KR101256290B1 - 기판 건조 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 건조 장치는, 건조 대상물인 기판의 건조 공간을 형성하며, 기판이 로딩되는 기판 로딩부가 회전 가능하게 장착되는 건조 챔버; 기판 로딩부의 하부에 위치하도록 건조 챔버에 장착되며, 기판 로딩부를 향하여 고온의 기체를 제공함으로써 기판에 존재하는 초순수 또는 이소프로필 알코올을 기화시키는 기체 공급부; 및 기판 로딩부의 상부에서 이동 가능하도록 건조 챔버에 장착되며, 기판 로딩부로부터 기화된 초순수 또는 이소프로필 알코올을 흡입하는 흡입부;를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 기판에 열을 가하여 기판의 패턴들 사이사이에 잔존하는 물질, 예를 들면 초순수 또는 이소프로필 알코올을 신속하게 기화시킬 수 있어 패턴들이 쓰러지는 리닝(leaning) 현상을 방지할 수 있으며, 또한 기판에 가해지는 고온의 기체가 직접적으로 이소프로필 알코올과 접촉하지 않기 때문에 이소프로필 알코올의 발화 발생을 방지할 수 있다.

Description

기판 건조 장치{Apparatus to dry substrate}
기판 건조 장치가 개시된다. 보다 상세하게는, 기판의 패턴이 쓰러지는 리닝(leaning) 현상을 방지할 수 있으며, 아울러 안전성을 확보할 수 있는 기판 건조 장치가 개시된다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는, 리소그래피(lithography), 증착 및 에칭(etching) 등의 여러 공정을 반복적으로 수행한다. 이러한 공정들을 거치는 동안 기판, 예를 들면 실리콘 재질의 웨이퍼 상에는 파티클(particle), 금속 불순물, 유기물 등이 잔존하게 된다.
종래 알려진 건조 방식으로는 스핀 건조 방식, 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl Alcohol)에 의한 마란고니 효과(Marangoni effect)을 이용한 건조 방식 등이 있다.
그 중 이소프로필 알코올을 이용한 건조 방식은 기판을 순수(DIW, de-ionized water) 안에서 수직 방향으로 끌어올림과 동시에 이소프로필 알코올 및 질소 가스(N2)를 기판 표면의 기액 계면 부근에 불어 놓는 것에 의해 마란고니 효과를 발생시켜 기판을 건조시키는 방식을 말한다. 이러한 건조 방식은 기판 건조 장치에 의해서 실행된다.
여기서 기판 건조 장치란, 반도체 웨이퍼 공정 중 케미컬을 초순수로 세정한 웨이퍼를 디펙트(defect) 또는 액체 등의 이물질이 없는 상태로 만들기 위한 장치이다.
도 1은 종래의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
이에 도시된 바와 같이, 종래의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치(1)는, 건조 공간을 형성하는 건조 챔버(10)와, 기판(W)이 로딩되며 회전 가능한 로딩부(11)와, 회전하는 기판(W)으로 순수, 이소프로필 알코올 및 질소 가스(N2)를 순차적으로 공급하는 공급부(20)를 구비할 수 있다. 이러한 구성에 의해서 기판(W) 상의 디펙트 또는 이물질 등을 제거할 수 있다.
다만, 반도체 공정의 세밀화에 의해 기판(W)의 표면에 형성되는 패턴(P)의 크기가 매우 작아지고 있는데, 이러한 기판(W)의 건조 작업 중 패턴(P) 사이에 남아 있는 초순수의 표면장력의 영향력에 견디지 못하고 패턴(P)들 중 일부가 쓰러지는 리닝(leaning) 현상이 발생하고 있다.
이에 이러한 문제점을 해결하기 위해, 패턴(P)과 패턴(P) 사이에 초순수를 가득 채움으로써 초순수의 표면장력으로 인해 리닝 현상이 발생되는 것을 저지하였고 아울러 표면장력이 상대적으로 작은 이소프로필 알코올을 제공하여 초순수를 제거하고 이어서 이소프로필 알코올을 기판(W)의 패턴(P)들로부터 제거하는 건조 방식을 진행하고 있다.
하지만, 이러한 건조 방식에 있어서, 이소프로필 알코올의 온도가 낮은 상태에서는 건조 효과가 매우 약하기 때문에 이소프로필 알코올을 가열하는 가열 장치(미도시)를 사용하고 있는데, 이때 이소프로필 알코올의 낮은 인화점으로 인해 위험한 상황이 발생될 수 있는 단점이 있다.
따라서, 기판에 형성된 패턴들이 쓰러지는 리닝 현상을 방지할 수 있으면서도 이소프로필 알코올의 발화로 인한 위험 상황을 방지할 수 있는 기판 건조 장치의 개발이 필요한 실정이다.
본 발명의 실시예에 따른 목적은, 기판에 열을 가하여 기판의 패턴들 사이사이에 잔존하는 물질, 예를 들면 초순수 또는 이소프로필 알코올을 신속하게 기화시킬 수 있어 패턴들이 쓰러지는 리닝(leaning) 현상을 방지할 수 있는 기판 건조 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 다른 목적은, 기판에 가해지는 고온의 기체가 직접적으로 이소프로필 알코올과 접촉하지 않기 때문에 이소프로필 알코올의 발화 발생을 방지할 수 있는 기판 건조 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 다른 목적은, 흡입부의 이동 구조로 인해 기화된 이소프로필 알코올과 같은 물질의 제거를 확실하게 수행할 수 있는 기판 건조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 건조 장치는, 건조 대상물인 기판의 건조 공간을 형성하며, 상기 기판이 로딩되는 기판 로딩부가 회전 가능하게 장착되는 건조 챔버; 상기 기판 로딩부의 하부에 위치하도록 상기 건조 챔버에 장착되며, 상기 기판 로딩부를 향하여 고온의 기체를 제공함으로써 상기 기판에 존재하는 초순수 또는 이소프로필 알코올을 기화시키는 기체 공급부; 및 상기 기판 로딩부의 상부에서 이동 가능하도록 상기 건조 챔버에 장착되며, 상기 기판 로딩부로부터 기화된 상기 초순수 또는 상기 이소프로필 알코올을 흡입하는 흡입부;를 포함하며, 이러한 구성에 의해서, 기판에 열을 가하여 기판의 패턴들 사이사이에 잔존하는 물질, 예를 들면 초순수 또는 이소프로필 알코올을 신속하게 기화시킬 수 있어 패턴들이 쓰러지는 리닝(leaning) 현상을 방지할 수 있으며, 또한 기판에 가해지는 고온의 기체가 직접적으로 이소프로필 알코올과 접촉하지 않기 때문에 이소프로필 알코올의 발화 발생을 방지할 수 있다.
상기 흡입부는 상기 기판 로딩부에 로딩된 상기 기판의 중앙으로부터 반경 방향으로 이동하며 상기 이소프로필 알코올을 흡입하며, 노즐(nozzle) 타입으로 마련될 수 있다.
상기 고온의 기체에 의한 상기 이소프로필 알코올의 기화 범위의 확장 속도와, 상기 흡입부의 이동 속도는 상호 대응할 수 있다.
상기 기체 공급부로부터 공급되는 상기 고온의 기체는 불활성 기체일 수 있으며, 상기 고온의 기체는 중탕 원리에 의해 가열될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 기판 건조 장치는, 기판의 건조 공간을 형성하며, 상기 기판이 로딩되는 기판 로딩부가 회전 가능하게 장착되는 건조 챔버; 상기 기판 로딩부의 상부에 위치하도록 상기 건조 챔버 내에 장착되며, 상기 기판 로딩부 상의 상기 기판에 열을 가함으로써 상기 기판에 존재하는 초순수 또는 이소프로필 알코올을 기화시키는 열 공급부; 및 상기 기판 로딩부의 상부에서 이동 가능하도록 상기 건조 챔버 내에 장착되며, 상기 기판으로부터 기화된 상기 초순수 또는 상기 이소프로필 알코올을 흡입하는 흡입부;를 포함할 수 있으며, 기판에 열을 가하여 기판의 패턴들 사이사이에 잔존하는 물질, 예를 들면 초순수 또는 이소프로필 알코올을 신속하게 기화시킬 수 있어 패턴들이 쓰러지는 리닝(leaning) 현상을 방지할 수 있으며, 아울러 이소프로필 알코올의 발화 발생을 방지할 수 있다.
상기 열 공급부 및 상기 흡입부는 결합되어 상기 기판 로딩부의 상부에서 같이 이동할 수 있다.
상기 열 공급부는 상기 기판에 열을 공급하는 히터 타입으로 마련되고, 상기 흡입부는 노즐 타입으로 마련될 수 있다.
상기 열 공급부 및 상기 흡입부는 상기 기판 로딩부에 로딩된 상기 기판의 중앙으로부터 반경 방향으로 함께 이동하면서, 상기 열 공급부로부터 열을 공급하는 공정 및 상기 흡입부를 통해 기화된 상기 초순수 또는 상기 이소프로필 알코올을 흡입하는 공정이 실질적으로 동시에 진행될 수 있다.
상기 열 공급부는 상기 기판의 상부에서 열을 공급함으로써 상기 기판에 형성된 패턴들의 사이사이의 상단부 영역에 있는 상기 초순수 또는 상기 이소프로필 알코올을 먼저 기화시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판에 열을 가하여 기판의 패턴들 사이사이에 잔존하는 물질, 예를 들면 초순수 또는 이소프로필 알코올을 신속하게 기화시킬 수 있어 패턴들이 쓰러지는 리닝(leaning) 현상을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 기판에 가해지는 고온의 기체가 직접적으로 이소프로필 알코올과 접촉하지 않기 때문에 이소프로필 알코올의 발화 발생을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 흡입부의 이동 구조로 인해 기화된 이소프로필 알코올과 같은 물질의 제거를 확실하게 수행할 수 있다.
도 1은 종래의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 일부 구성을 과장하여 도시한 컨셉 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 건조 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 5는 도 4의 일부 구성을 과장하여 도시한 컨셉 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 적용에 관하여 상세히 설명한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 태양(aspects) 중 하나이며, 하기의 기술(description)은 본 발명에 대한 상세한 기술(detailed description)의 일부를 이룬다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
이하에서 상술되는 기판은, 웨이퍼(Wafer), 엘씨디(LCD, Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel)와 같은 다른 평판디스플레이(Flat Panel Display) 중 어느 하나일 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 일부 구성을 과장하여 도시한 컨셉 도면이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치(100)는, 건조 대상물인 기판(W)이 안착되는 기판 로딩부(111)가 장착되며 기판(W)에 대한 건조 작업이 진행되는 건조 챔버(110)와, 건조 챔버(110) 내에 마련되어 기판(W)에 초순수(DIW) 및 이소프로필 알코올(IPA)을 공급하는 DIW/IPA 공급부(120)와, 기판 로딩부(111)의 하부에서 고온의 기체를 기체 방향으로 제공함으로써 기판(W)에 존재하는 초순수 또는 이소프로필 알코올을 기화시키는 기체 공급부(130)와, 기판 로딩부(111)의 상부에 위치하도록 건조 챔버(110) 내에 장착되어 기판(W)으로부터 기화된 초순수 또는 이소프로필 알코올을 흡입하는 흡입부(150)를 포함한다.
이러한 구성에 의해서, 기판(W)의 패턴(P)들 사이사이에 존재하는 초순수 또는 이소프로필 알코올을 제거할 수 있을 뿐만 아니라 건조 작업 시 초순수 또는 이소프로필 알코올의 표면장력에 의해서 패턴(P)들이 기우는 리닝(leaning) 현상을 방지할 수 있고, 아울러 이소프로필 알코올의 낮은 인화점으로 인하여 발화가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
각각의 구성에 대해 설명하면, 먼저 본 실시예의 건조 챔버(110)는, 내부가 빈 원통 형상으로 마련될 수 있다. 다만, 건조 챔버(110)의 형상은 이에 한정되는 것은 아니며 기판(W)의 종류에 따라 다른 형상으로 마련될 수 있음은 당연하다.
도 2을 참조하면, 건조 챔버(110) 내의 하부 영역에는 기판(W)이 안착되는 기판 로딩부(111)가 회전 가능하게 장착된다. 기판 로딩부(111)는 상면에 기판(W)을 안착한 상태로 회전 가능하며, 이에 따라 후술할 DIW/IPA 공급부(120)로부터 액체 상태의 초순수 및 이소프로필 알코올이 공급될 때 기판(W)의 전면에 대한 건조 작업이 진행될 수 있다.
한편, DIW/IPA 공급부(120)는 기판(W) 상에 액체 상태의 초순수 및 이소프로필 알코올을 순차적으로 공급하며, 이에 따라 기판(W)에 잔존하는 디펙트(defect) 또는 이물질을 제거할 수 있다.
본 실시예의 DIW/IPA 공급부(120)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(W)의 반경에 대응하는 길이로 마련되며 건조 챔버(110) 내에서 기판(W)의 반경 방향을 따라 길게 배치된다. 따라서 DIW/IPA 공급부(120)로부터 제공되는 초순수 또는 이소프로필 알코올이 회전하는 기판(W)의 전면에 공급될 수 있다.
이러한 DIW/IPA 공급부(120)는 초순수를 공급하는 초순수 공급 탱크(121) 및 이소프로필 알코올을 공급하는 IPA 공급 탱크(123)와 각각의 이동 라인(122, 124)에 의해 연결된다. 따라서, DIW/IPA 공급부(120)를 통해 초순수 및 이소프로필 알코올의 기판(W)에 순차적으로 공급될 수 있다.
다만, 초순수는 상대적으로 큰 표면장력을 갖고 있어 초순수가 기판(W)의 패턴(P)들 사이사이의 상부 영역에 잔존하는 경우 패턴이 일측으로 쓰러지는 리닝(leaning) 현상(도 1의 부분 확대도 참조)이 발생될 수 있다. 따라서 초순수에 비해 상대적으로 표면장력이 작은 이소프로필 알코올을 바로 제공하여 초순수를 이소프로필 알코올로 치환하게 된다. 그런데 이소프로필 알코올은 낮은 온도 상태에서는 건조가 빠르게 진행되지 않아 종래에는 이소프로필 알코올을 가열하는 장치를 별도로 구비하였으나 이는 이소프로필 알코올의 낮은 인화점으로 인해 발화가 이루어질 수 있는 안전 상의 문제가 있다.
따라서, 본 실시예에서는, 이러한 패턴(P)의 리닝 현상 또는 이소프로필 알코올의 발화 발생을 방지하기 위해, 기판 로딩부(111)의 하부로부터 고온의 기체를 제공하여 이소프로필 알코올을 신속히 기화시키는 기체 공급부(130) 및 기화된 이소프로필 알코올을 흡입하는 흡입부(150)가 구비된다.
각각의 구성에 대해 설명하면, 먼저 본 실시예의 기체 공급부(130)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 고온의 기체를 공급하는 기체 공급 탱크(131)와, 기체 공급 탱크(131)로부터 제공되는 고온의 기체를 기판 로딩부(111)의 하부 중앙 영역에 공급하는 블로워(미도시)를 구비할 수 있다.
여기서 기체 공급 탱크(131)로부터 공급되는 고온의 기체는 이소프로필 알코올과 반응이 일어나지 않는 불활성 기체 중 상대적으로 저가인 질소 가스(N2)이다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 할로겐 가스 등과 같은 다른 불활성 기체가 적용될 수 있음은 당연하다.
이와 같이, 기체 공급부(130)로부터 공급되는 고온의 기체는 종래와 같이 바로 기판(W)의 상면으로 제공되는 것이 아니라 기판 로딩부(111)의 하부로 공급되어 기판 로딩부(111) 및 그에 로딩된 기판(W)을 중앙 영역으로부터 외측 방향으로 가열한다. 이때 기체 공급부(130)로부터 제공되는 고온의 기체는 중탕 원리에 의해 대략 100℃ 정도로 가열될 수 있기 때문에 기판 로딩부(111) 및 기판(W)의 가열을 신속히 수행할 수 있다.
따라서, 도 3에 개략적으로 도시된 바와 같이 기판(W)의 중앙으로부터 먼저 이소프로필 알코올의 기화가 이루어질 수 있으며 점차적으로 기판(W)의 외측 영역에 이르기까지 이소프로필 알코올의 기화가 이루어질 수 있다.
이와 같이, 고온의 기체가 이소프로필 알코올을 기화시킴으로써 기판(W)으로부터 이소프로필 알코올을 제거하되, 이때 고온의 기체와 인화점이 낮은 이소프로필 알코올이 직접적으로 닿지 않아 이소프로필 알코올의 발화가 이루어지지 않으며, 아울러 고온의 기체를 제공할 수 있어 기판(W)으로부터 이소프로필 알코올을 신속하게 제거할 수 있다.
한편, 전술한 바와 같이, 기체 공급부(130)의 작동에 의해, 기판(W)의 중앙 영역으로부터 외측 영역으로 점차적인 이소프로필 알코올의 기화가 이루어지는데, 이때 기화된 이소프로필 알코올을 외부로 배출해야 한다.
이를 위해, 본 실시예의 흡입부(150)는 기판 로딩부(111)의 상부 영역에서 이동 가능하게 장착되어 기화된 이소프로필 알코올을 흡입하는 역할을 한다. 이러한 흡입부(150)는, 흡입을 효율적으로 하기 위해 노즐(nozzle) 타입으로 마련될 수 있다. 다만 흡입부(150)의 타입이 이에 한정되는 것은 아니며 기화된 이소프로필 알코올을 신뢰성 있게 흡입할 수 있다면 다른 종류로 마련될 수 있음은 당연하다.
이러한 흡입부(150)는, 도 2에 개략적으로 도시된 바와 같이, 기판(W)의 중앙으로부터 반경 방향으로 이동하며 기화된 이소프로필 알코올을 흡입할 수 있다. 이때 흡입부(150)의 이동 속도는 이소프로필의 기화 속도와 상호 대응된다.
부연 설명하면, 기체 공급부(130)의 고온 기체 공급에 의해 기판(W)은 중앙 영역으로부터 외측 영역으로 가열되며, 따라서 기판(W)의 패턴(P) 사이사이에 잔존하는 이소프로필 알코올 역시 기판(W)의 중앙 영역부터 기화되며 그 기화 범위가 반경 방향으로 퍼지는데, 이때 흡입부(150)는 기화 범위의 확장 속도에 따라 기판(W)의 반경 방향으로 이동함으로써 기화된 이소프로필 알코올을 신뢰성 있게 흡입할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판(W)의 하부에서 기판(W)의 중앙 영역으로 고온의 기체, 예를 들면 불활성 기체인 질소 가스(N2)를 제공함으로써 기판(W)의 패턴(P) 사이사이의 이소프로필 알코올을 기화시킬 수 있어 패턴(P)의 리닝 현상을 방지할 수 있으며, 아울러 고온의 기체가 기판(W)을 가열하여 이소프로필 알코올을 가열할 때 인화점이 낮은 이소프로필 알코올과 고온의 기체가 직접 접촉하지 않아 이소프로필 알코올의 발화가 발생되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
한편, 이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 건조 장치에 대해서 설명하되 전술한 일 실시예의 기판 건조 장치와 실질적으로 동일한 부분에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 건조 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이고, 도 5는 도 4의 일부 구성을 과장하여 도시한 컨셉 도면이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 건조 장치(200)는, 기판 로딩부(211)가 회전 가능하게 장착되는 건조 챔버(210)와, DIW/IPA 공급부(220)와, 기판 로딩부(211)의 상부에 위치하도록 건조 챔버(210) 내에 마련되며 기판 로딩부(211) 상의 기판(W)에 열을 가함으로써 기판(W)에 존재하는 초순수 또는 이소프로필 알코올을 기화시키는 열 공급부(230)와, 마찬가지로 기판 로딩부(211)의 상부에 위치하도록 건조 챔버(210) 내에 마련되어 열 공급부(230)에 의해 기화된 초순수 또는 이소프로필 알코올을 흡입하는 흡입부(250)를 포함한다.
여기서, 열 공급부(230) 및 흡입부(250)는 결합되어 같이 이동할 수 있다. 전술한 바와 같이, 흡입부(250)는 기판(W)의 상부 중앙 영역에서 기판(W)의 반경 방향으로 이동하며 기화된 물질을 흡입하는데 이때 흡입부(250)와 함께 열 공급부(230)도 함께 이동하며 기판(W) 방향으로 열 공급을 할 수 있다.
부연 설명하면, 기판(W)의 패턴(P)들 사이사이의 상단부 영역에 초순수 또는 이소프로필 알코올이 액체 상태로 잔존하는 경우 이들의 표면장력으로 인해 리닝 현상이 발생될 수 있는데, 본 실시예의 경우 패턴(P)들 사이사이의 상단부 영역에 존재하는 초순수 또는 이소프로필 알코올을 열 공급부(230) 및 흡입부(250)의 작동에 의해 먼저 기화시킨 후 흡입함으로써 리닝 현상이 발생되는 것을 저지할 수 있다.
열 공급부(230)는 기판 로딩부(211)의 상부에 마련되기 때문에 패턴(P)들 사이사이의 상단부 영역에 존재하는 초순수 또는 이소프로필 알코올에 먼저 열을 공급할 수 있으며, 이로 인해 상단부 영역의 초순수 또는 이소프로필 알코올을 기화시킬 수 있다.
다만, 아직 기화되지 않은 초순수 또는 이소프로필 알코올은 패턴(P)들 사이사이의 하단부 영역에 존재하는데, 이는 상대적으로 표면장력이 작기 때문에 리닝 현상을 발생시키지 않으며, 또한 전술한 바와 같이 열 공급부(230)로부터 제공되는 열에 의해 결국 기화됨으로써 기판(W)의 건조 공정이 신뢰성 있게 진행될 수 있다.
본 실시예의 흡입부(250)는 전술한 바와 같이 노즐 타입으로 마련될 수 있으며, 본 실시예의 열 공급부(230)는 히터, 예를 들면 IR 히터 타입으로 마련될 수 있다. 따라서 초순수 또는 이소프로필 알코올을 기화시키기에 충분한 열을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 기화된 물질을 효율적으로 흡입할 수 있다. 다만 흡입부(250) 및 열 공급부(230)의 종류 및 구조가 이에 한정되는 것은 아니다.
이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 의하면, 기판 로딩부(211)의 상부에서 열 공급부(230) 및 흡입부(250)의 상호 작용이 이루어져 기판(W)의 패턴들의 리닝 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판(W)의 건조 공정을 신뢰성 있게 수행할 수 있는 장점이 있다.
전술한 다른 실시예에서 흡입부 및 열 공급부가 결합되어 같이 이동한다고 상술하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 흡입부 및 열 공급부는 기판 로딩부의 상부에서 별도로 장착되어 각각의 동작을 수행할 수 있음은 당연하다.
한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 기판 건조 장치 110 : 건조 챔버
111 : 기판 로딩부 120 : DIW/IPA 공급부
130 : 기체 공급부 150 : 흡입부

Claims (10)

  1. 건조 대상물인 기판으로 초순수(DIW, de-ionized water) 및 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl Alcohol)을 순차적으로 공급하는 기판 건조 장치에 있어서,
    상기 기판의 건조 공간을 형성하며, 상기 기판이 로딩되는 기판 로딩부가 회전 가능하게 장착되는 건조 챔버;
    상기 기판 로딩부의 하부에 위치하도록 상기 건조 챔버에 장착되며, 상기 기판 로딩부를 향하여 기체를 제공함으로써 상기 기판에 존재하는 상기 초순수 또는 상기 이소프로필 알코올을 기화시키는 기체 공급부; 및
    상기 기판 로딩부의 상부에서 이동 가능하도록 상기 건조 챔버에 장착되며, 상기 기판 로딩부로부터 기화된 상기 초순수 또는 상기 이소프로필 알코올을 흡입하는 흡입부;
    를 포함하는 기판 건조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 흡입부는 상기 기판 로딩부에 로딩된 상기 기판의 중앙으로부터 반경 방향으로 이동하며 상기 이소프로필 알코올을 흡입하며, 노즐(nozzle) 타입으로 마련되는 기판 건조 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기체에 의한 상기 이소프로필 알코올의 기화 범위의 확장 속도에 맞게 상기 흡입부의 이동이 이루어지는 기판 건조 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기체 공급부로부터 공급되는 상기 기체는 불활성 기체인 기판 건조 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기체는 중탕 원리에 의해 가열되는 기판 건조 장치.
  6. 건조 대상물인 기판으로 초순수(DIW, de-ionized water) 및 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl Alcohol)을 순차적으로 공급하는 기판 건조 장치에 있어서,
    상기 기판의 건조 공간을 형성하며, 상기 기판이 로딩되는 기판 로딩부가 회전 가능하게 장착되는 건조 챔버;
    상기 기판 로딩부의 상부에 위치하도록 상기 건조 챔버 내에 장착되며, 상기 기판 로딩부 상의 상기 기판에 열을 가함으로써 상기 기판에 존재하는 상기 초순수 또는 상기 이소프로필 알코올을 기화시키는 열 공급부; 및
    상기 기판 로딩부의 상부에서 이동 가능하도록 상기 건조 챔버 내에 장착되며, 상기 기판으로부터 기화된 상기 초순수 또는 상기 이소프로필 알코올을 흡입하는 흡입부;
    를 구비하는 기판 건조 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 열 공급부 및 상기 흡입부는 결합되어 상기 기판 로딩부의 상부에서 같이 이동하는 기판 건조 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 열 공급부는 상기 기판에 열을 공급하는 히터 타입으로 마련되고,
    상기 흡입부는 노즐 타입으로 마련되는 기판 건조 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 열 공급부 및 상기 흡입부는 상기 기판 로딩부에 로딩된 상기 기판의 중앙으로부터 반경 방향으로 함께 이동하면서, 상기 열 공급부로부터 열을 공급하는 공정 및 상기 흡입부를 통해 기화된 상기 초순수 또는 상기 이소프로필 알코올을 흡입하는 공정이 실질적으로 동시에 진행되는 기판 건조 장치.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 열 공급부는 상기 기판의 상부에서 열을 공급함으로써 상기 기판에 형성된 패턴들의 사이사이의 상단부 영역에 있는 상기 초순수 또는 상기 이소프로필 알코올을 먼저 기화시키는 기판 건조 장치.
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