KR101231343B1 - The printed circuit board and the method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 인쇄회로기판에 대한 것으로, 이 기판은 코어 절연층, 상기 코어 절연층을 관통하는 적어도 하나의 비아, 상기 코어 절연층 내부에 매립되어 있는 내부 회로층, 상기 코어 절연층의 상부 또는 하부에 형성되며, 상기 비아를 노출하는 접착층, 그리고 상기 접착층 위에 형성되어 있는 외부 회로층을 포함하며, 상기 비아는 제1 파트, 상기 제1 파트 하부의 제2 파트, 상기 제1 및 상기 제2 파트 사이의 제3 파트, 그리고 상기 제1 내지 제3 파트 사이에 형성되며, 상기 제1 내지 제3 파트와 서로 다른 금속으로 형성되어 있는 적어도 하나의 베리어층을 포함한다. 따라서, 내부 회로층과 비아를 동시에 형성함으로써 공정을 줄일 수 있으며, 홀수층의 회로층을 형성함으로써 경박형의 인쇄회로기판을 제공할 수 있다.The present invention relates to a printed circuit board, wherein the substrate includes a core insulating layer, at least one via penetrating through the core insulating layer, an internal circuit layer embedded in the core insulating layer, and an upper or lower portion of the core insulating layer. An adhesive layer exposing the via, and an external circuit layer formed on the adhesive layer, wherein the via includes a first part, a second part below the first part, and the first and second parts. And at least one barrier layer formed between the third part and the first to third parts, and formed of a metal different from the first to third parts. Therefore, the process can be reduced by forming the inner circuit layer and the via at the same time, and by providing the circuit layer of the odd layer, it is possible to provide a light and thin printed circuit board.
Description
본 발명은 인쇄회로기판 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a printed circuit board and a method of manufacturing the same.
인쇄회로기판(PCB; Printed Circuit Board)은 전기 절연성 기판에 구리와 같Printed Circuit Boards (PCBs) are like copper on electrically insulating substrates.
은 전도성 재료로 회로라인 패턴을 인쇄하여 형성한 것으로, 전자부품을 탑재하기 직전의 기판(Board)을 말한다. 즉, 여러 종류의 많은 전자 소자를 평판 위에 밀집 탑재하기 위해, 각 부품의 장착 위치를 확정하고, 부품을 연결하는 회로 패턴을 평판 표면에 인쇄하여 고정한 회로 기판을 의미한다. Is formed by printing a circuit line pattern with a conductive material, and refers to a board immediately before mounting an electronic component. That is, it means the circuit board which fixed the mounting position of each component, and printed and fixed the circuit pattern which connects components to the flat surface surface, in order to mount many electronic elements of various types densely on a flat plate.
이러한 인쇄회로기판은 일반적으로 단층 PCB와 PCB를 다층으로 형성한 빌드업 기판(Build-up Board), 즉 다층 PCB기판이 있다.Such printed circuit boards generally include a single-layer PCB and a build-up board in which multilayered PCBs are formed, that is, multilayer PCB substrates.
이러한 빌드업 기판(Build-up Board), 다층 PCB기판은 한 층씩 기판을 제조,These build-up boards and multilayer PCB boards manufacture boards one by one,
품질을 평가함으로써, 전체적인 다층 PCB기판의 수율을 높일 수 있고, 층간 배선을By evaluating the quality, the yield of the overall multilayer PCB board can be increased, and the interlayer wiring can be improved.
정밀하게 연결함으로써, 고밀도 소형 PCB의 제작을 가능하게 한다. 이러한 빌드업 공정은 층과 층 사이에는 배선의 연결라인이 형성되며, 층과 층 사이에 비아홀(via hole)을 통해 연결되게 된다. 이러한 비아 홀(via hole)을 형성하기 위해서는 기존의 기계적인 드릴 작업이 아닌 레이저를 이용하여 매우 미세한 지름을 구현할 수 있게 된다.By connecting precisely, it is possible to manufacture high density compact PCBs. In this build-up process, a connection line of a wiring is formed between the layers and the layers are connected through via holes between the layers. In order to form such a via hole, a very fine diameter can be realized using a laser rather than a conventional mechanical drill.
도 1은 종래의 다층 인쇄회로기판의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a conventional multilayer printed circuit board.
도 1을 참고하면, 종래의 다층 인쇄회로기판(10)은 코어 절연층(1), 상기 코어 절연층(1) 상부 및 하부에 형성되어 있는 내부 회로 패턴층(3, 4), 상기 내부 회로패턴층(3, 4)을 매립하는 상하부 절연층(5, 6) 및 상기 상하부 절연층(5, 6) 위에 형성되는 외부 회로 패턴층(7, 8)을 포함한다.Referring to FIG. 1, a conventional multilayer printed circuit board 10 includes a core insulating layer 1, internal
코어 절연층(1) 및 상하부 절연층(5, 6)에는 내부 회로패턴층(3, 4)과 외부 회로패턴층(7, 8)을 전기적으로 연결하는 전도성 비아(2) 및 전도성 비아홀이 형성되어 있다.In the core insulating layer 1 and the upper and lower insulating layers 5 and 6,
상술한 종래의 다층 인쇄회로기판(10)은 코어 절연층(1)을 중심으로 짝수의 회로 패턴층(도시된 도면에서는 4개의 층이 형성됨)을 형성하는 공정이 대부분으로, 절연층을 적층 후 드릴이나 레이저를 활용하여 상술한 외층에 해당하는 2개의 층을 전기적으로 연결하는 공정이 수행된다. 그러나, 회로패턴층의 수효가 짝수개로 한정됨으로써 기판의 두께가 증가하여 경박 단소를 지향하는 휴대용 전자기기 또는 반도체칩 등의 기판 등에 적용이 어려운 문제가 있다.In the conventional multilayer printed circuit board 10 described above, a process of forming an even number of circuit pattern layers (four layers are formed in the illustrated figure) centering on the core insulating layer 1 is generally performed. A process of electrically connecting two layers corresponding to the outer layers by using a drill or a laser is performed. However, since the number of circuit pattern layers is limited to an even number, there is a problem in that the thickness of the substrate is increased so that it is difficult to apply to a substrate such as a portable electronic device or a semiconductor chip that is aimed at a light and small thickness.
실시예는 새로운 구조를 가지는 인쇄회로기판 및 그의 제조 방법을 제공한다.The embodiment provides a printed circuit board having a new structure and a method of manufacturing the same.
실시예는 홀수 개의 회로층을 포함하는 인쇄회로기판 및 그의 제조 방법을 제공한다.The embodiment provides a printed circuit board including an odd number of circuit layers and a method of manufacturing the same.
실시예는 코어 절연층, 상기 코어 절연층을 관통하는 적어도 하나의 비아, 상기 코어 절연층 내부에 매립되어 있는 내부 회로층, 상기 코어 절연층의 상부 또는 하부에 형성되며, 상기 비아를 노출하는 접착층, 그리고 상기 접착층 위에 형성되어 있는 외부 회로층을 포함하며, 상기 비아는 제1 파트, 상기 제1 파트 하부의 제2 파트, 상기 제1 및 상기 제2 파트 사이의 제3 파트, 그리고 상기 제1 내지 제3 파트 사이에 형성되며, 상기 제1 내지 제3 파트와 서로 다른 금속으로 형성되어 있는 적어도 하나의 베리어층을 포함하는 인쇄회로기판을 제공한다.Embodiments may include a core insulating layer, at least one via penetrating through the core insulating layer, an internal circuit layer embedded in the core insulating layer, and an adhesive layer formed on or under the core insulating layer to expose the via. And an external circuit layer formed on the adhesive layer, wherein the via includes a first part, a second part under the first part, a third part between the first and second parts, and the first part. A printed circuit board is formed between the third to third parts and includes at least one barrier layer formed of a metal different from the first to third parts.
한편, 실시예는 코어 절연층, 상기 코어 절연층을 관통하는 적어도 하나의 비아, 상기 코어 절연층 내부에 매립되어 있는 내부 회로층, 상기 코어 절연층의 상부 또는 하부에 형성되며, 상기 비아를 노출하는 접착층, 그리고 상기 접착층 위에 형성되어 있는 외부 회로층을 포함하며, 상기 내부 회로층 및 상기 외부 회로층을 포함하는 2n+1(n은 양의 정수)의 수효를 가지는 회로층을 포함하는 인쇄회로기판을 제공한다. In some embodiments, a core insulating layer, at least one via penetrating through the core insulating layer, an internal circuit layer embedded in the core insulating layer, and an upper or lower portion of the core insulating layer may be exposed to expose the via. A printed circuit comprising an adhesive layer, and an external circuit layer formed on the adhesive layer, the circuit layer having a number of 2n + 1 (n is a positive integer) including the internal circuit layer and the external circuit layer. Provide a substrate.
한편, 실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법은 제1 금속층, 제2 금속층 및 제3 금속층 및 상기 제1 내지 제3 금속층 사이에 베리어층이 적층되어 있는 금속 기판을 준비하는 단계, 상기 금속 기판의 상기 제1 금속층을 식각하여 비아의 제1 파트를 형성하는 단계, 상기 금속 기판의 상기 제2 금속층을 식각하여 상기 비아의 상기 제1 파트 하부의 연결부 및 내부 회로층을 형성하는 단계, 상기 금속 기판의 상기 제3 금속층을 식각하여 상기 비아의 상기 연결부 하부의 제2 파트를 형성하는 단계, 상기 비아를 매립하는 절연층을 형성하는 단계, 상기 절연층의 상부 또는 하부에 접착층을 형성하는 단계, 그리고 상기 접착층 위에 외부 회로층을 형성하는 단계를 포함한다.On the other hand, the method of manufacturing a printed circuit board according to the embodiment comprises the steps of preparing a metal substrate having a barrier layer laminated between the first metal layer, the second metal layer and the third metal layer and the first to third metal layer, the metal substrate Etching the first metal layer to form a first part of the via, etching the second metal layer of the metal substrate to form a connection portion and an inner circuit layer below the first part of the via, the metal Etching the third metal layer of the substrate to form a second part below the connection portion of the via, forming an insulating layer to fill the via, forming an adhesive layer on or below the insulating layer, And forming an outer circuit layer on the adhesive layer.
본 발명에 따르면, 내부 회로층과 비아를 동시에 형성함으로써 공정을 줄일 수 있으며, 홀수층의 회로층을 형성함으로써 경박형의 인쇄회로기판을 제공할 수 있다.According to the present invention, a process can be reduced by simultaneously forming an inner circuit layer and a via, and a thin and thin printed circuit board can be provided by forming an odd layer circuit layer.
또한, 다층 인쇄회로기판의 절연층 내부에 매립 비아를 형성함으로써 방열성을 향상시킬 수 있으며, 매립 비아 형성 시 도금법을 사용하지 않음으로 비용을 줄일 수 있다. In addition, by forming a buried via in the insulating layer of the multilayer printed circuit board, heat dissipation may be improved, and a cost may be reduced by not using a plating method when forming a buried via.
또한, 복수의 금속을 적층하고 있는 금속 기판을 이용하여 비아 및 내부 호로층을 형성함으로써, 공정 중의 기판 휨 현상을 방지할 수 있다. In addition, by forming a via and an internal arc layer using a metal substrate on which a plurality of metals are stacked, it is possible to prevent the warpage of the substrate during the process.
또한, 절연층과 외부 회로층 사이에 프라이머 수지층을 형성하여 도금 접착력을 확보함으로써 외부 회로층을 SAP공정으로 형성할 수 있다. In addition, by forming a primer resin layer between the insulating layer and the external circuit layer to secure the plating adhesion, the external circuit layer can be formed by the SAP process.
도 1은 종래 기술에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.
도 3 내지 도 19는 도 2의 인쇄회로기판을 제조하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 20은 본 발명의 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to the prior art.
2 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention.
3 to 19 are flowcharts for describing a method of manufacturing the printed circuit board of FIG. 2.
20 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a second exemplary embodiment of the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. Throughout the specification, when a part is said to "include" a certain component, it means that it can further include other components, without excluding other components unless specifically stated otherwise.
그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하고, 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.In order to clearly illustrate the present invention in the drawings, thicknesses are enlarged in order to clearly illustrate various layers and regions, and parts not related to the description are omitted, and like parts are denoted by similar reference numerals throughout the specification .
층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.Whenever a portion of a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" another portion, it includes not only the case where it is "directly on" another portion, but also the case where there is another portion in between. Conversely, when a part is "directly over" another part, it means that there is no other part in the middle.
본 발명은 매립 비아와 내부 회로층을 동시에 식각하여 형성함으로써 도금법을 사용하지 않고, 다층회로기판을 형성할 수 있으며, 홀수개의 회로층을 가지는 인쇄회로기판을 제시한다.The present invention provides a printed circuit board having an odd number of circuit layers, which can form a multilayer circuit board without using a plating method by simultaneously etching the buried via and the internal circuit layer.
이하에서는 도 2 내지 도 19를 참고하여 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로 기판을 설명한다. Hereinafter, a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 19.
도 2는 본 발명의 실시예에 다른 인쇄회로기판의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 인쇄회로기판(100)은 제1 절연층(120) 및 제2 절연층(125)이 형성하는 코어 절연층, 상기 코어 절연층 내부에 형성되어 있는 비아(115), 상기 코어 절연층 내부에 형성되어 있는 내부 회로층(111), 그리고 상기 제1 및 제2 절연층(120, 125) 위에 각각 형성되어 있는 제1 및 제2 외부 회로층(131, 135, 145)을 포함한다.Referring to FIG. 2, the printed
상기 제1 절연층(120)은 상기 제2 절연층(125) 위에 형성되어 있으며, 사이에 다른 절연층(도시하지 않음)을 매개로 형성될 수도 있다. The first
상기 제1 및 제2 절연층(120, 125)은 열경화성 또는 열가소성 고분자 기판, 세라믹 기판, 또는 유-무기 복합 소재 기판일 수 있으며, 고분자 수지를 포함하는 경우, 에폭시계 절연 수지를 포함할 수 있으며, 이와 달리 폴리 이미드계 수지를 포함할 수도 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 절연층(120, 125)을 이루는 물질은 유리 섬유 등의 고형 성분을 포함하는 수지재일 수 있다. The first and second
상기 제1 및 제2 절연층(120, 125)은 동일한 물질로 형성될 수 있다. The first and second
상기 제1 절연층(120) 및 제2 절연층(125)의 각각의 두께는 약 30 μm 내지 80 μm 일 수 있다.Each of the first
상기 제1 절연층(120) 및 제2 절연층(125)의 적층 구조인 코어 절연층의 두께는 약 60 μm 내지 160 μm, 바람직하게는 약 60 μm 내지 140 μm 일 수 있다. The thickness of the core insulating layer, which is a laminated structure of the first
상기 코어 절연층의 표면, 즉 제1 절연층(120)의 상부 및 상기 제2 절연층(125)의 하부에 접착층(160, 165)이 형성되어 있다.
상기 접착층(160, 165)은 아래의 제1 및 제2 절연층(120, 125)과 위의 회로층(131, 135,145)의 접착력을 강화시키기 위한 것으로서, 실란을 포함하는 프라이머 수지층일 수 있으며, 두께가 10 μm이하를 충족한다. The
상기 코어 절연층에 비아(115) 및 내부 회로층(111)이 형성되어 있다.
상기 비아(115)는 상기 제1 절연층(120)으로부터 상기 제2 절연층(125)까지 관통하는 전도성 비아(115)로서, 상기 제1 절연층(120)과 제2 절연층(125)의 경계 영역에서 가장 큰 제1폭(d1)을 가지며, 각 절연층(120, 125)의 상면으로 갈수록 폭이 좁아져 각 절연층(120, 125)의 노출면과 이루는 단면의 제2폭(d2)이 가장 작은 폭을 가짐으로써 비아(115)의 단면이 육각형을 나타낼 수 있다. The
상기 비아(115)의 제1폭(d1) 및 제2폭(d2)은 약 20 μm 내지 100 μm를 충족할 수 있다.The first width d1 and the second width d2 of the
상기 비아(115)는 전도성 비아(115)로서, 구리를 포함하는 합금으로 형성될 수 있다.The
상기 비아(115)는 상기 제1 절연층(120)에 매립되어 있으며, 구리를 포함하는 합금으로 형성되는 제1 파트(115a), 상기 제1 파트(115a)의 하부에 형성되며, 상기 제2 절연층(125)에 매립되어 있으며, 상기 제1 파트(115a)와 동일한 금속으로 형성되는 제2 파트(115b), 그리고 상기 제1 파트(115a)와 상기 제2 파트(115b) 사이에 형성되며, 상기 제1 및 제2 파트(115a, 115b)와 동일한 금속으로 형성되는 제3 파트(115c)를 포함한다.The
한편, 상기 비아(115)는 상기 제1 내지 제3 파트(115a, 115b, 115c) 사이를 경계하는 베리어층(115d, 115e)이 형성되어 있다.The
즉, 상기 제1 파트와 제3 파트(115a, 115c) 사이에는 제1 베리어층(115d)이 형성되어 있고, 상기 제3 파트와 상기 제2 파트(115b, 115c) 사이에는 제2 베리어층(115e)이 형성되어 있다.That is, a
상기 제1 및 제2 베리어층(115d, 115e)은 상기 제1 내지 제3 파트(115a, 115b, 115c)와 서로 다른 금속으로 형성되어 있으며, 양 금속은 식각선택성이 서로 상이하다. The first and second barrier layers 115d and 115e are formed of different metals from the first to
상기 제3 파트(115c)는 상기 비아(115)의 중앙 영역에 형성되고, 제3 파트(115c)의 하면 또는 제2 베리어층(115e)의 하면이 상기 비아(115)의 가장 큰 폭인 제1폭(d1)을 가질 수 있다.The
상기 제1 내지 제3 파트(115a, 115b, 115c)는 구리를 포함하는 합금으로 형성될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 베리어층(115d, 115e)은 니켈, 철, 코발트, 몰리브덴, 크롬 또는 팔라듐을 포함하는 합금으로 형성될 수 있다. The first to
이때, 상기 제1 파트(115a) 및 제2 파트(115b)의 두께는 20 내지 70 μm이며, 제3 파트(115c)의 두께는 5 내지 70 μm를 충족한다. At this time, the thickness of the
상기 제1 및 제2 베리어층(115d)은 제3 파트(115c)의 두께보다 작으며, 바람직하게는 10μm 이하의 두께 범위를 가질 수 있다. The first and
내부 회로층(111)은 상기 제2 절연층(125) 위에 형성되어 있으며, 회로패턴의 두께는 약 5 내지 30 μm 일 수 있으며, 약 50 μm 이하의 폭, 바람직하게는 30 μm 이하의 폭을 갖도록 미세 패턴으로 구현된다.The internal circuit layer 111 is formed on the second insulating
상기 내부 회로층(111)은 단면이 사각형의 형상을 가질 수 있다.The internal circuit layer 111 may have a rectangular cross section.
이때, 상기 내부 회로층(111)은 상기 비아(115)의 제3 파트(115c)와 동일한 물질로 형성되며, 하부에 제2 베리어층(115e)의 일부가 형성되어 있다. In this case, the internal circuit layer 111 is formed of the same material as the
상기 제2 베리어층(115e)은 생략할 수 있다. The
상기 제1 및 제2 절연층(125)의 상면에는 상기 비아(115)와 연결되어 있는 비아패드(135, 145) 및 회로 패턴(131)을 포함하는 외부 회로층(131, 135, 145)이 각각 형성되어 있다.External circuit layers 131, 135, and 145 including via
상기 외부 회로층(131, 135, 145)은 상기 코어 절연층의 상부에 형성되어 있는 제1 외부 회로층(131, 135) 및 코어 절연층의 하부에 형성되어 있는 제2 외부 회로층(145)으로 정의한다. The external circuit layers 131, 135, and 145 may be formed on the first external circuit layers 131 and 135 formed on the core insulating layer and the second external circuit layers 145 formed on the lower portion of the core insulating layer. It is defined as
상기 외부 회로층(131, 135, 145)은 SAP(semi-additive process) 공법에 의해 도금하여 형성된다.The external circuit layers 131, 135, and 145 are formed by plating by a semi-additive process (SAP) method.
이상에서는 코어 절연층 위 아래에 각각 1층의 외부 회로층(131, 135, 145)이 형성된 것으로 개시하였으나, 이에 한정되지 않고, 상기 외부 회로층(131, 135, 145)을 매립하는 상부 절연층을 제1 및 제2 절연층(120, 125) 위에 각각 형성하고, 상기 상부 절연층 위에 회로층을 각각 형성함으로써 다층회로기판의 형성이 가능하다.In the above description, one
이와 같이, 본 발명의 인쇄회로기판(100)은 코어 절연층 내부에 매립되어 있는 내부 회로층(111)이 형성됨으로써 2n+1(n은 양의 정수)의 수효를 가지는 회로층을 형성할 수 있으며, 절연층이 코어 절연층을 기준으로 동일한 수효를 갖도록 형성됨으로써 인쇄회로기판이 한쪽으로 휘지 않는다.As described above, the printed
따라서, 절연층의 수효를 늘리지 않으면서도 홀수개의 회로층을 형성할 수 있으며, 코어 절연층 내에 전도성 물질로 형성되어 있는 비아(115)를 형성함으로써 방열성이 확보된다. Therefore, an odd number of circuit layers can be formed without increasing the number of insulating layers, and heat dissipation is ensured by forming
또한, 상기 절연층(120, 125)과 상기 외부 회로층(131, 135, 145) 사이에 프리미어 수지의 접착층(160,165)이 형성되어, 외부 회로층(131, 135, 145)의 도금이 원활히 이루어짐으로써 절연층(120, 125)과 외부 회로층(131, 135, 145) 사이의 접착력이 향상된다. In addition, the
이하에서는 도 3 내지 도 19를 참고하여, 도 2의 인쇄회로기판의 제조 방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the printed circuit board of FIG. 2 will be described with reference to FIGS. 3 to 19.
공정이 시작되면, 도 3과 같이 전도성의 금속 기판(110)을 준비한다.When the process starts, a conductive metal substrate 110 is prepared as shown in FIG. 3.
상기 금속 기판(110)은 구리를 포함하는 합금으로 형성될 수 있으며, 구리 소재는 압연박, 전해박을 모두 사용 할 수 있고, 금속 기판(110)의 두께는 요구되는 제품의 사양에 따라 다양하게 사용될 수 있다. 이때, 금속 기판(110)은 제1 금속층(110a), 제2 금속층(110b) 및 제3 금속층(110c)의 적층 구조를 가진다.The metal substrate 110 may be formed of an alloy containing copper, the copper material may be used both a rolled foil, an electrolytic foil, the thickness of the metal substrate 110 varies in accordance with the specifications of the product required Can be used. In this case, the metal substrate 110 has a laminated structure of the first metal layer 110a, the
상기 제1 금속층 내지 제3 금속층(110a, 110b, 110c)은 동일하거나 유사한 두께를 가지며, 동일한 물질로 형성될 수 있다.The first to
제1 내지 제3 금속층(110a, 110b, 110c)은 구리를 포함하는 합금층으로 형성될 수 있다. 상기 제1 내지 제3 금속층(110a, 110b, 110c) 사이에는 상기 제1 내지 제3 금속층(110a, 110b, 110c)과 서로 다른 식각선택성을 가지는 금속으로 형성되는 제1 및 제2 베리어금속층(110d, 110e)을 형성한다.The first to
제1 및 제2 베리어금속층(110d, 110e)은 니켈, 철, 코발트, 몰리브덴, 크롬, 또는 팔라듐을 포함하는 합금으로 형성될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 베리어금속층(110d, 110e)의 두께는 제2 금속층(110b)의 두께보다 얇게 형성될 수 있다.The first and second
본 발명에서 금속 기판(110)의 총 두께는 80㎛ 에서 170㎛가 바람직하다. 구리 소재의 기판(110)은 산세 및 수세 등을 포함하는 표면 세정 작업을 진행하여 표면을 정리한다.In the present invention, the total thickness of the metal substrate 110 is preferably 80 μm to 170 μm. The substrate 110 of copper material cleans the surface by performing a surface cleaning operation including pickling and washing with water.
다음으로, 도 4와 같이, 상기 금속 기판(110)의 상면 위에 감광성 필름(116)을 부착한다.Next, as shown in FIG. 4, the photosensitive film 116 is attached onto the upper surface of the metal substrate 110.
상기 감광성 필름(116)은 상기 금속 기판(110)을 식각하기 위한 식각 패턴을 형성하기 위한 것으로서, 감광성 필름(116)의 두께는 15㎛에서 30㎛까지 다양하며, UV 노광 type과 LDI 노광 type 모두 사용 가능 하다.The photosensitive film 116 is to form an etching pattern for etching the metal substrate 110, the thickness of the photosensitive film 116 varies from 15㎛ to 30㎛, both UV exposure type and LDI exposure type Available.
다음으로 도 5와 같이, 상기 감광성 필름(116)을 노광하고 현상하여 감광 패턴(도시하지 않음)을 형성하고, 이를 마스크로 상기 금속 기판(110)을 식각하여 비아(115)의 제1 파트(115a)를 형성한다.Next, as shown in FIG. 5, the photosensitive film 116 is exposed and developed to form a photosensitive pattern (not shown), and the metal substrate 110 is etched using a mask to etch the first part of the
금속 기판(110)의 일부가 염화동 또는 염화철 등의 습식 에칭액에 의해 습식식각되어 비아(115)의 제1 파트(115a)가 형성되며, 제1 금속층(110a)과 제1 베리어금속층(110d)의 서로 다른 식각선택성에 의해 제1 파트(115a)는 제1 금속층(110a)만이 식각되어 형성된다.A portion of the metal substrate 110 is wet etched by a wet etchant such as copper chloride or iron chloride to form the
도 5와 같이 비아(115)의 제1 파트(115a)를 식각 후 감광 패턴을 NaOH 희석액을 사용하여 박리한다.After etching the
다음으로, 도 6과 같이, 상기 제1 파트(115a) 및 노출되어 있는 제1 베리어금속층(110d)의 전면에 감광성 필름(117)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 6, the photosensitive film 117 is formed on the entire surface of the
상기 제2 금속층(110b)으로 내부 회로층(111)을 형성하기 위하여, 상기 제1 베리어금속층(110d) 위의 감광성 필름(117)의 일부를 노광하고 현상하여 도 7의 감광 패턴(118)을 형성하고, 상기 감광 패턴(118)을 마스크로 제1 베리어금속층(110d)을 식각하여 마스크 패턴을 형성한다. In order to form the internal circuit layer 111 with the
다음으로, 상기 마스크 패턴(119)을 형성한 식각액과 다른 식각액으로 마스크 패턴(119) 하부의 제2 금속층(110b)을 선택적으로 식각하여 도 8의 내부 회로층(111)의 제1 영역(111a) 및 비아(115)의 제3 파트(115c)를 형성한다.Next, the
상기 제2 금속층(110b) 하부의 제2 베리어금속층(110e)이 노출되면 식각이 정지하여 내부 회로층(111)의 제1 영역(111a)이 형성되며, 형성된 내부 회로층(111)의 제1 영역(111a)은 상부에 마스크 패턴(119)을 가지는 사각형의 단면을 가진다.When the second
다음으로, 도 9와 같이, 마스크 패턴(119) 및 노출되어 있는 제2 베리어 금속층(110e)을 제거하면, 내부 회로층(111)은 제2 금속층(110b)으로 형성되는 제1 영역(111a) 및 제2 베리어금속층(110e)로 형성되는 제2 영역(111b)으로 형성된다. Next, as shown in FIG. 9, when the
다음으로, 도 10과 같이, 같이 상기 비아(115)의 제1, 제3 파트(115a, 115c) 및 내부 회로층(111)을 매립하도록 제1 절연층(120)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 10, the first insulating
상기 제1 절연층(120)은 유리 섬유 등의 고형 성분이 형성되거나 형성되어 있지 않은 열경화성 또는 열가소성 수지를 이용하여 형성하며, 상기 제1 절연층(120)의 두께는 약 30㎛ 내지 80㎛ 일 수 있다.The first insulating
다음으로, 상기 제1 절연층(120) 위에 접착층(160) 및 동박층(161)을 형성한다.Next, an
상기 동박층(161)은 SAP 공정의 모체가 되는 것으로서, 상기 접착층(160)이 상기 제1 절연층(120) 위에 부착되도록 형성되며, 상기 접착층(160)은 프리미어 수지로 형성된다.The
상기 접착층(160)은 실란을 포함하는 프라이머 수지로서, 상기 동박층(161)과 상기 접착층(160)은 동박층(161)에 상기 프라이머 수지층이 코팅되어 있는 PCF(Primer Coated Copper Foil)일 수 있다.The
이때, 상기 비아(115)의 상면은 상기 접착층(160)을 관통하여 상기 동박층(161)과 접하도록 압착된다.In this case, an upper surface of the
다음으로, 도 11과 같이 상기 동박층(161)의 상면 및 상기 금속 기판(110)의 하면에 감광성 필름(136)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 11, a
상기 금속 기판(110) 하부에 형성되는 감광성 필름(136)은 비아(115)의 제2 파트(115b) 및 내부 회로층(111)을 형성하기 위한 감광패턴을 형성하는 모체가 되며, 상기 동박층(161) 위의 감광성 필름(136)은 금속 기판(110) 하부의 감광패턴 형성 및 금속 기판(110)의 식각 공정에서 동박층(161)을 보호하기 위한 보호 필름으로 기능한다.The
따라서, 상기 동박층(161) 위의 감광성 필름(136)은 보호 필름 또는 보호 유기층 등으로 대체 가능하며, 생략할 수 있다.Therefore, the
다음으로, 도 12와 같이, 상기 금속 기판(110) 하부의 감광성 필름(136)을 현상하여 감광 패턴을 형성하고, 상기 감광 패턴을 마스크로 상기 금속 기판(110)을 식각하여 상기 비아(115)의 제1 파트(115a)의 하부에 제2 파트(115b)를 형성한다.Next, as shown in FIG. 12, the
상기 식각은 제2 베리어금속층(110e)이 노출될 때까지 진행됨으로써 내부 회로층(111)의 하면에 제2 베리어금속층(110e)이 노출된다. The etching is performed until the second
이와 같이, 상기 비아(115)는 상부 및 하부가 제1파트(115a) 내지 제3 파트(115b)로 분할되어 식각 형성되어 그 형상이 중앙 부분이 가장 큰 제1폭(d1)을 가지며, 외부로 가까워질수록 폭이 좁아지는 육각형의 단면을 가진다.As described above, the via 115 has an upper portion and a lower portion divided into
상기 비아(115)의 제2 파트(115b)가 형성되면, 상기 감광 패턴을 박리하고, 도 13과 같이, 상기 비아(115)의 제1 파트(115a)가 매립되도록 제2 절연층(125)을 적층하고, 제2 절연층(125) 위에 접착층(165) 및 동박층(166)을 형성한다.When the
상기 제2 절연층(125) 및 동박층(166)의 두께 및 재질은 앞서 설명한 제1 절연층(120) 및 상기 제1 절연층(120) 위의 동박층(161)과 동일할 수 있다.The thickness and material of the second insulating
다음으로, 도 14와 같이, 상하부의 동박층(161, 166)을 제거하여 하부의 접착층(160, 165)을 노출한다.Next, as shown in FIG. 14, the upper and lower copper foil layers 161 and 166 are removed to expose the lower
이때, 상기 동박층(161, 166)은 SAP 공정을 진행하기 위해 풀에칭(full-etching)되며, 접착층(160, 165)의 이물 제거 및 조도를 부여하기 위해 디스미어 공정을 진행할 수 있다.In this case, the copper foil layers 161 and 166 may be full-etched to proceed with the SAP process, and may proceed with a desmear process to remove foreign substances and give roughness of the
다음으로, 도 15와 같이, 상기 접착층(160, 165) 위에 무전해도금하여 씨드층(132)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 15, the
상기 씨드층(132)은 구리를 무전해도금하여 형성할 수 있으며, 상기 접착층(160, 165) 위 및 노출되어 있는 비아(115)의 상하면에 3㎛이하의 균일한 두께로 형성된다.The
다음으로, 도 16과 같이 씨드층(132) 위에 상기 외부 회로층(131, 135, 145)을 형성하기 위하여 감광성 패턴(148)을 형성한다.Next, as illustrated in FIG. 16, a
상기 감광성 패턴(148)은 감광성 필름을 부착한 뒤, 회로 설계에 따라 노광하고 현상하여 형성한다.The
다음으로, 도 17과 같이, 상기 감광성 패턴(148)에 의해 노출되어 있는 씨드층(132) 위에 전해도금을 수행함으로써 도금층(130, 140)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 17, the plating layers 130 and 140 are formed by performing electroplating on the
상기 전해도금은 도금 될 면적을 계산하여 직류 또는 Pulse/Reverse 방식의 정류기에 적당한 전류를 인가하여 구리 등의 전도성 금속을 석출하는 방식을 사용하는 것이 바람직하다 It is preferable to use a method of depositing a conductive metal such as copper by applying an appropriate current to a rectifier of a direct current or pulse / reverse method by calculating an area to be plated and electroplating.
다음으로, 도 18과 같이, 감광성 패턴(148)을 박리하고, 상기 도금층(130, 140) 및 감광성 패턴(148) 하부의 씨드층(132)을 플래시 에칭하여 하부의 접착층(160, 165)을 노출하고, 외부 회로층(131, 135, 145)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 18, the
이때, 형성되는 패드(135, 145) 및 회로 패턴(131)은 상기 제1 절연층(120) 위에 형성되어 상기 비아(115)의 제1 파트(115a)와 연결되어 있는 상부 패드(135) 및 상부 패드(135)와 상부 회로 패턴(131)을 포함하는 제1 외부 회로층(131, 135) 및 상기 비아(115)의 제2 파트(115b)와 연결되어 있는 하부 패드(145) 및 상기 하부 패드(145)와 하부 회로 패턴(도시하지 않음)을 포함하는 제2 외부 회로층(145)을 포함한다.In this case, the
마지막으로, 도 19와 같이, 외부 회로층(131, 135, 145)의 회로 패턴(131)을 매립하며, 상기 패드(135, 145)가 노출되도록 커버레이(150)를 형성함으로써 공정이 완료된다. Finally, as shown in FIG. 19, the process is completed by filling the
이와 같이, 절연 기판을 드릴링하여 비아홀을 형성하고, 상기 비아홀을 도금매립하여 비아를 형성하는 것과 달리, 금속 기판(110)을 식각하여 비아(115)를 형성하고, 상기 비아(115)를 매립하는 절연층(120,125)을 형성함으로써, 제조 비용이 절감되며, 상기 비아(115)와 동일한 금속 기판으로 내부 회로층(111)을 형성함으로써 제조 단계가 줄어든다.As described above, the via substrate is drilled to form a via hole, and the via hole is plated and embedded to form a via. Instead, the metal substrate 110 is etched to form a via 115, and the via 115 is buried. By forming the insulating
또한, 외부 회로층(131, 135, 145)을 SAP공정을 이용하여 형성함으로써 미세패턴을 형성할 수 있다. In addition, fine patterns may be formed by forming the external circuit layers 131, 135, and 145 by using an SAP process.
이하에서는 도 20을 참고하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판을 설명한다.Hereinafter, a printed circuit board according to a second exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 20.
도 20을 참고하면, 본 발명에 따른 인쇄회로기판(200)은 제1 절연층(120) 및 제2 절연층(125)이 형성하는 코어 절연층, 상기 코어 절연층 내부에 형성되어 있는 비아(115), 상기 코어 절연층 내부에 형성되어 있는 내부 회로층(112), 그리고 상기 제1 및 제2 절연층(120, 125) 위에 각각 형성되어 있는 제1 및 제2 외부 회로층(131, 135, 145)을 포함한다.Referring to FIG. 20, the printed
상기 제1 절연층(120)은 상기 제2 절연층(125) 위에 형성되어 있으며, 사이에 다른 절연층을 매개로 형성될 수도 있다. The first insulating
상기 제1 및 제2 절연층(120, 125)을 이루는 물질은 유리 섬유 등의 고형 성분을 포함하는 수지재일 수 있으며, 상기 제1 및 제2 절연층(120, 125)은 동일한 물질로 형성될 수 있다. The material forming the first and second insulating
상기 제1 절연층(120) 및 제2 절연층(125)의 적층 구조는 코어 절연층을 형성하며, 코어 절연층의 두께는 약 60 μm 내지 140 μm 일 수 있다. The stacked structure of the first insulating
상기 코어 절연층의 표면, 즉 제1 절연층(120)의 상부 및 상기 제2 절연층(125)의 하부에 접착층(160, 165)이 형성되어 있다.
상기 접착층(160, 165)은 아래의 제1 및 제2 절연층(120, 125)과 위의 회로층(131, 135, 145)의 접착력을 강화시키기 위한 것으로서, 실란을 포함하는 프라이머 수지층일 수 있으며, 두께가 10 μm이하를 충족한다. 상기 코어 절연층에 비아(115) 및 내부 회로층(112)이 형성되어 있다. The
상기 비아(115)는 상기 제1 절연층(120)으로부터 상기 제2 절연층(125)까지 관통하는 전도성 비아(115)로서, 상기 제1 절연층(120)과 제2 절연층(125)의 경계 영역에서 가장 큰 폭을 가지며, 각 절연층의 상면으로 갈수록 폭이 좁아져 단면이 육각형을 나타낼 수 있다. The via 115 is a conductive via 115 penetrating from the first insulating
상기 비아(115)의 제1폭(d1) 및 제2폭(d2)은 약 20 μm 내지 100 μm를 충족할 수 있다.The first width d1 and the second width d2 of the via 115 may satisfy about 20 μm to 100 μm .
상기 비아(115)는 전도성 비아(115)로서, 구리를 포함하는 합금으로 형성될 수 있다.The
상기 비아(115)는 상기 제1 절연층(120)에 매립되어 있으며, 구리를 포함하는 합금으로 형성되는 제1 파트(115a), 상기 제1 파트(115a)의 하부에 형성되며, 상기 제2 절연층(125)에 매립되어 있으며, 상기 제1 파트(115a)와 동일한 금속으로 형성되는 제2 파트(115b), 그리고 상기 제1 파트(115a)와 상기 제2 파트(115b) 사이에 형성되며, 상기 제1 및 제2 파트(115a, 115b)와 동일한 금속으로 형성되는 제3 파트(115c)를 포함한다.The via 115 is buried in the first insulating
한편, 상기 비아(115)는 상기 제1 내지 제3 파트(115a, 115b, 115c) 사이를 경계하는 베리어층(115d, 115e)이 형성되어 있다.The
즉, 상기 제1 파트와 제3 파트(115a, 115c) 사이에는 제1 베리어층(115d)이 형성되어 있고, 상기 제3 파트와 상기 제2 파트(115b, 115c) 사이에는 제2 베리어층(115e)이 형성되어 있다.That is, a
상기 제1 및 제2 베리어층(115d, 115e)은 상기 제1 내지 제3 파트(115a, 115b, 115c)와 서로 다른 금속으로 형성되어 있으며, 양 금속은 식각선택성이 서로 상이하다. The first and second barrier layers 115d and 115e are formed of different metals from the first to
상기 제3 파트(115c)는 상기 비아(115)의 중앙 영역에 형성되고, 제3 파트(115c)의 하면이 상기 비아(115)의 가장 큰 폭인 제1폭(d1)을 가질 수 있다.The
상기 제1 내지 제3 파트(115a, 115b, 115c)는 구리를 포함하는 합금으로 형성될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 베리어층(115d, 115e)은 니켈, 철, 코발트, 몰리브덴, 크롬 또는 팔라듐을 포함하는 합금으로 형성될 수 있다. The first to
이때, 상기 제1 파트(115a) 및 제2 파트(115b)의 두께는 20 내지 70 μm이며, 제3 파트(115c)의 두께는 5 내지 70 μm를 충족한다. At this time, the thickness of the
상기 제1 및 제2 베리어층(115d)은 제3 파트(115c)의 두께보다 작으며, 바람직하게는 10μm 이하의 두께 범위를 가질 수 있다. The first and
상기 제1 및 제2 절연층(125)의 상면에는 상기 비아(115)와 연결되어 있는 비아 패드(135, 145) 및 회로 패턴(131)을 포함하는 외부 회로층(131, 135, 145)이 각각 형성되어 있다.External circuit layers 131, 135, and 145 including via
상기 외부 회로층(131, 135, 145)은 제1 및 제2 절연층(120, 125)의 표면에 형성되고, 내부 회로층(112)은 상기 제1 및 제2 절연층(120, 125) 사이에 형성되어 있다.The outer circuit layers 131, 135, and 145 are formed on surfaces of the first and second insulating
상기 외부 회로층(131, 135, 145)은 SAP 공정을 통해 형성될 수 있다.The external circuit layers 131, 135, and 145 may be formed through an SAP process.
도 20의 인쇄회로기판(200)에서 상기 내부 회로층(112)의 회로 패턴은 단면이 사각형을 가지며, 상기 비아(115)와 같이 상기 제1 및 제2 절연층(120, 125)의 경계를 축으로 대칭적으로 형성되는 사각형일 수 있으며, 상기 제1 절연층(120)에 매립되어 있는 영역은 비아(115)의 제3 파트(115c)와 동일한 물질로 형성되고, 상기 제2 절연층(125)에 매립되어 있는 영역은 비아(115)의 제3 파트(115c)와 동일한 물질로 형성된다. In the printed
내부 회로층(112)이 도 20과 같이 형성되는 경우에도 도 3 내지 도 19의 제조 방법을 이용하여 형성될 수 있으며, 도 12 및 도 13의 공정에서 비아(115)의 제2 파트(115b) 형성 시 내부 회로층(112)의 제2 절연층(125)에 매립될 영역을 함께 형성할 수 있다.Even when the
이와 같이, 본 발명의 인쇄회로기판(200)은 코어 절연층 내부에 매립되어 있는 내부 회로층(112)이 형성됨으로써 2n+1(n은 양의 정수)의 수효를 가지는 회로층을 형성할 수 있으며, 절연층이 코어 절연층을 기준으로 동일한 수효를 가지며 형성되어 인쇄회로기판의 휨 현상이 방지된다. As described above, the printed
따라서, 절연층의 수효를 늘리지 않으면서도 홀수개의 회로층을 형성할 수 있으며, 코어 절연층 내에 전도성 물질로 형성되어 있는 비아(115)를 형성함으로써 방열성이 확보된다.Therefore, an odd number of circuit layers can be formed without increasing the number of insulating layers, and heat dissipation is ensured by forming
또한, 금속 기판을 중간층이 서로 다른 금속으로 형성함으로써 공정 중에서 휨현상이 방지된다.In addition, the bending of the metal substrate is prevented in the process by forming the intermediate layer of the metal from each other.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It belongs to the scope of right.
인쇄회로기판 100, 200
비아 115
내부 회로층 111
제1 절연층 120
제2 절연층 125Printed
Via 115
Internal circuitry 111
Claims (18)
상기 코어 절연층을 관통하는 적어도 하나의 비아,
상기 코어 절연층 내부에 매립되어 있는 내부 회로층,
상기 코어 절연층의 상부 또는 하부에 형성되며, 상기 비아를 노출하는 접착층, 그리고
상기 접착층 위에 형성되어 있는 외부 회로층
을 포함하며,
상기 비아는 제1 파트, 상기 제1 파트 하부의 제2 파트, 상기 제1 및 상기 제2 파트 사이의 제3 파트, 그리고 상기 제1 내지 제3 파트 사이에 형성되며, 상기 제1 내지 제3 파트와 서로 다른 금속으로 형성되어 있는 적어도 하나의 베리어층을 포함하는 인쇄회로기판. Core insulation layer,
At least one via penetrating the core insulating layer,
An internal circuit layer embedded in the core insulating layer,
An adhesive layer formed on or below the core insulating layer and exposing the via;
An external circuit layer formed on the adhesive layer
/ RTI >
The via is formed between a first part, a second part below the first part, a third part between the first and second parts, and the first to third parts, and the first to third parts. A printed circuit board comprising at least one barrier layer formed of a part and a different metal.
상기 코어 절연층은 상기 비아의 상기 제1 및 제3 파트를 매립하는 제1 절연층, 그리고
상기 제1 절연층 하부에 상기 비아의 제2 파트를 매립하는 제2 절연층을 포함하는 인쇄회로기판.The method of claim 1,
The core insulating layer comprises a first insulating layer filling the first and third parts of the via, and
And a second insulating layer filling the second part of the via under the first insulating layer.
상기 내부 회로층은 상기 비아의 상기 제3 파트와 동일한 물질로 형성되는 인쇄회로기판.The method of claim 2,
The inner circuit layer is formed of the same material as the third part of the via.
상기 비아의 상기 제1 파트 내지 상기 제3 파트는 동일한 물질로 형성되는 인쇄회로기판.The method of claim 1,
The first to third parts of the via are formed of the same material.
상기 내부 회로층은 단면이 사각형인 인쇄회로기판.The method of claim 1,
The inner circuit layer is a printed circuit board having a rectangular cross section.
상기 베리어층은 상기 제1 파트와 상기 제3 파트 사이에 형성되는 제1 베리어층, 그리고
상기 제3 파트와 상기 제2 파트 사이에 형성되어 있는 제2 베리어층을 포함하며, 상기 제1 및 제2 베리어층은 동일한 물질로 형성되어 있는 인쇄회로기판. The method of claim 1,
The barrier layer may include a first barrier layer formed between the first part and the third part, and
And a second barrier layer formed between the third part and the second part, wherein the first and second barrier layers are formed of the same material.
상기 접착층은 프라이머 수지를 포함하는 인쇄회로기판.The method of claim 1,
The adhesive layer is a printed circuit board containing a primer resin.
상기 코어 절연층을 관통하는 적어도 하나의 비아,
상기 코어 절연층 내부에 매립되어 있는 내부 회로층,
상기 코어 절연층의 상부 또는 하부에 형성되며, 상기 비아를 노출하는 접착층, 그리고
상기 접착층 위에 형성되어 있는 외부 회로층
을 포함하며,
상기 내부 회로층 및 상기 외부 회로층을 포함하는 2n+1(n은 양의 정수)의 수효를 가지는 회로층을 포함하는 인쇄회로기판.Core insulation layer,
At least one via penetrating the core insulating layer,
An internal circuit layer embedded in the core insulating layer,
An adhesive layer formed on or below the core insulating layer and exposing the via;
An external circuit layer formed on the adhesive layer
/ RTI >
A printed circuit board comprising a circuit layer having a number of 2n + 1 (n is a positive integer) including the inner circuit layer and the outer circuit layer.
상기 금속 기판의 상기 제1 금속층을 식각하여 비아의 제1 파트를 형성하는 단계,
상기 금속 기판의 상기 제2 금속층을 식각하여 상기 비아의 상기 제1 파트 하부의 연결부 및 내부 회로층을 형성하는 단계,
상기 금속 기판의 상기 제3 금속층을 식각하여 상기 비아의 상기 연결부 하부의 제2 파트를 형성하는 단계,
상기 비아를 매립하는 절연층을 형성하는 단계,
상기 절연층의 상부 또는 하부에 접착층을 형성하는 단계, 그리고
상기 접착층 위에 외부 회로층을 형성하는 단계
를 포함하는 인쇄회로기판의 제조 방법.Preparing a metal substrate having a barrier layer laminated between a first metal layer, a second metal layer and a third metal layer, and the first to third metal layers;
Etching the first metal layer of the metal substrate to form a first part of a via,
Etching the second metal layer of the metal substrate to form a connection portion and an internal circuit layer under the first part of the via;
Etching the third metal layer of the metal substrate to form a second part under the connection portion of the via;
Forming an insulating layer filling the via;
Forming an adhesive layer on or below the insulating layer, and
Forming an outer circuit layer on the adhesive layer
And a step of forming the printed circuit board.
상기 절연층을 형성하는 단계는,
상기 비아의 제1 파트 및 상기 연결부, 그리고 상기 내부 회로층을 매립하는 제1 절연층을 형성하는 단계, 그리고
상기 비아의 제2 파트를 매립하는 제2 절연층을 형성하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판의 제조 방법.10. The method of claim 9,
Wherein forming the insulating layer comprises:
Forming a first insulating layer filling the first part of the via, the connecting portion, and the internal circuit layer; and
And forming a second insulating layer filling the second part of the via.
상기 금속 기판을 준비하는 단계는,
상기 베리어층을 상기 제1 내지 제3 금속층과 서로 다른 식각선택성을 가지는 물질로 형성하는 인쇄회로기판의 제조 방법.10. The method of claim 9,
Preparing the metal substrate,
And forming the barrier layer from a material having an etch selectivity different from that of the first to third metal layers.
상기 접착층을 형성하는 단계는,
동박층과 접착되어 있는 상기 접착층을 상기 절연층의 상부 또는 하부에 부착하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판의 제조 방법.10. The method of claim 9,
Wherein the step of forming the adhesive layer comprises:
A method of manufacturing a printed circuit board comprising the step of attaching the adhesive layer bonded to the copper foil layer on the upper or lower portion of the insulating layer.
상기 외부 회로층을 형성하는 단계는,
상기 동박층을 제거하는 단계,
상기 접착층 위에 무전해도금층을 형성하는 단계,
상기 무전해도금층 위에 감광성 패턴을 형성하는 단계, 그리고
상기 감광성 패턴을 마스크로 전해도금하여 상기 외부 회로층을 형성하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판의 제조 방법.The method of claim 12,
Wherein forming the external circuit layer comprises:
Removing the copper foil layer,
Forming an electroless plating layer on the adhesive layer;
Forming a photosensitive pattern on the electroless plating layer, and
And electroplating the photosensitive pattern with a mask to form the external circuit layer.
상기 외부 회로층을 형성하는 단계는,
상기 전해도금 후, 상기 무전해도금층이 제거될 때까지 플래시 에칭하는 인쇄회로기판의 제조 방법.The method of claim 13,
Wherein forming the external circuit layer comprises:
After the electroplating, a method of manufacturing a printed circuit board by flash etching until the electroless plating layer is removed.
상기 금속 기판을 준비하는 단계는,
상기 제1 금속층 내지 상기 제3 금속층을 동일한 금속층으로 형성하는 인쇄회로기판의 제조 방법.10. The method of claim 9,
Preparing the metal substrate,
The method of claim 1, wherein the first metal layer and the third metal layer are formed of the same metal layer.
상기 비아의 상기 제2 파트를 형성하는 단계는,
상기 금속 기판의 상기 제3 금속층을 습식 식각하여, 상기 비아의 제2 파트를 형성하는 동시에 상기 내부 회로층의 하부를 형성하는 인쇄회로기판의 제조 방법.10. The method of claim 9,
Forming the second part of the via,
And wet etching the third metal layer of the metal substrate to form a second part of the via and to form a lower portion of the internal circuit layer.
상기 내부 회로층은,
5 내지 30 μm의 두께와, 50 μm 이하의 폭을 가지는 회로 패턴을 포함하는 인쇄회로기판의 제조 방법.10. The method of claim 9,
The inner circuit layer,
A method for manufacturing a printed circuit board comprising a circuit pattern having a thickness of 5 to 30 μm and a width of 50 μm or less.
상기 제1 금속층 내지 제3 금속층은 구리를 포함하는 합금으로 형성하고, 상기 베리어층은 니켈을 포함하는 합금으로 형성하는 인쇄회로기판의 제조 방법. 10. The method of claim 9,
And the first metal layer to the third metal layer are formed of an alloy containing copper, and the barrier layer is formed of an alloy containing nickel.
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