KR101231418B1 - Ink discharge control system, and color filter manufacturing method - Google Patents

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Abstract

칼라 필터의 얼룩의 발생을 저감 하는 등, 광학 특성을 향상시킬 수 있는 잉크의 토출량 제어 시스템 및 칼라 필터의 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명에서는 복수 단계(예를 들면 4단계)의, 1개의 인쇄 헤드에 있어서의 각 노즐로 공통의 전압치마다의 색도 정보에 주목되어 그 색도 정보와 노즐 넘버가 대응시킬 수 있는 N-C테이블이 이용된다. 상기 N-C테이블의 정보로부터, 최적인 개별의 토출량의 전압치가 산출되어 그 전압치로 각 노즐(45)로부터 잉크가 토출된다. 이것에 의해, 1개의 색에 대해서, 복수의 화소로 균일한 색도를 가지는 칼라 필터를 제조할 수 있어 얼룩의 발생을 저감할 수 있다.It is to provide an ink discharge amount control system and a method for producing a color filter that can improve optical characteristics, such as reducing occurrence of uneven color of a color filter. In the present invention, an N-C table in which a plurality of stages (for example, four stages) focuses on chromaticity information for each voltage value common to each nozzle in one print head, and the chromaticity information and the nozzle number can correspond to each other. This is used. From the information of the N-C table, a voltage value of an optimal individual discharge amount is calculated, and ink is discharged from each nozzle 45 at the voltage value. Thereby, the color filter which has a uniform chromaticity can be manufactured with a some pixel with respect to one color, and generation | occurrence | production of a stain can be reduced.

Description

잉크의 토출량 제어 시스템 및 칼라 필터의 제조 방법{INK DISCHARGE CONTROL SYSTEM, AND COLOR FILTER MANUFACTURING METHOD}Ink discharge amount control system and manufacturing method of color filter {INK DISCHARGE CONTROL SYSTEM, AND COLOR FILTER MANUFACTURING METHOD}

본 발명은, 예를 들면 액정 패널, EL(Electro-Luminescence) 패널 등에 이용되는 칼라 필터의 대상 영역에 칼라 잉크를 토출하는 경우, 잉크의 토출량 제어 시스템 및 칼라 필터의 제조 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the discharge amount control system of an ink, and a manufacturing method of a color filter, when discharging color ink to the target area of the color filter used for a liquid crystal panel, an electro-luminescence (EL) panel, etc., for example.

본 발명은, 예를 들면 액정 패널, EL(Electro-Luminescence) 패널 등에 이용되는 칼라 필터의 대상 영역에 칼라 잉크를 토출하는 경우, 잉크의 토출량 제어 시스템 및 칼라 필터의 제조 방법에 관한 것이다. 종래부터, 칼라 필터의 제조에 잉크젯 방법이 이용되어 왔다. 잉크젯 법에서는, 1개 또는 복수의 잉크젯 헤드가, 칼라 필터 기판상을 상대적으로 주사 하면서, 칼라 잉크를 기판상에 토출했다. 1개의 잉크젯 헤드는, 복수의 노즐을 구비하여, 복수의 노즐이, 복수의 화소에 대응하는 영역에 각각 잉크를 토출했다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the discharge amount control system of an ink, and a manufacturing method of a color filter, when discharging color ink to the target area of the color filter used for a liquid crystal panel, an electro-luminescence (EL) panel, etc., for example. Conventionally, the inkjet method has been used for manufacture of a color filter. In the inkjet method, one or a plurality of inkjet heads discharged color ink onto the substrate while relatively scanning the color filter substrate. One inkjet head was provided with the some nozzle, and the some nozzle discharged ink in the area | region corresponding to the some pixel, respectively.

그런데, 복수의 노즐에 의해 화소가 착색되기 위해, 개개의 노즐의 잉크의 토출 상태가 다른 경우가 있어, 이것이, 각 화소의 색농도에 영향을 준다. 거기서, 칼라 필터 기판의 착색부의 색농도를 광학적으로 측정해, 그 측정 결과에 따라, 잉크젯 헤드에 의한 잉크의 타자치기 밀도(타자되어 박힌 잉크량)를 결정하는 방법이 있다. 구체적으로는, 그 색농도의 측정 데이터(각 화소의 빛의 투과율)가 모아져 그 각 화소의 투과율의 데이터와 잉크 타자치기 밀도의 변경 비율이 대응한 테이블이 작성되어 그 테이블을 이용하고, 화소의 잉크 타자치기 밀도가 결정된다(예를 들면, 특허 문헌1참조).By the way, in order to color a pixel by a some nozzle, the ejected state of the ink of each nozzle may differ, and this affects the color density of each pixel. There is a method of optically measuring the color density of the colored portion of the color filter substrate and determining the typewriter density (the amount of ink that is typed and embedded) of the ink by the inkjet head in accordance with the measurement result. Specifically, a measurement table (transmittance of light of each pixel) of the color concentration is collected, and a table corresponding to the data of the transmittance of each pixel and the rate of change of the ink typewriter density is prepared, and the table is used. Ink typewriter density is determined (for example, refer patent document 1).

특개2000-266920호 공보(단락[0072], [0076], [0080], [0125])Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-266920 (paragraphs [0072], [0076], [0080], [0125])

상기 특허 문헌1의 방법에서는, 광투과율, 즉 휘도(혹은 명도)에만 기초를 두어, 잉크의 타자치기 밀도가 결정되므로, 복수의 화소내에서의 얼룩의 발생을 억제할 수 없는 경우가 있다.In the method of the said patent document 1, since the typewriter density of ink is determined based only on light transmittance, ie, brightness (or brightness), generation | occurrence | production of the unevenness in some pixel may not be suppressed.

이상과 같은 문제점으로 인하여, 본 발명의 목적은, 칼라 필터의 얼룩의 발생을 저감하는 등, 광학 특성을 향상시킬 수 있는, 잉크의 토출량 제어 시스템 및 칼라 필터의 제조 방법을 제공하는 것에 있다.In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide an ink discharge amount control system and a method for manufacturing a color filter, which can improve optical characteristics, such as reducing occurrence of unevenness of a color filter.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명과 관련되는 토출량 제어 시스템은, 칼라 필터의 복수의 화소 영역내에 각각 잉크를 토출하는 복수의 노즐을 구비하여, 상기 복수의 노즐로부터 각각 개별의 토출량으로 상기 잉크를 토출시키는 것이 가능한 잉크 공급 유닛으로부터의 상기 잉크의 토출량을 제어하는 토출량 제어 시스템에 있어서, 상기 복수의 노즐로부터 각각의 상기 잉크의 상기 토출량을 제어하기 위한 제어치를 가지며, 복수 단계에서 설정되어 상기 복수의 노즐에 공통의 제어치로 제어된 상기 잉크의 토출량을 공급하고, 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 광학 특성을 상기 복수 단계 마다 측정하는 측정 수단과, 상기 복수의 노즐에 각각 첨부된 식별 정보와, 상기 측정된 상기 복수 단계의 상기 공통의 제어치 마다의 광학 특성의 정보를 대응시키는 대응 정보를 작성하는 대응 정보 작성 수단과, 상기 작성된 대응 정보에 근거해, 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 광학 특성을 소정의 범위에 산정하기 위한 상기 개별의 토출량의 제어치를 산출하는 제어치 산출 수단과, 상기 산출된 토출량 제어치로, 상기 복수의 노즐로부터 상기 잉크를 각각 토출시키도록 상기 잉크 공급 유닛을 제어하는 공급 제어 수단을 구비한다.In order to achieve the above object, a discharge amount control system according to the present invention includes a plurality of nozzles for respectively discharging ink in a plurality of pixel areas of a color filter, and the ink is discharged from the plurality of nozzles with respective discharge amounts. A discharge amount control system for controlling the discharge amount of the ink from an ink supply unit capable of discharging, the discharge amount control system comprising: a control value for controlling the discharge amount of each of the ink from the plurality of nozzles; Measuring means for supplying a discharge amount of the ink controlled by a common control value to a nozzle, and measuring optical characteristics of the ink in the plurality of pixel regions at each of the plurality of steps, identification information attached to each of the plurality of nozzles, Information on optical characteristics for each of the common control values of the plurality of measured steps A corresponding information generation means for creating corresponding information to be matched, and a control value for calculating the individual discharge amount for calculating an optical characteristic of the ink in the plurality of pixel areas in a predetermined range, based on the created corresponding information. And a supply calculating means for controlling the ink supply unit to eject the ink from the plurality of nozzles, respectively, with the value calculating means and the calculated discharge amount control value.

본 발명에서는, 복수 단계의 공통의 제어치 마다의 광학 특성의 정보로 주목해, 그 광학 특성 정보와 노즐의 식별 정보가 대응 붙일 수 있었던 대응 정보가 이용된다. 제어치 산출 수단에서는, 그 대응 정보로부터, 최적인 개별의 토출량의 제어치가 산출되어 그 토출량 제어치로 각 노즐로부터 잉크가 토출된다. 이것에 의해, 1개의 색에 대해서, 복수의 화소로 균일한 광학 특성을 가지는 칼라 필터를 제조할 수 있다. 즉, 칼라 필터의 얼룩의 발생을 저감 하는 등, 광학 특성을 향상시킬 수 있다.In this invention, attention is paid to the information of the optical characteristic for every common control value of several steps, and the correspondence information which the optical characteristic information and the identification information of the nozzle corresponded is used. In the control value calculating means, the control value of the optimum individual discharge amount is calculated from the corresponding information, and ink is discharged from each nozzle at the discharge amount control value. Thereby, the color filter which has uniform optical characteristic with a some pixel with respect to one color can be manufactured. That is, the optical characteristic can be improved, such as reducing the occurrence of unevenness of the color filter.

「제어치 산출 수단」이 실행하는 「산출」에는, 복수 단계의 공통의 제어치로부터, 최적인 개별의 토출량 제어치를 「선택」하는 동작도 포함된다.The "calculation" executed by the "control value calculation means" also includes an operation of "selecting" the optimal individual discharge amount control value from the common control values of the plurality of steps.

「광학 특성」은, 색도, 색상, 채도, 명도, 및, 특정의 주파수의 파장의 반사율, 굴절률 및 투과율 중에서 적어도 1개를 포함한다.The "optical characteristic" includes at least one of chromaticity, hue, saturation, brightness, and reflectance, refractive index, and transmittance of a wavelength of a specific frequency.

측정 수단은, 전형적으로는, 복수의 화소 영역내의 개개의 잉크의 광학 특성을 측정한다. 그러나, 측정 수단은, 상기 복수의 화소 영역내의 소정의 화소(소정의 복수의 화소)의 잉크의 광학 특성을 측정해도 좋다.The measuring means typically measures the optical properties of the individual inks in the plurality of pixel regions. However, the measuring means may measure the optical characteristics of the ink of a predetermined pixel (predetermined plurality of pixels) in the plurality of pixel regions.

예를 들면, 상기 잉크 공급 유닛은, 상기 제어치로서의 구동 전압에 따르고, 상기 잉크의 토출량을 제어하는 디바이스를 가지며, 상기 공급 제어 수단은 상기 구동 전압의 파형을 제어한다.For example, the ink supply unit has a device that controls the discharge amount of the ink in accordance with the drive voltage as the control value, and the supply control means controls the waveform of the drive voltage.

상기 측정 수단은, 상기 복수의 화소 영역중 적어도 1개의 화소 영역내에 공급된 상기 잉크의 광학 특성을, 상기1개의 화소 영역내의 전체로 측정한다.The said measuring means measures the optical characteristic of the said ink supplied in the at least 1 pixel area | region of the said some pixel area to the whole in the said one pixel area.

「1개의 화소 영역내의 전체로 광학 특성을 측정한다」라는 것은, 예를 들면, 측정 수단이, 1개의 화소 영역의 면적과 실질적으로 같거나 그것보다 큰 범위의 빛, 즉, 그 1개의 화소 영역의 전체의 빛을 검출하고, 그 광학 특성을 측정하는 것을 의미한다.The term "measure the optical characteristic as a whole in one pixel area" means that the measuring means is light in a range substantially equal to or larger than the area of one pixel area, that is, the one pixel area. Means to detect the light in its entirety and measure its optical properties.

혹은, 측정 수단이, 1개의 화소 영역의 면적보다 작은 범위의 빛, 즉, 그 1개의 화소 영역의 면적보다 좁은 범위내의 빛을 검출하고, 그 광학 특성을 측정해도 좋다. 이 경우, 측정 수단은, 그 복수 개소에서의 상기 광학 특성에 근거하는 연산치를, 상기1개의 화소 영역내의 상기 잉크의 광학 특성으로 할 수 있다. 연산치로서는, 평균치, 중앙치, 혹은 RMS(Root Mean Square) 등을 들 수 있다.Alternatively, the measuring means may detect light in a range smaller than the area of one pixel region, that is, light in a range narrower than the area of the one pixel region, and measure the optical characteristics. In this case, the measuring means can set the computed value based on the said optical characteristic in the several places as the optical characteristic of the said ink in the said one pixel area. Examples of the calculated value include an average value, a median value, or Root Mean Square (RMS).

상기 측정 수단은, 상기 공급 제어 수단의 제어하에서 토출된, 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크 상태를 검사하는 검사 유닛을 포함한다.The measuring means includes an inspection unit for inspecting the ink state in the plurality of pixel areas discharged under the control of the supply control means.

예를 들면, 상기 검사 유닛은, 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 광학 특성을 측정하는 측정기이다. 복수의 노즐에 공통의 제어치로 제어된 잉크의 토출량으로 공급된, 복수의 화소 영역내의 잉크의 광학 특성을, 상기 복수 단계 마다 측정하는 경우에도, 이 측정기가 이용되면 좋다.For example, the said inspection unit is a measuring device which measures the optical characteristic of the said ink in the said some pixel area | region. This measuring device may be used even when the optical characteristics of the ink in the plurality of pixel areas supplied at the discharge amount of the ink controlled by the control value common to the plurality of nozzles are measured for each of the plurality of steps.

상기 검사 유닛은, 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 양을 화상 처리에 의해 측정하는 화상 처리식 측정기여도 좋다. 혹은, 상기 검사 유닛은, 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 중량을 측정하는 것으로, 상기 잉크의 양을 측정하는 중량 측정기여도 좋다.The inspection unit may be an image processing type measuring instrument that measures the amount of the ink in the plurality of pixel areas by image processing. Alternatively, the inspection unit measures the weight of the ink in the plurality of pixel regions, and may be a weighing instrument for measuring the amount of the ink.

화상 처리식 측정기 및 중량 측정기 중 적어도 한쪽은, 상기 측정기의 보조로서 이용되어도 좋다. 토출량 제어 시스템의 주위의 환경(온도, 습도 등)의 변화, 혹은 각 노즐의 경시 변화(經時變化) 등이 없는 한, 일단, 상기 대응 정보가 작성되어 그 대응 정보에 근거하는 개별의 토출량의 제어치가 설정되면, 얼룩이 발생하지 않는다. 바꾸어 말하면, 토출량 제어 시스템의 주위의 환경, 또는 각 노즐의 경시 변화 등이 있는 것을 상정하고, 토출량 제어 시스템은, 다음과 같은 수단을 더 구비하고 있어도 좋다. 즉, 토출량 제어 시스템은, 화상 처리식 측정기 및 중량 측정기 중 적어도 한쪽의 측정 데이터에 근거하고, 복수의 노즐로부터의 잉크의 토출량이 실질적으로 일정하도록, 상기 잉크 공급 유닛을 제어하는 제어 수단을 더 구비하고 있어도 좋다.At least one of an image processing type measuring instrument and a weight measuring instrument may be used as an auxiliary to the measuring instrument. As long as there is no change in the environment (temperature, humidity, etc.) around the discharge amount control system, or the time-dependent change of each nozzle, the corresponding information is created once and the individual discharge amount based on the corresponding information is determined. If the control value is set, no stain occurs. In other words, assuming that there is an environment around the discharge amount control system, or a time-dependent change of each nozzle, the discharge amount control system may further include the following means. That is, the discharge amount control system further includes control means for controlling the ink supply unit so that the discharge amount of the ink from the plurality of nozzles is substantially constant based on the measurement data of at least one of the image processing type gauge and the weight gauge. You may do it.

본 발명과 관련되는 칼라 필터의 제조 방법은, 칼라 필터의 복수의 화소 영역내에 각각 잉크를 토출되는 복수의 노즐을 구비하며, 상기 복수의 노즐로부터 각각 개별의 토출량으로 상기 잉크를 토출시키는 것이 가능한 잉크 공급 유닛을 이용하고, 상기 칼라 필터를 제조하는 제조 방법에서, 상기 복수의 노즐로부터의 각각의 상기 잉크의 상기 토출량을 제어하기 위한 제어치가 구비되며, 복수 단계에서 설정되어 상기 복수의 노즐에 공통의 제어치로 제어된 상기 잉크의 토출량으로 공급된 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 광학 특성을 상기 복수 단계 마다 측정해, 상기 복수의 노즐에 각각 첨부된 식별 정보와 상기 측정된 상기 복수 단계의 상기 공통의 제어치마다의 광학 특성의 정보를 대응시키는 대응 정보를 작성해, 상기 작성된 대응 정보에 근거해, 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 광학 특성을 소정의 범위에 산정하기 위한 상기 개별의 토출량의 제어치를 산출해, 상기 산출된 토출량 제어치로, 상기 복수의 노즐로부터 상기 잉크를 각각 토출시키도록, 상기 잉크 공급 유닛을 제어한다.The manufacturing method of the color filter which concerns on this invention is equipped with the some nozzle which respectively discharges ink in the some pixel area | region of a color filter, and ink which can discharge the said ink by each discharge amount from each of these nozzles In the manufacturing method which manufactures the said color filter using a supply unit, the control value for controlling the discharge amount of each said ink from the said some nozzle is provided, it is set in several steps, and is common to the said some nozzle. The optical characteristics of the ink in the plurality of pixel regions supplied at the discharge amount of the ink controlled by a control value are measured for each of the plurality of steps, and identification information attached to the plurality of nozzles and the common of the measured plurality of steps, respectively Correspondence information which makes correspondence information corresponding to information of optical characteristic for every control value of Based on the calculation, the control value of the respective discharge amount for calculating the optical characteristics of the ink in the plurality of pixel areas in a predetermined range is calculated, and each of the ink is discharged from the plurality of nozzles with the calculated discharge amount control value. To control the ink supply unit.

칼라 필터의 제조 방법은, 또한 상기 잉크의 광학 특성을 측정하기 전에, 상기 공통의 제어치로 제어된 토출량으로 상기 잉크가 공급된 상기 칼라 필터를 베이크(bake) 한다. 즉, 프리베이크에 의해, 칼라 필터에 공급된 잉크가 구워 굳힐 수 있다. 이것에 의해, 광학 특성의 측정이 용이하게 되어, 보다 정확한 광학 특성 정보를 얻을 수 있다.The manufacturing method of a color filter further bakes the said color filter by which the said ink was supplied by the discharge amount controlled by the said common control value, before measuring the optical characteristic of the said ink. That is, the ink supplied to the color filter can be baked and hardened by the prebaking. As a result, the measurement of the optical characteristics becomes easy, and more accurate optical characteristic information can be obtained.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 칼라 필터의 얼룩의 발생을 저감 할 수 있다.As mentioned above, according to this invention, generation | occurrence | production of the unevenness of a color filter can be reduced.

도면 1은 본 발명의 일실시의 형태와 관련되는 칼라 필터의 제조 시스템을 나타내는 블럭도이다.
도면 2는 일실시의 형태와 관련되는 잉크젯 장치를 나타내는 도면이다.
도면 3은 도 2에 나타낸 잉크젯 장치의 측면도이다.
도면 4(A)는, 칼라 필터 기판 W의 일부를 확대한 평면도이다. 도면 4(B)는, (A)에 있어서의 A-A선단면도이다.
도면 5는 1개의 인쇄 헤드의 노즐과 칼라 필터 기판과의 위치 관계를 설명하기 위한 모식도이다.
도면 6은 칼라 필터 기판 W의 제조 시스템의 동작을 나타내는 플로차트(flow chart)이다.
도면 7은 검사 장치로서의 색도 측정기에 있어서의 측정 원리를 나타내는 모식도이다.
도면 8은 빨강의 착색층의 스펙트럼 정보를 나타내는 그래프이다.
도면 9는 N-C테이블을 그래프화한 도면 이다.
도면 10은 N-V테이블을 그래프화한 도면 이다.
도면 11은 색도 측정으로 측정된, 화소 영역마다의 잉크(또는 착색층)의 색도를 나타내는 그래프이다.
도면 12는 실제로 작성된 N-C테이블의 그래프의 일례이다.
도면 13은 도 12에 나타낸 N-C테이블에 근거해 작성된 N-V테이블에 근거해 착색된, 칼라 필터의 각 화소 영역의 잉크(또는 착색층6)의 파랑의 색도를 나타내는 그래프의 일례이다.
도면 14는 본 발명의 다른 실시의 형태와 관련되는, 칼라 필터 기판 W의 제조 시스템의 동작을 나타내는 플로차트(flow chart)이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a block diagram which shows the manufacturing system of the color filter which concerns on one Embodiment of this invention.
2 is a diagram showing an inkjet device according to one embodiment.
3 is a side view of the inkjet apparatus shown in FIG. 2.
4A is a plan view in which a part of the color filter substrate VII is enlarged. Fig. 4 (b) is a cross-sectional view taken along the line AA in Fig. 4A.
5 is a schematic diagram for explaining a positional relationship between a nozzle of one print head and a color filter substrate.
FIG. 6 is a flow chart showing the operation of the manufacturing system of the color filter substrate VII.
It is a schematic diagram which shows the measuring principle in the chromaticity measuring instrument as an inspection apparatus.
8 is a graph showing spectral information of a red colored layer.
9 is a graph of an NC table.
10 is a graph of an N-X table.
11 is a graph showing the chromaticity of the ink (or colored layer) for each pixel region measured by chromaticity measurement.
12 is an example of the graph of the N-C table actually created.
FIG. 13 is an example of the graph which shows the chromaticity of the blue color of the ink (or colored layer 6) of each pixel area of the color filter colored based on the N-X table created based on the N-C table shown in FIG.
It is a flowchart which shows operation | movement of the manufacturing system of the color filter substrate 되는 which concerns on other embodiment of this invention.

이하, 본 발명의 실시의 형태를 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

도면 1은, 본 발명의 일실시의 형태와 관련되는 칼라 필터의 제조 시스템을 나타내는 블럭도이다.1 is a block diagram showing a manufacturing system of a color filter according to an embodiment of the present invention.

제조 시스템(100)은, 잉크젯 장치(10), 프리베이크 장치(30), 검사 장치(검사 유닛)(50) 및 반송 장치(70)을 포함한다.The manufacturing system 100 includes the inkjet apparatus 10, the prebaking apparatus 30, the inspection apparatus (inspection unit) 50, and the conveyance apparatus 70.

반송 장치(70)은, 각 장치(10, 30 및 50)의 사이로, 칼라 필터 기판을 반송하는 반송 로봇(71)과 반송 로봇(71)이 Y축방향으로 이동하기 위한 반송로(72)를 가진다. 예를 들면 프리베이크 장치(30)는, 공지의 것이 이용된다. 잉크젯 장치(10), 프리베이크 장치(30), 검사 장치(50)의 배치순서는, 도면 1의 것에 한정되지 않고, 예를 들면 잉크젯 장치(10)이, 프리베이크 장치(30) 및 검사 장치(50)의 사이에 배치되어 있어도 좋다.The conveying apparatus 70 moves the conveyance robot 71 which conveys a color filter board | substrate between each apparatus 10, 30, and 50, and the conveyance path 72 for the conveyance robot 71 to move in an X-axis direction. Have For example, a well-known thing is used for the prebaking apparatus 30. FIG. The arrangement order of the inkjet apparatus 10, the prebaking apparatus 30, and the inspection apparatus 50 is not limited to the thing of FIG. 1, For example, the inkjet apparatus 10 is a prebaking apparatus 30 and an inspection apparatus. It may be arrange | positioned between 50.

도면 2은, 잉크젯 장치(10)을 나타내는 도면 이다. 도면 3은, 도면 2에 나타낸 잉크젯 장치의 측면도이다.2 is a diagram illustrating the inkjet device 10. FIG. 3 is a side view of the inkjet device shown in FIG. 2.

잉크젯 장치(10)은, 스테이지(15)과 스테이지(15)상에 배치된 보관 유지체(16)와, 보관 유지체(16)의 스테이지(15)와 대향하는 면에 장착된 1 또는 2이상의 인쇄 헤드(20)을 가지고 있다.The inkjet apparatus 10 includes one or two or more mounted on the stage 15 and the holding body 16 disposed on the stage 15 and the surface facing the stage 15 of the holding body 16. It has a print head 20.

스테이지(15)의 측방에는 레일(17 a, 17 b)이 연장하여 설치 되고 있다. 스테이지(15)은 레일(17 a, 17 b)의 연장된 설치 방향(X축방향)에 따라서, 레일(17 a, 17 b)에 왕복 이동 가능하게 장착되고 있다. 스테이지(15)는 고정되어 보관 유지체 16이 X축으로 따라 이동하는 구성이어도 좋다.On the side of the stage 15, rails 17a, 17k are extended and provided. The stage 15 is attached to the rails 17a and 17k so as to be reciprocally moved along the extended installation direction of the rails 17a and 17k. The stage 15 may be fixed and the structure which the holding body 16 moves along the X-axis may be sufficient.

도면 2 및 도면 3에서는, 스테이지(15)상에 칼라 필터 기판(W)가 배치된 상태를 나타내고 있다. 인쇄 헤드(20)는, 칼라 필터 기판 W의 표면으로부터 소정 거리만 이격되도록 보관 유지체(16)에 장착되어 있다. 스테이지(15)가 이동하면, 각 인쇄 헤드(20)는, 칼라 필터 기판(W)의 표면상을 칼라 필터 기판(W)과 상대적으로 X축방향으로 이동한다.In FIG.2 and FIG.3, the state in which the color filter substrate was arrange | positioned on the stage 15 is shown. The print head 20 is attached to the holding body 16 so that only a predetermined distance is separated from the surface of the color filter substrate W. When the stage 15 is moved, each print head 20 moves on the surface of the color filter substrate in the axial direction relative to the color filter substrate.

도면 2에 나타내도록(듯이), 잉크젯 장치(10)는, 예를 들면 R(Red), G(Green), B(Blue)의 칼라 잉크를 각 인쇄 헤드(20)에 공급하기 위한 공급계(4)를 갖추고 있다. 잉크의 종류로서는, 안료나 염료여도 좋다. 공급계(4)는, RGB의 각 색 공급원(14 R, 14 G 및 14 B)을 가지며, 이러한 공급원(14 R, 14 G 및 14 B)은, 배관(31 R, 31 G, 31 B)을 개입시켜 각 인쇄 헤드(20 R, 20 G 및 20 B)에 각각 접속되고 있다. 1개의 인쇄 헤드(20)에, RGB 중 1색 잉크가 공급되도록, 각 인쇄 헤드(20 R, 20 G 및 20 B)와 배관(31 R, 31 G 및 31 B)이 접속되고 있다. 본 실시의 형태에서는, 인쇄 헤드(20 R, 20 G 및 20 B)가 각각 5개씩 갖춰져 있지만, 5개씩에 한정되지 않고, 각각 4개 이하라도 좋고, 6개이상이어도 괜찮다.As shown in FIG. 2, the inkjet apparatus 10 is a supply system for supplying the color ink of R (Red), Green (Green), and Blue (Blue) to each print head 20, for example. 4) Equipped. As a kind of ink, a pigment and dye may be sufficient. The supply system 4 has each color supply source 14 R, 14 kV, and 14 kV of R ', and these supply sources 14 R, 14 kV, and 14 kV are the piping 31 R, 31 kV, and 31 kV. Are connected to each of the print heads 20R, 20Hz and 20Hz respectively. Each print head 20R, 20kV, and 20kV and piping 31R, 31kV, and 31kV are connected to one printhead 20 so that one color ink of RV may be supplied. In the present embodiment, five print heads 20 R, 20 Hz, and 20 Hz are provided, but each is not limited to five, four or less, or six or more.

공급원(14 R, 14 G 및 14 B)으로서는, 예를 들면 잉크를 저장하는 탱크(도시를 생략), 저장된 잉크를 배관(31 R, 31 G 및 31 B)에 압송하기 위한 펌프 등 (도시를 생략)을 포함한다. 배관(31 R, 31 G 및 31 B)의 도중에는, 파티클을 제거하기 위한 미도시된 필터가 설치되는 경우도 있다.As the supply source 14R, 14kV and 14kV, for example, a tank for storing ink (not shown), a pump for pumping the stored ink to the pipes 31R, 31k and 31k, etc. Omission). In the middle of piping 31 R, 31 K, and 31 K, the filter which is not shown in figure for removing a particle may be provided.

덧붙여, 각 인쇄 헤드(20 R, 20 G 및 20 B)는, 각각 도시하지 않는 배출구를 갖추고 있다. 이러한 배출구로부터 배출된 잉크는, 도시하지 않는 배출관을 개입시켜 공급원(14 R, 14 G 및 14 B)에 되돌려지게 되어 있다.In addition, each print head 20R, 20Hz, and 20Hz is equipped with the discharge port which is not shown in figure, respectively. The ink discharged from this discharge port is returned to the supply source 14R, 14kV, and 14kV via the discharge pipe which is not shown in figure.

도면 4(A)은, 칼라 필터 기판 W의 일부를 확대한 평면도이다. 도면 4(B)은, 도면 4(A)에 있어서의 A-A선 단면도이다. 칼라 필터 기판(W)은, 예를 들면, 액정 패널 또는 EL 패널 등의 제작중인 물건이다. 유리 기판, 혹은 투명 수지 기판으로 견딜 수 있는 베이스(5) 상에는 복수의 화소 영역(여기에서는 서브 화소)을 구획하기 위한 블랙 매트리스(7)가 형성되어 있다. 도면 4(B)에 도시 한바와 같이, 각 블랙 매트리스(7)의 사이에, 상기 인쇄 헤드(20)의, 예를 들면 1개의 노즐(45)로부터, RGB 중 어느하나인 1색 잉크가 공급되는 것으로, 착색층(6)이 형성된다.4A is a plan view in which a part of the color filter substrate VII is enlarged. Fig. 4 (b) is a cross-sectional view taken along the line AA in Fig. 4 (a). The color filter substrate is, for example, a product under manufacture such as a liquid crystal panel or an EL panel. On the base 5 which can endure with a glass substrate or a transparent resin substrate, the black mattress 7 for partitioning several pixel area | region (here, sub pixel) is formed. As shown in Fig. 4 (iii), one color ink, which is one of R's, is supplied from the nozzles 45, for example, of the print head 20 between the black mattresses 7, respectively. By this, the colored layer 6 is formed.

덧붙여 도면 4(A)에서는, RGB의 배열로서 RGB의 각 색이 세로 방향에 직선 모양에 늘어놓을 수 있었던 스트라이프 타입을 나타내고 있다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, RGB의 각 색이 비스듬하게 배열되는 다이아고나르타이프, 또는 그 외의 배열이어도 괜찮다. 또, 칼라 필터 기판(W)은, RGB의 3색에 한정되지 않고, 다른 색을 포함한 4색 이상이어도 괜찮다.In addition, in FIG.4 (A), the stripe type by which each color of R 'was lined up in the vertical direction as an array of R' is shown. However, the present invention is not limited to this, and may be a diagonal type or other arrangements in which each color of the RV is arranged at an angle. In addition, the color filter substrate is not limited to three colors of R ', and may be four or more colors including other colors.

칼라 필터 기판(W)은, 스테이지(15)상에, 블랙매트리스(7)가 형성되는 면을 연직 윗쪽으로 향해서 배치된다.The color filter substrate is disposed on the stage 15 with the surface on which the black mattress 7 is formed vertically upward.

도면 5는, 1개의 인쇄 헤드(20)의 노즐과 칼라 필터 기판(W)과의 위치 관계를 설명하기 위한 모식도이다. 각 인쇄 헤드(20)은, 각각 실질적으로 동일한 구조로 견딜 수 있고 있다. 인쇄 헤드 20의 아래쪽 면, 즉, 칼라 필터 기판(W)과 대면하는 면에는, 상기한 복수의 노즐(45)이 설치되고 있다. 노즐의 수는, 전형적으로는 128이지만, 32, 64, 254, 512 등, 그 수는 한정되지 않는다.FIG. 5: is a schematic diagram for demonstrating the positional relationship of the nozzle and one color filter substrate of one printhead 20. FIG. Each print head 20 can endure substantially the same structure, respectively. The said some nozzle 45 is provided in the lower surface of the printing head 20, ie, the surface facing a color filter board | substrate. Although the number of nozzles is typically 128, the number of 32, 64, 254, 512, etc. is not limited.

전형적으로는, 각 인쇄 헤드(20)는, X-Y평면내에서, 보관 유지체(16)에 비스듬하게 되도록 장착되어 각 인쇄 헤드(20)의 노즐이 Y축방향으로의 간격이 일정하도록, Y축방향으로 늘어놓을 수 있다. 또, 본 실시의 형태에서는, 각 인쇄 헤드(20)은, X축방향으로 RGB3열이 되도록 배치되어 있다.Typically, each print head 20 is mounted so as to be inclined to the holding body 16 in the X-plane, so that the nozzles of each print head 20 are constant in the X-axis direction, Can be arranged in the axial direction. In addition, in this embodiment, each print head 20 is arrange | positioned so that it may become R'3 rows in a Y-axis direction.

1개의 인쇄 헤드(20)는, 그 내부에 각 노즐(45)에 각각 접속된 복수의 잉크실(46)(도면 4(B) 참조)을 가진다. 각 잉크실(46)에 고인 잉크는, 도시하지 않는 토출 기구에 의해서 각 노즐(45)로부터 토출된다. 토출 기구로서는, 전형적으로는 피에조 엑츄에이터(piezo actuator)가 이용된다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, 버블 제트 또는 서멀 제트 등의 히팅 방식, 정전 액츄에이터 방식, 혹은 그 외의 공지의 방식을 들 수 있다.One print head 20 has a plurality of ink chambers 46 (see Fig. 4) respectively connected to the nozzles 45 therein. Ink accumulated in each ink chamber 46 is discharged from each nozzle 45 by a discharge mechanism not shown. As the discharge mechanism, a piezo actuator is typically used. However, the present invention is not limited thereto, and heating systems such as bubble jets or thermal jets, electrostatic actuator systems, or other known systems may be mentioned.

도면 5에 도시한 바와 같이, 1개의 인쇄 헤드(20)의 각 노즐(45)의 피치(p1)는, 예를 들면 칼라 필터 기판(W)에 있어서의 동색의 화소 영역의 피치(p2)와는 다른 경우가 있다. 따라서, 본 실시의 형태에서는, 예를 들면 2개에 1개의 노즐(45)마다의 X축방향의 피치가, 피치(p2)가 되도록, 각 인쇄 헤드(20)가 비스듬하게 되도록 보관 유지체(16)에 장착되고 있다.As shown in FIG. 5, the pitch # 1 of each nozzle 45 of one print head 20 differs from the pitch # 2 of the pixel area of the same color in a color filter substrate, for example. There are other cases. Therefore, in this embodiment, the holding body (for example, each print head 20 is oblique so that the pitch of the axial direction in every two nozzles 45 may become pitch (2), for example). It is attached to 16).

덧붙여 피치 p1는, 예를 들면 400~500μm이지만, 이 범위에 한정되지 않는다. 도면 1 및 도면 5에서는, Y축 방향에 대한, 각 인쇄 헤드(20)의 긴 방향의 X-Y축 평면내에서 기울어진 각도는, 설명을 이해하기 쉽게 하기 위해서 크게 그려져 있는 것이며, 실제의 기울기 각도는 미량이다.In addition, although pitch # 1 is 400-500 micrometers, for example, it is not limited to this range. In FIG. 1 and FIG. 5, the angle inclined in the Y-axis axis plane of the long direction of each print head 20 with respect to the Y-axis direction is drawn large in order to make description easy, and actual inclination The angle is trace.

칼라 필터 기판(W)에 있어서의 동색의 화소 영역의 피치(p2)와 실질적으로 동일한 피치로 구성된 노즐군을 가지는 인쇄 헤드가 이용되어도 물론 상관없다. 그 경우는, 인쇄 헤드는 그 길이 방향을 Y축 방향과 평행으로 해 보관 유지체(16)에 장착되고 있으면 좋다.It goes without saying that a print head having a nozzle group composed of a pitch substantially the same as the pitch X2 of the pixel region of the same color in the color filter substrate may be used. In that case, the print head should just be attached to the holding body 16 with the longitudinal direction parallel to the X-axis direction.

적어도 1개의 인쇄 헤드(20), 혹은, 적어도 1개의 인쇄 헤드 및 보관 유지체(16)(및/또는 공급계(4))에 의해, 잉크 공급 유닛이 구성된다.An ink supply unit is constituted by at least one print head 20 or at least one print head and the holding body 16 (and / or the supply system 4).

도면 1의 설명으로 돌아오면, 제조 시스템(100)은, 제어부(25), N-C테이블 기억부(26), N-V테이블 기억부(27)을 갖추고 있다.Returning to the description of FIG. 1, the manufacturing system 100 includes a control unit 25, an N-C table storage unit 26, and an N-X table storage unit 27.

제어부(25)는, CPU(Central Processing Unit), RAM(Random Access Memory), ROM(Read Only Memory) 등을 갖추고 있다. CPU 대신에, DSP(Digital Signal Processor), FPGA(Field Programmable Gate Array), ASIC(Application Specific Integrated Circuit) 등이 이용되어도 괜찮다.The control unit 25 is equipped with a CPU (Central Processing Unit), a RAM (Random Access Memory), a ROM (Read Only Memory), and the like. Instead of the CPU, a DSP (Digital Signal Processor), a Field Programmable Gate Array (FPA), an Application Specific Integrated Circuit (ASIC), or the like may be used.

N-C테이블 기억부(26)는, 다음에도 설명하지만, 1개의 인쇄 헤드(20)의 각 노즐(45)에 각각 첨부된 식별 정보와 검사 장치(50)로 측정된, 칼라 필터 기판(W)의 각 화소 영역내의 색도 정보를 대응되게 하는 N-C테이블(대응 정보)을 기억한다. 각 노즐(45)의 식별 정보는, 예를 들면 노즐 넘버(1, 2, 3, …)로 여겨진다. 이 노즐 넘버의 순서는, 인쇄 헤드(20)의 각 노즐(45)의 실제의 배열에 대응하고 있으면 좋다. 제어부(25) 또는 검사 장치(50)에 의해, 이 N-C테이블이 작성된다(대응 정보 작성 수단).Although the N-C table storage unit 26 will be described later, a color filter substrate (measured by the identification information and the inspection device 50 attached to each nozzle 45 of one print head 20, respectively) The N-C table (correspondence information) for correlating the chromaticity information in each pixel region of " The identification information of each nozzle 45 is regarded as nozzle numbers 1, 2, 3, ..., for example. The order of this nozzle number should just correspond to the actual arrangement | positioning of each nozzle 45 of the print head 20. As shown in FIG. This N-C table is created by the control part 25 or the inspection apparatus 50 (correspondence information creation means).

N-V테이블 기억부(27)는, 상기 1개의 인쇄 헤드(20)의 각 노즐(45)의 식별 정보와 그것들 각 노즐(45)로부터 잉크를 토출하기 위한 제어치를 대응시키는 N-V테이블을 기억한다. 제어부(25)는, 후술 하듯이 상기 N-C테이블에 근거해, 이 N-V테이블을 작성한다.The N-X table storage unit 27 stores an N-X table which corresponds to identification information of each nozzle 45 of the one print head 20 and a control value for discharging ink from the nozzles 45. Remember The control unit 25 creates this N-X table based on the said N-C table as mentioned later.

N-C테이블 기억부(26), N-V테이블 기억부(27)의 기억 디바이스로서는, 자기 디스크, 반도체 메모리, 자기 메모리등, 그 외 공지의 기억 디바이스가 이용된다.As the storage device of the N-C table storage unit 26 and the N-X table storage unit 27, other known storage devices such as a magnetic disk, a semiconductor memory, a magnetic memory, and the like are used.

각 노즐(45)로부터 잉크를 토출시키기 위한 제어치로서는, 예를 들면, 1개의 인쇄 헤드(20)내의 개개의 피에조 엑츄에이터를 구동하기 위한 개별의 전압치를 들 수 있다. 각 피에조 엑츄에이터가 개별의 제어치(토출량 제어치)로 구동되는 것으로, 각 노즐(45)로부터 개별적으로 잉크의 토출량이 제어된다.As a control value for discharging ink from each nozzle 45, the individual voltage value for driving each piezo actuator in one print head 20 is mentioned, for example. Each piezo actuator is driven by an individual control value (discharge amount control value), so that the discharge amount of ink is individually controlled from each nozzle 45.

도면 6은, 이상과 같이 구성된, 칼라 필터 기판 W의 제조 시스템의 동작을 나타내는 플로차트(flow chart)이다.FIG. 6 is a flowchart showing the operation of the manufacturing system of the color filter substrate 구성된 configured as described above.

반송 로봇(71)은, 미착색 칼라 필터 기판(W)을 잉크젯 장치(10)에 반입한다. 이것에 의해, 칼라 필터 기판 W은 스테이지(15)상에 배치되어 얼라이먼트 된다. 이 칼라 필터 기판(W)은, 더미(dummy)의 칼라 필터 기판이다. 이하, 이것을 편의적으로 더미 기판이라고 한다.The transfer robot 71 carries an uncolored color filter substrate into the inkjet device 10. As a result, the color filter substrate VII is arranged on the stage 15 and aligned. This color filter substrate is a dummy color filter substrate. Hereinafter, this is called a dummy substrate for convenience.

잉크젯 장치(10)에서는, 스테이지(15)가 이동해, 예를 들면 빨강 잉크용의 복수의 인쇄 헤드(20R)의 중 적어도 1개의 인쇄 헤드(20R)가, 1개의 인쇄 헤드(20R)의 각 노즐(45)에 공통의 제어치로, 한편, 그 제어치를 복수 단계로 나누고, 각 노즐(45)로부터 잉크를 토출시킨다(스텝 101). 공통의 제어치란, 즉, 각 노즐(45)로 공통의 일정한 전압치이다. 제어치를 복수 단계로 나눈다는 것은, 그 공통의 전압치를 복수가 다른 값으로 나누는 것이다. 단계의 개수는, 예를 들면 2~100 단계, 혹은 3~10 단계로 설정되지만, 100 단계를 넘어도 좋다.In the inkjet apparatus 10, the stage 15 moves, for example, at least one printhead 20R among the plurality of printheads 20R for red ink is used for each nozzle of one printhead 20R. The control value common to the 45 is divided into a plurality of stages, and ink is discharged from each nozzle 45 (step 101). The common control value is a constant voltage value common to each nozzle 45. Dividing a control value into plural steps divides the common voltage value into plural different values. The number of steps is set to, for example, 2 to 100 steps or 3 to 10 steps, but may be over 100 steps.

일례로서, 각 노즐(45)에 공통의 전압치는, a[V], b[V], c[V], d[V](a<b<c<d)에 4단계로 나눌 수 있다고 한다. 이러한 설정치는, 설계자에 의해 미리 설정되어 기억된 것이어도 괜찮다. 혹은, 유저가 그 설정치를 적당히 커스터마이즈하기 위한 프로그램이, 제어부(25)의 ROM등에 기억되고 있어도 괜찮다.As an example, it is assumed that voltage values common to the nozzles 45 can be divided into a [V], b [V], c [V], and d [V] (a <b <c <d) in four steps. . These setting values may be preset and stored by the designer. Or the program for a user to customize the setting value suitably may be memorize | stored in ROM etc. of the control part 25. FIG.

예를 들면, 인쇄 헤드(20R)는, 우선 a[V]의 전압치로 각 노즐(45)로부터, 더미 기판의 각 화소 영역내에 각각 빨강 잉크를 토출시킨다. 다음에, 인쇄 헤드(20R)는, b[V]의 전압치로 각 노즐(45)로부터, 그 더미 기판의 다른 각 화소 영역내에 각각 빨강 잉크를 토출시킨다. 다음에, 인쇄 헤드(20R)는, c[V]의 전압치로 각 노즐 (5)로부터, 그 더미 기판의 한층 더 다른 각 화소 영역내에 각각 빨강 잉크를 토출시킨다. 그리고 마지막으로, d[V]의 전압치로 각 노즐(45)으로부터, 그 더미 기판의 한층 더 다른 각 화소 영역내에 각각 빨강 잉크를 토출시킨다.For example, the print head 20R first discharges red ink from each nozzle 45 into each pixel region of the dummy substrate at a voltage value of a [V]. Next, the print head 20R discharges red ink from each nozzle 45 at the voltage value of [V] in each of the other pixel areas of the dummy substrate. Next, the print head 20R discharges red ink from each nozzle 5 at each voltage region of the dummy substrate at a voltage value of c [V], respectively. And finally, red ink is discharged from each nozzle 45 by the voltage value of d [V] in each pixel area of the dummy substrate which is further different.

이러한 4단계의 전압치로의 잉크 토출은, 1매의 더미 기판을 대상으로 하는 경우에 한정되지 않고, 4단계의 각각으로 다른 더미 기판(기판의 형태(형상, 크기, 패턴등 )는 같다)가 이용되어도 괜찮다.The ink ejection to the voltage values of these four stages is not limited to one dummy substrate, and different dummy substrates (substrate (shape, size, pattern, etc.) of the substrates are the same in each of the four stages). It may be used.

이러한 빨강 잉크용의 인쇄 헤드(20R)에 의한 잉크의 공급 때에, 초록 및 파랑 잉크용의 복수의 인쇄 헤드(20G 및 20B) 가운데, 적어도 1개의 인쇄 헤드(20G 및 20B)가 잉크를 더미 기판에 각각 공급해도 괜찮다. 즉, 같은 1개의 더미 기판에, 실질적으로 동시에, 인쇄 헤드(20R, 20G, 20B)에 의해 잉크가 공급되어도 괜찮다. 이 경우, 인쇄 헤드(20G 및 20B)도, 인쇄 헤드(20R)의 경우와 같게, 복수 단계의 공통의 전압치로 잉크를 각각 토출시킨다.At the time of supplying the ink by the print head 20R for red ink, at least one printhead 20 'and 20' of the plurality of print heads 20 'and 20' for green and blue ink has supplied ink to the dummy substrate. You may supply each. That is, the ink may be supplied to the same dummy substrate by the print heads 20R, 20Hz, 20Hz substantially simultaneously. In this case, the print heads 20 'and 20' are also discharged with ink at a common voltage value in a plurality of stages as in the case of the print head 20R.

다음에, 반송 로봇(71)이, 잉크가 공급된 더미 기판을, 잉크젯 장치(10)로부터 꺼내, 이것을 프리베이크 장치(30)에 반입한다. 프리베이크 장치(30)는, 소정의 온도 및 시간에 더미 기판을 베이크한다(스텝 102). 베이킹(baking)의 조건, 예를 들면 온도, 시간, 베이크 회수 등은 특히 한정되지 않고, 공지의 설정이여도 좋다. 이 프리베이크에 의해, 더미 기판에 공급된 잉크가 구워 굳힐 수 있어 도면 4(B)에 나타낸 것 같은 착색층(6)이 형성된다. 따라서, 다음의 스텝의 색도의 측정이 용이하게 되어, 보다 정확한 색도 정보를 얻을 수 있다.Next, the transfer robot 71 takes out the dummy substrate supplied with ink from the inkjet apparatus 10 and carries it into the prebaking apparatus 30. The prebaking apparatus 30 bakes a dummy substrate at a predetermined temperature and time (step 102). The conditions of baking, for example, temperature, time, number of times of baking, etc. are not specifically limited, A well-known setting may be sufficient. By this prebaking, the ink supplied to the dummy substrate can be baked and hardened to form a colored layer 6 as shown in Fig. 4 (iii). Therefore, the chromaticity measurement of the next step becomes easy, and more accurate chromaticity information can be obtained.

프리베이크 후, 반송 로봇(71)이, 더미 기판을 프리베이크 장치(30)로부터 꺼내, 이것을 검사 장치(50)에 반입한다.After the prebaking, the transfer robot 71 takes out the dummy substrate from the prebaking apparatus 30 and carries it into the inspection apparatus 50.

검사 장치(50)는, 예를 들면 1개의 더미 기판의 각 화소 영역내에 공급된 잉크의 색도를, 그 화소 영역마다 측정한다(스텝 103). 이 경우, 검사 장치(50)는, 색도 측정기를 포함한다. 도면 7은, 그 색도 측정기에 있어서의 측정 원리를 나타내는 모식도이다.The inspection apparatus 50 measures, for example, the chromaticity of the ink supplied in each pixel region of one dummy substrate for each pixel region (step 103). In this case, the inspection apparatus 50 includes a chromaticity measuring instrument. 7 is a schematic diagram showing a measurement principle in the chromaticity measuring instrument.

더미 기판(Wd)의 각 화소 영역의 하부에 아파체(32)가 각각 설치되어 1개의 화소 영역내의 전체에 빛(예를 들면 백색광, 혼합색빛)을 투과 시킨다. 더미 기판(Wd)인 칼라 필터 기판의 베이스(5)는 투명한 것으로서, 백색광이나 혼합색빛을 투과 시킨다. 각 화소 영역상에는 수광부(33)가 배치되어 분광 하는 것으로서, 예를 들면 도면 8에 나타내는 스펙트럼 정보를 얻을 수 있다. 도면 8은, RGB 각 색 착색층(6)의 스펙트럼 정보를 나타내고 있다.The apache 32 is provided in the lower part of each pixel area | region of a dummy board | substrate, and permeate | transmits light (for example, white light, mixed color light) in the whole one pixel area. The base 5 of the color filter substrate, which is a dummy substrate, is transparent and transmits white light or mixed color light. The light receiving portion 33 is disposed and spectroscopically arranged on each pixel region, and for example, spectrum information shown in FIG. 8 can be obtained. 8 has shown the spectrum information of each RGB colored layer 6.

본 실시의 형태와 관련되는 색도 측정기는, 각 화소 영역 중 적어도 1개의 화소 영역내에 공급된 잉크(또는 착색층(6))의 색도를, 1개의 화소 영역내의 전체로 측정해도 괜찮다. 예를 들면, 수광부로서 1개의 화소 영역의 면적과 실질적으로 같거나 그것보다 큰 범위의 빛을 검출할 수 있는 수광면을 갖춘 광검출 디바이스가 이용된다. 즉, 1개의 화소 영역내의 전체의 빛을 분광 하는 것으로, 1개의 화소 영역내에서 평균화한 색도를 얻을 수 있다.The chromaticity meter which concerns on this embodiment may measure the chromaticity of the ink (or the colored layer 6) supplied in the at least 1 pixel area among each pixel area in the whole one pixel area. For example, as the light receiving portion, a photodetecting device having a light receiving surface capable of detecting light in a range substantially equal to or larger than the area of one pixel region is used. That is, by spectroscopy the entire light in one pixel region, chromaticity averaged in one pixel region can be obtained.

종래에는 1개의 화소 영역내의 중앙부의 색도가 측정되고 있었다. 1개의 화소 영역내에 있고, 토출된 잉크(또는 착색층6)의 막후(膜厚)가 다른 경우가 있으므로, 정확한 색도가 측정되지 않는 경우가 있었다. 즉, 막후와 색도가 실질적으로 비례 관계에 있으므로, 막후의 틀림에 따라, 1개의 화소 영역내에서 중앙부와 그 외의 개소의 색도가 다른 경우가 있다.The chromaticity of the center part in one pixel area was measured conventionally. Since the film thickness of the discharged ink (or colored layer 6) may be different in one pixel area, accurate chromaticity may not be measured. That is, since the film thickness and the chromaticity are substantially in proportional relationship, the chromaticity of the central portion and the other parts may be different in one pixel area depending on the film thickness error.

혹은, 본 실시의 형태와 관련되는 색도 측정기는, 1개의 화소 영역내의 복수 개소를 측정해, 그 복수 개소에서의 상기 색도에 근거하는 연산치를, 1개의 화소 영역내의 잉크의 색도로 하는 것도 가능하다. 연산치로서는, 평균치, 중앙치, 혹은 RMS등을 들 수 있다.Alternatively, the chromaticity measuring instrument according to the present embodiment may measure a plurality of locations in one pixel area and set the calculated value based on the chromaticities at the plurality of locations as the chromaticity of the ink in one pixel area. . Examples of the calculated value include an average value, median value, or RMS.

1개의 더미 기판에, 복수 단계의 전압치로 토출된 잉크에 의한 착색층(6)이 형성되었을 경우, 검사 장치(50)는, 그 복수 단계에 대응하는 잉크의 색도를 측정한다. 복수의 더미 기판에, 복수 단계의 전압치로 토출된 잉크에 의한 착색층이 형성되었을 경우, 검사 장치(50)는, 복수 단계에 대응한다, 즉, 그 복수의 더미 기판 마다 잉크의 색도를 측정한다.When the colored layer 6 by the ink discharged by the voltage value of several steps was formed in one dummy board | substrate, the inspection apparatus 50 measures the chromaticity of the ink corresponding to the several step. When the colored layer by the ink discharged by the voltage value of several steps was formed in the some dummy board | substrate, the test | inspection apparatus 50 respond | corresponds to a some step, ie, it measures the chromaticity of ink for every said some dummy board | substrate. .

검사 장치(50) 또는 제어부(25)는, 이 스펙트럼 정보에 근거해, 상술의 N-C테이블을 작성해(스텝 104), 이것을 N-C테이블 기억부(26)에 기억한다.The inspection apparatus 50 or the control unit 25 creates the above-mentioned N-C table based on this spectrum information (step 104), and stores this in the N-C table storage unit 26.

도면 9는, N-C테이블을 그래프화한 도면 이다. 이것은, 복수 단계의 전압치 a[V], b[V], c[V]및 d[V]를 파라미터로 한, 노즐 넘버와 색도 정보와의 관계를 나타내고 있다. 색도 정보는, 예를 들면 CIE 표색계의 x, y, 또는 Y의 데이터로 나타내진다. 덧붙여서 Y은 휘도 데이터이다. 검사 장치(50) 또는 제어부(25)는, RGB 각 색에 대해서, x, y 및 Y의 중 적어도 1개를 포함한 테이블을 작성한다.9 is a graph of an N-C table. This shows the relationship between the nozzle number and chromaticity information using the voltage values a [V], V [V], c [V], and d [V] of the plurality of stages as parameters. The chromaticity information is represented by, for example, data of V, y, or V of the CIE color system. Incidentally, Y is luminance data. The inspection apparatus 50 or the control unit 25 creates a table including at least one of X, Y, and Y for each of the colors of R '.

도면 9에 나타낸 그래프에서는, 노즐 넘버가 중앙치(64)에 가까운 정도, 세로축의 색도치가 낮아지고 있다. 예를 들면, 이 그래프의 색도치가 x에 기인한 것이라고 할 수 있다. CIE 표색계의 색도도보다 x치가 강할 수록 적색의 영향이 강해지므로, 노즐 넘버의 중앙치 부근에 대응하는, 인쇄 헤드(20R)의 노즐에 의한 빨강 잉크량이 다른 노즐에 의한 그것보다 적은 것을 안다.In the graph shown in FIG. 9, the chromaticity value of the vertical axis | shaft has become low about the nozzle number being close to the median 64. As shown in FIG. For example, it can be said that the chromaticity value of this graph is due to x. The stronger the pitch than the chromaticity diagram of the CIE color system, the stronger the influence of red, and therefore, it is known that the amount of red ink by the nozzle of the print head 20R, corresponding to the vicinity of the center value of the nozzle number, is smaller than that of other nozzles.

스텝 101에서는, 1개의 인쇄 헤드(20)의 모든 노즐(45)에 대해 공통의 전압치였다. 이것에 대해, 제어부(25)는, 이 N-C테이블에 근거해, 다음에 더미 기판에 잉크를 공급했을 때의 각 화소 영역내의 잉크(혹은 착색층(6))의 색도를 소정의 범위에 정하기 위한, 각 노즐(45)의 개별의 구동 전압치를 산출한다(제어치 산출 수단). 즉, 제어부(25)는, 상술의 N-V테이블을 작성해(스텝 105), 이것을 N-V테이블 기억부(27)에 기억한다. In step 101, the voltage values were common to all the nozzles 45 of one print head 20. On the other hand, based on this N-C table, the control part 25 sets the chromaticity of the ink (or colored layer 6) in each pixel area at the time of supplying ink to a dummy substrate next to a predetermined range. In order to determine, the individual drive voltage value of each nozzle 45 is calculated (control value calculation means). In other words, the control unit 25 creates the above-mentioned N-X table (step 105) and stores it in the N-X table storage unit 27.

도면 9의 예로 설명한다. 상기와 같이, 노즐 넘버의 중앙치 부근에 대응하는, 인쇄 헤드(20R)의 노즐에 의한 빨강 잉크량이, 다른 노즐에 의한 그것보다 적다. 따라서, 제어부(25)는, 인쇄 헤드(20R)의 중앙 부근의 노즐의 구동 전압치를, 스텝 101의 공통의 전압치보다 소정치분 크게 한 N-V테이블을 작성한다. 이 때의 N-V테이블을 그래프화한 예를 도면 10에 나타낸다. 이것에 의해, 다음에 더미 기판에 잉크를 공급했을 때의 각 화소 영역내의 빨강 잉크(혹은 착색층6)의 색도가, 일정함에 가까워진다.The example of FIG. 9 is demonstrated. As mentioned above, the amount of red ink by the nozzle of the print head 20R corresponding to the vicinity of the median of the nozzle number is smaller than that of other nozzles. Therefore, the control part 25 creates the N-W table which made the drive voltage value of the nozzle of the center vicinity of the printhead 20R larger than the common voltage value of step 101 by predetermined value. An example of graphing the N-X table at this time is shown in FIG. Thereby, the chromaticity of the red ink (or colored layer 6) in each pixel area at the time of supplying ink to a dummy substrate next becomes constant.

공통의 전압치로부터의 변동치(상기 소정치)는, 설계자가 미리 적당히 설계해, ROM등에 기억 하게 하면 좋다. 혹은, 그 변동치를 유저가 적당히 커스터마이즈하기 위한 프로그램이, ROM등에 기억되고 있어도 괜찮다.The fluctuation value (the predetermined value) from the common voltage value may be appropriately designed by the designer in advance and stored in the ROM or the like. Or the program for user to customize the fluctuation value suitably may be memorize | stored in ROM.

제어부(25)는, 상기와 같이 복수 단계의 전압치 a[V], b[V], c[V]및 d[V]로부터, 다음에 더미 기판에 잉크를 공급했을 때의 각 화소 영역내의 잉크(혹은 착색층(6))의 색도를 소정의 범위에 정하기 위한, 구동 전압치를 「선택」하는 것도 가능하다.As described above, the control unit 25 has a plurality of levels of voltage values a [V], V [V], c [V], and d [V] in the pixel area when ink is subsequently supplied to the dummy substrate. It is also possible to "select" the drive voltage value for determining the chromaticity of the ink (or colored layer 6) in a predetermined range.

색도의 「소정의 범위」란, 1개의 인쇄 헤드(20)의 각 노즐(45)에 대응하는 각 화소 영역내의 색도가 실질적으로 일정하게 되는 범위이다. 예를 들면, 소정의 범위란, 색도의 표준 편차가σ라고 한다면, 3σ, 즉, ±0.2%정도의 오차 범위를 의미한다.The "predetermined range" of chromaticity is a range in which chromaticity in each pixel region corresponding to each nozzle 45 of one print head 20 becomes substantially constant. For example, the predetermined range means an error range of 3 sigma, that is, about 0.2%, if the standard deviation of chromaticity is sigma.

제어부(25)는, 작성된 N-V테이블의 정보를 잉크젯 장치(10)에 송신한다. 잉크젯 장치(10)는, 이 N-V테이블에 근거해, 적어도 1개의 인쇄 헤드(20의 각 노즐 45으로부터 더미 기판에 잉크를 토출시킨다(스텝 106)(공급 제어 수단).The control unit 25 transmits the generated N-X table information to the ink jet apparatus 10. The inkjet device 10 discharges ink from the nozzles 45 of at least one print head 20 to the dummy substrate based on this N-X table (step 106) (supply control means).

스텝 106에 이용되는 더미 기판은, 스텝 101 에 이용되는 것과는 별도여도 좋고, 스텝 101에 이용되는 것과 같은 더미 기판이어도 괜찮다. 스텝 101에 이용되는 것과 같은 더미 기판의 경우, 스텝 106에서는, 아직도 공급되어 있지 않은 화소 영역내에 잉크가 토출된다.The dummy substrate used in Step 106 may be separate from that used in Step 101, or may be the same dummy substrate used in Step 101. In the case of the dummy substrate as used in step 101, in step 106, ink is discharged into the pixel region that is still not supplied.

그 후, 스텝 102 및 103과 같은 처리를 한다(스텝 107 및 108). 도면 11는, 스텝 108로 측정된, 화소 영역마다의 잉크(또는 착색층6)의 색도를 나타내는 그래프이다. 횡축은 화소 넘버이며, 각 노즐(45)의 노즐 넘버에 대응한다.Thereafter, the same processing as in steps 102 and 103 is performed (steps 107 and 108). FIG. 11 is a graph showing the chromaticity of the ink (or colored layer 6) for each pixel region measured in step 108. The horizontal axis is the pixel number and corresponds to the nozzle number of each nozzle 45.

제어부(25)는, 스텝 108으로 측정된, 1개의 인쇄 헤드(20)로부터 토출된, 각 화소 영역내의 잉크(또는 착색층(6))의 색도가 상술의 소정의 범위내에 있는지 아닌지를 판정한다(스텝 109). 즉, 스텝 109에서는, 제어부(25)는, 도면 11에 나타낸 그래프의 모든 화소 넘버에 대응하는 색도가, 소정의 범위내에 있는지 아닌지를 판정하면 좋다.The control unit 25 determines whether the chromaticity of the ink (or the colored layer 6) in each pixel area, discharged from one print head 20, measured in step 108, is within the above-described predetermined range. (Step 109). That is, in step 109, the control unit 25 may determine whether or not the chromaticity corresponding to all the pixel numbers of the graph shown in FIG. 11 is within a predetermined range.

스텝 109에 있어서, 색도가 소정의 범위내에 없으면, 스텝 105로부터의 처리가 반복된다. 스텝 109에 있어서, 색도가 소정의 범위내에 있는 경우, 잉크젯 장치(10)는, N-V테이블에 근거한 전압치로, 더미 기판이 아닌 칼라 필터 기판 W에 잉크를 토출한다(스텝 110)(공급 제어 수단). 그리고 그 칼라 필터 기판(W)이 프리베이크 장치(30)에 의해 베이크 된다(스텝 111). 이것에 의해, 칼라 필터 기판(W)의 착색 공정이 종료한다.In step 109, if the chromaticity is not within the predetermined range, the process from step 105 is repeated. In step 109, when the chromaticity is within a predetermined range, the inkjet apparatus 10 discharges ink to the color filter substrate, not the dummy substrate, at a voltage value based on the N-X table (step 110) (supply control). Way). And the color filter substrate is baked by the prebaking apparatus 30 (step 111). Thereby, the coloring process of a color filter substrate is complete | finished.

덧붙여 스텝 107 및 111의 프리베이크 후에는, 각 대상 기판이 소정 온도로 냉각되어도 괜찮다.In addition, after the prebaking of step 107 and 111, each target substrate may be cooled to predetermined temperature.

이상과 같이, 본 실시의 형태에서는, 복수 단계의 공통의 전압치 마다의 색도 정보로 주목해, 그 색도 정보와 노즐 넘버가 대응할 수 있었던 N-C테이블이 이용된다. 그 N-C테이블의 정보로부터, 최적인 개별의 토출량의 전압치가 산출되어 그 전압치로 각 노즐(45)로부터 잉크가 토출된다. 이것에 의해, 1개의 색에 대해서, 복수의 화소로 균일한 색도를 가지는 칼라 필터를 제조할 수 있다. 즉, 칼라 필터의 얼룩의 발생을 저감 할 수 있다.As described above, in the present embodiment, attention is paid to chromaticity information for each common voltage value in a plurality of stages, and an N-C table in which the chromaticity information and the nozzle number correspond to each other is used. From the information of the N-C table, a voltage value of an optimal individual discharge amount is calculated, and ink is discharged from each nozzle 45 at the voltage value. Thereby, the color filter which has uniform chromaticity with a some pixel with respect to one color can be manufactured. That is, generation | occurrence | production of the spot of a color filter can be reduced.

도면 12은, 스텝 104에 대해 실제로 작성된 N-C테이블의 그래프의 일례이다. 이 예에서는, 파랑 잉크에 대해 나타내 보이고 있어 세로축의 색도는, x, y, Y 가운데, y에 대해 나타내 보이고 있다. 도면 13은, 도면 12에 나타낸 N-C테이블에 근거해 작성된 N-V테이블에 근거해 착색된, 칼라 필터의 각 화소 영역의 잉크(또는 착색층6)의 파랑의 색도를 나타내는 그래프이다. 도면 13의 예에서는, 색도의 격차가, ±0.2%의 범위내에 넣을 수 있었다.12 is an example of a graph of the N-C table actually created in Step 104. In this example, blue ink is shown, and the chromaticity of the vertical axis is shown for y, y, y, and y. FIG. 13 is a graph showing blue chromaticity of the ink (or colored layer 6) of each pixel region of the color filter colored based on the N-X table created based on the N-C table shown in FIG. In the example of FIG. 13, the chromaticity gap could fall within the range of ± 0.2%.

도면 6에 나타낸 플로우는, 칼라 필터 기판(W)의 종류, 잉크의 종류, 및 노즐의 종류가 변경될 때마다 실행되면 좋다.The flow shown in FIG. 6 may be executed whenever the kind of the color filter substrate, the kind of ink, and the kind of nozzle are changed.

이하, 본 발명의 실시예 또는 실험예에 대해 설명한다.Hereinafter, the Example or Experimental Example of this invention is demonstrated.

인쇄 헤드(20)는 Dimatex 사(社)의 SE-3이 이용되었다. 각 노즐로부터의 토출량을 제어하기 위한 구동 전압치 60[V], 63[V], 66[V], 69[V], 72[V]의 5단계에서 N-C테이블이 작성되었다. 구동 전압의 펄스폭, 구동 주파수가, 각각 6μsec, 5000 Hz이다. 1화소의 사이즈가 가로 170μm, 세로 510μm의 칼라 필터 기판에, 구동 전압치 66[V]때에 2μm이 되도록 후지 필름사의 칼라 레지스터 RGB를 도포하였다. 그 후, 칼라 필터 기판은 90℃, 120초동안 예열을 가하고, 220℃, 30분에 본 가열이 이루어졌다. 이 칼라 필터 기판에 대해서, 오오츠카전자 사의 LCF2100A에 의해, 색도 및 휘도가 측정되었다. 그 측정 결과로부터, 각 노즐의 최적인 구동 전압이 결정되어 즉, 상기 N-V테이블이 작성되어 인쇄 및 가열이 이루어졌다. 이 인쇄로의 색도의 격차는, 빨강 Ry:+/0.0014, 초록 Gy:+/0.0027, 파랑 By:+/0.0029을 달성되었다. 각 노즐의 구동 전압이 조정되지 않는 경우의 색도는 각각, +/- 0.011~0.0089이었다.As the print head 20, SE-3 of Dimatex Corporation was used. The N-C table was created in five stages of drive voltage values 60 [V], 63 [V], 66 [V], 69 [V], and 72 [V] for controlling the discharge amount from each nozzle. The pulse width and drive frequency of the drive voltage are 6 µsec and 5000 Hz, respectively. The color register RV of Fujifilm Co., Ltd. was apply | coated to the color filter board | substrate of 170 micrometers in width and 510 micrometers in length so that it might become 2 micrometers at the time of a drive voltage value of 66 [V]. Thereafter, the color filter substrate was preheated at 90 ° C. for 120 seconds, and main heating was performed at 220 ° C. for 30 minutes. About this color filter substrate, chromaticity and brightness were measured by LC2100A of Otsuka Electronics. From the measurement result, the optimum drive voltage of each nozzle was determined, that is, the N-X table was created, and printing and heating were performed. The chromaticity gap in this printing achieved red Rxy: + / 0.0014, green yxy: + / 0.0027, and blue yxy: + / 0.0029. The chromaticity in the case of not adjusting the drive voltage of each nozzle was +/- 0.011-0.0089, respectively.

도면 14는, 본 발명의 다른 실시의 형태와 관련되는, 칼라 필터 기판(W)의 제조 시스템의 동작을 나타내는 플로차트(flow chart)이다.FIG. 14 is a flow chart showing the operation of the manufacturing system of the color filter substrate according to another embodiment of the present invention. FIG.

스텝 201~211는, 도면 6에 나타낸 스텝 101~111와 같은 처리이다.Steps 201 to 211 are the same processes as steps 101 to 111 shown in FIG. 6.

덧붙여 이러한 화상 처리식 측정기 및 중량 측정기에 의해, 잉크량의 액체방울이 측정되는 경우, 스텝 211의 프리베이크의 처리는 생략 해도 괜찮다. 즉, 스텝 210으로 토출된 잉크의 액체방울의 양이 화상 처리식 측정기 또는 중량 측정기로 측정되기 때문이다.In addition, when the droplet of ink amount is measured by such an image processing type measuring instrument and a weight measuring device, the process of the prebaking of step 211 may be abbreviate | omitted. That is, it is because the amount of the liquid droplets of the ink ejected in step 210 is measured by an image processing measuring instrument or a weight measuring instrument.

스텝 211의 뒤, 검사 장치(50)가, 칼라 필터 기판(W)의 각 화소 영역내의 잉크(또는 착색층6)의 양을 측정한다. 이 경우, 검사 장치(50)는, 잉크의 양을 화상 처리에 의해 측정하는 화상 처리식 측정기, 및 잉크의 중량을 측정하는 것으로 잉크량을 측정하는 중량 측정기 중 적어도 한편을 포함한다. 그 외, 마이크로파식 측정기에 의해 잉크량을 측정할 수도 있다.After step 211, the inspection apparatus 50 measures the amount of ink (or colored layer 6) in each pixel region of the color filter substrate. In this case, the inspection apparatus 50 includes at least one of an image processing type measuring instrument which measures the amount of ink by image processing, and a weighing instrument which measures the ink amount by measuring the weight of the ink. In addition, the ink amount can also be measured by a microwave measuring instrument.

화상 처리식 측정기에서는, 예를 들면, 잉크의 액체방울의 평면시의 화상의 크기가 화상 처리에 의해 산출된다. 그리고, 그 액체방울의 크기에 근거해, 룩업테이블 또는 소정의 연산식에 의해 잉크량이 요구된다.In an image processing type measuring instrument, for example, the size of an image in plan view of droplets of ink is calculated by image processing. Then, based on the size of the droplet, the ink amount is required by a look-up table or a predetermined calculation formula.

중량 측정기에 의한 중량 측정의 방법으로서는, 미소 중량계를 이용한 측정, 잉크의 표면장력에 의한 측정, 그 외 공지의 중량의 측정 방법이 이용되면 좋다. 잉크의 액체방울(예를 들면 복수 액체방울)의 중량이 직접 측정되어도 괜찮고, 잉크의 공급의 전후로 각각 칼라 필터 기판 W의 중량이 측정되어도 괜찮다.As a method of weighing by a weighing machine, a measurement using a microweigher, a measurement by the surface tension of ink, and other well-known weight measuring methods may be used. The weight of the ink droplets (for example, a plurality of droplets) may be measured directly, or the weight of the color filter substrate 각각 may be measured before and after supplying the ink, respectively.

도면 14의 설명으로 되돌아오면, 스텝 213에서는, 각 화소 영역내의 각 잉크의 양이 소정의 범위 내에 있는 경우, 잉크젯 장치(10)는, 스텝 205으로 작성된 N-V테이블에 근거해, 각 노즐(45)로부터 칼라 필터 기판(W)의 각 화소 영역에 잉크를 토출한다(스텝 213). 그 후, 프리베이크 장치(30)에 의해 칼라 필터 기판(W)이 베이크 된다(스텝 215).Returning to the description of FIG. 14, in step 213, when the amount of each ink in each pixel area is within a predetermined range, the inkjet apparatus 10 uses each nozzle (based on the N-X table created in step 205). Ink is discharged from 45 to each pixel region of the color filter substrate (step 213). Thereafter, the color filter substrate is baked by the prebaking device 30 (step 215).

스텝 213에 있어서, 각 잉크량이 소정의 범위내에 없는 경우, 잉크젯 장치(10)는, 적어도 1개의 인쇄 헤드(20)의 각 노즐(45)에 있어서의 구동 전압 파형을 조정한다(스텝 216). 구동 전압 파형의 조정이란, 전압치, 구동 방식이 예를 들면 펄스 구동의 경우에 있어서의 펄스폭의 제어, 및 펄스 주파수 가운데, 적어도 1개의 조정이다.In step 213, when each ink amount does not exist in a predetermined range, the inkjet apparatus 10 adjusts the drive voltage waveform in each nozzle 45 of the at least 1 printing head 20 (step 216). The adjustment of the drive voltage waveform is at least one adjustment among the control of the pulse width when the voltage value and the drive method are, for example, pulse driving, and the pulse frequency.

스텝 216에 있어서의 구동 전압 파형의 조정 후, 처리는 스텝 213으로 돌아와도 괜찮고, 또는, 스텝 205으로 돌아와, N-V테이블이 다시 작성되어도 괜찮다.After adjustment of the drive voltage waveform in step 216, the process may return to step 213 or return to step 205 and the N-X table may be created again.

스텝 212에서는, 예를 들면, 화상 처리식 측정기 및 중량 측정기의 양쪽 모두에 의해, 잉크량이 측정되어도 괜찮다. 이 경우, 스텝 213에서는, 그 양쪽 모두의 측정 결과 가운데, 적어도 한편에 있고, 각 잉크량이 소정의 범위내에 없는 경우, 처리가 스텝 216에 진행되면 좋다.In step 212, for example, the ink amount may be measured by both the image processing type measuring instrument and the weight measuring instrument. In this case, in step 213, if at least one of the measurement results of both is present, and each ink amount is not within the predetermined range, the process may proceed to step 216.

이와 같이, 화상 처리식 측정기, 중량 측정기 및 마이크로파식 측정기 중 적어도 1개는, 상기 색도 측정기의 보조로서 이용되면 좋다. 잉크젯 장치(10)의 주위의 환경(온도, 습도 등)의 변화, 혹은 각 노즐(45)의 경시 변화 등이 없는 한, 일단, 상기 N-C테이블이 작성되어 그 N-C테이블에 근거하는 개별의 토출량의 제어치가 설정되면, 얼룩이 발생하지 않는다. 바꾸어 말하면, 잉크젯 장치(10)의 주위의 환경, 또는 각 노즐(45)의 경시 변화 등이 있는 것을 상정하고, 스텝 212 이후의 처리가 실행된다.In this manner, at least one of the image processing type measuring instrument, the weight measuring instrument, and the microwave measuring instrument may be used as an aid to the chromaticity measuring instrument. As long as there is no change in the environment (temperature, humidity, etc.) around the inkjet apparatus 10 or the time-dependent change of each nozzle 45, the said N-C table is created and based on the said N-C table once, If a control value of an individual discharge amount is set, spots do not occur. In other words, it is assumed that there is an environment around the inkjet apparatus 10, or a time-dependent change of each nozzle 45, and the processing after Step 212 is executed.

본 발명과 관련되는 실시의 형태는, 이상 설명한 실시의 형태로 한정되지 않고, 다른 여러 가지의 실시 형태를 생각할 수 있다.Embodiment which concerns on this invention is not limited to embodiment described above, A various other embodiment can be considered.

도면 6 및 도면 14에 나타낸 스텝 105, 106, 205, 206에 대해, 각 노즐(45)로부터의 잉크의 토출량을 제어하기 위한 제어치로서 전압치를 예로 들었다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, 상술한 것처럼 구동 전압 파형, 예를 들면 펄스 구동의 경우, 그 펄스폭의 제어, 펄스의 주파수 등이 제어되는 것으로, 각 노즐(45)로부터의 잉크의 토출량이 개별적으로 제어되어도 괜찮다.In step 105, 106, 205, and 206 shown in FIG. 6 and FIG. 14, the voltage value was taken as an example of the control value for controlling the discharge amount of the ink from each nozzle 45. As shown in FIG. However, the present invention is not limited to this, and as described above, in the case of the driving voltage waveform, for example, pulse driving, the control of the pulse width, the frequency of the pulse, and the like are controlled, and the discharge amount of ink from each nozzle 45 is individually. Can be controlled.

도면 6 및 도면 14에서는, 제조 시스템(100)이 전자동으로 처리하는 예를 나타냈다. 그러나, 예를 들면, 스텝 104, 105, 108, 109, 205, 206, 208, 209, 212, 213 및 216 가운데, 적어도 1개를, 작업자가 수동으로 처리하도록 해도 좋다.In FIG. 6 and FIG. 14, the example which the manufacturing system 100 processes fully is shown. However, for example, at least one of steps 104, 105, 108, 109, 205, 206, 208, 209, 212, 213 and 216 may be manually processed by an operator.

W 칼라 필터 기판
4 공급계
6 착색층
10 잉크젯 장치
15 스테이지
16 보관 유지체
20(20 R, 20 G, 20 B) 인쇄 헤드
25 제어부
26 N-C테이블 기억부
27 N-V테이블 기억부
30 프리베이크 장치
45 노즐
50 검사 장치
100 제조 시스템
W color filter board
4 supply system
6 colored layers
10 inkjet device
15 stages
16 Holder
20 (20 R, 20 G, 20 B) print head
25 control unit
26 NC table storage unit
27 N-V table storage unit
30 prebaking unit
45 nozzles
50 inspection device
100 manufacturing system

Claims (9)

칼라 필터의 복수의 화소 영역내에 각각 잉크를 토출하는 복수의 노즐을 구비하며, 상기 복수의 노즐로부터 각각 개별의 토출량으로 상기 잉크를 토출시키는 것이 가능한 잉크 공급 유닛으로부터 상기 잉크의 토출량을 제어하는 토출량 제어 시스템에 있어서,
상기 복수의 노즐로부터의 각각의 상기 잉크의 상기 토출량을 제어하기 위한 제어치이고, 복수 단계에서 설정되어 상기 복수의 노즐에 공통의 제어치로 제어된 상기 잉크의 토출량으로 공급되는 상기 복수의 화소 영역 내의 상기 잉크의 광학 특성을 상기 복수 단계 마다 측정하는 측정 수단과,
상기 복수의 노즐에 각각 첨부된 식별 정보와, 상기 측정된 상기 복수 단계의 상기 공통의 제어치 마다의 광학 특성의 정보를 대응시키는 대응 정보를 작성하는 대응 정보 작성 수단과,
상기 작성된 대응 정보에 근거해, 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 광학 특성을 소정의 범위에 정하기 위한 상기 개별의 토출량의 제어치를 산출하는 제어치 산출 수단과,
상기 산출된 토출량 제어치로, 상기 복수의 노즐로부터 상기 잉크를 각각 토출시키는 상기 잉크 공급 유닛을 제어하는 공급 제어 수단
을 구비하고,
상기 측정 수단은,
상기 복수의 화소 영역 중 적어도 1개의 화소 영역내에 공급된 상기 잉크의 광학 특성을, 상기 1개의 화소 영역의 면적과 같거나 또는 큰 범위의 빛을 검출하여 측정하는 토출량 제어 시스템.
A discharge amount control for controlling the discharge amount of the ink from an ink supply unit having a plurality of nozzles each for discharging ink in the plurality of pixel areas of the color filter, and capable of discharging the ink from the plurality of nozzles at respective discharge amounts; In the system,
A control value for controlling the discharge amount of each of the inks from the plurality of nozzles, the set in the plurality of pixel regions supplied in the discharge amount of the ink set in a plurality of steps and controlled to a control value common to the plurality of nozzles; Measuring means for measuring the optical properties of the ink for each of the plurality of steps;
Correspondence information creating means for creating correspondence information for associating identification information attached to the plurality of nozzles with information of optical characteristics for each of the common control values measured in the plurality of steps;
Control value calculating means for calculating a control value of the respective ejection amount for determining an optical characteristic of the ink in the plurality of pixel areas within a predetermined range based on the created corresponding information;
Supply control means for controlling the ink supply unit for ejecting the ink from the plurality of nozzles, respectively, with the calculated discharge amount control value.
And,
Wherein the measuring means comprises:
A discharge amount control system for detecting the optical characteristics of the ink supplied in at least one pixel region of the plurality of pixel regions by detecting light having a range equal to or larger than the area of the one pixel region.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 측정 수단은 상기 공급 제어 수단의 제어하에서 토출된 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크 상태를 검사하는 검사 유닛을 포함하는 토출량 제어 시스템.
The method of claim 1,
And the measuring means includes an inspection unit for inspecting the ink state in the plurality of pixel areas ejected under the control of the supply control means.
제3항에 있어서,
상기 검사 유닛은 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 광학 특성을 측정하는 측정기인 토출량 제어 시스템.
The method of claim 3,
And the inspection unit is a measuring device for measuring an optical characteristic of the ink in the plurality of pixel areas.
제3항에 있어서,
상기 검사 유닛은 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 양을 화상 처리에 의해 측정하는 화상 처리식 측정기인 토출량 제어 시스템.
The method of claim 3,
And the inspection unit is an image processing type measuring instrument for measuring the amount of the ink in the plurality of pixel areas by image processing.
제3항에 있어서,
상기 검사 유닛은 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 중량을 측정하는 것으로, 상기 잉크의 양을 측정하는 중량 측정기인 토출량 제어 시스템.
The method of claim 3,
And the inspection unit measures a weight of the ink in the plurality of pixel areas, and is a weight measuring device for measuring the amount of the ink.
제1항에 있어서,
상기 잉크 공급 유닛은 상기 제어치로서의 구동 전압의 파형에 대응되고, 상기 잉크의 토출량을 제어하는 디바이스를 구비하며,
상기 공급 제어 수단은, 상기 구동 전압의 파형을 제어하는 토출량 제어 시스템.
The method of claim 1,
The ink supply unit corresponds to a waveform of a drive voltage as the control value, and includes a device for controlling the discharge amount of the ink,
And the supply control means controls a waveform of the drive voltage.
칼라 필터의 복수의 화소 영역내에 각각 잉크를 토출하는 복수의 노즐을 구비하며, 상기 복수의 노즐로부터 각각 개별의 토출량으로 상기 잉크를 토출시키는 것이 가능한 잉크 공급 유닛을 이용하는 상기 칼라 필터를 제조하는 제조 방법에 있어서,
상기 복수의 노즐로부터의 각각의 상기 잉크의 상기 토출량을 제어하기 위한 제어치이고, 복수 단계에서 설정되어 상기 복수의 노즐에 공통의 제어치로 제어된 상기 잉크의 토출량으로 공급되는 상기 복수의 화소 영역 중 적어도 1개의 화소 영역내에 공급된 상기 잉크의 광학 특성을, 상기 1개의 화소 영역의 면적과 같거나 또는 큰 범위의 빛을 검출하여 상기 복수 단계 마다 측정하고,
상기 복수의 노즐에 각각 첨부된 식별 정보와, 상기 측정된 상기 복수 단계의 상기 공통의 제어치 마다의 광학 특성의 정보를 대응시키는 대응 정보를 작성하며,
상기 작성된 대응 정보에 근거해, 상기 복수의 화소 영역내의 상기 잉크의 광학 특성을 소정의 범위에 정하기 위한 상기 개별의 토출량의 제어치를 산출하며,
상기 산출된 토출량 제어치로, 상기 복수의 노즐로부터 상기 잉크를 각각 토출시키는 상기 잉크 공급 유닛을 제어하는
칼라 필터의 제조 방법.
A manufacturing method of manufacturing the color filter using an ink supply unit having a plurality of nozzles for ejecting ink, respectively, in the plurality of pixel areas of the color filter, and capable of ejecting the ink from the plurality of nozzles at respective ejection amounts. To
At least one of the plurality of pixel regions which is a control value for controlling the discharge amount of each of the ink from the plurality of nozzles, and is supplied at the discharge amount of the ink set in a plurality of steps and controlled by a control value common to the plurality of nozzles The optical characteristics of the ink supplied in one pixel region are measured for each of the plurality of steps by detecting light having a range equal to or greater than the area of the one pixel region,
Create corresponding information corresponding to the identification information attached to each of the plurality of nozzles and the information of the optical characteristic for each of the common control values of the measured plurality of steps;
On the basis of the created corresponding information, a control value of the respective ejection amount for setting the optical characteristic of the ink in the plurality of pixel areas to a predetermined range is calculated,
Controlling the ink supply unit for ejecting the ink from the plurality of nozzles, respectively, with the calculated discharge amount control value;
Method for producing a color filter.
제8항에 있어서,
상기 잉크의 광학 특성을 측정하기 전에, 상기 공통의 제어치로 제어된 토출량에 의해 상기 잉크가 공급된 상기 칼라 필터를 베이크하는 칼라 필터의 제조 방법.
9. The method of claim 8,
Before measuring the optical characteristics of the ink, baking the color filter supplied with the ink by the discharge amount controlled by the common control value.
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