KR101199759B1 - 유증기 측정 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 흡착 및 흡수 기술을 이용하여 유증기를 구성하는 유분 및 수분 전량을 흡착 및 흡수시켜 이를 측정, 분석함으로써 유증기의 농도를 정확하게 측정 가능한 유증기 측정 장치 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
이를 구현하기 위한 본 발명의 유증기 측정 장치는, 유증기 처리 장치를 통과하여 대기중으로 배출되는 유증기에 포함된 유분과 수분의 함량을 측정하기 위한 유증기 측정 장치에 있어서, 상기 유증기에 포함된 유분을 포집하기 위한 복수의 활성탄 필터로 이루어진 제1 여과부; 상기 제1 여과부를 거쳐 유분이 제거된 유증기에 포함된 수분을 제거하기 위한 실리카 겔 또는 제올라이트를 포함하는 수분흡착 필터로 이루어진 제2 여과부; 상기 제1 여과부와 제2 여과부를 통과한 유증기의 유분과 수분을 최종적으로 포집하기 위한 제3 여과부; 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부를 통과하며 흡입되는 유증기의 유량을 측정하는 유량측정부; 상기 유증기의 통과 전후의 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부의 무게 변화을 측정하는 무게측정부; 및 상기 유량측정부와 무게측정부에서의 측정값을 기준으로 상기 유증기의 농도를 산출하는 연산부를 포함한다.

Description

유증기 측정 장치 및 방법{Apparatus and Method for Measurement of Lubricant Oil Vapor}
본 발명은 유증기 측정 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 베어링의 윤활계통 및 윤활유 저장탱크의 상부로부터 온도상승 및 고속회전으로 인해 발생되는 유증기를 분리하는 유증기 처리 장치 및 공정에 있어서 유증기를 구성하는 유분 및 수분의 함량을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 발전소와 같이 고속으로 회전하는 터빈을 갖추고 있는 시설의 경우 윤활유를 사용하는데, 윤활유는 윤활작용을 하면서 온도가 상승하게 되고, 이 과정에서 다량의 유증기가 발생하게 된다. 이러한 유증기를 대기로 배출시 발생하는 대기오염 문제를 해결하기 위해 유증기 처리 장치에서는 오일성분을 응축 분리하여 처리된 가스를 방출하게 된다.
이 경우 유증기 처리 장치를 거쳐 처리된 기체가 허용 농도 범위 이하의 유분을 포함하고 있는지 여부에 대한 정확한 측정이 요구된다.
그러나 유증기에 포함된 유분과 수분 함량을 정확하게 측정할 수 있는 장치와 방법은 아직 개발되지 않은 상태이다.
종래 고속의 회전으로 인해 유증기가 발생되는 조건에서 적용되는 유증기 측정 방법으로는, ⅰ) 유증기 시료의 일부를 채취하여 분석장비 있는 곳으로 가져가 분석하는 방법과, ⅱ) 유증기가 입자로 존재하는 것을 고려하여 입도분석기기를 이용하여 현장에서 측정하고, 그 입자의 개수를 세어 이로부터 유증기 함량을 추산하는 방법이 있다.
그러나 상기 방법 ⅰ)의 경우, 정확한 분석이 이루어지기 위해서는 유증기 시료를 채취한 조건과 동일한 조건을 유지한 채로 분석장비까지 운송하여야 하며, 그 이동시간도 매우 짧아 유증기 입자간의 충돌 등으로 인한 입자의 성장이나 입자가 채취장비의 벽에 달라붙지 않아야 하는데, 이런 상태를 유지하기란 불가능하다.
그리고 상기 방법 ⅱ)의 경우, 고체 입자가 아닌 액체성 입자를 현장에서 분석 가능한 입도분석기기는 현재로서는 10㎛ 이상의 입자에 대해서만 분석이 가능한데, 실제 대부분의 유증기 입자는 그 이하의 크기로 존재하므로 유증기의 성분 함량의 측정이 불가능하다.
따라서 상기 언급한 어는 방법도 유증기가 발생하여 배출되는 현장에서 유증기에 포함된 유분과 수분 함량을 정확하게 측정하고, 측정된 함량에 따른 배출 기체의 분석이 불가능한 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 흡착 및 흡수 기술을 이용하여 유증기를 구성하는 유분 및 수분 전량을 흡착 및 흡수시켜 이를 측정, 분석함으로써 유증기의 농도를 정확하게 측정 가능한 유증기 측정 장치 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 유증기 측정 장치는, 유증기 처리 장치를 통과하여 대기중으로 배출되는 유증기에 포함된 유분과 수분의 함량을 측정하기 위한 유증기 측정 장치에 있어서, 상기 유증기에 포함된 유분을 포집하기 위한 복수의 활성탄 필터로 이루어진 제1 여과부; 상기 제1 여과부를 거쳐 유분이 제거된 유증기에 포함된 수분을 제거하기 위한 실리카 겔 또는 제올라이트를 포함하는 수분흡착 필터로 이루어진 제2 여과부; 상기 제1 여과부와 제2 여과부를 통과한 유증기의 유분과 수분을 최종적으로 포집하기 위한 제3 여과부; 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부를 통과하며 흡입되는 유증기의 유량을 측정하는 유량측정부; 상기 유증기의 통과 전후의 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부의 무게 변화을 측정하는 무게측정부; 및 상기 유량측정부와 무게측정부에서의 측정값을 기준으로 상기 유증기의 농도를 산출하는 연산부를 포함한다.
이 경우 상기 제1 여과부로 유증기가 유입되는 유증기 유입관에는 상기 유증기의 응축 방지를 위해 상기 유증기를 가열하는 유증기 가열부가 구비된 것으로 구성될 수 있다.
또한 상기 제1 여과부는 8~16 메쉬의 범위를 가지며 100~150g의 수용량을 갖는 제1 활성탄 필터와, 상기 제1 활성탄 필터를 통과하는 유증기 내에 포집되지 않고 배출되는 미량의 유분을 포집하기 위해 8~16 메쉬의 범위를 가지며 20~50g의 수용량을 갖는 제2 활성탄 필터와 제3 활성탄 필터로 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 유증기 측정 방법은, 유증기 처리 장치를 통과하여 대기중으로 배출되는 유증기에 포함된 유분과 수분의 함량을 측정하기 위한 유증기 측정 방법에 있어서, 상기 유증기에 포함된 유분을 포집하기 위한 복수의 활성탄 필터로 이루어진 제1 여과부와, 상기 유증기에 포함된 수분을 제거하기 위한 실리카 겔 또는 제올라이트를 포함하는 수분흡착 필터로 이루어진 제2 여과부와, 상기 제1 여과부와 제2 여과부를 통과한 유증기의 유분과 수분을 최종적으로 포집하기 위한 제3 여과부에 각각 여과물질을 충전하고 초기 무게를 측정하는 단계; 상기 유증기 처리 장치를 통과한 유증기를 진공흡입하여 흡입되는 유증기의 유량을 측정하는 단계; 일정 시간 동안 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부에서 유증기의 유분과 수분을 채취하는 단계; 상기 유증기의 통과 전후의 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부의 무게 변화를 측정하는 단계; 및 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부의 무게 변화량과 상기 유증기의 유량을 기준으로 상기 유증기의 농도를 산출하는 단계를 포함한다.
또한 상기 유증기를 진공흡입하기 전단계에서 상기 제1 여과부로 유입되는 유증기의 온도를 50℃까지 가열하는 단계를 더 포함하는 것으로 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 유증기 측정 장치 및 방법에 의하면, 유증기 처리 장치에서 여과 처리된 유증기에 함유된 유분과 수분의 함량을 유증기의 입자 크기에 상관없이 측정함으로써 대기로 배출되는 유증기의 배출량을 알 수 있고, 이로 인하여 유증기 처리 장치의 효율을 측정함으로써 향후 유증기 처리 장치의 개선에 관한 기본 자료를 제공할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유증기 측정 장치의 구성도,
도 2는 기체 상대습도 변화에 따른 활성탄의 수분 최대 흡착량을 보여주는 그래프,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 유증기 측정 장치에서 유증기 농도 산출 과정을 보여주는 블록 구성도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 유증기 측정 방법의 순서도이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유증기 측정 장치의 구성도, 도 2는 기체 상대습도 변화에 따른 활성탄의 수분 최대 흡착량을 보여주는 그래프, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 유증기 측정 장치에서 유증기 농도 산출 과정을 보여주는 블록 구성도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 유증기 측정 장치는, 베어링의 윤활계통 및 윤활유 저장탱크의 상부로부터 온도상승 및 고속회전으로 인해 발생되는 유증기의 오일성분을 응축하여 분리 처리하는 유증기 처리 장치로부터 대기중으로 배출되는 유증기에 함유된 유분과 수분의 함량을 측정하기 위한 장치이다.
상기 유증기 측정 장치는, 도 1과 도 3에 도시된 바와 같이 상기 유증기에 포함된 유분을 포집하기 위한 제1 여과부(100), 상기 제1 여과부(100)를 거쳐 유분이 제거된 유증기에 포함된 수분을 제거하기 위한 제2 여과부(200), 상기 제1 여과부(100)와 제2 여과부(200)를 통과한 유증기의 유분과 수분을 최종적으로 포집하기 위한 제3 여과부(300), 상기 제1 여과부(100)와 제2 여과부(200) 및 제3 여과부(300)을 통과하여 흡입되는 유증기의 유량을 측정하는 유량측정부(400), 상기 유증기를 흡입하는 진공흡입부(500), 상기 유증기의 통과 전후의 상기 제1 여과부(100)와 제2 여과부(200) 및 제3 여과부(300)의 무게 변화를 측정하는 무게측정부(600), 상기 유량측정부(400)와 무게측정부(600)에서의 측정값을 기준으로 상기 유증기의 농도를 산출하는 연산부(700) 및 연산 결과를 표시하는 표시부(800)를 포함한다.
그리고 상기 제1 여과부(100), 제2 여과부(200), 제3 여과부(300), 유량측정부(400) 및 진공흡입부(500)는 유증기 흐름관(50)을 통해 연결되고, 상기 제1 여과부(100)의 입구측에 위치한 유증기 흐름관(50)에는 유증기 처리 장치(미도시됨)로부터 배출되는 유증기 중 일부의 샘플 기체가 유입되는 유증기 유입관(10)과의 연결을 위한 연결포트(20)와 유증기의 유입을 단속하는 기체유입밸브(40)가 구비된다.
또한 상기 유증기 유입관(10)의 둘레에는 유입되는 유증기의 응축을 방지하기 위한 유증기 가열부(30)가 구비된다. 상기 유증기 가열부(30)는 상기 유증기 유입관(10)의 외측면을 둘러싸며 히팅 테이프(Heating tape)가 구비된 것으로 구성될 수 있다. 상기 유증기 가열부(30)는 유증기 유입관(10)으로 유입되는 유증기를 약 50℃까지 가열시켜 상기 제1 여과부(100)로 유입되는 샘플 기체의 응축을 방지함으로써 흡입되는 샘플 기체의 유량 및 흐름을 원활히 하는 작용을 한다.
상기 제1 여과부(100)는 복수의 활성탄 필터로 구성될 수 있으며, 본 실시예에서는 제1 활성탄 필터(110)와 제2 활성탄 필터(120) 및 제3 활성탄 필터(130)가 유증기 흐름관(50)을 따라 순차로 배치된 것으로 구성되어 있다.
상기 제1 활성탄 필터(110)는 8~16 메쉬(mesh)의 범위와 100~150g의 수용량을 갖는 활성탄이 내부에 충전되며 유증기에 함유된 유분을 포집하는 역할을 한다.
상기 제1 활성탄 필터(110)의 내부에 충전되는 활성탄은 소수성의 특성을 가진 원자력급 활성탄으로 구성되어 있다.
상기 제2 활성탄 필터(120)는 상기 제1 활성탄 필터(110)를 통과하는 유증기 내에 포집되지 않고 배출되는 미량의 유분을 2차로 포집하기 위한 것으로 8~16 메쉬의 범위와 20~50g의 수용량을 갖는 원자력급 활성탄으로 구성되어 있다.
그리고 상기 제3 활성탄 필터(130)는 제2 활성탄 필터(120)와 동일하게 구성된 것으로, 상기 제1 활성탄 필터(110)와 제2 활성탄 필터(120)를 통과하면서 포집되지 않은 유분을 3차로 포집하는 역할을 한다.
상기 제2 활성탄 필터(120)와 제3 활성탄 필터(130)는 상기 제1 활성탄 필터(110)에서 포집되지 않고 배출되는 미량의 유분을 재포집하는 기능을 함으로써 유증기 내에 오일과 수분을 완전히 분리하는 역할을 한다.
상기 제1 활성탄 필터(110)와 제2 활성탄 필터(120) 및 제3 활성탄 필터(130) 내에 충전되는 원자력급 활성탄은 비극성 물질로 소수성의 특성을 갖는 것으로, 활성탄 표면에 수증기가 전량 흡착되는 것은 아니고, 어떤 임의의 상대습도 범위 이상에서 수증기가 미세기공에 모세관 응축(Capillary condensation)에 의해 많은 수증기가 포획되며, 상대습도 20% 이하에서 활성탄에 수분 흡착량은 매우 낮다고 할 수 있다.
활성탄의 기체 상대습도 변화에 따른 수분 최대 흡착량은 도 2에 나타내었다. 도 2에는 휘발성 물질인 TEDA(Tri-Ethylene Diamine)이 각각 0%, 2%, 5% 침착된 활성탄의 상대습도 변화에 따른 수증기 흡착량을 나타낸 것이다.
상기 제2 여과부(200)는 상기 제1 여과부(100)를 거쳐 유분이 제거된 유증기에 포함된 수분을 제거하기 위한 것으로, 실리카 겔(Silica Gel) 또는 제올라이트(Zeolite)를 포함하는 수분흡착 필터로 구성될 수 있다.
상기 제3 여과부(300)는 상기 제1 여과부(100)와 제2 여과부(200)를 통과한 유증기의 유분과 수분을 최종적으로 포집함으로써 수분 및 유분을 확인하기 위한 것으로, 본 실시예에서는 휘발성 유기물 성분 분석에 사용되는 팀블 필터(Thimble filter)로 구성되어 있다.
상기 유량측정부(400)는 유증기 유입관(10)을 통해 유입되어 유증기 흐름관(50)을 따라 흐르는 유증기의 유량을 측정하기 위한 것으로, 본 실시예에서는 측정범위 0~20 liter/min인 유량측청기(Mass Flow Meter)로 구성되어 있다.
상기 진공흡입부(500)는 유증기 유입관(10)과 유증기 흐름관(50)을 따라 일정 유량의 샘플 기체를 흡입하고 진공도 조절을 목적으로 한 진공 펌프로 구성될 수 있으며, 본 실시예에서는 0~50 liter/min을 갖는 진공 펌프로 구성되어 있다.
상기 무게측정부(600)는 상기 제1 여과부(100)와 제2 여과부(200) 및 제3 여과부(300)에 충전되는 활성탄, 실리카 겔 또는 제올라이트, 팀블의 유증기 통과 전후의 무게 변화를 측정하기 위한 것으로, 본 실시예에서는 정밀도 0.1 mg까지 측정 가능한 저울을 사용하였다.
상기 연산부(700)는 상기 유량측정부(400)와 무게측정부(600)에서의 측정값을 기준으로 상기 유증기의 농도를 산출하기 위한 것이다.
그리고 유증기 측정 장치를 유증기 처리 장치의 입구측과 배출측에 각각 설치하고 유증기 처리 장치의 통과 전후에서의 유증기 무게 변화를 측정할 경우, 상기 연산부(700)에서 유증기 제거율의 산출 또한 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 연산부(700)에서 산출한 유증기 농도와 유증기 제거율은 표시부(800)를 통해 현시됨으로써 외부에서 용이하게 확인 가능하도록 구성될 수 있다.
상기 유증기의 농도와 유증기 제거율은 다음 [수학식 1]과 [수학식 2]에 의해 산출될 수 있다.
Figure 112010065114877-pat00001
Figure 112010065114877-pat00002
이하에서는 상기와 같이 구성된 유증기 처리 장치를 이용한 유증기 측정 방법에 대해 설명한다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 유증기 측정 방법의 순서도이다.
먼저, 제1 여과부(100)를 구성하는 제1 활성탄 필터(110)와 제2 활성탄 필터(120) 및 제3 활성탄 필터(130)에 각각 일정량의 원자력급 활성탄을 충전하고, 각 활성탄 필터(110,120,130)에 사용한 활성탄의 초기 무게를 정밀도 0.1 mg까지 측정 가능한 저울을 사용하여 측정한다. 또한 제2 여과부(200)를 구성하는 실리카 겔 또는 제올라이트를 충전하고 초기 무게를 측정하고, 제3 여과부(130)를 구성하는 팀블 필터에도 상기와 마찬가지로 여과물질을 충전하고 초기 무게를 측정한다(S 10).
다음으로, 유증기 흐름관(50)에 설치된 기체유입밸브(40)를 잠근 상태에서 유증기 흐름관(50)의 연결포트(20)에 유증기 유입관(10)을 연결한다(S 20).
그리고 유증기 측정 장치로 유입되는 유증기의 응축을 방지하기 위하여 유증기 유입관(10) 둘레에 구비된 유증기 가열부(30)를 이용하여 유증기 유입관(10) 내부의 유증기를 50℃까지 가열한다(S 30).
그 후, 진공흡입부(500)의 진공 펌프를 가동함과 동시에 상기 기체유입밸브(40)를 개방하고, 유증기 흐름관(50)을 따라 흡입되는 유증기의 유량을 유량측정부(400)에서 측정한다(S 40).
다음 단계로, 일정 시간 동안 상기 유증기에 포함된 유분과 수분을 상기 제1 여과부(100)와 제2 여과부(200) 및 제3 여과부(300)에서 포집 및 흡착한다(S 50).
일정 시간 유증기에 포함된 유분과 수분을 채취한 후에는 진공흡입부(500)의 가동을 중단시킴과 동시에 기체유입밸브(40)를 잠그고, 유증기 흐름관(50)의 연결포트(20)에서 유증기 유입관(10)을 분리한다(S 60).
그 후, 상기 제1 여과부(100)와 제2 여과부(200) 및 제3 여과부(300)의 무게를 측정하고 최초 무게와 비교하여 무게 증가량을 계산한다(S 70).
그리고 유량측정부(400)에서 측정된 유증기의 유량과 상기 유분과 수분의 무게 증가량을 기준으로 유증기 농도 및 유증기 제거율을 산출함으로써 유증기 측정 단계를 완료하게 된다(S 80).
상기와 같이 본 발명은 유증기에 포함된 유분을 포집할 수 있는 원자력급 활성탄과 수분을 포집할 수 있는 실리카 겔 또는 제올라이트를 이용한 유증기 측정 장치를 구성하고, 이를 유증기 처리 장치의 입구측과 출구측에 설치하여 일정량의 유증기를 샘플링하여 유증기 입자 크기에 무관하게 총량을 포집, 분석함으로써 유증기 처리 장치의 성능을 측정하고 향후 유증기 처리 장치의 개선에 관한 기본 자료를 제공할 수 있게 된다.
10 : 유증기 유입관 20 : 연결 포트
30 : 유증기 가열부 40 : 기체유입밸브
50 : 유증기 흐름관 100 : 제1 여과부
110 : 제1 활성탄 필터 120 : 제2 활성탄 필터
130 : 제3 활성탄 필터 200 : 제2 여과부
300 : 제3 여과부 400 : 유량측정부
500 : 진공흡입부 600 : 무게측정부
700 : 연산부 800 : 표시부

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 유증기 처리 장치를 통과하여 대기중으로 배출되는 유증기에 포함된 유분과 수분의 함량을 측정하기 위한 유증기 측정 장치에 있어서,
    상기 유증기에 포함된 유분을 포집하기 위한 복수의 활성탄 필터로 이루어진 제1 여과부;
    상기 제1 여과부를 거쳐 유분이 제거된 유증기에 포함된 수분을 제거하기 위한 실리카 겔 또는 제올라이트를 포함하는 수분흡착 필터로 이루어진 제2 여과부;
    상기 제1 여과부와 제2 여과부를 통과한 유증기의 유분과 수분을 최종적으로 포집하기 위한 제3 여과부;
    상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부를 통과하며 흡입되는 유증기의 유량을 측정하는 유량측정부;
    상기 유증기의 통과 전후의 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부의 무게 변화을 측정하는 무게측정부; 및
    상기 유량측정부와 무게측정부에서의 측정값을 기준으로 상기 유증기의 농도를 산출하는 연산부;를 포함하되,
    상기 제1 여과부로 유증기가 유입되는 유증기 유입관에는 상기 유증기의 응축 방지를 위해 상기 유증기를 가열하는 유증기 가열부가 구비된 것을 특징으로 하는 유증기 측정 장치.
  3. 유증기 처리 장치를 통과하여 대기중으로 배출되는 유증기에 포함된 유분과 수분의 함량을 측정하기 위한 유증기 측정 장치에 있어서,
    상기 유증기에 포함된 유분을 포집하기 위한 복수의 활성탄 필터로 이루어진 제1 여과부;
    상기 제1 여과부를 거쳐 유분이 제거된 유증기에 포함된 수분을 제거하기 위한 실리카 겔 또는 제올라이트를 포함하는 수분흡착 필터로 이루어진 제2 여과부;
    상기 제1 여과부와 제2 여과부를 통과한 유증기의 유분과 수분을 최종적으로 포집하기 위한 제3 여과부;
    상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부를 통과하며 흡입되는 유증기의 유량을 측정하는 유량측정부;
    상기 유증기의 통과 전후의 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부의 무게 변화을 측정하는 무게측정부; 및
    상기 유량측정부와 무게측정부에서의 측정값을 기준으로 상기 유증기의 농도를 산출하는 연산부;를 포함하되,
    상기 제1 여과부는,
    8~16 메쉬의 범위를 가지며 100~150g의 수용량을 갖는 제1 활성탄 필터와,
    상기 제1 활성탄 필터를 통과하는 유증기 내에 포집되지 않고 배출되는 미량의 유분을 포집하기 위해 8~16 메쉬의 범위를 가지며 20~50g의 수용량을 갖는 제2 활성탄 필터와 제3 활성탄 필터로 이루어진 것을 특징으로 하는 유증기 측정 장치.
  4. 유증기 처리 장치를 통과하여 대기중으로 배출되는 유증기에 포함된 유분과 수분의 함량을 측정하기 위한 유증기 측정 방법에 있어서,
    상기 유증기에 포함된 유분을 포집하기 위한 복수의 활성탄 필터로 이루어진 제1 여과부와, 상기 유증기에 포함된 수분을 제거하기 위한 실리카 겔 또는 제올라이트를 포함하는 수분흡착 필터로 이루어진 제2 여과부와, 상기 제1 여과부와 제2 여과부를 통과한 유증기의 유분과 수분을 최종적으로 포집하기 위한 제3 여과부에 각각 여과물질을 충전하고 초기 무게를 측정하는 단계;
    상기 제1 여과부로 유입되는 유증기의 온도를 50℃까지 가열하는 단계;
    상기 유증기 처리 장치를 통과한 유증기를 진공흡입하여 흡입되는 유증기의 유량을 측정하는 단계;
    일정 시간 동안 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부에서 유증기의 유분과 수분을 채취하는 단계;
    상기 유증기의 통과 전후의 상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부의 무게 변화를 측정하는 단계; 및
    상기 제1 여과부와 제2 여과부 및 제3 여과부의 무게 변화량과 상기 유증기의 유량을 기준으로 상기 유증기의 농도를 산출하는 단계;
    를 포함하는 유증기 측정 방법.
  5. 삭제
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