KR101316782B1 - 압전소자가 장착된 바이브레이터 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 압전소자가 장착된 바이브레이터에 관한 것으로서, 특히 압전소자의 휨 변형을 이용하여 진동을 발생시키는 압전소자가 장착된 바이브레이터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 바이브레이터는 평판 형상으로 이루어져 양단이 대상물에 결합되는 진동부재와; 상기 진동부재의 상면 또는 하면에 결합되는 압전소자와; 상기 압전소자에 전원을 인가하는 전원부를 포함한다. 진동부재는, 수평방향으로 구비되는 제1가동면 및 각각이 상기 제1가동면의 양단으로부터 하향으로 절곡되어 연장 형성된 제2가동면을 포함하여 이루어지는 가동부와; 상기 가동부의 양단에 연장 형성되어 상기 대상물에 결합되는 고정부를 포함한다. 본 발명에 의하면, 실질적으로 진동이 이루어지는 진동부재가 길어 보다 확실한 진동을 발생시킬 수 있음에도 전자기기에서 차지하는 공간이 크지 않을 뿐만 아니라 진동력을 증대시키면서도 저전력을 소모하므로 전자기기의 소형화에 유리하다.

Description

압전소자가 장착된 바이브레이터 {VIBRATOR MOUNTED PIEZOELECTRIC ELEMENT}
본 발명은 압전소자가 장착된 바이브레이터에 관한 것으로서, 특히 압전소자의 휨 변형을 이용하여 진동을 발생시키는 압전소자가 장착된 바이브레이터에 관한 것이다.
근래, 소형 휴대단말기의 터치스크린 또는 터치패드를 통해 햅틱 피드백을 구현하기 위한 연구가 활발히 이루어지고 있다.
이러한 휴대단말기에 햅틱 피드백을 제공하기 위한 장치로 진동발생장치가 주로 이용되고 있는데 이러한 진동발생장치는 솔레노이드의 원리를 이용하고 있다.
이렇게 솔레노이드를 이용한 진동발생장치는 보빈에 권취되는 코일의 수 및 전류 세기에 비례하여 자력을 발생시킨다.
따라서, 솔레노이드를 이용한 진동발생장치는 자력의 세기를 증대하여 진동력을 강화하기 위해서는 필연적으로 부피가 커지거나 전력소모가 심해지는 문제가 있다.
이에 진동력을 증대시키면서 저전력을 소모하고 소형화가 가능한 진동발생장치의 개발이 요원한 실정이다.
또한, 종래의 진동발생장치는 예를 들어 특허문헌1(국공개특허 특2001-0108361)에 개시되어 있는 바와 같이 스프링에 의해 지지되는 평판형의 진동판에 압전소자가 결합되는 구조이므로 보다 큰 진동을 위해서는 보다 길다란 형태의 진동판이 요구된다. 진동판의 길이가 길어지는 경우에는 증가되는 길이만큼 공간의 확장이 불가피하여, 진동판이 적용되는 전지기기의 소형화에는 상당히 불리한 단점이 있다.
한국공개특허 특2001-0108361(2001.12.07 공개; 발명의 명칭: 터치패드용 햅틱 피드백 및 기타 터치 제어장치)
본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 진동력을 증대시키면서 저전력을 소모하며 소형화할 수 있는 압전소자가 장착된 바이브레이터를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은 진동력을 증대시키면서도 더 적은 공간을 차지하여 소형화할 수 있는 압전소자가 장착된 바이브레이터를 제공하는 데에 있다.
상기 및 그 밖의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은,
평판 형상으로 이루어져 양단이 대상물에 결합되는 진동부재와; 상기 진동부재의 상면 또는 하면에 결합되는 압전소자와; 상기 압전소자에 전원을 인가하는 전원부를 포함하여 이루어지되, 상기 진동부재는, 수평방향으로 구비되는 제1가동면 및 각각이 상기 제1가동면의 양단으로부터 하향으로 절곡되어 연장 형성된 제2가동면을 포함하여 이루어지는 가동부와; 상기 가동부의 양단에 연장 형성되어 상기 대상물에 결합되는 고정부로 이루어지고, 상기 압전소자는 상기 제1가동면에 면접촉하여 결합되어, 상기 전원부로부터 전원이 공급되면 휨 변형되어 상기 가동부를 변형시켜 상하 방향으로 진동을 발생시키는 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터를 제공한다.
본 발명에 있어, 상기 가동부는, 일단이 상기 제2가동면으로부터 가동부의 내측으로 수평방향으로 절곡되어 연장 형성된 제3가동면을 포함하고, 상기 제3가동면의 타단이 상기 고정부에 연장 결합된다.
본 발명에 있어, 각각의 상기 고정부는, 상기 제3가동면으로부터 평행하게 연장 형성된 내측 고정편과; 각각이 상기 내측 고정편의 측면에서 외측방향으로 상향 절곡되어 형성된 외측 고정편으로 이루어지며, 상기 대상물에 상기 외측 고정편이 결합된다.
본 발명에 있어, 상기 외측 고정편과 대상물을 결합시키는 체결부재를 포함하여 이루어지되, 상기 외측 고정편은 상기 제2가동면 방향으로 연장 형성되고, 상기 체결부재는 상기 제2가동면과 상기 내측 고정편 사이에서 상기 외측 고정편과 상기 대상물을 결합한다.
본 발명에 있어, 상기 제1가동면은 상기 제2가동면과 제3가동면의 길이보다 길게 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제2가동면과 제3가동면은 상기 제1가동면의 폭보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어, 상기 제1가동면의 하부에는 중량체가 결합된다. 보다 구체적으로, 상기 제1가동면의 양 측면에 중량체 결합판이 구비되고, 상기 중량체 결합판 사이에 중량체가 끼움 결합되어 상기 제1가동면의 하면에 대하여 이격되게 결합된다. 이때, 상기 중량체 결합판에 대응되는 중량체의 측면에 상기 중량체 결합판에 대응되는 결합홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어, 상기 제3가동면은 상하 방향으로 움직일 수 있을 정도로 상기 대상물과 이격 배치되게 구성된다. 보다 구체적으로, 상기 진동부재의 하부에 배치되어 상기 진동부재를 상기 대상물에 결합시키는 베이스부재를 포함하여 이루어지되, 상기 베이스부재에는 상기 고정부의 외측 고정편에 대응하는 위치에 수직 고정편이 구비되고, 상기 수직 고정편에 대하여 상기 외측 고정편이 결합되되, 상기 제3가동면이 상기 베이스부재의 상면과 이격되게 결합된다.
본 발명에 있어, 상기 전원부를 제어하여 상기 압전소자에 인가되는 전원을 제어하는 제어부를 더 포함하여 이루어지되, 상기 압전소자는 상기 제어부에 의해 인가되는 전원에 의해 변형되어 상기 진동부재의 진동을 발생시키고, 상기 압전소자에 인가되는 전압의 파형은 예를 들어 사인파, 삼각파, 사각파 등의 다양한 파형으로 이루어진다.
이때, 상기 압전소자에 인가되는 전압의 주파수는 상기 진동부재의 고유진동수와 일치하는 공진주파수인 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 실질적으로 진동이 이루어지는 진동부재가 길어 보다 확실한 진동을 발생시킬 수 있음에도 전자기기에서 차지하는 공간이 크지 않을 뿐만 아니라 진동력을 증대시키면서도 저전력을 소모하므로 전자기기의 소형화에 유리하다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 바이브레이터의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 바이브레이터에서 진동부재, 압전소자 및 중량체가 결합되어 있는 모습을 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 바이브레이터에 적용되는 진동부재의 일부 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 2의 구성요소에 베이스부재가 결합되어 있는 모습을 보여주는 종단면도.
도 5는 도 2의 A-A 단면도로서, 도 5의 (a)는 작동 전의 모습을 보여주는 도면이고, 도 5의 (b)는 진동부재가 상방향으로 진동하는 모습을, 도 5의 (c)는 진동부재가 하방향으로 진동하는 모습을 보여주는 도면이다.
이하, 본 발명은 첨부된 예시 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명된다. 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1에는 발명의 바람직한 실시예에 따른 바이브레이터가 개략적으로 도시되어 있고, 도 2에는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 바이브레이터에서 진동부재, 압전소자 및 중량체가 결합되어 있는 모습이 도시되어 있으며, 도 3에는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 바이브레이터에 적용되는 진동부재의 일부 모습이 도시되어 있고, 도 4에는 도 2의 구성요소에 베이스부재가 결합되어 있는 모습이 도시되어 있다.
본 발명에 따른 바이브레이터는 도 1에 도시된 바와 같이 진동부재(10), 압전소자(30), 전원부(미도시), 중량체(50), 베이스부재(70) 및 커버부재(80)를 모두 포함하여 이루어지거나 이들 중의 일부만을 포함하여 이루어질 수 있다. 이에 대해서는 상기한 과제의 해결수단편 및 특허청구범위에 구분되어 있다. 이하에서는, 도 1에 도시되어 있는 바이브레이터의 분해 사시도를 토대로 본 발명이 설명된다. 여기서, 커버부재(80)는 바이브레이터를 이루는 필수구성은 아니며, 단지 외관을 이루기 위해서 요구되는 것으로 이해되어야 할 것이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 하나의 바람직한 실시예에 따른 바이브레이터는 진동부재(10), 압전소자(30), 전원부(미도시), 중량체(50) 및 베이스부재(70)를 포함한다.
진동부재(10)는 크게 도면부호 12, 14 및 16으로 도시되어 있는 가동부와 도면부호 20으로 도시되어 있는 고정부로 구성된다. 상기 가동부(12, 14 및 16)의 일단(16)과 상기 고정부(20)의 일단(22)은 서로 연장되는 형태로 결합된다. 이에 대한 보다 상세한 설명은 후술된다.
진동부재(10)에 포함되는 상기한 가동부(12, 14 및 16)는 도시된 바와 같이 수평방향으로 구비되는 제1가동면(12), 각각이 상기 제1가동면(12)의 양단으로부터 하향으로 절곡되어 연장 형성된 제2가동면(14) 그리고 각각이 상기 제2가동면(14)으로부터 가동부(12, 14 및 16)의 내측으로 수평방향으로 절곡되어 연장 형성된 제3가동면(16)으로 구성된다. 이러한 진동부재(10) 또는 이에 포함되는 가동부는 적어도 압전소자(30)의 휨 변형에 연동하여 함께 휨 변형될 수 있는 재질로 구성되고/거나 두께를 가져야 한다. 본 명세서를 완벽하게 숙지한 당업자라면 이의 재질 및/또는 두께를 충분히 고려하여 선택할 수 있을 것이다.
제1가동면(12)의 상면에는 도시된 바와 같이 점착제에 의해 형성되는 점착층(32)의 점착력에 의해 압전소자(30)가 면접촉하여 결합된다. 본 실시예에서는 압전소자(30)가 제1가동면(12)의 상면에 결합되어 있지만, 제1가동면(12)의 하면에도 결합될 수 있음은 물론이다. 또한, 제2가동면(14)과 제3가동면(16) 중의 어느 하나 또는 모두에도 결합될 수 있다. 이들 모두 본 발명의 범위에 속한다.
압전소자(30)에 전원이 인가되면, 압전소자(30)가 휨 변형되고, 이러한 압전소자(30)에 발생된 휨 변형에 연동하여 압전소자(30)가 결합되어 있는 제1가동면(12)도 휨 변형된다.
이에 따라, 제1가동면(12)에 연장되어 있는 제2가동면(14)과 제2가동면(14)에 연장되어 있는 제3가동면(16)이 순차적으로 휨 변형되어, 이들이 포함되는 진동부재(10)가 진동하게 된다. 이렇게 발생된 가동부(12, 14 및 16)의 진동은 후술되는 고정부(20)를 거쳐 베이스부재(70)에 전달되고, 베이스부재(70)에 전달된 진동은 최종적으로 진동시키고자 하는 대상물에 전달된다. 본 실시예에서는 고정부(20)와 베이스부재(70)가 별도로 구비되어 체결부재(76)에 의해 결합되어 있지만, 고정부(20)와 베이스부재(70) 없이 가동부(12, 14 및 16)의 일단(16)이 진동시키고자 하는 대상물에 직접 결합되어 진동시킬 수도 있을 것이다. 이러한 경우에는 가동부(12, 14 및 16)의 제3가동면이 상하방향으로 어떠한 장애 없이 진동할 수 있는 하부 공간이 요구된다. 이에 대해서는 도 5를 참조하여 후술된다. 본 발명에서 사용되는 압전소자(30)는 그 자체로 널리 공지되어 있어 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 도시되어 있지는 않지만, 압전소자(30)에는 전원을 인가시키기 위한 전원부가 전기적으로 연결된다.
제1가동면(12)은 도시된 바와 같이 제2가동면(14) 및/또는 제3가동면(16) 보다 길게 형성된다. 이와 관련하여, 제1가동면(12)에 결합된 압전소자(30)가 휨 변형될 때 상기한 바와 같이 제1가동면(12)도 함께 휨 변형되는데, 이때 제1가동면(12)의 길이가 길어지게 되면, 제1가동면(12)의 휨 변형폭이 커져 보다 큰 진동을 발생시킬 수 있게 된다.
가동부(12, 14 및 16)의 양단, 즉, 제3가동면(16)에는 상기한 바와 같이 베이스부재(70)에 결합되는 각각의 고정부(20)가 연장 형성된다.
이러한 각각의 고정부(20)는 도시된 바와 같이 상기한 제3가동면(16)으로부터 평행하게 연장 형성되는 내측 고정편(22)과 각각이 상기 내측 고정편(22)의 측면에서 외측 방향으로 상향 절곡되어 형성된 외측 고정편(23)으로 구성된다.
외측 고정편(23)의 바깥쪽 부분, 즉, 제2가동면(14) 방향으로 연장 형성된 부분 중 제2가동면(14)과 상기 내측 고정편(22) 사이 부분은 도면부호 76으로 도시되어 있는 체결부재에 의해 베이스부재(70)와 결합된다. 본 발명에 속하기는 하지만, 만약 외측 고정편(23)의 안쪽 부분을 통해 베이스부재(70)와의 결합이 이루어지는 경우에는 진동부재(10)의 제1가동면(12)과 제3가동면(16)이 이들의 체결을 위해 끼워지는 체결부재(76)에 충돌할 가능성이 높아져 진동부재(10)의 진동을 제한할 가능성이 있게 된다. 이와 같은 이유로, 진동부재(10)의 보다 확실한 진동을 보장하기 위해서는 상기한 바와 같이 외측 고정편(23)의 바깥쪽 연장부를 통해 베이스부재(70)와의 결합이 이루어지는 것이 바람직할 것이다.
이와 같이 고정부(20)를 베이스부재(70)에 고정시키기 위해서는, 상기한 외측 고정편(23)에는 도면부호 24로 도시되어 있는 체결공이 형성되고, 베이스부재(70)에는 도시된 바와 같은 체결공(74)이 형성되어 있는 수직 고정편(74)이 구비된다. 베이스부재(70)의 수직 고정편(74)에 대하여 진동부재(10)의 외측 고정편(23)을 체결할 때에는 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 적어도 진동부재(10)의 제3가동면(16)이 압전소자(30)의 휨 변형에 의해 장애 없이 상하 방향으로 자유롭게 움직일 수 있도록 상기 제3가동면(16)이 상기 베이스부재(70)로부터 이격되게 결합하여야 한다. 이는 압전소자(30)의 휨 변형에 따라 진동부재(10)의 제1가동면(12)에서부터 제3가동면(16)까지 모두 진동하도록 하여 작은 공간에서 더 큰 진동이 일어나게 하기 위함이다. 본 실시예에서는 고정부(20)가 베이스부재(70)에 결합되어 있으나, 상기한 바와 같이 베이스부재(70) 없이 진동시키고자 하는 대상물에 고정부(20)가 직접 결합될 수 있음은 물론이다.
진동부재(10)의 제1가동면(12) 하부에는 도시된 바와 같이 중량체(50)가 상기 제1가동면(12)과 이격되게 결합된다. 보다 구체적으로, 제1가동면(12)의 양 측면에는 도시된 바와 같은 중량체 결합판(18)이 구비되고, 중량체 결합판(18)에 대응되는 중량체(50)의 측면에는 상기 중량체 결합판(18)이 끼움 결합될 수 있는 결합홈(58)이 형성된다. 중량체(50)는 이의 측면에 형성되어 있는 결합홈(58)에 제1가동면(12)의 양 측면으로 구비되는 중량체 결합판(18)을 끼움 결합시킴으로써 제1가동면(12)의 측면에 이격되게 결합된다. 중량체(30)는 상기 진동부재(10)의 진동시 진동발생량을 더욱 크게 하는 역할을 한다. 제1가동면(12)과 중량체(50)를 이격하여 배치하는 것은 압전소자(30)에 의해 제1가동면(12)이 상방향으로 휨 변형될 때 중량체(50)의 상측 모서리부가 접촉되지 않게 함으로써 진동부재(10)로 하여금 보다 자유로운 진동이 유발되게 하기 위함이다.
이와 같이 상면에 압전소자(30)가 결합된 진동부재(10)와 베이스부재(70)간의 체결이 이루어진 후에는 도시된 바와 같이 커버부재(80)가 상기 베이스부재(70)에 결합된다. 커버부재(80)와 베이스부재(70)간의 결합을 위해, 베이스부재(70)의 양단과 이에 대응되는 커버부재(80)의 양단에는 체결홈(88)이 각각 형성되며, 이들 체결홈(88)을 통해 도면부호 78로 도시되어 있는 체결부재가 끼워짐으로써 최종적으로 커버부재(80)가 베이스부재(70)에 장착된다.
도 5에는 도 2의 A-A 단면이 도시되어 있다. 특히, 도 5의 (a)에는 작동 전의 단면 모습이 도시되어 있고, 도 5의 (b)에는 진동부재가 상방향으로(upward) 진동하는 단면 모습이 도시되어 있으며, 도 5의 (c)에는 진동부재가 하방향으로(downward) 진동하는 단면 모습이 도시되어 있다.
상기한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 바이브레이터는 압전소자(30)에 전원이 인가되기 전에는 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 진동부재(10)의 어떠한 변형도 없이 유지되다가 압전소자(30)에 전원이 인가되면 이의 휨 변형에 연동하여 도 5의 (b)와 (c)에 도시된 바와 같이 진동부재(10)도 휨 변형되어 상하 방향으로 움직이게 된다.
이때, 진동부재(10)가 상방향으로 움직일 때에는 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 제1가동면(12)의 상방향 움직임 뿐만 아니라 제2가동면(14)의 내측방향 움직임과 제3가동면(16)의 상방향 움직임이 동시에 일어난다. 반대로, 진동부재(10)가 하방향으로 움직일 때에는 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이 제1가동면(12)의 하방향 움직임 뿐만 아니라 제2가동면(14)의 외측방향 움직임과 제3가동면(16)의 하방향 움직임이 동시에 일어난다. 즉, 이와 같은 본 발명의 구성에서 진동부재(10)의 실질적인 진동은 제1가동면(12)에서부터 제3가동면(16)까지 이루어지지만, 각각의 가동면(12, 14, 16)이 일직선을 이루고 있을 때 보다 상당히 작은 공간만이 요구되는 것이다.
이때, 제3가동면(16)의 하면이 상기한 바와 같이 진동시키고자 하는 대상물 또는 베이스부재(70)와 충분히 이격되어 있어 진동부재(10)의 상방향 움직임을 제한하지 않는다(도 5 참조). 또한, 제1가동면(12)도 상기한 바와 같이 중량체(50)로부터 충분히 이격되어 있어 진동부재(10)의 상방향 움직임을 제한하지 않는다(도 4 참조).
또한, 본 발명은 상기 전원부를 제어하여 상기 압전소자(30)에 인가되는 전원을 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함하여 이루어질 수도 있다.
이때, 상기 압전소자(30)에 인가되는 전압의 파형은 예를 들어 사인파, 삼각파, 사각파 등의 다양한 파형 형태로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 압전소자(30)에 인가되는 전압의 주파수는 상기 진동부재(10)의 고유진동수와 일치하는 공진주파수가 되도록 한다. 이로 인해 상기 압전소자(30)에 전압이 인가되면, 인가되는 전압의 주파수가 상기 진동부재(10)의 고유진동수와 일치하기 때문에, 상기 진동부재(10)의 변위량을 극대화하여 진동특성을 더욱 향상시킬 수 있다.
이때, 상기 압전소자(30)에 인가되는 전압의 주파수는 100 ~ 350 Hz임이 바람직하다. 즉, 상기 진동부재(10)의 고유진동수는 100 ~ 350 Hz사이의 주파수이고, 상기 압전소자(30)에 인가되는 전압의 주파수도 100 ~ 350 Hz이기 때문에, 공진현상에 의해 상기 진동부재(10)의 변위량을 크게 할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 진동부재 12 : 제1가동면
14 : 제2가동면 16 : 제3가동면
18 : 중량체 결합판 20 : 고정부
22 : 내측 고정편 23 : 외측 고정편
24 : 체결공 30 : 압전소자
32 : 점착층 50 : 중량체
58 : 결합홈 70 : 베이스부재
73 : 수직 고정편 74 : 체결공
76, 78 : 체결부재 80 : 커버부재
88 : 체결홈

Claims (13)

  1. 평판 형상으로 이루어져 양단이 대상물에 결합되는 진동부재와;
    상기 진동부재의 상면 또는 하면에 결합되는 압전소자와;
    상기 압전소자에 전원을 인가하는 전원부를 포함하여 이루어지되,
    상기 진동부재는 가동부와 상기 가동부의 양단에 연장 형성되어 상기 대상물에 결합되는 고정부로 이루어지고,
    상기 가동부는,
    수평방향으로 구비되는 제1가동면과,
    각각이 상기 제1가동면의 양단으로부터 하향으로 절곡되어 연장 형성된 제2가동면과,
    일단이 상기 제2가동면으로부터 가동부의 내측으로 수평방향으로 절곡되어 연장 형성되고 타단이 상기 고정부에 연장 결합되는 제3가동면을 포함하여 이루어지며,
    상기 제3가동면은 상하 방향으로 움직일 수 있을 정도로 상기 대상물과 이격 배치되게 구성되고,
    상기 압전소자는 상기 제1가동면에 면접촉하여 결합되어, 상기 전원부로부터 전원이 공급되면 휨 변형되어 상기 가동부를 변형시켜 상하 방향으로 진동을 발생시키는 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    각각의 상기 고정부는,
    상기 제3가동면으로부터 평행하게 연장 형성된 내측 고정편과; 각각이 상기 내측 고정편의 측면에서 외측방향으로 상향 절곡되어 형성된 외측 고정편으로 이루어지며, 상기 대상물에 상기 외측 고정편이 결합되는 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 외측 고정편과 대상물을 결합시키는 체결부재를 더 포함하여 이루어지되, 상기 외측 고정편은 상기 제2가동면 방향으로 연장 형성되고, 상기 체결부재는 상기 제2가동면과 상기 내측 고정편 사이에서 상기 외측 고정편과 상기 대상물을 결합하는 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1가동면의 길이는 상기 제2가동면과 제3가동면의 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2가동면과 제3가동면의 폭은 상기 제1가동면의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
  7. 청구항 1, 청구항 3 및 청구항 4 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1가동면의 하부에 중량체가 결합되는 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제1가동면의 양 측면에 중량체 결합판이 구비되고, 상기 중량체 결합판 사이에 중량체가 끼움 결합되어 상기 제1가동면의 하면에 대하여 이격되게 결합되는 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 중량체 결합판에 대응되는 중량체의 측면에 상기 중량체 결합판에 대응되는 결합홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
  10. 삭제
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 진동부재의 하부에 배치되어 상기 진동부재를 상기 대상물에 결합시키는 베이스부재를 포함하여 이루어지되,
    상기 베이스부재에는 상기 고정부의 외측 고정편에 대응하는 위치에 수직 고정편이 구비되고, 상기 수직 고정편에 대하여 상기 외측 고정편이 결합되되, 상기 제3가동면이 상기 베이스부재의 상면과 이격되게 결합되는 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 전원부를 제어하여 상기 압전소자에 인가되는 전원을 제어하는 제어부를 더 포함하여 이루어지되,
    상기 압전소자는 상기 제어부에 의해 인가되는 전원에 의해 변형되어 상기 진동부재의 진동을 발생시키는 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 압전소자에 인가되는 전압의 주파수는 상기 진동부재의 고유진동수와 일치하는 공진주파수인 것을 특징으로 하는 압전소자가 장착된 바이브레이터.
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