KR101255067B1 - Inspection equipment and method using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사 대상물의 검사를 실시하는 검사 장치를 포함하고, 샘플을 이용하여 상기 검사 장치의 점검 작업이 가능한 검사 설비로서, 검사 장치는 상기 검사 대상물 및 샘플을 촬상하는 촬상 모듈 및 상기 촬상 모듈의 일측에 이격 배치되어 상기 촬상 모듈을 향해 광을 조사하며, 내부에 상기 샘플이 설치되는 광 조사 모듈을 포함하고, 광 조사 모듈은 내부 공간을 가지는 광 조사 몸체, 광 조사 몸체 내부에 배치되어 광을 방출하는 광 조사부, 광 조사 몸체 상에서 상기 광 조사부의 일측에 대응 위치하며, 상기 촬상 모듈과 마주보도록 설치된 윈도우부, 광 조사 몸체 내부에서 상기 광 조사부와 윈도우부 사이에 배치되는 샘플 및 상기 샘플을 광 조사 몸체 내에서 이동시키는 샘플 이동 유닛을 포함한다.
따라서 본 발명의 실시형태들에 의하면, 샘플이 검사 장치 내에 설치되어 있으므로, 검사 장치의 점검 시마다 샘플을 검사 장치로 이송시키는 번거로움을 줄일 수 있고, 점검 시간을 단축할 수 있다. 이에, 검사 장치에 문제가 발생하더라도, 상기 검사 장치의 보수 작업을 빠른 시간 내에 진행할 수 있으며, 상기 검사 장치의 상태를 최적의 상태로 유지할 수 있다. 따라서, 검사 대상물의 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있다.The present invention includes an inspection apparatus for inspecting an inspection object, the inspection apparatus capable of inspecting the inspection apparatus using a sample, wherein the inspection apparatus includes an imaging module for imaging the inspection object and a sample, and an imaging module. It is disposed on one side and irradiates light toward the imaging module, and includes a light irradiation module that is installed inside the sample, the light irradiation module is disposed inside the light irradiation body, the light irradiation body having an internal space to emit light A light emitting unit for emitting light, a window unit corresponding to one side of the light irradiation unit on the light irradiation body, provided to face the imaging module, a sample disposed between the light irradiation unit and the window unit inside the light irradiation body, and the sample And a sample moving unit for moving within the irradiation body.
Therefore, according to embodiments of the present invention, since the sample is provided in the inspection apparatus, the trouble of transferring the sample to the inspection apparatus every time the inspection apparatus is inspected can be reduced, and the inspection time can be shortened. Thus, even if a problem occurs in the inspection apparatus, the maintenance work of the inspection apparatus can be quickly performed, and the state of the inspection apparatus can be maintained in an optimal state. Therefore, the inspection reliability of an inspection object can be improved.

Description

검사 설비 및 이를 이용한 검사 방법{Inspection equipment and method using the same}Inspection equipment and method using the same {Inspection equipment and method using the same}

본 발명은 검사 대상물의 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있는 검사 설비 및 이를 이용한 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a test facility that can improve the test reliability of the test object and a test method using the same.

일반적으로 강판의 제조가 완료되면, 상기 강판에 홀이 발생되었는지를 검사한다. 강판의 홀을 검사하는 홀 검사 설비는 광을 조사하는 광 조사부, 광 조사부의 상측에 배치되어 강판의 이미지를 촬상하는 카메라 및 카메라에 촬상된 이미지가 표시되는 표시부를 포함한다. 여기서, 검사 대상물인 강판은 광 조사부와 카메라 사이에 배치된다. 이러한 홀 검사 설비를 이용한 강판의 검사 방법을 간략히 설명하면 하기와 같다. 광 조사부로부터 광을 방출시키면, 상기 광이 강판을 통과하여 카메라로 입사되고, 카메라에서는 강판의 이미지를 획득된다. 이때, 강판에 홀이 형성되어 있는 경우, 상기 홀에 대한 이미지도 함께 획득된다. 획득된 이미지는 표시부에 표시되고, 작업자가 표시부에 나타난 이미지를 분석하여 홀 발생 여부를 판단한다.In general, when manufacturing of the steel sheet is completed, it is checked whether holes are generated in the steel sheet. The hole inspection facility for inspecting the holes of the steel plate includes a light irradiation unit for irradiating light, a camera disposed above the light irradiation unit, for imaging an image of the steel plate, and a display unit for displaying the image picked up by the camera. Here, the steel sheet which is the inspection object is disposed between the light irradiation part and the camera. The inspection method of the steel sheet using such a hole inspection facility is briefly described as follows. When light is emitted from the light irradiation part, the light passes through the steel sheet and is incident to the camera, and the camera acquires an image of the steel sheet. In this case, when holes are formed in the steel sheet, an image of the holes is also acquired. The acquired image is displayed on the display unit, and the operator analyzes the image displayed on the display unit to determine whether a hole is generated.

한편, 광 조사부에 이상이 생겨 광원이 조도가 낮거나, 카메라에 이상이 생길 경우, 실제 강판에 홀이 형성되어 있다 하더라도, 획득된 이미지 상에 홀이 보이지 않거나 희미하게 보일 수 있다. 이에, 홀이 발생된 강판을 정상 품질의 강판으로 오인하는 문제가 발생된다.On the other hand, when an abnormality occurs in the light irradiation part, the light source is low illuminance, or when an abnormality occurs in the camera, even if a hole is actually formed in the steel sheet, the hole may not be visible or faint on the obtained image. Thus, a problem in which a steel sheet in which holes are generated is mistaken for a steel sheet of normal quality occurs.

따라서, 주기적으로 검사 설비를 점검하는 작업을 실시한다. 이를 위해 홀(hole)이 형성된 별도의 샘플 강판을 마련하고, 이를 광 조사부와 카메라 사이에 배치시켜, 샘플 강판에 대한 검사를 실시한다. 그리고 광 조사부 및 카메라를 이용하여 샘플 강판에 대한 이미지를 획득하고, 획득된 이미지를 분석한다. 이때, 작업자가 획득된 이미지에 홀이 정상적으로 촬상되었는지 여부를 판단하여, 검사 설비 상태를 판단할 수 있다. 예컨데, 획득된 이미지에서 홀이 명확히 보일 경우 검사 설비의 상태를 정상으로 판단하고, 실제 검사하고자 하는 강판에 대한 검사를 실시한다. 반대로 홀이 흐릿하게 보이거나 보이지 않을 경우, 검사 설비를 비정상으로 판단하고, 상기 검사 설비에 대한 보수 작업을 실시한다.Therefore, the work which checks an inspection facility periodically is performed. To this end, a separate sample steel sheet having holes formed thereon is disposed between the light irradiation unit and the camera, and the sample steel sheet is inspected. Then, an image of the sample steel sheet is obtained by using the light irradiator and the camera, and the obtained image is analyzed. In this case, the operator may determine whether the hole is normally photographed in the acquired image, and determine the inspection facility state. For example, if the hole is clearly seen in the acquired image, it is determined that the state of the inspection equipment is normal, and the inspection of the steel sheet to be inspected is performed. On the contrary, when the hole is blurred or not visible, the inspection equipment is judged to be abnormal, and the maintenance work on the inspection equipment is performed.

하지만, 종래의 검사 설비의 경우, 별도의 샘플 강판을 광 조사부와 카메라 사이 공간에 배치시키고, 점검 작업이 종료되면 상기 샘플 강판을 다시 광 조사부와 카메라 사이 공간으로부터 이탈시키는 작업이 반복적으로 이루어져야 한다. 이에, 검사 설비를 점검하는 작업이 번거로운 단점이 있다. 또한, 샘플 강판의 이미지를 획득한 이미지에 홀이 희미하거나 보이지 않더라도, 이를 자동적으로 비정상으로 판단하지 못하므로, 검사 설비가 비정상인 상태로 강판에 대한 검사를 계속하여 진행할 수 있다. 따라서, 실제 홀이 형성된 강판이 홀이 없는 정상적인 제품으로 판단되어, 홀이 발생된 강판을 구매자에게 판매하게 되는 문제가 있다.However, in the case of the conventional inspection equipment, a separate sample steel sheet is disposed in the space between the light irradiation part and the camera, and when the inspection work is finished, the operation of detaching the sample steel sheet from the space between the light irradiation part and the camera must be repeatedly performed. Thus, there is a disadvantage that the work of checking the inspection facility is cumbersome. In addition, even if the hole is faint or invisible in the image obtained image of the sample steel sheet, since it is not automatically determined to be abnormal, it is possible to continue the inspection of the steel sheet in a state in which the inspection equipment is abnormal. Therefore, there is a problem in that the steel sheet on which the actual hole is formed is determined to be a normal product without the hole, and the steel sheet on which the hole is generated is sold to the buyer.

본 발명의 일 기술적 과제는 검사 대상물의 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있는 검사 설비 및 이를 이용한 검사 방법을 제공하는 데 있다.One technical problem of the present invention is to provide an inspection facility and an inspection method using the same that can improve the inspection reliability of the inspection object.

본 발명의 다른 일 기술적 과제는 검사 대상물의 검사 시간을 단축할 수 있으며, 검사 설비 및 이를 이용한 검사 방법을 제공하는 데 있다.Another technical problem of the present invention is to shorten the inspection time of an inspection object, and to provide an inspection facility and an inspection method using the same.

본 발명의 또 다른 일 기술적 과제는 검사 대상물의 홀 형성 여부를 검사하는 검사 설비 및 이를 이용한 검사 방법을 제공하는 데 있다.Another technical problem of the present invention is to provide an inspection facility for inspecting whether a hole of an inspection object is formed and an inspection method using the same.

본 발명은 검사 대상물의 검사를 실시하는 검사 장치를 포함하고, 샘플을 이용하여 상기 검사 장치의 점검 작업이 가능한 검사 설비로서, 상기 검사 장치는 상기 검사 대상물 및 샘플을 촬상하는 촬상 모듈 및 상기 촬상 모듈의 일측에 이격 배치되어, 상기 촬상 모듈을 향해 광을 조사하는 광 조사 모듈을 포함하고, 상기 광 조사 모듈은 내부 공간을 가지는 광 조사 몸체, 상기 광 조사 몸체 내부에 배치되어 광을 방출하는 광 조사부, 상기 광 조사 몸체 상에서 상기 광 조사부의 일측에 대응 위치하며, 상기 촬상 모듈과 마주보도록 설치된 윈도우부, 상기 광 조사 몸체 내부에서 상기 광 조사부와 윈도우부 사이에 배치되는 샘플 및 상기 샘플을 광 조사 몸체 내에서 이동시키는 샘플 이동 유닛을 포함한다.The present invention includes an inspection apparatus for inspecting an inspection object, the inspection apparatus capable of inspecting the inspection apparatus using a sample, the inspection apparatus including an imaging module and an imaging module for imaging the inspection object and the sample. A light irradiation module spaced apart from one side of the light irradiation module for irradiating light toward the imaging module, wherein the light irradiation module has an internal space and is disposed inside the light irradiation body to emit light; And a window part corresponding to one side of the light irradiation part on the light irradiation body and installed to face the imaging module, a sample disposed between the light irradiation part and the window part inside the light irradiation body, and the sample. And a sample moving unit for moving within.

상기 광 조사 몸체의 내부 공간은 상기 광 조사부로부터 방출된 광이 상기 윈도우부를 향해 조사되는 경로에 해당하는 제 1 영역 및 상기 제 1 영역의 이외의 영역인 제 2 영역으로 나뉘고, 상기 샘플 이동 유닛은 상기 검사 장치의 점검 작업을 위해 상기 샘플을 제 1 영역으로 이동시키고, 상기 검사 대상물의 검사 작업을 위해 상기 샘플을 제 2 영역으로 이동시킨다.The inner space of the light irradiation body is divided into a first region corresponding to a path from which the light emitted from the light irradiation unit is irradiated toward the window portion and a second region other than the first region, and the sample moving unit is The sample is moved to the first area for the inspection operation of the inspection device, and the sample is moved to the second area for the inspection operation of the inspection object.

상기 샘플 이동 유닛은 상기 제 1 영역과 제 2 영역을 연결하도록 설치되는 샘플 가이드 부재 및 상기 샘플과 연결되어, 상기 샘플을 상기 가이드 부재를 따라 이동시키는 구동부를 포함한다.The sample moving unit includes a sample guide member installed to connect the first region and the second region, and a driving part connected to the sample to move the sample along the guide member.

상기 검사 장치로부터 샘플을 촬상한 데이타를 전달받아, 상기 샘플 데이타를 기준 데이타와 비교하여 상기 검사 장치의 상태를 모니터링하는 검사 장치 모니터링 유닛을 포함한다.And an inspection apparatus monitoring unit configured to receive data photographed from the inspection apparatus and to compare the sample data with reference data to monitor a state of the inspection apparatus.

상기 검사 장치 모니터링 유닛은 상기 검사 장치에 점검 명령을 지시하는 점검 명령부, 상기 검사 장치로부터 샘플을 촬상한 샘플 데이타를 전달받아 저장하는 데이타 저장부, 기준 데이타가 저장되며, 상기 기준 데이타와 샘플 데이타를 비교하여, 상기 검사 장치의 상태를 판단하는 데이타 비교부, 상기 기준 데이타와 샘플 데이타의 비교 결과, 검사 장치의 상태가 정상인 경우, 상기 검사 장치에 상기 검사 대상물의 검사 작업 명령을 지시하고, 상기 검사 장치가 비정상인 경우 경보를 발생시키는 제어부를 포함한다.The inspection device monitoring unit may include: a check command unit for instructing a test command to the test device, a data storage unit for receiving and storing sample data photographed from the test device, and reference data, wherein the reference data and sample data are stored. A data comparison unit for determining a state of the inspection apparatus, and when the state of the inspection apparatus is normal as a result of the comparison between the reference data and the sample data, instructs the inspection apparatus to inspect the inspection work of the inspection object; And a controller for generating an alarm when the inspection apparatus is abnormal.

상기 검사 대상물의 검사를 실시하는 검사 영역과 상기 검사 장치의 점검을 실시하는 점검 영역이 나뉘어 있고, 상기 검사 장치를 검사 영역과 점검 영역 사이에서 이동시키는 검사 장치 이동 유닛을 포함한다.An inspection region for inspecting the inspection object and an inspection region for inspecting the inspection apparatus are divided, and an inspection apparatus moving unit for moving the inspection apparatus between the inspection region and the inspection region.

상기 검사 장치 이동 유닛은 상기 검사 영역과 점검 영역을 연결하도록 설치된 검사 장치 가이드 레일 및 상기 검사 장치에 장착되어 상기 검사 장치 가이드 레일을 따라 활주하는 회전 부재를 포함한다.The inspection apparatus moving unit includes an inspection apparatus guide rail installed to connect the inspection region and the inspection region, and a rotating member mounted to the inspection apparatus and sliding along the inspection apparatus guide rail.

본 발명은 내부 공간을 가지는 광 조사 몸체, 상기 광 조사 몸체 내부에 배치되어 광을 조사하는 광 조사부, 상기 광 조사 몸체 상에서 상기 광 조사부의 일측에 대응 배치되는 윈도우부를 구비하는 광 조사 모듈 및 상기 광 조사 모듈의 일측에 대향 배치되며 촬상이 가능한 촬상 모듈을 포함하는 검사 장치를 이용한 검사 방법으로서, 상기 광 조사 몸체 내에서 상기 광 조사부로부터 방출된 광이 상기 윈도우부를 향해 조사되는 경로인 제 1 영역에 상기 샘플이 위치하도록 이동시켜, 샘플 데이타를 획득하는 과정, 상기 샘플 데이타와 기준 데이타를 비교하여, 상기 검사 장치의 상태를 판단함으로써, 상기 검사 장치를 점검 과정, 상기 검사 장치의 상태가 정상으로 판단되면, 상기 광 조사 몸체 내에서 상기 제 1 영역의 이외의 영역인 제 2 영역에 샘플이 위치하도록 이동시켜, 상기 검사 대상물의 검사를 실시하는 과정을 포함한다.The present invention provides a light irradiation module having an internal space, a light irradiation unit disposed inside the light irradiation body for irradiating light, and a light irradiation module having a window portion corresponding to one side of the light irradiation unit on the light irradiation body and the light An inspection method using an inspection apparatus including an imaging module that is disposed opposite to one side of an irradiation module and capable of imaging, wherein the light emitted from the light irradiation unit is irradiated toward the window unit in the light irradiation body in a first area. Moving the sample to locate the sample data, comparing the sample data with the reference data, and determining the state of the inspection apparatus, thereby checking the inspection apparatus and determining that the state of the inspection apparatus is normal. When the sample is in the second region which is a region other than the first region in the light irradiation body, Moving to position to perform the inspection of the inspection object.

상기 샘플 데이타를 획득하는 과정은, 상기 광 조사부로부터 방출된 광이 상기 샘플을 거쳐 상기 윈도우부로 향하도록 한다.The acquiring of the sample data directs the light emitted from the light irradiator to the window part through the sample.

상기 검사 대상물의 검사를 실시하는 과정은, 상기 광 조사부로부터 방출된 광이 상기 샘플과 간섭되지 않고, 상기 윈도우부를 통해 외부로 방출되도록 한다.In the process of inspecting the inspected object, the light emitted from the light irradiating part is emitted to the outside through the window part without interfering with the sample.

상기 검사 대상물의 검사를 실시하는 과정은, 상기 검사 장치의 광 조사 모듈과 촬상 모듈 사이에 상기 검사 대상물이 위치하도록 한다.In the process of inspecting the inspection object, the inspection object is positioned between the light irradiation module and the imaging module of the inspection device.

상기 검사 대상물의 검사를 실시하는 검사 영역과 상기 검사 장치의 점검을 실시하는 점검 영역이 나뉘어져 있고,상기 검사 대상물은 상기 검사 영역에 위치하며, 상기 검사 대상물의 검사를 위해 상기 검사 장치를 검사 영역으로 이동시키고, 상기 검사 장치의 점검을 위해 상기 검사 장치를 점검 영역으로 이동시킨다.An inspection area for inspecting the inspection object and an inspection area for inspecting the inspection device are divided, and the inspection object is located in the inspection area, and the inspection device is placed as an inspection area for inspection of the inspection object. Move the inspection device to the inspection area for inspection of the inspection device.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시형태들에 의하면, 샘플이 검사 장치 내에 설치되어 있으므로, 검사 장치의 점검 시마다 샘플을 검사 장치로 이송시키는 번거로움을 줄일 수 있고, 점검 시간을 단축할 수 있다. 이에, 검사 장치에 문제가 발생하더라도, 상기 검사 장치의 보수 작업을 빠른 시간 내에 진행할 수 있으며, 상기 검사 장치의 상태를 최적의 상태로 유지할 수 있다. 따라서, 검사 대상물의 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, since the sample is provided in the inspection apparatus, the trouble of transferring the sample to the inspection apparatus every time the inspection apparatus is inspected can be reduced, and the inspection time can be shortened. Thus, even if a problem occurs in the inspection apparatus, the maintenance work of the inspection apparatus can be quickly performed, and the state of the inspection apparatus can be maintained in an optimal state. Therefore, the inspection reliability of an inspection object can be improved.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사 설비를 블록화하여 도시한 도면
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 검사 설비의 검사 장치 및 검사 장치 이동 유닛을 도시한 도면
도 3은 도 2에 도시된 촬상 모듈을 A-A'를 따라 절단한 단면도 및 광 조사 모듈을 B-B'를 따라 절단한 단면도를 도시한 단면도
도 4 및 도 5는 도 2에 도시된 촬상 모듈을 C-C'를 따라 절단한 단면 및 광 조사 모듈을 모듈을 D-D'를 따라 절단한 단면도
도 6 및 도 7은 광 조사 몸체의 상면도
도 8은 실시예에 따른 샘플 이동 유닛을 도시한 도면
도 9는 실시예에 따른 검사 설비의 검사 장치의 점검을 실시하는 방법을 나타낸 순서도1 is a block diagram showing the inspection equipment according to an embodiment of the present invention
2 is a view showing an inspection apparatus and an inspection apparatus moving unit of an inspection facility according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the imaging module illustrated in FIG. 2 taken along line AA ′ and a cross-sectional view of the light irradiation module taken along line BB ′.
4 and 5 are cross-sectional views taken along the line C-C 'of the imaging module shown in FIG. 2, and cross-sectional views taken along the line D-D' of the light irradiation module.
6 and 7 are top views of the light irradiation body.
8 shows a sample moving unit according to the embodiment;
9 is a flowchart illustrating a method of inspecting an inspection apparatus of an inspection facility according to an embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면 상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It should be understood, however, that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, To provide a complete description of the category. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사 설비를 블록화하여 도시한 도면이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 검사 설비의 검사 장치 및 검사 장치 이동 유닛을 도시한 도면이다. 도 3은 도 2에 도시된 촬상 모듈을 A-A'를 따라 절단한 단면도 및 광 조사 모듈을 B-B'를 따라 절단한 단면도를 도시한 단면도이다. 도 4 및 도 5는 도 2에 도시된 촬상 모듈을 C-C'를 따라 절단한 단면 및 광 조사 모듈을 모듈을 D-D'를 따라 절단한 단면도이다. 여기서 도 4는 검사 장치의 점검을 위하여, 샘플이 제 1 영역에 위치한 상태를 도시한 것이고, 도 5는 검사 대상물의 검사를 위하여 샘플이 제 2 영역에 위치한 상태를 도시한 도면이다. 도 6 및 도 7은 광 조사 몸체의 상면도로써, 도 6은 샘플이 제 1 영역에 위치한 상태이고, 도 7은 샘플이 제 2 영역에 위치한 상태를 도시한 것이다. 도 8은 실시예에 따른 샘플 이동 유닛을 도시한 도면이다.1 is a block diagram showing an inspection facility according to an embodiment of the present invention. 2 is a view showing an inspection apparatus and an inspection apparatus moving unit of an inspection facility according to an embodiment of the present invention. 3 is a cross-sectional view of the imaging module illustrated in FIG. 2 taken along line AA ′ and a cross-sectional view of the light irradiation module taken along line BB ′. 4 and 5 are cross-sectional views of the imaging module shown in FIG. 2 taken along line C-C ', and a cross-sectional view of the light irradiation module taken along line D-D'. 4 illustrates a state in which a sample is located in a first area for inspection of an inspection apparatus, and FIG. 5 illustrates a state in which a sample is located in a second area for inspection of an inspection object. 6 and 7 are top views of the light irradiation body, and FIG. 6 shows a state where the sample is located in the first area, and FIG. 7 shows a state where the sample is located in the second area. 8 is a diagram illustrating a sample moving unit according to the embodiment.

실시예에 따른 검사 설비는 제조가 완료된 제품 예컨데, 강판에 홀(hole)의 발생 여부를 검사하는 시스템이다. 하기에서는 검사 설비를 통해 실제 검사하고자하는 대상을 '검사 대상물(T)'이라 명명하며, 실시예에서는 검사 대상물(T)로 플레이트 형상의 강판을 예를 들어 설명한다. 일반적으로 강판은 연속적인 공정을 통해 제조고, 상기 강판의 겸함 또는 홀 형성 여부를 검사하는 작업이 연속적으로 실시된다. 한편, 연속적으로 검사 작업이 실시되면, 검사 설비의 검출 능력의 저하될 수 있으며, 이로 인해 홀(hole)이 발생된 강판을 정상으로 판단할 수 있다. 이에, 주기적으로 검사 설비가 정상으로 동작하고 있는지를 점검해야 할 필요가 있다. 따라서, 실시예에 따른 검사 설비에서는 홀(hole)이 마련된 샘플(S)을 마련하고, 상기 샘플(S)을 이용하여 검사 설비의 상태를 판단한 후, 검사 대상물(T)에 대한 검사를 실시한다. 하기에서는 샘플(S)에 마련된 홀을 샘플 홀(SH)이라 명명한다.Inspection equipment according to the embodiment is a product for manufacturing, for example, a system for inspecting the occurrence of holes (holes) in the steel sheet. In the following, the object to be actually inspected by the inspection facility is referred to as an 'inspection object T', and in the embodiment, a steel plate having a plate shape as an inspection object T will be described as an example. In general, the steel sheet is manufactured through a continuous process, and the operation of checking whether the steel sheet is combined or forming holes is continuously performed. On the other hand, if the inspection operation is carried out continuously, the detection capability of the inspection facility may be lowered, thereby determining the steel sheet in which holes are generated. Therefore, it is necessary to periodically check whether the inspection facility is operating normally. Accordingly, in the inspection facility according to the embodiment, a sample S having a hole is provided, the state of the inspection facility is determined using the sample S, and then the inspection object T is inspected. . Hereinafter, the holes provided in the sample S will be referred to as sample holes SH.

실시예에서는 검사 장치(100)를 이용하여 검사 대상물(T)의 검사를 실시하는 영역과, 상기 검사 장치(100)를 점검하는 영역이 나뉘어져 있다. 하기에서는 검사 장치(100)를 점검하기 위해 상기 검사 장치(100)가 위치하는 영역을 '점검 영역'이라 명명하고, 실제 검사하고자 하는 검사 대상물(T)이 위치하며 상기 검사 대상물(T)에 대한 검사를 실시하는 영역을 '검사 영역'이라 명명한다. 검사 영역에서 검사 대상물(T)에 대한 검사를 실시하고, 점검 영역에서 검사 장치(00)를 점검하는 상세한 설명은 하기에서 하기로 한다.In the embodiment, an area for inspecting the test object T using the test device 100 is divided into an area for checking the test device 100. In the following, the area in which the test device 100 is located is referred to as a 'check area' to check the test device 100, and the test object T to be actually inspected is located and the test object T The area in which the test is carried out is referred to as the 'test area'. The inspection of the inspection object T in the inspection area and the inspection of the inspection device 00 in the inspection area will be described later.

도 1을 참조하면, 실시예에 따른 검사 설비는 검사 대상물(T)에 대한 검사 예컨데, 홀(hole)의 형성 여부를 검사하며, 점검 영역과 검사 영역 사이에서 수평 이동이 가능한 검사 장치(100), 점검 영역 및 검사 영역에 설치되어 검사 장치(100)를 점검 영역에서 검사 영역 또는 검사 영역에서 점검 영역으로 이동시키는 검사 장치 이동 유닛(200), 검사 장치(100)에 점검 명령을 지시하고, 상기 검사 장치(100)로부터 샘플 데이타를 전달 받아 상기 검사 장치(100)의 정상 또는 비정상 상태를 판단하는 검사 장치 모니터링 유닛(400) 및 검사 장치(100)로부터 검사 대상물(T)의 검사 데이타를 전달받아 이를 디스플레이하는 디스플레이부(500)를 포함한다.Referring to FIG. 1, an inspection apparatus according to an embodiment may inspect an inspection object T, for example, whether a hole is formed, and an inspection apparatus 100 capable of horizontally moving between an inspection region and an inspection region. Installed in the inspection area and the inspection area to instruct the inspection device moving unit 200 and the inspection device 100 to move the inspection device 100 from the inspection area to the inspection area or from the inspection area to the inspection area, and instruct the inspection command. Receives the test data of the test object (T) from the test device monitoring unit 400 and the test device 100 to determine the normal or abnormal state of the test device 100 by receiving the sample data from the test device 100 It includes a display unit 500 for displaying this.

여기서, 검사 대상물(T)은 후술되는 검사 장치(100)의 촬상 모듈(110)과 광 조사 모듈(120) 사이에 위치하며, 상기 촬상 모듈(110)의 연장 방향 및 광 조사 모듈(120)의 연장 방향과 교차하는 방향으로 배치된다. 도시되지는 않았지만 검사 대상물(T)의 양 단에는 상기 검사 대상물(T)을 일 방향으로 이송시키는 롤러(미도시)가 연결될 수 있다. 하기에서는 검사 대상물(T)로 제조가 완료된 강판을 예를 들어, 설명한다.Here, the inspection object T is located between the imaging module 110 and the light irradiation module 120 of the inspection apparatus 100, which will be described later, and the extension direction of the imaging module 110 and the light irradiation module 120. It is arranged in the direction intersecting the extension direction. Although not shown, rollers (not shown) for transferring the inspection object T in one direction may be connected to both ends of the inspection object T. Below, the steel plate which manufacture was completed by the test target T is demonstrated, for example.

샘플(S)은 검사 대상물(T)과 동일한 재료로 이루어진 것을 이용하는 것이 바람직하다. 이에, 샘플(S)로 플레이트 형상의 강판을 이용한다. 또한, 샘플(S)로 상호 이격된 복수의 샘플 홀(SH)이 마련된 것을 이용한다. 이는 실시예에 따른 검사 장치(100)가 검사 대상물(T)에 홀 발생 여부를 검사하는 것이므로, 상기 검사 장치(100)에 의해 샘플(S)에 형성된 샘플 홀(SH)의 이미지가 정상적으로 획득되는 지를 검사하여, 검사 장치(100)의 상태를 점검하기 위함이다.It is preferable to use what consists of the same material as the test object T as the sample S. FIG. Thus, a plate-shaped steel sheet is used as the sample S. In addition, the one provided with the some sample hole SH spaced apart from the sample S is used. This is because the inspection apparatus 100 according to the embodiment inspects whether or not a hole is generated in the inspection object T, so that the image of the sample hole SH formed in the sample S by the inspection apparatus 100 is normally acquired. To check the state of the inspection apparatus 100.

도 2 내지 도 7을 참조하면, 검사 장치(100)는 촬상 모듈(110), 촬상 모듈(110)의 하측에 이격 배치된 광 조사 모듈(120) 및 일단이 촬상 모듈(110)과 연결되고 타단이 광 조사 모듈(120)과 연결되어 상기 촬상 모듈(110)과 광 조사 모듈(120) 사이를 연결하는 연결 몸체(130)를 포함한다.2 to 7, the inspection apparatus 100 includes an imaging module 110, a light irradiation module 120 spaced below the imaging module 110, and one end thereof connected to the imaging module 110 and the other end thereof. It is connected to the light irradiation module 120 includes a connection body 130 for connecting between the imaging module 110 and the light irradiation module 120.

촬상 모듈(110)은 내부 공간을 가지는 촬상 몸체(111), 촬상 몸체(111)의 내부에 배치되며, 검사 대상물(T) 및 샘플(S)의 이미지를 촬상하는 카메라(112) 및 촬상 몸체(111) 상에서 카메라(112)와 대향 배치되며, 광이 투과할 수 있도록 제작된 제 1 윈도우부(113)를 포함한다. 실시예에서는 사각 박스 형상으로 촬상 몸체(111)를 제작하였으나, 이에 한정되지 않고 내부에 카메라(112)가 설치되고 상기 카메라(112)와 대향하는 위치에 제 1 윈도우부(113)가 설치될 수 있는 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 또한, 실시예에서는 카메라(112)로 이동 중인 대상물의 영상을 취득하는 장치를 사용한다. 물론 이에 한정되지 않고 검사 대상물(T) 및 샘플(S)의 영상을 취득할 수 있는 다양한 촬상 수단을 이용할 수 있다. 제 1 윈도우부(113)는 카메라(112)의 하측에 대향 배치되어, 상기 카메라(112)를 보호하고, 광을 투과시키는 역할을 한다. 실시예에서는 제 1 윈도우부(113)로 투광성 플레이트 예를 들어, 쿼츠(Quartz)를 이용하여 제작할 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고 제 1 윈도우부(113)는 다양한 투광성 재료를 이용하여 제작할 수 있다.The imaging module 110 is disposed in the imaging body 111 having an internal space, the imaging body 111, and the camera 112 and the imaging body that pick up images of the inspection object T and the sample S. It is disposed on the 111 to face the camera 112, and includes a first window portion 113 made to transmit light. In an embodiment, the imaging body 111 is manufactured in a rectangular box shape, but the present invention is not limited thereto, and the camera 112 may be installed therein, and the first window 113 may be installed at a position facing the camera 112. It can be produced in various shapes. In addition, the embodiment uses an apparatus for acquiring the image of the object being moved to the camera 112. Of course, the present invention is not limited thereto, and various imaging means capable of acquiring images of the inspection object T and the sample S may be used. The first window 113 is disposed below the camera 112 to protect the camera 112 and to transmit light. In an embodiment, the first window 113 may be manufactured using a light transmissive plate, for example, quartz. Of course, the present invention is not limited thereto, and the first window 113 may be manufactured using various light transmitting materials.

광 조사 모듈(120)은 내부 공간을 가지는 광 조사 몸체(121), 광 조사 몸체(121)의 내부에 설치되어 광을 조사하는 광 조사부(122), 샘플(S)을 지지하며 광 조사 몸체(121) 내에서 상기 샘플(S)을 이송시키는 샘플 이동 유닛(123) 및 광 조사 몸체(121)의 상부에서 광 조사부(122)의 상측에 대향 배치되는 제 2 윈도우부(124)를 포함한다.The light irradiation module 120 supports a light irradiation body 121 having an internal space, a light irradiation unit 122 and a sample S installed inside the light irradiation body 121 to irradiate light, and have a light irradiation body ( A sample moving unit 123 for transferring the sample S in the 121 and a second window portion 124 disposed on the upper side of the light irradiation part 122 at the upper portion of the light irradiation body 121.

광 조사부(122)는 광 조사 몸체(121) 내부에서 샘플(S) 하측에 이격 배치되어, 상기 샘플(S)의 하측에서 상측으로 광을 조사한다. 실시예에서는 광 조사부(122)로 LED 장치를 이용하나, 이에 한정되지 않고 광을 방출하여 조사할 수 있는 다양한 광 조사 수단을 이용할 수 있다.The light irradiation part 122 is disposed below the sample S in the light irradiation body 121 and irradiates light from the lower side of the sample S to the upper side. In the exemplary embodiment, although the LED device is used as the light irradiation unit 122, various light irradiation means capable of emitting and irradiating light may be used.

제 2 윈도우부(124)는 광 조사 몸체(121)의 상에서 광 조사부(122)의 상측에 대향 배치되어, 상기 광 조사부(122)로부터 방출된 광을 투과시키는 역할을 한다. 실시예에서는 제 2 윈도우부(124)로 투광성 플레이트 예를 들어, 쿼츠(Quartz)를 이용하여 제작할 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고, 제 2 윈도우부(124)는 다양한 투광성 재료를 이용하여 제작할 수 있다.The second window portion 124 is disposed on the light irradiation body 121 to face the upper side of the light irradiation portion 122, and serves to transmit the light emitted from the light irradiation portion 122. In an exemplary embodiment, the second window 124 may be manufactured using a light transmissive plate, for example, quartz. Of course, the present invention is not limited thereto, and the second window unit 124 may be manufactured using various light transmitting materials.

광 조사 몸체(121)는 전술한 바와 같이 내부 공간을 가지도록 제작되어, 내부에 광 조사부(122), 샘플(S) 및 샘플 이동 유닛(123)이 배치되고, 상기 광 조사 몸체(121)의 상부에 제 2 윈도우부(124)가 설치된다. 여기서 샘플(S)은 광 조사 몸체(121) 내부에서 광 조사부(122)와 제 2 윈도우부(124) 사이에 대응 위치한다. 하기에서는 광 조사 몸체(121)의 내부 공간 중 샘플(S)이 배치되는 수평 방향의 동일 평면(이하, 동일 수평면) 상의 영역을 제 1 영역(121a)과 제 2 영역으로 나누어 설명한다. 여기서 제 1 영역(121a)은 광 조사부(122)로부터 방출된 광이 제 2 윈도우부(124)를 향해 조사되는 경로의 영역이다. 바람직하게 제 1 영역(121a)는 광 조사부(122)의 직상 및 제 2 윈도우부(124)의 직하의 영역이다. 이에, 제 1 영역(121a)에 샘플(S)이 위치하면, 광 조사부(122)로부터 방출된 광은 상기 샘플(S)을 거쳐 제 2 윈도우부(124)를 투과하여 외부로 방출된다. 또한, 제 2 영역은(121b)은 광 조사부(122)로부터 방출된 광이 제 2 윈도우부(124)를 향해 조사되는 경로 이외에 영역 즉, 제 1 영역(121a)의 이외의 영역이다. 이에, 제 2 영역(121a)에 샘플(S)이 위치하면, 광 조사부(122)로부터 방출된 광은 상기 샘플(S)과 간섭되지 않고 바로 제 2 윈도우부(124)를 투과하여 상기 제 2 윈도우부(124) 상측에 위치하는 검사 대상물(T)로 조사된다.The light irradiation body 121 is manufactured to have an internal space as described above, the light irradiation unit 122, the sample (S) and the sample moving unit 123 is disposed therein, the light irradiation body 121 of The second window portion 124 is installed at the top. Here, the sample S is positioned correspondingly between the light irradiation part 122 and the second window part 124 in the light irradiation body 121. Hereinafter, an area on the same plane (hereinafter, the same horizontal plane) in the horizontal direction in which the sample S is disposed in the internal space of the light irradiation body 121 will be described by dividing it into the first area 121a and the second area. Here, the first region 121a is a region of a path through which the light emitted from the light irradiator 122 is irradiated toward the second window portion 124. Preferably, the first region 121a is an area immediately above the light irradiation part 122 and directly below the second window part 124. Thus, when the sample (S) is located in the first region 121a, the light emitted from the light irradiator 122 passes through the second window portion 124 through the sample (S) and is emitted to the outside. In addition, the second area 121b is an area other than the path from which the light emitted from the light irradiation part 122 is irradiated toward the second window part 124, that is, an area other than the first area 121a. Therefore, when the sample S is located in the second region 121a, the light emitted from the light irradiator 122 does not interfere with the sample S and immediately passes through the second window 124 to allow the second light to pass through the second window 121. Irradiated with the inspection object T located above the window portion 124.

샘플 이동 유닛(123)은 광 조사 몸체(121) 내부에 배치되어, 샘플(S)을 지지하고 상기 샘플(S)을 제 1 영역(121a)과 제 2 영역(121b)으로 이동시키는 역할을 한다. 이러한 샘플 이동 유닛(123)은 도 에 도시된 바와 같이 샘플(S)의 양 단에 각기 연결되도록 설치된 샘플 가이드 부재(123-1), 샘플 가이드 부재(123-1)에 장착되며, 샘플(S)을 이동시키는 구동력을 제공하는 구동부(123-2)를 포함한다. 여기서 샘플 가이드 부재(123-1)는 샘플(S)의 연장 방향과 교차하는 방향으로 설치되어, 상기 샘플(S)의 양 단에 결합된다. 즉, 샘플 가이드 부재(123-1)는 광 조사 몸체(121) 내부의 제 1 영역(121a)와 제 2 영역(121b)를 연결하도록 설치된다. 이러한 샘플 가이드 부재(123-1)에는 도시되지는 않았지만, 가이드 홈(미도시)이 마련될 수 있다. 구동부(123-2)는 구동력을 제공하는 동력부(123-2a) 및 일단이 샘플(S)에 연결되고 타단이 동력부(123-2a)에 연결되어 샘플(S)을 제 1 영역(121a)에서 제 2 영역(121b)으로 이동시키거나, 제 2 영역(121b)에서 제 1 영역(121a)으로 이동시키는 구동축(123-2b)을 포함한다. 실시예에서는 동력부(123-2a)로 에어 실린더(air cylinder)를 사용하고, 구동축(123-2b)으로 에어 실린더에 의해 신장 또는 수축이 가능한 실린더 로드(cylinder load)를 이용한다. 물론 샘플 가이드 부재(123-1), 에어 실린더를 이용하는 동력부(123-2a) 및 실린더 로드를 이용하는 구동축(123-2b)의 조합으로 이루어진 구성에 한정되지 않고, 샘플(S)을 제 1 영역(121a)에서 제 2 영역(121b)으로 이동시키거나, 제 2 영역(121b)에서 제 1 영역(121a)으로 이동시킬 수 있는 다양한 수단을 샘플 이동 유닛(123)으로 이용할 수 있다.The sample moving unit 123 is disposed inside the light irradiation body 121 to support the sample S and move the sample S to the first region 121a and the second region 121b. . The sample moving unit 123 is mounted to the sample guide member 123-1 and the sample guide member 123-1 installed to be connected to both ends of the sample S, respectively, as shown in FIG. It includes a drive unit 123-2 for providing a driving force for moving. Here, the sample guide member 123-1 is installed in a direction crossing the extension direction of the sample S and is coupled to both ends of the sample S. That is, the sample guide member 123-1 is installed to connect the first region 121a and the second region 121b inside the light irradiation body 121. Although not shown in the sample guide member 123-1, a guide groove (not shown) may be provided. The driving unit 123-2 is connected to the power unit 123-2a that provides a driving force and one end thereof to the sample S, and the other end thereof is connected to the power unit 123-2a to connect the sample S to the first region 121a. ) Includes a driving shaft 123-2b that moves to the second region 121b or moves from the second region 121b to the first region 121a. In the embodiment, an air cylinder is used as the power unit 123-2a, and a cylinder load that can be extended or contracted by the air cylinder is used as the drive shaft 123-2b. Of course, the configuration is not limited to the combination of the sample guide member 123-1, the power unit 123-2a using the air cylinder, and the drive shaft 123-2b using the cylinder rod. Various means for moving from 121a to the second area 121b or from the second area 121b to the first area 121a may be used as the sample moving unit 123.

검사 장치 이동 유닛(200)은 검사 장치(100)의 하부 즉, 광 조사 몸체(121)의 하부에 설치되며, 회전 가능한 복수의 회전 부재(210) 및 복수의 회전 부재(210)가 활주하는 검사 장치 가이드 레일(220)를 포함한다. 여기서 검사 장치 가이드 레일(220)은 검사 영역에서 점검 영역으로 또는 점검 영역에서 검사 영역으로 연장 설치된다. 이에, 검사 장치(100)의 하부에 설치된 복수의 회전 부재(210)가 회전하면서 검사 장치 가이드 레일(220)을 따라 활주함에 따라, 상기 검사 장치(100)는 검사 영역에서 점검 영역으로 이동하거나, 점검 영역에서 검사 영역으로 이동한다. 물론 상기에서 서술한 회전 부재(210) 및 검사 장치 가이드 레일(220)로 이루어진 구조에 한정되지 않고, 검사 장치(100)를 검사 영역과 점검 영역 사이에서 이송시킬 수 있는 다양한 수단을 검사 장치 이동 유닛(200)으로 사용할 수 있다.The inspection apparatus moving unit 200 is installed below the inspection apparatus 100, that is, the lower portion of the light irradiation body 121, in which the plurality of rotatable rotating members 210 and the plurality of rotating members 210 slide. Device guide rail 220. The inspection device guide rail 220 extends from the inspection area to the inspection area or from the inspection area to the inspection area. Accordingly, as the plurality of rotating members 210 installed below the inspection apparatus 100 slide along the inspection apparatus guide rail 220 while rotating, the inspection apparatus 100 moves from the inspection region to the inspection region, Move from inspection area to inspection area. Of course, it is not limited to the structure consisting of the rotating member 210 and the inspection device guide rail 220 described above, various means for transferring the inspection device 100 between the inspection area and the inspection area inspection device moving unit 200 can be used.

검사 장치 모니터링 모듈(400)은 검사 장치(100)의 상태 즉, 정상 또는 비정상 상태를 점검한다. 실시예에 따른 검사 장치 모니터링 모듈(400)은 이미지화된 데이타를 이용하여 검사 장치(100)의 상태를 판단한다. 이러한 검사 장치 모니터링 모듈(400)은 검사 장치(100)에 점검 명령을 지시하는 점검 명령부(440), 검사 장치(100)로부터 샘플(S)로 부터 획득한 데이타(이하, 샘플 데이타)를 전달받아 이를 저장하는 데이타 저장부(410), 기준 데이타와 샘플 데이타를 비교하여, 검사 장치(100)의 상태를 판단하는 데이타 비교부(420) 및 데이타 비교부(420)로부터 판단된 판단 결과에 따라 경보 신호를 발생하거나, 검사 대상물(T)의 검사 작업을 지시하는 제어부(430)를 포함한다.The inspection device monitoring module 400 checks a state of the inspection device 100, that is, a normal or abnormal state. The inspection apparatus monitoring module 400 according to the embodiment determines the state of the inspection apparatus 100 using the imaged data. The inspection device monitoring module 400 transfers data (hereinafter, sample data) obtained from the sample S from the inspection command unit 440 and the inspection device 100 which instructs the inspection device 100 to check the inspection command. The data storage unit 410 for storing the received data and comparing the sample data with the reference data, and according to the determination result determined by the data comparator 420 and the data comparator 420 to determine the state of the inspection apparatus 100. The controller 430 may generate an alarm signal or instruct an inspection operation of the inspection object T.

점검 명령부(440)는 검사 장치(100)에 점검 명령을 지시한다. 이러한 점검 명령부(440)에는 도시되지는 않았지만, 예컨데 점검 명령 버튼(미도시)이 설치될 수 있으며, 작업자가 상기 점검 명령 버튼을 누르면 검사 장치의(100) 점검 작업이 실시될 수 있다. 또한, 이에 한정되지 않고 점검 명령부(440)에 소정의 주기로 검사 장치(100)의 점검을 실시하는 시간 또는 주기를 입력하여, 자동으로 검사 장치(100)에 대한 점검을 실시하도록 지시할 수도 있다.The inspection command unit 440 instructs the inspection apparatus 100 to inspect the inspection command. Although not shown in the check command unit 440, for example, a check command button (not shown) may be installed, and when the operator presses the check command button, the check operation of the test apparatus 100 may be performed. In addition, the present invention is not limited thereto, and the inspection command unit 440 may be instructed to automatically inspect the inspection apparatus 100 by inputting a time or a period for inspecting the inspection apparatus 100 at predetermined intervals. .

데이타 저장부(410)는 검사 장치(100)의 촬상 모듈(110) 및 데이타 비교부(420)와 연결되어, 상기 촬상 모듈(110)로부터 샘플(S)로부터 획득한 데이타 즉, 이미지를 전달받고, 이를 데이타 비교부(420)에 전달한다.The data storage unit 410 is connected to the imaging module 110 and the data comparator 420 of the inspection apparatus 100 to receive data, that is, images, obtained from the sample S from the imaging module 110. This is transmitted to the data comparator 420.

데이타 비교부(420)에는 기준 데이타가 저장되어 있으며, 데이타 저장부(410)로부터 샘플 데이타를 전달받아, 기준 데이타와 샘플 데이타를 비교한다. 여기서, 기준 데이타는 검사 장치(100)가 정상 상태였을 때, 홀(SH)이 마련된 샘플(S)로부터 얻어진 데이타 일 수 있다. 하기에서는 이미지화된 기준 데이타를 '기준 데이타 이미지'라 명명하고, 이미지화된 샘플 데이타를 '샘플 데이타 이미지'라 명명한다. 이에, 데이타 비교부(420)에서는 기준 데이타 이미지와 샘플 데이타 이미지를 상호 비교하여, 상기 샘플 데이타 이미지가 기준 데이타 이미지와 대응하는지를 판단한다. 즉, 기준 데이타 이미지의 홀과 샘플 데이타 이미지의 샘플 홀(SH)을 비교하여, 상기 홀의 이미지가 대응하는지 여부를 판단한다. 이때, 검사 장치(100)의 광 조사부(122)의 고장 또는 카메라(112)의 고장 등의 이유로, 샘플 데이타 이미지가 정상적으로 촬상되지 않을 수 있다. 이에, 샘플 데이타 이미지의 홀이 보이지 않거나, 희미하게 보이는 등의 문제가 발생된다. 예를 들어, 데이타 비교부(420)에서 비교 판단 결과 샘플 데이타 이미지가 기준 데이타 이미지에 대응하지 않으면, 즉 다르면, 검사 장치(100)의 상태를 비정상 상태로 판단한다. 그리고, 제어부(430)에서는 비정상 상태의 신호를 전달받아, 경보를 발생시킨다. 이에, 작업자는 검사 장치(100)의 보수 작업 등의 후속 조치를 취한다. 반대로, 샘플 데이타 이미지가 기준 데이타에 대응하면, 검사 장치(100)의 상태를 정상으로 판단한다. 그리고 제어부(430)에서는 정상 상태의 신호를 전달받아, 검사 장치(100)에 검사 대상물(T)의 검사 작업 명령을 지시한다. 이에, 검사 장치(100)가 검사 영역으로 이동되고, 상기 검사 영역에서 검사 대상물(T)에 대한 검사가 실시된다.The data comparison unit 420 stores reference data, and receives the sample data from the data storage unit 410 to compare the reference data with the sample data. Here, the reference data may be data obtained from the sample S in which the hole SH is provided when the inspection apparatus 100 is in a normal state. In the following, the imaged reference data is called 'reference data image' and the imaged sample data is called 'sample data image'. Accordingly, the data comparison unit 420 compares the reference data image with the sample data image to determine whether the sample data image corresponds to the reference data image. That is, by comparing the hole of the reference data image and the sample hole (SH) of the sample data image, it is determined whether the image of the hole corresponds. At this time, the sample data image may not be normally captured due to a failure of the light irradiation unit 122 of the inspection apparatus 100 or a failure of the camera 112. This causes a problem such that holes in the sample data image are not visible or faint. For example, if the data comparison unit 420 determines that the sample data image does not correspond to the reference data image, that is, the state of the inspection apparatus 100 is determined to be abnormal. In addition, the control unit 430 receives an abnormal state signal and generates an alarm. Thus, the worker takes follow-up measures such as maintenance work of the inspection apparatus 100. In contrast, if the sample data image corresponds to the reference data, the state of the inspection apparatus 100 is determined to be normal. In addition, the control unit 430 receives a signal in a normal state, and instructs the inspection apparatus 100 to inspect the inspection work command of the inspection object T. Thus, the inspection apparatus 100 is moved to the inspection region, and the inspection object T is inspected in the inspection region.

상기에서는 이미지화된 기준 데이타 및 샘플 데이타를 예를들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 기준 데이타 및 샘플 데이타는 상호 비교가 가능한 어떠한 데이타의 형식이어도 무방하다.In the above description, the imaged reference data and sample data have been described by way of example. However, the present invention is not limited thereto, and the reference data and sample data may be in any format that can be compared with each other.

도 9는 실시예에 따른 검사 설비의 검사 장치의 점검을 실시하는 방법을 나타낸 순서도이다. 하기에서는 도 1 내지 도 9를 참조하여, 실시예에 따른 검사 설비에서 검사 장치를 점검하는 방법을 설명한다.9 is a flowchart illustrating a method of inspecting an inspection apparatus of an inspection facility according to an embodiment. Hereinafter, a method of inspecting an inspection apparatus in an inspection facility according to an embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 9.

먼저, 점검 명령부(440)에서 검사 장치(100)에 점검 명령을 지시 한다. 이때, 작업자가 점검 명령부(440)에 별도로 마련된 점검 명령 버튼(미도시)을 눌러, 점검 명령을 지시하거나, 점검 명령부(440)에 저장된 주기에 의해 자동적으로 점검 명령이 지시될 수도 있다.First, the inspection command unit 440 instructs the inspection apparatus 100 to inspect. At this time, the operator presses a check command button (not shown) separately provided in the check command unit 440 to instruct a check command or a check command may be automatically instructed by a cycle stored in the check command unit 440.

검사 장치(100)로 점검 명령 신호가 인가되면, 도 1에 도시된 바와 같이 검사 장치(100)는 검사 대상물(T)에 대한 검사를 중단하고, 점검 영역으로 이동한다. 이때, 검사 장치(100)의 하부에 장착된 복수의 회전 부재(210)가 검사 장치 가이드 레일(220)를 따라 점검 영역으로 활주함에 따라, 검사 장치(100)가 점검 영역에 위치하게 된다.When the inspection command signal is applied to the inspection apparatus 100, the inspection apparatus 100 stops the inspection of the inspection object T and moves to the inspection region as illustrated in FIG. 1. At this time, as the plurality of rotating members 210 mounted below the inspection apparatus 100 slides along the inspection apparatus guide rail 220 to the inspection region, the inspection apparatus 100 is positioned in the inspection region.

검사 장치(100)가 점검 영역에 위치되면, 도 4 및 도 8에 도시된 바와 같이 샘플 이동 유닛(123)을 이용하여 샘플(S)을 제 1 영역(121a)으로 이동시킨다. 예를 들어, 동력부(123-2a)를 이용하여 구동축(123-2b)을 제 1 영역(121a)이 위치한 방향으로 신장시키면, 상기 구동축(123-2b)에 연결된 샘플(S)이 샘플 가이드 부재(123-1)를 따라 슬라이딩되어 제 1 영역(121a)으로 이동한다. 여기서 샘플(S)로 복수의 샘플 홀(SH)이 마련된 것을 이용한다. When the inspection apparatus 100 is located in the inspection region, the sample S is moved to the first region 121a using the sample movement unit 123 as shown in FIGS. 4 and 8. For example, when the driving shaft 123-2b is extended in the direction in which the first region 121a is located by using the power unit 123-2a, the sample S connected to the driving shaft 123-2b is sample guide. It slides along the member 123-1 and moves to the first region 121a. Here, what provided the some sample hole SH as the sample S is used.

상기에서는 검사 장치(100)를 점검 영역으로 이동시킨 후, 샘플(S)을 제 1 영역(121a)으로 이동시키는 것을 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 샘플(S)을 제 1 영역(121a)으로 이동시킨 후 검사 장치(100)를 점검 영역으로 이동시킬 수도 있다. 또한, 검사 장치(100)를 점검 영역으로 이동시키는 작업과 샘플(S)을 제 1 영역(121b)으로 이동시키는 작업을 동시에 할 수도 있다.In the above description, the test apparatus 100 is moved to the inspection area, and then the sample S is moved to the first area 121a. However, the present invention is not limited thereto, and the sample S is moved to the first area 121a. After moving, the inspection apparatus 100 may be moved to the inspection area. In addition, the operation | movement which moves the inspection apparatus 100 to an inspection area, and the operation which moves the sample S to the 1st area | region 121b can also be performed simultaneously.

샘플(S)이 제 1 영역(121a)에 위치하면, 광 조사부(122)를 이용하여 광을 조사하여, 상기 샘플(S)에 대한 검사를 실시한다(S100). 광 조사부(122)로부터 방출된 광은 샘플(S) 및 샘플(S)에 마련된 샘플 홀(SH)을 거쳐, 제 2 윈도우부(124)를 통해 광 조사 몸체(121) 외부로 방출된다. 그리고 상기 광은 광 조사 모듈(120)의 상측에 배치된 촬상 모듈(110)의 제 1 윈도우부(113)를 투과하여 광 조사 몸체(121) 내부에 배치된 카메라(112)로 입사된다. 카메라(112)에서는 샘플(S) 및 샘플(S)에 마련된 샘플 홀(SH)을 통과한 광 데이타를 전달받고, 이를 이미지화 시킨다. 이에, 샘플 데이타가 획득된다(S200).When the sample S is located in the first region 121a, the light is irradiated using the light irradiator 122 to inspect the sample S (S100). The light emitted from the light irradiation unit 122 is emitted to the outside of the light irradiation body 121 through the second window 124 through the sample S and the sample hole SH provided in the sample S. The light passes through the first window 113 of the imaging module 110 disposed above the light irradiation module 120 and is incident to the camera 112 disposed inside the light irradiation body 121. The camera 112 receives the optical data passing through the sample S and the sample hole SH provided in the sample S, and image it. Thus, sample data is obtained (S200).

카메라(112)에 획득된 샘플 데이타는 검사 장치 모니터링 유닛(400)의 데이타 저장부(410)으로 전달된다. 그리고 데이타 비교부(420)에서는 데이타 저장부(410)로부터 샘플 데이타를 전달받고 이를 기준 데이타와 비교한다(S300). 즉, 기준 데이타 이미지와 샘플 데이타 이미지를 상호 비교하여, 상기 샘플 데이타 이미지가 기준 데이트 이미지와 대응하는지를 판단한다. 예를 들어, 샘플 데이타 이미지가 기준 데이타 이미지에 대응하지 않으면, 즉 다르면, 검사 장치(100)의 상태를 비정상 상태로 판단한다. 그리고, 제어부에서는 비정상 상태의 신호를 전달받아, 경보를 발생시킨다. 이에, 작업자는 검사 장치(100)의 보수 작업(S410) 등의 후속 조치를 취한다.The sample data acquired by the camera 112 is transferred to the data storage unit 410 of the inspection device monitoring unit 400. The data comparison unit 420 receives sample data from the data storage unit 410 and compares the sample data with reference data (S300). That is, the reference data image and the sample data image are compared with each other to determine whether the sample data image corresponds to the reference data image. For example, if the sample data image does not correspond to the reference data image, that is, the state of the inspection apparatus 100 is determined to be abnormal. The controller receives an abnormal signal and generates an alarm. Thus, the worker takes the following measures, such as maintenance work (S410) of the inspection apparatus 100.

반대로, 샘플 데이타 이미지가 기준 데이타에 대응하면, 검사 장치(100)의 상태를 정상으로 판단한다. 그리고 제어부(430)에서는 정상 상태의 신호를 전달받아, 검사 장치(100)에 검사 대상물(T)의 검사 작업 명령을 지시한다. 이에, 도 1에 도시된 바와 같이 검사 장치(100)가 검사 영역으로 이동한다. 이때, 검사 장치(100)의 하부에 장착된 복수의 회전 부재(210)가 검사 장치 가이드 레일(220)을 따라 검사 영역으로 활주함에 따라, 검사 장치(100)가 검사 영역에 위치하게 된다. 이때, 제 2 윈도우부(124)의 상측에 검사 대상물(T)이 대응 배치되도록 한다.In contrast, if the sample data image corresponds to the reference data, the state of the inspection apparatus 100 is determined to be normal. In addition, the control unit 430 receives a signal in a normal state, and instructs the inspection apparatus 100 to inspect the inspection work command of the inspection object T. As a result, as illustrated in FIG. 1, the inspection apparatus 100 moves to the inspection region. At this time, as the plurality of rotating members 210 mounted below the inspection apparatus 100 slides along the inspection apparatus guide rail 220 to the inspection region, the inspection apparatus 100 is positioned in the inspection region. At this time, the inspection object (T) is arranged to correspond to the upper side of the second window portion (124).

검사 장치(100)가 검사 영역에 위치되면, 도 5 및 도 8에 도시된 바와 같이 샘플 이동 유닛(123)을 이용하여 샘플(S)을 제 2 영역(121b)으로 이동시킨다. 예를 들어, 동력부(123-2a)를 이용하여 구동축(123-2b)을 제 2 영역(121b)이 위치한 방향으로 수축시키면, 상기 구동축(123-2b)에 연결된 샘플(S)이 샘플 가이드 부재(123-1)를 따라 슬라이딩되어 제 2 영역(121b)으로 이동한다.When the inspection apparatus 100 is located in the inspection region, the sample S is moved to the second region 121b by using the sample movement unit 123 as shown in FIGS. 5 and 8. For example, when the driving shaft 123-2b is contracted in the direction in which the second region 121b is located by using the power unit 123-2a, the sample S connected to the driving shaft 123-2b is sample guide. It slides along the member 123-1 and moves to the second region 121b.

상기에서는 검사 장치(100)를 검사 영역으로 이동시킨 후, 샘플(S)을 제 2 영역(121b)으로 이동시키는 것을 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 샘플(S)을 제 2 영역(121b)으로 이동시킨 후 검사 장치(100)를 검사 영역으로 이동시킬 수도 있다. 또한, 검사 장치(100)를 검사 영역으로 이동시키는 작업과 샘플(S)을 제 2 영역(121b)으로 이동시키는 작업을 동시에 할 수도 있다.Although the above description has been made of moving the inspection apparatus 100 to the inspection region and then moving the sample S to the second region 121b, the present invention is not limited thereto, and the sample S is moved to the second region 121b. After the movement, the inspection apparatus 100 may be moved to the inspection region. In addition, the operation | movement which moves the inspection apparatus 100 to an inspection area, and the operation which moves the sample S to the 2nd area | region 121b can also be performed simultaneously.

샘플(S)이 제 2 영역(121b)에 위치하면, 광 조사부(122)를 이용하여 광을 조사하여, 상기 검사 대상물(T)에 대한 검사를 실시한다(S420). 이때, 샘플(S)은 제 2 영역(121b)에 위치하므로, 광 조사부(122)로부터 방출된 광은 상기 샘플(S)과 간섭되지 않고 바로 제 2 윈도우부(124)를 통해 광 조사 몸체(121) 외부로 방출된다. 그리고 광 조사 몸체(121) 외부로 방출된 광은 촬상 몸체(111)에 마련된 제 1 윈도우부(113)를 투과하여 카메라(112)로 입사된다. 카메라(112)에서는 검사 대상물(T)을 통과한 광 데이타를 전달받고, 이를 이미지화 시킨다. 이에, 검사 대상물(T)에 대한 데이타가 획득된다. 카메라(112)에 획득된 검사 대상물(T)의 데이타는 디스플레이부(500)로 전송되어, 이미지로 표시된다. 작업자는 디스플레이부(500)에 표시된 검사 대상물(T)의 이미지를 분석하여, 상기 검사 대상물(T)에 홀이 있는지 여부를 판단한다.When the sample S is located in the second region 121b, light is irradiated using the light irradiator 122 to inspect the test object T (S420). At this time, since the sample (S) is located in the second region 121b, the light emitted from the light irradiation unit 122 does not interfere with the sample (S), but directly through the second window unit 124 (the light irradiation body ( 121) It is released to the outside. The light emitted to the outside of the light irradiation body 121 passes through the first window 113 provided in the imaging body 111 and enters the camera 112. The camera 112 receives the optical data passing through the inspection object T and images it. Thus, data on the test object T is obtained. The data of the inspection object T obtained by the camera 112 is transmitted to the display unit 500 and displayed as an image. The operator analyzes an image of the inspection object T displayed on the display unit 500 to determine whether there is a hole in the inspection object T.

이와 같이 실시예에서는 샘플(S)이 검사 장치(100) 내에 설치되어 있으므로, 검사 장치(100)의 점검 시마다 샘플(S)을 검사 장치(100)로 이송시키는 번거로움을 줄일 수 있고, 점검 시간을 단축할 수 있다. 이에, 검사 장치(100)에 문제가 발생하더라도, 상기 검사 장치(100)의 보수 작업을 빠른 시간 내에 진행할 수 있으며, 상기 검사 장치(100)의 상태를 최적의 상태로 유지할 수 있다. 따라서, 검사 대상물(T)의 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있다.As described above, since the sample S is installed in the inspection apparatus 100 in this embodiment, the trouble of transferring the sample S to the inspection apparatus 100 every time the inspection apparatus 100 is inspected can be reduced, and the inspection time can be achieved. Can shorten. Thus, even if a problem occurs in the inspection apparatus 100, the maintenance work of the inspection apparatus 100 can be quickly performed, and the state of the inspection apparatus 100 can be maintained in an optimal state. Therefore, the inspection reliability of the inspection object T can be improved.

상기에서는 검사 대상물(T)로 강판을 예를 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 검사하고자 하는 다양한 대상을 검사 대상물로 취할 수 있다. 또한, 실시예에 따른 검사 설비는 검사 대상물(T)에 홀이 있는지 여부를 검사하는 것이나, 이에 한정되지 않고 검사 대상물에 대해 다양한 검사 작업을 실시하는 시스템에 적용될 수 있다.In the above, the steel sheet is described as an example of the inspection object T, but various objects to be inspected may be taken as an inspection object without being limited thereto. In addition, the inspection facility according to the embodiment is to test whether there is a hole in the inspection object (T), but is not limited to this can be applied to a system for performing a variety of inspection work on the inspection object.

이상, 본 발명에 대하여 전술한 실시예들 및 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명이 다양하게 변형 및 수정될 수 있음을 알 수 있을 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. Therefore, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be variously modified and modified without departing from the spirit of the appended claims.

100: 검사 장치 110: 촬상 모듈
112: 카메라 113: 제 1 윈도우부
120: 광 조사 모듈 T: 검사 대상물
S: 샘플 SH: 샘플 홀
121a: 제 1 영역 121b: 제 2 영역
122: 광 조사부 123: 샘플 이동 유닛
124: 제 2 윈도우부 200: 검사 장이 이동 유닛100: inspection device 110: imaging module
112: camera 113: first window portion
120: light irradiation module T: inspection object
S: Sample SH: Sample Hall
121a: first region 121b: second region
122: light irradiation unit 123: sample moving unit
124: second window portion 200: inspection field moving unit

Claims (12)

검사 대상물의 검사를 실시하는 검사 장치를 포함하고, 샘플을 이용하여 상기 검사 장치의 점검 작업이 가능한 검사 설비로서,
상기 검사 장치는 상기 검사 대상물 및 샘플을 촬상하는 촬상 모듈; 및
상기 촬상 모듈의 일측에 이격 배치되어, 상기 촬상 모듈을 향해 광을 조사하는 광 조사 모듈을 포함하고,
상기 광 조사 모듈은 내부 공간을 가지는 광 조사 몸체;
상기 광 조사 몸체 내부에 배치되어 광을 방출하는 광 조사부;
상기 광 조사 몸체 상에서 상기 광 조사부의 일측에 대응 위치하며, 상기 촬상 모듈과 마주보도록 설치된 윈도우부;
상기 광 조사 몸체 내부에서 상기 광 조사부와 윈도우부 사이에 배치되는 샘플; 및
상기 샘플을 광 조사 몸체 내에서 이동시키는 샘플 이동 유닛을 포함하는 검사 설비.An inspection apparatus including an inspection apparatus for inspecting an inspection object, and capable of inspecting the inspection apparatus using a sample,
The inspection apparatus may include an imaging module configured to capture the inspection object and the sample; And
A light irradiation module spaced apart from one side of the imaging module to irradiate light toward the imaging module,
The light irradiation module includes a light irradiation body having an internal space;
A light irradiation part disposed in the light irradiation body to emit light;
A window unit corresponding to one side of the light irradiation unit on the light irradiation body and installed to face the imaging module;
A sample disposed in the light irradiation body between the light irradiation part and the window part; And
And a sample moving unit for moving the sample within the light irradiation body. 청구항 1에 있어서,
상기 광 조사 몸체의 내부 공간은 상기 광 조사부로부터 방출된 광이 상기 윈도우부를 향해 조사되는 경로에 해당하는 제 1 영역 및 상기 제 1 영역의 이외의 영역인 제 2 영역으로 나뉘고,
상기 샘플 이동 유닛은 상기 검사 장치의 점검 작업을 위해 상기 샘플을 제 1 영역으로 이동시키고,
상기 검사 대상물의 검사 작업을 위해 상기 샘플을 제 2 영역으로 이동시키는 검사 설비.The method according to claim 1,
The inner space of the light irradiation body is divided into a first region corresponding to a path from which the light emitted from the light irradiation unit is irradiated toward the window portion and a second region which is a region other than the first region,
The sample moving unit moves the sample to the first area for the inspection operation of the inspection device,
An inspection facility for moving the sample to a second region for inspection of the inspection object. 청구항 2에 있어서,
상기 샘플 이동 유닛은 상기 제 1 영역과 제 2 영역을 연결하도록 설치되는 샘플 가이드 부재 및 상기 샘플 가이드 부재와 연결되어, 상기 샘플을 상기 샘플 가이드 부재를 따라 이동시키는 구동부를 포함하는 검사 설비.The method according to claim 2,
And the sample movement unit includes a sample guide member installed to connect the first region and the second region, and a driving part connected to the sample guide member to move the sample along the sample guide member. 청구항 1에 있어서,
상기 검사 장치로부터 샘플을 촬상한 데이타를 전달받아, 상기 샘플 데이타를 기준 데이타와 비교하여 상기 검사 장치의 상태를 모니터링하는 검사 장치 모니터링 유닛을 포함하는 검사 설비.The method according to claim 1,
And an inspection apparatus monitoring unit configured to receive data photographed from the inspection apparatus and to monitor the state of the inspection apparatus by comparing the sample data with reference data. 청구항 4에 있어서,
상기 검사 장치 모니터링 유닛은 상기 검사 장치에 점검 명령을 지시하는 점검 명령부;
상기 검사 장치로부터 샘플을 촬상한 샘플 데이타를 전달받아 저장하는 데이타 저장부;
기준 데이타가 저장되며, 상기 기준 데이타와 샘플 데이타를 비교하여, 상기 검사 장치의 상태를 판단하는 데이타 비교부;
상기 기준 데이타와 샘플 데이타의 비교 결과, 검사 장치의 상태가 정상인 경우, 상기 검사 장치에 상기 검사 대상물의 검사 작업 명령을 지시하고, 상기 검사 장치가 비정상인 경우 경보를 발생시키는 제어부를 포함하는 검사 설비.The method of claim 4,
The inspection device monitoring unit may include a check command unit for instructing a check command to the test device;
A data storage unit for receiving and storing sample data photographing a sample from the inspection apparatus;
A data comparison unit which stores reference data, and compares the reference data with sample data to determine a state of the inspection apparatus;
A inspection facility including a control unit for instructing the inspection device to inspect the inspection object of the inspection object and generating an alarm when the inspection device is abnormal as a result of the comparison between the reference data and the sample data. . 청구항 1에 있어서,
상기 검사 대상물의 검사를 실시하는 검사 영역과 상기 검사 장치의 점검을 실시하는 점검 영역이 나뉘어 있고,
상기 검사 장치를 검사 영역과 점검 영역 사이에서 이동시키는 검사 장치 이동 유닛을 포함하는 검사 설비.The method according to claim 1,
The inspection area for inspecting the inspection object and the inspection area for inspecting the inspection device are divided.
And an inspection device moving unit for moving the inspection device between the inspection area and the inspection area. 청구항 6에 있어서,
상기 검사 장치 이동 유닛은 상기 검사 영역과 점검 영역을 연결하도록 설치된 검사 장치 가이드 레일 및 상기 검사 장치에 장착되어 상기 검사 장치 가이드 레일을 따라 활주하는 회전 부재를 포함하는 검사 설비.The method of claim 6,
And the inspection device moving unit includes an inspection device guide rail installed to connect the inspection area and the inspection area, and a rotating member mounted to the inspection device and sliding along the inspection device guide rail. 내부 공간을 가지는 광 조사 몸체, 상기 광 조사 몸체 내부에 배치되어 광을 조사하는 광 조사부, 상기 광 조사 몸체 상에서 상기 광 조사부의 일측에 대응 배치되는 윈도우부를 구비하는 광 조사 모듈 및 상기 광 조사 모듈의 일측에 대향 배치되며 샘플의 촬상이 가능한 촬상 모듈을 포함하는 검사 장치를 이용한 검사 방법으로서,
상기 광 조사 몸체 내에서 상기 광 조사부로부터 방출된 광이 상기 윈도우부를 향해 조사되는 경로인 제 1 영역에 상기 샘플이 위치하도록 이동시켜, 샘플 데이타를 획득하는 과정;
상기 샘플 데이타와 기준 데이타를 비교하여, 상기 검사 장치의 상태를 판단함으로써, 상기 검사 장치를 점검하는 점검 과정;
상기 검사 장치의 상태가 정상으로 판단되면, 상기 광 조사 몸체 내에서 상기 제 1 영역의 이외의 영역인 제 2 영역에 샘플이 위치하도록 이동시켜, 상기 검사 대상물의 검사를 실시하는 과정을 포함하는 검사 방법.The light irradiation module and the light irradiation module having a light irradiation body having an internal space, a light irradiation unit disposed inside the light irradiation body for irradiating light, a window portion corresponding to one side of the light irradiation unit on the light irradiation body An inspection method using an inspection apparatus including an imaging module that is disposed opposite to one side and capable of imaging a sample,
Obtaining sample data by moving the sample to be located in a first area in which the light emitted from the light irradiation part is irradiated toward the window part in the light irradiation body;
Checking the inspection apparatus by comparing the sample data with the reference data to determine the state of the inspection apparatus;
If it is determined that the state of the inspection apparatus is normal, the inspection includes moving the sample to be located in a second region, which is a region other than the first region, in the light irradiation body to inspect the inspection object. Way. 청구항 8에 있어서,
상기 샘플 데이타를 획득하는 과정은,
상기 광 조사부로부터 방출된 광이 상기 샘플을 거쳐 상기 윈도우부로 향하도록 하는 검사 방법.The method according to claim 8,
Acquiring the sample data,
And the light emitted from the light irradiating portion is directed to the window portion through the sample. 청구항 8에 있어서,
상기 검사 대상물의 검사를 실시하는 과정은,
상기 광 조사부로부터 방출된 광이 상기 샘플과 간섭되지 않고, 상기 윈도우부를 통해 외부로 방출되도록 하는 검사 방법.The method according to claim 8,
The process of inspecting the inspection object,
And the light emitted from the light irradiating portion is emitted to the outside through the window portion without interfering with the sample. 청구항 8에 있어서,
상기 검사 대상물의 검사를 실시하는 과정은,
상기 검사 장치의 광 조사 모듈과 촬상 모듈 사이에 상기 검사 대상물이 위치하도록 하는 검사 방법.The method according to claim 8,
The process of inspecting the inspection object,
And a test object placed between the light irradiation module and the imaging module of the test device. 청구항 8에 있어서,
상기 검사 대상물의 검사를 실시하는 검사 영역과 상기 검사 장치의 점검을 실시하는 점검 영역이 나뉘어져 있고,
상기 검사 대상물은 상기 검사 영역에 위치하며,
상기 검사 대상물의 검사를 위해 상기 검사 장치를 검사 영역으로 이동시키고,
상기 검사 장치의 점검을 위해 상기 검사 장치를 점검 영역으로 이동시키는 검사 방법.The method according to claim 8,
The inspection area for inspecting the inspection object and the inspection area for inspecting the inspection device are divided,
The test object is located in the test area,
Move the inspection device to an inspection area for inspection of the inspection object;
To move the inspection apparatus to an inspection area for inspection of the inspection apparatus. method of inspection.
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