KR101333573B1 - 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체 - Google Patents

광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체 Download PDF

Info

Publication number
KR101333573B1
KR101333573B1 KR1020120083015A KR20120083015A KR101333573B1 KR 101333573 B1 KR101333573 B1 KR 101333573B1 KR 1020120083015 A KR1020120083015 A KR 1020120083015A KR 20120083015 A KR20120083015 A KR 20120083015A KR 101333573 B1 KR101333573 B1 KR 101333573B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
case
mesh
microphone assembly
microphone
broadband
Prior art date
Application number
KR1020120083015A
Other languages
English (en)
Inventor
심용현
허형용
Original Assignee
주식회사 비에스이
롱쳉 바오싱 일렉트로닉 컴퍼니 리미티드
동관 바오싱 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드
톈진 비에스이 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 비에스이, 롱쳉 바오싱 일렉트로닉 컴퍼니 리미티드, 동관 바오싱 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드, 톈진 비에스이 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드 filed Critical 주식회사 비에스이
Priority to KR1020120083015A priority Critical patent/KR101333573B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101333573B1 publication Critical patent/KR101333573B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00Electrostatic transducers
    • H04R19/005Electrostatic transducers using semiconductor materials
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/02Casings; Cabinets ; Supports therefor; Mountings therein
    • H04R1/04Structural association of microphone with electric circuitry therefor
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00Electrostatic transducers
    • H04R19/04Microphones
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2201/00Details of transducers, loudspeakers or microphones covered by H04R1/00 but not provided for in any of its subgroups
    • H04R2201/003Mems transducers or their use

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Abstract

본 발명은 마이크로폰의 고사양 음향 특성을 실현하기 위한 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체에 관한 것이다. 본 발명의 마이크로폰 조립체는 음향홀(110a)이 천공되어 있는 케이스(110); 상기 케이스(110)의 음향홀 주위에 접착제(124)에 의해 부착되는 메쉬(122); MEMS 트랜스듀서(131)와 ASIC(134)이 본딩 와이어(132)로 접속되고 MEMS 트랜스듀서(131)와 ASIC(134)이 접착제(135,136)로 PCB기판(137)에 부착된 PCB 어셈블리(130); 및 상기 케이스(110)를 PCB기판(137)에 접합하여 밀봉하는 실링재(140)로 구성되고, 상기 메쉬(122)는, 상기 케이스(110)와 접착제로 부착되는 접착영역(122b)과, 음향홀(110a)을 통해 이물질이 유입되는 것을 방지하여 방수기능을 제공하고 개구(122h)의 크기로 주파수 특성을 조정하는 개구영역(122a)으로 구성되고, 재질로는 실리콘이나 메탈을 사용할 수 있다. 본 발명에 따른 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체는 음향홀에 메쉬를 사용하여 광대역 및 방수기능을 구현하고, 메쉬의 개구 크기를 조절하여 주파수 응답 특성의 커브를 향상시키며, 마이크로폰의 THD(Total Harmonic Distortion)를 개선할 수 있는 효과가 있다.

Description

광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체{ WIDE BAND AND WATER PROOF MICROPHONE ASSEMBLY }
본 발명은 멤스(MEMS) 마이크로폰 조립체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마이크로폰의 고사양 음향 특성을 실현하기 위한 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체에 관한 것이다.
일반적으로, 멤스(MEMS) 마이크로폰 조립체는 마이크로폰의 초소형화를 위해 실리콘 웨이퍼상에 반도체 제조 기술과 마이크로머시닝(micromachining) 기술을 적용하여 전기 용량 구조를 다이(die) 형태로 구현한 실리콘 콘덴서 마이크로폰 칩(sylicon condenser microphone chip) 혹은 멤스(MEMS:Micro Electro Mechanical System) 마이크로폰 칩(microphone chip)을 케이스로 패키징하여 사용하고 있다.
도 1은 케이스에 천공(穿孔)하여 음향홀을 형성한 종래의 멤스 마이크로폰 조립체의 도면으로서, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측단면도이다.
도 1을 참조하면, 케이스(12)에는 음향홀(12a)이 천공되어 있고, PCB(16)에는 MEMS 마이크로폰칩과 ASIC칩 등이 실장되어 있으며, 케이스(12)가 실링재(14)에 의해 PCB(16)와 밀봉되어 내부 부품을 보호하고 백챔버를 형성하고 있다.
도 2는 케이스를 커팅하여 음향홀을 형성한 종래의 멤스 마이크로폰 조립체를 도시한 도면으로서, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측단면도이다.
도 2를 참조하면, 케이스(22)에는 음향홀(22a)이 천공되어 있고, PCB(26)에는 MEMS 마이크로폰칩과 특수목적형반도체(ASIC: Application Specific Integrated Circuit) 칩 등이 실장되어 있으며, 케이스(22)가 실링재(24)에 의해 PCB(26)와 밀봉되어 내부 부품을 보호하고 백챔버를 형성하고 있다.
종래의 멤스(MEMS) 마이크로폰 조립체는 음향홀을 통해 물이 침투하여 마이크로폰 내부 부품을 손상시켜 기능을 상실시키고, 주파수 대역별 마이크로폰의 응답 특성 커브가 평탄하지 않아 음의 손실이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 메쉬를 이용한 광대역 및 방수기능을 구현하고, 메쉬의 개구 크기를 조절하여 주파수 응답 특성의 커브를 향상시키며, 메쉬를 사용함으로써 마이크로폰의 THD(Total Harmonic Distortion)를 개선할 수 있는 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 마이크로폰 조립체는, 음향홀이 천공되어 있는 케이스; 상기 케이스의 음향홀 주위에 접착제에 의해 부착되는 메쉬; MEMS 트랜스듀서와 ASIC이 본딩 와이어로 접속되고 MEMS 트랜스듀서와 ASIC이 접착제로 PCB기판에 부착된 PCB 어셈블리; 및 상기 케이스를 PCB기판에 접합하여 밀봉하는 실링재로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 메쉬는, 상기 케이스와 접착제로 부착되는 접착영역과, 음향홀을 통해 이물질이 유입되는 것을 방지하여 방수기능을 제공하고 개구의 크기로 주파수 특성을 조정하는 개구영역으로 구성되고, 재질로는 실리콘이나 메탈 을 사용할 수 있는 것이고, 개구의 형상, 개구의 크기, 개구들의 배치구조(사각, 삼각, 다이아몬드, 원형), 및 메쉬의 두께로 특성을 조정할 수 있고, 접착제로는 접착성이 있는 테이프나 에폭시, 실리콘 등의 본드류를 사용할 수 있다.
본 발명에 따른 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체는 음향홀에 메쉬를 사용하여 광대역 및 방수기능을 구현하고, 메쉬의 개구 크기를 조절하여 주파수 응답 특성의 커브를 향상시키며, 마이크로폰의 THD(Total Harmonic Distortion)를 개선할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 멤스 마이크로폰 조립체의 일실시예를 도시한 도면,
도 2는 종래의 멤스 마이크로폰 조립체의 다른 실시예를 도시한 도면,
도 3은 본 발명에 따른 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체의 분리 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체의 결합도,
도 5는 도 3에 도시된 메쉬의 상세도,
도 6은 본 발명에 따른 메쉬와 케이스의 결합 예들을 도시한 도면,
도 7a는 종래의 마이크로폰 조립체의 주파수 응답특성을 도시한 도면이다.
도 7b는 본 발명에 따른 마이크로폰 조립체의 주파수 응답특성을 도시한 도면이다.
본 발명과 본 발명의 실시에 의해 달성되는 기술적 과제는 다음에서 설명하는 본 발명의 바람직한 실시예들에 의하여 보다 명확해질 것이다. 다음의 실시예들은 단지 본 발명을 설명하기 위하여 예시된 것에 불과하며, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것은 아니다.
도 3은 본 발명에 따른 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체의 분리 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체의 결합도이며, 도 5는 도 3에 도시된 메쉬의 상세도이다.
본 발명에 따른 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체는 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 음향홀(110a)이 천공되어 있는 케이스(110)와, 케이스(110)의 음향홀 주위에 접착제(124)에 의해 부착되는 메쉬(122)와, MEMS 트랜스듀서(131)와 ASIC(134)이 본딩 와이어(132)로 접속되고 MEMS 트랜스듀서(131)와 ASIC(134)이 접착제(135,136)로 PCB기판(137)에 부착된 PCB 어셈블리(130)와, 케이스(110)를 PCB기판(137)에 접합하여 밀봉하는 실링재(140)로 구성된다.
본 발명에 따른 메쉬(122)는 도 5에 도시된 바와 같이, 케이스(110)와 접착제로 부착되는 접착영역(122b)과, 음향홀(110a)을 통해 이물질이 유입되는 것을 방지하여 방수기능을 제공하고 개구(122h)의 크기로 주파수 특성을 조정하는 개구영역(122a)으로 구성되고, 재질로는 실리콘이나 메탈 등을 사용할 수 있다. 특히, 메쉬의 개구영역을 조절하여 주파수응답 및 THD 특성을 개선할 수 있고, 메쉬의 두께를 조절하여 방수효과를 얻을 수 있다. 예컨대, 메쉬는 개구의 형상(원형 혹은 다각형), 개구의 크기, 개구들의 배치구조(사각, 삼각, 다이아몬드, 원형 등), 메쉬의 두께로 특성을 조정할 수 있다.
또한 접착제로는 접착성이 있는 테이프나 에폭시, 실리콘 등의 본드류를 사용할 수 있으며, 도전성 혹은 비도전성 모두 사용할 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 마이크로폰 조립체(100)는 음향홀(110a)을 통해 외부의 읍압이 유입될 때 메쉬(122)의 개구영역(122a)을 통과하면서 이물질이나 물망울 등이 걸러져 방수효과를 제공하고, 개구의 크기 조절을 통해 광대역 특성을 갖게 된다. 마이크로폰 내부로 유입된 음압은 MEMS 트랜스듀서(131)에 의해 전기적인 신호로 변환되고 ASIC(135)에서 증폭된 후 접속패드를 통해 외부로 전송된다.
도 6은 본 발명에 따른 메쉬와 케이스의 결합 예들을 도시한 도면으로서, (a)는 메쉬(122)가 케이스(110)의 하면 음향홀 주위에 부착된 예이고, (b)는 메쉬(122)가 케이스(110)의 상면 음향홀 주위에 부착된 예이며, (c)는 메쉬(122)가 케이스의 음향홀(110a)에 일체로 부착된 예이다.
도 7은 본 발명에 따른 마이크로폰의 주파수 응답특성을 도시한 도면으로서, 7a는 메쉬가 없는 종래의 MEMS 마이크로폰 조립체의 주파수 응답 특성 커브이고, 7b는 본 발명에 따른 MEMS 마이크로폰 조립체의 주파수 응답 특성 커브이다.
도 7a 및 7b를 참조하면, 메쉬가 없는 종래의 MEMS 마이크로폰 조립체의 주파수 응답 특성 커브는 고주파 영역에서 감쇄가 커지나 본 발명에 따른 MEMS 마이크로폰 조립체의 주파수 응답 특성 커브는 전주파수대역에서 편탄한 것을 알 수 있다.
그리고 종래의 마이크로폰 조립체의 THD(Total Harmonic Distortion)와 본 발명에 따른 마이크로폰 조립체의 THD를 비교하면 다음 표1과 같다.

샘플수
종래의 THD(%) 본발명의 THD(%)
94dB 100dB 120dB 123dB 94dB 100dB 120dB 123dB
1 0.1 0.1 0.65 0.94 0.1 0.1 0.30 0.60
2 0.1 0.1 0.65 0.91 0.1 0.1 0.30 0.68
3 0.1 0.1 0.68 1.01 0.1 0.1 0.31 0.62
이상에서 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
100: MEMS 마이크로폰 조립체 110: 케이스
110a: 음향홀 122: 메쉬
124: 메쉬 접착제 130: PCB 어셈블리
131: MEMS 트랜스듀서 132: 골드 본딩 와이어
133: 몰딩재 134: ASIC
135: MEMS 접착제 136: ASIC 접착제
137: PCB 140: 실링재

Claims (3)

  1. 음향홀(110a)이 천공되어 있는 케이스(110);
    상기 케이스(110)의 음향홀 주위에 접착제(124)에 의해 부착되는 메쉬(122);
    MEMS 트랜스듀서(131)와 ASIC(134)이 본딩 와이어(132)로 접속되고 MEMS 트랜스듀서(131)와 ASIC(134)이 접착제(135,136)로 PCB기판(137)에 부착된 PCB 어셈블리(130); 및
    상기 케이스(110)를 PCB기판(137)에 접합하여 밀봉하는 실링재(140)로 구성되고,
    상기 메쉬(122)는,
    중앙에 다수의 개구(122h)가 형성된 개구영역(122a)을 갖는 실리콘 재질의 판으로서, 상기 케이스의 음향홀(110a)에 일체로 부착되어, 케이스의 음향홀(110a)을 통해 이물질이 유입되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체.
  2. 삭제
  3. 삭제
KR1020120083015A 2012-07-30 2012-07-30 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체 KR101333573B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120083015A KR101333573B1 (ko) 2012-07-30 2012-07-30 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120083015A KR101333573B1 (ko) 2012-07-30 2012-07-30 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101333573B1 true KR101333573B1 (ko) 2013-11-27

Family

ID=49858591

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120083015A KR101333573B1 (ko) 2012-07-30 2012-07-30 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101333573B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017027242A1 (en) * 2015-08-07 2017-02-16 Knowles Electronics, Llc Ingress protection for reducing particle infiltration into acoustic chamber of a mems microphone package
KR101819388B1 (ko) 2016-12-19 2018-01-16 주식회사 포스코 방수 및 방진 기능이 강화된 자가 진단 마이크로폰 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008271425A (ja) * 2007-04-24 2008-11-06 Matsushita Electric Works Ltd 音響センサおよびその製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008271425A (ja) * 2007-04-24 2008-11-06 Matsushita Electric Works Ltd 音響センサおよびその製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017027242A1 (en) * 2015-08-07 2017-02-16 Knowles Electronics, Llc Ingress protection for reducing particle infiltration into acoustic chamber of a mems microphone package
US9794661B2 (en) 2015-08-07 2017-10-17 Knowles Electronics, Llc Ingress protection for reducing particle infiltration into acoustic chamber of a MEMS microphone package
US10154328B2 (en) 2015-08-07 2018-12-11 Knowles Electronics, Llc Ingress protection for reducing particle infiltration into acoustic chamber of a MEMS microphone package
KR101819388B1 (ko) 2016-12-19 2018-01-16 주식회사 포스코 방수 및 방진 기능이 강화된 자가 진단 마이크로폰 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7715583B2 (en) Microphone assembly
KR100740463B1 (ko) 실리콘 콘덴서 마이크로폰
KR101152071B1 (ko) Mems 센서를 포함하는 전자 음향 변환기
US10334339B2 (en) MEMS transducer package
US8625832B2 (en) Packages and methods for packaging microphone devices
FI105880B (fi) Mikromekaanisen mikrofonin kiinnitys
TWI443061B (zh) 微機電系統(mems)麥克風封裝體及其製造方法
EP2587832A1 (en) Microphone unit
US8553920B2 (en) Arrangement comprising a microphone
US20130193533A1 (en) Embedded circuit in a mems device
KR20150034802A (ko) 마이크로폰 어셈블리
JP4655017B2 (ja) 音響センサ
KR101149894B1 (ko) 마이크로폰 장치
KR100737726B1 (ko) 멤스 마이크로폰 패키징 구조체
KR101339909B1 (ko) 마이크로폰 패키지
KR20160096207A (ko) Mems­온­리드 마이크로폰용 인터포저
KR101303954B1 (ko) 광대역 및 방수 특성을 위한 보텀 포트형 마이크로폰 조립체
KR101411666B1 (ko) 실리콘 마이크로폰 패키지 및 그 제조방법
KR20150058467A (ko) Mems 기기에 임베드된 회로
US8311247B2 (en) Piezoelectric body module and manufacturing method therefor
KR101333573B1 (ko) 광대역 및 방수 특성을 갖는 마이크로폰 조립체
KR200438928Y1 (ko) 듀얼 마이크로폰 모듈
KR20120054244A (ko) 마이크로폰
TWI479901B (zh) Silicon condenser microphone
GB2582387A (en) Packaging for a MEMS transducer

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee