KR101245141B1 - 태양전지 제조용 패터닝 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 분리부를 형성하기 위해 박막으로부터 제거되는 박막물질을 수용하기 위한 수용홈이 형성된 패터닝부, 및 상기 패터닝부가 결합되는 지지부를 포함하는 태양전지 제조용 패터닝 장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 패터닝 공정을 수행함에 따라 발생하는 박막물질에 의해 버가 형성되는 것을 방지함으로써, 패터닝 공정에 걸리는 시간을 줄일 수 있고, 향상된 효율을 갖는 태양전지를 제조할 수 있다.

Description

태양전지 제조용 패터닝 장치{Patterning Apparatus for Manufacturing Solar Cell}
본 발명은 태양전지를 제조하기 위해 패터닝 공정을 수행하는 패터닝 장치에 관한 것이다.
태양전지는 반도체의 성질을 이용하여 빛 에너지를 전기 에너지로 변환하는 장치이다. 태양전지는 P(Positive)형 반도체와 N(Negative)형 반도체를 접합시킨 PN 접합 구조를 갖는다. 이러한 구조의 태양전지에 태양광이 입사되면, 입사된 태양광이 가지고 있는 에너지에 의해 상기 반도체 내에서 정공(Hole)과 전자(Electron)가 생성된다. 이때, PN 접합에서 발생한 전기장에 의해서 상기 정공(+)은 P형 반도체 쪽으로 이동하고 상기 전자(-)는 N형 반도체 쪽으로 이동하게 된다. 이에 따라, 전위가 발생하게 됨으로써, 태양전지는 전력을 생산할 수 있게 된다.
이와 같은 태양전지는 여러 가지 공정을 거쳐 제조되는데, 이러한 제조 공정에는 기판에 증착한 박막을 소정 패턴에 따라 패터닝(Patterning)하는 패터닝 공정이 포함된다. 상기 패터닝 공정은 패터닝 장치에 의해 수행된다.
도 1은 종래 기술에 따른 패터닝 장치의 개략도이고, 도 2는 도 1의 A 부분을 확대하여 나타낸 개념적인 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 종래 기술에 따른 패터닝 장치(100)는 기판(200)에 형성된 박막(210)에 대해 패터닝 공정을 수행하기 위한 니들(110), 및 상기 니들(110)을 이동시키기 위한 이동기구(120)를 포함한다.
상기 니들(110)은 박막(210)에 접촉된 상태에서 상기 이동기구(120)에 의해 이동된다. 이에 따라, 상기 니들(110)은 박막(210)으로부터 소정 패턴에 따라 박막물질을 제거하여 분리부(220, 도 2에 도시됨)를 형성함으로써, 패터닝 공정을 수행한다.
상기 이동기구(120)에는 상기 니들(110)이 설치된다. 상기 이동기구(120)는 상기 니들(110)에 의해 기판(200)에 형성된 박막(210)에 대한 패터닝 공정이 수행되도록 상기 니들(110)을 이동시킨다.
종래 기술에 따른 패터닝 장치(100)는 상기 이동기구(120)가 상기 니들(110)을 이동시키는 방향으로 상기 니들(110)이 박막(210)의 소정 영역을 밀어서 박막물질을 기판(200) 외부로 이동시킴으로써 패터닝 공정을 수행한다. 이러한 종래 기술에 따른 패터닝 장치(100)는 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 종래 기술에 따른 패터닝 장치(100)는 상기 니들(110)에 밀려서 이동되는 박막물질이 상기 분리부(220)의 양측에 위치된 박막(210)에 쌓여서 버(Burr)(230)를 형성하게 되는 문제가 있다. 따라서, 종래 기술에 따른 패터닝 장치(100)는 상기 버(230)를 제거하기 위한 추가 공정이 요구되거나, 상기 버(230)가 형성됨에 따라 태양전지의 효율을 저하시키는 문제가 있다.
둘째, 종래 기술에 따른 패터닝 장치(100)는 상기 니들(110)이 패터닝 공정을 수행하는 과정에서 파티클(Particle)이 발생하고, 이러한 파티클이 비산(飛散)하여 박막(210)의 다른 부분에 부착됨으로써 태양전지의 효율을 저하시키는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 패터닝 공정을 수행하는 과정에서 버가 형성되는 것을 방지할 수 있는 태양전지 제조용 패터닝 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 패터닝 공정을 수행하는 과정에서 파티클이 비산하는 것을 방지할 수 있는 태양전지 제조용 패터닝 장치를 제공하는 것이다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치는 기판에 형성된 박막을 복수개로 분리시키는 분리부를 형성하기 위해 박막에 접촉되는 패터닝부; 및 상기 패터닝부가 결합되는 지지부를 포함할 수 있다. 상기 패터닝부에는 상기 분리부를 형성하기 위해 박막으로부터 제거되는 박막물질을 수용하기 위한 수용홈이 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 패터닝 공정을 수행함에 따라 발생하는 박막물질에 의해 버가 형성되는 것을 방지함으로써, 패터닝 공정에 걸리는 시간을 줄일 수 있고, 향상된 효율을 갖는 태양전지를 제조할 수 있다.
본 발명은 패터닝 공정을 수행하는 과정에서 파티클이 발생하는 것을 줄일 수 있고, 이에 따라 파티클이 비산하여 박막의 다른 부분에 부착되는 것을 방지함으로써 향상된 효율을 갖는 태양전지를 제조할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 패터닝 장치의 개략도
도 2는 도 1의 A 부분을 확대하여 나타낸 개념적인 단면도
도 3은 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치의 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치를 이용하여 패터닝 공정이 수행된 태양전지의 일례를 나타낸 개략적인 단면도
도 5는 본 발명에 따른 패터닝부를 설명하기 위한 도 3의 I-I 선을 기준으로 한 단면도
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 패터닝부를 설명하기 위한 도 5의 B 부분에 대한 개략적인 확대도
도 8은 본 발명에 따른 패터닝부를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 제1접촉부재와 제2접촉부재를 설명하기 위한 도 8의 C 부분에 대한 개략적인 확대도
도 11은 본 발명에 따른 흡입부를 설명하기 위한 도 3의 I-I 선을 기준으로 한 단면도
도 12는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부의 개략적인 사시도
도 13은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부를 설명하기 위한 도 12의 Ⅱ-Ⅱ 선을 기준으로 한 단면도
도 14는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부에 대한 개략적인 저면도
이하에서는 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서 어떤 구조물이 다른 구조물의 "상에" 또는 "아래에" 형성된다고 기재된 경우, 이러한 기재는 이 구조물들이 서로 접촉되어 있는 경우는 물론이고 이들 구조물들 사이에 제3의 구조물이 개재되어 있는 경우까지 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
도 3은 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치의 개략적인 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치를 이용하여 패터닝 공정이 수행된 태양전지의 일례를 나타낸 개략적인 단면도, 도 5는 본 발명에 따른 패터닝부를 설명하기 위한 도 3의 I-I 선을 기준으로 한 단면도, 도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 패터닝부를 설명하기 위한 도 5의 B 부분에 대한 개략적인 확대도, 도 8은 본 발명에 따른 패터닝부를 설명하기 위한 개략적인 평면도, 도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 제1접촉부재와 제2접촉부재를 설명하기 위한 도 8의 C 부분에 대한 개략적인 확대도, 도 11은 본 발명에 따른 흡입부를 설명하기 위한 도 3의 I-I 선을 기준으로 한 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 태양전지를 제조하기 위해 패터닝 공정을 수행한다. 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 기판(200)에 형성된 박막(210, 도 4에 도시됨)에 접촉되는 패터닝부(2), 및 상기 패터닝부(2)가 결합되는 지지부(3)를 포함한다. 상기 패터닝부(2)는 상기 박막(210)의 소정 영역을 제거하여 상기 박막(210)을 복수개로 분리시키는 분리부(220, 도 4에 도시됨)를 형성함으로써, 상기 패터닝 공정을 수행한다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 패터닝부(2)에는 상기 패터닝 공정을 수행함에 따라 상기 박막(210)으로부터 제거되는 박막물질(211, 도 5에 도시됨)을 수용하기 위한 수용홈(21)이 형성된다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 패터닝부(2)가 상기 박막(210)의 소정 영역을 제거함에 따라 발생하는 박막물질(211)을 상기 수용홈(21)에 수용할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 박막물질(211)이 상기 분리부(220)의 양측에 위치된 박막(210)에 쌓여서 버(Burr)(230, 도 2에 도시됨)가 형성되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 버(230, 도 2에 도시됨)를 제거하기 위한 추가 공정을 생략할 수 있으므로, 종래 기술과 비교할 때 패터닝 공정에 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 버(230, 도 2에 도시됨)가 형성되는 것을 방지함으로써, 향상된 효율을 갖는 태양전지를 제조할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 패터닝부(2)가 상기 패터닝 공정을 수행하는 과정에서 발생하는 박막물질(211)을 상기 수용홈(21)에 수용함으로써, 상기 박막물질(211)로부터 파티클(Particle)이 발생하는 것을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 파티클이 비산(飛散)하여 상기 박막(210)의 다른 부분에 부착되는 것을 방지함으로써, 향상된 효율을 갖는 태양전지를 제조할 수 있다.
이하에서는 상기 패터닝부(2) 및 상기 지지부(3)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 상기 패터닝부(2)는 상기 분리부(220)를 형성하기 위해 상기 기판(200)에 형성된 박막(210)에 접촉된다. 상기 기판(200) 상에는 전극층(240), 광흡수층(250), 버퍼층(260) 및 윈도우층(270)이 순차적으로 적층되어 형성될 수 있다. 상기 패터닝부(2)는 상기 전극층(240), 상기 광흡수층(250), 상기 버퍼층(260) 및 상기 윈도우층(270) 중에서 적어도 하나가 포함된 박막(210)의 소정 영역을 제거함으로써 상기 패터닝 공정을 수행할 수 있다.
상기 분리부(220)는 상기 전극층(240)을 복수개로 분리시키는 제1분리부(221), 상기 광흡수층(250)과 상기 버퍼층(260)을 복수개로 분리시키는 제2분리부(222), 및 상기 광흡수층(250), 상기 버퍼층(260), 및 상기 윈도우층(270)을 복수개로 분리시키는 제3분리부(223)를 포함할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제3분리부(223)는 상기 윈도우층(270)만을 복수개로 분리시키도록 형성될 수도 있다. 상기 분리부(220)에 의해, 상기 기판(200)에는 직렬 접속된 복수개의 태양전지 셀이 형성되게 된다.
본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 기판(200) 상에 상기 전극층(240)이 형성되면, 상기 전극층(240)이 포함된 박막(210)의 소정 영역을 제거하기 위한 제1패터닝 공정을 수행하는데 이용될 수 있다. 이러한 제1패터닝 공정에 의해, 상기 전극층(240)은 상기 제1분리부(221)를 사이에 두고 복수개로 분리될 수 있다. 이 경우, 상기 패터닝부(2)는 상기 제1분리부(221)를 형성하기 위해 상기 전극층(240)이 포함된 박막(210)에 접촉된다.
상기 제1패터닝 공정이 완료되면, 상기 기판(200) 상에는 상기 광흡수층(250)과 상기 버퍼층(260)이 형성된다. 상기 광흡수층(250)은 상기 제1분리부(221)와 상기 전극층(240) 상에 형성된다. 상기 광흡수층(250)은 구리(Cu), 인듐(In), 갈륨(Ga), 셀레늄(Se)을 이용하여 형성될 수 있다. 상기 광흡수층(250)은 구리(Cu), 인듐(In), 갈륨(Ga), 셀레늄(Se), 황(S)을 이용하여 형성될 수도 있다. 상기 버퍼층(260)은 상기 광흡수층(250) 상에 형성된다. 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 기판(200) 상에 상기 광흡수층(250)과 상기 버퍼층(260)이 형성되면, 상기 광흡수층(250)과 상기 버퍼층(260)이 포함된 박막(210)의 소정 영역을 제거하기 위한 제2패터닝 공정을 수행하는데 이용될 수 있다. 이러한 제2패터닝 공정에 의해, 상기 광흡수층(250)과 상기 버퍼층(260)은 상기 제2분리부(222)를 사이에 두고 복수개로 분리될 수 있다. 이 경우, 상기 패터닝부(2)는 상기 제2분리부(222)를 형성하기 위해 상기 광흡수층(250)과 상기 버퍼층(260)이 포함된 박막(210)에 접촉된다.
상기 제2패터닝 공정이 완료되면, 상기 기판(200) 상에는 상기 윈도우층(270)이 형성된다. 상기 윈도우층(270)은 상기 제2분리부(222)와 상기 버퍼층(260) 상에 형성된다. 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 기판(200) 상에 상기 윈도우층(270)이 형성되면, 상기 윈도우층(270)이 포함된 박막(210)의 소정 영역을 제거하기 위한 제3패터닝 공정을 수행하는데 이용될 수 있다. 이러한 제3패터닝 공정에 의해, 상기 윈도우층(270)은 상기 제3분리부(223)를 사이에 두고 복수개로 분리될 수 있다. 이 경우, 상기 패터닝부(2)는 상기 제3분리부(223)를 형성하기 위해 상기 윈도우층(270)이 포함된 박막(210)에 접촉된다. 상기 제3패터닝 공정은, 상기 윈도우층(270), 상기 광흡수층(260), 및 상기 버퍼층(260)이 포함된 박막(210)의 소정 영역을 제거함으로써 이루어질 수도 있다. 이 경우, 상기 패터닝부(2)는 상기 제3분리부(223)를 형성하기 위해 상기 윈도우층(270), 상기 광흡수층(260), 및 상기 버퍼층(260)이 포함된 박막(210)에 접촉된다. 상기 제1분리부(221), 상기 제2분리부(222), 및 상기 제3분리부(230)는 서로 소정 거리 이격된 위치에 위치되게 형성될 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 패터닝부(2)에는 상기 수용홈(21)이 형성된다. 상기 패터닝부(2)가 상기 박막(210)에 접촉된 상태에서 상기 패터닝부(2)와 상기 기판(200) 중에서 적어도 하나가 이동함에 따라, 상기 수용홈(21)에는 상기 박막(210)으로부터 제거된 박막물질(211, 도 5에 도시됨)이 수용된다. 상기 박막물질(211)은 상기 분리부(220)가 형성됨에 따라 상기 분리부(220)의 크기에 상응하는 양으로 상기 수용홈(21)에 수용될 수 있다.
상기 수용홈(21)은 전체적으로 장방체 형태로 형성될 수 있다. 상기 패터닝부(2)는 상기 수용홈(21)에 의해 전체적으로 디귿자 형태로 형성될 수 있다. 즉, 상기 패터닝부(2)는 상기 수용홈(21)을 기준으로 양측이 막힌 구조로 형성된다. 이에 따라, 상기 패터닝부(2)는 상기 박막물질(211)이 상기 수용홈(21) 양측으로 이동하는 것을 차단함으로써, 상기 분리부(220)의 양측에 위치된 박막(210)에 버(230, 도 2에 도시됨)가 형성되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 패터닝부(2)는 상기 박막물질(211)로부터 발생한 파티클이 상기 수용홈(21) 양측으로 비산하는 것을 차단함으로써, 파티클이 비산하여 상기 박막(210)의 다른 부분에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 향상된 효율을 갖는 태양전지를 제조할 수 있다.
도 5를 참고하면, 상기 패터닝부(2)는 상기 분리부(220)를 형성하기 위해 박막(210)에 접촉되는 가공부재(22)를 포함한다. 도 5를 기준으로 할 때, 상기 가공부재(22)는 상기 패터닝부(2)의 밑면을 이루도록 형성된다. 상기 패터닝부(2)는 상기 수용홈(21)을 기준으로 상기 가공부재(22) 반대편이 개방되게 형성된다. 이에 따라, 상기 수용홈(21)에는 상기 패터닝 공정이 수행됨에 따라 상기 박막(210)으로부터 제거되는 박막물질(211)이 수용될 수 있다. 상기 가공부재(22)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있다.
도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 가공부재(22)는 상기 분리부(220)가 형성되는 진행방향(D 화살표 방향)으로 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 분리부(220)가 형성되는 진행방향(D 화살표 방향)은, 상기 패터닝부(2)가 이동함에 따라 상기 분리부(220)가 형성되는 경우 상기 패터닝부(2)가 이동하는 방향과 동일한 방향이다. 상기 분리부(220)가 형성되는 진행방향(D 화살표 방향)은, 상기 기판(200)이 이동함에 따라 상기 분리부(220)가 형성되는 경우 상기 기판(200)이 이동하는 방향에 대해 반대되는 방향이다. 상기 분리부(220)가 형성되는 진행방향(D 화살표 방향)은, 상기 패터닝부(2)와 상기 기판(200)이 모두 이동함에 따라 상기 분리부(220)가 형성되는 경우 상기 패터닝부(2)가 이동하는 방향과 동일한 방향이다.
상기 가공부재(22)가 상기 진행방향(D 화살표 방향)으로 크기가 감소되게 형성됨에 따라, 상기 패터닝부(2)는 밑면을 기준으로 소정 각도로 경사지게 형성된 가공부재(22)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패터닝 장치(1)는 상기 분리부(220)를 형성하는 과정에서 상기 가공부재(22)와 상기 박막(210) 간의 마찰에 의해 발생하는 마찰력을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 가공부재(22)와 상기 박막(210) 간에 발생하는 마찰력에 의해 상기 패터닝부(2)가 임의로 이동하는 것을 방지함으로써, 상기 패터닝부(2)의 위치를 용이하면서도 정확하게 제어할 수 있다.
도 6을 참고하면, 상기 가공부재(22)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 상기 수용홈(21)의 크기가 커지도록 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 즉, 상기 가공부재(22)는 상기 수용홈(21)을 향하는 일면(22a)이 경사지게 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 박막물질(211)이 상기 수용홈(21)으로 이동하기 위한 입구 면적을 늘림으로써, 상기 박막물질(211)이 상기 수용홈(21)으로 용이하게 이동하여 상기 수용홈(21)에 수용되도록 할 수 있다. 상기 가공부재(22)의 일면(22a)은 상기 일면(22a)에 대해 반대되는 타면(22b) 쪽으로 경사지게 형성될 수 있다. 상기 가공부재(22)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 크기가 감소되어 끝단이 에지(Edge) 형태를 이루도록 형성될 수 있다.
도 7을 참고하면, 상기 가공부재(22)는 상기 타면(22b)이 경사지게 형성될 수도 있다. 상기 가공부재(22)의 타면(22b)은, 상기 진행방향(D 화살표 방향)으로 상기 가공부재(22)의 크기가 감소되도록 상기 일면(22a) 쪽으로 경사지게 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 가공부재(22)의 타면(22b)이 상기 기판(200) 또는 다른 박막(210)에 지지됨으로써, 상기 패터닝부(2)의 위치를 용이하면서도 정확하게 제어할 수 있다. 상기 가공부재(22)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 크기가 감소되어 끝단이 에지 형태를 이루도록 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 가공부재(22)는 상기 일면(22a)과 상기 타면(22b) 모두가 서로 가까워지는 방향으로 경사지게 형성될 수도 있다.
도 7 내지 도 10을 참고하면, 상기 패터닝부(2)는 상기 수용홈(21)의 일측에 형성된 제1접촉부재(23), 및 상기 수용홈(21)의 타측에 형성된 제2접촉부재(24)를 포함한다. 상기 가공부재(22, 도 7에 도시됨)는 상기 제1접촉부재(23)와 상기 제2접촉부재(24) 각각에 연결되게 형성된다.
상기 제1접촉부재(23)는 상기 분리부(220, 도 7에 도시됨)를 형성하기 위해 박막(210)에 접촉된다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 제1접촉부재(23)는 상기 수용홈(21)의 일측에 위치한 측벽을 이루도록 형성된다. 이에 따라, 상기 제1접촉부재(23)는 상기 박막물질(211)이 상기 수용홈(21)의 일측으로 이동하는 것을 차단함으로써, 상기 분리부(220, 도 7에 도시됨)를 형성하기 위한 진행경로(220')의 일측에 위치된 박막(210a)에 버(230, 도 2에 도시됨)가 형성되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제1접촉부재(23)는 상기 박막물질(211)로부터 발생한 파티클이 상기 수용홈(21)의 일측으로 비산하는 것을 차단함으로써, 파티클이 비산하여 상기 박막(210)의 다른 부분에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제1접촉부재(23)는 상기 가공부재(22)에 대해 수직한 방향을 향하는 사각판형으로 형성될 수 있다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 상기 제1접촉부재(23)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)으로 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 제1접촉부재(23)가 상기 진행방향(D 화살표 방향)으로 크기가 감소되게 형성됨에 따라, 상기 패터닝부(2)는 일측에 위치한 측벽을 기준으로 소정 각도로 경사지게 형성된 제1접촉부재(23)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패터닝 장치(1)는 상기 분리부(220, 도 7에 도시됨)를 형성하는 과정에서 상기 제1접촉부재(23)와 상기 박막(210) 간의 마찰에 의해 발생하는 마찰력을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 제1접촉부재(23)와 상기 박막(210) 간에 발생하는 마찰력에 의해 상기 패터닝부(2)가 임의로 이동하는 것을 방지함으로써, 상기 패터닝부(2)의 위치를 용이하면서도 정확하게 제어할 수 있다.
도 9를 참고하면, 상기 제1접촉부재(23)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 상기 제2접촉부재(24)와의 간격이 벌어지도록 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1접촉부재(23)는 상기 수용홈(21)을 향하는 일면(23a)이 경사지게 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 박막물질(211)이 상기 수용홈(21)으로 이동하기 위한 입구 면적을 늘림으로써, 상기 박막물질(211)이 상기 수용홈(21)으로 용이하게 이동하여 상기 수용홈(21)에 수용되도록 할 수 있다. 상기 제1접촉부재(23)의 일면(23a)은 상기 일면(23a)에 대해 반대되는 타면(23b) 쪽으로 경사지게 형성될 수 있다. 상기 제1접촉부재(23)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 크기가 감소되어 끝단이 에지 형태를 이루도록 형성될 수 있다.
도 10을 참고하면, 상기 제1접촉부재(23)는 상기 타면(23b)이 경사지게 형성될 수도 있다. 상기 제1접촉부재(23)의 타면(23b)은, 상기 진행방향(D 화살표 방향)으로 상기 제1접촉부재(23)의 크기가 감소되도록 상기 일면(23a) 쪽으로 경사지게 형성될 수 있다. 상기 제1접촉부재(23)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 크기가 감소되어 끝단이 에지 형태를 이루도록 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1접촉부재(23)는 상기 일면(23a)과 상기 타면(23b) 모두가 서로 가까워지는 방향으로 경사지게 형성될 수도 있다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 상기 제2접촉부재(24)는 상기 분리부(220, 도 7에 도시됨)를 형성하기 위해 박막(210)에 접촉된다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 제2접촉부재(24)는 상기 수용홈(21)의 타측에 위치한 측벽을 이루도록 형성된다. 이에 따라, 상기 제2접촉부재(24)는 상기 박막물질(211)이 상기 수용홈(21)의 타측으로 이동하는 것을 차단함으로써, 상기 분리부(220, 도 7에 도시됨)를 형성하기 위한 진행경로(220')의 타측에 위치된 박막(210b)에 버(230, 도 2에 도시됨)가 형성되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제2접촉부재(24)는 상기 박막물질(211)로부터 발생한 파티클이 상기 수용홈(21)의 타측으로 비산하는 것을 차단함으로써, 파티클이 비산하여 상기 박막(210)의 다른 부분에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2접촉부재(24)는 상기 가공부재(22)에 대해 수직한 방향을 향하는 사각판형으로 형성될 수 있다.
도 8 및 도 9를 참고하면, 상기 제2접촉부재(24)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)으로 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 제2접촉부재(24)가 상기 진행방향(D 화살표 방향)으로 크기가 감소되게 형성됨에 따라, 상기 패터닝부(2)는 타측에 위치한 측벽을 기준으로 소정 각도로 경사지게 형성된 제2접촉부재(24)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패터닝 장치(1)는 상기 분리부(220, 도 7에 도시됨)를 형성하는 과정에서 상기 제2접촉부재(24)와 상기 박막(210) 간의 마찰에 의해 발생하는 마찰력을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 제2접촉부재(24)와 상기 박막(210) 간에 발생하는 마찰력에 의해 상기 패터닝부(2)가 임의로 이동하는 것을 방지함으로써, 상기 패터닝부(2)의 위치를 용이하면서도 정확하게 제어할 수 있다.
도 9를 참고하면, 상기 제2접촉부재(24)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 상기 제1접촉부재(23)와의 간격이 벌어지도록 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 즉, 상기 제2접촉부재(24)는 상기 수용홈(21)을 향하는 일면(24a)이 경사지게 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 박막물질(211)이 상기 수용홈(21)으로 이동하기 위한 입구 면적을 늘림으로써, 상기 박막물질(211)이 상기 수용홈(21)으로 용이하게 이동하여 상기 수용홈(21)에 수용되도록 할 수 있다. 상기 제2접촉부재(24)의 일면(24a)은 상기 일면(24a)에 대해 반대되는 타면(24b) 쪽으로 경사지게 형성될 수 있다. 상기 제2접촉부재(24)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 크기가 감소되어 끝단이 에지 형태를 이루도록 형성될 수 있다.
도 10을 참고하면, 상기 제2접촉부재(24)는 상기 타면(24b)이 경사지게 형성될 수도 있다. 상기 제2접촉부재(24)의 타면(24b)은, 상기 진행방향(D 화살표 방향)으로 상기 제2접촉부재(24)의 크기가 감소되도록 상기 일면(24a) 쪽으로 경사지게 형성될 수 있다. 상기 제2접촉부재(24)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 크기가 감소되어 끝단이 에지 형태를 이루도록 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2접촉부재(24)는 상기 일면(24a)과 상기 타면(24b) 모두가 서로 가까워지는 방향으로 경사지게 형성될 수도 있다.
도 3을 참고하면, 상기 지지부(3)에는 상기 패터닝부(2)가 결합된다. 상기 지지부(3)는 본체(1a)에 설치된 프레임(1b)에 결합될 수 있다. 상기 프레임(1b)은 상기 패터닝부(2)가 상기 기판(200) 상측에 위치될 수 있도록 상기 본체(1a)로부터 상측 방향으로 일정 길이 연장되어 형성될 수 있다. 상기 지지부(3)는 상기 패터닝부(2)가 기판(200)에 대해 소정 각도로 기울어진 상태로 상기 박막(210)에 접촉되도록 상기 프레임(1b)에 소정 각도로 기울어져 설치될 수 있다. 상기 지지부(3)는 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 패터닝부(2)가 결합될 수 있고 상기 프레임(1b)에 설치될 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 패터닝부(2)와 상기 지지부(3)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 프레임(1b)에는 상기 지지부(3)들이 서로 소정 간격으로 이격되게 설치될 수 있다.
도 11을 참고하면, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 분리부(220)를 형성하기 위해 상기 박막(210)으로부터 제거되는 박막물질(211)을 흡입하기 위한 흡입부(4)를 포함할 수 있다.
상기 흡입부(4)는 상기 수용홈(21)에 수용된 박막물질(211)을 흡입함으로써, 상기 수용홈(21)으로부터 상기 박막물질(211)을 제거할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 수용홈(21)에 지속적으로 박막물질(211)이 수용되도록 할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 1차적으로 상기 박막물질(211)을 상기 수용홈(21)에 모은 후에, 2차적으로 상기 흡입부(4)를 통해 상기 박막물질(211)을 외부로 배출할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 상기 분리부(220)의 양측에 위치된 박막(210)에 버(230, 도 2에 도시됨)가 형성되는 것을 방지하는 기능 및 파티클이 상기 수용홈(21) 양측으로 비산하는 것을 차단하는 기능을 더 강화할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 향상된 효율을 갖는 태양전지를 제조할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 흡입부(4)는 상기 박막물질(211)을 외부로 배출하기 위한 배출기구에 연결될 수 있다.
도 11을 참고하면, 상기 흡입부(4)는 일측이 상기 수용홈(21)을 향하도록 설치된 흡입부재(41)를 포함할 수 있다.
상기 흡입부재(41)는 상기 수용홈(21)으로부터 흡입된 박막물질(211)이 이동하기 위한 흡입공(411)을 포함한다. 상기 흡입공(411)은 상기 흡입부재(41)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 흡입부재(41)는 상기 흡입공(411)이 상기 수용홈(21)에 연결되도록 설치될 수 있다. 예컨대, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 흡입부재(41)는 상기 흡입공(411)의 일단이 상기 수용홈(21)에 연결되도록 상기 패터닝부(2)의 상측에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 흡입부재(41)는 상기 흡입공(411)의 일단이 상기 패터닝부(2)의 일단과 타단 사이(2L)에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 패터닝부(2)의 일단은 상기 박막(210)에 접촉되는 부분이고, 상기 패터닝부(2)의 타단은 상기 지지부(3)에 결합되는 부분이다. 상기 흡입부재(41)는 전체적으로 중공(Hollowness)의 원통 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 수용홈(21)으로부터 박막물질(211)을 흡입할 수 있는 형태이면 중공의 직방체 형태 등 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 흡입부재(42)는 상기 패터닝부(2), 상기 지지부(3), 상기 본체(1a), 및 상기 프레임(1b) 중에서 어느 하나에 설치될 수 있다.
도 3 및 도 11을 참고하면, 상기 흡입부(4)는 상기 박막물질(211)이 상기 수용홈(21)에서 상기 흡입부재(41)로 이동하도록 흡입력을 제공하는 흡입기구(42)를 포함할 수 있다.
상기 흡입기구(42)는 상기 흡입공(411)에 연결되도록 상기 흡입부재(41)의 타측에 설치된다. 상기 흡입기구(42)는 흡입력을 발생시킴으로써, 상기 수용홈(21)에 수용된 박막물질(211)을 상기 흡입부재(41)로 이동시킬 수 있다. 상기 흡입기구(42)는 상기 박막물질(211)을 외부로 배출하기 위한 배출기구(미도시)에 연결될 수 있다. 이 경우, 상기 흡입기구(42)는 상기 수용홈(21)에 수용된 박막물질(211)을 상기 흡입부재(41)를 거쳐 상기 배출기구로 이동시킬 수 있다. 상기 흡입기구(42)는 상기 본체(1a) 또는 상기 프레임(1b)에 설치될 수 있다.
도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 태양전지 제조용 패터닝 장치(1)는 기판(200)을 지지하기 위한 스테이지부(5) 및 상기 스테이지부(5)와 상기 지지부(3) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 이송부(6)를 포함할 수 있다.
상기 스테이지부(5)에는 상기 기판(200)이 지지된다. 상기 스테이지부(5)는 상기 기판(200)을 기준으로 상기 패터닝부(2)의 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 스테이지부(5)는 상기 본체(1a)에 설치될 수 있다. 상기 스테이지부(5)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 기판(200)을 지지할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 이송부(6)는 상기 스테이지부(5)를 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)은, 상기 분리부(220, 도 4에 도시됨)가 형성되는 진행방향(D 화살표 방향, 도 4에 도시됨)에 평행한 방향일 수 있다. 상기 스테이지부(5)가 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동함에 따라, 상기 스테이지부(5)에 지지된 기판(200)은 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동하면서 상기 패터닝부(2)를 통과하게 된다. 이에 따라, 상기 박막(210)에 대한 패터닝 공정이 수행될 수 있다. 이 경우, 상기 스테이지부(5)는 상기 본체(1a)에 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.
상기 이송부(6)는 상기 지지부(3)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킬 수도 있다. 상기 지지부(3)가 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동함에 따라, 상기 패터닝부(2)는 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동하면서 상기 기판(200)에 형성된 박막(210)을 통과하게 된다. 이에 따라, 상기 박막(210)에 대한 패터닝 공정이 수행될 수 있다. 상기 이송부(6)는 상기 프레임(1b)을 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킴으로써, 상기 지지부(3)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킬 수도 있다. 이 경우, 상기 프레임(1b)은 상기 본체(1a)에 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상기 프레임(1b)에는 상기 지지부(3)가 복수개 설치될 수도 있다. 이 경우, 상기 프레임(1b)에는 상기 지지부(3)들이 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 수직한 제2축방향(Y축 방향)으로 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다.
상기 이송부(6)는 상기 스테이지부(5)와 상기 지지부(3)를 모두 이동시킬 수도 있다. 상기 이송부(6)가 상기 스테이지부(5)와 상기 지지부(3)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킴에 따라, 상기 패터닝부(2)는 상기 박막(210)에 대한 패터닝 공정을 수행할 수 있다. 이 경우, 상기 이송부(6)는 상기 스테이지부(5)와 상기 지지부(3)를 서로 반대되는 방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 이송부(6)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 또는 리니어모터(Linear Motor)를 이용한 방식 등으로 상기 스테이지부(5)와 상기 이송부(6) 중에서 적어도 하나를 이동시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 12는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부의 개략적인 사시도, 도 13은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부를 설명하기 위한 도 12의 Ⅱ-Ⅱ 선을 기준으로 한 단면도, 도 14는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부에 대한 개략적인 저면도이다.
도 3, 도 12 내지 도 14를 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부(2)는 상기 수용홈(21)이 형성된 제1몸체(2a), 및 상기 제1몸체(2a)와 상기 지지부(3, 도 3에 도시됨) 각각에 연결되게 형성된 제2몸체(2b)를 포함한다.
상기 제1몸체(2a)에는 상기 가공부재(22), 상기 제1접촉부재(23), 및 상기 제2접촉부재(24)가 형성될 수 있다. 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 가공부재(22)는 상기 분리부(220)가 형성되는 진행방향(D 화살표 방향)으로 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 가공부재(22)는 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 크기가 감소되어 끝단이 에지 형태를 이루도록 형성될 수 있다. 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 제1접촉부재(23)와 상기 제2접촉부재(24)는 각각 상기 진행방향(D 화살표 방향)으로 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 제1접촉부재(23)와 상기 제2접촉부재(24)는 각각 상기 진행방향(D 화살표 방향)을 향할수록 크기가 감소되어 끝단이 에지 형태를 이루도록 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부(2)는 상기 가공부재(22), 상기 제1접촉부재(22) 및 상기 제2접촉부재(23)와, 상기 박막(210, 도 13에 도시됨) 간에 발생하는 마찰력을 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부(2)는 상기 분리부(220, 도 13에 도시됨)를 형성하기 위한 위치가 용이하면서도 정확하게 제어될 수 있다.
도 3, 도 12 내지 도 14를 참고하면, 상기 제2몸체(2b)는 상기 제1몸체(2a)와 상기 지지부(3, 도 3에 도시됨)를 연결한다. 상기 제2몸체(2b)는 상기 흡입부재(41)가 설치되기 위한 설치홈(2c)을 포함한다. 상기 흡입부재(41)는 일측이 상기 수용홈(21)을 향하도록 상기 설치홈(2c)에 위치되게 상기 제2몸체(2b) 내부에 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부(2)는 상술한 실시예와 비교할 때, 상기 흡입부재(41)를 설치하기 위한 공간을 절약함으로써, 패터닝 공정을 수행하기 위한 충분한 작업공간을 확보할 수 있다. 상기 흡입부재(41)는 상기 흡입공(411)의 일단이 상기 수용홈(21)에 접하거나 상기 수용홈(21)으로부터 소정 거리 이격되도록 상기 제2몸체(2b) 내부에 설치될 수 있다. 상기 흡입부재(41)는 상기 흡입공(411)의 일단이 상기 수용홈(21)에 삽입되도록 상기 제2몸체(2b) 내부에 설치될 수도 있다. 도시되지 않았지만, 상기 흡입부재(41)는 상기 지지부(3, 도 3에 도시됨) 내부를 통과하여 상기 흡입기구(42)에 연결되게 설치될 수 있다.
상기 제2몸체(2b)는 상기 제1몸체(2a)를 기준으로 상기 진행방향(D 화살표 방향) 쪽에 위치되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 패터닝부(2)는 상기 진행방향(D 화살표 방향) 쪽으로 당겨져서 이동됨으로써, 상기 박막(210)에 대한 패터닝 공정을 수행할 수 있다. 상기 제1몸체(2a)는 상기 기판(200)에 대해 수직한 수직방향으로 형성될 수 있다. 상기 제2몸체(2b)는 상기 제1몸체(2a)에 대해 소정 각도로 기울어지게 상기 제1몸체(2a)에 결합될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 게 있어 명백할 것이다.
1 : 패터닝 장치 2 : 패터닝부 3 : 지지부 4 : 흡입부
5 : 스테이지부 6 : 이송부 21 : 수용홈 22 : 가공부재
23 : 제1접촉부재 24 : 제2접촉부재 41 : 흡입부재 42 : 흡입기구
200 : 기판 210 : 박막 211 : 박막물질 220 : 분리부

Claims (15)

  1. 기판에 형성된 박막을 복수개로 분리시키는 분리부를 형성하기 위해 박막에 접촉되는 패터닝부;
    상기 패터닝부가 결합되는 지지부; 및
    상기 분리부를 형성하기 위해 박막으로부터 제거되는 박막물질을 흡입하기 위한 흡입부를 포함하고,
    상기 패터닝부는 상기 분리부를 형성하기 위해 박막으로부터 제거되는 박막물질을 수용하기 위한 수용홈을 포함하며,
    상기 흡입부는 일측이 상기 수용홈을 향하도록 설치된 흡입부재를 포함하고,
    상기 흡입부재는 상기 수용홈으로부터 흡입된 박막물질이 이동하기 위한 흡입공을 포함하되, 상기 흡입공이 상기 수용홈에 연결되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 패터닝부는 상기 수용홈에 의해 디귿자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 패터닝부는
    상기 수용홈의 일측에 형성된 제1접촉부재,
    상기 수용홈의 타측에 형성된 제2접촉부재, 및
    상기 제1접촉부재와 상기 제2접촉부재 각각에 연결되게 형성된 가공부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 패터닝부는 상기 수용홈을 기준으로 상기 가공부재 반대편이 개방되게 형성된 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 패터닝부는 상기 수용홈의 일측에 형성된 제1접촉부재, 및 상기 수용홈의 타측에 형성된 제2접촉부재를 포함하고;
    상기 제1접촉부재는 상기 분리부가 형성되는 진행방향으로 크기가 감소되게 형성되고;
    상기 제2접촉부재는 상기 분리부가 형성되는 진행방향으로 크기가 감소되게 형성된 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1접촉부재와 상기 제2접촉부재는 상기 분리부가 형성되는 진행방향을 향할수록 서로 간의 간격이 벌어지도록 크기가 감소되게 형성된 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제1접촉부재는 상기 제2접촉부재를 향하는 일면에 대해 반대되는 타면이 경사지게 형성되고,
    상기 제2접촉부재는 상기 제1접촉부재를 향하는 일면에 대해 반대되는 타면이 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 패터닝부는 상기 분리부를 형성하기 위해 박막에 접촉되는 가공부재를 포함하고,
    상기 가공부재는 상기 분리부가 형성되는 진행방향으로 크기가 감소되게 형성된 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 가공부재는 상기 분리부가 형성되는 진행방향을 향할수록 상기 수용홈의 크기가 커지도록 크기가 감소되게 형성된 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 가공부재는 상기 수용홈을 향하는 일면에 대해 반대되는 타면이 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 제1항에 있어서,
    상기 흡입부는 박막물질이 상기 수용홈에서 상기 흡입공으로 이동하도록 흡입력을 제공하는 흡입기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 패터닝부는 상기 수용홈이 형성된 제1몸체, 및 상기 제1몸체와 상기 지지부 각각에 연결되게 형성된 제2몸체를 포함하고;
    상기 흡입부재는 상기 제2몸체에 설치되며;
    상기 제2몸체에는 상기 흡입부재가 설치되기 위한 설치홈이 형성된 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
  15. 제1항에 있어서,
    기판을 지지하기 위한 스테이지부; 및
    상기 분리부를 형성하기 위해 상기 스테이지부와 상기 지지부 중에서 적어도 하나를 이동시키는 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 패터닝 장치.
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