KR101276611B1 - Device for optimizing a bonding temperature in bonding equipment and method therefor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 접합대상물을 초음파 또는 열압착 방식을 이용한 접합툴로 접합할 경우 접합 온도를 최적화하기 위한 접합 온도 최적화 장치를 가지는 접합장비 및 이를 이용한 접합 온도 최적화 방법에 관한 것으로, 외부로부터 인가된 상용전원을 초음파 주파수의 전기에너지로 변환하여 출력하는 초음파발진부와, 상기 초음파발진부로부터 인가된 전기에너지를 기계적 진동에너지로 변환 및 증폭하여 접합대상물 사이에 위치된 접합제로 전달하는 진동툴과, 상기 접합제 측에 도포되고, 상기 접합제에서 진동에너지로 인해 발생되는 발열온도를 검출하는 온도검출수단, 및 상기 온도검출수단을 통해 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하고, 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 상기 초음파발진부의 출력을 가변 제어하며, 상기 시간에 따라 가변 제어된 출력을 저장하는 제어부를 포함한다.The present invention relates to a joining equipment having a joining temperature optimization device for optimizing the joining temperature when joining the joining object with a joining tool using an ultrasonic or thermocompression method, and a joining temperature optimization method using the same. Ultrasonic oscillator for converting and outputting the ultrasonic energy to the electrical energy of the ultrasonic frequency, Vibration tool for converting and amplifying the electrical energy applied from the ultrasonic oscillator to mechanical vibration energy and delivered to the bonding agent located between the bonding object, and the bonding agent side And a temperature detecting means for detecting an exothermic temperature generated by vibration energy in the binder, and a temperature detected by the temperature detecting means and a preset reference temperature, and the detected temperature is close to the reference temperature. Variably control the output of the ultrasonic oscillator so that A controller for storing a service control output.

Description

접합 온도 최적화 장치를 가지는 접합장비 및 이를 이용한 접합 온도 최적화 방법{DEVICE FOR OPTIMIZING A BONDING TEMPERATURE IN BONDING EQUIPMENT AND METHOD THEREFOR}Bonding equipment having a junction temperature optimization device and a junction temperature optimization method using the same {DEVICE FOR OPTIMIZING A BONDING TEMPERATURE IN BONDING EQUIPMENT AND METHOD THEREFOR}

본 발명은 폴리머 수지 접합대상물을 초음파 또는 열압착 방식을 이용한 접합툴로 접합할 경우 접합 온도를 최적화하기 위한 접합 온도 최적화 장치를 가지는 접합장비 및 이를 이용한 접합 온도 최적화 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a joining equipment having a joining temperature optimization device for optimizing the joining temperature when joining a polymer resin joining object with a joining tool using an ultrasonic or thermocompression method, and a joining temperature optimization method using the same.

일반적으로, 폴리머 수지 접합대상물을 접합하는 방식으로 초음파 접합 방식과 열압착 방식 등이 있다.Generally, there are an ultrasonic bonding method, a thermocompression bonding method, and the like as a method of bonding the polymer resin bonding object.

초음파 접합장비는 초음파 주파수를 발생시키는 초음파발진부와, 초음파를 진동에너지로 변환하여 접합대상물을 접합시키는 초음파 혼(horn)을 포함한다. 즉, 초음파 진동에너지가 혼을 통하여 접합대상물로 전달되면, 접합대상물의 접합면에 설치된 접합제에서 순간적인 마찰열이 발생한다. 마찰열로 인해 접합제가 용해됨으로써, 접합대상물을 접착시키게 된다.The ultrasonic bonding apparatus includes an ultrasonic oscillator for generating an ultrasonic frequency, and an ultrasonic horn converting ultrasonic waves into vibration energy to bond the bonding object. That is, when the ultrasonic vibration energy is transmitted to the bonding object through the horn, instantaneous frictional heat is generated in the bonding agent provided on the bonding surface of the bonding object. The bonding agent is dissolved due to the frictional heat, thereby bonding the bonding object.

열압착 장비는 용착물인 폴리머 수지 접합대상물에 열과 압력을 가하여 상호 접착시키는 것으로, 용착물의 재질 및 형상에 따라 다양한 구조로 이루어질 수 있다. 열융착 장비는 외부로부터 공급된 전원을 이용하여 열을 발생시키고, 이를 이용하여 접합대상물을 서로 융착시키게 된다.The thermocompression bonding equipment is bonded to each other by applying heat and pressure to a polymer resin bonding object as a deposit, and may be formed in various structures according to the material and shape of the deposit. The heat fusion equipment generates heat by using power supplied from the outside, and uses the same to fuse the objects to be bonded to each other.

상기와 같은 초음파 접합장비와 열압착 장비는 접합대상물을 접합할 때 폴리머 수지 접합제를 이용하게 되며, 대표적인 폴리머 수지 접합제는 이방전도성 접합제일 수 있다.The ultrasonic bonding apparatus and the thermocompression bonding apparatus as described above use a polymer resin binder when bonding the bonding object, and a representative polymer resin binder may be an anisotropic conductive binder.

접합제는 절연성 폴리머수지와 폴리머수지 안에 분산되어 있는 도전입자를 기본으로 하여 도전입자에 의한 전극 사이의 전기적 접속, 폴리머수지의 열경화에 의한 기계적 접속을 동시에 수행하는 접합 재료이다.The bonding agent is a bonding material which simultaneously performs electrical connection between electrodes by conductive particles and mechanical connection by thermal curing of the polymer resin, based on the insulating polymer resin and the conductive particles dispersed in the polymer resin.

통상적으로 은, 금, 구리, 니켈, 탄소, 금속이 코팅(coating)된 폴리머, 고유 전도성 고분자(intrinsically conductive polymer) 등의 미세 입자가 도전입자로 사용되며, 폴리머수지로 에폭시, 폴리이미드, 실리콘, 아크릴, 폴리에스테르 또는 폴리술폰수지가 사용된다. 사용 분야에 따라서 도전입자의 종류가 달라질 수 있으며, 열팽창 계수를 줄이기 위한 목적으로 비도전입자를 포함하기도 한다. In general, fine particles of silver, gold, copper, nickel, carbon, metal coated, intrinsically conductive polymer or the like are used as conductive particles, and epoxy resin, polyimide, silicone, Acrylic, polyester or polysulfone resin is used. The types of conductive particles may be varied depending on the field of use, and non-conductive materials may be included for the purpose of reducing the thermal expansion coefficient.

접합제를 이용한 접합대상물간의 접속 방법은 기존의 땜납 공정을 대체하는 공정(lead free)으로 깨끗하고 공정자체가 간단하며 친환경적이고, 제품에 순간적인 고온을 가할 필요가 없으므로(저온 공정) 열적으로 더 안정한 공정이며, 유리 기판이나 폴리에스테르 플렉스와 같은 저렴한 기판을 사용하여 공정 단가를 낮출 수 있으며, 미세 도전입자를 사용하여 전기적 접속이 이루어짐으로 극미세 전극 피치(pitch)의 구현이 가능한 장점들이 있다.The connection method between the bonding objects using the bonding agent is a lead free process, which is clean, simple and eco-friendly, and does not need to apply instant high temperature to the product (low temperature process). It is a stable process, it is possible to lower the cost of the process by using a low-cost substrate, such as a glass substrate or polyester flex, there is an advantage that the implementation of the ultra-fine electrode pitch (pitch) is possible by the electrical connection is made using the fine conductive particles.

이러한 장점을 가지는 접합제는 스마트카드, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기 EL(Organic Light Emitting Diodes) 등의 디스플레이 패키징(display packaging), 컴퓨터, 휴대용 전화기, 통신 시스템 등에 그 활용 범위를 넓혀가고 있다. Bonding agents having these advantages are suitable for display packaging such as smart cards, liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), organic light emitting diodes (EL), computers, mobile phones, and communication systems. We are expanding our range of applications.

접합제가 가장 활발히 사용되어 온 분야는 디스플레이 모듈 실장인데, 연성 기판을 유리 기판에 접속할 때 사용되는 OLB(Outer Lead Bonding)용, 연성 기판을 PCB(Printed Circuit Board) 기판과 접합하는 PCB 본딩용 접합제의 시장이 가장 커지고 있다.The most active field of bonding agent is display module mounting, which is used for outer lead bonding (OLB) used when connecting a flexible substrate to a glass substrate, and a bonding agent for PCB bonding for bonding a flexible substrate to a printed circuit board (PCB) substrate. Market is the largest.

또한, 구동회로 IC 칩이 유리 기판에 직접 접속되는 COG(Chip On Glass) 본딩, 연성 기판에 직접 플립 칩 접속되는 COF(Chip On Film) 본딩은 구동회로 IC가 고밀도화, 복잡화되면서 극미세 피치 접속의 필요성이 더욱 대두되고 있어 접합제의 중요성 또한 급격히 커지고 있는 실정이다. In addition, the chip on glass (COG) bonding in which the driving circuit IC chip is directly connected to the glass substrate, and the chip on film (COF) bonding in which the chip is directly flip-chip connected to the flexible substrate are used for the extremely fine pitch connection. As the need arises, the importance of the binder is also rapidly increasing.

접합제를 사용한 접합대상물의 실장 기술은 기본적으로 초음파 또는 열압착 공정을 사용하여 전극 패드 사이의 전도성 입자에 의한 도전과 주변 폴리머수지의 열경화에 의해 접속이 완성된다. In the mounting technology of the bonding object using the bonding agent, the connection is basically completed by conduction by conductive particles between the electrode pads and thermal curing of the surrounding polymer resin using an ultrasonic wave or a thermocompression bonding process.

이와 같은 접합제의 열경화성 고분자는 온도가 높아짐에 따라 열경화 반응 속도가 빨라지기 때문에 온도가 높아지면 더 빨리 접합을 수행할 수 있다. 하지만, 과도하게 높은 온도는 접합제의 열변형 및 접합제의 물성 저하를 야기하기 때문에 접합 공정 중 접합제의 정확한 실제 온도를 조절하는 것이 매우 중요하다.Since the thermosetting polymer of the binder has a higher temperature, the thermosetting reaction rate is faster, so that the bonding can be performed faster when the temperature is increased. However, it is very important to control the exact actual temperature of the binder during the bonding process because excessively high temperatures cause thermal deformation of the binder and degradation of the properties of the binder.

그런데, 접합장비에서는 도 1과 같이, 제어장치(1)에서 접합툴(5)의 온도를 측정하여 그 출력을 조절할 수 있기 때문에 접합대상물(10), 즉 접합제(15)의 내부 온도를 정확하게 알기가 어렵다. 또 접합제(15)의 내부 온도를 알기 위해서는 접합제(15)에 온도계를 심은 상태에서 일일이 실험해봐야 하는 한계가 있었다.
However, in the bonding equipment, as shown in FIG. 1, since the temperature of the bonding tool 5 can be measured by the control device 1 and the output thereof is adjusted, the internal temperature of the bonding object 10, that is, the bonding agent 15, is accurately measured. Difficult to know In addition, in order to know the internal temperature of the bonding agent 15, there was a limit to experiment one by one in the state of planting a thermometer in the bonding agent 15.

본 발명의 목적은 초음파 또는 열압착 방식을 이용한 접합툴로 접합할 경우 접합대상물 사이에 도포 또는 배치된 접합제의 온도를 검출함으로써, 접합대상별로 접합 온도를 최적화할 수 있는 접합 온도 최적화 장치를 가지는 접합장비 및 이를 이용한 접합 온도 최적화 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention has a bonding temperature optimization device that can optimize the bonding temperature for each bonding object by detecting the temperature of the bonding agent applied or disposed between the bonding objects when bonding with the bonding tool using ultrasonic or thermocompression bonding method. It is to provide a bonding equipment and a method for optimizing the junction temperature using the same.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않는다.
The technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the technical problems mentioned above.

상기 과제를 실현하기 위한 본 발명의 접합 온도 최적화 장치를 가지는 접합장비는, 외부로부터 인가된 상용전원을 초음파 주파수의 전기에너지로 변환하여 출력하는 초음파발진부; 상기 초음파발진부로부터 인가된 전기에너지를 기계적 진동에너지로 변환 및 증폭하여 접합대상물 사이에 위치된 접합제로 전달하는 진동툴; 상기 접합제 측에 도포되고, 상기 접합제에서 진동에너지로 인해 발생되는 발열온도를 검출하는 온도검출수단; 및 상기 온도검출수단을 통해 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하고, 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 상기 초음파발진부의 출력을 가변 제어하며, 상기 시간에 따라 가변 제어된 출력을 저장하는 제어부;를 포함할 수 있다.Bonding equipment having a junction temperature optimization device of the present invention for realizing the above object, Ultrasonic oscillator for converting the commercial power applied from the outside into the electrical energy of the ultrasonic frequency and outputs; A vibration tool for converting and amplifying electrical energy applied from the ultrasonic wave oscillator into mechanical vibration energy and transferring the electrical energy to a bonding agent located between the bonding objects; Temperature detecting means applied to the bonding side and detecting an exothermic temperature generated due to vibration energy in the bonding agent; And a control unit for comparing the temperature detected by the temperature detecting unit with a set reference temperature, and variably controlling the output of the ultrasonic wave oscillator so that the detected temperature is close to the reference temperature, and storing the variable controlled output according to the time. It can include;

구체적으로, 상기 접합제는, 절연성 폴리머수지; 및 상기 절연성 폴리머수지 내에 형성되어 상기 접합대상물 중 적어도 어느 하나의 접합대상물과 면접촉하는 전도성 접속입자;를 포함할 수 있다.Specifically, the bonding agent, an insulating polymer resin; And conductive connection particles formed in the insulating polymer resin and in surface contact with at least one of the bonding objects.

상기 제어부는 상기 초음파발진부에서 출력되는 초음파의 주파수, 진폭 및 펄스폭 중 적어도 하나를 제어하여 출력을 가변시킬 수 있다.The controller may vary the output by controlling at least one of the frequency, amplitude, and pulse width of the ultrasonic wave output from the ultrasonic wave oscillator.

상기 과제를 실현하기 위한 본 발명의 다른 접합 온도 최적화 장치를 가지는 접합장비는, 외부로부터 인가된 상용전원을 제어신호에 따라 필요한 전압 또는 전류로 변환하여 출력하는 전원공급부; 상기 전원공급부에서 입력된 전원에 따라 설정된 히팅온도로 가열되어 접합대상물 사이에 도포된 접합제를 가압하여 열융착시키는 융착툴; 상기 접합제 측에 도포되고, 상기 접합제에서 진동에너지로 인해 발생되는 발열온도를 검출하는 온도검출수단; 및 상기 온도검출수단을 통해 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하고, 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 상기 융착툴로 공급되는 전원을 제어하여 히팅온도를 가변 제어하며, 상기 시간에 따라 가변 제어된 전원 출력을 저장하는 제어부;를 포함할 수 있다.Bonding equipment having another junction temperature optimization device of the present invention for realizing the above object, the power supply for converting the commercial power applied from the outside to the required voltage or current according to the control signal and outputs; A welding tool heated to a heating temperature set according to the power input from the power supply unit to pressurize and apply heat to the bonding agent applied between the bonding objects; Temperature detecting means applied to the bonding side and detecting an exothermic temperature generated due to vibration energy in the bonding agent; And comparing the temperature detected by the temperature detecting means with a set reference temperature, and controlling the heating temperature by controlling the power supplied to the welding tool so that the detected temperature is close to the reference temperature, and controlling the heating temperature. The controller may store a controlled power output.

상기 과제를 실현하기 위한 본 발명의 접합장비의 접합 온도 최적화 방법은, 진동툴은 외부에서 입력된 초음파를 진동에너지로 변환하고, 상기 진동에너지를 접합대상물 사이에 도포된 접합제로 인가하는 단계; 상기 진동에너지로 인해 접합제에서 발생되는 발열온도를 검출하는 단계; 상기 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하는 단계; 및 상기 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 상기 진동툴로 인가되는 초음파의 출력을 가변 제어하는 단계;를 포함할 수 있다.Bonding temperature optimization method of the bonding equipment of the present invention for realizing the above object, the vibration tool converts the ultrasonic wave input from the outside into vibration energy, and applying the vibration energy to the bonding agent applied between the bonding objects; Detecting an exothermic temperature generated in the binder due to the vibration energy; Comparing the detected temperature with a set reference temperature; And variably controlling the output of the ultrasonic wave applied to the vibration tool such that the detected temperature approaches a reference temperature.

구체적으로, 상기 출력을 가변 제어하는 단계는, 초음파의 주파수, 진폭, 및 펄스폭 중 적어도 하나를 가변 제어할 수 있다.In detail, the controlling of the output may include variably controlling at least one of a frequency, an amplitude, and a pulse width of the ultrasonic wave.

상기 비교하는 단계에서, 검출된 온도가 설정된 기준온도와 동일할 경우 상기 검출 온도에 대응되는 초음파의 출력값을 초기값으로 설정할 수 있고, 상기 설정된 출력값으로 초음파의 출력을 제어하여 접합대상물을 접합시키는 단계를 더 포함할 수 있다.In the comparing step, when the detected temperature is equal to the set reference temperature, the output value of the ultrasonic wave corresponding to the detected temperature may be set to an initial value, and the bonding output object is bonded by controlling the output of the ultrasonic wave with the set output value. It may further include.

상기 과제를 실현하기 위한 본 발명의 다른 접합장비의 접합 온도 최적화 방법은, 융착툴은 외부로부터 인가된 전원에 따라 설정된 히팅온도로 가열되어 접합대상물 사이에 도포된 접합제를 가압하는 단계; 상기 가압에 따라 접합제에서 발생되는 발열온도를 검출하는 단계; 상기 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하는 단계; 및 상기 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 상기 융착툴로 공급되는 전원을 제어하여 히팅온도를 가변시키는 단계;를 포함할 수 있다.Method for optimizing the bonding temperature of the other bonding equipment of the present invention for realizing the above object, the welding tool is heated to a heating temperature set according to the power applied from the outside to press the adhesive applied between the bonding objects; Detecting an exothermic temperature generated in the binder according to the pressurization; Comparing the detected temperature with a set reference temperature; And varying a heating temperature by controlling power supplied to the welding tool such that the detected temperature approaches a reference temperature.

구체적으로, 상기 비교하는 단계에서, 검출된 온도가 설정된 기준온도와 동일할 경우 상기 히팅온도에 대응되는 출력값을 초기제어값으로 설정할 수 있다.Specifically, in the comparing step, when the detected temperature is equal to the set reference temperature, the output value corresponding to the heating temperature may be set as the initial control value.

상기 저장된 출력값으로 히팅온도를 제어하여 접합대상물을 접합시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
The method may further include bonding the object to be joined by controlling a heating temperature with the stored output value.

상기와 같이 본 발명에서는 접합대상물에 온도검출수단을 설치하고, 샘플을 1회 접합함으로써, 원하는 접합제의 온도 구현을 위한 최적화된 출력값을 얻을 수 있고, 이 출력값을 그대로 이후 접합공정에서 사용함에 따라 온도계가 없는 접합대상물을 원하는 온도로 정확하게 접합하는 것이 가능한 이점이 있다.
As described above, in the present invention, by installing the temperature detecting means on the object to be bonded and bonding the sample once, an optimized output value for realizing the temperature of the desired bonding agent can be obtained, and the output value is used as it is in the subsequent bonding process. There is an advantage that it is possible to accurately bond the bonding object without the thermometer to the desired temperature.

도 1은 일반적인 접합장비의 온도 측정 방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 초음파 접합장비에서의 접합 온도 최적화 장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 접합대상물의 초기 상태 및 접합 상태를 보인 단면도이다.
도 4는 도 2의 초음파 접합장비에서의 접합 온도 최적화 과정을 나타낸 순서도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 의한 접합장비에서의 접합 온도 최적화 장치를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5의 접합장비에서의 접합 온도 최적화 과정을 나타낸 순서도이다.
1 is a view for explaining a temperature measuring method of a general bonding equipment.
2 is a view showing the junction temperature optimization device in the ultrasonic welding apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing the initial state and the bonding state of the bonding object according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating a process of optimizing a junction temperature in the ultrasonic bonding apparatus of FIG. 2.
5 is a view showing a junction temperature optimization device in the bonding equipment according to another embodiment of the present invention.
6 is a flowchart illustrating a process of optimizing a junction temperature in the bonding apparatus of FIG. 5.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호로 표시한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like elements in the figures are denoted by the same reference numerals wherever possible. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 초음파 접합장비에서의 접합 온도 최적화 장치를 나타낸 도면으로서, 최적화 장치는 초음파발진부(110), 진동툴(120), 온도검출수단(130), 표시부(140) 및 제어부(150)를 포함하여 구성될 수 있다.2 is a view showing an apparatus for optimizing the junction temperature in the ultrasonic bonding apparatus according to an embodiment of the present invention, the optimization apparatus is an ultrasonic wave generator 110, vibration tool 120, temperature detection means 130, display unit 140 ) And the controller 150.

초음파발진부(110)는 외부로부터 인가된 상용전원(AC 110V 또는 AC 220V)을 초음파 주파수의 전기에너지로 변환하여 출력한다. 초음파발진부(110)는 외부로부터 입력된 50Hz 내지 60Hz의 상용전원을 15kHz 내지 40kHz의 초음파 주파수로 변환하여 출력한다.The ultrasonic wave generator 110 converts commercial power (AC 110V or AC 220V) applied from the outside into electrical energy of an ultrasonic frequency and outputs the same. The ultrasonic oscillator 110 converts the commercial power of 50Hz to 60Hz input from the outside into an ultrasonic frequency of 15kHz to 40kHz and outputs the ultrasonic power.

진동툴(120)은 초음파발진부(110)로부터 인가된 전기에너지를 기계적 진동에너지로 변환 및 증폭하여 접합대상물(10) 사이에 도포 또는 배치된 접합제(15)로 전달한다. 상기 진동툴(120)은 초음파발진부(110)로부터 인가된 전기에너지를 기계적 진동에너지로 변환하는 컨버터(121)와, 기계적 진동에너지의 진폭을 증폭하는 부스터(123), 및 부스터(123)에서 출력된 기계적 진동에너지를 접합대상물(10)로 증폭 전달하는 혼(125; Horn)으로 이루어져 있다.The vibration tool 120 converts and amplifies the electrical energy applied from the ultrasonic wave generator 110 into mechanical vibration energy and transfers the electrical energy to the bonding agent 15 applied or disposed between the bonding objects 10. The vibration tool 120 is output from the converter 121 for converting the electrical energy applied from the ultrasonic oscillator 110 into mechanical vibration energy, the booster 123 for amplifying the amplitude of the mechanical vibration energy, and the booster 123 It consists of a horn (125) for amplifying and transferring the mechanical vibration energy to the bonding object (10).

상기에서 접합대상물(10)은 도 3과 같이 복수의 전자부품(11, 12)일 수 있으며, 각 전자부품(11, 12)은 전극(11-1, 12-1)이 각각 형성될 수 있다. The bonding object 10 may be a plurality of electronic components 11 and 12 as shown in FIG. 3, and each of the electronic components 11 and 12 may have electrodes 11-1 and 12-1, respectively. .

그리고, 접합제(15)는 절연성 폴리머수지(15a), 및 절연성 폴리머수지(15a) 내에 형성되어 접합대상물(10) 중 적어도 어느 하나의 접합대상물(10)과 면접촉하는 전도성 접속입자(15b)를 포함할 수 있다. 상기에서 절연성 폴리머수지(15a)는 열경화성 폴리머수지 또는 열가소성 폴리머수지이며, 바람직하게는 열경화성 폴리머수지이다. 본 실시예에 따른 접합제(15)는 필름 또는 페이스트 형태일 수 있으며, 바람직하게 이방성 전도성 필름이다.The bonding agent 15 is formed in the insulating polymer resin 15a and the insulating polymer resin 15a, and the conductive connecting particles 15b are in surface contact with at least one of the bonding objects 10 of the bonding object 10. It may include. The insulating polymer resin 15a is a thermosetting polymer resin or a thermoplastic polymer resin, and preferably a thermosetting polymer resin. The bonding agent 15 according to the present embodiment may be in the form of a film or a paste, and is preferably an anisotropic conductive film.

상기 폴리머수지(15a)는 90℃ 내지 300℃의 온도에서 경화되는 수지이며, 바람직하게 에폭시 수지, 폴리이미드 수지, 아크릴 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리술폰 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 또는 이들의 혼합물이다. 만일 폴리머수지가 열경화성 폴리머수지가 아닌 열가소성 폴리머수지인 경우, 초음파나 열에 의한 경화가 아닌 용융이 발생될 것이다. 그리고, 접속입자(15b)는 용융 전에 구형으로 형성되는 금속 재료로서, 평균 입경은 3 내지 100㎛일 수 있다. 접속입자(15b)는 Sn, Sn/Bi계, Sn/Zn계, Sn/Ag계, Sn/Ag/Cu계, 또는 이들의 혼합물일 수 있다. 이들 접속입자(15b)는 일정온도(120℃) 이상이 되면 용융될 것이다. The polymer resin 15a is a resin that is cured at a temperature of 90 ° C to 300 ° C, preferably an epoxy resin, a polyimide resin, an acrylic resin, a polyester resin, a polysulfone resin, a polyimide resin, a polyester resin, or these Is a mixture of. If the polymer resin is a thermoplastic polymer resin rather than a thermosetting polymer resin, melting will occur, not curing by ultrasonic waves or heat. In addition, the connecting particles 15b are spherical metal materials formed before melting, and the average particle diameter may be 3 to 100 μm. The connecting particles 15b may be Sn, Sn / Bi-based, Sn / Zn-based, Sn / Ag-based, Sn / Ag / Cu-based, or a mixture thereof. These connecting particles 15b will melt when they are above a certain temperature (120 ° C.).

온도검출수단(130)은 접합대상물(10) 사이에 배치되어 진동에너지로 인해 접합제(15)에서 발생되는 발열온도를 직접적으로 검출한다. 온도검출수단(130)은 서모커플(thermocouple) 또는 반도체센서일 수 있다.The temperature detecting unit 130 is disposed between the bonding objects 10 to directly detect the exothermic temperature generated by the bonding agent 15 due to the vibration energy. The temperature detecting unit 130 may be a thermocouple or a semiconductor sensor.

표시부(140)는 온도검출수단(130)을 통해 검출한 온도와 초음파발진부(110)에서 출력되는 전기에너지의 파형 중 적어도 어느 하나를 디스플레이하는 LED(7-segment) 또는 LCD 등으로 구성될 수 있다. The display unit 140 may be configured as an LED (7-segment) or an LCD that displays at least one of a temperature detected by the temperature detection unit 130 and a waveform of electrical energy output from the ultrasonic wave generator 110. .

제어부(150)는 온도검출수단(130)을 통해 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하고, 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 초음파발진부(110)의 출력을 가변 제어하며, 시간에 따라 가변 제어된 출력을 저장함과 아울러 검출된 온도가 기준온도와 동일할 경우 초음파발진부(110)의 출력을 초기제어값으로 재설정하게 된다. 여기서, 제어부(150)는 초음파발진부(110)의 출력을 가변 제어할 때 초음파의 주파수, 진폭 및 펄스폭 중 적어도 하나를 제어하여 출력을 가변시킬 수 있다.The controller 150 compares the temperature detected by the temperature detection unit 130 with the set reference temperature, and variably controls the output of the ultrasonic wave generator 110 so that the detected temperature is close to the reference temperature. In addition to storing the controlled output, if the detected temperature is the same as the reference temperature, the output of the ultrasonic wave generator 110 is reset to an initial control value. Herein, the controller 150 may vary the output by controlling at least one of the frequency, amplitude, and pulse width of the ultrasonic wave when the output of the ultrasonic wave generator 110 is variably controlled.

여기서, 최적화 장치는 각종 설정값이나 명령을 입력하기 위한 입력부(160)와, 상기 진동툴(120)을 제어부(150)의 제어신호에 따라 상하로 이동시키는 위한 구동수단(미 도시됨), 및 상기 초음파발진부(110)의 시간에 따른 전원 변화 내역을 저장하고 재사용할 수 있게 하는 기억장치(미 도시됨)를 더 포함할 수 있다. 상기 기억장치는 특정 접합대상에서의 상기 초음파발진부(110)의 시간에 따른 출력 변화 내역을 저장하며, 동일한 접합대상을 재작업하는 경우 저장된 출력 변화 내역을 그대로 사용함으로써 온도검출 없이도 원하는 온도를 손쉽게 재현할 수 있다.Here, the optimization apparatus includes an input unit 160 for inputting various setting values or commands, driving means (not shown) for moving the vibration tool 120 up and down according to a control signal of the controller 150, and The ultrasonic oscillator 110 may further include a memory device (not shown) for storing and reusing power change history over time. The memory device stores the output change history according to the time of the ultrasonic oscillator 110 at a specific junction object, and easily reproduces the desired temperature without detecting the temperature by using the stored output change history as it is when reworking the same junction object. can do.

도 3에서와 같이 접합제(15)를 이용하여 접합대상물(10)을 접착시키는 경우, 접합대상 접합대상물(10)의 각 전극 사이에 존재하게 되는 접합제(15)의 접속입자(15b)는 초음파에 따라 발생하는 열에 의해 용융되어 접합대상물(10)의 각 전극과 면으로 접하여 융착된다. 물론, 폴리머수지(15a)는 발생되는 열에 따라 경화된다. 즉, 접합제(15)에 초음파가 인가되면, 폴리머수지(15a)의 경화와 접속입자(15c)의 용융이 동시에 이루어질 수 있다.When the bonding object 10 is bonded using the bonding agent 15 as shown in FIG. 3, the connecting particles 15b of the bonding agent 15 that are present between the electrodes of the bonding object bonding object 10 are Melted by the heat generated by the ultrasonic wave is fused by contact with each electrode of the object to be bonded 10. Of course, the polymer resin 15a is cured according to the heat generated. That is, when ultrasonic waves are applied to the bonding agent 15, curing of the polymer resin 15a and melting of the connecting particles 15c may be simultaneously performed.

상기 초음파의 인가는 전도성 접합제(15)에 초음파 진동이 인가됨을 의미하며, 상기 초음파 진동은 소정의 압력을 동반한 진동을 포함한다. 접합제(15)에 인가되는 초음파는 접합제(15)에 함유된 폴리머수지의 소성변형을 유도하며, 이러한 소성변형에 의해 폴리머수지는 자체적으로 발열하게 된다. 상기 초음파 인가에 따른 폴리머수지의 자체 발열에 의해 접합제(15)의 온도가 폴리머수지의 용융 온도와 경화 온도 이상으로 승온된다. 상술한 바와 같이 접합제(15)는 초음파 인가에 의해 열경화성 폴리머수지가 용융 후 경화되며, 접속입자(15c)가 용융된다. 상기 접합제(15)의 초음파에 의한 자체 발열시, 상기 폴리머수지의 용융 또는 경화와 동시에 상기 접속입자(15b)가 안정적으로 용융되기 위한 녹는점은 120 내지 300℃ 이다.The application of the ultrasonic waves means that ultrasonic vibrations are applied to the conductive binder 15, and the ultrasonic vibrations include vibrations with a predetermined pressure. Ultrasonic waves applied to the bonding agent 15 induce plastic deformation of the polymer resin contained in the bonding agent 15, and the plastic resin generates heat by itself. By the self-heating of the polymer resin according to the ultrasonic application, the temperature of the binder 15 is raised above the melting temperature and the curing temperature of the polymer resin. As described above, the bonding agent 15 is cured after melting the thermosetting polymer resin by ultrasonic application, and the connecting particles 15c are melted. When self-heating by the ultrasonic wave of the said bonding agent 15, melting | fusing point for stably melting the said connection particle 15b simultaneously with melting or hardening of the said polymer resin is 120-300 degreeC.

여기서, 접합제(15)의 열경화성 폴리머수지는 온도가 높아짐에 따라 열경화 반응 속도가 빨라지기 때문에 온도가 높아지면 더 빨리 접합을 수행할 수 있다. 하지만, 과도하게 높은 온도는 접합제의 열변형 및 접합제의 물성 저하를 야기하기 때문에 접합 공정 중 접합제(15)의 정확한 실제 온도를 조절하는 것이 매우 중요하다.Here, since the thermosetting polymer resin of the bonding agent 15 increases in temperature, the thermosetting reaction rate is faster, so that bonding can be performed more quickly when the temperature increases. However, it is very important to control the exact actual temperature of the binder 15 during the bonding process because excessively high temperatures cause thermal deformation of the binder and degradation of the properties of the binder.

이에 따라, 접합제(15) 측에 서모커플과 같은 온도검출수단(130)을 설치하여 접합시 접합제(15)의 온도를 검출한다. 제어부(150)는 온도검출수단(130)을 통해 검출된 온도를 표시부(140)를 통해 숫자 또는 그래프로 디스플레이함과 동시에 검출된 온도를 설정된 기준온도와 상호 비교하고, 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 초음파발진부(110)의 출력을 설정된 제어프로그램에 따라 가변 제어하게 된다.Accordingly, a temperature detecting means 130 such as a thermocouple is provided on the bonding agent 15 side to detect the temperature of the bonding agent 15 at the time of bonding. The controller 150 displays the temperature detected by the temperature detecting unit 130 in a number or graph on the display unit 140, and simultaneously compares the detected temperature with a set reference temperature, and detects the temperature as the reference temperature. The output of the ultrasonic wave generator 110 is controlled to be variable according to a set control program.

도 4는 도 2의 초음파 접합장비에서의 접합 온도 최적화 과정을 나타낸 순서도로서, 첨부된 도면을 참조하여 살펴본다.FIG. 4 is a flowchart illustrating a process of optimizing a junction temperature in the ultrasonic bonding apparatus of FIG. 2, and will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 진동툴(120)의 하방에 위치된 지지대(101) 상에는 접합대상물(10)이 위치하고 있고, 접합대상물(10) 사이에는 접합제(15)의 온도를 검출하기 위한 온도검출수단(130)이 배치되어 있다.First, the bonding object 10 is located on the support 101 positioned below the vibrating tool 120, and the temperature detecting means 130 for detecting the temperature of the bonding agent 15 between the bonding objects 10. This is arranged.

이와 같은 상태에서 초음파발진부(110)는 외부로부터 인가된 상용전원(AC 110V 또는 AC 220V)을 초음파 주파수의 전기에너지로 변환한다. 초음파발진부(110)는 외부로부터 입력된 50Hz 내지 60Hz의 상용전원을 15kHz 내지 40kHz의 초음파 주파수로 변환하여 출력할 수 있다.In this state, the ultrasonic wave generator 110 converts commercial power (AC 110V or AC 220V) applied from the outside into electrical energy of ultrasonic frequency. The ultrasonic oscillator 110 may convert the 50Hz to 60Hz commercial power input from the outside into an ultrasonic frequency of 15kHz to 40kHz and output the converted ultrasonic power.

초음파발진부(110)의 출력은 진동툴(120)에 의해 기계적 진동에너지로 변환 및 증폭되어 접합대상물(10) 사이에 도포된 접합제(15)로 전달된다(S11). 즉, 초음파발진부(110)에서 발생된 전기에너지가 진동툴(120)의 컨버터(121)에서 기계적인 진동에너지로 변환되어 부스터(123)를 통해 진폭이 증폭된다. 증폭된 진동에너지가 혼(125)을 통하여 1초에 15,000회 내지 40,000회의 진동이 접합대상물(10)의 접합제(15)로 전달되면 접합대상물(10)의 접합면에서 순간적인 마찰열이 발생되고, 마찰열에 의해 접합제(15)가 열경화되어 접합제(15)와 접합대상물(10)의 전극은 강력한 분자적 결합이 이루어진다.The output of the ultrasonic wave generator 110 is converted and amplified into mechanical vibration energy by the vibration tool 120 and transferred to the bonding agent 15 applied between the bonding objects 10 (S11). That is, the electrical energy generated by the ultrasonic oscillator 110 is converted into mechanical vibration energy in the converter 121 of the vibration tool 120, and the amplitude is amplified through the booster 123. When the amplified vibration energy is transmitted 15,000 to 40,000 vibrations per second through the horn 125 to the bonding agent 15 of the bonding object 10, instantaneous frictional heat is generated at the bonding surface of the bonding object 10. The adhesive 15 is thermally cured by frictional heat, so that the bonding agent 15 and the electrode of the bonding object 10 have strong molecular bonds.

이어, 접합제(15) 측에 설치된 온도검출수단(130)은 진동에너지로 인해 접합제(15)에서 발생되는 발열온도를 검출하여 제어부(150)로 출력한다(S12).Subsequently, the temperature detecting unit 130 installed at the bonding agent 15 side detects the exothermic temperature generated by the bonding agent 15 due to the vibration energy and outputs it to the controller 150 (S12).

제어부(150)는 온도검출수단(130)을 통해 검출한 온도를 표시부(140)를 통해 디스플레이함과 아울러 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교한다(S13). 제어부(150)는 검출한 온도와 설정된 기준온도가 다를 경우 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 초음파발진부(110)의 출력을 설정된 제어프로그램에 따라 가변 제어하게 된다(S14, S15). 여기서, 제어부(150)는 초음파발진부(110)의 출력을 가변 제어할 때 초음파의 주파수, 진폭 및 펄스폭 중 적어도 하나를 제어하여 출력을 가변시킬 수 있다. The controller 150 displays the temperature detected by the temperature detecting unit 130 through the display unit 140 and compares the detected temperature with a set reference temperature (S13). If the detected temperature is different from the set reference temperature, the controller 150 variably controls the output of the ultrasonic wave generator 110 according to the set control program such that the detected temperature approaches the reference temperature (S14 and S15). Herein, the controller 150 may vary the output by controlling at least one of the frequency, amplitude, and pulse width of the ultrasonic wave when the output of the ultrasonic wave generator 110 is variably controlled.

예컨대, 제어부(150)는 검출된 온도가 설정된 기준온도보다 낮을 경우 초음파발진부(110)에서 출력되는 초음파의 진폭을 오차온도에 대응되는 크기만큼 증가시킬 수 있으며, 검출된 온도가 설정된 기준온도보다 높을 경우 초음파발진부(110)에서 출력되는 초음파의 진폭을 오차온도에 대응되는 크기만큼 감소시킬 수 있을 것이다.For example, when the detected temperature is lower than the set reference temperature, the controller 150 may increase the amplitude of the ultrasonic wave output from the ultrasonic wave generator 110 by a size corresponding to the error temperature, and the detected temperature may be higher than the set reference temperature. In this case, the amplitude of the ultrasonic waves output from the ultrasonic wave generator 110 may be reduced by a size corresponding to the error temperature.

이와 같이 본 발명에서는 진동툴(120)의 온도가 아니라 접합대상물(10)의 온도를 직접적으로 검출하여 접합대상물(10)의 온도가 원하는 온도인 기준온도와 일치할 경우(S14), 제어부(150)는 초음파발진부(110)의 출력제어값을 초기값으로 재설정한다(S15). As described above, in the present invention, when the temperature of the object to be bonded 10 is directly detected instead of the temperature of the vibrating tool 120 and the temperature of the object to be bonded coincides with a reference temperature which is a desired temperature (S14), the controller 150 ) Resets the output control value of the ultrasonic wave generator 110 to an initial value (S15).

이후, 제어부(150)는 상기(S15)에서 최적화된 출력제어값을 이용하여 초음파발진부(110)의 출력을 제어함으로써, 접합대상물(10)을 원하는 온도로 정확하게 접합하는 것이 가능하다(S17).Subsequently, the controller 150 controls the output of the ultrasonic wave generator 110 by using the output control value optimized in the step S15, thereby enabling the bonding object 10 to be accurately bonded at a desired temperature (S17).

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 의한 접합장비에서의 접합 온도 최적화 장치를 나타낸 도면으로서, 최적화 장치는 전원공급부(210), 융착툴(220), 온도검출수단(230), 표시부(240) 및 제어부(250)를 포함하여 구성될 수 있다.5 is a view showing a junction temperature optimization device in the bonding equipment according to another embodiment of the present invention, the optimization device is a power supply unit 210, fusion tool 220, temperature detection means 230, display unit 240 And a controller 250.

전원공급부(210)는 외부로부터 인가된 상용전원(AC 110V 또는 AC 220V)을 제어신호에 따라 필요한 전압 또는 전류로 변환하여 출력한다. 전원공급부(210)는 소정의 제어신호에 따라 선택적으로 작동하여 전원을 공급하거나 출력 전류를 가변시킬 수 있다.The power supply unit 210 converts the commercial power (AC 110V or AC 220V) applied from the outside into the required voltage or current according to the control signal and outputs the converted voltage or current. The power supply unit 210 may selectively operate according to a predetermined control signal to supply power or to change an output current.

융착툴(220)은 전원공급부(210)로부터 인가된 전원에 따라 고온으로 가열되어 접합대상인 접합대상물(10)을 가압하여 열압착시키게 된다. 융착툴(220)은 접합대상물(10)을 열압착하는 융착팁(221)과, 융착팁을 가열시키는 히터(225)를 포함하여 구성될 수 있다. The welding tool 220 is heated to a high temperature according to the power applied from the power supply unit 210 to pressurize the bonding object 10 to be bonded to be thermally compressed. The welding tool 220 may include a welding tip 221 for thermocompression bonding the bonding object 10 and a heater 225 for heating the welding tip.

여기서, 접합대상물(10) 사이에는 상기 도 3과 같은 접합제(15)가 도포되거나 배치될 수 있다. 융착툴(220)의 가압에 따라 접합대상물(10) 사이에 도포된 접합제(15)로 열이 전도되고, 접합제(15) 내의 접속입자(15b)는 전도된 열에 의해 용융되어 접합대상물(10)의 각 전극과 면으로 접하여 융착된다. 물론, 폴리머수지는 발생되는 열에 따라 경화된다. 즉, 접합제(15)에 열이 인가되면, 폴리머수지의 경화와 접속입자(15b)의 용융이 동시에 이루어질 수 있다.Here, the bonding agent 15 as shown in FIG. 3 may be applied or disposed between the bonding objects 10. The heat is transferred to the bonding agent 15 applied between the bonding objects 10 according to the pressure of the welding tool 220, and the connecting particles 15b in the bonding agent 15 are melted by the conducted heat to bond the bonding object ( Each electrode of 10) is fused in contact with the surface. Of course, the polymer resin cures according to the heat generated. That is, when heat is applied to the bonding agent 15, curing of the polymer resin and melting of the connecting particles 15b may be simultaneously performed.

온도검출수단(230)은 접합대상물(10) 사이에 배치되어 전도열에 의해 접합제(15)에서 발생되는 발열온도를 직접적으로 검출한다. 온도검출수단(230)은 서모커플(thermocouple) 또는 반도체센서일 수 있다.The temperature detecting means 230 is disposed between the bonding objects 10 to directly detect the exothermic temperature generated by the bonding agent 15 by the conductive heat. The temperature detecting means 230 may be a thermocouple or a semiconductor sensor.

표시부(240)는 온도검출수단(230)을 통해 검출한 온도와 전원공급부(210)에서 출력되는 전기에너지의 파형 중 적어도 어느 하나를 표시하는 LED(7-segment) 또는 LCD 등으로 구성될 수 있다. The display unit 240 may be configured as an LED (7-segment) or an LCD that displays at least one of a temperature detected by the temperature detecting unit 230 and a waveform of electrical energy output from the power supply unit 210. .

제어부(250)는 온도검출수단(230)을 통해 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하고, 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 전원공급부(210)의 출력을 가변 제어하며, 검출된 온도가 기준온도와 동일할 경우 전원공급부(210)의 출력을 초기제어값으로 재설정하게 된다. 여기서, 제어부(250)는 전원공급부(210)의 출력을 가변 제어할 때 전원의 전류, 전압 및 온/오프 중 적어도 하나를 제어하여 출력을 가변시킬 수 있다. 예컨대, 제어부(250)는 접합제(15)로부터 검출한 온도가 설정된 기준온도보다 낮으면 전원공급부(210)에서 융착툴(220)로 출력되는 전류 또는 전압을 증가시키고, 만일 기준온도보다 높으면 융착툴(220)로 출력되는 전류 또는 전압을 감소시키게 된다.The controller 250 compares the temperature detected by the temperature detecting means 230 with the set reference temperature, and variably controls the output of the power supply 210 so that the detected temperature is close to the reference temperature. If it is equal to the reference temperature, the output of the power supply unit 210 is reset to the initial control value. Herein, when the control unit 250 variably controls the output of the power supply unit 210, the control unit 250 may control at least one of a current, a voltage, and on / off of the power source to vary the output. For example, the control unit 250 increases the current or voltage output from the power supply unit 210 to the welding tool 220 when the temperature detected from the bonding agent 15 is lower than the set reference temperature. This reduces the current or voltage output to the tool 220.

여기서, 최적화 장치는 각종 설정값이나 명령을 입력하기 위한 입력부(260)와, 상기 융착툴(220)을 제어부(250)의 제어신호에 따라 상하로 이동시키는 위한 구동수단(270), 및 상기 융착툴(220)의 시간에 따른 전원 변화 내역을 저장하고 재사용할 수 있게 하는 기억장치(미 도시됨)를 더 포함할 수 있다. 상기 기억장치는 특정 접합대상에서의 융착툴(220)의 시간에 따른 출력 변화 내역을 저장하며, 동일한 접합대상을 재작업하는 경우 저장된 출력 변화 내역을 그대로 사용함으로써 온도검출 없이도 원하는 온도를 손쉽게 재현할 수 있다.Here, the optimization apparatus includes an input unit 260 for inputting various setting values or commands, driving means 270 for moving the welding tool 220 up and down according to a control signal of the controller 250, and the welding. A memory device (not shown) may be further included to store and reuse a power change history over time of the tool 220. The memory device stores the output change history according to the time of the fusion tool 220 at a specific welding target, and when reworking the same welding target, the stored output change history can be used as it is to easily reproduce the desired temperature without detecting the temperature. Can be.

이와 같이 접합제(15)를 이용하여 접합대상물(10)을 접착시키는 경우, 접합대상 접합대상물(10)의 각 전극 사이에 존재하게 되는 접합제(15)의 접속입자(15b)는 전도열에 따라 용융되어 접합대상물(10)의 각 전극과 면으로 접하여 융착된다. 물론, 폴리머수지는 발생되는 열에 따라 경화된다. 즉, 접합제(15)에 열이 인가되면, 폴리머수지의 경화와 접속입자(15b)의 용융이 동시에 이루어질 수 있다.In this way, when the bonding object 10 is bonded using the bonding agent 15, the connection particles 15b of the bonding agent 15, which are present between the electrodes of the bonding object 10, are bonded according to the heat of conduction. Melted and fused in contact with each electrode of the object to be bonded 10. Of course, the polymer resin cures according to the heat generated. That is, when heat is applied to the bonding agent 15, curing of the polymer resin and melting of the connecting particles 15b may be simultaneously performed.

상기 열의 인가는 상기 접합제(15)에 고온으로 유지된 물체가 접촉하여 상기 접합제(15)를 가열하는 것을 의미하며, 상기 열의 인가는 소정의 압력을 포함한다. 상기 열의 인가에 의해 접합제(15)의 온도가 폴리머수지의 용융 온도와 경화 온도 이상으로 승온된다.The application of heat means that an object kept at a high temperature in contact with the bonding agent 15 to heat the bonding agent 15, and the application of the heat includes a predetermined pressure. By the application of the heat, the temperature of the bonding agent 15 is raised above the melting temperature and the curing temperature of the polymer resin.

이와 같이 접합대상물(10)이 접합제(15)에 의해 접합될 때, 접합제(15) 측에 배치된 온도검출수단(230)을 통해 접합제(15)의 온도를 검출한다. 제어부(250)는 온도검출수단(230)을 통해 검출된 온도를 표시부(240)를 통해 숫자 또는 그래프로 디스플레이함과 동시에 검출된 온도를 설정된 기준온도와 상호 비교하고, 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 전원공급부(210)의 출력을 설정된 제어프로그램에 따라 가변 제어하게 된다.Thus, when the bonding object 10 is bonded by the bonding agent 15, the temperature of the bonding agent 15 is detected through the temperature detection means 230 arrange | positioned at the bonding agent 15 side. The controller 250 displays the temperature detected by the temperature detecting means 230 in a number or graph on the display unit 240, and simultaneously compares the detected temperature with a set reference temperature, and detects the temperature as the reference temperature. The output of the power supply 210 is controlled to be variable according to a set control program.

도 6은 도 5의 접합장비에서의 접합 온도 최적화 과정을 나타낸 순서도로서, 첨부된 도면을 참조하여 살펴본다. FIG. 6 is a flowchart illustrating a process of optimizing a junction temperature in the bonding apparatus of FIG. 5, and will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 융착툴(220)의 하방에 위치된 지지대(201) 상에는 접합대상물(10)이 위치하고 있고, 접합대상물(10) 사이에는 접합제(15)의 온도를 검출하기 위한 온도검출수단(230)이 배치되어 있다.First, the bonding object 10 is located on the support 201 located below the welding tool 220, and the temperature detecting means 230 for detecting the temperature of the bonding agent 15 between the bonding objects 10. This is arranged.

이와 같은 상태에서, 전원공급부(210)는 외부로부터 상용전원(AC 110V 또는 AC 220V)을 입력받고, 제어부(250)의 제어신호에 따라 필요한 전압으로 변환하여 융착툴(220)의 내부 히터(225)로 공급한다. 융착툴(220)은 전원공급부(210)의 출력에 따라 고온으로 가열된다(S21). 여기서, 전원공급부(210)의 출력은 제어부(250)에 설정된 초기값을 따를 것이다.In such a state, the power supply unit 210 receives a commercial power source (AC 110V or AC 220V) from the outside, converts into a required voltage according to the control signal of the control unit 250 to the internal heater 225 of the welding tool 220 ). The welding tool 220 is heated to a high temperature according to the output of the power supply unit 210 (S21). Here, the output of the power supply unit 210 will follow the initial value set in the control unit 250.

이와 같이 융착툴(220)은 일정 온도로 가열된 상태에서 소정의 구동수단(270)에 의해 접합대상물(10)로 하강하여 가압하게 된다. 접합대상물(10)은 융착툴(220)로부터 전도된 열에 의해 접합제(15)의 접속입자(15b)가 용융됨과 아울러 접합제(15)가 열경화되어 접합제(15)의 접속입자(15b)와 접합대상물(10)의 전극은 강력한 분자적 결합이 이루어진다(S22).As such, the fusion tool 220 is lowered and pressed to the bonding object 10 by a predetermined driving means 270 in a state of being heated to a predetermined temperature. In the bonding object 10, the connecting particles 15b of the bonding agent 15 are melted by heat conducted from the fusion tool 220, and the bonding agent 15 is thermally cured to thereby connect the connecting particles 15b of the bonding agent 15. ) And the electrode of the object to be bonded 10 is made a strong molecular bond (S22).

이때, 접합제(15) 측에 설치된 온도검출수단(230)은 전도열로 인해 접합제(15)에서 발생되는 발열온도를 검출하여 제어부(250)로 출력한다(S23).At this time, the temperature detecting means 230 installed on the bonding agent 15 side detects the exothermic temperature generated by the bonding agent 15 due to the conductive heat and outputs it to the controller 250 (S23).

제어부(250)는 온도검출수단(230)을 통해 검출한 온도를 표시부(240)를 통해 디스플레이함과 아울러 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교한다(S24). 제어부(250)는 검출한 온도와 설정된 기준온도가 다를 경우 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 전원공급부(210)의 출력을 설정된 제어프로그램에 따라 가변 제어하게 된다(S25, S26). 여기서, 제어부(250)는 전원공급부(210)의 출력을 가변 제어할 때 전류, 전압 및 온/오프 중 적어도 하나를 제어하여 출력을 가변시킬 수 있다. The controller 250 displays the temperature detected by the temperature detecting unit 230 through the display unit 240 and compares the detected temperature with a set reference temperature (S24). If the detected temperature is different from the set reference temperature, the controller 250 variably controls the output of the power supply unit 210 according to the set control program such that the detected temperature approaches the reference temperature (S25 and S26). Herein, the controller 250 may vary the output by controlling at least one of current, voltage, and on / off when variably controlling the output of the power supply unit 210.

예컨대, 제어부(250)는 검출된 온도가 설정된 기준온도보다 낮을 경우 전원공급부(210)에서 출력되는 전류량을 오차온도에 대응되는 크기만큼 증가시킬 수 있으며, 검출된 온도가 설정된 기준온도보다 높을 경우 전원공급부(210)에서 출력되는 전류량을 오차온도에 대응되는 크기만큼 감소시킬 수 있을 것이다.For example, when the detected temperature is lower than the set reference temperature, the controller 250 may increase the amount of current output from the power supply unit 210 by a magnitude corresponding to the error temperature, and when the detected temperature is higher than the set reference temperature, the power supply may be increased. The amount of current output from the supply unit 210 may be reduced by a size corresponding to the error temperature.

상기에서 접합대상물(10)이 융착되면 융착툴(220)은 구동수단(270)에 의해 다시 상승하게 된다.When the bonding object 10 is fused in the above, the fusion tool 220 is raised again by the driving means 270.

이와 같이 본 발명에서는 융착툴(220)의 온도가 아니라 접합대상물(10)의 온도를 직접적으로 검출하여 접합대상물(10)의 온도가 원하는 온도인 기준온도와 동일할 경우(S25), 제어부(250)는 전원공급부(210)의 출력제어값을 초기값으로 재설정한다(S26).As described above, in the present invention, when the temperature of the object to be bonded 10 is directly detected instead of the temperature of the fusion tool 220, when the temperature of the object to be bonded 10 is equal to a reference temperature (S25), the controller 250 is used. ) Resets the output control value of the power supply unit 210 to an initial value (S26).

이후, 제어부(250)는 최적화된 출력제어값을 이용하여 전원공급부(210)의 출력을 제어함으로써, 접합대상물(10)을 원하는 온도로 정확하게 접합하는 것이 가능하다(S28).Thereafter, the controller 250 may control the output of the power supply unit 210 using the optimized output control value, thereby accurately bonding the bonding object 10 to a desired temperature (S28).

이와 같이 본 발명에서는 접합대상물에 온도검출수단을 설치하고, 샘플을 1회 접합함으로써, 원하는 접합제의 온도 구현을 위한 최적화된 출력값을 얻을 수 있고, 이 출력값을 그대로 이후 접합공정에서 사용함에 따라 온도계가 없는 접합대상물을 원하는 온도로 접합하는 것이 가능하다.Thus, in the present invention, by installing the temperature detection means in the object to be bonded, and by bonding the sample once, it is possible to obtain an optimized output value for realizing the temperature of the desired bonding agent, the output value is used as it is in the subsequent bonding process thermometer It is possible to bond the freely joined object to a desired temperature.

상기와 같은 접합 온도 최적화 장치 및 그 방법은 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
Such a junction temperature optimization device and method are not limited to the configuration and manner of operation of the embodiments described above. The above embodiments may be configured such that various modifications may be made by selectively combining all or part of the embodiments.

10: 접합대상물 15: 접합제
15a: 폴리머수지 15b: 접속입자
110: 초음파발진부 120: 진동툴
130: 온도검출수단 140: 표시부
150: 제어부 210: 전원공급부
220: 융착툴 225: 히터
230: 온도검출수단 250: 제어부
10: bonding target 15: bonding agent
15a: polymer resin 15b: connection particles
110: ultrasonic wave generator 120: vibration tool
130: temperature detection means 140: display unit
150: control unit 210: power supply unit
220: fusion tool 225: heater
230: temperature detection means 250: control unit

Claims (9)

외부로부터 인가된 상용전원을 초음파 주파수의 전기에너지로 변환하여 출력하는 초음파발진부;
상기 초음파발진부로부터 인가된 전기에너지를 기계적 진동에너지로 변환 및 증폭하여 접합대상물 사이에 위치된 접합제로 전달하는 진동툴;
상기 접합제 측에 도포되고, 상기 접합제에서 진동에너지로 인해 발생되는 발열온도를 검출하는 온도검출수단; 및
상기 온도검출수단을 통해 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하고, 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 상기 초음파발진부의 출력을 가변 제어하며, 시간에 따라 가변 제어된 출력을 저장하는 제어부;를 포함하며,
상기 접합제는, 절연성 폴리머수지; 및 상기 절연성 폴리머수지 내에 형성되어 상기 접합대상물 중 적어도 어느 하나의 접합대상물과 접촉하는 전도성 접속입자;를 포함하는 접합 온도 최적화 장치를 가지는 접합장비.
An ultrasonic oscillator for converting a commercial power applied from the outside into electric energy of an ultrasonic frequency and outputting the electric energy;
A vibration tool for converting and amplifying electrical energy applied from the ultrasonic wave oscillator into mechanical vibration energy and transferring the electrical energy to a bonding agent located between the bonding objects;
Temperature detecting means applied to the bonding side and detecting an exothermic temperature generated due to vibration energy in the bonding agent; And
A controller for comparing the detected temperature with the set reference temperature by the temperature detecting means and variably controlling the output of the ultrasonic oscillator so that the detected temperature is close to the reference temperature, and storing the variable controlled output according to time; Include,
The bonding agent, an insulating polymer resin; And conductive connection particles formed in the insulating polymer resin and in contact with at least one of the bonding objects.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제어부는 상기 초음파발진부에서 출력되는 초음파의 주파수, 진폭 및 펄스폭 중 적어도 하나를 제어하여 출력을 가변시키는 접합 온도 최적화 장치를 가지는 접합장비.
The method according to claim 1,
The control unit is a bonding device having a junction temperature optimization device for varying the output by controlling at least one of the frequency, amplitude and pulse width of the ultrasonic wave output from the ultrasonic oscillator.
외부로부터 인가된 상용전원을 제어신호에 따라 필요한 전압 또는 전류로 변환하여 출력하는 전원공급부;
상기 전원공급부에서 입력된 전원에 따라 설정된 히팅온도로 가열되어 접합대상물 사이에 도포된 접합제를 가압하여 열융착시키는 융착툴;
상기 접합제 측에 도포되고, 상기 접합제에서 진동에너지로 인해 발생되는 발열온도를 검출하는 온도검출수단; 및
상기 온도검출수단을 통해 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하고, 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 상기 융착툴로 공급되는 전원을 제어하여 히팅온도를 가변 제어하며, 시간에 따라 가변 제어된 전원 출력을 저장하는 제어부;를 포함하는 접합 온도 최적화 장치를 가지는 접합장비.
A power supply unit for converting a commercial power source applied from the outside into a required voltage or current according to a control signal and outputting the converted voltage or current;
A welding tool heated to a heating temperature set according to the power input from the power supply unit to pressurize and apply heat to the bonding agent applied between the bonding objects;
Temperature detecting means applied to the bonding side and detecting an exothermic temperature generated due to vibration energy in the bonding agent; And
The temperature detected by the temperature detecting means is compared with the set reference temperature, and the heating temperature is variably controlled by controlling the power supplied to the welding tool so that the detected temperature is close to the reference temperature. Bonding equipment having a junction temperature optimization device comprising a; control unit for storing the power output.
진동툴은 외부에서 입력된 초음파를 진동에너지로 변환하고, 상기 진동에너지를 접합대상물 사이에 도포된 접합제로 인가하는 단계;
상기 진동에너지로 인해 접합제에서 발생되는 발열온도를 검출하는 단계;
상기 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하는 단계; 및
상기 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 상기 진동툴로 인가되는 초음파의 출력을 가변 제어하는 단계;를 포함하며,
상기 비교하는 단계에서, 검출된 온도가 설정된 기준온도와 동일할 경우 상기 검출 온도에 대응되는 초음파의 출력값을 초기값으로 설정하는 접합장비에서의 접합 온도 최적화 방법.
The vibration tool converts the ultrasonic waves input from the outside into vibration energy, and applying the vibration energy to the bonding agent applied between the bonding objects;
Detecting an exothermic temperature generated in the binder due to the vibration energy;
Comparing the detected temperature with a set reference temperature; And
And variably controlling the output of the ultrasonic wave applied to the vibration tool such that the detected temperature approaches a reference temperature.
In the comparing step, when the detected temperature is equal to the set reference temperature, the junction temperature optimization method in the bonding equipment to set the output value of the ultrasonic wave corresponding to the detected temperature to the initial value.
청구항 5에 있어서,
상기 출력을 가변 제어하는 단계는, 초음파의 주파수, 진폭, 및 펄스폭 중 적어도 하나를 가변 제어하는 접합장비에서의 접합 온도 최적화 방법.
The method according to claim 5,
The variable control step, the junction temperature optimization method in the joining equipment for variable control of at least one of the frequency, amplitude, and pulse width of the ultrasonic wave.
삭제delete 융착툴은 외부로부터 인가된 전원에 따라 설정된 히팅온도로 가열되어 접합대상물 사이에 도포된 접합제를 가압하는 단계;
상기 가압에 따라 접합제에서 발생되는 발열온도를 검출하는 단계;
상기 검출된 온도와 설정된 기준온도를 상호 비교하는 단계; 및
상기 검출된 온도가 기준온도에 근접되도록 상기 융착툴로 공급되는 전원을 제어하여 히팅온도를 가변시키는 단계;를 포함하는 접합장비에서의 접합 온도 최적화 방법.
The welding tool is heated to a heating temperature set according to the power applied from the outside to press the adhesive applied between the bonding object;
Detecting an exothermic temperature generated in the binder according to the pressurization;
Comparing the detected temperature with a set reference temperature; And
And varying a heating temperature by controlling a power supplied to the welding tool such that the detected temperature is close to a reference temperature.
청구항 8에 있어서,
상기 비교하는 단계에서, 검출된 온도가 설정된 기준온도와 동일할 경우 상기 히팅온도에 대응되는 출력값을 초기제어값으로 설정하는 접합장비에서의 접합 온도 최적화 방법.
The method according to claim 8,
In the comparing step, when the detected temperature is equal to the set reference temperature, the junction temperature optimization method in the bonding equipment to set the output value corresponding to the heating temperature as the initial control value.
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