KR101261137B1 - 탄성 유전체를 이용한 슬립센서 - Google Patents

탄성 유전체를 이용한 슬립센서 Download PDF

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성균관대학교산학협력단
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Abstract

본 발명은 탄성 유전체를 이용한 슬립센서에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서는 탄성 유전체 재질의 기판; 상기 기판의 일면에 마련되는 제1전극, 상기 제1전극이 마련되는 상기 기판의 반대쪽 면에 마련되는 제2전극으로 구성되는 전극부; 상기 기판의 일면 상에 상기 제1전극과 인접한 위치로부터 연장되며, 외부 접촉력에 의하여 상기 기판의 형상을 변형시키는 접촉부; 상기 전극부와 전기적으로 연결됨으로써 상기 전극부의 캐패시턴스를 측정하는 측정부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 캐패시턴스 측정을 통하여 접촉면 상에서 형성되는 마찰력을 측정 및 감지할 수 있는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서가 제공된다.

Description

탄성 유전체를 이용한 슬립센서{SLIP SENSOR USING FLEXIBLE DIELECTRIC MATERIAL}
본 발명은 탄성 유전체를 이용한 슬립센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐패시턴스 측정을 통하여 접촉면 상에서 형성되는 마찰력을 측정 및 감지할 수 있는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서에 관한 것이다.
인체와 동일한 메카니즘을 구현하기 위한 연구는 전세계적인 관심사이다. 특히, 사람이 직접적으로 수행하기에는 위험하거나 어려운 장소에서의 업무수행을 대리시키기 위하여 인간형 매니퓰레이터를 개발하기 위한 노력이 국내외에서 집중되고 있다.
인체를 정밀하게 모사하는 매니퓰레이터의 경우에 물체를 적절하게 파지하기 위하여 접촉단부는 최소한의 마찰력을 가지도록 구성되며, 이는 사람의 인체의 유사한 역할을 수행하게 된다.
그러나, 물체가 외력 또는 자중(自重) 등으로 인하여 매니퓰레이터 접촉단부 상의 최대정지마찰력 이상의 힘이 가해지는 경우에 매니퓰레이터로부터의 파지가 해제되는 문제가 생긴다.
따라서, 이러한 현상을 미리 감지하고 예방 또는 대처함으로써, 물체의 파손을 방지할 필요성이 생기고 있다. 종래에는 물체와 접촉하는 단부에 슬립센서 장착하고, 이를 이용하여 매니퓰레이터가 물체를 파지할 때 슬립(slip) 현상이 발생하는지 판단하고 있다.
그러나, 종래의 이러한 슬립센서는 딱딱하고 강성이 높은 소재를 사용함으로써, 인체를 모사하여 굴곡이 있는 매니퓰레이터의 표면에 적용하기는 어려운 점이 있었다. 또한, 초소형으로 제작하기 위해서는 MEMS 등의 복잡하고, 고비용이 소모되는 공정을 이용하여야 하여야 하는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 가해지는 접촉력에 의하여 소정의 접촉면 상에서 형성되는 마찰력을 측정 및 감지할 수 있는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 탄성 유전체 재질의 기판; 상기 기판의 일면에 마련되는 제1전극, 상기 제1전극이 마련되는 상기 기판의 반대쪽 면에 마련되는 제2전극으로 구성되는 전극부; 상기 기판의 일면 상에 상기 제1전극과 인접한 위치로부터 연장되며, 외부 접촉력에 의하여 상기 기판의 형상을 변형시키는 접촉부; 상기 전극부와 전기적으로 연결됨으로써 상기 전극부의 캐패시턴스를 측정하는 측정부;를 포함하며, 상기 제1전극은 상기 접촉부를 중심으로 대칭되도록 상기 접촉부의 단부에 복수개가 마련되는 것을 특징으로 하는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서에 의해 달성된다.
또한, 상기 전극부로부터 캐패시턴스 정보를 제공받음으로써, 상기 접촉부의 외부로 노출되는 단면인 접촉면에 작용하는 마찰력을 연산하는 연산부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 접촉부와 상기 기판은 일체로 구성될 수 있다.
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또한, 상기 접촉부는 상기 기판 상에서 복수개가 상호 이격되게 형성될 수 있다.
또한, 상기 접촉부는 횡단면이 직사각형 형상으로 형성되고, 상기 제1전극은 네 개가 상기 어느 하나의 접촉부를 둘러싸는 형태로 마련될 수 있다.
또한, 상기 접촉부는 띠형상으로 길게 형성되되, 복수개가 상기 기판 상에서 상기 기판과 수직을 형성하는 가상의 축을 둘러싸는 형태로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 캐패시턴스를 측정하여 접촉면과 임의의 이동체 간에 발생하는 마찰력을 용이하게 측정 및 감지할 수 있는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서가 제공된다.
또한, 탄성형의 전극 및 유전체를 이용하여 굴곡이 있는 표면 상에서도 쉽게 장착할 수 있다.
또한, 단순한 구조로서 소형화가 가능하며, 제작비용 및 제작시간의 불경제성을 해소할 수 있다.
또한, 매니퓰레이터에 적용하여 물체 파지시의 슬립현상을 예측 및 예방할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 개략적인 사시도이고,
도 2는 도 1의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 분해사시도이고,
도 3은 도 1의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 단면도이고,
도 4는 도 1의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서에 이동체에 의하여 접촉력이 가해지는 것을 개략적으로 도시한 것이고,
도 5는 도 4의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 작동원리를 도시한 것이고,
도 6은 접촉력과 마찰력과의 관계 그래프이고,
도 7은 도 1의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서로부터 측정되는 시간에 따른 캐패시턴스의 변화를 나타낸 그래프이고,
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 개략적인 사시도이고,
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 개략적인 사시도이고,
도 10은 본 발명의 탄성 유전체가 매니퓰레이터에 적용되는 것을 도시한 것이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서(100)에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 분해사시도이고, 도 3은 도 1의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서(100)는 기판(110)과 접촉부(120)와 전극부(130)와 측정부(140)와 연산부(150)를 포함한다.
상기 기판(110)은 후술하는 접촉부(120)에 외부로부터 접촉력이 가해지는 경우 탄성 변형이 되도록 형성되는 것으로서, 접촉력이 해제되는 경우 원래의 형상으로 돌아가는 복원력 및 탄성(flexibility)을 가지는 재질로 마련된다. 또한, 기판(110)은 상하면에 각각 부착되는 전극부(120)로부터 캐패시턴스 값이 측정될 수 있도록 소정의 유전율을 가지는 유전체 재질로 마련된다.
기판(110)으로 사용되는 탄성 유전체의 재질은 제한되는 것은 아니나, 본 실시예에서는 탄성을 가지는 니트릴 부타디엔 러버(NBR:Nitrile Butadiene Rubber)가 이용된다.
또한, 두께 변화로부터 발생하는 캐패시턴스 값의 변화에 대한 측정 정밀도를 향상시키기 위하여 기판(110)은 균일한 두께의 판상으로 마련된다.
상기 접촉부(120)는 외부의 접촉력이 직접적으로 가해지는 대상의 부재로서, 기판으로부터 돌출되도록 형성되며, 기판(110)과 접촉하는 반대면, 즉, 돌출되어 외부에 노출되는 쪽의 단면을 접촉면(121)이라 정의하고, 외부 접촉력은 접촉면(121)에 접촉되는 소정의 물체로부터 접촉면(121)에 가해지게 된다.
또한, 접촉부(120)는 접촉면(121)이 정사각형인 형상을 가지며, 복수개가 일렬로 상호 이격되게 배치된다.
한편, 복수개 접촉부(120)의 접촉면(121)에 외부 접촉력이 동시에 가해질 수 있으므로, 기판(110)의 단위면적당 형성되는 접촉부(120)의 갯수, 접촉부(120) 간의 이격거리 등은 본 발명이 사용되는 분야 등 외부요건 및 각 구성의 재질 등 내부요건을 동시에 고려하여 결정되는 것이 바람직하다.
한편, 접촉부(120)와 기판(110)은 별도로 가공되어 체결될 수도 있으나, 접촉부(120)에 인가되는 접촉력으로 인하여 기판(110)의 형상이 탄성변형 되는 것이므로, 내구성 향상을 위하여 접촉부(120)와 기판(110)은 일체로 가공되는 것이 바람직하다. 따라서, 본 실시예에서 접촉부(120)의 재질은 기판(110)의 재질과 동일한 니트릴 부타디엔 러버(NBR:Nitrile Butadiene Rubber)로 구성될 수 있다.
상기 전극부(130)는 탄성 유전체 재질의 기판(110)의 상하면에 각각 장착되는 제1전극(131)과 제2전극(132)을 포함하여, 전극부(130)의 캐패시턴스 값을 후술하는 측정부(140)에 전달한다.
상기 제1전극(131)은 전기적 전도성 재질의 박막으로 형성되며, 접촉부(120)가 형성되는 기판(110)의 상면에 부착된다. 제1전극(131)은 한 쌍이 기판(110) 상면에서 접촉부(120)와 인접하도록 접촉부(120)의 양단부에 부착된다. 즉, 다시 설명하면, 한 쌍의 제1전극(131)은 접촉부(120)를 중심으로 하여 대칭되는 형태로서 접촉부(120)의 하단부를 따라 길게 부착된다.
또한, 본 실시예에서는 복수개의 접촉부(120)에 의하여 발생하는 캐패시턴스를 측정하여야 하므로, 복수개의 접촉부(120) 마다 한 쌍의 제1전극(131)이 각각 부착된다.
상기 제2전극(132)은 전기적 정도성 재질의 박막으로 형성되되, 기판(110)의 제1전극(131)의 부착되는 반대면인 기판(110)의 하면에 부착된다. 제2전극(132)은 제1전극(131)의 갯수와는 무관하게 접촉부(120) 마다 하나씩 할당된다.
상기 측정부(140)는 상기 전극부(130)와 전기적으로 연결되어, 전극부(130)의 캐패시턴스를 측정하는 부재이다.
상기 연산부(150)는 상기 측정부(140)와 전기적으로 연결되어, 측정부(140)로부터 캐패시턴스 정보를 획득하여, 외부 접촉력에 의하여 접촉부(120)의 접촉면(121)에 발생하는 마찰력을 연산하는 부재이다.
지금부터는 상술한 탄성 유전체를 이용한 슬립센서(100)의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.
도 4는 도 1의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서에 이동체에 의하여 접촉력이 가해지는 것을 개략적으로 도시한 것이고, 도 5는 도 4의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 작동원리를 도시한 것이다.
도 4에서 도시된 바와 같이, 소정의 이동체(moving object)(M)가 접촉부(120)의 접촉면(121)과 접촉하여 이동하는 것으로 설명한다.
먼저, 도 5(a) 및 도 5(b)를 참조하면, 접촉면(121)과 접촉한 이동체(M)로부터 가해지는 외력 중 접촉면과 수평인 성분의 힘을 접촉력(F1)이라 정의한다. 소정의 이동체(M)가 접촉부(120)의 접촉면(121)에 접촉한 상태로 접촉력(F1)을 지속적으로 가하면, 이동체(M)와 접촉면(121) 사이에는 마찰력이 발생한다.
[수학식 1]
Figure 112011030774142-pat00001
이때, 상기 수학식1에서와 같이 접촉면(121)의 정지마찰계수(μS) 및 접촉면(121)에 수직방향으로 가해지는 힘(F2)에 의하여 결정되는 최대정지마찰력(FS) 이하의 접촉력(F1)이 가해지는 경우에는, 도 5(c)에 도시된 바와 같이, 이동체(M)가 접촉면(121)으로부터 미끌어지지 못하고 접촉면(121)과 접촉된 상태에서 접촉부(120)와 함께 이동한다.
즉, 이동체(M)와 접촉되어 임시적으로 결합된 상태의 접촉부(120)는 이동체(M)의 접촉력(F1)에 의하여 따라 상부가 이동함으로써, 접촉부(120) 전체가 기울어지는 형태의 변형이 발생한다.
이러한, 접촉부(120)의 변형에 의하여, 접촉부(120)와 일체로 형성되는 기판(110)도 두께에 변형이 일어나게 된다. 즉, 이동체(M)의 이동방향 쪽으로 접촉부(120)와 인접하는 부위의 기판(110)의 두께(h2)는 줄어들고, 접촉부(120)의 반대편에 인접하는 기판(110)의 두께(h1)는 상대적으로 늘어나는 형태의 변형이 발생한다.
그러나, 이동체(M)에 가해지는 접촉력(F1)이 지속적으로 상승하여 최대정지마찰력(FS)을 초과하는 순간, 접촉면(121)과 이동체(M)의 사이의 마찰력은 순간적으로 감소하여, 접촉력(F1) 이하의 운동마찰력이 작용하게 된다. 이와 동시에, 이동체(M)는 추가적인 접촉부(120)의 변형을 유발하지 못하고, 도 5(d)에 도시된 바와같이, 접촉면(121)으로부터 미끌어지며 슬라이딩 이동하는 슬립(slip)현상이 발생하게 된다.
따라서, 이러한 이동체(M)의 슬립현상에 의하여, 변형되었던 접촉부(120)는 원상태로 복원되고, 기판(110)의 형상 및 두께도 원상태로 복원된다.
도 6은 접촉력과 마찰력과의 관계 그래프이다.
도 6을 참조하면, 접촉면(121)에 작용하는 마찰력은 가해지는 접촉력(F1)과 동일하게 증가하다, 최대정지마찰력에 이르게 되면 마찰력이 운동마찰력으로 감소하게되어 슬립(slip)현상이 발생하고, 마찰력보다 크게 가해지는 접촉력(F1)으로 인하여 이동체는(M) 접촉면(121)에서 슬라이딩 이동하게 된다.
한편, 상술한 이동체(M)의 이동 과정에 의하여, 최대정지마찰력(FS) 이하의 접촉력(F1)이 가해지는 경우에, 기판(110)에는 두께변화가 발생하고, 측정부(140)는 탄성 유전체 재질의 기판(110)의 두께 변화에 의하여 발생되는 전극부(130)의 캐패시턴스 변화를 측정한다.
[수학식 2]
즉, 상기 수학식2와 같이 캐패시턴스는 기판(110)의 유전율(ε), 면적(A), 두께(h)에 의하여 결정되는 것이므로, 기판(110)의 형상변형으로 인하여 캐패시턴스는 변화하게 되며, 측정부(140)는 이를 측정한다.
또한, 측정부(140)는 최대정지마찰력(FS) 이상의 접촉력(F1)이 인가되어 이동체(M)가 슬립하는 시점에서 기판(110)이 원형으로 복원되는 경우의 전극부(130)의 캐패시턴스 변화를 측정한다.
도 7은 도 1의 제1실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서로부터 측정되는 시간에 따른 캐패시턴스의 변화를 나타낸 그래프이다.
도 7을 참조하면, 시간에 따라 접촉력을 증가시키는 경우 캐패시턴스 값이 증가하였다가, 최대정지마찰력에 해당하는 지점에서 캐패시턴스 값이 급격히 감소하는 것을 알 수 있다.
또한, 상술한 과정에 있어서, 측정부(140)로부터 캐패시턴스 정보를 전달받은 연산부(150)는 이를 이용하여 접촉면(121)에서 발생되는 마찰력을 연산하게 되며, 연산된 마찰력 정보를 외부의 디스플레이 장치에 전달하여 시각화할 수도 있다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서(200)에 대하여 설명한다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 개략적인 사시도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서(200)는 기판(110)과 접촉부(220)와 전극부(230)와 측정부(140)와 연산부(150)를 포함하며, 상기 기판(110)과 측정부(140)와 연산부(150)는 제1실시예에서의 구성과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
제1실시예에서의 접촉부(120)는 복수개가 나란하게 배치됨으로써, 일렬로 배치되는 접촉부(120)의 방향을 따라서 가해지는 접촉력에 의하여 발생하는 마찰력, 즉, 1축 방향 성분의 마찰력만을 측정할 수 있도록 구성되었다.
그러나, 제2실시예에서는 2축 방향의 마찰력을 측정할 수 있는 구성에 관하여 설명한다.
본 실시예에서 상기 접촉부(220)는 기판(110)으로부터 연장되며, 횡단면이 정사각형인 형태로 형성된다.
상기 전극부(230)는 제1전극(231)과 제2전극(232)을 포함한다.
상기 제1전극(231)은 기판(110) 상에서 접촉부(220)의 4면을 모두 감싸는 형태로 구성된다. 즉, 제1전극(231)을 네곳에 배치함으로써, 각 제1전극(231)과 제2전극(232) 사이의 기판(110)의 두께변화에 대한 캐패시턴스 변화를 측정할 수 있으므로, 접촉면(121)에 인가되는 마찰력의 2축 성분을 모두 감지할 수 있다.
다음으로 본 발명의 제3실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서(300)에 대하여 설명한다.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서의 개략적인 사시도이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서(300)는 기판(110)과 접촉부(320)와 전극부(330)와 측정부(140)와 연산부(150)를 포함하며, 상기 기판(110)과 측정부(140)와 연산부(150)는 제1실시예에서의 구성과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
제2실시예에서는 전극부(230)의 배치를 통하여 2축 방향의 마찰력을 측정하는 것이나, 본 실시예에서는 접촉부(230)의 배치변화를 통하여 2축 방향의 마찰력을 감지할 수 있도록 구성된다.
상기 접촉부(230)는 마찰력을 2축방향 성분을 모두 감지할 수 있는 형태로 배치된다. 즉, 접촉부(230)는 길이가 긴 띠 형태로 구성되어, 기판(110) 상에 접촉부(230) 네 개가 정사각형의 형태로 배치됨으로써, 기판(110)과 수직을 형성하는 가상의 축을 둘러싸는 형태로 하나의 접촉모듈을 구성하게 된다.
또한, 이러한 형태의 접촉모듈은 복수개가 마련됨으로써, 대면적 상에 가해지는 접촉력에 의한 마찰력을 감지하도록 구성될 수도 있다.
상기 전극부(330)는 제1전극(331)과 제2전극(332)을 포함한다.
상기 제1전극(331)은 기판(110) 상에서 접촉부(320)의 길이방향을 따라서, 접촉부(320)와 인접하게 부착된다.
따라서, 본 실시예에 의하면, 정사각형 형태로 배치되는 띠형상의 접촉부(320)를 통하여 마찰력의 2축 성분에 대한 감지 및 측정이 용이하다.
다음으로 본 발명의 제1실시예 내지 제3실시예에 따른 탄성 유전체를 이용한 슬립센서가 소정의 물건을 파지하기 위한 매니퓰레이터(10)에 장착된 상태의 작동에 대하여 설명한다.
도 10은 본 발명의 탄성 유전체가 매니퓰레이터에 적용되는 것을 도시한 것이다.
도 10에서 도시된 바와 같이, 본 발명의 탄성 유전체를 이용한 슬립센서(100, 200, 300)는 소정의 물건을 파지하기 위한 매니퓰레이터(10)에 장착되어 물건을 파지하여 이를 이송하는 작업시, 측정부 및 연산부는 파지된 물건과 접촉면 간에 발생하는 마찰력을 측정할 수 있다.
이때, 탄성 유전체를 이용한 슬립센서(100, 200, 300)와 매니퓰레이터(10)와 연결되는 제어부(20)는 측정된 마찰력, 즉, 매니퓰레이터(10)에 작용하는 접촉력(F1)이 최대정지마찰력에 도달하는 경우에는 매니퓰레이터의 파지력(F2), 즉, 접촉면과 수직한 방향에 가해지는 힘(F2)을 조절하여 최대정지마찰력을 증가시킴으로써 파지된 물건이 매니퓰레이터(10)로부터 슬립(slip)되지 않도록 제어할 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110 : 기판 131 : 제1전극
120 : 접촉부 132 : 제2전극
121 : 접촉면 140 : 측정부
130 : 전극부 150 : 연산부

Claims (7)

  1. 탄성 유전체 재질의 기판;
    상기 기판의 일면에 마련되는 제1전극, 상기 제1전극이 마련되는 상기 기판의 반대쪽 면에 마련되는 제2전극으로 구성되는 전극부;
    상기 기판의 일면 상에 상기 제1전극과 인접한 위치로부터 연장되며, 외부 접촉력에 의하여 상기 기판의 형상을 변형시키는 접촉부;
    상기 전극부와 전기적으로 연결됨으로써 상기 전극부의 캐패시턴스를 측정하는 측정부;를 포함하며,
    상기 제1전극은 상기 접촉부를 중심으로 대칭되도록 상기 접촉부의 단부에 복수개가 마련되는 것을 특징으로 하는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전극부로부터 캐패시턴스 정보를 제공받음으로써, 상기 접촉부의 외부로 노출되는 단면인 접촉면에 작용하는 마찰력을 연산하는 연산부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 접촉부와 상기 기판은 일체로 구성되는 것을 특징으로 하는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 접촉부는 상기 기판 상에서 복수개가 상호 이격되게 형성되는 것을 특징으로 하는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 접촉부는 횡단면이 직사각형 형상으로 형성되고,
    상기 제1전극은 네 개가 상기 어느 하나의 접촉부를 둘러싸는 형태로 마련되는 것을 특징으로 하는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 접촉부는 띠형상으로 길게 형성되되, 복수개가 상기 기판 상에서 상기 기판과 수직을 형성하는 가상의 축을 둘러싸는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄성 유전체를 이용한 슬립센서.
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