KR101307508B1 - 자동화된 작업 관리 - Google Patents

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피어 인터렉츄얼 프로퍼티 인코포레이티드
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Abstract

공장에서의 장비에 대한 자동화된 작업 관리의 구현을 개선하기 위한 방법 및 장치가 개시된다. 씬 스테이션 제어기 클라이언트와 같은 작업 관리 클라이언트로 하여금 장비 인터페이스 브리지와 같은 장비 서버와 통신할 수 있게 하는 소프트웨어 라이브러리가 제공된다. 작업 관리 클라이언트는 산업 표준 프로토콜들을 이용하여 용이하고 효율적으로 작업들을 생성하고, 제어하고 모니터할 수 있다. 장비 서버는 공장 장비와 실시간으로 직접 통신한다. 작업 관리 클라이언트와 장비 서버 사이에 인터페이스를 제공함으로써, 데이터 소비자 클라이언트들은 작업 관리 클라이언트들로부터 효과적으로 분리되며, 이에 의해 장비 공정을 제어하고 모니터하기 위한 차세대 스테이션 제어기가 쉽게 구현될 수 있다. 작업 관리를 위해 현재 이용되고 있는 비싸고 복잡한 코드의 층들은 보다 우수하고 비용 효율적인 씬 클라이언트 분산 아키텍쳐에 의해 대체될 수 있다. 이러한 시스템은 레거시 스테이션 제어기들과 함께 동작하거나, 또는 스테이션 제어기가 제거되고, 전형적으로 통상의 스테이션 제어기에 통합되었던 많은 타입의 기능들을 분산하는 복수의 모듈들에 의해 대체될 수 있다.
스테이션 제어기, 장비 서버, 자동화된 작업 관리, 씬 클라이언트

Description

자동화된 작업 관리{AUTOMATED JOB MANAGEMENT}
본 발명은 자동화된 작업 관리 분야에 관한 것으로서, 특히 반도체 제조 설비에서의 장비 처리의 모니터링 및 제어에 관한 것이다.
전형적으로, 반도체 칩 제조는 다른 기술 분야에 비해 높은 수준의 자동화가 되어 있지 않다. 반도체 칩 제조 공장의 다양한 영역들에서, 시스템들 및 툴들은 종종 반 통합(semi-integrated)되거나 또는 완전히 독립적이다. 또한, 전형적으로, 독점적인 통신 프로토콜이 이용되기 때문에, 툴들 간의 액티비티들을 조정할 뿐 아니라, 공정 개선 및 기타 작업 관리 기능들에 이용할 수 있도록 툴들로부터 데이터를 수집하는 방식으로 제조 공정을 자동화하는 것은 종종 매우 어렵다.
전형적인 구성에서, 툴들은 함께 그룹화되고, "스테이션 제어기(station controller)"로서 알려져있는 모놀리식 소프트웨어 프로그램에 의해 느슨하게(loosely) 제어된다. 전형적인 스테이션 제어기는 SECS/GEM으로서 알려져있는 산업 표준 인터페이스를 이용하여 개별적인 툴 또는 툴들의 그룹과 통신한다. SECS/GEM는 300mm 실리콘 웨이퍼들을 이용하여 반도체 칩을 제조하는 대부분의 툴들 상에 존재하며, 또한 200mm 웨이퍼들이 이용되는 공장들에서의 표준 통신 인터페이스이다. 300mm와 200mm 공장 타입의 요구되는 바가 매우 다르기는 하지만, 양 쪽 모두 자신들의 동작의 특정 부분들에서는 스테이스션 제어기를 이용하는 것이 전형적이다.
스테이션 제어기들을 구현하는 현재의 소프트웨어 아키텍쳐들은, 특히 반도체 제조 툴들 간의 통합과, 툴의 동작 및 상태에 관한 데이터가 취급되는 방식과 관련하여 심각한 제약들을 갖는다. 제조 공정 분석, 진단 및 신속히 실행되는 정정 동작을 위해, 장비가 툴들로부터 다른 소프트웨어 애플리케이션들로 직접 실시간 데이터를 제공할 필요가 있는 경우, 툴들로부터 데이터를 통합하고 추출하는 데에 이용되는 현재의 소프트웨어 아키텍쳐들은 극복해야 할 많은 설계상의 제한들을 갖는다.
하나의 제한은, 현재 배치한 레거시 솔루션들이, 단일 클라이언트 SECS/GEM 통신 프로토콜을 이용하여 스테이션 제어기에 의해 관리되는 반도체 장비로부터 데이터를 수집한다는 것이다. 따라서, 오직 단일 클라이언트 만이 각 툴과 통신할 수 있고, 이용가능한 데이터 세트는 SECS/GEM 인터페이스 사양에서의 데이터 유효성(data availability)에 의해 구동된다. SECS/GEM 인터페이스는 장비의 구조를 드러내지 않음으로써, 장비의 물리적인 구성을 결정하는 것을 불가능하게 한다. 또한, SECS/GEM은 눈에 보이는(discoverable) 인터페이스가 아니기 때문에, 애플리케이션들은 장비에게 질문하여 그 성능을 결정한다. 또한, SECS/GEM은 보안 메카니즘도 구비하고 있지 않기 때문에, SECS/GEM에서는 클라이언트 인증(authorization) 및 액세스 허가의 개념이 존재하지 않는다. 마지막으로, 단일 클라이언트 제한은 다수의 클라이언트가 장비 정보를 동시에 액세스하는 것을 지원하지 않음을 의미한다.
현재의 스테이션 제어기에 존재하는 다른 근본적인 문제는, 물질 처리를 제어하는 자신의 주요 기능으로부터 벗어난 결과로서 복잡성이 증가한다는 것이다. 다수의 기능들이 핵심의 작업 관리 요구에 더하여 통합되기 때문에, 용이하게 변경하기 어려운 크고 복잡한 소프트웨어 아키텍쳐들이 생성되었다. 이에 의해, 다수의 내부 장해 포인트(failure point)들을 갖는 단일 장해 포인트 및 높은 유지 비용을 야기한다. 전형적으로, 데이터 수집은 작업 관리와 통합되기 때문에, 현재의 스테이션 제어기들은 장비 데이터의 유일한 수집기들이 되었으며, 이에 따라 데이터 소비자들에게 스테이션 제어기들을 통해 인터페이스할 것을 요구한다.
반도체 제조에 있어서 효율적인 자동화 통합 전략을 구현할 것을 요구하는 반도체 산업에 있어서의 변화들은 주로, 현재 45nm 또는 그 이하로 집중되는 기하학적(geometry) 사이즈의 감소와 동시에, 회로 용량이 300mm 및 그 이상의 웨이퍼들에 대해 증가함에 따라 관리되어야 하는 제조 데이터가 기하 급수적으로 증가함으로 인한 것이다. 상기의 변경 요인들에 부가하여, 몇 개의 다른 압박들이 변화 요구를 증가시키고 있다. 첫 번째로, 소수의 전문 인력 자원들이 문제들을 해결하는 데에 집중되어야 하고, 단지 데이터를 찾는 데에 소모되는 자원들을 줄여야 할 필요가 있다. 또한, 45nm의 잘못 처리된 웨이퍼들(각 웨이퍼는 수백개 내지 수천개의 다이들로 구성된다)에 대한 높은 비용은 효율적인 솔루션들에 대한 요구를 더욱 부추겼다. 또한, 장비 고장 시간(downtime)으로 인한 높은 비용 및 전체적인 장비 효율성(OEE)에 대한 개선 요구 등의 효율적인 솔루션들에 대한 요구를 촉진시키는 성능 문제들이 있다. 또한, 실시간 데이터가 처리 문제들에 보다 빠르게 응답할 수 있어야 하는 요구 및 제조 시간에 대해 툴을 개선시켜야 하는 요구가 존재한다.
현재의 솔루션들은, 자동화 아키텍처들이 장비 처리 제어의 현재 소유권에 상관없이 장비에 대한 다수 클라이언트의 동시 액세스를 지원할 수 있는 능력을 요구하는 e-진단방책(e-Diagnostics) 및 고급 공정 제어(Advanced Process Control, APC)와 같은 애플리케이션들을 위한 데이터 액세스 요건들을 해결하지 못한다. "주문형 데이터(data on demand)"를 구현할 수 있는 능력은 다음 세대의 반도체 집중의 스테이션 제어기 아키텍쳐들에 있어서 구동 요인이다. 산업이 로트(lot) 기반으로부터 웨어퍼 레벨 제조로 이동함에 따라, 자동화 해결책은 고객의 요구를 충족시키기 위해 효율적인 제조 및 비즈니스 결정을 행하는 데에 필요한 진보된 통계적 공정 제어(SPC), 결함 검출 분류 및 런별(run-to-run) 제어 애플리케이션들을 제공할 필요가 있다.
상기 설명한 이유들로 인해, 전형적인 스테이션 제어기는 방해물이 될 수 있다. 한때 스테이션 제어기는 제조 작업들의 관리를 특정적으로 제어하도록 설계되었지만, 이제는 스테이션 제어기는 그 기능이 그 복잡성 만큼 확장되는 복잡하게 얽힌 프로그램들의 세트로 진화되었다. 이러한 복잡성으로 인해, 작업 관리와 같은 근본적인 기능 뿐 아니라, 스테이션 제어기에 대한 유지 또는 변경이 매우 어렵고, 시간 소모적이고, 비용이 많이 들게 된다. 어떠한 경우, 소프트웨어 코드의 중복되고 얽힌 특성으로 인해, 동작하는 반도체 칩들의 출력 수율을 증가시키는 데에 요구되는 제조 공정 개선들을 야기한다고 할지라도, 공장 관리자들은 어떠한 변경을 행하는 것을 매우 주저하게 된다.
본 발명은, 레거시 스테이션 제어기로부터 분리되고 분산된 새로운 모듈을 생성함으로써, 종래의 스테이션 제어기의 문제점들을 해결하는 바, 이러한 모듈은 스테이션 제어기가 최초에 설계되었던 주요 기능인 작업 관리 및 제어를 수행한다.
발명의 일 양상에서는, 차세대 스테이션 제어기가 구현될 수 있게 하는 소프트웨어 라이브러리가 제공된다. 특히, 장비 서버와 통신하고, 장비 처리의 모니터링 및 제어에 전용되는 씬 스테이션 제어기 클라이언트(thin station controller client)가 생성될 수 있다. 씬 스테이션 제어기 클라이언트는 장비 서버와 통신하고, 이 장비 서버는 툴들과 통신한다. 산업 표준 통신 프로토콜이 지원될 수 있으며, 다중 클라이언트 분산 아키텍쳐가 지원될 수 있다.
본 발명의 다른 양상에서는, 작업 관리 및 제어 방법이 제공된다. 특히, 씬 스테이션 제어기 클라이언트는 작업 구성 정보를 수신하고, 장비 서버와 통신한다. 장비 서버는 작업 팩토리(job factory)를 구현하고, 씬 스테이션 제어기 클라이언트에 실시간 작업 상태 정보를 제공하는 작업 인스턴스(instance)를 저장한다. 상기 작업 서버는 툴 모델을 구현하는 바, 이러한 툴 모델은 씬 스테이션 제어기 클라이언트를 툴들과 직접 통신하는 것으로부터 분리하고, 다른 클라이언트들이 툴들과 통신할 수 있게 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 이용하기 위한 작업 생성 및 관리의 흐름을 나타낸다.
도 2는 다른 공장 장비와 관련된 본 발명의 일 실시예를 나타낸다.
본 발명은, 장비 서버와 관련하여, 오늘날의 반도체 설비들에서 스테이션 제어기 솔루션들을 구현함으로써 직면하는 많은 문제들에 대한 솔루션들을 제공한다. 본 발명에 따른 씬 스테이션 제어기 클라이언트는 SECS/GEM과 다른 인터페이스를 이용하여 제조 툴 또는 툴들의 그룹에 연결됨으로써, 레거시 스테이션 제어기를 간섭하지 않으면서 동작을 가능하게 한다. 본 발명에 이용하기 위한 장비 서버의 예는 어사이스트 테코놀로지스 인코포레이티드에 의해 제공되는 장비 인터페이스 브리지(Equipment Interface Bridge: EIB)이다. 어사이스트 테코놀로지스 인코포레이티드에 의해 제공되는 어사이스트 디렉터(Asyst Director)는 본 발명에 따라 작업 관리 클라이언트를 생성하는 데에 이용하기 위한 라이브러리의 일 실시예이다.
본 발명에 따라 구현되는 씬 스테이션 제어기 클라이언트는, 툴들에 연결됨에 있어서, 그리고 이러한 툴들로부터 데이터를 획득함에 있어서 보다 많은 유연성을 제공할 수 있는 진보된 통신 소프트웨어 계층을 통해 통신한다. 이 경우, 이것은 씬 스테이션 제어기 클라이언트가 동작하는 동안, 레거시 스테이션 제어기가 적소에 유지될 수 있거나, 또는 스테이션 제어기가 복수의 모듈로 분리(disassemble)되어, 레거시 스테이션 제어기 내에 비효율적으로 통합되어 있는 많은 타입의 기능들을 새로운 독립형 컴포넌트들로 분산시킴을 의미한다. 본 발명의 아키텍쳐는, 장비 서버와 관련하여 작동하는 스테이션 제어기의 기능을 구현하는 것에 대해, 뒤엉키지 않고 개방된 아키텍쳐의 솔루션을 이용하는 장점들을 제공한다.
이러한 방식으로, 씬 스테이션 제어기 클라이언트 및 장비 서버는, 레거시 스테이션 제어기에서 이전에 뒤엉켰던 기능의 일부를 독립적이고 유연한 클라이언트로서 분산시킴으로써, 반도체 공장 자동화에 대한 시도를 획기적으로 개선한다. 장비 서버의 존재에 의해, 작업 관리, 데이터베이스 관리 및 장비 성능 추적 등의 특정 기능을 갖는 복수의 분산된 클라이언트들의 이용이 가능해진다. 이러한 씬 스테이션 제어기 클라이언트는, 그 기능이 반도체 칩 물질의 그룹의 처리와 관련되는 작업들을 관리하고 실행하는 것인 작업 관리 클라이언트를 구현한다.
통상적인 스테이션 제어기와 비교하여 본 발명의 아키텍쳐는 많은 장점들을 갖는다. 첫 번째로, 분산된 클라이언트 애플리케이션의 이용이 촉진된다. 장비 서버는 툴과 서버 간의 통신(tool to server communication)을 클라이언트와 서버 간의 통신으로부터 분리한다. 따라서, 다중-기능 다중-애플리케이션의 레거시 스테이션 제어기와 달리, 오로지 작업 관리에만 전용되는 씬 스테이션 제어기 클라이언트가 생성될 수 있다. 한편, 데이터 수집 및 분석에 전용되는 클라이언트와 같은 다른 클라이언트들이 유사하게 생성될 수 있으며, 씬 스테이션 제어기 클라이언트를 필요로 하지 않으면서 장비 서버와 직접 상호 작용을 할 수 있다. 데이터 수집이 작업 관리로부터 효율적으로 분리된다.
이와 같이 다수의 분산된 클라이언트들에게 기능을 분리하게 되면, 비작업(non-job) 관리 애플리케이션들이 스테이션 제어기들에 의해 제공되는 데이터에 대해 갖는 치명적인 의존성(crippling dependency)이 제거된다. 따라서, 씬 스테이션 제어기 클라이언트는 더 이상 장비 데이터의 유일한 수집기가 아니며, 이에 따라 작업 관리 솔루션들을 개발하고, 구현하고, 유지하는 비용이 감소된다. 작업 관리 및 제어에 직접 영향을 미치는 문제들 만이 씬 스테이션 제어기 클라이언트에 의해 해결될 필요가 있다. 데이터 수집 기능으로부터 작업 관리 기능을 분리하는 것의 다른 장점은, 레거시 스테이션 제어기 형태의 단일의 장해 포인트가 함께 뒤엉키지 않는, 보다 용이하게 진단가능한 다수의 잠재적인 장해 포인트들로 대체된다는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 작업 흐름을 도시한다. XML 포맷된 구성들(XML Formatted Configuration)(110)이 씬 스테이션 제어기 클라이언트(120)의 입력으로서 이용된다. 이러한 구성들은 작업들의 개시(startup) 및 런타임 동작을 특정한다. 디렉터(130)는 클라이언트(120)에 의해 이용되는 소프트웨어 라이브러리이다. 디렉터(130)는 작업들을 생성하고 관리하기 위한 다기능의 애플리케이션 프로그래밍 인터페이스(full featured Application Programming Interface, API)를 구현한다. 바람직한 실시예에서, 디렉터(130)는 작업 생성 서비스(Create Job service) 및 작업 실행 서비스(Run Job service)를 실시하고, 작업 상태 변경 이벤트(Job State Change Event)를 지원한다. 클라이언트(120)는 작업 생성 서비스를 이용하여 XML 포맷된 구성들(110)에 기초하여 작업을 생성한다. 작업 실행 서비스는 작업의 실행이 시작되게 하는 데에 이용된다. 작업 상태가 변경될 때 마다, 디렉터(130)는 클라이언트(120)에게 작업 상태 변경 이벤트(Job State Change Event) 형태의 이벤트를 전달한다.
장비 서버(160)는 작업 팩토리(170)를 구현하고, 작업 인스턴스들(Job Instances)(180)을 포함한다. XML 작업 요청, 레시피(recipe) 및 명령어들이 디렉터(130)로부터 통신 경로(140)를 통해 작업 팩토리(170)에 전달된다. 작업 팩토리(170)는 작업 정의 및 기본 명령(primitive)들을 포함한다. 대안적인 실시예에서, 작업 팩토리(170)와의 통신은 프로세스 작업 관리를 위한 SEMI E40 표준을 지원한다. 작업이 실행되어야 할 때, 작업은 내부적인 통신 경로(190)을 통해 인스턴스화(instantiate)되고, 개별적인 작업 인스턴트들이 작업 인스턴스(180)에서 생성된다. 실시간의 작업 상태 변경 이벤트들이 통신 경로(150)을 통해 디렉터(130)에 전달된다. 작업 상태 변경 이벤트들은 클라이언트(120)가 실시간 처리 개선을 구현할 수 있는 능력을 제공한다. 대안적인 실시예에서, 통신 경로(150)는 작업 관리 제어(Control Job Management)를 위해 SEMI E94 표준을 지원한다.
도 2는 다른 장비와 함께 공장에서 이용될 수 있는 본 발명의 일 실시예를 나타낸다. 씬 스테이션 제어기 클라이언트(236)는 디렉터(238), 제조 실행 시스템(Manufacturing Execution System, MES) 핸들러(230), 장비 핸들러(232) 및 레시피 핸들러(234)를 통합하여, 어떤 데이터 소비자와도 관계없이 자동화된 작업 관리 솔루션을 구현한다. 클라이언트(236)는 통신 경로들(215 및 225)을 통해 MES(210) 및 레시피 관리 시스템(Recipe Management System, RMS)(220)과 각각 통신한다.
클라이언트(236)와 디렉터(238) 간의 인터페이스는 이용하기 쉬운, 작업들을 생성 및 관리하기 위한 애플리케이션 프로그래밍 인터페이스(API)이며, 시스템 이용의 학습 곡선(learning curve) 및 복잡성을 줄이기 위해 XML 등의 산업 표준 기술을 이용하는 것에 기초한다. 이에 의해, 독점적인 고객 랭귀지 또는 툴 키트가 아닌, 개방된 아키텍쳐 랭귀지에 입각한 컴포넌트들에 기초하는 클라이언트(236) 시스템이 개발될 수 있게 된다. 이러한 API는 레시피 다운로드(download recipe), 원격 커맨드(remote command), 이벤트 대기(wait for event)와 같은 포괄적인 작업 단계들의 라이브러리를 포함한다. 이러한 작업 단계들은 특히 모든 반도체 제조 설비들에서 발견되는 표준 비즈니스 룰들을 수행하는 바, 이에 의해 사용자들은 기본적인 공정 관리를 신속하게 구성할 수 있고, MES(210)와 인터페이스할 때에 요구되는 시간을 최소화한다. 바람직하게는, 디렉터(238) API는 또한 작업 케스케이딩(job cascading)을 제공하는데, 이것은 공정 자원들이 이용가능해지기 전에, 작업들이 시퀀싱(sequencing)되는 특징이다. 이에 의해, 자원들이 이용가능해질 때, 작업들이 자동으로 시작될 수 있게 됨으로써, 중요한 공정 툴들에 대한 쓰루풋을 개선한다.
대안적인 실시예에서, API에 의해 공개되는 작업 관리 기능은 SEMI E40 및 E94와 같은 산업 표준에 기초한다. 작업 레시피들의 생성은 작업 생성을 촉진시키기 위해 GUI 기반의 유틸리티를 제공함으로써 더욱 강화될 수 있다. 이러한 유틸리티는 XML 기반의 작업 사양을 자동으로 생성하기 위해 툴 키트를 제공함으로써, 복잡성 및 요구되는 통합 시간을 감소시킨다.
클라이언트(236)는 통신 경로(242)를 통해 장비 서버(240)와 통신한다. 바람직한 실시예에서, 통신 경로(242)는 마이크로소프트 .NET 통신 프레임워크를 이용한다. 통신 경로(242)를 위한 표준화된 인터페이스의 이용은, 독점적인 고객 랭귀지 또는 툴 키트가 아닌, 임의의 .NET 랭귀지로 스테이션 제어기에 대한 고객 컴포 넌트들의 개발을 가능하게 한다.
장비 서버(240)는 통신 경로(265)를 통해 장비(260)와 통신한다. 바람직한 실시예에서, 장비 서버(240)는 어사이스트 테코놀로지스 인코포레이티드의 Asyst/EIB 제품과 같은 장비 인터페이스 브리지이다. 통신 경로(265)는 임의의 툴 서버간 통신 프로토콜(tool to server communication protocol)를 지원할 수 있으며, 바람직한 실시예에서는, 확립되어 있는 SEMI 표준들 E4/5 (SECS), E30 (GEM) 및 E37(HSMS) 뿐 아니라, 인터페이스 A, 새로운 SEMI 표준 E120(공통의 장비 모델, Common Equipment Model), E125(장비 자체 설명, Equipment Self Description)를 따른다.
부가적으로, 개발자들은 또한 장비 서버(240)에 대한 주문형 인터페이스(custom interface)를 생성함으로써 사용되지 않는 장비 타입(unusual equipment type)(예를 들어, ASCⅡ 기반의 ftp 프로토콜을 통해 통신하는 타입)에 연결할 수 있다.
클라이언트(236)는 작업 관리 및 제어에 전용됨으로써, 데이터 소비자들(270, 276, 282 및 288)이 장비 서버(240)와 직접 통신할 수 있게 되어, 이러한 애플리케이션들에 대해 클라이언트(236)를 효과적으로 우회시킨다. 이는 작업 관리 클라이언트에 대한 데이터 소비자의 의존성을 제거한다. 데이터 소비자(270)는 통계적 공정 제어(SPC) 클라이언트로서, 이는 데이터(272)를 이용하고, 통신 경로(244)를 통해 장비 서버(240)와 통신하며, 상기 통신 경로는 바람직한 실시예에서 .NET 프레임워크를 이용한다. 데이터 소비자(276)는 장비 엔지니어링 성능(Equipment Engineering Capability, EEC) 클라이언트로서, 이는 데이터(278)를 이용하고, 통신 경로(246)를 통해 장비 서버(240)와 통신하며, 상기 통신 경로는 바람직한 실시예에서 HTTP/SOAP 표준을 이용한다. 데이터 소비자(282)는 고급 공정 제어(APC) 클라이언트로서, 데이터(284)를 이용하고, 통신 경로(248)를 통해 장비 서버(240)와 통신하며, 상기 통신 경로는 바람직한 실시예에서 HTTP/SOAP 표준을 이용한다. 데이터 소비자(288)는 주문형 또는 독점의 데이터 소비자로서, 이는 데이터(290)를 이용하고, 통신 경로(250)를 통해 장비 서버(240)와 통신하며, 상기 통신 경로는 바람직한 실시예에서 .NET 프레임워크를 이용한다.
장비(260)는 장비 서버(240)를 이용함으로써 클라이언트(236)으로부터 분리되기 때문에, 이용가능한 데이터는 SECS/GEM 인터페이스에서 현재 이용가능한 것 보다 더 확장될 수 있다. 장비 서버(240)는 클라이언트(236)를 장비(260)와 직접 통신하지 못하도록 격리시키는 툴 모델을 이용한다. 이러한 툴 모델은 눈에 보이는 인터페이스를 제공하며, 이에 의해 클라이언트 애플리케이션들은 장비의 성능을 질문할 수 있다. 툴 모델의 개념은 또한 다수의 장비를 하나의 논리 유닛 내에 결합시키는 것을 가능하게 하는 바, 이것은 내부적으로 그룹화되고 관리되어, 클라이언트 애플리케이션에게 하나의 장비로서 제시된다.
주목할 사항으로서, 스테이션 제어기의 기능은 단지 "기성화(canned)"되어 다른 공장들에서 복제될 수 없다. 각 공장은 상당한 수의 고유한 비즈니스 룰들을 갖는다. 더욱 많은 커스텀 룰과 함께 부가되는 통계적 스테이션 제어기를 갖는 다기 보다는, 본 발명의 아키텍쳐는 분산 환경에서 씬 클라이언트 애플리케이션으로 서 구현될 수 있는 스테이션 제어기들에 의해 요구되는 기본적인 필수 기능의 툴 키트를 제공한다.
장비 서버의 다중 클라이언트 접속은 씬 스테이션 제어기 클라이언트의 핵심이 그것의 특징(specialty), 즉 공장에서의 물질 처리를 제어하는 작업 관리에 중점을 둘 수 있게 한다. 작업 처리를 데이터 획득으로부터 분리함으로써, 데이터 수집 클라이언트 애플리케이션들은 이제 레거시 스테이션 제어기에 요구되는 것이 아닌, 그 자신의 특정한 요구에 집중할 수 있게 된다. 이러한 시도의 부가적인 장점은, 이러한 환경에서 솔루션 및 지원을 제공하는 사람들이 더 이상 이전의 스테이션 제어기가 지원했던 모든 분야에서의 전문가일 필요가 없다는 것이다.
비록 전형적인 스테이션 제어기의 구현이 반도체 제조 설비들에 대해 집중적으로 다루어졌지만, 본 발명은 어셈블리 및 테스트(종종 백 엔드(back-end)라고도 칭해짐) 구현들에 대해서도 동등하게 적합하다.
본 발명은 몇 개의 실시예들과 관련하여 설명되었다. 이는 단지 예시적인 목적으로 제시된 것으로서, 본 발명에 대한 변형들이 당업자에게 명백할 것이며, 이러한 변형들은 본 발명의 범위 내에 있다.

Claims (12)

  1. 자동화된 작업 관리를 위한 씬 스테이션 제어기 클라이언트로서,
    컴퓨터 상에서 실행되며, 작업 관리 기능들을 지원하는 애플리케이션 프로그래밍 인터페이스(API) 및 장비 통신 기능들을 지원하는 장비 서버에 대한 인터페이스를 포함하는 소프트웨어 라이브러리를 구비하고,
    여기서, 상기 씬 스테이션 제어기 클라이언트는 작업 케스케이딩(job cascading)을 수행하고, 상기 장비 서버와 통신하고, 상기 장비 서버는 1개 이상의 툴들과 통신하고, .NET 프레임워크를 이용하는 개별적인 통신 경로들을 통해 통계적 공정 제어(SPC: Statistical Process Control) 클라이언트 및 주문형 데이터 소비자(custom data consumer)와 통신하고, HTTP/SOAP 프로토콜들을 이용하는 개별적인 통신 경로들을 통해 장비 엔지니어링 성능(EEC: Engineering Equipment Capability) 클라이언트 및 고급 공정 제어(APC: Advanced Process Control) 클라이언트와 통신하는 것을 특징으로 하는 씬 스테이션 제어기 클라이언트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 작업 관리 기능들은 SEMI E40 표준 및 SEMI E94 표준에 대한 지원을 포함하는 것을 특징으로 하는 씬 스테이션 제어기 클라이언트.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 씬 스테이션 제어기 클라이언트는 .NET 통신 프레임워크를 이용하여 상기 장비 서버와 통신하는 것을 특징으로 하는 씬 스테이션 제어기 클라이언트.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 씬 스테이션 제어기 클라이언트는 제조 실행 시스템(MES) 핸들러를 포 함하는 것을 특징으로 하는 씬 스테이션 제어기 클라이언트.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 씬 스테이션 제어기 클라이언트는 제조 실행 시스템(MES)과 통신하는 것을 특징으로 하는 씬 스테이션 제어기 클라이언트.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 씬 스테이션 제어기 클라이언트는 레시피 관리 시스템(RMS) 핸들러를 포함하는 것을 특징으로 하는 씬 스테이션 제어기 클라이언트.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 씬 스테이션 제어기 클라이언트는 레시피 관리 시스템(RMS)과 통신하는 것을 특징으로 하는 씬 스테이션 제어기 클라이언트.
  8. 씬 스테이션 제어기 클라이언트를 이용하는 자동화된 작업 관리 방법으로서,
    상기 씬 스테이션 제어기 클라이언트가,
    작업 구성 정보를 수신하는 단계와;
    작업 케스케이딩을 수행하는 단계와;
    상기 작업 구성 정보에 기초하는 작업 지시를 상기 씬 스테이션 제어기 클라이언트로부터 장비 서버에 전달하는 단계와, 여기서, 상기 장비 서버는 1개 이상의 툴들과 통신하고, .NET 프레임워크를 이용하는 개별적인 통신 경로들을 통해 통계적 공정 제어(SPC: Statistical Process Control) 클라이언트 및 주문형 데이터 소비자와 통신하고, HTTP/SOAP 프로토콜들을 이용하는 개별적인 통신 경로들을 통해 장비 엔지니어링 성능(EEC: Engineering Equipment Capability) 클라이언트 및 고급 공정 제어(APC: Advanced Process Control) 클라이언트와 통신하며; 그리고
    상기 작업 지시에 기초하여 적어도 하나의 인스턴스화된 작업과 관련된 작업 상태 정보를 상기 장비 서버로부터 수신하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동화된 작업 관리 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 작업 구성 정보는 XML 포맷화된 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동화된 작업 관리 방법.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 장비 서버는 작업 팩토리를 더 포함하고, 상기 작업 팩토리는 상기 씬 스테이션 제어기 클라이언트로부터 상기 작업 지시를 수신하는 것을 특징으로 하는 자동화된 작업 관리 방법.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 작업 지시 및 상기 작업 상태는 SEMI E40 표준 및 SEMI E94 표준에 대한 지원을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동화된 작업 관리 방법.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 씬 스테이션 제어기 클라이언트 및 상기 장비 서버는 .NET 통신 프레임워크를 이용하여 통신하는 것을 특징으로 하는 자동화된 작업 관리 방법.
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