KR101369569B1 - Vacuum type power device consisting of double bellows - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 진공 시스템 동력 전달장치를 구성함에 진공 누설에 보다 안정적으로 대응할 수 있도록 구조적 설계와 기능적 설계가 결합된 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a vacuum motion transmission device composed of double bellows, and more particularly, to a vacuum system power transmission device, which is composed of a double bellows combined with a structural design and a functional design to more stably cope with vacuum leakage. It relates to a vacuum motion transfer device.
근래에 들어 과학이 발달함에 따라 새로운 물질의 개발 및 처리를 가능하게 하는 신소재 분야가 급속도로 발전하였고, 이러한 신소재 분야의 개발 성과물은 반도체 산업의 비약적인 발전 원동력이 되고 있다.In recent years, with the development of science, the field of new materials that enables the development and processing of new materials has developed rapidly, and the development results of these new materials have become the driving force of the semiconductor industry.
이러한 반도체 소자란, 웨이퍼의 상면에 수차례에 걸친 박막의 증착 및 이의 패터닝 등의 처리공정을 통해 구현되는 고밀도 집적회로(LSI: Large Scale Integration)로서, 이러한 박막의 증착 및 패터닝 등의 공정은 통상 밀폐된 반응 용기인 챔버의 내부에서 진행된다.Such a semiconductor element is a high-density integrated circuit (LSI: Large Scale Integration), which is realized through a process such as deposition of a thin film several times on the upper surface of a wafer and patterning thereof, and processes such as deposition and patterning And proceeds inside the chamber, which is a closed reaction vessel.
다양한 공정이 진행되는 챔버 내부는 진공상태를 유지하는 것이 일반적이며, 시스템의 요건에 따라 외부에서 챔버 내부로 진행되는 다양한 메커니즘에 의한 기술 또한 매우 다양하다.It is common to maintain a vacuum inside a chamber where various processes are performed, and the technology by various mechanisms that progress from the outside into the chamber also varies according to system requirements.
여기서 일반적으로 진공 챔버 내부에 동력을 전달하는 장치가 바로 진공용 동력 전달기가 있다.In general, a device for transmitting power inside the vacuum chamber is a vacuum power transmitter.
기존에 사용되는 동작 전달기의 내부에는 Bellows로 연결되어 운동이 전달되는 부분의 진공을 유지하는 것이 주역할이 되었다. 그러한 이유로 Bellows의 손상이나 수명의 한계가 동작전달기의 수명으로 연결되는 문제점이 있었고 Bellows와 용접되는 부분 또한 교체 되어야 했다. 또한, 동작 전달기의 Bellows의 부분에 진공이 불량이 생길 경우 다른 모든 진공 장비를 멈추어야 하기 때문에 안전성이 향상된 Bellows 설계가 필요한 실정이다.Inside the existing motion transmitter, Bellows is connected to maintain the vacuum of the part where the motion is transmitted. For that reason, there was a problem that the damage or limitation of the life of the bellows was linked to the life of the transmitter and the welded parts of the bellows had to be replaced. In addition, if the vacuum of the Bellows part of the motion transmitter fails, all other vacuum equipment must be stopped, so the Bellows design with improved safety is needed.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 진공용 동력 전달장치를 설계함에 동력 전달용 샤프트의 진공 누설 방지를 위해 복합적인 벨로우즈 설계를 통해 보다 신뢰성 높은 진공용 동력 전달장치를 제공하고자 하는데 목적이 있다.The present invention for solving the above problems is to provide a more reliable vacuum power transmission device through the design of a composite bellows to prevent the vacuum leakage of the power transmission shaft in the design of the vacuum power transmission device. .
또한, 본 발명은 동작 진단이 용이하고 이에 따라 신속한 유지보수를 실현할 수 있는 안정성 높은 진공용 동력 전달기를 제공하고자 하는데 목적이 있다.
In addition, an object of the present invention is to provide a highly reliable vacuum power transmitter that can be easily diagnosed operation, thereby realizing rapid maintenance.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 진공 동작 전달장치에 있어서, 내측으로 회전 가능한 구동 샤프트가 다수의 베어링으로 지지되어 회전 가능하게 결합된 상태의 제 1하우징, 상기 제 1하우징에서 일측으로 소정각도를 가지고 돌출되는 상기 구동 샤프트를 상기 제 1하우징과 함께 커버링하는 제 2하우징, 상기 제 1하우징에서 돌출된 경계선에서부터 임의의 구간에 해당하는 상기 구동 샤프트 외주면을 감싸하는 벨로우즈 및 상기 구동 샤프트에 동력을 전달하되. 소정 각도를 가지는 구동샤프트의 끝단에 결합되어 동력을 전달받기 위해 마찰되는 구동체의 회전 반경에 대응하여 편심 회전 동력을 공급할 수 있도록 구비되는 동력전달체를 포함하여 구성된다.The present invention for achieving the above object, in the vacuum motion transmission device, a first housing in a state in which the rotatable inwardly driven drive shaft is supported by a plurality of bearings and rotatably coupled to one side from the first housing A second housing covering the drive shaft protruding at a predetermined angle together with the first housing, a bellows surrounding the drive shaft outer circumferential surface corresponding to an arbitrary section from a boundary line protruding from the first housing, and the drive shaft; Deliver power. It is configured to include a power transmission coupled to the end of the drive shaft having a predetermined angle to supply the eccentric rotational power corresponding to the rotational radius of the drive frictioned to receive power.
또한, 상기 벨로우즈는, 외측에 위치하는 제 1벨로우즈와, 상기 제 1벨로우즈를 감싸도록 구비되는 제 2벨로우즈로 각각 구성되어 2중 구조를 가지며, 상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈의 끝단은 서로 용접하여 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, the bellows is composed of a first bellows located on the outside and a second bellows provided to surround the first bellows, respectively, and have a double structure, and ends of the first bellows and the second bellows are welded to each other. It is characterized by being coupled.
또한, 상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈는, 벨로우즈 사이에 비활성 가스가 충진되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first bellows and the second bellows, characterized in that the inert gas is filled between the bellows.
또한, 상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈는, 양 끝단으로 결합 플랜지를 통해 결합되되, 일측은 상기 제 1하우징과 결합되고, 타측은 상기 구동체와 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first bellows and the second bellows, both ends are coupled via a coupling flange, one side is coupled to the first housing, the other side is characterized in that coupled to the drive body.
또한, 상기 구동체는, 상기 제 1하우징에서 돌출된 구간의 구동샤프트를 감싸는 제 2하우징이 상기 제 1하우징에 결합되어 감싸며, 상기 구동샤프트 끝단에 결합된 동력전달체는 상기 구동체가 감싸면서 제 2하우징에 구동 가능하게 결합되는 구조를 가지는 것을 특징으로 한다.In addition, the drive body, the second housing surrounding the drive shaft of the section protruding from the first housing is coupled to the first housing and wrapped, the power carrier coupled to the drive shaft end is wrapped around the drive body and the second It is characterized by having a structure that is operatively coupled to the housing.
또한, 상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈는, 그 사이에 충진되는 비활성 가스의 압력을 검출하기 위해 두 개의 벨로우즈 사이에 감지부가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first bellows and the second bellows, characterized in that the sensing unit is provided between the two bellows to detect the pressure of the inert gas filled therebetween.
또한, 상기 감지부는, 상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈 사이에 충진된 비활성 가스의 압력을 검출하거나, 제 1벨로우즈 또는 제 2벨로우즈의 파손으로 인해 비활성 가스의 압력 또는 진공 압력을 검출하기 위한 음압 또는 양압을 감지하는 압력체를 더 포함하여 구성된다.In addition, the detection unit, the negative pressure for detecting the pressure of the inert gas filled between the first bellows and the second bellows, or the pressure or vacuum pressure of the inert gas due to breakage of the first bellows or the second bellows or It further comprises a pressure body for sensing the positive pressure.
또한, 상기 압력체는, 상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈 사이에 충진된 비활성 가스의 압력을 직접적으로 전달받으며, 상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈가 정상상태에 있을 때에는 상기 압력체가 일정한 높이를 유지하게 되고, 상기 제 1벨로우즈가 비정상 상태(누설)일 경우 상기 압력체는 대기압 상태에 놓여지게 되어 정상 상태보다 일정 높이 낮게 유지되며, 상기 제 2벨로우즈가 비정상 상태(누설)일 경우 상기 압력체는 저압 상태에 놓여지게 되어 최대 수축 상태를 유지하도록 구성된다.
Further, the pressure body directly receives the pressure of the inert gas filled between the first bellows and the second bellows, and the pressure body maintains a constant height when the first bellows and the second bellows are in a steady state. When the first bellows is in an abnormal state (leakage), the pressure body is placed in an atmospheric pressure state and is maintained at a lower level than the normal state, and when the second bellows is in an abnormal state (leakage), the pressure body is It is placed in a low pressure state and configured to maintain a maximum contraction state.
상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명은 더블 벨로우즈를 구성함에 따라 보다 높은 내구성에 의한 장비의 수명 연장을 실현할 수 있으며, 벨로우즈 누설에 신속한 대응을 위해 진공 감지부를 구성하여 전반적으로 장치의 안정성과 이상 여부를 빠르게 파악할 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention configured and operated as described above, it is possible to realize the extension of the life of the equipment due to the higher durability by constructing the double bellows, and to configure the vacuum sensing unit for a quick response to the bellows leakage. You can quickly grasp the effect.
도 1은 본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치의 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치의 부분 확대도,
도 3은 본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치에 구성된 감지 장치의 정상 동작 상태를 나타낸 확대도,
도 4 내지 도 6은 본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치의 누설로 인한 동작 상태를 나타낸 확대도.1 is a cross-sectional view of a motion transfer device for a vacuum composed of a double bellows according to the present invention,
2 is a partially enlarged view of a motion transfer device for a vacuum composed of a double bellows according to the present invention;
Figure 3 is an enlarged view showing a normal operating state of the sensing device configured in the vacuum motion transfer device composed of a double bellows according to the present invention,
4 to 6 is an enlarged view showing an operating state due to leakage of the vacuum motion transfer device composed of a double bellows according to the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the vacuum operation transmission device composed of a double bellows according to the present invention.
본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치는, 진공 동작 전달장치에 있어서, 내측으로 회전 가능한 구동 샤프트가 다수의 베어링으로 지지되어 회전 가능하게 결합된 상태의 제 1하우징, 상기 제 1하우징에서 일측으로 소정각도를 가지고 돌출되는 상기 구동 샤프트를 상기 제 1하우징과 함께 커버링하는 제 2하우징, 상기 제 1하우징에서 돌출된 경계선에서부터 임의의 구간에 해당하는 상기 구동 샤프트 외주면을 감싸하는 벨로우즈 및 상기 구동 샤프트에 동력을 전달하되. 소정 각도를 가지는 구동샤프트의 끝단에 결합되어 동력을 전달받기 위해 마찰되는 구동체의 회전 반경에 대응하여 편심 회전 동력을 공급할 수 있도록 구비되는 동력전달체를 포함하여 구성된다.In the vacuum motion transmission device composed of a double bellows according to the present invention, in the vacuum motion transmission device, the first housing of the drive shaft rotatable inward is supported by a plurality of bearings rotatably coupled, the first housing A second housing covering the drive shaft protruding with a predetermined angle to one side together with the first housing, a bellows surrounding the drive shaft outer circumferential surface corresponding to a section from a boundary line protruding from the first housing; Transmit power to the drive shaft. It is configured to include a power transmission coupled to the end of the drive shaft having a predetermined angle to supply the eccentric rotational power corresponding to the rotational radius of the drive frictioned to receive power.
본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치는, 진공 시스템에서 외부 동력을 진공 분위기 내부로 전달하고자 할 때 동력 전달 샤프트에 회전 반경에 따른 진공 누설을 효과적으로 구현하여 결과적으로 안정적인 진공 시스템 및 동력 전달이 가능한 이중 벨로우즈를 적용한 동력 전달장치를 제공하고는 것을 주요 기술적 요지로 한다.The vacuum motion transmission device composed of the double bellows according to the present invention effectively implements a vacuum leakage according to the turning radius on the power transmission shaft when the external power is to be transferred into the vacuum atmosphere in the vacuum system, resulting in a stable vacuum system and power. The main technical point is to provide a power transmission system with double bellows capable of transmission.
도 1은 본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a vacuum motion transfer device composed of a double bellows according to the present invention.
본 발명에 따른 진공용 동력 전달장치는 크게, 제 1하우징(100), 상기 제 1하우징 내에 일측이 위치하는 구동샤프트(110), 상기 구동 샤프트의 타측에 결합되는 동력을 물리적으로 전달받는 동력전달체(130), 상기 제 1하우징에서 돌출된 영역을 일부 감싸도록 구비되는 제 2하우징(320), 그리고 제 2하우징 끝단에 연결되고 상기 동력전달체와 접하여 동력을 전달하는 구동체(300)를 포함하여 구성된다.The power transmission device for a vacuum according to the present invention largely includes a
제 1하우징(100)과 제 2하우징(320)은 동력을 전달하는 구동샤프트(110)를 커버하는 하우징으로써, 길이형의 구동샤프트는 결합되는 제 1하우징과 제 2하우징의 양측에 돌출된다. 이때, 상기 구동샤프트는 제 2하우징의 결합위치에서 소정의 각도를 가지고 가공된 샤프트로써, 여기에 동력을 전달한 구동체는 편심력을 전달해야하기 때문에 회전축으로부터 편심 회전력을 전달할 수 있는 구조를 가진다.The
여기서 본 발명의 가장 중요한 구성으로 상기 제 1하우징으로부터 연장 돌출되는 영역에서부터 끝단에 결합되는 동력전달체와의 공간으로는 진공상태를 유지하여야 한다. 그리고 이 구간에는 구동샤프트가 소정의 각도를 가지고 연장됨에 따라 타측에서 전달되는 구동력에 의해 구동 시 구동 반경이 발생하게 됨으로 견고하면서 동시에 유연한 진공실링이 필요하다.The most important configuration of the present invention is to maintain the vacuum state in the space with the power transmission body coupled to the end from the region protruding from the first housing. In this section, as the drive shaft extends at a predetermined angle, a driving radius is generated when the drive shaft is driven by the driving force transmitted from the other side.
이를 위하여 본 발명에서는 유연성과 기밀성을 동시에 만족할 수 있도록 2중의 벨로우즈가 일측은 제 1하우징에 연결되고 타측은 동력전달체와 연결와 연결되어 고정된다.To this end, in the present invention, the double bellows is connected to the first housing and the other side is connected to and fixed to the power train so as to satisfy both flexibility and airtightness at the same time.
여기서 상기 벨로우즈는 별도의 결합 플랜지(210)를 통해 연결되어 결합된다.Here, the bellows is connected and coupled through a separate coupling flange (210).
한편, 상기 구동체의 반대면 즉, 구동샤프트와 연결되는 반대면으로는 구동축(310)이 연결되어 있고, 여기를 통해 외부 동력을 전달받게 된다. 또한, 구동샤프트와 연결된 구동체에는 편심한 홈이 형성되어 있으며, 상기 구동축이 동력을 전달받으면 그 홈에 대응하게 구동샤프트를 회전시킴으로써 구동샤프트가 회전하게 된다.On the other hand, the
이와 더불어 제 1하우징의 내부 양측으로는 각각 구동샤프트를 지지하기 위한 제 1베어링과 제 2베어링이 마련되어 있어 구동샤프트를 지지한다.In addition, a first bearing and a second bearing for supporting the drive shaft are provided at both sides of the first housing to support the drive shaft.
또한, 상기 제 1하우징의 외면에는 별도의 고정 플랜지(101)가 구성되어 있어 외부 구조물에 고정할 수 있도록 구성된다.
In addition, the outer surface of the first housing has a
도 2는 본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치의 부분 확대도이다.2 is a partially enlarged view of a vacuum motion transfer device composed of a double bellows according to the present invention.
본 발명에 따른 제 1벨로우즈(200) 내부에 제 2벨로우즈(201)가 이중적으로 구성되고, 그 끝단은 각각 결합 플랜지가 조립된 상태이면 상기 결합 플랜지를 서로 용접 접합하여 완전 실링될 수 있도록 구성한다.The
도면에 도시된 바와 같이 작은 내외경의 Bellows(제 1벨로우즈)를 큰 내외경의 Bellows(제 1벨로우즈)의 안쪽에 용접하여 Bellows의 사이에 비활성 가스를 대기압보다 높은 양압으로 채운 형태이고 이중으로 된 Bellows를 구성품에 연결하여 사용함으로서 안쪽과 바깥쪽의 Bellows중 어느 하나에 문제가 생기더라도 남은 하나의 Bellows가 진공차폐 기능을 유지함으로써 안전성과 내구성을 갖추게 된다.As shown in the drawing, a small inner and outer diameter bellows (first bellows) is welded inside a large inner and outer diameter bellows (first bellows) to fill an inert gas with a positive pressure higher than atmospheric pressure. By connecting to the components, if one of the inner and outer bellows fails, the remaining bellows maintains a vacuum shield for safety and durability.
이때, 두 개의 벨로우즈 사이는 가스로 충진된 상태에 따라 그 압력을 유지하게 되는데, 그 사이에 압력을 육안으로 감지할 수 있는 감지부(400)가 더 구성된다. 상기 감지부를 통하여 내부 혹은 외부 Bellows 의 이상유무를 육안으로 확인하므로 유지보수의 편의성까지 갖출 수 있다.At this time, between the two bellows to maintain the pressure according to the state filled with gas, between the
아래에서 좀 더 구체적으로 설명한다.More specifically below.
도 3은 본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치에 구성된 감지 장치의 정상 동작 상태를 나타낸 확대도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이 감지부는 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈의 사이에 결합되어 그 사이의 압력을 검출하는 구조는 가진다. 이때, 두 개의 벨로우즈 사이에는 비활성 가스로 충진된 상태임에 따라 감지부에 구성된 압력체(410)가 일정한 압력에 의해 높이를 유지한다. Figure 3 is an enlarged view showing a normal operating state of the sensing device configured in the vacuum motion transfer device composed of a double bellows according to the present invention. As shown in FIG. 3, the sensing unit has a structure coupled between the first bellows and the second bellows to detect a pressure therebetween. At this time, between the two bellows is filled with inert gas, the
도 4 내지 도 6은 본 발명에 따른 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치의 누설로 인한 동작 상태를 나타낸 확대도이다.4 to 6 is an enlarged view showing an operating state due to leakage of the vacuum operation transmission device composed of a double bellows according to the present invention.
도 4의 경우는 두 개의 벨로우즈가 이상이 없는 상태를 도시한 것이며, 도 5는 제 1벨로우즈가 터져 대기압 상태, 도 6은 제 2벨로우즈가 터져 음압이 발생한 것이다. 두 개의 벨로우즈가 이상이 없을 경우에는 정상적인 상태에 있지만, 제 1벨로우즈가 터진 경우에는 충진된 가스의 누설로 인해 대기압 상태를 유지하여 압력체가 정상 상태보다 낮은 상태를 유지한다. 4 shows a state in which two bellows are not abnormal, FIG. 5 shows a first bellows burst and an atmospheric pressure state, and FIG. 6 shows a second bellows blown to generate a sound pressure. When the two bellows is intact, it is in a normal state, but when the first bellows is blown, the pressure is kept lower than the normal state by maintaining the atmospheric pressure due to leakage of the filled gas.
또한, 제 2벨로우즈에 누설이 발생한 경우에는 압력체가 완전 수축되는 구조를 가지기 때문에 작업자가 감지부를 통해 쉽게 감지하여 누설 여부를 확인할 수 있다.In addition, when the leak occurs in the second bellows, since the pressure body has a structure that is completely contracted, the operator can easily detect the leak through the sensing unit.
즉, 상기 압력체는 상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈 사이에 충진된 비활성 가스의 압력을 직접적으로 전달받으며, 상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈가 정상상태에 있을 때에는 상기 압력체가 일정한 높이를 유지하게 되고, 상기 제 1벨로우즈가 비정상 상태(누설)일 경우 상기 압력체는 대기압 상태에 놓여지게 되어 정상 상태보다 일정 높이 낮게 유지되며, 상기 제 2벨로우즈가 비정상 상태(누설)일 경우 상기 압력체는 저압 상태에 놓여지게 되어 최대 수축 상태를 유지하도록 구성된다.That is, the pressure body directly receives the pressure of the inert gas filled between the first bellows and the second bellows, and maintains the pressure body at a constant height when the first bellows and the second bellows are in a steady state. When the first bellows is in an abnormal state (leakage), the pressure body is placed in an atmospheric pressure state and is maintained at a lower level than the normal state. When the second bellows is in an abnormal state (leakage), the pressure body is low pressure. And to maintain the maximum contraction state.
따라서, 본 발명은 진공장비에 사용되는 Bellows를 Double Bellows로 교체 시 보다 높은 내구성에 의한 장비의 수명 연장과, 진공에 불량이 발생했을 시 다른 장비들 또한 멈춰야 하는데서 오는 시간과 비용의 절감을 가져오는 안전성의 효과를 기대할 수 있다.Therefore, the present invention can reduce the time and cost that comes from extending the life of the equipment due to higher durability when replacing the Bellows used in the vacuum equipment with Double Bellows, and also stop other equipment when the vacuum failure occurs Safety effects can be expected.
그리고, 내부 Bellows 의 누설여부를 확인할 수 있는 감지장치를 추가로 설치함으로써 외부 Bellows 가 손상되기 전 장비교체를 통하여 비상 샷다운 시 문제되는 Bellows 로부터 벗어날 수 있다.In addition, by installing an additional sensing device to check whether the internal bellows is leaking, the replacement of equipment before the external bellows is damaged can be avoided from the problem bellows in emergency shotdown.
이와 같이 구성되는 본 발명은 진공 경계벽에 연장 구성되는 구동 샤프트를 이중의 벨로우즈로 감싸도록 구성함에 따라 진공 차단성을 보다 향상시킬 수 있으며, 장점이 있다.According to the present invention configured as described above, the drive shaft extending to the vacuum boundary wall is configured to surround the double bellows, thereby further improving vacuum barrier property, and there is an advantage.
이상, 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. On the contrary, those skilled in the art will appreciate that many modifications and variations of the present invention are possible without departing from the spirit and scope of the appended claims. And all such modifications and changes as fall within the scope of the present invention are therefore to be regarded as being within the scope of the present invention.
100 : 제 1하우징
101 : 고정 플랜지
110 : 구동샤프트
120 : 제 1베어링
121 : 제 2베어링
130 : 동력전달체
200 : 제 1벨로우즈
201 : 제 2벨로우즈
210 : 결합 플랜지
300 : 구동체
310 : 구동축
320 : 제 2하우징
400 : 감지부
410 : 압력체100: first housing
101: fixed flange
110: drive shaft
120: first bearing
121: second bearing
130: power train
200: first bellows
201: second bellows
210: coupling flange
300 drive body
310: drive shaft
320: second housing
400: detector
410: pressure body
Claims (8)
내측으로 회전 가능한 구동 샤프트가 다수의 베어링으로 지지되어 회전 가능하게 결합된 상태의 제 1하우징;
상기 제 1하우징에서 일측으로 소정각도를 가지고 돌출되는 상기 구동 샤프트를 상기 제 1하우징과 함께 커버링하는 제 2하우징;
상기 제 1하우징에서 돌출된 경계선에서부터 임의의 구간에 해당하는 상기 구동 샤프트 외주면을 감싸하는 벨로우즈; 및
상기 구동 샤프트에 동력을 전달하되. 소정 각도를 가지는 구동샤프트의 끝단에 결합되어 동력을 전달받기 위해 마찰되는 구동체의 회전 반경에 대응하여 편심 회전 동력을 공급할 수 있도록 구비되는 동력전달체;를 포함하고,
상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈는 벨로우즈 사이에 비활성 가스가 충진되는 더블 벨로우즈로 구성되며, 그 사이에 충진되는 비활성 가스의 압력을 검출하기 위해 두 개의 벨로우즈 사이에 감지부가 구비되며,
상기 감지부는 상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈 사이에 충진된 비활성 가스의 압력을 검출하거나, 제 1벨로우즈 또는 제 2벨로우즈의 파손으로 인해 비활성 가스의 압력 또는 진공 압력을 검출하기 위한 음압 또는 양압을 감지하는 압력체를 더 포함하여 구성되는 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치.In the vacuum motion transfer device,
A first housing in which a rotatably inwardly rotatable drive shaft is supported by a plurality of bearings and rotatably coupled;
A second housing covering the drive shaft together with the first housing to protrude at a predetermined angle from the first housing to one side;
A bellows surrounding the drive shaft outer circumferential surface corresponding to an arbitrary section from a boundary line protruding from the first housing; And
Transmit power to the drive shaft. And a power transmission body coupled to an end of the driving shaft having a predetermined angle so as to supply eccentric rotational power corresponding to the rotation radius of the driving body that is rubbed to receive power.
The first bellows and the second bellows is composed of a double bellows filled with an inert gas between the bellows, the sensing unit is provided between the two bellows to detect the pressure of the inert gas filled therebetween,
The detector detects a pressure of an inert gas filled between the first bellows and the second bellows, or detects a negative pressure or a positive pressure for detecting a pressure or a vacuum pressure of the inert gas due to breakage of the first bellows or the second bellows. Vacuum operation transmission device composed of a double bellows is configured to further include a pressure body.
외측에 위치하는 제 1벨로우즈와,
상기 제 1벨로우즈를 감싸도록 구비되는 제 2벨로우즈로 각각 구성되어 2중 구조를 가지며,
상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈의 끝단은 서로 용접하여 결합되는 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치.The method of claim 1, wherein the bellows,
The first bellows located outside,
Each of the second bellows provided to surround the first bellows is composed of a double structure,
Ends of the first bellows and the second bellows is a vacuum operation transmission device consisting of a double bellows welded to each other.
양 끝단으로 결합 플랜지를 통해 결합되되, 일측은 상기 제 1하우징과 결합되고, 타측은 상기 구동체와 결합되는 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치.The method of claim 1, wherein the first bellows and the second bellows,
Both ends are coupled through a coupling flange, one side is coupled to the first housing, the other side is composed of a double bellows coupled to the drive body for the vacuum motion transmission device.
상기 제 1하우징에서 돌출된 구간의 구동샤프트를 감싸는 제 2하우징이 상기 제 1하우징에 결합되어 감싸며,
상기 구동샤프트 끝단에 결합된 동력전달체는 상기 구동체가 감싸면서 제 2하우징에 구동 가능하게 결합되는 구조를 가지는 더블 벨로우즈로 구성된 진공용 동작 전달장치.The method of claim 1, wherein the drive body,
The second housing surrounding the drive shaft of the section protruding from the first housing is coupled to the first housing and wrapped,
The power transmission unit coupled to the end of the drive shaft is a vacuum operation transmission device consisting of a double bellows having a structure that is coupled to the second housing so as to be driven to the second housing.
상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈 사이에 충진된 비활성 가스의 압력을 직접적으로 전달받으며,
상기 제 1벨로우즈와 제 2벨로우즈가 정상상태에 있을 때에는 상기 압력체가 일정한 높이를 유지하게 되고,
상기 제 1벨로우즈가 비정상 상태(누설)일 경우 상기 압력체는 대기압 상태에 놓여지게 되어 정상 상태보다 일정 높이 낮게 유지되며,
상기 제 2벨로우즈가 비정상 상태(누설)일 경우 상기 압력체는 저압 상태에 놓여지게 되어 최대 수축 상태를 유지하도록 구성되는 진공용 동작 전달장치.The method of claim 1, wherein the pressure body,
Directly receiving the pressure of the inert gas filled between the first bellows and the second bellows,
When the first bellows and the second bellows are in a steady state, the pressure body maintains a constant height,
When the first bellows is in an abnormal state (leakage), the pressure body is placed in the atmospheric pressure state is maintained lower than a certain height,
And the pressure body is placed in a low pressure state when the second bellows is in an abnormal state (leakage), and is configured to maintain a maximum contraction state.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130094306A KR101369569B1 (en) | 2013-08-08 | 2013-08-08 | Vacuum type power device consisting of double bellows |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020130094306A KR101369569B1 (en) | 2013-08-08 | 2013-08-08 | Vacuum type power device consisting of double bellows |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101369569B1 true KR101369569B1 (en) | 2014-03-06 |
Family
ID=50647375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020130094306A KR101369569B1 (en) | 2013-08-08 | 2013-08-08 | Vacuum type power device consisting of double bellows |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101369569B1 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050022473A (en) * | 2003-09-01 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | Supttering equipment having argon bellows |
| KR100954483B1 (en) * | 2008-03-21 | 2010-04-23 | 한국씰마스타주식회사 | Bellows device having duplex structure |
-
2013
- 2013-08-08 KR KR1020130094306A patent/KR101369569B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| KR20050022473A (en) * | 2003-09-01 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | Supttering equipment having argon bellows |
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