KR101308010B1 - 센서유닛 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 센서유닛 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 센서유닛은 베이스와; 상기 베이스의 상부에 일 측 단부가 돌출되어 외팔보 구조로 배치되는 액추에이터와; 상기 액추에이터의 일 영역에 구비되며, 3차원 구조의 반응면적을 가지며, 상기 반응면적에는 피검출 물질에 대한 반응 유도물질이 형성되는 반응부를 포함하여 구성될 수 있다.
이와 같은 구성을 통하여 본 발명은 미세한 양의 피검출물에 대한 감지가 가능하고, 센서유닛의 크기를 증가시키지 않으면서 감지를 위한 반응 영역의 크기를 증가시킬 수 있으며, 화학적 특성을 가지는 피 검출물 또는 항원 항체 등과 같이 상보결합을 하는 생물학 또는 생화학적 특성을 가지는 피검출물에 대한 감지가 가능하게 되다.
센서, 압전부재, 카본 와이어, 카본 튜브, 필라구조, 통전부재

Description

센서유닛 및 그 제조방법{SENSOR UNIT AND MANUFACTURING METHOD THE SAME}
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서유닛의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 센서유닛의 단면구조를 나타내는 도면이다.
도 1c는 도 1a에 도시된 센서유닛이 피검출 물질을 감지하여 검출하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 센서유닛의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 센서유닛의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서유닛이 제조되는 일 공정으로 베이스 형성부재에 지지부재가 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 4b는 도 4a에 연속되는 공정으로 지지부재의 상부에 압전부재가 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 4c는 도 4b에 연속되는 공정으로 압전부재에 급전부재가 통전 가능하도록 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 4d는 도 4c에 연속되는 공정으로 압전부재가 노출되지 않도록 또 다른 지 지부재가 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 4e는 도 4d에 연속되는 공정으로 베이스의 일부 영역을 제거하여 액추에이터를 외팔보 구조로 형성시키는 상태를 나타내는 도면이다.
도 4f는 도 4e에 연속되는 공정으로 반응영역을 형성시키기 위한 기초부재가 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 4g는 도 4f에 연속되는 공정으로 반응영역을 형성시키기 위한 기초부재에 3차원 반응영역을 갖는 기초 반응부재가 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5a는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 센서유닛이 제조되는 일 공정으로 베이스 형성부재에 지지부재가 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5b는 도 5a에 연속되는 공정으로 지지부재의 상부에 압전부재가 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5c는 도 5b에 연속되는 공정으로 압전부재에 급전부재가 통전 가능하도록 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5d는 도 5c에 연속되는 공정으로 압전부재가 노출되지 않도록 또 다른 지지부재가 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5e는 도 5d에 연속되는 공정으로 베이스의 일부 영역을 제거하여 액추에이터를 외팔보 구조로 형성시키는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5f는 도 5e에 연속되는 공정으로 반응영역에 3차원 반응영역을 갖는 필라구조의 기초 반응부재가 형성되는 상태를 나타내는 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
100 ... 센서유닛 110 ... 베이스
110a ... 베이스 형성부재 110b ... 지지부
120 ... 액추에이터 121 ... 압전부재
122 ... 제 1 지지부재 123 ... 제 2 지지부재
124 ... 통전부재 124a ... 접속부
125 ... 커넥터 126 ... 비아
130,130-1 ... 제 1 반응부 130a ... 기초부재
131,131-1 ... 기초 반응부재 140 ... 제 2 반응부
본 발명은 센서유닛 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 센서유닛은 특정 피검출물의 존재 유무를 확인하거나, 또는 피검출물의 변화량을 검출하여 이를 변화가 발생되는 것을 인식하도록 하거나, 또는 피검출물의 변화량을 검출하여 이를 수치로 나타낼 수 있도록 하는 등 다양한 방식과 분야에 이용되고 있다.
센서유닛의 종류는 다양한 감지 방식과 재료 및 그 측정 방식 등에 따라 다양하게 분류되고 있는데, 그 중에 측정방식에 의한 분류에는 포화방식에 의한 분류, 흡수 방식에 의한 분류, 증발 방식에 의한 분류, 수분 흡착에 의한 분류, 분광학적 분류 등 다양한 방식에 따르고 있다. 이러한 분류에 따라 그 측정방식에 따라 저항, 전기량, 온도, 정전용량, 공진주파수 등과 같은 방식에 의해 분류가 되기도 한다.
이러한 센서유닛 중 가장 일반적으로 사용되고, 또한 개발되고 있는 센서유닛은 전기적 특성이 변하는 센서유닛이 주류를 이루고 있고, 이에 따른 연구도 활발하게 진행 중에 있다. 또한, 근래에 들어서는 항원 항체 등과 같이 생화학적 특성을 가지는 피검출물에 대한 감지를 위한 센서유닛이 개발되기도 했다.
이러한 센서유닛들은 사용되는 대상 또는 용도에 따라서 매우 미세한 감지도 가능한 성능이 필요로 하기도 한다. 따라서, 감지의 성능을 향상시키기 위해서 다양한 연구가 진행되고 있는데, 감지 성능을 향상시키기 위해서는 감지 성능이 우수한 대체의 물질 등이 개발되어야만 한다. 그러나, 이와 같은 대체물질의 개발은 매우 어려운 문제이기 때문에 이를 대치할 수 있는 다른 각도에 대한 연구가 필요한 실정이다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 미세한 피검출물의 양에 대한 검출이 보다 정확하게 이루어질 수 있도록 하기 위하여 반응부의 면적을 크게 구성하는 것을 생각해 볼 수 있다.
그러나, 종래에는 반응부의 구성이 2차원의 평면 구조로 이루어지게 되기 때문에 반응부의 면정을 크게 하는 것은 바로 센서유닛의 크기를 증가시키는 결과를 초래하게 된다. 따라서, 단순히 평면 구조를 가지는 반응부의 면적을 크게 하는 것만으로는 위와 같은 문제를 해결하기는 어려운 실정이다.
더욱이, MEMS(Micro Electronic Mechanical Systems) 등과 같은 나노 크기의 장치등에 구비될 수 있는 센서유닛은 크기에 대한 제약을 많이 받게 된다. 따라서, 실제 반응영역이 증가되면서 반응부의 면적은 증가되지 않도록 할 수 있는 대안이 필요하다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 미세한 양의 피검출물에 대한 감지가 가능하도록 하는 데에 있다.
본 발명의 다른 일 목적은 센서유닛의 크기를 증가시키지 않으면서 감지를 위한 반응 영역의 크기를 증가시킬 수 있도록 하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 일 목적은 화학적 특성을 가지는 피 검출물 또는 항원 항체 등과 같이 상보결합을 하는 생물학 또는 생화학적 특성을 가지는 피검출물에 대한 감지를 위한 센서유닛에 적용이 가능하도록 하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 일 목적은 나노 규격의 적용이 가능하면서도 성능이 향상된 센서유닛을 제공할 수 있도록 하는 데에 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제들을 해결하고 동시에 본 발명에 따른 목적들을 이루기 위한 센서유닛 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 저항체가 구비된 센서유닛은 베이스와; 베이스의 상부에 일 측 단부가 돌출되어 외팔보 구조로 배치되는 액추에이터와; 액추에이터의 일 영역에 구비되며, 3차원 구조의 반응면적을 가지며, 반응면적에는 피검출 물질에 대한 반응 유도물질이 형성되는 반응부를 포함하여 구성될 수도 있다.
여기서, 액추에이터는 압전구동이 가능하도록 구성될 수도 있다. 그리고, 액추에이터는 압전부재와; 압전부재가 노출되지 않도록 구비되는 제 1 지지부재 및 제 2 지지부재와; 압전부재에 일 단부가 연결되고, 다른 일 단부는 외부의 검출장치와 연결 가능하게 노출되는 접속부를 가지는 통전부재를 포함하여 구성될 수도 있다.
이와는 달리 액추에이터는 압전부재와; 압전부재가 노출되지 않도록 구비되는 제 1 지지부재 및 제 2 지지부재와; 제 2 지지부재의 어느 일 위치에 구비되어 비아를 통해 상기 압전부재와 통전 가능하게 연결되는 커넥터를 포함하여 구성될 수도 있다.
그리고, 압전부재는 물리적 변형에 의해 전류가 발생하거나, 물리적 변형에 의해 저항값이 변하는 것으로 구성될 수도 있다.
그리고, 반응부는 카본 와이어, 카본 튜브 또는 다른 물질의 필라 구조물에 의해 3차원 구조의 반응면적이 구성될 수도 있다. 또한, 반응부는 평면 구조의 또 다른 반응부를 포함하여 구성될 수도 있다. 다른 한편, 반응부는 화학적 반응이 가능한 피검출 물질 또는 생체적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응 가능하도록 구성될 수도 있다.
본 발명의 다른 일 실시형태인 센서유닛의 제조방법은 베이스 형성부재의 일 면에 피에조에 의해 구동되는 액추에이터가 형성되는 단계와; 액추에이터가 외팔보 구조를 갖도록 베이스 형성부재의 일 영역을 제거되는 단계와; 액추에이터의 어느 일 영역에 3차원 구조의 반응면적을 가지는 기초 반응부재가 형성되는 단계와; 그 리고, 기초 반응부재의 외부면에 피검출 물질과 반응하게 되는 반응 유도물질이 형성되는 단계를 포함하여 이루어질 수도 있다.
여기서, 액추에이터 형성단계는 베이스 형성부재의 일 면에 제 1 지지부재가 형성되는 단계와; 제 1 지지부재에 압전부재가 형성되는 단계와; 압전부재에 연결되는 통전부재가 형성되는 단계와; 압전부재가 내부에 수용되며, 통전부재의 일 단부가 외부의 검출장치와 연결 가능하도록 제 2 지지부재가 형성되는 단계를 포함하여 이루어질 수도 있다.
여기서, 액추에이터 형성단계는 베이스 형성부재의 일 면에 제 1 지지부재가 형성되는 단계와; 제 1 지지부재에 압전부재가 형성되는 단계와; 압전부재가 내부에 수용되도록 제 2 지지부재가 형성되는 단계와; 제 2 지지부재의 어느 일 위치를 통해 일 단부가 상기 압전부재와 통전 가능하게 연결되며, 다른 일 단부가 외부로 노출되는 비아가 형성되는 단계를 포함하여 이루어질 수도 있다.
그리고, 비아의 외부로 노출된 단부에는 외부의 검출장치와 연결 가능하도록 커넥터가 더 구비되게 할 수도 있다.
또한, 기초 반응부재의 형성단계는 반응영역을 형성시키기 위한 기초부재를 기반으로 하여 기초 반응부재가 3차원 반응면적을 가지도록 성장되는 단계를 포함하여 이루어질 수도 있다.
그리고, 기초 반응부재는 카본 와이어, 카본튜브 및 필라 구조물 중 어느 하나에 의해 3차원 구조의 반응면적을 갖도록 형성될 수도 있다.
또한, 반응 유도물질은 화학적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되는 것 또는 생체적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되는 것 중 어느 하나로 이루허지도록 할 수도 있다.
상기와 같은 본 발명의 특징들에 대한 이해를 돕기 위하여 이하 본 발명의 실시예들을 통해 본 발명에 따른 센서유닛 및 그의 제조방법에 대하여 설명하도록 하겠다.
이하 설명되는 실시예들은 본 발명의 기술적인 특징을 이해시키기에 가장 적합한 실시예들을 기초로 하여 설명될 것이며, 설명되는 실시예들에 의해 본 발명의 기술적인 특징이 제한되는 것이 아니라 이하 실시예들과 같이 본 발명이 실시될 수 있다는 것을 예로 하여 설명한 것이다. 즉, 본 발명은 아래 설명된 실시예를 통해 본 발명의 기술 범위 내에서 다양한 변형 실시가 가능하며, 이러한 변형 실시예는 본 발명의 기술 범위 내에 속한다 할 것이다.
이하 설명되는 실시예의 이해를 돕기 위하여 첨부된 도면에 기재된 부호에 있어서, 각 실시예에서 동일한 작용을 하게 되는 구성요소 중 관련된 구성요소는 동일 또는 연장 선상의 숫자로 표기하였다.
도 1a 내지 도 1c에는 본 발명의 일 실시형태에 따른 센서유닛(100)이 도시되어 있다.
상기 센서유닛(100)은 액추에이터(120)가 베이스(110)의 일 면에 구비되는데, 상기 액추에이터(120)는 그 일 측 단부가 상기 베이스(110)의 일 단부로부터 돌출되는 외팔보 구조로 구비된다.
상기 액추에이터(120)는 피검출물(미도시)의 존재여부 또는 존재하는 피검출 물 양의 변화여부를 검출할 수 있도록 하기 위하여 일 영역에 반응부(130,140)가 구비될 수 있다. 상기 반응부(130,140)는 상기 액추에이터(120)가 베이스(110)의 영역으로부터 돌출된 영역에 구비되어 이하 설명되는 바와 같이 반응부(130,140)가 피검출물에 의해 반응하여 액추에이터(120)의 변형에 의해 반응을 검출할 수 있도록 구성할 수 있다.
따라서, 상기 액추에이터(120)는 피검출물과의 반응에 의한 검출이 가능하도록 하기 위하여 압전구동이 가능하도록 구성될 수 있다.
이와 같은 액추에이터(120) 구성의 일 예로는 압전부재(121)가 상기 베이스(110)의 일면에 외팔보의 구조로 구비될 수 있도록 하기 위하여 제 1 지지부재(122) 및 제 2 지지부재(123)에 수용되어 지지될 수 있는 구조로 구성이 가능하다. 이때, 상기 압전부재(121)는 상기 제 1 지지부재(122) 및 제 2 지지부재(123)에 의해 외부로 노출되지 않도록 구성될 수도 있다.
그리고, 상기 액추에이터(120)를 구성하는 압전부재(121)는 압전부재(121) 자체의 물리적인 변형에 의해 전류가 발생되거나, 또는 저항값이 변하게 되는 것으로 구성될 수도 있다. 이와 같은 구성은 측정하고자 하는 대상 및/또는 조건에 따라 선택적으로 구성이 가능하다.
상기 압전부재(121)의 물리적인 변형에 의해 발생하는 전류 또는 저항값의 변화를 검출장치(미도시)로 송출할 수 있도록 하기 위하여, 상기 압전부재(121)의 일 영역에는 일 영역이 상기 제 1 지지부재(122) 및 제 2 지지부재(123)로부터 노출되어 접속부(124a)를 구성하게 되는 통전부재(124)가 연결될 수 있다.
이와 같은 구성을 좀더 구체적으로 설명하면, 상기 제 1 지지부재(122)는 상기 베이스(110)의 일면으로부터 외부로 돌출되어 외팔보의 구조를 가지도록 베이스(110)에 구비된다.
상기 제 1 지지부재(122)의 상부에는 압전부재(121)가 배치되는데, 이때, 상기 압전부재(121)의 일 단부는 상기 베이스(110)의 영역에 위치되고, 다른 일 단부는 베이스(110)의 영역으로 벗어나도록 위치될 수 있다. 이와 같은 배치를 통해 압전부재(121)의 변형이 더욱 확실하게 유발될 수 있게 된다. 그러나, 상기 압전부재(121)의 배치 상태는 위의 설명에 한정되지 않고, 압전부재(121)의 모든 영역이 베이스(110)의 영역을 벗어난 위치에 배치될 수도 있다.
상기 압전부재(121)의 일 영역에는 위에서 언급한 바와 같이 통전부재(124)가 연결될 수 있는데, 상기 통전부재(124)의 연결상태는 압전부재(121)가 변형되는 상태에 따라 통전부재(124)가 연결되는 영역이 결정될 수 있다. 이와 같은 연결 상태는 일반적으로 알려진 압전소자의 연결구조를 통해 실현이 가능하다.
그리고, 상기 압전부재(121)의 상부에는 위에서 언급한 바와 같이 제 2 지지부재(123)가 배치된다. 상기 제 2 지지부재(123)는 압전부재(121)가 제 1 지지부재(122) 및 제 2 지지부재(123) 사이에 수용되며, 상기 통전부재(124)의 일 단부가 노출되도록 배치될 수 있다.
위에서 언급한 바와 같이 상기와 같은 액추에이터(120)의 일 영역에는 반응부(130,140)가 구비될 수 있는데, 상기 반응부(130,140)는 피검출물에 의해 반응하여 액추에이터(120)의 변형에 의해 반응을 검출할 수 있도록 구성될 수 있다.
상기 반응부(130,140)는 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130)와 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)로 구성될 수도 있다. 이와는 달리 상기 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130)만 구성될 수도 있다.
여기서, 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130)와 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)가 함께 구성되는 경우에는 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)가 상기 액추에이터(120)의 어느 일 영역에 구비되고, 상기 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)의 상부에 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130)가 구비될 수 있다.
한편, 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130)만 구성되는 경우에는 상기 액추에이터(120)의 어느 일 영역에 바로 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130)가 구비될 수 있다.
여기서, 상기 제 1 반응부(130)는 카본 와이어에 의해 3차원 구조의 반응면적이 구성될 수 있거나, 또는 카본 튜브에 의해 3차원 구조의 반응면적이 구성될 수 있다. 그리고, 상기 카본 와이어 또는 카본 튜브는 나노 스케일의 구성이 가능하다.
한편, 상기 반응부(130,140)의 반응면적에는 센서유닛(100)이 검출하고자 하는 피검출물에 상응하는 반응 유도물질이 형성될 수 있다. 예를 들어 가스 등과 같이 화학적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되도록 구성될 수도 있고, 또는 상보결합에 의해 반응하게 되는 항온/항체 또는 면역반응 등과 같이 생체적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되도록 구성될 수도 있다.
이와 같은 구성에 의해 상기 센서유닛(100)은 제 1 반응부(130) 및/또는 제 2 반응부(140)가 피검출물에 의해 반응을 하게 되는 경우 제 1 반응부(130) 및/또는 제 2 반응부(140)에는 표면 스트레스(surface stress)가 발생하게 된다. 이와 같은 표면 스트레스를 극복하기 위하여 상기 제 1 반응부(130) 및/또는 제 2 반응부(140)가 형성되는 액추에이터(120)의 영역은 물리적인 변형이 발생하게 된다. 이와 같은 액추에이터(120)의 물리적인 변형에 의해 압전부재(121)가 변형을 일으키게 되고, 상기 압전부재(121)의 변형에 의해 전류 또는 저항값의 변화가 발생하게 된다.
따라서, 상기 액추에이터(120)에 구비되는 접속부(124a)에 연결되는 외부의 검출장치에 의해 피검출물의 존재 또는 존재하는 피검출물 양의 변화를 감지할 수 있게 된다. 이 경우 상기와 같이 제 1 반응부(130) 및/또는 제 2 반응부(140)에 의해 형성되는 반응영역의 면적은 아주 미세한 피검출물의 존재 또는 존재하는 피검출물의 변화량을 충분히 감지할 수 있게 된다.
도 2에는 상기 설명된 센서유닛(100)의 변형된 실시예가 도시되어 있다. 이하 설명되는 센서유닛(100)의 구성은 상기 설명된 첫 번째 실시예의 센서유닛(100)과 동일한 구성에 대하여는 이해의 편의를 돕기 위하여 개략적인 설명만 하도록 하겠다.
도 2에 도시된 센서유닛(100)은 상기 설명된 첫 번째 실시예의 센서유닛(100)과 같이 액추에이터(120)가 베이스(110)의 일 단부로부터 돌출되는 외팔보 구조로 구비된다. 또한, 상기 액추에이터(120)는 피검출물(미도시)의 존재여부 또 는 존재하는 피검출물 양의 변화여부를 검출할 수 있도록 하기 위하여 일 영역에 반응부(130,140)가 구비될 수 있다.
상기 첫 번째 실시예에서와 같이 상기 액추에이터(120)는 피검출물과의 반응에 의한 검출이 가능하도록 하기 위하여 압전구동이 가능하도록 구성될 수 있는데, 이러한 구성을 위하여 압전부재(121)가 상기 베이스(110)의 일면에 외팔보의 구조로 구비될 수 있도록 하기 위하여 제 1 지지부재(122) 및 제 2 지지부재(123)에 수용되어 지지될 수 있는 구조로 구성이 가능하다.
상기 설명과 같이 상기 압전부재(121)는 압전부재(121) 자체의 물리적인 변형에 의해 전류가 발생하거나, 또는 저항값이 변하게 되는 것으로, 상기 압전부재(121)의 물리적인 변형에 의해 발생하는 전류 또는 저항값의 변화를 검출장치(미도시)로 송출할 수 있도록 하기 위하여, 상기 압전부재(121)의 일 영역에는 일 영역이 비아(126)를 통해 제 2 지지부재(123)의 어느 일 위치에 구비되는 커넥터(125)와 연결 가능하도록 구성될 수도 있다. 상기 커넥터(125)는 외부의 검출장치와 연결이 가능하게 구성될 수 있다.
상기 두 번째 실시예의 경우 나머지 구성은 첫 번째 실시예의 경우와 동일하기 때문에 더 이상의 설명은 생략하기로 한다.
도 3에는 변형된 또 다른 실시예의 센서유닛(100)이 도시되어 있다. 상기 도 3에 도시된 센서유닛(100)은 상기 설명된 두 실시예의 구성을 기초로 하여 반응부(130-1,140)의 구성만 달리할 수 있다. 도시상에서는 도 1a 내지 도 1c에 도시된 첫 번째 실시예를 기초로 하여 도시되었으나, 도 2에 도시된 두 번째 실시예의 구 성에도 적용이 가능하다.
따라서, 베이스(110)와 액추에이터(120)의 구성에 대한 설명은 생략하기로 하고, 반응부(130-1,140)의 구성에 대해서만 설명하도록 하겠다.
상기 반응부(130-1,140)의 구성은 상기 설명된 두 실시예에서와 같이 압전부재(121)에 물리적인 변형이 발생하도록 하여 전류가 발생하거나, 또는 저항값이 변하게 하여 발생하는 전류 또는 저항값의 변화를 검출장치(미도시)로 송출할 수 있도록 구성될 수 있다.
여기서, 상기 반응부(130-1,140)의 구성은 상기 첫 번째 실시예에서와 같이 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130-1)와 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)로 구성될 수도 있다. 이와는 달리 상기 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130-1)만 구성될 수도 있다.
또한, 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130-1)와 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)가 함께 구성되는 경우에는 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)가 상기 액추에이터(120)의 어느 일 영역에 구비되고, 상기 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)의 상부에 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130-1)가 구비될 수 있다.
그리고, 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130-1)만 구성되는 경우에는 상기 액추에이터(120)의 어느 일 영역에 바로 3차원 구조의 반응면적을 가지는 제 1 반응부(130-1)가 구비될 수 있다.
여기서, 상기 제 1 반응부(130-1)는 상기 설명된 첫 번째 실시예의 카본 와 이어 및 카본 튜브와는 다른 물질로 구성되는 필라 구조물에 의해 3차원 구조의 반응면적이 구성되게 할 수 있다. 이 경우에도 상기 필라 구조물에 의해 구성되는 제 1 반응부(130-1)는 나노 스케일의 구성이 가능하다.
그리고, 상기 첫 번째 실시예의 경우와 같이 상기 반응부(130-1,140)의 반응면적에는 센서유닛(100)이 검출하고자 하는 피검출물에 상응하는 반응 유도물질이 형성될 수 있다.
이와 같은 구성에 의해 상기 센서유닛(100)은 첫 번째 실시예의 경우와 같이 제 1 반응부(130-1) 및/또는 제 2 반응부(140)가 피검출물에 의해 반응을 하게 되는 경우 제 1 반응부(130-1) 및/또는 제 2 반응부(140)에는 표면 스트레스(surface stress)가 발생하게 된다. 이와 같은 표면 스트레스를 극복하기 위하여 상기 제 1 반응부(130-1) 및/또는 제 2 반응부(140)가 형성되는 액추에이터(120)의 영역은 물리적인 변형이 발생하게 된다. 이와 같은 액추에이터(120)의 물리적인 변형에 의해 압전부재(121)가 변형을 일으키게 되고, 상기 압전부재(121)의 변형에 의해 전류 또는 저항값의 변화가 발생하게 된다.
상기 실시예의 경우 나머지 구성은 첫 번째 또는 두 번째 실시예의 경우와 동일하게 적용이 가능하기 때문에 더 이상의 설명은 생략하기로 한다.
상기 설명된 실시예들과 같은 구성을 가지는 센서유닛(100)은 다음과 같은 방법에 의해 제조가 가능하게 된다. 이와 같은 제조방법에 대한 일 실시예는 도 4a 내지 도 4g에 도시된 것과 같은 공정을 통해 이루어질 수 있다.
이하 설명에 있어서는 도 1a 내지 도 1c에 도시된 구성을 제조하기 위한 방 법을 예로 하여 설명하도록 하겠다.
도 4a를 참조하여 보면, 베이스 형성부재(110a)의 일 면에 피에조에 의해 구동되는 액추에이터(120)를 형성시키기 위하여 액추에이터(120)를 구성하게 되는 제 1 지지부재(122)가 형성된다. 이 경우 베이스 형성부재(110a)에 형성되는 상기 제 1 지지부재(122)가 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 장치를 통해 형성되는 경우에는 제 1 지지부재(122)를 형성하게 되는 물질(122a)이 상기 베이스 형성부재(110a)의 다른 면에도 형성될 수 있다. 그러나, 상기 베이스 형성부재(110a)의 다른 면에 형성되는 물질(122a)은 반드시 필요한 것은 아니라 제조과정상 어떠한 방식(장치)에 의해 형성되느냐의 차이에 의한 것이다.
상기와 같이 제 1 지지부재(122)가 베이스 형성부재(110a)에 구성된 후에는 도 4b에 도시된 것과 같이 상기 제 1 지지부재(122)의 어느 일 영역에 압전부재(121)가 더 형성된다.
상기와 같이 압전부재(121)가 형성된 후에는 도 4c에 도시된 것과 같이 통전부재(124)가 상기 압전부재(121)와 연결되도록 구성될 수 있다. 여기서, 상기 구성에 대한 설명에 있어서, 통전부재(124)가 압전부재(121)와 연결되도록 구성을 하게 되는 경우에는 통전부재(124)가 상기 압전부재(121)의 형성 전에 상기 제 1 지지부재(122)에 먼저 형성될 수도 있다. 한편, 상기 통전부재(124)가 압전부재(121)의 상,하면에 각각 연결되도록 구성되어야 하는 경우에는 일 통전부재(124)가 상기 압전부재(121)의 형성 전에 상기 제 1 지지부재(122)에 먼저 형성되고, 다른 일 통전부재(124)가 압전부재(121)의 형성 후에 형성될 수도 있다.
상기와 같이 통전부재(124)가 형성된 후에는 도 4d에 도시된 것과 같이 제 2 지지부재가 압전부재(121)가 제 1 지지부재(122) 및 제 2 지지부재(123)에 수용될 수 있도록 형성된다. 이때, 상기 통전부재(124)의 일 단부가 상기 제 2 지지부재(123)의 일 측으로 노출되어 접속부(124a)가 구비될 수 있도록 구성될 수 있다.
이와 같이 액추에이터(120)가 구성된 후에는 도 4e에 도시된 것과 같이 상기 베이스 형성부재(110a)의 일 영역을 제거하여 액추에이터(120)가 베이스(110)의 일면에 외팔보의 구조를 갖게 구성된다. 이 경우 상기 설명된 구성에 대한 첫 번째 실시예에서와 같이 3차원 구조의 반응면적을 가지게 되는 제 1 반응부(130)가 카본 와이어 또는 카본 튜브의 구조를 가질 수 있도록 시드(seed)를 형성시키기 위하여 상기 베이스 형성부재(110a)의 제거 영역을 전부 제거하지 않고 지지부(110b)가 형성되도록 일부를 남길 수도 있다.
즉, 도 4f에 도시된 것과 같이 3차원 구조의 반응면적을 가지게 되는 제 1 반응부(130)가 카본 와이어 또는 카본 튜브로 구성되는 경우 제 1 반응부(130)의 성장을 위하여 액추에이터(120)의 일 영역에는 반응영역 형성 기초부재(130a)가 형성된다. 상기 반응영역 형성 기초부재(130a)는 마이셀(micell) 구조로 형성될 수도 있다. 이 경우 상기 지지부(110b)는 상기 반응영역 형성 기초부재(130a)의 형성을 위하여 액추에이터(120)의 상부에 가해지는 물리적인 힘에 대한 보강구조의 역할을 하게 된다.
상기와 같이 형성된 반응영역 형성 기초부재(130a)를 통해 도 4g에 도시된 것과 같이 기초 반응부재(131)을 3차원 구조의 반응면적을 가지도록 성장시키게 된 다. 이때, 상기 지지부(110b)는 제거된다.
한편, 상기 반응부의 구성을 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)가 함께 구성되는 경우에는 상기 반응영역 형성 기초부재(130a)의 형성 전에 제 2 기초 반응부재(미도시)를 먼저 형성시킨 후, 상기 제 2 기초 반응부재의 상부에 반응영역 형성 기초부재(130a)를 형성시키고 나서 제 1 기초 반응부재(131)를 3차원 구조의 반응면적을 가지도록 성장시킬 수도 있다.
다른 한편, 상기 반응부의 구성을 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)가 함께 구성되는 경우, 제 2 기초 반응부재를 먼저 형성시킨 후, 상기 제 2 기초 반응부재의 상부에 바로 제 1 기초 반응부재(131)를 3차원 구조의 반응면적을 가지도록 성장시킬 수도 있다.
상기와 같이 형성되는 각 기초 반응부재의 외부면에는 각 피검출물에 상응하는 반응 유도물질을 형성시켜 각 제 1 반응부(130)와 제 2 반응부(140)를 형성하게 된다.
상기 과정에 있어서, 만일 액추에이터(120)를 구성하는 압전부재(121)에 비아(126)에 의해 연결되는 커넥터(125)가 구성되는 경우에는 상기 설명된 도 4c의 과정은 생략되고, 액추에이터(120)가 구성된 후에 상기 상기 압전부재(121)의 일 영역이 제 2 지지부재(123)에 형성되는 비아(126)를 통해 상기 제 2 지지부재(123)의 어느 일 위치에 구비되는 커넥터(125)와 연결 가능하도록 구성될 수도 있다. 이 경우 상게 제 2 지지부재(123)를 드릴링 또는 에칭과정을 통해 홀을 형성시킨 후 도금 또는 증착공정을 거쳐 비아(126)를 형성시킨 후에 상기 비아(126)에 커넥 터(125)가 연결되게 구성할 수도 있다. 이와는 달리 상기 제 2 지지부재(123)의 형성과정에서 비아(126)가 함께 형성되도록 할 수도 있다.
상기 센서유닛(100)의 제조방법에 대한 다른 일 실시예는 도 5a 내지 도 5f에 도시된 것과 같은 공정을 통해 이루어질 수 있다.
여기서, 도 5a 내지 도 5e에 대한 공정은 상기 설명된 도 4a 내지 도 4e의 과정과 동일하여 이에 대한 설명은 생략하기로 한다. 우선, 도 5e에 도시된 것과 같이 상기 베이스 형성부재(110a)의 일 영역을 제거하여 액추에이터(120)가 베이스(110)의 일면에 외팔보의 구조를 가지도록 구성된 후에는 이 경우에는 상기 설명된 구성에 대한 도 3에 도시된 실시예에서와 같은 3차원 구조의 반응면적을 가지도록 구성될 수 있다.
도 5f에는 제 1 기초 반응부재(131-1)가 카본 와이어 및 카본 튜브와는 다른 물질로 구성되는 필라 구조의 3차원 구조의 반응영역을 가지도록 형성된다. 상기와 같이 형성되는 제 1 기초 반응부재(131-1)의 외부면에는 각 피검출물에 상응하는 반응 유도물질을 형성시켜 제 1 반응부(130-1)를 형성하게 된다.
한편, 상기 반응부의 구성을 2차원 구조의 반응면적을 가지는 제 2 반응부(140)가 함께 구성되는 경우에는 제 2 기초 반응부재(미도시)를 먼저 형성시킨 후, 상기 제 2 기초 반응부재의 상부에 제 1 기초 반응부재(131-1)를 3차원 구조의 반응면적을 가지도록 형성시킬 수도 있다.
상기와 같이 형성되는 각 기초 반응부재의 외부면에는 각 피검출물에 상응하는 반응 유도물질을 형성시켜 각 제 1 반응부(130-1)와 제 2 반응부(140)를 형성하 게 된다.
상기 과정에 있어서도 액추에이터(120)를 구성하는 압전부재(121)에 비아(126)에 의해 연결되는 커넥터(125)가 구성되는 경우에는 상기 설명된 도 5c의 과정은 생략되고, 액추에이터(120)가 구성된 후에 상기 상기 압전부재(121)의 일 영역이 제 2 지지부재(123)에 형성되는 비아(126)를 통해 상기 제 2 지지부재(123)의 어느 일 위치에 구비되는 커넥터(125)와 연결 가능하도록 구성될 수도 있다. 이 경우 상게 제 2 지지부재(123)를 드릴링 또는 에칭과정을 통해 홀을 형성시킨 후 도금 또는 증착공정을 거쳐 비아(126)를 형성시킨 후에 상기 비아(126)에 커넥터(125)가 연결되게 구성할 수도 있다. 이와는 달리 상기 제 2 지지부재(123)의 형성과정에서 비아(126)가 함께 형성되도록 할 수도 있다.
상기와 같이 설명된 본 발명에 따르면, 미세한 양의 피검출물에 대한 감지가 가능하게 된다.
또한 본 발명에 따르면, 센서유닛의 크기를 증가시키지 않으면서 감지를 위한 반응 영역의 크기를 증가시킬 수 있도록 하는 데에 있다.
그리고 또한 본 발명에 따르면, 반도체 공정을 응용하여 제조가 가능하므로 다량의 센서유닛을 하나의 기판 상에서 제조 가능하게 되기 때문에 제조비용을 절감하면서도 제조 수량을 증가시킬 수 있고, 더욱이 안정된 동일한 규격의 센서유닛을 제조할 수 있게 된다.
그리고 또한 본 발명에 따르면, 화학적 특성을 가지는 피 검출물 또는 항원 항체 등과 같이 상보결합을 하는 생물학 또는 생화학적 특성을 가지는 피검출물에 대한 감지를 위한 센서유닛의 제조가 가능하게 된다.
그리고 또한, 본 발명에 따르면, 나노 규격의 적용이 가능하면서도 성능이 향상된 센서유닛의 제조가 가능하게 된다.
그리고 또한, 본 발명에 따르면, 마이크로 규격 또는 나노 규격으로 센서유닛의 제조가 가능하게 되어 휴대용 제품 또는 소형의 제품에 적용이 적합하다.

Claims (19)

  1. 베이스와;
    상기 베이스의 상부에 일 측 단부가 돌출되어 외팔보 구조로 배치되는 액추에이터와;
    상기 액추에이터의 일 영역에 구비되며, 상기 일 영역으로부터 돌출되는 3차원 구조의 반응면적을 가지도록 카본 와이어, 카본 튜브 및 필라 구조물 중 어느 하나로 형성되며, 상기 반응면적에는 피검출 물질에 대한 반응 유도물질이 형성되는 반응부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 센서유닛.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 액추에이터는 압전구동이 가능한 것을 특징으로 하는 센서유닛.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 액추에이터는 압전부재와;
    압전부재가 노출되지 않도록 구비되는 제 1 지지부재 및 제 2 지지부재와;
    상기 압전부재에 일 단부가 연결되고, 다른 일 단부는 외부의 검출장치와 연결 가능하게 노출되는 접속부를 가지는 통전부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 센서유닛.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 액추에이터는 압전부재와;
    압전부재가 노출되지 않도록 구비되는 제 1 지지부재 및 제 2 지지부재와;
    상기 제 2 지지부재의 어느 일 위치에 구비되어 비아를 통해 상기 압전부재와 통전 가능하게 연결되는 커넥터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 센서유닛.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 압전부재는 물리적 변형에 의해 전류가 발생되는 것을 특징으로 하는 센서유닛.
  6. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 압전부재는 물리적 변형에 의해 저항값이 변하는 것을 특징으로 하는 센서유닛.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 반응부는 화학적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되는 것을 특징으로 하는 센서유닛.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 반응부는 상기 반응부는 생체적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되는 것을 특징으로 하는 센서유닛.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 반응부는 평면 구조의 반응면적을 가지는 반응부재와 3차원 구조의 반응면적을 가지는 반응부재가 함께 구성되는 것을 특징으로 하는 센서유닛.
  13. 베이스 형성부재의 일 면에 피에조에 의해 구동되는 액추에이터가 형성되는 단계와;
    상기 액추에이터가 외팔보 구조를 갖도록 베이스 형성부재의 일 영역을 제거되는 단계와;
    상기 액추에이터의 어느 일 영역에 돌출되는 3차원 구조의 반응면적을 가지도록 카본 와이어, 카본 튜브 및 필라 구조물 중 어느 하나로 기초 반응부재가 형성되는 단계와;
    상기 기초 반응부재의 외부면에 피검출 물질과 반응하게 되는 반응 유도물질이 형성되는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 액추에이터 형성단계는
    베이스 형성부재의 일 면에 제 1 지지부재가 형성되는 단계와;
    상기 제 1 지지부재에 압전부재가 형성되는 단계와;
    상기 압전부재에 연결되는 통전부재가 형성되는 단계와;
    상기 압전부재가 내부에 수용되며, 통전부재의 일 단부가 외부의 검출장치와 연결 가능하도록 제 2 지지부재가 형성되는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법.
  15. 제 13 항에 있어서, 상기 액추에이터 형성단계는
    베이스 형성부재의 일 면에 제 1 지지부재가 형성되는 단계와;
    상기 제 1 지지부재에 압전부재가 형성되는 단계와;
    상기 압전부재가 내부에 수용되도록 제 2 지지부재가 형성되는 단계와;
    상기 제 2 지지부재의 어느 일 위치를 통해 일 단부가 상기 압전부재와 통전 가능하게 연결되며, 다른 일 단부가 외부로 노출되는 비아가 형성되는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 비아의 외부로 노출된 단부에는 외부의 검출장치와 연결 가능하도록 커넥터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법.
  17. 제 13 항에 있어서, 상기 기초 반응부재의 형성단계는 반응영역을 형성시키 기 위한 기초부재를 기반으로 하여 기초 반응부재가 3차원 반응면적을 가지도록 성장되는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법.
  18. 삭제
  19. 제 13 항에 있어서, 상기 반응 유도물질은 화학적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되는 것 또는 생체적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되는 것 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20050096469A (ko) * 2004-03-30 2005-10-06 전자부품연구원 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작방법
JP2006153831A (ja) * 2004-10-27 2006-06-15 Mitsubishi Chemicals Corp カンチレバーセンサ、センサシステム及び検体液中の検出対象物質の検出方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050096469A (ko) * 2004-03-30 2005-10-06 전자부품연구원 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작방법
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