KR101301581B1 - Relief damper apparatus for a mini clean environment - Google Patents

Relief damper apparatus for a mini clean environment Download PDF

Info

Publication number
KR101301581B1
KR101301581B1 KR1020110071955A KR20110071955A KR101301581B1 KR 101301581 B1 KR101301581 B1 KR 101301581B1 KR 1020110071955 A KR1020110071955 A KR 1020110071955A KR 20110071955 A KR20110071955 A KR 20110071955A KR 101301581 B1 KR101301581 B1 KR 101301581B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
worm wheel
exhaust port
rotation center
pressure difference
local clean
Prior art date
Application number
KR1020110071955A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20130011071A (en
Inventor
유일호
Original Assignee
유일호
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 유일호 filed Critical 유일호
Priority to KR1020110071955A priority Critical patent/KR101301581B1/en
Publication of KR20130011071A publication Critical patent/KR20130011071A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101301581B1 publication Critical patent/KR101301581B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/08—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates
    • F24F13/10—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates movable, e.g. dampers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Air-Flow Control Members (AREA)

Abstract

본 발명은 클린룸과 같은 국소청정 구역의 압력 차이를 조절하기 위하여, 벽체에 테두리가 고정되고 내측에는 복수의 공간에 연통하는 배기구가 형성되는 격자형의 프레임; 상기 프레임의 배기구를 가로질러서 회전 중심축이 각각 회전가능하도록 연결되고, 상기 각각의 회전 중심축을 기준으로 회전하여 상기 복수 공간의 압력 차이에 의해서 배기구를 개폐시키는 다수의 날개 부재들을 구비한 개폐부; 및 상기 날개 부재의 각각의 회전 중심축에 장착된 다수의 웜휠 기어와, 상기 다수의 웜휠 기어에 치차 결합하는 웜 기어를 구비하고, 상기 각각의 웜휠 기어와 회전 중심축 사이에 각각 장착된 비틀림 스프링을 구비하여 상기 비틀림 스프링의 탄성 복원력을 이용하여 상기 복수의 국소청정 구역의 압력 차이에 반응하는 상기 날개 부재의 회전 강도를 조절하는 장력 조절부;를 포함하여 상기 배기구를 통과하는 통풍량을 조절하고, 상기 복수 공간의 압력 차이를 조절하도록 구성된 국소청정 구역용 댐퍼장치를 제공한다. 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치에 의하면, 풍량 및 압력조절이 쉬우면서 작업자가 임의로 개방 및 닫침 상태로의 조절이 쉬워서 사용하기 편리하고, 복수의 국소청정 구역 간의 미세 압력차이 조절에 적합한 우수한 효과를 얻을 수 있게 된다.The present invention is a grid-like frame that is fixed to the wall to the pressure difference of the local clean zone, such as a clean room, the exhaust port is formed in communication with a plurality of spaces inside; An opening and closing unit having a plurality of wing members connected to each of the rotational center axes rotatably across the exhaust port of the frame and rotating around the respective rotational center axes to open and close the exhaust port by the pressure difference of the plurality of spaces; And a plurality of worm wheel gears mounted on respective rotation center shafts of the wing member, and a worm gear geared to the plurality of worm wheel gears, the torsion springs respectively mounted between the respective worm wheel gears and the rotation center shafts. And a tension adjusting unit configured to adjust the rotational strength of the wing member in response to the pressure difference between the plurality of local clean zones by using the elastic restoring force of the torsion spring. It provides a damper device for a local clean zone configured to adjust the pressure difference of the plurality of spaces. According to the damper apparatus for a local clean zone according to the present invention, the air volume and pressure can be easily controlled, and the operator can easily adjust to an open and closed state. You will get the effect.

Description

국소청정 구역용 댐퍼장치{RELIEF DAMPER APPARATUS FOR A MINI CLEAN ENVIRONMENT}Damper device for local clean area {RELIEF DAMPER APPARATUS FOR A MINI CLEAN ENVIRONMENT}

본 발명은 클린룸과 같은 국소청정 구역의 압력 차이를 조절하기 위한 댐퍼장치에 관한 것으로, 보다 상세히는 클린룸을 구성하는 아크릴 벽체 또는 프로파일 부재에 쉽게 설치가능하고, 설치 위치에 제한을 받지 않으며, 클린룸의 아래쪽에 설치될 수 있어서 하부 이물질의 외부 배출 및 수직층류의 구현에 유리하며, 웜 기어와 웜휠 기어를 이용하여 스프링 장력을 조절함으로써 풍량 및 압력조절이 쉬우면서 작업자가 임의로 개폐조절이 가능한 국소청정 구역용 댐퍼장치에 관한 것이다.The present invention relates to a damper device for adjusting the pressure difference of a local clean zone, such as a clean room, and more particularly, can be easily installed on the acrylic wall or profile member constituting the clean room, and is not limited in the installation position, Since it can be installed under the clean room, it is advantageous for external discharge of lower foreign substances and the implementation of vertical laminar flow, and by adjusting the spring tension by using the worm gear and the worm wheel gear, the air volume and pressure can be easily controlled and the operator can open and close arbitrarily. A damper device for a local clean area.

일반적으로 클린룸(Cleanroom)은 어떠한 구획의 내부에 먼지나 이물질이 전혀 없는 방을 의미하기 때문에 청정실(淸淨室)이라고도 하며, 이러한 클린룸은 초고정밀 직접회로나 유전자 조작 및 청정한 상태에서 약품이나 화학약품을 취급하는 곳에서와 같이 오염에 의하여 품질에 상당한 영향을 미치는 경우에 설치한다.In general, a clean room is called a clean room because it means a room where there is no dust or foreign matter inside a compartment. Such a clean room is a medicine or a cleaner in a high precision integrated circuit or a genetically modified and clean state. Install when contamination has a significant impact on quality, such as where chemicals are handled.

이와 같은 클린룸은 깨끗한 상태로 들어가게끔 작업자의 피복이나 신체 또는 외부에서 함께 유입되는 먼지를 제거하기 위해서 많은 클리닝 장치를 설치하고 있으며, 클린룸의 내부에도 지속적으로 먼지가 제거된 깨끗한 공기를 공급하고, 실내의 먼지를 함유한 공기를 신속하게 외부로 배출하기 위한 기류제어 시스템을 구비하고 있다.In such a clean room, many cleaning devices are installed to remove dust from the worker's cover, body, or outside to enter the clean state. The clean room continuously supplies clean air to remove dust. In addition, it is equipped with an airflow control system for quickly discharging air containing dust in the room to the outside.

이와 같은 클린룸은 관리상의 4원칙이 있는데, 예를 들면, 클린룸내에서는 이물질이 발생하지 않도록 하고, 발생된 이물질은 외부로 신속하게 배출시키며, 외부로부터 이물질의 내부 침입을 방지하고, 이물질이 적체되는 것을 방지하여야 하는 것과 같은 관리 수칙이 있다.Such clean room has four principles of management, for example, to prevent foreign matters from occurring in the clean room, to discharge the foreign matters quickly to the outside, to prevent the intrusion of foreign matters from the outside, and to accumulate foreign matters. There are some management rules that should be avoided.

또한 이와 같은 클린룸은 아크릴 벽체 및 프로파일 부재 등으로 청정공간을 구획하여 작업공간으로 활용하며, 그 실내를 각 공정에 맞는 양압으로 유지시킴으로써 외부로부터 유입되는 이물질을 원천적으로 차단하게 된다.In addition, such a clean room divides the clean space into acrylic walls and profile members, and utilizes it as a work space. By maintaining the interior at a positive pressure for each process, foreign substances from the outside are fundamentally blocked.

그리고 이와 같은 클린룸은 내부의 이물질 제거 및 온도, 습도 유지를 위해 깨끗한 공기를 계속 순환시키도록 되어 있으나, 현재 공조장비로는 미세단위의 압력차를 조절하기 어려우므로 아크릴 벽체 및 프로파일 부재 등으로 구획된 청정공간의 사이에 압력 조절용 댐퍼 장치를 설치하여 작업 공간별로 서로 다른 미세 압력차이를 적절하게 유지시키도록 되어 있다.And such a clean room is designed to continuously circulate clean air to remove foreign matters inside and maintain temperature and humidity. However, air conditioning equipment is difficult to control the pressure difference in micro units, so it is divided into acrylic walls and profile members. The pressure control damper device is installed between the clean spaces so as to properly maintain different fine pressure differences for each work space.

이와 같은 종래의 기술로는 예를 들면, 등록특허 제10-0794374호의 "클린룽용 배기구 조립체"가 제시되어 있다. As such a conventional technique, for example, the "clean exhaust vent assembly" of Patent No. 10-0794374 is presented.

이와 같은 종래의 기술은 클린룸의 벽체에 설치되는 프레임의 내부에 공기를 외부로 배출시키기 위한 배기구를 가지며, 상기 프레임에 설치되는 판부재를 구비한다. 또한 상기 배기구를 통과하는 공기량을 조절할 수 있도록, 상기 배기구를 폐쇄하는 제1위치와 개방하는 제2위치 사이에서 슬라이딩 가능하게 상기 프레임에 설치되는 셔터 부재를 포함하는 구조이다.This conventional technique has an exhaust port for discharging air to the outside in the frame installed on the wall of the clean room, and has a plate member installed in the frame. In addition, the shutter member is provided in the frame so as to be slidable between the first position of closing the exhaust port and the second position of the opening so as to adjust the amount of air passing through the exhaust port.

그러나 이와 같은 종래의 기술은 벽체로 구획된 작업 공간 사이의 압력차 변화에 반응하는 구조가 아니어서, 각 구획 공간의 적정한 양압을 정확하게 유지시키기 어렵다.However, such a conventional technique is not a structure that responds to changes in pressure difference between work spaces partitioned by walls, and thus it is difficult to accurately maintain a proper positive pressure in each space.

그리고 이와는 다른 종래 기술로는 등록특허 제10-0741037호의 "압력조절용 댐퍼 조립체"가 제안되어 있다. 이와 같은 종래 기술은 클린룸 내부의 공기를 그 클린룸 외부로 배출시키기 위하여 그 클린룸의 벽체에 마련되는 배기구에 설치되며, 상기 벽체의 내면으로부터 외면을 향하는 방향으로 갈수록 높아지도록 경사진 통로가 내부에 형성되어 있는 관부재를 구비한다.And another conventional technique has been proposed a "pressure control damper assembly" of Patent No. 10-0741037. This conventional technology is installed in the exhaust port provided in the wall of the clean room to discharge the air inside the clean room to the outside of the clean room, the passage is inclined so as to increase in the direction from the inner surface of the wall toward the outer surface It is provided with a tubular member formed in.

또한 자중에 의해 상기 관부재의 통로를 따라 하향이동하여 상기 배기구를 통해 배출되는 공기의 흐름을 차단하는 제1위치와, 상기 클린룸 내의 공기 압력에 의해 상기 관부재의 통로를 따라 상향이동하여 상기 배기구를 통해 배출되는 공기의 흐름을 개방하는 제2위치 사이에서 이동 가능하게 상기 관부재의 통로 내에 배치되는 이동체를 포함하는 구조이다.In addition, the first position to move downward along the passage of the pipe member by its own weight to block the flow of air discharged through the exhaust port, and the upward movement along the passage of the pipe member by the air pressure in the clean room And a movable body disposed in the passage of the tubular member so as to be movable between the second positions for opening the flow of air discharged through the exhaust port.

그러나 이와 같은 종래의 기술은 배기구와는 별개로 관부재와 이동체를 설치하는 구조이어서 제작상 구조가 복잡하여 실용적이지 못하다.However, such a conventional technique is a structure that installs a pipe member and a moving body separately from the exhaust port, which is not practical because of its complicated structure.

또한 이와는 다른 또 다른 기술로는 등록특허 제10-0832912호의 "클린룸 공기 압력조절용 댐퍼"가 제안되어 있다.In addition, another alternative technology is proposed a "clean room air pressure control damper" of Patent No. 10-0832912.

이와 같은 종래 기술은 클린룸의 벽체에 공기통로를 구비한 프레임을 고정하고, 상기 프레임의 내주면과 접촉하도록 끼워져서 그 프레임에 상대 고정되는 중공의 고정부재 및 상기 고정부재에 대해 슬라이딩 가능하게 설치되는 원판형의 블레이드를 포함하는 구조이다. 또한 이와 같은 원판형 블레이드는 가이드 축을 구비하고, 상기 가이드 축을 길이방향으로 슬라이딩 가능하게 지지하는 베어링 부재를 구비하며, 상기 원판형 블레이드는 그 자중에 의해서 고정부재를 따라 하향 이동하여 공기의 흐름을 차단하는 제1위치와, 공기의 흐름을 개방하는 제2위치 사이에서 이동 가능하도록 배치된 구조이다. 그러나 이와 같은 종래의 구조도 제작상 그 구조가 복잡하며, 실용적이지 못하며, 구획 공간의 적정한 양압 차이를 미세하게 유지시키기 어려운 문제점을 갖는다.This conventional technology is fixed to the frame having an air passage on the wall of the clean room, and is installed to be slidably mounted to the fixing member and the hollow fixing member that is fitted to contact the inner peripheral surface of the frame relative to the frame It is a structure including a disk-shaped blade. In addition, such a disk-shaped blade has a guide shaft, and has a bearing member for supporting the guide shaft to be slidable in the longitudinal direction, the disk-shaped blade moves downward along the fixing member by its own weight to block the flow of air It is a structure arranged to be movable between a first position and a second position to open the flow of air. However, such a conventional structure also has a problem in that the structure is complicated, not practical, and it is difficult to maintain an appropriate positive pressure difference in the compartment space finely.

한편, 양산품으로 사용되는 종래의 클린룸용 댐퍼장치는 복수의 청정 공간을 구획하는 클린룸 벽체의 상부에 설치된 것으로서, 배기구의 중앙에 설치된 경사축과, 상기 경사축 상에서 슬라이딩 이동하여 배기구를 닫는 원판을 구비한 구조이다. On the other hand, the conventional damper device for clean room used as a mass production product is installed on the upper part of the clean room wall partitioning a plurality of clean spaces, and the inclined shaft provided in the center of the exhaust port, and the disc for slidingly moving on the inclined shaft to close the exhaust port. It is equipped structure.

따라서 이와 같은 종래의 댐퍼장치는 무게 "W"인 원판이 수평에 대해 "θ" 만큼 기울어진 경사축을 따라 움직일 때, 힘 Wsinθ는 경사축을 따라 아래로 작용하는 힘으로서, 이는 곧 원판의 복원력이 작용한다.Therefore, in the conventional damper device, when the disc of weight "W" moves along the inclined axis inclined by "θ" with respect to the horizontal force, the force Wsinθ acts downward along the inclined axis, which is the restoring force of the disc. do.

이와 같은 종래의 댐퍼장치에서 정상작동을 가정했을 때, 구역간 압력차에 의해 상기 원판을 미는 힘과, 복원력이 균형을 이루면 클린룸의 청정 공간은 적정 차압을 유지한다고 할 수 있다. 그러나 만약 기준 압력차보다 작아지면 빠져나오는 공기압이 떨어져 원판이 닫히는 쪽으로 움직이고, 기준 압력차보다 커지면 원판이 더 열리는 쪽으로 움직인다.Assuming normal operation in such a conventional damper device, if the force pushing the disc and the restoring force are balanced by the pressure difference between zones, it can be said that the clean space of the clean room maintains an appropriate differential pressure. However, if it is less than the reference pressure difference, the outgoing air pressure drops and moves toward the closing plate, and if it is larger than the reference pressure difference, the disc moves toward the open side.

한편, 공기압은 눈으로 볼 수 있는 값이 아니어서, 압력계와 같은 보조장비로써 그 크기를 확인하거나, 상기와 같이 원판이 움직이는 상태를 작업자가 관찰함으로써 그 작동상태를 확인하고, 구역간의 압력차를 확인할 수 있다.On the other hand, the air pressure is not a visible value, so check the size with an auxiliary device such as a pressure gauge, or check the operation state by the operator observing the state of the disk movement as described above, and check the pressure difference between the zones. You can check it.

그러나, 상기와 같은 종래의 기술은 양산품으로 원판의 크기 및 작동각도가 규격화되어 있어서, 각 장비에 맞게 그 크기 및 작동각도를 조합하기가 쉽지 않다. 또한 원판을 빠져나온 공기는 클린룸의 상부에서 사방으로 퍼지게 되어 클린룸에 가장 이상적인 수직층류 구현에는 도움이 되지 않는다.However, the prior art as described above is a mass production standard and the operating angle of the standard, so it is not easy to combine the size and operating angle for each equipment. In addition, the air exiting the disk spreads from the top of the clean room in all directions, which is not conducive to the ideal vertical laminar flow for the clean room.

또한 이와 같은 종래의 댐퍼장치는 클린룸 벽체의 사각 그릴에 일치하도록 제품의 외형부가 정사각형으로 이루어지고, 원판을 포함하는 작동부는 원형이기 때문에 설치작업 및 위치에 상대적으로 제한이 있을 수 있다.In addition, such a conventional damper device may be relatively limited in the installation operation and position because the outer portion of the product is made of a square to match the square grille of the clean room wall, the operation portion including the disc is circular.

뿐만 아니라, 이와 같은 종래 기술은 생산장비의 점검 또는 보수를 위해서 실내공간을 밀폐시킬 필요성이 있는데, 이때에는 작업자가 임의로 댐퍼장치를 밀폐할 수 있는 장치가 없고, 대부분 사람 키보다 높게 설치되어 있으며, 배기구를 닫은 채로 잠글 수 있는 장치가 없다. In addition, such a prior art needs to seal the indoor space for inspection or maintenance of the production equipment, in which case there is no device for the operator to seal the damper device arbitrarily, and is installed higher than the height of most people. There is no device to lock the vents closed.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소시키기 위한 것으로서, 클린룸을 구성하는 아크릴 벽체 또는 프로파일 부재에 쉽게 설치가능하고, 풍량 및 압력조절이 쉬우면서 작업자가 임의로 개방 및 닫침 상태로의 조절이 손쉬운 국소청정 구역용 댐퍼장치를 제공함에 있다. An object of the present invention is to solve the conventional problems as described above, can be easily installed on the acrylic wall or profile member constituting the clean room, the air volume and pressure is easy to adjust while the operator arbitrarily open and closed It is to provide a damper device for this easy local clean area.

또한 본 발명의 다른 목적은, 설치 위치에 제한을 받지 않으며, 클린룸의 아래쪽에 설치될 수 있어서 하부 이물질의 외부 배출 및 수직층류의 구현에 유리하고, 날개 부재의 회전강도 조절이 손쉬워서 미세 압력 조절에 적합한 국소청정 구역용 댐퍼장치를 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention is not limited to the installation position, can be installed in the lower portion of the clean room, which is advantageous for the external discharge of the lower foreign matter and the implementation of vertical laminar flow, easy to adjust the rotational strength of the wing member fine pressure The present invention provides a damper device for a local clean area suitable for adjustment.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 벽체로 구획된 복수의 국소청정 구역의 압력 차이를 조절하기 위한 댐퍼장치에 있어서,In order to achieve the above object, the present invention, in the damper device for adjusting the pressure difference of the plurality of local clean zone partitioned by the wall,

벽체에 테두리가 고정되고 내측에는 복수의 공간에 연통하는 배기구가 형성되는 격자형의 프레임; A lattice-shaped frame having an edge fixed to the wall and an exhaust port communicating with a plurality of spaces therein;

상기 프레임의 배기구를 가로질러서 회전 중심축이 각각 회전가능하도록 연결되고, 상기 각각의 회전 중심축을 기준으로 회전하여 상기 복수 공간의 압력 차이에 의해서 배기구를 개폐시키는 다수의 날개 부재들을 구비한 개폐부; 및An opening and closing unit having a plurality of wing members connected to each of the rotational center axes rotatably across the exhaust port of the frame and rotating around the respective rotational center axes to open and close the exhaust port by the pressure difference of the plurality of spaces; And

상기 날개 부재의 각각의 회전 중심축에 장착된 다수의 웜휠 기어와, 상기 다수의 웜휠 기어에 치차 결합하는 웜 기어를 구비하고, 상기 각각의 웜휠 기어와 회전 중심축 사이에 각각 장착된 비틀림 스프링을 구비하여 상기 비틀림 스프링의 탄성 복원력을 이용하여 상기 복수의 국소청정 구역의 압력 차이에 반응하는 상기 날개 부재의 회전 강도를 조절하는 장력 조절부;를 포함하여 상기 배기구를 통과하는 통풍량을 조절하고, 상기 복수 공간의 압력 차이를 조절하도록 구성된 국소청정 구역용 댐퍼장치를 제공한다.A plurality of worm wheel gears mounted on each rotation center axis of the wing member, and a worm gear geared to the plurality of worm wheel gears, and a torsion spring mounted between each of the worm wheel gears and the rotation center axis. And a tension adjusting unit configured to adjust the rotational strength of the wing member in response to the pressure difference between the plurality of local clean zones by using the elastic restoring force of the torsion spring. It provides a damper device for a local clean area configured to adjust the pressure difference of the plurality of spaces.

그리고 본 발명은 바람직하게는 상기 프레임은 배기구의 일측으로 상기 장력 조절부의 다수의 웜휠 기어와 웜 기어가 배치되는 공간부를 형성하고, 상기 배기구와 공간부는 프레임의 상,하부 부재를 연결하면서 프레임의 좌,우측 부재에 나란하게 형성되는 수직 부재에 의해서 구획되며, 상기 공간부는 칸막이를 통하여 공기의 유통이 차단됨으로써 상기 배기구를 통하여 복수의 국소청정 구역의 압력 차이가 조절되는 국소청정 구역용 댐퍼장치를 제공한다.And the present invention preferably the frame is formed on the one side of the exhaust port of the plurality of worm wheel gear and the worm gear is arranged in the space portion, the exhaust port and the space portion of the frame while connecting the upper and lower members of the frame It is partitioned by a vertical member formed side by side on the right side, the space portion provides a damper device for a local clean zone that the pressure difference of the plurality of local clean zone is controlled through the exhaust port by blocking the flow of air through the partition. do.

또한 본 발명은 바람직하게는 상기 개폐부는 양단의 베어링을 통하여 각각 회전가능하도록 프레임 내측에서 배기구를 횡방향으로 가로지르는 다수의 회전 중심축들이 상하 등간격으로 다수 나란하게 장착되며, 상기 각각의 회전 중심축에는 날개 부재들이 일측에 연결되어 자중(自重)에 의해서 배기구를 닫음 상태로 유지시키고, 상기 복수 공간의 압력 차이에 의해서 날개의 열림각도가 조절되어 압력의 균형을 맞추도록 구성된 국소청정 구역용 댐퍼장치를 제공한다.In addition, the present invention is preferably a plurality of rotation center axis transverse to the exhaust port in the transverse direction inside the frame so as to be rotatable through the bearings at both ends are mounted a plurality of side by side at equal intervals, respectively, the respective rotation center Wing members are connected to one side of the shaft to keep the exhaust port closed by its own weight, and the opening angle of the wing is adjusted by the pressure difference of the plural spaces so as to balance the pressure. Provide the device.

그리고 본 발명은 바람직하게는 상기 장력 조절부는 웜휠 기어가 각각의 회전 중심축의 일측 둘레에 회전가능하도록 각각 장착되고, 상기 웜휠 기어에 인접하여 상기 회전 중심축 둘레에 비틀림 스프링이 끼워지며, 상기 비틀림 스프링은 그 일측 단부가 상기 웜휠 기어의 일측면에 고정되고, 타측 단부는 상기 회전 중심축에 연결되어 상기 회전 중심축 둘레에서 웜휠 기어가 회전하면 비틀림 스프링은 상기 회전 중심축과의 사이에서 탄성 복원력을 축적하도록 구성된 국소청정 구역용 댐퍼장치를 제공한다.And the present invention preferably the tension adjusting unit is mounted so that each of the worm wheel gear is rotatable around one side of each rotation center axis, the torsion spring is fitted around the rotation center axis adjacent to the worm wheel gear, the torsion spring The one end is fixed to one side of the worm wheel gear, the other end is connected to the rotation center axis when the worm wheel gear rotates around the rotation center axis, the torsion spring is elastically resilient between the rotation center axis Provided is a damper device for a local clean area configured to accumulate.

또한 본 발명은 바람직하게는 상기 웜 기어의 하단에는 회전 다이얼이 일체로 형성되며, 상기 웜휠 기어의 직경은 모두 동일한 크기로 형성되고, 상기 웜 기어의 직경도 길이 전체에 걸쳐서 동일하게 형성되어 웜휠 기어에 치차 결합함으로써, 상기 회전 다이얼의 회전으로 전체의 웜휠 기어를 동일하게 회전시키고, 각각의 웜휠 기어에 연결된 각각의 비틀림 스프링의 탄성 복원력을 각각의 회전 중심축 사이에서 동일하게 조절하여 다수의 날개 부재들이 동일하게 동작하도록 구성된 국소청정 구역용 댐퍼장치를 제공한다.In addition, the present invention preferably is a rotary dial integrally formed at the bottom of the worm gear, the diameter of the worm wheel gear is all formed in the same size, the diameter of the worm gear is also formed the same throughout the length of the worm wheel gear By gear-to-gear rotation, the entire worm wheel gear is rotated equally by the rotation of the rotary dial, and the elastic restoring force of each torsion spring connected to each worm wheel gear is equally adjusted between the respective rotation center axes, thereby providing a plurality of wing members. It provides a damper device for a local clean area configured to operate the same.

그리고 본 발명은 바람직하게는 상기 장력 조절부는 회전 다이얼을 일측으로 회전시키면, 웜 기어와 웜휠 기어를 통하여 비틀림 스프링에 개방 탄성 복원력을 축적하여 날개 부재가 배기구를 개방시키도록 회전 중심축을 통해서 작용력을 가하게 되고, 상기 회전 다이얼을 타측으로 회전시키면, 웜 기어와 웜휠 기어를 통하여 비틀림 스프링에 폐쇄 탄성 복원력을 축적하여 날개 부재가 배기구를 닫도록 회전 중심축을 통해서 작용력을 가하는 국소청정 구역용 댐퍼장치를 제공한다.And the present invention preferably, when the tension adjustment unit rotates the rotary dial to one side, through the worm gear and the worm wheel gear accumulates the open elastic restoring force to the torsion spring to apply the action force through the rotational central axis to open the exhaust port to the wing member When the rotary dial is rotated to the other side, the damping device for the local clean zone is provided to accumulate the closing elastic restoring force in the torsion spring through the worm gear and the worm wheel gear to apply an acting force through the rotational central axis to close the exhaust port. .

본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치에 의하면, 벽체에 장착되는 격자형의 프레임 내측에 배기구가 형성되고, 이를 가로질러서 다수의 회전 중심축들과 날개 부재들이 회전가능하도록 연결되며, 상기 날개 부재가 복수 공간의 압력 차이에 반응하여 개방됨으로써 배기구를 통과하는 통풍량을 조절하고, 상기 복수 공간의 압력 차이를 조절한다.According to the damper apparatus for a local clean zone according to the present invention, an exhaust port is formed inside a grid-shaped frame mounted on a wall, and a plurality of rotational central axes and wing members are rotatably connected across the wing member. Is opened in response to the pressure difference in the plurality of spaces to adjust the amount of air passing through the exhaust port, and adjust the pressure difference in the plurality of spaces.

이때, 장력 조절부에 구비된 회전 다이얼을 일측으로 회전시키면, 웜 기어와 웜휠 기어를 통하여 비틀림 스프링에 개방 탄성 복원력을 축적하여 날개 부재가 배기구를 개방시키도록 회전 중심축을 통해서 작용력을 가하게 되고, 상기 회전 다이얼을 타측으로 회전시키면, 웜 기어와 웜휠 기어를 통하여 비틀림 스프링에 폐쇄 탄성 복원력을 축적하여 날개 부재가 배기구를 닫도록 회전 중심축을 통해서 작용력을 가하게 된다.At this time, by rotating the rotary dial provided in the tension adjusting unit to one side, through the worm gear and the worm wheel gear accumulate the open elastic restoring force to the torsion spring to apply an acting force through the rotation center axis to open the exhaust port, the wing member, When the rotary dial is rotated to the other side, the closing elastic restoring force is accumulated in the torsion spring through the worm gear and the worm wheel gear to apply an acting force through the rotation center axis so that the wing member closes the exhaust port.

따라서 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치에 의하면, 클린룸을 구성하는 아크릴 벽체 또는 프로파일 부재에 격자형으로서 쉽게 설치가능하고, 풍량 및 압력조절이 쉬우면서 작업자가 임의로 개방 및 닫침 상태로의 조절이 쉬워서 사용하기 편리하다. Therefore, according to the damper device for the local clean area according to the present invention, it can be easily installed as a lattice on the acrylic wall or profile member constituting the clean room, and the operator can arbitrarily control the open and closed states while controlling the air volume and pressure. This is easy and convenient to use.

또한 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치에 의하면, 설치하기 간편한 격자형의 구조를 갖춤으로써 설치 위치에 제한을 받지 않으며, 클린룸의 아래쪽에 설치될 수 있어서 하부 이물질의 외부 배출 및 수직층류의 구현에 유리하고, 장력 조절부에 구비된 회전 다이얼을 통하여 날개 부재의 회전 강도 조절이 쉬워서 벽체로 구획된 복수의 국소청정 구역 간의 미세 압력차이 조절에 적합한 우수한 효과를 얻을 수 있게 된다.In addition, according to the damper device for the local clean area according to the present invention, by having a lattice structure that is easy to install, it is not limited to the installation position, it can be installed in the lower part of the clean room, so that the external discharge of foreign substances and vertical laminar flow Advantageous to the implementation, it is easy to control the rotational strength of the wing member through the rotary dial provided in the tension adjusting portion to obtain an excellent effect suitable for controlling the fine pressure difference between the plurality of local clean zones partitioned by the wall.

도 1은 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치를 도시한 외관 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치를 도시한 분해 조립도이다.
도 3a는 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치에서 회전 중심축의 일단부 회전조립 구조와, 장력 조절부의 결합구조를 도시한 부분 절개 사시도이다.
도 3b는 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치에서 회전 중심축의 타단부 회전조립 구조를 도시한 부분 절개 사시도이다.
도 4a는 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치에서 회전 중심축의 일단부 회전조립 구조와, 장력 조절부의 결합구조를 도시한 분해 조립 사시도이다.
도 4b는 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치에서 회전 중심축의 타단부 회전조립 구조를 도시한 분해 조립 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치에서 날개 부재가 개방되는 상태를 도시한 작동 설명도이다.1 is an external perspective view showing a damper device for a local clean area according to the present invention.
Figure 2 is an exploded assembly view showing a damper device for a local clean area according to the present invention.
Figure 3a is a partial cutaway perspective view showing the rotation assembly structure of one end of the central axis of rotation in the damper device for a local clean area according to the present invention, and the coupling structure of the tension control unit.
Figure 3b is a partially cut perspective view showing the other end rotation assembly structure of the central axis of rotation in the damper device for a local clean zone according to the present invention.
Figure 4a is an exploded assembly perspective view showing a rotation assembly structure of one end of the central axis of rotation in the damper device for a local clean area according to the present invention, and the coupling structure of the tension control unit.
Figure 4b is an exploded perspective view showing the other end rotation assembly structure of the central axis of rotation in the damper device for a local clean zone according to the present invention.
5 is an operation explanatory view showing a state in which the wing member is opened in the damper device for a local clean zone according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치(100)는 벽체(110)로 구획된 복수의 국소청정 구역(S1,S2)의 압력 차이를 조절하기 위한 것으로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 벽체(110)에 테두리가 고정되고 내측에는 복수의 국소청정 구역(S1,S2)에 연통하는 배기구(122)가 형성되는 격자형의 프레임(120)을 갖는다.The damper device 100 for the local clean zone according to the present invention is for controlling the pressure difference between the plurality of local clean zones S1 and S2 partitioned into the wall 110, as shown in FIG. 1. The frame 120 has a lattice fixed to the edge 110 and an inner side of the grid 120 having an exhaust port 122 communicating with the plurality of local clean zones S1 and S2.

이와 같은 프레임(120)은 배기구(122)의 일측으로 공간부(124)를 형성하는데, 이와 같은 공간부(124) 에는 이후에 설명되는 바와 같은 장력 조절부(170)의 다수의 웜휠 기어(172)와 웜 기어(174)가 배치된다. Such a frame 120 forms a space portion 124 on one side of the exhaust port 122, which has a plurality of worm wheel gears 172 of the tension adjusting unit 170 as described later. ) And a worm gear 174 are disposed.

이와 같은 프레임(120)은 상기 배기구(122)와 공간부(124)가 프레임(120)의 상,하부 부재(132a,132b)를 연결하면서 프레임(120)의 좌,우측 부재(134a,134b)에 나란하게 형성되는 수직 부재(136)에 의해서 구획되는데, 이와 같은 공간부(124)는 칸막이(138)를 통하여 복수의 국소청정 구역(S1,S2)간의 공기의 유통이 차단됨으로써 상기 배기구(122)를 통해서만 공기의 유통이 이루어지고, 복수의 국소청정 구역(S1,S2)의 압력 차이가 조절된다. The frame 120 has the left and right members 134a and 134b of the frame 120 while the exhaust hole 122 and the space part 124 connect the upper and lower members 132a and 132b of the frame 120. It is partitioned by a vertical member 136 formed side by side, such a space portion 124 through the partition 138 is blocked the flow of air between the plurality of local clean zones (S1, S2) the exhaust port 122 Only through the air distribution is made, the pressure difference between the plurality of local clean zones (S1, S2) is adjusted.

그리고, 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치(100)는 상기 프레임(120)의 배기구(122)에 개폐부(150)가 장착되는데, 이와 같은 개폐부(150)는 상기 배기구(122)를 가로질러서 다수의 회전 중심축(152)이 각각 회전가능하도록 연결되고, 각각의 회전 중심축(152)을 기준으로 날개 부재(154)들이 회전하여 상기 복수의 국소청정 구역(S1,S2) 간의 차압(差押)(△P)에 의해서 배기구(122)를 개폐시키게 된다.In addition, the damper device 100 for a local clean zone according to the present invention is equipped with an opening and closing portion 150 in the exhaust port 122 of the frame 120, such an opening and closing portion 150 across the exhaust port 122 A plurality of rotation center axes 152 are rotatably connected to each other, and the wing members 154 rotate about the respective rotation center axes 152 to provide a differential pressure between the plurality of local clean zones S1 and S2. (ΔP) opens and closes the exhaust port 122.

이와 같은 개폐부(150)는 도 2에 분해 조립도로 도시된 바와 같이, 프레임(120)의 내측에서 배기구(122)를 횡방향으로 가로지르도록 다수의 회전 중심축(152)들이 상하 등간격으로 다수 나란하게 배치되고, 그 각각의 회전 중심축(152)들은 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 그 양단에 각각 베어링(156)을 통하여 프레임(120)에 회전가능하게 장착된다.As shown in FIG. 2, the opening / closing part 150 has a plurality of rotational central axes 152 formed at equal intervals in the vertical direction so as to cross the exhaust port 122 in the transverse direction from the inside of the frame 120. Placed side by side, their respective rotational central axes 152 are rotatably mounted to the frame 120 via bearings 156 at both ends thereof, as shown in FIGS. 3A and 3B.

또한 상기 각각의 회전 중심축(152)에는 날개 부재(154)들이 일측에 연결되어 자중(自重)에 의해서 배기구(122)를 닫음 상태로 유지시키고, 상기 복수의 국소청정 구역(S1,S2)의 압력 차이에 의해서 열림 상태로 유지되어 배기구(122)를 통하여 압력 차이를 조절하도록 구성된다.In addition, the wing members 154 are connected to one side of each of the rotational central shafts 152 to keep the exhaust port 122 closed by its own weight, and the plurality of local clean zones S1 and S2 It is configured to remain open by the pressure difference to adjust the pressure difference through the exhaust port 122.

그리고 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치(100)는 복수의 국소청정 구역(S1,S2)의 압력 차이에 반응하는 상기 날개 부재(154)의 회전 강도를 조절하기 위한 장력 조절부(170)를 구비하는데, 이와 같은 장력 조절부(170)는 상기 날개 부재(154)의 각각의 회전 중심축(152)에 장착된 다수의 웜휠 기어(172)와, 상기 다수의 웜휠 기어(172)에 치차 결합하는 웜 기어(174)를 구비하고, 상기 각각의 웜휠 기어(172)와 회전 중심축(152) 사이에 각각 장착된 비틀림 스프링(180)을 구비한다.And the damper device 100 for the local clean zone according to the present invention is a tension control unit 170 for adjusting the rotational strength of the wing member 154 in response to the pressure difference of the plurality of local clean zones (S1, S2) The tension adjusting unit 170 includes a plurality of worm wheel gears 172 mounted on the rotational central shafts 152 of the wing member 154 and gears of the plurality of worm wheel gears 172. And a torsion spring 180 mounted between each of the worm wheel gears 172 and the rotation center axis 152.

이와 같은 장력 조절부(170)는 상기 웜휠 기어(172)가 도 3a 및 도 4a에 도시된 바와 같이, 각각의 회전 중심축(152)의 일측 둘레에 회전가능하도록 각각 장착되고, 상기 웜휠 기어(172)에 인접하여 상기 회전 중심축(152) 둘레에 비틀림 스프링(180)이 끼워진다.The tension adjusting unit 170 is mounted so that the worm wheel gear 172 is rotatable around one side of each rotation center axis 152, as shown in Figures 3a and 4a, the worm wheel gear ( A torsion spring 180 is fitted around the central axis of rotation 152 adjacent to 172.

또한 상기 비틀림 스프링(180)은 그 일측 단부(182a)가 상기 웜휠 기어(172)의 일측면에 고정되고, 타측 단부(182b)는 상기 회전 중심축(152)에 연결된 것으로서, 이와 같은 비틀림 스프링(180)은 상기 회전 중심축(152)의 둘레에서 웜휠 기어(172)가 회전하면 상기 회전 중심축(152)과의 사이에서 비틀리게 되어 탄성 복원력을 축적하도록 된 것이다.In addition, the torsion spring 180 is one end 182a is fixed to one side of the worm wheel gear 172, the other end 182b is connected to the rotation center axis 152, such a torsion spring ( When the worm wheel gear 172 rotates around the rotation center axis 152, it is twisted between the rotation center axis 152 and accumulates elastic restoring force.

한편, 이와 같은 장력 조절부(170)는 상기 웜휠 기어(172)에 치차 결합하는 웜 기어(174)가 상기 프레임(120) 내측에서 그 상단이 베어링(192)을 통해서 회전가능하도록 장착되고, 하방으로 연장되어 그 하단에는 회전 다이얼(190)이 일체로 형성되며, 상기 웜휠 기어(172)의 직경은 모두 동일한 크기로 형성되고, 상기 웜 기어(174)의 직경도 그 길이 전체에 걸쳐서 동일하게 형성되어 웜휠 기어(172)에 치차 결합한다.On the other hand, such a tension control unit 170 is mounted so that the worm gear 174 gear-coupled to the worm wheel gear 172 is rotatable through the bearing 192, the upper end of the inside of the frame 120, Rotation dial 190 is integrally formed at the lower end thereof, and the diameters of the worm wheel gears 172 are all formed in the same size, and the diameters of the worm gears 174 are also formed throughout the length. To the worm wheel gear (172).

따라서 이와 같은 장력 조절부(170)는 상기 회전 다이얼(190)의 회전으로 전체의 웜휠 기어(172)를 동일하게 회전시킬 수 있고, 이와 같은 웜휠 기어(172)의 회전은 각각의 회전 중심축(152) 사이에 연결된 각각의 비틀림 스프링(180)의 탄성 복원력을 각각의 회전 중심축(152) 사이에서 동일하게 조절하여 다수의 날개 부재(154)들이 동일하게 일시적으로 동작하도록 조작할 수 있다.Therefore, such a tension control unit 170 may rotate the worm wheel gear 172 as a whole by the rotation of the rotary dial 190, such rotation of the worm wheel gear 172 is the respective rotation center axis ( The elastic restoring force of each torsion spring 180 connected between 152 may be equally adjusted between each rotational central axis 152 so that the plurality of wing members 154 may be manipulated to operate the same temporarily.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치(100)는 도 5에 도시된 바와 같이, 벽체에 장착되는 격자형의 프레임(120) 내측에 배기구(122)가 형성되고, 이를 가로질러서 다수의 회전 중심축(152)들과 날개 부재(154)들이 회전가능하도록 연결되며, 상기 날개 부재(154)들은 그 자중(自重)에 의해서 배기구(122)는 닫침 상태로 유지한다.As illustrated in FIG. 5, the damper device 100 for the local clean zone according to the present invention configured as described above has an exhaust port 122 formed inside the grid-shaped frame 120 mounted on the wall, and across it. A plurality of rotational central shafts 152 and the wing member 154 is rotatably connected, the wing member 154 by its own weight (exhaust) to maintain the exhaust hole 122 in a closed state.

이때 상기 날개 부재(154)가 복수의 국소청정 구역(S1,S2)의 압력 차이에 반응하여 개방되어 상기 복수의 국소청정 구역(S1,S2)의 압력 차이를 조절하게 되는데, 일측 공간(S1)의 압력(P1)이 배기구(122) 반대측의 타측 공간(S2)의 압력(P2) 보다 높아서 차압(差押)(△P)을 형성하면, 날개 부재(154)가 열려서 공기가 흐르게 되며, 이를 통하여 복수의 국소청정 구역(S1,S2)의 압력 차이를 조절한다.At this time, the wing member 154 is opened in response to the pressure difference of the plurality of local clean zones (S1, S2) to adjust the pressure difference of the plurality of local clean zones (S1, S2), one side space (S1) When the pressure P1 is higher than the pressure P2 of the other space S2 on the opposite side of the exhaust port 122 to form a differential pressure ΔP, the wing member 154 is opened to allow air to flow. The pressure difference between the plurality of local clean zones S1 and S2 is adjusted.

한편, 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치(100)는 이와 같은 동작 과정에서 사용자가 날개 부재(154)의 회전 강도, 즉 날개 부재(154)가 열리는 차압(△P)의 세기를 조절할 수 있게 되는데, 이때에는 장력 조절부(170)에 구비된 회전 다이얼(190)을 일측으로 회전시키면, 웜 기어(174)와 웜휠 기어(172)를 통하여 비틀림 스프링(180)에 개방 탄성 복원력을 축적하여 날개 부재(154)가 배기구(122)를 개방시키도록 회전 중심축(152)을 통해서 작용력을 가할 수 있게 된다.On the other hand, the damper device 100 for a local clean zone according to the present invention, the user can adjust the rotational strength of the wing member 154, that is, the strength of the differential pressure (△ P) that the wing member 154 is opened during this operation process. In this case, when the rotary dial 190 provided in the tension adjusting unit 170 is rotated to one side, the open elastic restoring force is accumulated in the torsion spring 180 through the worm gear 174 and the worm wheel gear 172. The wing member 154 can exert an action force through the rotational central axis 152 to open the exhaust port 122.

이와 같은 경우에는 비틀림 스프링(180)의 개방 탄성 복원력이 날개 부재(154)의 자중에 의한 개방 저항력을 상쇄시켜서 아주 미세한 차압(△P)에 의해서도 날개 부재(154)가 도 5에서 점선으로 도시된 바와 같이 쉽게 열리도록 하여준다.In such a case, the open elastic restoring force of the torsion spring 180 cancels the opening resistance force due to the self-weight of the wing member 154, so that the wing member 154 is shown by the dotted line in FIG. Make it easy to open as shown.

그러나 이와는 반대로 사용자가 상기 회전 다이얼(190)을 반대방향, 즉 타측으로 회전시키면, 웜 기어(174)와 웜휠 기어(172)를 통하여 비틀림 스프링(180)에 폐쇄 탄성 복원력을 축적하여 날개 부재(154)가 배기구(122)를 닫도록 회전 중심축(152)을 통해서 작용력을 가하게 된다.On the contrary, if the user rotates the rotary dial 190 in the opposite direction, that is, the other side, the wing member 154 is accumulated by the closing elastic restoring force on the torsion spring 180 through the worm gear 174 and the worm wheel gear 172. ) Exerts an action force through the rotation center axis 152 to close the exhaust port 122.

이와 같은 경우에는 비틀림 스프링(180)의 폐쇄 탄성 복원력이 날개 부재(154)의 자중에 의한 개방 저항력에 더하여 추가적인 개방 저항력을 부가시키게 됨으로써 아주 큰 차압(△P)이 아니고서는 날개 부재(154)가 쉽게 열리지 못하도록 하고, 결과적으로는 배기구(122)를 완전 폐쇄상태로 유지시킬 수도 있도록 하여준다.In this case, the closing elastic restoring force of the torsion spring 180 adds an additional opening resistance force in addition to the opening resistance force of the wing member 154 by its own weight, so that the wing member 154 is not a very large differential pressure ΔP. It may not be easy to open, and consequently, it may be possible to keep the exhaust opening 122 completely closed.

이와 같이 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치(100)에 의하면, 사용자가 쉽게 복수의 국소청정 구역(S1,S2) 사이의 풍량 및 압력조절이 쉬우면서 작업자가 임의로 개방 및 닫침 상태로의 조절이 쉬워서 사용하기 편리하다. Thus, according to the damper device 100 for the local clean zone according to the present invention, the user can easily control the air volume and pressure between the plurality of local clean zones (S1, S2) while the operator arbitrarily open and closed This is easy and convenient to use.

이와 같이 본 발명에 따른 국소청정 구역용 댐퍼장치(100)에 의하면, 벽체(110) 등에 설치하기 간편한 격자형의 구조를 갖춤으로써 설치 위치에 제한을 받지 않으며, 클린룸의 아래쪽에 설치될 수 있어서 하부 이물질의 외부 배출 및 수직층류의 구현에 유리하고, 장력 조절부(170)에 구비된 회전 다이얼(190)을 통하여 날개 부재(154)의 회전 강도 조절이 쉬워서 벽체(110)로 구획된 복수의 국소청정 구역(S1,S2) 간의 미세 압력차이 조절에 적합한 우수한 효과를 얻을 수 있게 된다.Thus, according to the damper device 100 for a local clean area according to the present invention, by having a lattice structure that is easy to install on the wall 110, etc., is not limited to the installation position, can be installed in the lower of the clean room It is advantageous to the external discharge of the lower foreign matter and the implementation of the vertical laminar flow, it is easy to adjust the rotational strength of the wing member 154 through the rotary dial 190 provided in the tension adjusting unit 170, a plurality of partitioned into the wall 110 It is possible to obtain an excellent effect suitable for controlling the fine pressure difference between the local clean zones S1 and S2.

본 발명은 상기에서 도면을 참조하여 특정 실시 예에 관련하여 상세히 설명하였지만 본 발명은 이와 같은 특정 구조에 한정되는 것은 아니다. 당 업계의 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술 사상 및 권리범위를 벗어나지 않고서도 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있을 것이다. 예를 들면 본 발명이 장착되는 구조물의 설계 조건상, 각각의 웜휠 기어(172)의 직경을 다르게 형성하고, 이에 대응하여 웜 기어(174)의 직경을 변경하여 상하부 날개 부재(154)들의 회전 강도를 각각 다르게 조절할 수도 있을 것이다. 그렇지만 그와 같은 단순한 설계적인 수정 또는 변형 구조들은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속하게 됨을 미리 밝혀 두고자 한다.Although the present invention has been described in detail with reference to specific embodiments thereof with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to such specific structures. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. For example, according to the design conditions of the structure to which the present invention is mounted, the diameter of each worm wheel gear 172 is differently formed, and correspondingly, the diameter of the worm gear 174 is changed to change the rotational strength of the upper and lower wing members 154. Each may be adjusted differently. However, it is intended that the present invention cover the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.

100: 국소청정 구역용 댐퍼장치 110: 벽체
120: 프레임 122: 배기구
124: 공간부 132a,132b: 상,하부 부재
134a,134b: 좌,우측 부재 136: 수직 부재
138: 칸막이 150: 개폐부
152: 회전 중심축 154: 날개 부재
156,192: 베어링 170: 장력 조절부
172: 웜휠 기어 174: 웜 기어
180: 비틀림 스프링 182a,182b: 단부
190: 회전 다이얼 P1,P2: 압력
△P: 차압 S1,S2: 국소청정 구역100: damper device for local clean area 110: wall
120: frame 122: exhaust port
124: space portion 132a, 132b: upper and lower members
134a and 134b: left and right members 136: vertical members
138: partition 150: opening and closing portion
152: rotational axis 154: wing member
156,192: bearing 170: tension adjusting part
172: worm wheel gear 174: worm gear
180: torsion spring 182a, 182b: end
190: rotary dial P1, P2: pressure
ΔP: Differential pressure S1, S2: Local clean zone

Claims (6)

벽체로 구획된 복수의 국소청정 구역의 압력 차이를 조절하기 위한 댐퍼장치에 있어서,
벽체에 테두리가 고정되고 내측에는 복수의 공간에 연통하는 배기구가 형성되는 격자형의 프레임;
상기 프레임의 배기구를 가로질러서 회전 중심축이 각각 회전가능하도록 연결되고, 상기 각각의 회전 중심축을 기준으로 회전하여 상기 복수 공간의 압력 차이에 의해서 배기구를 개폐시키는 다수의 날개 부재들을 구비한 개폐부; 및
상기 날개 부재의 각각의 회전 중심축에 장착된 다수의 웜휠 기어와, 상기 다수의 웜휠 기어에 치차 결합하는 웜 기어를 구비하고, 상기 각각의 웜휠 기어와 회전 중심축 사이에 각각 장착된 비틀림 스프링을 구비하여 상기 비틀림 스프링의 탄성 복원력을 이용하여 상기 복수의 국소청정 구역의 압력 차이에 반응하는 상기 날개 부재의 회전 강도를 조절하는 장력 조절부;를 포함하여 상기 배기구를 통과하는 통풍량을 조절하고, 상기 복수 공간의 압력 차이를 조절하도록 구성되고,
상기 프레임은 배기구의 일측으로 상기 장력 조절부의 다수의 웜휠 기어와 웜 기어가 배치되는 공간부를 형성하고, 상기 배기구와 공간부는 프레임의 상,하부 부재를 연결하면서 프레임의 좌,우측 부재에 나란하게 형성되는 수직 부재에 의해서 구획되며, 상기 공간부는 칸막이를 통하여 공기의 유통이 차단됨으로써 상기 배기구를 통하여 복수의 국소청정 구역의 압력 차이가 조절되는 것임을 특징으로 하는 국소청정 구역용 댐퍼장치.In the damper device for adjusting the pressure difference of the plurality of local clean zones partitioned by the wall,
A lattice-shaped frame having an edge fixed to the wall and an exhaust port communicating with a plurality of spaces therein;
An opening and closing unit having a plurality of wing members connected to each of the rotational center axes rotatably across the exhaust port of the frame and rotating around the respective rotational center axes to open and close the exhaust port by the pressure difference of the plurality of spaces; And
A plurality of worm wheel gears mounted on each rotation center axis of the wing member, and a worm gear geared to the plurality of worm wheel gears, and a torsion spring mounted between each of the worm wheel gears and the rotation center axis. And a tension adjusting unit configured to adjust the rotational strength of the wing member in response to the pressure difference between the plurality of local clean zones by using the elastic restoring force of the torsion spring. Is configured to adjust the pressure difference in the plurality of spaces,
The frame forms a space portion in which the plurality of worm wheel gears and the worm gears are disposed on one side of the exhaust port, and the exhaust port and the space portion are formed parallel to the left and right members of the frame while connecting the upper and lower members of the frame. It is partitioned by a vertical member, the space portion is damper device for a local clean zone, characterized in that the pressure difference of the plurality of local clean zone is controlled through the exhaust port by blocking the flow of air through the partition. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 개폐부는 양단의 베어링을 통하여 각각 회전가능하도록 프레임 내측에서 배기구를 횡방향으로 가로지르는 다수의 회전 중심축들이 상하 등간격으로 다수 나란하게 장착되며, 상기 각각의 회전 중심축에는 날개 부재들이 일측에 연결되어 자중(自重)에 의해서 배기구를 닫음 상태로 유지시키고, 상기 복수 공간의 압력 차이에 의해서 날개의 열림각도가 조절되어 압력의 균형을 맞추도록 구성된 것임을 특징으로 하는 국소청정 구역용 댐퍼장치.According to claim 1, The opening and closing portion of the plurality of rotation center axis transverse to the exhaust port in the transverse direction inside the frame so as to be rotatable respectively through the bearings at both ends are mounted in parallel with a plurality of top and bottom at equal intervals, respectively The wing member is connected to one side to maintain the exhaust port closed by its own weight (self-weight), and the opening angle of the wing is adjusted by the pressure difference of the plurality of spaces, characterized in that configured to balance the pressure Area damper device. 제1항에 있어서, 상기 장력 조절부는 웜휠 기어가 각각의 회전 중심축의 일측 둘레에 회전가능하도록 각각 장착되고, 상기 웜휠 기어에 인접하여 상기 회전 중심축 둘레에 비틀림 스프링이 끼워지며, 상기 비틀림 스프링은 그 일측 단부가 상기 웜휠 기어의 일측면에 고정되고, 타측 단부는 상기 회전 중심축에 연결되어 상기 회전 중심축 둘레에서 웜휠 기어가 회전하면 비틀림 스프링은 상기 회전 중심축과의 사이에서 탄성 복원력을 축적하도록 구성된 것임을 특징으로 하는 국소청정 구역용 댐퍼장치.According to claim 1, wherein the tension adjusting portion is respectively mounted so that the worm wheel gear is rotatable around one side of each rotation center axis, the torsion spring is fitted around the rotation center axis adjacent to the worm wheel gear, the torsion spring is One end thereof is fixed to one side of the worm wheel gear, and the other end is connected to the rotation center axis so that when the worm wheel gear rotates around the rotation center axis, the torsion spring accumulates elastic restoring force with the rotation center axis. Damper device for a local clean area, characterized in that configured to. 제4항에 있어서, 상기 웜 기어의 하단에는 회전 다이얼이 일체로 형성되며, 상기 웜휠 기어의 직경은 모두 동일한 크기로 형성되고, 상기 웜 기어의 직경도 길이 전체에 걸쳐서 동일하게 형성되어 웜휠 기어에 치차 결합함으로써, 상기 회전 다이얼의 회전으로 전체의 웜휠 기어를 동일하게 회전시키고, 각각의 웜휠 기어에 연결된 각각의 비틀림 스프링의 탄성 복원력을 각각의 회전 중심축 사이에서 동일하게 조절하여 다수의 날개 부재들이 동일하게 동작하도록 구성된 것임을 특징으로 하는 국소청정 구역용 댐퍼장치.The worm wheel according to claim 4, wherein a rotary dial is integrally formed at a lower end of the worm gear, and the diameters of the worm wheel gears are all formed in the same size, and the diameters of the worm gears are formed the same throughout the length of the worm wheel gear. By gear coupling, the rotation of the rotary dial rotates the entire worm wheel gear in the same way, and the elastic restoring force of each torsion spring connected to each worm wheel gear is equally adjusted between the respective rotation center axes, thereby providing a plurality of wing members. A damper device for a local clean area, characterized in that configured to operate in the same way. 제5항에 있어서, 상기 장력 조절부는 회전 다이얼을 일측으로 회전시키면, 웜 기어와 웜휠 기어를 통하여 비틀림 스프링에 개방 탄성 복원력을 축적하여 날개 부재가 배기구를 개방시키도록 회전 중심축을 통해서 작용력을 가하게 되고, 상기 회전 다이얼을 타측으로 회전시키면, 웜 기어와 웜휠 기어를 통하여 비틀림 스프링에 폐쇄 탄성 복원력을 축적하여 날개 부재가 배기구를 닫도록 회전 중심축을 통해서 작용력을 가하는 것임을 특징으로 하는 국소청정 구역용 댐퍼장치.According to claim 5, When the tension control unit rotates the rotary dial to one side, through the worm gear and the worm wheel gear accumulates the open elastic restoring force to the torsion spring to apply an acting force through the rotational central axis to open the exhaust port to the wing member When the rotary dial is rotated to the other side, the damper device for the local clean zone, characterized in that the closing elastic restoring force is accumulated in the torsion spring through the worm gear and the worm wheel gear to apply an acting force through the rotation center axis to close the exhaust port. .
KR1020110071955A 2011-07-20 2011-07-20 Relief damper apparatus for a mini clean environment KR101301581B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110071955A KR101301581B1 (en) 2011-07-20 2011-07-20 Relief damper apparatus for a mini clean environment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110071955A KR101301581B1 (en) 2011-07-20 2011-07-20 Relief damper apparatus for a mini clean environment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130011071A KR20130011071A (en) 2013-01-30
KR101301581B1 true KR101301581B1 (en) 2013-08-29

Family

ID=47840107

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110071955A KR101301581B1 (en) 2011-07-20 2011-07-20 Relief damper apparatus for a mini clean environment

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101301581B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104279634A (en) * 2013-07-02 2015-01-14 海尔集团公司 Window type air conditioner

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100832912B1 (en) * 2007-07-23 2008-05-28 (주)에이치엔씨 Damper for air pressure control of cleanroom
KR20100019829A (en) * 2008-08-11 2010-02-19 김진수 Damper apparatus of over pressure exhaust

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100832912B1 (en) * 2007-07-23 2008-05-28 (주)에이치엔씨 Damper for air pressure control of cleanroom
KR20100019829A (en) * 2008-08-11 2010-02-19 김진수 Damper apparatus of over pressure exhaust

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104279634A (en) * 2013-07-02 2015-01-14 海尔集团公司 Window type air conditioner

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130011071A (en) 2013-01-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5064457A (en) Particulate containment control system
KR102373165B1 (en) Filter cleaning device
KR101855482B1 (en) a Heat recovery ventilating apparatus of floor type
KR101518624B1 (en) Air purifying apparatus for air ventilation
NO320656B1 (en) Adjustable damper for air flow systems
KR101301581B1 (en) Relief damper apparatus for a mini clean environment
KR102142196B1 (en) Air cleaning device and clean air supply system
JP2012180977A (en) Ventilating opening cover
KR20160015196A (en) Ventilation device
KR20070009952A (en) Indoor unit of air conditioner
KR20190025270A (en) Window Type Filter Assembly Device of Ventilation
KR102572508B1 (en) Ventilating device
US20090193769A1 (en) Ceiling type air conditioner
JP6557614B2 (en) Joinery
KR102185399B1 (en) Assembly type chassis curtain wall frame capable of generating and saving energy, anti-condensation window
KR101174509B1 (en) Ceiling embedded air conditioner and air inlet sstructure of the same
KR20200004167A (en) An air purifier comprising a pop-up discharging part capable of controlling discharge direction
JP2009513923A (en) How to operate multiple clean rooms
WO2013145176A1 (en) Projector exhaust device
JP6986413B2 (en) Air conditioner
EP4163566A1 (en) Cleanroom and method for purifying a cleanroom
KR20090009767U (en) Door apparatus for preventing door gap
CN213146854U (en) Clean room
KR101947003B1 (en) The gate valve for vacuum chamber
TWI515358B (en) Upright type air volume ventilation device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160822

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170821

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180820

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190822

Year of fee payment: 7