KR101266598B1

KR101266598B1 - 기판 지지 패드

Info

Publication number: KR101266598B1
Application number: KR1020060059871A
Authority: KR
Inventors: 홍경택
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2006-06-29
Filing date: 2006-06-29
Publication date: 2013-05-22
Also published as: KR20080001426A

Abstract

본 발명은 기판을 지지하기 위한 패드에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 밑면과 윗면을 가로지르는 단면이 사다리꼴 형상을 갖도록 밑면의 폭이 윗면의 폭보다 넓게 형성되어 있는 지지부를 포함하는 기판 지지 패드를 제공하는 것이다. 이를 위해 본 발명은 기판을 지지하기 위한 제1 지지부; 및 상기 제1 지지부와 결합되는 제1 고정부를 포함하며, 상기 제1 지지부의 밑면은 상기 제1 고정부의 폭과 동일한 크기의 직사각형으로 형성되고, 윗면은 상기 밑면보다 좁은 면적을 가지는 직사각형으로 형성되어, 상기 밑면과 윗면을 가로지르는 단면이 사다리꼴 형상을 이루는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 지지 패드{PAD FOR SUPPORTING A SUBSTRATE}

도 1은 일반적인 액정표시장치의 액정패널을 나타낸 예시도.

도 2는 일반적인 열경화 장치의 일실시예 구성도.

도 3 및 도 4는 종래의 기판 지지 패드를 이용하여 기판을 지지하는 상태를 나타낸 예시도.

도 5 내지 도 7은 본 발명에 따른 기판 지지 패드를 이용하여 기판을 지지하는 상태를 나타낸 예시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

21, 41, 61, 81 : 부착부

22, 42, 62, 82 : 고정부

23, 43, 63, 83 : 지지부

본 발명은 기판을 지지하기 위한 패드에 관한 것으로서, 특히 액정표시장치의 상하부 기판으로 사용되는 유리기판을 지지하는 기판 지지 패드에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display ; 이하 "LCD"라 함)는 영상신호에 대응하도록 광빔의 투과량을 조절함에 의해 화상을 표시하는 대표적인 평판 표시장치이다. 특히, LCD는 경량화, 박형화, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있으며, 이러한 추세에 따라 LCD는 사무자동화(Office Automation) 장치 및 노트북 컴퓨터의 표시장치로 이용되고 있다.

도 1은 일반적인 액정표시장치의 액정패널을 나타낸 예시도이다.

즉, 도 1에 도시된 바와 같은 액정표시장치의 액정패널(10)은 구동신호를 입력받는 박막트랜지스터 기판(TFT 기판)(이하, 간단히 'TFT 기판'이라 함)(11), 칼라필터층을 포함한 칼라필터기판(C/F 기판)(이하, 간단히 'C/F 기판'이라 함)(12) 및 박막트랜지스터기판과 칼라필터기판 사이에 개재된 액정층(13)으로 구성된다.

상기와 같은 구조를 갖는 액정표시장치의 제조공정은 크게 기판 제조공정, 액정패널 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나뉘어진다.

먼저, 기판 제조공정은 세정된 유리기판을 사용하여 TFT 기판을 제조하는 공정 및 C/F 기판을 제조하는 공정으로 각각 나뉘어지는데, TFT 기판 제조공정은 하부 유리기판 상에 신호라인과, 복수의 박막트랜지스터 및 화소전극을 형성하는 공정을 말하며, C/F 기판 제조공정은 상부 유리기판 상에 블랙매트릭스(Blackmatirx)와, 칼라필터층과, 공통전극(ITO)을 순차적으로 형성하는 공정을 말한다.

다음으로, 액정패널 공정은 TFT 기판과 C/F 기판을 합착하고 그 사이에 액정을 주입하여 액정패널을 제조하는 공정으로서, 상기 액정패널 공정은 다시 배향막 형성 공정, 러빙(Rubbing)공정, 셀 갭(Cell Gap)형성 공정, 어셈블리(Assembly) 공정, 셀 절단(Cell Cutting) 공정, 액정주입 공정, 편광 필름(Film) 부착 공정 등의 많은 단위공정으로 이루어진다.

마지막으로, 모듈공정은 액정패널과 신호처리 회로부를 연결시키는 공정으로서, 상기 모듈공정 역시 수많은 단위공정으로 이루어진다.

상기 공정들 중 기판 제조공정은 상기한 바와 같이 TFT 기판에 박막트랜지스터 및 화소전극 등을 형성하거나 C/F 기판에 칼라필터층 및 공통전극 등을 형성하는 과정을 말하는 것으로서, 이러한 기판 제조공정은 다시 세정(PPCLN), 수분건조(DHP/DSP), 포토레지스트 도포(PR Coating), 솔벤트 제거(VCD), 열경화(SHP), 노광, 현상(Developer), 하드 베이크(Hard Bake) 및 검사 공정들로 세분화될 수 있다.

상기와 같은 기판 제조 공정에 있어서, 상기 기판에는 도포액 예를 들어 포토레지스트액 등이 도포되어 포토레지스트막이 형성되고, 상기 포토레지스트막 위에 회로 패턴에 대응하는 마스크가 덮여진 상태에서 상기 기판은 노광 처리되며, 상기 노광 처리된 기판은 소위 포토리소그라피(Photo lithography) 기술에 의해 현상처리되어 회로 패턴을 형성하게 된다.

이때, 상기 솔벤트 제거 공정은, 상기 포토레지스트 도포 공정의 수행 중에 포토레지스트(PR)에 혼합되어 있는 솔벤트(Solvent)를 제거하기 위한 공정이며, 상 기 열경화 공정은 상기 솔벤트 제거 공정이 끝난 유리(Glass) 기판을 열경화 장치(SHP)(챔버, Soft Baker)에서 약 130℃의 고온으로 160~180sec 동안 가열시킴으로써, 상기 포토레지스트(PR) 도포 공정을 통해 도포된 포토레지스트(PR)를 열경화시키기 위한 공정이다.

한편, 상기 열경화 공정은 상기와 같은 기판 제조공정에서 뿐만 아니라, 상기 TFT 기판 및 C/F 기판을 실링제(Sealant)로 결합하여 액정패널을 제조하는 액정패널 제조공정에서도 이용될 수 있다. 즉, 상기 실링제로 TFT 기판 및 C/F 기판을 합착시킨 후 상기 실링제가 완전히 경화될 수 있도록 하는 액정패널 제조공정 중에도 상기 열경화 공정이 이용될 수 있다.

이때, 상기 열경화 공정은 도 2에 도시된 바와 같은 열경화 장치에서 이루어진다.

도 2는 일반적인 열경화 장치의 일실시예 구성도이다.

일반적인 열경화 장치는 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(50)을 고온 가열시키기 위한 다수의 가열 플레이트(SHP)(25)로 구성되어 있으며, 상기 가열 플레이트(25)는 고온 가열을 위한 히팅부(26), 이동 아암(28)에 의해 운반된 기판이 올려지는 기판 지지 패드(27)를 포함하여 구성되어 있다.

이때, 상기 기판 지지 패드(27)는 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 다양한 형태로 구성될 수 있다.

도 3 및 도 4는 종래의 기판 지지 패드를 이용하여 기판을 지지하는 상태를 나타낸 예시도로서, 도 2에 도시된 기판 지지 패드(27)가 도 3 및 도 4에서 다양한 형태(20, 40)으로 도시되어 있으며, 기판(50)에는 여섯개의 액정패널(10)이 도시되어 있으나, 하나의 원판(모 기판)에는 다양한 갯수의 액정패널(10)이 형성되어 있을 수 있다.

먼저, 도 3은 바(Bar)형 기판 지지 패드(20)를 이용하여 기판(50)을 지지하는 상태를 나타낸 것으로서, 상기 바(Bar)형 기판 지지 패드(20)는, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 가열 플레이트(25)의 하부면에 부착되는 부착부(21), 기판(50)과 접촉하여 상기 기판을 지지하기 위한 지지부(23) 및 상기 부착부에 결합된 상태에서 상기 지지부를 고정시키기 위한 고정부(22)를 포함하여 3단으로 구성되어 있으며, 상기 부착부(21), 지지부(23) 및 고정부(22)는 기판의 길이 방향으로 바(Bar)를 형성하고 있다.

이때, 상기 지지부(23)의 외부로 돌출된 부분은 육면체 형상을 하고 있으며, 상기 지지부(23) 중 상기 고정부(22)의 내부로 삽입된 돌출부분의 단면은 'T'자 형상을 이루고 있어서, 상기 지지부(23)는 상기 고정부(22)로부터 이탈되지 않은 상태에서 기판을 지지할 수 있게 된다.

그러나, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 기판 지지 패드(20)의 상기 지지부(23)가 상기 고정부(22)의 면적보다 작은 육면체로 구성되어 있기 때문에, 그 위에 기판(50)이 놓여지게 되면, 상기 지지부(23)가 기판의 압력에 의해 지지부(23)와 고정부(22) 사이가 들뜨게 되고, 결국 지지부(23)가 한쪽 면으로 기울어지게 되어, 기판(50)이 처지거나 휘게 되는 등의 변화가 발생된다.

즉, 도 3에 도시된 바와 같은 형태의 종래의 기판 지지 패드(20)에 의하면, 지지부(23)가 기판의 하중을 이기지 못하고 한쪽으로 기울어지게 되어, 기판이 처지거나 휘어지게 되며, 이로 인해 빛샘 형태 불량이 발생할 수 있다는 문제점이 있다.

다음으로, 도 4는 면접촉형 기판 지지 패드(40)를 이용하여 기판(50)을 지지하는 상태를 나타낸 것으로서, 상기 면접촉형 기판 지지 패드(40)는 도 4에 도시된 바와 같이 가열 플레이트(25)의 하부면에 부착되는 부착부(41), 기판(50)과 접촉하여 상기 기판을 지지하기 위한 지지부(43) 및 상기 부착부에 결합된 상태에서 상기 지지부를 고정시키기 위한 고정부(42)를 포함하여 3단으로 구성되어 있다.

이때, 도 4에 도시된 면접촉 형 기판 지지 패드(40)는 바(Bar)형 기판 지지 패드에 의해 액정패널(10) 부분이 눌려지게 되어 액정패널이 훼손되는 것을 방지하기 위하여 이용되는 것으로서, 액정패널(10)들 사이에 놓여질 수 있도록 그 간격이 조절되어 있다.

이때, 상기 지지부(43)는 상기 바(Bar)형 기판 지지 패드와는 달리 상기 고정부(42)와 면접촉을 통해 고정되어 있고, 상기 고정부(42)는 상기 부착부(41)의 홈에 삽입되는 형태로 구성되어 있으며, 상기 지지부(43)가 고정부(42) 보다 넓은 면적을 가지는 육면체로 구성되어 있기 때문에, 상기 도 3에 대한 설명에서 언급된 바와 같은 지지부의 기울어짐 현상이 발생된다는 문제점이 있다.

즉, 상기한 바와 같은 종래의 기판 지지 패드(20, 40)의 지지부(21, 41)는 실리콘(Silicon)으로 형성되어 있으며, 상기 지지부의 윗면과 아랫면 폭이 동일하게 구성되어 있기 때문에, 상기 지지부 위에 기판이 올려지게 되면, 지지부 자체의 기울어짐 현상이 발생되며, 이러한 현상은 기판(50)을 기울어지게 하고, 이로 인해 결국 액정패널(10)의 불량이 발생된다는 문제점이 있다.

따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 밑면과 윗면을 가로지르는 단면이 사다리꼴 형상을 갖도록 밑면의 폭이 윗면의 폭보다 넓게 형성되어 있는 지지부를 포함하는 기판 지지 패드를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 패드는, 기판을 지지하기 위한 제1 지지부; 및 상기 제1 지지부와 결합되는 제1 고정부를 포함하며, 상기 제1 지지부의 밑면은 상기 제1 고정부의 폭과 동일한 크기의 직사각형으로 형성되고, 윗면은 상기 밑면보다 좁은 면적을 가지는 직사각형으로 형성되어, 상기 밑면과 윗면을 가로지르는 단면이 사다리꼴 형상을 이루는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 지지부는 상기 제1 고정부와 면접촉되어 상기 제1 고정부에 고정되거나 또는 상기 제1 지지부의 하단에서 돌출된 제1 돌출부가 상기 제1 고정부의 상단에 형성된 홈에 삽입되어 상기 제1 고정부에 고정되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 고정부 및 제1 지지부는 상기 기판의 길이만큼 긴 바(Bar)형 인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 고정부의 하부면과 결합되며, 그 반대면은 지지면에 부착되는 제1 부착부를 더 포함한다.

또한, 상기 제1 고정부는 상기 제1 부착부의 상단에 형성된 홈에 삽입되어 상기 제1 부착부와 결합되는 것을 특징으로 한다.

또한, 기판을 지지하기 위한 바형의 제2 지지부; 및 상기 제2 지지부와 결합되는 바형의 제2 고정부를 더 포함한다.

또한, 상기 제2 지지부의 밑면은 상기 제2 고정부의 폭과 동일한 크기의 직사각형으로 형성되고, 윗면은 상기 밑면보다 좁은 면적을 가지는 직사각형으로 형성되어, 상기 밑면과 윗면을 가로지르는 단면이 사다리꼴 형상을 이루며, 상기 바형의 제2 고정부와 180도를 이루는 상태로, 상기 제1 지지부가 결합된 제1 고정부가 다수개 결합되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 고정부를 가로지는 회전축을 더 포함하며, 상기 회전축의 회전에 의해 상기 제1 지지부 또는 제2 지지부 중 어느 하나가 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 지지부의 윗면의 면적은 상기 제2 지지부의 윗면의 면적보다 큰 것을 특징으로 한다.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예가 상세히 설명된 다.

도 5 내지 도 7은 본 발명에 따른 기판 지지 패드를 이용하여 기판을 지지하는 상태를 나타낸 예시도이다.

먼저, 도 5는 본 발명에 따른 바(Bar)형 기판 지지 패드(60)를 이용하여 기판(50)을 지지하는 상태를 나타낸 것으로서, 상기 바(Bar)형 기판 지지 패드(60)는, 도 5에 도시된 바와 같이 가열 플레이트(25)의 하부면에 부착되는 부착부(61), 기판(50)과 접촉하여 상기 기판을 지지하기 위한 지지부(63) 및 상기 부착부에 결합된 상태에서 상기 지지부를 고정시키기 위한 고정부(62)를 포함하여 3단으로 구성되어 있으며, 상기 부착부(61), 지지부(63) 및 고정부(62)는 기판의 길이 방향으로 바(Bar)를 형성하고 있다.

이때, 상기 지지부(63)의 외부로 돌출된 부분 중 밑면은 상기 고정부(62)의 폭과 동일한 크기로 직사각형으로 형성되고, 윗면은 상기 밑면보다 좁은 면적을 가지는 직사각형으로 형성되며, 이로 인해, 상기 밑면과 윗면을 가로지르는 단면은 사다리꼴 형상을 가지게 된다. 또한, 상기 지지부(63) 중 상기 고정부(62)의 내부로 삽입된 부분의 단면은 'T'자 형상을 이루고 있어서, 상기 지지부(63)는 상기 고정부(62)로부터 이탈되지 않은 상태에서 기판을 지지할 수 있게 된다.

즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 기판 지지 패드(60)의 상기 지지부(63)는 그 밑면이 윗면보다 넓은 면적을 갖도록 구성되고, 상기 밑면은 상기 고정부(62)와 동일한 크기 및 형태로 형성되어 있기 때문에, 상기 지지부(63) 위에 기판이 놓여지는 경우에도 상기 지지부(63)와 고정부(62) 사이가 들뜨지 않게 되고, 결국 지지부(63)가 한 쪽 면으로 기울어지지 않게 되어, 기판의 처짐이나 휘게 되는 등의 변화가 발생되지 않는다.

다시말해, 도 5에 도시된 바와 같은 본 발명에 따른 기판 지지 패드(60)에 의하면, 지지부(63)가 기판의 하중을 이기지 못하고 한쪽으로 기울어지는 현상이 방지될 수 있어, 기판이 처지거나 휘어지지 않게 되며, 이로 인해 액정패널의 불량 발생이 억제될 수 있다.

다음으로, 도 6은 본 발명에 따른 면접촉형 기판 지지 패드(80)를 이용하여 기판(50)을 지지하는 상태를 나타낸 것으로서, 상기 면접촉형 기판 지지 패드(80)는 가열 플레이트(25)의 하부면에 부착되는 부착부(81), 기판(50)과 접촉하여 상기 기판을 지지하기 위한 지지부(83) 및 상기 부착부에 결합된 상태에서 상기 지지부를 고정시키기 위한 고정부(82)를 포함하여 3단으로 구성되어 있다.

이때, 상기 지지부(83)는 상기 바(Bar)형 기판 지지 패드와 마찬가지로, 지지부(83)의 밑면이 윗면보다 넓은 면적을 갖도록 구성되고, 상기 밑면은 상기 고정부(82)와 동일한 크기 및 형태로 형성되어 있기 때문에, 상기 지지부(83) 위에 기판이 놓여지는 경우에도 상기 지지부(83)와 고정부(82) 사이가 들뜨지 않게 되고, 결국 지지부(83)가 한 쪽 면으로 기울어지지 않게 되어, 기판의 처짐이나 휘게 되는 등의 변화가 발생되지 않는다.

즉, 도 6에 도시된 면접촉형 기판 지지 패드(80)는 도 5에 도시된 바(Bar)형 기판 지지 패드(60)와 유사한 구성 및 형태를 가지며, 다만 상기 지지부(83)의 형태가 바(Bar)형이 아니라, 면접촉될 수 있는 형태로 구성되어 있다는 특징을 가지 고 있다.

다시말해, 상기 지지부(83) 중 상기 고정부(82)의 내부로 삽입된 부분의 단면은 상기 바형 기판 지지 패드(60)에서와 마찬가지로 'T'자 형상을 이루고 있어서, 상기 지지부(83)는 상기 고정부(82)로부터 이탈되지 않은 상태에서 기판을 지지할 수 있게 되며, 다만, 상기 고정부(82)가 상기 부착부(81)에 형성된 홈에 삽입되어 결합되어 있다는 차이점이 있다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 따라서, 상기 면접촉형 기판 지지 패드(80)의 상기 고정부(82) 및 부착부(81)는 상기 바형 기판 지지 패드(60)에서 고정부(62) 및 부착부(81)가 결합된 방법으로 결합될 수 있다.

한편, 상기 면접촉형 기판 지지 패드(80)는 바(Bar)형 기판 지지 패드에 의해 액정패널(10) 부분이 눌려지게 되어 액정패널이 훼손되는 것을 방지하기 위하여 이용되는 것으로서, 액정패널(10)들 사이에 놓여질 수 있도록 열경화 장치 등에서 그 간격이 조절되어 배치된다.

마지막으로, 도 7은 도 5에 도시된 바형 기판 지지 패드 및 도 6에 도시된 면접촉형 기판 지지 패드가 결합된 혼합형 기판 지지 패드(90)를 나타낸 것으로서, 면접촉형 기판 지지 패드의 구성요소인 부착부(91), 고정부(92) 및 지지부(93)와 바형 기판 지지 패드의 구성요소인 고정부(95) 및 지지부(96)가 180도 각도를 이룬 상태로 결합되어 있다.

상기 혼합형 기판 지지 패드(90)에는 도 7에 도시된 바와 같이 부착부(91)를 관통하는 회전축(97)이 형성될 수 있으며, 상기 회전축(97)이 열경화장치에 고정되어 이용될 수 있다. 즉, 상기 회전축(97)의 회전에 의하여, 바형 기판 지지 패드 또는 면접촉형 기판 지지 패드가 선택적으로 이용될 수 있다.

또한, 상기 혼합형 기판 지지 패드(90)를 선택적으로 사용할 수 있는 방법으로는 상기한 바와 같은 회전축이 이용될 수 있을 뿐만 아니라, 탈부착 방식 등 다양한 형태가 적용될 수 있다.

한편, 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 상기 기판 지지 패드(60, 80, 90)의 지지부는 실리콘(Silicon)으로 형성되어 있으며, 상기 지지부의 윗면과 밑면 폭이 서로 다르게 구성되어, 상기 윗면과 밑면을 가로지르는 단면이 사다리꼴 형태로 구성되어 있기 때문에, 상기 지지부 위에 기판이 올려지게 되어도, 지지부 자체의 기울어짐 현상이 발생되지 않으며, 이러한 현상은 기판(50)을 기울어지게 하는 것을 방지하여, 결국 액정패널(10)의 불량이 억제될 수 있다는 특징을 가지고 있다.

또한, 상기에서는 본 발명에 따른 기판 지지 패드가 열경화 장치에 적용되는 것으로 설명되어져 있으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 따라서, 기판을 지지해야할 필요가 있는 모든 공정 장비에 적용될 수 있다.

또한, 상기에서는 본 발명에 따른 기판 지지 패드(60, 80, 90)가 지지부, 고정부 및 부착부의 세 부분으로 구성되어 있는 것으로 설명되어져 있으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 따라서, 두 부분 즉, 그 단면이 사다리꼴 형상을 가지는 지지부 및 상기 지지부를 고정시키는 한편 각종 공정 장비에 부착되는 부착부로 구성될 수도 있다. 다시 말해, 본 발명에 따른 기판 지지 패드는, 상기 지지부가 직접 부착부에 고정되고, 부착부가 각종 공저 장비에 부착되는 형태로 구성될 수도 있다.

상술된 바와 같은 본 발명에 따른 기판 지지 패드는, 기판에 의해 기울어지지 않으므로, 결국 기판의 휘어짐 등을 방지하여 액정패널의 불량 발생을 방지할 수 있다는 우수한 효과가 있다.

또한, 본 발명은 기판 지지 패드의 교체 주기를 연장시킬 수 있음으로 기판의 제조 단가를 절감시킬 수 있다는 우수한 효과가 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims

기판을 지지하기 위한 제1 지지부; 및

상기 제1 지지부와 결합되는 제1 고정부를 포함하며,

상기 제1 지지부의 밑면은 상기 제1 고정부의 폭과 동일한 크기의 직사각형으로 형성되고, 윗면은 상기 밑면보다 좁은 면적을 가지는 직사각형으로 형성되어, 상기 밑면과 윗면을 가로지르는 단면이 사다리꼴 형상을 이루고,

상기 제1 지지부는 상기 제1 고정부와 면접촉되어 상기 제1 고정부에 고정되거나 또는 상기 제1 지지부의 하단에서 돌출된 제1 돌출부가 상기 제1 고정부의 상단에 형성된 홈에 삽입되어 상기 제1 고정부에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 지지 패드.
삭제
제 1 항에 있어서,

상기 제1 고정부 및 제1 지지부는 상기 기판의 길이만큼 긴 바(Bar)형인 것을 특징으로 하는 기판 지지 패드.
제 1 항에 있어서,

상기 제1 고정부의 하부면과 결합되며, 그 반대면은 지지면에 부착되는 제1 부착부를 더 포함하는 기판 지지 패드.
제 4 항에 있어서,

상기 제1 고정부는 상기 제1 부착부의 상단에 형성된 홈에 삽입되어 상기 제1 부착부와 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 지지 패드.
제 4 항에 있어서,

상기 제1 부착부의 하부면에 결합된 바형의 제2 고정부; 및

상기 제2 고정부의 하부면에 결합된 바형의 제2 지지부를 더 포함하고,

상기 제2 지지부의 밑면은 상기 제2 고정부의 폭과 동일한 크기의 직사각형으로 형성되고, 윗면은 상기 밑면보다 좁은 면적을 가지는 직사각형으로 형성되어, 상기 밑면과 윗면을 가로지르는 단면이 사다리꼴 형상을 이루며,

상기 제1 지지부가 결합된 제1 고정부는 다수개가 구비되고, 상기 다수개의 제1 고정부는 제2 고정부와 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 지지 패드.
제 6 항에 있어서,

상기 다수개의 제1 고정부를 가로질러 결합되는 회전축을 더 포함하며,

상기 회전축의 회전에 의해 상기 제1 지지부 또는 제2 지지부 중 어느 하나가 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 패드.
제 7 항에 있어서,

상기 제1 지지부의 윗면의 면적은 상기 제2 지지부의 윗면의 면적보다 큰 것을 특징으로 하는 기판 지지 패드.