KR101273303B1 - 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법에 관한 것으로서, 특히 더욱 상세하게는 마이크로 크기의 역학 진동자의 경우 외부 요인에 의해 동역학적 특성의 변화가 크게 일어남은 물론 광열효과와 가스분자에 의한 열의 소산 정도가 압력에 따라 차이가 나기 때문에 이 원리를 이용하여 마이크로미터의 크기를 갖는 초소형 압력센서를 구현할 수 있고, 역학 진동자가 양팔보 형태의 구조로 제작됨으로써, 양팔보의 온도를 증가시켜 공진주파수를 감소시켜 놓은 상태에서 압력을 증가시킴에 따라 열이 소산되고 평형점에 도달하는 것을 이용하여 빠르고 정밀한 압력 센서로 응용이 가능하며, 레이저 파워의 조절을 통해, 양팔보의 온도를 조절하여 열이 평형에 도달하는 점을 이용하므로 넓은 범위의 압력을 측정할 수 있고, 진동자를 포함하는 압력센서의 크기 또한 마이크로 정도의 크기이므로 lap-on-chip의 집적도를 높이는데 유용하게 사용할 수 있으며, 서로 다른 열팽창 상수를 지닌 적층 구조의 마이크로 역학 진동자를 이용하여 진동자 상에 레이저를 입사시켜 기체 분자에 의해 나타나는 열 소산에 따른 마이크로 진동자의 공진 주파수 변화를 추적하여 압력을 측정할 수 있다.
Description
본 발명은 마이크로 크기의 역학 진동자의 경우 외부 요인에 의해 동역학적 특성의 변화가 크게 일어남은 물론 광열효과와 가스분자에 의한 열의 소산 정도가 압력에 따라 차이가 나기 때문에 이 원리를 이용하여 마이크로미터의 크기를 갖는 초소형 압력센서를 구현할 수 있고, 역학 진동자가 양팔보 형태의 구조로 제작됨으로써, 양팔보의 온도를 증가시켜 공진주파수를 감소시켜 놓은 상태에서 압력을 증가시킴에 따라 열이 소산되고 평형점에 도달하는 것을 이용하여 빠르고 정밀한 압력 센서로 응용이 가능하며, 레이저 파워의 조절을 통해 양팔보의 온도를 조절하여 열이 평형에 도달하는 점을 이용하므로 넓은 범위의 압력을 측정할 수 있고, 진동자를 포함하는 압력센서의 크기 또한 마이크로 정도의 크기이므로 lap-on-chip의 집적도를 높이는데 유용하게 사용할 수 있으며, 서로 다른 열팽창 상수를 지닌 적층 구조의 마이크로 역학 진동자를 이용하여 진동자 상에 레이저를 입사시켜 기체 분자에 의해 나타나는 열 소산에 따른 마이크로 진동자의 공진 주파수의 변화의 추적을 통한 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법에 관한 기술이다.
현재 초미세회로의 구현을 가능하게 하는 반도체의 가공 기술과 그에 따른 나노기술은 손톱만한 크기의 칩에서 다양한 물리, 화학, 생물학적 변화를 측정할 수 있는 lapon-chip 기술을 가능케 한다. 또한 산업 발달에 따른 환경 분야에서도 주변 환경의 변화를 모니터링 할 수 있으며, 현장에서 쉽게 운용이 가능한 소형센서의 개발을 필요로 하고 있는 실정이다.
그런데, 측정이 요구되는 다양한 물리, 화학적 변화 중의 하나는 주변 기체 분자에 의한 압력이다. 기존의 압력 센서의 예로 convection, hot cathode ion gauge 등이 사용되고 있지만, 크기가 커서 lap-on-chip 기술에 응용하기에는 부적합한 실정이다.
그러므로 역학 진동자가 양팔보 형태의 구조로 제작되어 양팔보의 온도를 증가시켜 공진주파수를 감소시켜 놓은 상태에서 압력을 증가시킴에 따라 열이 소산되고 평형점에 도달하는 것을 이용하여 빠르고 정밀한 압력 센서로 응용이 가능하고, 레이저 파워의 조절을 통해 양팔보의 온도를 조절하여 열이 평형에 도달하는 점을 이용하므로 넓은 범위의 압력을 측정할 수 있으며, 진동자를 포함하는 압력센서의 크기 또한 마이크로 정도의 크기이므로 lap-on-chip의 집적도를 높이는데 유용하게 사용할 수 있는 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법의 개발이 절실히 요구되고 있는 실정이다.
이에 본 발명은 상기 문제점들을 해결하기 위하여 착상된 것으로서, 마이크로 크기의 역학 진동자의 경우 외부 요인에 의해 동역학적 특성의 변화가 크게 일어남은 물론 광열효과와 가스분자에 의한 열의 소산 정도가 압력에 따라 차이가 나기 때문에 이 원리를 이용하여 마이크로미터의 크기를 갖는 초소형 압력센서를 구현할 수 있는 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한 본 발명의 목적은 역학 진동자가 양팔보 형태의 구조로 제작됨으로써, 양팔보의 온도를 증가시켜 공진주파수를 감소시켜 놓은 상태에서 압력을 증가시킴에 따라 열이 소산되고 평형점에 도달하는 것을 이용하여 빠르고 정밀한 압력 센서로 응용이 가능한 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법을 제공하는 데 있다.
또한 본 발명의 목적은 레이저 파워의 조절을 통해 양팔보의 온도를 조절하여 열이 평형에 도달하는 점을 이용하므로 넓은 범위의 압력을 측정할 수 있는 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법을 제공하는 데 있다.
또한 본 발명의 목적은 진동자를 포함하는 압력센서의 크기 또한 마이크로 정도의 크기이므로 lap-on-chip의 집적도를 높이는데 유용하게 사용할 수 있는 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법을 제공하는 데 있다.
또한 본 발명의 목적은 서로 다른 열팽창 상수를 지닌 적층 구조의 마이크로 역학 진동자를 이용하여 진동자 상에 레이저를 입사시켜 기체 분자에 의해 나타나는 열 소산에 따른 마이크로 진동자의 공진 주파수의 변화의 추적을 통한 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서는 실리콘기판과, 상기 실리콘기판의 양면에 증착된 실리콘 나이트라이드(silicon nitride)층과, 상기 실리콘 나이트라이드층에 포토리소그라피(photo-lithography)와 식각(reactive ion etching, wet etching)공정을 통해 형성된 고립된 doubly-clamped 빔의 형태 위에 증착된 알루미늄층으로 구성된 양팔보 구조의 진동자와; 상기 진동자가 상부에 놓여지고, 압력의 변화에 의해 전기적신호가 변화되는 압전소자; 을 포함함을 특징으로 한다.
상기 본 발명에 있어서, 상기 진동자는 실리콘기판 상에 실리콘 나이트라이드층과 알루미늄층으로 되어 있어 서로 다른 열팽창 상수를 지닌 적층 구조인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 이용한 압력 측정 방법은 압전소자 위에 마이크로 역학 진동자를 올려놓고 AC 전압을 이용해 양팔보 구조의 마이크로 역학 진동자를 가진시키는 단계와; 상기 양팔보 구조의 마이크로 역학 진동자의 온도를 증가시키기 위해 레이저를 입사시키는 단계와; 상기 레이저의 입사에 의해 양팔보 구조의 마이크로 역학 진동자의 온도가 상승함에 따라 열에 의한 응력이 발생하고 공진주파수의 변화가 나타날 때 압력의 변화를 주는 단계와; 상기 압력의 변화에 따라 공진주파수의 신호 측정을 광 검출기(photodetector)로 반사된 레이저를 전류 신호로 바꿔 측정하는 단계; 를 포함함을 특징으로 한다.
상기 본 발명에 있어서, 상기 압력의 변화를 주는 단계에서, 상기 마이크로 역학 진동자에 압력을 증가시키게 되면 가스에 의해 양팔보의 온도가 감소하게 되고 공진주파수가 증가하며, 반대로 압력을 감소시키면 양팔보의 온도가 증가하고 공진주파수가 감소하게 되는 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명에 있어서, 상기 압력의 변화를 주는 단계에서, 상기 압력의 변화에 따라 안정화되기까지의 시간은 0.5msec인 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명에 있어서, 상기 압력의 변화를 주는 단계에서, 상기 압력의 변화에 따라 레이저의 세기를 조절하여 넓은 범위의 압력을 측정할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법은 다음과 같은 효과를 나타낸다.
첫째, 본 발명은 마이크로 크기의 역학 진동자의 경우 외부 요인에 의해 동역학적 특성의 변화가 크게 일어남은 물론 광열효과와 가스분자에 의한 열의 소산 정도가 압력에 따라 차이가 나기 때문에 이 원리를 이용하여 마이크로미터의 크기를 갖는 초소형 압력센서를 구현할 수 있다.
둘째, 본 발명은 역학 진동자가 양팔보 형태의 구조로 제작됨으로써, 양팔보의 온도를 증가시켜 공진주파수를 감소시켜 놓은 상태에서 압력을 증가시킴에 따라 열이 소산되고 평형점에 도달하는 것을 이용하여 빠르고 정밀한 압력 센서로 응용이 가능하다.
셋째, 본 발명은 레이저 파워의 조절을 통해, 양팔보의 온도를 조절하여 열이 평형에 도달하는 점을 이용하므로 넓은 범위의 압력을 측정할 수 있다.
넷째, 본 발명은 진동자를 포함하는 압력센서의 크기 또한 마이크로 정도의 크기이므로 lap-on-chip의 집적도를 높이는데 유용하게 사용할 수 있다.
다섯째, 본 발명은 서로 다른 열팽창 상수를 지닌 적층 구조의 마이크로 역학 진동자를 이용하여 진동자 상에 레이저를 입사시켜 기체 분자에 의해 나타나는 열 소산에 따른 마이크로 진동자의 공진 주파수 변화를 추적할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 서로 다른 열팽창 상수를 지닌 적층 구조의 마이크로 역학 진동자의 구조를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 역학 진동자의 제작 과정을 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서의 구조를 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 역학 진동자의 시간에 따른 압력과 공진주파수의 변화를 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 이용하여 압력을 측정하는 흐름도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 역학 진동자의 제작 과정을 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서의 구조를 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 역학 진동자의 시간에 따른 압력과 공진주파수의 변화를 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 이용하여 압력을 측정하는 흐름도.
이하 첨부된 도면과 함께 본 발명의 바람직한 실시 예를 살펴보면 다음과 같은데, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기술 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이며, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있으므로, 그 정의는 본 발명인 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법을 설명하는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 서로 다른 열팽창 상수를 지닌 적층 구조의 마이크로 역학 진동자의 구조를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 역학 진동자의 제작 과정을 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서의 구조를 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 역학 진동자의 시간에 따른 압력과 공진주파수의 변화를 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서(30)는 실리콘기판(11)과, 상기 실리콘기판의 양면에 증착된 실리콘 나이트라이드(silicon nitride)층(12)과, 상기 실리콘 나이트라이드층에 포토리소그라피(photo-lithography)와 식각(reactive ion etching, wet etching)공정을 통해 형성된 고립된 doubly-clamped 빔의 형태 위에 증착된 알루미늄층(13)으로 구성된 양팔보 구조의 진동자(10)와; 상기 진동자가 상부에 놓여지고, 압력의 변화에 의해 전기적신호가 변화되는 압전소자(20); 으로 구성된다.
상기 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서(30)를 구성하는 기술적 수단의 기능을 살펴보면 다음과 같다.
상기 양팔보 구조의 진동자(10)는 실리콘기판(11)과, 상기 실리콘기판의 양면에 증착된 실리콘 나이트라이드(silicon nitride)층(12)과, 상기 실리콘 나이트라이드층에 포토리소그라피(photo-lithography)와 식각(reactive ion etching, wet etching)공정을 통해 형성된 고립된 doubly-clamped 빔의 형태 위에 증착된 알루미늄층(13)으로 구성된다. 여기서, 상기 진동자(10)는 실리콘기판 상에 실리콘 나이트라이드층(12)과 알루미늄층(13)으로 되어 있어 서로 다른 열팽창 상수를 지닌 적층 구조인 것이다.
상기 압전소자(20)는 상기 진동자가 상부에 놓여지고, 전기 신호에 의해 진동자를 가진시키는 것이다.
상기 양팔보 구조의 진동자(10)의 제작과정을 살펴보면, 먼저 실리콘기판의 양면에 실리콘 나이트라이드(silicon nitride)층을 증착한다. 다음으로 SiN/Si/SiN 기판 상부에 PR을 코팅한 후 포토리소그라피(photo-lithography)를 통해 윈도우 패턴을 형성한다. 이어서 RIE(reactive ion etching)방법으로 중앙부분을 에칭을 한 후 PR을 제거한다. 이후에 KOH 용액을 이용하여 Si를 제거하고 멤브레인을 형성한다. 이어서 후면 SiN층에 포토리소그라피 혹은 전자빔 기법으로 패턴을 형성한다. 다음으로 RIE(reactive ion etching)방법으로 에칭을 한 후 알루미늄층을 증착하여 양팔보 구조의 진동자를 제작하는 것이다.
상술한 바와 같은 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 통하여 압력을 측정하는 원리를 살펴보면, 진동자에 가해진 열에 의해 서로 다른 열팽창계수를 지닌 SiN층(12)과 Al층(13)은 서로 다른 길이 변화를 나타내게 되며, 이에 따라 진동자에 응력이 발생하게 되고 공진 주파수가 감소하게 된다. 공진 주파수의 감소의 정도는 입사된 레이저의 세기 및 이에 따른 온도 변화에 의해 결정되게 된다. 이와 동시에 진동자의 온도는 주변 기체 분자에 의한 열 소산 현상에 따라 감소하게 되며, 이에 따라 공진 주파수는 증가하게 된다.
열 소산 현상에 따른 온도의 변화는 단위 부피당 기체 분자의 수, 즉 압력에 따라 결정되므로 온도에 따른 공진 주파수의 변화를 추적함으로써 주변 압력을 측정할 수 있다. 요약하면 압력의 증가는 양팔보 구조의 온도를 감소시키며 이에 따라 공진주파수가 증가되며, 반대로 압력을 감소시키면 양팔보의 온도가 증가하고 공진주파수가 감소하게 된다.
또한 주변 기체 분자에 의해 결정되는 열시상수는 0.5 msec 이내이므로 압력에 따른 주파수의 변화는 매우 작은 시간 내에 안정화된다. 따라서 압력에 따른 변수를 빠르게 측정할 수 있는 것이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 역학 진동자의 시간에 따른 압력과 공진주파수의 변화를 도시한 도면이다.
도 4에 도시한 바와 같이, 상술한 방식으로 92 x 4 x 0.2 크기의 마이크로 진동자(10)를 제작하였으며, 50 마이크로와트의 레이저를 입사(40)시킨 후 압력을 변화시키면서 공진주파수의 변화를 측정하였다. 압력에 따른 주파수의 민감도는 15 kHz/torr로 계산되었다. 따라서 작은 압력의 변화에 대해서도 공진 주파수의 변화가 빠르고 크게 나타나고 압력센서로서의 구현 가능성을 보여주는 것이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 이용하여 압력을 측정하는 흐름도이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 이용하여 압력을 측정하는 흐름을 살펴보면 다음과 같다.
먼저 단계 S1은 압전소자(20) 위에 마이크로 역학 진동자(10)를 올려놓고 AC 전압을 이용해 양팔보 구조의 마이크로 역학 진동자(10)를 가진시키는 것이다.
다음 단계 S2는 상기 양팔보 구조의 마이크로 역학 진동자(10)의 온도를 증가시키기 위해 레이저를 입사(40)시키는 것이다. 여기서, 양팔보 구조의 마이크로 역학 진동자(10)의 온도의 변화는 0.1 내지 20℃ 범위에 있는 것이다.
다음 단계 S3은 상기 레이저의 입사(40)에 의해 양팔보 구조의 마이크로 역학 진동자(10)의 온도가 상승함에 따라 열에 의한 응력이 발생하고 공진주파수의 변화가 나타날 때 압력의 변화를 주는 것이다. 여기서, 상기 마이크로 역학 진동자에 압력을 증가시키게 되면 가스에 의해 양팔보의 온도가 감소하게 되고 공진주파수가 증가하며, 반대로 압력을 감소시키면 양팔보의 온도가 증가하고 공진주파수가 감소하게 되는 것이며, 상기 압력의 변화에 따라 안정화되기까지의 시간은 0.5msec인 것이다. 또한 상기 압력의 변화에 따라 레이저의 세기를 조절하여 넓은 범위의 압력을 측정할 수 있는 것이다. 상기 압력 변화는 0.01 내지 100torr 범위에 있는 것이다.
다음 단계 S4는 상기 압력의 변화에 따라 공진주파수의 신호 측정을 광 검출기(photodetector)로 반사된 레이저를 전류 신호로 바꿔 측정하는 것이다.
그러므로 역학 진동자가 양팔보 형태의 구조로 제작되므로 양팔보의 온도를 증가시켜 공진주파수를 감소시켜 놓은 상태에서 압력을 증가시킴에 따라 열이 소산되고 평형점에 도달하는 것을 이용하여 빠르고 정밀한 압력센서로 응용이 가능한 것이다.
상술한 바와 같은, 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서는 양팔보의 온도를 증가시켜 공진주파수를 감소시켜 놓은 상태에서 압력을 증가시킴에 따라 열이 소산되고 평형점에 도달하는 것을 이용하여 빠르고 정밀한 압력 센서로 응용할 수 있음은 물론 레이저를 이용하지 않더라도 양팔보에 온도를 증가시킬 수 있다면, 예를 들어 주울 히팅(전류를 흘려 온도를 높임)의 방식으로도 응용될 수 있는 것이다.
도면과 명세서에서 최적의 실시예가 개시되었으며, 여기서 사용된 용어들은 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능할 것이며, 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
10 : 양팔보 구조의 진동자 11 : 실리콘기판
12: 실리콘 나이트라이드층 13 : 알루미늄층
20 : 압전소자 30 : 압력센서
40 : 레이저 입사
12: 실리콘 나이트라이드층 13 : 알루미늄층
20 : 압전소자 30 : 압력센서
40 : 레이저 입사
Claims (6)
- 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서에 있어서,
실리콘기판과, 상기 실리콘기판의 양면에 증착된 실리콘 나이트라이드(silicon nitride)층과, 상기 실리콘 나이트라이드층에 포토리소그라피(photo-lithography)와 식각(reactive ion etching, wet etching) 공정을 통해 형성된 고립된 doubly-clamped 빔의 형태 위에 증착된 알루미늄층으로 구성된 양팔보 구조의 진동자와;
상기 진동자가 상부에 놓여지고, 전기적 신호에 의해 진동자를 가진시키는 압전소자; 을 포함함을 특징으로 하는 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서. - 제 1항에 있어서,
상기 진동자는 실리콘기판 상에 실리콘 나이트라이드층과 알루미늄층으로 되어 있어 서로 다른 열팽창 상수를 지닌 적층 구조인 것을 특징으로 하는 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서. - 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 이용한 압력 측정 방법에 있어서,
압전소자 위에 마이크로 역학 진동자를 올려놓고 AC 전압을 이용해 양팔보 구조의 마이크로 역학 진동자를 가진시키는 단계와;
상기 양팔보 구조의 마이크로 역학 진동자의 온도를 증가시키기 위해 레이저를 입사시키는 단계와;
상기 레이저의 입사에 의해 양팔보 구조의 마이크로 역학 진동자의 온도가 상승함에 따라 열에 의한 응력이 발생하고 공진주파수의 변화가 나타날 때 압력의 변화를 주는 단계와;
상기 압력의 변화에 따라 공진주파수의 신호 측정을 광 검출기(photodetector)로 반사된 레이저를 전류 신호로 바꿔 측정하는 단계; 를 포함함을 특징으로 하는 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 이용한 압력 측정 방법. - 제 3항에 있어서,
상기 압력의 변화를 주는 단계에서, 상기 마이크로 역학 진동자에 압력을 증가시키게 되면 가스에 의해 양팔보의 온도가 감소하게 되고 공진주파수가 증가하며, 반대로 압력을 감소시키면 양팔보의 온도가 증가하고 공진주파수가 감소하게 되는 것을 특징으로 하는 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 이용한 압력 측정 방법. - 제 3항에 있어서,
상기 압력의 변화를 주는 단계에서, 상기 압력의 변화에 따라 안정화되기까지의 시간은 0.5msec인 것을 특징으로 하는 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 이용한 압력 측정 방법. - 제 3항에 있어서,
상기 압력의 변화를 주는 단계에서, 상기 압력의 변화에 따라 레이저의 세기를 조절하여 넓은 범위의 압력을 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서를 이용한 압력 측정 방법.
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