KR101211736B1 - 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 감광층 수지층을 이용한 패턴층 하부에 미세선폭 구현시 밀착력을 향상시키는 층을 형성하고 감광성 수지의 패턴을 형성한 후 상부에 보호층을 코팅함으로써, 대면적 미세 패턴 인쇄용 인쇄판의 제조가 가능하다. 또한, 미세패턴 구현을 용이하게 하고 그에 따라 패턴 해상도, 전사 특성을 향상시키고 인쇄판의 제조 비용 및 인쇄판의 신뢰성과 수율을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 의한 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법은, (a) 기판상에 밀착층을 형성하는 단계와; (b) 상기 밀착층 상에 감광성 수지층을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 감광성 수지층을 이용하여 상기 밀착층의 상부가 일부 노출되도록 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고 있다.

Description

액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법{High Definition Printing Plate of Liquid Crystal Display and Method for Manufacture using the same}
본 발명은 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 클리체(Cliche) 패턴을 강화하기 위해 패턴 하부에 밀착층을 형성하고 패턴의 무너짐을 방지하기 위해 패턴 상부에 보호층을 형성함으로써, 대면적 미세 패턴 인쇄용 인쇄판의 제조가 가능한 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
인쇄를 이용해 전자 부품의 회로 및 각종 패턴을 찍어내기 위해서는 잉크젯(Inkjet) 등의 직접 인쇄 방법을 이용하거나 패턴이 인쇄된 인쇄판을 이용하는 그라비어(Gravure) 인쇄나 오프셋(Offset) 인쇄 등의 간접 인쇄 방법을 이용하게 된다.
종래 인쇄판을 만드는 방법으로는 기판을 부식시켜 패턴을 형성시키는 방법이나 감광성의 수지가 먼저 부착되어 있는 판을 포토리소그래피(photolithography)를 이용하여 패턴을 형성하는 방법이 있다. 그러나, 이러한 종래의 방법은 어떤 방법을 이용하든 형성되는 패턴의 깊이가 일정하게 유지되게 된다. 이러한 인쇄판을 이용하여 인쇄하기 위해서는 인쇄 롤이 패턴의 바닥에 닿지 않도록 인쇄판의 패턴 깊이가 일정 수준 이상이 되어야 한다. 이러한 깊이는 미세 선폭일 때와 일반 패턴일 때가 다르다.
도 1은 종래 기술의 실시 형태에 따라 습식 에칭(Wet Etching)된 인쇄판에서 패턴 깊이에 따른 인쇄 오류를 나타낸 단면도이다.
도 1에서 보듯이, 미세 패턴부인 A 부분의 경우 패턴의 깊이가 깊게 요구되지 않으나 미세 패턴에 비해 비교적 패턴 선폭이 큰 b 부분의 경우에는 인쇄 롤(Roll)(20)이 바닥에 닿아 패턴이 잘못 인쇄될 수 있으므로 깊이를 더 크게 해야 한다. 이 때문에 습식 에칭을 통해 제작된 인쇄판(10)은 형성되는 패턴의 깊이(t)가 인쇄판의 최소 미세 선폭의 1/2 이하로 결정되게 된다. 즉, 인쇄판에서 구현 가능한 최소 선폭은 아래와 같이 결정되게 된다.
[구현 가능한 최소 선폭 ≥ 최소 패턴 깊이 × 2]
일반적으로, 인쇄판을 이용해 인쇄 가능한 최소 패턴 깊이는 5㎛ 수준이므로, 종래의 방법을 통해 구현 가능한 최소 선폭은 10㎛ 수준이 된다. 따라서 종래 기술로는 10㎛ 이내의 미세 선폭을 갖는 인쇄판을 제조하기가 어렵다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 도 2와 같이 건식 식각이나 임프린팅 기술을 이용하여 비등방성의 수직형 패턴(20)을 기판(10) 위에 형성하는 방법이 최근 제시되고 있다. 그러나 이러한 패턴의 경우에도 미세 패턴부가 인쇄 과정에서 롤(Roll)(30)에 의한 압력으로 파손되는 문제가 있어 대형화하기에 어려움이 있었다.
또한, 도 3에 나타낸 바와 같이, 인쇄판의 제조 공정에서 사용되는 여러 가지의 화학 물질이 미세 패턴(20) 아래로 침투하여 기판(10) 사이의 접착력을 떨어뜨리는 들뜸 현상을 발생시킴으로써, 패턴이 손상되는 문제가 있었다.
전술한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기존의 기술로 제조된 인쇄판에서 구현할 수 없었던 미세 패턴이 형성된 인쇄판을 제조할 수 있는 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법을 제시하는 데 있다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 미세패턴 구현을 용이하게 하고 그에 따라 패턴 해상도, 전사 특성을 향상시키고 인쇄판의 제조 비용 및 인쇄판의 신뢰성과 수율을 향상시킬 수 있는 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법을 제시하는 데 있다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 감광층 수지층을 이용한 패턴층 하부에 미세선폭 구현시 밀착력을 향상시키는 층을 형성하고 감광성 수지의 패턴을 형성한 후 상부에 보호층을 코팅함으로써, 대면적 미세 패턴 인쇄용 인쇄판의 제조가 가능한 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법을 제시하는 데 있다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 감광성 수지층으로 형성된 인쇄 패턴을 외부의 화공약품으로부터 보호하여 패턴 손상을 방지하기 위해 감광성 수지층으로 형성된 패턴 상부에 보호층을 형성한 대면적 미세 패턴 인쇄용 인쇄판의 제조가 가능한 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법을 제시하는 데 있다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 클리체(Cliche) 패턴을 강화하기 위해 패턴 하부에 밀착층을 형성하고 패턴의 무너짐을 방지하기 위해 패턴 상부에 보호층을 형성한 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법을 제시하는 데 있다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 청구항 1에 기재된 발명은, 「액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법에 있어서, (a) 기판상에 밀착층을 형성하는 단계와; (b) 상기 밀착층 상에 감광성 수지층을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 감광성 수지층을 이용하여 상기 밀착층의 상부가 노출되도록 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 2에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 기판은: PC(Polycarbonate), PET(polyethylene terephthalate resin), PMMA(Polymethylmethacrylate)를 포함한 고분자, 글래스(Glass), 필름(Film), 금속(Metal)을 포함한 군 중에서 어느 하나의 재료로 형성되는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 3에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 기판은: 인쇄용 잉크가 전사되는 전사 기판과 열팽창 계수 차이가 4배 이내의 열팽창계수를 가지는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 4에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은: 금속을 증착 또는 스퍼터링(Sputtering) 하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 5에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은: Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 6에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은: Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox를 혼합하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 7에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은: Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox과 감광성 수지를 혼합하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 8에 기재된 발명은, 「제 7 항에 있어서, 상기 감광성 수지는: 상기 감광성 수지층과 동일한 재료로 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 9에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은: 스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating)을 포함한 코팅 방법 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 10에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은: 포토레지스트(Photoresist), 건식 필름 레지스트(Dry Film Resist), 습식 필름 레지스트(Wet Film Resist), 자외선 경화형 수지를 포함한 감광성 물질 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 11에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은: 포지티브(Positive) 또는 네가티브(Negative) 감광성 물질로 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 12에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 패턴은: 상기 감광성 수지층을 포토리소그래피 공법으로 패터닝하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 13에 기재된 발명은, 「제 1 항에 있어서, 상기 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법은: 상기 (c)단계의 구조물 상부에 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 14에 기재된 발명은, 「제 13 항에 있어서, 상기 보호층은: Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Mo, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 금속과; 패럴린(Parylene), 테프론(Teflon)을 포함한 유기재료와; 산화 실리콘(SiOx), 질화 실리콘(SiNx), 다이아몬 라이크 카본(Diamon liked Carbon)을 포함한 무기재료; 및 유?무기 하이브리드계 재료; 중에서 상기 감광성 수지층 및 기판의 특성에 따라 선택된 어느 하나를 이용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
청구항 15에 기재된 발명은, 「제 13 항에 있어서, 상기 보호층은: 스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating), 화학기상증착(CVD), 스퍼터링(Sputtering), 증발기(Evaporator)를 포함한 방법 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.」을 제공한다.
또한, 전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 다른 수단으로서, 청구항 16에 기재된 발명은, 「액정표시장치용 고정세 인쇄판에 있어서, 기판상에 형성된 밀착층; 및 상기 밀착층 상에 패턴이 형성된 감광성 수지층;을 포함하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
청구항 17에 기재된 발명은, 「제 16 항에 있어서, 상기 기판은: PC(Polycarbonate), PET(polyethylene terephthalate resin), PMMA(Polymethylmethacrylate)를 포함한 고분자, 글래스(Glass), 필름(Film), 금속(Metal)을 포함한 군 중에서 어느 하나의 재료로 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
청구항 18에 기재된 발명은, 「제 16 항에 있어서, 상기 밀착층은: Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
청구항 19에 기재된 발명은, 「제 16 항에 있어서, 상기 밀착층은: Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox를 혼합하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
청구항 20에 기재된 발명은, 「제 16 항에 있어서, 상기 밀착층은: Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox과 감광성 수지를 혼합하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
청구항 21에 기재된 발명은, 「제 16 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은: 포토레지스트(Photoresist), 건식 필름 레지스트(Dry Film Resist), 습식 필름 레지스트(Wet Film Resist), 자외선 경화형 수지를 포함한 감광성 물질 중 어느 하나를 사용하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
청구항 22에 기재된 발명은, 「제 16 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은: 포지티브(Positive) 또는 네가티브(Negative) 감광성 물질로 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
청구항 23에 기재된 발명은, 「제 16 항에 있어서, 상기 구조물 상에 형성된 보호층을 더 포함하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
청구항 24에 기재된 발명은, 「제 23 항에 있어서, 상기 보호층은: Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Mo, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 금속과; 패럴린(Parylene), 테프론(Teflon)을 포함한 유기재료와; 산화 실리콘(SiOx), 질화 실리콘(SiNx), 다이아몬 라이크 카본(Diamon liked Carbon)을 포함한 무기재료; 및 유?무기 하이브리드계 재료; 중에서 상기 감광성 수지층 및 기판의 특성에 따라 선택된 어느 하나를 이용하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
청구항 25에 기재된 발명은, 「제 23 항에 있어서, 상기 보호층은: 스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating), 화학기상증착(CVD), 스퍼터링(Sputtering), 증발기(Evaporator)를 포함한 방법 중 어느 하나를 사용하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
또한, 전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 또 다른 수단으로서, 청구항 26에 기재된 발명은, 「액정표시장치용 고정세 인쇄판에 있어서, 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 기재된 제조 방법을 사용하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.」을 제공한다.
본 발명에 따르면, 감광층 수지층을 이용한 패턴층 하부에 미세선폭 구현시 밀착력을 향상시키는 층을 형성하고 감광성 수지의 패턴을 형성한 후 상부에 보호층을 코팅함으로써, 대면적 미세 패턴 인쇄용 인쇄판의 제조가 가능하다.
그리고, 미세패턴 구현을 용이하게 하고 그에 따라 패턴 해상도, 전사 특성을 향상시키고 인쇄판의 제조 비용 및 인쇄판의 신뢰성과 수율을 향상시킬 수 있다.
또한, 기존의 인쇄판을 이용해 불가능하였던 미세 영역의 패턴을 간접 인쇄 방식으로 인쇄할 수 있게 됨으로써, 전자 회로 및 패턴을 빠르고 값싸게 제조할 수 있다.
또한, 인쇄판 제조자의 경우 기존의 인쇄판에서 구현할 수 없었던 미세패턴을 본 발명을 이용하여 제조함으로써 인쇄판의 적용 범위를 넓힐 수 있다.
또한, 인쇄형 디스플레이 및 전자부품 등에 이용되는 대면적 미세패턴의 인쇄에 필요한 인쇄판에 있어 필요한 깊이와 강도를 모두 구현할 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
도 1은 종래 기술의 실시 형태에 따라 습식 에칭(Wet Etching)된 인쇄판에서 패턴 깊이에 따른 인쇄 오류를 나타낸 단면도
도 2는 종래 기술의 실시 형태에 따른 인쇄판이 외력에 의해 패턴 파손 모습을 나타낸 단면도
도 3은 종래 기술의 실시 형태에 따른 인쇄판이 화학 물질 침투로 인해 패턴 들뜸 현상이 발생하는 모습을 나타낸 단면도
도 4 내지 도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 의한 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 공정 단면도
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명되는 실시 예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙여 설명하기로 한다.
이하, 본 발명에서 실시하고자 하는 구체적인 기술내용에 대해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법의 실시 예
도 4 내지 도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 의한 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 공정 단면도이다.
먼저, 도 4를 참조하여 설명하면, 기판(100)을 깨끗이 세정한 다음, 상기 기판(100) 상에 밀착층(110)을 형성한다.
상기 기판(100)은 표면의 평탄도가 확보되고 대형화 가능하며, 전사된 후의 기판과 열팽창 계수가 유사한 재료로 제조되면 모두 사용 가능하다. 그 예로서, 상기 기판(100)은 PC(Polycarbonate), PET(polyethylene terephthalate resin), PMMA(Polymethylmethacrylate)를 포함한 고분자와 글래스(Glass), 필름(Film), 금속(Metal)을 포함한 군 중에서 어느 하나의 재료로 형성된다. 이때, 상기 기판(100)은 패턴의 정확도를 유지하기 위해서, 인쇄용 잉크가 전사되는 전사 기판과 열팽창 계수 대비 4배 이내의 열팽창계수를 갖도록 선정하는 것이 바람직하다.
상기 밀착층(110)은 상기 기판(100)과 이후에 형성하게 될 감광성 수지층(120)과의 밀착력을 높여주기 위해 형성된 것으로, 미세선폭의 액정표시장치의 인쇄판 형성을 가능하게 한다.
상기 밀착층(110)은 금속을 증착 또는 스퍼터링(Sputtering) 하여 형성할 수 있으며, 이때 사용되는 재료는 Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox과 감광성 수지를 혼합하여 형성할 수 있다.
또한, 상기 밀착층(110)은 Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox를 혼합하여 형성할 수도 있고, Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성할 수도 있다.
그 다음, 도 5를 참조하여 설명하면, 상기 밀착층(110) 상에 감광성 수지층(120)을 형성한다.
상기 감광성 수지층(120)은 상기 밀착층(110) 상에 미세 패턴을 형성하기 위한 것으로, 통상의 코팅 방법을 통해 코팅한다. 이때, 통상의 코팅 방법이란 전형적으로는 스핀 코팅(Spin Coating)과 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating) 등이 있으며, 코팅 균일도를 유지할 수 있는 방법이라면 모두 적용 가능하다.
또한, 상기 감광성 수지층(120)은 포토레지스트(Photoresist), 건식 필름 레지스트(Dry Film Resist), 습식 필름 레지스트(Wet Film Resist), 자외선 경화형 수지 등이 모두 사용 가능하며, 본 발명의 구조가 그 재료에 한정되어 적용되는 것은 아니다. 또한, 상기 감광성 수지층(120)은 포지티브(Positive) 또는 네가티브(Negative) 감광성 물질로 형성할 수 있다.
계속해서, 도 6을 참조하면, 상기 감광성 수지층(120)을 이용하여 상기 밀착층(110)의 상부가 일부 노출되도록 패턴을 형성한다. 이때, 상기 감광성 수지층(120)을 이용하여 형성된 패턴은 상기 감광성 수지층(120)을 포토리소그래피 공법으로 패터닝하여 형성한다.
마지막으로, 도 7을 참조하여 설명하면, 상기 밀착층(110) 상에 상기 감광성 수지층(120)으로 패턴이 형성된 구조물 상부에 보호층(130)을 형성한다.
상기 보호층(130)은 상기 감광성 수지층(120) 및 상기 기판(100)의 특성에 따라 다양한 재료들이 사용될 수 있다. 그 예로서, Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Mo, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 금속과, 패럴린(Parylene), 테프론(Teflon)을 포함한 유기재료와, 산화 실리콘(SiOx), 질화 실리콘(SiNx), 다이아몬 라이크 카본(Diamon liked Carbon)을 포함한 무기재료와, 유?무기 하이브리드계 재료 등이 사용된다. 상기 보호층(130)은 상기에 열거한 재료들 중에서 상기 감광성 수지층(120) 및 기판(100)의 특성에 따라 선택된 어느 하나를 이용하여 형성할 수 있다.
그리고, 상기 보호층(130)은 스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating), 화학기상증착(CVD), 스퍼터링(Sputtering), 증발기(Evaporator)를 포함한 통상의 모든 방법들을 활용하여 형성할 수 있다.
이러한 상기 보호층(130)은 첫째 재료의 보호를 위해, 둘째 잉크 퍼짐성 확보를 위해 선택되어 진다. 인쇄판의 경우 그 세정을 위해 여러 종류의 화공 약품들이 사용되어 지며, 그 각각에 대해 모두 내화학성이 있는 감광성 수지층을 개발하기에는 현실적으로 어려움이 따른다. 따라서, 이에 대해 내성이 있는 보호층을 필요에 맞게 채택하여 코팅함으로써 감광성 수지층으로 형성된 인쇄 패턴을 외부의 화공약품으로부터 보호하여 패턴 손상을 방지하게 된다.
또한, 다양한 용제에 분산된 인쇄용 잉크, 페이스트(paste) 등이 인쇄판 위에 잘 퍼지도록 하기 위해서는 인쇄판의 표면 에너지를 제어할 필요가 있다. 이 때문에 상부 보호층의 재료 선정을 통해 잉크와의 정합성을 확보하도록 함으로써 발명의 목적을 달성할 수 있다.
액정표시장치용 고정세 인쇄판의 실시 예
본 발명의 액정표시장치용 고정세 인쇄판은 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(100)상에 형성된 밀착층(110)과, 상기 밀착층(110) 상에 패턴이 형성된 감광성 수지층(121)과, 상기 구조물 상에 형성된 보호층(130)을 포함하고 있다.
여기서, 상기 기판(100)은 PC(Polycarbonate), PET(polyethylene terephthalate resin), PMMA(Polymethylmethacrylate)를 포함한 고분자, 글래스(Glass), 필름(Film), 금속(Metal)을 포함한 군 중에서 어느 하나의 재료로 형성된다.
그리고, 상기 밀착층(110)은 Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox과 감광성 수지를 혼합하여 형성된다. 또한, 상기 밀착층(110)은 Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성하거나, 또는 Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox를 혼합하여 형성할 수도 있다.
상기 감광성 수지층(121)은 포토레지스트(Photoresist), 건식 필름 레지스트(Dry Film Resist), 습식 필름 레지스트(Wet Film Resist), 자외선 경화형 수지를 포함한 감광성 물질 중 어느 하나를 사용하여 형성할 수 있으며, 또는 포지티브(Positive) 또는 네가티브(Negative) 감광성 물질로 형성할 수 있다.
상기 보호층(130)은 Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Mo, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 금속과, 패럴린(Parylene), 테프론(Teflon)을 포함한 유기재료와, 산화 실리콘(SiOx), 질화 실리콘(SiNx), 다이아몬 라이크 카본(Diamon liked Carbon)을 포함한 무기재료와, 유?무기 하이브리드계 재료 중에서 상기 감광성 수지층 및 기판의 특성에 따라 선택된 어느 하나를 이용하여 형성되고, 스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating), 화학기상증착(CVD), 스퍼터링(Sputtering), 증발기(Evaporator)를 포함한 방법 중 어느 하나를 사용하여 형성할 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법은 감광층 수지층을 이용한 패턴층 하부에 미세선폭 구현시 밀착력을 향상시키는 층을 형성하고 감광성 수지의 패턴을 형성한 후 상부에 보호층을 코팅함으로써, 본 발명의 기술적 과제를 해결할 수가 있다.
상술한 실시 예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시 예에 포함되며, 반드시 하나의 실시 예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시 예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시 예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시 예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다.
따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. 또한, 이상에서 실시 예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부한 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 기판 101 : 일반 패턴이 형성된 기판
110 : 감광성 수지층 111 : 패턴이 형성된 감광성 수지층
120 : 감광성 수지층
121 : 미세 패턴이 형성된 감광성 수지층
200 : 인쇄용 롤(Roll)

Claims (26)

  1. 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법에 있어서,
    (a) 기판상에 밀착층을 형성하는 단계;
    (b) 상기 밀착층 상에 감광성 수지층을 형성하는 단계;
    (c) 상기 감광성 수지층을 이용하여 상기 밀착층의 상부가 일부 노출되도록 패턴을 형성하는 단계; 및
    (d) 상기 감광성 수지층의 상부와, 상기 노출된 밀착층의 상부에 보호층을 형성하는 단계;
    를 포함하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은:
    PC(Polycarbonate), PET(polyethylene terephthalate resin), PMMA(Polymethylmethacrylate)를 포함한 고분자, 글래스(Glass), 필름(Film), 금속(Metal)을 포함한 군 중에서 어느 하나의 재료로 형성되는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은:
    금속을 증착 또는 스퍼터링(Sputtering) 하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은:
    Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은:
    Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox를 혼합하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은:
    Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox과 감광성 수지를 혼합하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 감광성 수지는:
    상기 감광성 수지층과 동일한 재료로 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은:
    스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating)을 포함한 코팅 방법 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은:
    포토레지스트(Photoresist), 건식 필름 레지스트(Dry Film Resist), 습식 필름 레지스트(Wet Film Resist), 자외선 경화형 수지를 포함한 감광성 물질 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은:
    포지티브(Positive) 또는 네가티브(Negative) 감광성 물질로 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 패턴은:
    상기 감광성 수지층을 포토리소그래피 공법으로 패터닝하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  13. 삭제
  14. 제 1 항에 있어서, 상기 보호층은:
    Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Mo, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 금속과;
    패럴린(Parylene), 테프론(Teflon)을 포함한 유기재료와;
    산화 실리콘(SiOx), 질화 실리콘(SiNx), 다이아몬 라이크 카본(Diamon liked Carbon)을 포함한 무기재료; 및
    유?무기 하이브리드계 재료;
    중에서 상기 감광성 수지층 및 기판의 특성에 따라 선택된 어느 하나를 이용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  15. 제 1 항에 있어서, 상기 보호층은:
    스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating), 화학기상증착(CVD), 스퍼터링(Sputtering), 증발기(Evaporator)를 포함한 방법 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법.
  16. 액정표시장치용 고정세 인쇄판에 있어서,
    기판상에 형성된 밀착층;
    상기 밀착층 상에 형성되며, 상기 밀착층의 상부가 일부 노출되는 패턴이 형성된 감광성 수지층; 및
    상기 감광성 수지층의 상부와, 상기 노출된 밀착층의 상부에 형성되는 보호층;
    을 포함하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 기판은:
    PC(Polycarbonate), PET(polyethylene terephthalate resin), PMMA(Polymethylmethacrylate)를 포함한 고분자, 글래스(Glass), 필름(Film), 금속(Metal)을 포함한 군 중에서 어느 하나의 재료로 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.
  18. 제 16 항에 있어서, 상기 밀착층은:
    Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.
  19. 제 16 항에 있어서, 상기 밀착층은:
    Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox를 혼합하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.
  20. 제 16 항에 있어서, 상기 밀착층은:
    Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox과 감광성 수지를 혼합하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.
  21. 제 16 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은:
    포토레지스트(Photoresist), 건식 필름 레지스트(Dry Film Resist), 습식 필름 레지스트(Wet Film Resist), 자외선 경화형 수지를 포함한 감광성 물질 중 어느 하나를 사용하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.
  22. 제 16 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은:
    포지티브(Positive) 또는 네가티브(Negative) 감광성 물질로 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.
  23. 삭제
  24. 제 16 항에 있어서, 상기 보호층은:
    Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Mo, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 금속과;
    패럴린(Parylene), 테프론(Teflon)을 포함한 유기재료와;
    산화 실리콘(SiOx), 질화 실리콘(SiNx), 다이아몬 라이크 카본(Diamon liked Carbon)을 포함한 무기재료; 및
    유?무기 하이브리드계 재료;
    중에서 상기 감광성 수지층 및 기판의 특성에 따라 선택된 어느 하나를 이용하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.
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    스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating), 화학기상증착(CVD), 스퍼터링(Sputtering), 증발기(Evaporator)를 포함한 방 중 어느 하나를 사용하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판.
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