KR101288573B1 - High etch resistant hardmask composition having antireflective property with calixarene and Process of producing patterned materials by using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 리쏘그래픽 공정에 유용한 반사방지성을 갖는 하드마스크 조성물을 제공하기 위하여 하기 화학식 1 내지 2　중 어느 하나로 표시되는 칼릭스 알렌 (calixarene) 고분자 화합물　및 상기 화합물을　포함하는 것을 특징으로 하는 하드마스크 조성물을 제공한다.The present invention provides a hardmask composition having antireflection useful for lithographic processes, and a hardmask comprising a calixarene polymer compound represented by any one of the following Chemical Formulas 1 to 2 'and the compound: To provide a composition.

[화학식 1][Formula 1]

Figure 112009047545817-pat00001
Figure 112009047545817-pat00001

(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R1, R2　는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R3 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.) 　(In the above formula, 2≤m <20 and 1≤n <20, and, R 1, R 2 are each independently a hydrogen (-H), hydroxy (-OH), an alkyl group of C 1 -10, C 6 -10 One of an aryl group, an allyl group, and a halogen atom; R 3 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.)

　[화학식 2] (2)

Figure 112009047545817-pat00002
Figure 112009047545817-pat00002

　　(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R4, R6 는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R5 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.)Wherein 2 ≦ m <20 and 1 ≦ n <20, R 4 , R 6 Are each independently hydrogen (-H), hydroxy (-OH), any one of an aryl group, an allyl group and a halogen atom of a C 1 -10 alkyl, C 6 -10 a, R 5 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.)

본 발명에 따른 조성물은 매우 우수한 광학적 특성, 기계적 특성을 제공하며, 동시에 스핀-온 도포 기법을 이용하여 도포 가능한 특성을 제공한다. 특히, 본 발명의 조성물은 드라이 에칭 내성이 매우 우수한 박막으로서 높은 에스펙트비를 갖는 패턴을 형성할수 있는 패턴형성용 다층막 및 패턴형성방법을 제공한다.The composition according to the invention provides very good optical and mechanical properties and at the same time provides applicability using spin-on application techniques. In particular, the composition of the present invention provides a pattern forming multilayer film and a pattern forming method capable of forming a pattern having a high aspect ratio as a thin film having excellent dry etching resistance.

리쏘그래픽, 반사방지성, 하드마스크, 칼릭스 알렌, 방향족 고리, 드라이 에칭 내성, 카본 함량 Lithographic, Antireflective, Hard Mask, Calix Allen, Aromatic Ring, Dry Etch Resistant, Carbon Content

Description

칼릭스 알렌이 함유된 고 내에칭성 반사방지 하드마스크 조성물, 이를 이용한 패턴화된 재료 형상의　제조방법 {High etch resistant hardmask composition having antireflective property with calixarene and Process of producing patterned materials by using the same}High etch resistant hardmask composition having antireflective property with calixarene and Process of producing patterned materials by using the same}

본 발명은 리쏘그래픽 공정에 유용한 반사방지성을 갖는 하드마스크 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 짧은 파장 영역　(예를 들어, 157, 193, 248　nm)에서 강한 흡수를 갖는 칼릭스 알렌 (calixarene)　화합물　및 상기 화합물을　포함하는 것을 특징으로 하는 하드마스크 조성물에 관한 것이다.FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to hardmask compositions having antireflective properties useful in lithographic processes, and more particularly to calixarene having strong absorption in the short wavelength region (e.g., 157, 193, 248nm). The present invention relates to a compound and a hard mask composition comprising the compound.

마이크로일렉트로닉스 산업에서 뿐만 아니라 마이크로스코픽 구조물　(예를 들어, 마이크로머신, 마그네토　레지스트 헤드 등)　의 제작을 비롯한 다른 산업에서, 구조적 형상의 크기를 감소시키고자 하는 지속적인 요구가 존재한다. 마이크로일렉트로닉스 산업에서, 마이크로일렉트로닉 디바이스의 크기를 감소시켜, 주어진 칩 크기에 보다 많은 양의 회로를 제공하고자 하는 요구가 존재한다.In the microelectronics industry as well as in other industries, including the fabrication of microscopic structures (eg, micromachines, magneto resist heads, etc.), there is a continuing need to reduce the size of structural features. In the microelectronics industry, there is a desire to reduce the size of microelectronic devices, thereby providing a larger amount of circuitry for a given chip size.

효과적인 리쏘그래픽 기법은 형상 크기의 감소를 달성시키는데 필수적이다. 　리쏘그래픽은 소정의 기판 상에 패턴을 직접적으로 이미지화시킨다는 측면에서 뿐 만 아니라 그러한 이미지화에 전형적으로 사용된 마스크를 제조한다는 측면에서 마이크로스코픽 구조물의 제조에 영향을 미친다.Effective lithographic techniques are essential to achieving a reduction in shape size. Lithographic influences the fabrication of microscopic structures, not only in terms of directly imaging the pattern on a given substrate, but also in the manufacture of masks typically used for such imaging.

전형적인 리쏘그래픽 공정은 이미지화 방사선에 방사선-민감성 레지스트를 패턴 방식으로 노출시킴으로써 패턴화된 레지스트 층을 형성시키는 과정을 수반한다. 　이어서, 이미지는 노출된 레지스트 층을 임의의 물질　(전형적으로 수성 알칼리 현상액)　과 접촉시킴으로써 현상시킨다. 　이어서, 패턴은 패턴화된 레지스트층의 개구부 내에 있는 그 물질을 에칭시킴으로써 이면 재료에 전사시킨다. 　전사가 완료된 후, 잔류하는 레지스트　층은 제거한다.Typical lithographic processes involve forming a patterned resist layer by patterning exposing the radiation-sensitive resist to imaging radiation. The image is then developed by contacting the exposed resist layer with any material (typically an aqueous alkaline developer). The pattern is then transferred to the backing material by etching the material in the openings of the patterned resist layer. After the transfer is completed, the remaining resist layer is removed.

상기 리쏘그래픽 공정 중 대부분은 이미지화층, 예컨대 방사선 민감성 레지스트 재료층과 이면층 간의 반사성을 최소화시키는데 반사방지 코팅(ARC)을 사용하여 해상도를 증가시킨다. 　그러나, 패터닝 후 ARC의 에칭 중에 많은 이미지화층도 소모되어, 후속 에칭 단계 중에 추가의 패터닝이 필요하게 될 수 있다.Most of the lithographic processes increase the resolution by using an antireflective coating (ARC) to minimize the reflectivity between the imaging layer, such as a layer of radiation sensitive resist material and backing layer. However, many imaging layers may also be consumed during the etching of the ARC after patterning, requiring further patterning during subsequent etching steps.

다시 말하면, 일부 리쏘그래픽 이미지화 공정의 경우, 사용된 레지스트는 레지스트 이면에 있는 층으로 소정의 패턴을 효과적으로 전사시킬 수 있을 정도로 후속적인 에칭 단계에 대한 충분한 내성을 제공하지 못한다. 　많은 실제 예　(예를 들면, 초박막 레지스트층이 필요한 경우, 에칭 처리하고자 하는 이면 재료가 두꺼운 경우, 상당할 정도의 에칭 깊이가 필요한 경우 또는 소정의 이면 재료에 특정한 부식제　(etchant)　를 사용하는 것이 필요한 경우)　에서, 일명 하드마스크 층이라는 것은 레지스트 층과 패턴화된 레지스트로부터 전사에 의해 패턴화될 수 있는 이면 재료 사이에 중간체로서 사용한다. 　그 하드마스크 층은 패턴화된 레지스트층으로 부터 패턴을 수용하고, 이면 재료로 패턴을 전사시키는 데 필요한 에칭 공정을 견디어 낼 수 있어야 한다.In other words, for some lithographic imaging processes, the resist used does not provide sufficient resistance to subsequent etching steps to effectively transfer a desired pattern to the layer behind the resist. Many practical examples (e.g. if an ultra thin resist layer is required, if the backing material to be etched is thick, if a significant amount of etching depth is required, or if a specific etchant is used for a given backing material) In the case of i), a so-called hardmask layer is used as an intermediate between the resist layer and the backing material which can be patterned by transfer from the patterned resist. The hardmask layer must be able to accept the pattern from the patterned resist layer and withstand the etching process required to transfer the pattern to the backing material.

종래 기술에서는 많은 하드마스크 재료가 존재하긴 하지만, 개선된 하드마스크 조성물에 대한 요구가 지속되고 있다. 　그러한 많은 종래 기술상 재료는 기판에 도포하기 어려우므로, 예를 들면 화학적 또는 물리적 증착, 특수 용매, 및/또는 고온 소성의 이용이 필요할 수 있다. 　그러나 이러한 방법들은 고가의 장치 혹은 신규공정을 도입해야하고 상대적으로 공정이 복잡해지며 일반적으로 디바이스 생산단가가 높은 방법이다. 이에 간단히 스핀-코팅 기법에 의해 도포될 수 있는 하드마스크 조성물을 갖는 것이 바람직하다. 　추가로, 상부　포토　레지스트　층을 마스크로 하여 선택적으로 용이하게 에칭될 수 있으며, 동시에 이면층이 금속　혹은 실리콘 화합물층인 경우　하드마스크층을 마스크로 하여 이면 층을 패턴화하는데 필요한 에칭 공정에 내성이 있는 하드마스크 조성물을 갖는 것이 바람직하다. 　또한, 적당한 저장 수명을 제공하고, 이미지화 레지스트층과의 저해한 상호작용　(예를 들어, 하드마스크로부터 산 오염에 의한 것)　을 피하는 것도 바람직하다. 　추가로, 보다 짧은 파장　(예, 157, 193, 248　nm)　의 이미지 방사선에 대한 소정의 광학 특성을 지닌 하드마스크 조성물을 갖는 것이 바람직하다.Although many hardmask materials exist in the prior art, there is a continuing need for improved hardmask compositions. Many such prior art materials are difficult to apply to substrates, and therefore may require the use of chemical or physical deposition, special solvents, and / or high temperature firing, for example. However, these methods require expensive equipment or new processes to be introduced, which are relatively complicated and generally require high device production costs. It is therefore desirable to have a hardmask composition that can be applied simply by spin-coating techniques. In addition, it can be easily etched selectively using the upper photoresist layer as a mask, and at the same time, when the back layer is a metal or silicon compound layer, it is resistant to the etching process required to pattern the back surface layer using the hard mask layer as a mask. It is desirable to have a hard mask composition. It is also desirable to provide adequate shelf life and to avoid inhibited interaction with the imaging resist layer (eg, due to acid contamination from the hardmask). In addition, it is desirable to have a hardmask composition having certain optical properties for image radiation of shorter wavelengths (e.g., 157, 193, 248 nm).

최근 들어 상대적으로 두꺼운 이면층을 패턴화하기 위한 드라이 에칭 공정을 수행하면서 스핀 코팅 타입의 하드마스크층에 등방성 에치 프로파일 현상, 다시 말하면 보우잉 (Bowing) 현상이 나타나 하부 두꺼운 이면층의 하드마스크 역할을 수행하기 어려운 문제가 대두되고 있다. 이를 개선하기 위해 여러 가지 드라이 에치 조건을 변경하는 방법이 시도되고 있으나 디바이스 메이커의 양산설비 운용면에서 한계가 있다. 이에 하드마스크의 폴리머 성분을 아몰퍼스 스트럭춰로 형성하여 고탄소 함유하는 고밀도 네트워킹 폴리머로부터 등방성 프로파일을 비등방성 프로파일로 개선하고자 한다.Recently, while performing a dry etching process to pattern a relatively thick backing layer, an isotropic etch profile phenomenon, that is, a bowing phenomenon, appears in the spin coating type hard mask layer, which acts as a hard mask for the lower thick backing layer. Problems are difficult to carry out. In order to improve this, various methods of changing dry etching conditions have been attempted, but there are limitations in terms of device manufacturer's production facility operation. Accordingly, the polymer component of the hard mask is formed by an amorphous structure to improve the isotropic profile from the high carbon-containing high density networking polymer to the anisotropic profile.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 에칭 선택성이 매우 높고,　다중 에칭에 대한 내성이 충분하며, 레지스트와 이면층 간의 반사성을 최소화하는 반사방지 조성물을 사용하여 리쏘그래픽 기술을 수행하는 데 사용될 수 있는 신규 하드 마스크 조성물을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention is to solve the above problems of the prior art, lithographic technology using an anti-reflective composition that has a very high etching selectivity, sufficient resistance to multiple etching, and minimizes the reflectivity between the resist and the back layer. It is an object to provide a novel hard mask composition that can be used to perform.

본 발명의 다른 목적은 본 발명의 하드마스크 조성물을 사용하여 기판 상의 이면 재료 층을 패턴화시키는 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of patterning a backing material layer on a substrate using the hardmask composition of the present invention.

본 발명은 하기 화학식 1 내지 2　중 어느 하나로 표시되는 칼릭스 알렌 (calixarene)을 함유하는 것을 특징으로 하는 화합물을 제공한다.The present invention provides a compound characterized by containing calixarene represented by any one of the following Chemical Formulas 1 to 2 '.

[화학식 1][Formula 1]

Figure 112009047545817-pat00003
Figure 112009047545817-pat00003

(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R1, R2　는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R3 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.) 　(In the above formula, 2≤m <20 and 1≤n <20, and, R 1, R 2 are each independently a hydrogen (-H), hydroxy (-OH), an alkyl group of C 1 -10, C 6 -10 One of an aryl group, an allyl group, and a halogen atom; R 3 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.)

　

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112009047545817-pat00004
Figure 112009047545817-pat00004

　　(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R4, R6 는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R5 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.)Wherein 2 ≦ m <20 and 1 ≦ n <20, R 4 , R 6 Are each independently hydrogen (-H), hydroxy (-OH), any one of an aryl group, an allyl group and a halogen atom of a C 1 -10 alkyl, C 6 -10 a, R 5 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.)

　

　

또한, 본 발명은 (a) 하기 화학식 1 내지 2　중 어느 하나로 표시되는 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물, (b) 개시제 및 (c) 유기 용매를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사방지 하드마스크 조성물을 제공한다.The present invention also provides an antireflection hard mask composition comprising (a) a calixarene compound represented by any one of the following Chemical Formulas 1 to 2 ', (b) an initiator and (c) an organic solvent. to provide.

[화학식 1][Formula 1]

Figure 112009047545817-pat00005
Figure 112009047545817-pat00005

(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R1, R2　는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R3 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.) 　(In the above formula, 2≤m <20 and 1≤n <20, and, R 1, R 2 are each independently a hydrogen (-H), hydroxy (-OH), an alkyl group of C 1 -10, C 6 -10 One of an aryl group, an allyl group, and a halogen atom; R 3 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.)

　

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112009047545817-pat00006
Figure 112009047545817-pat00006

　　(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R4, R6 는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R5 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.)Wherein 2 ≦ m <20 and 1 ≦ n <20, R 4 , R 6 Are each independently hydrogen (-H), hydroxy (-OH), any one of an aryl group, an allyl group and a halogen atom of a C 1 -10 alkyl, C 6 -10 a, R 5 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.)

상기 조성물에서 (a) 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물의 중량 평균 분자량은 바람직하게 100 ~ 30,000이다.The weight average molecular weight of the (a) calixarene compound in the composition is preferably 100 to 30,000.

상기 (b) 개시제는　퍼옥사이드계, 퍼설페이트계 및 아조화합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상일　수 있다.The (b) initiator may be one or more selected from the group consisting of peroxide-based, persulfate-based and azo compounds.

상기 조성물에서 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물은　유기용매 100중량부에 대해서 1~30 중량부로 포함될 수 있다.Calixrene compound in the composition may be included in 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the organic solvent.

상기 하드마스크 조성물은 추가적으로 (d) 가교 성분 및 (e) 촉매를 더 포함할 수 있다.The hard mask composition may further include (d) a crosslinking component and (e) a catalyst.

상기 (d) 가교 성분은 에테르화된 아미노 수지, N-메톡시메틸-멜라민 수지, N-부톡시메틸-멜라민 수지, 메틸화되거나 부틸화된 우레아 레진(Urea Resin) 수지, 글리콜루릴 유도체, 　2,6-비스(히드록시메틸)-p-크레졸 화합물　및　비스에폭시계 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 1 또는 2이상의 화합물 일　수 있다.The crosslinking component (d) may be etherified amino resin, N-methoxymethyl-melamine resin, N-butoxymethyl-melamine resin, methylated or butylated urea resin (Urea Resin) resin, glycoluril derivative, X2, The compound may be one or two or more compounds selected from the group consisting of 6-bis (hydroxymethyl) -p-cresol compound and a bisepoxy clock compound.

상기 (e)　촉매는　NH4OH 또는 NR4OH로 표시되는 암모늄 히드록사이드, 2-메틸이미다졸(2-Methylimidazole),　p-톨루엔 술폰산 모노 하이드레이트　(p-toluenesulfonic acid mono hydrate), 피리디늄 P-톨루엔 술포네이트　(Pyridinium P-toluene sulfonate), 2,4,4,6-테트라브로모시클로헥사디엔온, 벤조인 토실레이트, 2-니트로벤질 토실레이트 및 유기 술폰산의 알킬 에스테르로 이루어진 군에서 선택될 수 있다.Wherein (e) the catalyst is NH 4 OH or NR 4 OH, ammonium hydroxide, 2-methylimidazole (2-Methylimidazole), p represented by - toluenesulfonic acid monohydrate (p -toluenesulfonic acid mono hydrate), pyridinium P - toluenesulfonate (Pyridinium P -toluene sulfonate), 2,4,4,6- tetrabromo-necked claw-hexadiene-one, benzoin tosylate, from the group consisting of 2-nitrobenzyl tosylate, and alkyl esters of organic sulfonic acid Can be selected.

상기 하드마스크 조성물은 바람직하게　(a) 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물　1~20 중량%;　　(b) 개시제 0.001~5 중량%;　(c) 가교 성분 0.1~5 중량%;　(d) 촉매 0.001~0.05 중량%; 및 (e) 유기용매　75~98.8 중량%를 포함한다.The hard mask composition is preferably (1) 1 to 20% by weight of a calixarene compound; (b) 0.001-5% by weight of initiator; (c) 0.1 to 5% by weight of crosslinking components; (d) 0.001 to 0.05 weight percent of catalyst; And (e) 75 to 98.8% by weight of an organic solvent.

상기 하드마스크 조성물은 계면활성제를 추가로 포함할 수 있다.The hardmask composition may further comprise a surfactant.

또한, 본 발명은 (a) 기판 상에 재료 층을 제공하는 단계; (b) 상기 재료 층 위로 본 발명의 조성물을 이용한 하드마스크 층을 형성시키는 단계; (c) 상기 하드 마스크　층 위로 방사선-민감성 이미지화 층을 형성시키는 단계; (d) 상기 방사선-민감성　이미지화 층을 방사선에 패턴 방식으로 노출시킴으로써 상기 방사선-민감성　이미지화 층 내에서 방사선-노출된 영역의 패턴을 생성시키는 단계; (e) 상기 방사선-민감성　이미지화 층 및 상기 하드마스크　층의 부분을 선택적으로 제거하여 상기 재료 층의 부분을 노출시키는 단계; 및 (f) 상기 재료 층의 노출된 부분을 에칭함으로써 패턴화된 재료 형상을 형성시키는 단계를 포함하는 기판 상에 패턴화된 재료 형상의　제조방법을 제공한다.In addition, the present invention provides a method for preparing a substrate comprising: (a) providing a layer of material on a substrate; (b) forming a hardmask layer using the composition of the present invention over the material layer; (c) forming a radiation-sensitive imaging layer over the hard mask layer; (d) generating a pattern of radiation-exposed areas within the radiation-sensitive imaging layer by patternwise exposing the radiation-sensitive 층 imaging layer to radiation; (e) selectively removing portions of the radiation-sensitive imaging layer and the hardmask layer to expose portions of the material layer; And (f) forming a patterned material shape by etching the exposed portion of the material layer.

상기 (c) 단계 이전에 실리콘 함유 하드마스크 층을 추가적으로 형성시키는 단계를 포함할 수도 있다. It may include the step of additionally forming a silicon-containing hard mask layer before step (c).

또한, 상기 실리콘 함유 하드마스크 층을　형성시킨 후　방사선-민감성 이미지화 층을 형성시키기 전에 추가적으로 바닥 반사방지용 하드마스크 층(BARC)을 형성시키는 단계를 더 포함할 수도 있다.Further, after the silicon-containing hard mask layer is formed, the method may further include forming a bottom anti-reflective hard mask layer BARC before forming the radiation-sensitive imaging layer.

본 발명에 의한 하드마스크 조성물은 필름형성시 ArF (193nm), KrF (248nm) 파장영역 등 DUV (Deep UV)영역에서의 반사방지막으로서 유용한 범위의 굴절율 및 흡수도를 가짐으로써 레지스트와 이면층 간의 반사성을 최소화할 수 있으며, 이에 의해 패턴 프로파일이나 마진면에서 우수한 패턴평가결과를 가지는 리쏘그래픽 구조물을 제공할 수 있다. 또한, 리쏘그래픽 기술 수행시 에칭 선택비가　매우 높고, 다중 에칭에 대한 내성이 충분하여 하부층에 전사할 이미지인 하드마스크의 에치 프로파일이 매우 양호하다. The hard mask composition according to the present invention has a refractive index and absorbance within a range useful as an antireflection film in a DUV (Deep UV) region such as an ArF (193 nm) and KrF (248 nm) wavelength region when forming a film, thereby reflecting between the resist and the back layer. It can be minimized, thereby providing a lithographic structure having excellent pattern evaluation results in the pattern profile or margin. In addition, the etching selectivity is very high when performing lithographic techniques, and the resistance to multiple etching is sufficient, so that the etch profile of the hard mask, which is an image to be transferred to the underlying layer, is very good.

이하 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명이 제공하는 하기 화학식 1 내지 2　중 어느 하나로 표시되는 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물은　짧은 파장 영역(특히,　193nm, 248nm)에서 강한 흡수를 갖는 방향족 고리　(aromatic ring)를 중합체의 골격 부분에 포함하고, 동시에 고분자 화합물간 가교 반응이 일어날 수 있는 반응성기를 포함한다.Calixrene compounds represented by any one of the following Chemical Formulas 1 to 2 ′ provided by the present invention include an aromatic ring having strong absorption in a short wavelength region (especially, 193 nm and 248 nm) in the skeleton portion of the polymer. And a reactive group through which crosslinking reaction between polymer compounds can occur.

[화학식 1][Formula 1]

Figure 112009047545817-pat00007
Figure 112009047545817-pat00007

(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R1, R2　는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R3 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.) 　(In the above formula, 2≤m <20 and 1≤n <20, and, R 1, R 2 are each independently a hydrogen (-H), hydroxy (-OH), an alkyl group of C 1 -10, C 6 -10 One of an aryl group, an allyl group, and a halogen atom; R 3 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.)

　

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112009047545817-pat00008
Figure 112009047545817-pat00008

(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R4, R6 는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R5 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.)Wherein 2 ≦ m <20 and 1 ≦ n <20, R 4 , R 6 Are each independently hydrogen (-H), hydroxy (-OH), any one of an aryl group, an allyl group and a halogen atom of a C 1 -10 alkyl, C 6 -10 a, R 5 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.)

상기 화학식 1로 표시되는 고분자 화합물의 일 실시예로서 　m=2인 경우 하기 화학식 3으로 표시될 수 있다.As an example of the polymer compound represented by Chemical Formula 1, when m = 2, it may be represented by Chemical Formula 3.

[화학식 3](3)

Figure 112009047545817-pat00009
Figure 112009047545817-pat00009

또한, 상기 화학식 2로 표시되는 고분자 화합물의 일 실시예로서 m=2인 경우 하기 화학식 4로 표시될 수 있다.In addition, when m = 2 as an embodiment of the polymer compound represented by Formula 2 may be represented by the formula (4).

[화학식 4] [Formula 4]

Figure 112009047545817-pat00010
　
Figure 112009047545817-pat00010
　

상기 화학식 1 내지 2　중 어느 하나로 표시되는 고분자 화합물에서　고분자 화합물간 가교 반응이 일어날 수 있는 반응성기로는 불포화 알킬기, 더욱 구체적으로 알릴기, 비닐기　등을 예로 들 수 있다. In the polymer compound represented by any one of Formulas 1 to 2 ′, a reactive group capable of crosslinking reaction between polymer compounds may include an unsaturated alkyl group, more specifically, an allyl group and a vinyl group.

또한, 상기 방향족 고리 함유 공중합체는 가교 성분과 반응할 수 있는 중합체를 따라 분포된 다수의 반응성 부위　(예를 들면　R1 ,R2 ,R4 또는 R6이　히드록시기인 경우)를 함유할 수도 있다. In addition, the aromatic ring-containing copolymer has a plurality of reactive sites distributed along the polymer capable of reacting with the crosslinking component (eg R 1 , R 2 , R 4 Or R 6 　 In the case of a hydroxyl group).

　

또한, 본 발명의 하드마스크 조성물은 (a) 하기 화학식 1 내지 2　중 어느 하나로 표시되는 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물 (b) 개시제 및 (c) 유기용매를 포함한다.In addition, the hard mask composition of the present invention includes (a) a calixarene compound represented by any one of the following Chemical Formulas 1 to 2 '(b) an initiator and (c) an organic solvent.

[화학식 1][Formula 1]

Figure 112009047545817-pat00011
Figure 112009047545817-pat00011

(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R1, R2　는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R3 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.) 　(In the above formula, 2≤m <20 and 1≤n <20, and, R 1, R 2 are each independently a hydrogen (-H), hydroxy (-OH), an alkyl group of C 1 -10, C 6 -10 One of an aryl group, an allyl group, and a halogen atom; R 3 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.)

　

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112009047545817-pat00012
Figure 112009047545817-pat00012

(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R4, R6 는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R5 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.)Wherein 2 ≦ m <20 and 1 ≦ n <20, R 4 , R 6 Are each independently hydrogen (-H), hydroxy (-OH), any one of an aryl group, an allyl group and a halogen atom of a C 1 -10 alkyl, C 6 -10 a, R 5 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.)

상기 화학식 1 및 2로 표시되는 고분자 화합물은 일 실시예로서 m=2인 경우 각각 하기 화학식 3 및 4로 표시될 수 있다.The polymer compounds represented by Chemical Formulas 1 and 2 may be represented by Chemical Formulas 3 and 4 when m = 2 as an example.

[화학식 3](3)

Figure 112009047545817-pat00013
Figure 112009047545817-pat00013

[화학식 4] [Formula 4]

Figure 112009047545817-pat00014
Figure 112009047545817-pat00014

상기 하드마스크 조성물은 짧은 파장 영역(특히,　193nm, 248nm)에서 강한 흡 수를 갖는 방향족 고리　(aromatic ring)를 상기 (a) 화학식 1 내지 2　중 어느 하나로 표시되는 칼릭스 알렌 (calixarene) 함유　고분자 화합물의 골격 부분에 포함함으로써 짧은 파장 영역에서 강한 흡수를 가진다.The hard mask composition may include an aromatic ring having strong absorption in a short wavelength region (especially, 193 nm and 248 nm) containing a calixarene-containing polymer compound represented by any one of Formulas (1) to (2). By including in the skeleton portion of the has a strong absorption in the short wavelength range.

또한,　상기 (a) 화학식 1 내지 2　중 어느 하나로 표시되는 고분자 화합물 내에 가교 반응이 일어날 수 있는 반응성기인　불포화 알킬기, 더욱 구체적으로 알릴기, 비닐기　등을 함유하여 상기 조성물 코팅 직후 베이크 공정시 개시제에 의해 상기 공중합체간 가교반응이 개시되어 경화가 일어난다. In addition, (a) containing a unsaturated alkyl group, more specifically an allyl group, a vinyl group, which is a reactive group capable of causing a crosslinking reaction in the polymer compound represented by any one of Formulas (1) to (2), and the like during the baking process immediately after coating the composition. This initiates a crosslinking reaction between the copolymers and causes curing.

본 발명의 조성물에 포함되는 (a) 칼릭스 알렌 (calixarene)　화합물은　중량 평균 분자량을 기준으로 분자량이 약 100 ~ 30,000 인 것이 코팅성 및 용해성 면에서 바람직하다.(A) Calixrene (compound) compound included in the composition of the present invention preferably has a molecular weight of about 100 to 30,000 based on the weight average molecular weight in terms of coatability and solubility.

본 발명의 조성물에 포함되는 (b) 개시제는 (a) 고분자 화합물간 가교 반응이 일어날 수 있는 반응성기인 불포화 알킬기에 대해 열가교 시킬 수 있는 개시제라면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들자면, 퍼옥사이드계, 퍼설페이트계, 아조화합물 등을 들 수 있다.The (b) initiator included in the composition of the present invention is not particularly limited as long as it is an initiator capable of thermally crosslinking with respect to an unsaturated alkyl group which is a reactive group capable of causing crosslinking reaction between (a) a polymer compound. Persulfate type, an azo compound, etc. are mentioned.

본 발명의 조성물에 포함되는 (c) 유기용매는 (a) 칼릭스 알렌 (calixarene) 함유 고분자 화합물에 대한 충분한 용해성을 갖는 유기용매라면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들자면, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 (PGMEA), 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 (PGME), 사이클로헥사논 (cyclohexanone), 에틸락테이트 (EL) 등을 들 수 있다.The organic solvent (c) included in the composition of the present invention is not particularly limited as long as it is an organic solvent having sufficient solubility in the (a) calixarene-containing polymer compound. For example, propylene glycol monomethyl ether acetate ( PGMEA), propylene glycol monomethyl ether (PGME), cyclohexanone, ethyl lactate (EL), etc. are mentioned.

상기 조성물에서 (a) 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물은 (c) 유기 용매 100 중량부에 대해서 1~30 중량부로 사용되는 것이 바람직하다. 칼릭스 알렌 (calixarene) 함유 화합물이　1 중량부 미만이거나 30 중량부를 초과하여 사용할 경우 목적하는 코팅두께 미만으로 되거나 초과하게 되어 정확한 코팅두께를 맞추기 어렵기 때문이다.In the composition, (a) Calixarene compound is preferably used in 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of (c) the organic solvent. This is because when the calixarene-containing compound is used in an amount of less than 1 part by weight or in excess of 30 parts by weight, it is less than or equal to the desired coating thickness.

아울러, 본 발명의 하드마스크 조성물은 종래의 스핀-코팅에 의해 층을 형성시키는데 도움이 되는 막 형성　(film-forming) 특성을 갖는다.　　In addition, the hard mask composition of the present invention has film-forming properties which help to form a layer by conventional spin-coating.

한편, 본 발명의 하드마스크 조성물이 추가적으로 (d) 가교 성분 및 (e) 촉매를 더 포함하여 이루어질 수 있다. 이　경우 고분자 화합물간 가교 반응이 외에 가교　성분과　고분자 화합물　내 다수의 반응성 부위　(예를 들면　R1 ,R2 ,R4 또는 R6이　히드록시기인 경우)간의 가교반응에 의해 경화가 일어날 수 있다. 이로써 내에칭성 및 내화학성이 더욱 향상될 수 있다.On the other hand, the hard mask composition of the present invention may further comprise (d) a crosslinking component and (e) a catalyst. In this case, in addition to the crosslinking reaction between the polymer compound, a plurality of reactive sites in the crosslinking component and the polymer compound (for example, R 1 , R 2 , R 4 Or R 6 　 Curing may occur by crosslinking reaction between hydroxy groups). Thereby, the etching resistance and chemical resistance can be further improved.

본 발명의 하드마스크 조성물에 사용되는 상기 (d) 가교 성분은 촉매작용화될 수 있는 방식으로 칼릭스 알렌 (calixarene) 함유 고분자 화합물　내 다수의 반응성 부위　(예를 들면　R1 ,R2 ,R4 또는 R6이　히드록시기인 경우)와 반응될 수 있는 가교 성분이라면　특별히 한정되지 않는다. The crosslinking component (d) used in the hardmask composition of the present invention may contain a plurality of reactive sites (e.g., R 1 ) in a calixene-containing polymer compound in a manner that can be catalyzed. , R 2 , R 4 Or R 6 　 It will not specifically limit, if it is a crosslinking component which can react with the hydroxy group).

본 발명의 반사방지 하드마스크 조성물에 사용할 수 있는　(d) 가교 성분을 구체적으로 예를 들자면,　에테르화된 아미노 수지, 알콕시알킬 멜라민 수지(구체 예로는, N-메톡시메틸-멜라민 수지 또는 N-부톡시메틸-멜라민 수지) 및 메틸화되거나 부틸화된 우레아 레진(Urea Resin) 수지(구체예로는, Cymel U-65 Resin 또는 UFR 80 Resin), 하기 화학식 3에 나타낸 바와 같은　글리콜루릴 유도체 (구체예로는, Powderlink 1174), 　2,6-비스(히드록시메틸)-p-크레졸 화합물　등을 예로 들 수 있다. 또한 비스에폭시계 화합물도 가교　성분으로 사용할 수 있다. Specific examples of the (d) crosslinking component that can be used in the antireflective hardmask composition of the present invention include etherized amino resins, alkoxyalkyl melamine resins (specific examples of which are N-methoxymethyl-melamine resins or N- Butoxymethyl-melamine resins) and methylated or butylated urea resins (specific examples include Cymel U-65 Resin or UFR 80 Resin), glycoluril derivatives as shown in the following general formula (3) Examples thereof include Powderlink 1174), “2,6-bis (hydroxymethyl) -p-cresol compound”, and the like. In addition, a bisepoxy compound can also be used as a crosslinking component.

[화학식 5][Chemical Formula 5]

Figure 112009047545817-pat00015
Figure 112009047545817-pat00015

　

한편, 본 발명의 하드마스크 조성물에 사용되는 상기 (e) 촉매로는 NH4OH 또는 NR4OH로 표시되는 암모늄 히드록사이드, 2-메틸이미다졸(2-Methylimidazole),　p-톨루엔 술폰산 모노 하이드레이트　(p-toluenesulfonic acid mono hydrate), 피리디늄 P-톨루엔 술포네이트　(Pyridinium P-toluene sulfonate), 2,4,4,6-테트라브로모시클로헥사디엔온, 벤조인 토실레이트, 2-니트로벤질 토실레이트 및 유기 술폰산의 알킬 에스테르로 이루어진 군에서 선택되는 것을 사용할 수 있다. 또한, 레지스트 기술 분야에서 공지된 다른 방사선-민감성 산 촉매도 이것이 반사방지 조성물의 다른 성분과 상용성이 있는 한 사용할 수 있다.Meanwhile, the (e) catalyst used in the hard mask composition of the present invention is ammonium hydroxide, 2-methylimidazole, p -toluene sulfonic acid mono represented by NH 4 OH or NR 4 OH. hydrate (p -toluenesulfonic acid mono hydrate), pyridinium P - toluenesulfonate (pyridinium P -toluene sulfonate), 2,4,4,6- tetrabromo-necked claw-hexadiene-one, benzoin tosylate, 2-nitrobenzyl One selected from the group consisting of tosylate and alkyl esters of organic sulfonic acids can be used. In addition, other radiation-sensitive acid catalysts known in the resist art can be used as long as they are compatible with the other components of the antireflective composition.

(d) 가교 성분 및 (e) 촉매를 더 포함하여 이루어지는 경우, 본 발명의 하드마스크 조성물은 (a) 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물　1~20 중량%, 보다 바람직하 게는 3~10 중량%, (b) 개시제 0.001~5 중량%, 보다 바람직하게는 0.01~3 중량%, (c) 유기용매 75~98.8 중량%, (d) 가교 성분 0.1~5 중량%, 보다 바람직하게는 0.1~3 중량%, (e) 촉매 0.001~0.05 중량%, 보다 바람직하게는 0.001~0.03 중량% 을 함유하는 것이 바람직하다.In the case of further comprising (d) a crosslinking component and (e) a catalyst, the hardmask composition of the present invention comprises (a) 1 to 20% by weight of a calixarene compound, more preferably 3 to 10% by weight. (b) 0.001 to 5% by weight of initiator, more preferably 0.01 to 3% by weight, (c) 75 to 98.8% by weight of organic solvent, (d) 0.1 to 5% by weight of crosslinking component, more preferably 0.1 to 3 It is preferable to contain the weight%, (e) 0.001-0.05 weight% of a catalyst, More preferably, 0.001-0.03 weight%.

상기 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물이 1 중량% 미만이거나 20 중량% 를 초과할 경우 목적하는 코팅두께 미만으로 되거나 초과하게 되어 정확한 코팅두께를 맞추기 어렵다.When the calixarene compound is less than 1 wt% or more than 20 wt%, it becomes less than or exceeds the desired coating thickness, so that it is difficult to attain an accurate coating thickness.

상기 개시제가 0.001 중량% 미만일 경우 적절한 가교 특성이 나타나지 않을 수 있고, 5 중량% 를 초과할 경우 과량투입에 따른 미반응물에 의해 패턴프로파일의 변형 및 PR(photo resist)　혹은 상부의 제2 하드마스크 계면간의 인터믹싱 (intermixing)이 발생되어 광학적 특성이 변경될 수 있다.If the initiator is less than 0.001% by weight, proper crosslinking properties may not be exhibited. If the initiator is more than 5% by weight, the pattern profile may be deformed by the unreacted material due to excessive injection, and the photoresist or PR may be formed on the upper surface of the second hard mask interface. Intermixing may occur to change optical properties.

상기 가교 성분이 0.1 중량% 미만일 경우 가교특성이 나타나지 않을 수 있고, 5 중량%를 초과할 경우 과량 투입에 의해 패턴프로파일의 변형 및 베이크 공정시 휘발성분 발생으로 인한 리데포지션 오염이 발생할 수 있다.If the crosslinking component is less than 0.1% by weight, the crosslinking property may not appear, and if it exceeds 5% by weight, the redeposition contamination may occur due to the deformation of the pattern profile due to the excessive input and the generation of volatile components during the baking process.

상기 촉매가 0.001 중량% 미만일 경우 가교특성이 나타나지 않을 수 있고 0.05 중량% 초과할 경우 과량투입에 의한 산도증가로 보관안정성에 영향을 줄 수 있다.If the catalyst is less than 0.001% by weight, the crosslinking property may not appear, and when the catalyst is more than 0.05% by weight, the acidity may be increased due to excessive injection, thereby affecting the storage stability.

상기 유기용매가 75 중량% 미만이거나 98.8 중량% 초과할 경우 목적하는 코팅두께 미만으로 되거나 초과하게 되어 정확한 코팅두께를 맞추기 어렵다.When the organic solvent is less than 75% by weight or more than 98.8% by weight, it becomes less than or exceeds the desired coating thickness, making it difficult to attain an accurate coating thickness.

본 발명의 하드마스크 조성물은 추가적으로 계면 활성제 등의 첨가제를　함유 할 수 있다.The hard mask composition of the present invention may further contain additives such as surfactants.

　

한편, 본 발명은 상기 하드마스크 조성물을 사용하여 기판 상의 이면 재료 층을 패턴화시키는 방법을 포함한다.On the other hand, the present invention includes a method of patterning a backing material layer on a substrate using the hardmask composition.

구체적으로, 기판 상에 패턴화된 재료 형상을 형성시키는 방법은Specifically, the method of forming the patterned material shape on the substrate

(a) 기판 상에 재료 층을 제공하는 단계;(a) providing a layer of material on a substrate;

(b) 상기 재료 층 위로 본 발명의 조성물을 이용한 하드마스크 층을 형성시키는 단계;(b) forming a hardmask layer using the composition of the present invention over the material layer;

(c) 상기 하드마스크 층 위로 방사선-민감성 이미지화 층을 형성시키는 단계;(c) forming a radiation-sensitive imaging layer over the hardmask layer;

(d) 상기 방사선-민감성　이미지화 층을 방사선에 패턴 방식으로 노출시킴으로써 이미지화 층 내에서 방사선-노출된 영역의 패턴을 생성시키는 단계;(d) generating a pattern of radiation-exposed areas within the imaging layer by patternwise exposing the radiation-sensitive 층 imaging layer to radiation;

(e) 상기 방사선-민감성　이미지화 층 및 상기 하드마스크 층 부분을 선택적으로 제거하여 재료 층의 부분을 노출시키는 단계; 및(e) selectively removing portions of the radiation-sensitive imaging layer and the hardmask layer to expose portions of the material layer; And

(f) 상기 재료 층의 노출된 부분을 에칭함으로써 패턴화된 재료 형상을 형성시키는 단계를 포함한다.(f) forming a patterned material shape by etching the exposed portion of the material layer.

상기 (c) 단계 이전에 실리콘 함유 하드마스크 층을 추가적으로 형성시키는 단계를 포함할 수도 있다. It may include the step of additionally forming a silicon-containing hard mask layer before step (c).

또한, 상기 실리콘 함유 하드마스크 층을　형성시킨 후　방사선-민감성 이미지화 층을 형성시키기 전에 추가적으로 바닥 반사방지용 하드마스크 층(BARC)을 형성 시키는 단계를 더 포함할 수도 있다.Further, after the silicon-containing hard mask layer is formed, the method may further include forming a bottom anti-reflective hard mask layer BARC before forming the radiation-sensitive imaging layer.

　

본 발명에 따라 기판 상에 패턴화된 재료 형상을 형성시키는 방법은 구체적으로 하기와 같이 수행될 수 있다. 먼저, 알루미늄과 SiN　(실리콘 나이트라이드)　등과 같은 패턴화하고자 하는 재료를 통상적인 방법에 따라 실리콘 기판 위에 형성시킨다. 본 발명의 하드마스크 조성물에 사용되는 패턴화하고자 하는 재료는 전도성, 반전도성, 자성 또는 절연성 재료인 것이 모두 가능하다. 이어서, 본 발명의 하드마스크 조성물을 사용하여 500　Å ~ 　5000　Å 두께로 스핀-코팅에 의해 하드마스크층을 형성하고, 100　℃ 내지 300　℃에서 10초 내지 10분간 베이킹하여 하드마스크 층을 형성한다. 하드마스크층이 형성되면 방사선-민감성 이미지화층(포토레지스트 층)을 형성시키고, 상기 이미지화층을 통한 노광　(exposure) 공정에 의해 패턴이 형성될 영역을 노출시키는 현상　(develop)　공정을 진행한다. 이어서, 이미지화층 및 반사방지층을 선택적으로 제거하여 재료층의 부분을 노출시키고, 일반적으로 CHF3　/　CF4　혼합가스 등을 이용하여 드라이 에칭을 진행한다. 패턴화된 재료 형상이 형성된 후에는 통상의 포토레지스트 스트립퍼에 의해 잔류하는 임의의 레지스트를 제거할 수 있다.　이러한 방법에 의해 반도체 집적회로 디바이스가 제공될 수 있다.The method of forming the patterned material shape on the substrate according to the present invention may be specifically performed as follows. First, a material to be patterned, such as aluminum and SiN (silicon nitride), is formed on a silicon substrate according to a conventional method. The material to be patterned used in the hardmask composition of the present invention can be any conductive, semiconducting, magnetic or insulating material. Subsequently, a hard mask layer is formed by spin-coating to a thickness of 500 Pa to 5000 Pa using the hard mask composition of the present invention, and baked at 100 ° C. to 300 ° C. for 10 seconds to 10 minutes to form a hard mask layer. When the hard mask layer is formed, a radiation-sensitive imaging layer (photoresist layer) is formed, and a development process of exposing a region where a pattern is to be formed is performed by an exposure process through the imaging layer. Subsequently, the imaging layer and the antireflective layer are selectively removed to expose portions of the material layer, and in general, dry etching is performed using a CHF 3 / CF 4 mixed gas or the like. After the patterned material shape is formed, any remaining resist can be removed by conventional photoresist strippers. By this method, a semiconductor integrated circuit device can be provided.

따라서, 본 발명의 조성물 및 형성된 리쏘그래픽 구조물은 통상의 반도체 소자 제조공정에 따라 집적 회로 디바이스의 제조 및 설계에 사용될 수 있다. 예를 들면 금속 배선, 컨택트 또는 바이어스를 위한 홀, 절연 섹션　(예, DT　(Damascene Trench) 또는 STI　(Shallow Trench Isolation)), 커패시터 구조물을 위한 트렌치 등과 같은 패턴화된 재료 층 구조물을 형성시키는 데 사용할 수 있다. 또한 본 발명은 임의의 특정 리쏘그래픽 기법 또는 디바이스 구조물에 국한되는 것이 아님을 이해해야 한다.Thus, the compositions of the present invention and formed lithographic structures can be used in the manufacture and design of integrated circuit devices according to conventional semiconductor device manufacturing processes. For example, it can be used to form patterned material layer structures such as metal wiring, holes for contact or bias, insulated sections (eg Damascene Trench or Shallow Trench Isolation), trenches for capacitor structures, etc. Can be. It should also be understood that the invention is not limited to any particular lithographic technique or device structure.

이하에서 실시예를 통하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 하나, 하기의 실시예는 단지 설명의 목적을 위한 것으로 본 발명의 권리범위를　제한하기 위한 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the following Examples are for illustrative purposes only and are not intended to limit the scope of the present invention.

　

[[ 실시예Example 1] One]

(( 칼릭스[4]알렌과Calix [4] Allen and 알릴클로라이드와의With allyl chloride 반응) reaction)

기계교반기, 냉각관을 구비한 3 L의 3구 플라스크에 칼릭스[4]알렌　500 g　(1.18 mol),　포타슘 카보네이트　179 g　(1.30 mol), 아세토 니트릴 1000 g을 넣고 반응기의 온도를 70 oC로 유지시키면서 교반시켜 완전히 용해시켜 주었다. 10분 후에 알릴클로라이드 292 g　(2.92 mol)을 넣은 후, 동일한 온도에서 15시간 동안 반응을 실시하였다. 반응종료 후,　용매인 아세토 니트릴을 제거한 후에 물　/ 메틸렌 클로라이드 혼합물을 사용하여 유기층을 추출하고, 유기용매를 완전히 제거해서　하기 화학식 6 로 나타내어지는 고분자 화합물을 얻을 수 있었다.A mechanical stirrer, a knife in a three-neck flask of 3 L provided with a condenser tube Riggs [4] Allen 500 g (1.18 mol), potassium carbonate 179 g (1.30 mol), 70 o C the temperature of the acetonide into the acrylonitrile 1000 g Reactor It was stirred while maintaining the solution to completely dissolve. After 10 minutes, 292 g (2.92 mol) of allyl chloride was added thereto, and the reaction was performed at the same temperature for 15 hours. After completion of the reaction, after removing the solvent acetonitrile, the organic layer was extracted using a water / methylene chloride mixture, the organic solvent was completely removed to obtain a high molecular compound represented by the following formula (6).

[화학식 6][Formula 6]

Figure 112009047545817-pat00016
Figure 112009047545817-pat00016

(반사방지 Anti-reflective 하드마스크Hard mask 조성물 제조) Composition preparation)

상기 중합체를　0.8　g　계량하여 개시제 (AIBN, a,a'-azobisisobutyronitriile) 0.08 g 과 하기 화학식 3로 나타내어지는　가교 성분(Powderlink 1174) 0.2　g,　피리디늄 P-톨루엔 술포네이트　(Pyridinium P-toluene sulfonate)　2　mg　을 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트　(Propylene　glycol　monomethylether acetate, 이하 PGMEA이라 칭함) 9　g　에 넣어서 녹인 후 여과하여 반사방지 하드마스크 조성물을 만들었다.The polymer was weighed by 0.8 g, and 0.08 g of an initiator (AIBN, a, a'-azobisisobutyronitriile) and 0.2 g of Powderlink 1174 represented by the following formula (3), Pyridinium P-toluene sulfonate (Pyridinium P-toluene sulfonate) 2 mg was dissolved in 9 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as PGMEA) to form an antireflection hard mask composition.

[화학식 5][Chemical Formula 5]

Figure 112009047545817-pat00017
Figure 112009047545817-pat00017

　

[[ 실시예Example 2] 2]

(고분자 화합물의 전위 반응)(Potential reaction of polymer compound)

기계교반기, 냉각관을 구비한 3 L의 3구 플라스크에　상기 실시예1의 화학식 6으로　나타내어지는 고분자 화합물 592 g (1.17 mol)을 넣고, N,N-디메틸 아닐린 500 mL을 넣은 후 2시간 동안 환류시켰다. Into a 3 L three-necked flask equipped with a mechanical stirrer and a cooling tube, 592 g (1.17 mol) of the polymer compound represented by Chemical Formula 6 of Example 1 was added thereto, and 500 mL of N, N-dimethyl aniline was added for 2 hours. It was refluxed.

반응종료 후,　염산과 얼음물을 각각 1:1로 섞은 용액 4 L를 반응용매에 넣고 1시간 동안 교반시키고, 메틸렌 클로라이드를 사용하여 유기층을 추출한 뒤, 유기용매를 완전히 제거해서　하기 화학식 7로 나타내어지는 고분자 화합물을 얻을 수 있었다.After completion of the reaction, 4 L of a solution of hydrochloric acid and ice water mixed 1: 1 was added to the reaction solvent, stirred for 1 hour, the organic layer was extracted using methylene chloride, and the organic solvent was completely removed. A high molecular compound was obtained.

[화학식 7][Formula 7]

Figure 112009047545817-pat00018
Figure 112009047545817-pat00018

　

상기 중합체를　0.8　g　계량하여 상기 실시예1에서와 동일한 방법으로 반사방지 하드마스크 조성물을 만들었다.The polymer was weighed at 0.8 g / g to prepare an antireflective hardmask composition in the same manner as in Example 1.

　

[[ 비교예Comparative example ]　]

(9,9-(9,9- 비스히드록시페닐플루오렌과With bishydroxyphenylfluorene 1,4- 1,4- 비스메톡시메틸벤젠Bismethoxymethylbenzene 공중합체의 합성) Synthesis of copolymers)

기계교반기, 냉각관을 구비한 3 L의 4구 플라스크에 9,9-비스히드록시페닐플루오렌 350.41 g (1.0 mol) 과 디에틸설페이트 (Diethyl Sulfate) 3.08 g　(0.02 mol)과 프로필렌글리콜모노메틸에테르 350 g을 넣고 반응기의 온도를 115 ℃로 유지시키면서 교반시켜 완전히 용해시켜 주었다. 10분 후에 1,4-비스메톡시메틸벤젠 116.35 g　(0.7 mol)을 적하한 다음　동일한 온도에서 15시간 동안 반응을 실시하였다. 반응종료를 위해 중화제로 트리에탄올아민 2.98 g (0.02 mol) 을 투입하여 종료하였다. 반응종료 후 물　/ 메탄올 혼합물을 사용하여 산을 제거하였고, 이어서 메탄올을 사용하여 올리고머 및 모노머를 함유하는 저분자량체를 제거하여 하기 화학식 8 로 나타내어 지는 중합체 (Mw　=　10,000, polydispersity　=　2.0, n　=　20)를 얻었다.In a 3-liter four-necked flask equipped with a mechanical stirrer and a cooling tube, 350.41 g (1.0 mol) of 9,9-bishydroxyphenylfluorene, 3.08 g (0.02 mol) of diethyl sulfate and propylene glycol monomethyl 350 g of ether was added thereto, followed by stirring while maintaining the temperature of the reactor at 115 ° C. After 10 minutes, 116.35 g (0.7 mol) of 1,4-bismethoxymethylbenzene was added dropwise, followed by reaction at 15 ° C. for 15 hours. To complete the reaction, 2.98 g (0.02 mol) of triethanolamine was added as a neutralizing agent. After completion of the reaction, the acid was removed using a water / methanol mixture, and then a low molecular weight material containing an oligomer and a monomer was removed using methanol to obtain a polymer represented by the following Chemical Formula 8 )

　

[화학식 8][Formula 8]

Figure 112009047545817-pat00019
Figure 112009047545817-pat00019

상기 중합체를　0.8　g　계량하여 상기 실시예1에서와 동일한 방법으로 반사방지 하드마스크 조성물을 만들었다.The polymer was weighed at 0.8 g / g to prepare an antireflective hardmask composition in the same manner as in Example 1.

　

[[ 시험예Test Example 1] One]

　상기 실시예1, 2 및 비교예의 조성물을 각각 실리콘웨이퍼에 스핀-코팅법으로 　코팅하여 60　초간 200　℃에서 구워서 두께 4000　Å의 필름을 형성시켰다.The compositions of Examples 1, 2 and Comparative Examples were respectively coated on a silicon wafer by spin coating to bake at 200 ° C. for 60 seconds to form a film having a thickness of 4000 mm 3.

이 때 형성된　필름들에 대한 굴절률　(refractive index) n　과 흡광계수(extinction coefficient) k　를 각각 구하였다. 사용기기는 Ellipsometer　(J. A. Woollam 사)　이고 그 측정결과를　하기 표 1에　나타내었다.Refractive index n 'and extinction coefficient k' for the formed films were obtained, respectively. The instrument used was an Ellipsometer (J. A. Woollam) and the measurement results are shown in Table 1 below.

　 광학 특성 (193nm)Optical properties (193 nm) 광학 특성 (248nm)Optical properties (248 nm) n　(굴절율)n (refractive index) k　(흡광계수)k (absorption coefficient) n　(굴절율)n (refractive index) k　(흡광계수)k (absorption coefficient) 실시예 1Example 1 1.431.43 0.300.30 1.891.89 0.280.28 실시예 2Example 2 1.431.43 0.300.30 1.891.89 0.250.25 비교예 Comparative example 1.451.45 0.740.74 1.941.94 0.380.38

평가결과 본 발명의 반사방지 하드마스크 조성물로부터 형성되는 필름은 ArF (193 nm) 및 KrF (248 nm) 파장에서 반사방지막으로서 사용가능한 굴절율 및 흡수도가 있음을 확인하였다.The evaluation results confirmed that the film formed from the antireflective hardmask composition of the present invention has refractive index and absorbance which can be used as antireflective films at ArF (193 nm) and KrF (248 nm) wavelengths.

　

[[ 시험예Test Example 2] 2]

실시예 1, 2 및 비교예에서 만들어진 조성물을 각각 실리콘나이트라이드가　입혀진 실리콘웨이퍼 위에 스핀-코팅법으로 코팅하여 60　초간 200　℃에서 베이크하여　두께 4000　Å의 필름을 형성시켰다.The compositions prepared in Examples 1, 2 and Comparative Examples were respectively coated by spin-coating on silicon nitride-coated silicon wafers and baked at 200 ° C. for 60 seconds to form a film having a thickness of 4000 μs.

형성된 각각의 필름위에 실리콘 ARC를　1100 Å으로 코팅하고 240　℃에서 60　초간 베이크 하였다. 이후 실리콘 ARC 상부에 ArF PR을 1700 Å　코팅하고 110 ℃에서 60 초간 구운 후 ASML　(XT　:　1400, NA 0.93)　사의 노광장비를 사용해 각각 노광을 한 다음 TMAH　(2.38　wt% 수용액)　으로 각각 현상하였다. 그리고 FE-SEM을 사용하여 63 nm의 라인 앤드 스페이스　(line and space) 패턴을 각각 고찰한 결과 하기 표 2와 같은 결과를 얻었다. 노광량의 변화에 따른 EL　(expose latitude) 마진　(margine)과 광원과의 거리변동에 따른 DoF　(depth of focus) 마진(margine)을 고찰하여 하기 표 2에 기록하였다.　Silicone ARC was coated with # 1100 mm 3 on each film formed and baked at 240 ° C. for 60 ms. After the ArF PR 1700 실리콘 coating on the silicon ARC and baked for 60 seconds at 110 ℃ and exposed to each using an exposure equipment of ASML (XT 1400, NA 0.93) developed by TMAH (2.38 wt% aqueous solution) 각각 respectively. In addition, the FE-SEM was used to examine the line and space patterns of 63 nm, respectively, and the results were obtained as shown in Table 2 below. The exposure latitude (EL) margin according to the change of the exposure amount and the depth of focus (DoF) margin according to the distance change with the light source were considered and recorded in Table 2 below.

　 패턴특성Pattern EL 마진
(△mJ/exposure energy mJ)EL margin
(△ mJ / exposure energy mJ) DoF 마진
(㎛)DoF margin
(탆) ProfileProfile 실시예 1Example 1 3.83.8 0.200.20 cubiccubic 실시예 2Example 2 3.83.8 0.210.21 cubiccubic 비교예 Comparative example 44 0.250.25 cubiccubic

패턴평가결과 패턴 프로파일이나 마진 면에서 실시예와 비교예 모두 유의차 없는 양호한 결과를 확인할 수 있었다.As a result of the pattern evaluation, both the Example and the comparative example showed good results without significant difference in terms of pattern profile and margin.

　

[[ 시험예Test Example 3] 3]

상기 시험예2에서 패턴화된 시편을 각각 CHF3 　/　CF4　혼합가스로 PR(photo resist)을 마스크로 하여 실리콘 함유 하드마스크층의 드라이 에칭을 진행하고 이어서 O2 / N2　혼합가스로 실리콘 함유 하드마스크층을　마스크로 하여 본 하드마스크의 드라이 에칭을 다시 진행하였다. 이후 CHF3 　/　CF4 　혼합가스로 하드마스크를 마스크로 하여 실리콘 나이트라이드의 드라이 에칭이 진행하고 난 뒤 남아 있는 하드마스크 및 유기물에 대해 O2 애슁 및

Figure 112009047545817-pat00020
스트립 공정을 진행하였다.The specimens patterned in Test Example 2 were each CHF 3 　 / CF 4 gas mixture by PR (photo resist) to proceed with the silicon-containing dry etching of the hard mask layer as a mask, followed by O 2 / N 2 was performed for the silicon-containing hard mask layer in the gas mixture back to the dry etching of the hard mask as a mask. Since CHF 3 　 / CF 4 　 O 2 ashing and hardening were performed on the hard mask and organic material remaining after dry etching of silicon nitride using the hard mask as a mask as a mixed gas.
Figure 112009047545817-pat00020
The strip process was carried out.

하드마스크 에칭과 실리콘 나이트라이드 에칭 직후 각각의 시편에 대해 FE-SEM으로 단면을 각각 고찰하여 하기 표 3에 결과를 수록하였다.Immediately after the hard mask etching and the silicon nitride etching, the cross sections were examined by FE-SEM for each specimen, and the results are shown in Table 3 below.

필름 제조에
사용된 샘플In film manufacturing
Samples used 하드마스크 에칭 후
패턴 모양After hard mask etching
Pattern shape 실리콘 나이트라이드
에칭후 패턴모양Silicon nitride
Pattern after etching 실시예 1Example 1 수직모양(Anisotropic)Anisotropic 수직모양(Anisotropic)Anisotropic 실시예 2Example 2 수직모양(Anisotropic)Anisotropic 수직모양(Anisotropic)Anisotropic 비교예 Comparative example 활모양(Bowing)Bowing 테이퍼진 모양Tapered shape

에치 평가결과 본 발명의 하드마스크 조성물의 경우 하드마스크 에칭 후 및 실리콘 나이트라이드 에칭 후 패턴의 모양이 모두 양호하게 나타났다. 즉, 에칭개스에 의한 내성이 충분하여 실리콘 나이트라이드의 에칭이 양호하게 수행된 것으로 판단된다.As a result of the etch evaluation, the pattern of the hard mask composition of the present invention was good after the hard mask etching and after the silicon nitride etching. That is, it is judged that the etching of silicon nitride was performed well because the resistance by the etching gas was sufficient.

한편, 비교예의 경우 에치 평가결과 하드마스크 에칭 후에 활모양의 등방성 에칭 양상이 확인되었고 이로 인해 실리콘 나이트라이드의 에칭시 테이퍼 양상이 나타나는 것으로 판단된다.On the other hand, in the comparative example, the etch evaluation resulted in a bow-shaped isotropic etching pattern after the hard mask etching, and thus, the taper pattern appeared when the silicon nitride was etched.

Claims (14)

삭제delete (a) 하기 화학식 1 내지 2　중 어느 하나로 표시되는 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물(a) Calixarene compound represented by any one of the following Chemical Formulas 1 to 2 ' (b) 개시제 및(b) an initiator and (c) 유기 용매를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사방지 하드마스크 조성물.(c) An antireflective hardmask composition comprising an organic solvent. 　 [화학식 1][Formula 1]
Figure 112009047545817-pat00023
Figure 112009047545817-pat00023
 (상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R1, R2　는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R3 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.) 　(In the above formula, 2≤m <20 and 1≤n <20, and, R 1, R 2 are each independently a hydrogen (-H), hydroxy (-OH), an alkyl group of C 1 -10, C 6 -10 One of an aryl group, an allyl group, and a halogen atom; R 3 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.) 　 [화학식 2][Formula 2]
Figure 112009047545817-pat00024
Figure 112009047545817-pat00024
 　　(상기 식에서, 　2≤m<20　및　1≤n<20이고, R4, R6 는 각각 독립적으로 수소 (-H), 히드록시기　(-OH), C1 -10의 알킬기, C6 -10의 아릴기, 알릴기 및　할로겐 원자　중 어느 하나이며, R5 는 -O-, 탄소수 1~7의 -CnH2nO- 중 어느 하나이다.)Wherein 2 ≦ m <20 and 1 ≦ n <20, R 4 , R 6 Are each independently hydrogen (-H), hydroxy (-OH), any one of an aryl group, an allyl group and a halogen atom of a C 1 -10 alkyl, C 6 -10 a, R 5 Is -O-, or -C n H 2n O- having 1 to 7 carbon atoms.) 　 제 2 항에 있어서, 상기 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물은　중량 평균 분자량이　100 ~ 30,000인 것을 특징으로 하는 반사방지 하드마스크 조성물.The antireflective hard mask composition according to claim 2, wherein the calix allene compound has a weight average molecular weight of 100 to 30,000. 　 제 2 항에 있어서, 상기 개시제는　퍼옥사이드계, 퍼설페이트계 및 아조화합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 반사방지 하드마스크 조성물.The antireflective hard mask composition according to claim 2, wherein the initiator is at least one selected from the group consisting of a wulfoxide oxide, a persulfate salt, and an azo compound. 　 제 2 항에 있어서, 상기 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물은　유기용매 100중량부에 대해서 1~30 중량부로 포함되는 것을 특징으로 하는 반사방지 하드마스크 조성물.The anti-reflective hard mask composition according to claim 2, wherein the calixarene compound is included in an amount of 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of an organic solvent. 　 　제 2항에 있어서, 상기 하드마스크 조성물은 추가적으로 (d) 에테르화된 아미노 수지, N-메톡시메틸-멜라민 수지, N-부톡시메틸-멜라민 수지, 메틸화되거나 부틸화된 우레아 레진(Urea Resin) 수지, 글리콜루릴 유도체, 　2,6-비스(히드록시메틸)-p-크레졸 화합물　및　비스에폭시계 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 1 또는 2이상의 화합물인 가교 성분 및 (e) 촉매를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사방지 하드마스크 조성물.The method of claim 2, wherein the hard mask composition further comprises (d) etherified amino resin, N-methoxymethyl-melamine resin, N-butoxymethyl-melamine resin, methylated or butylated urea resin (Urea Resin) It further comprises a crosslinking component and (e) a catalyst which is at least one compound selected from the group consisting of a resin, a glycoluril derivative, a # 2,6-bis (hydroxymethyl) -p-cresol compound and a bisepoxy clock compound. Anti-reflective hard mask composition, characterized in that. 　 제 6 항에 있어서, 상기 촉매는　암모늄 히드록사이드, 2-메틸이미다졸(2-Methylimidazole),　p-톨루엔 술폰산 모노 하이드레이트　(p-toluenesulfonic acid mono hydrate), 피리디늄 P-톨루엔 술포네이트　(Pyridinium P-toluene sulfonate), 2,4,4,6-테트라브로모시클로헥사디엔온, 벤조인 토실레이트, 2-니트로벤질 토실레이트 및 유기 술폰산의 알킬 에스테르로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 반사방지 하드마스크 조성물. 7. The method of claim 6 wherein the catalyst is ammonium hydroxide, 2-methylimidazole (2-Methylimidazole), p - toluenesulfonic acid monohydrate (p -toluenesulfonic acid mono hydrate), pyridinium P - toluenesulfonate (Pyridinium P- toluene sulfonate), 2,4,4,6-tetrabromocyclohexadienone, benzoin tosylate, 2-nitrobenzyl tosylate, and an alkyl ester of organic sulfonic acid Anti-hardmask composition. 　 삭제delete 제 6항에 있어서, 상기 하드마스크 조성물은The method of claim 6, wherein the hard mask composition is (a) 칼릭스 알렌 (calixarene) 화합물　1~20 중량%;　(a) 1 to 20% by weight of a calix allene compound; (b) 개시제 0.001~5 중량%;(b) 0.001-5% by weight of initiator; (c) 가교 성분 0.1~5 중량%;(c) 0.1 to 5% by weight of crosslinking components; (d) 촉매 0.001~0.05 중량%; 및(d) 0.001 to 0.05 weight percent of catalyst; And (e) 유기용매　75~98.8 중량%를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사방지 하드마스크 조성물.(e) An anti-reflection hard mask composition comprising an organic solvent # 75 to 98.8% by weight. 　 제 2　항에 있어서 계면활성제를 추가로 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사방지 하드마스크 조성물.The antireflective hard mask composition according to claim 2, further comprising a surfactant. 　 제 6　항에 있어서 계면활성제를 추가로 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사방지 하드마스크 조성물.The antireflective hard mask composition according to claim 6, further comprising a surfactant. 　 (a) 기판 상에 재료 층을 제공하는 단계;(a) providing a layer of material on a substrate; (b) 상기 재료 층 위로 제 2항 내지 제7항 및 제9항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 따른 조성물을 이용하여 하드마스크 층을 형성하는 단계;(b) forming a hardmask layer over the material layer using a composition according to any one of claims 2 to 7 and 9 to 11; (c) 상기 하드마스크　층 위로 방사선-민감성 이미지화 층을 형성하는 단계;(c) forming a radiation-sensitive imaging layer over the hardmask layer; (d) 상기 방사선-민감성　이미지화 층을 방사선에 패턴 방식으로 노출시킴으로써, 상기 방사선-민감성　이미지화 층 내에서 방사선-노출된 영역의 패턴을 생성하는 단계;(d) patternwise exposing the radiation-sensitive imaging layer to radiation to produce a pattern of radiation-exposed areas within the radiation-sensitive imaging layer; (e) 상기 방사선-민감성　이미지화 층 및 상기 하드마스크　층의 부분을 선택적으로 제거하여 상기 재료 층의 부분을 노출시키는 단계; 및(e) selectively removing portions of the radiation-sensitive imaging layer and the hardmask layer to expose portions of the material layer; And (f) 상기 재료 층의 노출된 부분을 에칭함으로써 패턴화된 재료 형상을 형성시키는 단계를 포함하는, 기판 상에 패턴화된 재료 형상의　제조방법.(f) forming a patterned material shape by etching the exposed portion of the material layer. 　 제 12　항에 있어서, The method of claim 12, 상기 (c) 단계 이전에 실리콘 함유 조성물의 하드마스크 층을 형성시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 패턴화된 재료 형상의　제조방법.And forming a hardmask layer of the silicon-containing composition prior to step (c). 　 제 13　항에 있어서, The method of claim 13, 상기 실리콘 함유 하드마스크 층을　형성시킨 후　방사선-민감성 이미지화 층을 형성시키기 전에 추가적으로 바닥 반사방지용 하드마스크 층(BARC)을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 패턴화된 재료 형상의　제조방법.And forming a bottom anti-reflective hard mask layer (BARC) after forming the silicon-containing hard mask layer and before forming the radiation-sensitive imaging layer. Way.
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