KR101264325B1 - 3 axis acceleration sensor using optical fiber - Google Patents

3 axis acceleration sensor using optical fiber Download PDF

Info

Publication number
KR101264325B1
KR101264325B1 KR1020110080811A KR20110080811A KR101264325B1 KR 101264325 B1 KR101264325 B1 KR 101264325B1 KR 1020110080811 A KR1020110080811 A KR 1020110080811A KR 20110080811 A KR20110080811 A KR 20110080811A KR 101264325 B1 KR101264325 B1 KR 101264325B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical fiber
acceleration sensor
case
axis acceleration
axis
Prior art date
Application number
KR1020110080811A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20130018011A (en
Inventor
김명진
황성환
이우진
정은주
노병섭
Original Assignee
한국광기술원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국광기술원 filed Critical 한국광기술원
Priority to KR1020110080811A priority Critical patent/KR101264325B1/en
Publication of KR20130018011A publication Critical patent/KR20130018011A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101264325B1 publication Critical patent/KR101264325B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/03—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses by using non-electrical means
    • G01P15/038—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses by using non-electrical means by using fluidic means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/04—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings formed by bundles of fibres
    • G02B6/06—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings formed by bundles of fibres the relative position of the fibres being the same at both ends, e.g. for transporting images

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

이 발명은 브래그격자가 형성된 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서에 관한 것이다.
이 발명에 따른 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서는, 케이스와, 타원형 코어와 상기 타원형 코어에 일정주기로 형성된 브래그 격자를 포함하고 길이방향으로의 일측이 상기 케이스의 상부에 고정되고 타측이 외력에 의해 자유운동하는 비대칭광섬유와, 상기 비대칭광섬유의 타측과 상기 케이스의 하부를 연결하는 탄성수단을 포함한The present invention relates to a three-axis acceleration sensor using an optical fiber formed with Bragg grating.
The triaxial accelerometer using the optical fiber according to the present invention includes a case, an elliptical core and a Bragg grating formed at regular intervals on the elliptical core, and one side in the longitudinal direction is fixed to the upper part of the case and the other side is freed by external force. Asymmetric optical fiber to move, and elastic means for connecting the other side of the asymmetric optical fiber and the lower part of the case

Description

광섬유를 이용한 3축 가속도 센서{3 AXIS ACCELERATION SENSOR USING OPTICAL FIBER}3-axis acceleration sensor using optical fiber {3 AXIS ACCELERATION SENSOR USING OPTICAL FIBER}

이 발명은 3축 가속도 센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 브래그격자가 형성된 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서에 관한 것이다.
The present invention relates to a three-axis acceleration sensor, and more particularly to a three-axis acceleration sensor using an optical fiber with a Bragg grid.

가속도 센서는 이동하는 물체의 가속도나 충격의 세기를 측정하는 센서로서, 가속도 센서의 출력신호를 처리하면 물체의 가속도, 진동, 충격 등의 동적 힘을 측정할 수 있다.An acceleration sensor is a sensor for measuring acceleration or impact strength of a moving object. When the output signal of the acceleration sensor is processed, the acceleration sensor may measure dynamic force such as acceleration, vibration, or impact of the object.

일반적으로 가속도 센서는 에어백 작동용으로 주로 사용되어 자동차가 충돌할 때의 충격을 감지한다. 자동차에 적용되는 가속도 센서는 X축 방향 및/또는 Y축 방향의 가속도를 측정하는 1축 또는 2축 기능으로 충분하다. 그러나, 최근에는 가속도 센서가 휴대 단말기기나 로봇 등에 사용되어 공간에서의 움직임을 검출하는 바, 이를 위해 X, Y, Z축 방향의 가속도를 측정하는 3축 가속도 센서가 요구되고 있다. 현재 실용화된 3축 가속도 센서는 주로 MEMS(Mirco Electro Mechanical System) 기술을 적용된 반도체 소자로 제작된다.Acceleration sensors are typically used for airbag operation to detect shocks when a car crashes. Acceleration sensors applied to automobiles are sufficient for one-axis or two-axis functions to measure acceleration in the X- and / or Y-axis directions. Recently, however, an acceleration sensor is used in a portable terminal device or a robot to detect a motion in space. For this purpose, a three-axis acceleration sensor for measuring acceleration in the X, Y, and Z axis directions is required. Currently applied three-axis acceleration sensor is mainly manufactured as a semiconductor device applying the MEMS (Mirco Electro Mechanical System) technology.

한편, 최근 감지속도가 빠르고, 전자파나 외부 영향을 받지 않으며, 비접촉 및 고정밀도 측정이 가능한 광섬유 센서 기술이 주목받고 있다. 광섬유를 이용한 가속도 센서를 구현하는 방법에는, 측정방법에 따라 브래그격자 센서(FBG: Fiber Bragg Grating) 센서, 간섭형 센서(Moire Fringe, Fabry Perot, Michelson, Mach Zehnder), 광세기 방식을 이용한 센서로 분류할 수 있다. 그러나, 아직까지 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서에 대한 기술은 제안된 바가 없다.
On the other hand, recently, the optical fiber sensor technology, which has a high detection speed, is free from electromagnetic waves or external influences, and is capable of non-contacting and high-precision measurement has been attracting attention. Acceleration sensors using optical fibers include Bragg grating (FBG) sensors, interference sensors (Moire Fringe, Fabry Perot, Michelson, Mach Zehnder), and light-intensity sensors, depending on the measurement method. Can be classified. However, there is no proposal for a three-axis acceleration sensor using an optical fiber.

이 발명의 목적은 브래그격자가 형성된 광섬유를 이용하여 3축 가속도 센서를 제공하기 위한 것이다.
An object of the present invention is to provide a three-axis acceleration sensor using an optical fiber formed with Bragg grating.

상술한 목적을 달성하기 위한 이 발명에 따른 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서는, 케이스와, 타원형 코어와 상기 타원형 코어에 일정주기로 형성된 브래그 격자를 포함하고 길이방향으로의 일측이 상기 케이스의 상부에 고정되고 타측이 외력에 의해 자유운동하는 비대칭광섬유와, 상기 비대칭광섬유의 타측과 상기 케이스의 하부를 연결하는 탄성수단을 포함한 것을 특징으로 한다.
A three-axis acceleration sensor using an optical fiber according to the present invention for achieving the above object, the case, the elliptical core and the Bragg grating formed in a predetermined period on the elliptical core and one side in the longitudinal direction is fixed to the upper of the case And an asymmetric optical fiber, the other side of which is free to move by an external force, and elastic means for connecting the other side of the asymmetric optical fiber and the lower part of the case.

이상과 같이 이 발명에 따르면 간단한 구조로 3축 가속도 센서를 제작할 수 있는 효과가 있다.
As described above, according to the present invention, there is an effect that a three-axis acceleration sensor can be manufactured with a simple structure.

도 1은 이 발명의 한 실시예에 따른 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서의 구성도이다.
도 2a와 도 2b는 이 발명에 따른 비대칭광섬유의 구조도이고, 도 2c는 비대칭광섬유의 공진파장 그래프이다.
도 3a 내지 도 3c는 이 발명에 따른 3축 가속도 센서에 3축 방향으로 각각 힘이 가해졌을 때 3축 가속도 센서에서 출력되는 공진파형을 도시한 그래프이다.
도 4는 이 발명에 따른 비대칭광섬유와 케이스의 단면도이다.1 is a block diagram of a three-axis acceleration sensor using an optical fiber according to an embodiment of the present invention.
2A and 2B are structural diagrams of the asymmetric optical fiber according to the present invention, and FIG. 2C is a resonance wavelength graph of the asymmetric optical fiber.
3A to 3C are graphs illustrating resonance waveforms output from the 3-axis acceleration sensor when a force is applied to the 3-axis acceleration sensor in the 3-axis direction according to the present invention.
4 is a cross-sectional view of the asymmetric optical fiber and case according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하며 이 발명의 한 실시예에 따른 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, a three-axis acceleration sensor using an optical fiber according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 이 발명의 한 실시예에 따른 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서의 구성도이다.1 is a block diagram of a three-axis acceleration sensor using an optical fiber according to an embodiment of the present invention.

이 발명에 따른 3축 가속도 센서는 케이스(110)와, 타원형 코어(121)와 상기 타원형 코어(121)에 일정주기로 형성된 브래그 격자(122)를 포함하고 길이방향으로의 일측이 상기 케이스(110)의 상부에 고정되고 타측이 외력에 의해 자유운동하는 비대칭광섬유(120)와, 상기 비대칭광섬유(120)의 타측과 상기 케이스(110)의 하부를 연결하는 탄성수단(130)을 포함한다.The three-axis acceleration sensor according to the present invention includes a case 110, the elliptical core 121 and the Bragg grating 122 formed in a predetermined period on the elliptical core 121, one side in the longitudinal direction of the case 110 It is fixed to the upper portion of the asymmetric optical fiber 120 and the other side is free to move by an external force, and the elastic means 130 for connecting the other side of the asymmetric optical fiber 120 and the lower portion of the case 110.

도 2a와 도 2b는 이 발명에 따른 비대칭광섬유(120)의 구조도이고, 도 2c는 비대칭광섬유(120)의 공진파장 그래프이다.2A and 2B are structural diagrams of the asymmetric optical fiber 120 according to the present invention, and FIG. 2C is a resonance wavelength graph of the asymmetric optical fiber 120.

비대칭광섬유(120)는 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 타원형 코어(121)와, 타원형 코어(121)에 길이방향으로 일정주기로 형성된 브래그 격자(122)와, 타원형코어의 외부에 형성된 원형의 클래드(123)로 이루어진다. 브래그 격자(122)는 광섬유가 자외선에 일정 시간 노출되었을 때 노출된 정도에 따라 광 굴절률의 변화를 일으켜 생성된 일정한 굴절률 변화 패턴이다. 브래그 격자(122)가 형성된 비대칭광섬유(120)는 타원형 코어(121)의 장축방향과 단축방향으로 각기 다른 파장에서 공진피크를 형성하여 도 2c에 도시된 바와 같이 2개의 공진파장을 갖는다. 여기서, 단축에서의 공진파장이 장축에서의 공진파장보다 짧다.As shown in FIGS. 2A and 2B, the asymmetric optical fiber 120 has an elliptical core 121, a Bragg grating 122 formed at regular intervals in a longitudinal direction on the elliptical core 121, and a circular shape formed outside the elliptical core. It consists of a clad 123. The Bragg grating 122 is a constant refractive index change pattern generated by changing the optical refractive index according to the degree of exposure when the optical fiber is exposed to ultraviolet rays for a predetermined time. The asymmetric optical fiber 120 in which the Bragg grating 122 is formed has two resonance wavelengths as shown in FIG. 2C by forming resonance peaks at different wavelengths in the major axis direction and the minor axis direction of the elliptical core 121. Here, the resonance wavelength at the short axis is shorter than the resonance wavelength at the long axis.

이 발명에 따른 3축 가속도 센서는 비대칭광섬유(120)의 타측과 탄성수단(130) 사이에 연결되어 상기 비대칭광섬유(120)에 길이방향으로의 인장력을 제공하는 중량체(140)를 더 포함한다.The triaxial acceleration sensor according to the present invention further includes a weight body 140 connected between the other side of the asymmetric optical fiber 120 and the elastic means 130 to provide a tensile force in the longitudinal direction to the asymmetric optical fiber 120. .

3축 가속도 센서에 탄성력보다 강한 외력이 가해지는 동안에 비대칭광섬유(120)의 타측은 자유운동을 하지만, 3축 가속도 센서에 가해지던 외력이 제거되면 비대칭광섬유(120)의 타측은 탄성수단(130)에 의해 원 위치로 복원된다.While the other side of the asymmetric optical fiber 120 is free to move while an external force stronger than the elastic force is applied to the three-axis acceleration sensor, when the external force applied to the three-axis acceleration sensor is removed, the other side of the asymmetric optical fiber 120 is elastic means 130. Is restored to its original position.

도 3a 내지 도 3c는 이 발명에 따른 3축 가속도 센서에 3축 방향으로 각각 힘이 가해졌을 때 3축 가속도 센서에서 출력되는 공진파형을 도시한 그래프이다.3A to 3C are graphs illustrating resonance waveforms output from the 3-axis acceleration sensor when a force is applied to the 3-axis acceleration sensor in the 3-axis direction according to the present invention.

이 발명에 따른 3축 가속도 센서에 길이방향으로의 인장력만이 발생하면, 도 3a에 도시된 바와 같이 장축에서의 공진파형과 단축에서의 공진파형이 평행하게 이동한다. 한편, 이 발명에 따른 3축 가속도 센서가 단축방향(예컨대, x축방향)으로만 구부러지면 도 3b에 도시된 바와 같이 짧은 공진파장만이 변화하고, 장축방향(예컨대, y축방향)으로만 구부러지면 도 3c에 도시된 바와 같이 긴 공진파장만이 변화한다.When only the tensile force in the longitudinal direction is generated in the three-axis acceleration sensor according to the present invention, as shown in Fig. 3a, the resonance waveform at the long axis and the resonance waveform at the short axis move in parallel. On the other hand, when the 3-axis acceleration sensor according to the present invention is bent only in the short axis direction (for example, the x axis direction), only a short resonant wavelength is changed as shown in FIG. 3b, and only in the long axis direction (for example, the y axis direction). When bent, only the long resonance wavelength changes as shown in FIG. 3C.

이 3축 가속도 센서에 외력이 가해지지 않을 때의 두 공진파장의 간격 및 위치의 초기값을 미리 측정해놓고, 이 3축 가속도 센서에 외력이 가해질 때의 두 공진파장의 간격 및 위치를 측정하면, 3축 방향으로 어느 정도의 외력이 가해지는지 계산할 수 있으며, 3축방향으로의 시간에 따른 변위(가속도)를 측정할 수 있다.If the initial values of the spacing and position of the two resonant wavelengths when no external force is applied to the three-axis acceleration sensor are measured in advance, the spacing and the position of the two resonant wavelengths when the external force is applied to the three-axis acceleration sensor are measured. It is possible to calculate how much external force is applied in the three axis direction, and to measure the displacement (acceleration) with time in the three axis direction.

상기 케이스(110)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 타원형코어(121)의 장축방향 및 단축방향과 평행한 사각형 단면을 가지도록 형성하고, 폴리머로 이루어진다.The case 110 is formed to have a rectangular cross section parallel to the major axis direction and the minor axis direction of the elliptical core 121, as shown in Figure 4, made of a polymer.

이 3축 가속도 센서는 측정 대상물의 상대적으로 큰 진동을 측정하고자 할 경우에는 상기 케이스의 폴리머의 경도가 크고 두께가 두꺼우며, 중량체의 질량이 무겁게 설계한다. 측정 대상물의 미세 진동을 측정하고자 할 경우에는 케이스의 폴리머 경도가 작고 두께가 얇으며 중량체의 질량을 가볍게 설계한다.This triaxial accelerometer is designed to measure the relatively large vibration of the measurement target, and the polymer of the case has a high hardness, a thick thickness, and a heavy mass. In order to measure the micro-vibration of the measurement object, the polymer hardness of the case is small, the thickness is thin, and the mass of the weight is designed lightly.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

110 : 케이스 120 : 비대칭광섬유
121 : 타원형 코어 122 : 브래그 격자
123 : 클래드 130 : 탄성수단
140 : 중량체110 case 120 asymmetric optical fiber
121: oval core 122: Bragg grating
123: clad 130: elastic means
140: weight

Claims (5)

케이스(110)와,
타원형 코어(121)와 상기 타원형 코어(121)에 일정주기로 형성된 브래그 격자(122)를 포함하고 길이방향으로의 일측이 상기 케이스(110)의 상부에 고정되고 타측이 외력에 의해 자유운동하며, 상기 타원형 코어의 장축방향과 단축방향으로 각기 다른 파장에서 공진피크를 형성하여 두 개의 공진파장을 갖는 비대칭광섬유(120)와,
상기 비대칭광섬유(120)의 타측과 상기 케이스(110)의 하부를 연결하는 탄성수단(130)을 포함하고,
외력이 가해지지 않을 때의 상기 두 개의 공진파장의 간격 및 위치와, 외력이 가해질 때의 상기 두 개의 공진파장의 간격 및 위치의 변화를 기반으로 3축 방향으로의 가속도를 측정하도록 한 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서.Case 110,
The elliptical core 121 and the Bragg grating 122 formed in a predetermined period on the elliptical core 121 and one side in the longitudinal direction is fixed to the upper portion of the case 110 and the other side is free to move by an external force, An asymmetric optical fiber 120 having two resonant wavelengths by forming resonant peaks at different wavelengths in the major axis direction and the minor axis direction of the elliptical core,
It includes an elastic means 130 for connecting the other side of the asymmetric optical fiber 120 and the lower portion of the case 110,
It is characterized in that the acceleration in the three-axis direction is measured on the basis of the distance and position of the two resonant wavelengths when no external force is applied, and the change in the distance and position of the two resonant wavelengths when an external force is applied. 3-axis acceleration sensor using optical fiber. 제 1 항에 있어서, 상기 비대칭광섬유(120)의 타측과 상기 탄성수단(130) 사이에 연결되어 상기 비대칭광섬유(120)에 길이방향으로의 인장력을 제공하는 중량체(140)를 더 포함한 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서.According to claim 1, characterized in that it further comprises a weight body 140 is connected between the other side of the asymmetric optical fiber 120 and the elastic means 130 to provide a tensile force in the longitudinal direction to the asymmetric optical fiber 120. 3-axis acceleration sensor using optical fiber. 제 2 항에 있어서, 상기 중량체는 측정대상 진동의 크기에 따른 질량을 가지는 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서.The three-axis acceleration sensor using an optical fiber according to claim 2, wherein the weight has a mass according to the magnitude of the vibration to be measured. 제 1 항에 있어서, 상기 케이스는 폴리머로 구성되고, 상기 폴리머는 측정 대상 진동의 크기에 따른 경도 및 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서.According to claim 1, wherein the case is composed of a polymer, the polymer is a three-axis acceleration sensor using an optical fiber, characterized in that formed in the hardness and thickness according to the magnitude of the vibration to be measured. 제 1 항에 있어서, 상기 케이스는 상기 타원형코어(121)의 장축방향 및 단축방향과 평행한 사각형 단면을 가지도록 형성된 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 3축 가속도 센서.

The three-axis acceleration sensor using an optical fiber according to claim 1, wherein the case has a rectangular cross section parallel to the major axis direction and the minor axis direction of the elliptical core (121).

KR1020110080811A 2011-08-12 2011-08-12 3 axis acceleration sensor using optical fiber KR101264325B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110080811A KR101264325B1 (en) 2011-08-12 2011-08-12 3 axis acceleration sensor using optical fiber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110080811A KR101264325B1 (en) 2011-08-12 2011-08-12 3 axis acceleration sensor using optical fiber

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130018011A KR20130018011A (en) 2013-02-20
KR101264325B1 true KR101264325B1 (en) 2013-05-14

Family

ID=47897067

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110080811A KR101264325B1 (en) 2011-08-12 2011-08-12 3 axis acceleration sensor using optical fiber

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101264325B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101986654B1 (en) * 2017-12-20 2019-06-07 주식회사 한화 Force measuring apparatus for mass imbalance measurement of hemispherical resonator

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105004876B (en) * 2015-07-20 2017-11-07 哈尔滨工业大学 The three axle acceleration sensor fixing devices for Spacial Inflatable Deploying Antenna ground test

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000230935A (en) * 1999-02-08 2000-08-22 Shimizu Corp Accelerometer and acceleration-measuring apparatus equipped with the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000230935A (en) * 1999-02-08 2000-08-22 Shimizu Corp Accelerometer and acceleration-measuring apparatus equipped with the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101986654B1 (en) * 2017-12-20 2019-06-07 주식회사 한화 Force measuring apparatus for mass imbalance measurement of hemispherical resonator

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130018011A (en) 2013-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101283683B1 (en) Vertical Accelerometer
CN108020687B (en) MEMS accelerometer
KR101835676B1 (en) Optomechanical sensor for accelerometry and gyroscopy
FI126199B (en) CAPACITIVE MICROMECHANICAL SENSOR STRUCTURE AND MICROMECHANICAL ACCELERATOR SENSOR
CN106814216A (en) The round flexible hinge optical fibre grating acceleration sensor of Integral direct
ITTO20090371A1 (en) MICROELETTROMECANICAL STRUCTURE WITH IMPROVED REJECTION OF ACCELERATION DISORDERS
CN107884062B (en) Three-dimensional micro-vibration fiber bragg grating sensor with self-temperature compensation characteristic
Nishiyama et al. Frequency characteristics of hetero-core fiber optics sensor for mechanical vibration
KR101264325B1 (en) 3 axis acceleration sensor using optical fiber
EP2762893B1 (en) Mems resonant accelerometer
CN103076082A (en) Single mode-multimode-single mode fiber intermode interference-based vibration and stress sensing device
CN105353165A (en) Fiber accelerometer based on MEMS technology
Umesh et al. Fiber Bragg grating based two-dimensional accelerometer
CN108593961B (en) Grating type MEMS accelerometer with low g value
Munendhar et al. Two dimensional fiber Bragg grating based vibration sensor for structural health monitoring
JP2014032054A (en) Acceleration sensor
Davies et al. Optical accelerometer with mechanical amplification via a V-beam mechanism
KR101307584B1 (en) Accelerometer using fiber bragg grating sensor with the pre-tension controller
KR102475190B1 (en) Strain sensor-based imu sensor and system for measuring inertia including the same
KR101283924B1 (en) A micro accelerometer using a liquid metal droplet and Fabry-Perot interferometry
Lu et al. A novel scheme design of a high-g optical NEMS accelerometer based on a single chip grating with proper sensitivity and large bandwidth
Devassy et al. ID 318: A Review on Vibration sensors and control methods for cantilever beams
Sebastian et al. Constrained restoring force FBG-based accelerometer
Meller et al. Development of fiber optic sensors for advanced aircraft testing and control
Wang et al. Silicon micromechanical accelerometer using an optical fiber

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee