KR101341786B1 - 표시장치의 제조방법 - Google Patents

표시장치의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101341786B1
KR101341786B1 KR1020070014870A KR20070014870A KR101341786B1 KR 101341786 B1 KR101341786 B1 KR 101341786B1 KR 1020070014870 A KR1020070014870 A KR 1020070014870A KR 20070014870 A KR20070014870 A KR 20070014870A KR 101341786 B1 KR101341786 B1 KR 101341786B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
metal substrate
plastic
protective film
thin film
display device
Prior art date
Application number
KR1020070014870A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080075660A (ko
Inventor
이경묵
김성환
박용인
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020070014870A priority Critical patent/KR101341786B1/ko
Publication of KR20080075660A publication Critical patent/KR20080075660A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101341786B1 publication Critical patent/KR101341786B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/844—Encapsulations
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
    • H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
    • H10K77/111—Flexible substrates
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2202/00—Materials and properties
    • G02F2202/28—Adhesive materials or arrangements
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/549—Organic PV cells
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)

Abstract

본 발명은 표시장치의 박형화를 안정적으로 진행할 수 있도록 한 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 표시장치의 제조방법은 금속 기판 상에 박막 패턴들을 형성하는 단계, 상기 박막 패턴들을 덮도록 플라스틱 보호필름을 배치하는 단계, 상기 플라스틱 보호필름 및 상기 금속 기판에 플라스틱 테이프를 부착하여 상기 플라스틱 보호필름을 상기 금속 기판에 고정하는 단계, 상기 금속 기판 배면을 식각하는 단계 및 상기 플라스틱 테이프를 박리하여 상기 플라스틱 보호필름을 상기 금속 기판으로부터 분리하는 단계를 포함한다.

Description

표시장치의 제조방법{Manufacturing Method of Display Device}
도 1a 내지 도 1c는 종래 표시장치의 제조방법을 나타내는 단면도들.
도 2는 본 발명에 따른 표시장치의 제조방법을 개략적으로 설명하기 위한 순서도.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 나타내는 단면도들.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 나타내는 단면도들.
도 5는 본 발명이 적용되는 표시장치의 일례를 나타내는 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
31a : 식각 전 제1 두께의 금속 기판 33 : 박막 패턴
31c : 식각 후 제2 두께의 금속 기판 35 : 플라스틱 보호필름
37 : 플라스틱 테이프 39 : 실런트
d1 : 제1 두께 d2 : 제2 두께
50 : 상부 어레이 필름
본 발명은 표시장치의 제조방법에 관한 것이다. 특히 본 발명은 표시장치의 박형화를 안정적으로 진행할 수 있도록 한 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
표시장치 시장은 박형화를 위한 방향으로 발전하고 있다. 이러한 시장환경의 영향으로 기존 표시장치인 CRT(Cathode-Ray Tube)를 대신해 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP:Plasma Display Panel), 유기 전계 발광 표시장치(OLED:Organic Electro Luminescence Display)등의 평판 디스플레이(Flat Panel Display)의 개발이 활성화되었다.
평판 디스플레이는 일반적으로 제조 공정 중 발생하는 높은 열을 견딜 수 있는 유리 기판 상에서 제조 공정을 진행함으로써 형성된다. 유리는 두께를 박형화하는데 제한이 따르며, 내구성이 약한 단점이 있다. 이에 따라 유리보다 얇으며, 내구성이 강한 플라스틱을 기판으로 사용한 표시장치가 제안된 바 있다.
플라스틱 표시장치는 내구성이 강해 쉽게 깨지지 않으며, 유연성이 있어서 휘어져도 표시성능을 그대로 유지할 수 있고, 유리보다 원가가 저렴한 플라스틱을 기판으로 사용하므로 원가를 절감할 수 있는 장점들이 있다. 그러나 플라스틱 기판은 그 유연성 때문에 제조공정 중 기판의 형태가 고정되기 어려워서 표시장치의 제조공정을 정밀하게 진행하는데 어려움이 있다. 이에 따라 플라스틱 기판 상에서 표시장치의 제조공정을 정밀하게 진행하기 위해 도 1a 내지 도 1c에 도시된 바와 같이 플라스틱 기판에 유리기판을 점착한 후에 플라스틱 기판상에 소자를 형성한 다음, 유리기판을 박리하는 공정을 포함한 표시장치의 제조 방법이 제안된 바 있다. 이하, 도 1a 내지 도 1c를 참조하여 플라스틱 기판이 적용된 표시장치의 제조 방법에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 플라스틱 기판이 적용된 표시장치의 제조 방법은 점착공정, 박막 패턴 형성공정 및 박리공정으로 나뉜다.
도 1a에 도시된 바와 같이 점착공정을 통해 플라스틱 기판(5)의 배면에 점착제(3)를 사이에 두고 비가요성(non-flexible)인 지지 기판(rigid substrate)(1)이 점착된다. 지지 기판(1)으로는 유리가 이용된다. 지지 기판(1)은 플라스틱 기판(5)의 배면에 점착되어, 플라스틱 기판(5)이 공정 중에 쉽게 휘거나 뒤틀리지 않고 그 형태가 고정되도록 플라스틱 기판(5)을 안정적으로 지지한다. 이 지지 기판(1)으로 인하여 플라스틱 기판(5)의 취급이 용이해지고, 이어지는 박막 패턴 형성공정이 보다 정밀하고 안정적으로 진행될 수 있다.
이어서 도 1b에 도시된 바와 같이 박막 패턴 형성공정을 통해 표시장치를 구성하는 박막 패턴들(7)이 형성된다. 박막 패턴들(7)은 박막 트랜지스터 및 박막 트랜지스터와 접속된 화소 전극등을 포함한다.
그리고 도 1c에 도시된 바와 같이 박리공정을 통해 플라스틱 기판(5)으로부터 점착제(3) 및 지지 기판(1)을 박리한다. 표시장치가 박형화되기 위해서는 플라스틱 기판(5)에 점착된 지지 기판(1)을 박리하는 공정이 필수적이다. 여기서 박리 된 지지 기판(1)은 점착공정을 진행하기 위한 장비에 반송되어 재사용된다.
상술한 바와 같이 박형화 된 표시장치를 위해 제조 공정에 포함된 점착 공정은 플라스틱 기판 및 점착제 사이에 기포가 형성되지 않도록 진행되어야 한다. 플라스틱 기판 및 점착제 사이에 기포가 형성되면, 그 기포가 박막 패턴 형성공정의 신뢰성을 저하시키기 때문이다. 따라서 점착 공정 중 플라스틱 기판 및 점착제 사이에 기포가 발생되지 않도록 점착하는 장비 개발이 필요하다. 이러한 장비 개발은 표시장치의 제조 원가를 상승시키는 원인이 된다.
또한 박형화 된 표시장치를 위해 제조 공정에 포함된 박리 공정은 플라스틱 기판으로부터 점착제를 완전히 제거하는데 어려움이 있고, 박리하는 힘에 의해 플라스틱 기판 상에 형성된 박막 패턴들이 손상될 수 있어서 박형화 된 표시장치의 신뢰성을 저하시키는 원인이 된다.
본 발명의 목적은 표시장치의 박형화를 안정적으로 진행할 수 있도록 한 표시장치의 제조방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 표시장치의 제조방법은 금속 기판 상에 박막 패턴들을 형성하는 단계, 상기 박막 패턴들을 덮도록 플라스틱 보호필름을 배치하는 단계, 상기 플라스틱 보호필름 및 상기 금속 기판에 플라스틱 테이프를 부착하여 상기 플라스틱 보호필름을 상기 금속 기판에 고정하는 단계, 상기 금속 기판 배면을 식각하는 단계 및 상기 플라스틱 테이프를 박리하여 상기 플라스틱 보호필름을 상기 금속 기판으로부터 분리하는 단계를 포함한다.
상기 플라스틱 테이프는 상기 플라스틱 보호필름의 상면 일부와 측면을 포함한 가장자리 및, 상기 금속기판의 측면과 상기 금속 기판의 배면 일부를 포함한 가장자리에 접착된다.
상기 플라스틱 보호필름을 상기 금속 기판으로부터 분리하는 단계 이후에 상기 금속 기판의 가장자리를 절단하는 단계를 더 포함한다.
본 발명에 따른 표시장치의 다른 제조방법은 금속 기판 상에 박막 패턴들을 형성하는 단계, 상기 박막 패턴들의 측면을 가리도록 상기 금속 기판의 상면 가장자리에 실런트를 형성하는 단계, 상기 박막 패턴들을 덮도록 상기 실런트에 플라스틱 보호필름을 부착하여 상기 플라스틱 보호필름을 상기 금속 기판에 고정하는 단계, 상기 금속 기판의 배면을 식각하는 단계 및 상기 실런트를 박리하여 상기 플라스틱 보호필름을 상기 금속 기판으로부터 분리하는 단계를 포함한다.
상기 플라스틱 보호필름 및 플라스틱 테이프는 폴리 에틸렌(PE), 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리 이미드(PI), 및 테프론(Teflon) 중 어느 하나를 포함한다.
상기 금속 기판은 철(Fe) 및 철을 포함한 합금 중 어느 하나를 포함한다.
상기 금속 기판은 염화철을 포함한 식각액에 의해 식각된다.
상기 목적외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발 명의 바람직한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예들을 도 2 내지 도 5을 참조하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 표시장치의 제조 방법을 나타내는 도면이다. 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 표시장치의 제조방법은 박막 패턴형성공정(S1), 플라스틱 보호필름 부착공정(S3), 기판 식각공정(S5), 플라스틱 보호필름 분리공정(S7)을 순차적으로 포함한다. 본 발명에 따른 표시장치에 적용되는 기판으로는 기판 식각공정(S5)을 고려하여 금속을 이용하는 것이 바람직하다. 금속은 식각 공정(S5)을 통해 박형화가 가능하고 박형화되더라도 내구성이 강해 유리보다 얇게 제작할 수 있는 장점이 있다. 그리고 금속은 플라스틱에 비해 안정적인 식각이 가능하다.
본 발명에 따른 박막 패턴 형성공정(S1)은 제1 두께의 금속 기판 상에서 이루어진다. 제1 두께의 금속 기판 상에는 박막 패턴 형성공정(S1)을 통해 박막 트랜지스터 및, 박막 트랜지스터와 접속된 화소 전극 등을 포함하는 박막 패턴들이 형성된다. 금속 기판은 철(Fe)과, 철에 크롬(Cr) 및 니켈(Ni) 등의 다른 금속이 포함된 스테인레스 스틸(Stainless steel)을 포함한다. 제1 두께는 플렉서블 표시장치의 제조공정 중 금속 기판의 취급을 용이하게 하기 위해 제시되는 값이다. 제1 두께는 금속 기판의 종류에 따라 다른 값을 가질 수 있다. 철 기판 및 스테인레스 스틸 기판의 경우에 제1 두께는 공정 중 취급이 용이하도록 하기 위해 약 0.3mm 이상이어야 한다.
박막 패턴 형성공정(S1) 이 후, 플라스틱 보호필름이 플라스틱 보호필름 부 착공정(S3)을 통해 제1 두께의 금속 기판에 고정된다. 플라스틱 보호필름은 박막 패턴들 상부를 덮도록 금속 기판에 고정되어 후속 공정인 기판 식각 공정(S5)으로부터 박막 패턴들을 보호하기 위한 것이다. 이를 위하여, 플라스틱 보호필름은 기판 식각 공정(S5)에서 이용되는 식각액(Etchant)에 의해 쉽게 손상되지 않는 재질로 이루어져야 한다. 금속 기판은 염소(Cl), 브롬(Br), 요오드(I)등의 할로겐 원소를 포함하거나, 염화철을 포함하는 식각액에 의해 식각된다. 플라스틱 보호필름은 금속 기판을 식각시키는 식각액과 반응성이 작거나 반응하지 않는 폴리 에틸렌(Poly Ethylene; 이하, "PE"라 함), 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(Poly Ethylene Terephthalate; 이하, "PET"라 함), 폴리 이미드(Poly Imide; 이하, "PI"라 함) 및 테프론(Teflon) 중 어느 하나를 포함한다.
이어서, 기판 식각 공정(S5)을 통해 금속 기판은 제2 두께로 박형화된다. 제2 두께는 박막 패턴들을 최종적으로 지지하는 기판의 두께이며, 궁극적으로는 금속기판에 유연한 특성을 부여하는 두께이다. 유연한 특성을 부여하기 위한 제2 두께는 금속 기판의 종류에 따라 다른 값을 가질 수 있다. 철 기판 및 스테인레스 스틸 기판의 경우 유연한 특성을 부여하기 위한 제2 두께는 약 0.2mm 이하이다.
기판 식각 공정(S5) 이 후, 플라스틱 보호 필름은 플라스틱 보호필름 분리공정(S7)을 통해 금속 기판으로부터 분리된다.
이와 같이 본 발명에 따른 표시장치의 제조 방법은 두꺼운 금속 기판 상에서 박막 패턴을 형성(S1)한 후, 그 금속 기판을 식각(S5)하여 박형화함으로써 별도의 지지기판을 점착하는 공정 및 박리하는 공정을 삭제할 수 있다. 또한 본 발명은 기판 식각공정(S5) 전에 금속기판을 식각시키는 식각액과 거의 반응하지 않는 플라스틱 보호필름을 금속 기판 상부에 고정시킴으로써 박막 패턴들을 보호할 수 있다.
본 발명에 따른 표시장치의 제조방법은 상술한 플라스틱 보호필름 부착공정(S3)에 따라 제1 및 제2 실시예로 구분된다. 도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 구체적으로 설명하기 위한 도면이고, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 구체적으로 설명하기 위한 도면이다. 본 발명의 제1 및 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 도 2에서 상술한 내용을 모두 포함한다.
이하 도 3a 내지 도 3d를 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 설명하기로 한다.
도 3a에 도시된 바와 같이 제1 두께(d1)의 금속기판(31a) 상에는 박막 패턴 형성공정을 통해 박막 패턴들(33)이 형성된다.
이어서, 도 3b에 도시된 바와 같이 플라스틱 보호필름 부착공정을 통해 플라스틱 보호필름(35)이 박막 패턴들(33)을 덮도록 금속 기판(31a)에 고정된다. 본 발명의 제1 실시예에서 플라스틱 보호필름(35)은 박막 패턴들(33) 상에 배치된 후 플라스틱 테이프(37)에 의해 금속 기판(31a)에 고정된다. 플라스틱 테이프(37)는 플라스틱 보호필름(35) 상면의 일부와 플라스틱 보호필름(35)의 측면을 포함한 가장자리 및, 금속기판(31a)의 측면과 금속기판(31a)의 배면 일부를 포함한 가장자리에 접착되어 플라스틱 보호필름(35)을 금속기판(31a)에 고정시킨다. 플라스틱 테이프(37)는 플라스틱 보호필름(35)을 고정시킬 뿐만 아니라 박막 패턴들(33)의 측 면을 가리므로 박막 패턴들(33)의 측면이 식각액에 노출되지 않는다. 이러한 플라스틱 테이프(37)는 PE, PET, PI 및 테프론 중 어느 하나로 형성된 플라스틱 지지막(37a)과, 플라스틱 지지막(37a)의 내부면에 형성된 점착층(37b)으로 구성된다. PE, PET, PI 및 테프론을 포함하는 플라스틱은 금속 기판(31a)을 식각하는 식각액에 거의 반응하지 않으므로 플라스틱 테이프(37)에 의해 박막 패턴들(33)이 식각액으로부터 보호할 수 있다.
기판 식각공정을 통해 식각된 후 금속 기판(31b)은 식각액에 노출되어 제2 두께(d2)가 된 제1 영역(A1)과, 제1 실재(37)에 의해 보호되어 식각액에 노출되지 못하여 제2 두께(d2)보다 두꺼운 제2 영역(A2)을 포함한다.
기판 식각공정 이 후 플라스틱 보호필름 분리공정을 통해 플라스틱 보호필름(35)이 금속 기판(31b)으로부터 제거된다. 플라스틱 보호필름(35)의 분리는 플라스틱 테이프(37)의 박리를 통해 이루어진다.
이어서 본 발명의 제1 실시예에서는 금속 기판(31b)의 가장자리에 형성된 제2 영역(A2)을 절단하는 공정을 더 포함함으로써 도 3d에 도시된 바와 같이 박막 패턴(33)을 최종적으로 지지하는 금속기판(31c)이 형성된다.
제2 영역(A2)이 형성되는 것을 방지하기 위해서 금속기판의 배면이 식각액에 전면 노출될 수 있도록 플라스틱 테이프를 금속 기판의 배면 가장자리를 제외한 플라스틱 필름의 상면 일부 및 측면을 포함한 가장자리와, 금속기판의 측면 가장자리를 감싸도록 부착할 수도 있다.
이하 도 4a 내지 도 4c를 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 표시장치 의 제조방법을 설명하기로 한다.
본 발명의 제2 실시예에서는 도 3a에서 상술한 박막 패턴 형성공정(S1) 이후 플라스틱 보호필름 부착공정(S3)을 진행하여 플라스틱 보호필름(35)이 도 4a에 도시된 바와 같이 박막 패턴들(33)을 덮으면서 금속 기판(31a)에 고정되도록 한다. 본 발명의 제2 실시예에서 플라스틱 보호필름(35)은 박막 패턴들(33)의 측면이 외부에 노출되지 않도록 하기 위해 제1 두께(d1)의 금속 기판(31a) 상면 가장자리에 형성된 실런트(sealant)(39)에 의해 금속 기판(31a)에 고정된다. 실런트(39)는 박막 패턴들(33)의 측면이 외부에 노출되지 않도록 하므로 박막 패턴들(33)의 측면이 식각액에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
이어서 도 4b에 도시된 바와 같이 제1 두께(d1)의 금속기판(31a) 배면 전체가 기판 식각공정을 통해 식각됨으로써 박막 패턴(33)을 최종적으로 지지하는 금속기판(31c)이 형성된다.
이어서 도 4c에 도시된 바와 같이 플라스틱 보호필름 분리공정을 통해 플라스틱 보호필름(35)이 금속 기판(31c)으로부터 제거된다. 플라스틱 보호필름(35)의 분리는 실런트(39)를 박막 패턴들(33)을 최종적으로 지지하는 금속기판(31c)으로부터 박리함으로써 이루어진다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 표시장치의 제조방법은 박막 패턴 형성 후 플라스틱 보호 필름을 부착하여 이루어질 수 있지만, 박막 패턴 형성 후 박막 패턴 상에 상부 어레이 필름을 부착하고 그 상부 어레이 필름 상에 플라스틱 보호 필름을 부착함으로써 이루어질 수 있다. 박막 패턴 및 상부 어레이 필름의 구조는 형 성하고자하는 표시장치에 따라 다를 수 있다.
예를 들어 전기영동 표시장치(Electrophoretic Display Device : EPD)인 경우, 도 5에 도시된 바와 같은 박막 패턴(33) 및 상부 어레이 필름(50)을 구비한다.
도 5를 참조하면 전기영동 표시장치의 박막 패턴(33)은 금속 기판(31c) 상에 형성된 버퍼막(61), 버퍼막(61) 상에 형성된 게이트 라인(미도시), 게이트 라인을 덮는 게이트 절연막(63), 게이트 절연막(63) 상에서 게이트 라인과 교차하게 형성된 데이터 라인(미도시), 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부마다 형성된 박막 트랜지스터(80) 및, 박막 트랜지스터(80)와 접속된 화소 전극(79)을 포함한다.
버퍼막(61)은 금속 기판(31c) 표면의 균일도를 향상시키고 금속 기판(31c)을 절연시킨다.
게이트 라인 및 데이터 라인은 게이트 절연막(63)에 의해 서로 절연되게 교차하여 셀 영역을 정의한다.
박막 트랜지스터(80)는 게이트 라인으로부터의 게이트 신호에 응답하여 데이터 라인에 공급되는 데이터 신호가 화소 전극(79)에 충전되게 한다. 이를 위하여 박막 트랜지스터(80)는 게이트 라인으로부터 연장된 게이트 전극(72), 데이터 라인으로부터 연장된 소스 전극(75), 화소 전극(79)에 접속된 드레인 전극(77), 게이트 전극(72)과 중첩된 반도체 패턴(74)을 구비한다. 반도체 패턴(74)은 활성층(84) 및 오믹 접촉층(86)을 포함한다. 활성층(84)은 소스 전극(75) 및 드레인 전극(77)과, 오믹 접촉층(86)을 사이에 두고 중첩된다. 오믹 접촉층(86)은 소스 전극(75)과 드레인 전극(77)사이의 채널부를 제외한 활성층(84) 위에 형성되고, 활성층(84) 은 채널부에서 노출된다.
화소전극(79)은 박막 트랜지스터(80)를 보호하는 보호막(65)을 관통하여 드레인 전극(77)을 노출시키는 접촉홀(82)을 통해 드레인 전극(77)과 접촉된다.
전기영동 표시장치의 상부 어레이 필름(50)은 베이스 필름(52) 상에 형성된 상부전극(54)과, 상부전극(54) 상에 위치하며 하전 염료 입자(charge pigment particle)를 포함하는 캡슐(56)들을 구비한다. 베이스 필름(52)은 유연성을 가지는 플라스틱 또는 플렉서블한 금속 등으로 이루어진다. 캡슐(56) 내에는 정극성 전압에 반응하는 블랙 염료 입자(56a)와, 부극성 전압에 반응하는 화이트 염료 입자(56b)와, 투명 액체(56c)를 포함한다. 이러한 상부 어레이 필름(50)은 접착층(58)을 더 포함하여 박막 패턴(33) 상에 접착된다.
상술한 전기영동 표시장치는 화소 전극(79) 및 상부 전극(54) 사이에 형성된 전계에 의해 캡슐(56) 내에서의 화이트 염료 입자(56b)와 블랙 염료 입자(56a)가 양분되면서 흑색, 백색 또는 소정의 그레이를 구현할 수 있다.
액정표시장치인 경우, 박막 패턴은 박막 트랜지스터 및 화소 전극을 포함하고, 상부 어레이 필름은 셀영역과 대응되는 컬러 필터 어레이를 포함한다.
본 발명은 박막 패턴을 구비하는 기판을 안정적으로 박형화하기 위한 발명으로서, 특정 종류의 표시장치에 한정하여 적용되는 것이 아니라, 박막 패턴을 구비하는 다양한 표시장치에 적용될 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은 두꺼운 금속 기판 상에서 박막 패턴을 형성한 후, 박막 패턴을 보호할 수 있도록 플라스틱 보호필름을 부착하고 금속 기판을 식각함으로써 금속 기판을 박형화 할 수 있다. 이에 따라 본 발명은 불안정한 지지 기판의 점착 공정 및 박리 공정을 삭제할 수 있으므로 안정적으로 표시장치를 박형화 할 수 있다.
또한 본 발명은 금속 기판을 식각시키는 식각액과 반응성이 약하거나 반응하지 않는 플라스틱 필름을 통해 박막 패턴을 보호함으로써 플렉서블 표시장치의 제조방법을 더욱 안정화시킨다.
이와 같이 박형화 공정이 안정화된 본 발명에 따라 제조된 플렉서블 표시장치는 그 신뢰성이 개선된다.
또한 본 발명은 점착공정 및 박리 공정이 삭제됨으로써 점착공정 및 박리공정을 안정적으로 진행할 수 있는 특수 점착제에 대한 개발비용이 불필요하므로 제조비용을 절감할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (8)

  1. 제1 두께의 금속 기판의 상면에 박막 패턴들을 형성하는 단계;
    상기 금속 기판 상에 상기 박막 패턴들을 덮도록 플라스틱 보호필름을 배치하는 단계;
    상기 플라스틱 보호필름의 상면 일부와 측면을 포함한 가장자리, 및 상기 금속기판의 측면과 상기 금속 기판의 배면 일부를 포함한 가장자리에 플라스틱 테이프를 부착하여 상기 플라스틱 보호필름을 상기 금속 기판에 고정하는 단계;
    상기 금속 기판이 상기 제1 두께보다 얇은 제2 두께로 박형화되도록, 상기 금속 기판의 배면을 식각하는 단계; 및
    상기 플라스틱 테이프를 박리하여 상기 플라스틱 보호필름을 상기 제2 두께의 금속 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 플라스틱 보호필름을 상기 금속 기판으로부터 분리하는 단계 이후에 상기 금속 기판의 가장자리를 절단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 플라스틱 보호필름 및 플라스틱 테이프는 폴리 에틸렌(PE), 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리 이미드(PI), 및 테프론(Teflon) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 플라스틱 보호필름은 폴리 에틸렌(PE), 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리 이미드(PI), 및 테프론(Teflon) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속 기판은
    철(Fe) 및 철을 포함한 합금 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 금속 기판은 염화철을 포함한 식각액에 의해 식각되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
KR1020070014870A 2007-02-13 2007-02-13 표시장치의 제조방법 KR101341786B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070014870A KR101341786B1 (ko) 2007-02-13 2007-02-13 표시장치의 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070014870A KR101341786B1 (ko) 2007-02-13 2007-02-13 표시장치의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080075660A KR20080075660A (ko) 2008-08-19
KR101341786B1 true KR101341786B1 (ko) 2013-12-13

Family

ID=39879175

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070014870A KR101341786B1 (ko) 2007-02-13 2007-02-13 표시장치의 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101341786B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040006894A (ko) * 2002-07-16 2004-01-24 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치 제조방법
KR20040064601A (ko) * 2003-01-10 2004-07-19 닛본 덴끼 가부시끼가이샤 플렉시블 전자 디바이스와 그 제조 방법
KR20070016772A (ko) * 2005-08-05 2007-02-08 삼성전자주식회사 가요성 표시 장치용 접착 테이프 및 이를 이용한 가요성표시 장치의 제조 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040006894A (ko) * 2002-07-16 2004-01-24 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치 제조방법
KR20040064601A (ko) * 2003-01-10 2004-07-19 닛본 덴끼 가부시끼가이샤 플렉시블 전자 디바이스와 그 제조 방법
KR100633195B1 (ko) 2003-01-10 2006-10-11 닛본 덴끼 가부시끼가이샤 플렉시블 전자 디바이스와 그 제조 방법
KR20070016772A (ko) * 2005-08-05 2007-02-08 삼성전자주식회사 가요성 표시 장치용 접착 테이프 및 이를 이용한 가요성표시 장치의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080075660A (ko) 2008-08-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8454851B2 (en) Manufacturing method of the flexible display device
KR101318242B1 (ko) 플렉서블 표시소자의 제조 방법
US8623162B2 (en) Fabricating method of flexible display
US8323066B2 (en) Method of manufacturing flexible display device
US9746731B2 (en) Array substrate, repairing sheet, display panel and method of repairing array substrate
KR20080047883A (ko) 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법
US10634940B2 (en) Method for producing curved display
US20210384149A1 (en) Method of bonding integrated circuit chip to display panel, and display apparatus
EP4012487A1 (en) Display device and manufacturing method therefor
KR101352109B1 (ko) 표시장치의 제조방법
KR20080043507A (ko) 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법
KR102158617B1 (ko) 곡면형 표시 장치의 제조 방법
US20210202853A1 (en) Display apparatus
KR101358385B1 (ko) 플렉서블 표시장치의 제조 방법
KR101255301B1 (ko) 플렉서블 디스플레이의 제조 방법
KR101341786B1 (ko) 표시장치의 제조방법
KR101568266B1 (ko) 표시장치의 제조방법
US11397345B2 (en) Method for etching a liquid crystal panel comprising installing a masking tape on entire surfaces of a first substrate and a second substrate
KR20080079509A (ko) 플렉서블 기판 모듈 및 그 제조 방법
KR101140020B1 (ko) 정전기 방지를 위한 액정표시소자 및 그 제조방법
KR20100079098A (ko) 플렉서블 표시장치 제조방법
KR102609472B1 (ko) 표시 장치 및 이의 제조 방법
US11643362B2 (en) Display device and manufacturing method thereof
KR101340667B1 (ko) 액정 표시장치의 제조방법
KR20080047895A (ko) 플렉서블 표시장치의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161118

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171116

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181114

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191113

Year of fee payment: 7