KR101237052B1 - Graphene cell stimulator and preparing method thereof - Google Patents

Graphene cell stimulator and preparing method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR101237052B1
KR101237052B1 KR1020100054454A KR20100054454A KR101237052B1 KR 101237052 B1 KR101237052 B1 KR 101237052B1 KR 1020100054454 A KR1020100054454 A KR 1020100054454A KR 20100054454 A KR20100054454 A KR 20100054454A KR 101237052 B1 KR101237052 B1 KR 101237052B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
stimulator
cell
cell unit
graphene
transparent flexible
Prior art date
Application number
KR1020100054454A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20110134720A (en
Inventor
서민아
허채정
이영희
이시영
Original Assignee
성균관대학교산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 성균관대학교산학협력단 filed Critical 성균관대학교산학협력단
Priority to KR1020100054454A priority Critical patent/KR101237052B1/en
Publication of KR20110134720A publication Critical patent/KR20110134720A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101237052B1 publication Critical patent/KR101237052B1/en

Links

Images

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/18—Applying electric currents by contact electrodes
    • A61N1/32—Applying electric currents by contact electrodes alternating or intermittent currents
    • A61N1/36—Applying electric currents by contact electrodes alternating or intermittent currents for stimulation
    • A61N1/3605—Implantable neurostimulators for stimulating central or peripheral nerve system
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/02—Details
    • A61N1/04—Electrodes
    • A61N1/05—Electrodes for implantation or insertion into the body, e.g. heart electrode
    • A61N1/0526—Head electrodes
    • A61N1/0529—Electrodes for brain stimulation
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/18—Applying electric currents by contact electrodes
    • A61N1/32—Applying electric currents by contact electrodes alternating or intermittent currents
    • A61N1/36—Applying electric currents by contact electrodes alternating or intermittent currents for stimulation
    • A61N1/3605—Implantable neurostimulators for stimulating central or peripheral nerve system
    • A61N1/36125—Details of circuitry or electric components
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N1/00—Electrotherapy; Circuits therefor
    • A61N1/18—Applying electric currents by contact electrodes
    • A61N1/32—Applying electric currents by contact electrodes alternating or intermittent currents
    • A61N1/36—Applying electric currents by contact electrodes alternating or intermittent currents for stimulation
    • A61N1/372—Arrangements in connection with the implantation of stimulators
    • A61N1/37205—Microstimulators, e.g. implantable through a cannula
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N2/00—Magnetotherapy
    • A61N2/004—Magnetotherapy specially adapted for a specific therapy
    • A61N2/006—Magnetotherapy specially adapted for a specific therapy for magnetic stimulation of nerve tissue
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12M—APPARATUS FOR ENZYMOLOGY OR MICROBIOLOGY; APPARATUS FOR CULTURING MICROORGANISMS FOR PRODUCING BIOMASS, FOR GROWING CELLS OR FOR OBTAINING FERMENTATION OR METABOLIC PRODUCTS, i.e. BIOREACTORS OR FERMENTERS
    • C12M35/00—Means for application of stress for stimulating the growth of microorganisms or the generation of fermentation or metabolic products; Means for electroporation or cell fusion
    • C12M35/02—Electrical or electromagnetic means, e.g. for electroporation or for cell fusion
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12M—APPARATUS FOR ENZYMOLOGY OR MICROBIOLOGY; APPARATUS FOR CULTURING MICROORGANISMS FOR PRODUCING BIOMASS, FOR GROWING CELLS OR FOR OBTAINING FERMENTATION OR METABOLIC PRODUCTS, i.e. BIOREACTORS OR FERMENTERS
    • C12M35/00—Means for application of stress for stimulating the growth of microorganisms or the generation of fermentation or metabolic products; Means for electroporation or cell fusion
    • C12M35/06—Magnetic means
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
    • A61B2562/12—Manufacturing methods specially adapted for producing sensors for in-vivo measurements
    • A61B2562/125—Manufacturing methods specially adapted for producing sensors for in-vivo measurements characterised by the manufacture of electrodes

Abstract

본 발명은 그라핀(graphene)이 두 개의 투명한 가요성 폴리머(polymer) 기판 사이에 설치된 양극, 및 그라핀이 두 개의 투명한 가요성 폴리머(polymer) 기판 사이에 설치된 음극을 포함하는 세포 단위 자극기; 및 이의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 세포 자극기는 무독성, 유연성, 투명성을 갖춘 박막형태의 자극기로서, 생체에 밀착력이 좋고, 자극을 가함과 동시에 관찰이 가능하다. 또한, 크기에 있어 피부처럼 얇아 체내 이식에 적합하여 생체 내 거부감 및 위험성을 최소화함으로써 신경 자극 및 검출에 대한 생물학적 연구 및 생체 의학적으로 활용성이 높을 것으로 기대된다. The present invention relates to a cell unit stimulator including a positive electrode having graphene disposed between two transparent flexible polymer substrates, and a negative electrode having graphene disposed between two transparent flexible polymer substrates; And methods for producing the same. The cell stimulator of the present invention is a thin film type stimulator having non-toxicity, flexibility, and transparency. The cell stimulator has good adhesion to a living body, and can be observed while stimulating. In addition, it is expected to be highly bioavailable for biological research and biomedical research on nerve stimulation and detection by minimizing in vivo rejection and risk as it is suitable for implantation in the body as thin as skin in size.

Description

그라핀 세포 자극기 및 그것의 제조방법{Graphene cell stimulator and preparing method thereof}Graphene cell stimulator and preparation method thereof

본원 발명은 그라핀 세포 자극기 및 그것의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a graphene cell stimulator and a method for producing the same.

기존의 신경 자극기는 유리(glass) 기판을 주로 사용하여 자극기 자체가 구부릴 수 없어 굴곡이 있는 생체 조직에 자극을 가하는데 효율적이지 않았다. 또한　불투명한 전극(금, 백금 등)을 사용하여 자극을 받는 부위가 가려져 있어서 그 부위를 관찰하기 위해서는 자극기를 제거한 후에만 관찰할 수 있기 때문에 자극이 가해진 부위의 정확한 변화를 실시간으로 관찰하는 것은 불가능했다.
Existing neural stimulator mainly uses a glass substrate, so the stimulator itself cannot be bent and thus it is not effective for stimulating curved living tissue. In addition, because the stimulation area is covered using an opaque electrode (gold, platinum, etc.), it is impossible to observe the exact change of the stimulation area in real time because it can be observed only after removing the stimulator. did.

구체적으로, 멀티채널시스템스(Multichannel Systems)사의 MEA는 딱딱한 유리기판 위에 불투명한 백금 전극을 설계한 것이다. 또한, 알파 메드 사이언스(Alpha MED Sciences)사의 듀얼-챔버 프로브(Dual-Chamber Probe)는 딱딱한 유리기판 위에 투명한 ITO(indium tin oxide) 전극을 설계한 것이다. 상기 듀얼-챔버 프로브(Dual-Chamber Probe)는 뇌표면에서 사용하는 멀티어레이(multi array) 자극기로 ITO와 백금흑(Platinum Black) 혼합전극으로 불투명한 전극을 을 사용하기 때문에 뇌 조직 위에 자극기를 올려놓고 자극을 가한 후, 세포변화를 관찰하기 위해 자극을 제거한 후, 자극을 주었던 부위를 찾아가며 자극에 의한 변화를 관찰해야 하는 문제점이 있었다.
Specifically, MEA of Multichannel Systems has designed an opaque platinum electrode on a rigid glass substrate. In addition, Alpha-MED Sciences' Dual-Chamber Probe designed a transparent indium tin oxide (ITO) electrode on a rigid glass substrate. The dual-chamber probe is a multi-array stimulator used on the brain surface, and an opaque electrode is used as a mixed electrode of ITO and platinum black, so that the stimulator is placed on the brain tissue. After the stimulation, after removing the stimulus to observe the cell change, there was a problem that the change caused by the stimulation to go to the site of the stimulation.

본 발명자들은 종래의 상기 세포 자극기의 문제점을 해결하기 위하여, 유연하고 투명한 PET, PI, PS, PDMS 등과 같은 폴리머 기판 위에 투명하고 구부릴 수 있는 그라핀을 전극으로 설치한 박막형태의 세포 자극기를 제조함으로써 본 발명을 완성하였다.
In order to solve the problems of the conventional cell stimulator, the present inventors have prepared a thin film cell stimulator having a transparent and bendable graphene as an electrode on a polymer substrate such as flexible and transparent PET, PI, PS, PDMS, etc. The present invention has been completed.

본 발명의 목적은 투명한 가요성 폴리머 기판 위에 그라핀 전극을 설치한 세포 자극기를 제공하는 것이다.
It is an object of the present invention to provide a cell stimulator in which graphene electrodes are provided on a transparent flexible polymer substrate.

본 발명의 다른 목적은 상기 세포 자극기의 제조방법을 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a method for producing the cell stimulator.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 그라핀(graphene)이 두 개의 투명한 가요성 폴리머(polymer) 기판 사이에 설치된 양극; 및 그라핀이 두 개의 투명한 가요성 폴리머(polymer) 기판 사이에 설치된 음극을 포함하는 세포 단위 자극기를 제공한다.
In order to achieve the above object, the present invention is a graphene (graphene) is an anode provided between two transparent flexible polymer (polymer) substrate; And a negative electrode disposed between two transparent flexible polymer substrates with graphene.

본 발명의 세포 단위 자극기는 상기 그라핀 양극과 음극에 연결된 전선을 추가로 포함할 수 있다.
The cell unit stimulator of the present invention may further include a wire connected to the graphene anode and the cathode.

바람직하게는, 상기 그라핀의 두께가 0.5 ㎚ 내지 5 ㎚이다. 그러나, 본 발명의 그라핀 두께가 상기 범위에 한정되는 것은 아니다.
Preferably, the graphene has a thickness of 0.5 nm to 5 nm. However, the graphene thickness of the present invention is not limited to the above range.

바람직하게는, 상기 세포 단위 자극기의 두께가 0.8 ㎛ 내지 800 ㎛이다. 그러나, 본 발명의 그라핀 두께가 상기 범위에 한정되는 것은 아니다.
Preferably, the cell unit stimulator has a thickness of 0.8 μm to 800 μm. However, the graphene thickness of the present invention is not limited to the above range.

상기 폴리머 기판은 PET(polyethylene terephthalate), PI(polyimide), PS(polystyrene), PDMS (polydimethylsiloxane), PVP(Polyvinylpyrrolidone), PEN(Polyethylene naphthalate) 및 PVC(Polyvinyl chloride)로 구성된 군에서 선택된 어느 하나로 구성될 수 있다. 그러나, 본 발명의 폴리머 기판의 재료가 이것들에 한정되는 것은 아니다.
The polymer substrate may be composed of any one selected from the group consisting of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polystyrene (PS), polydimethylsiloxane (PDMS), polyvinylpyrrolidone (PVP), polyethylene naphthalate (PEN), and polyvinyl chloride (PVC). Can be. However, the material of the polymer substrate of the present invention is not limited to these.

바람직하게는, 상기 전선은 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 니켈(Ni), 및 철(Fe)로 구성된 군으로부터 선택된 어느 하나로 구성될 수 있다. 그러나, 본 발명의 전선이 이것들에 한정되는 것은 아니다.
Preferably, the wire may be composed of any one selected from the group consisting of gold (Au), platinum (Pt), silver (Ag), copper (Cu), nickel (Ni), and iron (Fe). However, the electric wire of this invention is not limited to these.

상기 자극은 전류자극, 전압자극, 전기장 자극 및 자기장 자극으로 구성된 군에서 선택된 어느 하나일 수 있다.
The stimulus may be any one selected from the group consisting of a current stimulus, a voltage stimulus, an electric field stimulus, and a magnetic field stimulus.

일 구체예로서, 상기 세포는 신경세포일 수 있다.
In one embodiment, the cell may be a neuron.

일 구체예로서, 상기 신경세포는 뇌세포일 수 있다.
In one embodiment, the neuron may be a brain cell.

상기 세포는 시험관내(in vitro), 생체외(ex vivo) 또는 생체내(in vivo) 세포를 모두 포함한다.
The cells are in vitro in vitro , ex vivo) or in vivo (in in vivo ).

본 발명의 다른 양태로서, 본 발명은 상기 세포 단위 자극기를 복수로 포함하는 세포 자극기를 제공한다.
In another aspect of the invention, the invention provides a cell stimulator comprising a plurality of said cell unit stimulator.

본 발명의 다른 양태로서, 본 발명은As another aspect of the present invention,

i) 투명한 가요성 제1 폴리머 기판의 목적하는 전극위치를 식각한 후 그 위에 금속을 증착하는 단계;i) etching the desired electrode position of the transparent flexible first polymer substrate and then depositing a metal thereon;

ii) 상기 금속이 증착된 폴리머 기판 위에 그라핀(graphene)을 증착한 후 식각하는 단계; 및ii) etching and depositing graphene on the polymer substrate on which the metal is deposited; And

iii) 상기 금속 및 그라핀이 증착된 폴리머 기판 위에 투명한 가요성 제2 폴리머 기판을 코팅하는 단계iii) coating a transparent flexible second polymer substrate on the metal and graphene deposited polymer substrate

를 포함하는, 세포 단위 자극기를 제조하는 방법을 제공한다.
It provides a method for producing a cell unit stimulator comprising a.

일 구체예로서, 상기 단계 i) 이전에 실리콘 웨이퍼 표면에 금속 필름을 증착한 후, 상기 증착된 필름상에 상기 투명한 가요성 제1 폴리머 기판을 코팅하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.In one embodiment, the method may further include depositing a metal film on the surface of the silicon wafer before step i), and then coating the transparent flexible first polymer substrate on the deposited film.

또한, 상기 단계 iii) 이후에 식각액에 침지하여 상기 실리콘 웨이퍼 및 금속 필름을 분리시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
The method may further include separating the silicon wafer and the metal film by immersing in an etchant after step iii).

상기 금속 필름은, 이것들에 한정되는 것은 아니지만, 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 니켈(Ni), 및 철(Fe)로 구성된 군에서 선택된 어느 하나의 필름일 수 있다.
The metal film is not limited to these, but any one selected from the group consisting of gold (Au), platinum (Pt), silver (Ag), copper (Cu), nickel (Ni), and iron (Fe) It may be a film.

상기 단계 i)의 금속은, 이것들에 한정되는 것은 아니지만, 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 니켈(Ni), 및 철(Fe)로 구성된 군에서 선택된 어느 하나일 수 있다. 상기 금속은 전선으로 사용되는 금속과 반드시 동일해야 하는 것은 아니지만, 접착성을 고려할 경우 같은 금속을 사용하는 것이 보다 바람직하다.
The metal of step i) is selected from the group consisting of, but not limited to, gold (Au), platinum (Pt), silver (Ag), copper (Cu), nickel (Ni), and iron (Fe). It can be either. The metal is not necessarily the same as the metal used as the wire, but it is more preferable to use the same metal in consideration of the adhesion.

상기 단계 ii) 및 iii)에서 상기 식각은 O2 플라즈마로 수행할 수 있다.
In the above steps ii) and iii), the etching may be performed by O 2 plasma.

상기 단계 v) 후에 상기 그라핀에 전선을 연결하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
After the step v) may further comprise the step of connecting a wire to the graphene.

본 발명의 다른 양태로서, 본 발명은 그라핀(graphene)이 두 개의 투명한 가요성 폴리머(polymer) 기판 사이에 설치된 전극을 포함하는 세포 전기 신호를 검출하는 장치를 제공한다.
In another aspect of the present invention, the present invention provides an apparatus for detecting cellular electrical signals in which graphene comprises an electrode disposed between two transparent flexible polymer substrates.

본 발명의 다른 양태로서, 본 발명은 그라핀(graphene)이 두 개의 투명한 가요성 폴리머(polymer) 기판 사이에 설치된 전극을 포함하는 세포 자극기를 제공한다.
In another aspect of the invention, the invention provides a cell stimulator in which graphene comprises an electrode disposed between two transparent flexible polymer substrates.

본 발명의 세포 자극기는 무독성, 유연성, 투명성을 갖춘 박막형태의 자극기로서, 생체에 밀착력이 좋고, 자극을 가함과 동시에 관찰이 가능하다. 또한, 크기에 있어 피부처럼 얇아 체내 이식에 적합하여 생체 내 거부감 및 위험성을 최소화함으로써 신경 자극 및 검출에 대한 생물학적 연구 및 생체 의학적으로 활용성이 높을 것으로 기대된다.
The cell stimulator of the present invention is a thin film type stimulator having non-toxicity, flexibility, and transparency, and has good adhesion to a living body, and can be observed while stimulating. In addition, it is expected to be highly bioavailable for biological research and biomedical research on nerve stimulation and detection by minimizing in vivo rejection and risk as it is suitable for implantation in the body as thin as skin in size.

도 1은 본 발명의 일 구체예로서 본 발명의 세포 단위 자극기의 제조 과정을 도시한 것이다.
도 2a 및 2b는 본 발명의 일 구체예로서 본 발명의 세포실험용(in vitro)(2a) 및 생체용(in vivo)(2b) 세포 자극기를 각각 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 구체예로서 본 발명의 세포 자극기의 전기 자극 패턴을 도시한 것이다.
도 4a는 본 발명의 일 구체예로서 도 3의 그라핀과 전선 연결 부위의 단면을 나타낸 것이고, 도 4b는 도 3의 패터닝된 그라핀 전극 부위의 단면을 나타낸 것이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 구체예로서 본 발명의 세포 자극기의 세포 자극 반응 결과 그래프이고, 도 5c는 본 발명의 세포 자극기를 이용하여 전기자극을 가한 결과 신경세포의 행동양식이 변화된 것을 나타낸 그래프이다(CC(Cell-Cell Coupling): 세포간 결합; CD(Cell-Cell Discoupling): 세포간 결합 소멸; CW(Cell-Cell Wavering): 세포간 탐색).
도 6은 본 발명의 일 구체예로서 본 발명의 그라핀 전극이 설치된 세포 자극기를 사용하여 쥐의 뇌 표면에 전기 자극을 가하는 사진이다. Figure 1 shows the manufacturing process of the cell unit stimulator of the present invention as an embodiment of the present invention.
Figures 2a and 2b (in cell experiments (in vitro) (2a) and for the living body of the present invention as one embodiment of the invention In vivo (2b) cell stimulator is shown respectively.
Figure 3 illustrates an electrical stimulation pattern of the cell stimulator of the present invention as one embodiment of the present invention.
4A illustrates a cross section of the graphene and wire connection portion of FIG. 3 as an embodiment of the present invention, and FIG. 4B illustrates a cross section of the patterned graphene electrode portion of FIG. 3.
5A and 5B are graphs showing the results of the cell stimulation response of the cell stimulator of the present invention as an embodiment of the present invention, and FIG. 5C shows that the behavior of neurons is changed as a result of applying electric stimulation using the cell stimulator of the present invention. (Cell-Cell Coupling (CC): intercellular binding; Cell-Cell Discoupling (CD): intercellular binding abolished; Cell-Cell Wavering (CW): intercellular search).
6 is a photograph of applying electrical stimulation to the brain surface of a rat using a cell stimulator provided with a graphene electrode of the present invention as one embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 구성요소와 기술적 특징을 다음의 실시예들을 통하여 보다 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 하기 실시예들은 본 발명의 내용을 예시하는 것일 뿐 발명의 범위가 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.
Hereinafter, the components and technical features of the present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the following examples are intended to illustrate the contents of the present invention and are not intended to limit the scope of the invention.

실시예Example

실시예Example 1: 본 발명의 세포 자극기의 제조 1: Preparation of Cell Stimulator of the Present Invention

본 발명은 세포 자극기는 기존의 ITO나 백금전극 대신에 그라핀(Graphene)을 전극으로 사용한 것이다. In the present invention, the cell stimulator uses graphene as an electrode instead of the conventional ITO or platinum electrode.

먼저, Si/SiO2 웨이퍼(wafer)(20)에 전자빔 증착기(E-beam evaporator)를 이용하여 30 ㎚의 Ni 필름(10)을 증착한 다음, Ni 필름(10)에 0.5 ㎛의 PI(polyimide)(30)를 스핀 코팅하고 200℃ 오븐에서 2시간 동안 열처리하였다. 그 다음, 하기의 포토리소그래피(photolithography) 공정을 수행하였다. 먼저, 노광장치(mask aligner)를 이용하여 제1 마스크 패턴을 형성하고, O2 플라즈마로 PI(30)를 식각하였다(반응성 이온 식각법(RIE, Reactive ion etching)). 그 다음, 노광장치를 이용하여 제2 마스크 패턴을 형성하고, 전자빔 증착기를 이용하여 300 ㎚의 금(Au)(40)를 증착하였다. 그 다음, 오존으로 사전 처리된 기판 위에 그라핀(5~10 층)(50)을 올려놓은 후 열처리하였다. 그 다음, 노광장치를 이용하여 제3 마스크 패턴을 형성하고, O2 플라즈마로 식각하였다(반응성 이온 식각법). 그 다음, 상기 그라핀(50) 전극이 설치된 폴리머 기판에 70 ㎛의 PDMS(60)을　얇게 스핀코팅(spin coating)하여 쉴딩(shielding)하고, Ni 식각액에 침지하였다. 마지막으로, 그라핀(50) 전극에 금(Au) 전선(70)을 연결하였다. (도 1 참조)
First, a 30 nm Ni film 10 is deposited on a Si / SiO 2 wafer 20 using an E-beam evaporator, and then a 0.5 μm PI (polyimide) is deposited on the Ni film 10. ) 30 was spin coated and heat treated in an oven at 200 ° C. for 2 hours. Then, the following photolithography process was performed. First, a first mask pattern was formed using a mask aligner, and the PI 30 was etched by O 2 plasma (reactive ion etching (RIE)). Next, a second mask pattern was formed using an exposure apparatus, and 300 nm of gold (Au) 40 was deposited using an electron beam evaporator. Then, graphene (5 to 10 layers) 50 was placed on the substrate pretreated with ozone and then heat treated. Then, a third mask pattern was formed using an exposure apparatus and etched by O 2 plasma (reactive ion etching). Subsequently, the polymer substrate on which the graphene 50 electrode was installed was shielded by thin spin coating the PDMS 60 having a thickness of 70 μm and immersed in Ni etchant. Finally, a gold (Au) wire 70 was connected to the graphene 50 electrode. (See Figure 1)

도 2는 상기 제조방법에 의해 제조된 세포실험용(도 2a)과 생체용(도 2b) 세포 자극기를 도시한 것이다. 도 2a는 세포실험용으로 세포 배양 용기(80) 위에 투명하고 가요성 있는 폴리머(PET, PI, PS, PDMS 등) 기판(90)이 있고, 그 사이에 전선(70)에 연결된 그라핀(50)이 매립된 형태로서 기존의 세포배양용기를 사용하기 때문에 다른 어댑터나 장치가 필요 없어서 필요에 따라 다양한 모양과 사이즈로 제작할 수 있다. 도 2b는 생체용 자극기의 예시로 그라핀 전극(50) 12개를 투명하고 가요성 좋은 폴리머 기판(90) 위에 설계한 모습이다. 이 또한 다양한 전극 패턴으로 설계할 수 있다. 간단히, 두 폴리머(90) 사이에 수 ㎚ 두께의 그라핀 전극(50)이 그림과 같은 패턴으로 삽입되어 있고 이는 전선(70)을 통해서 밖으로 연결되어 있는 모습이다. 도 3은 도 2b의 세포 자극기의 전극 설계도 및 전극에서 인가된 전기장의 작용 모식도이다.
Figure 2 shows the cell stimulator for cell experiments (Fig. 2a) and biological (Fig. 2b) prepared by the above production method. 2A shows a transparent and flexible polymer (PET, PI, PS, PDMS, etc.) substrate 90 on a cell culture vessel 80 for cell experiments, with graphene 50 connected to the wire 70 therebetween. Since the embedded cell culture vessel is used as this buried form, no other adapter or device is required, and thus, it can be manufactured in various shapes and sizes as necessary. 2B illustrates an example of a stimulator for a living body, in which twelve graphene electrodes 50 are designed on a transparent and flexible polymer substrate 90. This can also be designed with various electrode patterns. Briefly, a graphene electrode 50 of several nm thickness is inserted between the two polymers 90 in a pattern as shown in the figure, which is connected to the outside through an electric wire 70. 3 is a schematic diagram of the electrode of the cell stimulator of FIG.

실시예Example 2: 본 발명의 세포 자극기의 세포 자극 반응 2: Cell Stimulation Response of Cell Stimulator of the Present Invention

실시예 1에서 제조한 본 발명의 그라핀 전극이 설치된 세포 자극기를 사용하여 배양된 신경세포에 전기 자극을 가하였다. 그 결과, 자극의 세기에 따라서 세포가 반응하는 정도가 달라졌다.　도 5a는 본 발명의 세포 자극기의 세포 자극 반응 결과 그래프이다. 상기 그래프는 본 발명의 세포 자극기로 신경세포에 자극을 가할 경우 90% 이상의 세포들이 자극에 반응하며 자극의 세기가 커질수록 자극에 반응 하는 세포의 수가 증가하는 것을 보여준다. 도 5b 는 자극의 세기가 커질수록 세포의 수축(shrink) 하는 정도가 커짐을 보여준다. 450 mV/mm에서는 세포의 수축률이 통계적으로 유의하게 증가하였다(**: 자극을 가하지 않은 그룹과 비교시 p<0.01; *** 4.5 mV/mm 그룹과 비교시, p<0.001). 특히, 도 5c 는 전기 자극을 가함으로써 신경세포의 행동 약식을 변화시킬 수 있는 것을 보여주는 그래프이다. 신경세포의 세포간 결합을 증가시켜주는 전기 자극의 범위를 찾아낸 중요한 결과로서, 4.5 mV/mm의 저 자극에서 세포간 결합이 크게 증가 하는 것을 보여준다.
Electrical stimulation was applied to the cultured neurons using the cell stimulator provided with the graphene electrode of the present invention prepared in Example 1. As a result, the degree to which the cells responded varies according to the intensity of the stimulus. Figure 5a is a graph of the cell stimulation response results of the cell stimulator of the present invention. The graph shows that when stimulating neurons with the cell stimulator of the present invention, more than 90% of the cells respond to the stimulus, and as the intensity of the stimulus increases, the number of cells responding to the stimulus increases. 5B shows that as the intensity of the stimulus increases, the degree of shrinkage of the cells increases. At 450 mV / mm, the contraction rate of cells increased statistically significantly (**: p <0.01 compared with no stimulation group; *** p <0.001 compared with 4.5 mV / mm group). In particular, FIG. 5C is a graph showing that neuronal behavior may be altered by applying electrical stimulation. An important finding of the extent of electrical stimulation that increases the intercellular binding of neurons is a significant increase in intercellular binding at low stimulation of 4.5 mV / mm.

실시예Example 3: 본 발명의 세포 자극기의 생체 자극 반응 3: biostimulation response of the cell stimulator of the present invention

실시예 1에서 제조한 본 발명의 그라핀 전극이 설치된 세포 자극기를 사용하여 쥐의 뇌 표면에 전기 자극을 가하였다(도 6 참조). 그 결과, 자극이 가해지는 자극기 바로 아래에 뇌 혈관의 변화를 관찰할 수 있었다. 도 6의 좌측 사진은 마취된 쥐(rat)의 두개골을 열어서 나타난 뇌조직과 뇌조직 위에 전기자극을 가할 그라핀 전극이 설치된 세포 자극기를 나타내고, 우측 사진은 뇌 위에 본 발명의 세포 자극기를 올렸을 때의 모습을 나타낸 것이다.
Electrical stimulation was applied to the brain surface of the rat using the cell stimulator provided with the graphene electrode of the present invention prepared in Example 1 (see FIG. 6). As a result, changes in the cerebral vessels could be observed just below the stimulator to which the stimulus was applied. 6 shows a cell stimulator provided with a graphene electrode to apply electrical stimulation to the brain tissue and the brain tissue which is opened by opening the skull of an anesthetized rat, and the right photo shows the cell stimulator of the present invention placed on the brain. It is shown.

지금까지 예시적인 실시 태양을 참조하여 본 발명을 기술하여 왔지만, 본 발명의 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명의 범주를 벗어나지 않고서도 다양한 변화를 실시할 수 있으며 그의 요소들을 등가물로 대체할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 본질적인 범주를 벗어나지 않고서도 많은 변형을 실시하여 특정 상황 및 재료를 본 발명의 교시내용에 채용할 수 있다. 따라서, 본 발명이 본 발명을 실시하는데 계획된 최상의 양식으로서 개시된 특정 실시 태양으로 국한되는 것이 아니며, 본 발명이 첨부된 특허청구의 범위에 속하는 모든 실시 태양을 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it will be understood by those skilled in the art that various changes may be made and equivalents may be substituted for elements thereof without departing from the scope of the invention. You will know. In addition, many modifications may be made to adapt a particular situation and material to the teachings of the invention without departing from the essential scope thereof. Accordingly, it is intended that the invention not be limited to the particular embodiment disclosed as the best mode contemplated for carrying out this invention, but that the invention be construed as including all embodiments falling within the scope of the appended claims.

10: Ni 필름 20: SiO2/Si
30: PI 40: Au
50: 그라핀 60: PDMS
70: 전선 80: 세포배양용기
90: 폴리머 기판10: Ni film 20: SiO 2 / Si
30: PI 40: Au
50: graphene 60: PDMS
70: wire 80: cell culture vessel
90: polymer substrate

Claims (23)

그라핀(graphene)이 두 개의 투명한 가요성 폴리머(polymer) 기판 사이에 설치된 양극; 및
그라핀이 두 개의 투명한 가요성 폴리머(polymer) 기판 사이에 설치된 음극을 포함하는 세포 단위 자극기.An anode in which graphene is disposed between two transparent flexible polymer substrates; And
A cell unit stimulator, wherein graphene comprises a cathode placed between two transparent flexible polymer substrates. 제1항에 있어서,
상기 그라핀 양극과 음극에 연결된 전선을 추가로 포함함을 특징으로 하는 세포 단위 자극기.The method of claim 1,
Cell unit stimulator further comprises a wire connected to the graphene anode and cathode. 제1항에 있어서,
상기 그라핀의 두께가 0.5 ㎚ 내지 5 ㎚임을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기.The method of claim 1,
Characterized in that the thickness of the graphene is 0.5 nm to 5 nm, unit cell stimulator. 제1항에 있어서,
상기 세포 단위 자극기의 두께가 0.8 ㎛ 내지 800 ㎛임을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기.The method of claim 1,
Cell unit stimulator, characterized in that the thickness of the cell unit stimulator is 0.8 ㎛ to 800 ㎛. 제1항에 있어서,
상기 폴리머 기판은 PET(polyethylene terephthalate), PI(polyimide), PS(polystyrene), PDMS (polydimethylsiloxane), PVP(Polyvinylpyrrolidone), PEN(Polyethylene naphthalate) 및 PVC(Polyvinyl chloride)로 구성된 군에서 선택된 어느 하나로 구성됨을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기.The method of claim 1,
The polymer substrate is composed of any one selected from the group consisting of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polystyrene (PS), polydimethylsiloxane (PDMS), polyvinylpyrrolidone (PVP), polyethylene naphthalate (PEN), and polyvinyl chloride (PVC). Cell unit stimulator. 제2항에 있어서,
상기 전선은 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 니켈(Ni), 및 철(Fe)로 구성된 군으로부터 선택된 어느 하나로 구성됨을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기.The method of claim 2,
The wire is a cell unit stimulator, characterized in that consisting of any one selected from the group consisting of gold (Au), platinum (Pt), silver (Ag), copper (Cu), nickel (Ni), and iron (Fe). 제1항에 있어서,
상기 자극은 전류자극, 전압자극, 전기장 자극 및 자기장 자극으로 구성된 군에서 선택된 어느 하나임을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기.The method of claim 1,
Wherein said stimulus is any one selected from the group consisting of current stimulation, voltage stimulation, electric field stimulation and magnetic field stimulation. 제1항에 있어서,
상기 세포는 신경세포임을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기.The method of claim 1,
The cell unit stimulator, characterized in that the cell. 제8항에 있어서,
상기 신경세포는 뇌세포임을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기.9. The method of claim 8,
The neuronal cell unit stimulator, characterized in that the brain cells. 제1항에 있어서,
상기 세포는 시험관내(in vitro), 생체외(ex vivo) 또는 생체내(in vivo) 세포임을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기.The method of claim 1,
The cells are in vitro in vitro , ex vivo) or in vivo (in in vivo ) cells. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항의 세포 단위 자극기를 복수로 포함하는 세포 자극기.A cell stimulator comprising a plurality of cell unit stimulators of any one of claims 1 to 10. i) 투명한 가요성 제1 폴리머 기판의 목적하는 전극위치를 식각한 후 그 위에 금속을 증착하는 단계;
ii) 상기 금속이 증착된 폴리머 기판 위에 그라핀(graphene)을 증착한 후 식각하는 단계; 및
iii) 상기 금속 및 그라핀이 증착된 폴리머 기판 위에 투명한 가요성 제2 폴리머 기판을 코팅하는 단계
를 포함하는, 세포 단위 자극기를 제조하는 방법.i) etching the desired electrode position of the transparent flexible first polymer substrate and then depositing a metal thereon;
ii) etching and depositing graphene on the polymer substrate on which the metal is deposited; And
iii) coating a transparent flexible second polymer substrate on the metal and graphene deposited polymer substrate
A method of manufacturing a cell unit stimulator comprising a. 제12항에 있어서,
단계 i) 이전에 실리콘 웨이퍼 표면에 금속 필름을 증착한 후, 상기 증착된 필름상에 상기 투명한 가요성 제1 폴리머 기판을 코팅하는 단계를 추가로 포함하는 세포 단위 자극기를 제조하는 방법The method of claim 12,
Step i) prior to depositing a metal film on the silicon wafer surface, further comprising coating the transparent flexible first polymer substrate on the deposited film. 제13항에 있어서,
단계 iii) 이후에 식각액에 침지하여 상기 실리콘 웨이퍼 및 금속 필름을 분리시키는 단계를 추가로 포함하는, 세포 단위 자극기를 제조하는 방법.The method of claim 13,
And after step iii) immersing in an etchant to separate the silicon wafer and the metal film. 제13항 또는 제14항에 있어서,
상기 금속 필름은 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 니켈(Ni), 및 철(Fe)로 구성된 군에서 선택된 어느 하나의 필름임을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기를 제조하는 방법.The method according to claim 13 or 14,
The metal film is any one film selected from the group consisting of gold (Au), platinum (Pt), silver (Ag), copper (Cu), nickel (Ni), and iron (Fe), the cell unit How to make a stimulator. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
단계 i)의 금속은 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 니켈(Ni), 및 철(Fe)로 구성된 군에서 선택된 어느 하나임을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기를 제조하는 방법.15. The method according to any one of claims 12 to 14,
The cell unit of step i) is any one selected from the group consisting of gold (Au), platinum (Pt), silver (Ag), copper (Cu), nickel (Ni), and iron (Fe). How to make a stimulator. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폴리머는 PET(polyethylene terephthalate), PI(polyimide), PS(polystyrene), PDMS (polydimethylsiloxane), PVP(Polyvinylpyrrolidone), PEN(Polyethylene naphthalate) 및 PVC(Polyvinyl chloride)로 구성된 군에서 선택된 어느 하나로 구성됨을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기를 제조하는 방법.15. The method according to any one of claims 12 to 14,
The polymer is composed of any one selected from the group consisting of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polystyrene (PS), polydimethylsiloxane (PDMS), polyvinylpyrrolidone (PVP), polyethylene naphthalate (PEN) and polyvinyl chloride (PVC) A method for producing a cell unit stimulator. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
단계 ii) 및 iii)에서 상기 식각은 O2 플라즈마로 수행함을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기를 제조하는 방법.15. The method according to any one of claims 12 to 14,
Wherein the etching in steps ii) and iii) is performed with an O 2 plasma. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 그라핀에 전선을 연결하는 단계를 추가로 포함함을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기를 제조하는 방법.15. The method according to any one of claims 12 to 14,
Method for manufacturing a cell unit stimulator, characterized in that it further comprises the step of connecting the wire to the graphene. 제19항에 있어서,
상기 전선은 은(Ag), 금(Au), 백금(Pt), 구리(Cu) 및 니켈(Ni)로 구성된 군으로부터 선택된 어느 하나로 구성됨을 특징으로 하는, 세포 단위 자극기를 제조하는 방법.20. The method of claim 19,
The wire is characterized in that consisting of any one selected from the group consisting of silver (Ag), gold (Au), platinum (Pt), copper (Cu) and nickel (Ni), the method of manufacturing a cell unit stimulator. 그라핀(graphene)이 두 개의 투명한 가요성 폴리머(polymer) 기판 사이에 설치된 전극을 포함하는 세포 전기 신호를 검출하는 장치.A device for detecting cellular electrical signals in which graphene comprises electrodes disposed between two transparent flexible polymer substrates. 그라핀(graphene)이 두 개의 투명한 가요성 폴리머(polymer) 기판 사이에 설치된 전극을 포함하는 세포 자극기.A cell stimulator, wherein graphene comprises an electrode disposed between two transparent flexible polymer substrates. 제22항에 있어서,
전기장 4.5 mV/mm에서 세포간 결합을 증가시킴을 특징으로 하는 세포 자극기.The method of claim 22,
Cell stimulator characterized by increasing intercellular binding at 4.5 mV / mm of electric field.
KR1020100054454A 2010-06-09 2010-06-09 Graphene cell stimulator and preparing method thereof KR101237052B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100054454A KR101237052B1 (en) 2010-06-09 2010-06-09 Graphene cell stimulator and preparing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100054454A KR101237052B1 (en) 2010-06-09 2010-06-09 Graphene cell stimulator and preparing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110134720A KR20110134720A (en) 2011-12-15
KR101237052B1 true KR101237052B1 (en) 2013-02-25

Family

ID=45501912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100054454A KR101237052B1 (en) 2010-06-09 2010-06-09 Graphene cell stimulator and preparing method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101237052B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210129588A (en) 2020-04-20 2021-10-28 인천대학교 산학협력단 The Structure for Signal Measurement and Stimulation of Brain for Syringe Injection and Method for Injecting Syringe Thereof
KR20220134404A (en) 2021-03-26 2022-10-05 연세대학교 산학협력단 Muti Channel Array Element Using Hybrid Graphene Electrode Brain Inserted

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101663685B1 (en) * 2014-03-19 2016-10-07 서울대학교산학협력단 Neural electorde based on polymer and manufacturing method thereof
KR101752715B1 (en) * 2014-11-11 2017-06-30 서울대학교산학협력단 Device for Preparing Cell Sheet and Process for Manufacturing the Same
US9863885B2 (en) * 2015-10-07 2018-01-09 The Regents Of The University Of Californa Graphene-based multi-modal sensors
KR102173025B1 (en) * 2018-01-22 2020-11-02 주식회사 지브레인 Graphene bio-device for electrotherapy
KR102128092B1 (en) * 2018-08-06 2020-06-29 서울시립대학교 산학협력단 Deep brain stimulation transparent electrodes array and neural signal detection method using the same
US10978376B2 (en) 2019-01-18 2021-04-13 Electronics And Telecommunications Research Institute Sensing device and method for fabricating the same
US20210088468A1 (en) * 2019-09-20 2021-03-25 Avx Corporation Somatic Cell-Based Electrical Biosensor
CN111087817A (en) * 2019-12-10 2020-05-01 杭州源牌环境设备有限公司 PDMS-based graphene heat-conducting composite material and preparation method and application thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007516010A (en) 2003-06-10 2007-06-21 バイオウェーブ コーポレーション Transcutaneous electrode array
KR20080111559A (en) * 2000-12-11 2008-12-23 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하버드 칼리지 Nanosensors
JP2010088533A (en) 2008-10-04 2010-04-22 Sony Corp Apparatus and method for stimulating neurocyte
US20100104652A1 (en) 2008-10-27 2010-04-29 University Of Arkansas Use of advanced nanomaterials for increasing sepecific cell functions

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080111559A (en) * 2000-12-11 2008-12-23 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하버드 칼리지 Nanosensors
JP2007516010A (en) 2003-06-10 2007-06-21 バイオウェーブ コーポレーション Transcutaneous electrode array
JP2010088533A (en) 2008-10-04 2010-04-22 Sony Corp Apparatus and method for stimulating neurocyte
US20100104652A1 (en) 2008-10-27 2010-04-29 University Of Arkansas Use of advanced nanomaterials for increasing sepecific cell functions

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210129588A (en) 2020-04-20 2021-10-28 인천대학교 산학협력단 The Structure for Signal Measurement and Stimulation of Brain for Syringe Injection and Method for Injecting Syringe Thereof
KR102501155B1 (en) 2020-04-20 2023-02-21 주식회사 지브레인 The Structure for Signal Measurement and Stimulation of Brain for Syringe Injection and Method for Injecting Syringe Thereof
KR20230025820A (en) 2020-04-20 2023-02-23 주식회사 지브레인 The Structure for Signal Measurement and Stimulation of Brain for Syringe Injection and Method for Injecting Syringe Thereof
KR102594605B1 (en) 2020-04-20 2023-11-01 주식회사 지브레인 The Structure for Signal Measurement and Stimulation of Brain for Syringe Injection and Method for Injecting Syringe Thereof
KR20220134404A (en) 2021-03-26 2022-10-05 연세대학교 산학협력단 Muti Channel Array Element Using Hybrid Graphene Electrode Brain Inserted

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110134720A (en) 2011-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101237052B1 (en) Graphene cell stimulator and preparing method thereof
CN108751116B (en) Warping type flexible electrode for bioelectricity recording or electric stimulation and preparation method thereof
Seo et al. Artifact‐free 2D mapping of neural activity in vivo through transparent gold nanonetwork array
Cho et al. 3D electrodes for bioelectronics
EP0585933B1 (en) Planar electrode
CN208492977U (en) Multilayered structure flexibility artificial hearing Neural stimulation electrodes
CN104340956B (en) Implantable multichannel flexible micro-pipe electrode and preparation method thereof
Cho et al. Ultra‐low cost, facile fabrication of transparent neural electrode array for electrocorticography with photoelectric artifact‐free optogenetics
JP2011500184A (en) Drug-eluting nanowire array
CN101204603A (en) Embedded MENS bioelectrode and preparation technology thereof
KR101188368B1 (en) Nanowires neural probe electrodes and the manufacturing method of the same
Yang et al. A fully transparent, flexible PEDOT: PSS–ITO–Ag–ITO based microelectrode array for ECoG recording
CN110327544B (en) Implanted high-density electrode point flexible probe electrode and preparation method thereof
CN106178259B (en) Rat leg muscle electrical stimulation and electromyographic signal acquisition flexible device and preparation method thereof
CN103627631A (en) Polypyrrole/graphene decorated dual-mode nerve microelectrode array chip and preparation method thereof
CN113181549A (en) Flexible micro-nano electrode array for positioning deep brain of epileptogenic focus and preparation method thereof
CN113545790B (en) Preparation method of magnetic compatible nerve probe
CN103239800A (en) Flexible multi-channel deep brain stimulation three-dimension electrode based on micromachining technology
US20210371987A1 (en) Porous platinum nanorod electrode array flexible sensor devices and fabrication
Hong et al. Ultrathin gold microelectrode array using polyelectrolyte multilayers for flexible and transparent electro‐optical neural interfaces
Wu et al. Room‐Temperature Annealing‐Free Gold Printing via Anion‐Assisted Photochemical Deposition
KR20120085692A (en) Bio appratus and facture method thereof, and method for growth and sensing neuron using the same
CN114096483B (en) Reduced graphene oxide membrane comprising a stack of reduced graphene oxide layers and uses thereof
CN114098746A (en) Ultra-narrow high-density flexible electrode with multiple relatively independent channels and preparation method and application thereof
Rodilla et al. Flexible metallic core–shell nanostructured electrodes for neural interfacing

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160113

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170102

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee