KR101214860B1 - 가스분사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 가스공급관이 연결되는 상부 플레이트; 상기 상부 플레이트의 하부에 설치되며, 다수의 제1분사구를 갖는 제1하부 플레이트; 상기 제1하부 플레이트와 상기 상부 플레이트의 사이에 위치하며, 다수의 제2분사구를 갖는 제2하부 플레이트; 및 상기 제1 및 제2하부 플레이트를 일정 간격으로 이격시키기 위해 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되고, 각각이 2개 이상의 상기 제1분사구 및 2개 이상의 상기 제2분사구와 연통되는 다수의 개구부를 갖는 간격유지부재를 포함하는 가스분사장치를 제공한다.

Description

가스분사장치{Gas injection apparatus}
본 발명은 액정표시장치 제조장비의 가스분사장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 노즐부가 분리되는 가스분사장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시소자는 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막트랜지스터와 화소전극을 구비한 박막트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 두 기판 사이에 개재되는 액정층으로 구성된다.
이러한 기판을 제조하기 위해서는, 유리기판에 원료물질을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝하는 식각공정, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등을 수 내지 수십 차례 반복하여야 하는데, 이들 각 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행된다.
도 1은 대표적인 액정표시장치 제조장비인 PECVD 장비의 일반적인 구성을 개략적으로 도시한 것으로서, 일정한 반응공간을 정의하는 챔버(10)와, 상기 챔버(10)의 내부에 위치하며 상면에 기판(30)을 안치하는 서셉터(20)와, 다수의 분사구(42)를 구비하며 서셉터(20)의 상부에서 공정가스를 분사하는 가스분사장치(40)와, 외부의 가스 저장부(미도시)에 연결되어 가스분사장치(40)로 공정가스를 유입하는 가스공급관(80)을 포함한다.
가스분사장치(40)의 상부 플레이트(50)는 통상 공정가스에 RF전력을 인가하는 플라즈마 전극으로 사용되며, 상부 플레이트(50)에는 RF전력을 공급하는 RF전원(60)이 연결되고, 상부 플레이트(50)와 RF전원(60)의 사이에는 최대 전력이 인가될 수 있도록 임피던스를 매칭하는 임피던스 매칭박스(Impedance Matching Box, 70)가 위치한다.
플라즈마 전극에 대응되는 전극은 접지된 서셉터(20)이며, 서셉터(20)에도 RF전원이 인가될 수 있다.
가스공급관(80)으로부터 유입된 공정가스는 분사구(42)를 가지는 하부 플레이트와 상부플레이트(50) 사이의 버퍼공간(52)에서 일차 확산된 후에 챔버 내부로 균일하게 분사된다.
종래의 가스분사장치(40)는 도 2에 도시된 바와 같이 다수의 분사구(42)를 구비한 하부 플레이트를 가지는데, 하부 플레이트는 샤워헤드라고도 하며, 알루미늄 재질의 사각판으로서 기판보다 큰 사이즈를 가진다.
샤워헤드는 주변부만 챔버 또는 상부 플레이트(50)에 고정되므로 별도의 지지수단이 없는 중앙부는 주변부보다 항상 아래로 처지게 되고, 이로 인해 기판 주변부와 중앙부의 공정가스 분포가 불균일한 문제가 발생한다.
이러한 현상은 샤워헤드의 크기가 커질수록 심해지므로, 이를 방지하기 위하여 크기가 커질수록 두께(t)를 두껍게 제작한다. 예를 들어 1500mm * 1850mm의 6세대 기판을 처리하는 장비에서 샤워헤드는 30mm 내지 35mm 정도의 두께로 제작되며, 1950mm*2250mm의 7세대 기판용 장비에는 약 50mm 정도의 두께로 제작된다.
또한 샤워헤드의 분사구(42)는 단위면적(m2) 당 약 11,000개 정도의 밀도로 가공되므로 6세대 기판용 샤워헤드의 경우에는 약 35,000개, 7세대 기판용의 경우에는 약 50,000개 정도의 분사구를 가공하여야 하고, 2200mm * 2550mm 정도로 예상되는 8세대 기판용의 경우에는 60,000개 이상의 분사구를 가공하여야 한다.
그런데 이러한 분사구(42)는 단순한 일자형의 관통홀로 가공되는 것이 아니라, 도 3a에 도시된 바와 같이 가스유입부(42a), 노즐부(42b), 1차 확산부(42c), 2차 확산부(42d) 등 서로 다른 직경과 형상을 가지는 홀을 여러 차례 형성함으로써 가공된다.
경우에 따라서는 도 3b에 도시된 바와 같이 가스유입부가 생략되고, 상면에서부터 노즐부(42b), 1차 확산부(42c), 2차 확산부(42d)의 순으로 제작되기도 한다.
노즐부(42b)는 통상 0.4 내지 0.8mm의 직경을 가지고, 가스유입부(42a)나 1차 확산부(42c)는 3mm 이상의 직경을 가진다.
분사구(42)가 이와 같이 미세직경의 노즐부(42b)를 포함하는 이유는 분사구(42) 상부의 압력을 높임으로써 공정가스를 버퍼공간(52) 내부에서 보다 균일하게 확산시킬 수 있고 나아가 챔버 내부로 균일하게 분사시킬 수 있기 때문이다. 이러한 이유로 노즐부(42b)의 직경이 작을수록 공정가스를 균일하게 분사하는데 유리하다.
그런데 종래와 같은 형태의 분사구(42)를 가공하기 위해서는 먼저 직경이 작은 노즐부(42b)를 가공한 후 노즐부(42b)의 양단에 가스유입부(42a)와 1차 확산부(42c)를 차례로 가공하여야 한다.
50mm 정도의 두께를 가지는 알루미늄판에 직경 0.4mm 정도의 노즐부(42b)를 50,000개 이상 가공하는 데는 매우 정밀한 기술이 요구된다. 뿐만 아니라 제작 도중에 하나의 분사구(42)라도 불량이 발생하면 고도의 정밀도가 요구되는 액정표시소자 제조장치에 사용될 수 없으므로 해당 샤워헤드를 폐기하고 처음부터 다시 제작할 수밖에 없는 문제가 있다. 따라서 샤워헤드의 생산단가는 매우 높은 편이며, 하나의 샤워헤드를 제작하는데 만도 수개월의 시간이 소요되므로 납기를 맞추는데도 큰 어려움이 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 제작시간을 단축시키면서도 불량률을 획기적으로 낮출 수 있는 대면적 기판용 가스분사장치를 제공하는데 목적이 있다.
본 발명은, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 가스공급관이 연결되는 상부 플레이트; 상기 상부 플레이트의 하부에 설치되며, 다수의 제1분사구를 갖는 제1하부 플레이트; 상기 제1하부 플레이트와 상기 상부 플레이트의 사이에 위치하며, 다수의 제2분사구를 갖는 제2하부 플레이트; 및 상기 제1 및 제2하부 플레이트를 일정 간격으로 이격시키기 위해 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되고, 각각이 2개 이상의 상기 제1분사구 및 2개 이상의 상기 제2분사구와 연통되는 다수의 개구부를 갖는 간격유지부재를 포함하는 가스분사장치를 제공한다.
그리고, 상기 간격유지부재는 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되고, 상기 다수의 개구부를 갖는 제3하부 플레이트이고, 상기 가스분사장치는 상기 상부 플레이트, 상기 제1하부 플레이트, 상기 제2하부 플레이트 및 상기 제3하부 플레이트의 단부의 주연부를 따라 결합되는 측벽부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 측벽부에는 상기 제1, 제2 및 제3하부 플레이트의 단부가 거치되는 다수의 걸림턱이 형성될 수 있으며, 상기 측벽부의 상부방향으로 상기 다수의 걸림턱이 계단 형상으로 설치될 수 있다.
그리고, 상기 간격유지부재는 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되어 상기 다수의 개구부를 정의하는 다수의 스페이서 일 수 있다.
또한, 상기 제2하부 플레이트는 상기 제1하부 플레이트보다 얇은 두께를 가질 수 있다.
그리고, 상기 제2하부 플레이트는 서로 결합되는 다수의 서브 플레이트로 구성될 수 있고, 상기 다수의 서브 플레이트 중 인접한 2개의 상기 서브 플레이트의 경계부에는 서로 치합하는 단차부가 형성될 수 있으며, 상기 다수의 서브 플레이트 중 인접한 2개의 상기 서브 플레이트는 오링을 개재하여 서로 결합될 수 있다.
또한, 상기 다수의 제2분사구와 상기 다수의 제1분사구는 서로 일대일 대응될 수 있으며, 상기 다수의 제2분사구 각각의 직경은 상기 다수의 제1분사구 각각의 직경보다 작을 수 있으며, 상기 다수의 제2분사구 각각은 가스유입부, 노즐부 및 확산부로 구성될 수 있다.
한편, 본 발명은, 상기 상부 플레이트의 하부에 설치되며, 다수의 제1분사구를 갖는 제1하부 플레이트; 상기 제1하부 플레이트와 상기 상부 플레이트의 사이에 위치하며, 다수의 제2분사구를 갖는 제2하부 플레이트; 상기 제1 및 제2하부 플레이트를 일정 간격으로 이격시키기 위해 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되는 제3하부 플레이트; 및 상기 상부 플레이트, 상기 제1하부 플레이트, 상기 제2하부 플레이트 및 상기 제3하부 플레이트의 단부의 주연부를 따라 결합되고, 상기 제1 내지 제3하부 플레이트의 단부가 거치되는 다수의 걸림턱이 형성되는 측벽부를 포함하는 가스분사장치를 제공한다.
그리고, 상기 제3하부 플레이트는 다수의 개구부를 갖는 그물 형상일 수 있으며, 상기 다수의 개구부 각각은 2개 이상의 상기 제1분사구 및 2개 이상의 상기 제2분사구와 연통될 수 있다.
또한, 상기 다수의 걸림턱은 계단 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면 가스분사장치의 제작시에 공정 난이도가 높은 노즐부를 별도로 제작하므로 불량률이 낮아지고 제작기간도 크게 단축된다. 따라서 가공원가가 절감되어 생산단가를 크게 낮출 수 있다.
또한 노즐부가 형성된 제2 하부플레이트를 다수 개의 서브플레이트로 구성하면 대량생산에 보다 유리해지므로 생산단가를 더욱 낮출 수 있다.
도 1은 일반적인 액정표시소자 제조장치의 개략 구성도
도 2는 일반적인 가스분사장치의 사시도
도 3a 및 도 3b는 여러 유형의 분사구 단면 구성도
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가스분사장치의 단면도
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 가스분사장치를 구비하는 액정표시소자 제조장치의 개략 구성도
도 6은 제3 하부플레이트의 사시도
도 7은 제1,2,3 하부플레이트가 적층된 모습을 나타낸 사시도
도 8은 제2 하부플레이트가 여러 개의 서브 플레이트로 분할된 모습을 나타낸 도면
도 9는 도 8의 Ⅰ-Ⅰ 선에 따른 단면도
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 하며, 본 명세서의 도면은 설명의 편의를 위하여 축척을 무시하고 다소 과장되게 도시 되었음을 미리 밝혀둔다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가스분사장치(100)의 단면도이고, 도 5는 도 4의 가스분사장치(100)가 설치된 액정표시소자 제조장치를 나타낸 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 가스분사장치(100)는 중앙부에 가스공급관(80)이 연결되는 상부 플레이트(50), 상부 플레이트(50)의 하부에 위치하는 하부 플레이트를 포함한다.
여기서, 하부 플레이트는 제1하부 플레이트(110), 제1 하부 플레이트(110)의 상부에 위치하는 제2하부 플레이트(120), 상기 제1, 2하부 플레이트(110, 120)의 사이에 개재되는 제3하부 플레이트(130)로 이루어진다.
제1하부 플레이트(110)는 종래 확산부에 대응하는 상대적으로 큰 직경의 제1분사구(112)를 구비하고, 제2하부 플레이트(120)는 종래 노즐부에 대응하는 상대적으로 작은 직경의 제2분사구(122)를 구비한다.
제3하부 플레이트(130)는 도 6에 도시된 바와 같이 다수의 개구부(132)를 가지는 플레이트로서, 하나의 개구부(132)는 다수의 제1, 2분사구(112, 122)와 연통된다. 도 7은 제1, 2, 3하부 플레이트(110, 120, 130)가 적층된 모습을 나타내고 있다.
제3하부플레이트(130)는 제1, 2하부 플레이트(110)를 소정간격 이격시키는 간격유지부재의 역할을 하므로, 가스분사장치(100)의 내부는 상부 플레이트(50)와 제2하부플레이트(120) 사이의 제1버퍼공간(52)과 제1, 2하부 플레이트(110, 120) 사이의 제2버퍼공간(150)으로 분할된다.
제1버퍼공간(52)은 가스공급관(80)을 통해 유입된 공정가스를 일차 확산시키는 역할을 하며, 제2버퍼공간(150)은 노즐부에 해당하는 제2분사구(122)를 통해 분사된 공정가스를 제1, 2하부 플레이트(110, 120)의 사이에서 더욱 균일하게 확산시키는 역할을 한다.
따라서 가스공급관(80)을 통해 유입된 공정가스는 제1, 2 버퍼공간(52, 150)을 거치면서 충분히 균일하게 확산된 이후에 제1분사구(112)를 통해 챔버 내부로 분사된다.
다만 제1, 2하부 플레이트(110, 120)의 간격이 너무 커지면 압력이 낮아져 제1분사구(112)로 공정가스가 원활하게 분사되지 못할 수도 있으므로 제3하부 플레이트(130)의 높이는 15mm 이하의 간격으로 유지하는 것이 바람직하다.
이러한 제1, 2버퍼 공간(52, 150)은 제1, 2하부 플레이트(110, 120)와 상부 플레이트(50)의 각 주연부를 따라 결합하는 측벽부(140)에 의하여 완성된다.
제3하부 플레이트(130)의 주연부도 측벽부(140)에 결합하는 것이 바람직하며, 측벽부(140)는 내벽에 제1, 2, 3하부 플레이트(110, 120, 130)의 단부가 거치되는 걸림턱(114)을 하나 이상 구비할 수 있으며, 이때 상기 걸림턱(114)은 계단 형상으로 가공될 수 있다.
제2분사구(122)를 거치지 않고 제2하부 플레이트(120)와 측벽부(140) 사이의 공간으로 공정가스가 누설되지 않도록 측벽부(140)와 제2하부 플레이트(120)의 경계면에 오링 등을 이용한 실링을 할 수도 있으나, 가공 정밀도가 높은 경우에는 생략되어도 무방하다.
제1, 2 분사구(112, 122)는 서로 일대일 대응하는 것이 바람직하지만, 제3하부 플레이트(130)에 의해 제1, 2하부 플레이트(110, 120) 사이에 공정가스가 확산할 수 있는 공간이 형성되므로, 제1, 2분사구(112, 122)의 개수가 반드시 일치할 필요는 없다.
제1분사구(112)는 제2분사구(122)를 통과한 고압가스를 확산시키는 역할을 하므로 2mm 이상 10mm이하의 직경을 가지는 것이 바람직하고, 제2분사구(122)는 종래의 노즐부와 같은 역할을 하므로 1mm 이하, 보다 바람직하게는 0.4 내지 0.6mm 정도의 직경을 가져야 한다.
제2분사구(122)의 직경이 작을수록 공정가스를 균일하게 분사하는데 유리하지만 가공기술의 난이도와 공정가스로 인해 홀이 폐쇄될 가능성을 감안하면 직경이 0.1mm 이상인 것이 바람직하다.
제2분사구(122)에 비해 큰 직경을 가지는 제1분사구(112)는 가공 정밀도가 높지 않기 때문에 제1하부 플레이트(110)를 두껍게 제작하더라도 종래처럼 노즐부를 포함하여 제조하는 경우에 비해 가공시간이 훨씬 단축될 뿐만 아니라 불량률도 현저하게 줄어든다.
제1하부 플레이트(110)의 두께는 가스분사장치의 크기에 비례하여 증가되지만 10mm 내지 100mm 정도의 범위로 제작되는 것이 바람직하다.
제2하부 플레이트(120)는 노즐의 역할을 수행하기만 하면 되므로 두껍게 제작될 필요가 전혀 없다. 따라서 0.3mm 내지 10mm 두께의 얇은 판형으로 제작되는 것이 바람직하다.
이 정도의 얇은 판에 노즐을 형성하는 것은 종래 30 내지 50mm 정도의 두께를 가지는 알루미늄 모재에 노즐을 형성하는 것에 비해 불량률이 현저히 낮을 뿐만 아니라 가공속도도 훨씬 빠르다.
한편, 제2하부 플레이트(120)는 제3하부 플레이트(130)의 상부에 단순히 적층되므로 도 8에 도시된 바와 같이 2 이상의 서브 플레이트(120a, 120b, 120c, 120d)로 분할하여 제조될 수도 있다.
이 경우 다수의 서브 플레이트가 동시에 가공될 수 있으므로 가공시간은 더욱 단축되며, 따라서 대량생산에 더욱 유리해져 생산단가를 낮출 수 있다.
도 9는 도 8의 Ⅰ-Ⅰ선에 따른 단면을 도시한 것으로서, 제1, 2 서브플레이트(120a, 120b)의 경계부에 서로 치합하는 단차부(123)를 형성하였다.
이는 공정가스가 노즐 역할을 하는 제2분사구(122)를 거치지 않고 하부로 누설되는 것을 방지하기 위한 것으로서, 단차부(123)의 경계면에 오링 등을 설치하여 실링을 할 수도 있다.
한편, 제3하부 플레이트(130)는 제1, 2하부 플레이트(110, 120)를 균일한 간격으로 이격시키기 위한 것이므로 전술한 형상에 반드시 한정되지는 않으며, 제1, 2하부 플레이트(110, 120)의 사이에 다수 개재되는 소정 높이의 스페이서(spacer)로 대체될 수도 있다.
50: 상부 플레이트 52: 제1버퍼공간
100: 가스분사장치 110: 제1하부플레이트
112: 제1분사구 114: 걸림턱
120: 제2하부플레이트 122: 제2분사구
130: 제3하부플레이트 132: 개구부
140: 측벽부 150: 제2버퍼공간

Claims (16)

  1. 가스공급관이 연결되는 상부 플레이트;
    상기 상부 플레이트의 하부에 설치되며, 다수의 제1분사구를 갖는 제1하부 플레이트;
    상기 제1하부 플레이트와 상기 상부 플레이트의 사이에 위치하며, 다수의 제2분사구를 갖는 제2하부 플레이트; 및
    상기 제1 및 제2하부 플레이트를 일정 간격으로 이격시키기 위해 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되고, 각각이 2개 이상의 상기 제1분사구 및 2개 이상의 상기 제2분사구와 연통되는 다수의 개구부를 갖는 간격유지부재
    를 포함하고,
    상기 다수의 제2분사구 각각의 직경은 상기 다수의 제1분사구 각각의 직경보다 작은 가스분사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 간격유지부재는 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되고, 상기 다수의 개구부를 갖는 제3하부 플레이트이고,
    상기 상부 플레이트, 상기 제1하부 플레이트, 상기 제2하부 플레이트 및 상기 제3하부 플레이트의 단부의 주연부를 따라 결합되는 측벽부를 더 포함하는 가스분사장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 측벽부에는 상기 제1, 제2 및 제3하부 플레이트의 단부가 거치되는 다수의 걸림턱이 형성되는 가스분사장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 측벽부의 상부방향으로 상기 다수의 걸림턱이 계단 형상으로 설치되는 가스분사장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 간격유지부재는 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되어 상기 다수의 개구부를 정의하는 다수의 스페이서인 가스분사장치.
  6. 가스공급관이 연결되는 상부 플레이트;
    상기 상부 플레이트의 하부에 설치되며, 다수의 제1분사구를 갖는 제1하부 플레이트;
    상기 제1하부 플레이트와 상기 상부 플레이트의 사이에 위치하며, 다수의 제2분사구를 갖는 제2하부 플레이트; 및
    상기 제1 및 제2하부 플레이트를 일정 간격으로 이격시키기 위해 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되고, 각각이 2개 이상의 상기 제1분사구 및 2개 이상의 상기 제2분사구와 연통되는 다수의 개구부를 갖는 간격유지부재
    를 포함하고,
    상기 제2하부 플레이트는 상기 제1하부 플레이트보다 얇은 두께를 갖는 가스분사장치.
  7. 가스공급관이 연결되는 상부 플레이트;
    상기 상부 플레이트의 하부에 설치되며, 다수의 제1분사구를 갖는 제1하부 플레이트;
    상기 제1하부 플레이트와 상기 상부 플레이트의 사이에 위치하며, 다수의 제2분사구를 갖는 제2하부 플레이트; 및
    상기 제1 및 제2하부 플레이트를 일정 간격으로 이격시키기 위해 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되고, 각각이 2개 이상의 상기 제1분사구 및 2개 이상의 상기 제2분사구와 연통되는 다수의 개구부를 갖는 간격유지부재
    를 포함하고,
    상기 제2하부 플레이트는 서로 결합되는 다수의 서브 플레이트로 구성되는 가스분사장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 다수의 서브 플레이트 중 인접한 2개의 상기 서브 플레이트의 경계부에는 서로 치합하는 단차부가 형성되는 가스분사장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 다수의 서브 플레이트 중 인접한 2개의 상기 서브 플레이트는 오링을 개재하여 서로 결합되는 가스분사장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 제2분사구와 상기 다수의 제1분사구는 서로 일대일 대응되는 가스분사장치.
  11. 삭제
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 제2분사구 각각은 가스유입부, 노즐부 및 확산부로 구성되는 가스분사장치.
  13. 가스공급관이 연결되는 상부 플레이트;
    상기 상부 플레이트의 하부에 설치되며, 다수의 제1분사구를 갖는 제1하부 플레이트;
    상기 제1하부 플레이트와 상기 상부 플레이트의 사이에 위치하며, 다수의 제2분사구를 갖는 제2하부 플레이트;
    상기 제1 및 제2하부 플레이트를 일정 간격으로 이격시키기 위해 상기 제1 및 제2하부 플레이트 사이에 설치되는 제3하부 플레이트; 및
    상기 상부 플레이트, 상기 제1하부 플레이트, 상기 제2하부 플레이트 및 상기 제3하부 플레이트의 단부의 주연부를 따라 결합되고, 상기 제1 내지 제3하부 플레이트의 단부가 거치되는 다수의 걸림턱이 형성되는 측벽부
    를 포함하고,
    상기 다수의 제2분사구 각각의 직경은 상기 다수의 제1분사구 각각의 직경보다 작은 가스분사장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제3하부 플레이트는 다수의 개구부를 갖는 가스분사장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 다수의 개구부 각각은 2개 이상의 상기 제1분사구 및 2개 이상의 상기 제2분사구와 연통되는 가스분사장치.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 다수의 걸림턱은 계단 형상으로 형성되는 가스분사장치.
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