KR101281158B1 - Pendulum valve having magnetic fluid seal - Google Patents

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KR101281158B1 KR1020110050715A KR20110050715A KR101281158B1 KR 101281158 B1 KR101281158 B1 KR 101281158B1 KR 1020110050715 A KR1020110050715 A KR 1020110050715A KR 20110050715 A KR20110050715 A KR 20110050715A KR 101281158 B1 KR101281158 B1 KR 101281158B1
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Abstract

개시된 기술에 따른 자성유체씰이 구비된 진자밸브는 내부에 수평방향으로 중공부가 형성되어 있으며 수직방향으로는 통기구가 관통되어 있는 밸브몸체; 상기 밸브몸체의 중공부에 구비되어 진자운동을 하는 밸브게이트; 상기 밸브몸체의 일측에 구비되어 상기 밸브게이트가 진자운동을 하는데 필요한 동력을 발생시키는 구동부; 일단이 상기 밸브게이트와 결합되고, 타단이 상기 구동부와 결합되어 상기 구동부의 동력을 상기 밸브게이트에 전달하는 구동축; 및 상기 구동축과 상기 밸브몸체의 결합부에 구비되며, 내측면에는 베어링과 자성유체씰이 구비되어 있는 하우징;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 일 실시예에 따른 자성유체씰이 구비된 진자밸브는, 베어링의 내부로 이물질이 유입되거나 베이링에 주입된 윤활제가 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있어서 베어링의 내구성 및 수명을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.Pendulum valve with a magnetic fluid seal according to the disclosed technology is a hollow body formed in the horizontal direction therein and the valve body through which the vent is penetrated in the vertical direction; A valve gate provided in the hollow portion of the valve body to pendulum movement; A driving unit provided at one side of the valve body to generate power required for the valve gate to pendulum move; A driving shaft having one end coupled to the valve gate and the other end coupled to the driving unit to transfer power of the driving unit to the valve gate; And a housing provided at the coupling portion of the driving shaft and the valve body and having a bearing and a magnetic fluid seal at an inner side thereof. Pendulum valve equipped with a magnetic fluid seal according to an embodiment, it is possible to prevent foreign substances from entering the inside of the bearing or the lubricant injected into the bearing to leak to the outside to improve the durability and life of the bearing There is this.

Description

자성유체씰이 구비된 진자밸브{PENDULUM VALVE HAVING MAGNETIC FLUID SEAL}Pendulum valve with magnetic fluid seal {PENDULUM VALVE HAVING MAGNETIC FLUID SEAL}

개시된 기술은 자성유체씰이 구비된 진자밸브에 관한 것으로, 특히 모터축에 자성유체씰이 구비되어 내구성 및 내마모성을 향상시킬 수 있는 자성유체씰이 구비된 진자밸브에 관한 것이다.The disclosed technology relates to a pendulum valve having a magnetic fluid seal, and more particularly, to a pendulum valve having a magnetic fluid seal capable of improving durability and wear resistance by providing a magnetic fluid seal on a motor shaft.

반도체 소장의 제조공정에 있어서, 진공 챔버 등과 같이 진공상태를 필요로 하는 공간에는 진공펌프를 연결하여 챔버 내부의 공기를 외부로 배출시킬 필요가 있다. 이때, 챔버와 진공펌프 사이에는 진자밸브가 구비되어 진공펌퍼의 동작유무 또는 진공상태의 유지 등을 위하여 필요에 따라 연결관을 개폐할 필요가 있다.In the manufacturing process of a semiconductor small intestine, it is necessary to connect a vacuum pump to the space which requires a vacuum state, such as a vacuum chamber, and to discharge the air inside a chamber to the outside. At this time, the pendulum valve is provided between the chamber and the vacuum pump, it is necessary to open and close the connection pipe as necessary for the operation of the vacuum pump or maintenance of the vacuum state.

도 1은 종래기술에 따른 진자밸브의 구성을 나타내는 도면이다.1 is a view showing the configuration of a pendulum valve according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 진자밸브는 밸브몸체(10)와, 상기 밸브몸체(10)의 어느 한 부분에 구비된 통기구(30)와, 상기 통기구(30)를 가로지르도록 구비되어 상기 통기구(30)에 대응되는 형상으로 구성되는 밸브게이트(50)와, 상기 밸브게이트(50)가 진자운동을 하는데 필요한 구동력을 전달하는 구동부(70) 및 상기 밸브게이트(50)와 상기 구동부(70)를 연결하는 구동축(90)을 포함하여 구성된다.Referring to Figure 1, the pendulum valve according to the prior art is provided to cross the valve body 10, the vent 30 provided in any one portion of the valve body 10, and the vent 30 A valve gate 50 having a shape corresponding to the vent 30, a driving unit 70 for transmitting a driving force necessary for the pendulum movement of the valve gate 50, and the valve gate 50 and the driving unit ( It comprises a drive shaft 90 for connecting the 70.

상기와 같은 구성에서, 종래기술에 따른 진자밸브의 구동축(90)은 밸브몸체(10)의 일측면을 관통하여 외부로 연장되어 있으며, 외부로 연장된 구동축(90)에는 구동부(70)가 결합되어 있다. 이때 구동축(90)과 밸브몸체(10)는 회전운동시 마찰력을 줄이기 위하여 베어링(95)을 매개로 하여 연결되어 있다.In the configuration as described above, the drive shaft 90 of the pendulum valve according to the prior art extends through one side of the valve body 10 to the outside, the drive unit 70 is coupled to the drive shaft 90 extended to the outside It is. At this time, the drive shaft 90 and the valve body 10 are connected via a bearing 95 to reduce the friction force during the rotational movement.

그러나 종래기술에 따른 진자밸브의 구동축은 오랜 시간 사용하는 경우에 베어링의 내부로 이물질이 유입되거나 베어링에 공급되어 있는 윤활유가 외부로 누설되어 베어링의 마찰력을 증가시키는 문제점이 있다. 그리하여 베어링이 마모되거나 손상되어 정기적으로 교체해 주어야 하는 문제점이 있었다.However, the drive shaft of the pendulum valve according to the prior art has a problem of increasing the frictional force of the bearing when foreign matter flows into the bearing or the lubricant oil supplied to the bearing leaks to the outside when used for a long time. Thus, there was a problem that the bearing is worn or damaged and should be replaced regularly.

실시예들 중에서, 개시된 기술에 따른 자성유체씰이 구비된 진자밸브는, 자성유체씰이 구비된 진자밸브에 있어서, 내부에 수평방향으로 중공부가 형성되어 있으며 수직방향으로는 통기구가 관통되어 있는 타원형의 밸브몸체; 상기 밸브몸체의 중공부에 구비되어 진자운동을 하는 밸브게이트; 상기 밸브몸체의 일측에 구비되어 상기 밸브게이트가 진자운동을 하는데 필요한 동력을 발생시키는 구동부; 동력전달수단에 의하여 상기 구동부를 연결하여 측면에 상기 구동부를 구비하고, 상기 밸브몸체의 길이방향의 중심부의 일측에 치우친 위치에 구비되고, 일단이 상기 밸브게이트의 가장자리에 인접한 위치와 결합되고, 타단이 상기 구동부와 결합되어 상기 구동부의 동력을 상기 밸브게이트에 전달하는 구동축; 및 상기 구동축과 상기 밸브몸체의 결합면 사이에 구비되며, 내측면의 타측에 상기 구동축의 회전마찰력을 줄이기 위한 베어링과, 내측면의 일측에 상기 구동축 및 상기 베어링으로 이물질이 유입되거나 상기 베어링에 공급된 윤활유가 외부로 누설되는 것을 방지하기 위한 자성유체씰을 구비하는 하우징을 포함하며, 상기 자성유체씰은, 상기 구동축에 구비되어 자성유체 및 자석을 이용하여 상기 구동축 사이에 자력형성을 유도하여 오링 막을 형성하는 것을 특징으로 한다.Among the embodiments, the pendulum valve with a magnetic fluid seal according to the disclosed technology, in the pendulum valve with a magnetic fluid seal, the hollow portion is formed in the horizontal direction in the inside and the elliptical hole through the vent in the vertical direction Valve body; A valve gate provided in the hollow portion of the valve body to pendulum movement; A driving unit provided at one side of the valve body to generate power required for the valve gate to pendulum move; The driving unit is connected to the driving unit by a power transmission unit, and the driving unit is provided at a side surface, and is provided at a position biased to one side of the central portion in the longitudinal direction of the valve body, and one end is coupled to a position adjacent to the edge of the valve gate, A drive shaft coupled to the drive unit to transfer power of the drive unit to the valve gate; And a bearing provided between the driving shaft and the coupling surface of the valve body, the bearing for reducing the rotational friction force of the driving shaft on the other side of the inner side, and the foreign matter introduced into the driving shaft and the bearing on one side of the inner side, or supplied to the bearing. And a housing having a magnetic fluid seal for preventing leakage of the lubricated oil to the outside, wherein the magnetic fluid seal is provided on the drive shaft to induce magnetic force formation between the drive shaft using a magnetic fluid and a magnet. It is characterized by forming a film.

도 1은 종래기술에 따른 진자밸브의 구성을 나타내는 도면.
도 2는 개시된 기술에 따른 자성유체씰이 구비된 하우징의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 3은 도 2에 도시된 자성유체씰이 구비된 하우징이 진자밸브와 결합된 상태의 일례를 나타내는 도면.
도 4는 개시된 기술의 일례에 따른 진자밸브의 밸브몸체에 구동부가 결합된 상태를 나타내는 도면.
도 5는 개시된 기술의 또다른 실시예에 따른 자성유체씰이 구비된 진자밸브를 나타내는 도면.1 is a view showing the configuration of a pendulum valve according to the prior art.
Figure 2 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a housing provided with a magnetic fluid seal according to the disclosed technology.
3 is a view illustrating an example of a state in which a housing having a magnetic fluid seal illustrated in FIG. 2 is coupled with a pendulum valve.
4 is a view showing a state in which a driving unit is coupled to the valve body of the pendulum valve according to an example of the disclosed technology.
5 is a view showing a pendulum valve with a magnetic fluid seal according to another embodiment of the disclosed technology.

본 출원에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 개시된 기술의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러가지 형태를 가질 수 있으므로 개시된 기술의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Description of the present application is only an embodiment for structural or functional description, the scope of the disclosed technology should not be construed as limited by the embodiments described in the text. That is, the embodiments may be variously modified and may have various forms, and thus, the scope of the disclosed technology should be understood to include equivalents capable of realizing the technical idea.

한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.Meanwhile, the meaning of the terms described in the present application should be understood as follows.

"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms "first "," second ", and the like are intended to distinguish one element from another, and the scope of the right should not be limited by these terms. For example, a first component may be named a second component, and similarly, a second component may also be named a first component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 외 구성요소는 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" to another element, it may be directly connected to the other element, but there may be other elements in between. On the other hand, when a component is said to be "directly connected" to another component, it should be understood that the other component does not exist. On the other hand, other expressions describing the relationship between the components, such as "between" and "immediately between" or "neighboring to" and "directly neighboring to", should be interpreted as well.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다"또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the singular " include "or" have "are to be construed as including a stated feature, number, step, operation, component, It is to be understood that the combination is intended to specify that it does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 개시된 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어있는 용어들은 관련기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
All terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the disclosed technology belongs, unless otherwise defined. Generally, the terms defined in the dictionary used are to be interpreted as being consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted as having ideal or excessively formal meanings unless clearly defined in the present application.

도 2는 개시된 기술에 따른 자성유체씰이 구비된 하우징의 구조를 개략적으로 나타낸 단도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 자성유체씰이 구비된 하우징이 진자밸브와 결합된 상태의 일례를 나타내는 도면이고, 도 4는 개시된 기술의 일례에 따른 진자밸브의 밸브몸체에 구동부가 결합된 상태를 나타내는 도면이다.2 is a cross-sectional view schematically showing the structure of a housing having a magnetic fluid seal according to the disclosed technology, and FIG. 3 shows an example of a state in which a housing having a magnetic fluid seal shown in FIG. 2 is coupled with a pendulum valve. 4 is a view illustrating a state in which a driving unit is coupled to a valve body of a pendulum valve according to an example of the disclosed technology.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 개시된 기술에 따른 자성유체씰(155)이 구비된 진자밸브는, 내부에 수평방향으로 중공부(113)가 형성되어 있으며 수직방향으로는 통기구(115)가 관통되어 있는 밸브몸체(110); 상기 밸브몸체(110)의 내측 중공부(113)에 구비되어 진자운동을 하는 밸브게이트(120); 상기 밸브몸체(110)의 일측에 구비되어 상기 밸브게이트(120)가 진자운동을 하는데 필요한 동력을 발생시키는 구동부(130); 일단이 상기 밸브게이트(120)와 결합되고, 타단이 상기 구동부(130)와 결합되어 상기 구동부(130)의 동력을 상기 밸브게이트(120)에 전달하는 구동축(140); 및 상기 구동축(140)과 상기 밸브몸체(110)의 결합부에 구비되며, 내측면에는 베어링(153)과 자성유체씰(155)이 구비되어 있는 하우징(150);을 포함하여 구성된다.2 to 4, the pendulum valve having the magnetic fluid seal 155 according to the disclosed technology has a hollow portion 113 formed therein in a horizontal direction and a vent 115 penetrates in a vertical direction. A valve body 110; A valve gate 120 provided in the inner hollow portion 113 of the valve body 110 to pendulum; A drive unit 130 provided at one side of the valve body 110 to generate power required for the valve gate 120 to pendulum move; A driving shaft 140 having one end coupled to the valve gate 120 and the other end coupled to the driving unit 130 to transmit power of the driving unit 130 to the valve gate 120; And a housing 150 provided at the coupling portion of the driving shaft 140 and the valve body 110, and having a bearing 153 and a magnetic fluid seal 155 provided at an inner side thereof.

밸브몸체(110)는 개략적으로 두 개의 판이 이격되어 서로 대면되어 있고, 양 판의 사이에는 중공부(113)가 형성되어 있으며, 두 개의 판의 가장자리는 서로 연결되어 중공부(113)가 밀폐된 구조를 갖는다. 중공부(113)는 후술하여 설명할 밸브게이트(120)가 진자운동을 하는데 필요한 공간을 제공한다. 밸브몸체(110)는 밸브게이트(120)가 개폐하는데 필요한 최소한의 공간이 형성될 수 있는 타원형으로 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 중공부(113)는 밸브게이트(120)가 통기구(115)를 폐쇄한 경우와 통기구(115)를 개방하기 위하여 측면으로 이동할 수 있는 공간으로 구성되는 타원형으로 형성되는 것이 바람직하므로 밸브몸체(110) 또한 중공부(113)의 형상에 대응되는 타원형으로 형성되는 것이 바람직하다. 다만 전술한 바와 같은 밸브몸체(110)의 구성은 본 발명의 일례를 나타내는 것으로 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 중공부(113)의 형상은 밸브게이트(120)가 진자운동을 할 수 있는 구조라면 어떠한 형상이라도 무방하고 밸브몸체(110)의 형상 또한 중공부(113)의 형상에 따라 다양하게 변형되어 사용될 수도 있다. 한편, 밸브몸체(110)에는 수직방향으로 통기구(115)가 관통되어 형성되어 있다. 통기구(115)는 챔버(미도시)를 진공상태로 감압하는 경우에 챔버 내부의 공기가 배출되는 통로다. 통기구(115)는 원형으로 형성되는 것이 바람직하나 반드시 이에 한정될 필요는 없다. 통기구(115)는 밸브몸체(110)의 임의의 어느 한 부분에 수직방향으로 관통되도록 형성될 수 있으나, 바람직하게는 공간활용을 최대화하고 밸브몸체(110)의 크기를 최소화하기 위하여 밸브몸체(110)의 일측으로 치우친 위치에 형성되도록 한다. 밸브몸체(110)는 금속재질로 구성되며, 바람직하게는 부식에 강하고 내구성이 좋은 알루미늄(aluminum) 재질로 구성되도록 한다.The valve body 110 is roughly spaced apart from each other by two plates, and a hollow portion 113 is formed between the two plates, and the edges of the two plates are connected to each other to seal the hollow portion 113. Has a structure. The hollow portion 113 provides a space for the valve gate 120 to be described later to pendulum movement. The valve body 110 is preferably configured of an oval shape in which the minimum space necessary for opening and closing the valve gate 120 can be formed. That is, the hollow portion 113 is preferably formed in an oval shape consisting of a space that can move to the side when the valve gate 120 closed the vent 115 and to open the vent 115 (the valve body ( 110) It is also preferably formed in an elliptical shape corresponding to the shape of the hollow portion 113. However, the configuration of the valve body 110 as described above represents an example of the present invention, and is not necessarily limited thereto. The shape of the hollow portion 113 may be any structure as long as the valve gate 120 has a pendulum motion. The shape of the valve body 110 may also be variously modified according to the shape of the hollow part 113. On the other hand, the valve body 110 is formed through the vent hole 115 in the vertical direction. The vent 115 is a passage through which air inside the chamber is discharged when the chamber (not shown) is decompressed in a vacuum state. Vent 115 is preferably formed in a circular shape, but is not necessarily limited thereto. The vent 115 may be formed to penetrate in any direction of the valve body 110 in a vertical direction, but preferably the valve body 110 to maximize space utilization and minimize the size of the valve body 110. To be formed in a position biased to one side of the). The valve body 110 is composed of a metal material, preferably made of aluminum (aluminum) material resistant to corrosion and durable.

밸브게이트(120)는 밸브몸체(110)의 내측에 형성되어 있는 중공부(113)에 구비되며, 통기구(115)의 형상에 대응되는 형상으로 구성되도록 하는 것이 바람직하다. 즉, 통기구(115)가 원형인 경우에 밸브게이트(120) 또한 원판형상으로 구성되도록 한다. 다만 밸브게이트(120)는 통기구(115)를 개폐하기 위한 장치이므로 밸브게이트(120)의 전면(全面)을 가릴 수 있고, 중공부(113)의 내측에서 진자운동을 할 수 있는 구조라면 어떠한 형상이라도 무방하다. 또한 밸브게이트(120)와 통기구(115)가 대면되는 부분에는 공기가 유출입되는 것을 방지하기 위한 씰링부재(미도시)가 구비될 수 있다. 밸브게이트(120)는 공지의 구성요소로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.The valve gate 120 is provided in the hollow portion 113 formed inside the valve body 110, and preferably configured to have a shape corresponding to the shape of the vent 115. That is, when the vent 115 is circular, the valve gate 120 is also configured to have a disc shape. However, since the valve gate 120 is a device for opening and closing the vent 115, the valve gate 120 may cover the entire surface of the valve gate 120, and may have a pendulum motion inside the hollow part 113. It is okay. In addition, a sealing member (not shown) may be provided at a portion where the valve gate 120 and the vent 115 face each other to prevent air from flowing in and out. The valve gate 120 is a known component and a detailed description thereof will be omitted.

구동부(130)는 밸브게이트(120)가 진자운동을 하는데 필요한 동력을 전달하는 장치이다. 구동부(130)는 밸브게이트(120)가 진자운동을 하는데 유리하게 밸브몸체(110)의 외측 가장자리에 구비되는 것이 바람직하다. 구동부(130)의 위치와 밸브게이트(120)와의 결합관계 및 구동에 관해서는 후술하여 상세하게 설명한다. 구동부(130)는 밸브게이트(120)를 개폐하기 위하여 양방향 운동이 가능한 구동장치라면 공지의 어떠한 구동장치라도 무방하다. 예를 들어 구동부(130)는 양방향 회전이 가능한 전동모터, 서보모터(servomotor) 또는 솔레노이드(solenoid)장치 등이 사용될 수 있다. 구동부(130)는 구동축(140)과 직접 연결될 수 있다.The driving unit 130 is a device for transmitting power required for the valve gate 120 to pendulum movement. The drive unit 130 is preferably provided at the outer edge of the valve body 110 for the valve gate 120 to pendulum movement. The coupling relationship between the position of the driving unit 130 and the valve gate 120 and the driving will be described in detail later. The driving unit 130 may be any driving device known as long as it is a driving device capable of bidirectional movement to open and close the valve gate 120. For example, the driving unit 130 may be an electric motor capable of bidirectional rotation, a servomotor or a solenoid device. The driving unit 130 may be directly connected to the driving shaft 140.

구동축(140)은 밸브몸체(110)의 일측면을 관통하여 수직으로 구비되어 있으며, 일단은 밸브게이트(120)와 결합되고 타단은 구동부(130)와 결합되어 상기 구동부(130)의 동력을 밸브게이트(120)에 전달한다. 이때 밸브게이트(120)는 중공부(113)의 내측에서 구동축(140)을 중심으로 좌우방향으로 진자운동을 하여야 하기 때문에 상기 구동축(140)은 밸브게이트(120)의 운동궤적의 중심부의 일측에 구비되도록 하는 것이 바람직하다. 즉, 도면에 도시된 바와 같이 밸브몸체(110)가 타원형에 유사한 형상으로 구성되는 경우에 몸체의 길이방향의 중심부의 일측에 치우친 위치에 구동축(140)이 구비되고, 상기 구동축(140)과 결합되는 구동부(130) 또한 구동축(140)에 대응되는 위치에 구비되도록 하는 것이 바람직하다. 또한 구동축(140)의 타단은 밸브게이트(120)의 가장자리에 인접한 위치와 결합되도록 하는 것이 바람직하다.Drive shaft 140 is provided vertically through one side of the valve body 110, one end is coupled to the valve gate 120 and the other end is coupled to the drive unit 130 to drive the power of the drive unit 130 It passes to the gate 120. At this time, since the valve gate 120 should pendulum in the left and right direction about the drive shaft 140 inside the hollow part 113, the drive shaft 140 is located at one side of the center of the motion trajectory of the valve gate 120. It is desirable to be provided. That is, as shown in the figure when the valve body 110 is configured in a similar shape to the oval drive shaft 140 is provided at a position biased to one side of the central portion of the longitudinal direction of the body, coupled with the drive shaft 140 The driving unit 130 may also be provided at a position corresponding to the driving shaft 140. In addition, the other end of the drive shaft 140 is preferably coupled to the position adjacent to the edge of the valve gate 120.

하우징(150)은 구동축(140)과 밸브몸체(110)의 결합부 사이에 구비된다. 하우징(150)은 원통형상으로, 내측면에는 구동축(140)의 회전마찰력을 줄이기 위한 베어링(153)과, 상기 구동축(140) 및 베어링(153)으로 이물질이 유입되거나 상기 베어링(153)에 공급된 윤활유가 외부로 누설되는 것을 방지하기 위한 자성유체씰(155)이 구비되어 있다. 이때 베어링(153)은 하우징(150)의 내측의 타측에 구비되고, 자성유체씰(155)은 하우징(150)의 내측의 일측에 구비되도록 하는 것이 바람직하다. 베어링(153)은 볼베어링(153)이 구비될 수 있다.The housing 150 is provided between the drive shaft 140 and the coupling portion of the valve body 110. The housing 150 has a cylindrical shape, and a bearing 153 for reducing the rotational frictional force of the drive shaft 140 on the inner side thereof, and foreign matter flows into the drive shaft 140 and the bearing 153 or is supplied to the bearing 153. A magnetic fluid seal 155 is provided to prevent leakage of the lubricated oil to the outside. At this time, the bearing 153 is provided on the other side of the inside of the housing 150, the magnetic fluid seal 155 is preferably provided on one side of the inside of the housing 150. The bearing 153 may be provided with a ball bearing 153.

자성유체씰(155)은 자성유체 및 자석을 이용하여 구동축(140) 사이에 자력형성을 유도하여 오링(O-ring)과 같은 막을 형성하는 씰링(sealing)장치로, 비접촉식 회전시 마찰이 거의 없고, 차폐효과가 우수하다. 자성유체 및 자성유체씰은 공지의 구성요소로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 전술한 바와 같이 하우징의 내측의 일측에 자성유체씰(155)을 구비하면, 상기 자성유체씰(155)이 씰링장치의 기능을 하여 하우징의 내부로 이물질이 유입되어 베어링 등이 오염되거나 손상되는 것을 방지하고, 베어링에 주입된 윤활제가 외부로 누출되지 않기 때문에 베어링의 수명을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
The magnetic fluid seal 155 is a sealing device that forms a film such as an O-ring by inducing magnetic force formation between the drive shaft 140 by using a magnetic fluid and a magnet. Excellent shielding effect. Magnetic fluid and magnetic fluid seal is a known component and a detailed description thereof will be omitted. As described above, when the magnetic fluid seal 155 is provided at one side of the inner side of the housing, the magnetic fluid seal 155 functions as a sealing device so that foreign substances flow into the interior of the housing to contaminate or damage the bearings. And since the lubricant injected into the bearing does not leak to the outside, there is an effect that can improve the life of the bearing.

도 5는 개시된 기술의 또다른 실시예에 따른 자성유체씰이 구비된 진자밸브를 나타내는 도면이다.5 is a view showing a pendulum valve with a magnetic fluid seal according to another embodiment of the disclosed technology.

도 5를 참조하면, 개시된 기술에 따른 자성유체씰(155)이 구비된 진자밸브는 구동부(130)가 구동축(140)과 밸트, 타이밍밸트 또는 풀리 등과 같은 동력전달수단(160)을 매개로 하여 간접적으로 연결될 수 있다. 개시된 기술에 따른 자성유체씰(155)이 구비된 진자밸브의 또다른 실시예에서 밸브몸체(110), 밸브게이트(120), 구동부(130), 구동축(140) 및 하우징(150) 등의 개별 구성요소는 도 2 내지 도 4에서 설명된 내용과 동일하다. 또한 개시된 기술의 또다른 실시예에 따른 진자밸브에는 구동축(140)과 밸브몸체(110)의 결합면 사이에는 베어링(153)과 자성유체씰(155)이 구비된 하우징(150)이 구비된다.Referring to FIG. 5, in the pendulum valve having the magnetic fluid seal 155 according to the disclosed technology, the driving unit 130 is driven by the driving shaft 140 and the power transmission means 160 such as a belt, a timing belt, or a pulley. It may be indirectly connected. In another embodiment of the pendulum valve equipped with the magnetic fluid seal 155 according to the disclosed technology, such as the valve body 110, the valve gate 120, the drive unit 130, the drive shaft 140 and the housing 150, etc. The components are the same as those described in FIGS. 2 to 4. In addition, the pendulum valve according to another embodiment of the disclosed technology is provided with a housing 150 having a bearing 153 and a magnetic fluid seal 155 between the drive shaft 140 and the coupling surface of the valve body 110.

전술한 바와 같이 구동축(140)과 구동부(130)가 동력전달수단(160)에 의하여 연결되는 경우에는 구동부(130)를 구동축(140)의 측면에 구비되도록 할 수 있기 때문에 진자밸브의 슬림화가 가능하다.
As described above, when the driving shaft 140 and the driving unit 130 are connected by the power transmission means 160, the pendulum valve can be made slim because the driving unit 130 can be provided on the side of the driving shaft 140. Do.

개시된 기술은 다음의 효과를 가질 수 있다. 다만, 특정 실시예가 다음의 효과를 전부 포함하여야 한다거나 다음의 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 개시된 기술의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.The disclosed technique may have the following effects. It is to be understood, however, that the scope of the disclosed technology is not to be construed as limited thereby, as it is not meant to imply that a particular embodiment should include all of the following effects or only the following effects.

일 실시예에 따른 자성유체씰이 구비된 진자밸브는, 베어링의 내부로 이물질이 유입되거나 베이링에 주입된 윤활제가 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있어서 베어링의 내구성 및 수명을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.Pendulum valve equipped with a magnetic fluid seal according to an embodiment, it is possible to prevent foreign substances from entering the inside of the bearing or the lubricant injected into the bearing to leak to the outside to improve the durability and life of the bearing There is this.

상기에서는 본 출원의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분양의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 출원의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to the preferred embodiment of the present application, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the present application without departing from the spirit and scope of the present application described in the claims below I can understand that you can.

110: 밸브몸체 113: 중공부
115: 통기구 120: 밸브게이트
130: 구동부 140: 구동축
150: 하우징 153: 베어링
155: 자성유체씰 160: 동력전달수단110: valve body 113: hollow part
115: vent 120: valve gate
130: drive unit 140: drive shaft
150: housing 153: bearing
155: magnetic fluid seal 160: power transmission means

Claims (5)

자성유체씰이 구비된 진자밸브에 있어서,
내부에 수평방향으로 중공부가 형성되어 있으며 수직방향으로는 통기구가 관통되어 있는 타원형의 밸브몸체;
상기 밸브몸체의 중공부에 구비되어 진자운동을 하는 밸브게이트;
상기 밸브몸체의 일측에 구비되어 상기 밸브게이트가 진자운동을 하는데 필요한 동력을 발생시키는 구동부;
동력전달수단에 의하여 상기 구동부를 연결하여 측면에 상기 구동부를 구비하고, 상기 밸브몸체의 길이방향의 중심부의 일측에 치우친 위치에 구비되고, 일단이 상기 밸브게이트의 가장자리에 인접한 위치와 결합되고, 타단이 상기 구동부와 결합되어 상기 구동부의 동력을 상기 밸브게이트에 전달하는 구동축; 및
상기 구동축과 상기 밸브몸체의 결합면 사이에 구비되며, 내측면의 타측에 상기 구동축의 회전마찰력을 줄이기 위한 베어링과, 내측면의 일측에 상기 구동축 및 상기 베어링으로 이물질이 유입되거나 상기 베어링에 공급된 윤활유가 외부로 누설되는 것을 방지하기 위한 자성유체씰을 구비하는 하우징을 포함하며,
상기 자성유체씰은, 상기 구동축에 구비되어 자성유체 및 자석을 이용하여 상기 구동축 사이에 자력형성을 유도하여 오링 막을 형성하는 것을 특징으로 하는 자성유체씰이 구비된 진자밸브.In the pendulum valve equipped with a magnetic fluid seal,
An elliptical valve body in which a hollow part is formed in a horizontal direction and a vent is penetrated in a vertical direction;
A valve gate provided in the hollow portion of the valve body to pendulum movement;
A driving unit provided at one side of the valve body to generate power required for the valve gate to pendulum move;
The driving unit is connected to the driving unit by a power transmission unit, and the driving unit is provided at a side surface, and is provided at a position biased to one side of the central portion in the longitudinal direction of the valve body. A drive shaft coupled to the drive unit to transfer power of the drive unit to the valve gate; And
Is provided between the drive shaft and the coupling surface of the valve body, a bearing for reducing the rotational friction of the drive shaft on the other side of the inner surface, foreign matter is introduced into the drive shaft and the bearing on one side of the inner surface or supplied to the bearing It includes a housing having a magnetic fluid seal for preventing the leakage of lubricant to the outside,
The magnetic fluid seal, the pendulum valve provided with a magnetic fluid seal, characterized in that the magnetic fluid seal is provided on the drive shaft to form an O-ring film by inducing magnetic force between the drive shaft using a magnetic fluid and a magnet. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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