과하게 함으로써 수행될 수 있다. 또한, 상기 집광된 광을 확산시켜 이미지 소자에 제공하는 단계(S30)는 상기 집광렌즈(161)를 통과한 광을 발산렌즈를 통과하게 함으로써 수행될 수 있다.
제1 전기적 신호에 의해 활성화된 이미지 소자가 상기 광을 제공받을 경우, 상기 이미지 소자로부터 제2 전기적 신호가 발생되고, 그 제2 전기적 신호를 검출한다(S40).
검출된 상기 제2 전기적 신호를 기준신호와 비교하여 상기 이미지 소자의 불량 여부를 판별한다(S50). 상기 제2 전기적 신호가 상기 기준신호에 의해 정해지는 조건에 부합한다면, 상기 이미지 소자는 정상적인 이미지 소자로 판별된다. 하지만, 상기 제2 전기적 신호가 기준신호에 의해 정해지는 조건에 부합하지 않는다면, 상기 이미지 소자는 불량을 가진 이미지 소자로 판별된다.
이상에서 상세하게 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 집광부재에 의하여 광을 집광하여 제1 기판에 형성된 제1 홀로 제공함으로써 광의 효율을 향상시킬 수 있고, 확산부재를 이용하여 상기 제1 홀에 제공된 광을 확산하여 이미지 소자에 제공함으로써 이미지 소자에 균일한 광이 제공될 수 있으며, 또한, 제2 기판에 제2 배선을 형성할 수 있는 충분한 공간을 마련될 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 소자의 검사 장치의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 라인 I-I'을 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 집광 부재의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정 모듈의 사시도이다.
도 5는 도 4의 라인 II-II'을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이미지 소자의 검사 방법을 설명하기 위한 플로 차트(flow chart)이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 이미지 소자의 검사 장치 110 : 제1 기판
120 : 제2 기판 130 : 연결부재
140 : 접촉부재 150 : 확산부재
160 : 집광부재 170 : 커버부재
180 : 보강부재 190 : 배열부재

Claims (9)

  1. 광이 투과되는 제1 홀 및 상기 제1 홀의 주변에 형성되고, 이미지 소자에 인가되는 전기적 신호를 전송하는 제1 배선을 포함하는 제1 기판;
    상기 제1 홀의 하부에 형성된 제2 홀 및 상기 제2 홀의 주변에 형성되고, 상기 이미지 소자에 인가되는 전기적 신호를 전송하는 제2 배선을 포함하는 제2 기판;
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 사이에 배치되고, 상기 제1 배선과 제2 배선을 전기적으로 연결하는 연결부재;
    상기 제2 배선과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 기판의 하면으로부터 돌출되어 상기 이미지 소자에 전기적으로 접촉하는 접촉부재; 및
    상기 제2 홀에 삽입되고, 상기 제1 홀을 통하여 입사된 광을 이미지 소자에 균일하게 제공하기 위하여 확산시키는 확산 부재를 포함하고,
    상기 확산 부재는 상기 제2 기판의 상면 상에 배치되어 상기 제1 홀에 입사한 광이 입사되는 제1 단부 및 상기 제2 기판의 하면 상에 배치되어 상기 입사된 광이 출사되는 제2 단부를 갖는 발산 렌즈를 포함하는 이미지 소자의 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 단부는 상기 제2 기판의 상면으로부터 돌출되어 있고, 상기 제2 단부는 상기 제2 기판의 하면으로부터 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 이미지 소자의 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 기판의 상부에 배치되어 상기 제1 홀로 광을 집광하는 집광 렌즈를 포함하는 집광부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 소자의 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 집광부재는 상기 집광렌즈가 고정되는 고정모듈 및 상기 고정모듈 및 상기 제1 기판과 결합하는 보강모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 소자의 검사 장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 집광부재는 상기 집광 렌즈와 상기 확산 부재간의 이격 거리를 조절하여 상기 확산 부재에 제공되는 광량을 조절하는 조절부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 소자의 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 확산부재는 상기 제2 기판의 상면으로부터 돌출된 제1 단부 및 상기 제2 기판의 하면으로부터 돌출된 제2 단부를 갖는 발산 렌즈를 포함하고,
    상기 고정모듈은 상기 집광렌즈와 결합하는 제1 플레이트 및 상기 제1 플레이트 하부에 배치되어 상기 보강모듈과 결합하고, 상기 제1 단부가 삽입되는 제2 플레이트를 포함하며,
    상기 고정 모듈은 상기 제1 플레이트 및 제2 플레이트에 삽입되어 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트의 이격 거리를 조절하는 볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 소자의 검사 장치.
  8. 이미지 소자에 제1 전기적 신호를 인가하여 상기 이미지 소자를 활성화시키는 단계;
    외부에서 제공된 광을 집광렌즈로 집광하는 단계;
    상기 집광된 광을 발산렌즈로 확산시켜 상기 활성화된 이미지 소자에 제공하는 단계;
    상기 제1 전기적 신호 및 상기 광에 응답하여 상기 이미지 소자로부터 발생되는 제2 전기적 신호를 검출하는 단계; 및
    상기 검출된 제2 전기적 신호를 기준 신호와 비교하여 상기 이미지 소자의 불량 여부를 판별하는 단계를 포함하는 이미지 소자의 검사 방법.
  9. 삭제
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