KR101346939B1 - Method and apparatus of making glass substrate - Google Patents

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아반스트레이트코리아 주식회사
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Abstract

글라스판의 제조 방법은, 글라스 원료를 용해해서 용융 글라스를 얻는 용해 공정과, 상기 용융 글라스를, 성형로 내에 설치된 성형체에 공급해서 글라스 리본을 성형하고, 상기 글라스 리본의 흐름을 만드는 성형 공정과, 상기 글라스 리본을, 서랭로 내에 설치된 롤러로 견인해서 상기 서랭로 내에서 냉각하는 서랭 공정과, 냉각된 상기 글라스 리본을 글라스 리본 절단 공간 내에서 절단하는 글라스 리본 절단 공정과, 절단된 상기 글라스 리본의 폭 방향의 양단부에 형성된 귀부를 귀부 절단 공간에서 절단하는 귀부 절단 공정을 포함한다. 상기 글라스 리본 절단 공간의 기압이 상기 귀부 절단 공간의 기압에 대하여 높아지도록, 상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간 중 적어도 한쪽의 기압은 조정되고 있다.The manufacturing method of a glass plate includes the melting process of melt | dissolving a glass raw material, and obtaining a molten glass, the shaping process of supplying the said molten glass to the molded object provided in the shaping | molding furnace, shape | molding a glass ribbon, and making the flow of the said glass ribbon, A slow cooling step of pulling the glass ribbon with a roller provided in the slow cooling furnace to cool the inside of the slow cooling furnace, a glass ribbon cutting step of cutting the cooled glass ribbon in a glass ribbon cutting space, and the cut of the cut glass ribbon. An ear cutting process which cuts the ear part formed in the both ends of the width direction in an ear cutting space. At least one air pressure of the glass ribbon cutting space and the ear cutting space is adjusted so that the air pressure of the glass ribbon cutting space increases with respect to the air pressure of the ear cutting space.

Description

글라스판의 제조 방법 및 글라스판 제조 장치{METHOD AND APPARATUS OF MAKING GLASS SUBSTRATE}Glass plate manufacturing method and glass plate manufacturing apparatus {METHOD AND APPARATUS OF MAKING GLASS SUBSTRATE}

본 발명은, 다운드로법에 의한 글라스판의 제조 방법 및 글라스판 제조 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the manufacturing method of a glass plate by a down-draw method, and a glass plate manufacturing apparatus.

종래부터 예를 들어, 액정 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에 사용하는 글라스 기판의 성형 방법으로서, 다운드로법이 사용된다. 다운드로법에 대해서는, 예를 들어 하기 특허 문헌 1에 기재되어 있다.Conventionally, the down draw method is used as a shaping | molding method of the glass substrate used for flat panel displays, such as a liquid crystal display, for example. About the down draw method, it is described in following patent document 1, for example.

또한, 하기 특허 문헌 2에는, 다운드로법에 의한 글라스판의 제조 방법에 있어서, 글라스판의 평면 변형을 저감하기 위해서, 성형로 및/또는 서랭로의 노 외부 분위기(노 외부 공간)의 기압을 가압하고, 서랭로 내에서 글라스 리본을 따라 발생하는 상승 기류를 저감함으로써, 서랭로 내의 온도 변동을 억제하는 기술이 개시되어 있다.In addition, in Patent Document 2, in the method of manufacturing a glass plate by the down draw method, in order to reduce the plane deformation of the glass plate, the air pressure in the furnace outside atmosphere (the furnace outside space) of the molding furnace and / or the slow cooling furnace is described. The technique which suppresses the temperature fluctuation in a slow cooling furnace by pressurizing and reducing the rising airflow which generate | occur | produces along a glass ribbon in a slow cooling furnace is disclosed.

일본 특허 출원 공개 제2009-196879호 공보Japanese Patent Application Publication No. 2009-196879 일본 특허 출원 공개 제2009-173525호 공보Japanese Patent Application Publication No. 2009-173525

그런데, 제조되는 글라스판은 액정 디스플레이의 고정세화(高精細化)의 요청에 따라서 표면 품질의 향상이 요구되고 있으므로, 글라스판의 제조 공정에서 표면 품질의 열화를 억제할 필요가 있다. 글라스판의 제조 공정에서는, 용융 글라스로 글라스 리본이 성형된 후, 글라스 리본이 서랭(徐冷)된다.By the way, the glass plate manufactured is required to improve the surface quality according to the request of high definition of a liquid crystal display, and therefore, it is necessary to suppress deterioration of surface quality in the manufacturing process of a glass plate. In the manufacturing process of a glass plate, after a glass ribbon is shape | molded by molten glass, a glass ribbon is annealed.

서랭 후의 글라스 리본은, 일반적으로 서랭로의 하방에 배치된 글라스 리본 절단실에서 원하는 사이즈로 절단됨으로써, 글라스판이 만들어진다. 또한, 글라스판의 폭 방향의 양단부에는 글라스판의 폭 방향의 중앙부보다도 큰 두께를 갖는 귀부(耳部)가 형성되어 있다. 이 귀부는, 글라스 리본 절단실과 통기(通氣) 가능하게 인접하는 귀부 절단실로 글라스판이 반송된 후에, 귀부 절단실에서 절단된다. 이때, 특허 문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 절단실로부터 서랭로 내에 상승하는 공기류가 발생할 경우, 당해 공기류에는 귀부 절단실로부터 글라스 리본 절단실로 유입한 글라스의 파티클이 포함되어 있으므로, 당해 글라스의 파티클이 서랭로 내로 유입하고, 서랭로 내를 흐르는 글라스 리본에 부착되는 경우가 있다. 글라스의 파티클이 글라스 리본의 표면에 부착된 상태에서 글라스 리본이 서랭된 경우, 글라스 리본의 표면에는 글라스의 파티클에 의해 기포나 미소 돌기가 형성되므로, 서랭 공정 후에 성형되는 글라스판의 표면 품질이 열화될 우려가 있다.Generally, the glass ribbon after cooling is cut | disconnected to a desired size in the glass ribbon cutting chamber arrange | positioned under the slow cooling furnace, and a glass plate is produced. Moreover, the ear | edge part which has thickness larger than the center part of the width direction of a glass plate is formed in the both ends of the width direction of a glass plate. This ear | edge part is cut | disconnected in an ear | edge cutting chamber, after a glass plate is conveyed to the ear | edge cutting chamber which adjoinably adjoins a glass ribbon cutting chamber. At this time, as described in Patent Literature 2, when an air flow rising from the cutting chamber into the slow cooling furnace occurs, the air flow contains particles of glass introduced into the glass ribbon cutting chamber from the cutting chamber. Particles may flow into the slow cooling furnace and adhere to glass ribbons flowing through the slow cooling furnace. When the glass ribbon is annealed in a state where the particles of glass are attached to the surface of the glass ribbon, bubbles or minute projections are formed on the surface of the glass ribbon by the particles of the glass, so that the surface quality of the glass plate formed after the cooling process deteriorates. There is a concern.

따라서, 본 발명은 다운드로법에 의해 글라스판을 제조할 때, 글라스판의 표면 품질의 열화를 억제하는 글라스판의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, an object of this invention is to provide the manufacturing method of the glass plate which suppresses deterioration of the surface quality of a glass plate when manufacturing a glass plate by a downdraw method.

본 발명의 제1 형태는, 다운드로법에 의한 글라스판의 제조 방법이며,1st aspect of this invention is a manufacturing method of the glass plate by the down-draw method,

글라스 원료를 용해해서 용융 글라스를 얻는 용해 공정과,A dissolution step of melting the glass raw material to obtain a molten glass;

상기 용융 글라스를, 성형로 내에 설치된 성형체에 공급해서 글라스 리본을 성형하는 성형 공정과,A molding step of molding the glass ribbon by supplying the molten glass to a molded body provided in the molding furnace;

상기 글라스 리본을, 서랭로 내에 설치된 롤러로 견인해서 상기 서랭로 내에서 냉각하는 서랭 공정과,A slow cooling step of pulling the glass ribbon with a roller provided in the slow cooling furnace to cool the inside of the slow cooling furnace;

냉각된 상기 글라스 리본을 글라스 리본 절단 공간에서 절단하는 글라스 리본 절단 공정과,A glass ribbon cutting step of cutting the cooled glass ribbon in a glass ribbon cutting space;

절단된 상기 글라스 리본의 폭 방향의 양단부에 형성된 귀부를 귀부 절단 공간에서 절단하는 귀부 절단 공정을 포함한다.And an ear cutting step of cutting the ear portions formed at both ends in the width direction of the cut glass ribbon in the ear cutting space.

상기 글라스 리본 절단 공간의 기압이 상기 귀부 절단 공간의 기압에 대하여 높아지도록,So that the air pressure of the glass ribbon cutting space is increased with respect to the air pressure of the ear cutting space,

상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간 중 적어도 한쪽의 기압은 조정되고 있다.At least one air pressure of the glass ribbon cutting space and the ear cutting space is adjusted.

이때, 제1 바람직한 형태로서, 상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간 중 적어도 한쪽 기압은, 상기 글라스 리본 절단 공간의 기압과 상기 귀부 절단 공간의 기압과의 차분이 40Pa 이하가 되도록 조정되어 있다.At this time, as a 1st preferable aspect, at least one air pressure of the said glass ribbon cutting space and the said ear cutting space is adjusted so that the difference between the air pressure of the said glass ribbon cutting space and the air pressure of the said ear cutting space may be 40 Pa or less.

또한, 제2 바람직한 형태로서, 상기 성형체가 설치된 상기 성형로의 내부 공간 및 상기 롤러가 설치된 상기 서랭로의 내부 공간을 노 내부 공간으로 했을 때, 상기 글라스 리본 절단 공간의 기압이 상기 노 내부 공간의 기압에 대하여 낮아지도록, 상기 글라스 리본 절단 공간의 기압은 조정되고 있다.Moreover, as a 2nd preferable aspect, when the internal space of the said molding furnace in which the said molded object was installed, and the internal space of the said slow cooling furnace in which the said roller was installed as a furnace internal space, the air pressure of the said glass ribbon cutting space is The air pressure of the glass ribbon cutting space is adjusted so as to be lower with respect to air pressure.

또한, 제3 바람직한 형태로서, 상기 서랭 공정에서는,Moreover, as a 3rd preferable aspect, in the said slow cooling process,

상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부에서, 글라스 리본의 흐름 방향에 장력이 작용하도록,In the center portion of the width direction of the glass ribbon, the tension acts on the flow direction of the glass ribbon,

적어도, 상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부의 온도가 글라스의 서랭점 온도에 150℃를 더한 온도로부터 글라스의 변형점 온도로부터 200℃ 뺀 온도가 되는 온도 영역에서,At least in the temperature range where the temperature of the center part of the width direction of the said glass ribbon becomes the temperature which subtracted 200 degreeC from the strain point temperature of glass from the temperature which added 150 degreeC to the temperature of the cooling point of glass,

상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부의 냉각 속도가 상기 폭 방향의 양단부의 냉각 속도보다도 빨라지도록 온도 제어한다.Temperature control is performed so that the cooling rate of the center part of the width direction of the said glass ribbon becomes faster than the cooling rate of the both ends of the said width direction.

제4 바람직한 형태로서, 상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부의 온도가 글라스의 연화점 온도 이상의 영역에서, 상기 글라스 리본의 폭 방향의 양단부가 상기 양단부에 끼인 중앙부의 온도보다 낮게, 또한 상기 중앙부의 온도가 균일해지도록 상기 글라스 리본의 온도를 제어하고,As a 4th preferable aspect, in the area | region where the temperature of the center part of the width direction of the said glass ribbon is more than the softening point temperature of glass, the temperature of the said center part is lower than the temperature of the center part which both ends of the width direction of the said glass ribbon pinched | interposed at the both ends. Control the temperature of the glass ribbon to be uniform,

상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부에서, 글라스 리본의 흐름 방향의 장력이 작용하도록 상기 글라스 리본의 상기 중앙부의 온도가 글라스의 연화점 온도 미만, 글라스의 변형점 온도 이상의 영역에서, 상기 글라스 리본의 폭 방향의 온도 분포의 온도가 상기 중앙부로부터 상기 양단부를 향해 낮아지도록 상기 글라스 리본의 온도를 제어하고,In the center part of the width direction of the glass ribbon, in the area where the temperature of the center part of the glass ribbon is lower than the softening point temperature of the glass and above the strain point temperature of the glass so that the tension in the flow direction of the glass ribbon acts, the width direction of the glass ribbon The temperature of the glass ribbon is controlled such that the temperature of the temperature distribution of is lowered from the central portion toward the both ends,

상기 글라스 리본의 상기 중앙부의 온도가 글라스의 변형점 온도가 되는 온도 영역에서, 상기 글라스 리본의 폭 방향의 상기 양단부와 상기 중앙부와의 온도 구배가 없어지도록 상기 글라스 리본의 온도를 제어한다.The temperature of the glass ribbon is controlled so that the temperature gradient between the both ends and the center portion in the width direction of the glass ribbon disappears in the temperature range where the temperature of the center portion of the glass ribbon becomes the strain point temperature of the glass.

제5 바람직한 형태로서, 상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부에서, 글라스 리본의 흐름 방향의 장력이 작용하도록 상기 글라스 리본의 상기 중앙부의 온도가 글라스의 변형점 온도 미만의 영역에서, 상기 글라스 리본의 온도 분포의 온도가 상기 양단부로부터 상기 중앙부를 향해 낮아지도록 상기 글라스 리본의 온도를 제어한다.As a 5th preferable aspect, in the area | region of the width direction of the said glass ribbon, the temperature of the said glass ribbon in the area | region below the strain point temperature of glass so that the temperature of the said center part of the glass ribbon may act so that the tension | tensile_strength of a flow direction of a glass ribbon may act. The temperature of the glass ribbon is controlled so that the temperature of the distribution is lowered from both ends toward the center portion.

상기 제1 형태의 글라스판의 제조 방법에는, 상기 제1 내지 제5 바람직한 형태의 각각이 적용되는 것 외에, 제1 내지 제5 바람직한 형태 중 적어도 2개 이상을 조합한 복합 형태도 적용될 수 있다.In addition to each of the first to fifth preferred forms, a composite form combining at least two or more of the first to fifth preferred forms may also be applied to the method for producing a glass plate of the first aspect.

본 발명의 제2 형태는, 다운드로법에 의한 글라스판의 제조 장치이며,The 2nd aspect of this invention is a manufacturing apparatus of the glass plate by the down-draw method,

글라스 원료를 용해해서 용융 글라스를 얻는 용해조와,A melting tank for melting a glass raw material to obtain a molten glass,

상기 용융 글라스를, 성형로 내에 설치된 성형체에 공급해서 글라스 리본을 성형하는 성형로와,A molding furnace for supplying the molten glass to a molded body provided in the molding furnace to form a glass ribbon;

상기 글라스 리본을, 서랭로 내에 설치된 롤러로 견인해서 상기 서랭로 내에서 냉각하는 서랭로와,A slow cooling furnace which pulls the said glass ribbon with the roller provided in the slow cooling furnace, and cools in the said slow cooling furnace,

냉각된 상기 글라스 리본을 글라스 리본 절단 공간에서 절단하는 글라스 리본 절단 장치와,A glass ribbon cutting device for cutting the cooled glass ribbon in a glass ribbon cutting space;

절단된 상기 글라스 리본의 폭 방향의 양단부에 형성된 귀부를 귀부 절단 공간에서 절단하는 귀부 절단 장치와,An ear cutting device which cuts the ear | edge part formed in the both ends of the width direction of the said glass ribbon cut | disconnected in an ear | edge cutting space,

상기 글라스 리본 절단 공간의 기압이 상기 귀부 절단 공간의 기압에 대하여 높아지도록, 상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간 중 적어도 한쪽의 기압을 조정하는 조정 수단을 구비한다.Adjusting means for adjusting the air pressure of at least one of the glass ribbon cutting space and the ear cutting space so that the air pressure of the glass ribbon cutting space increases with respect to the air pressure of the ear cutting space.

제6 바람직한 형태로서,As a sixth preferred form,

상기 조정 수단은,The adjusting means,

상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간에는, 기압의 압력을 계측하는 압력 센서와, 대기로부터 상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간 내로 공기를 보내주는 송풍기 및 상기 가스 리본 절단 공간 및 귀부 절단 공간 내의 공기를 흡인해서 집진하는 집진 장치 중 적어도 어느 한쪽의 기기와, 상기 압력 센서의 계측 결과에 따라서, 상기 기기의 조정을 하는 제어 장치를 포함한다.In the glass ribbon cutting space and the ear cutting space, a pressure sensor for measuring the pressure of air pressure, a blower for sending air from the atmosphere into the glass ribbon cutting space and the ear cutting space, and the gas ribbon cutting space and the ear cutting space At least one of the dust collectors which collect and collect the air inside and a control apparatus which adjusts the said apparatus according to the measurement result of the said pressure sensor are included.

제7 바람직한 형태로서, 상기 성형체가 설치된 상기 성형로의 내부 공간 및 상기 롤러가 설치된 상기 서랭로의 내부 공간을 노 내부 공간으로 했을 때, 상기 글라스 리본 절단 공간에 설치되는 상기 송풍기 및 집진 장치 중 적어도 어느 한쪽은, 대기로부터의 공기의 도입 및 상기 절단 공간의 공기 흡인을 조정함으로써, 상기 글라스 리본 절단 공간의 기압이 상기 노 내부 공간의 기압에 대하여 낮아지도록, 상기 글라스 리본 절단 공간의 기압을 조정한다.As a 7th preferable aspect, when the internal space of the said molding furnace in which the said molded object was installed, and the internal space of the slow cooling furnace in which the said roller was installed as a furnace internal space, at least among the said blower and dust collector provided in the said glass ribbon cutting space. One adjusts the air pressure of the said glass ribbon cutting space so that the air pressure of the said glass ribbon cutting space may become low with respect to the air pressure of the said furnace interior space by adjusting the introduction of air from the atmosphere and air suction of the said cutting space. .

제8 바람직한 형태로서, 상기 서랭로의 내부 공간에는,As an 8th preferable aspect, in the inner space of the said slow cooling furnace,

상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부에서, 글라스 리본의 흐름 방향으로 장력이 작용하도록,In the center portion of the width direction of the glass ribbon, the tension acts in the flow direction of the glass ribbon,

적어도, 상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부의 온도가 글라스의 서랭점 온도에 150℃를 더한 온도로부터 글라스의 변형점 온도로부터 200℃ 뺀 온도가 되는 온도 영역에서,At least in the temperature range where the temperature of the center part of the width direction of the said glass ribbon becomes the temperature which subtracted 200 degreeC from the strain point temperature of glass from the temperature which added 150 degreeC to the temperature of the cooling point of glass,

상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부의 냉각 속도가 상기 폭 방향의 양단부의 냉각 속도보다도 빨라지도록 온도 제어하는 온도 조정 유닛이 설치되어 있다.The temperature control unit which controls temperature so that the cooling rate of the center part of the width direction of the said glass ribbon becomes faster than the cooling rate of the both ends of the said width direction is provided.

제9 바람직한 형태로서, 상기 성형로의 내부 공간에는 냉각 유닛이 설치되고, 상기 서랭로의 내부 공간에는 온도 조정 유닛이 설치되고,As a ninth preferred aspect, a cooling unit is provided in an inner space of the forming furnace, and a temperature adjusting unit is provided in an inner space of the slow cooling furnace.

상기 냉각 유닛 및 상기 온도 조정 유닛 중 적어도 어느 한쪽이At least one of the cooling unit and the temperature adjusting unit

상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부의 온도가 글라스의 연화점 온도 이상의 영역에서, 상기 글라스 리본의 폭 방향의 양단부가 상기 양단부에 끼인 중앙부의 온도보다 낮게, 또한 상기 중앙부의 온도가 균일해지도록 상기 글라스 리본의 온도를 제어하고,The glass ribbon such that the temperature of the central portion in the width direction of the glass ribbon is lower than the temperature of the central portion sandwiched between the both ends of the width direction of the glass ribbon at both ends of the softening point temperature of the glass, and the temperature of the central portion becomes uniform. To control the temperature of the

상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부에서, 글라스 리본의 흐름 방향의 장력이 작용하도록 상기 글라스 리본의 상기 중앙부의 온도가 글라스의 연화점 온도 미만, 글라스의 변형점 온도 이상의 영역에서, 상기 글라스 리본의 폭 방향의 온도 분포가 상기 중앙부로부터 상기 양단부를 향해 낮아지도록 상기 글라스 리본의 온도를 제어하고,In the center part of the width direction of the glass ribbon, in the area where the temperature of the center part of the glass ribbon is lower than the softening point temperature of the glass and above the strain point temperature of the glass so that the tension in the flow direction of the glass ribbon acts, the width direction of the glass ribbon Controlling the temperature of the glass ribbon so that the temperature distribution of is lowered from the center toward both ends,

상기 글라스 리본의 상기 중앙부의 온도가 글라스의 변형점 온도가 되는 온도 영역에서, 상기 글라스 리본의 폭 방향의 상기 양단부와 상기 중앙부와의 온도 구배가 없어지도록 상기 글라스 리본의 온도를 제어한다.The temperature of the glass ribbon is controlled so that the temperature gradient between the both ends and the center portion in the width direction of the glass ribbon disappears in the temperature range where the temperature of the center portion of the glass ribbon becomes the strain point temperature of the glass.

제10 바람직한 형태로서, 상기 서랭로의 내부 공간에는 온도 조정 유닛이 설치되고,As a tenth preferred aspect, a temperature adjusting unit is provided in an internal space of the slow cooling furnace,

상기 온도 조정 유닛이,The temperature adjustment unit,

상기 글라스 리본의 폭 방향의 중앙부에서, 글라스 리본의 흐름 방향의 장력이 작용하도록 상기 글라스 리본의 상기 중앙부의 온도가 글라스의 변형점 온도 미만의 영역에서, 상기 글라스 리본의 온도 분포의 온도가 상기 양단부로부터 상기 중앙부를 향해 낮아지도록 상기 글라스 리본의 온도를 제어한다.In the center portion of the width direction of the glass ribbon, in the region where the temperature of the center portion of the glass ribbon is less than the strain point temperature of the glass so that the tension in the flow direction of the glass ribbon acts, the temperature of the temperature distribution of the glass ribbon is at both ends. The temperature of the glass ribbon is controlled so as to be lowered toward the central portion.

상기 제2 형태의 글라스판의 제조 장치에는, 상기 제6 내지 제10 바람직한 형태의 각각이 적용되는 것 외에, 제6 내지 제10 바람직한 형태 중 적어도 2개 이상을 조합한 복합 형태도 적용될 수 있다.In addition to each of the sixth to tenth preferred forms, the composite form combining at least two or more of the sixth to tenth preferred forms may also be applied to the apparatus for producing a glass plate of the second aspect.

상기 형태의 글라스판의 제조 방법 및 글라스판의 제조 장치에 따르면, 글라스판의 표면 품질의 열화를 억제할 수 있다.According to the manufacturing method of the glass plate of the said aspect, and the manufacturing apparatus of a glass plate, deterioration of the surface quality of a glass plate can be suppressed.

도 1은 본 실시 형태인 글라스판의 제조 방법의 흐름을 도시하는 도면이다.
도 2는 본 실시 형태의 용해 공정 내지 귀부 절단 공정을 행하는 장치를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 3은 본 실시 형태에 있어서의 글라스판의 성형 장치의 개략 측면도다.
도 4는 본 실시 형태에 있어서의 글라스판의 성형 장치의 개략 정면도다.
도 5는 본 실시 형태에서 사용하는 송풍기가 보내주는 공기의 양을 제어하는 제어 시스템의 개략도다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the flow of the manufacturing method of the glass plate which is this embodiment.
It is a figure which shows typically the apparatus which performs the dissolution process-the ear cutting process of this embodiment.
3 is a schematic side view of a molding apparatus for a glass plate in the present embodiment.
4 is a schematic front view of a molding apparatus for a glass plate in the present embodiment.
5 is a schematic diagram of a control system for controlling the amount of air sent by the blower used in the present embodiment.

이하, 본 발명의 글라스판의 제조 방법 및 글라스판의 제조 장치에 대해서 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태인 글라스판의 제조 방법의 흐름을 도시하는 도면이다.Hereinafter, the manufacturing method of the glass plate of this invention, and the manufacturing apparatus of a glass plate are demonstrated. 1 is a diagram illustrating a flow of a manufacturing method of a glass plate according to the present embodiment.

이하 본 명세서에서 설명하는 각 어구는, 이하와 같이 정한다.Hereinafter, each phrase described in this specification is defined as follows.

시트 글라스의 중앙부라 함은 시트 글라스의 폭 방향의 폭 중 시트 글라스의 폭 방향의 중심을 말한다.The center portion of the sheet glass refers to the center of the width direction of the sheet glass among the widths of the sheet glass in the width direction.

시트 글라스의 단부라 함은 시트 글라스의 폭 방향의 테두리로부터 100㎜ 이내인 범위를 말한다.The end portion of the sheet glass refers to a range within 100 mm from the edge of the sheet glass in the width direction.

변형점 온도라 함은 글라스 점도를 η라 했을 때, logη가 14.5인 글라스판의 온도를 말한다.Strain point temperature means the temperature of the glass plate whose log (eta) is 14.5, when glass viscosity is (eta).

서랭점 온도라 함은 logη가 13인 글라스의 온도를 말한다.The cooling point temperature refers to the temperature of the glass having a log η of 13.

연화점 온도라 함은 logη가 7.6인 글라스의 온도를 말한다.The softening point temperature refers to the glass temperature with log η of 7.6.

글라스 전이점 온도는, 과냉각 액체가 글라스 상태로 변할 때의 글라스의 온도를 말한다.The glass transition point temperature refers to the temperature of the glass when the supercooled liquid changes to the glass state.

(글라스판의 제조 방법의 전체 개요)(Full summary of the manufacturing method of the glass plate)

글라스판의 제조 방법은 용해 공정(ST1)과, 청징 공정(ST2)과, 균질화 공정(ST3)과, 공급 공정(ST4)과, 성형 공정(ST5)과, 서랭 공정(ST6)과, 글라스 리본 절단 공정(ST7)과, 귀부 절단 공정(ST8)을 주로 갖는다. 이 밖에, 연삭 공정, 연마 공정, 세정 공정, 검사 공정, 포장 공정 등을 갖고, 포장 공정에서 적층된 복수의 글라스판은, 납입처의 업자에게로 반송된다.The manufacturing method of a glass plate is a melting process (ST1), a clarification process (ST2), a homogenization process (ST3), a supply process (ST4), a molding process (ST5), a slow cooling process (ST6), a glass ribbon It mainly has a cutting process ST7 and an ear cutting process ST8. In addition, the some glass plate which has a grinding process, a grinding process, a washing process, an inspection process, a packaging process, etc., and was laminated by the packaging process is conveyed to the supplier of a delivery destination.

도 2는, 용해 공정(ST1) 내지 귀부 절단 공정(ST8)을 행하는 장치를 모식적으로 도시하는 도면이다. 당해 장치는, 도 2에 도시한 바와 같이, 주로 용해 장치(200)와, 성형 장치(300)와, 글라스 리본 절단 장치(400)와, 귀부 절단 장치(500)를 갖는다. 용해 장치(200)는 용해조(201)와, 청징조(202)와, 교반조(203)와, 제1 배관(204)과, 제2 배관(205)을 갖는다. 성형 장치(300)에 대해서는 후술한다.FIG. 2: is a figure which shows typically the apparatus which performs melt | dissolution process (ST1)-ear cutting process (ST8). As shown in FIG. 2, the apparatus mainly includes a melting apparatus 200, a molding apparatus 300, a glass ribbon cutting apparatus 400, and an ear cutting apparatus 500. The dissolution apparatus 200 has a dissolution tank 201, a clarification tank 202, a stirring tank 203, a first pipe 204, and a second pipe 205. The molding apparatus 300 will be described later.

용해 공정(ST1)에서는, 용해조(201) 내에 공급된 글라스 원료를 가열해서 용해함으로써 용융 글라스를 얻는다. 청징 공정(ST2)은, 주로 청징조(202)에 있어서 행해지고, 용융 글라스 중에 포함되는 기포를 감소시킨다. 균질화 공정(ST3)에서는, 제1 배관(204)을 통해 공급된 교반조(203) 내의 용융 글라스를, 스타라를 사용해서 교반함으로써, 글라스 성분의 균질화를 행한다. 공급 공정(ST4)에서는, 제2 배관(205)을 통하여 용융 글라스가 성형 장치(300)에 공급된다.In the melting step (ST1), a molten glass is obtained by heating and dissolving the glass raw material supplied into the dissolution tank 201. The clarification process ST2 is mainly performed in the clarification tank 202, and reduces the bubble contained in a molten glass. In homogenization process ST3, the glass component is homogenized by stirring molten glass in the stirring tank 203 supplied through the 1st piping 204 using a star. In supply process ST4, a molten glass is supplied to the shaping | molding apparatus 300 via the 2nd piping 205. FIG.

성형 장치(300)에서는, 성형 공정(ST5) 및 서랭 공정(ST6)이 행해진다.In the shaping | molding apparatus 300, shaping | molding process ST5 and slow cooling process ST6 are performed.

성형 공정(ST5)에서는, 용융 글라스를 글라스 리본(G)(도 3 참조)으로 성형하고, 글라스 리본(G)의 흐름을 만든다. 본 실시 형태에서는, 후술하는 성형체(310)를 사용한 오버플로우 다운드로법을 이용한다. 서랭 공정(ST6)에서는, 평면 변형이 발생하지 않도록, 또한 열 수축률이 커지지 않도록 냉각된다.In the molding step ST5, the molten glass is molded into the glass ribbon G (see FIG. 3) to make the flow of the glass ribbon G. In this embodiment, the overflow down draw method using the molded object 310 mentioned later is used. In the slow cooling process ST6, cooling is performed so that plane deformation does not occur and heat shrinkage does not increase.

글라스 리본 절단 공정(ST7)에서는, 글라스 리본 절단 장치(400)에 있어서, 성형 장치(300)로부터 공급된 글라스 리본(G)을 소정의 길이로 절단함으로써, 판 형상의 글라스판(G1)(도 3 참조)을 얻는다.In the glass ribbon cutting process ST7, in the glass ribbon cutting device 400, the glass ribbon G supplied from the shaping | molding apparatus 300 is cut | disconnected to predetermined length, and plate-shaped glass plate G1 (FIG. 3).

귀부 절단 공정(ST8)에서는, 귀부 절단 장치(500)에 있어서, 글라스판(G1)의 폭 방향의 양단부에 형성된 귀부(G2)(도 3 참조)를 절단한다. 여기서, 귀부(G2)는 성형 공정(ST5) 및 서랭 공정(ST6)에 있어서 글라스 리본(G)의 폭 방향의 양단부에 형성되고, 후술하는 냉각 롤러(330), 반송 롤러(350a 내지 350h)와 접촉하는 부분을 포함한다. 또한, 귀부(G2)의 두께는 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부의 두께보다도 크다.In the ear cutting step ST8, the ear cutting device 500 cuts the ear parts G2 (see FIG. 3) formed at both ends in the width direction of the glass plate G1. Here, the ear portion G2 is formed at both ends in the width direction of the glass ribbon G in the molding step ST5 and the slow cooling step ST6, and the cooling roller 330 and the conveying rollers 350a to 350h described later and It includes the part in contact. In addition, the thickness of the ear | edge part G2 is larger than the thickness of the center part of the width direction of the glass ribbon G. As shown in FIG.

또한, 귀부 절단 공정 후의 글라스판(G1)이 소정 사이즈로 절단됨으로써, 원하는 사이즈의 글라스판(G1)이 제작된다.In addition, the glass plate G1 after an ear | edge cutting process is cut | disconnected to predetermined size, and the glass plate G1 of a desired size is produced.

(성형 장치의 설명)(Explanation of the molding apparatus)

도 3 및 도 4는, 글라스판의 성형 장치(300)의 구성을 주로 도시하는 도면이며, 도 3은 주로 성형 장치(300)의 개략 측면도를 도시하고, 도 4는 성형 장치(300)의 개략 정면도를 도시한다.3 and 4 are diagrams mainly showing the configuration of the shaping apparatus 300 of the glass plate, FIG. 3 mainly shows a schematic side view of the shaping apparatus 300, and FIG. 4 schematically shows the shaping apparatus 300. The front view is shown.

성형 장치(300)로 성형되는 글라스판은, 예를 들어 액정 디스플레이용 글라스 기판, 유기 EL 디스플레이용 글라스 기판, 커버 글라스에 적절하게 사용된다. 성형 장치(300)로 성형되는 글라스판은, 그 밖에 휴대 단말 기기 등의 디스플레이나 하우징용의 커버 글라스, 터치 패널판, 태양 전지의 글라스 기판이나 커버 글라스로서도 사용할 수 있다. 특히, LTPS(Low Temperature Poly Silicon)·TFT를 사용한 액정 디스플레이용 글라스 기판에 적합하다.The glass plate shape | molded by the shaping | molding apparatus 300 is used suitably for the glass substrate for liquid crystal displays, the glass substrate for organic electroluminescent displays, and a cover glass, for example. In addition, the glass plate shape | molded by the shaping | molding apparatus 300 can be used also as a cover glass for display and housings, such as a portable terminal apparatus, a touch panel board, a glass substrate of a solar cell, and a cover glass. In particular, it is suitable for the glass substrate for liquid crystal displays using LTPS (Low Temperature Poly Silicon) -TFT.

성형 공정(ST5)을 행하는 성형로(40) 및 서랭 공정(ST6)을 행하는 서랭로(50)는, 내화 벽돌, 내화 단열 벽돌, 혹은 파이버계 단열재 등의 내화물로 구성된 노벽에 둘러싸여 구성되어 있다. 성형로(40)는 서랭로(50)에 대하여 연직 상방에 설치되어 있다. 또, 성형로(40) 및 서랭로(50)를 맞추어 노(30)라고 한다. 노(30)의 노벽으로 둘러싸인 노 내부 공간에는, 성형체(310)와, 분위기 구획 부재(320)와, 냉각 롤러(330)와, 냉각 유닛(340)과, 반송 롤러(350a 내지 350h)와, 압력 센서(355, 360a 내지 360c)(도 4 참조)가 설치되어 있다.The shaping furnace 40 which performs shaping | molding process ST5 and the slow cooling furnace 50 which performs slow cooling process ST6 are comprised by the furnace wall comprised of refractory materials, such as a fire brick, a fire resistant heat insulating brick, or a fiber type heat insulating material. The forming furnace 40 is provided perpendicularly upward with respect to the slow cooling furnace 50. The molding furnace 40 and the slow cooling furnace 50 are referred to as a furnace 30. In the furnace interior space enclosed by the furnace wall of the furnace 30, the molded object 310, the atmosphere partition member 320, the cooling roller 330, the cooling unit 340, the conveying rollers 350a-350h, Pressure sensors 355 and 360a to 360c (see Fig. 4) are provided.

성형체(310)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 제2 배관(205)을 통해 용해 장치(200)로부터 흘러 오는 용융 글라스(도 3, 도 4에서는 부호 MG가 나타냄)를, 글라스 리본(G)으로 성형한다. 이에 의해, 성형 장치(300) 내에서, 연직 하방의 글라스 리본(G)의 흐름이 만들어진다. 성형체(310)는 내화 벽돌 등에 의해 구성된 가늘고 긴 구조체이며, 도 3에 도시한 바와 같이 단면이 쐐기 형상을 이루고 있다. 성형체(310)의 정상부에는, 용융 글라스를 유도하는 유로가 되는 홈(312)이 마련되어 있다. 홈(312)으로부터 흘러나온 용융 글라스는, 성형체(310)의 양측 측벽을 타고 연직 하방으로 흘러내린다. 측벽을 흐른 용융 글라스는, 도 3에 도시한 성형체(310)의 하방 단부(313)에서 합류하고, 1개의 글라스 리본(G)이 성형된다. 이에 의해, 글라스 리본(G)은 서랭로(50)를 향해 흘러내린다.As shown in FIG. 2, the molded body 310 displays a molten glass (shown by reference numeral MG in FIG. 3 and FIG. 4) flowing from the dissolution apparatus 200 through the second pipe 205. The glass ribbon G Molding). Thereby, in the shaping | molding apparatus 300, the flow of the glass ribbon G of the perpendicular | vertical downward is made. The molded body 310 is an elongated structure composed of refractory bricks or the like, and has a wedge shape in cross section as shown in FIG. At the top of the molded body 310, a groove 312 serving as a flow path for inducing molten glass is provided. The molten glass which flowed out from the groove 312 flows down on both sides of the molded body 310 vertically. The molten glass which flowed through the side wall joins at the lower end 313 of the molded object 310 shown in FIG. 3, and one glass ribbon G is shape | molded. As a result, the glass ribbon G flows toward the slow cooling path 50.

성형체(310)의 하방 단부(313)의 하방 근방에는, 분위기 구획 부재(320)가 설치되어 있다. 분위기 구획 부재(320)는 한 쌍의 판 형상의 단열 부재이며, 글라스 리본(G)을 두께 방향의 양측으로부터 협지하도록 구성되어 있다. 즉, 분위기 구획 부재(320)에는 글라스 리본(G)과 접촉하지 않을 정도로 간극이 마련되어 있다. 분위기 구획 부재(320)는 성형로 내부 공간을 구획함으로써, 분위기 구획 부재(320)의 상방의 노 내부 공간과 하방의 노 내부 공간과의 사이의 열의 이동을 차단한다.In the vicinity of the lower end 313 of the molded body 310, an atmosphere partition member 320 is provided. The atmosphere partition member 320 is a pair of plate-shaped heat insulation members, and is comprised so that the glass ribbon G may be clamped from both sides of the thickness direction. That is, the clearance gap is provided in the atmosphere partition member 320 so that it may not contact with glass ribbon G. As shown in FIG. The atmosphere partition member 320 partitions the inner space of the molding furnace, thereby blocking the movement of heat between the furnace interior space above the atmosphere partition member 320 and the furnace interior space below.

분위기 구획 부재(320)의 하방에는 냉각 롤러(330)가 설치되어 있다. 냉각 롤러(330)는 글라스 리본(G)의 폭 방향의 양단부 근방의 글라스 리본(G) 표면과 접촉하여, 글라스 리본(G)을 하방으로 끌어내림으로써, 원하는 두께를 갖는 글라스 리본(G)을 형성하는 동시에, 글라스 리본(G)의 양단부 근방을 냉각한다. 냉각 롤러(330)의 하방에는 냉각 유닛(340)이 설치되어 있다. 냉각 유닛(340)은 냉각 롤러(330)를 통과한 글라스 리본(G)을 냉각한다. 냉각 유닛(340)은, 예를 들어 공기량 조정부를 갖고, 후술하는 제어 장치(600)에 의해 글라스 리본의 양단부를 공랭하기 위한 공기량은 조정 가능하게 되어 있다. 또한, 냉각 롤러(330)의 구동은 도시하지 않은 모터를 거쳐 조정 가능하게 되어 있다.The cooling roller 330 is provided below the atmosphere partition member 320. The cooling roller 330 contacts the surface of the glass ribbon G near the both ends of the width direction of the glass ribbon G, and pulls the glass ribbon G downward to draw the glass ribbon G having a desired thickness. At the same time, the vicinity of both ends of the glass ribbon G is cooled. A cooling unit 340 is provided below the cooling roller 330. The cooling unit 340 cools the glass ribbon G passed through the cooling roller 330. The cooling unit 340 has an air amount adjustment part, for example, and the air amount for air-cooling both ends of a glass ribbon is adjustable by the control apparatus 600 mentioned later. In addition, the drive of the cooling roller 330 can be adjusted via the motor which is not shown in figure.

냉각 유닛(340)의 하방에는, 반송 롤러(350a 내지 350h)가 소정의 간격으로 설치되어, 글라스 리본(G)을 하부 방향으로 견인한다. 냉각 유닛(340)의 하방 공간은 서랭로(50)의 노 내부 공간으로 되어 있다. 반송 롤러(350a 내지 350h)는, 모두 도시하지 않은 모터를 거쳐 구동은 조정 가능하게 되어 있다.Below the cooling unit 340, conveying rollers 350a to 350h are provided at predetermined intervals to pull the glass ribbon G downward. The space below the cooling unit 340 serves as the furnace interior space of the slow cooling furnace 50. The conveyance rollers 350a to 350h are all adjustable via a motor not shown.

성형로(40)의 노 내부 공간에는, 노 내부 공간의 기압을 계측하는 압력 센서(355)가 설치되어 있다. 압력 센서(355)는 성형체(310)와 높이 방향(연직 상부 방향)의 동일한 위치에 설치되어 있다. 높이 방향이 함은, 도 3에 있어서 지면의 좌측 방향, 도 4에 있어서 지면의 상부 방향이다. 글라스 리본(G)은 성형체(310)로부터 연직 하방으로 흐르므로, 글라스 리본(G)의 흐름 방향은 높이 방향과 반대인 방향이다. 서랭로(50)의 노 내부 공간에는 압력 센서(360a 내지 360c)가 설치되어 있다.The pressure sensor 355 which measures the atmospheric pressure of the furnace internal space is provided in the furnace internal space of the shaping furnace 40. The pressure sensor 355 is provided at the same position as the molded body 310 in the height direction (vertical upper direction). The height direction refers to the left direction of the ground in FIG. 3 and the upper direction of the ground in FIG. 4. Since glass ribbon G flows vertically downward from the molded object 310, the flow direction of glass ribbon G is a direction opposite to a height direction. Pressure sensors 360a to 360c are provided in the furnace internal space of the slow cooling furnace 50.

또한, 성형로(40)의 노 내부 공간에는, 글라스 리본(G)의 폭 방향을 따라서 복수의 가열원을 배치한 온도 조정 유닛(370a 내지 370c)이 글라스 리본(G)을 따라서 설치되어 있다. 온도 조정 유닛(370a 내지 370c)의 각 가열원의 가열 온도는 조정 가능하게 되어 있다.Moreover, in the furnace interior space of the shaping | molding furnace 40, the temperature adjustment units 370a-370c which arrange | positioned the some heating source along the width direction of the glass ribbon G are provided along the glass ribbon G. As shown in FIG. The heating temperature of each heating source of the temperature adjusting units 370a to 370c is adjustable.

한편, 성형로(40)의 노벽 외측에는, 격벽에 의해 대기압 분위기에 대하여 건물(B)의 격벽으로 구획된 공간, 즉 노 외부 공간(S1, S2, S3a 내지 S3c)이 마련되어 있다. 이들 공간의 각각은, 높이 방향에 관해서, 바닥면(411, 412, 413a 내지 413c)에 의해 구획되어 있다. 즉, 성형 장치(300)는 복수의 플로어를 갖는 건물(B)에 설치되고, 바닥면에 의해 복수로 구획된 노 외부 공간(부분 공간)(S1, S2, S3a 내지 S3c)이 각 플로어에 설치되어 있다. 또한, 노 외부 공간(S3c)의 하방에는, 플로어(414) 위에 벽으로 구획된 공간(S4)(글라스 리본 절단 공간)이 마련되어 있다. 게다가 또한, 공간(S4)의 측방에는 플로어(414) 위에 벽으로 구획된 공간(S5)(귀부 절단 공간)이 공간(S4)에 인접해서 마련되어 있다. 공간(S4, S5)에는 노벽은 설치되지 않는다. 이들 공간의 기압은 각각 후술하는 송풍기(421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, 425)에 의해 조정되고 있다.On the other hand, in the outer side of the furnace wall of the shaping | molding furnace 40, the space partitioned by the partition of the building B with respect to an atmospheric pressure atmosphere by the partition, ie furnace outer spaces S1, S2, S3a-S3c, is provided. Each of these spaces is partitioned by the bottom surfaces 411, 412, 413a to 413c in the height direction. That is, the shaping | molding apparatus 300 is installed in the building B which has several floor, and the furnace exterior space (partial space) S1, S2, S3a-S3c divided into several by the floor surface is installed in each floor. It is. Further, below the furnace outer space S3c, a space S4 (glass ribbon cutting space) partitioned by a wall on the floor 414 is provided. In addition, a space S5 (early cut space) partitioned by a wall on the floor 414 is provided adjacent to the space S4 on the side of the space S4. The furnace walls are not provided in the spaces S4 and S5. The air pressure in these spaces is adjusted by the blowers 421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, and 425 mentioned later, respectively.

노 외부 공간(S1)은 성형체(310)의 높이 방향의 위치보다도 연직 상방에 있는 공간이며, 노 외부 공간(S1)에는 노 외부 공간의 기압을 계측하는 압력 센서(415)가 설치되어 있다.The furnace outer space S1 is a space vertically above the position in the height direction of the formed body 310 and the furnace outer space S1 is provided with a pressure sensor 415 for measuring the atmospheric pressure of the furnace outer space.

노 외부 공간(S2)은 바닥면(412) 위에 마련된 공간이며, 이 공간에 대응하는 노 내부 공간에는 성형체(310)가 배치되어 있다. 또한, 노 외부 공간(S2)에는 노 외부 공간(S2)의 기압을 계측하는 압력 센서(416)가 설치되어 있다. 노벽으로 둘러싸인 노 내부 공간에는, 압력 센서(416)의 높이 방향의 동일한 위치에, 노 내부 공간의 기압을 계측하는 압력 센서(355)가 설치되어 있다.The furnace outer space S2 is a space provided on the bottom surface 412, and the molded body 310 is disposed in the furnace inner space corresponding to the space. In addition, a pressure sensor 416 for measuring the air pressure in the furnace outer space S2 is provided in the furnace outer space S2. In the furnace interior space enclosed by the furnace wall, the pressure sensor 355 which measures the atmospheric pressure of the furnace interior space is provided in the same position of the height direction of the pressure sensor 416.

노 외부 공간(S3a 내지 S3c)은 노 외부 공간(S2)의 하방에, 높이 방향의 높은 쪽으로부터 노 외부 공간(S3a 내지 S3c)의 순으로 마련된 공간이다. 노 외부 공간(S3a 내지 S3c)은 바닥면(413a 내지 413c) 위에 마련되어 있다. 또한, 노 외부 공간(S3a 내지 S3c)의 각각에는, 노 외부 공간(3a 내지 3c)의 기압을 계측하는 압력 센서(417a 내지 417c)가 설치되어 있다. 노벽으로 둘러싸인 노 내부 공간에는, 압력 센서(417a 내지 417c)의 높이 방향의 동일한 위치에, 노 내부 공간의 기압을 계측하는 압력 센서(360a 내지 360c)가 설치되어 있다.The furnace external spaces S3a to S3c are spaces provided below the furnace external space S2 in the order of the furnace external spaces S3a to S3c from the higher side in the height direction. The furnace outer spaces S3a to S3c are provided on the bottom surfaces 413a to 413c. Further, in each of the furnace external spaces S3a to S3c, pressure sensors 417a to 417c for measuring the air pressure in the furnace external spaces 3a to 3c are provided. In the furnace interior space enclosed by the furnace walls, pressure sensors 360a to 360c for measuring the air pressure in the furnace interior space are provided at the same position in the height direction of the pressure sensors 417a to 417c.

또, 본 실시 형태에서는, 압력 센서(355, 360a 내지 360c)가 노 내부 공간의 각 위치에 설치되어 있지만, 노 내부 공간의 각 위치에 압력 센서가 삽입되어서 압력의 측정이 행해져도 좋다. 또한, 노 외부 공간과 노 내부 공간 사이의 차압의 측정 방법은 특별히 한정되지 않지만, 차압의 측정 방법의 일례로서, 차압계를 사용해서 측정할 수 있다. 또한, 노 외부 공간(S2, S3a 내지 S3c, S4, S5)의 각각의 사이의 차압에 대해서도, 차압계를 사용해서 측정할 수 있다.In addition, in this embodiment, although pressure sensors 355 and 360a-360c are provided in each position of a furnace internal space, the pressure sensor may be inserted in each position of a furnace internal space, and pressure measurement may be performed. In addition, the measuring method of the differential pressure between a furnace outer space and an furnace internal space is not specifically limited, As an example of the measuring method of a differential pressure, it can measure using a differential pressure meter. In addition, the differential pressure between each of the furnace external spaces S2, S3a to S3c, S4 and S5 can also be measured using a differential pressure gauge.

또한, 공간(S4, S5)의 각각에는 공간(S4, S5)의 기압을 계측하는 압력 센서(418, 419)가 설치되어 있다. 또한, 공간(S4, S5)을 구획하는 벽(420)에는, 공간(S4) 내의 글라스판(G1)을 공간(S5)으로 반송하기 위해서 공간(S4, S5)을 연통하는 연통 구멍(도시 생략)이 형성되어 있다. 즉, 공간(S4, S5)은 연통 구멍을 거쳐 통기 가능하게 되어 있다.In each of the spaces S4 and S5, pressure sensors 418 and 419 for measuring the air pressure in the spaces S4 and S5 are provided. Moreover, the communication hole (not shown) which communicates with the spaces S4 and S5 in the wall 420 which partitions the spaces S4 and S5 in order to convey the glass plate G1 in space S4 to space S5 is shown. ) Is formed. That is, the spaces S4 and S5 can be vented through the communication hole.

이 연통 구멍의 사이즈는, 공간(S5)에 있어서 귀부(G2)의 절단 시에 발생하는 글라스의 파티클(절삭칩이나 먼지 등)의 공간(S4)으로의 유입량을 저감하기 위해서, 가능한 한 작게, 예를 들어 글라스판(G1)의 주 표면이 공간(S4)으로부터 공간(S5)으로의 반송 방향을 따른 상태에서 글라스판(G1)을 공간(S5)으로 반송할 수 있을 정도의 사이즈로 형성되는 것이 바람직하다.The size of this communication hole is as small as possible in order to reduce the inflow amount of the particle | grains (cutting chips, dust, etc.) of the glass which generate | occur | produces at the time of cut | disconnecting the ear | edge part G2 in space S5 to space S4, For example, the main surface of glass plate G1 is formed in the size which can convey glass plate G1 to space S5 in the state along the conveyance direction from space S4 to space S5. It is preferable.

또, 글라스판(G1)이 반송 장치(도시 생략)에 의해 고정된 상태에서 공간(S4)으로부터 공간(S5)으로 반송될 때, 글라스판(G1) 중 제품에 포함되지 않는 부분, 예를 들어 글라스판(G1)의 상단부 부분, 하단부 부분 혹은 주 표면의 4변 부분 등에 있어서 글라스판(G1)의 두께 방향의 양측이 보유 지지됨으로써 글라스판(G1)이 반송되어도 좋다. 이 경우, 글라스판(G1) 중 제품에 포함되는 부분, 예를 들어 글라스판(G1)의 주 표면의 중앙 부분 등이 반송 장치에 보유 지지되지 않으므로, 공간(S5)으로부터 공간(S4)으로의 공기 유입량이 많을 경우에는, 글라스판(G1)의 반송 시에, 공간(S5)으로부터 공간(S4)으로 유입하는 공기에 의해 당해 부분이 휠 우려가 있다. 이에 반해, 본 실시 형태에서는, 후술하는 바와 같이, 공간(S4)과 공간(S5)의 기압을 조정하고 있으므로, 공간(S5)의 공기가 공간(S4)의 공기로 유입하는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 글라스판(G1) 중 제품에 포함되지 않는 부분만이 보유 지지된 상태에서 글라스판(G1)이 반송되는 경우라도, 글라스판(G1)의 휨 발생을 억제할 수 있다. 또한, 상기 반송 방법을 이용함으로써, 반송 장치의 구조를 간이하게 할 수 있는 동시에, 글라스판(G1)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.Moreover, when glass plate G1 is conveyed from space S4 to space S5 in the state fixed by the conveying apparatus (not shown), the part which is not contained in a product among glass plates G1, for example The glass plate G1 may be conveyed by holding both sides of the thickness direction of the glass plate G1 in the upper end part, the lower end part, or the four sides part of the main surface, etc. of the glass plate G1. In this case, since the part contained in a product of glass plate G1, for example, the center part of the main surface of glass plate G1, etc. is not hold | maintained by the conveying apparatus, from the space S5 to the space S4. When there is much air inflow amount, the said part may be wheeled by the air which flows into space S4 from space S5 at the time of conveyance of glass plate G1. On the other hand, in this embodiment, since the air pressure of space S4 and space S5 is adjusted as mentioned later, it is possible to prevent the air of space S5 from flowing into the air of space S4. . For this reason, even when glass plate G1 is conveyed in the state which only the part which is not contained in a product among glass plate G1 is hold | maintained, generation | occurrence | production of the curvature of glass plate G1 can be suppressed. Moreover, by using the said conveyance method, the structure of a conveying apparatus can be simplified, and the conveyance efficiency of glass plate G1 can be improved.

또한, 노 외부 공간(S1, S2, S3a 내지 S3c), 공간(S4) 및 공간(S5) 각각을 구획하는 격벽의 외측에는, 노 외부 공간(S1, S2, S3a 내지 S3c), 공간(S4) 및 공간(S5)의 각각에 대하여, 송풍기(421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, 425)가 설치되어 있다. 각 송풍기에 의해 대기압으로부터 보내게 되는 공기는, 관을 통해서 노 외부 공간(S1, S2, S3a 내지 S3c), 공간(S4) 및 공간(S5)의 각각으로 공급된다. 각 송풍기가 보내주는 공기의 양은, 각각, 후술하는 구동 유닛(510)으로부터의 구동 신호에 의해 정해져 있다.Moreover, outside of the partition partition which partitions each of furnace outer spaces S1, S2, S3a-S3c, space S4, and space S5, furnace outer spaces S1, S2, S3a-S3c, space S4. And blowers 421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, and 425 are provided for each of the spaces S5. The air sent from the atmospheric pressure by each blower is supplied to each of the furnace external spaces S1, S2, S3a to S3c, the space S4, and the space S5 through the pipe. The quantity of air which each blower sends is determined by the drive signal from the drive unit 510 mentioned later, respectively.

도 5는, 송풍기(421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, 425)가 보내주는 공기의 양을 제어하는 제어 시스템의 개략도다.5 is a schematic diagram of a control system for controlling the amount of air sent by the blowers 421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, 425.

제어 시스템은, 노 내부 공간에 설치된 압력 센서(355, 360a 내지 360c)와, 각각의 노 외부 공간에 설치된 압력 센서(415, 416, 417a 내지 417c, 418, 419)와, 제어 장치(600)와, 구동 유닛(610)과, 송풍기(421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, 425)를 갖는다.The control system includes pressure sensors 355 and 360a to 360c provided in the furnace inner space, pressure sensors 415 and 416 and 417a to 417c and 418 and 419 provided in the furnace outer space, and the control device 600. And a drive unit 610 and blowers 421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, 425.

제어 장치(600)는, 노 내부 공간에 설치된 각 압력 센서로부터 보내지는 노 내부 공간에 있어서의 기압의 계측 결과와, 노 외부 공간에 설치된 각 압력 센서로부터 보내지는 노 외부 공간에 있어서의 기압의 계측 결과를 사용하여, 노 내부 공간 및 노 외부 공간에 있어서의 높이 방향의 동일한 위치에 있어서의 기압의 차분이 설정된 범위로 조정되도록, 각 송풍기가 보내주는 공기의 양을 조정하기 위한 제어 신호를 생성한다. 생성된 제어 신호는, 구동 유닛(610)으로 보내진다. 또한, 각 송풍기에 의해 보내주는 공기의 양은, 예를 들어 각 노 외부 공간의 각각에 대해서 기압의 기준값의 범위를 미리 설정해 두고, 각 노 외부 공간의 기압이 당해 기준값의 범위에 포함되도록 조정되어도 좋다.The control apparatus 600 measures the measurement result of the air pressure in the furnace internal space sent from each pressure sensor provided in the furnace internal space, and the air pressure in the furnace outside space sent from each pressure sensor provided in the furnace external space. Using the result, a control signal is generated to adjust the amount of air sent by each blower so that the difference in air pressure at the same position in the height direction in the furnace interior space and the exterior space of the furnace is adjusted to a set range. . The generated control signal is sent to the drive unit 610. In addition, the quantity of air sent by each blower may be adjusted so that the air pressure reference range may be included in the range of the said reference value, for example, previously setting the range of the air pressure reference value for each of the outside spaces of each furnace. .

구동 유닛(610)은 제어 신호를 기초로 하여, 송풍기에 의해 보내주는 공기의 양을 개별로 조정하기 위한 구동 신호를 생성한다. 구동 유닛(610)은 구동 신호를, 송풍기마다 보낸다.The drive unit 610 generates a drive signal for individually adjusting the amount of air sent by the blower based on the control signal. The drive unit 610 sends a drive signal for each blower.

또한, 제어 장치(600)는 구동 유닛(610)을 거쳐, 냉각 유닛(340), 온도 조정 유닛(370a 내지 370c), 냉각 롤러(330) 및 반송 롤러(350a 내지 350h)와 전기적으로 접속되어 있다. 제어 장치(600)는 구동 유닛(610)을 거쳐, 냉각 유닛(340)의 가열 온도를 제어하고, 온도 조정 유닛(370a 내지 c)의 가열원의 가열 온도를 조정하고, 냉각 롤러(330)의 구동과 온도를 조정하고, 또한 반송 롤러(350a 내지 h)의 구동을 조정할 수 있다.In addition, the control device 600 is electrically connected to the cooling unit 340, the temperature adjusting units 370a to 370c, the cooling roller 330, and the conveying rollers 350a to 350h via the drive unit 610. . The control device 600 controls the heating temperature of the cooling unit 340 via the drive unit 610, adjusts the heating temperature of the heating source of the temperature adjusting units 370a to c, and adjusts the heating temperature of the cooling roller 330. The drive and the temperature are adjusted, and the drive of the conveying rollers 350a to h can be adjusted.

본 실시 형태에서는, 제어 장치(600) 및 구동 유닛(610)이 공기의 보냄량을 자동 제어하지만, 오퍼레이터가 매뉴얼에서 공기의 보냄량을 조정해도 좋다. 또, 본 실시 형태에서는 기압의 제어 방법의 일례로서 송풍기를 사용해서 기압 제어를 행하는 경우에 대해서 설명했지만, 기압의 제어 방법은 당해 방법에만 한정되지 않는다. 예를 들어, 글라스의 절단 시에 발생하는 글라스의 파티클 등을 흡인함으로써 집진하는 집진 장치(도시 생략)를 사용해서 기압 제어를 행해도 된다. 집진 장치는, 공간(S4) 내의 글라스 리본 절단 장치(400) 및 공간(S5) 내의 귀부 절단 장치(500)의 각각의 근방에 설치되어 있고, 공간(S4) 및 공간(S5) 내의 공기를 흡인함으로써 당해 공기에 포함되는 글라스의 파티클 등을 집진 가능하게 구성되어 있다. 여기서, 공간(S4) 및 공간(S5)의 각각에 있어서 집진 장치에 의한 공기의 흡인량을 제어함으로써, 공간(S4) 및 공간(S5)의 기압을 제어할 수 있다. 또한, 공간(S4) 및 공간(S5)의 기압 제어는, 송풍기와 집진 장치를 조합하여 행해도 된다.Although the control apparatus 600 and the drive unit 610 automatically control the sending amount of air in this embodiment, an operator may adjust the sending amount of air in a manual. In addition, although this embodiment demonstrated the case where air pressure control is performed using a blower as an example of the air pressure control method, the air pressure control method is not limited only to this method. For example, pressure control may be performed using a dust collector (not shown) which collects dust by sucking particles of glass or the like generated at the time of cutting the glass. The dust collector is provided near each of the glass ribbon cutting device 400 in the space S4 and the ear cutting device 500 in the space S5, and sucks air in the space S4 and the space S5. It is comprised so that dust and the like of the glass contained in the air can be collected. Here, the air pressure of the space S4 and the space S5 can be controlled by controlling the suction amount of the air by the dust collector in each of the space S4 and the space S5. In addition, the atmospheric pressure control of space S4 and space S5 may be performed combining a blower and a dust collector.

또, 글라스판의 표면 품질을 열화시키는 요인으로서는, 글라스판의 제조 공정에 있어서 글라스판에 부착되는 글라스의 파티클(글라스의 절삭칩이나 먼지 등)을 들 수 있다. 서랭 공정 후의 글라스 리본은, 서랭로의 하방에 배치된 글라스 리본 절단실에 있어서 원하는 사이즈로 절단됨으로써, 글라스판이 형성된다. 또한, 글라스판의 폭 방향의 양단부에는, 글라스판의 폭 방향의 중앙부보다도 큰 두께를 갖는 귀부가 형성되어 있다. 이 귀부는, 글라스 리본 절단실과 통기 가능하게 인접하는 귀부 절단실로 글라스판이 반송된 후에, 귀부 절단실에 있어서 절단된다. 여기서, 귀부 절단실 내에는 귀부가 절단되었을 때에 발생하는 글라스의 파티클이 비산(飛散)하고 있어, 이 글라스의 파티클이 귀부 절단실에 인접하는 글라스 리본 절단실로 유입해 버리는 경우가 있다.Moreover, as a factor which degrades the surface quality of a glass plate, the particle | grains (glass cutting chips, dust, etc.) of glass adhering to a glass plate in the manufacturing process of a glass plate are mentioned. The glass ribbon after a slow cooling process is cut | disconnected to a desired size in the glass ribbon cutting chamber arrange | positioned under the slow cooling furnace, and a glass plate is formed. Moreover, the ear | edge part which has thickness larger than the center part of the width direction of the glass plate is formed in the both ends of the width direction of a glass plate. This ear | edge part is cut | disconnected in an ear | edge cutting chamber, after a glass plate is conveyed to the ear | edge cutting chamber which adjoinably adjoins a glass ribbon cutting chamber. Here, the particle | grains of the glass which generate | occur | produce when an ear | edge part is cut | disconnected in an ear | edge cutting chamber, and the particle of this glass may flow into the glass ribbon cutting chamber adjacent to an ear | edge cutting chamber.

이로 인해, 본 실시 형태에서는 송풍기(424, 425)가 보내주는 공기의 양은, 공간(S4)의 기압이 공간(S5)의 기압에 대하여 높아지도록, 각 공간에 있어서 조정된다. 공간(S4)의 기압이 공간(S5)의 기압보다도 낮아지면, 공간(S5)으로부터 공간(S4)을 향해 연통 구멍으로부터 공기가 유입되는 경우가 있다. 이때, 공간(S4)으로 유입하는 공기에는 공간(S5) 내를 비산하는 글라스의 파티클이 포함되므로, 공간(S4)의 공기가 상승 기류에 의해 다시 상방에 위치하는 노 내부 공간을 향해 이동한 경우, 글라스의 파티클이 글라스 리본(G)에 부착될 우려가 있다. 공간(S4)의 기압을 공간(S5)의 기압에 대하여 높게 함으로써, 글라스의 파티클을 포함하는 공간(S5)의 공기가 공간(S4)의 공기로 유입하는 것을 방지할 수 있으므로, 공간(S4)의 공기가 상승 기류에서 상방으로 이동한 경우라도, 글라스의 파티클이 글라스 리본(G)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 글라스판(G1)의 표면 품질의 열화를 억제할 수 있다.For this reason, in this embodiment, the quantity of the air which blowers 424 and 425 send is adjusted in each space so that the air pressure of space S4 may become high with respect to the air pressure of space S5. When the air pressure in the space S4 is lower than the air pressure in the space S5, air may flow from the communication hole toward the space S4 from the space S5. At this time, since the air flowing into the space S4 includes particles of glass scattering in the space S5, when the air in the space S4 is moved toward the furnace inner space again located upward by the rising airflow. There is a fear that particles of glass may adhere to the glass ribbon G. By raising the air pressure in the space S4 to the air pressure in the space S5, the air in the space S5 including the glass particles can be prevented from entering the air in the space S4, so the space S4 Even when the air in the air is moved upward in the upward airflow, particles of the glass can be prevented from adhering to the glass ribbon G. For this reason, deterioration of the surface quality of glass plate G1 can be suppressed.

공간(S4)과 공간(S5) 사이의 기압의 차분은, 0 초과 내지 40Pa이며, 1 내지 35Pa인 것이 바람직하고, 2 내지 30Pa인 것이 보다 바람직하고, 3 내지 25Pa인 것이 더욱 바람직하고, 4 내지 15Pa인 것이 더욱 바람직하다. 상기 기압의 차분이 상기 범위를 상회하면, 공간(S4)으로부터 공간(S5)을 향해 연통 구멍으로부터 대량의 공기가 유출되는 경우가 있다. 이 경우, 공간(S4)으로부터 공간(S5)으로 반송되는 글라스판(G1)에는, 당해 공기에 의해 진동 혹은 휨이 발생함으로써, 글라스판(G1)이 반송 중에 파손될 우려가 있다. 기압의 차분을 상기 범위로 조정함으로써, 반송 중의 글라스판(G1)에 발생하는 진동 혹은 휨을 억제할 수 있다. 따라서, 반송 중에 파손되는 글라스판(G1)의 수를 저감할 수 있으므로, 글라스판(G1)의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.The difference in air pressure between the space S4 and the space S5 is more than 0 to 40 Pa, preferably 1 to 35 Pa, more preferably 2 to 30 Pa, still more preferably 3 to 25 Pa, 4 to 4 It is more preferable that it is 15 Pa. When the difference in the air pressure exceeds the above range, a large amount of air may flow from the communication hole toward the space S5 from the space S4. In this case, in the glass plate G1 conveyed from the space S4 to the space S5, vibration or warpage generate | occur | produce by the said air, and there exists a possibility that glass plate G1 may be damaged during conveyance. By adjusting the difference of atmospheric pressure to the said range, the vibration or curvature which generate | occur | produces in the glass plate G1 during conveyance can be suppressed. Therefore, since the number of glass plates G1 damaged during conveyance can be reduced, the manufacturing efficiency of glass plate G1 can be improved.

또한, 각 송풍기가 보내주는 공기의 양은 노 외부 공간(S2, S3a 내지 S3c)의 기압이, 높이 방향의 동일한 위치에 있어서의 노 내부 공간의 기압에 대하여 낮아지도록, 각 노 외부 공간의 기압은 조정된다.In addition, the amount of air sent by each blower is adjusted so that the air pressure in the furnace outer spaces S2 and S3a to S3c is lowered with respect to the air pressure in the furnace inner space at the same position in the height direction. do.

성형로(40)의 노 내부 공간과 노 외부 공간(S2)과의 사이의 기압의 차분은, 0 초과 내지 40Pa이며, 4 내지 35Pa인 것이 바람직하고, 8 내지 30Pa인 것이 보다 바람직하고, 10 내지 27Pa인 것이 더욱 바람직하고, 10 내지 25Pa인 것이 더욱 바람직하다. 상기 기압의 차분이 상기 범위를 상회하면, 노 내부 공간으로부터 노 외부 공간(S2)을 향해 노벽의 간극으로부터 대량의 공기가 유출되는 경우가 있어, 노 내부 공간에 있어서의 공기의 상승을 증대시킨다. 한편, 상기 기압의 차분이 상기 범위를 하회하면, 노 외부 공간(S2)으로부터 노 내부 공간을 향해 노벽의 간극으로부터 공기가 유입되는 경우가 있어, 노 내부 공간의 온도 변동이 발생할 우려가 있다. 기압의 차분을 상기 범위로 조정함으로써, 성형로(40)의 노 내부 공간으로 노 외부 공간(S2)으로부터 저온의 공기가 유입하는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 노 내부 공간의 온도 변동을 억제할 수 있다. 즉, 용융 글라스나 글라스 리본(G) 중, 성형로(40)로 유입한 공기에 접한 부분만이 급랭되는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 성형로(40)에 있어서 용융 글라스나 글라스 리본(G)이 국부적으로 급랭된 경우에는, 급랭된 부분의 점도가 높아져, 반송 경로의 하류측에 있어서 글라스 리본(G)이 롤러에 의해 늘려질 때에, 점도가 높아진 부분을 충분히 늘릴 수 없으므로, 글라스판의 판 두께의 편차를 일으켜 버린다고 하는 문제가 발생한다. 이 문제에 대하여, 기압의 범위를 상기 범위로 조정함으로써, 냉각 속도의 편차, 나아가서는 글라스 리본(G)의 판 두께의 편차를 억제할 수 있다.The difference in air pressure between the furnace inner space and the furnace outer space S2 of the forming furnace 40 is more than 0 to 40 Pa, preferably 4 to 35 Pa, more preferably 8 to 30 Pa, more preferably 10 to More preferably, it is 27 Pa, and it is more preferable that it is 10-25 Pa. When the difference in the air pressure exceeds the above range, a large amount of air may flow out of the furnace wall gap from the furnace internal space toward the furnace external space S2, thereby increasing the rise of air in the furnace internal space. On the other hand, when the difference of the atmospheric pressure is less than the above range, air may flow from the furnace wall space toward the furnace interior space from the furnace exterior space S2, and there is a fear that temperature fluctuations in the furnace interior space occur. By adjusting the difference of the atmospheric pressure to the above range, it is possible to prevent the low-temperature air from flowing into the furnace interior space of the forming furnace 40 from the furnace exterior space S2. For this reason, temperature fluctuations in the furnace internal space can be suppressed. That is, only the part which contacted the air which flowed in the shaping | molding furnace 40 among the molten glass or the glass ribbon G can be prevented from being quenched. For example, when molten glass and glass ribbon G are locally quenched in the shaping | molding furnace 40, the viscosity of the quenched part will become high and glass ribbon G will be conveyed to a roller downstream of a conveyance path | route. When it increases, the part which the viscosity became high cannot fully be extended, and the problem of causing the deviation of the plate thickness of a glass plate arises. In response to this problem, by adjusting the range of the atmospheric pressure to the above range, the variation in the cooling rate and further the variation in the plate thickness of the glass ribbon G can be suppressed.

한편, 서랭로(50)의 노 내부 공간과 노 외부 공간(S3a 내지 S3c)과의 사이의 기압 차분은, 0 초과 내지 40Pa이며, 2 내지 35Pa인 것이 바람직하고, 2 내지 25Pa인 것이 보다 바람직하고, 3 내지 23Pa인 것이 더욱 바람직하고, 5 내지 20Pa인 것이 더욱 바람직하다. 상기 기압의 차분이 상기 범위를 상회하면, 노 내부 공간으로부터 노 외부 공간(S3a 내지 S3c)을 향해 노벽의 간극으로부터 대량의 공기가 유출되는 경우가 있어, 노 내부 공간에 있어서의 공기의 상승을 증대시킨다. 한편, 상기 기압의 차분이 상기 범위를 하회하면, 노 외부 공간(S3a 내지 S3c)으로부터 노 내부 공간을 향해 노벽의 간극으로부터 공기가 유입되는 경우가 있어, 노 내부 공간의 온도 분포가 변동된다. 기압의 차분을 상기 범위로 조정함으로써, 서랭로(50)의 노 내부 공간으로 노 외부 공간(S3a 내지 S3c)으로부터 저온 공기가 유입하는 것을 방지할 수 있으므로, 노 내부 공간의 온도 편차를 억제할 수 있다. 이에 의해, 글라스 리본(G)의 변형, 휨 및 열 수축의 편차를 억제할 수 있다.On the other hand, the air pressure difference between the furnace inner space of the slow cooling furnace 50 and the furnace outer spaces S3a to S3c is more than 0 to 40 Pa, preferably 2 to 35 Pa, more preferably 2 to 25 Pa. , 3 to 23 Pa is more preferable, and it is more preferable that it is 5 to 20 Pa. When the difference in air pressure exceeds the above range, a large amount of air may flow out of the furnace wall from the furnace interior space toward the furnace exterior spaces S3a to S3c, thereby increasing the rise of air in the furnace interior space. Let's do it. On the other hand, when the difference in the atmospheric pressure is less than the above range, air may flow from the furnace wall space toward the furnace interior space from the furnace exterior spaces S3a to S3c, and the temperature distribution of the furnace interior space changes. By adjusting the difference in air pressure within the above range, it is possible to prevent the inflow of low-temperature air from the furnace outer spaces S3a to S3c into the furnace inner space of the slow cooling furnace 50, thereby suppressing temperature variations in the furnace inner space. have. Thereby, the deviation of the deformation | transformation, curvature, and heat shrinkage of the glass ribbon G can be suppressed.

이하, 노 내부 공간의 온도 편차에 의해 발생하는 문제에 대해서 상세하게 설명한다. 서랭로(50) 내에서는, 글라스 리본(G)의 휨 등을 억제하기 위해서, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 온도 프로파일을 제어하고 있다. 구체적으로는, 글라스 리본(G)의 반송 영역 중, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부의 온도가 (서랭점 온도 +5℃) 이상이 되는 반송 영역에서는, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 양단부로부터 폭 방향의 중앙부를 향해 온도가 높아지도록 글라스 리본(G)의 온도가 제어되고 있다. 또한, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부의 온도가 (서랭점 온도 +5℃) 이상이 되는 반송 영역에서는, 글라스 리본(G)이 하류로 반송되는 것에 수반하여, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부와 폭 방향의 양단부와의 온도차가 작아지도록 글라스 리본(G)의 온도가 제어되고 있다. 이와 같이 온도 프로파일을 제어함으로써, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부에 항상 인장 응력(텐션)을 걸 수 있으므로, 글라스 리본(G)의 휨 발생을 억제할 수 있다. 그러나 글라스 리본(G)의 반송 영역 중, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부 온도가 (서랭점 온도 +5℃) 이상이 되는 반송 영역에서, 예를 들어 저온 공기의 유입 등에 의해 글라스 리본(G)이 국부적으로 급랭되면, 상기 온도 프로파일을 실현할 수 없어, 글라스 리본(G)에 휨이 발생해 버린다고 하는 문제가 발생한다.Hereinafter, the problem caused by the temperature variation of the furnace internal space will be described in detail. In the slow cooling furnace 50, in order to suppress the curvature of the glass ribbon G, etc., the temperature profile of the width direction of the glass ribbon G is controlled. Specifically, in the conveyance area | region where the temperature of the center part of the width direction of glass ribbon G becomes more than (slow cooling point temperature +5 degreeC) in the conveyance area | region of glass ribbon G, the width direction of glass ribbon G of The temperature of the glass ribbon G is controlled so that temperature may become high from the both ends to the center part of the width direction. In addition, in the conveyance area | region where the temperature of the center part of the width direction of glass ribbon G becomes more than (slow cooling point temperature +5 degreeC), as the glass ribbon G is conveyed downstream, the width of glass ribbon G is The temperature of the glass ribbon G is controlled so that the temperature difference between the center part of a direction and the both ends of a width direction may become small. By controlling the temperature profile in this way, since a tensile stress (tension) can always be applied to the center portion of the width direction of the glass ribbon G, the occurrence of warpage of the glass ribbon G can be suppressed. However, in the conveyance area | region where the temperature of the center part of the width direction of the glass ribbon G becomes more than (cool point temperature +5 degreeC) in the conveyance area | region of glass ribbon G, glass ribbon G by inflow of low temperature air, etc., for example. ) Is locally quenched, the temperature profile cannot be realized, causing a problem that warpage occurs in the glass ribbon G.

또한, 글라스 리본(G)의 반송 영역 중, 글라스 리본(G)의 온도가 (서랭점 온도 +5℃)로부터 (변형점 온도 -50℃)가 되는 반송 영역에서는, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 양단부와 폭 방향의 중앙부와의 사이에서 온도가 대략 균일해지도록 글라스 리본(G)의 온도가 제어되고 있다. 이에 의해, 글라스 리본(G)의 잔류 응력을 저감할 수 있어, 글라스판의 평면 변형을 저감할 수 있다. 또한, 글라스 리본(G)의 온도가 (서랭점 온도 +5℃)로부터 (변형점 온도 -50℃)의 범위 내에 포함되어 있는 상태를 길게 유지할수록, 글라스판의 열 수축을 저감할 수 있다. 그러나 글라스 리본(G)의 온도가 (서랭점 온도 +5℃)로부터 (변형점 온도 -50℃)가 되는 반송 영역에서, 예를 들어 저온 공기의 유입 등에 의해 글라스 리본(G)이 국부적으로 급랭되면, 급랭된 부분에 평면 변형이 발생하거나, 당해 부분의 열 수축률이 커져 버리므로, 평면 변형의 증대나 열 수축의 편차가 발생해 버린다고 하는 문제가 발생한다.Moreover, in the conveyance area | region where the temperature of glass ribbon G becomes (strain point temperature -50 degreeC) from (slow cooling point temperature +5 degreeC) in the conveyance area | region of glass ribbon G, the width direction of glass ribbon G is The temperature of the glass ribbon G is controlled so that temperature may become substantially uniform between the both ends of and the center part of the width direction. Thereby, the residual stress of the glass ribbon G can be reduced, and the plane deformation of a glass plate can be reduced. Moreover, the heat shrink of a glass plate can be reduced, so that the temperature of glass ribbon G is kept in the range contained in the range of (cooling point temperature +5 degreeC) to (strain point temperature -50 degreeC) for a long time. However, in the conveyance area | region where the temperature of glass ribbon G becomes (strain point temperature +5 degreeC) from (strain point temperature -50 degreeC), when glass ribbon G is locally quenched by the inflow of low temperature air, etc., for example Since the plane strain occurs in the quenched portion, or the heat shrinkage ratio of the portion increases, a problem arises in that the plane strain increases or the deviation of the heat shrinkage occurs.

상술한 문제는, 기압의 차분을 상기 범위로 조정하여, 서랭로(50)의 노 내부 공간으로 노 외부 공간(S3a 내지 S3c)으로부터 저온 공기가 유입하는 것을 방지함으로써, 노 내부 공간의 온도 편차를 억제함으로써, 저감할 수 있다.The problem described above is that the temperature difference of the furnace interior space is reduced by adjusting the difference in the atmospheric pressure to the above range and preventing the low temperature air from flowing into the furnace interior space of the slow cooling furnace 50 from the furnace exterior spaces S3a to S3c. By suppressing, it can reduce.

또, 본 실시 형태에서는, 모든 노 외부 공간의 기압이 높이 방향의 동일한 위치에 있어서의 노 내부 공간의 기압에 대하여 낮아지도록, 노 외부 공간의 기압은 조정되지만, 노 외부 공간의 적어도 일부분에 있어서의 기압이 높이 방향의 동일한 위치에 있어서의 노 내부 공간의 기압에 대하여 낮아지도록, 노 외부 공간의 기압은 조정되어도 좋다. 이 경우, 글라스 리본(G)의 서랭점 온도에 대응하는 서랭로 내의 위치와, 글라스 리본(G)의 변형점 온도에 대응하는 서랭로 내의 위치와의 사이의 영역에서, 노 외부 공간의 기압은 높이 방향의 동일한 위치에 있어서의 노 내부 공간의 기압에 대하여 낮아지도록 조정되는 것이 바람직하다. 서랭점 온도에 대응하는 위치는, 예를 들어 노 외부 공간(S3a)의 높이 방향의 위치에 있으며, 또한 변형점 온도에 대응하는 위치는, 예를 들어 노 외부 공간(S3b)의 높이 방향의 위치에 있다. 상기 영역에서는, 글라스 리본(G)이 고화하는 단계이며, 가장 글라스의 평면 변형이나 열 수축에 영향을 주므로, 상기 영역에서 효율적으로 기압을 조정하여, 노 외부 공간으로부터의 공기의 유입을 억제함으로써, 노 내부 공간에 있어서의 온도 편차를 억제하는 것이 바람직하다.Moreover, in this embodiment, although the air pressure of the furnace external space is adjusted so that the air pressure of all the furnace external spaces becomes lower with respect to the air pressure of the furnace internal space at the same position in the height direction, the air pressure of the furnace external space is adjusted. The air pressure in the furnace outer space may be adjusted so that the air pressure is lowered with respect to the air pressure in the furnace inner space at the same position in the height direction. In this case, in the region between the position in the slow cooling furnace corresponding to the slow cooling point temperature of the glass ribbon G and the position in the slow cooling furnace corresponding to the strain point temperature of the glass ribbon G, the air pressure in the furnace external space is It is preferable to adjust so that it may become low with respect to the air pressure of the furnace internal space in the same position of a height direction. The position corresponding to the slow cooling point temperature is, for example, a position in the height direction of the furnace external space S3a, and the position corresponding to the strain point temperature is, for example, a position in the height direction of the furnace external space S3b. Is in. In this region, the glass ribbon G is a step of solidifying, and most affects the plane deformation and thermal contraction of the glass, thereby efficiently adjusting the air pressure in the region to suppress the inflow of air from the outside space of the furnace, It is preferable to suppress the temperature variation in the furnace interior space.

또한, 서랭로(50)의 노 내부 공간에 있어서 글라스 리본(G)의 온도가 (변형점 온도 -50℃) 미만이 되는 영역에 대응하는 높이 방향의 동일한 위치에 있어서의 노 외부 공간에 있어서의 기압을 조정함으로써, 공기의 노 외부 공간으로부터의 유입을 억제할 수 있어, 이 영역의 온도 편차를 억제할 수 있고, 이 억제에 의해 글라스 리본(G)의 휨을 방지할 수 있다. 여기서, 글라스 리본(G)은 성형로(40)로부터 절단될 때까지 1매의 연속된 판이다. 그로 인해, 글라스 리본(G)의 온도가 (변형점 온도 -50℃) 미만이 되는 영역에서 글라스 리본(G)의 휨 형상이 변화되면, (변형점 온도 -50C) 이상이 되는 영역의 글라스 리본에도 영향을 주어, 열 수축의 편차가 발생해 버린다. 상술한 바와 같이, 즉 글라스 리본(G)의 온도가 (변형점 온도 -50℃) 미만이 되는 영역의 온도 편차를 억제함으로써, 휨, 평면 변형 및 열 수축의 편차를 억제할 수 있다.Moreover, in the furnace outer space in the same position of the height direction corresponding to the area | region where the temperature of glass ribbon G becomes less than (strain point temperature -50 degreeC) in the furnace inner space of the slow cooling furnace 50 By adjusting the air pressure, the inflow of air from the outside space of the furnace can be suppressed, and the temperature variation of this region can be suppressed, and the curvature of the glass ribbon G can be prevented by this suppression. Here, the glass ribbon G is one continuous board until it cuts from the shaping | molding furnace 40. As shown in FIG. Therefore, when the bending shape of glass ribbon G changes in the area | region where the temperature of glass ribbon G becomes less than (strain point temperature -50 degreeC), the glass ribbon of the area | region which becomes (strain point temperature -50C) or more It also affects the heat shrinkage. As described above, that is, by suppressing the temperature variation of the region where the temperature of the glass ribbon G is less than the strain point temperature of -50 ° C, the variation in warpage, plane deformation and heat shrinkage can be suppressed.

또한, 노 내부 공간이 없는 높이 방향의 위치에 있는 압력 센서(415)는, 노 내부 공간에 노 외부 공간(S1)으로부터 공기가 유입하지 않도록 송풍기(421)에 의한 노 외부 공간(S1)을 조정하기 위해서 노 외부 공간(S1)의 기압을 계측한다. 압력 센서(418)는 공간(S4)의 기압을 송풍기(424)에 의해 조정하여, 공간(S4)에 있어서의 기압 계측을 위해 사용된다. 예를 들어, 공간(S4)은 노 내부 공간의 가장 낮은 기압에 대하여 더욱 낮아지도록, 공간(S4)의 기압은 조정되는 것이 바람직하다. 공간(S4)의 기압을 상기와 같이 조정함으로써, 공간(S4)으로부터 노 내부 공간으로 흐르는 공기를 감소시킬 수 있다.Moreover, the pressure sensor 415 in the height direction position which does not have a furnace inner space adjusts the furnace outer space S1 by the blower 421 so that air may not flow into a furnace inner space from the furnace outer space S1. In order to measure the air pressure in the furnace external space S1. The pressure sensor 418 adjusts the atmospheric pressure of the space S4 by the blower 424, and is used for the atmospheric pressure measurement in the space S4. For example, the air pressure in the space S4 is preferably adjusted so that the space S4 becomes lower with respect to the lowest air pressure in the furnace interior space. By adjusting the air pressure in the space S4 as described above, the air flowing from the space S4 into the furnace interior space can be reduced.

또한, 송풍기(421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, 425)는 노 외부 공간(S1, S2, S3a 내지 S3c), 공간(S4) 및 공간(S5)으로 공기를 보내줌으로써, 어떠한 공간의 기압도 대기압에 대하여 높게 조정되지만, 이들 공간의 기압을 대기압에 대하여 높게 하는 것은, 노 외부 공간(S1, S2, S3a 내지 S3c), 공간(S4) 및 공간(S5) 내로 대량의 공기 및 당해 공기에 포함되는 파티클이 건물(B)의 외부로부터 유입하는 것을 방지하고, 나아가서는 노 외부 공간(S1, S2, S3a 내지 S3c), 공간(S4), 공간(S5)의 기압을 효율적으로 조정하기 위해서다.In addition, the blowers 421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, and 425 send air to the furnace external spaces S1, S2, S3a to S3c, the space S4, and the space S5, thereby providing Although the air pressure is also adjusted high with respect to the atmospheric pressure, increasing the air pressure of these spaces with respect to the atmospheric pressure is a large amount of air and the air in the furnace outside space (S1, S2, S3a to S3c), the space (S4) and the space (S5). In order to prevent particles contained in from flowing out of the outside of the building B, furthermore, to effectively adjust the air pressure in the furnace exterior spaces S1, S2, S3a to S3c, the space S4, and the space S5. .

또한, 노 내부 공간에 있어서의 기압은 높이 방향의 위치가 높을수록 기압이 높아지도록 제어되고 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 노 내부 공간에 온도 분포가 발생하고, 기압에 분포가 발생해도, 이 기압 분포에 따라서, 노 외부 공간에 있어서의 기압이 조정된다. 이것은, 노 외부 공간 각각의 기압과 노 내부 공간의 기압과의 차분에 의해 공기가 노 내부 공간으로 유입하거나, 노 외부 공간으로 공기가 누설되어서 공기의 대류가 발생하지 않도록 하기 위해서다. 이로 인해, 노 내부 공간에는 노 외부 공간의 각각에 설치된 압력 센서와 높이 방향의 동일한 위치에, 압력 센서가 설치된다. 이와 같이, 노 내부 공간에 압력 분포가 발생할 경우, 노 외부 공간의 각각의 기압과, 이 노 외부 공간의 높이 방향의 동일한 위치에 있어서의 노 내부 공간의 기압과의 차분을, 높이 방향의 위치에 따라 변화되도록 조정되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 높이 방향의 동일한 위치에 노 내부 공간이 존재하는 노 외부 공간(S2, S3a 내지 S3c) 중 최상부의 노 외부 공간(S2)과 최하부의 노 외부 공간(S3c)과의 사이에서 비교했을 때, 최상부에 있어서의 기압의 차분은, 최하부에 있어서의 기압의 차분에 비해 커지도록 조정되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 기압의 상기 차분이 높이 방향의 위치가 높아짐에 따라서 커지도록 설정되면 좋다. 이것은, 서랭로에 있어서의 노 내부 공간에서는, 높이 방향의 위치가 높을수록 온도가 높기 때문에, 찬 공기가 유입되었을 때의 글라스 리본(G)과의 온도차가 커지고, 높이 방향의 위치가 높을수록, 글라스 리본(G)의 온도 편차가 커지는 것을 방지하기 위해서다.Moreover, it is preferable that the air pressure in a furnace internal space is controlled so that air pressure may become high, so that the position of a height direction is high. Thus, even if temperature distribution generate | occur | produces in a furnace internal space and distribution generate | occur | produces in air pressure, the air pressure in a furnace external space is adjusted according to this air pressure distribution. This is to prevent air from entering the furnace interior space or leaking air into the furnace exterior space due to the difference between the air pressure of each of the outside space of the furnace and the air pressure of the inside space of the furnace, so that air convection does not occur. For this reason, the pressure sensor is installed in the furnace inner space at the same position in the height direction as the pressure sensor provided in each of the furnace outer space. In this way, when a pressure distribution occurs in the furnace interior space, the difference between the air pressure in the furnace exterior space and the air pressure in the furnace interior space at the same position in the height direction of the furnace exterior space is at the position in the height direction. It is preferable to adjust to change accordingly. For example, a comparison was made between the furnace outer space S2 at the top and the furnace outer space S3c at the bottom of the furnace outer spaces S2, S3a to S3c where the furnace inner spaces exist at the same position in the height direction. At this time, it is preferable that the difference in the air pressure at the uppermost portion is adjusted to be larger than the difference in the air pressure at the lowermost portion. For example, what is necessary is just to set so that the said difference of air pressure may become large as the position of a height direction becomes high. This is because in a furnace interior space in a slow cooling furnace, since the temperature is high, so that the position of a height direction is high, the temperature difference with glass ribbon G when cold air flows in becomes large, and the higher the position of a height direction, This is to prevent the temperature variation of the glass ribbon G from increasing.

또한, 노 외부 공간의 기압은 높이 방향의 위치가 높을수록 높아지는 것이 바람직하다. 이에 의해, 노 외부 공간에 있어서, 노벽을 따라 발생하는 상승 기류의 크기를 저감할 수 있으므로, 노 내부 공간 중 노벽측의 온도가 당해 상승 기류에 의해 국부적으로 저하하는 것을 억제할 수 있다. 이로 인해, 노 내부 공간의 온도 변동을 억제할 수 있다. 바꾸어 말하면, 노 외부 공간의 기압이 글라스 리본(G)의 흐름 방향의 상류측일수록 커지도록, 노 외부 공간의 기압을 제어함으로써, 노 내부 공간의 온도 변동을 억제할 수 있다.Moreover, it is preferable that the air pressure of the furnace outer space becomes higher as the position in the height direction is higher. Thereby, since the magnitude | size of the rising airflow which generate | occur | produces along a furnace wall in a furnace exterior space can be reduced, it can suppress that the temperature of the furnace wall side in a furnace interior space falls locally by the said upward airflow. For this reason, temperature fluctuations in the furnace internal space can be suppressed. In other words, by controlling the air pressure in the furnace outside space so that the air pressure in the outside space of the furnace increases upstream of the flow direction of the glass ribbon G, the temperature fluctuations in the furnace inside space can be suppressed.

또한, 공간(S4)의 기압은 노 내부 공간의 기압에 대하여 낮아지도록 조정되어 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 글라스 리본(G)의 절단 시에 발생한 글라스의 파티클을 포함하는 공간(S4)의 공기가 상승 기류에 의해 상방으로 이동하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 만일 공간(S5)으로부터 공간(S4)으로 공기가 유입된 경우라도, 유입된 공기에 포함되는 글라스의 파티클이 상승 기류에 의해 노 내부 공간으로 이동하는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 글라스 리본(G)에 글라스의 파티클이 부착되는 것을 방지할 수 있으므로, 글라스 리본(G)으로 성형되는 글라스판(G1)의 표면 품질이 열화하는 것을 억제할 수 있다.Moreover, it is preferable to adjust so that the air pressure of space S4 may become low with respect to the air pressure of the furnace internal space. Thereby, the air of the space S4 containing the particle | grains of the glass which generate | occur | produced at the time of the cutting of the glass ribbon G can be prevented from moving upward by an upward airflow. That is, even if air flows into the space S4 from the space S5, it is possible to prevent particles of the glass contained in the introduced air from moving to the furnace interior space by the rising airflow. For this reason, since the particle | grains of glass can be prevented from adhering to glass ribbon G, it can suppress that the surface quality of glass plate G1 shape | molded by glass ribbon G deteriorates.

본 실시 형태에서는, 도 3에 도시한 성형 공간(S6) 및 서랭 공간(S7)에 있어서 글라스 리본(G)의 냉각 제어를, 이하에 설명하는 각 형태에 대해서 행할 수도 있다. 구체적으로는, 냉각 유닛(340), 온도 조정 유닛(370a 내지 370c) 및 냉각 롤러(330)를 제어 장치(600)의 지시에 따라서 온도 제어를 하여, 이하와 같은 글라스 리본(G)의 냉각을 행할 수 있다.In this embodiment, cooling control of glass ribbon G can be performed about each form demonstrated below in shaping | molding space S6 and slow cooling space S7 shown in FIG. Specifically, the cooling units 340, the temperature adjusting units 370a to 370c, and the cooling rollers 330 are temperature-controlled in accordance with the instructions of the control device 600 to cool the glass ribbon G as follows. I can do it.

예를 들어, 서랭 공간(S7) 내를, 냉각 롤러(330)나 반송 롤러(350a 내지 350h)를 사용해서 하류측에 글라스 리본(G)을 흘릴 때, 글라스 리본(G)의 흐름 방향으로 효과적으로 장력을 작용하게 함으로써, 글라스 리본(G)의 휨을 억제할 수 있다. 또한, 글라스 리본(G)의 각 롤러에 끼움 지지되어 흐르는 부분에 인접하는 인접 영역에 물결 형상의 변형이 발생하는 것도 억제할 수 있다.For example, when the glass ribbon G flows in the slow cooling space S7 downstream using the cooling roller 330 or the conveyance rollers 350a-350h, it is effective in the flow direction of the glass ribbon G. By making tension act, the curvature of the glass ribbon G can be suppressed. Moreover, it can also suppress that wavy deformation | transformation generate | occur | produces in the adjacent area | region adjacent to the part which is supported by each roller of the glass ribbon G, and flows.

글라스 리본(G)의 흐름 방향으로 효과적으로 장력을 작용하게 하기 위해서, 예를 들어 성형 공간(S6) 및 서랭 공간(S7) 내에 있어서, 글라스 리본(S)의 폭 방향의 중앙부의 온도가 글라스의 연화점 온도 이상인 영역에서, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 양단부(귀부)가 중앙부의 온도보다 낮고, 또한 중앙부의 온도가 균일해지도록 글라스 리본(G)의 온도를 제어한다. 또한, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부에 반송 방향의 인장 응력이 작용하도록 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부의 온도가 연화점 온도 미만, 변형점 온도 이상의 영역에 있어서, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 온도 분포(온도 프로파일)의 온도가 중앙부로부터 양단부를 향해 낮아지도록 글라스 리본(G)의 온도를 제어한다. 또한, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부의 온도가 글라스의 변형점 온도가 되는 온도 영역에서, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 양단부(귀부)와 중앙부와의 온도 구배가 없어지도록 글라스 리본(G)의 온도를 제어한다. 이에 의해, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부에는 반송 방향의 인장 응력이 걸려, 글라스 리본(G)의 휨이나, 라스 리본(G)의 각 롤러에 끼움 지지되어 흐르는 부분에 인접하는 인접 영역에 물결 형상의 변형이 발생하는 것을 억제할 수 있다.In order to effectively exert the tension in the flow direction of the glass ribbon G, for example, in the molding space S6 and the slow cooling space S7, the temperature in the center of the width direction of the glass ribbon S is the softening point of the glass. In the area | region which is more than temperature, the temperature of glass ribbon G is controlled so that the both ends (ear part) of the width direction of glass ribbon G may be lower than the temperature of a center part, and the temperature of a center part may become uniform. Moreover, in the area | region where the temperature of the center part of the width direction of glass ribbon G is less than a softening point temperature, and more than strain point temperature so that the tensile stress of a conveyance direction may act on the center part of the width direction of glass ribbon G, glass ribbon G The temperature of the glass ribbon G is controlled so that the temperature of the temperature distribution (temperature profile) of the width direction of () may become low from a center part to both ends. In addition, in the temperature range where the temperature of the center portion in the width direction of the glass ribbon G becomes the strain point temperature of the glass, the glass ribbon so that the temperature gradient between the both ends (ears) and the center portion in the width direction of the glass ribbon G disappears. The temperature of (G) is controlled. Thereby, the tensile stress of the conveyance direction is applied to the center part of the width direction of the glass ribbon G, and the adjacent area | region adjacent to the part which bends the glass ribbon G and is clamped by the rollers of the lath ribbon G, and flows. It can suppress that a wave-like deformation | transformation arises.

또한, 서랭 공간(S7) 내에 있어서, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부에 반송 방향의 장력이 작용하도록 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부의 온도가 글라스의 변형점 온도 미만의 영역에서, 글라스 리본(G)의 온도 분포(온도 프로파일)의 온도가 폭 방향의 양단부(귀부)로부터 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부를 향해 낮아지도록 글라스 리본(G)의 온도를 제어할 수도 있다. 이에 의해, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부의 변형점 온도 근방 미만의 영역에서는, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부에서, 항상 반송 방향으로 인장 응력을 걸 수 있어, 글라스 리본(G)의 휨을 억제할 수 있다.Moreover, in the slow cooling space S7, in the area | region below the strain point temperature of glass, the temperature of the center part of the width direction of glass ribbon G is acting on the conveyance direction tension part in the center part of the width direction of glass ribbon G. The temperature of the glass ribbon G may be controlled so that the temperature of the temperature distribution (temperature profile) of the glass ribbon G is lowered from both ends in the width direction toward the center of the width direction of the glass ribbon G. . Thereby, in the area | region below the strain point temperature vicinity of the center part of the width direction of glass ribbon G, tensile stress can always be applied to a conveyance direction in the center part of the width direction of glass ribbon G, and glass ribbon G ) Warpage can be suppressed.

본 실시 형태에서는, 성형된 글라스 리본(G)의 냉각 속도를 조정함으로써, 글라스판의 변형을 억제하고, 휨을 억제하여, 열 수축률의 절대값을 한층 더 저감할 수 있다.In this embodiment, by adjusting the cooling rate of the molded glass ribbon G, the deformation | transformation of a glass plate can be suppressed, curvature can be suppressed, and the absolute value of a thermal contraction rate can be further reduced.

구체적으로는, 서랭 공간(S7) 내에 있어서, 반송 롤러(350a 내지 350h)를 사용해서 글라스 리본(G)을 반송하면서 서랭할 때, 글라스 리본(G)의 서랭점 온도에 150℃를 더한 온도로부터, 글라스 리본(G)의 변형점 온도로부터 200℃ 뺀 온도까지의 온도 영역을 정한다. 이때, 적어도 상기 온도 영역에서, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부의 냉각 속도는 글라스 리본(G)의 양단부의 냉각 속도보다도 빠르고, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부의 온도가 글라스 리본(G)의 양단부보다도 높은 상태로부터 중앙부의 온도가 양단부보다도 낮은 상태로 글라스 리본(G)을 변화시키는 것이 바람직하다. 이에 의해, 글라스 리본(G)의 폭 방향의 중앙부에, 글라스 리본(G)의 흐름 방향으로 인장 응력이 작용하도록 할 수 있다. 글라스 리본(G)의 흐름 방향에 인장 응력이 작용함으로써, 글라스 리본(G), 나아가서는 글라스판의 휨을 한층 더 억제할 수 있다.Specifically, in the slow cooling space S7, when cooling the glass ribbon G while conveying the glass ribbon G using the conveying rollers 350a to 350h, from the temperature obtained by adding 150 ° C to the slow cooling point temperature of the glass ribbon G. The temperature range from the strain point temperature of the glass ribbon G to the temperature minus 200 ° C is determined. At this time, in at least the said temperature range, the cooling rate of the center part of the width direction of glass ribbon G is faster than the cooling rate of the both ends of glass ribbon G, and the temperature of the center part of the width direction of glass ribbon G is a glass ribbon. It is preferable to change the glass ribbon G from the state higher than the both ends of (G) to the state where the temperature of a center part is lower than the both ends. Thereby, tensile stress can be made to act in the flow direction of glass ribbon G in the center part of the width direction of glass ribbon G. As shown in FIG. By the tensile stress acting on the flow direction of the glass ribbon G, the curvature of the glass ribbon G and further glass plate can be suppressed further.

본 실시 형태에서 사용하는 글라스판의 글라스 조성은 예를 들어 이하의 것을 들 수 있다.Examples of the glass composition of the glass plate used in the present embodiment include the followings.

이하 나타내는 조성의 함유율 표시는, 질량%이다.The content rate display of the composition shown below is the mass%.

SiO2 : 50 내지 70%,SiO 2 : 50 to 70%,

B2O3 : 5 내지 18%,B 2 O 3 : 5 to 18%

Al2O3 : 0 내지 25%,Al 2 O 3 : 0-25%,

MgO : 0 내지 10%,MgO: 0 to 10%,

CaO : 0 내지 20%,CaO: 0-20%,

SrO : 0 내지 20%,SrO: 0-20%,

BaO : 0 내지 10%,BaO: 0 to 10%,

RO : 5 내지 20%(단, R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba로부터 선택되는 적어도 1종류이며, 글라스판이 함유되는 것임)를 함유하는 무알칼리 글라스인 것이 바람직하다.It is preferable that it is an alkali free glass containing RO: 5 to 20% (However, R is at least 1 sort (s) chosen from Mg, Ca, Sr, and Ba, and a glass plate is contained.).

또, 본 실시 형태에서는 무알칼리 글라스로 했지만, 글라스판은 알칼리 금속을 미량 포함하고 있어도 된다. 알칼리 금속을 함유시킬 경우, R'2O의 합계가 0.20%를 초과하고 2.0% 이하(단, R'는 Li, Na 및 K로부터 선택되는 적어도 1종류이며, 글라스판이 함유되는 것임) 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 글라스의 용해를 쉽게 하기 위해서, 비저항을 저하시킨다고 하는 관점으로부터, 글라스 중의 산화철의 함유량이 0.01 내지 0.2%인 것이 더욱 바람직하다.Moreover, in this embodiment, although it was set as the alkali free glass, the glass plate may contain the trace amount of alkali metal. When the alkali metal is contained, the total of R ' 2 O exceeds 0.20% and 2.0% or less (wherein R' is at least one selected from Li, Na, and K, and a glass plate is included). desirable. Moreover, in order to make melting of a glass easy, it is more preferable that content of iron oxide in glass is 0.01 to 0.2% from a viewpoint of reducing specific resistance.

여기서, Li2O, Na2O, K2O는 글라스로부터 용출해서 TFT의 특성을 열화시킬 우려가 있는 성분이므로, 액정 디스플레이용 글라스 기판이나 유기 EL 디스플레이용 글라스 기판으로서 적용할 경우에는, 실질적으로 포함하지 않는 것이 바람직하다. 그러나 글라스 중에 상기 성분을 굳이 특정량 함유시킴으로써, TFT의 특성 열화를 억제하면서, 글라스의 염기성도를 높여, 가수 변동하는 금속의 산화를 쉽게 하여, 청징성을 발휘시킬 수 있다. 따라서, Li2O, Na2O, K2O의 합량은 0 내지 2.0%이며, 0.1 내지 1.0%가 보다 바람직하고, 0.2 내지 0.5%가 더욱 바람직하다.Here, Li 2 O, Na 2 O, and K 2 O are components that may elute from the glass and deteriorate the characteristics of the TFT. Therefore, when applied as a glass substrate for a liquid crystal display or a glass substrate for an organic EL display, It is preferable not to include it. However, by incorporating a specific amount of the above components into the glass, the basicity of the glass can be increased while suppressing the deterioration of the characteristics of the TFT, the oxidation of the metal which is hydrolyzed easily, and the clarity can be exhibited. Therefore, the total amount of Li 2 O, Na 2 O, K 2 O is 0 to 2.0%, more preferably 0.1 to 1.0%, still more preferably 0.2 to 0.5%.

또, Li2O, Na2O는 실질적으로 함유시키지 않고, 상기 성분 중에서도, 가장 글라스로부터 용출해서 TFT의 특성을 열화시키기 어려운 K2O를 함유시키는 것이 바람직하다. K2O의 함유량은 0 내지 2.0%이며, 0.1 내지 1.0%가 보다 바람직하고, 0.2 내지 0.5%가 더욱 바람직하다.In addition, among Li 2 O, Na 2 O does not substantially contained in the composition, it is preferable to contain to deteriorate the characteristics of the TFT by elution from the glass is difficult K 2 O. The content of K 2 O is 0 to 2.0%, more preferably 0.1 to 1.0%, still more preferably 0.2 to 0.5%.

본 실시 형태는, 글라스판의 두께가 0.05㎜ 내지 1.5㎜인 글라스판의 제조에 적합하다. 여기서, 얇은 글라스판일수록, 기압차에 의해 발생하는 공기의 흐름에 의해 휘기 쉬워지므로, 안정되게 반송하는 것이 어려워진다. 그로 인해, 두께 0.05 내지 0.5㎜인 글라스판은, 공간(S4)과 공간(S5)과의 사이에 기압차를 소정 범위 내로 설정한 본 실시 형태의 방법을 적용함으로써, 반송 중에 파손되는 글라스판의 수를 저감하는 등의 효과가 크다.This embodiment is suitable for manufacture of the glass plate whose thickness of a glass plate is 0.05 mm-1.5 mm. Here, the thinner the glass plate, the easier it is to bend by the flow of air generated by the air pressure difference, so that it is difficult to convey it stably. Therefore, the glass plate which is 0.05-0.5 mm in thickness of the glass plate damaged during conveyance by applying the method of this embodiment which set the atmospheric pressure difference within the predetermined range between the space S4 and the space S5. The effect of reducing the number is great.

본 실시 형태의 글라스판의 폭 방향의 길이는, 예를 들어 500㎜ 내지 3500㎜이며, 글라스판의 종방향의 길이도, 예를 들어 500㎜ 내지 3500㎜이다.The length of the width direction of the glass plate of this embodiment is 500 mm-3500 mm, for example, and the length of the longitudinal direction of a glass plate is 500 mm-3500 mm, for example.

또, 글라스판이 대형화하면, 기압차에 의해 발생하는 공기의 흐름에 의해 글라스판이 휘기 쉬워지므로, 글라스판을 안정되게 반송하는 것이 어려워진다. 그로 인해, 공간(S4)과 공간(S5)과의 사이의 기압차를 소정 범위 내로 설정한 본 실시 형태의 방법을 적용함으로써, 반송 중에 파손되는 글라스판의 수를 저감하는 등의 효과가 크다. 또한, 글라스판의 폭 방향의 길이가 2000㎜ 이상이 될수록, 본 실시 형태의 효과는 현저해진다. 구체적으로는, 폭 방향의 길이 2000㎜ 내지 3500㎜, 또한 길이 방향의 길이 2000㎜ 내지 3500㎜인 글라스판의 제조에 본 실시 형태는 적합하다.In addition, when the glass plate is enlarged, the glass plate tends to bend due to the flow of air generated by the air pressure difference, so that it is difficult to convey the glass plate stably. Therefore, by applying the method of this embodiment which set the atmospheric pressure difference between the space S4 and the space S5 to the predetermined range, the effect of reducing the number of glass plates which are broken during conveyance is large. Moreover, the effect of this embodiment becomes remarkable so that the length of the glass plate becomes 2000 mm or more in width direction. Specifically, this embodiment is suitable for manufacture of the glass plate of 2000 mm-3500 mm in length of the width direction, and 2000 mm-3500 mm in length of the longitudinal direction.

<실시예><Examples>

본 실시 형태의 효과를 확인하기 위해서, 글라스판의 제조 방법을 다양하게 변경해서 글라스판을 제조하고, 또한 글라스판의 표면 품질의 열화 평가 및 글라스판의 반송 시의 파손 평가를 행했다.In order to confirm the effect of this embodiment, the manufacturing method of the glass plate was variously changed, the glass plate was manufactured, and also the degradation evaluation of the surface quality of a glass plate, and the damage evaluation at the time of conveyance of the glass plate were performed.

여기서, 글라스판의 표면 품질의 열화 평가는, 글라스 리본 절단 공간에 있어서 성형된 글라스판 중 표면에 기포나 미소 돌기를 포함하는 흠집이 발생한 글라스판의 비율을 구하고, 비교예의 값을「1.0」이라 했을 때에 비교예에 대한 비율로서 얻게 된 수치다. 평가한 글라스판의 샘플 수는 각각 1000매다. 평가에 있어서는, 통상의 검사를 행하여, 1군데라도 흠집이 있을 경우, 불합격품으로 하고, 불합격품의 글라스판의 수를 카운트함으로써, 흠집이 발생한 글라스판의 비율을 구했다. 즉, 글라스판의 표면 품질의 열화 평가가 1.0 미만의 값이면, 표면에 흠집이 발생하는 글라스판의 수가 비교예보다도 저감되는 것을 알 수 있다.Here, the deterioration evaluation of the surface quality of a glass plate determines the ratio of the glass plate in which the flaw which contained the bubble and a microprotrusion occurred in the surface among the glass plates shape | molded in the glass ribbon cutting space, and the value of a comparative example is "1.0". It is the numerical value obtained as a ratio with respect to a comparative example when it did. The number of samples of the evaluated glass plate is 1000 sheets, respectively. In evaluation, when a normal inspection was performed and there was a flaw in one place, it was regarded as a rejected product, and the ratio of the glass plate in which the scratch occurred was calculated by counting the number of glass plates of the rejected product. That is, when the evaluation of deterioration of the surface quality of a glass plate is a value less than 1.0, it turns out that the number of glass plates in which a scratch generate | occur | produces on a surface is reduced rather than a comparative example.

또한, 글라스판의 반송 시의 파손 평가에 대해서는, 글라스 리본 절단 공간으로부터 귀부 절단 공간으로 반송되는 글라스판 중, 글라스 리본 절단 공간과 귀부 절단 공간과의 기압차에 의해 발생한 진동이나 휨에 기인해서 파손된 글라스판의 비율이 소정값 미만인 경우에 "양호"라 평가하고, 당해 소정값 이상인 경우에 "가능"이라 평가했다.In addition, about the damage evaluation at the time of conveyance of a glass plate, the glass plate conveyed from a glass ribbon cutting space to an ear | edge cutting space is damaged by the vibration and the warpage which generate | occur | produced by the air pressure difference between a glass ribbon cutting space and an ear | edge cutting space. It evaluated as "good" when the ratio of the prepared glass plate was less than the predetermined value, and evaluated as "possible" when it was more than the said predetermined value.

1. 제1 실시예1. First Embodiment

글라스 원료를 용해, 청징, 교반한 후, 오버플로우 다운드로법을 이용해서 글라스 리본을 성형하고, 서랭을 행했다. 그리고 글라스 리본은, 글라스 리본 절단 공간에서 절단된 후, 귀부 절단 공간에 있어서 귀부가 절단되었다. 이때, 글라스 리본 절단 공간의 기압이 귀부 절단 공간의 기압보다도 높게, 또한 그 기압차가 5Pa가 되도록, 글라스 리본 절단 공간 및 귀부 절단 공간의 기압을 조정했다.After melt | dissolving, clarifying, and stirring a glass raw material, the glass ribbon was shape | molded using the overflow down draw method and was annealed. And the glass ribbon was cut | disconnected in the glass ribbon cutting space, and the ear | edge was cut | disconnected in the ear | edge cutting space. At this time, the air pressure of the glass ribbon cutting space and the ear cutting space was adjusted so that the air pressure of the glass ribbon cutting space was higher than the air pressure of the ear cutting space and the pressure difference was 5 Pa.

제조한 글라스판은 액정 디스플레이용 글라스 기판이며, 크기는 2200㎜×2500㎜, 두께는 0.7㎜이다. 글라스판의 글라스 조성은 이하와 같았다.The manufactured glass plate is a glass substrate for liquid crystal displays, a size is 2200 mm x 2500 mm, and thickness is 0.7 mm. The glass composition of the glass plate was as follows.

함유율은 질량% 표시다.Content rate is mass%.

SiO2 : 60%SiO 2 : 60%

Al2O3 : 19.5%Al 2 O 3 : 19.5%

B2O3 : 10%B 2 O 3 : 10%

CaO : 5.3%CaO: 5.3%

SrO : 5%SrO: 5%

SnO2 : 0.2%SnO 2 : 0.2%

2. 제2 실시예2. Second Embodiment

글라스 리본 절단 공간의 기압이 귀부 절단 공간의 기압보다도 높고, 또한, 그 기압차가 25Pa인 이외는, 제1 실시예와 마찬가지의 방법으로 액정 디스플레이용 글라스 기판의 제조를 행했다.The glass substrate for liquid crystal display was manufactured by the method similar to Example 1 except the air pressure of the glass ribbon cutting space being higher than the air pressure of the ear cutting space, and whose pressure difference is 25 Pa.

3. 제3 실시예3. Third Embodiment

글라스 리본 절단 공간의 기압이 귀부 절단 공간의 기압보다도 높고, 또한, 그 기압차가 35Pa인 이외는, 제1 실시예와 마찬가지의 방법으로 액정 디스플레이용 글라스 기판의 제조를 행했다.The glass substrate for liquid crystal display was manufactured by the method similar to Example 1 except the air pressure of the glass ribbon cutting space being higher than the air pressure of the ear cutting space, and the air pressure difference being 35 Pa.

4. 제4 실시예4. Fourth Embodiment

글라스 리본 절단 공간의 기압이 귀부 절단 공간의 기압보다도 높고, 또한, 그 기압차가 40Pa인 이외는, 제1 실시예와 마찬가지의 방법으로 액정 디스플레이용 글라스 기판의 제조를 행했다.The glass substrate for liquid crystal display was manufactured by the method similar to Example 1 except the air pressure of the glass ribbon cutting space being higher than the air pressure of the ear cutting space, and the air pressure difference being 40 Pa.

5. 제5 실시예5. Fifth Embodiment

글라스 리본 절단 공간의 기압이 귀부 절단 공간의 기압보다도 높고, 또한, 그 기압차가 45Pa인 이외는, 제1 실시예와 마찬가지의 방법으로 액정 디스플레이용 글라스 기판의 제조를 행했다.The glass substrate for liquid crystal display was manufactured by the method similar to Example 1 except the air pressure of the glass ribbon cutting space being higher than the air pressure of the ear cutting space, and the air pressure difference being 45 Pa.

6. 비교예6. Comparative Example

글라스 리본 절단 공간과 귀부 절단 공간과의 기압차가 -5Pa(즉, 글라스 리본 절단 공간의 기압이 귀부 절단 공간의 기압보다도 낮은)인 이외는, 제1 실시예와 마찬가지의 방법으로 액정 디스플레이용 글라스 기판의 제조를 행했다.The glass substrate for a liquid crystal display in the same manner as in the first embodiment except that the air pressure difference between the glass ribbon cutting space and the ear cutting space is -5 Pa (that is, the air pressure of the glass ribbon cutting space is lower than that of the ear cutting space). Was carried out.

하기 표 1은, 제1 실시예 내지 제5 실시예와 비교예에 대해서 글라스판의 표면 품질의 열화 평가를 구했을 때의 평가 결과다. 또, 제1 실시예 내지 제5 실시예 및 비교예에 있어서, 글라스 리본을 따라 글라스 리본 절단 공간으로부터 노 내부 공간을 향하는 상승 기류가 발생하는 것을 방지하기 위해서, 글라스 리본 절단 공간과 노 내부 공간과의 사이의 기압차가 일정해지도록 제어를 행했다.Table 1 below is an evaluation result when the degradation evaluation of the surface quality of a glass plate was calculated | required about the 1st Example-5th Example and a comparative example. Further, in the first to fifth embodiments and comparative examples, in order to prevent the generation of upward airflow from the glass ribbon cutting space toward the furnace interior space along the glass ribbon, the glass ribbon cutting space and the furnace interior space; Control was performed so that the air pressure difference between

Figure 112012091041305-pct00001
Figure 112012091041305-pct00001

하기 표 2는, 제1 실시예 내지 제5 실시예에 대한, 글라스판의 반송 시의 파손 평가의 결과다.The following Table 2 is a result of the damage evaluation at the time of conveyance of a glass plate about 1st Example-5th Example.

Figure 112012091041305-pct00002
Figure 112012091041305-pct00002

상기 표 1에서, 글라스 리본 절단 공간의 기압이 귀부 절단 공간의 기압보다도 높을 경우에는, 제1 실시예 내지 제5 실시예의 글라스판의 표면 품질의 열화 평가의 값이 비교예의 열화 평가의 값보다도 저감되므로, 글라스판의 표면 품질이 향상되는 것이 명백하다. 또한, 상기 표 2로부터, 절단 공간의 기압이 귀부 절단 공간의 기압보다도 높고, 또한, 그 기압차가 40Pa 이하인 경우에는 반송 중에 파손되는 글라스판의 수를 저감할 수 있는 것이 명백하다. 이상으로부터, 본 실시 형태의 방법의 효과는 명백하다.In the above Table 1, when the air pressure in the glass ribbon cutting space is higher than the air pressure in the ear cutting space, the value of the degradation evaluation of the surface quality of the glass plates of the first to fifth embodiments is lower than the value of the degradation evaluation of the comparative example. Therefore, it is apparent that the surface quality of the glass plate is improved. Moreover, it is clear from Table 2 that when the air pressure in the cutting space is higher than the air pressure in the ear cutting space, and the air pressure difference is 40 Pa or less, the number of glass plates broken during transportation can be reduced. As mentioned above, the effect of the method of this embodiment is clear.

또, 알칼리 금속을 미량 함유하는 하기에 나타내는 글라스 조성(질량% 표시)을 갖는 글라스판의 제조에 있어서도, 상기와 마찬가지의 결과가 얻어졌다.Moreover, also in manufacture of the glass plate which has a glass composition (mass% display) shown below containing a trace amount of alkali metal, the same result as the above was obtained.

SiO2 : 61%,SiO 2 : 61%,

Al2O3 : 19.5%,Al 2 O 3 : 19.5%,

B2O3 : 10%,B 2 O 3 : 10%,

CaO : 9%,CaO: 9%

SnO2 : 0.3%,SnO 2 : 0.3%,

R2O(R은 Li, Na, K 중의 글라스판에 함유하는 모든 성분) : 0.2%R 2 O (R is all the components contained in the glass plate in Li, Na, K): 0.2%

이상, 본 발명의 글라스판의 제조 방법 및 글라스판의 제조 장치에 대해서 상세하게 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 다량한 개량이나 변경을 해도 되는 것은 물론이다.As mentioned above, although the manufacturing method of the glass plate of this invention and the manufacturing apparatus of a glass plate were explained in full detail, this invention is not limited to the said embodiment, A large improvement in the range which does not deviate from the main point of this invention, Of course, you can change it.

30 : 노
40 : 성형로
50 : 서랭로
200 : 용해 장치
201 : 용해조
202 : 청징조
203 : 교반조
204 : 제1 배관
205 : 제2 배관
300 : 성형 장치
310 : 성형체
311 : 공급구
312 : 홈
313 : 하방단부
320 : 분위기 구획 부재
330 : 냉각 롤러
340 : 냉각 유닛
350a 내지 350h : 반송 롤러
355, 360a, 360b, 360c, 415, 416, 417a, 417b, 417c, 418, 419 : 압력 센서
400 : 절단 장치
411, 412, 413a, 413b, 413c, 414 : 바닥면
421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, 425 : 송풍기
500 : 귀부 절단 장치
600 : 제어 장치
610 : 구동 유닛
30: no
40: forming furnace
50: slow cooling
200: dissolution device
201: dissolution tank
202: clarification
203: Stirring Tank
204: first pipe
205: second pipe
300: forming apparatus
310: molded article
311 supply port
312: Home
313: lower end
320: atmosphere partition member
330: cooling roller
340: cooling unit
350a to 350h: conveying roller
355, 360a, 360b, 360c, 415, 416, 417a, 417b, 417c, 418, 419: pressure sensor
400: cutting device
411, 412, 413a, 413b, 413c, 414: bottom surface
421, 422, 423a, 423b, 423c, 424, 425: blower
500: Ear cutting device
600: control unit
610: drive unit

Claims (5)

다운드로법에 의한 글라스판의 제조 방법으로서,
글라스 원료를 용해해서 용융 글라스를 얻는 용해 공정과,
상기 용융 글라스를, 성형로 내에 설치된 성형체에 공급해서 글라스 리본을 성형하는 성형 공정과,
상기 글라스 리본을, 서랭로 내에 설치된 롤러로 견인해서 상기 서랭로 내에서 냉각하는 서랭(徐冷) 공정과,
냉각된 상기 글라스 리본을 글라스 리본 절단 공간에서 절단하는 글라스 리본 절단 공정과,
절단된 상기 글라스 리본의 폭 방향의 양단부에 형성된 귀부(耳部)를 귀부 절단 공간에서 절단하는 귀부 절단 공정
을 포함하고,
상기 글라스 리본 절단 공간의 기압이 상기 귀부 절단 공간의 기압에 대하여 높아지도록,
상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간 중 적어도 한쪽의 기압은 조정되어 있는 것
을 특징으로 하는, 글라스판의 제조 방법.
As a manufacturing method of the glass plate by the down draw method,
A dissolution step of melting the glass raw material to obtain a molten glass;
A molding step of molding the glass ribbon by supplying the molten glass to a molded body provided in the molding furnace;
A slow cooling step of pulling the glass ribbon with a roller provided in the slow cooling furnace to cool the inside of the slow cooling furnace;
A glass ribbon cutting step of cutting the cooled glass ribbon in a glass ribbon cutting space;
Ear cutting process which cut | disconnects the ear | edge part formed in the both ends of the width direction of the said cut glass ribbon in an ear | edge cutting space.
/ RTI &gt;
So that the air pressure of the glass ribbon cutting space is increased with respect to the air pressure of the ear cutting space,
At least one air pressure of the glass ribbon cutting space and the ear cutting space is adjusted
A method for producing a glass plate, characterized in that.
제1항에 있어서, 상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간 중 적어도 한쪽 기압은, 상기 글라스 리본 절단 공간의 기압과 상기 귀부 절단 공간의 기압과의 차분이 40Pa 이하가 되도록 조정되어 있는, 글라스판의 제조 방법.The glass plate of Claim 1 in which the air pressure of at least one of the said glass ribbon cutting space and the said ear cutting space is adjusted so that the difference of the air pressure of the said glass ribbon cutting space and the air pressure of the said ear cutting space may be 40 Pa or less. Method of preparation. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 성형체가 설치된 상기 성형로의 내부 공간 및 상기 롤러가 설치된 상기 서랭로의 내부 공간을 노 내부 공간으로 했을 때, 상기 글라스 리본 절단 공간의 기압이 상기 노 내부 공간의 기압에 대하여 낮아지도록, 상기 글라스 리본 절단 공간의 기압은 조정되어 있는, 글라스판의 제조 방법.The air pressure of the glass ribbon cutting space is the inside of the furnace when the inner space of the molding furnace in which the molded body is installed and the inner space of the slow cooling furnace in which the roller is installed are furnace interior spaces. The air pressure of the said glass ribbon cutting space is adjusted so that it may become low with respect to the air pressure of the space, The manufacturing method of the glass plate. 다운드로법에 의한 글라스판의 제조 장치로서,
글라스 원료를 용해해서 용융 글라스를 얻는 용해조와,
상기 용융 글라스를, 성형로 내에 설치된 성형체에 공급해서 글라스 리본을 성형하는 성형로와,
상기 글라스 리본을, 서랭로 내에 설치된 롤러로 견인해서 상기 서랭로 내에서 냉각하는 서랭로와,
냉각된 상기 글라스 리본을 글라스 리본 절단 공간에서 절단하는 글라스 리본 절단 장치와,
절단된 상기 글라스 리본의 폭 방향의 양단부에 형성된 귀부를 귀부 절단 공간에서 절단하는 귀부 절단 장치와,
상기 글라스 리본 절단 공간의 기압이 상기 귀부 절단 공간의 기압에 대하여 높아지도록,
상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간 중 적어도 한쪽의 기압을 조정하는 조정 수단
을 구비하는 것을 특징으로 하는, 글라스판의 제조 장치.
As a manufacturing apparatus of the glass plate by the down draw method,
A melting tank for melting a glass raw material to obtain a molten glass,
A molding furnace for supplying the molten glass to a molded body provided in the molding furnace to form a glass ribbon;
A slow cooling furnace which pulls the said glass ribbon with the roller provided in the slow cooling furnace, and cools in the said slow cooling furnace,
A glass ribbon cutting device for cutting the cooled glass ribbon in a glass ribbon cutting space;
An ear cutting device which cuts the ear | edge part formed in the both ends of the width direction of the said glass ribbon cut | disconnected in an ear | edge cutting space,
So that the air pressure of the glass ribbon cutting space is increased with respect to the air pressure of the ear cutting space,
Adjusting means for adjusting the air pressure of at least one of the glass ribbon cutting space and the ear cutting space
An apparatus for producing a glass plate, characterized by including a.
제4항에 있어서, 상기 조정 수단은,
상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간에는, 기압의 압력을 계측하는 압력 센서와, 대기로부터 상기 글라스 리본 절단 공간 및 상기 귀부 절단 공간 내로 공기를 보내주는 송풍기 및 상기 글라스 리본 절단 공간 및 귀부 절단 공간 내의 공기를 흡인해서 집진하는 집진 장치 중 적어도 어느 한쪽의 기기와, 상기 압력 센서의 계측 결과에 따라서, 상기 기기의 조정을 하는 제어 장치를 포함하는, 글라스판의 제조 장치.
The method according to claim 4, wherein the adjusting means,
In the glass ribbon cutting space and the ear cutting space, a pressure sensor for measuring the pressure of air pressure, a blower for sending air from the atmosphere into the glass ribbon cutting space and the ear cutting space, and the glass ribbon cutting space and the ear cutting space An apparatus for manufacturing a glass plate, comprising: at least one of the dust collectors that attract and collect the air inside and a control device that adjusts the apparatus in accordance with a measurement result of the pressure sensor.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8707737B2 (en) 2009-11-30 2014-04-29 Corning Incorporated Method and apparatus for pressure control of glass-making thickness-control zone
JP6065722B2 (en) * 2013-04-10 2017-01-25 日本電気硝子株式会社 GLASS SUBSTRATE WITH HOLDER, METHOD FOR HEAT TREATMENT OF GLASS SUBSTRATE, AND GLASS SUBSTRATE SUPPORT UNIT
JP6632625B2 (en) * 2014-12-19 2020-01-22 コーニング インコーポレイテッド Glass ribbon manufacturing equipment
US9758418B1 (en) * 2016-04-06 2017-09-12 Corning Incorporated Methods of producing glass ribbon
JP6708968B2 (en) * 2016-11-11 2020-06-10 日本電気硝子株式会社 Sheet glass manufacturing apparatus and sheet glass manufacturing method
TW201904892A (en) * 2017-06-14 2019-02-01 美商康寧公司 Glass forming apparatuses with moveable end block assemblies
JP7366344B2 (en) * 2019-10-09 2023-10-23 日本電気硝子株式会社 Glass plate manufacturing method and its manufacturing device
CN114364608A (en) * 2019-12-10 2022-04-15 日本电气硝子株式会社 Method for manufacturing glass plate
KR20220117197A (en) * 2019-12-18 2022-08-23 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 Method for manufacturing a glass article and an apparatus for manufacturing a glass article
WO2024049694A1 (en) * 2022-08-31 2024-03-07 Corning Incorporated Methods and apparatus for manufacturing a glass ribbon

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008266098A (en) 2007-04-24 2008-11-06 Nippon Electric Glass Co Ltd Glass plate manufacturing method and glass plate manufacturing equipment
JP2011162408A (en) 2010-02-12 2011-08-25 Nippon Electric Glass Co Ltd Method for producing glass film

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02149438A (en) * 1988-11-30 1990-06-08 Hoya Corp Glass plate production device
JP5428288B2 (en) * 2007-12-25 2014-02-26 日本電気硝子株式会社 Glass plate manufacturing method and manufacturing equipment
JP5428287B2 (en) * 2007-12-25 2014-02-26 日本電気硝子株式会社 Glass plate manufacturing method and manufacturing equipment

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008266098A (en) 2007-04-24 2008-11-06 Nippon Electric Glass Co Ltd Glass plate manufacturing method and glass plate manufacturing equipment
JP2011162408A (en) 2010-02-12 2011-08-25 Nippon Electric Glass Co Ltd Method for producing glass film

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