KR101232838B1 - 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR101232838B1
KR101232838B1 KR1020100114513A KR20100114513A KR101232838B1 KR 101232838 B1 KR101232838 B1 KR 101232838B1 KR 1020100114513 A KR1020100114513 A KR 1020100114513A KR 20100114513 A KR20100114513 A KR 20100114513A KR 101232838 B1 KR101232838 B1 KR 101232838B1
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포항공과대학교 산학협력단
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Abstract

본 발명의 일 측면은, 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술에 적용되어 초소형 구조물을 연속적으로 성형하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 제조하는 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법은, 노광 공정으로 초소형 모구조물을 제작하는 제1 단계, 금속 전기도금 공정으로 상기 모구조물의 표면에 초소형 구조물을 형성하여 마이크로 몰드 형성용 모듈을 제작하는 제2 단계, 및 상기 모듈을 조합 및 결합하여 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 형성하는 제3 단계를 포함한다.

Description

롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 및 그 제조 방법 {ROLL-TYPE MICROMOLD SYSTEM AND FABRICATION METHOD OF THE SAME}
본 발명은 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술에 적용되어 초소형 구조물을 연속적으로 성형하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 다양한 종류의 플라스틱 초소형 구조물들의 대량 성형기술로써, 초소형 사출성형 및 핫 엠보싱과 같은 성형기술들이 연구/개발되고 있다. 이 성형기술들을 통하여 고집적도, 고효율 및 고기능성 등의 초소형 구조물의 응용 제품들이 개발/생산되고 있다. 또한, 고생산성의 초소형 구조물의 대량 성형기술을 위하여, 롤 방식의 성형기술이 개발되고 있다. 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술은 최종 성형품을 연속적으로 성형하므로 다른 성형기술들에 비하여 높은 생산성을 가진다.
이와 같은 초소형 구조물의 대량 성형기술에는 최종 성형품의 반대 형상을 가지는 몰드 혹은 몰드 인서트의 정밀 제작이 필수적이다. 최종 성형품의 치수 정밀도 및 생산성 향상을 위하여, 정밀하고 견고한 몰드의 제작이 필요하다. 이에 초소형 정밀 머시닝, 초소형 방전 가공 및 레이저 가공과 같은 제작 기술들을 이용하여, 복잡한 형상의 초소형 구조물 성형용 몰드를 제작한다. 그러나 이와 같은 직접 가공 방식의 제작 기술들은 형상적으로 높은 자유도를 가지지만 몰드의 제작에 많은 시간을 필요로 하고, 낮은 정밀도를 가진다.
예를 들면, 독일에서 개발된 리가 공정(LIGA process)은 X-선 노광, 전기도금 및 대량 성형의 연속적인 공정으로 이루어진다. 구체적으로 설명하면, 리가 공정은 X-선 등을 이용한 노광으로 초소형 구조물을 정밀하게 제작하고, 초소형 구조물에 전기도금으로 견고한 몰드를 제작하며, 몰드를 이용하여 초소형 구조물을 대량으로 복제한다. 이와 같은 리가 공정은 종래의 직접 가공 방식의 단점들을 극복한다. 현재, 초소형 구조물의 대량 성형용 몰드 제작을 위하여, 리가 공정이 적용된다. 리가 공정은 방사광 가속기에서 발생하는 고에너지 X-선 또는 일반적인 UV-노광을 이용할 수 있다.
리가 공정으로 제작되는 몰드는 롤 방식의 초소형 구조물 성형기술에 직접적으로 적용되기 어렵다. 즉 X-선 노광 또는 UV-노광과 같은 노광 기술은 기본적으로 평면 형상의 구조물 제작에 용이하므로 실린더 형상의 기본 구조를 가지는 롤 형상의 몰드 제작에 직접적으로 적용되기 어렵다. 따라서 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술은 초소형 구조물을 포함하는 얇은 금속 몰드를 전기도금으로 제작하고, 금속 몰드를 미리 제작된 롤에 감아 고정하는 방식을 적용한다. 또한 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술은 유연성을 가지도록 얇게 도금하여 금속 몰드 제작하고, 플라스틱 기판과 금속 몰드를 함께 가열하여 롤로 가압함으로써, 플라스틱 기판에 초소형 구조물을 성형하는 방식을 적용한다.
이와 같은 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술은 롤 형상의 몰드 제작기술들의 여러 단점들과 한계 때문에 제한적으로 적용된다. 예를 들면, 복잡한 초소형 구조물을 가지는 강건하고 정밀한 금속 몰드의 제작이 어려우므로 최종 성형품의 형상 역시 제한적이다. 또한, 비교적 제작이 용이한 유연한 플라스틱 몰드를 제작한 후, 낮은 점도를 가지는 광경화성 플라스틱 재료를 이용하는 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술 또는 다양한 잉크를 이용한 롤 방식의 프린팅 기술이 주로 개발되고 있다.
본 발명의 일 측면은, 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술에 적용되어 초소형 구조물을 연속적으로 성형하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면은 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술을 적용하여 복잡한 형상의 플라스틱 초소형 구조물을 대량으로 성형하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 일 측면은 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 제작하는 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법은, 노광 공정으로 초소형 모구조물을 제작하는 제1 단계, 금속 전기도금 공정으로 상기 모구조물의 표면에 초소형 구조물을 형성하여 마이크로 몰드 형성용 모듈을 제작하는 제2 단계, 및 상기 모듈을 조합 및 결합하여 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 형성하는 제3 단계를 포함한다.
상기 제1 단계의 상기 노광 공정은, 방사광 가속기의 X-선을 이용하는 DXRL(deep x-ray lithography) 공정 및 UV를 광원으로 이용하는 노광 공정 중 어느 하나일 수 있다.
상기 제2 단계의 금속 전기도금 공정은, 구리 전기도금, 니켈 전기도금 및 니켈 합금 전기도금 중 어느 하나일 수 있다.
상기 제2 단계는, 표면에 상기 초소형 구조물을 가지는 상기 모듈을 다양한 두께로 형성할 수 있다.
상기 제3 단계는, 다양한 초소형 구조물을 가지는 다양한 두께의 상기 모듈들을 선택하고, 상기 모듈들을 조합 및 결합하여, 상기 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 다양한 구조로 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법은, 설정된 두께의 실린더 상으로 형성되고, 표면에 초소형 구조물을 가지는 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈들, 상기 모듈의 중심에 형성된 결합구에 삽입되는 축부재, 및 조합 및 결합된 상기 모듈들의 양측에서 상기 축부재에 결합되어 상기 모듈들을 지지하는 지지부재를 포함한다.
상기 모듈들은, 표면에 상기 초소형 구조물을 가지고 다양한 두께를 가질 수 있다.
상기 모듈의 표면에 형성된 초소형 구조물은 삼각형, 사각형 및 사다리꼴형 중 하나로 형성될 수 있다.
이와 같이 본 발명의 일 실시예는, 복잡한 형상을 가지는 초소형 구조물들을 성형할 수 있고, 또한 복잡한 형상의 초소형 구조물을 연속적인 공정으로 대량 성형할 수 있다. 본 발명의 일 실시예는 다양한 모듈들의 조합으로 복잡한 초소형 구조물을 용이하게 성형하고, 초소형 구조물을 포함하는 고효율의 광학 시트 및 다양한 기능성의 플라스틱 표면을 연속적으로 용이하게 제작할 수 있게 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템의 제조 방법에 대한 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템에 적용되며, 평면 방향의 노광 및 금속 전기도금으로 제작된 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈의 사시도이다.
도 3은 표면에 다양한 형상의 초소형 구조물을 형성한 모듈들을 조합한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 이용하여, 초소형 구조물을 연속적으로 성형하는 공정의 사시도이다.
도 5는 도 1의 제조 방법 중에서, 방사광 가속기를 이용한 X-선 노광 공정으로 초소형 모구조물을 제작하는 개념도이다.
도 6a는 X-선 노광 공정으로 제작된 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈의 모구조물들의 사시도이다.
도 6b는 도 6a의 모구조물에 대한 전기도금 공정으로 제작된 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈들의 사시도이다.
도 7a, 도 7b 및 도 7c는 표면에 삼각형, 사각형 및 사다리꼴형 초소형 구조물을 가지는 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈의 부분 사시도이다.
도 8a는 다양한 초소형 구조물을 가지는 마이크로 몰드 형성용 모듈들을 조합/결합하여 제작된 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템의 사시도이다.
도 8b는 도 8a의 부분 확대도이다.
도 9a는 제작된 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 이용하여 시성형된 플라스틱 구조물의 사시도이다.
도 9b는 도 9a의 부분 확대도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템의 제조 방법(이하에서 편의상, "마이크로 몰드 시스템의 제조 방법"이라 한다)에 대한 흐름도이다.
도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 마이크로 몰드 시스템의 제조 방법은 노광 공정을 이용한 초소형 모구조물을 제작하는 제1 단계(ST1), 금속 전기도금 공정을 이용하여 모구조물의 표면에 초소형 구조물을 형성하여 마이크로 몰드 형성용 모듈(이하에서 편의상, "모듈"이라 한다)을 제작하는 제2 단계(ST2), 및 모듈들을 조합하고 결합하여 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템(이하에서 편의상, "마이크로 몰드 시스템"이라 한다)을 형성하는 제3 단계(ST3)를 포함한다.
제1 단계(ST1)에 적용되는 노광 공정은 방사광 가속기의 X-선을 이용하는 DXRL(deep x-ray lithography) 공정 또는 UV 광원을 이용하는 노광 공정으로 초소형 모(母)구조물(도 6a 참조)을 제작한다. 모듈이 두꺼운 경우 또는 뛰어난 표면 조도가 요구되는, UV 노광에 비하여, DXRL 노광이 초소형 모구조물을 제작하는데 더 유리하다.
제2 단계(ST2)의 금속 전기도금 공정은, 최종 목적에 따라 모구조물을 기반으로 구리, 니켈, 니켈 합금, 및 이들 중 하나를 포함하는 금속을 이용한 전기도금 공정으로 진행된다. 즉 구리 전기도금, 니켈 전기도금 또는 니켈 합금 전기도금 공정으로 초소형 구조물을 가지는 모듈을 제작한다. 제2 단계(ST2)는 다양한 형상의 초소형 구조물을 표면에 가지는 모듈을 다양한 두께로 형성한다.
제3 단계(ST3)는 다양한 초소형 구조물을 가지는 다양한 두께의 모듈들을 선택하고, 선택된 모듈들을 조합 및 결합하여, 전체적으로 다양한 구조로 마이크로 몰드 시스템을 형성한다.
따라서 일 실시예의 마이크로 몰드 시스템은 다양하게 설정된 두께를 가지는 모듈들을 조합 및 결합하여 롤 형상으로 형성하여, 롤 형상의 표면에 복잡한 형상을 구성하므로 다양하고 복잡한 형상을 가지는 초소형 구조물을 연속적으로 대량 성형할 수 있다.
설명의 중복을 피하기 위하여, 이하에서 마이크로 몰드 시스템의 구성과 이의 제조 방법의 구체적인 예에 대하여 같이 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템에 적용되며, 평면 방향의 노광 및 금속 전기도금으로 제작된 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈의 사시도이다.
금속 기판에 감광재인 PMMA(polymethyl methacrylate)를 부착하고, X-선 마스크를 이용하여 PMMA를 선택적으로 X-선 노광한 후, 현상함으로써 모구조물이 제작된다(미도시). 금속 전기도금 공정을 진행하여, 제작된 모구조물의 빈 공간에 금속 구조물을 형성한 후, 남아 있는 모구조물을 제거함으로써, 금속 기판(104) 상에 모듈들(101)이 남는다.
이와 같이 모듈(101)은 제1, 제2 단계(ST1, ST2)에 의하여 제작되며, 설정된 두께(t)를 가지고 실린더 상으로 형성되고, 표면에 초소형 구조물(103)을 가지며, 중심에 결합구(102)를 가진다. 초소형 구조물(103)은 설정된 두께(t)의 실린더 상의 표면에 노광으로 제작된다. 결합구(102)는 모듈(101)의 중심에 형성되어 모듈들(101)의 조합 및 결합을 용이하게 한다.
도 3은 표면에 다양한 형상의 초소형 구조물을 형성한 모듈들을 조합한 사시도이다. 도 3을 참조하면, 복수의 모듈들(101)은 각각 다양한 두께(t)를 가지며, 각각 서로 다른 형상의 초소형 구조물(103)을 가지므로 다양한 조합 및 결합에 의하여 다양한 마이크로 몰드 시스템을 형성할 수 있다.
예를 들면, 모듈들(101)은 표면에 형성된 초소형 구조물을 삼각형으로 형성하는 제1 모듈(201), 사각형으로 형성하는 제2 모듈(202) 및 사다리꼴형으로 형성하는 제3 모듈(203)을 포함한다. 또한, 모듈들은 도시하지 않은 곡선형과 같이 다양하게 형성될 수도 있다.
적어도 제1, 제2, 제3 모듈(201, 202, 203)을 조합하는 경우, 일반적인 제작 기술로는 구현하기 어려운 복잡한 형상을 가지는 마이크로 몰드 시스템을 구현할 수 있다. 또한, 모듈들(101)은 기제작된 모듈들의 다양한 조합을 통하여 몰드의 원하는 최종 형상을 자유롭게 변경 설정할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 이용하여, 초소형 구조물을 연속적으로 성형하는 공정의 사시도이다. 도 4를 참조하면, 마이크로 몰드 시스템(301)은 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술에 적용되어, 복잡한 형상의 초소형 구조물(304)을 연속적으로 성형할 수 있다.
마이크로 몰드 시스템(301)은 복수의 모듈들(101)을 조합 및 결합하여, 전체적으로 롤 형상으로 형성되며, 평평한 플라스틱 판재(303)(또는 용융된 플라스틱)에 롤-투-플레이트 방식으로 초소형 구조물(304)을 용이하게 성형할 수 있다.
도 5는 도 1의 제조 방법 중에서, 방사광 가속기를 이용한 X-선 노광 공정으로 초소형 모구조물을 제작하는 개념도이다.
도 5를 참조하면, 방사광 가속기의 선형 가속기에서 가속된 전자들은 저장링(401)을 회전하면서 일정한 지점에서 접선 방향으로 다양한 파장대의 고에너지 방사광을 방출한다. 고에너지 방사광은 여러 빔라인 설비들(402)을 거친 후, X-선 노광 공정에 이용된다.
최종적인 고에너지 X-선(403)을 원하는 영역에 선택적으로 조사하기 위하여 X-선 마스크(미도시)가 요구되며, 이와 같은 X-선 마스크와 감광재는 스캐너(404)에 부착되어 일정한 속도로 움직인다. 따라서 감광재가 X-선으로 노광되고 현상 후, 초소형 모(母)구조물로 제작된다.
도 6a는 X-선 노광 공정으로 제작된 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈의 모구조물들의 사시도이다. 도 6a를 참조하면, 실시예의 제조 방법으로 실제 제작된 것으로서, X-선 노광 공정시, 티타늄 기판(504)에 두께 1mm의 PMMA 판재(503)를 부착하여 감광재로 이용한다.
즉 도 6a는 X-선 노광 공정 및 현상 공정을 통하여 제작된 PMMA 모구조물(501)을 나타낸다. 노광 공정 후, 금속 전기도금을 위한 모구조물(501)로 이용되므로 제작된 PMMA 모구조물(501)은 최종 모듈의 반대 형상을 가진다. 예를 들면, 모구조물(501)은 외측에 대응 초소형 구조물(511)과 중심에 대응 돌기(512)를 가진다.
도 6b는 도 6a의 모구조물에 대한 전기도금 공정으로 제작된 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈들의 사시도이다. 도 6b를 참조하면, 실시예의 제조 방법으로 실제 제작된 것으로서, 모구조물(501)의 빈 공간에 전기도금 공정을 통하여 구리를 채우고, 모구조물(501) 즉 PMMA 판재(503)를 제거함으로써 모구조물들(501)에 대응하는 자리에 모듈들(505)이 형성된다.
제작된 모듈들(505)은 대응 초소형 구조물(511)에 의하여 형성되는 다양한 초소형 구조물(506)을 측면에 가지며, 대응 돌기(512)에 의하여 형성되는 결합구(507)를 중심에 가진다.
도 7a, 도 7b 및 도 7c는 표면에 삼각형, 사각형 및 사다리꼴형 초소형 구조물을 가지는 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈의 부분 사시도이다.
도 7a, 도 7b 및 도 7c를 참조하면, 실시예의 제조 방법으로 실제 제작된 것으로서, 모듈들(601, 602, 603)은 X-선 노광 및 전기도금 공정을 통하여 실린더 형상을 가지며, 그 표면에 각각 삼각형, 사각형 및 사다리꼴형의 초소형 구조물들을 가지는 것을 예시한다.
도 8a는 다양한 초소형 구조물을 가지는 마이크로 몰드 형성용 모듈들을 조합/결합하여 제작된 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템의 사시도이고, 도 8b는 도 8a의 부분 확대도이다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 실시예의 제조 방법으로 실제 제작된 것으로서, 마이크로 몰드 시스템(700)은 모듈들(701)을 원하는 구조로 조합함으로써 롤 형상으로 구성된다.
이를 위하여, 마이크로 몰드 시스템(700)은 축부재(702)와 지지부재(703)를 포함한다. 축부재(702)는 복수 모듈(701)의 중심에 형성된 각 결합구(도 3의 102 참조)에 삽입되고, 지지부재(703)는 조합 및 결합된 모듈들(701)의 양측에서 축부재(702)에 결합되어 모듈들(701)을 지지하여, 축부재(702)와 모듈(701)의 안정된 결합 구조를 형성한다.
축부재(702)는 길게 형성되어 롤 방식의 초소형 대량 성형기술에 적용될 수 있게 한다. 축부재(702)와 결합구(미도시)는 서로 대응하여 형성 및 결합되며, 즉 축부재(702)는 단면 사각형으로 형성되고, 결합구는 사각형 구멍으로 형성되므로 축부재(702) 상에서 모듈들(701)이 회전 방지된다.
즉 마이크로 몰드 시스템(700)은 모듈들(701)로 롤 상태를 형성하고, 표면에 초소형 구조물들에 의한 형상을 복잡하게 구현한다.
도 9a는 제작된 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 이용하여 시성형된 플라스틱 구조물의 사시도이고, 도 9b는 도 9a의 부분 확대도이다. 도 9a 및 도 9b는 시성형된 플라스틱 초소형 구조물을 예시한다.
용융된 LDPE(Low Density Polyethylene) 상에 롤 성형을 수행하여, LDPE 구조물(801)을 성형하였다. 용융된 LDPE는 플라스틱의 점성을 낮추어 성형 조건을 유리하게 한다. LDPE 구조물(801)은 표면에 초소형 구조물들(802, 803, 804)을 구비하고 있다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
101, 505, 601, 602, 603, 701 : 모듈 102, 507 : 결합구
103, 304, 802, 803, 804 : 초소형 구조물 104 : 금속 기판
201, 202, 203 : 제1, 제2, 제3 모듈 301, 700 : 마이크로 몰드 시스템
303 : 플라스틱 판재 402 : 빔라인 설비
403 : 고에너지 X-선 404 : 스캐너
504 : 티타늄 기판 503 : PMMA 판재
501 : 모구조물 511 : 대응 초소형 구조물
512 : 대응 돌기 702 : 축부재
703 : 지지부재 801 : LDPE 구조물
t : 두께

Claims (8)

  1. 노광 공정으로 중심에 대응 돌기를 구비하는 초소형 모구조물을 제작하는 제1 단계;
    금속 전기도금 공정으로 상기 모구조물의 표면에 초소형 구조물을 형성하고 상기 대응 돌기에 대응하여 중심에 결합구를 가지는 실린더 상의 마이크로 몰드 형성용 모듈을 제작하는 제2 단계; 및
    상기 모듈을 조합하여 상기 결합구에 축부재를 삽입하여 상기 모듈을 축 방향으로 결합하여 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 형성하는 제3 단계
    를 포함하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 단계의 상기 노광 공정은,
    방사광 가속기의 X-선을 이용하는 심부 X선 노광(DXRL; deep x-ray lithography) 공정 및
    UV를 광원으로 이용하는 노광 공정 중 어느 하나인 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 단계의 상기 금속 전기도금 공정은,
    구리 전기도금, 니켈 전기도금 및 니켈 합금 전기도금 중 어느 하나인 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 단계는,
    표면에 상기 초소형 구조물을 가지는 상기 모듈을 다양한 두께로 형성하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제3 단계는,
    다양한 초소형 구조물을 가지는 다양한 두께의 상기 모듈들을 선택하고,
    상기 모듈들을 조합 및 결합하여,
    상기 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 다양한 구조로 형성하는
    롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법.
  6. 설정된 두께의 실린더 상으로 형성되고, 표면에 초소형 구조물을 가지는 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈들;
    상기 모듈의 중심에 형성된 결합구에 삽입되는 축부재; 및
    조합되어 상기 결합구를 통하여 상기 축부재에 축 방향으로 결합된 상기 모듈들의 양측에서 상기 축부재에 결합되어 상기 모듈들을 지지하는 지지부재
    를 포함하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 모듈들은,
    표면에 상기 초소형 구조물을 가지고 다양한 두께를 가지는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 모듈의 표면에 형성된 초소형 구조물은
    삼각형, 사각형 및 사다리꼴형 중 하나로 형성되는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6132718A (ja) 1984-07-25 1986-02-15 Matsushita Electric Works Ltd 合成樹脂成型金型の製法
JP2008265244A (ja) 2007-04-24 2008-11-06 Process Lab Micron:Kk 微細金型とその製造方法、及び微細金型の作成用めっき母型

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