KR101218616B1 - Calibration method of contract transducer for absolute measurement of nonlinearity parameter, apparatus for calibration by using the method, and method and apparatus for absolute measurement of the parameter by using the method - Google Patents

Calibration method of contract transducer for absolute measurement of nonlinearity parameter, apparatus for calibration by using the method, and method and apparatus for absolute measurement of the parameter by using the method Download PDF

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Abstract

본 발명은, 전달부의 특징을 특정하는 교정이 간편하고도 정확하여 비선형 파라미터를 정확하게 특정할 수 있는 교정 방법, 및 상기 교정 방법을 적용한 교정 장치, 및 상기 교정 방법을 적용한 비선형 파라미터 측정 방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 검사 대상에 입력되는 입력 전류와, 상기 검사 대상 내부에서 상기 입력 전류가 반향되어서 전달부를 통해 출력된 출력 전류를 측정하여, 상기 전달부의 전력 전달함수 및 전류-변위 전달함수를 구하는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정을 위한 전달부 교정 방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 전달부의 전력 전달함수 및 전류-변위 전달함수를 구하고, 검사 대상을 투과한 출력 전류를 측정한 후에, 고조파 성분의 절대 변위 진폭(absolute displacement amplitude)을 구함으로써, 비선형 파라미터를 측정할 수 있는 비선형 파라미터 측정 방법 및 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a calibration method that can easily and accurately specify the characteristics of a transmission unit and to accurately specify a nonlinear parameter, a calibration apparatus to which the calibration method is applied, and a nonlinear parameter measurement method and apparatus to which the calibration method is applied. It is about.
The present invention is to obtain the power transfer function and the current-displacement transfer function of the transfer unit by measuring the input current input to the inspection target and the output current output through the transfer unit is reflected by the input current inside the inspection target. The present invention relates to a delivery calibration method and apparatus for measuring non-linear parameters.
The present invention calculates the power transfer function and the current-displacement transfer function of the transfer unit, and after measuring the output current passing through the test object, obtains the absolute displacement amplitude of the harmonic components, thereby measuring the nonlinear parameters. It relates to a non-linear parameter measurement method and apparatus that can be.

Description

비선형 파라미터 측정을 위한 전달부 교정 방법, 상기 교정 방법을 이용한 교정 장치, 및 상기 교정 방법을 이용한 비선형 파라미터 측정 방법 및 장치{Calibration method of contract transducer for absolute measurement of nonlinearity parameter, apparatus for calibration by using the method, and method and apparatus for absolute measurement of the parameter by using the method} CALIBRATION method of contract transducer for absolute measurement of nonlinearity parameter, apparatus for calibration by using the method for calibration of delivery unit for nonlinear parameter measurement, calibration apparatus using the calibration method, and nonlinear parameter measurement method and apparatus using the calibration method , and method and apparatus for absolute measurement of the parameter by using the method}

본 발명은, 전달부의 특징을 특정하는 교정이 간편하고도 정확하여 비선형 파라미터를 정확하게 특정할 수 있는 교정 방법, 및 상기 교정 방법을 적용한 교정 장치, 및 상기 교정 방법을 적용한 비선형 파라미터 측정 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a calibration method that can easily and accurately specify the characteristics of a transmission unit and to accurately specify a nonlinear parameter, a calibration apparatus to which the calibration method is applied, and a nonlinear parameter measurement method and apparatus to which the calibration method is applied. It is about.

본 발명은, 검사 대상에 입력되는 입력 전류와, 상기 검사 대상 내부에서 상기 입력 전류가 반향되어서 전달부를 통해 출력된 출력 전류를 측정하여, 상기 전달부의 전력 전달함수 및 전류-변위 전달함수를 구하는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정을 위한 전달부 교정 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention is to obtain the power transfer function and the current-displacement transfer function of the transfer unit by measuring the input current input to the inspection target and the output current output through the transfer unit is reflected by the input current inside the inspection target. The present invention relates to a delivery calibration method and apparatus for measuring non-linear parameters.

본 발명은, 전달부의 전력 전달함수 및 전류-변위 전달함수를 구하고, 검사 대상을 투과한 출력 전류를 측정한 후에, 고조파 성분의 절대 변위 진폭(absolute displacement amplitude)을 구함으로써, 비선형 파라미터를 측정할 수 있는 비선형 파라미터 측정 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention calculates the power transfer function and the current-displacement transfer function of the transfer unit, and after measuring the output current passing through the test object, obtains the absolute displacement amplitude of the harmonic components, thereby measuring the nonlinear parameters. It relates to a non-linear parameter measurement method and apparatus that can be.

일반적으로, 비파괴검사(Non-destruction inspection)는 공업제품 또는 재료를 파괴하지 않고 그 내부의 기공(氣孔)이나 노화/열화, 균열, 피로 손상 등의 내부 결함 등을 외부에서 검사하는 방법을 말한다.In general, non-destruction inspection refers to a method of externally inspecting internal defects such as pores, aging / deterioration, cracking, fatigue damage, etc. without destroying industrial products or materials.

비파괴검사 방법으로는, 재료의 종류 및 결함 등에 따라서 방사선 또는 초음파를 이용하는 방법, 맴돌이 전류 시험, 및 자분탐상법(磁粉探傷法) 등이 선택적으로 채용되어 왔다.
As the non-destructive inspection method, a method using radiation or ultrasonic waves, a eddy current test, a magnetic particle inspection method, or the like has been selectively employed depending on the kind and defect of the material.

여기에서, 초음파를 이용한 방법은 다른 방법에 비해 실제 검사 현장에서 보다 쉽게 적용이 가능한 기술이긴 하나, 검사 대상의 물성값을 특정하기 위해 필요한 비선형 파라미터(Nonlinearity parameter)를 측정하는 것이 용이하지 않다는 문제점이 존재하여 왔다. Here, the ultrasonic method is a technique that can be applied more easily at the actual inspection site than other methods, but there is a problem that it is not easy to measure the nonlinearity parameter required to specify the physical property value of the inspection object. Has come.

개략적으로 보면, 단일 주파수를 갖는 파동을 검사 대상에 투과시키면 재료의 물성에 따라 파동의 고조파 왜곡이 발생되는데, 이 고조파 왜곡에 대한 측정이 정밀할 수록 비선형 파라미터가 정확하게 된다.Schematically, when a wave having a single frequency is transmitted to an inspection object, harmonic distortion of the wave is generated according to the material properties. The more precise the measurement of the harmonic distortion, the more accurate the nonlinear parameter is.

그런데 고조파 왜곡을 정확하게 측정한다는 것은 결국 검사 대상에 접촉되도록 형성되어, 검사 대상과 측정 장치 사이에서 파동을 매개하는 기능을 수행하는 전달부의 특징이 특정될 것을 요구하게 된다. However, the accurate measurement of harmonic distortion is eventually formed in contact with the inspection object, requiring the characteristic of the transmission unit that performs the function of mediating the wave between the inspection object and the measurement device.

종래에는 이 전달부의 특징을 특정하는 교정(calibration) 작업이 검사 현장에 적용하기가 용이하지 않았고 그에 따라 정확성이 떨어지는 등의 문제점이 존재하여 왔다. Conventionally, there has been a problem that a calibration operation that specifies the characteristics of this delivery section has not been easy to apply to the inspection site and thus the accuracy is poor.

따라서 전달부의 특징을 특정하는 교정이 간편하고도 정확하여 비선형 파라미터를 정확하게 특정할 수 있는 교정 방법, 및 이 교정 방법을 적용한 교정 장치, 및 이 교정 방법을 적용한 비선형 파라미터의 측정 방법 및 장치의 개발이 절실한 상황이다.
Therefore, the calibration method for specifying the characteristics of the transmission part is simple and accurate, and the development of a calibration method capable of accurately specifying nonlinear parameters, a calibration apparatus employing the calibration method, and a measurement method and apparatus for measuring the nonlinear parameter applying the calibration method It is a desperate situation.

이하에서, 초음파를 이용한 비파괴 검사와 관련된 종래기술에 대해 검토해 본다. Hereinafter, the prior art related to the non-destructive inspection using ultrasonic waves will be examined.

먼저, 대한민국 공개특허공보 10-2009-0015596호는 유도초음파를 이용한 구조 건전성 모니터링 방법에 대한 것으로서, 센서에서 수신하는 신호 차이의 진폭 변화를 분석하여 구조물의 손상 여부를 감지하는 것을 특징으로 하고 있다.First, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2009-0015596 relates to a structural health monitoring method using guided ultrasonic waves, and characterized in that it detects damage to a structure by analyzing an amplitude change of a signal difference received from a sensor.

이는 센서를 이용하여 손상을 감지한 후 유도초음파의 전파시간 등을 이용하여 손상 위치를 결정한다는 점에서 긍정적이나, 비선형 파라미터를 측정하는 방법 등에 대해서는 기재되어 있지 않다.
This is positive in terms of determining the location of the damage by using the propagation time of the guided ultrasonic wave after detecting the damage using the sensor, but there is no description on how to measure the nonlinear parameter.

두 번째로, 대한민국 공개특허공보 10-2005-0061976호는 비파괴검사형 초음파탐사시스템에 대한 것으로서, 5개의 압전소자, 초음파발생기 및 초음파수신기를 포함하는 시스템을 특징으로 하고 있으나, 비선형 파라미터를 측정하는 방법 등에 대해서는 기재되어 있지 않다.
Secondly, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2005-0061976 relates to a non-destructive inspection ultrasonic detection system, which is characterized by a system including five piezoelectric elements, an ultrasonic wave generator, and an ultrasonic wave receiver. No method or the like is described.

세 번째로, 대한민국 공개특허공보 10-2005-0042542호는 비선형 음향반응을 이용한 비파괴 음향 탐사방법에 대한 것으로서, 입사된 초음파의 주파수에 대하여 상대 비선형계수 및 결함존재지수를 계산하는 것을 특징으로 하고 있다.Third, the Republic of Korea Patent Publication No. 10-2005-0042542 relates to a non-destructive acoustic sensing method using a nonlinear acoustic response, characterized in that the relative nonlinear coefficient and the defect existence index is calculated for the frequency of the incident ultrasound. .

여기에서, 상대 비선형계수는 입사 주파수의 진폭 파워스펙트럼에 대한 배진동 주파수의 진폭 파워 스펙트럼의 비(比)이고, 결함존재지수는 결함이 없는 기준 시편의 상대 비선형계수와 검사 대상 시편의 평균 상대 비선형계수와의 차이로 정의된다.Here, the relative nonlinear coefficient is the ratio of the amplitude power spectrum of the double oscillation frequency to the amplitude power spectrum of the incident frequency, and the defect existence index is the relative nonlinear coefficient of the reference specimen without defect and the average relative nonlinear coefficient of the test specimen. It is defined as the difference from.

이는 상대 비선형계수 및 결함존재지수를 새롭게 정의하고 이를 이용하여 비파괴검사를 수행하는 것은 긍정적이나, 비선형 파라미터를 측정한다거나 비선형 파라미터를 측정하기 위한 전달부 교정 방법 등에 대해서는 기재되어 있지 않다.Although it is positive to newly define the relative nonlinear coefficient and the defect existence index and perform the non-destructive test using the same, it is not described in terms of measuring the nonlinear parameter or calibrating the transmission unit for measuring the nonlinear parameter.

본 발명의 목적은, 전달부의 특징을 특정하는 교정이 간편하고도 정확하여 비선형 파라미터를 정확하게 특정할 수 있는 교정 방법, 및 이 교정 방법을 적용한 교정 장치, 및 이 교정 방법을 적용한 비선형 파라미터의 측정 장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a calibration method capable of specifying a nonlinear parameter accurately, in which calibration for specifying the characteristics of the transmission unit is simple and accurate, and a calibration apparatus to which the calibration method is applied, and a measurement apparatus for nonlinear parameters to which the calibration method is applied. In providing.

본 발명은, 검사 대상에 입력되는 입력 전류와, 상기 검사 대상 내부에서 상기 입력 전류가 반향되어서 전달부를 통해 출력된 출력 전류를 측정하여, 상기 전달부의 전력 전달함수 및 전류-변위 전달함수를 구하는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정을 위한 전달부 교정 방법 및 장치를 제공함으로써, 기술적 과제를 해결하고자 한다.The present invention is to obtain the power transfer function and the current-displacement transfer function of the transfer unit by measuring the input current input to the inspection target and the output current output through the transfer unit is reflected by the input current inside the inspection target. It is an object of the present invention to provide a method and apparatus for calibrating a transmission unit for nonlinear parameter measurement.

본 발명은, 전달부의 전력 전달함수 및 전류-변위 전달함수를 구하고, 검사 대상을 투과한 출력 전류를 측정한 후에, 고조파 성분의 절대 변위 진폭(absolute displacement amplitude)을 구함으로써, 비선형 파라미터를 측정할 수 있는 비선형 파라미터 측정 방법 및 장치를 제공함으로써, 기술적 과제를 해결하고자 한다.The present invention calculates the power transfer function and the current-displacement transfer function of the transfer unit, and after measuring the output current passing through the test object, obtains the absolute displacement amplitude of the harmonic components, thereby measuring the nonlinear parameters. By providing a non-linear parameter measuring method and apparatus, it is intended to solve the technical problem.

본 발명은, 전달부의 특징을 특정하는 교정이 간편하고도 정확하여 비선형 파라미터를 정확하게 특정할 수 있는 현저한 효과를 보유하고 있다.The present invention has the remarkable effect that the calibration for specifying the characteristics of the delivery section is simple and accurate, so that the nonlinear parameters can be accurately specified.

본 발명은, 전달부의 전기-음향학적 관계식을 새롭게 정의하여 전류 측정만으로 전달부를 교정할 수 있음은 물론 이를 통해 비선형 파라미터를 정확하게 측정할 수 있는 현저한 효과를 보유하고 있다.The present invention has a remarkable effect of newly defining the electro-acoustic relationship of the delivery unit to calibrate the delivery unit only by measuring the current, and thereby accurately measuring nonlinear parameters.

본 발명은, 실제 검사 현장에서 용이하게 적용될 수 있도록 교정 방법을 간편하면서도 정확하게 규정함으로써, 검사 대상 및 검사 조건에 관계 없이 절대적 의미의 비선형 파라미터를 특정할 수 있는 현저한 효과를 보유하고 있다. The present invention has a remarkable effect of specifying a non-linear parameter in an absolute sense irrespective of an inspection object and an inspection condition by simply and accurately defining a calibration method so that it can be easily applied at an actual inspection site.

도 1은 검사 대상에서 고조파가 발생되어 전파되는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 전달부에서의 전력 전달함수를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3 및 도 4는 전달부의 교정 작업을 이용하여 전달함수를 구하는 원리를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 전달부의 교정 작업을 위한 교정 장치에서 입력 전류를 측정하는 일예를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 전달부의 교정 작업을 위한 교정 장치에서 출력 전류를 측정하는 일예를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은 비선형 파라미터 측정 장치에서 출력 전류를 측정하는 일예를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8a는 도 7에서 측정된 시간영역 출력 전류를 기록한 그래프이다.
도 8b는 도 7에서 측정된 출력 전류를 이용하여 고조파의 주파수 스펙트럼을 나타내는 그래프이다.
도 9a는 도 8b의 주파수 스펙트럼에서 기본 고조파 성분의 시간 영역 변위를 나타내는 그래프이다.
도 9b는 도 8b의 주파수 스펙트럼에서 2차 고조파 성분의 시간 영역 변위를 나타내는 그래프이다.
1 is a view schematically illustrating a process in which harmonics are generated and propagated in an inspection object.
2 is a schematic diagram illustrating a power transfer function in a transfer unit.
3 and 4 are diagrams schematically illustrating a principle of obtaining a transfer function using a calibration operation of the transfer unit.
5 is a diagram schematically illustrating an example of measuring an input current in a calibration device for a calibration operation of a transfer unit.
6 is a view schematically showing an example of measuring the output current in the calibration device for the calibration operation of the transfer unit.
7 is a diagram schematically illustrating an example of measuring an output current in a nonlinear parameter measuring apparatus.
FIG. 8A is a graph of recording the time domain output current measured in FIG. 7.
FIG. 8B is a graph showing the frequency spectrum of harmonics using the output current measured in FIG.
FIG. 9A is a graph showing time-domain displacements of fundamental harmonic components in the frequency spectrum of FIG. 8B.
FIG. 9B is a graph showing the time-domain displacement of the second harmonic component in the frequency spectrum of FIG. 8B.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms and the inventor may properly define the concept of the term in order to best describe its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and are not intended to represent all of the technical ideas of the present invention. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may be present.

이하, 도면을 참조하여 설명하기에 앞서, 본 발명의 요지를 드러내기 위해서 필요하지 않은 사항 즉 통상의 지식을 가진 당업자가 자명하게 부가할 수 있는 공지 구성에 대해서는 도시하지 않거나, 구체적으로 기술하지 않았음을 밝혀둔다.
Before describing the present invention with reference to the accompanying drawings, it should be noted that the present invention is not described or specifically described with respect to a known configuration that can be easily added by a person skilled in the art, Let the sound be revealed.

먼저, 비선형 파라미터에 대해서 구체적으로 살펴보면서 본 발명에 대하여 살펴보고자 한다. First, the present invention will be described with reference to nonlinear parameters in detail.

비선형 파라미터는 검사 대상 내부에 비선형성을 유발하여 측정할 수 있는 물성치로서 재료의 변형, 미시구조, 손상 정도를 식별할 수 있는 중요한 인자이다.Nonlinear parameters are properties that can be measured by inducing nonlinearity within the inspection object and are important factors for identifying the deformation, microstructure, and damage of materials.

즉 단일 주파수를 갖는 파동을 검사 대상 내부에 투과시킴으로써 고조파 왜곡 현상을 발생시키고, 이를 이용하여 비선형 파라미터를 측정함으로써 검사 대상 내부의 특성을 식별하게 된다.That is, the harmonic distortion phenomenon is generated by transmitting a wave having a single frequency inside the inspection object, and the characteristics of the inspection object are identified by measuring the nonlinear parameter using the wave.

따라서 검사 대상의 특성을 나타낼 수 있는 절대적인 의미의 비선형 파라미터 값의 측정이 필요하게 된다.
Therefore, it is necessary to measure the nonlinear parameter value in the absolute sense that can represent the characteristics of the inspection object.

평면 종파가 비선형 매질 내부를 전파하여 고조파 왜곡이 발생되는 경우, 비선형 파라미터

Figure 112012098865788-pat00066
는 다음과 같이 정의된다.Non-linear parameters where the planar longitudinal wave propagates inside the nonlinear medium, causing harmonic distortion
Figure 112012098865788-pat00066
Is defined as

Figure 112011027470691-pat00001
Figure 112011027470691-pat00001

여기에서,

Figure 112012098865788-pat00067
는 비선형 파라미터, A1 은 기본 고조파 성분의 절대 변위 진폭(absolute displacement amplitude, peak strain amplitude), A2 는 2차 고조파 성분의 절대 변위 진폭으로서, 파동이 검사 대상을 통과한 후에 측정된 값을 의미한다. From here,
Figure 112012098865788-pat00067
Is the nonlinear parameter, A 1 is the absolute displacement amplitude of the fundamental harmonic component, and A 2 is the absolute displacement amplitude of the second harmonic component, and it is measured after the wave passes the test object. do.

또한 k 는 파수(wave number)이고, x 는 검사 대상의 두께(파동의 전파거리)이며, v 는 종파의 검사 대상 내의 속도이며,

Figure 112011027470691-pat00002
은 기본 주파수이다.
K is the wave number, x is the thickness of the inspection object (wave propagation distance), v is the velocity within the inspection object of the longitudinal wave,
Figure 112011027470691-pat00002
Is the fundamental frequency.

즉 비선형 파라미터 를 구하기 위해서는 검사 대상 내부에서의 고조파 왜곡으로 인한 기본 고조파 성분 및 2차 고조파 성분의 절대 변위 진폭이 측정되어야만 한다.
In other words, in order to obtain the nonlinear parameters, the absolute displacement amplitudes of the fundamental harmonic components and the second harmonic components due to the harmonic distortions inside the inspection object must be measured.

도 1은 검사 대상에서 고조파가 발생되어 전파되는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
1 is a view schematically illustrating a process in which harmonics are generated and propagated in an inspection object.

Figure 112011027470691-pat00003
는 기본 주파수와 동일한 단일 주파수를 갖는 입력 전력이며, 이 입력 전력은 검사 대상에 접촉되어 형성된 전송부를 통해 검사 대상으로 입력된다.
Figure 112011027470691-pat00003
Is input power having a single frequency equal to the fundamental frequency, and the input power is input to the inspection object through a transmission unit formed in contact with the inspection object.

여기에서, 전송부는 압전 효과를 일으키는 재료 및 이 재료를 검사 대상에 접촉시키는 유체 매질로 구성되며, 특히 입력 전력이 갖는 주파수와 동일한 주파수를 갖는 재료가 선택되어서, 왜곡이 발생되지 않도록 공진 현상을 유발한다.
Here, the transmission part is composed of a material causing a piezoelectric effect and a fluid medium for bringing the material into contact with the inspection object, and in particular, a material having a frequency equal to the frequency of the input power is selected to cause a resonance phenomenon so that distortion does not occur. do.

입력 전력

Figure 112011027470691-pat00004
은 전송부를 통과하여 기본 주파수와 동일한 단일 주파수를 갖는 음향 파워
Figure 112011027470691-pat00005
로 전환된다.Input power
Figure 112011027470691-pat00004
Passes through the transmitter and has a single frequency equal to the fundamental frequency
Figure 112011027470691-pat00005
Is switched to.

이 음향 파워는 비선형 매질인 검사 대상 내부에서 전파하면서 고조파 왜곡이 발생되며, 이 중에서 기본 고조파 성분 및 2 차 고조파 성분을 포함한 음향 파워를

Figure 112011027470691-pat00006
로 정의할 수 있게 된다.
This acoustic power propagates inside the inspection target, which is a nonlinear medium, and causes harmonic distortion. Among them, the acoustic power including the fundamental harmonic components and the second harmonic components
Figure 112011027470691-pat00006
It can be defined as.

기본 고조파 성분 및 2 차 고조파 성분을 포함한 음향 파워는 전달부를 거쳐 검사 대상을 통과하게 되는데, 전달부는 전송부와 마찬가지로 압전 효과를 일으키는 재료 및 이 재료를 검사 대상에 접촉시키는 유체 매질로 구성된다.The acoustic power including the fundamental harmonic component and the second harmonic component passes through the test object and passes through the test object, which, like the transmission part, consists of a material causing a piezoelectric effect and a fluid medium for contacting the material with the test object.

전달부를 통과하면서 압전 효과에 변환된 출력 전력은

Figure 112011027470691-pat00007
로 정의된다.
The output power converted to the piezoelectric effect while passing through the transfer section
Figure 112011027470691-pat00007
.

따라서 검사 대상에 파동을 투과하여 진행시킬 때 전송부는 기본 주파수와 공진되도록 선택되고, 검사 대상 내부의 특성을 특정하기 위해서는 전달부를 특정하는 것이 중요하게 된다.
Therefore, the transmission unit is selected to resonate with the fundamental frequency when the wave passes through the inspection object, and it is important to specify the transmission unit to specify the characteristics inside the inspection object.

도 2는 전달부에서의 전력 전달함수를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
2 is a schematic diagram illustrating a power transfer function in a transfer unit.

기본 고조파 성분 및 2 차 고조파 성분을 포함한 음향 파워인

Figure 112012098865788-pat00008
가 전달부를 통과하면서 압전 효과에 변환된 출력 전력
Figure 112012098865788-pat00009
과의 전력 전달함수
Figure 112012098865788-pat00068
를 정의할 수 있다.Sound power including fundamental and second harmonic components
Figure 112012098865788-pat00008
Output power converted to piezoelectric effect while the transmitter passes through
Figure 112012098865788-pat00009
Power transfer function
Figure 112012098865788-pat00068
Can be defined.

Figure 112011027470691-pat00011
Figure 112011027470691-pat00011

여기에서, 상기 수학식 2의 전력을 달리 표현하면 다음 식으로 쓸 수 있다.If the power of Equation 2 is expressed differently, it may be written as the following equation.

Figure 112011027470691-pat00012
Figure 112011027470691-pat00012

여기에서,

Figure 112012098865788-pat00013
는 절대 변위 진폭을 주파수 함수로서 나타낸 것이고,
Figure 112012098865788-pat00069
는 검사 대상의 밀도(density)이며, v 는 검사 대상 내부에서의 종파 속도이고, a는 전달부의 면적을 의미하며,
Figure 112012098865788-pat00070
는 측정된 출력 전류를 주파수 함수로서 나타낸 것이다.
From here,
Figure 112012098865788-pat00013
Is the absolute displacement amplitude as a function of frequency,
Figure 112012098865788-pat00069
Is the density of the test object, v is the longitudinal wave velocity inside the test object, a is the area of the transmission part,
Figure 112012098865788-pat00070
Denotes the measured output current as a function of frequency.

여기에서, 비선형 파라미터 를 구하기 위해서는 절대 변위 진폭을 결정하는 것이 중요한 바, 상기 수학식 3을 다음과 같이 변환할 수 있다.Herein, in order to obtain the nonlinear parameter, it is important to determine the absolute displacement amplitude. Equation 3 can be converted as follows.

Figure 112011027470691-pat00015
Figure 112011027470691-pat00015

여기에서,

Figure 112011027470691-pat00016
는 전달부 기준의 출력 임피던스를 의미한다.
From here,
Figure 112011027470691-pat00016
Denotes the output impedance of the transmitter reference.

상기 수학식 4는 다시 다음과 같이 표현함으로써, 출력 전류의 진폭을 고조파 주파수 성분의 절대 변위 진폭으로 변환하는 전류-변위 전달함수 H(w)를 다음과 같이 정의할 수 있게 된다.Equation 4 is expressed as follows, whereby the current-displacement transfer function H (w) for converting the amplitude of the output current into the absolute displacement amplitude of the harmonic frequency component can be defined as follows.

Figure 112011027470691-pat00018
Figure 112011027470691-pat00018

또한 수학식 4 및 수학식 5를 참조하면, 전류-변위 전달함수는 다음과 같이 표현될 수 있다.Also referring to Equations 4 and 5, the current-displacement transfer function may be expressed as follows.

Figure 112011027470691-pat00019
Figure 112011027470691-pat00019

여기에서는, 전달부 기준의 출력 임피던스가 50 Ω 이 되도록 설정했을 경우를 부기하였으며, 설계 조건에 따라서는 다른 값이 올 수 있음은 물론이다.
Here, the case where the output impedance of the transmission unit reference is set to 50 kHz is added. Of course, different values may come depending on the design conditions.

주목할 점은, 비선형 파라미터

Figure 112012098865788-pat00071
를 특정하기 위해서는 절대 변위 진폭
Figure 112012098865788-pat00020
가 필요하며, 이 절대 변위 진폭을 구하기 위해서는, 출력 전류
Figure 112012098865788-pat00021
및 전류-변위 전달함수 H(w)가 구해져야만 된다는 것이다.Note that nonlinear parameters
Figure 112012098865788-pat00071
To specify the absolute displacement amplitude
Figure 112012098865788-pat00020
In order to find this absolute displacement amplitude, the output current
Figure 112012098865788-pat00021
And the current-displacement transfer function H (w) must be obtained.

또한 전류-변위 전달함수 H(w)를 구하기 위해서는, 전력 전달함수 KR(w)가 구해져야만 되는 것이다.
In addition, in order to obtain the current-displacement transfer function H (w), the power transfer function K R (w) must be obtained.

정리하여 보면, 전달부의 특징을 특정하는 교정(calibration) 작업을 통해 전력 전달함수 및 전류-변위 전달함수를 구한 후에, 실제 검사를 수행할 때의 출력 전류

Figure 112011027470691-pat00025
를 측정함으로써 비선형 파라미터를 구할 수 있게 된다.
In summary, after calculating the power transfer function and the current-displacement transfer function through a calibration operation that specifies the characteristics of the transfer unit, the output current when performing the actual inspection
Figure 112011027470691-pat00025
By measuring the nonlinear parameters can be obtained.

도 3 및 도 4는 전달부의 교정 작업을 이용하여 전달함수를 구하는 원리를 개략적으로 도시한 도면이다.
3 and 4 are diagrams schematically illustrating a principle of obtaining a transfer function using a calibration operation of the transfer unit.

먼저, 전달부에서의 입력과 출력 사이에 상호성이 성립한다고 가정하고 이러한 가정이 가능한 전달부를 선택하여 구성하였음을 밝혀둔다.
First, it is assumed that the mutuality is established between the input and the output in the transfer unit, and it is revealed that the transfer unit is selected and configured.

도 3 및 도 4를 참조하여 보면, 입력 전력이 반향되어 출력됨을 알 수 있으며, 이에 따라 전력 전달함수를 수학식 2를 이용하여 표현하되 음향 파워 부분을 제거해보면 다음과 같이 정리됨을 알 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 4, it can be seen that the input power is reflected and output. Accordingly, the power transfer function can be expressed using Equation 2, but the acoustic power portion is removed.

Figure 112011027470691-pat00026
Figure 112011027470691-pat00026

여기에서, 전력을 전류로서 표현하면 임피던스는 상쇄되므로, 전력 전달함수

Figure 112011027470691-pat00027
는 다음과 같이 정리된다.Here, if power is expressed as a current, the impedance is canceled, so the power transfer function
Figure 112011027470691-pat00027
Is summarized as follows.

Figure 112011027470691-pat00028
Figure 112011027470691-pat00028

따라서, 전달부의 교정 작업을 통해 입력 전류 및 출력 전류를 구하면 전력 전달함수

Figure 112012098865788-pat00029
를 구할 수 있으며, 이를 수학식 6에 대입하면 전류-변위 전달함수 H(w)를 구할 수 있게 되므로, 교정 작업을 통해 전달부의 특징을 특정할 수 있게 된다.
Therefore, if the input current and output current are found through the calibration operation of the transfer unit, the power transfer function
Figure 112012098865788-pat00029
By substituting this in Equation 6, the current-displacement transfer function H (w) can be obtained, so that the characteristics of the transfer unit can be specified through a calibration operation.

도 5는 전달부의 교정 작업을 위한 교정 장치에서 입력 전류를 측정하는 일예를 개략적으로 도시한 도면이다.
5 is a diagram schematically illustrating an example of measuring an input current in a calibration device for a calibration operation of a transfer unit.

먼저, 교정 장치에 사용되는 각 구성 요소는 검사 대상 및 전달부의 특징에 맞도록 선택적으로 채용될 수 있는 것으로서 도면에 도시된 것에 한정되지 않음을 미리 밝혀둔다.First, it is noted that each component used in the calibration device may be selectively employed to suit the characteristics of the inspection object and the delivery unit, and is not limited to that shown in the drawings.

바람직하게, 펄스발생기는 광대역 펄스발생기를 채용하며 댐핑을 50 Ω(Ohm)으로 설정한 후에 펄스를 발생하도록 구동된다.
Preferably, the pulse generator employs a wideband pulse generator and is driven to generate a pulse after the damping is set to 50 Ohm.

인덕터는 전류의 급격한 변화를 방지하고자 본 장치의 규격에 맞도록 채용되며, 설계 조건에 따라서는 포함되지 않을 수도 있다.
Inductors are adopted to meet the specifications of the device to prevent sudden changes in current, and may not be included depending on design conditions.

전류프로브는 펄스발생기에서 출력되는 입력 전류를 감지하며, 오실로스코프(DC 50 Ohm 설정)는 입력 전류를 측정 기록한다.
The current probe senses the input current output from the pulse generator, and the oscilloscope (DC 50 Ohm setting) measures and records the input current.

바람직하게, 전류프로브는 반사파를 최소화하기 위해 50 Ω(Ohm)의 내부 터미네이션 저항을 갖도록 설계된다.
Preferably, the current probe is designed to have an internal termination resistor of 50 Ohm (Ohm) to minimize reflected waves.

전류프로브의 다른 쪽 끝은 반사파를 제거하기 위하여 50 Ω(Ohm)의 터미네이터를 연결한다.
The other end of the current probe connects a 50 ohm terminator to eliminate echoes.

여기에서, 펄스발생기의 댐핑값, 오실로스코프의 설정치 및 터미네이터의 저항값은 동일하게 설정되어, 펄스발생기에서 향후 검사 대상으로 입력될 입력 전류를 정확하게 측정할 수 있도록 구성된다.Here, the damping value of the pulse generator, the set value of the oscilloscope and the resistance value of the terminator are set to be the same, and configured to accurately measure the input current to be input to the inspection target in the pulse generator in the future.

설계조건에 따라서는, 다른 저항값이 채용될 수 있음은 물론이다.
Of course, depending on the design conditions, other resistance values may be employed.

측정된 시간영역의 입력 전류 신호는 고속 퓨리에 변환 알고리즘을 사용하여 주파수 영역의 신호로 변환하여

Figure 112011027470691-pat00031
를 구한다.
The measured input current signal in the time domain is converted into a signal in the frequency domain using a fast Fourier transform algorithm.
Figure 112011027470691-pat00031
.

도 6은 전달부의 교정 작업을 위한 교정 장치에서 출력 전류를 측정하는 일예를 개략적으로 도시한 도면이다.
6 is a view schematically showing an example of measuring the output current in the calibration device for the calibration operation of the transfer unit.

검사 대상의 한쪽에 전달부를 형성하고, 펄스발생기에서 발생된 펄스가 검사 대상의 반대쪽 끝에서 반향되어 나온 신호를 전류프로브를 이용하여 감지하고, 오실로스코프로 측정 기록한다.
The transmitter is formed on one side of the test object, and the pulse generated by the pulse generator is reflected from the opposite end of the test object by using a current probe and measured and recorded with an oscilloscope.

바람직하게, 전달부를 형성할 때는 접촉 매질을 이용하여 부착하되, 최대한 압착하여 과잉의 접촉매질을 제거한 다음 상당 시간 상온에서 유지하여 형성한다.
Preferably, when the delivery unit is formed by attaching using a contact medium, it is formed by holding at room temperature for a considerable time after removing the excess contact medium by pressing as much as possible.

펄스발생기의 댐핑값, 오실로스코프의 설정치는 입력 전류를 측정할 때와 동일한 값으로 유지한다.
The damper value of the pulse generator and the oscilloscope's set value remain the same as when the input current is measured.

측정된 시간영역의 출력 전류신호는 고속 퓨리에 변환 알고리즘을 사용하여 주파수 영역의 신호

Figure 112011027470691-pat00032
를 구한다.
The measured output current signal in the time domain is a signal in the frequency domain using a fast Fourier transform algorithm.
Figure 112011027470691-pat00032
.

따라서 도 5 및 도 6을 이용하여 서술한 교정 작업을 통해, 입력 전류

Figure 112011027470691-pat00033
및 출력 전류
Figure 112011027470691-pat00034
를 구할 수 있으며, 이를 수학식 8에 대입함으로써 전력 전달함수
Figure 112011027470691-pat00035
를 구할 수 있게 된다.Therefore, through the calibration operation described with reference to Figures 5 and 6, the input current
Figure 112011027470691-pat00033
And output current
Figure 112011027470691-pat00034
The power transfer function can be obtained by substituting this in Equation 8.
Figure 112011027470691-pat00035
Will be available.

또한 이를 수학식 6에 대입하면 전류-변위 전달함수 H(w)를 구할 수 있게 되므로, 교정 작업을 통해 전달부의 특징을 특정할 수 있게 된다.
In addition, since the current-displacement transfer function H (w) can be obtained by substituting this in Equation 6, it is possible to specify the characteristics of the transfer unit through a calibration operation.

도 7은 비선형 파라미터 측정 장치에서 출력 전류를 측정하는 일예를 개략적으로 도시한 도면이다.
7 is a diagram schematically illustrating an example of measuring an output current in a nonlinear parameter measuring apparatus.

먼저, 비선형 파라미터 측정 장치에 사용되는 각 구성 요소는 검사 대상, 전송부 및 전달부의 특징에 맞도록 선택적으로 채용될 수 있는 것으로서 도면에 도시된 것에 한정되지 않음을 미리 밝혀둔다.
First, it is noted that each component used in the non-linear parameter measuring apparatus may be selectively employed to suit the characteristics of the inspection object, the transmitter, and the transmitter, and is not limited to the one shown in the drawings.

바람직하게, 펄스발생기는 주파수 5 MHz, 30 사이클의 사인파를 발생하도록 구동된다.Preferably, the pulse generator is driven to generate a sine wave of frequency 5 MHz, 30 cycles.

또한 감쇠기는 입력파의 크기를 1 dB씩 감소시키면서, 전류프로브가 검사 대상에서 출력된 복수개의 출력 전류, 일예로 10개의 출력 전류를 감지할 수 있도록 구동된다.
In addition, the attenuator reduces the magnitude of the input wave by 1 dB, and the current probe is driven to detect a plurality of output currents, for example, 10 output currents output from the inspection object.

바람직하게, 교정 작업에서 사용한 전달부와 검사 대상과의 접착 상태는 그대로 유지한다.Preferably, the state of adhesion between the transfer portion used in the calibration operation and the inspection object is maintained as it is.

또한 전송부는 펄스발생기에서 발생되는 기본 주파수와 동일한 주파수를 갖는 것으로 선택함으로써 공진 현상이 발생하여 왜곡이 일어나지 않도록 형성된다.
In addition, by selecting the transmission unit having the same frequency as the fundamental frequency generated in the pulse generator is formed so that resonance does not occur and distortion occurs.

바람직하게, 교정 작업에서 설정된 오실로스코프 설정치, 터미네이터 저항값 등은 동일하게 유지되도록 설계된다.
Preferably, the oscilloscope setpoints, terminator resistance values, etc. set in the calibration operation are designed to remain the same.

도 8a,b 및 도 9a,b는 실제 검사를 수행한 후 측정된 값을 기록한 그래프이다.
8a, b and 9a, b are graphs recording the measured values after performing the actual inspection.

검사 대상은 융합 실리카(Fused silica, 길이 75 mm (3 inch), 지름 50 mm (2 inch))를 사용하였으며, 전송부 및 전달부는 리튬-니오베이트 결정(LiNbO3 crystal, 지름 13 mm(0.5 inch diameter))를 사용하였다.
Fused silica (75 mm (3 inch) in length, 50 mm (2 inch) in diameter) was used as the test target, and the transfer part and the transfer part were LiNbO 3 crystal (13 mm (0.5 inch) in diameter. diameter)).

도 8a는 도 7의 오실로스코에서 측정된 시간영역 출력 전류를 기록한 그래프이다.
FIG. 8A is a graph of time-domain output current measured by the oscilloscope of FIG. 7.

도 8b는 도 7에서 측정된 출력 전류를 이용하여 고조파의 주파수 스펙트럼을 나타내는 그래프이다.
FIG. 8B is a graph showing the frequency spectrum of harmonics using the output current measured in FIG.

시간영역 출력 전류를 이용하여

Figure 112011027470691-pat00037
를 구한 후에, 교정 작업을 이용하여 미리 특정된 전달 함수 및 수학식 5를 이용하여 고조파 성분의 절대 변위 진폭
Figure 112011027470691-pat00038
를 구하게 되며, 도 8b는 이를 도시한 그래프이다.
Using time-domain output current
Figure 112011027470691-pat00037
After calculating, the absolute displacement amplitude of the harmonic components using the transfer function and equation (5)
Figure 112011027470691-pat00038
8b is a graph illustrating this.

도 9a는 도 8b의 주파수 스펙트럼에서 기본 고조파 성분의 시간 영역 변위를, 도 9b는 도 8b의 주파수 스펙트럼에서 2차 고조파 성분의 시간 영역 변위를 각각 나타내는 그래프이다.
FIG. 9A is a graph illustrating a time domain displacement of a fundamental harmonic component in the frequency spectrum of FIG. 8B, and FIG. 9B is a graph illustrating a time domain displacement of a second harmonic component in the frequency spectrum of FIG. 8B.

밴드패스 필터(Band-pass filter)를 이용하여 기본 주파수 5 MHz 및 2차 고조파의 주파수 10 MHz의 성분을 각각 구함 다음, 역퓨리에 변환을 적용하여 시간영역의 변위를 각각 구하게 된다.
A band-pass filter is used to find the components of the fundamental frequency of 5 MHz and the second harmonic frequency of 10 MHz, and then the inverse Fourier transform is applied to calculate the displacement in the time domain.

최종적으로는, 수학식 1을 이용하여 비선형 파라미터를 구하게 되며, 여기에서는

Figure 112011027470691-pat00039
로 결정되었다.
Finally, the nonlinear parameter is obtained using Equation 1,
Figure 112011027470691-pat00039
Was decided.

한편, 상기에서 도 1 내지 도 9를 이용하여 서술한 것은, 본 발명의 주요 사항만을 서술한 것으로, 그 기술적 범위 내에서 다양한 설계가 가능한 만큼, 본 발명이 도 1 내지 도 9의 구성 및 기능에 한정되는 것이 아님은 자명하다. Meanwhile, the above descriptions using only FIGS. 1 to 9 describe only the main matters of the present invention, and as long as various designs are possible within the technical scope of the present invention, the present invention is applied to the configurations and functions of FIGS. 1 to 9. It is obvious that it is not limited.

Claims (8)

검사 대상에 입력되는 입력 전류와,
상기 검사 대상 내부에서 상기 입력 전류가 반향되어서 전달부를 통해 출력된 출력 전류를 측정하여, 상기 전달부의 전력 전달함수를 구하되, 다음의 수학식을 이용하는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정을 위한 전달부 교정 방법.
Figure 112012098865788-pat00073

여기에서, KR(w)는 전달부의 전력 전달함수, Iin(w)은 입력 전류, Iout(w)은 출력 전류이다.
Input current input to the inspection target,
The input current is reflected inside the test object to measure the output current output through the transfer unit to obtain a power transfer function of the transfer unit, characterized in that using the following equation, the transfer unit for non-linear parameter measurement Calibration method.
Figure 112012098865788-pat00073

Here, K R (w) is the power transfer function of the transmitter, I in (w) is the input current, I out (w) is the output current.
제 1 항에 있어서,
상기 입력 전류를 측정하는 것은,
상기 입력 전류의 반사파가 없도록 임피던스 정합을 유지하는 단계;
펄스발생기를 상기 검사 대상에 연결하지 않은 채 상기 펄스발생기에서 발생된 상기 입력 전류를 측정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정을 위한 전달부 교정 방법.
The method of claim 1,
Measuring the input current,
Maintaining impedance matching so that there is no reflected wave of the input current;
Measuring the input current generated in the pulse generator without connecting a pulse generator to the test target; transmitting unit calibration method for non-linear parameter measurement.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 전달부의 전류-변위 전달함수를 다음의 수학식을 이용하여 구하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정을 위한 전달부 교정 방법.
Figure 112012098865788-pat00044

여기에서,
Figure 112012098865788-pat00045
는 전류-변위 전달함수,
Figure 112012098865788-pat00046
는 전달부의 전력 전달함수,
Figure 112012098865788-pat00072
는 검사 대상의 밀도(density), v 는 검사 대상 내부에서의 종파 속도, a는 전달부의 면적,
Figure 112012098865788-pat00047
는 전달부 기준의 출력 임피던스이다.
The method according to claim 1 or 2,
And calculating the current-displacement transfer function of the transfer unit by using the following equation.
Figure 112012098865788-pat00044

From here,
Figure 112012098865788-pat00045
Is the current-displacement transfer function,
Figure 112012098865788-pat00046
Is the power transfer function of the transmitter,
Figure 112012098865788-pat00072
Is the density of the test object, v is the longitudinal velocity inside the test object, a is the area of the transmission,
Figure 112012098865788-pat00047
Is the output impedance of the transmitter reference.
펄스발생기; 전류측정기;를 포함하되,
청구항 1 또는 청구항 2의 방법을 이용하여 전달부를 교정하는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정을 위한 교정 장치.
Pulse generator; Including current meter;
A calibration device for nonlinear parameter measurement, characterized in that the delivery part is calibrated using the method of claim 1.
전달부의 전력 전달함수 및 전류-변위 전달함수를 구하되 청구항 3의 방법을 이용하는 단계;
검사 대상을 투과한 출력 전류를 측정하는 단계;
고조파 성분의 절대 변위 진폭(absolute displacement amplitude, peak strain amplitude)을 다음의 수학식을 이용하여 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정 방법.
Figure 112012098865788-pat00048

여기에서, Ainc(w)는 고조파 성분의 절대 변위 진폭,
Figure 112012098865788-pat00050
는 전달부의 전류-변위 전달함수,
Figure 112012098865788-pat00051
은 검사 대상을 투과한 출력 전류이다.
Obtaining a power transfer function and a current-displacement transfer function of the transfer unit, using the method of claim 3;
Measuring an output current passing through the inspection object;
And calculating the absolute displacement amplitude (peak strain amplitude) of the harmonic component using the following equation.
Figure 112012098865788-pat00048

Where A inc (w) is the absolute displacement amplitude of the harmonic component,
Figure 112012098865788-pat00050
Is the current-displacement transfer function of the transfer unit,
Figure 112012098865788-pat00051
Is the output current passing through the inspection object.
제 5 항에 있어서,
상기 검사 대상을 투과한 출력 전류를 측정하는 단계는,
검사 대상에 입사할 때는 주파수 왜곡이 일어나지 않도록 하는 단계;
검사 대상을 투과한 출력 전류의 반사파가 없도록 임피던스 정합을 유지하는 단계;
검사 대상을 투과한 출력 전류를 측정하는 단계;로 구성되는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정 방법.
The method of claim 5, wherein
Measuring the output current passing through the inspection object,
Preventing frequency distortion from occurring when entering the inspection object;
Maintaining impedance matching so that there is no reflected wave of the output current passing through the inspection object;
Measuring the output current passing through the inspection object; characterized in that consisting of, non-linear parameter measuring method.
제 5 항에 있어서,
상기 고조파 성분의 절대 변위 진폭을 구하는 단계 이후에,
비선형 파라미터를 다음의 수학식을 이용하여 구하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정 방법.
Figure 112012098865788-pat00052

여기에서,
Figure 112012098865788-pat00053
는 비선형 파라미터, A1 은 기본 고조파 성분의 절대 변위 진폭, A2 는 2차 고조파 성분의 절대 변위 진폭, k 는 파수(wave number), x 는 검사 대상의 두께, v 는 종파의 검사 대상 내의 속도,
Figure 112012098865788-pat00054
은 기본 주파수이다.
The method of claim 5, wherein
After obtaining the absolute displacement amplitude of the harmonic component,
Obtaining the non-linear parameters using the following equation; further comprising, non-linear parameters measuring method.
Figure 112012098865788-pat00052

From here,
Figure 112012098865788-pat00053
Is the nonlinear parameter, A 1 is the absolute displacement amplitude of the fundamental harmonic component, A 2 is the absolute displacement amplitude of the second harmonic component, k is the wave number, x is the thickness of the test object, v is the velocity within the test object of the longitudinal wave ,
Figure 112012098865788-pat00054
Is the fundamental frequency.
펄스발생기; 전류측정기;를 포함하되,
청구항 5의 방법을 이용하여 비선형 파라미터를 측정하는 것을 특징으로 하는, 비선형 파라미터 측정 장치.
Pulse generator; Including current meter;
A nonlinear parameter measuring device, characterized in that for measuring the nonlinear parameter using the method of claim 5.
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