KR101313588B1 - 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서 - Google Patents

거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서 Download PDF

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Abstract

본 발명은 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 초음파 발생장치로부터 시편의 면을 따라 전달되는 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 측정하는 하나 이상의 거대자기저항 센서; 및 상기 거대자기저항 센서에 정자기장을 걸어주도록 배치되는 영구자석;을 포함하고,로렌츠 힘에 의해 상기 시편에 유도된 전류가 상기 자기장의 변화를 야기함으로써, 시편의 종류와 상관없이 자기장의 변화에 매우 민감하게 반응하는 성능 좋은 전자기 음향 트랜스듀서(EMAT)을 제작할 수 있고, 적은 수의 센서만으로도 높은 신뢰도 및 정확성을 갖는 결과를 얻을 수 있다는 장점도 있다.

Description

거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서 {Electromagnetic acoustic transducer using Giant Magneto Resistive sensor}
본 발명은 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 시편의 면을 따라 전달되는 유도 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 측정하는 거대자기저항 센서를 도입하여 발생한 초음파를 측정, 분석하도록 구현된 전자기 음향 트랜스듀서에 관한 것이다.
유도초음파(guided ultrasonic wave)는 구조물의 경계를 따라서 전파하는 탄성초음파로서 대개 먼 거리까지 전파가 가능하다. 이러한 원거리 전파특성으로 인해 유도초음파는 최근 다양한 대상의 비파괴평가를 위한 방법으로 많은 주목을 받고 있다. 초음파가 구조물 내에서 더 멀리까지 진행할 수 있으므로 넓은 영역을 고속으로 탐상할 수 있을 뿐만 아니라, 검사 부위에 직접 접근이 어려운 상황에서도 원거리에서 탐상이 가능하다는 장점이 있다. 반면, 유도초음파는 구조물의 형상에 따라 그 종류와 모드가 다양하고 각 모드의 전파 양상이 복잡하므로 신호의 측정 및 해석이 어렵다. 특히, 사용하고자 하는 유도초음파의 모드와 주파수 대역, 구조물의 형상 및 재질에 따라 파의 가진 및 측정을 위한 트랜스듀서, 측정 기기 및 신호 해석 방법이 차이가 날 뿐만 아니라, 진단 대상에 대한 민감도 역시 많은 영향을 받는다. 따라서, 유도초음파를 이용한 검사에서는 검사대상의 특성을 고려하여 이용하고자 하는 모드를 적절히 선택하고 이에 적합한 트랜스듀서를 선정하는 것이 매우 중요하다.
적합한 트랜스듀서의 선정에 있어서, 판에서 전단수평파를 가진 또는 측정하기 위한 방법으로는 쐐기(wedge)를 이용한 압전 트랜스듀서(piezoelectric transducer), 전자기 음향 트랜스듀서(EMAT; electromagnetic acoustic transducer), 자기변형 트랜스듀서(magnetostrictive transducer) 등이 이용되고 있다.
이 중 종래에 사용되던 전자기 음향 트랜스듀서는 금속 시편 상에 배치된 미엔더 코일에 전류를 흘려주어 동자기장을 형성시키면서 영구자석이나 전자석을 이용하여 정자기장을 걸어주는 방식으로서, 상호 작용에 의해 발생하는 기전력 값을 이용하여 유도 초음파를 측정 또는 분석하였다.
그러나, 이러한 종래의 전자기 음향 트랜스듀서는 자기장의 변화를 직접적으로 감지하는 방식이 아니고 자기장의 변화를 통해 발생하는 기전력 값을 이용하는 간접적 감지 방식이므로, 얻을 수 있는 유도 초음파 결과의 정밀성 및 정확도가 직접 측정하는 방식에 비해 상대적으로 떨어지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 시편에 대해 전달되는 유도 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 민감하게 측정하는 거대자기저항 센서를 최초로 도입하여 발생한 초음파를 보다 정밀하고 정확하게 측정, 분석하도록 구현된 전자기 음향 트랜스듀서를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
상기와 같은 본 발명에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서는, 초음파 발생장치로부터 시편의 면을 따라 전달되는 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 측정하는 하나 이상의 거대자기저항 센서; 및 상기 거대자기저항 센서에 정자기장을 걸어주도록 배치되는 영구자석;을 포함하고, 로렌츠 힘에 의해 상기 시편에 유도된 전류가 상기 자기장의 변화를 야기하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 본 발명에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서는, 초음파 발생장치로부터 강자성체의 면을 따라 전달되는 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 측정하는 하나 이상의 거대자기저항 센서를 포함하고, 상기 강자성체에 대해 일어나는 역자기변형 효과가 상기 자기장의 변화를 야기하는 것을 특징으로 한다.
특히, 상기 거대자기저항 센서에 정자기장을 걸어주도록 배치되는 영구자석을 더 포함하고, 상기 영구자석이 역자기변형 효과를 증대시키는 것을 특징으로 구성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 정자기장이 루프를 형성하도록 영구자석에 부착되어 형성된 요크를 더 포함하는 것을 특징으로 구성될 수 있다.
가장 바람직하게는, 상기 초음파의 변위 방향과 상기 거대자기저항 센서의 민감도 방향이 일치하도록 거대자기저항 센서를 설치하는 것을 특징으로 구성될 수 있다.
이때, 상기 거대자기저항 센서 간의 거리를 일정하게 배치하고, 각각의 거대자기저항 센서에서 시간 차이를 두면서 초음파를 수신하는 것을 특징으로 구성될 수 있다.
이때, 상기 거대자기저항 센서가 복수 개의 행과 열을 이루면서, 각각의 거대자기저항 센서 간의 거리가 일정하도록 배치한 것을 특징으로 구성될 수 있다.
이때, 상기 거대자기저항 센서가 복수 개의 미엔더 라인을 이루면서, 각각의 미엔더 라인 간의 거리가 일정하도록 배치한 것을 특징으로 구성될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서는 시편에 대해 발생하는 자기장의 변화에 매우 민감하게 반응하는 거대자기저항 센서를 활용함으로써, 보다 성능 좋은 전자기 음향 트랜스듀서(EMAT)을 제작할 수 있는 효과가 있고, 적은 수의 센서만으로도 높은 신뢰도 및 정확성을 갖는 결과를 얻을 수 있어 비용 절감 효과도 있다.
또한, 본 발명에서 복수 개의 거대자기저항 센서를 배치시켜 초음파에 의한 자기장 변화를 측정할 때 시간 차이를 두면서 측정함으로써, 결과로 얻은 초음파 신호 상의 노이즈를 줄이고 보다 정밀도를 높이는 장점도 있다.
아울러, 본 발명에서 복수 개의 거대자기저항 센서를 복수 개의 행과 열의 어레이 또는 복수 개의 미엔더 라인 등으로 다양하게 배치함으로써, 증대시킨 민감도를 이용하여 결함 진단 영상화 등의 광범위한 영역에서 사용할 수 있다.
도 1은 본 발명에서 사용하는 거대자기저항 센서가 자기장의 변화를 측정하는 원리에 대해 나타내는 그래프이고,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서의 사시도이고,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서의 사시도이고,
도 4a 내지 도 4c는 도 2와 도 3의 거대자기저항 센서의 배열 방식을 나타낸 도면이고,
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서에 대해 실제로 실험하는 모습을 나타낸 것이고,
도 6은 도 5의 실험 결과를 나타내는 그래프이다.
본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
구체적인 구현예에 대한 설명에 앞서서, 도 1을 참고하여 거대자기저항 센서 (Giant Magneto Resistive sensor; GMR sensor)에 대해 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명에서 사용하는 거대자기저항 센서가 자기장의 변화를 측정하는 원리에 대해 나타내는 그래프이다.
거대자기저항 센서는 두 개의 강자성체 금속층 사이에 비자성 금속층(도체)이 끼어 있는 형태로서, 금속층을 이루는 강자성체의 자화방향은 센서 부근에서 발생하는 자기장의 변화에 민감하게 변화한다. 이러한 자화방향의 정렬에 따라 재료 내부에서 유도되는 전기저항의 차이, 또는 전위차가 발생하고 이것을 디지털 신호로 인식하게 된다.
도 1에 도시된 것처럼 센서 부근에 자기장의 변화가 발생하지 않은 상태에서는 강자성체 금속층의 자화방향이 동일하면서 두 개의 금속층 사이의 전위차가 V0 값으로 측정될 수 있다. 그러나, 센서 부근에 자기장의 변화가 발생하게 되면 강자성체 금속층의 자화방향이 반대가 되면서 내부에 저항이 유도되고, 두 개의 금속층 사이의 전위차도 V0 이상의 Vt 값으로 측정될 수 있다. 이처럼 거대자기저항 센서는 설치된 위치 부근에서 발생하는 자기장의 변화를 감지해낼 수 있고, 자기장의 변화가 미약하더라도 코일을 사용하여 측정하던 방식보다 정확하게 감지해낼 수 있다. 이때, 거대자기저항 센서의 민감도 방향을 조절하여 보다 정확한 측정이 가능해질 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서의 바람직한 구현예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서의 사시도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서는, 초음파 발생장치로부터 시편의 면(10)을 따라 전달되는 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 측정하는 하나 이상의 거대자기저항 센서(100); 및 그 거대자기저항 센서(100)에 정자기장을 걸어주도록 배치되는 영구자석(200);을 포함하고, 로렌츠 힘에 의해 시편에 유도된 전류가 위 자기장의 변화를 야기하는 것을 특징으로 한다.
거대자기저항 센서(100)는 초음파 발생장치로부터 시편의 면(10)을 따라 전달되는 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 측정하는 장치로서, 이러한 자기장의 변화는 로렌츠 힘에 의해 발생한다. 다시 말하자면 후술할 영구자석(200)에 의해 거대자기저항 센서(100)에 특정 방향으로 정자기장(static magnetic field)이 걸린 상태에서 초음파 변위가 발생하면 맴돌이 전류(eddy current, 와전류)와 같은 전류가 시편(10)에 유도되고, 이 전류는 자기장의 변화를 야기하게 된다. 이때, 본 발명에서 하나 이상의 거대자기저항 센서(100)가 이용되는데, 이들의 배열방식에 대해서는 후술하기로 한다. 덧붙여, 시편으로 강자성체가 사용될 수 있고, 금속과 같은 그 밖의 물질로 이루어질 수도 있으며, 본 발명에서 초음파 발생장치는 종파, 횡파, 전단수평파 등을 포함하는 초음파를 발생시킬 수 있다.
상술한 바처럼 거대자기저항 센서(100)는 센서의 민감도 방향을 조절할 수 있는데, 이러한 거대자기저항 센서(100)의 민감도 방향과 초음파 발생장치로부터 발생하는 초음파의 변위 방향을 일치시키는 것이 바람직하다. 도 2에 도시된 것처럼 거대자기저항 센서(100)의 민감도 방향이 위아래 방향으로 설정되도록 배치한 경우, 시편의 면(10)을 따라 아래에서 위로 전달되는 종파형의 초음파 A 및 우측에서 좌측으로 전달되는 횡파형의 초음파 B에 의해 발생하는 자기장 변화를 거대자기저항 센서(100)에서 효과적으로 측정할 수 있다. 일예로 도 2의 작게 도시된 것처럼 정자기장(B)가 후술할 영구자석(200)에 의해 걸리고 초음파 변위에 의해 힘(F)이 가해지면 들어가는 방향으로 와전류(I)가 유도되고, 이 전류(I)에 의해 형성되는 자기장의 변화를 거대자기저항 센서(100)에서 측정할 수 있게 된다.
본 발명에서 영구자석(200)은 상술한 거대자기저항 센서(100)에 정자기장을 걸어주도록 배치된다. 도 2에 도시된 것처럼 거대자기저항 센서(100)와 가까운 쪽에 N극이 있고, 먼 쪽에 S극이 있는 영구자석(200)을 배치시켜 거대자기저항 센서(100)의 윗면과 수직 방향을 이루는 정자기장이 발생하도록 할 수 있다.
아울러, 요크(yoke, 300)가 영구자석(200)에 대해 부착되어 형성될 수 있고, 이러한 요크(300)는 영구자석(200)에 의해 발생한 정자기장이 루프를 형성하도록 배치될 수 있다. 요크(300)는 일반적으로 'ㄷ'자 혹은 'U'자 형태로 이루어져 자기력의 이동을 원활하게 만드는 통로 역할을 하는 부재로서, 탄소강, 순철, 규소강 등과 같은 투자율(permeability)이 좋은 물질로 제작되는 것이 바람직하다.
한편, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서의 사시도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서는, 초음파 발생장치로부터 강자성체의 면(20)을 따라 전달되는 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 측정하는 하나 이상의 거대자기저항 센서(100)를 포함하고, 위 강자성체에 대해 일어나는 역자기변형 효과가 자기장의 변화를 야기하는 것을 특징으로 한다.
이 경우 거대자기저항 센서(100)는 초음파 발생장치로부터 강자성체의 면(20)을 따라 전달되는 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 측정하는 장치로서, 이러한 자기장의 변화는 강자성체에 대해 일어나는 역자기변형 효과에 의해 발생한다. 다시 말하자면 강자성체 혹은 자기변형 패치를 따라 초음파 발생장치로부터 발생한 초음파가 전달되면 강자성체 내 자구(magnetic domain)의 변화를 일으킬 수 있게 되고, 전단 변형(shear deformation)과 함께 결국 자기장의 변화를 야기하게 된다. 이때, 본 발명에서 하나 이상의 거대자기저항 센서(100)가 이용되는데, 이들의 배열방식에 대해서는 후술하기로 한다. 덧붙여, 본 발명에서 초음파 발생장치는 종파, 횡파, 전단수평파 등을 포함하는 초음파를 발생시킬 수 있다.
상술한 바처럼 거대자기저항 센서(100)는 센서의 민감도 방향을 조절할 수 있는데, 이러한 거대자기저항 센서(100)의 민감도 방향과 초음파 발생장치로부터 발생하는 초음파의 변위 방향을 일치시키는 것이 바람직하다. 도 3에 도시된 것처럼 거대자기저항 센서(100)의 민감도 방향이 위아래 방향으로 설정되도록 배치한 경우, 강자성체의 면(20)을 따라 아래에서 위로 전달되는 종파형의 초음파 A 및 우측에서 좌측으로 전달되는 횡파형의 초음파 B에 의해 발생하는 자기장 변화를 거대자기저항 센서(100)에서 효과적으로 측정할 수 있다.
이때, 영구자석(200a, 200b)이 추가적으로 배치될 수 있는데, 영구자석(200a, 200b)은 거대자기저항 센서(100)에 대해 정자기장을 걸어주도록 다양한 형상과 위치에서 배치될 수 있다. 일예로 도 3에 도시된 것처럼 한 쌍을 이루는 영구자석(200a, 200b) 사이에 거대자기저항 센서(100)가 위치하도록 할 수 있다. 거대자기저항 센서(100)는 영구자석(200a, 200b)이 없는 상태에서도 역자기변형 효과에 의한 자기장의 변화를 측정해낼 수 있는 민감도 성능을 갖추고 있지만, 영구자석(200a, 200b)이 거대자기저항 센서(100)에 대해 정자기장을 걸어주면 강자성체에서 증대된 역자기변형 효과를 얻을 수 있어 자기장 변화를 보다 정확하게 측정해낼 수 있게 된다.
아울러, 본 발명에 따른 일실시예에서 상술한 것처럼, 요크(300)가 영구자석(200a, 200b)에 대해 부착되어 형성될 수 있고, 이러한 요크(300)는 영구자석(200a, 200b)에 의해 발생한 정자기장이 루프를 형성하도록 배치될 수 있다.
나아가, 본 발명에서는 하나 이상의 거대자기저항 센서(100)가 이용되는데, 이들의 배열방식에 대해서 도 4a 내지 도 4c를 참고하여 구체적으로 설명한다. 도 4a 내지 도 4c는 도 1과 도 2의 거대자기저항 센서의 배열 방식을 나타낸 도면으로서, 이러한 배열 방식은 사용자 및 실험자의 용도나 필요에 따라 최적의 형태로 변형이 가능하다.
도 4a에서 도시된 것처럼 복수 개의 거대자기저항 센서(100)가 사용되는 경우, 거대자기저항 센서(100) 간의 거리를 d로 일정하게 배치할 수 있고, 각각의 거대자기저항 센서(100)에서 시간 차이를 두면서 초음파를 수신할 수 있다. 시간 차이를 두고 측정한 신호들을 합하고 분석함으로써, 보다 정확한 결과값을 얻어낼 수 있고, 거리 d가 발생 주파수의 파장인 λ의 정수 배가 되도록 조절함으로써, 특정 주파수를 갖는 신호의 세기를 증대시키는 효과도 얻을 수 있다.
또한, 도 4b에서 도시된 것처럼 복수 개의 거대자기저항 센서(100)가 복수 개의 행과 열의 어레이를 형성하는 방식으로 배치될 수 있고, 이때 각각의 거대자기저항 센서(100) 간의 거리도 d로 일정하게 배치될 수 있다. 이러한 어레이 방식은 자기장의 변화를 보다 정확하고 효과적으로 측정해낼 수 있고, GMR 센서를 이용한 위상배열(Array), SHM(Structural Health Monitoring), 결함 신호의 영상처리(Tomographic image) 등 다양한 영역에서 활용될 수 있다.
아울러, 도 4c에서 도시된 것처럼 복수 개의 거대자기저항 센서(100)가 복수 개의 미엔더 라인을 형성하는 방식으로 배치될 수 있고, 이때 각각의 거대자기저항 센서(100)가 형성하는 미엔더 라인 간의 거리도 일정하게 배치될 수 있다. 이러한 Comb형 GMR 센서의 위상배열 방식은 센서의 민감도를 증대시키는 데에 사용할 수 있을 뿐만 아니라 결함 진단 영상화 기법이나 지속적으로 구조물을 감시하기 위한 상시 감시 시스템 중에서도 특히, 센서부 등에도 사용할 수 있다.
이하, 상술한 본 발명에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서와 관련하여 실제로 측정 실험을 한 결과에 대해 설명한다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서에 대해 실제로 실험하는 모습을 나타낸 것이고, 도 6은 도 5의 실험 결과를 나타내는 그래프이다.
첨부된 도 5에서 확인할 수 있는 것처럼, 강자성체의 면(20)에 대해 초음파 발생장치(30)를 설치하였고, 면(20)과 초음파 발생장치(30) 사이의 틈을 최소화하기 위해 커플런트를 사용하였다. 초음파 발생장치(30)에서 일정 거리 떨어진 곳에 하나의 거대자기저항 센서(100)를 설치하였고, IC 칩 형태로 제작된 센서에 전압을 인가하기 위한 파워 서플라이, 측정 결과를 확인하기 위한 오실로스코프 등이 실험에 사용되었다.
도 6의 그래프를 살펴보면 본 발명을 활용함으로써, 약 0.04ms에서 0.07ms까지(A 영역) 가장 관심있는 신호를 얻어낼 수 있었다. A 영역의 신호가 강자성체의 면(20)을 따라 전달되는 초음파에 의한 자기장의 변화를 거대자기저항(100)에서 측정해낸 신호이고, 이 신호를 이용하여 초음파의 도달 시간, 속도, 크기 등의 값들을 분석할 수 있다. 특히, 등방성의 특정 물질에서 초음파의 속도는 일정하다는 성질을 이용하여, 등방성 구성을 이루는 시편 상에서 본 발명을 이용하여 보다 정확한 실험 및 결과 분석을 해낼 수 있다.
이상으로 본 발명에 따른 특정의 바람직한 실시예 및 실험예에 대해 설명하였다. 그러나, 본 발명이 상술한 실시예로 한정되는 것은 아니며, 상술한 실시예가 본 발명의 원리를 응용한 다양한 실시예의 일부를 나타낸 것에 지나지 않음을 이해하여야 한다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어남이 없이 얼마든지 다양하게 변경 실시할 수 있을 것이다.
100 : 거대자기저항 센서
200 : 영구자석
300 : 요크

Claims (8)

  1. 초음파 발생장치로부터 시편의 면을 따라 전달되는 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 측정하는 하나 이상의 거대자기저항 센서; 및
    상기 거대자기저항 센서에 정자기장을 걸어주도록 배치되는 영구자석;
    을 포함하여, 로렌츠 힘에 의해 상기 시편에 유도된 전류가 상기 자기장의 변화를 야기하고,
    상기 초음파의 변위 방향과 상기 거대자기저항 센서의 민감도 방향이 일치하도록 거대자기저항 센서를 설치하는 것을 특징으로 하는 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서.
  2. 초음파 발생장치로부터 강자성체의 면을 따라 전달되는 초음파에 의해 생기는 자기장의 변화를 측정하는 하나 이상의 거대자기저항 센서를 포함하고,
    상기 강자성체에 대해 일어나는 역자기변형 효과가 상기 자기장의 변화를 야기하며,
    상기 초음파의 변위 방향과 상기 거대자기저항 센서의 민감도 방향이 일치하도록 거대자기저항 센서를 설치하는 것을 특징으로 하는 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 거대자기저항 센서에 정자기장을 걸어주도록 배치되는 영구자석을 더 포함하고, 상기 영구자석이 역자기변형 효과를 증대시키는 것을 특징으로 하는 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서.
  4. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, 상기 정자기장이 루프를 형성하도록 영구자석에 부착되어 형성된 요크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서.
  5. 삭제
  6. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 거대자기저항 센서 간의 거리를 일정하게 배치하고, 각각의 거대자기저항 센서에서 시간 차이를 두면서 초음파를 수신하는 것을 특징으로 하는 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서.
  7. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 거대자기저항 센서가 복수 개의 행과 열을 이루면서, 각각의 거대자기저항 센서 간의 거리가 일정하도록 배치한 것을 특징으로 하는 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서.
  8. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 거대자기저항 센서가 복수 개의 미엔더 라인을 이루면서, 각각의 미엔더 라인 간의 거리가 일정하도록 배치한 것을 특징으로 하는 거대자기저항 센서를 이용한 전자기 음향 트랜스듀서.
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Werner. R. GMR and eddy current sensor in use of stress measurement. S&A : 2001.06, Vol.91, P.42 *
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