KR101204290B1 - 고진공 슬릿 게이트 밸브 - Google Patents

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Abstract

고진공 슬릿 게이트 밸브는 피스톤, 피스톤 가이드, 변속 유닛 및 로드 샤프트를 포함한다. 상기 피스톤은 피스톤 실린더 내에서 승하강한다. 상기 피스톤 가이드는 상기 피스톤의 일측부에 연결되며, 상기 피스톤 실린더의 외부로 연장한다. 상기 변속 유닛은 상기 피스톤 가이드에 연결되어 상기 피스톤 가이드의 직선 구동력을 회전력으로 변환시키며, 상기 피스톤 가이드의 랙과 치합하는 제1 기어 유닛, 상기 제1 기어 유닛의 출력축의 일부를 감싸는 자성유체 씰을 갖는 자성 유체 유닛 및 상기 제1 기어 유닛의 출력축의 단부에 구비되는 제2 기어 유닛을 포함한다. 상기 로드 샤프트는 상기 변속 유닛에 연결되어 상기 회전력을 직선 구동력으로 변환시키며, 상기 제2 기어 유닛과 치합하는 랙을 갖는 로드 샤프트를 포함한다.

Description

고진공 슬릿 게이트 밸브{HIGH VACUUM SLIT GATE VALVE}
개시된 기술은 고진공 슬릿 게이트 밸브에 관한 것으로, 특히 공정 챔버의 유출입 게이트를 개폐하거나 압축유체나 가스 등의 유동 통로 또는 배기 통로를 개폐하기 위한 고진공 슬릿 게이트 밸브에 관한 것이다.
예를 들면, 반도체 웨이퍼 또는 액정 기판 등을 처리하기 위한 장치에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정 기판은 다수개의 공정 챔버들에 로딩/언로딩될 수 있다. 이러한 공정 챔버에는 연통 통로(communication passageway)로서 게이트가 구비되고, 상기 게이트를 개폐하기 위한 게이트 밸브가 설치될 수 있다.
종래의 게이트 밸브는 상기 게이트를 개폐시키기 위한 구동 수단으로서 공압 실린더 및 상기 공압 실린더 내에서 왕복 운동하는 피스톤을 포함하고, 상기 피스톤의 외주면에는 O-링(O-ring)이 밀폐 부재로 구비될 수 있다. 그러나, O-링은 수명이 짧아 교체 주기가 빠르며, 교체 시기가 예측하기 어려운 단점이 있다.
실시예들 중에서, 고진공 슬릿 게이트 밸브는 피스톤, 피스톤 가이드, 변속 유닛 및 로드 샤프트를 포함한다. 상기 피스톤은 피스톤 실린더 내에서 승하강한다. 상기 피스톤 가이드는 상기 피스톤의 일측부에 연결되며, 상기 피스톤 실린더의 외부로 연장한다. 상기 변속 유닛은 상기 피스톤 가이드에 연결되어 상기 피스톤 가이드의 직선 구동력을 회전력으로 변환시키며, 상기 피스톤 가이드의 랙과 치합하는 제1 기어 유닛, 상기 제1 기어 유닛의 출력축의 일부를 감싸는 자성유체 씰을 갖는 자성 유체 유닛 및 상기 제1 기어 유닛의 출력축의 단부에 구비되는 제2 기어 유닛을 포함한다. 상기 로드 샤프트는 상기 변속 유닛에 연결되어 상기 회전력을 직선 구동력으로 변환시키며, 상기 제2 기어 유닛과 치합하는 랙을 갖는 로드 샤프트를 포함한다.
실시예들 중에서 상기 피스톤 실린더의 하부에는 헤드 커버가 구비되고, 상기 피스톤 실린더의 상부에는 로드 커버가 구비될 수 있다. 상기 로드 커버에는 하부측 실린더 챔버에 연통하는 압력유체 출입포트가 구비될 수 있다. 상기 헤드커버에는 상부측 실린더 챔버에 연통되는 압력유체 출입포트가 구비될 수 있다. 상기 제1 기어 유닛은 상기 피스톤 가이트의 랙과 결합하는 제1 기어 및 상기 제1 기어와 치합하는 제2 기어를 포함할 수 있다. 상기 자성 유체 유닛의 자성유체 씰은 상기 제2 기어의 회전축의 일부를 감쌀 수 있다. 상기 제2 기어 유닛은 상기 제2 기어의 출력축의 단부에 구비되는 제3 기어를 포함할 수 있다. 상기 자성 유체 유닛은 상기 제1 기어 유닛의 출력축 상에구비되는 자석, 상기 자석의 축방향 양측에 배치되는 자극 부재 및 상기 자석 및 상기 자극 부재 사이에 구비되는 자성 유체를 포함할 수 있다.
도 1은 개시된 기술의 일 실시예에 따른 고진공 슬릿 게이트 밸브를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 고진공 슬릿 게이트 밸브를 나타내는 정면도이다.
도 3은 도 1의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 주요 구성을 나타내는 상부 사시도이다.
도 4는 도 1의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 주요 구성을 나타내는 하부 사시도이다.
도 5a는 도 1의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 자성 유체 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 5b는 도 5a의 V-V' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 도 3의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 상승 동작을 나타내는 상부 사시도이다.
도 7은 도 3의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 상승 동작을 나타내는 하부 사시도이다.
도 8은 도 3의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 상승 동작 시 피스톤 가이드의 동작을 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 3의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 상승 동작 시 로드 샤프트의 동작을 나타내는 단면도이다.
개시된 기술에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 개시된 기술의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 개시된 기술의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
“제1”, “제2” 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
“및/또는”의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, “제1 항목, 제2 항목 및/또는 제3 항목”의 의미는 제1, 제2 또는 제3 항목뿐만 아니라 제1, 제2 또는 제3 항목들 중 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c, ...)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않은 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 개시된 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
도 1은 개시된 기술의 일 실시예에 따른 고진공 슬릿 게이트 밸브를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 고진공 슬릿 게이트 밸브를 나타내는 정면도이며, 도 3은 도 1의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 주요 구성을 나타내는 상부 사시도이고, 도 4는 도 1의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 주요 구성을 나타내는 하부 사시도이다. 도 5a는 도 1의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 자성 유체 유닛을 나타내는 사시도이고, 도 5b는 도 5a의 V-V' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 고진공 슬릿 게이트 밸브(100)는 피스톤(110), 피스톤 가이드(120), 변속 유닛 및 로드 샤프트(160)를 포함한다.
피스톤(110)은 피스톤 실린더(112) 내에서 승하강할 수 있도록 구비된다. 피스톤(110) 및 피스톤 실린더(112)의 형상 및 크기는 사용목적에 상응하도록 변경이 가능하다.
일 실시예에 있어서, 피스톤(110)은 피스톤 실린더(112) 내에서 공압에 의해 승하강할 수 있다. 피스톤(110)의 외측에는 피스톤(110)에 의해 구분되는 상부측 실린더 챔버와 하부측 실린더 챔버를 각각 기밀하게 유지하는 O-링과 같은 밀폐 부재(114)가 구비될 수 있다.
피스톤 실린더(112)의 상부에는 로드 커버(도시되지 않음)가 구비되고, 피스톤 실린더(112)의 하부에는 헤드 커버(도시되지 않음)가 구비될 수 있다. 상기 로드 커버 및 상기 헤드 커버에는 상기 상부측 실린더 챔버 및 상기 하부측 실린더 챔버에 각각 연통하는 한 쌍의 압력유체 출입포트들이 구비될 수 있다.
따라서, 압축공기와 같은 압력유체가 상기 압력유체 출입포트를 통해 상기 하부측 실린더 챔버에 공급되면, 피스톤(110)은 상기 하부측 실린더 챔버에 공급된 압력유체에 의해 피스톤 실린더(112) 내에서 상승하게 된다. 또한, 상기 압력 유체가 상기 압력유체 출입포트를 통해 상기 상부측 실린더 챔버에 공급되면, 피스톤(110)은 상기 상부측 실린더 챔버에 공급된 압력유체에 의해 피스톤 실린더(112) 내에서 하강하게 된다.
피스톤 가이드(120)는 피스톤(110)에 연결되며, 피스톤 실린더(112)의 외부로 연장한다. 일 실시예에 있어서, 상기 헤드 커버에는 피스톤 가이드(120)가 관통하는 관통홀(도시되지 않음)이 형성되며, 피스톤 가이드(120)는 상기 헤드 커버의 상기 관통홀을 관통하여 피스톤(110)의 이동에 따라 상승 또는 하강할 수 있다. 상기 헤드 커버의 상기 관통홀에는 피스톤 가이드(120)의 외주면은 둘러싸는 밀폐 부재(도시되지 않음)가 구비되어 피스톤 실린더(112)를 기밀하게 유지할 수 있다.
상기 변속 유닛은 피스톤 가이드(120)에 연결되어 피스톤 가이드(120)의 직선 구동력을 회전력으로 변환시킨다. 일 실시예에 있어서, 상기 변속 유닛은 제1 기어 유닛(130), 자성 유체 유닛(140) 및 제2 기어 유닛(150)을 포함할 수 있다.
제1 기어 유닛(130)은 피스톤 가이드(120)의 일측부에 연결되어 피스톤 가이드(120)의 직선 구동력을 회전력으로 변환시킬 수 있다. 제1 기어 유닛(130)은 제1 기어(132) 및 제2 기어(134)를 포함할 수 있다. 피스톤 가이드(120)의 외주면에는 랙(rack)(122)이 형성되고, 제1 기어 유닛(130)의 제1 기어(132)는 피스톤 가이드(120)의 랙(122)과 나사결합하여 피스톤 가이드(120)의 직선 구동력을 회전력으로 변환시킬 수 있다. 제1 기어(132)는 제2 기어(134)와 맞물려 상기 회전력을 제2 기어(134)에 전달할 수 있다. 따라서, 제2 기어(134)는 제1 기어(132)의 속도와 다른 속도를 가질 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제2 기어(134)의 회전축은 제2 기어(134)로부터 양측으로 연장할 수 있다. 제2 기어(134)의 회전축의 양단부 각각에는 제2 기어 유닛(150)이 각각 구비될 수 있다. 제2 기어 유닛(150)은 제2 기어(134)의 단부 상에 구비되는 제3 기어를 포함할 수 있다.
자성 유체 유닛(140)은 제2 기어(134) 및 제3 기어(150) 사이에 위치할 수 있다. 자성 유체 유닛(140)은 제1 기어 유닛(130)의 출력축, 즉, 제2 기어(134)의 회전축의 일부를 감싸는 자성유체 씰(magnetic ferrofluid seal)을 구비할 수 있다. 제3 기어(150)는 제2 기어(134)의 출력축의 단부 상에 구비될 수 있다.
도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 제1 기어 유닛(130)의 출력축, 즉, 제2 기어(134)의 회전축(134a, 134b)은, 도 1의 프레임(또는 하우징)(102) 내에 설치된 베어링(146, 148)에 의해 회전 가능하게 지지되고, 특히 프레임(102)의 내부와 외부는 자성 유체 씰에 의해 씰링이 이루어질 수 있다.
일 실시예에 있어서, 자성 유체 유닛(140)이 설치되는 상기 회전축의 일단부(134a)는 제1 기어 유닛(130)의 제2 기어(134)와 연결되고, 상기 회전축의 타단부(134b)는 제3 기어(150)와 연결될 수 있다. 이와 다르게, 회전축의 일단부(134a)는 다른 변속 수단을 통해 제2 기어(134)와 연결될 수 있고, 회전축의 타단부(134b)는 다른 변속 수단을 통해 제3 기어(150)와 연결될 수 있다.
따라서, 자성 유체 유닛(140)이 설치되는 출력축은 프레임(102)의 내부와 그 외부 사이에 걸쳐 배치될 수 있다. 이 때, 상기 회전축과 프레임(102) 사이에 자성 유체 씰이 구비될 수 있다. 프레임(102) 내부는 상기 자성 유체 씰에 의해 제3 기어(150)와 로드 샤프트(160)가 구비되는 프레임(102)의 외부로부터 씰링될 수 있다.
자성 유체 유닛(140)은 정지되어 있는 자석(142)과 그 중심에서 회전하고 있는 회전축(134a, 134b) 사이에 자력 형성을 유도하여 자성 유체 주입시 자성 유체(141)가 자극 부재(pole piece)(144)와 상기 회전축 사이에서 O-링과 같은 막을 형성하도록 함으로써 씰링을 하는 장치이다. 이러한 자성 유체 씰은 비접촉식이므로 회전시에 마찰이 거의 없는 장점이 있다.
구체적으로, 자성 유체 유닛(140)은 자력 발생 수단으로서 자석(142), 자속 전달 부재로서의 자극 부재(144) 및 봉재 부재로서의 자성 유체(141)를 포함할 수 있다.
자석(142)은 상기 회전축과 프레임 사이에 배치되는 환상의 자석으로, 상기 회전축의 축방향으로 자계를 발생시킨다. 자극 부재(144)는 자석(142)의 축방향 양측에 배치되는 자성 재료로 형성된 환상의 부재로서, 자석(142)에 접하여 배치됨으로써 자극으로서 작용하게 된다. 자석(142)과 자극 부재(144)는 그 외주면이 하우징의 내주면에 밀착하고 그 내주면이 회전축의 외주면과의 사이에 약간의 틈새를 형성하도록 상기 하우징 내에 장착된다.
상기 회전축의 외주면 상에 자극 부재(144)의 내주면과 대향하는 영역에는 원주방향으로 연속되는 환상의 홈(도시되지 않음)이 복수개 형성될 수 있으며, 상기 홈과 홈 사이에 배치되는 환상의 볼록부(도시되지 않음)가 회전축측의 자극부로 작용하게 된다. 상기 볼록부와 자극 부재(144)의 내주면 사이에는 자성 유체(141)가 채워지게 된다.
이에 따라, 자석(142), 자극부재(144), 회전축측의 자극부(볼록부) 및 자성 유체(141)가 위와 같이 배치됨으로써 자성 유체 씰이 형성되고, 상기 자성 유체 씰에서는 자속이 자석(142), 자극 부재(144), 회전축의 자극부 및 회전축을 통과하는 자기회로가 형성된다.
그리고, 자극 부재(144)가 대향되는 회전축측의 자극부에 자기회로의 자속이 수속하게 되면서, 이 부분에 자성 유체(141)가 유지되는데, 이 자성 유체(141)에 의해 회전축의 외주면을 따라 O-링과 유사한 씰링부가 형성된다.
로드 샤프트(160)는 상기 변속 유닛에 연결되어 상기 회전력을 직선 구동력으로 변환시킨다. 일 실시예에 있어서, 로드 샤프트(160)의 일단부에는 랙(162)이 구비되며, 상기 변속 유닛의 제3 기어는 로드 샤프트(160)의 랙(162)과 치합될 수 있다. 로드 샤프트(160)의 타단부는, 비록 직접적은 아니라도, 공정 챔버의 게이트를 개폐하기 위한 개폐 부재(도시되지 않음)가 연결될 수 있다.
따라서, 로드 샤프트(160)는 상기 제3 기어의 회전에 따라 상승 또는 하강하게 되고, 이에 따라, 상기 개폐 부재는 상기 게이트를 개폐시킬 수 있게 된다.
도 6은 도 3의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 상승 동작을 나타내는 상부 사시도이며, 도 7은 도 3의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 상승 동작을 나타내는 하부 사시도이고, 도 8은 도 3의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 상승 동작 시 피스톤 가이드의 동작을 나타내는 단면도이며, 도 9는 도 3의 고진공 슬릿 게이트 밸브의 상승 동작 시 로드 샤프트의 동작을 나타내는 단면도이다.
도 6 내지 도 9를 참조하면, 압력유체가 압력유체 출입포트를 통해 상부측 실린더 챔버에 공급되면, 피스톤(110)은 상기 상부측 실린더 챔버에 공급된 압력 유체에 의해 피스톤 실린더 내에서 하강하게 된다.
피스톤(110)이 상기 피스톤 실린더 내에서 하강함에 따라 피스톤 가이드(120)는 일체적으로 하강하게 된다. 이에 따라, 피스톤 가이드(120)의 랙(122)과 치합한 제1 나사(132)가 회전하고, 제1 나사(132)와 치합한 제2 나사(134)가 회전하게 된다.
제2 나사(134)의 회전력은 자성 유체 유닛(140)을 거쳐 제3 나사(150)에 전달되고, 제3 나사(150)가 회전함에 따라, 제3 나사(150)와 치합한 로드 샤프트(160)의 랙(162)이 상승하고, 이에 따라 로드 샤프트(160)가 상승하게 된다.
고진공 슬릿 게이트 밸브의 하강 동작은 고진공 슬릿 게이트 밸브의 상승 동작과 반대이다. 구체적으로, 압력유체가 압력유체 출입포트를 통해 하부측 실린더 챔버에 공급되면, 피스톤(110)은 상기 하부측 실린더 챔버에 공급된 압력 유체에 의해 피스톤 실린더 내에서 상승하게 된다.
피스톤(110)이 상기 피스톤 실린더 내에서 상승함에 따라 피스톤 가이드(120)는 일체적으로 상승하게 된다. 이에 따라, 피스톤 가이드(120)의 랙(122)과 치합한 제1 나사(132)가 회전하고, 제1 나사(132)와 치합한 제2 나사(134)가 회전하게 된다.
제2 나사(134)의 회전력은 자성 유체 유닛(140)을 거쳐 제3 나사(150)에 전달되고, 제3 나사(150)가 회전함에 따라, 제3 나사(150)와 치합한 로드 샤프트(160)의 랙(162)이 하강하고, 이에 따라 로드 샤프트(160)가 하강하게 된다.
상술한 바와 같이, 고진공 슬릿 게이트 밸브는 상대적으로 적은 공압으로도 확실하게 게이트를 개폐시킬 수 있다. 또한, 상기 고진공 슬릿 게이트 밸브에는 자성유체 씰이 적용되어 제품의 수명을 연장시키고 생산성을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 출원의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 출원의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (8)

  1. 상부에 로드 커버를 구비하고, 상기 로드 커버에는 하부측 실린더 챔버에 연통하는 압력유체 출입포트가 구비되는 피스톤 실린더 내에서 승하강하는 피스톤;
    상기 피스톤의 일측부에 연결되며, 상기 피스톤 실린더의 외부로 연장하는 피스톤 가이드;
    상기 피스톤 가이드에 연결되어 상기 피스톤 가이드의 직선 구동력을 회전력으로 변환시키며, 상기 피스톤 가이드의 랙과 치합하는 제1 기어 유닛, 상기 제1 기어 유닛의 출력축의 일부를 감싸는 자성유체 씰을 갖는 자성 유체 유닛 및 상기 제1 기어 유닛의 출력축의 단부에 구비되는 제2 기어 유닛을 포함하는 변속 유닛; 및
    상기 변속 유닛에 연결되어 상기 회전력을 직선 구동력으로 변환시키며, 상기 제2 기어 유닛과 치합하는 랙을 갖는 로드 샤프트를 포함하는 고진공 슬릿 게이트 밸브.
  2. 제1항에 있어서, 상기 피스톤 실린더의 하부에는 헤드 커버가 구비되고, 상기 피스톤 실린더의 상부에는 로드 커버가 구비되는 것을 특징으로 하는 고진공 슬릿 게이트 밸브.
  3. 삭제
  4. 제2항에 있어서, 상기 헤드커버에는 상부측 실린더 챔버에 연통되는 압력유체 출입포트가 구비되는 것을 특징으로 하는 고진공 슬릿 게이트 밸브.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 기어 유닛은
    상기 피스톤 가이트의 랙과 결합하는 제1 기어; 및
    상기 제1 기어와 치합하는 제2 기어를 포함하고,
    상기 자성 유체 유닛의 자성유체 씰은 상기 제2 기어의 회전축의 일부를 감싸는 것을 특징으로 하는 고진공 슬릿 게이트 밸브.
  6. 삭제
  7. 제5항에 있어서, 상기 제2 기어 유닛은 상기 제2 기어의 출력축의 단부에 구비되는 제3 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 고진공 슬릿 게이트 밸브.
  8. 제1항에 있어서, 상기 자성 유체 유닛은 상기 제1 기어 유닛의 출력축 상에구비되는 자석, 상기 자석의 축방향 양측에 배치되는 자극 부재 및 상기 자석 및 상기 자극 부재 사이에 구비되는 자성 유체를 포함하는 것을 특징으로 하는 고진공 슬릿 게이트 밸브.
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