KR101308058B1 - The ultraviolet investigation system which uses a cold mirror - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 열은 통과시키고 자외선을 반사가능하도록 곡면 형상의 단면을 갖는 반사판을 다수의 콜드미러로 구성함으로써, 자외선 램프가 점등됨에 따른 반사률을 증대시킬 수 있도록 하고, 오염이 쉽게 이루어지지 않으며 손상시 부분 교체가 가능하여 교체시간 및 비용을 절감시킬 수 있도록 한 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an ultraviolet irradiating apparatus using a cold mirror, and more particularly, by forming a plurality of cold mirror reflector having a curved cross section to allow heat to pass through and reflect ultraviolet rays, the ultraviolet light is reflected as the lamp is turned on The present invention relates to an ultraviolet irradiating apparatus using a cold mirror that can increase the rate, reduce contamination easily, and allow partial replacement in case of damage, thereby reducing replacement time and cost.
주지하는 바와 같이 반도체 제조용 설비는 산화, 확산, 식각, 사진, 이온주입 및 증착공정과 같은 공정에 따라 다양한 종류가 이용되고 있다. As is well known, various types of semiconductor manufacturing equipment are used according to processes such as oxidation, diffusion, etching, photography, ion implantation, and deposition processes.
이러한 다양한 종류의 반도체 제조 설비에는 반도체 제조공정 중의 하나로 반도체의 표면을 경화시키면서 매끄럽게 처리하기 위해 자외선 조사장치가 구비된다.These various kinds of semiconductor manufacturing equipment is equipped with an ultraviolet irradiation device to smoothly process the surface of the semiconductor in one of the semiconductor manufacturing process.
이러한 종래의 일반적인 자외선 조사장치는 특허출원번호 제10-2009-0082907호에 게시된 바 있다.This conventional general ultraviolet irradiation device has been published in Patent Application No. 10-2009-0082907.
살펴보면, 종래의 일반적인 자외선 조사장치는, 반도체 제조장치에 고정 설치가능하도록 상면 양단에는 외주면에 나사부가 형성된 고정바가 형성되고 양단 및 저면은 개구된 하우징과, 상기 하우징의 양내측면에 단일체로 고정 설치가능하도록 양단은 막음판에 스크류를 매개로 고정되는 것에 의해 일단은 이격 공간부가 형성되고, 배면은 면적을 보다 넓게하여 열의 방출이 신속하게 이루어질 수 있도록 방열핀이 길이방향 일정 간격 다수개 각각 형성되어 구비되는 곡면 형상의 단면을 갖는 방열부재와, 상기 방열부재의 양단을 막음하기 위해 구비된 막음판에 스크류를 매개로 고정되는 램프홀더에 전원이 인가되는 것에 의해 반도체 표면을 처리하기 위해 점등가능하게 구비되는 자외선램프와, 상기 방열부재의 전면에 각각 대응되는 단면 형상의 곡면으로 형성되고 일면에는 상기 자외선램프로부터 발광되는 빛을 난반사됨 없이 반사가능하도록 산화알루미늄(Al2O3)으로 코팅처리되어 장,탈착가능하게 구비되는 반사판과, 상기 방열부재에 일단이 삽입 걸림되게 구비되는 반사판의 타단을 각각 방열부재에 고정시키도록 스크류를 매개로 상기 방열부재에 고정가능하게 구비되는 고정브라켓을 포함하여 이루어진다.Looking at the conventional UV irradiation apparatus, a fixing bar having a threaded portion formed on the outer circumferential surface is formed on both ends of the upper surface so as to be fixedly installed in the semiconductor manufacturing apparatus, both ends and the bottom of the housing is open, and can be fixed fixedly installed on both inner sides of the housing unitary Both ends are fixed to the blocking plate by means of screws to form a spaced space at one end, and the rear surface is formed with a plurality of heat radiation fins are formed in a plurality of regular intervals in the longitudinal direction so that heat can be discharged quickly. A heat dissipation member having a curved cross section and a lamp holder fixed through a screw to a blocking plate provided to block both ends of the heat dissipation member are provided to be lit to process the semiconductor surface by applying power. UV lamp and a cross-sectional shape corresponding to the front surface of the heat dissipation member, respectively Is formed in a side surface of aluminum oxide to be reflected without being diffuse the light emitted from the ultraviolet lamp (Al 2 O 3) coated sheet is handled, once the insert engaging in the reflection plate and the heat radiation member is provided detachably with It comprises a fixing bracket which is provided to be fixed to the heat dissipation member via a screw to fix the other end of the reflecting plate to be provided to each of the heat dissipation member.
그러나, 이와 같이 이루어진 종래의 일반적인 자외선 조사장치는, 상기한 바와 같이 하우징의 일측과 타측 내측면에 각각 스크류를 매개로 고정된 방열부재의 전면에 각각 고정 구비되는 반사판은 전면에 자외선램프로부터 발광되는 빛을 난반사됨 없이 반사가능하도록 산화알루미늄이 코팅되어 있으므로 기간경과에 따른 이물질이 반사판이 쌓이게 되어 결국 반사율이 떨어질 수 밖에 없는 문제점이 있었다.However, in the conventional general ultraviolet irradiation device made in this way, as described above, the reflecting plates which are respectively fixed to the front surface of the heat dissipation member fixed via a screw on one side and the other inner side of the housing are emitted from the ultraviolet lamp on the front surface. Since aluminum oxide is coated to reflect light without being diffusely reflected, foreign matters due to elapse of time have accumulated a reflecting plate, which inevitably results in a decrease in reflectance.
또한, 상기한 바와 같이 종래의 일반적인 자외선 조사장치의 반사판은 하우징의 일측과 타측 내측면에 각각 스크류를 매개로 고정된 방열부재의 전면에 각각 단일체로 형성되어 고정 구비되므로, 손상에 따른 교체시 전체를 교체하여야 하므로 교체시간 및 교체비용이 상승될 수 밖에 없는 문제점이 있었다.
In addition, as described above, the reflecting plate of the conventional general ultraviolet irradiation device is formed on the front of the heat dissipation member fixed to each of the one side and the other inner side of the housing via a screw, so that each unit is provided and fixed, when replacing due to damage There was a problem that the replacement time and replacement cost must be increased because it must be replaced.
이에, 본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 하우징에 수용되는 케이스의 일측 및 타측 내측면에 자외선램프가 점등되는 것에 의해 열은 통과시키고 자외선을 반사가능하도록 곡면 형상의 단면을 갖는 반사판을 다수의 콜드미러로 구성함으로써, 자외선 램프가 점등됨에 따른 반사율을 종래의 반사판보다 증대시킬 수 있고, 반사판을 콜드미러로 구성함에 따른 표면오염이 쉽게 이루어지지 않으며, 반사판 손상시 부분 교체가 가능하도록 구성되어 있어 교체시간 및 비용을 절감시킬 수 있도록 한 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치를 제공함에 그 목적이 있다.
Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above-described problems, by the ultraviolet light is turned on one side and the other inner surface of the housing accommodated in the housing having a curved cross-section to allow heat to pass through and reflect ultraviolet light By constructing the reflector with a plurality of cold mirrors, the reflectance of the UV lamps can be increased compared to the conventional reflector, and surface contamination is not easily achieved by configuring the reflector with the cold mirror, and partial replacement is possible when the reflector is damaged. The purpose is to provide an ultraviolet irradiation device using a cold mirror that is configured to reduce the replacement time and cost.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반도체 제조장치의 하우징에 내설되어 반도체의 표면에 자외선을 조사시키기 위해 구비되는 자외선 조사장치에 있어서, 상기 하우징에 길이방향으로 내설되어 구비되는 케이스와, 상기 케이스의 양측면에 고정되어 전원이 공급되는 것에 대응되게 점등되는 자외선램프를 케이스의 내측 중앙부에 길이방향으로 설치가능하도록 구비되는 지지브라켓과, 상기 지지브라켓에 양단이 고정되어 전원이 인가되는 것에 대응되게 점등되는 자외선램프의 자외선 반사율을 향상시키고 열은 통과시킬 수 있도록 상기 케이스의 양내측면에 곡면으로 형성되어 길이방향으로 각각 구비되는 다수의 반사용 콜드미러와, 상기 케이스의 내측면에 일정 간격으로 다수 고정되어 다수의 반사용 콜드미러를 슬라이드 방식으로 각각 설치시킬 수 있도록 형성됨과 아울러 모서리부에는 배선을 위해 구비된 배선관을 관통시킬 수 있도록 구비되는 지지부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an ultraviolet irradiation device which is built in a housing of a semiconductor manufacturing apparatus and is provided to irradiate ultraviolet rays to a surface of a semiconductor, the case being built in the longitudinal direction of the housing, and The support bracket is provided to be fixed to both sides of the case and to be installed in the longitudinal direction in the inner central portion of the case to the ultraviolet lamp that is turned on corresponding to the power supply, and both ends are fixed to the support bracket to correspond to the power applied A plurality of reflective cold mirrors each formed in a curved direction on both inner sides of the case and being provided in the longitudinal direction to improve ultraviolet reflectance of a lit ultraviolet lamp and allow heat to pass therethrough; Are fixed so that a plurality of reflective cold mirrors It is formed to be installed and the corner portion is characterized in that it comprises a support member provided to penetrate the wiring tube provided for wiring.
또한, 상기한 케이스는, 하우징에 고정수단을 통하여 고정되어 다수의 반사용 콜드미러를 슬라이딩 설치가능하도록 구비되는 지지부재를 내측에 일정간격 다수개 설치가능하도록 구비되는 전,후면용 케이스판과, 상기 전,후면용 케이스판의 각 일단과 타단을 연결시키도록 각각 고정 연결되되, 중앙부는 자외선램프를 설치하기 위한 지지브라켓을 고정 설치가능하도록 홈이 형성되어 구비되는 측면고정판으로 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the case, the front and rear case plate is fixed to the housing through the fixing means is provided to enable a plurality of predetermined intervals in the support member provided on the inside provided to enable the sliding reflection of the plurality of cold mirrors; Each of the front and rear case plate is fixedly connected so as to connect each end and the other end, the central portion is characterized in that consisting of a side fixing plate provided with a groove is formed to be fixed to install the support bracket for installing the UV lamp .
또한, 상기한 반사용 콜드미러는, 케이스의 내측면에 길이방향으로 일정 간격으로 고정되는 인접한 지지부재의 양내측면에 일단과 타단이 슬라이드 끼움되는 것에 의해 각각 설치되어 자외선램프의 점등에 대응되게 자외선은 반사시키고 열은 통과시키도록 곡면으로 형성됨과 아울러 표면 손상 또는 파손됨에 따른 일부만을 교체할 수 있도록 다수개의 사각판 형상으로 구비된 것을 특징으로 한다.In addition, the cold mirror for reflection is provided by sliding one end and the other end on both inner sides of adjacent support members fixed to the inner surface of the case at regular intervals in the longitudinal direction, and correspond to the lighting of the ultraviolet lamp. Silver is reflected and the heat is formed in a curved surface and is characterized in that it is provided in a plurality of square plate shape to replace only a part as the surface is damaged or broken.
그리고, 상기한 지지부재는, 케이스의 내측면에 설치되어 양측면이 전,후면용 케이스판 내측면에 각각 고정가능하도록 고정홀과 고정홈이 서로 이격되어 각각 형성된 한 쌍의 수직부와, 상기 수직부의 일단을 연결시키키는 것에 의해 수평부로 구성되되, 상기 수평부의 내측면 중앙부에는 양측면에 반사용 콜드미러의 각 일단을 슬라이드 끼움시킬 수 있도록 슬라이드용홈이 각각 형성된 지지돌출편이 형성되고, 상기 수평부의 일단과 타단으로부터 하형 연장된 수직편의 각 끝단부 내측면에는 반사용 콜드미러의 각 일단을 슬라이드 끼움시킬 수 있도록 슬라이드끼움홈이 형성되어 구비된 것을 특징으로 한다.
In addition, the support member is installed on the inner surface of the case, a pair of vertical portions formed by the fixing holes and the fixing grooves spaced apart from each other so that both sides can be fixed to the inner surface of the case plate for the front and rear, respectively, and the vertical Consists of a horizontal portion by connecting one end of the portion, the supporting portion is formed in the central portion of the inner side of the horizontal portion formed with slide grooves, respectively, to slide each end of the reflective cold mirror on both sides, Each end portion inner side surface of the vertical piece extending from the one end and the other end is characterized in that the slide fitting groove is formed so as to slide each end of the reflective cold mirror.
상기한 바와 같이 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치에 따르면, 하우징에 수용되는 케이스의 일측 및 타측 내측면에 자외선램프가 점등되는 것에 의해 열은 통과시키고 자외선을 반사가능하도록 곡면 형상의 단면을 갖는 반사판을 다수의 콜드미러로 구성함으로써, 자외선 램프가 점등됨에 따른 반사율을 증대시킬 수 있는 효과가 있고, 또한 반사판을 콜드미러로 구성함에 따른 표면오염이 쉽게 이루어지지 않는 효과가 있으며, 나아가 반사판 손상시 부분 교체가 가능하도록 구성되어 있어 교체시간 및 비용을 절감시킬 수 있는 효과가 있다.
According to the ultraviolet irradiation device using the cold mirror according to the present invention as described above, by the ultraviolet lamp is turned on one side and the other inner side of the case accommodated in the housing by heat is passed through the curved cross-section to reflect the ultraviolet rays By configuring the reflector having a plurality of cold mirrors, there is an effect that can increase the reflectance according to the ultraviolet lamp is turned on, and also has the effect that the surface contamination is not easily made by configuring the reflector as a cold mirror, furthermore, Partial replacement is possible in case of damage, reducing the replacement time and cost.
도 1은 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치를 도시한 단면도이다.
도 3는 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치의 케이스를 제외한 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치의 지지부재를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치가 반도체 제조장치의 하우징에 설치된 상태를 도시한 도면이다. 1 is a perspective view showing an ultraviolet irradiation device using a cold mirror according to the present invention.
2 is a cross-sectional view showing an ultraviolet irradiation device using a cold mirror according to the present invention.
3 is a side view excluding the case of the ultraviolet irradiation device using a cold mirror according to the present invention.
Figure 4 is a view showing a support member of the ultraviolet irradiation device using a cold mirror according to the present invention.
5 is a view showing a state in which the ultraviolet irradiation device using a cold mirror according to the present invention is installed in the housing of the semiconductor manufacturing apparatus.
이하에서는, 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치의 일실시예를 들어 상세하게 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the ultraviolet irradiation device using a cold mirror according to the present invention will be described in detail.
우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호를 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다. First, it should be noted that, in the drawings, the same components or parts have the same reference numerals as much as possible. In describing the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted so as not to obscure the gist of the invention.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치는, 전원이 인가되는 것에 대응되게 점등되는 자외선램프의 빛을 반사시키기 위해 케이스의 양내측면에 구비되는 반사판을 다수의 콜드미러로 구성하여, 반사율을 향상시킬 수 있도록 함과 아울러 반사판 손상에 따른 교체가 용이하게 이루어짐과 교체비용을 절감시킬 수 있도록 구성된다.As shown in the ultraviolet irradiation device using a cold mirror according to the present invention, in order to reflect the light of the ultraviolet lamp which is turned on in response to the power applied to the reflection plate provided on both inner sides of the case consisting of a plurality of cold mirror In addition, it is possible to improve the reflectance and to facilitate the replacement due to reflector damage and to reduce the replacement cost.
즉, 상기한 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치는, 반도체 제조장치에 다수의 스크류와 같은 고정수단을 통하여 고정되는 하우징(10)에 길이방향으로 내설되어 구비되는 케이스(110)와, 상기 케이스(110)의 양측면에 다수의 스크류를 매개로 고정되어 전원이 공급되는 것에 대응되게 점등되는 자외선램프(20)를 케이스(110)의 내측 중앙부에 길이방향으로 설치가능하도록 구비되는 지지브라켓(120)과, 상기 지지브라켓(120)에 양단이 고정되어 전원이 인가되는 것에 대응되게 점등되는 자외선램프(20)의 자외선 반사율을 향상시키고 열은 통과시킬 수 있도록 상기 케이스(110)의 양내측면에 곡면으로 형성되어 길이방향으로 각각 구비되는 다수의 반사용 콜드미러(130)와, 상기 케이스(110)의 내측면에 일정 간격으로 다수 고정되어 다수의 반사용 콜드미러(130)를 슬라이드 방식으로 각각 설치시킬 수 있도록 형성됨과 아울러 모서리부에는 배선을 위해 구비된 배선관(미도시함)을 관통시킬 수 있도록 구비되는 지지부재(140)를 포함하여 이루어진다.
That is, the ultraviolet irradiation device using the cold mirror according to the present invention, the
이하에서, 상기한 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the ultraviolet irradiation device using a cold mirror according to the present invention will be described in detail as follows.
먼저, 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치의 케이스(110)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 반도체 장치(미도시함)의 하우징(10)(도 5참조)에 다수의 스크류 또는 볼트 및 너트와 같은 고정수단(미도시함)을 통하여 고정되어 다수의 반사용 콜드미러(130)를 슬라이딩 설치가능하도록 구비되는 지지부재(140)를 내측에 일정간격 다수개 설치가능하도록 사각 형상의 판상으로 구비되는 전,후면용 케이스판(111,112)과, 상기 전,후면용 케이스판(111,112)의 각 일단과 타단을 연결시키도록 다수의 스크류를 매개로 각각 고정 연결되되, 중앙부는 자외선램프(20)를 설치하기 위한 지지브라켓(120)을 고정 설치가능하도록 "n" 형상으로 홈(도면부호 생략)이 형성되어 구비되는 측면고정판(113)으로 구성된다.First, the
상기한 지지브라켓(120)은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 케이스(110)의 측면고정판(113)에 각각 다수의 스크류를 매개로 고정되어 자외선램프(20)의 일단과 타단을 각각 지지가능하도록 일단 중앙부에는 오목한 홈(121)이 각각 형성되고, 상기 홈(121) 하부 양측에는 고정홀(도면부호 생략)이 형성된 사각 형상의 판상으로 구비된다.1 and 2, the
상기한 반사용 콜드미러(130)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 케이스(110)의 내측면에 길이방향으로 일정 간격으로 고정되는 인접한 지지부재(140)의 양내측면에 일단과 타단이 슬라이드 끼움되는 것에 의해 각각 설치되어 자외선램프(20)의 점등에 대응되게 자외선은 반사시키고 열은 통과시키도록 곡면으로 형성됨과 아울러 표면 손상 또는 파손됨에 따른 일부만을 교체할 수 있도록 다수개의 사각판 형상으로 구비된다.As shown in FIGS. 1 to 3, the reflective
또한, 상기한 반사용 콜드미러는, 도 2에 도시된 바와 같이 지지부재(140)의 양내측면에 일단과 타단이 슬라이드 끼움되는 것에 의해 자외선램프(20)의 중심점으로부터 가까울수록 만곡되어 자외선의 광도 및 광량이 종래의 알루미늄 반사판을 갖는 조사장치보다 더 많이 집중될 수 있도록 일단은 R45~R55의 곡률로 형성되고, 중앙부는 R65~R75의 곡률로 형성되며, 타단은 R215~R230의 곡률로 형성되어 구비된다.In addition, the reflective cold mirror is curved as one end and the other end are slid to both inner sides of the
상기한 지지부재(140)는, 케이스(110)의 내부에 길이방향으로 일정간격 다수개 고정 설치되어 상기한 다수의 반사용 콜드미러(130)를 양내측면에 길이방향으로 각각 설치가능하도록 형성됨과 아울러 배선을 위해 구비되는 배선관을 관통시켜 설치가능하도록 구비된다.The
즉, 상기한 지지부재(140)는, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 케이스(110)의 내측면에 설치되어 양측면이 전,후면용 케이스판(111,112) 내측면에 각각 다수의 스크류를 매개로 고정가능하도록 고정홀과 고정홈이 서로 이격되어 각각 형성된 한 쌍의 수직부(141)와, 상기 수직부의 일단을 연결시키키는 것에 의해 "n"자 형상의 단면을 갖도록 수평부(142)로 구성되되, 상기 수평부(142)의 내측면 중앙부에는 양측면에 반사용 콜드미러(130)의 각 일단을 슬라이드 끼움시킬 수 있도록 슬라이드용홈(142a)이 각각 형성된 지지돌출편(142b)이 형성되고, 상기 수평부(142)의 일단과 타단으로부터 하형 연장된 수직편(141)의 각 끝단부 내측면에는 반사용 콜드미러(130)의 각 일단을 슬라이드 끼움시킬 수 있도록 슬라이드끼움홈(142a)이 형성되며, 상기 수직부(141)와 수평부(142)가 만나는 모서리부에는 배선을 위해 구비되는 배선관을 관통시키기 위한 배선관용 관통홀(143)이 각각 천공되어 구비된다.
That is, the
이와 같이 이루어진 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치를 반도체 제조장치의 하우징(10)에 설치하여 반도체의 표면을 처리하기 위해 자외선을 조사시키고자 할 경우에는, 첨부된 도면 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 먼저 전원을 인가되는 것에 의해 지지브라켓(120)에 의해 고정된 자외선 램프(20)가 점등된다.When the ultraviolet irradiation device using the cold mirror according to the present invention made as described above is to be installed in the
상기 자외선 램프(20)가 점등되는 것에 의해 발광된 자외선 빛은 지지부재(140)의 양내측면에 각각 슬라이드 끼움되어 구비되는 콜드미러(130)에 의해 반사되면서 도 2에 도시된 바와 같이 반도체의 표면에 집광하게 되고, 열은 상기 콜드미러(130)를 통하여 배출된다. The ultraviolet light emitted by the
상기와 같이 콜드미러를 통하여 반사된 자외선은 아래 표에 나타낸 바와 같이 알루미늄 반사판으로 구성된 조사장치보다 광도 및 광량이 더 높고 많이 조사된다.As described above, the ultraviolet rays reflected through the cold mirror are irradiated with a higher light intensity and a greater amount of light than an irradiation apparatus composed of an aluminum reflector as shown in the table below.
조사
거리
Research
Street
반사판
종류
Reflector
Kinds
140mm
140 mm
집광형aluminum
Condensing
집광형Cold mirror
Condensing
180mm
180 mm
집광형aluminum
Condensing
집광형Cold mirror
Condensing
220mm
220 mm
집광형aluminum
Condensing
집광형Cold mirror
Condensing
상기 표 1에 나타난 바와 같이 본 발명에 따른 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치를 이용하여 자외선 램프의 자외선 광도 및 광량이 알루미늄 반사판을 갖는 조사장치보다 광도 및 광량이 더 높고 더 많이 조사됨을 알 수 있다.As shown in Table 1, it can be seen that the ultraviolet light intensity and the light intensity of the ultraviolet lamp are higher and higher than the irradiation device having the aluminum reflector using the ultraviolet light irradiation apparatus using the cold mirror according to the present invention.
또한, 상기 콜드미러(130)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 사각 판 형상으로 다수개가 지지부재의 양내측면에 슬라이드 끼움되어 구비되므로, 표면 손상 또는 깨어질 경우, 손상되거나 깨진 콜드미러만을 교체할 수 있어 교체에 따른 시간 및 비용을 절감시킬 수 있다. In addition, the
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the inventions. It will be clear to those who have knowledge of.
100 ; 자외선 조사장치
110 ; 케이스
120 ; 지지브라켓
130 ; 콜드미러
140 ; 지지부재100; UV irradiation device
110; case
120; Support Bracket
130; Cold mirror
140; Supporting member
Claims (5)
상기 하우징(10)에 길이방향으로 내설되어 구비되는 케이스(110)와;
상기 케이스(110)의 양측면에 고정되어 전원이 공급되는 것에 대응되게 점등되는 자외선램프(20)를 케이스(110)의 내측 중앙부에 길이방향으로 설치가능하도록 구비되는 지지브라켓(120)과;
상기 지지브라켓(120)에 양단이 고정되어 전원이 인가되는 것에 대응되게 점등되는 자외선램프(20)의 자외선 반사율을 향상시키고 열은 통과시킬 수 있도록 상기 케이스(110)의 양내측면에 곡면으로 형성되어 길이방향으로 각각 구비되는 다수의 반사용 콜드미러(130)와;
상기 케이스(110)의 내측면에 일정 간격으로 다수 고정되어 다수의 반사용 콜드미러(130)를 슬라이드 방식으로 각각 설치시킬 수 있도록 형성됨과 아울러 모서리부에는 배선을 위해 구비된 배선관을 관통시킬 수 있도록 구비되는 지지부재(140)를 포함하되,
상기 반사용 콜드미러(130)는, 케이스(110)의 내측면에 길이방향으로 일정 간격으로 고정되는 인접한 지지부재(140)의 양내측면에 일단과 타단이 슬라이드 끼움되는 것에 의해 각각 설치되어 자외선램프(20)의 점등에 대응되게 자외선은 반사시키고 열은 통과시키도록 곡면으로 형성됨과 아울러 표면 손상 또는 파손됨에 따른 일부만을 교체할 수 있도록 다수개의 사각판 형상되되, 상기 지지부재(140)의 양내측면에 일단과 타단이 슬라이드 끼움되는 것에 의해 자외선램프(20)의 중심점으로부터 가까울수록 만곡되어 자외선의 광도 및 광량이 집중될 수 있도록 일단은 R45~R55의 곡률로 형성되고, 중앙부는 R65~R75의 곡률로 형성되며, 타단은 R215~R230의 곡률로 형성되어 구비된 것을 특징으로 하는 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치.
In the ultraviolet irradiation device which is provided in the housing 10 of a semiconductor manufacturing apparatus, and is provided in order to irradiate an ultraviolet-ray to the surface of a semiconductor,
A case 110 which is provided in the housing 10 in the longitudinal direction;
A support bracket (120) fixed to both sides of the case (110) so as to be installed in the longitudinal direction at an inner central portion of the case (110), the ultraviolet lamp (20) which is turned on in correspondence with power supply;
Both ends are fixed to the support bracket 120 to be formed to have a curved surface on both inner side surfaces of the case 110 so as to improve the ultraviolet reflectance of the ultraviolet lamp 20 which is lit to correspond to the application of power and to allow heat to pass therethrough. A plurality of reflective cold mirrors 130 each provided in a longitudinal direction;
The inner surface of the case 110 is fixed to a plurality of predetermined intervals to form a plurality of reflective cold mirrors 130 in a sliding manner, respectively, and the corner portion can penetrate the wiring pipe provided for wiring Including a support member 140 to be provided,
The reflective cold mirror 130 is respectively installed by sliding one end and the other end on both inner side surfaces of the adjacent support member 140 fixed at regular intervals in the longitudinal direction to the inner surface of the case 110, UV lamp Corresponding to the lighting of the (20) is formed in a curved surface to reflect the ultraviolet rays and heat passes, and a plurality of rectangular plate shape to replace only a part according to the surface damage or broken, but both inner side surfaces of the support member 140 One end and the other end are bent so as to be closer to the center point of the ultraviolet lamp 20, so that one end is formed with a curvature of R45 ~ R55 so that the intensity and intensity of the ultraviolet light can be concentrated, the central portion is the curvature of R65 ~ R75 Is formed as, the other end of the UV irradiation apparatus using a cold mirror, characterized in that provided with a curvature of R215 ~ R230.
상기 케이스(110)는, 하우징(10)에 고정수단을 통하여 고정되어 다수의 반사용 콜드미러(130)를 슬라이딩 설치가능하도록 구비되는 지지부재(140)를 내측에 일정간격 다수개 설치가능하도록 구비되는 전,후면용 케이스판(111,112)과, 상기 전,후면용 케이스판(111,112)의 각 일단과 타단을 연결시키도록 각각 고정 연결되되, 중앙부는 자외선램프(20)를 설치하기 위한 지지브라켓(120)을 고정 설치가능하도록 홈이 형성되어 구비되는 측면고정판(113)으로 구성된 것을 특징으로 하는 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치.
The method of claim 1,
The case 110 is fixed to the housing 10 through fixing means and provided with a plurality of support members 140 installed at a predetermined interval therein so as to be slidably installed with a plurality of reflective cold mirrors 130. The front and rear case plates 111 and 112 are fixedly connected to connect one end and the other end of the front and rear case plates 111 and 112, respectively, and the center portion of the support bracket for installing the ultraviolet lamp 20 ( Ultraviolet irradiation device using a cold mirror, characterized in that consisting of a side fixing plate 113 is provided with a groove is formed so as to be fixed to 120.
하우징(10)에 길이방향으로 내설되어 구비되는 케이스(110)와;
상기 케이스(110)의 양측면에 고정되어 전원이 공급되는 것에 대응되게 점등되는 자외선램프(20)를 케이스(110)의 내측 중앙부에 길이방향으로 설치가능하도록 구비되는 지지브라켓(120)과;
상기 지지브라켓(120)에 양단이 고정되어 전원이 인가되는 것에 대응되게 점등되는 자외선램프(20)의 자외선 반사율을 향상시키고 열은 통과시킬 수 있도록 상기 케이스(110)의 양내측면에 곡면으로 형성되어 길이방향으로 각각 구비되는 다수의 반사용 콜드미러(130)와;
상기 케이스(110)의 내측면에 일정 간격으로 다수 고정되어 다수의 반사용 콜드미러(130)를 슬라이드 방식으로 각각 설치시킬 수 있도록 형성됨과 아울러 모서리부에는 배선을 위해 구비된 배선관을 관통시킬 수 있도록 구비되는 지지부재(140)를 포함하되,
상기 지지부재(140)는, 케이스(110)의 내측면에 설치되어 양측면이 전,후면용 케이스판(111,112) 내측면에 각각 고정가능하도록 고정홀과 고정홈이 서로 이격되어 각각 형성된 한 쌍의 수직부(141)와, 상기 수직부의 일단을 연결시키키는 것에 의해 수평부(142)로 구성되되, 상기 수평부(142)의 내측면 중앙부에는 양측면에 반사용 콜드미러(130)의 각 일단을 슬라이드 끼움시킬 수 있도록 슬라이드용홈(142a)이 각각 형성된 지지돌출편(142b)이 형성되고, 상기 수평부(142)의 일단과 타단으로부터 하형 연장된 수직편(141)의 각 끝단부 내측면에는 반사용 콜드미러(130)의 각 일단을 슬라이드 끼움시킬 수 있도록 슬라이드끼움홈(142a)이 형성되어 구비된 것을 특징으로 하는 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치.
In the ultraviolet irradiation device which is provided in the housing 10 of a semiconductor manufacturing apparatus, and is provided in order to irradiate an ultraviolet-ray to the surface of a semiconductor,
A case 110 installed internally in the longitudinal direction in the housing 10;
A support bracket (120) fixed to both sides of the case (110) so as to be installed in the longitudinal direction at an inner central portion of the case (110), the ultraviolet lamp (20) which is turned on in correspondence with power supply;
Both ends are fixed to the support bracket 120 to be formed to have a curved surface on both inner side surfaces of the case 110 so as to improve the ultraviolet reflectance of the ultraviolet lamp 20 which is lit to correspond to the application of power and to allow heat to pass therethrough. A plurality of reflective cold mirrors 130 each provided in a longitudinal direction;
The inner surface of the case 110 is fixed to a plurality of predetermined intervals to form a plurality of reflective cold mirrors 130 in a sliding manner, respectively, and the corner portion can penetrate the wiring pipe provided for wiring Including a support member 140 to be provided,
The support member 140 is installed on the inner surface of the case 110, the fixing holes and the fixing grooves spaced apart from each other so that both sides can be fixed to the inner surface of the front and rear case plates 111 and 112, respectively. The vertical portion 141 and the horizontal portion 142 is formed by connecting one end of the vertical portion, each end of the cold mirror 130 for reflection on both sides of the central portion of the inner surface of the horizontal portion 142 The support protrusion pieces 142b having the slide grooves 142a respectively formed to slide the grooves are formed on the inner surface of each end portion of the vertical piece 141 extending downward from one end and the other end of the horizontal portion 142. Ultraviolet irradiation device using a cold mirror, characterized in that the slide fitting groove (142a) is formed so as to slide each end of the reflective cold mirror 130 is provided.
상기 지지부재(140)의 수직부(141)와 수평부(142)가 만나는 모서리부에는 배선을 위해 구비되는 배선관을 관통시키기 위한 배선관용 관통홀(143)이 각각 천공되어 구비된 것을 특징으로 하는 콜드미러를 이용한 자외선 조사장치.
5. The method of claim 4,
In the corner portion where the vertical portion 141 and the horizontal portion 142 of the support member 140 meet each other, the wiring pipe through-hole 143 for penetrating the wiring pipe provided for wiring is provided. UV irradiation device using a cold mirror.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120034330A KR101308058B1 (en) | 2012-04-03 | 2012-04-03 | The ultraviolet investigation system which uses a cold mirror |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120034330A KR101308058B1 (en) | 2012-04-03 | 2012-04-03 | The ultraviolet investigation system which uses a cold mirror |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101308058B1 true KR101308058B1 (en) | 2013-09-12 |
Family
ID=49456044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020120034330A KR101308058B1 (en) | 2012-04-03 | 2012-04-03 | The ultraviolet investigation system which uses a cold mirror |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101308058B1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190037917A (en) | 2017-09-29 | 2019-04-08 | 주식회사 유비테크 | Uv light curing system |
| KR20190037939A (en) | 2017-09-29 | 2019-04-08 | 주식회사 유비테크 | Uv light curing system |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05237992A (en) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Iwasaki Electric Co Ltd | Ultraviolet curing irradiation device |
| KR20060033318A (en) * | 2004-10-14 | 2006-04-19 | 나노비전 주식회사 | An apparatus for lighting the ultra violet in sheet manufacture |
| KR101097387B1 (en) * | 2009-09-03 | 2011-12-23 | (주)리트젠 | Semiconductor surface preparation ultraviolet investigation system |
-
2012
- 2012-04-03 KR KR1020120034330A patent/KR101308058B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05237992A (en) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Iwasaki Electric Co Ltd | Ultraviolet curing irradiation device |
| KR20060033318A (en) * | 2004-10-14 | 2006-04-19 | 나노비전 주식회사 | An apparatus for lighting the ultra violet in sheet manufacture |
| KR101097387B1 (en) * | 2009-09-03 | 2011-12-23 | (주)리트젠 | Semiconductor surface preparation ultraviolet investigation system |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190037917A (en) | 2017-09-29 | 2019-04-08 | 주식회사 유비테크 | Uv light curing system |
| KR20190037939A (en) | 2017-09-29 | 2019-04-08 | 주식회사 유비테크 | Uv light curing system |
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