KR101359048B1 - Apparatus of Belt Source Evaporation for OLED and its applications - Google Patents

Apparatus of Belt Source Evaporation for OLED and its applications Download PDF

Info

Publication number
KR101359048B1
KR101359048B1 KR1020070013809A KR20070013809A KR101359048B1 KR 101359048 B1 KR101359048 B1 KR 101359048B1 KR 1020070013809 A KR1020070013809 A KR 1020070013809A KR 20070013809 A KR20070013809 A KR 20070013809A KR 101359048 B1 KR101359048 B1 KR 101359048B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
belt
rotating shaft
roller
tension
drive roller
Prior art date
Application number
KR1020070013809A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20080074534A (en
Inventor
김태완
Original Assignee
김명희
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김명희 filed Critical 김명희
Priority to KR1020070013809A priority Critical patent/KR101359048B1/en
Publication of KR20080074534A publication Critical patent/KR20080074534A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101359048B1 publication Critical patent/KR101359048B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/12—Organic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명은, 대면적 유기소자 제작용 벨트형 증발장치의 제작에 있어서, 냉각기능을 가지는 구동롤러와 보조 구동롤러의 사용으로 금속벨트의 연속구동이 가능하며, 가열된 금속벨트의 냉각이 가능하고, 텐션롤러장치에 의한 금속벨트의 처짐과 이완, 이탈을 방지하여 대면적의 기판에 유기물의 증착이 가능하도록 하는 발명인 동시에, 그 응용으로서 두 개 이상의 벨트증발장치의 구성으로 유기박막의 균일도를 더욱 향상시키는 발명이다.According to the present invention, in the manufacture of a belt type evaporator for manufacturing a large-area organic device, the use of a driving roller and an auxiliary driving roller having a cooling function enables continuous driving of the metal belt, and cooling of the heated metal belt is possible. In addition, the invention prevents sagging, loosening, and detachment of the metal belt by the tension roller device, which enables the deposition of organic material on a large-area substrate. It is an invention to improve.

유기소자, 벨트형 증발장치, 대면적 OLED Organic element, belt type evaporator, large area OLED  

Description

대면적 유기소자 생산용 벨트형 증발장치의 제작과 응용{Apparatus of Belt Source Evaporation for OLED and its applications}Fabrication and Application of Belt-type Evaporator for Large Area Organic Device Production {Apparatus of Belt Source Evaporation for OLED and its applications}

도 1은 벨트형 증발장치의 개념도1 is a conceptual diagram of a belt type evaporator

도 2는 벨트의 구동롤러 장치의 구성도2 is a block diagram of a driving roller device of the belt

도 3는 벨트의 구동롤러의 모양을 나타내는 개념도3 is a conceptual diagram showing the shape of the driving roller of the belt;

도 4(A)는 벨트의 보조 구동롤러 장치의 구성도Figure 4 (A) is a configuration diagram of the auxiliary drive roller device of the belt

도 4(B)는 벨트의 보조 구동롤러의 모양을 나타내는 개념도Figure 4 (B) is a conceptual diagram showing the shape of the auxiliary drive roller of the belt

도 5(A)는 벨트의 처짐을 방지하는 텐션롤러의 모양을 나타내는 개념도 5 (A) is a conceptual diagram showing the shape of the tension roller for preventing the belt from sagging.

도 5(B)는 벨트의 처짐을 방지하는 텐션롤러 장치를 나타내는 측면도Fig. 5B is a side view showing the tension roller device for preventing the belt from sagging.

도 6는 이중의 벨트로 구성되어 유기물의 하향식 증착을 나타내는 증발장치의 개념도6 is a conceptual diagram of an evaporation apparatus composed of a double belt showing a top-down deposition of organic matter;

도 7은 이중의 벨트로 구성되어 유기물의 상향식 증착을 나타내는 증발장치의 개념도7 is a conceptual diagram of an evaporation apparatus composed of a double belt showing a bottom-up deposition of organic matter;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art

10: 유기물 증발원 11: 기판10: organic material evaporation source 11: substrate

12: 면가열장치 13: 금속 벨트12: cotton heater 13: metal belt

14: 구동롤러 15: 보조 구동롤러14: drive roller 15: auxiliary drive roller

16: 텐션롤러 17: 텐션 장치16: tension roller 17: tension device

20: 진공챔버 측부벽 21: 베어링A20: vacuum chamber side wall 21: bearing A

22: 구동롤러 23: 벨트 이탈 방지 날개22: drive roller 23: belt separation prevention wings

24: 냉각수 방 25: 좌측회전축24: coolant room 25: left rotating shaft

26: 페로마그네틱 실링장치27: 베벨기어장치26: ferromagnetic sealing device 27: bevel gear device

28: 냉각수 출입구 29: 우측회전축28: cooling water entrance 29: right rotating shaft

30: 원통형 보조 구동롤러 31: 베어링B30: cylindrical auxiliary drive roller 31: bearing B

32: 고정축 33: 축고정장치32: fixed shaft 33: shaft fixing device

34: 완충용 스프링 35: 스프링 고정장치34: shock absorbing spring 35: spring retainer

36: 진공챔버 상부벽40: 원통형텐션롤러36: vacuum chamber upper wall 40: cylindrical tension roller

41: 텐션롤러 회전축 42: 스프링 홈41: Tension roller rotating shaft 42: Spring groove

43: 벨트 이탈 방지 가이드 44: 베어링C43: Belt separation prevention guide 44: Bearing C

45: 회전축 고정장치 46: 선형 베어링45: rotating shaft fixing device 46: linear bearing

47: 텐션용 스프링 48: 스프링 고정대47: spring for tension 48: spring holder

49: 진공챔버 벽 49: vacuum chamber wall

유기발광소자(OLED ; Organic Light Emitted Diode)는 투명전극이 도포된 유리기판상에 여러층의 유기박막을, 진공챔버 내에서, 증착공정으로 형성한 후, 금속전극을 형성하여, 전기를 통하면, 유기박막에서 발광현상을 가지는 차세대 디스플레이 소자로서, LCD 이후를 대체할 전망을 가지고 있다. 특히 유기박막은 고진공 챔버 내에서, 유기물이 담긴, 도가니를 가열하여, 증발되는 유기물 기체가 유리기판에 박막의 형태로서 형성하게 된다. 이때, 기판의 크기가 더욱 커질 경우, 대면적의 균일한 유기박막을 얻기가 매우 어려우며, 균일도를 약 5% 얻기 위하여, 기판을 회전하면서, 점증발원을 사용하여 유기박막을 코팅할 경우, 유기물의 사용율(약 5%)이 매우 저하되어 고가의 유기물을 낭비하므로, 유기소자의 원가가 상승하기도 한다. 또한, 유기소자에 사용되는 기판은 유리기판으로서, 그 두께가 매우 얇아지는 추세에 있으며, 대면적화 됨에 따라, 유기박막의 균일도도 매우 향상시켜야 한다.An organic light emitting diode (OLED) is formed by depositing a plurality of organic thin films on a glass substrate coated with a transparent electrode in a vacuum chamber by a deposition process, and then forming a metal electrode to conduct electricity. As a next-generation display device having a light emitting phenomenon in an organic thin film, it is expected to replace the LCD. In particular, the organic thin film is heated in the high vacuum chamber, the crucible containing the organic material, and the evaporated organic gas is formed in the form of a thin film on the glass substrate. In this case, when the size of the substrate is further increased, it is very difficult to obtain a uniform organic thin film having a large area, and when the organic thin film is coated by using an evaporation source while rotating the substrate to obtain uniformity of about 5%, Since the utilization rate (about 5%) is very low and expensive organic materials are wasted, the cost of organic devices may increase. In addition, the substrate used in the organic device is a glass substrate, the thickness thereof is tending to be very thin, and as the large area, the uniformity of the organic thin film must also be greatly improved.

최근에 개발된 기술로서, 도1에 도시한 바와 같이, 금속벨트(13)의 하부에, 유기물 증발원(10)이 설치되어, 분출구를 통하여 유기물 기체가 분출되고, 금속벨트의 하부면에 유기물을 상향식으로 1차 증착 코팅하고, 코팅된 벨트형 금속기판을 2개의 롤러장치(14, 16)를 회전하여 이송하여 유기소자용 유리기판상(11)에 유기물을 코팅하기 위하여 벨트형 금속기판의 뒷면을 면히터와 같은 가열장치(12)를 사용하여 가열하여 하향식으로 2차증착을 하게 된다. (참고출원특허: KR, 2005-114511)As a recently developed technology, as shown in FIG. 1, an organic material evaporation source 10 is provided at the lower portion of the metal belt 13, and organic gas is ejected through the ejection port, and organic material is sprayed on the lower surface of the metal belt. The back side of the belt-type metal substrate is coated in order to coat the organic material on the glass substrate 11 for organic devices by transferring the first deposition coating upwardly and rotating the coated belt-type metal substrate by rotating the two roller devices 14 and 16. Secondary deposition is performed by heating using a heating device 12 such as a surface heater in a top-down manner. (Reference Patent: KR, 2005-114511)

도1에서 도시한 바와 같이, 금속벨트(13)는 두 개의 구동롤러 주위를 감싸게 되어 연속구동이 된다. 이때, 구동롤러(14)는 모터에 연결되어 회전이 가능하고, 텐션롤러(16)는 자유 회전이 되도록 하는 것이다. 하지만, 구동롤러가 회전시, 금속벨트에 적당한 마찰을 유도하여, 금속벨트가 연속 회전이 가능하여야 하는데, 금속벨트의 슬립현상이 일어날 가능성이 있다. 이의 방지를 위한 기술로서, 보조구동롤러(15)를 구동롤러의 상부에 설치 하되, 보조 구동롤러는 텐션장치(17)와 연결되어, 구동롤러와 보조 구동 롤러가 적당히 맞닿게 함으로써, 사이에서 움직이는 금속벨트에 충분한 압력을 가하여 회전이 용이 하게 함으로써, 금속벨트의 슬립 또는 미끄러지는 현상을 방지 하게 된다. 또한, 구동롤러가 모터에 의해 회전할 경우, 진공 챔버 벽과의 밀착으로 인해 진공상태가 깨어지는 것을 방지 할 수 있어야 한다. 금속벨트는 면가열장치(12)에 의해 가열이 됨으로 이의 신속한 냉각을 위하여, 구동롤러 내에는 냉각수의 흐름을 만들어 주어야 하기도 하는 것이다. 금속벨트는 회전과 가열 및 냉각을 반복하다가, 늘어나거나 롤러로부터 이탈이 될 수도 있으므로, 이의 방지장치가 필요하기도 하다. 텐션롤러(16)는 텐션장치(17)와 연결되어 금속벨트가 이완되어도, 적당한 스프링 힘으로 금속벨트를 당겨줌으로써, 벨트의 처짐과 이완을 방지하게 되는 것이다.As shown in Figure 1, the metal belt 13 is wrapped around the two drive rollers to be a continuous drive. At this time, the driving roller 14 is connected to the motor to be rotated, the tension roller 16 is to be free rotation. However, when the driving roller rotates, the metal belt should be capable of continuous rotation by inducing proper friction to the metal belt, which may cause slippage of the metal belt. As a technique for preventing this, the auxiliary driving roller 15 is installed on the upper part of the driving roller, but the auxiliary driving roller is connected to the tension device 17, so that the driving roller and the auxiliary driving roller are brought into proper contact with each other. By applying sufficient pressure to the metal belt to facilitate the rotation, it prevents the phenomenon of slipping or slipping of the metal belt. In addition, when the driving roller rotates by the motor, it should be possible to prevent the vacuum state from breaking due to the close contact with the vacuum chamber wall. Since the metal belt is heated by the surface heating device 12, for the rapid cooling thereof, the flow of the cooling water must be made in the driving roller. Since the metal belt may be rotated, heated and cooled repeatedly, and may be stretched or released from the roller, a prevention device thereof may be required. Tension roller 16 is connected to the tension device 17, even if the metal belt is relaxed, by pulling the metal belt with a suitable spring force, to prevent sagging and loosening of the belt.

본 발명은, 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 우선, 도1의 구성에서와 같이 유기소자 생산용 벨트형 증발장치는, 이격되게 배치된 구동롤러와 텐션롤러, 상기 구동롤러 및 상기 텐션롤러를 감싸는 금속벨트, 상기 금속벨트를 사이에 두고 상기 구동롤러와 맞닿아 있는 보조 구동롤러, 상기 금속벨트 내측 하부에 위치되는 가열장치, 및 상기 가열장치가 배치되지 않은 상기 금속벨트의 부분의 외측 하부에 위치되는 유기물증발원으로 구성되며, 상기 텐션롤러와 상기 보조 구동롤러는 각각 텐션장치와 연결된 것을 포함한다.
또한, 도2에 도시한 바와 같이, 금속벨트의 구동을 위한 회전롤러(즉, 구동롤러)는 원통형으로, 양측 단부에 고정축이 형성되어 있으며, 상기 고정축은 베어링B로 축 고정장치에 고정되고, 상기 축 고정장치는 완충용 스프링을 사이에 두고 스프링 고정장치 및 진공챔버의 상부벽에 연결되도록 구성된다. 이를 상세하게 설명하면, 내부에 냉각수가 채워지는 냉각수방(24)을 원통형으로 구성되고, 우측에는 우측회전축(29)이 있어 우측회전축에 베벨기어장치(27)가 고정되어 모터를 통하여 베벨기어장치의 회전을 수행하면, 구동롤러가 회전 구동을 하게되는 것이다. 베벨기어 장치는 이미 상용화 되어 있다. 도3에 도시한 것과 같이, 구동롤러(22)에는 금속벨트가 롤러로부터 이탈하지 않도록 벨트 이탈 방지 날개(23)가 형성되어 있다. 또한, 챔버벽과 진공 실링을 위하여, 우측회전축에는 챔버벽과 베벨기어장치 사이에는 페로 마그네틱 실링(Ferro Magnetic Sealing) 장치(26)가 도2와 같이 구성되어, 대기압의 공기가 진공 용기로 새어 들어가는 것을 방지하게 된다. 페로 마그네틱 실링 장치도 이미 상용화되어 있다. 구동롤러의 좌측회전축(25)은 베어링A(21)와 챔버벽과 연결되어 고정되어, 회전롤러가 회전시 평형을 이루게 되는 것이다. 회전롤러의 우측회전축내부는 냉각수방에 냉각수를 넣기 위하여 관통이 되어 있으며, 냉각수 출입구(28)를 통하여 냉각수를 넣게된다. 회전하는 롤러에는 로터리 조인트(Rotary Joint)를 사용하여 냉각수를 연속적으로 주입을 할 수 있는 것이다.The present invention is to solve the above problems, first, as in the configuration of Figure 1, the belt type evaporation apparatus for organic device production, the drive roller and the tension roller, the drive roller and the tension roller are disposed spaced apart A metal belt wrapped, an auxiliary drive roller which is in contact with the drive roller with the metal belt interposed therebetween, a heating device positioned below the metal belt, and an outer lower part of the portion of the metal belt in which the heating device is not disposed. It is composed of the organic material evaporation source is located, wherein the tension roller and the auxiliary drive rollers each include a connection with the tension device.
In addition, as shown in Figure 2, the rotating roller for driving the metal belt (ie, the driving roller) is cylindrical, fixed shafts are formed at both ends, the fixed shaft is fixed to the shaft fixing device by the bearing B and The shaft fixing device is configured to be connected to the spring fixing device and the upper wall of the vacuum chamber with the buffer spring interposed therebetween. To explain this in detail, the cooling water chamber 24 filled with the cooling water is formed in a cylindrical shape, and on the right side there is a right rotating shaft 29, the bevel gear device 27 is fixed to the right rotating shaft and the bevel gear device through the motor. When the rotation of the drive roller is to drive the rotation. Bevel gear units are already commercially available. As shown in Fig. 3, the drive roller 22 is provided with a belt release preventing blade 23 so that the metal belt does not leave the roller. Also, for the chamber wall and the vacuum sealing, a ferro magnetic sealing device 26 is formed between the chamber wall and the bevel gear device on the right rotating shaft as shown in FIG. Will be prevented. Ferro magnetic sealing devices are already commercially available. The left rotating shaft 25 of the driving roller is connected to and fixed to the bearing A 21 and the chamber wall, so that the rotating roller is in balance when rotating. The inside of the right rotating shaft of the rotary roller is penetrated to put the coolant into the coolant room, and the coolant is introduced through the coolant inlet 28. The rotary roller can be continuously injected with cooling water using a rotary joint.

도4(A)는 보조 구동 롤러 장치에 관한 것으로서, 보조 구동 롤러는 원통형으로, 양측 단부에 고정축이 형성되어 있으며, 상기 고정축은 베어링B로 축 고정장치에 고정되고, 상기 축 고정장치는 완충용 스프링을 사이에 두고 스프링 고정장치 및 진공챔버의 상부벽에 연결되도록 구성된다. 이를 상세하게 설명하면, 도4(B)에 도시된 원통형의 보조 구동 롤러(30)는 축 고정장치(33)에 고정되고, 축고정장치는 완충용 스프링(34)을 사이에 두고, 스프링 고정장치(35)와 진공 챔버의 상부벽(36)과 연결하게 된다. 이때, 원통형 보조 구동 롤러(30)는 베어링B(31)를 사이에 두고 고정축(32)에 씌워 있으므로, 고정축상에서 자유로이 회전이 가능한 것이다. 또한, 원통형 보조 구동 롤러는 구동롤러(22)의 몸체위에 놓여서 회전이 가능하게 되는 것이다. 완충용 스프링은 적당한 완충력이 있어서, 원통형 보조 구동롤러를 구동 롤러쪽으로 밀어주는 효과가 발생하여, 구동롤러(22)와 원통형 보조 구동롤러(30) 사이에 놓이는 금속벨트를 눌러주면서 회전 이송이 가능하게 하는 것이다. 즉, 금속벨트의 미끄러짐의 발생이 억제되는 효과를 주게 된다.4 (A) relates to the auxiliary drive roller device, wherein the auxiliary drive roller is cylindrical, and fixed shafts are formed at both ends thereof, and the fixed shaft is fixed to the shaft fixing device by bearing B, and the shaft fixing device is buffered. It is configured to be connected to the spring holding device and the upper wall of the vacuum chamber with a spring interposed therebetween. To explain this in detail, the cylindrical auxiliary drive roller 30 shown in Fig. 4B is fixed to the shaft fixing device 33, and the shaft fixing device has a spring 34 for cushioning therebetween, and the spring is fixed. It is connected to the device 35 and the top wall 36 of the vacuum chamber. At this time, since the cylindrical auxiliary drive roller 30 is covered on the fixed shaft 32 with the bearing B 31 therebetween, the cylindrical auxiliary drive roller 30 can be freely rotated on the fixed shaft. In addition, the cylindrical auxiliary drive roller is to be rotated on the body of the drive roller (22). The shock absorbing spring has a moderate cushioning force, which causes the cylindrical auxiliary drive roller to be pushed toward the drive roller, thereby allowing rotational conveyance while pressing the metal belt placed between the drive roller 22 and the cylindrical auxiliary drive roller 30. It is. That is, the effect of the occurrence of the sliding of the metal belt is suppressed.

도5(A)는 텐션롤러(40)장치를 도시한 것으로서, 텐션롤러는 원통형으로, 몸체 양단부에는 스프링 홈이 구성된 텐션롤러 회전축이 구비되며, 몸체와 회전축 경계부위에는 벨트 이탈 방지가이드가 구성되어 있고, 상기 회전축은 베어링C로 회전축 고정장치에 연결되며, 상기 회전축 고정장치는 선형베어링에 연결되고, 상기 회전축은 스프링홈과 연결된 텐션용 스프링에 의해 스프링 고정대와 연결되어 진공 챔버벽에 연결되도록 구성된다. 이를 상세하게 설명하면, 원통형의 텐션롤러(40)는 벨트이탈 방지 가이드(43)가 구성되어 있으며, 베어링C(44)를 사이에 두고 텐션롤러 회전축(41)에 고정되므로, 자유로이 회전이 가능하도록 구성된다. 텐션롤러 회전축(41)은 도5(B)에서와 같이, 회전축 고정장치(45)에 고정되고, 회전축고정장치는 선형 베어링(46)에 놓여져 있으므로, 원통형 텐션롤러가 선형베어링 상에서 자유로이 선형 움직임이 가능하게 되는 것이다. 선형베어링은 "직동 가이드"로서 이미 상용화 되어 있다. 또한 텐션용 스프링(47)이 진공 챔버벽(49)에 고정된 스프링 고정대(48)와 텐션롤러 회전축상에 형성된 스프링홈(42)에 연결되어 있으므로, 금속벨트가 처지거나, 이완될 경우, 스프링의 힘으로, 적당히 벨트를 당겨주는 효과가 발생되므로, 금속벨트는 항상 텐션을 유지하게 되어, 처짐이 없이 평형을 유지하면서, 회전 이송이 가능하게 되는 것이다.Figure 5 (A) shows the tension roller 40 device, the tension roller is cylindrical, both ends of the body is provided with a tension roller rotation axis configured with a spring groove, the body and the rotation axis boundary portion is configured to prevent the belt separation The rotating shaft is connected to the rotating shaft fixing device by the bearing C, the rotating shaft fixing device is connected to the linear bearing, and the rotating shaft is connected to the spring chamber by the tension spring connected to the spring groove and connected to the vacuum chamber wall. do. In detail, the cylindrical tension roller 40 is configured to prevent the belt release guide 43, and is fixed to the tension roller rotation shaft 41 with the bearing C 44 therebetween, so as to allow free rotation. It is composed. As the tension roller rotating shaft 41 is fixed to the rotating shaft fixing device 45 as shown in Fig. 5 (B), and the rotating shaft fixing device is placed on the linear bearing 46, the cylindrical tension roller is free to linearly move on the linear bearing. It becomes possible. Linear bearings are already commercialized as "direct guides". In addition, since the tension spring 47 is connected to the spring holder 48 fixed to the vacuum chamber wall 49 and the spring groove 42 formed on the tension roller rotation shaft, when the metal belt sag or relaxes, the spring With the force of, the effect of pulling the belt properly is generated, so that the metal belt is always kept in tension, and it is possible to rotate feed while maintaining the equilibrium without sagging.

이상과 같이 구성된 금속벨트장치를 도6에 도시한 바와 같이, 두 개의 금속벨트가 상하로 평행하게 구비된 금속벨트장치로 구성하면, 유기물 증발원에서 최초에 증착된 유기박막의 형태가 불균일한 상태로 벨트면에 구성되더라도, 유기물의 면증발을 두번 유도하게 되므로, 더욱 균일하게 기판에 증발을 발생시켜 더욱 높은 유기박막의 균일도를 얻게 되는 것이다. 도6에는 기판이 맨 하부에 놓이게 되므로, 하향식 면증발 장치의 개념을 나타내었으며, 도7에는 두 개의 금속벨트가 상하로 평행하게 구비된 금속벨트장치로서, 두 개의 금속벨트의 이송방향이 반대가 되도록 구성하여 상부에 놓인 기판에 유기물 증착이 가능한 상향식 면증발 장치의 개념을 도시한 것이다.As shown in FIG. 6, when the metal belt device configured as described above is constituted by a metal belt device having two metal belts arranged up and down in parallel, the shape of the organic thin film initially deposited from the organic material evaporation source is uneven. Even if it is configured on the belt surface, the surface evaporation of the organic material is induced twice, so that evaporation is more uniformly generated on the substrate to obtain a higher uniformity of the organic thin film. 6 shows the concept of a top-down surface evaporation apparatus because the substrate is placed at the bottom, and FIG. 7 is a metal belt apparatus provided with two metal belts parallel to each other, and the conveying direction of the two metal belts is opposite. It shows a concept of a bottom-up surface evaporation apparatus that can be configured to be organic deposition on the substrate placed on top.

상기와 같이, 유기소자 제작용 벨트형 증발장치의 제작에 있어서, 냉각기능을 가지는 구동롤러와 보조 구동롤러의 사용으로 금속벨트의 연속구동이 가능하며, 가열된 금속벨트의 냉각이 가능하고, 텐션롤러장치에 의한 금속벨트의 처짐과 이완, 이탈을 방지하여 대면적의 기판에 유기물의 증착이 가능하도록 하는 발명인 동시에, 두 개 이상의 벨트증발장치의 구성으로 유기박막의 균일도를 향상시키는 효과를 가진다.As described above, in the fabrication of the belt type evaporator for manufacturing an organic device, the use of a drive roller and an auxiliary drive roller having a cooling function enables continuous driving of the metal belt, cooling of the heated metal belt, and tension The invention prevents the deflection, loosening, and detachment of the metal belt by the roller device so that the organic material can be deposited on a large-area substrate, and at least two belt evaporation devices have the effect of improving the uniformity of the organic thin film.

Claims (5)

이격되게 배치된 구동롤러와 텐션롤러, 상기 구동롤러 및 상기 텐션롤러를 감싸는 금속벨트, 상기 금속벨트를 사이에 두고 상기 구동롤러와 맞닿아 있는 보조 구동롤러, 상기 금속벨트의 내측 하부에 위치되는 가열장치, 및 상기 가열장치가 배치되지 않은 상기 금속벨트의 부분의 외측 하부에 위치되는 유기물증발원으로 구성되며, 상기 텐션롤러와 상기 보조 구동롤러는 각각 텐션장치와 연결되는 것을 특징으로 하는 유기소자 생산용 벨트형 증발장치.Drive rollers and tension rollers spaced apart, a metal belt surrounding the drive roller and the tension roller, an auxiliary drive roller in contact with the drive roller with the metal belt interposed therebetween, heating located in the inner lower portion of the metal belt And an organic material evaporation source located at an outer lower portion of the portion of the metal belt in which the heating device is not disposed, wherein the tension roller and the auxiliary driving roller are connected to the tension device, respectively. Belt type evaporator. 제 1 항에 있어서, 상기 구동롤러는 The method of claim 1, wherein the drive roller 원통형으로, 몸체 내부에 냉각수가 채워지는 냉각수 방이 구비되고, 좌·우측에는 회전축이 있으며, 상기 우측 회전축에는 냉각수 출입구가 있고, 상기 회전축과 몸체 경계부위에는 벨트 이탈 방지 날개가 형성되어 있으며, 상기 우측 회전축에 베벨기어장치가 고정되고, 진공챔버의 일측부벽과 상기 베벨기어장치 사이에는 페로 마그네틱 실링 장치가 배치되며, 상기 좌측 회전축은 진공챔버의 타측부벽에 베어링A로 연결되어 구성되는 것을 특징으로 하는 유기소자 생산용 벨트형 증발장치.Cylindrical, the cooling water chamber is filled with the cooling water inside the body, the left and right has a rotating shaft, the right rotating shaft has a cooling water inlet, the rotary shaft and the body boundary portion is formed to prevent the belt departure, the right A bevel gear device is fixed to the rotating shaft, and a ferro magnetic sealing device is disposed between one side wall of the vacuum chamber and the bevel gear device, and the left rotating shaft is connected to the other side wall of the vacuum chamber by bearing A. Belt type evaporator for organic device production. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 구동롤러는 The method of claim 1, wherein the auxiliary drive roller 원통형으로, 양측 단부에 고정축이 형성되어 있으며, 상기 고정축은 베어링B로 축 고정장치에 고정되고, 상기 축 고정장치는 완충용 스프링을 사이에 두고 스프링 고정장치 및 진공챔버의 상부벽에 연결되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유기소자 생산용 벨트형 증발장치.Cylindrical, fixed shafts are formed at both ends, and the fixed shafts are fixed to the shaft holders by bearing B, and the shaft holders are connected to the spring holders and the upper wall of the vacuum chamber with the buffer springs interposed therebetween. Belt type evaporator for organic device production, characterized in that configured. 제 1 항에 있어서, 상기 텐션롤러는The method of claim 1, wherein the tension roller 원통형으로, 몸체 양단부에는 스프링 홈이 구성된 텐션롤러 회전축이 구비되며, 몸체와 회전축 경계부위에는 벨트 이탈 방지가이드가 구성되어 있고, 상기 회전축은 베어링C로 회전축 고정장치에 연결되며, 상기 회전축 고정장치는 선형베어링에 연결되고, 상기 회전축은 스프링홈과 연결된 텐션용 스프링에 의해 스프링 고정대와 연결되어 진공 챔버벽에 연결되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유기소자 생산용 벨트형 증발장치.Cylindrical, both ends of the body is provided with a tension roller rotation shaft consisting of a spring groove, the belt and the belt separation prevention guide is configured at the boundary between the body and the rotating shaft, the rotating shaft is connected to the rotating shaft fixing device with a bearing C, the rotating shaft fixing device Is connected to the linear bearing, the rotating shaft is connected to the spring holder by a tension spring connected to the spring groove is connected to the vacuum chamber wall, characterized in that the belt type evaporator for organic device production. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 2개 이상의 금속벨트가 상하로 평행하게 구성되는 것을 특징으로 하는 유기소자 생산용 벨트형 증발장치.The belt type evaporator according to any one of claims 1 to 4, wherein at least two or more metal belts are configured to be parallel to each other.
KR1020070013809A 2007-02-09 2007-02-09 Apparatus of Belt Source Evaporation for OLED and its applications KR101359048B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070013809A KR101359048B1 (en) 2007-02-09 2007-02-09 Apparatus of Belt Source Evaporation for OLED and its applications

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070013809A KR101359048B1 (en) 2007-02-09 2007-02-09 Apparatus of Belt Source Evaporation for OLED and its applications

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080074534A KR20080074534A (en) 2008-08-13
KR101359048B1 true KR101359048B1 (en) 2014-02-05

Family

ID=39883851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070013809A KR101359048B1 (en) 2007-02-09 2007-02-09 Apparatus of Belt Source Evaporation for OLED and its applications

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101359048B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114476568B (en) * 2022-04-07 2022-07-08 陕西欧亚桥能源科技有限公司 Automatic conveyer in colliery

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060028105A (en) * 2004-09-24 2006-03-29 두산디앤디 주식회사 Automatic wire supply feeder for evaporator

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060028105A (en) * 2004-09-24 2006-03-29 두산디앤디 주식회사 Automatic wire supply feeder for evaporator

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080074534A (en) 2008-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101254335B1 (en) In-line equipment using metal-plate belt source for OLED manufacturing
KR101281909B1 (en) Thin film deposition device
JP5206908B2 (en) Winding film forming system
KR101370214B1 (en) Manufacturing equipment using belt source for flexible OLED and white OLED
US9828205B2 (en) Glass film transfer apparatus
US20070281089A1 (en) Systems and methods for roll-to-roll atomic layer deposition on continuously fed objects
TWI628135B (en) Film peeling apparatus
US9687868B2 (en) Rolled film formation apparatus
TWI691111B (en) Substrate stretching unit, film forming device, and method for manufacturing film and organic electronic device
TWI615344B (en) Deposition source transporting apparatus
KR20180100563A (en) Apparatus and method for continuous evaporation with side by side substrates
US20150110960A1 (en) Roller device for vacuum deposition arrangement, vacuum deposition arrangement with roller and method for operating a roller
KR101359048B1 (en) Apparatus of Belt Source Evaporation for OLED and its applications
WO2017101971A1 (en) Processing system for two-side processing of a substrate and method of two-side processing of a substrate
KR101856110B1 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
KR100767026B1 (en) Belt type plane evaporation source for oled deposition
KR101595005B1 (en) Thermal evaporation apparatus in inle type
US20130068160A1 (en) Evaporation device and evaporation apparatus
KR102239065B1 (en) a conducting apparatus for a flexible substrate
KR101763176B1 (en) Apparatus for producing gas barrier film by vacuum deposition
KR20130139821A (en) Manufacturing equipment using belt source for flexible oled and white oled
CN108123068B (en) Roll-to-roll manufacturing system with rotating unit
KR101200593B1 (en) Roller system for substrate moving in OLED manufacturing
KR20150042053A (en) Linear deposition unit and deposition apparutus coprising the same
JP2016050131A (en) Production method of film-attached glass substrate

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170127

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180117

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190221

Year of fee payment: 6