KR101279538B1 - Method of aligning alingment layer and OCB mode LCD device having alingment layer aligned through the method - Google Patents

Method of aligning alingment layer and OCB mode LCD device having alingment layer aligned through the method Download PDF

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Abstract

본 발명은, 기판 상에 배향막을 인쇄하는 단계와; 상기 인쇄된 배향막의 제 1 영역에 이온빔을 조사하는 단계와; 상기 제 1 영역과 이격되어 있는 제 2 영역에 이온빔을 조사하는 단계를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 영역에서 상기 배향막의 측쇄는 제거되고, 상기 제 1 및 제 2 영역 사이의 제 3 영역에는 상기 배향막 표면에 대하여 수직한 측쇄가 존재하는 것이 특징인 배향막의 배향 방법을 제공함으로써, 배향막 상에 위치하게 되는 액정분자의 선경사각을 자유롭게 조절할 수 있는 것이 특징이다.The present invention includes the steps of printing an alignment film on a substrate; Irradiating an ion beam on a first region of the printed alignment layer; Irradiating an ion beam to a second region spaced apart from the first region, wherein the side chains of the alignment layer are removed in the first and second regions, and the third region between the first and second regions It is a feature that the pretilt angle of the liquid crystal molecules positioned on the alignment film can be freely adjusted by providing the alignment method of the alignment film characterized by the presence of side chains perpendicular to the alignment film surface.

이온빔, 단일배향막, 선경사각 Ion Beam, Mono-Oriented Membrane, Pretilt Angle

Description

배향막의 배향 방법 및 오씨비 모드 액정표시장치{Method of aligning alingment layer and OCB mode LCD device having alingment layer aligned through the method}Method of aligning alingment layer and OCB mode LCD device having alingment layer aligned through the method}

본 발명은 배향 방법에 관한 것으로, 더 상세히는 액정분자의 선경사각 조절이 가능한 배향 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an alignment method, and more particularly to an alignment method capable of adjusting the pretilt angle of the liquid crystal molecules.

최근에 액정표시장치는 소비전력이 낮고, 휴대성이 양호한 기술 집약적이며, 부가가치가 높은 차세대 첨단 디스플레이(display)소자로 각광받고 있다.  Recently, liquid crystal displays have been spotlighted as next generation advanced display devices having low power consumption, good portability, high technology value, and high added value.

이러한 액정표시장치 중에서도, 각 화소(pixel)별로 전압의 온(on)/오프(off)를 조절할 수 있는 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 구비된 액티브 매트릭스형 액정표시장치가 해상도 및 동영상 구현능력이 뛰어나 가장 주목받고 있다.Among these liquid crystal display devices, an active matrix type liquid crystal display device having a thin film transistor, which is a switching device capable of controlling voltage on / off for each pixel, It is attracting attention.

일반적으로, 액정표시장치는 박막트랜지스터 및 화소 전극을 형성하는 어레이 기판 제조 공정과 컬러필터 및 공통 전극을 형성하는 컬러필터 기판 제조 공정을 통해, 각각 어레이 기판 및 컬러필터 기판을 형성하고, 이 두 기판 사이에 액정을 개재하는 액정셀 공정을 거쳐 완성된다. In general, an LCD device forms an array substrate and a color filter substrate through an array substrate manufacturing process for forming a thin film transistor and a pixel electrode, and a color filter substrate manufacturing process for forming a color filter and a common electrode, respectively. It completes through the liquid crystal cell process through a liquid crystal between them.

좀 더 자세히, 일반적인 액정표시장치의 분해사시도인 도 1을 참조하여 설명하면, 도시한 바와 같이, 액정층(30)을 사이에 두고 어레이 기판(10)과 컬러필터 기판(20)이 대면 합착된 구성을 갖는데, 이중 하부의 어레이 기판(10)은 투명한 기판(12)의 상면으로 종횡 교차 배열되어 다수의 화소영역(P)을 정의하는 복수개의 게이트 배선(14)과 데이터 배선(16)을 포함하며, 이들 두 배선(14, 16)의 교차지점에는 박막트랜지스터(Tr)가 구비되어 각 화소영역(P)에 마련된 화소전극(18)과 일대일 대응 접속되어 있다.In more detail, referring to FIG. 1, which is an exploded perspective view of a general liquid crystal display device, as illustrated, the array substrate 10 and the color filter substrate 20 face each other with the liquid crystal layer 30 interposed therebetween. The array substrate 10 of the lower part includes a plurality of gate lines 14 and data lines 16 arranged vertically and horizontally on the upper surface of the transparent substrate 12 to define a plurality of pixel regions P. Thin film transistors Tr are provided at the intersections of the two wires 14 and 16 to be connected one-to-one with the pixel electrodes 18 provided in the pixel regions P. FIG.

또한, 상기 어레이 기판(10)과 마주보는 상부의 컬러필터 기판(20)은 투명기판(22)의 배면으로 상기 게이트 배선(14)과 데이터 배선(16) 그리고 박막트랜지스터(Tr) 등의 비표시영역을 가리도록 각 화소영역(P)을 테두리하는 격자 형상의 블랙매트릭스(25)가 형성되어 있으며, 이들 격자 내부에서 각 화소영역(P)에 대응되게 순차적으로 반복 배열된 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터 패턴(26a, 26b, 26c)을 포함하는 컬러필터층(26)이 형성되어 있으며, 상기 블랙매트릭스(25)와 컬러필터층(26)의 전면에 걸쳐 투명한 공통전극(28)이 구비되어 있다. In addition, the upper color filter substrate 20 facing the array substrate 10 is a rear surface of the transparent substrate 22 and non-display of the gate wiring 14, the data wiring 16, and the thin film transistor Tr. A grid-like black matrix 25 is formed around the pixel region P so as to cover the region, and red (R) and green are sequentially arranged in order to correspond to the pixel region (P) in the grid. A color filter layer 26 including (G) and blue (B) color filter patterns 26a, 26b, and 26c is formed, and is transparent over the entire surface of the black matrix 25 and the color filter layer 26. The common electrode 28 is provided.

전술한 액정표시장치의 제조공정에 대해 간단히 설명한다. The manufacturing process of the above-mentioned liquid crystal display device is briefly described.

먼저, 어레이 기판은 증착(deposition), 노광(photo-lithography), 식각(etching)공정을 거쳐 박막 트랜지스터(thin film transistor)와 같은 다수의 스위칭소자를 형성하고, 상기 각각의 스위칭 소자(switching device)에 대응하는 화소(pixel)를 매트릭스 형태로 구성하며, 상기 스위칭 소자를 중심으로 배선이 교차되고 상기 각 배선의 일단에는 패드부가 형성되는 어레이 패턴을 형성함으로써 완 성한다. First, an array substrate forms a plurality of switching elements such as thin film transistors through deposition, photo-lithography, and etching processes, and each of the switching devices. The pixel corresponding to the pixel is formed in a matrix form, and is completed by forming an array pattern in which wiring is crossed around the switching element and a pad portion is formed at one end of each wiring.

또한, 컬러필터 기판은 상기 어레이 기판과 마주보는 면에 블랙매트릭스(BM)와 적, 녹, 청색이 반복되는 컬러필터층을 형성하고, 상기 블랙매트릭스(BM)와 컬러필터층 하부에 공통전극 형성함으로써 완성한다. In addition, the color filter substrate is completed by forming a color filter layer in which black matrix (BM), red, green, and blue are repeated on the surface facing the array substrate, and forming a common electrode under the black matrix (BM) and the color filter layer. do.

이후, 전술한 바와 같이 제작된 상기 어레이 기판 및 컬러필터 기판 사이에 액정을 충진하고, 합착함으로써 하나의 액정패널을 형성하는 셀 공정을 진행하여 액정표시장치로 제품화 된다. Subsequently, the liquid crystal is filled between the array substrate and the color filter substrate manufactured as described above, and the cells are bonded to each other to form a liquid crystal panel, thereby forming a liquid crystal display device.

이러한, 액정표시장치는 액정의 전기 광학적 효과를 이용한 것이고, 이러한 전기 광학적 효과는 액정 자체의 이방성과 액정의 분자배열 상태에 의해 결정되며, 상기 액정의 분자배열에 대한 제어는 액정표시장치에서의 화상표시 품위를 안정화하는 데 큰 영향을 미치게 된다. The liquid crystal display device utilizes the electro-optical effect of the liquid crystal, and the electro-optic effect is determined by the anisotropy of the liquid crystal itself and the molecular arrangement state of the liquid crystal, and the control of the molecular arrangement of the liquid crystal is an image in the liquid crystal display device. It will greatly affect the stabilization of the display quality.

따라서, 상기 두 기판 사이에 개재되는 액정층 내의 액정 분자의 초기 배열을 고르게 하기 위한 배향공정을 진행하고 있다. Therefore, an alignment process is performed to evenly arrange the initial arrangement of liquid crystal molecules in the liquid crystal layer interposed between the two substrates.

상기 배향공정은 크게 배향막을 기판에 형성하는 배향막 인쇄 공정과, 상기 기판 상에 형성된 배향막의 표면에 일정방향으로 방향성을 갖는 고분자 사슬이 형성되도록 하는 배향막 표면처리 공정으로 나눌 수 있다. The alignment process can be broadly divided into an alignment film printing process for forming an alignment film on a substrate, and an alignment film surface treatment process for forming polymer chains having directivity in a predetermined direction on the surface of the alignment film formed on the substrate.

배향막 인쇄공정은 어레이 기판 또는 컬러필터 기판 전면에 배향막으로 주로 이용되는 고분자 물질을 고른 두께로써 형성하는 공정이다. 더욱 정확히 설명하면 상기 배향막은 기판 전면에 형성하는 것이 아니라, 액정층이 형성될 영역 즉, 화상을 표시하게 되는 액티브 영역에만 형성한다. 따라서, 스핀 코팅법 등에 의해 배향 막을 기판 전면에 형성하면, 액티브 영역 이외의 비표시영역에 형성된 배향막을 제거하기 위해 식각공정을 더욱 진행해야 하므로, 액티브 영역에 대응되도록 미리 패터닝된 전사판을 이용하여 기판에 인쇄하는 방법에 의해 주로 기판 상에 형성되고 있다. The alignment film printing process is a process of forming a polymer material mainly used as an alignment film on an entire surface of an array substrate or a color filter substrate with an even thickness. More precisely, the alignment layer is not formed on the entire surface of the substrate, but only in the region where the liquid crystal layer is to be formed, that is, the active region in which an image is displayed. Therefore, when the alignment layer is formed on the entire surface of the substrate by spin coating or the like, the etching process must be further performed to remove the alignment layer formed in the non-display region other than the active region. Thus, using a transfer plate pre-patterned to correspond to the active region It is mainly formed on a board | substrate by the method of printing on a board | substrate.

이후, 상기 배향막이 형성된 기판을 건조로 및 경화로 내에서 각각 적정시간 유지시킴으로써 상기 배향막 내의 수분을 제거하고, 적당한 경도를 유지할 수 있도록 경화시킨다. Thereafter, the substrate on which the alignment layer is formed is maintained in a drying furnace and a curing furnace, respectively, to remove moisture in the alignment layer and to be cured to maintain an appropriate hardness.

다음, 상기 경화된 배향막 표면에 일정한 방향성을 갖는 고분사 사슬을 형성하기 위해 배향막의 표면처리를 실시하게 되는데, 상기 배향막 표면 처리공정은 통상적으로 러빙에 의해 진행되고 있다.Next, surface treatment of the alignment layer is performed to form a high-injection chain having a certain orientation on the surface of the cured alignment layer, and the alignment layer surface treatment process is generally performed by rubbing.

여기서 종래의 러빙에 의한 배향막 표면처리 방법에 대해 도면을 참조하여 설명한다.Here, the conventional orientation film surface treatment method by rubbing is demonstrated with reference to drawings.

도 2a와 2b는 종래의 러빙에 의한 배향막 표면처리 공정을 간략히 도시한 평면도 및 단면도이다.2A and 2B are plan views and cross-sectional views briefly showing an alignment film surface treatment process by conventional rubbing.

도시한 바와 같이, 배향막(45)이 형성된 기판(40)을 러빙 장치의 스테이지(30) 위에 위치시키면 표면에 레이온 등의 재질로 이루어진 러빙포(55)가 감겨진 러빙롤(50)이 상기 기판(40)과 일정한 갭(gap)을 유지하며 위치하게 되고, 동시에 상기 러빙롤(50)이 고속 회전을 하게 되는데, 이때, 상기 러빙롤(50) 표면에 부착된 러빙포(55)가 상기 기판(40)상의 배향막(45)에 접촉하며 상기 배향막(45) 표면을 마찰시키게 된다. 더욱 정확히는 상기 고속 회전하는 러빙롤(50)의 표면에 부착 된 러빙포(55)가 상기 기판(40)과 접촉함과 동시에 상기 스테이지(30) 또는 러빙롤(50)이 일정한 속도로써 일방향으로 이동함으로써 배향막 기판상의 전 배향막(45) 표면이 러빙포(55)로써 마찰이 이루어지게 되어 배향막(45) 표면에 그 내부적으로 형성된 고분자 사슬(이하 측쇄라 칭함)이 일방향으로 정렬되게 된다. 따라서, 배향막(45) 표면이 더욱 정확히는 배향막(45) 표면의 측쇄가 일정한 방향으로 배향되어 진다. 이때 상기 측쇄에 의해 액정분자의 선경사각까지도 어느 정도 조절되고 있다.As illustrated, when the substrate 40 on which the alignment layer 45 is formed is positioned on the stage 30 of the rubbing device, the rubbing roll 50 having the rubbing cloth 55 made of a material such as rayon is wound on the surface of the substrate 40. 40 and the predetermined gap (gap) is maintained while, at the same time the rubbing roll 50 is to rotate at a high speed, at this time, the rubbing cloth (55) attached to the surface of the rubbing roll 50 is the substrate The alignment layer 45 on the 40 is in contact with the surface of the alignment layer 45. More precisely, while the rubbing cloth 55 attached to the surface of the high-speed rotating rubbing roll 50 contacts the substrate 40, the stage 30 or the rubbing roll 50 moves in one direction at a constant speed. Thus, the surface of the entire alignment layer 45 on the alignment layer substrate is rubbed with the rubbing cloth 55 so that the polymer chains (hereinafter referred to as side chains) formed therein on the surface of the alignment layer 45 are aligned in one direction. Therefore, the side chain of the surface of the alignment film 45 is more orientated in a constant direction more precisely. At this time, even the pretilt angle of the liquid crystal molecules is controlled to some extent by the side chain.

하지만 구동 전의 액정분자의 장축이 기판면 또는 배향막 표면과 이루는 각도라 정의되는 선경사각은 TN모드 및 횡전계형 액정표시장치의 경우 0-3도의 각도를 갖는 것이 바람직하며, 이를 위해 통상 수평 배향막을 형성한 후 전술한 러빙에 의해 액정분자들이 0-3도 정도의 선경사각을 가지며 일방향으로 배열되도록 할 수 있으며, 수직모드 액정표시장치의 경우 선경사각이 87도 내지 90도의 각도를 갖는 것이 바람직하며, 이는 기판에 수직 배향막을 형성한 후 전술한 러빙에 의해 액정분자들이 0-3도 정도의 선경사각을 가지며 일방향으로 배열되도록 할 수 있다. However, the pretilt angle defined by the long axis of the liquid crystal molecules before driving is formed at an angle between the substrate surface and the alignment layer surface preferably has an angle of 0-3 degrees in the TN mode and the transverse electric field type liquid crystal display device. After the above-mentioned rubbing, the liquid crystal molecules may be arranged in one direction with a pretilt angle of about 0-3 degrees. In the case of a vertical mode liquid crystal display, the pretilt angle is preferably 87 to 90 degrees. This may allow the liquid crystal molecules to be aligned in one direction with a pretilt angle of about 0-3 degrees by forming the vertical alignment layer on the substrate.

한편, 액정표시장치의 화상 표시 모드들이 새롭게 개발되면서 0-3도 또는 87-90도의 선경사각 이외에 40-50도 범위의 선경사각을 요구하고 있으며, 나아가 전 각도 범위 즉 0-90도의 선경사각을 갖도록 공정 진행에 의해 선경사각이 자유롭게 조절될 수 있는 배향막이 요구되고 있다. Meanwhile, with the newly developed image display modes of the liquid crystal display device, a pretilt angle of 40-50 degrees is required in addition to a pretilt angle of 0-3 degrees or 87-90 degrees, and a pretilt angle of 0-90 degrees is further increased. There is a demand for an alignment film in which the pretilt angle can be freely adjusted by the progress of the process.

하지만, 0-90도 범위를 갖는 배향막은 그 성향이 다른 고분자 물질의 블랜딩이 어려워 연구는 되고 있으나 실용화 된 것이 없으며, 수평 배향막과 수직 배향막 을 적절히 조합하고 러빙의 강도를 조절함으로써 전 각도 범위(0-90도) 중 원하는 각도 범위대의 선경사각을 갖도록 하고 있다.However, the alignment film having a range of 0-90 degrees has been studied due to the difficulty in blending polymer materials having different inclinations, but has not been put into practical use, and has been used in all angle ranges by appropriately combining the horizontal alignment film and the vertical alignment film and adjusting the intensity of rubbing. -90 degrees) to have a pretilt angle in the desired angle range.

하지만 전술한 배향막의 0-90도 각도 범위 중 원하는 각도의 선경사각을 구현하는 종래의 배향막의 선경사각 구현 방법은 수평 배향막과 수직 배향막을 적절히 조합하기 위해 여러 번의 배향막 인쇄공정이 요구되고 있으며, 이러한 공정은 특정 각도 범위의 선경사각을 갖는 단일 배향막을 형성하는 공정 대비 배향막 인쇄 공정 및 세정 공정이 추기됨에 따라 제조비용 상승의 문제점이 발생하고 있다.However, the method of implementing the pretilt angle of the conventional alignment film that implements the pretilt angle of the desired angle among the above-described 0-90 degree angle ranges of the alignment film requires several alignment film printing processes to properly combine the horizontal alignment film and the vertical alignment film. In the process, as the alignment film printing process and the cleaning process are additionally compared to the process of forming a single alignment film having a pretilt angle in a specific angle range, a problem in manufacturing cost increases.

또한, 전사판을 이용한 배향막 인쇄방법은 늘어나는 특성을 갖는 전사판에 기인하여 서로 다른 패턴을 갖는 전사판을 이용하여 인쇄시 패턴간 미스얼라인에 의해 원하는 선경사각을 갖도록 하는데 그 신뢰성이 떨어지는 문제점이 발생하고 있다. In addition, the alignment film printing method using the transfer plate has a desired pretilt angle due to misalignment between patterns when printing by using a transfer plate having different patterns due to the transfer plate having increasing characteristics. It is happening.

또한, 배향막의 표면 처리를 위해 수 회의 러빙 처리 과정을 수반하게 되는 바, 러빙 실시에 기인한 다수의 문제점이 발생하고 있다.In addition, since several rubbing treatment processes are involved for surface treatment of the alignment film, a number of problems due to rubbing are generated.

러빙 특성 상 레이온 등의 재질로 이루어진 러빙포가 기판과 마찰하게 되므로, 러빙포 표면의 포털이 상기 러빙포에서 이탈함으로써 파티클(particle)을 많이 발생시키고 있으며, 더욱이 러빙포 자체로부터 미세먼지가 많이 발생되어 고 청정도를 요구하는 액정표시장치용 기판 제조에 악영향을 끼치고 있다.  Due to the rubbing characteristics, since rubbing cloths made of materials such as rayon rub against the substrate, the portals on the surface of the rubbing cloths generate a lot of particles by leaving the rubbing cloths, and a lot of fine dust is generated from the rubbing cloths themselves. It adversely affects the manufacture of substrates for liquid crystal display devices requiring high cleanliness.

또한, 러빙포에 의한 기판과의 마찰에 의해 기판 상에 정전기가 발생함으로써 기판에 형성된 배선을 단선시키거나 또는 스위칭 소자 특성을 저하시키는 등의 문제가 발생하고 있다. 또한 기판의 대형화로 러빙롤의 길이가 늘어나게 되는데 이 경우 러빙롤의 고속 회전 시 편심 영향이 증가하여 진동이 심하게 발생하며, 동시에 러빙포와 기판의 접촉 시 압력이 기판의 위치에 따라 일정하지 않게되어 배향 균일성을 저하시키는 문제가 발생하고 있다. In addition, the static electricity generated on the substrate by friction with the substrate caused by the rubbing cloth causes problems such as disconnection of the wiring formed on the substrate or deterioration of switching element characteristics. In addition, the length of the rubbing roll increases as the size of the substrate increases. In this case, the eccentric effect increases when the rubbing roll rotates at a high speed, and the vibration is severely generated. There is a problem of lowering uniformity.

또한, 최근에 액정표시장치에 있어 고화질 구동이 요구되면서 빠른 응답속도와 넓은 시야각 등의 특성이 필요하게 되었으며, 이를 위하여 오씨비(Optically Compensated Bend : 이하, OCB라 함.) 모드 액정표시장치가 제안되었다. 응답속도, 시야각 측면 외에도, 중앙부를 기준으로 대칭적인 액정분자의 배열 구조로 인해, 일반적인 액정표시장치에서 요구되는 고가의 보상필름을 생략할 수 있으므로, 제조원가의 측면에서도 장점을 갖고 있다.In addition, in recent years, as a high-definition driving is required for a liquid crystal display, characteristics such as a fast response speed and a wide viewing angle are required. For this purpose, an OCP (Modeally Compensated Bend: OCB) mode liquid crystal display is proposed. It became. In addition to the response speed and the viewing angle, the arrangement of the symmetric liquid crystal molecules with respect to the center part can eliminate the expensive compensation film required in the general liquid crystal display device, which has advantages in terms of manufacturing cost.

도 3a 내지 도 3c는 종래 OCB 모드 액정표시장치의 구동에 따른 액정분자의 배열 상태를 도시한 개략적인 단면도이다. 구체적으로, 도 3a는 스플레이(splay) 상태를, 도 3b는 밴드(bned)I 상태를, 도 3c는 밴드II 상태를 도시하고 있다.3A to 3C are schematic cross-sectional views illustrating arrangement states of liquid crystal molecules according to driving of a conventional OCB mode liquid crystal display. Specifically, FIG. 3A shows a splay state, FIG. 3B shows a band I state, and FIG. 3C shows a band II state.

OCB 모드 액정표시장치는 스위칭 소자인 박막트랜지스터(미도시)와 화소전극(미도시) 등이 형성되어 있는 제 1 기판(60) 상에 제 1 배향막(62)이 형성되어 있으며, 상기 제 1 기판(60)과 마주보는 제 2 기판(70)에는 컬러필터(미도시)와 공통전극(미도시) 등이 형성되며 그 상부로 제 2 배향막(72)이 형성되어 있다. 그리고 상기 제 1 및 제 2 배향막(62, 72) 사이에는 액정분자(82, 84)로 이루어진 액정층(80)이 충진되어 있다.In the OCB mode liquid crystal display, a first alignment layer 62 is formed on a first substrate 60 on which a thin film transistor (not shown), which is a switching element, and a pixel electrode (not shown) are formed. A color filter (not shown), a common electrode (not shown), and the like are formed on the second substrate 70 facing the 60, and a second alignment layer 72 is formed on the second substrate 70. The liquid crystal layer 80 made of liquid crystal molecules 82 and 84 is filled between the first and second alignment layers 62 and 72.

먼저 스플레이 상태를 도시한 도 3a을 참조하면, 전압이 인가되지 않은 상태 에서, 제 1 및 제 2 배향막(62, 72)에 인접되어 있는 제 1 액정분자(82)는 중앙의 제 2 액정분자(84)에 대하여 서로 대칭 상태로 배열되어 있으며, 이때 제 1 액정분자(82)의 제 1 선경사각(pretilt angle, θ1)은 배향막(62, 72) 또는 기판(60, 70) 면에 대하여 통상 1~3°를 갖게 되며, 중앙의 제 2 액정분자(84)는 배향막(62, 72) 또는 기판(60, 70) 면에 수평한 상태를 갖게 된다.Referring to FIG. 3A, which shows a splay state, the first liquid crystal molecules 82 adjacent to the first and second alignment layers 62 and 72 are in a state where the second liquid crystal molecules ( 84, and the first pretilt angle θ1 of the first liquid crystal molecules 82 is generally 1 with respect to the alignment layers 62 and 72 or the surfaces of the substrates 60 and 70. 3 ° to the center, and the second liquid crystal molecules 84 in the center have a horizontal state on the alignment layers 62 and 72 or the surfaces of the substrates 60 and 70.

이러한 스플레이 상태에서 전압이 인가되면, 도 3b의 밴드I 상태에 이르게 되는데 이때의 전압을 초기 전압(initial voltage, VI)이라 한다. OCB 모드 액정표시장치는 초기 전압이 인가됨으로써 온(ON) 상태가 되며 화이트 영상을 표시하게 된다. 이러한 상태에서 제 1 및 제 2 배향막(62, 72)에 인접되어 있는 제 1 액정분자(82)는 스플레이 상태에서의 제 1 선경사각(θ1)보다 큰 제 2 선경사각(θ2)을 갖게 되며, 중앙의 제 2 액정분자(84)는 배향막(62, 72) 또는 기판(60, 70) 면에 수직한 상태를 갖게 된다.When a voltage is applied in this splay state, the voltage reaches the band I state of FIG. 3B, and the voltage at this time is called an initial voltage (V I ). The OCB mode liquid crystal display is turned on by applying an initial voltage and displays a white image. In this state, the first liquid crystal molecules 82 adjacent to the first and second alignment layers 62 and 72 have a second pretilt angle θ2 greater than the first pretilt angle θ1 in the splay state. The second liquid crystal molecules 84 in the center have a state perpendicular to the surfaces of the alignment layers 62 and 72 or the substrates 60 and 70.

그리고, 상기 초기 전압보다 큰 구동전압(driving voltage) 이상의 전압이 인가되면, 도 3c와 같이 밴드II 상태를 갖게되며, OCB 모드 액정표시장치는 오프(OFF) 상태가 되어 블랙 영상을 표시하게 된다. 이때, 제 1 및 제 2 배향막(62, 72)에 인접되어 있는 제 1 액정분자(82)는 밴드I 상태에서의 제 2 선경사각(θ2)보다 큰 제 3 선경사각(θ3)을 갖게 된다.When a voltage equal to or greater than a driving voltage greater than the initial voltage is applied, a band II state is provided as shown in FIG. 3C, and the OCB mode liquid crystal display is turned off to display a black image. In this case, the first liquid crystal molecules 82 adjacent to the first and second alignment layers 62 and 72 have a third pretilt angle θ3 greater than the second pretilt angle θ2 in the band I state.

위와 같은, OCB 모드의 구동 상태와 인가 전압과의 관계를 도시한 도 4를 참조하면, OCB 모드 액정표시장치는 밴드I 상태에서 밴드II 상태로 구동하기 때문에, 그 응답속도가 빠른 것이 가장 큰 장점이 된다. 즉, 액정분자가 최초 스플레이 상태에서의 제 1 선경사각보다 큰 제 2 선경사각을 가지는 상태에서의 전압 인가로 응답속도를 향상시킬 수 있는데, 이를 위하여 밴드I 상태를 요구하며, 액정분자가 밴드I 상태에서의 제 2 선경사각(θ2)을 갖도록 인가되는 초기 전압만큼의 전력 소모 증가 문제를 야기시킨다. Referring to FIG. 4 showing the relationship between the driving state of the OCB mode and the applied voltage as described above, since the OCB mode liquid crystal display is driven from the band I state to the band II state, the biggest advantage is that the response speed is high. Becomes That is, the response speed can be improved by applying a voltage in a state where the liquid crystal molecules have a second pretilt angle larger than the first pretilt angle in the first splay state. This causes a problem of increased power consumption by the initial voltage applied to have the second pretilt angle θ2 in the state.

따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 단일 배향막을 사용하며, 수 회의 러빙 공정의 실시없이도 상기 배향막 표면의 측쇄를 일정방향으로 정렬시키며, 액정분자가 0도 내지 90도의 각도 전 범위에 대해 원하는 각도의 선경사각을 갖도록 하는 배향막 형성 방법을 제공한다.Accordingly, the present invention uses a single alignment film to solve the problems described above, aligns the side chains of the surface of the alignment film in a certain direction without performing several rubbing processes, the liquid crystal molecules in the full range of 0 degrees to 90 degrees It provides a method for forming an alignment film to have a pretilt angle of a desired angle with respect to.

또한, 액정분자가 20~70도의 선경사각을 갖도록 함으로써, 초기 전압의 인가에 의한 전력 소모 증가의 문제가 해결되는 OCB 모드 액정표시장치를 제공하고자 한다.In addition, the liquid crystal molecules having a pretilt angle of 20 to 70 degrees, to provide an OCB mode liquid crystal display device that solves the problem of increased power consumption by applying the initial voltage.

위와 같은 문제의 해결을 위해, 본 발명은 기판 상에 배향막을 인쇄하는 단계와; 상기 인쇄된 배향막의 제 1 영역에 이온빔을 조사하는 단계와; 상기 제 1 영역과 이격되어 있는 제 2 영역에 이온빔을 조사하는 단계를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 영역에서 상기 배향막의 측쇄는 제거되고, 상기 제 1 및 제 2 영역 사이의 제 3 영역에는 상기 배향막 표면에 대하여 수직한 측쇄가 존재하는 것이 특징인 배향막의 배향 방법을 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention comprises the steps of printing an alignment film on a substrate; Irradiating an ion beam on a first region of the printed alignment layer; Irradiating an ion beam to a second region spaced apart from the first region, wherein the side chains of the alignment layer are removed in the first and second regions, and the third region between the first and second regions It provides a method for aligning the alignment film, characterized in that the side chain is perpendicular to the surface of the alignment film.

또한, 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상에 형성되며, 다수의 제 1 영역과 상기 다수의 제 1 영역 중 인접한 두 개의 제 1 영역 사이에 위치하는 제 2 영역이 정의되어 있는 제 1 배향막과; 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판과; 상기 제 2 기판 상에 형성되며, 상기 제 1 배향막과 마주하는 제 2 배향막과; 상기 제 1 및 제 2 배향막 사이에 위치하며, 다수의 액정분자를 포함하는 액정층을 포함하고, 상기 액정분자 중 상기 제 1 영역에 위치하며 상기 제 1 배향막과 접하는 제 1 액정분자는 제 1 선경사각을 갖고, 상기 액정분자 중 상기 제 2 영역에 위치하며 상기 제 1 배향막과 접하는 제 2 액정분자는 상기 제 1 선경사각보다 작은 제 2 선경사각을 가지며, 상기 액정분자 중 상기 제 1 및 제 2 액정분자 사이에 위치하는 제 3 액정분자는 상기 제 1 선경사각보다 작고 상기 제 2 선경사각보다 큰 제 3 선경사각을 갖는 것이 특징인 OCB 모드 액정표시장치를 제공한다.In addition, the first substrate; A first alignment layer formed on the first substrate and having a second region defined between a plurality of first regions and two adjacent first regions among the plurality of first regions; A second substrate facing the first substrate; A second alignment layer formed on the second substrate and facing the first alignment layer; A first liquid crystal layer positioned between the first and second alignment layers, the liquid crystal layer including a plurality of liquid crystal molecules, and positioned in the first region of the liquid crystal molecules and in contact with the first alignment layer; The second liquid crystal molecule having a square and positioned in the second region of the liquid crystal molecules and in contact with the first alignment layer has a second line inclination angle smaller than the first pretilt angle, and the first and second of the liquid crystal molecules. The third liquid crystal molecules positioned between the liquid crystal molecules have a third linear inclination angle smaller than the first pretilt angle and larger than the second pretilt angle.

본 발명은 단일 배향막을 이용하면서도 적정 에너지 세기를 갖는 이온 빔을 선택적으로 조사하는 방법을 시행함으로써 단일 배향막에 대해 액정분자의 선경사각이 0도 내지 90도 범위에서 원하는 각도를 갖도록 형성할 수 있는 장점이 있다.The present invention is advantageous in that the pretilt angle of the liquid crystal molecules can be formed to have a desired angle in a range of 0 to 90 degrees with respect to a single alignment layer by implementing a method of selectively irradiating an ion beam having an appropriate energy intensity while using a single alignment layer. There is this.

따라서 단일 배향막을 사용하며, 나아가 수 차례의 배향막 인쇄공정 및 러빙 공정을 필요로 하지 않는 바, 공정을 단순화 하고, 제조 비용을 절감하는 효과가 있다.Therefore, a single alignment film is used, and furthermore, since the alignment film printing process and the rubbing process are not required several times, the process is simplified and the manufacturing cost is reduced.

또한, 기판 전영역에 대해서 균일한 배향상태를 확보할 수 있는 효과가 있다. In addition, there is an effect of ensuring a uniform alignment state with respect to the entire substrate area.

또한 20~70도의 선경사각을 갖는 배향막을 제공함으로써, 초기 전압의 인가에 의한 전력 소모 증가의 문제를 해결하면서, 광시야각, 빠른 응답속도의 장점을 갖고 또한 보상필름을 생략함으로써 제조원가 측면에서 장점을 갖는 OCB 모드 액정표시장치를 제공할 수 있는 효과가 있다.In addition, by providing an alignment film having a pretilt angle of 20 to 70 degrees, solving the problem of increased power consumption by applying an initial voltage, it has advantages of wide viewing angle, fast response speed, and omits the compensation film, thereby providing advantages in terms of manufacturing cost. There is an effect that can provide an OCB mode liquid crystal display having.

이하, 본 발명에 따른 실시예에 의한 0도 내지 90도 사이의 액정분자의 선경사각 조절이 가능한 단일 배향막 형성 방법에 대해 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a method of forming a single alignment layer capable of adjusting the pretilt angle of liquid crystal molecules between 0 degrees and 90 degrees according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

우선, 본 발명에 이용되는 이온 빔 조사장치의 구조에 대해 간단히 설명한다. First, the structure of the ion beam irradiation apparatus used in the present invention will be briefly described.

도 5은 본 발명의 실시예에 의한 이온 빔 조사를 통한 액정분자의 선경사각 조절이 가능한 배향막 표면처리 방법에 이용되는 이온 빔 조사 장치를 간략히 도시한 도면이다. FIG. 5 is a view schematically illustrating an ion beam irradiation apparatus used in an alignment layer surface treatment method capable of adjusting the pretilt angle of liquid crystal molecules through ion beam irradiation according to an embodiment of the present invention.

도 5에 도시한 바와 같이, 이온빔 조사 장치(100)는 진공상태를 만들기 위한 챔버(150)와, 상기 챔버(150) 내부의 이온 발생부(110)와, 기판(145)이 위치하는 스테이지(140)로 구성된다. 이때, 상기 챔버(150)는 진공을 만들기 위한 진공펌프(미도시)와 배기관(155)을 통해 연결되어 있으며, 또한, 상기 이온 발생부(110)에는 이온 생성을 위한 가스를 공급하기 위한 가스 공급관(130)이 연결되어 있다.As shown in FIG. 5, the ion beam irradiation apparatus 100 includes a chamber 150 for creating a vacuum state, an ion generator 110 inside the chamber 150, and a stage on which the substrate 145 is located. 140). In this case, the chamber 150 is connected through a vacuum pump (not shown) and an exhaust pipe 155 for making a vacuum, and the gas supply pipe for supplying gas for generating ions to the ion generator 110. 130 is connected.

이때, 이온 빔 조사 시 챔버(150) 내의 진공도는 10-7 Torr 내지 대기압(760 Torr)정도로 유지하는 것이 바람직하다. At this time, during the ion beam irradiation, the vacuum degree in the chamber 150 is preferably maintained at about 10 −7 Torr to about 760 Torr.

다음, 이온 발생부(110)는 그 내부적으로 공급된 가스를 이온으로 전리시키 는 플라즈마 발생부(115)와, 상기 생성된 이온을 일정한 속도 및 에너지를 갖게 하기 위한 가속전극(120)과, 이온 배출구(123)로 구성된다. Next, the ion generator 110 includes a plasma generator 115 for ionizing the gas supplied therein into ions, an acceleration electrode 120 for allowing the generated ions to have a constant speed and energy, and ions. It consists of an outlet 123.

상기 이온빔 조사 장치(100)는 이온 발생부(110)가 스테이지(140) 표면에 대해 1도 내지 90도 중 선택되는 특정 각도를 가지며 위치할 수 있도록 설계되어 있으며, 더욱이 상기 이온 발생부(110)의 이온 배출구(123)는 그 너비가 기판(145)의 폭과 같거나 또는 작게 형성되어 있는 것이 특징이다. The ion beam irradiation apparatus 100 is designed such that the ion generator 110 may be positioned at a specific angle selected from 1 degree to 90 degrees with respect to the surface of the stage 140, and further, the ion generator 110 may be located. The ion outlet 123 is characterized in that the width is formed the same as or smaller than the width of the substrate 145.

이러한 구성을 갖는 이온빔 조사 장치(100)에 있어 상기 이온 발생부(110) 또는 스테이지(140)는 일방향으로 직선 왕복운동이 가능하도록 형성되고 있는 것이 특징(도면에서는 스테이지가 일방향으로 직선 왕복하는 것으로 도시됨)이며, 이 경우 상기 직선 왕복 운동을 하는 이온 발생부(110) 또는 스테이지(140)는 일방향으로 이동중일정 간격으로 멈춤 기능을 갖는 것이 특징이다. 이때, 상기 이온 발생부(110)는 상기 이온 발생부(110) 또는 스테이지(140)가 움직이는 일방향에 대해 수직한 방향으로도 이동 가능하도록 구성되고 있는 것이 특징이다. In the ion beam irradiation apparatus 100 having such a configuration, the ion generating unit 110 or the stage 140 is formed to enable linear reciprocating motion in one direction (in the drawing, the stage is linear reciprocating in one direction). In this case, the ion generator 110 or the stage 140 performing the linear reciprocating motion has a function of stopping at a predetermined interval while moving in one direction. At this time, the ion generating unit 110 is characterized in that it is configured to be movable in a direction perpendicular to the direction in which the ion generating unit 110 or the stage 140 moves.

이는 상기 이온 배출구(123)의 너비가 기판(145)의 폭보다 작은 경우, 상기 스테이지(140)의 이동방향에 대해 수직하게 이동함으로써 상기 기판(145)의 폭이 이온 배출구(123)의 너비대비 수배 큰 경우 다수의 수직 이동을 실시하여 최종적으로 기판(145) 전체에 이온빔 조사를 가능하도록 하기 위함이다. This is because when the width of the ion outlet 123 is smaller than the width of the substrate 145, the width of the substrate 145 is moved relative to the width of the ion outlet 123 by moving perpendicularly to the moving direction of the stage 140. In the case of a large number of times, a plurality of vertical movements are performed to finally enable ion beam irradiation to the entire substrate 145.

따라서, 기판(145) 상에 대한 이온 빔의 조사는 그 조사 시간이 매우 짧을 경우 일례로 1초 미만인 경우, 이온 빔의 주기적인 온(on), 오프(off) 동작과 스테이지(140) 또는 이온 발생부(110)의 일 방향으로의 멈춤없는 스캔형태의 이동에 의 해 이루어지거나, 또는 조사 시간이 길 경우 일례로 1초 이상의 경우 이온 빔의 주기적인 온(on), 오프(off) 동작과 스테이지(140) 또는 이온 발생부(110)의 주기적인 이동과 멈춤의 반복적 동작에 의해 수행되어지는 것이 특징이다. 특히 이온 빔 조사 시간이 긴 경우는, 기판(245)에 대해 소정의 각도를 갖고 조사되는 이온빔 조사 영역(IA)이 상기 기판(245)상에 형성되며, 스테이지(240) 또는 이온 발생부(110)가 일정한 속도를 갖고 일방향으로 이동 및 멈춤이 주기적으로 진행되며, 이동시에는 이온 빔 오프(off), 멈춤 시에는 이온 빔 온(on) 상태를 유지함으로써 기판(145) 전면에 있어 선택되는 특정 영역에 대해 선택적으로 이온빔 조사가 이루어지게 된다. Thus, the irradiation of the ion beam onto the substrate 145 is a periodic on, off operation of the ion beam and the stage 140 or ion when the irradiation time is very short, for example, less than 1 second. This is achieved by the movement of the scan unit in one direction of the generator 110 in one direction, or when the irradiation time is long, for example, when the ion beam is longer than 1 second, the on and off operations of the ion beam It is characterized by being performed by the repetitive operation of the periodic movement and stop of the stage 140 or ion generator 110. In particular, in the case where the ion beam irradiation time is long, an ion beam irradiation area IA irradiated at a predetermined angle with respect to the substrate 245 is formed on the substrate 245, and the stage 240 or the ion generating unit 110 is provided. ) Moves at a constant speed and stops periodically in one direction, while the ion beam is turned off when moving and the ion beam is turned on when it is stopped. The ion beam irradiation is selectively performed for.

이러한 선택적인 영역에 대해 이온빔 조사가 진행되어야 하는 이유에 대해서는 추후에 설명한다.The reason why the ion beam irradiation should proceed for this selective region will be described later.

다음, 이온 발생부(110)에 대해 간략히 설명한다.Next, the ion generator 110 will be briefly described.

이온 발생부(110)는 크게 플라즈마 발생부(115), 가속전극(120), 이온 배출구(123)로 구성된다. 외부로부터 상기 이온 발생부(110)에 공급된 불활성 가스를 매개체로하여 상기 플라즈마 발생부(115)에 고압이 인가되어 플라즈마가 발생되며 상기 가스가 전리되어, 상기 플라즈마 발생부(115)에는 공급된 가스의 종류에 기인한 이온이 발생되며, 상기 플라즈마 발생부(115)에 채워진 이온이 가속전극(120)에 의해 적정한 에너지 세기를 갖게 되고, 상기 적정 에너지 세기를 갖는 이온들이 그리드(grid) 형태로 구성된 이온 배출구(123)를 통해 진공의 챔버(150)내로 배출되며, 특정 에너지 세기를 갖고 배출된 이온들이 기판(145) 상의 배향막(미도시)에 일정한 각도를 갖고 충돌하게 됨으로써 배향막(미도시) 표면에 있어 측쇄를 주쇄로부터 끊어 제거하게 되며, 이러한 역할을 실시한 후 상기 기판(145)에 충돌한 이온은 진공펌프(미도시)와 연결된 배기관(155)을 통해 챔버(150) 외부로 배출된다. The ion generator 110 includes a plasma generator 115, an acceleration electrode 120, and an ion outlet 123. High pressure is applied to the plasma generating unit 115 using an inert gas supplied from the outside to the ion generating unit 110 as a medium to generate plasma, and the gas is ionized to supply the plasma generating unit 115. Ions are generated due to the type of gas, the ions filled in the plasma generating unit 115 has an appropriate energy intensity by the acceleration electrode 120, the ions having the appropriate energy intensity in the grid (grid) form The ion discharge port 123 is discharged into the vacuum chamber 150, and the discharged ions having a specific energy intensity collide with the alignment layer (not shown) on the substrate 145 at a predetermined angle so that the alignment layer is not shown. On the surface, side chains are removed from the main chain, and the ions colliding with the substrate 145 after performing this role are passed through an exhaust pipe 155 connected to a vacuum pump (not shown). Chamber 150 is discharged to the outside.

이때, 전술한 설명 중 이온빔 발생을 위해 주로 이용되는 가스는 주로 불활성 가스로서 예를들면 He, Ne, Ar, Kr, Xe 등이 있으며, 이들 불활성 가스 중 비용이 저렴한 Ar을 이용하는 것이 비용적 측면에서 바람직하다 할 것이다. At this time, the gas mainly used for generating the ion beam in the above description is mainly inert gas, for example, He, Ne, Ar, Kr, Xe, and the like, using the inexpensive Ar among these inert gases in terms of cost It would be preferable.

이후에는 전술한 구성을 갖는 이온 빔 조사장치를 이용하여 본 발명에 따른 액정분자의 선경사각을 제어하는 것을 특징으로 하는 배향 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, the alignment method characterized by controlling the pretilt angle of the liquid crystal molecules according to the present invention using the ion beam irradiation apparatus having the above-described configuration.

도 6a와 6b는 본 발명에 의한 이온빔 조사에 의한 선경사각 제어가 가능한 단일 배향막의 제조 단계별 배향 방법을 도시한 도면이며, 도 7a와 7b는 이온 빔 조사를 통한 배향막 표면 처리에 의한 배향막의 표면 변화를 간략히 도시한 도면이다. 도면에 있어서 단순히 기판 상에 배향막 만을 도시하였으며, 스위칭 소자 또는 컬러필터 등의 구성요소는 생략하였다.6A and 6B illustrate a step-by-step orientation method of manufacturing a single alignment layer capable of controlling pretilt angle by ion beam irradiation according to the present invention, and FIGS. 7A and 7B illustrate surface change of an alignment layer by treating an alignment layer surface through ion beam irradiation. Figure is a simplified view. In the drawings, only the alignment layer is illustrated on the substrate, and components such as a switching element or a color filter are omitted.

우선, 도 6a에 도시한 바와 같이, 스테이지(205) 상에 위치한 기판(220) 상에 배향막(230)을 형성한다. 이때 상기 배향막(230)은 그 표면에 대해 수직하게 긴 측쇄를 갖는 수직 배향막인 것이 바람직하다. 이때, 상기 기판(220)은 통상적으로 서로 교차하는 게이트 및 데이터 배선(미도시)과 스위칭 소자인 박막트랜지스터(미도시) 및 이와 연결된 화소전극(미도시)이 형성된 액정표시장치용 어레이 기판 또는 상기 어레이 기판과 액정층을 개재하여 합착됨으로써 액정패널을 이루며 컬러필터층(미도시)과 공통전극(미도시)이 형성된 컬러필터 기판인 것이 바람직하다.First, as shown in FIG. 6A, the alignment layer 230 is formed on the substrate 220 positioned on the stage 205. In this case, the alignment layer 230 is preferably a vertical alignment layer having a long side chain perpendicular to the surface thereof. In this case, the substrate 220 is an array substrate or liquid crystal display device having a gate and a data line (not shown) that cross each other, a thin film transistor (not shown), which is a switching element, and a pixel electrode (not shown) connected thereto. It is preferable to form a liquid crystal panel by bonding the array substrate and the liquid crystal layer to form a color filter substrate having a color filter layer (not shown) and a common electrode (not shown).

상기 배향막(230)은, 긴 측쇄를 갖는 수직 배향막을 이루는 폴리이미드 등의 고분자 물질을 닥터롤(212) 또는 닥터 블레이드(미도시)와, 아니록스롤(210)과, 판동(208)과, 스테이지(205)를 구비한 배향막 인쇄장치(200) 및 상기 판동(208) 표면에 부착된 패터닝된 전사판(215)을 이용하여 형성할 수 있다. 우선적으로 상기 전사판(215) 표면에 상기 아니록스롤(210)을 통해 고분자 물질을 고루 발라준 다음, 상기 고분자 물질이 발라진 전사판(215)을 상기 판동(208)이 회전하며 상기 스테이지(205)가 등속도로 직선 왕복함으로써 스테이지(205) 상에 위치한 기판(220) 표면과 순간적으로 접촉되었다 떨어지게 됨으로써 상기 고분자 물질을 기판(220) 표면에 일정한 패턴 형태로 전사시킴으로써 형성되게 된다. The alignment layer 230 may be formed of a polymer material such as polyimide, which forms a vertical alignment layer having a long side chain, by a doctor roll 212 or a doctor blade (not shown), anilox roll 210, a plate 208, It can be formed using an alignment film printing apparatus 200 having a stage 205 and a patterned transfer plate 215 attached to the surface of the plate 208. First, the polymer material is evenly applied to the surface of the transfer plate 215 through the anilox roll 210, and then the plate 208 rotates the transfer plate 215 coated with the polymer material, and the stage 205 is applied. ) Is instantaneously contacted and separated from the surface of the substrate 220 positioned on the stage 205 by linear reciprocating at a constant speed, thereby transferring the polymer material to the surface of the substrate 220 in a predetermined pattern.

이후, 상기 배향막(230)이 형성된 기판(220)을 적정 온도로 가열된 건조로(미도시) 및 경화로(미도시)에서 일정 시간 유지시킴으로써 적당한 두께(통상 500Å 내지 1500Å)와 적당한 굳기(1H 내지 4H)를 가지며 경화된 배향막(230)을 형성한다. Subsequently, the substrate 220 on which the alignment layer 230 is formed is maintained for a predetermined time in a drying furnace (not shown) and a curing furnace (not shown) heated to an appropriate temperature to have a suitable thickness (usually 500 kPa to 1500 kPa) and a suitable hardness (1H). To 4H) to form a cured alignment layer 230.

전술한 공정을 진행하여 형성된 기판(220) 상의 배향막(230)을 도시한 도 7a를 참조하면, 상기 기판(220)과 배향막(230)의 계면에는 상기 배향막(230)을 이루는 고분자 물질의 주쇄(미도시)가 복잡하게 서로 얽혀 베이스를 형성하고 있으며, 상기 주쇄(미도시)에서 다수의 긴 측쇄(240)가 형성되어 있음을 알 수 있다. 이때, 수직 배향막(230)의 특징상 상기 측쇄(240)는 기판(220)면에 대해 87도 내지 90도의 각도를 갖는 것이 특징이다.Referring to FIG. 7A, which illustrates an alignment layer 230 on a substrate 220 formed by performing the above-described process, a main chain of a polymer material constituting the alignment layer 230 is formed at an interface between the substrate 220 and the alignment layer 230. It can be seen that the complex is entangled with each other to form a base, and a plurality of long side chains 240 are formed in the main chain (not shown). In this case, the side chain 240 has an angle of 87 to 90 degrees with respect to the surface of the substrate 220 due to the characteristic of the vertical alignment layer 230.

다음, 도 6b와 도 7b에 도시한 바와 같이, 전술한 구성을 갖는 이온 빔 조사 장치(260)를 이용하여 그 측쇄(240)가 그 표면에 대해 87도-90도의 각도를 이루는 측쇄(240)를 갖는 배향막(230)이 형성된 기판(220)에 그 이온 배출구가 상기 기판(220)에 대해 적당한 각도, 즉 1도 내지 90도를 갖도록 조절된 이온 빔 조사장치(260)를 통해 스테이지(285) 또는 이온 발생부(266)가 일방향으로 이동 또는 주기적인 이동 및 멈춤을 실시하며 동시에 이온 빔(277)의 오프(off), 온(on)을 주기적으로 반복하며 스캔함으로써 이온 빔(277)을 조사한다. 상기 이온빔 조사장치(260)와 상기 기판(220) 면이 이루는 각도는 약 30도일 수 있다.Next, as shown in FIGS. 6B and 7B, by using the ion beam irradiation apparatus 260 having the above-described configuration, the side chain 240 has an angle of 87 degrees to 90 degrees with respect to the surface thereof. Stage 285 through an ion beam irradiator 260 adjusted to have an ion outlet at an appropriate angle with respect to the substrate 220, that is, 1 degree to 90 degrees to the substrate 220 on which the alignment layer 230 having the film is formed. Alternatively, the ion generator 266 moves or stops in one direction and periodically stops, and at the same time, the ion beam 277 is irradiated by periodically repeating scanning of the off and on of the ion beam 277. do. An angle formed between the ion beam irradiation device 260 and the surface of the substrate 220 may be about 30 degrees.

이때, 상기 이온 빔 조사장치(260)의 이온 빔(277) 조사 과정을 살펴보면, 배향막(230)이 형성된 기판(220)이 이온 빔 조사장치(260)의 스테이지(285) 상에 위치되면, 진공 배기관(280)을 통해 챔버(263) 내부의 공기가 외부로 펌프(미도시) 등에 의해 배출됨으로써 상기 챔버(263) 내에 10-7 Torr 내지 대기압(760 Torr)의 진공도를 갖는 진공이 형성된다. 동시에 이온빔 조사 장치(260)내의 이온 발생부(266)로 가스 공급관(278)을 통해 불활성 가스가 주입되고, 상기 주입된 불활성 가스가 상기 이온 발생부(266)에 구비된 플라즈마 발생부(269)를 통해 이온으로 전리되고, 상기 전리된 이온이 가속전극(272)에 의해 일정한 에너지 세기를 갖고 기판(220)면에 대해 특정 각도를 가지며 위치한 이온 배출구(275) 통해 배출되며, 상기 이온 배출구(275)를 통해 배출된 이온 빔(277)이 스테이지(285)와 상기 이온 발생부(266)의 이온 배출구(275)의 위치에 의해 일정한 각도로 나오게 되어 기판(220) 상의 배향막(230)으로 조사된다. 이때, 조사되는 이온 빔(277)은 평방 센 티미터 당 1011 내지 1013 개의 도즈량과 50eV 내지 2000eV의 에너지 세기를 가지며, 이때의 이온 가속 전압은 100V 내지 10KV인 것이 바람직하다. 또한, 상기 이온 빔(277)은 선택된 영역 즉 측쇄가 제거되어야 할 부분(B)에 대해 0.1초 내지 300초 동안 조사되는 것이 바람직하다.At this time, when examining the ion beam 277 irradiation process of the ion beam irradiation device 260, if the substrate 220 on which the alignment layer 230 is formed is located on the stage 285 of the ion beam irradiation device 260, The air inside the chamber 263 is discharged to the outside through the exhaust pipe 280 by a pump (not shown) to form a vacuum having a vacuum degree of 10 −7 Torr to atmospheric pressure (760 Torr) in the chamber 263. At the same time, an inert gas is injected into the ion generator 266 in the ion beam irradiation device 260 through the gas supply pipe 278, and the injected inert gas is provided in the ion generator 266 in the plasma generator 269. Ionized ion is discharged through the ion outlet 275 positioned at a specific angle with respect to the surface of the substrate 220 by the acceleration electrode 272, and the ionized ion is discharged to the ion through the ion outlet 275 The ion beams 277 discharged through the N-axis are emitted at a predetermined angle by the positions of the stage 285 and the ion outlet 275 of the ion generator 266 and are irradiated to the alignment layer 230 on the substrate 220. . In this case, the irradiated ion beam 277 has an amount of 10 11 to 10 13 doses per square centimeter and an energy intensity of 50 eV to 2000 eV, and the ion acceleration voltage at this time is preferably 100 V to 10 KV. In addition, the ion beam 277 is preferably irradiated for 0.1 to 300 seconds to the selected area, that is, the portion (B) from which the side chain is to be removed.

이온 빔(277)이 상기 배향막(230)의 표면에 소정시간 동안 조사되면 이온 빔(277)이 조사된 배향막 영역(B)에 있어서는 상기 측쇄(240)의 끊어짐이 발생함으로써 기판(220) 면에 수직한 상태의 측쇄(240)는 제거되고 베이스를 이루는 주쇄(미도시)만이 남게되는 결과를 초래하게 된다. When the ion beam 277 is irradiated to the surface of the alignment film 230 for a predetermined time, the side chain 240 is broken in the alignment film region B to which the ion beam 277 is irradiated. The side chain 240 in a vertical state is removed, resulting in only the main chain (not shown) constituting the base.

이 경우, 측쇄(240)가 남아있는 영역(A)과 이온 빔(277) 조사에 의해 측쇄(240)가 제거된 영역(B)을 일정간격 이격하며 서로 교대하도록 배치되도록 이온 빔(277) 조사를 실시함으로써 이들 두 영역(A, B)에 의해 액정분자들의 선경사각을 0도 내지 90도 사이에서 적절히 조절할 수 있게 되는 것이다. 이때, 이온 빔(277) 조사에 의한 액정분자의 선경사각을 결정하는 가장 중요한 요소는 조사 시간이 되는 것을 실험적으로 알 수 있었다. In this case, the ion beam 277 is irradiated so as to be alternately spaced apart from the area A in which the side chain 240 remains and the region B in which the side chain 240 has been removed by the ion beam 277 irradiation at regular intervals. By performing these two lines (A, B) it is possible to appropriately adjust the pretilt angle of the liquid crystal molecules between 0 degrees and 90 degrees. At this time, it was found experimentally that the most important factor for determining the pretilt angle of the liquid crystal molecules by irradiation with the ion beam 277 is irradiation time.

도 8은 본 발명에 따른 이온 빔 조사를 실시하여 배향막의 표면에 측쇄를 갖는 영역(A)과 측쇄를 갖지 않은 영역(B)에서의 액정분자의 초기 배열상태를 도시한 도면이다. 8 is a view showing an initial arrangement state of liquid crystal molecules in a region A having a side chain and a region B having no side chain on the surface of an alignment film by performing ion beam irradiation according to the present invention.

도시한 바와같이, 이온빔 조사에 의해 측쇄(240)가 제거된 영역(B)의 배향막(230)과 가장 인접한 상부에 위치하는 제 1 액정분자(292a)는 그 장축이 기 판(220)면과 평행하게 즉 선경사각(θ)이 0도인 상태로 일방향으로 배열되고 있으며, 이온빔이 조사되지 않아 기판(220) 면에 대해 수직한 상태의 측쇄(240)가 남아있는 영역(A)의 배향막(230)과 가장 인접한 상부에 위치하는 제 2 액정분자(292b)는 그 장축이 기판(220)면에 대해 수직하게 즉 선경사각이 90도인 상태를 가지며 배열되고 있다. 이러한 제 1 및 제 2 액정분자의 배열에 영향을 받아 이들 제 1 및 제 2 액정분자 상부에 위치하는 제 3 액정분자(292c)는 특정 각도를 갖는 선경사각(θ)을 가지며 배열되게 된다. 따리서 기판(220) 전체적으로 전술한 이온빔이 조사된 영역(B)과 조사되지 않은 영역(A)이 교대하는 구성을 갖는 배향막(230)과 가장 인접하여 위치하는 제 1 및 제 2 액정분자(292a, 292b)들을 제외하고는 전체적으로 대부분을 차지하는 제 3 액정분자(292c)는 0도 내지 90도 사이의 특정 각도의 선경사각(θ)가지며 배열되게 된다. As illustrated, the first liquid crystal molecules 292a positioned closest to the alignment layer 230 of the region B in which the side chain 240 is removed by ion beam irradiation have a long axis and a surface of the substrate 220. Alignment film 230 in a region A, which is arranged in one direction in parallel, i.e., with a pretilt angle θ of 0 degrees, and in which the side chain 240 remains in a state perpendicular to the surface of the substrate 220 because the ion beam is not irradiated. The second liquid crystal molecules 292b positioned closest to each other are arranged so that their major axis is perpendicular to the surface of the substrate 220, that is, the pretilt angle is 90 degrees. Influenced by the arrangement of the first and second liquid crystal molecules, the third liquid crystal molecules 292c positioned above the first and second liquid crystal molecules are arranged to have a pretilt angle θ having a specific angle. Therefore, the first and second liquid crystal molecules 292a which are most adjacent to the alignment layer 230 having the configuration in which the above-described ion beam irradiated the region B and the non-irradiated region A as a whole are alternately disposed. The third liquid crystal molecules 292c, which occupy most of them except for 292b, are arranged with a pretilt angle θ of a specific angle between 0 degrees and 90 degrees.

한편, 소정 크기의 도즈량과 에너지 세기를 갖는 이온 빔 조사 시간에 따른 수직 배향막의 선경사각의 크기를 나타낸 그래프인 도 9을 참조하면, 액정분자의 0도의 선경사각을 갖도록 하기 위해서는 기판 전면에 대해 비교적 오랜 시간 즉 20초보다 큰 시간동안 이온빔 조사를 실시함 가능하며, 90도의 선경사각을 갖도록 하기 위해서는 이온빔 조사를 실시하지 않거나, 또는 2초 미만의 상대적으로 매우 짧은 시간 이온 빔 실시함으로써 가능하며, 0도와 90도 사이의 선 경사각은 특정 크기의 도즈량과 에너지 세기를 갖는 이온빔 조사를 실험예의 경우 2초 내지 20초간 선택적으로 실시함으로써 가능하다. 그래프를 살펴보면, 이온 빔 조사 시간에 따라 0도부터 90도의 선경사각을 모두 갖게 됨을 알 수 있다. 특히, 40도 내지 70도의 선경사각을 갖도록 하기 위해서는 수직 배향막에 대해 특정 크기의 도즈량과 에너지 세기를 갖는 이온빔 조사를 5.5초 내지 12.5초 정도 실시함으로써 가능하게 됨을 알 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 9, which is a graph showing the size of the pretilt angle of the vertical alignment layer according to the ion beam irradiation time having the dose amount and the energy intensity of the predetermined size, in order to have the pretilt angle of 0 degrees of the liquid crystal molecules, It is possible to perform ion beam irradiation for a relatively long time, i.e., greater than 20 seconds, and to have a 90 degree pretilt angle by not performing ion beam irradiation or by performing a relatively very short time ion beam of less than 2 seconds, The angle of inclination between 0 degrees and 90 degrees is possible by selectively performing ion beam irradiation having a specific amount of dose and energy intensity for 2 to 20 seconds in the case of the experimental example. Looking at the graph, it can be seen that all of the pretilt angles of 0 degrees to 90 degrees depend on the ion beam irradiation time. In particular, it can be seen that in order to have a pretilt angle of 40 degrees to 70 degrees, ion beam irradiation having a specific amount of dose and energy intensity is performed on the vertical alignment layer by about 5.5 seconds to 12.5 seconds.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 OCB 모드 액정표시장치의 개략적인 단면도이다.10 is a schematic cross-sectional view of an OCB mode liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명의 OCB 모드 액정표시장치(300)는 서로 마주하는 제 1 및 제 2 기판(310, 320)과, 상기 제 1 및 제 2 기판(310, 320) 사이에 충진되며 액정분자(332a, 332b, 332c, 334)로 이루어진 액정층(330)을 포함하고 있다. 도시되어 있지 않으나, 상기 제 1 기판(310) 상에는 다수의 게이트 배선과 데이터 배선이 서로 교차하여 화소영역을 정의하고 있으며, 각 화소영역마다 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 구성되어 있고, 상기 박막트랜지스터에 연결되는 화소전극이 구비되어 있다. As shown, the OCB mode liquid crystal display 300 of the present invention is filled between the first and second substrates 310 and 320 facing each other, and the first and second substrates 310 and 320 and are filled with liquid crystals. The liquid crystal layer 330 is formed of molecules 332a, 332b, 332c, and 334. Although not shown, a plurality of gate lines and data lines intersect each other to define a pixel area on the first substrate 310, and a thin film transistor, which is a switching element, is formed in each pixel area, and is connected to the thin film transistor. The pixel electrode is provided.

한편, 상기 제 2 기판(320) 상에는 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 박막트랜지스터 등의 비표시영역에 대응하여 빛을 차단하는 블랙매트릭스가 형성되며, 각 화소영역에 대응하여 적, 녹, 청의 컬러필터패턴으로 구성되는 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 블랙매트릭스와 컬러필터의 상부로 제 2 기판(320) 전면에 대하여 공통전극이 형성됨으로써, 상기 화소전극과의 사이에서 전계를 발생시켜 상기 액정분자(332a, 332b, 332c, 334)를 구동시키게 된다.Meanwhile, a black matrix is formed on the second substrate 320 to block light in response to non-display areas such as the gate line, the data line, and the thin film transistor, and the color filters of red, green, and blue correspond to each pixel area. A color filter layer composed of a pattern is formed. In addition, a common electrode is formed on the entire surface of the second substrate 320 above the black matrix and the color filter, thereby generating an electric field between the pixel electrodes to form the liquid crystal molecules 332a, 332b, 332c, and 334. Will be driven.

상기 화소전극 상에는 제 1 배향막(312)이, 상기 공통전극 상에는 제 2 배향 막(322)이 형성되어 있으며, 상기 액정층(330)은 상기 제 1 및 제 2 배향막(312, 322)과 접촉하고 있다. 상기 제 1 및 제 2 배향막(312, 322)은 상기 액정분자(332a, 332b, 332c, 334)의 초기 배열 방향을 결정짓는 역할을 하며, 통상적으로 폴리이미드와 같은 물질로 이루어진다.A first alignment layer 312 is formed on the pixel electrode, and a second alignment layer 322 is formed on the common electrode, and the liquid crystal layer 330 is in contact with the first and second alignment layers 312 and 322. have. The first and second alignment layers 312 and 322 determine the initial alignment direction of the liquid crystal molecules 332a, 332b, 332c, and 334, and are generally made of a material such as polyimide.

본 발명의 특징은, 상기 제 1 및 제 2 배향막(312, 322)에 인접되어 있는 액정분자(332a, 332b, 332c)의 배열상태이다. 상기 제 1 배향막(312)과 이에 인접한 액정분자(332a, 332b, 332c)에 대해 설명하면, 제 1 액정분자(332a)는 제 1 배향막(312) (또는 제 1 기판(310))에 대하여 수직하게, 즉 약 90도의 제 1 선경사각을 가지며, 제 2 액정분자(332b)는 제 1 배향막(312)에 수평하게, 즉 약 0도의 제 2 선경사각을 갖게 된다. 그리고, 제 1 및 제 2 액정분자(332a, 332b) 사이의 제 3 액정분자(332c)는 제 1 및 제 2 액정분자(332a, 332b)의 제 1 및 제 2 선경사각 사이 값인 제 3 경사각(θ)을 갖게 된다. 특히 제 3 경사각(θ)은 약 20~70도이며, 이는 액정분자가 탄성을 갖는 것에서 기인한다. A characteristic feature of the present invention is the arrangement of liquid crystal molecules 332a, 332b, and 332c adjacent to the first and second alignment layers 312 and 322. Referring to the first alignment layer 312 and the liquid crystal molecules 332a, 332b, and 332c adjacent thereto, the first liquid crystal molecule 332a is perpendicular to the first alignment layer 312 (or the first substrate 310). In other words, the first pretilt angle is about 90 degrees, and the second liquid crystal molecules 332b are horizontally formed on the first alignment layer 312, that is, the second pretilt angle is about 0 degrees. The third liquid crystal molecules 332c between the first and second liquid crystal molecules 332a and 332b may have a third inclination angle (3) which is a value between the first and second pretilt angles of the first and second liquid crystal molecules 332a and 332b. θ). In particular, the third inclination angle θ is about 20 to 70 degrees, which is due to the elasticity of the liquid crystal molecules.

여기서, 상기 제 1 및 제 2 배향막(312, 322)은 수직 배향막이며, 폴리이미드로 이루어질 수 있다. 상기 제 1 배향막(312)은 상기 제 1 액정분자(322a)가 위치하는 제 1 영역(A)에 대하여는 이온빔이 조사되지 않은 상태로, 제 1 배향막(312) 면에 대하여 실질적으로 수직한 측쇄가 제거되지 않고 제 1 배향막(312) 면에 대하여 수직하게 돌출되어 있으며, 이로 인해 상기 제 1 액정분자(322a)는 약 90도의 제 1 선경사각을 갖게 된다. 한편, 상기 제 2 액정분자(322b)가 위치하는 제 2 영역(B)에 대하여는 이온빔이 조사되어 그 측쇄가 완전히 제거된 상태이며, 이로 인해 제 2 액정분자(322b)는 약 0도의 제 2 선경사각을 갖게 된다. 전술한 바와 같이, 액정분자는 탄성을 갖기 때문에, 상기 제 1 및 제 2 액정분자(322a, 322b) 사이에 위치하는 제 3 액정분자(322c)는 상기 제 1 및 제 2 선경사각 사이의 값을 갖는 구성이 된다.The first and second alignment layers 312 and 322 are vertical alignment layers, and may be made of polyimide. The first alignment layer 312 has a side chain substantially perpendicular to the surface of the first alignment layer 312 without irradiating an ion beam with respect to the first region A in which the first liquid crystal molecules 322a are positioned. The first liquid crystal molecules 322a have a first pretilt angle of about 90 degrees without being removed and protruding perpendicularly to the plane of the first alignment layer 312. On the other hand, the second region B in which the second liquid crystal molecules 322b are positioned is irradiated with an ion beam to completely remove the side chain thereof. As a result, the second liquid crystal molecules 322b have a second wire diameter of about 0 degrees. You have a blind spot. As described above, since the liquid crystal molecules are elastic, the third liquid crystal molecules 322c positioned between the first and second liquid crystal molecules 322a and 322b may have a value between the first and second pretilt angles. It becomes a structure to have.

앞서 설명한 바와 같이, OCB 모드 액정표시장치는 광시야각, 빠른 응답속도 등의 장점에도 불구하고, 초기 전압 인가에 의한 소모 전력의 증가로 인해, 그 적용에 제약이 있어 왔다. 그러나, 본 발명에 의하면, 액정분자는 20~70도의 선경사각을 갖기 때문에, 초기 전압의 인가 없이도 밴드I(도 3a 내지 도 3b 참조) 상태를 갖게 되며, 따라서 별도의 초기 전압의 인가 없이 구동이 가능하다. 따라서, 소모 전력의 증가 없이 OCB 모드 액정표시장치가 갖는 장점을 갖게 된다.As described above, the OCB mode liquid crystal display device has been limited in its application due to the increase in power consumption due to the initial voltage application, despite the advantages of wide viewing angle and fast response speed. However, according to the present invention, since the liquid crystal molecules have a pretilt angle of 20 to 70 degrees, the liquid crystal molecules have a band I state (see FIGS. 3A to 3B) without applying an initial voltage, so that driving is not performed without applying an initial voltage. It is possible. Therefore, the OCB mode liquid crystal display has an advantage without increasing power consumption.

OCB 모드 액정표시장치에서는 제 1 및 제 2 배향막(312, 322)에 있어서의 액정분자가 서로 대칭적 구성을 갖기 때문에, 보상필름을 필요로 하지 않고, 이에 따라 제조원가 또한 절감될 수 있다.In the OCB mode liquid crystal display, since the liquid crystal molecules in the first and second alignment layers 312 and 322 have a symmetrical structure, they do not require a compensation film, and thus manufacturing cost can be reduced.

이상에서, 제 2 영역(B)의 측쇄가 모두 제거되어 제 2 액정분자(332b)의 제 2 선경사각이 0도인 경우를 설명하였으나, 측쇄 일부만이 제거되어 제 2 선경사각은 0도가 아닐 수도 있다. 즉, 제 1 액정분자(332a)의 제 1 선경사각은 약 90도이고, 제 2 액정분자(332b)의 제 2 선경사각은 10~20도를 이루도록 하여, 제 3 액정분자(332c)의 선경사각(θ)을 적절히 조절할 수 있다. 이는 제 2 영역(B)에 조사되는 이온빔의 강도 또는 조사 시간 등을 조절함으로써 가능하다.In the above, the case in which the side chains of the second region B are all removed to describe the case where the second pretilt angle of the second liquid crystal molecule 332b is 0 degrees has been described. However, only a part of the side chains may be removed and the second pretilt angle may not be 0 degrees. . That is, the first pretilt angle of the first liquid crystal molecules 332a is about 90 degrees, and the second pretilt angle of the second liquid crystal molecules 332b is 10 to 20 degrees, so that the line diameters of the third liquid crystal molecules 332c are used. The blind spot θ can be appropriately adjusted. This is possible by adjusting the intensity or irradiation time of the ion beam irradiated to the second region B.

또한, 제 3 액정분자(332c)의 선경사각(θ)은, 제 2 영역(B)의 제 2 액정분 자(332b)의 제 2 선경사각을 약 0도로 한 상태에서 제 1 및 제 2 영역(A, B)의 넓이 조절에 의해서도 가능하다. 제 3 액정분자(332c)가 갖는 선경사각(θ)은 제 1 영역(A)과 제 2 영역(B)의 넓이 비에 비례하게 된다. 즉, 제 1 영역(A)의 넓이를 크게 할 수록 제 3 액정분자(332c)가 갖는 선경사각(θ)은 커지게 된다. 실험적으로, 제 1 및 제 2 영역(A, B)의 넓이 비가 0.5~3:1인 경우, 제 3 액정분자(332c)의 선경사각(θ)은 20~70도를 갖게 된다. 또한, 제 2 액정분자(332b)의 제 2 선경사각과, 제 1 및 제 2 영역(A, B)의 넓이비를 동시에 조절함으로써, 제 3 액정분자(332c)가 원하는 선경사각을 갖도록 할 수 있다.Further, the pretilt angle θ of the third liquid crystal molecules 332c is the first and second regions in a state where the second pretilt angle of the second liquid crystal molecules 332b of the second region B is about 0 degrees. It is also possible by adjusting the width of (A, B). The pretilt angle θ of the third liquid crystal molecules 332c is proportional to the area ratio between the first region A and the second region B. That is, as the area of the first region A increases, the pretilt angle θ of the third liquid crystal molecules 332c increases. Experimentally, when the area ratios of the first and second regions A and B are 0.5 to 3: 1, the pretilt angle θ of the third liquid crystal molecules 332c has 20 to 70 degrees. In addition, by simultaneously adjusting the second pretilt angle of the second liquid crystal molecules 332b and the area ratios of the first and second regions A and B, the third liquid crystal molecules 332c may have the desired pretilt angles. have.

도 1은 일반적인 액정표시장치의 개략도.1 is a schematic view of a general liquid crystal display device.

도 2a와 2b는 종래의 러빙에 의한 배향막 표면처리 공정을 간략히 도시한 평면도 및 단면도.2A and 2B are a plan view and a cross-sectional view briefly showing an alignment film surface treatment process by conventional rubbing.

도 3a 내지 도 3c는 종래 OCB 모드 액정표시장치의 구동에 따른 액정분자의 배열 상태를 도시한 개략적인 단면도.3A to 3C are schematic cross-sectional views illustrating an arrangement state of liquid crystal molecules according to driving of a conventional OCB mode liquid crystal display.

도 4는 종래 OCB 모드 액정표시장치에서의 구동 상태와 인가전압과의 관계를 도시한 그래프.4 is a graph showing a relationship between a driving state and an applied voltage in a conventional OCB mode liquid crystal display.

도 5은 본 발명의 실시예에 의한 이온 빔 조사를 통한 액정분자의 선경사각 조절이 가능한 배향막 표면처리 방법에 이용되는 이온 빔 조사 장치를 간략히 도시한 도면.FIG. 5 is a view schematically illustrating an ion beam irradiation apparatus used in an alignment layer surface treatment method capable of adjusting pretilt angles of liquid crystal molecules through ion beam irradiation according to an embodiment of the present invention.

도 6a와 6b는 본 발명에 의한 이온빔 조사에 의한 선경사각 제어가 가능한 단일 배향막의 제조 단계별 공정 도면.Figure 6a and 6b is a step-by-step process of manufacturing a single alignment film capable of controlling the pretilt angle by ion beam irradiation according to the present invention.

도 7a와 7b는 이온 빔 조사를 통한 배향막 표면 처리에 의한 배향막의 표면 변화를 간략히 도시한 도면.7A and 7B show briefly the surface change of the alignment film by the alignment film surface treatment through ion beam irradiation.

도 8은 본 발명에 따른 이온 빔 조사를 실시하여 배향막의 표면에 측쇄를 갖는 영역(A)과 측쇄를 갖지 않은 영역(B)에서의 액정분자의 초기 배열상태를 도시한 도면.FIG. 8 is a view showing an initial arrangement of liquid crystal molecules in a region A having a side chain and a region B having no side chain on the surface of an alignment film by performing ion beam irradiation according to the present invention. FIG.

도 9은 소정 크기의 에너지 세기를 갖는 이온 빔 조사 시간에 따른 수직 배향막의 선경사각의 크기를 나타낸 그래프.9 is a graph showing the size of the pretilt angle of the vertical alignment layer with respect to the ion beam irradiation time having an energy intensity of a predetermined size.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 OCB 모드 액정표시장치의 개략적인 단면도.10 is a schematic cross-sectional view of an OCB mode liquid crystal display according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

220 : 기판 230 : 배향막220: substrate 230: alignment layer

260 : 이온빔 조사장치 263 : 챔버260: ion beam irradiation device 263: chamber

266 : 이온 발생부 269 : 플라즈마 발생부266 ion generating unit 269 plasma generating unit

272 : 가속전극 275 : 이온 배출구272: acceleration electrode 275: ion outlet

277 : 이온 빔 278 : 가스공급관 277 ion beam 278 gas supply pipe

280 : 진공 배기관 285 : 스테이지 280: vacuum exhaust pipe 285: stage

A : 이온 빔 미조사 영역(측쇄가 남아있는 영역)A: ion beam unirradiated area (area in which side chains remain)

B : 이온 빔 조사영역(측쇄가 제거된 영역) B: ion beam irradiation area (region from which side chain is removed)

Claims (16)

기판 상에 배향막을 인쇄하는 단계와;Printing the alignment film on the substrate; 상기 인쇄된 배향막의 제 1 영역에 이온빔을 조사하는 단계와;Irradiating an ion beam on a first region of the printed alignment layer; 상기 제 1 영역과 이격되어 있는 제 2 영역에 이온빔을 조사하는 단계를 포함하고,Irradiating an ion beam to a second region spaced apart from the first region, 상기 제 1 및 제 2 영역에서 상기 배향막의 측쇄는 제거되고, 상기 제 1 및 제 2 영역 사이의 제 3 영역에는 상기 배향막의 측쇄가 존재하는 것이 특징인 배향막의 배향 방법.Side chains of the alignment layer are removed in the first and second regions, and side chains of the alignment layer are present in a third region between the first and second regions. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 이온 빔은 온(on), 오프(off)가 가능한 것이 특징인 배향막의 배향 방법.And the ion beam can be turned on or off. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 인쇄된 배향막에 선택적으로 이온 빔을 조사하는 단계는,Selectively irradiating an ion beam onto the printed alignment layer, 상기 배향막이 인쇄된 기판을 이온 빔 조사장치의 챔버 내의 스테이지에 위치시키는 단계와;Positioning the substrate on which the alignment film is printed on a stage in a chamber of an ion beam irradiation apparatus; 상기 이온 빔 조사 장치의 이온 발생부 또는 스테이지가 일방향으로 주기적인 이동 및 멈춤 동작을 반복 실시하는 동시에 상기 이온 빔의 온(on)과 오프(off) 상태를 주기적으로 반복하는 단계Repeating the on and off states of the ion beam while the ion generator or stage of the ion beam irradiation apparatus performs the periodic movement and stop operation in one direction 를 포함하는 배향막의 배향 방법.An alignment method of the alignment film containing. 제 3 항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 이온 빔의 온(on) 상태는 상기 이온 발생부 또는 스테이지가 멈춤 동작에서 실시되며, 오프(off) 상태는 이온 발생부 또는 스테이지가 이동 동작일 경우 실시되는 것이 특징인 배향막의 배향 방법.The on state of the ion beam is performed when the ion generator or stage is stopped, and the off state is performed when the ion generator or stage is a moving operation. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 이온 빔은 온(on), 오프(off)를 주기적으로 반복하며, 상기 이온 발생부 또는 스테이지가 일방향으로 일정속도를 가지며 이동하며 조사되는 것이 특징인 배향막의 배향 방법.The ion beam repeats the on (on), off (off) periodically, the ion generation unit or the alignment method of the alignment film, characterized in that the stage is moved and irradiated with a constant speed in one direction. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이온 빔의 에너지 세기는 50eV 내지 2000eV이고, 상기 이온 빔의 조사 시간은 0.1초 내지 300초인 배향막의 배향 방법.The energy intensity of the ion beam is 50eV to 2000eV, the irradiation time of the ion beam is 0.1 seconds to 300 seconds alignment method of the alignment film. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 배향막 상에 액정분자를 배열시키는 경우, 상기 제 1 및 제 2 영역의 액정분자는 상기 배향막 표면에 대하여 제 1 선경사각을 갖고, 상기 제 3 영역의 액정분자는 상기 배향막 표면에 대하여 상기 제 1 선경사각보다 큰 제 2 선경사각을 가지며, 상기 제 1 및 제 3 영역 사이와 상기 제 2 및 제 3 영역 사이에 위치하는 액정분자는 상기 배향막 표면에 대하여 상기 제 1 선경사각보다 크고 상기 제 2 선경사각보다 작은 제 3 선경사각을 갖는 것이 특징인 배향막의 배향 방법.When the liquid crystal molecules are arranged on the alignment layer, the liquid crystal molecules of the first and second regions have a first pretilt angle with respect to the surface of the alignment layer, and the liquid crystal molecules of the third region with respect to the surface of the alignment layer A liquid crystal molecule having a second pretilt angle larger than the pretilt angle, and positioned between the first and third regions and between the second and third regions, is larger than the first pretilt angle with respect to the alignment layer surface, and the second pretilt angle. The alignment method of the alignment film characterized by having a third pretilt angle smaller than the square. 제 8항에 있어서,9. The method of claim 8, 상기 제 1 선경사각은 0도이며, 상기 제 2 선경사각은 90도이고, 상기 제 3 선경사각은 20~70도인 것이 특징인 배향막의 배향방법.The first pretilt angle is 0 degrees, the second pretilt angle is 90 degrees, and the third pretilt angle is 20 to 70 degrees. 제 9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 제 3 영역의 넓이와 제 1 및 제 2 영역의 넓이 합의 비는 0.5~3:1인 것이 특징인 배향막의 배향방법.The ratio of the width of the third region to the sum of the widths of the first and second regions is 0.5 to 3: 1. 제 1 기판과;A first substrate; 상기 제 1 기판 상에 형성되며, 다수의 제 1 영역과 상기 다수의 제 1 영역 중 인접한 두 개의 제 1 영역 사이에 위치하는 제 2 영역이 정의되어 있는 제 1 배향막과;A first alignment layer formed on the first substrate and having a second region defined between a plurality of first regions and two adjacent first regions among the plurality of first regions; 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판과;A second substrate facing the first substrate; 상기 제 2 기판 상에 형성되며, 상기 제 1 배향막과 마주하는 제 2 배향막과;A second alignment layer formed on the second substrate and facing the first alignment layer; 상기 제 1 및 제 2 배향막 사이에 위치하며, 다수의 액정분자를 포함하는 액정층을 포함하고,Located between the first and second alignment layer, comprising a liquid crystal layer comprising a plurality of liquid crystal molecules, 상기 액정분자 중 상기 제 1 영역에 위치하며 상기 제 1 배향막과 접하는 제 1 액정분자는 제 1 선경사각을 갖고, 상기 액정분자 중 상기 제 2 영역에 위치하며 상기 제 1 배향막과 접하는 제 2 액정분자는 상기 제 1 선경사각보다 작은 제 2 선경사각을 가지며, 상기 액정분자 중 상기 제 1 및 제 2 액정분자 사이에 위치하는 제 3 액정분자는 상기 제 1 선경사각보다 작고 상기 제 2 선경사각보다 큰 제 3 선경사각을 갖는 것이 특징인 OCB 모드 액정표시장치.First liquid crystal molecules positioned in the first region of the liquid crystal molecules and in contact with the first alignment layer have a first pretilt angle, and second liquid crystal molecules positioned in the second region of the liquid crystal molecules and in contact with the first alignment layer. Has a second pretilt angle smaller than the first pretilt angle, and a third liquid crystal molecule positioned between the first and second liquid crystal molecules among the liquid crystal molecules is smaller than the first pretilt angle and larger than the second pretilt angle. An OCB mode liquid crystal display device having a third pretilt angle. 제 11항에 있어서,12. The method of claim 11, 상기 액정분자 중 상기 제 2 배향막과 접하는 액정분자는 상기 제 1 내지 제 3 액정분자와 대칭 구조를 이루는 것이 특징인 OCB 모드 액정표시장치.The liquid crystal molecules of the liquid crystal molecules in contact with the second alignment layer form a symmetrical structure with the first to third liquid crystal molecules. 제 11항에 있어서,12. The method of claim 11, 상기 제 2 영역에는 이온빔이 조사되어, 상기 배향막의 측쇄가 제거된 것이 특징인 OCB 모드 액정표시장치.And the side chain of the alignment layer is removed by irradiating an ion beam to the second region. 제 11항에 있어서,12. The method of claim 11, 상기 제 1 선경사각은 90도이고, 상기 제 2 선경사각은 0도이며, 상기 제 3 선경사각은 20~70도인 것이 특징인 OCB 모드 액정표시장치.Wherein the first pretilt angle is 90 degrees, the second pretilt angle is 0 degrees, and the third pretilt angle is 20 to 70 degrees. 제 14항에 있어서,15. The method of claim 14, 상기 제 1 영역과 제 2 영역의 넓이 비는 0.5~3:1인 것이 특징인 OCB 모드 액정표시장치.An area ratio between the first region and the second region is in the range of 0.5 to 3: 1. 제 11항에 있어서,12. The method of claim 11, 상기 제 1 기판과 상기 제 1 배향막 사이에는, Between the first substrate and the first alignment layer, 서로 교차하여 화소영역을 정의하는 다수의 게이트 배선 및 다수의 데이터 배선과;A plurality of gate lines and a plurality of data lines crossing each other to define pixel regions; 상기 화소영역에 위치하는 박막트랜지스터와;A thin film transistor positioned in the pixel region; 상기 박막트랜지스터에 연결되는 화소전극이 형성되고,A pixel electrode connected to the thin film transistor is formed, 상기 제 2 기판과 상기 제 2 배향막 사이에는,Between the second substrate and the second alignment layer, 상기 화소영역에 대응하는 컬러필터와;A color filter corresponding to the pixel region; 상기 컬러필터 상에 위치하는 공통전극이 형성되어 있는 것이 특징인 OCB 모드 액정표시장치.OCB mode liquid crystal display, characterized in that the common electrode is formed on the color filter.
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