KR101215749B1

KR101215749B1 - A box-type unit device for clean air blow-off supplying

Info

Publication number: KR101215749B1
Application number: KR1020080110864A
Authority: KR
Inventors: 케이이치 카미무라; 아츠시 칸바야시; 야스시 나카오; 류이치 이케우치
Original assignee: 가부시끼가이샤가미무라고오교오
Priority date: 2008-06-27
Filing date: 2008-11-10
Publication date: 2012-12-27
Also published as: TW201000832A; MY148832A; JP2010007972A; CN101614425A; KR20100002053A; JP4827893B2; SG158003A1; CN101614425B; TWI412711B

Abstract

[과제]본 발명은, 청정공기 취출기를 공용형의 모듈로 해서 형성해서 크고 작은 바깥상자 내에 간단히 조립함으로써 다수의 상자형유닛을 능률 좋게 형성할 수 있도록 한 청정공기 취출공급용의 상자형유닛장치를 신규로 제안하는 것이다.[Problem] The present invention is a box-type unit apparatus for clean air blow-out and supply, in which a clean air blower is formed as a common module and simply assembled in a large and small outer box so that a large number of box-type units can be efficiently formed. Is to propose a new.

[해결 수단]본 발명은 천정 뒤의 전면에 청정공기를 취출하는 크고 작은 다수의 상자형유닛을 배열설치하여 상기 천정 아래의 클린룸 내에 청정공기를 취출하는 장치에 있어서, 상기 상자형유닛을 구성하는 크고 작은 각종의 바깥상자 내에 설치 가능하게 청정공기 취출기기의 공용형모듈을 형성하여, 상기 모듈을 크고 작은 각종의 바깥상자 내에 설치부재로 설치해서 크고 작은 각종의 상자형유닛을 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 청정공기 취출공급용의 상자형유닛장치이다.Solution to Problem The present invention is a device for extracting clean air into a clean room under the ceiling by arranging a plurality of box-shaped units for discharging clean air on the front surface of the ceiling. To form a common module of the clean air blowing device so that it can be installed in various outer boxes of large and small, and install the module as an installation member in various outer boxes of large and small to form various box-shaped units of large and small It is a box-type unit apparatus for clean air blowout supply characterized by the above-mentioned.

상자형유닛장치 Box Unit

Description

BOX UNIT DEVICE FOR CLEAN AIR AIR FLOW-Supply Supply {A BOX-TYPE UNIT DEVICE FOR CLEAN AIR BLOW-OFF SUPPLYING}

본 발명은 정밀기기 등을 설치한 클린룸 내에 천정면(天井面)으로부터 청정공기를 취출하여 공급하는 상자형유닛장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a box-type unit device for extracting and supplying clean air from a ceiling surface in a clean room in which precision equipment or the like is installed.

종래 클린룸 내로 천정면으로부터 청정공기를 취출하여 공급하는 상자형유닛은, 클린룸 내에 설치하는 반도체 제조장치 등의 기기의 대소와 배열 및 천정(天井) 뒤의 구조에 대응하여 크고 작은 각종 상자형유닛을 천정 뒤의 전면(全面)에 배열설치하여, 청정공기를 룸 내로 취출하도록 하고 있다. 각 상자형유닛의 대표적인 외형치수는 610㎜X1220㎜, 750㎜X1500㎜, 900㎜X1500㎜, 750㎜X1800㎜ , 1200㎜×1200㎜의 가로세로비이며 무거운 것으로 되어 있다.Conventionally, a box-type unit that extracts and supplies clean air from a ceiling surface into a clean room has various box-like shapes that are large and small in correspondence with the arrangement and arrangement of devices such as semiconductor manufacturing apparatuses installed in the clean room, and the structure behind the ceiling. The units are arranged on the entire surface behind the ceiling to draw out the clean air into the room. The typical dimensions of each box-shaped unit are 610 mm × 1220 mm, 750 mm × 1500 mm, 900 mm × 1500 mm, 750 mm × 1800 mm, and 1200 mm × 1200 mm, and are heavy.

그러나, 청정공기를 취출하여 공급하는 다수의 상자형유닛은, 룸 내에 설치한 크고 작은 생산기기 또는 반제품(半製品)의 일시보관장소의 바로 위에 배열하는 것이 많지만, 천정 뒤의 상자형유닛의 버팀목프레임구조에 맞춰서 배열설치할 필요도 있기 때문에, 유닛을 구성하는 바깥상자는 상기의 대표적인 대소 크기 이외에, 각각의 크기로부터 수 밀리미터 내지 수 센티미터의 크고 작은 바깥상자도 제작해야 하고, 게다가 각 바깥상자의 크기에 따라서 취출출력(吹出出力)을 크고 작은 에어취출기기를 개별로 설치함으로써 현저하게 일손이 많이 가서, 따라서 다수의 상자형유닛을 형성하는데도 많은 시일을 요하며, 게다가 기성품을 사용할 수도 없어서, 천정 뒤에 배열설치하는 납기(納期)에 늦는 경우가 자주 생긴다는 과제가 있었다.However, many box-type units that take out and supply clean air are often arranged directly above the temporary storage place of large and small production equipment or semi-finished products installed in the room, but the crutch of the box-type unit behind the ceiling is supported. Since the outer box constituting the unit needs to be arranged in accordance with the frame structure, the outer box constituting the unit must be made in addition to the above-described representative small and large outer boxes of several millimeters to several centimeters from each size, and the size of each outer box. According to the above, the installation of the air blowout devices with large and small blowout outputs takes a great deal of effort, thus requiring a lot of sealing to form a large number of box-shaped units, and it is impossible to use ready-made products. There was a problem that it often occurs late in the delivery date when arranged.

또한 크고 작은 다수의 바깥상자의 내부에는 크기에 따라 출력 용량이 크고 작은 교류모터, 제어기, 크기가 다른 팬을 설치하므로, 부착부재도 다양하기도 하기 때문에 설치작업원의 부담도 크다는 과제가 있었다.In addition, the inside and outside of the large number of outer boxes, the output capacity is large and small according to the size of the AC motor, the controller, because the fan of different sizes are installed, there is a problem that the burden on the installation staff is also large because there are also various attachment members.

또한 크고 작은 각종의 상자형유닛의 출하 전의 성능시험도 이에 알맞은 대형의 시험장치를 요하게 되므로 취급이 어렵다는 과제가 있었다.In addition, performance tests before shipment of various large and small box-type units require a large-scale test apparatus suitable for this, and therefore, the handling was difficult.

본 발명은, 천정 뒤의 전면에 청정공기를 취출하는 크고 작은 다수의 상자형유닛을 배열설치하여 상기 천정 아래의 클린룸 내에 청정공기를 취출하는 장치에 있어서, 상기 상자형태 유닛을 구성하는 크고 작은 각종의 바깥상자 내에 설치 가능하게 청정공기 취출기기의 공용형모듈을 형성하여, 상기 모듈을 크고 작은 각종의 바깥상자 내에 설치 가능하게 상면의 중간을 개방한 크고 작은 ㄷ자형의 설치부재로 끼워 고정 설치하여 크고 작은 각종의 상자형유닛을 형성하도록 하여, 이러한 과제를 해결하도록 한 것이다.The present invention is a device for discharging clean air in a clean room under the ceiling by arranging a plurality of large and small box-shaped units for discharging clean air on the front surface of the ceiling, wherein the large and small units that constitute the box-shaped unit are provided. The common type module of the clean air blowing device is formed so that it can be installed in various outer boxes, and the module is fixedly installed by inserting it into a large or small U-shaped mounting member with the middle of the upper surface open so that the module can be installed in various large and small outer boxes. In order to form various box-shaped units large and small, this problem is solved.

본 발명은, 청정공기 취출기기를 취출효율을 줄이지 않고 크고 작은 모든 바깥상자 내에 설치할 수 있는 공용형의 모듈을 형성함으로써, 크고 작은 모든 각종의 바깥상자 내에 취출기기를 간단하면서 빠르게 부착할 수 있어서, 납기에 늦음이 해소되는 효과가 생긴다.According to the present invention, by forming a common type of module that can be installed in all the outer and large outer boxes without reducing the efficiency of the blowout air, it is possible to easily and quickly attach the dispensing device in all the various outer boxes, large and small, Late effects are eliminated on delivery date.

모듈은 공용형(共用形)으로 함으로써, 작업원의 노동력부담도 적어져서, 바깥상자 내에 능률 좋게 부착하게 되는 효과가 생기게 한다.Since the module is a common type, the labor burden on the worker is also reduced, and the module can be efficiently attached to the outer box.

청정공기의 취출공급용의 상자형유닛은 내부설치 전의 모듈상태에서 출하 전의 성능시험을 할 수 있으므로, 시험설비를 소형으로 해서 취급하기 쉽게 할 수 있다는 효과가 생긴다. 또한 크고 작은 다수의 상자형유닛을 모듈단위로 보관할 수 있다는 효과가 생긴다.Since the box-type unit for the blow-out and supply of clean air can perform the performance test before shipment in the module state before the internal installation, there is an effect that the test equipment can be made small and easy to handle. In addition, there is an effect that can be stored in a large number of small box-type unit in the module unit.

청정공기 취출공급용의 상자형유닛은 내부의 취출기를 공용형의 모듈로 했으므로, 바깥상자와 함께 손실이 없는 재고생산을 가능하게 하여, 비용을 대폭 저감할 수 있는 효과가 생긴다.Since the box unit for clean air blowout supply uses an internal blower as a common type module, the lossless inventory can be produced together with the outer box, and the cost can be greatly reduced.

모듈 내의 모터를 회전가변기능이 있는 제어기기를 구비한 직류모터로 함으로써 공용형(共用形)여부와 무관하게 청정공기의 취출효율이 줄어들지 않는다는 효 과가 생긴다.By using the motor in the module as a DC motor with a controller with a rotation variable function, the effect of taking out the clean air does not decrease regardless of whether it is a common type.

본 발명은, 천정 뒤의 전면에 청정공기를 취출하는 크고 작은 다수의 상자형유닛을 배열설치하여 상기 천정 아래의 클린룸 내에 청정공기를 취출하여 공급하는 장치에 있어서, 상기 상자형 유닛을 구성하는 크고 작은 각종의 바깥상자 내에 설치 가능하게 청정공기 취출기기의 공용형모듈을 형성하여, 상기 모듈을 크고 작은 각종의 바깥상자 내에 설치부재로 설치해서 크고 작은 각종의 상자형유닛을 형성하여, 천정 뒤에 배열설치된 크고 작은 청정공기 취출공급용의 상자형 유닛으로 하도록 한 것이다.The present invention relates to an apparatus for arranging a plurality of box-shaped units for discharging clean air on a front surface of a ceiling and for extracting and supplying clean air to a clean room under the ceiling, wherein the box-shaped unit is configured. The common type module of the clean air blowing device is formed so as to be installed in various outer and large outer boxes, and the module is installed as an installation member in various outer and large outer boxes to form various large and small box-shaped units. It is intended to be a box-type unit for blowout supply of large and small clean air arranged.

[실시예1][Example 1]

크고 작은 각종의 바깥상자(1a)안에 설치한 에어 취출기기는 내부설치가 쉬운 측면에서 보았을 때 볼록형상으로 한 공용형의 모듈(2)로 형성한다. 3은 모듈 내의 회전가변기능(回轉可變機能)이 있는 제어기기를 구비한 직류모터, 4는 상기 모터(3)의 회전축에 설치한 수평회전팬, 5는 모터의 제어기이다.The air blow-out device installed in various outer and outer boxes 1a is formed by the common type module 2 which is convex when viewed from the side which is easy to install inside. 3 is a DC motor provided with a controller having a rotation variable function in the module, 4 is a horizontal rotating fan provided on the rotation shaft of the motor 3, 5 is a controller of the motor.

내부에 회전가변기능이 있는 제어기기를 구비한 직류모터(3) 등을 조립해 넣어서 이루어지는 모듈(2)은, 바깥상자(1) 안에 부착하기 전의 모듈(2)의 상태에서 출하 전의 동작확인, 풍력치(風力値)의 검사 등의 성능시험을 소형의 시험기로 받게 할 수 있고, 합격한 모듈(2)을 작은 공간에 보관할 수 있다.The module (2) formed by assembling a DC motor (3) having a control unit with a rotation variable function therein, the operation check before shipment in the state of the module (2) before attaching to the outer box (1), Performance tests, such as inspection of wind power values, can be received by a small tester, and the passed module 2 can be stored in a small space.

이렇게 하여 공용형의 모듈(2)은 설치하기 쉬운 볼록형 또한 소형에 의해 크고 작은 모든 바깥상자(1a)안에, 상면의 중간을 개방한 크고 작은 단일의 ㄷ자형의 설치금구(金口)(6)로서 코킹(caulking) 등의 간이작업에 의해 간단하면서 능률 좋게 끼워 고정 설치해서 크고 작은 각종의 청정공기 취출공급용의 상자형유닛(1)으로 함이 가능하다. 7은 상자형유닛(1)의 취출구(1b)에 교환 가능하게 설치하는 에어필터이다. 완성한 상자형유닛(1)은 모듈(2)의 단계에서 성능시험을 마치고 있으므로 그대로 포장해서 신속하게 출하할 수 있어서 상자형유닛(1)을 보관하는 스페이스를 요하지 않게 된다.In this way, the common module (2) is a convex type that is easy to install and a small U-shaped mounting bracket (6) having a large and small single c-shaped opening which opens the middle of the upper surface in all the outer and large outer boxes (1a) by small size. It is possible to provide a box-shaped unit (1) for supplying various kinds of clean air blow-out supplies by simply and efficiently inserting and fixing by simple work such as caulking. 7 is an air filter installed in the outlet 1b of the box-shaped unit 1 so that replacement is possible. Since the completed box-shaped unit 1 has completed the performance test at the stage of the module 2, it can be packaged as it is and can be shipped quickly, thus eliminating the space for storing the box-type unit 1.

모듈(2) 안의 모터를 회전가변기능이 있는 제어기기를 구비한 직류모터(3)로 함으로써 수평회전팬(4)을 고효율로 작동하게 되어서 공용의 모듈(2)을 설치한 대형의 바깥상자유닛(1)도 청정공기 취출효율을 줄이는 경우가 전혀 발생하지 않게 된다. 직류모터(3)의 특징인 저부하시(低負荷時)에 효율이 상승하는 특성을 이용해서 그대로 소용량의 모듈(2)로서도 사용할 수 있게 된다.A large outer box unit equipped with a common module (2) by operating the horizontal rotating fan (4) with high efficiency by using the motor in the module (2) as a direct-current motor (3) having a controller with a rotation variable function. Also in (1), there is no case of reducing the clean air blowing efficiency. It can be used as a small-capacity module 2 as it is by utilizing the characteristic that the efficiency rises at the time of low load which is the characteristic of the DC motor 3.

클린룸(8)에 반송된 다수의 크고 작은 상자형유닛(1)은 천정(9) 뒤의 형상에 맞춰서 크고 작은 것을 조합시켜서 전면에 배열설치하게 된다. 클린룸(8)안에는 배열설치한 모든 유닛(1)으로부터 청정공기가 취출되게 된다.Many of the large and small box-shaped units 1 conveyed to the clean room 8 are arranged on the front side by combining large and small ones in accordance with the shape behind the ceiling 9. In the clean room 8, clean air is blown out from all the units 1 arranged.

본 발명은, 클린룸 내에 청정공기를 취출하기 위한 크고 작은 모든 상자형유닛의 제조에 널리 이용할 수 있는 것이다.Industrial Applicability The present invention can be widely used for the production of all small and large box-shaped units for blowing clean air into a clean room.

도 1은 모듈의 일실시예를 나타내는 사시도 및 동 모듈과 크고 작은 바깥상자의 예를 나타내는 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view showing one embodiment of a module and a cross-sectional view showing an example of a large and small outer box of the module.

도 2는 모듈을 바깥상자 내에 부착한 상자형유닛을 나타내는 단면도.2 is a cross-sectional view showing a box-shaped unit attached to the module in the outer box.

도 3(a)은 상자형유닛을 클린룸의 천정 뒤에 나란히 배열설치한 일례를 나타내는 평면도, 도 3(b)는 본 클린룸의 단면도.Fig. 3 (a) is a plan view showing an example in which box units are arranged side by side behind the ceiling of a clean room, and Fig. 3 (b) is a sectional view of the present clean room.

[부호의 설명][Description of Symbols]

1 상자형유닛 1a 바깥상자1 Box Unit 1a Outer Box

1b 취출구 2 모듈1b outlet 2 module

3 회전가변기능이 있는 제어기기를 구비한 직류모터3 DC motor with controller with variable rotation

4 수평회전팬 5 제어기4 Horizontal Fan 5 Controller

6 설치금구 7 에어필터6 Mounting bracket 7 Air filter

8 클린룸 9 천정8 clean rooms 9 ceilings

10 통기바닥 11 순환통풍로10 Ventilation Floor 11 Circulation Vent

12 기기12 devices

Claims

An apparatus for arranging a plurality of large and small box-shaped units which blow out clean air on the entire surface behind a ceiling, and taking out and supplying clean air into a clean room under the ceiling, wherein the box-shaped By forming a common type module of the clean air blowing device that can be installed in various outer and large outer boxes constituting the unit, the middle of the upper surface is opened so that the module can be installed in various large and small outer boxes. A box-type unit device for clean air blow-out supply, characterized in that the box-shaped unit is installed in a large and small U-shape to form various box-shaped units.

The method of claim 1,

The box-type unit device for clean air blowout supply, wherein the motor of the clean air blowout device in the module is a DC motor having a controller having a rotation variable function.

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