KR101324669B1 - Memory device and setting method of power of the same - Google Patents

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KR101324669B1 KR1020110140508A KR20110140508A KR101324669B1 KR 101324669 B1 KR101324669 B1 KR 101324669B1 KR 1020110140508 A KR1020110140508 A KR 1020110140508A KR 20110140508 A KR20110140508 A KR 20110140508A KR 101324669 B1 KR101324669 B1 KR 101324669B1
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Abstract

메모리 장치 및 메모리 장치의 전압 설정 방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치는 래치에 데이터를 저장하는 메모리 셀들을 포함하는 메모리 셀 어레이; 및 테스트 모드에서 상기 메모리 셀들의 노이즈 마진을 테스트 하기 위해 각각, 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 제1 전압, 제2 전압 및 제3 전압을 생성하는 제1 전압 생성기, 제2 전압 생성기 및 제3 전압 생성기를 포함하여 구성되고, 상기 메모리 장치의 내부에 위치하는 테스트 전압 설정부를 구비한다. A memory device and a voltage setting method of the memory device are disclosed. In an embodiment, a memory device may include a memory cell array including memory cells that store data in a latch; And a first voltage generator, a second voltage generator, and a third voltage for generating a first voltage, a second voltage, and a third voltage applied to the memory cell array, respectively, to test the noise margin of the memory cells in a test mode. And a test voltage setting unit configured to include a generator and positioned inside the memory device.

Description

메모리 장치 및 메모리 장치의 전압 설정 방법{Memory device and setting method of power of the same}Memory device and setting method of power of the same}

본 발명은 메모리 장치 및 메모리 장치의 전압 설정 방법에 관한 것으로, 특히 메모리 셀의 노이즈 마진에 대한 테스트를 효율적으로 수행하거나 메모리 셀이 노이즈 마진을 충분히 확보할 수 있는 메모리 장치 및 메모리 장치의 전압 설정 방법에 관한 것이다.  The present invention relates to a memory device and a voltage setting method of the memory device, and more particularly, a memory device and a voltage setting method of a memory device capable of efficiently testing a noise margin of a memory cell or ensuring a sufficient noise margin of the memory cell. It is about.

메모리 셀에 데이터를 정확히 기입하거나, 메모리 셀로부터 저장된 데이터를 정확히 독출하기 위해서, 메모리 셀은, 메모리 셀로 유입되는 전하로 인한 노이즈를 극복할 수 있어야 한다. 그런데, 메모리 장치의 집적도가 높아짐에 따라 충분한 노이즈 마진을 갖지 못하는 메모리 셀이 많아지고 있다. 충분한 노이즈 마진을 갖지 못하는 메모리 셀은 페일(fail)로 처리해서 메모리 장치의 신뢰도를 유지해야 하는데, 노이즈 마진을 갖지 못하는 메모리 셀을 검출하기 위한 테스트에 시간 및 비용이 발생되는 문제가 있다. In order to correctly write data into a memory cell or to accurately read data stored in the memory cell, the memory cell must be able to overcome noise due to charges flowing into the memory cell. However, as the degree of integration of memory devices increases, more memory cells do not have sufficient noise margins. Memory cells that do not have sufficient noise margin must be processed to fail to maintain the reliability of the memory device, but there is a problem in that a test for detecting memory cells that do not have noise margin takes time and cost.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 메모리 셀의 노이즈 마진에 대한 테스트를 효율적으로 수행하거나 메모리 셀이 노이즈 마진을 충분히 확보할 수 있는 메모리 장치 및 메모리 장치의 전압 설정 방법을 제공하는 것에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to efficiently test a noise margin of a memory cell or to provide a memory device and a voltage setting method of the memory device capable of sufficiently securing a noise margin of the memory cell.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치는 래치에 데이터를 저장하는 메모리 셀들을 포함하는 메모리 셀 어레이; 및 테스트 모드에서 상기 메모리 셀들의 노이즈 마진을 테스트 하기 위해 각각, 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 제1 전압, 제2 전압 및 제3 전압을 생성하는 제1 전압 생성기, 제2 전압 생성기 및 제3 전압 생성기를 포함하여 구성되고, 상기 메모리 장치의 내부에 위치하는 테스트 전압 설정부를 구비한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a memory device including a memory cell array including memory cells for storing data in a latch; And a first voltage generator, a second voltage generator, and a third voltage for generating a first voltage, a second voltage, and a third voltage applied to the memory cell array, respectively, to test the noise margin of the memory cells in a test mode. And a test voltage setting unit configured to include a generator and positioned inside the memory device.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 메모리 장치는 래치에 데이터를 저장하는 메모리 셀들을 포함하는 메모리 셀 어레이; 및 테스트 모드에서 상기 메모리 셀들의 노이즈 마진을 테스트 하기 위해 각각, 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 제1 전압 및 제2 전압을 동일한 전압 레벨의 공통 전압으로 생성하는 공통 전압 생성기, 및 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 제3 전압을 상기 제1 전압 및 상기 제2 전압과 다른 전압 레벨의 독립 전압으로 생성하는 독립 전압 생성기를 포함하여 구성되고, 상기 메모리 장치의 내부에 위치하는 테스트 전압 설정부를 구비한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a memory device including a memory cell array including memory cells for storing data in a latch; And a common voltage generator configured to generate a first voltage and a second voltage applied to the memory cell array as common voltages having the same voltage level, respectively, to test noise margins of the memory cells in a test mode. And an independent voltage generator configured to generate an applied third voltage as an independent voltage having a voltage level different from that of the first voltage and the second voltage, and having a test voltage setting unit located inside the memory device.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 메모리 장치는 래치에 데이터를 저장하는 메모리 셀들을 포함하는 메모리 셀 어레이; 및 모드 선택 신호에 응답하여, 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 제1 전압, 제2 전압 및 제3 전압을 각각, 테스트 모드에서 상기 메모리 셀들의 노이즈 마진을 테스트 하기 위한 테스트 전압으로 생성하거나, 노말 모드에서 상기 메모리 셀들에 데이터의 기입 및 독출을 위한 동작 전압으로 생성하는 제1 전압 생성기, 제2 전압 생성기 및 제3 전압 생성기를 포함하여 구성되고, 상기 메모리 장치의 내부에 위치하는 테스트 전압 설정부를 구비한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a memory device including a memory cell array including memory cells for storing data in a latch; And in response to a mode selection signal, generate a first voltage, a second voltage, and a third voltage applied to the memory cell array as test voltages for testing noise margins of the memory cells in a test mode, respectively, or in a normal mode. A first voltage generator, a second voltage generator, and a third voltage generator configured to generate an operating voltage for writing and reading data into the memory cells, the test voltage setting unit being disposed inside the memory device. do.

본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치 및 메모리 장치의 전압 설정 방법에 의하면, 메모리 장치의 메모리 셀의 노이즈 마진을 테스트함에 있어서, 테스트의 신뢰도를 향상시키면서도 테스트 환경을 용이하게 변경할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치 및 메모리 장치의 전압 설정 방법에 의하면, 서로 다른 메모리 칩들에 동일한 전압 레벨을 제공할 수 있다. 나아가, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치 및 메모리 장치의 전압 설정 방법에 의하면, 메모리 장치의 각 동작별로 최적화된 전압 레벨이 설정될 수 있는 장점이 있다.According to the memory device and the voltage setting method of the memory device according to an embodiment of the present invention, when testing the noise margin of the memory cell of the memory device, it is possible to easily change the test environment while improving the reliability of the test. In addition, according to the memory device and the voltage setting method of the memory device according to an embodiment of the present invention, it is possible to provide the same voltage level to different memory chips. Furthermore, according to the memory device and the voltage setting method of the memory device according to an embodiment of the present invention, there is an advantage that the optimized voltage level can be set for each operation of the memory device.

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치를 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 2는 도 1의 메모리 셀 어레이에 포함되는 메모리 셀과 프리차지부의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 3은 웨이퍼 상의 패드로 테스트 전압이 인가되는 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1의 전압 생성기들에 인가되는 기준 전압을 생성하는 기준 전압 생성기의 예를 나타내는 도면이다.
도 5 및 도 7은 각각, 도 4의 기준 전압 생성기의 활성 전압 분배기를 사용하였을 경우와 사용하지 않았을 경우에 발생 가능한 도 4의 기준 전압의 전압 레벨의 예를 나타내는 그래프이다.
도 6은 도 1의 전압 생성기들에 포함되는, 기준 전압 분배기의 예를 나타내는 도면이다.
도 8 내지 도 12는 각각, 본 발명의 다른 실시예에 따른 메모리 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS A brief description of each drawing is provided to more fully understand the drawings recited in the description of the invention.
1 is a block diagram schematically illustrating a memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a memory cell and a precharge unit included in the memory cell array of FIG. 1.
3 is a diagram illustrating an example in which a test voltage is applied to a pad on a wafer.
4 is a diagram illustrating an example of a reference voltage generator for generating a reference voltage applied to the voltage generators of FIG. 1.
5 and 7 are graphs showing examples of voltage levels of the reference voltage of FIG. 4 that may occur when an active voltage divider of the reference voltage generator of FIG. 4 is used or not.
6 is a diagram illustrating an example of a reference voltage divider included in the voltage generators of FIG. 1.
8 to 12 are diagrams schematically illustrating a memory device according to another exemplary embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 아래의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하며 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. Embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art, and the following embodiments may be modified in various other forms, The present invention is not limited to the following embodiments. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be more thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. As used herein, the singular forms "a", "an," and "the" include plural forms unless the context clearly dictates otherwise. Also, " comprise "and / or" comprising "when used herein should be interpreted as specifying the presence of stated shapes, numbers, steps, operations, elements, elements, and / And does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, operations, elements, elements, and / or groups. As used herein, the term "and / or" includes any and all combinations of one or more of the listed items.

본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 영역 및/또는 부위들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부위들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 특정 순서나 상하, 또는 우열의 의미하지 않으며, 하나의 부재, 영역 또는 부위를 다른 부재, 영역 또는 부위와 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제1 부재, 영역 또는 부위는 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2 부재, 영역 또는 부위를 지칭할 수 있다. Although the terms first, second, etc. are used herein to describe various elements, regions and / or regions, it should be understood that these elements, components, regions, layers and / Do. These terms are not intended to be in any particular order, up or down, or top-down, and are used only to distinguish one member, region or region from another member, region or region. Thus, the first member, region or region described below may refer to a second member, region or region without departing from the teachings of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings schematically showing embodiments of the present invention. In the figures, for example, variations in the shape shown may be expected, depending on manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, embodiments of the present invention should not be construed as limited to any particular shape of the regions illustrated herein, including, for example, variations in shape resulting from manufacturing.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치를 나타내는 도면이다. 1 is a diagram illustrating a memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치(MDEV)는 메모리 셀 어레이(MCA) 및 테스트 전압 설정부(TVSU)를 구비한다. 메모리 셀 어레이(MCA)는 데이터가 저장되는 메모리 셀들을 구비한다. 테스트 전압 설정부(TVSU)는 테스트 모드에서 메모리 셀 어레이(MCA)에 인가되는 테스트 전압을 설정한다. Referring to FIG. 1, a memory device MDEV according to an embodiment of the present invention includes a memory cell array MCA and a test voltage setting unit TVSU. The memory cell array MCA includes memory cells in which data is stored. The test voltage setting unit TVSU sets a test voltage applied to the memory cell array MCA in the test mode.

본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치(MDEV)가 에스램(SRAM)인 경우, 메모리 셀 어레이(MCA)는 도 2와 같이, 워드라인(WL), 비트라인(BL) 및 상보 비트라인(BLB)에 연결되는 메모리 셀(MC), 및 비트라인 및 상보 비트라인(BLB)을 프리차지(precharge)하는 프리차지부(PREU)를 포함할 수 있다. 도 2는 특히, 6T SRAM을 도시하고 있다. 6T SRAM의 메모리 셀(MC)은 데이터가 저장되는 래치부(LAT), 및 각각 비트라인(BL) 및 상보 비트라인(BLB)에 일단이 연결되고, 타 단이 래치부(LAT)에 연결되며 게이트가 워드라인에 연결되는 패스 트랜지스터(PT)들을 포함한다. 프리차지부(PREU)는 프리차지 신호(PREB)에 응답하여, 프리차지 전압(VINTP)을 비트라인(BL) 및 상보 비트라인(BLB)에 인가한다. When the memory device MDEV according to the embodiment of the present invention is an SRAM, the memory cell array MCA may include a word line WL, a bit line BL, and a complementary bit line BLB, as shown in FIG. 2. ) And a precharge unit PREU precharges the bit line and the complementary bit line BLB. FIG. 2 particularly shows a 6T SRAM. The memory cell MC of the 6T SRAM has one end connected to a latch part LAT, in which data is stored, and a bit line BL and a complementary bit line BLB, respectively, and the other end connected to a latch part LAT. The gate includes pass transistors PT connected to the word line. The precharge unit PREU applies the precharge voltage VINTP to the bit line BL and the complementary bit line BLB in response to the precharge signal PREB.

도 2에서는 도시의 편의를 위해, 하나의 메모리 셀과 한 쌍의 비트라인(BL) 및 상보 비트라인(BLB)에 연결되는 프리차지부만을 도시하고 있으나, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 셀 어레이(MCA)는 다수의 메모리 셀들과 프리차지부를 구비할 수 있다. 2 illustrates only a precharge unit connected to one memory cell, a pair of bit lines BL, and a complementary bit line BLB, for convenience of illustration, but according to an embodiment of the present invention, The MCA may include a plurality of memory cells and a precharge unit.

도 2와 같은 메모리 셀(MC)에 대해, 테스트 전압 설정부(TVSU)는 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3) 중 적어도 하나 이상의 전압을 조절하여 데이터를 기입하는 기입 동작이나 도 2와 같은 메모리 셀(MC)로부터 데이터를 독출하는 독출 동작, 그리고 프리차지 동작에서의 메모리 셀(MC)의 노이즈 마진을 테스트한다. 본원발명의 제1 전압(V1)은 비트라인(BL)을 프리차지하는 프리차지 전압(VINTP)이고, 제2 전압(V2)은 메모리 셀(MC)의 전압을 공급하는 셀 전압(VINTC)이며, 제3 전압(V3)은 워드라인(WL)에 인가되는 워드라인 전압(VINTW)에 대응될 수 있다. 테스트 모드가 아닌 노말 동작을 수행하는 노말 모드에서의 프리차지 전압(VINTP), 셀 전압(VINTC) 및 워드라인 전압(VINTW)은 테스트 모드에서의 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)과 그 전압 레벨이 상이할 수 있다. 이는 메모리 셀의 노이즈 마진을 다양한 조건에서 확인하기 위해 테스트가 수행하기 위해, 테스트 전압인 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)을 변경하기 때문이다. For the memory cell MC as shown in FIG. 2, the test voltage setting unit TVSU adjusts data by adjusting at least one voltage among the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3. The noise margin of the memory cell MC in the write operation to write, the read operation to read data from the memory cell MC as shown in FIG. 2, and the precharge operation are tested. The first voltage V1 of the present invention is a precharge voltage VINTP for precharging the bit line BL, and the second voltage V2 is a cell voltage VINTC for supplying a voltage of the memory cell MC. The third voltage V3 may correspond to the word line voltage VINTW applied to the word line WL. The precharge voltage VINTP, the cell voltage VINTC, and the word line voltage VINTW in the normal mode performing the normal operation other than the test mode are the first voltage V1 and the second voltage V2 in the test mode. And the voltage level may be different from the third voltage V3. This is because the test voltages of the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3 are changed to perform the test to check the noise margin of the memory cell under various conditions.

본 발명의 실시예에 따른 테스트 전압 설정부(TVSU)는 제1 전압(V1)을 생성하는 제1 전압 생성기(VGEN1), 제2 전압(V2)을 생성하는 제2 전압 생성기(VGEN2) 및 제3 전압(V3)을 생성하는 제3 전압 생성기(VGEN3)를 포함하여 구성된다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니다. 메모리 셀(MC)에 대한 기입, 독출 또는 프리차이지 등의 동작을 수행하기 위해 메모리 셀 어레이(MCA)로 인가되는 전압의 종류 또는 레벨이 전술된 프리차지 전압(VINTP), 셀 전압(VINTC) 및 워드라인 전압(VINTW)에 추가적으로 더 존재한다면, 본 발명의 실시예에 따른 테스트 전압 설정부(TVSU)는 추가적인 전압 생성기를 더 구비하여 추가적인 전압을 메모리 셀 어레이(MCA)에 더 인가할 수 있다. The test voltage setting unit TVSU according to an embodiment of the present invention may include a first voltage generator VGEN1 for generating a first voltage V1, a second voltage generator VGEN2 for generating a second voltage V2, and a first voltage generator. And a third voltage generator VGEN3 for generating three voltages V3. However, the present invention is not limited thereto. The precharge voltage VINTP, the cell voltage VINTC, and the type or level of the voltage applied to the memory cell array MCA to perform an operation such as writing, reading, or precharging the memory cell MC are described above. If the word line voltage VINTW is further present, the test voltage setting unit TVSU according to the embodiment of the present invention may further include an additional voltage generator to further apply the additional voltage to the memory cell array MCA.

테스트 전압 설정부(TVSU)에 구비되는 제1 전압 생성기(VGEN1), 제2 전압 생성기(VGEN2) 및 제3 전압 생성기(VGEN3)는 각각, 대응되는 테스트 인에이블 신호에 응답하여 활성화를 달리할 수 있다. 예를 들어, 제1 전압 생성기(VGEN1)는 제1 테스트 인에이블 신호(TEN1)에 응답하여 활성화되고, 제2 전압 생성기(VGEN2)는 제2 테스트 인에이블 신호(TEN2)에 응답하여 활성화되며, 제3 전압 생성기(VGEN3)는 제3 테스트 인에이블 신호(TEN3)에 응답하여 활성화될 수 있다. 이때, 제1 테스트 인에이블 신호(TEN1), 제2 테스트 인에이블 신호(TEN2) 및 제3 테스트 인에이블 신호(TEN3)는 테스트 모드에서 같이 또는 따로 활성화 될 수 있다. Each of the first voltage generator VGEN1, the second voltage generator VGEN2, and the third voltage generator VGEN3 included in the test voltage setting unit TVSU may change activation in response to a corresponding test enable signal. have. For example, the first voltage generator VGEN1 is activated in response to the first test enable signal TEN1, and the second voltage generator VGEN2 is activated in response to the second test enable signal TEN2. The third voltage generator VGEN3 may be activated in response to the third test enable signal TEN3. In this case, the first test enable signal TEN1, the second test enable signal TEN2, and the third test enable signal TEN3 may be activated together or separately in the test mode.

제1 전압 생성기(VGEN1), 제2 전압 생성기(VGEN2) 및 제3 전압 생성기(VGEN3)는 각각, 기준 전압(VINT_REF)을 기반으로 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3) 중 대응되는 전압의 전압 레벨을 설정할 수 있다. 이를 위한 본 발명의 실시예에 따른 제1 전압 생성기(VGEN1), 제2 전압 생성기(VGEN2) 및 제3 전압 생성기(VGEN3)에 대한 좀더 자세한 설명은 후술된다. The first voltage generator VGEN1, the second voltage generator VGEN2, and the third voltage generator VGEN3 are respectively based on the reference voltage VINT_REF and the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage generator VGEN3. The voltage level of the corresponding voltage among the voltages V3 may be set. A detailed description of the first voltage generator VGEN1, the second voltage generator VGEN2, and the third voltage generator VGEN3 according to the embodiment of the present invention will be described later.

이렇게, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치(MDEV)는 테스트 모드에서 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)의 전압 레벨을 각각 설정할 수 있음으로써, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치(MDEV)는 도 3과 같이, 노이즈 마진을 테스트하기 위해 프리차지 전압(VINTP) 및 셀 전압(VINTC)을 메모리 장치(또는 메모리 칩(MCIP))가 실장되는 웨이퍼(WAF)에 구비되는 패드들(VINTP_PAD, VINTC_PAD)에 인가하는 경우에 발생될 수 있는, 도 2의 패스 트랜지스터(PT)의 온(on) 저항과 비트라인 쌍(BL, BLB)의 프리차지 전압(VINTP)이 동시에 변함에 따른 문제가 발생되지 아니할 수 있다. 패스 트랜지스터(PT)의 온 저항과 비트라인 쌍(BL, BLB)의 프리차지 전압(VINTP)이 동시에 변화되는 경우, 노이즈 마진의 레벨을 정확하게 평가하기 어려운 문제가 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 테스트 전압 설정부(TVSU)는 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)의 생성을 메모리 장치(MDEV)의 내부에 위치하는 테스트 전압 설정부(TVSU)에 의해서 생성하므로, 도 3과 같이 웨이퍼 상태에서만 테스트가 수행되는 것에 국한되지 아니하고, 패키지 상태에서도 테스트가 수행될 수 있다. 웨이퍼 상태에서는 테스트를 위한 패드를 추가하여 패드에 테스트 전압을 인가함으로써 테스트를 수행할 수 있다. 반면, 메모리 장치가 최종적으로 출하되는 상태가 패키지 상태인 경우, 패드를 패키지 핀과 연결할 수 없기 때문에 패키징 과정에서 발생될 수 있는 에러를 검출하기 어려운 측면이 있는데, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치는 장치의 내부에 위치하는 테스트 전압 설정부를 구비함으로써, 패키지 상태에서의 테스트도 용이하게 수행될 수 있다. As such, the memory device MDEV according to the embodiment of the present invention may set voltage levels of the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3 in the test mode, respectively. As illustrated in FIG. 3, a memory device MDEV includes a wafer in which a precharge voltage VINTP and a cell voltage VINTC are mounted with a memory device (or a memory chip MCIP) to test a noise margin. The on-resistance of the pass transistor PT of FIG. 2 and the precharge voltage of the bit line pair BL and BLB, which may be generated when applied to the pads VINTP_PAD and VINTC_PAD provided in the WAF, VINTP) may not cause a problem as it changes simultaneously. When the on resistance of the pass transistor PT and the precharge voltage VINTP of the bit line pairs BL and BLB are simultaneously changed, it is difficult to accurately evaluate the level of the noise margin. In addition, the test voltage setting unit TVSU according to an embodiment of the present invention may generate the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3 in the memory device MDEV. Since it is generated by the test voltage setting unit TVSU, the test is not limited to being performed only in the wafer state as shown in FIG. 3, and the test may be performed even in the package state. In the wafer state, the test can be performed by applying a test voltage to the pad by adding a pad for the test. On the other hand, when the memory device is finally shipped in a packaged state, it may be difficult to detect an error that may occur during the packaging process because the pad cannot be connected to the package pin. Since the test voltage setting unit is located inside the device, the test in a package state can be easily performed.

다시 도 1을 참조하면, 테스트 전압 설정부(TVSU)는 전술한 바와 같이, 기준 전압(VINT_REF)에 근거하여 대응되는 테스트 전압을 생성할 수 있다. 이때, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치(MDEV)는 기준 전압(VINT_REF)을 생성하는, 도 4와 같은 기준 전압 생성기(VRG)를 더 구비할 수 있다. Referring back to FIG. 1, as described above, the test voltage setting unit TVSU may generate a corresponding test voltage based on the reference voltage VINT_REF. In this case, the memory device MDEV according to the embodiment of the present invention may further include a reference voltage generator VRG as shown in FIG. 4 to generate the reference voltage VINT_REF.

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기준 전압 생성기(VRG)는 PVT(Process, Voltage and Temperature) 변동이 적은 기준 생성기(RG)와 다이-투-다이(Die-to-Die) 변동을 줄이기 위한 트리밍부(TRMU)가 포함된 네거티브 피드백 회로로 구현될 수 있다. 기준 전압 생성기(VRG)는 또한, 활성 전압 분배기(EVD)를 더 구비하여, 기준 생성기(RG)에 의한 변동(전압 레벨 또는 전류량)의 영향이 기준 전압(VINT_REF)에 반영되는 것을 방지하고, 기준 전압(VINT_REF)을 도 5와 같이 외부 전원전압(VDD)에 비례하도록 생성할 수 있다. 외부 전원전압(VDD)은 칩(예를 들어, 도 3의 MCIP)에 공급되는 전원으로, 기준 생성기(RG)는 외부 전원전압(VDD)을 기준으로 초기 기준 전압(VREF0)을 생성할 수 있다. Referring to FIG. 4, the reference voltage generator VRG according to an embodiment of the present invention has a reference generator RG and a die-to-die variation with less variation in process, voltage and temperature (PVT). It can be implemented as a negative feedback circuit including a trimming unit (TRMU) to reduce the. The reference voltage generator VRG further includes an active voltage divider EVD to prevent the influence of the variation (voltage level or current amount) caused by the reference generator RG from being reflected in the reference voltage VINT_REF, and The voltage VINT_REF may be generated to be proportional to the external power supply voltage VDD as shown in FIG. 5. The external power supply voltage VDD is a power supplied to a chip (for example, MCIP of FIG. 3), and the reference generator RG may generate an initial reference voltage VREF0 based on the external power supply voltage VDD. .

기준 전압 생성기(VRG)에 대하여 좀더 자세히 설명한다. 활성 전압 분배기(EVD)는 각각, 테스트 모드를 나타내는 테스트 인에이블 신호(TEN) 및 테스트 인에이블 신호(TEN)의 반전 신호(/TEN)에 의해 게이팅되는 NMOS 트랜지스터(NT) 및 PMOS 트랜지스터(PT)를 구비한다. 또한, 활성 전압 분배기(EVD)는 각각, 기준 생성기(RG)의 출력과 NMOS 트랜지스터(NT) 및 PMOS 트랜지스터(PT) 사이에 연결되는, 저항(R)들을 더 포함한다. The reference voltage generator VRG will be described in more detail. The active voltage divider EVD is respectively gated by an NMOS transistor NT and a PMOS transistor PT gated by a test enable signal TEN indicating a test mode and an inversion signal / TEN of the test enable signal TEN. It is provided. In addition, the active voltage divider EVD further includes resistors R, which are connected between the output of the reference generator RG and the NMOS transistor NT and the PMOS transistor PT, respectively.

따라서, 테스트 모드에서, 즉 테스트 인에이블 신호(TEN)가 논리 하이로 활성화되는 때에, 초기 기준 전압(VREF0)의 전압 레벨은, 저항 분배기(저항(R)들)의 출력에 의해 결정된다. Thus, in the test mode, i.e., when the test enable signal TEN is activated to logic high, the voltage level of the initial reference voltage VREF0 is determined by the output of the resistor divider (resistors R).

트리밍부(TRMU)에 포함되는 가변 저항들은 서로 다른 메모리 칩들(메모리 장치들)로 동일한 전압 레벨(동일한 기준 전압)을 인가하기 위해, 초기 기준 전압(VREF0)에서 메모리 칩들별로 PVT 변동이 고려되어 그 크기가 설정된다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 기준 전압(VINT_REF)은, 서로 다른 환경의 메모리 장치(메모리 칩)들에 대해서도 동일하게 생성될 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치들 사이의 기준 전압의 변동(die-to-die variation)을 줄일 수 있다.In order to apply the same voltage level (the same reference voltage) to the different memory chips (memory devices), the variable resistors included in the trimming unit TRMU take into consideration the PVT variation of each memory chip at the initial reference voltage VREF0. The size is set. Accordingly, the reference voltage VINT_REF according to the embodiment of the present invention may be generated in the same manner for memory devices (memory chips) of different environments. That is, the die-to-die variation of the reference voltage between the memory devices according to the embodiment of the present invention can be reduced.

도 6은 도 1의 전압 생성기들에 포함되는, 기준 전압 분배기의 예를 나타내는 도면이다. 6 is a diagram illustrating an example of a reference voltage divider included in the voltage generators of FIG. 1.

도 1 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른, 제1 전압 생성기(VGEN1), 제2 전압 생성기(VGEN2) 및 제3 전압 생성기(VGEN3)는 각각, 기준 전압(VINT_REF)과 접지 전압(VSS) 사이에, 다수의 저항들이 직렬로 연결된 저항 스트링을 포함하는 전압 분배기(VDIV)를 구비할 수 있다. 예를 들어, 전압 분배기(VDIV)에 n개의 저항들이 연결되는 저항 스트링이 구비된다면, 제1 전압(V1)은 i 번째 저항과 i+1 번째 저항 사이의 노드 전압 이상으로 설정될 수 있고, 제2 전압(V2)은 j 번째 저항과 j+1 번째 저항 사이의 노드 전압 이상으로 설정될 수 있으며, 제3 전압(V3)은 k 번째 저항과 k+1 번째 저항 사이의 노드 전압 이상으로 설정될 수 있다. 이때, i, j 및 k는 n 이하의 자연수이다. 1 and 6, in accordance with an embodiment of the present invention, the first voltage generator VGEN1, the second voltage generator VGEN2, and the third voltage generator VGEN3 may be a reference voltage VINT_REF and a ground, respectively. Between the voltages VSS, a plurality of resistors may have a voltage divider VDIV including a resistor string connected in series. For example, if the voltage divider VDIV is provided with a resistor string to which n resistors are connected, the first voltage V1 may be set to be equal to or higher than the node voltage between the i th resistor and the i + 1 th resistor. The second voltage V2 may be set above the node voltage between the jth resistor and the j + 1th resistor, and the third voltage V3 may be set above the node voltage between the kth resistor and the k + 1th resistor. Can be. At this time, i, j and k are natural numbers of n or less.

상기의 예에 의하면, 본 발명의 실시예에 따른 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)은 도 7의 빗금친 부분에 속하는 전압 레벨로 생성될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 제1 전압 생성기(VGEN1), 제2 전압 생성기(VGEN2) 및 제3 전압 생성기(VGEN3)는 각각, 서로 다른 전압 레벨의 기준 전압(VINT_REF)을 이용하여, 서로 다른 전압 레벨의 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)을 생성함에 따라, 노이즈 마진의 레벨을 정확하게 판단할 수 있다. 나아가, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치(MDEV)는 도 6과 같이 저항 스트링으로 구현되는 전압 분배기(VDIV)를 이용하여 기준 전압(VINT_REF)의 전압 레벨을 변경함으로써, 각 전압 사이의 전압 레벨 차이를 일정하게 유지할 수 있다. According to the above example, the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3 according to the embodiment of the present invention may be generated at the voltage level belonging to the hatched portion of FIG. 7. The first voltage generator VGEN1, the second voltage generator VGEN2, and the third voltage generator VGEN3 according to the embodiment of the present invention each use different voltages by using reference voltages VINT_REF having different voltage levels. By generating the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3 of the level, it is possible to accurately determine the level of the noise margin. Furthermore, the memory device MDEV according to the embodiment of the present invention changes the voltage level of the reference voltage VINT_REF by using the voltage divider VDIV implemented as a resistor string as shown in FIG. You can keep the difference constant.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 메모리 장치(MDEV)에서, 각 전압 생성기들은 서로 파워 스위치를 통해 연결된다. 예를 들어, 제1 전압 생성기(VGEN1) 및 제3 전압 생성기(VGEN3)는 제1 파워 스위치(PS1)에 연결되고, 제3 전압 생성기(VGEN3) 및 제2 전압 생성기(VGEN2)는 제3 파워 스위치(PS3)에 연결되며, 제3 전압 생성기(VGEN3) 및 제1 전압 생성기(VGEN1)는 제2 파워 스위치(PS2)에 연결될 수 있다. 8 is a diagram illustrating a memory device MDEV according to another exemplary embodiment of the present invention, in which voltage generators are connected to each other through a power switch. For example, the first voltage generator VGEN1 and the third voltage generator VGEN3 are connected to the first power switch PS1, and the third voltage generator VGEN3 and the second voltage generator VGEN2 are the third power. The third voltage generator VGEN3 and the first voltage generator VGEN1 may be connected to the second power switch PS2.

이때, 파워 스위치들(PS1~PS3)은 테스트 인에이블 신호들 중 대응되는 테스트 인에이블 신호(TEN)에 응답하여 게이팅되는 PMOS 트랜지스터로 구비될 수 있다. 예를 들어, 제1 파워 스위치(PS1)는 제1 테스트 인에이블 신호(TEN1)에 의해 게이팅되고, 제2 파워 스위치(PS2)는 제2 테스트 인에이블 신호(TEN2)에 의해 게이팅되며, 제3 파워 스위치(PS3)는 제3 테스트 인에이블 신호(TEN3)에 의해 게이팅된다. In this case, the power switches PS1 to PS3 may be provided as PMOS transistors that are gated in response to the corresponding test enable signal TEN among the test enable signals. For example, the first power switch PS1 is gated by the first test enable signal TEN1, the second power switch PS2 is gated by the second test enable signal TEN2, and the third The power switch PS3 is gated by the third test enable signal TEN3.

본 발명의 실시예에 따른 파워 스위치들 각각이 안정적으로 스위칭 동작을 수행할 수 있도록, 파워 스위치들은 메모리 셀 어레이의 주위에 분산 배치될 수 있다. 또한, 테스트 모드가 아닌 노말 모드인 경우, 예를 들어, 테스트 인에이블 신호들(TEN1~ TEN3)이 모두 비활성화 되는 경우, 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)은 서로 연결되어, 동일한 전압 레벨을 유지할 수 있다. 이상에서 설명된 도 1 또는 도 8의 메모리 장치에서, 독립적인 각 전압은 수율, 속도 및 전류 소도 등을 고려하여 메모리 장치가 최적의 동작 조건으로 동작할 수 있도록 설정될 수 있다. 다만, 이상에서는 메모리 셀 어레이에 인가되는 각 전압이 모두 독립적으로 설정되는 메모리 장치에 한하여 설명되었다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니다. The power switches may be distributed around the memory cell array so that each of the power switches according to the embodiment of the present invention can perform the switching operation stably. In addition, in the normal mode other than the test mode, for example, when all of the test enable signals TEN1 to TEN3 are deactivated, the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3. ) May be connected to each other to maintain the same voltage level. In the memory device of FIG. 1 or FIG. 8 described above, each independent voltage may be set to allow the memory device to operate under optimum operating conditions in consideration of yield, speed, and current consumption. However, the above description has been made only for the memory device in which each voltage applied to the memory cell array is independently set. However, the present invention is not limited thereto.

도 9에 도시되는 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 메모리 장치(MDEV)에 의하면, 일부의 전압에 대하여는 공통된 전압 생성기에 의해 통합되고, 일부의 전압만이 분리될 수 있다. 도 9는 특히, 테스트 전압 설정부(TVSU)가 도 1의 제1 전압(V1) 및 제2 전압(V2)을 공통 전압(Vcom), 즉 동일한 전압 레벨로 생성하는 공통 전압 생성기(VGENC)를 구비하는 예를 도시한다. 도 9의 테스트 전압 설정부(TVSU)는 또한, 도 1의 제3 전압(V3)을 제1 전압(V1) 및 제2 전압(V2)과 다른 전압 레벨의 독립 전압(Vind)으로 생성하는 독립 전압 생성기(VGENI)를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 9, according to the memory device MDEV according to another embodiment of the present invention, some voltages may be integrated by a common voltage generator, and only some voltages may be separated. 9 illustrates a common voltage generator VGENC, in which the test voltage setting unit TVSU generates the first voltage V1 and the second voltage V2 of FIG. 1 to a common voltage Vcom, that is, the same voltage level. The example with which is provided is shown. The test voltage setting unit TVSU of FIG. 9 may also generate the third voltage V3 of FIG. 1 as an independent voltage Vin at a voltage level different from the first voltage V1 and the second voltage V2. And a voltage generator VGENI.

이때, 공통 전압(Vcom)은 도 2의 프리차지 전압(VINTP) 및 셀 전압(VINTC)이고, 독립 전압(Vind)은 도 2의 워드라인 전압(VINTW)일 수 있다. 공통 전압(Vcom) 및 독립 전압(Vind)의 전압 레벨은 도 1 또는 도 8의 전압 레벨의 설정과 마찬가지로, 수율, 속도 및 전류 소도 등을 고려하여 메모리 장치가 최적의 동작 조건으로 동작할 수 있도록 설정될 수 있다.In this case, the common voltage Vcom may be the precharge voltage VINTP and the cell voltage VINTC of FIG. 2, and the independent voltage Vind may be the wordline voltage VINTW of FIG. 2. The voltage levels of the common voltage Vcom and the independent voltage Vind are similar to those of the voltage levels of FIG. 1 or 8, so that the memory device may operate at an optimum operating condition in consideration of yield, speed, and current consumption. Can be set.

이상에서는 테스트 전압 설정부가 각 전압을 생성하는 예에 한하여 설명되었다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니다. 다음의 도 10에 도시되는 바와 같이, 메모리 셀의 노이즈 마진을 테스트하기 위해 메모리 셀 어레이로 인가되는 각 전압은 패드를 통해 외부로부터 인가될 수도 있다. In the above, only the example in which the test voltage setting unit generates each voltage is described. However, the present invention is not limited thereto. As shown in FIG. 10, each voltage applied to the memory cell array to test the noise margin of the memory cell may be applied from the outside through the pad.

도 10을 참조하면, 테스트 전압 설정부(TVSU)는 제1 전압 생성기(VGEN1), 제2 전압 생성기(VGEN2) 및 제3 전압 생성기(VGEN3)와 함께, 제1 패드(PAD1), 제2 패드(PAD2) 및 제3 패드(PAD3)를 더 구비할 수 있다. 제1 패드(PAD1)는 외부로부터 인가되는 제1 전압(V1)을 메모리 셀 어레이(MCA)에 전달한다. 제2 패드(PAD2)는 외부로부터 인가되는 제2 전압(V2)을 메모리 셀 어레이(MCA)에 전달한다. 그리고, 제3 패드(PAD3)는 외부로부터 인가되는 제3 전압(V3)을 메모리 셀 어레이(MCA)에 전달한다.Referring to FIG. 10, the test voltage setting unit TVSU together with the first voltage generator VGEN1, the second voltage generator VGEN2, and the third voltage generator VGEN3 may include a first pad PAD1 and a second pad. And a third pad PAD3. The first pad PAD1 transfers the first voltage V1 applied from the outside to the memory cell array MCA. The second pad PAD2 transfers the second voltage V2 applied from the outside to the memory cell array MCA. The third pad PAD3 transfers the third voltage V3 applied from the outside to the memory cell array MCA.

도 10의 제1 전압 생성기(VGEN1), 제2 전압 생성기(VGEN2) 및 제3 전압 생성기(VGEN3)는, 제1 패드(PAD1), 제2 패드(PAD2) 및 제3 패드(PAD3)에 의해 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)을 메모리 셀 어레이(MCA)로 인가하는 경우, 충돌을 피하기 위해 전압생성 인에이블 신호들(EN_G1, EN_G2, EN_G3)을 디스에이블 시킨다. 즉, 도 10의 1의 테스트 전압 설정부(TVSU)는 각 전압 생성기에 의해 전압을 메모리 셀 어레이(MCA)에 인가할 경우 전압생성 인에이블 신호들(EN_G1, EN_G2, EN_G3)을 활성화하여 전압 생성기들(VGEN1, VGEN2, VGEN3)이 동작하게 하고, 패드들(PAD1, PAD2, PAD3)에 의해 전압을 메모리 셀 어레이(MCA)에 인가할 경우 전압생성 인에이블 신호들(EN_G1, EN_G2, EN_G3)을 비활성화하여 전압 생성기들(VGEN1, VGEN2, VGEN3)이 비활성화 시킨다. The first voltage generator VGEN1, the second voltage generator VGEN2, and the third voltage generator VGEN3 of FIG. 10 are formed by the first pad PAD1, the second pad PAD2, and the third pad PAD3. When the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3 are applied to the memory cell array MCA, the voltage generation enable signals EN_G1, EN_G2, and EN_G3 are applied to avoid collisions. Disable it. That is, the test voltage setting unit TVSU of FIG. 10 activates the voltage generation enable signals EN_G1, EN_G2, and EN_G3 when voltages are applied to the memory cell arrays MCA by the respective voltage generators. Are operated, and voltage generation enable signals EN_G1, EN_G2, and EN_G3 are applied when the voltages are applied to the memory cell arrays MCA by the pads PAD1, PAD2, and PAD3. Deactivate the voltage generators VGEN1, VGEN2, and VGEN3.

도 11은 도 10의 테스트 전압 설정부의 일부를 좀더 자세히 나타내는 도면이다. FIG. 11 is a diagram illustrating a part of the test voltage setting unit of FIG. 10 in more detail.

도 11을 참조하면, 도 6의 전압 분배기의 각 노드 전압(Vn-x+1 ~ Vn) 중 하나가 먹스(mux)를 통해 선택된다. 먹스로부터 출력된 전압은 드라이버로 인가된다. 이때, 드라이버는 전압생성 인에이블 신호들(EN_G1, EN_G2, EN_G3)가 활성화되는 때에 활성화되었다가, 패드들(PAD1, PAD2, PAD3)에 의해 전압을 인가하고자 하는 경우, 전압생성 인에이블 신호들(EN_G1, EN_G2, EN_G3)가 비활성화됨에 따라 오프(off)된다. 도 11에서는 도 8의 파워 스위치들(PS1~PS3)이 각각 전압 생성기들의 양단에 연결되는 예를 도시한다. Referring to FIG. 11, one of the node voltages Vn−x + 1 to Vn of the voltage divider of FIG. 6 is selected through a mux. The voltage output from the mux is applied to the driver. At this time, the driver is activated when the voltage generation enable signals EN_G1, EN_G2, and EN_G3 are activated, and when the voltage is to be applied by the pads PAD1, PAD2, and PAD3, the voltage generation enable signals ( As EN_G1, EN_G2, EN_G3) are deactivated, they are turned off. 11 illustrates an example in which the power switches PS1 to PS3 of FIG. 8 are connected to both ends of the voltage generators, respectively.

이상에서는 테스트 모드에서의 테스트를 위한 전압 설정에 한하여 기술되었다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 12의 테스트 전압 설정부(TVSU)를 참조하면, 먹스로 인가되는 모드 신호(XMOD)에 응답하여 테스트 모드뿐 아니라 노말 모드에서의 전압도 설정될 수 있다. 예를 들어, 제1 논리 레벨의 모드 신호(XMOD)에 응답하여, 테스트 모드에서의 테스트 전압인 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)이 설정될 수 있다. 또는, 제2 논리 레벨의 모드 신호(XMOD)에 응답하여, 노말 모드에서의 테스트 전압인 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)이 설정될 수 있다. 노말 모드에서, 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)은 도 2의 프리차지 전압(VINTP), 셀 전압(VINTC) 및 워드라인 전압(VINTW)으로 사용될 수 있다. In the above, only the voltage setting for the test in the test mode has been described. However, the present invention is not limited thereto. Referring to the test voltage setting unit TVSU of FIG. 12 according to another embodiment of the present invention, the voltage in the normal mode as well as the test mode may be set in response to the mode signal XMOD applied to the mux. For example, the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3, which are test voltages in the test mode, may be set in response to the mode signal XMOD of the first logic level. . Alternatively, the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3, which are test voltages in the normal mode, may be set in response to the mode signal XMOD of the second logic level. In the normal mode, the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3 may be used as the precharge voltage VINTP, the cell voltage VINTC, and the word line voltage VINTW of FIG. 2. have.

이때, 노말 모드에서 설정된 제1 전압(V1), 제2 전압(V2) 및 제3 전압(V3)은 퓨즈 커팅을 통해 고정될 수 있다. 이렇듯, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치는 테스트 동작뿐 아니라, 노말 동작에서도 최적화된 전압을 설정할 수 있다. In this case, the first voltage V1, the second voltage V2, and the third voltage V3 set in the normal mode may be fixed through fuse cutting. As described above, the memory device according to the embodiment of the present invention can set the optimized voltage in the normal operation as well as the test operation.

이상에서와 같이 도면과 명세서에서 최적 실시예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, optimal embodiments have been disclosed in the drawings and the specification. Although specific terms are employed herein, they are used for purposes of describing the present invention only and are not used to limit the scope of the present invention. Therefore, those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments are possible without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

Claims (15)

메모리 장치에 있어서,
래치에 데이터를 저장하는 메모리 셀들을 포함하는 메모리 셀 어레이; 및
테스트 모드에서 상기 메모리 셀들의 노이즈 마진을 테스트 하기 위해 각각, 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 제1 전압, 제2 전압 및 제3 전압을 생성하는 제1 전압 생성기, 제2 전압 생성기 및 제3 전압 생성기를 포함하여 구성되고, 상기 메모리 장치의 내부에 위치하는 테스트 전압 설정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
In the memory device,
A memory cell array including memory cells for storing data in a latch; And
A first voltage generator, a second voltage generator, and a third voltage generator for generating a first voltage, a second voltage, and a third voltage applied to the memory cell array, respectively, to test the noise margin of the memory cells in a test mode. And a test voltage setting unit positioned inside the memory device.
제1 항에 있어서,
상기 제1 전압은 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 프리차지 전압에 대응되고, 상기 제2 전압은 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 셀 전압에 대응되고, 상기 제1 전압은 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 워드라인 전압에 대응되는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The method according to claim 1,
The first voltage corresponds to a precharge voltage applied to the memory cell array, the second voltage corresponds to a cell voltage applied to the memory cell array, and the first voltage is a word applied to the memory cell array. And a memory device corresponding to the line voltage.
제1 항에 있어서,
상기 제1 전압 생성기, 상기 제2 전압 생성기 및 상기 제3 전압 생성기는 각각, 기준 전압과 접지 전압 사이에 직렬로 연결되는 저항 스트링의 각 노드의 노드 전압으로 상기 기준 전압을 분배하는 전압 분배기를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The method according to claim 1,
The first voltage generator, the second voltage generator and the third voltage generator each include a voltage divider for dividing the reference voltage by the node voltage of each node of the resistance string connected in series between the reference voltage and the ground voltage. And a memory device.
제3 항에 있어서,
상기 제1 전압은 상기 저항 스트링의 제1 노드의 노드 전압 이상의 전압 레벨로 생성되고, 상기 제2 전압은 상기 저항 스트링의 제2 노드의 노드 전압 이상의 전압 레벨로 생성되며, 상기 제3 전압은 상기 저항 스트링의 제3 노드의 노드 전압 이상의 전압 레벨로 생성되는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The method of claim 3,
The first voltage is generated at a voltage level equal to or greater than the node voltage of the first node of the resistance string, the second voltage is generated at a voltage level equal to or greater than the node voltage of the second node of the resistance string, and the third voltage is equal to the And at a voltage level equal to or greater than the node voltage of the third node of the resistor string.
제3 항에 있어서, 상기 테스트 전압 설정부는,
상기 기준 전압으로부터 상기 제1 전압, 상기 제2 전압 및 상기 제3 전압을 생성하기 위해, 상기 저항 스트링의 각 노드 전압 중 하나를 상기 제1 전압, 상기 제2 전압 및 상기 제3 전압 중 대응되는 전압으로 선택하는 먹스들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The method of claim 3, wherein the test voltage setting unit,
To generate the first voltage, the second voltage and the third voltage from the reference voltage, one of each node voltage of the resistance string corresponds to one of the first voltage, the second voltage and the third voltage. The memory device further comprises a mux to select the voltage.
제3 항에 있어서, 상기 메모리 장치는,
상기 기준 전압을 생성하는 기준 전압 생성기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The memory device of claim 3, wherein the memory device comprises:
And a reference voltage generator configured to generate the reference voltage.
제5 항에 있어서, 상기 기준 전압 생성기는,
상기 메모리 장치와 동일한 구조의 다른 메모리 장치들에서 사용되는 상기 기준 전압의 전압 레벨을 동일하게 조절하는 트리밍부를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The method of claim 5, wherein the reference voltage generator,
And a trimming unit to equally adjust a voltage level of the reference voltage used in other memory devices having the same structure as the memory device.
제1 항에 있어서, 상기 메모리 장치는,
상기 제1 전압 생성기, 상기 제2 전압 생성기 및 상기 제3 전압 생성기 중 2개의 전압 생성기의 양단에 연결되고, 대응되는 테스트 인에이블 신호에 게이팅되는 제1 파워 스위치, 제2 파워 스위치 및 제3 파어 스위치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The memory device of claim 1, wherein the memory device comprises:
A first power switch, a second power switch, and a third power source connected to both ends of the first voltage generator, the second voltage generator, and the third voltage generator and gated to a corresponding test enable signal; The memory device further comprises a switch.
제1 항에 있어서, 상기 테스트 전압 설정부는,
외부로부터 상기 제1 전압을 수신하여 상기 메모리 셀 어레이로 인가하는 제1 패드, 외부로부터 상기 제2 전압을 수신하여 상기 메모리 셀 어레이로 인가하는 제2 패드, 및 외부로부터 상기 제3 전압을 수신하여 상기 메모리 셀 어레이로 인가하는 제3 패드를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The method of claim 1, wherein the test voltage setting unit,
A first pad that receives the first voltage from the outside and applies it to the memory cell array, a second pad that receives the second voltage from the outside and applies it to the memory cell array, and receives the third voltage from the outside And a third pad applied to the memory cell array.
제9 항에 있어서,
상기 제1 전압 생성기, 상기 제2 전압 생성기 및 상기 제3 전압 생성기는 각각,
상기 제1 패드, 상기 제2 패드 및 상기 제3 패드가 활성화되는 때에 비활성화되는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
10. The method of claim 9,
The first voltage generator, the second voltage generator and the third voltage generator, respectively,
And deactivate when the first pad, the second pad, and the third pad are activated.
제1 항에 있어서,
상기 제1 전압, 상기 제2 전압 및 상기 제3 전압은 각각 달리 설정되는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The method according to claim 1,
The first voltage, the second voltage and the third voltage are each set differently.
메모리 장치에 있어서,
래치에 데이터를 저장하는 메모리 셀들을 포함하는 메모리 셀 어레이; 및
테스트 모드에서 상기 메모리 셀들의 노이즈 마진을 테스트 하기 위해 각각, 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 제1 전압 및 제2 전압을 동일한 전압 레벨의 공통 전압으로 생성하는 공통 전압 생성기, 및 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 제3 전압을 상기 제1 전압 및 상기 제2 전압과 다른 전압 레벨의 독립 전압으로 생성하는 독립 전압 생성기를 포함하여 구성되고, 상기 메모리 장치의 내부에 위치하는 테스트 전압 설정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
In the memory device,
A memory cell array including memory cells for storing data in a latch; And
A common voltage generator for generating a first voltage and a second voltage applied to the memory cell array as common voltages having the same voltage level, respectively, to test the noise margin of the memory cells in a test mode; And an independent voltage generator configured to generate a third voltage to be an independent voltage having a voltage level different from that of the first voltage and the second voltage, and including a test voltage setting unit located inside the memory device. Memory device.
메모리 장치에 있어서,
래치에 데이터를 저장하는 메모리 셀들을 포함하는 메모리 셀 어레이; 및
모드 선택 신호에 응답하여, 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 제1 전압, 제2 전압 및 제3 전압을 각각, 테스트 모드에서 상기 메모리 셀들의 노이즈 마진을 테스트 하기 위한 테스트 전압으로 생성하거나, 노말 모드에서 상기 메모리 셀들에 데이터의 기입 및 독출을 위한 동작 전압으로 생성하는 제1 전압 생성기, 제2 전압 생성기 및 제3 전압 생성기를 포함하여 구성되고, 상기 메모리 장치의 내부에 위치하는 테스트 전압 설정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
In the memory device,
A memory cell array including memory cells for storing data in a latch; And
In response to a mode selection signal, a first voltage, a second voltage, and a third voltage applied to the memory cell array are respectively generated as test voltages for testing noise margins of the memory cells in a test mode, or in a normal mode. A first voltage generator, a second voltage generator, and a third voltage generator configured to generate an operating voltage for writing and reading data into the memory cells, and including a test voltage setting unit disposed in the memory device. A memory device, characterized in that.
제13 항에 있어서,
상기 노말 모드에서의 상기 제1 전압은 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 프리차지 전압으로 사용되고, 상기 제2 전압은 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 셀 전압으로 사용되고, 상기 제1 전압은 상기 메모리 셀 어레이에 인가되는 워드라인 전압으로 사용되는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The method of claim 13,
The first voltage in the normal mode is used as a precharge voltage applied to the memory cell array, the second voltage is used as a cell voltage applied to the memory cell array, and the first voltage is applied to the memory cell array. And a word line voltage applied thereto.
제13 항에 있어서,
상기 제1 전압, 상기 제2 전압 및 상기 제3 전압은 각각, 퓨즈 컷팅에 의해 고정된 전압 레벨을 갖는 것을 특징으로 하는 메모리 장치.
The method of claim 13,
Wherein the first voltage, the second voltage, and the third voltage each have a fixed voltage level by fuse cutting.
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