KR101329769B1 - Apparatus for discharging waste gas - Google Patents

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KR101329769B1 KR1020110127142A KR20110127142A KR101329769B1 KR 101329769 B1 KR101329769 B1 KR 101329769B1 KR 1020110127142 A KR1020110127142 A KR 1020110127142A KR 20110127142 A KR20110127142 A KR 20110127142A KR 101329769 B1 KR101329769 B1 KR 101329769B1
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Abstract

본 발명은 반도체 또는 액정표시장치의 제조공정에 사용된 후 발생한 폐기가스를 안정화하여 배출하기 위한 폐기가스 배출장치에 관한 것으로, 질소가스를 분사하는 노즐 간격을 일정하게 유지할 수 있도록 하면서도 폐기가스의 종류나 처리량에 따라 분사 노즐의 간격을 임의로 조절할 수 있는 동시에 배출관부재의 손상을 방지할 수 있도록 하기 위하여, 일측 단부에 폐기가스 입구(11)가 형성된 제1관로(12)를 포함하는 제1배출관(10)과; 상기 제1배출관(10)과 일직선상에 연결되고 일측에 폐기가스 출구(21)가 형성된 제2관로(22)를 포함하는 제2배출관(20)과; 상기 제1배출관(10)과 제2배출관(20)의 각 연결부 외면에 히터(320)가 설치되는 동시에 질소가스를 주입하기 위한 공간이 형성되도록 각 배출관의 외면과 일정거리 이격 설치된 커버부재(30)와; 상기 각 배출관(10)(20)의 연결부 사이의 질소가스 분사노즐은 각 배출관(10)(20)의 각 경사면 사이에 형성되고, 각 경사면 사이의 둘레에 복수 개의 금속편(40)이 개재된 것이 특징인 폐기가스 배출장치가 제공된다.The present invention relates to a waste gas discharge device for stabilizing and discharging waste gas generated after being used in the manufacturing process of a semiconductor or liquid crystal display device, while maintaining a constant nozzle interval for injecting nitrogen gas, (B) a first discharge pipe including a first pipe line 12 having a waste gas inlet 11 formed at one end thereof so as to arbitrarily adjust the interval of the injection nozzle according to the throughput and to prevent damage of the discharge pipe member; 10); A second discharge pipe 20 connected to the first discharge pipe 10 in a straight line and including a second pipe 22 formed with a waste gas outlet 21 at one side thereof; The cover member 30 installed at a predetermined distance apart from the outer surface of each discharge pipe so that the heater 320 is installed on the outer surfaces of the connection parts of the first discharge pipe 10 and the second discharge pipe 20 and a space for injecting nitrogen gas is formed. )Wow; The nitrogen gas injection nozzles between the connection portions of the discharge pipes 10 and 20 are formed between the inclined surfaces of the discharge pipes 10 and 20, and the plurality of metal pieces 40 are interposed between the inclined surfaces. Characteristic waste gas discharge device is provided.

Description

폐기가스 배출장치{Apparatus for discharging waste gas}Apparatus for discharging waste gas}

본 발명은 폐기가스 배출장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 또는 액정표시장치의 제조공정에 사용된 후 발생한 폐기가스에 특정 압력의 질소가스를 가열, 분사하고, 발생하는 음압을 이용하여 신속히 흡입하고 가스처리 장치로 배출시키기 위한 폐기가스 배출장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a waste gas discharge device, and more particularly, to heat and inject nitrogen gas at a specific pressure into waste gas generated after being used in a manufacturing process of a semiconductor or a liquid crystal display device, and quickly inhaling using a negative pressure generated. And it relates to a waste gas discharge device for discharging to the gas treatment device.

일반적으로 반도체 제조공정 중에서 웨이퍼 처리공정에는 프로세스 가스와 정화 가스와 같은 여러가지 가스들이 사용되고, 이들 가스들을 사용후 발생한 폐기가스는 환경오염 방지를 위해 연소 또는 정화를 하여 배출되어야 한다.In general, various gases such as process gas and purge gas are used in the wafer processing process of the semiconductor manufacturing process, and waste gas generated after using these gases must be discharged by burning or purifying to prevent environmental pollution.

이와 관련된 종래 기술로서, 도 5를 참조하는 바와 같이 국내 실용신안등록 제 20-0209874호 '폐기가스 유도장치'(특허문헌 1)는 "고압가스실(22)이 갖춰지고 분출홈(36)과 가이드곡면(34)을 갖춰 일방향으로 가스의 흐름을 제어하는 폐기가스 유도장치에 있어서, 상기 고압가스실(22) 외주면인 가스유도기 몸체(24)의 외주면에 상기 고압가스실(22)과 연통되는 가열실(26)이 마련되고, 이 가열실(26)에 전열선(28)이 내장됨과 더불어, 이 전열선(28)의 온도를 제어하기 위한 온도감지센서(32)가 가스유도장치(20)의 배출구(30)에 설치된 것을 특징으로 하는 폐기가스 유도장치를 제안하였다.As a related art in this regard, as shown in Fig. 5, Korean Utility Model Registration No. 20-0209874 'Waste Gas Induction Device' (Patent Document 1) is provided with a "high pressure gas chamber 22, and the ejection groove 36 and the guide. In the waste gas induction apparatus having a curved surface 34 to control the flow of gas in one direction, the heating chamber in communication with the high-pressure gas chamber 22 on the outer circumferential surface of the gas induction body 24, which is the outer circumferential surface of the high-pressure gas chamber 22 ( A heating element 28 is provided in the heating chamber 26, and a temperature sensor 32 for controlling the temperature of the heating element 28 includes an outlet 30 of the gas induction apparatus 20. Suggested waste gas induction apparatus characterized in that installed in).

그러나 특허문헌1의 경우 폐기가스와 반응을 시키기 위한 질소가스 분출구의 간극 조절을 제어하기 어려워서 질소가스 배출량이 일정하지 않으므로 폐기가스를 완벽하게 처리하지 못하는 단점이 있다.However, in the case of Patent Literature 1, it is difficult to control the gap control of the nitrogen gas outlet for reacting with the waste gas, so the nitrogen gas emission is not constant, so there is a disadvantage in that the waste gas cannot be completely processed.

이를 해결하기 위한 또 다른 선행기술로서 도 6 및 도 7과 같이 국내 특허등록 제 10-0670973호 '고온질소 가속장치'(특허문헌 2)는 "외부에서 탈부착이 가능한 다수개의 히타가 삽입된 히팅판(70)위의 상측판(40); 상기 상측판(40)과 체결볼트(80)를 이용하여 체결되기 위해 상기 체결볼트와 결합되는 위치에 다수개의 너트구멍이 형성된 하측판(20); 상·하부가 개방된 원통형태로서 질소가스가 유출되는 것을 방지하는 측면판(30); 입력되는 상온의 질소가스를 가열하는 히팅판(70); 폐기가스가 유입되는 곳으로 상기 하측판(20)의 중앙에 결합되는 유입부(10); 고온의 질소가스와 폐기가스가 배출되는 곳으로 상기 상측판(40)의 상부 중앙에 결합되는 배기부(50); 상기 유입부(10)의 내부에 삽입되며, 고온의 질소가스 배출량을 조절하는 고온질소가스배출량조절부(60); 및 상기 질소가스배출량조절부(60)의 하단부에 형성되어 고온질소가스가 분사되는 분사노즐(150)의 간격을 일정하게 유지시키는 요철부(170)를 포함하는 것을 특징으로 하는 고온질소가속장치를 제안하였다.As another prior art for solving this problem, as shown in FIGS. 6 and 7, Korean Patent Registration No. 10-0670973, 'High-Nitrogen Accelerator' (Patent Document 2), refers to a heating plate in which a plurality of heaters are detachable from the outside. (70) the upper plate (40); the lower plate (20) formed with a plurality of nut holes in the position coupled with the fastening bolt to be fastened using the upper plate (40) and the fastening bolt (80); A side plate 30 which prevents nitrogen gas from flowing out as a cylindrical shape having a lower portion open; A heating plate 70 for heating nitrogen gas at room temperature input thereto; and a lower plate 20 where waste gas is introduced. An inlet part 10 coupled to the center of the outlet part; an exhaust part 50 coupled to an upper center of the upper side plate 40 where hot nitrogen gas and waste gas are discharged; Inserted, the hot nitrogen gas discharge control unit 60 for controlling the nitrogen gas discharge at high temperature; Proposed a high-temperature nitrogen acceleration device, characterized in that it comprises a concave-convex portion 170 is formed at the lower end of the nitrogen gas discharge amount control unit 60 to maintain a constant interval of the injection nozzle 150 is injected hot nitrogen gas It was.

특허문헌2의 경우 분사노즐(150)의 간극 조절 방식은, 유입부(10)와 고온질소가스배출량조절부(60)를 체결하여 요철부(170)가 유입부(10)에 맞닿도록 함으로써 결국 요철부(170)의 높이가 분사노즐(150)의 간극을 형성하도록 한 것인데, 이러한 구조는 다음과 같음 문제점을 내포한다.In the case of Patent Literature 2, the gap adjusting method of the injection nozzle 150 is formed by engaging the inflow portion 10 and the hot nitrogen gas discharge amount adjusting portion 60 so that the uneven portion 170 contacts the inflow portion 10. The height of the concave-convex portion 170 is to form a gap between the injection nozzle 150, this structure has the following problems.

첫째, 유입부(10)와 고온질소가스배출량조절부(60)의 체결시 조임 강도의 강약에 따라 요철부(170)가 찌그러지거나 눌려서 손상될 우려가 있으며, 이 경우 분사노즐(150)의 간극을 소망하는 거리만큼 이격시키기 어렵다.First, when the inlet portion 10 and the high temperature nitrogen gas discharge amount control unit 60 is fastened, the uneven portion 170 may be crushed or pressed depending on the strength of the tightening strength, and in this case, the gap of the injection nozzle 150 It is difficult to separate them by the desired distance.

둘째, 요철부(170)가 고온질소가스배출량조절부(60)에서 일체로 돌출 형성된 것이므로 위 첫째의 이유로 요철부(170)가 손상된 경우 고온질소가스배출량조절부(60) 전체를 다시 제작해야 하므로 유지 관리비용이 과다하게 소요된다.Second, since the uneven portion 170 is formed integrally protruding from the hot nitrogen gas discharge control unit 60, if the uneven portion 170 is damaged because of the first reason, the entire hot nitrogen gas discharge control unit 60 must be produced again. Maintenance costs are excessive.

셋째, 분사노즐(150)의 간극이 요철부(170) 높이에 따라 결정되므로 분사노즐(150)의 간극을 임의로 조절하는 것이 불가능하며, 이를 위해 서로 다른 높이의 요철부(170)가 형성된 고온질소가스배출량조절부(60)를 여러개 제작해야 하므로 제조비용이 과다하게 소요된다.
Third, since the gap of the injection nozzle 150 is determined according to the height of the uneven portion 170, it is impossible to arbitrarily adjust the gap of the injection nozzle 150, for this purpose, the high temperature nitrogen in which the uneven portions 170 of different heights are formed. Since the gas discharge amount control unit 60 must be manufactured several times, the manufacturing cost is excessively required.

대한민국 실용신안등록 제 20-0209874호 등록실용신안공보Utility Model Registration of Korea Utility Model Registration No. 20-0209874 대한민국 특허등록 제 10-0670973호 등록특허공보Korean Patent Registration No. 10-0670973 Patent Publication

상기의 특허문헌들에 내포된 제반 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 질소가스를 분사하는 노즐 간격을 일정하게 유지할 수 있도록 하면서도 폐기가스의 종류나 처리량에 따라 분사 노즐의 간격을 임의로 조절할 수 있는 동시에 배출관부재의 손상을 방지할 수 있도록 하는 폐기가스 배출장치를 제공하는 것이다.
An object of the present invention for solving the problems inherent in the above patent documents, while maintaining a constant nozzle interval for injecting nitrogen gas, it is possible to arbitrarily adjust the interval of the injection nozzle according to the type or throughput of waste gas At the same time to provide a waste gas discharge device that can prevent damage to the discharge pipe member.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 일측 단부에 폐기가스 입구(11)가 형성된 제1관로(12)를 포함하는 제1배출관(10)과; 상기 제1배출관(10)과 일직선상에 연결되고 일측에 폐기가스 출구(21)가 형성된 제2관로(22)를 포함하는 제2배출관(20)과; 상기 제1배출관(10)과 제2배출관(20)의 각 연결부 외면에 히터(320)가 설치되는 동시에 질소가스를 주입하기 위한 공간이 형성되도록 각 배출관의 외면과 일겅거리 이격 설치된 커버부재(30)와; 상기 각 배출관(10)(20)의 연결부 사이의 질소가스 분사노즐은 각 배출관(10)(20)의 각 경사면 사이에 형성되고, 각 경사면 사이의 둘레에 복수 개의 금속편(40)이 개재된 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object, the first discharge pipe (10) comprising a first pipe (12) having a waste gas inlet (11) formed at one end; A second discharge pipe 20 connected to the first discharge pipe 10 in a straight line and including a second pipe 22 formed with a waste gas outlet 21 at one side thereof; The cover member 30 is installed at a distance from the outer surface of each discharge pipe so that the heater 320 is installed on the outer surface of each connection part of the first discharge pipe 10 and the second discharge pipe 20 and a space for injecting nitrogen gas is formed. )Wow; The nitrogen gas injection nozzles between the connection portions of the respective discharge pipes 10 and 20 are formed between the inclined surfaces of the discharge pipes 10 and 20, and a plurality of metal pieces 40 are interposed around the inclined surfaces. It features.

바람직한 수단으로서 상기 금속편(40)은 금속재 필름을 일정 크기로 절단하여 각 배출관 중 어느 하나의 경사면에 부착된 것임을 특징으로 한다.As a preferred means, the metal piece 40 is characterized in that the metal film is cut to a certain size and attached to one of the inclined surfaces of each discharge pipe.

이때 상기 금속재 필름은 내식성 소재인 스테인리스(stainless) 필름일 수 있다.In this case, the metal film may be a stainless film that is a corrosion resistant material.

바람직한 수단으로서 상기 제1관로(12)의 연결부는, 상기 제1관로의 외면(13)에서 중심측으로 일정 높이의 단(段)이 진 계단부(14)와, 상기 계단부에서 직선으로 연장된 제1연장부(15)와, 상기 연장부의 끝단에서 상기 제1관로의 내면(17)까지 경사진 제1경사면(16)으로 이루어지고; 상기 제2관로(22)의 연결부는, 상기 제2관로의 내면(23)에서 관의 외측 방향으로 경사지되 상기 제1경사면(16)과 동일한 각도로 경사진 제2경사면(24)과, 상기 제2경사면의 끝단에서 직선으로 연장되되 상기 제1연장부(15)의 외경보다 큰 내경을 가지고 끝단면(26)이 상기 계단부(14)와 일정거리 이격되도록 연장된 제2연장부(25)로 이루어진 것을 특징으로 한다.
As a preferred means, the connecting portion of the first conduit 12 extends in a straight line from the step portion 14 having a step of a predetermined height from the outer surface 13 of the first conduit to the center. A first inclined surface (15) and a first inclined surface (16) inclined from the end of the extension to the inner surface (17) of the first conduit; The connection portion of the second conduit 22, the second inclined surface 24 which is inclined in the outward direction of the tube from the inner surface 23 of the second conduit inclined at the same angle as the first inclined surface 16, and A second extension part 25 extending in a straight line from the end of the second inclined plane and having an inner diameter greater than the outer diameter of the first extension part 15 so that the end face 26 is spaced apart from the step part 14 by a predetermined distance; It is characterized by consisting of.

본 발명에 의하면, 질소가스 배출용 분사노즐 간극을 금속재 필름을 소정 크기로 절단하여 부착시키는 형태이므로 특허문헌2와 같이 요철부를 형성할 필요가 없으므로 제조비용이 절감되고 또한 간극 조절용 구성요소의 손상이나 훼손을 최소화할 수 있음은 물론 배출관부재의 손상을 방지하므로 내구성이 향상된다.According to the present invention, since the injection nozzle gap for discharging nitrogen gas is attached to the metal film by cutting it to a predetermined size, it is not necessary to form an uneven portion as in Patent Document 2, thereby reducing the manufacturing cost and damaging the gap adjusting component. The damage can be minimized, and the durability of the discharge pipe member is prevented, thereby improving durability.

더욱이, 금속재 필름의 두께에 따라 분사노즐의 간극이 결정되므로 금속재 필름을 다양하게 구비하면 폐기가스의 종류나 처리량에 따라 분사노즐의 간격을 얼마든지 임의로 조절할 수 있으며, 그에 따라 질소가스의 분사량을 자유롭게 조절할 수 있고, 나아가 제조 및 유지관리비용이 절감되는 등의 매유 유용한 효과를 가진다.
Furthermore, since the gap between the injection nozzles is determined according to the thickness of the metal film, if the metal film is provided in various ways, the interval between the injection nozzles can be arbitrarily adjusted according to the type or throughput of waste gas, and the injection amount of nitrogen gas can be freely adjusted accordingly. It can be adjusted, and further has a very useful effect such as reduced manufacturing and maintenance costs.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 폐기가스 배출장치의 분해 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 폐기가스 배출장치의 단면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 폐기가스 배출장치의 요부 사시도.
도 4는 도 2의 'A'부인 분사노즐의 부분 확대도.
도 5는 종래의 특허문헌1의 구성 단면도.
도 6은 종래의 특허문헌2의 구성 단면도.
도 7은 종래의 특허문헌2의 요부 사시도.1 is an exploded perspective view of a waste gas discharge device according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a waste gas discharge device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view of the main portion of the waste gas discharge device according to an embodiment of the present invention.
4 is an enlarged view of a part of the injection nozzle 'A' of FIG.
5 is a cross-sectional view of a conventional patent document 1;
6 is a cross-sectional view of a conventional patent document 2;
7 is a perspective view of main parts of a conventional patent document 2;

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 보인 첨부의 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다. 그러나 첨부된 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 일 실시예이므로 본 발명을 한정하는 것으로 의도되지 않으며, 또한 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 기술이거나 용이하게 도출되는 정도의 기술에 대해서는 그에 관한 상세한 설명을 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings, which show preferred embodiments of the present invention. It should be understood, however, that there is no intention to limit the invention to the particular form disclosed, but on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. A detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 폐기가스 배출장치의 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 폐기가스 배출장치의 조립 단면도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 폐기가스 배출장치의 요부 사시도이고, 도 4는 도 2의 'A'부인 분사노즐의 부분 확대도이다.1 is an exploded perspective view of a waste gas discharge device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an assembled cross-sectional view of the waste gas discharge device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is waste gas according to an embodiment of the present invention 4 is a perspective view of a main part of the discharge device, and FIG.

도 1 및 도 2를 참조하는 바와 같이 본 발명의 폐기가스 배출장치는, 제1배출관(10), 상기 제1배출관(10)과 일직선상으로 연결되는 제2배출관(20), 상기 제1배출과(10)과 제2배출관(20)의 외측면에 형성되는 커버부재(30)로 대별된다.1 and 2, the waste gas discharging apparatus of the present invention includes a first discharge pipe 10, a second discharge pipe 20 connected in series with the first discharge pipe 10, and the first discharge. And the cover member 30 is formed on the outer surface of the 10 and the second discharge pipe (20).

보다 구체적으로 상기 제1배출관(10)은 일측 단부에 폐기가스 입구(11)가 형성된 제1관로(12)를 포함하고, 상기 제2배출관(20)은 일측 단부에 폐기가스 출구(21)가 형성된 제2관로(22)를 포함하며, 상기 커버부재(30)는, 상기 제1배출관(10)과 제2배출관(20)의 각 연결부 외면에 설치되는 히터(320)를 커버하도록 공간을 형성하는 동시에 그 공간으로 질소가스를 주입할 수 있도록 하기 위해 각 배출관(10)(20)의 외면과 일겅거리 이격된다.More specifically, the first discharge pipe 10 includes a first pipe line 12 having a waste gas inlet 11 formed at one end thereof, and the second discharge pipe 20 has a waste gas outlet 21 at one end thereof. It includes a second conduit 22 formed, the cover member 30, a space to cover the heater 320 is installed on the outer surface of each connecting portion of the first discharge pipe 10 and the second discharge pipe (20) At the same time it is spaced apart from the outer surface of each discharge pipe (10, 20) in order to be able to inject nitrogen gas into the space.

이때 상기 각 배출관(10)(20)의 연결부 사이에는 각 배출관(10)(20)의 제1관로(12)와 제2관로(22) 내부로 질소가스를 분출하기 위한 분사노즐이 형성되고, 상기 분사노즐은 각 관로(12)(22)에 형성된 경사면 사이에 형성되며, 각 경사면 사이의 둘레에는 복수 개의 금속편(40)이 개재되어 그 두께만큼 분사노즐의 간극이 형성된다.In this case, an injection nozzle for ejecting nitrogen gas into the first pipe line 12 and the second pipe line 22 of each of the discharge pipes 10 and 20 is formed between the connection portions of the respective discharge pipes 10 and 20. The injection nozzles are formed between the inclined surfaces formed in the respective conduits 12 and 22, and a plurality of metal pieces 40 are interposed between the inclined surfaces to form gaps between the injecting nozzles.

상기 금속편(40)이 설치되는 각 관로(12)(22) 사이의 경사면 구조는 다음과 같다.The inclined surface structure between each of the conduits 12 and 22 in which the metal pieces 40 are installed is as follows.

상기 제1관로(12)의 연결부는, 상기 제1관로(12)의 외면(13)에서 중심측으로 일정 높이의 단(段)이 진 계단부(14)가 형성되어 외경이 축소되고, 상기 계단부(14)에서 제1관로(12)의 길이 방향으로 제1연장부(15)가 직선으로 연장 형성되며, 상기 제1연장부(15)의 끝단에서 상기 제1관로의 내면(17)까지 제1경사면(16)이 경사지게 형성된다.The connecting portion of the first conduit 12 is formed with a stepped portion 14 having a predetermined height from the outer surface 13 of the first conduit 12 toward the center thereof to reduce an outer diameter thereof, The first extension part 15 is formed to extend in a straight line in the longitudinal direction of the first conduit 12 in the portion 14, from the end of the first extension portion 15 to the inner surface 17 of the first conduit The first inclined surface 16 is formed to be inclined.

한편, 상기 제2관로(22)의 연결부는, 상기 제2관로(22)의 내면(23)에서 제2관로(22)의 외측 방향으로 경사진 제2경사면(24)이 형성되는데, 이때 상기 제2경사면(24)은 상기 제1관로(12)의 제1경사면(16)과 동일한 각도를 이룬다. On the other hand, the connection portion of the second conduit 22, the second inclined surface 24 inclined in the outward direction of the second conduit 22 from the inner surface 23 of the second conduit 22, wherein the The second inclined surface 24 forms the same angle as the first inclined surface 16 of the first conduit 12.

또한 상기 제2경사면(24)의 끝단에서 직선으로 연장되는 제2연장부(25)는 상기 제1관로(12)의 제1연장부(15)의 외경보다 큰 내경을 가지고, 제2연장부(25)의 끝단면(26)은 상기 제1관로(12)의 계단부(14)와 일정거리 이격되도록 연장된다.In addition, the second extension portion 25 extending in a straight line at the end of the second inclined surface 24 has an inner diameter larger than the outer diameter of the first extension portion 15 of the first conduit 12, the second extension portion End surface 26 of (25) is extended so as to be spaced apart from the step portion 14 of the first conduit 12 by a predetermined distance.

이에 따라 도 3 및 도 4와 같이 제1경사면(16)과 제2경사면(24) 사이에는 금속편(40)이 개재됨으로써 각 경사면(16)(24) 사이는 금속편(40)의 두께만큼 이격되어 분사노즐의 간극이 형성된다.Accordingly, as shown in FIGS. 3 and 4, the metal pieces 40 are interposed between the first inclined plane 16 and the second inclined plane 24, so that the inclined surfaces 16 and 24 are spaced apart by the thickness of the metal pieces 40. A gap between the injection nozzles is formed.

상기 금속편(40)은 두께가 얇은 박막 형태의 금속 필름을 일정 크기로 잘라서 도 3과 같이 제1경사면(16)에 부착하거나 또는 제2경사면(24)에 부착한 것으로, 이 경우 금속 필름의 두께에 따라 상기 분사노즐의 간극을 자유롭게 설정할 수 있다. 즉 금속필름이 0.5mm인 경우 각 경사면(16)(24) 사이의 거리(분사노즐의 간극)도 0.5mm로 설정되며, 금속필름이 0.3mm인 경우 분사노즐 간극은 0.3mm로 설정된다.The metal piece 40 is attached to the first inclined plane 16 or to the second inclined plane 24 as shown in FIG. 3 by cutting a thin metal film having a thin thickness into a predetermined size, in which case the thickness of the metal film The clearance of the injection nozzle can be set freely. That is, when the metal film is 0.5mm, the distance (gap of the spray nozzles) between the inclined surfaces 16 and 24 is also set to 0.5mm, and when the metal film is 0.3mm, the spray nozzle gap is set to 0.3mm.

바람직하게는, 상기 금속필름은 부식이 되지 않도록 하기 위해 스테인리스(stainless) 재질의 필름인 것이 바람직하지만, 이는 본 발명에서 금속편(40)의 재질을 한정하는 것은 아니며, 내식성을 요구하거나 또는 강도를 요구하는 등 필요에 따라 그 재질은 적의 선택할 수 있다.Preferably, the metal film is preferably a film made of stainless material so as not to corrode, but this does not limit the material of the metal piece 40 in the present invention, and requires corrosion resistance or strength. If necessary, the material can be selected as appropriate.

한편, 상기 제1배출관(10), 제2배출관(20) 및 커버부재(30)의 결합관계는 다음과 같다.On the other hand, the coupling relationship between the first discharge pipe 10, the second discharge pipe 20 and the cover member 30 is as follows.

도 1 및 도 2와 같이 상기 제1관로(12)의 외면에는 방사상으로 복수 개의 고정홀이 천공된 플랜지(18)가 형성되고, 상기 제2관로(22)의 외면에도 방사상으로 복수 개의 고정홀이 천공된 플랜지(27)가 형성된다. 또한, 상기 커버부재(30)의 일측 및 타측 단부에는 각각 상기 각 플랜지(18)(27)의 대향하는 면과 접하는 제1플랜지(35) 및 제2플랜지(36)가 구비되고, 상기 제1플랜지(35)와 제2플랜지(36)에도 방사상으로 복수 개의 고정홀이 천공된다. 1 and 2, a flange 18 having a plurality of fixing holes radially formed on an outer surface of the first conduit 12 is formed, and a plurality of fixing holes are also radially formed on the outer surface of the second conduit 22. This perforated flange 27 is formed. In addition, one side and the other end of the cover member 30 is provided with a first flange 35 and a second flange 36 in contact with opposing surfaces of the respective flanges 18, 27, respectively, the first A plurality of fixing holes are also drilled radially in the flange 35 and the second flange 36.

이에 따라 상기 각 플랜지(18)(27)(35)(36)의 고정홀에는 핀볼트(50)로 삽입, 고정됨으로써 각 구성요소를 고정시킬 수 있다Accordingly, each component can be fixed by inserting and fixing the pin bolt 50 into the fixing holes of the flanges 18, 27, 35 and 36.

상기 커버부재(30)에는 그 내측 공간에 설치된 히터(320)에 전기선을 연결하기 위한 히터관(32)이 설치되고, 또한 커버부재(30) 내측으로 질소가스(330)를 주입하기 위한 가스관(33)이 연결 설치되며, 온도 감지를 통해 장치를 제어하기 위한 온도센서(340)가 센서관(34)을 통해 연결되는데, 이는 폐기가스 배출장치에서 통상적으로 설치하는 요소이므로 이에 관한 상세한 설명은 생략한다.The cover member 30 is provided with a heater tube 32 for connecting an electric wire to the heater 320 installed in the inner space thereof, and further includes a gas tube for injecting nitrogen gas 330 into the cover member 30. 33) is connected and the temperature sensor 340 for controlling the device through the temperature sensing is connected through the sensor pipe 34, which is a component that is usually installed in the waste gas discharge device, detailed description thereof will be omitted. do.

이상의 설명은 비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 특허청구범위에 속함은 자명하다.
Although the present invention has been described in connection with the preferred embodiments described above, it will be appreciated by those skilled in the art that various other modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the invention, All such changes and modifications are intended to be within the scope of the appended claims.

10: 제1배출관 11: 입구
12: 관로 13: 외면
14: 계단부 15: 연장부
16: 경사면 17: 내면
18: 플랜지
20: 제2배출관 21: 출구
22: 관로 23: 내면
24: 경사면 25: 연장부
26: 끝단면 27: 플랜지
30: 커버부재 31: 커버관
32: 히터관 320: 히터
33: 가스관 330: 질소가스
34: 센서관 340: 온도센서
35: 제1플랜지 36: 제2플랜지
40: 금속편 50: 핀볼트10: First Exhaust Hall 11: Entrance
12: pipeline 13: exterior
14: step 15: extension
16: slope 17: inside
18: Flange
20: second discharge pipe 21: exit
22: pipeline 23: inside
24: slope 25: extension portion
26: end face 27: flange
30: cover member 31: cover tube
32: heater tube 320: heater
33: gas pipe 330: nitrogen gas
34: sensor tube 340: temperature sensor
35: first flange 36: second flange
40: metal piece 50: pin bolt

Claims (6)

일측 단부에 폐기가스 입구(11)가 형성된 제1관로(12)를 포함하는 제1배출관(10)과, 상기 제1배출관(10)과 일직선상에 연결되고 일측 단부에 폐기가스 출구(21)가 형성된 제2관로(22)를 포함하는 제2배출관(20)과, 상기 제1배출관(10)과 제2배출관(20)의 각 연결부 외면에 히터(320)가 설치되는 동시에 질소가스를 주입하기 위한 공간이 형성되도록 각 배출관의 외면과 일정거리 이격 설치된 커버부재(30)로 구성된 것에 있어서,
상기 제1배출관(10)과 제2배출관(20)의 연결부 사이의 질소가스 분사노즐은 제1배출관(10)과 제2배출관(20)의 각 경사면 사이에 형성되고, 각 경사면 사이의 둘레에 복수 개의 금속편(40)이 개재된 것을 특징으로 하는 폐기가스 배출장치.
A first discharge pipe 10 including a first pipe line 12 having a waste gas inlet 11 formed at one end thereof, and a waste gas outlet 21 connected in line with the first discharge pipe 10 and at one end thereof. The second discharge pipe 20 including the second pipe line 22 is formed, and the heater 320 is installed on the outer surface of each connecting portion of the first discharge pipe 10 and the second discharge pipe 20 at the same time injecting nitrogen gas In the configuration consisting of a cover member 30 spaced apart from the outer surface of each discharge pipe so that a space for forming,
The nitrogen gas injection nozzle between the connection portion of the first discharge pipe 10 and the second discharge pipe 20 is formed between the inclined surfaces of the first discharge pipe 10 and the second discharge pipe 20, and around each slope Waste gas discharge device, characterized in that a plurality of metal pieces 40 are interposed.
삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 제1관로(12)의 연결부는, 상기 제1관로의 외면(13)에서 중심측으로 일정 높이의 단(段)이 진 계단부(14)와, 상기 계단부에서 직선으로 연장된 제1연장부(15)와, 상기 제1연장부의 끝단에서 상기 제1관로의 내면(17)까지 경사진 제1경사면(16)으로 이루어지고,
상기 제2관로(22)의 연결부는, 상기 제2관로의 내면(23)에서 관의 외측 방향으로 경사지되 상기 제1경사면(16)과 동일한 각도로 경사진 제2경사면(24)과, 상기 제2경사면의 끝단에서 직선으로 연장되되 상기 제1연장부(15)의 외경보다 큰 내경을 가지고 끝단면(26)이 상기 계단부(14)와 일정거리 이격되도록 연장된 제2연장부(25)로 이루어진 것을 특징으로 하는 폐기가스 배출장치.
The method of claim 1,
The connecting portion of the first pipe line 12 includes a step portion 14 having a step of a predetermined height toward the center from the outer surface 13 of the first pipe line, and a first extension extending straight from the step portion. And a first inclined surface 16 inclined from the end of the first extension to the inner surface 17 of the first conduit,
The connection portion of the second conduit 22, the second inclined surface 24 which is inclined in the outward direction of the tube from the inner surface 23 of the second conduit inclined at the same angle as the first inclined surface 16, and A second extension part 25 extending in a straight line from the end of the second inclined plane and having an inner diameter greater than the outer diameter of the first extension part 15 so that the end face 26 is spaced apart from the step part 14 by a predetermined distance; Waste gas discharge device characterized in that consisting of.
제 1항에 있어서,
상기 제1관로(12)의 외면에 방사상으로 복수 개의 고정홀이 천공된 플랜지(18)가 형성되고, 상기 제2관로(22)의 외면에 방사상으로 복수 개의 고정홀이 천공된 플랜지(27)가 형성되며, 상기 커버부재(30)의 일측 및 타측 단부에 각각 상기 각 플랜지(18)(27)의 대향하는 면과 접하고 방사상으로 복수 개의 고절홀이 천공된 제1플랜지(35) 및 제2플랜지(36)가 구비되어, 각 플랜지가 핀볼트(50)로 상호 고정되는 것을 특징으로 하는 폐기가스 배출장치.
The method of claim 1,
A flange 18 in which a plurality of fixing holes are radially drilled on an outer surface of the first conduit 12 is formed, and a flange 27 in which a plurality of fixing holes are radially drilled on an outer surface of the second conduit 22. Is formed, the first flange 35 and the second in contact with the opposite surface of each of the flanges (18, 27) on one side and the other end of the cover member 30 and a plurality of cut holes in the radial direction Flange (36) is provided, the waste gas discharge device, characterized in that each flange is fixed to each other with a pin bolt (50).
삭제delete
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100670973B1 (en) * 2006-09-22 2007-01-17 (주)보부하이테크 A hot nitrogen acceleration apparatus
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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100670973B1 (en) * 2006-09-22 2007-01-17 (주)보부하이테크 A hot nitrogen acceleration apparatus
KR20070088282A (en) * 2006-10-16 2007-08-29 이선영 Gas guide apparatus
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