KR101354135B1 - Fan filter unit - Google Patents
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Abstract
본 발명의 팬필터유닛은, 팬하우징; 상기 팬하우징의 내부에 설치되는 송풍팬; 및 공기 중의 부유 입자를 여과하도록 상기 팬하우징에 설치되는 필터;를 포함하되, 상기 송풍팬과 필터 사이에는 에어 가이드가 설치되는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 송풍팬과 필터 사이에 복수의 에어 가이드를 설치하여 팬필터유닛 내부에서 발생하는 기류를 안정시킴으로써 필터를 통과하는 토출 공기의 기류 균일도를 향상시키는 효과가 있다.
Fan filter unit of the present invention, the fan housing; A blowing fan installed inside the fan housing; And a filter installed in the fan housing to filter suspended particles in the air, wherein an air guide is installed between the blower fan and the filter.
Accordingly, a plurality of air guides are provided between the blower fan and the filter to stabilize the airflow generated inside the fan filter unit, thereby improving the airflow uniformity of the discharged air passing through the filter.
Description
본 발명은 팬필터유닛에 관한 것으로 , 더욱 상세하게는 필터를 통과하는 토출 공기의 기류 균일도를 향상시키는 팬필터유닛에 관한 것이다.
The present invention relates to a fan filter unit, and more particularly, to a fan filter unit for improving the airflow uniformity of the discharged air passing through the filter.
일반적으로 클린룸(CleanRoom; CR)이란 생산 공정에서 중대한 방해를 초래하는 공기 중의 부유 입자(particle)를 제거하기 위한 것으로서, 공기 중의 부유하는 입자뿐만 아니라 온도, 습도, 공기압, 정전기 제어 등이 환경적으로 제어되는 밀폐된 공간이다In general, a clean room (CR) is used to remove airborne particles that cause significant interference in the production process. In addition to airborne particles, temperature, humidity, air pressure, static electricity control, etc. It is a closed space controlled by
이러한 클린룸의 천장을 이루는 씰링 플로어(ceiling floor)에는 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit; FFU)이 설치되어 있고, 바닥은 기초 구조물 바닥면인 베이스로부터 들어 올려진 위치에 액세스 플로어가 설치된 구조로 형성된다. 액세스 플로어는 베이스 상에 이격되어 지지되는 빔 구조물에 다수의 블록이 형성되고, 각 블록에 다수개의 구멍이 형성된 천공 패널 또는 막힌 블라인드 패널이 혼합 배치된 형태로서 클린룸 전체의 기류 흐름을 고려하여 패널들이 배치된다.A fan filter unit (FFU) is installed on a sealing floor that forms the ceiling of the clean room, and the floor is formed of a structure in which an access floor is installed at a position raised from the base, which is the bottom of the foundation structure. do. The access floor is formed by mixing a plurality of blocks in a beam structure that is spaced apart and supported on a base, and a perforated panel or a blind window panel formed with a plurality of holes in each block, in consideration of the airflow of the entire clean room. Are placed.
전술한 구성 중 팬필터유닛은 토출 공기로 먼지를 액세스 플로어 하부로 쓸어내리는 역할을 담당하게 된다.In the above-described configuration, the fan filter unit plays a role of sweeping dust down into the access floor with discharged air.
더욱이, 생산 장비 또는 설치가 곤란한 부분에는 소형이고 얇은 팬필터유닛의 일종인 EFU(Equipment Fan Filter Unit)가 설치된다.
Furthermore, an equipment fan filter unit (EFU), which is a kind of small and thin fan filter unit, is installed in a production equipment or a part that is difficult to install.
이하, 도 1을 참고하여 종래기술에 따른 팬필터유닛을 설명한다.Hereinafter, a fan filter unit according to the related art will be described with reference to FIG. 1.
도 1에 도시한 바와 같이, 종래기술에 따른 팬필터유닛(10)은, 클린룸에서 구획프레임으로 형성된 씰링 플로어에 탑재되며 팬필터유닛(10)의 외형을 이루는 팬하우징(11)과, 상기 팬하우징(11)의 내부에 설치되어 클린룸으로 정화된 토출 공기를 공급하도록 회전하는 송풍팬(12) 및 공기 중의 부유 입자를 여과하도록 상기 팬하우징(11)에 설치되는 필터(13)로 구성된다.As shown in FIG. 1, the
이때, 상기 송풍팬(12)은 모터(14)의 구동력으로 회전이 이루어진다.At this time, the blowing
그러나, 종래기술의 팬필터유닛(10)은 고객의 요구 및 설치장소 확보 및 설치의 용이함을 위해 슬림하게 제조하기 위하여 팬하우징(10)의 높이를 낮게 형성하는 경우에는 필터(13)를 통과하는 토출 공기의 기류가 균일하지 않으며 풍속도 높아지게 되어 균일하지 않은 토출 공기의 기류로 인해 회전하는 와류공기가 발생하는 문제점이 있었다.However, the
즉, 필터(13)를 통과하는 토출 와류공기에 의해 부유 입자를 액세스 플로어 하부로 빠르게 쓸어내지 못하고 클린룸 내에 머물게 된다.In other words, the discharged vortex air passing through the
이와 반대로 고객은 필터(13)를 통과하는 토출 공기가 높은 수준의 기류 균일도를 가지도록 구성된 팬필터유닛을 요구하는 경우에는 팬하우징(11), 특히 팬필터유닛(10)의 전체적인 높이가 높아지는 문제점이 있었다.On the contrary, when the customer requests a fan filter unit configured to have a high level of airflow uniformity of the discharged air passing through the
결국, 종래기술의 팬필터유닛(10)은 필터(13)를 통과하는 토출 공기의 기류 균일도를 확보하도록 팬필터유닛(10)을 높게 형성하거나, 기류 균일도가 나빠지더라도 슬림한 외형과 빠른 풍속을 확보하도록 팬필터유닛(10)의 높이를 낮게 형성하도록 선택할 수밖에 없으므로 고객의 모든 요구를 만족할 수 없었다.As a result, the
즉, 종래기술의 팬필터유닛(10)은 기류 균일도와 슬림한 외형 및 빠른 풍속을 모두 확보하기 어려운 구조적 문제점이 있었다.That is, the
따라서, 토출 공기의 기류 균일도를 향상시키면서 팬필터유닛의 전체적인 높이를 낮추어 슬림하게 제조할 있는 개선된 팬필터유닛의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
Therefore, there is a demand for the development of an improved fan filter unit which can be manufactured slim by lowering the overall height of the fan filter unit while improving the airflow uniformity of the discharged air.
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 필터를 통과하는 토출 공기의 기류 균일도를 향상시키는 팬필터유닛을 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a fan filter unit for improving the airflow uniformity of the discharged air passing through the filter.
또한, 본 발명의 다른 목적은 팬필터유닛의 전체적인 높이를 낮추어 슬림하게 제조할 수 있는 팬필터유닛을 제공하는데 있다.
In addition, another object of the present invention to provide a fan filter unit that can be manufactured slim by lowering the overall height of the fan filter unit.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 팬필터유닛은, 팬하우징; 상기 팬하우징의 내부에 설치되는 송풍팬; 및 공기 중의 부유 입자를 여과하도록 상기 팬하우징에 설치되는 필터;를 포함하되, 상기 송풍팬과 필터 사이에는 에어 가이드가 설치되는 것을 특징으로 한다.Fan filter unit of the present invention for achieving the above object, the fan housing; A blowing fan installed inside the fan housing; And a filter installed in the fan housing to filter suspended particles in the air, wherein an air guide is installed between the blower fan and the filter.
또한, 상기 에어 가이드는 상기 송풍팬의 토출 방향을 따라 제1에어 가이드와 제2에어 가이드가 각각 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the air guide is characterized in that the first air guide and the second air guide is installed in the discharge direction of the blowing fan, respectively.
또한, 상기 제2어에 가이드는 상기 팬하우징의 내측 상단에 형성된 사방향 가이드와 일체형으로 형성되거나 단품으로 구성되어 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the second guide is characterized in that the guide is formed integrally with the four-way guide formed on the inner upper end of the fan housing or installed as a single piece.
또한, 상기 에어 가이드는 그 중심부를 기준으로 만곡(彎曲)한 곡면으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the air guide is characterized in that it is composed of a curved surface (彎曲) on the basis of the center.
또한, 상기 송풍팬에는 제3에어 가이드가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the blowing fan is characterized in that the third air guide is provided.
또한, 상기 제3에어 가이드의 끝단은 상향 절곡되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the end of the third air guide is bent upwardly.
본 발명에 따른 팬필터유닛에 따르면, 송풍팬과 필터 사이에 복수의 에어 가이드를 설치하여 팬필터유닛 내부에서 발생하는 기류를 안정시킴으로써 필터를 통과하는 토출 공기의 기류 균일도를 향상시키는 효과가 있다.According to the fan filter unit according to the present invention, by installing a plurality of air guides between the blowing fan and the filter to stabilize the air flow generated inside the fan filter unit, there is an effect of improving the uniformity of the air flow of the discharged air passing through the filter.
즉, 필터를 통과하는 토출 공기의 기류 균일도가 향상되어 공기 중의 부유 입자를 액세스 플로어 하부로 빠르게 쓸어내리게 된다.In other words, the uniformity of the air flow of the discharged air passing through the filter is improved, and the suspended particles in the air are quickly swept down to the access floor.
또한, 팬필터유닛의 전체적인 높이를 낮추어 슬림하여도 기류 균일도는 큰 변화없이 안정되도록 제조할 수 있다.In addition, even by slimming down the overall height of the fan filter unit, the airflow uniformity can be manufactured to be stable without large changes.
즉, 생산 장비 또는 설치가 곤란한 부분에도 쉽게 설치할 수 있다. 특히, 소형이고 얇은 팬필터유닛의 일종인 EFU(Equipment Fan Filter Unit)를 더욱 슬림하게 제조할 수 있게 된다.That is, it can be installed easily even in production equipment or a part which is difficult to install. In particular, the EFU (Equipment Fan Filter Unit), which is a kind of compact and thin fan filter unit, can be manufactured more slim.
따라서, 본 발명의 팬필터유닛은 필터를 통과하는 토출 공기의 기류 균일도를 확보함과 동시에 슬림한 외형과 빠른 풍속을 확보하도록 팬필터유닛의 높이를 낮게 형성할 수 있어 고객의 모든 요구를 만족할 수 있으므로 상품성이 향상된다.Therefore, the fan filter unit of the present invention can form a low height of the fan filter unit to ensure a uniform air flow of the discharged air passing through the filter and at the same time to ensure a slim appearance and fast wind speed can meet all the needs of customers Therefore, the merchandise is improved.
즉, 기류 균일도와 슬림한 외형 및 빠른 풍속을 모두 만족한다.
That is, it satisfies both airflow uniformity, slim appearance and fast wind speed.
도 1은 종래기술에 따른 팬필터유닛을 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 팬필터유닛을 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 팬필터유닛의 기류 흐름으로 보여주는 단면도이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명에 따른 팬필터유닛의 참고도이다.1 is a cross-sectional view showing a fan filter unit according to the prior art.
2 is a cross-sectional view showing a fan filter unit according to the present invention.
3 is a cross-sectional view showing the air flow of the fan filter unit according to the present invention.
4 to 6 are reference diagrams of the fan filter unit according to the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 팬필터유닛을 도시한 단면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 팬필터유닛의 기류 흐름으로 보여주는 단면도이며. 도 4 내지 도 6은 본 발명에 따른 팬필터유닛의 참고도이다.2 is a cross-sectional view showing a fan filter unit according to the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view showing the air flow of the fan filter unit according to the present invention. 4 to 6 are reference diagrams of the fan filter unit according to the present invention.
도 2 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 클린룸에서 구획프레임으로 형성된 시링 플로어에 설치되는 팬필터유닛(FFU)은, 외형을 이루며 내부에 설치공간이 형성되는 팬하우징(100)과, 상기 팬하우징(100)의 내부에 설치되어 클린룸으로 정화된 토출 공기를 공급하도록 회전하는 송풍팬(200) 및 공기 중의 부유 입자를 여과하도록 상기 팬하우징(100)에 설치되는 필터(300)로 구성된다.As shown in Fig. 2 to 6, the fan filter unit (FFU) is installed on the siring floor formed as a partition frame in the clean room according to the present invention, the
이때, 상기 송풍팬(200)은 모터(210)의 구동에 의해 회전하게 되며, 상기 송풍팬(200)은 임펠러의 회전에 의해 송풍팬(200)의 측면으로 공기를 토출하게 된다.At this time, the blowing
또한, 상기 송풍팬(200)과 필터(300) 사이에는 에어 가이드(400)가 설치된다.In addition, an
그리고, 상기 에어 가이드(400)는 상기 송풍팬(200)의 토출 방향을 따라 제1에어 가이드(410)와 제2에어 가이드(420)가 각각 설치된다.The
한편, 상기 제2어에 가이드(420)는 상기 팬하우징(100)의 내측 상단에는 목조가옥의 지붕 처마 형식으로 둘러싸여 지는 형상으로 형성된 사방향 가이드(110)와 일체형으로 형성되거나 단품으로 구성되어 설치된다.On the other hand, the
또한, 상기 에어 가이드(400)는 그 중심부를 기준으로 만곡(彎曲)한 곡면으로 구성된다.In addition, the
그리고, 상기 송풍팬(200)에는 제3에어 가이드(500)가 구비되어, 토출 공기를 팬하우징(100)의 상측으로 이동 및 상기 에어 가이드(400) 측으로 안내하는 역할을 담당하게 된다.In addition, the
한편, 상기 제3에어 가이드(500)의 끝단은 상향으로 절곡된다.On the other hand, the end of the
이에 따라, 본 발명의 팬필터유닛(FFU)은 상기 송풍팬(200)과 필터(300) 사이에 에어 가이드(400)를 설치하여 상기 필터(300)를 통과하는 토출 공기의 기류 균일도가 하기 [표 1]과 같이 종래기술의 팬필터유닛(10)에 대비하여 향상된다.
Accordingly, in the fan filter unit (FFU) of the present invention, an
[표 1]은 종래기술과 본 발명의 팬필터유닛의 토출 공기의 기류 균일도 표준편차를 시험한 결과로써, 종래기술의 팬필터유닛(10)의 기류 균일도 표준편차는 0.1309이고 본 발명의 팬필터유닛(FFU)의 기류 균일도 표준편차는 0.0857에 불과하여 종래기술 대비 본 발명의 토출 공기의 기류 균일도가 향상됨을 알 수 있다.Table 1 shows the results of testing the standard deviation of the uniformity of the airflow of the discharged air of the fan filter unit of the prior art and the present invention. The standard deviation of the uniformity of the airflow of the
즉, 종래대비 본 발명의 팬필터유닛(FFU)의 토출 공기 기류 균일도 표준편차가 34.5% 낮아짐을 알 수 있다. 이는 상기 팬하우징(100)의 최 외과 공기의 흐름을 에어 가이드(400)로 팬하우징(100) 중간부로 강제 유도할 수 있어 팬하우징(100)의 중간부와 팬하우징(100)의 최 외곽 토출 공기의 편차가 낮아지기 때문이다.That is, it can be seen that the standard deviation of the uniformity of discharge air flow uniformity of the fan filter unit (FFU) according to the present invention is lowered by 34.5%. This can forcibly induce the flow of the most surgical air of the fan housing 100 to the middle of the
결국, 상기 필터(300)를 통과하는 토출 공기의 기류 균일도가 향상되어 공기 중의 부유 입자를 액세스 플로어 하부로 빠르게 쓸어내리게 된다.As a result, the uniformity of the air flow of the discharged air passing through the
또한, 상기 에어 가이드(400)에 의해 기류 균일도를 확보함에 따라 본 발명의 팬필터유닛(FFU)의 전체적인 높이를 낮추어 슬림하게 제조할 수 있다.In addition, as the airflow uniformity is secured by the
이는, 상기 팬필터유닛(FFU)의 전체적인 높이가 낮아짐에 따라 기류 균일도가 낮아지는 것을 상기 에어 가이드(400)에 의해 상쇄시키기 때문이다.This is because the
즉, 생산 장비 또는 설치가 곤란한 부분에도 쉽게 설치할 수 있다. 특히, 소형이고 얇은 팬필터유닛의 일종인 EFU(Equipment Fan Filter Unit)를 더욱 슬림하게 제조할 수 있게 된다.That is, it can be installed easily even in production equipment or a part which is difficult to install. In particular, the EFU (Equipment Fan Filter Unit), which is a kind of compact and thin fan filter unit, can be manufactured more slim.
따라서, 본 발명의 팬필터유닛(FFU)은 상기 필터(300)를 통과하는 토출 공기의 기류 균일도를 확보함과 동시에 슬림한 외형과 빠른 풍속을 확보하도록 팬필터유닛(FFU)의 높이를 낮게 형성할 수 있어 고객의 모든 요구를 만족할 수 있으므로 상품성이 향상된다.
Therefore, the fan filter unit (FFU) of the present invention is formed to lower the height of the fan filter unit (FFU) to ensure the uniformity of the air flow of the discharged air passing through the
이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail, the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but should be construed according to the claims. It will be understood by those skilled in the art that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.
FFU - 팬필터유닛 100 - 팬하우징
200 - 송풍팬 300 - 필터
400 - 에어 가이드FFU-Fan Filter Unit 100-Fan Housing
200-Blower Fan 300-Filter
400-Air Guide
Claims (6)
상기 팬하우징의 내부에 설치되며 측면으로 공기를 토출하는 송풍팬; 및
공기 중의 부유 입자를 여과하도록 상기 팬하우징에 설치되는 필터;를 포함하되,
상기 송풍팬과 필터 사이에는 에어 가이드가 설치되고,
상기 에어 가이드는 상기 송풍팬의 토출 방향을 따라 제1에어 가이드와 제2에어 가이드가 각각 설치되며,
상기 제2에어 가이드는 상기 팬하우징의 내측 상단에 형성된 사방향 가이드와 일체형으로 형성되거나 단품으로 구성되어 설치되고,
상기 송풍팬에는 끝단이 상향 절곡된 제3에어 가이드가 구비되는 것을 특징으로 하는 팬필터유닛.
Fan housing;
A blowing fan installed inside the fan housing and discharging air to a side thereof; And
And a filter installed in the fan housing to filter suspended particles in air.
An air guide is installed between the blowing fan and the filter,
The air guide is provided with a first air guide and a second air guide respectively along the discharge direction of the blowing fan,
The second air guide is formed integrally with the four-way guide formed on the inner upper end of the fan housing or installed as a single piece,
The blower fan is a fan filter unit, characterized in that provided with a third air guide bent upward end.
상기 에어 가이드는 그 중심부를 기준으로 만곡(彎曲)한 곡면으로 구성되는 것을 특징으로 하는 팬필터유닛
The method of claim 1,
The air guide is a fan filter unit, characterized in that consisting of a curved surface (彎曲) on the basis of the center
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Legal Events
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
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