KR101191846B1 - Article transport apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 물품 반송 장치에 관한 것으로서, 물품(C)을 수납하는 수납부(14)가 종횡으로 설치된 수납 선반(S)의 앞면 측에 설정된 주행 경로(15)를 따라 주행 가능한 주행 대차(44)와, 주행 대차(44)에 설치되고, 주행 대차(44)에 세워져 설치된 승강 마스트(45)를 따라 승강 가능하며, 또한 수납 선반 측으로 돌출하는 돌출 위치(P1)와 주행 경로 측으로 퇴피하는 퇴피 위치(PO)에 걸쳐서 출퇴(出退) 가능한 물품 탑재체(57)를 포함하는 물품 반송 장치로서, 물품 탑재체(57)가, 출퇴 조작되는 탑재체 본체(30)와 물품(C)을 탑재 지지하는 지지체(34)를 포함하고, 지지체(34)가 탑재체 본체(30)의 출퇴 방향을 따라 이동 가능하며, 또한 그 이동 방향의 초기 위치(Pn)로 복귀 가압된 상태에서 탑재체 본체(30)에 설치되어 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an article carrying apparatus, wherein a traveling trolley (44) capable of traveling along a traveling route (15) set on the front side of a storage shelf (S) in which a storage section (14) for storing an article (C) is provided in a vertical direction and a horizontal direction (S) is provided. And a retracted position (P1) protruding toward the storage shelf side and retracting along the elevating mast 45 provided on the traveling cart 44 and mounted on the traveling cart 44 and protruding toward the storage shelf side ( An article carrying apparatus including an article mounting body 57 which can be pulled out over PO, and the support body 34 mounts and supports the mounting body main body 30 and the article C on which the article mounting body 57 is moved in and out. ), The support body 34 is movable in the withdrawal direction of the mounting body main body 30, and is attached to the mounting body main body 30 in a state of being pressed back to the initial position Pn in the moving direction.
Description
본 발명은, 수납부에 수납되어 있는 물품을 인출하는 인출 처리 및 수납부에 물품을 수납하는 수납 처리를 행하는 물품 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an article carrying apparatus for carrying out a drawing process for taking out an article stored in a storing section and a storing process for storing an article in a storing section.
전술한 물품 반송 장치는, 물품을 아래쪽으로부터 탑재 지지하는 물품 탑재체를 사용하여 수납 선반의 수납부로부터 물품을 인출하는 인출 처리, 혹은 수납부에 물품을 수납하는 수납 처리를 행한다. 그러므로, 물품 반송 장치는, 물품 탑재체가 설치된 주행 대차를 수납 선반의 앞면 측에 설정된 주행 경로를 따라 주행시키고, 주행 대차에 세워져 설치된 승강 마스트를 따라 물품 탑재체를 상하 방향으로 승강시키고, 물품 탑재체를 수납 선반 측으로 돌출하는 돌출 위치와 주행 경로 측으로 퇴피하는 퇴피 위치에 걸쳐서 출퇴시킨다.The above-mentioned article conveying apparatus performs the extraction process which draws an article out of the accommodating part of a storage shelf, or the storing process which accommodates an article in a accommodating part using the article mounting body which mounts and supports an article from below. Therefore, the article carrying apparatus travels along the traveling route set on the front side of the storage shelf, and raises and lowers the article mounting body in the up and down direction along the elevating mast installed on the traveling cart, thereby storing the article mounting body. Retracting is carried out over the protruding position protruding toward the lathe side and the retracting position evacuating to the traveling path side.
수납 처리에서는, 수납 선반의 앞면 측의, 물품을 수납할 수납부에 대응하는 위치에서, 물품 탑재체를 돌출 위치까지 돌출시켜서, 물품 탑재체에 탑재되어 있는 물품을 수납 대상의 수납부 공간에 위치시킨다. 그 상태에서, 물품 탑재체를 하강 개시 위치로부터 하강 종료 위치까지 하강시킨 후, 물품 탑재체를 퇴피 위치까지 퇴피시킨다. 물품 탑재체를 하강 개시 위치로부터 하강 종료 위치까지 하강시키는 동안, 물품 탑재체로부터 수납부를 형성하는 지지 부재에 물품이 이송 탑재된다.In the storing process, the article mounting body is projected to the protruding position at the position corresponding to the housing section to store the article on the front side of the storage shelf, and the article mounted on the article mounting body is placed in the storage part space to be stored. In this state, the article mounting body is lowered from the lowering start position to the lowering end position, and then the article mounting body is retracted to the retracted position. While lowering the article mounting body from the lowering start position to the lowering end position, the article is transported from the article mounting body to the support member forming the housing portion.
인출 처리에서는, 수납 선반의 앞면 측의, 인출 대상의 물품이 수납되어 있는 수납부에 대응하는 위치에서, 물품 탑재체를 돌출 위치까지 돌출시켜서, 수납부에 수납되어 있는 물품의 아래쪽 공간에 위치시킨다. 그 상태에서, 물품 탑재체를 상승 개시 위치로부터 상승 종료 위치까지 상승시킨 후 퇴피 위치까지 퇴피시킨다. 물품 탑재체를 상승 개시 위치로부터 상승 종료 위치까지 상승시키는 동안, 수납부를 형성하는 지지 부재로부터 물품 탑재체에 물품이 이송 탑재된다.In the take-out process, the article mounting body is projected to the protruding position at the position corresponding to the housing section in which the article to be taken out is stored on the front side of the storage shelf and placed in the space below the article stored in the housing section. In that state, the article mounting body is raised from the lift start position to the lift end position and then retracted to the retracted position. While raising the article mounting body from the raising start position to the raising end position, the article is conveyed and mounted on the article mounting body from the supporting member forming the housing portion.
물품 반송 장치가 반송하는 물품은 다양하며, 예를 들면 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판 등을 적층 상태로 수납하는 유리 기판 용기가 물품으로서 반송된다. 유리 기판 용기를 물품으로서 반송하는 경우, 물품 반송 장치는, 정화 공기 통풍 수단 등에 의해 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하도록 구성된 클린룸 내에 설치된다(예를 들면, 일본 특허출원 공개번호 2000-16518호 공보 참조).The article conveyed by the article carrying apparatus is various, for example, the glass substrate container which accommodates the glass substrate used for a liquid crystal display, a plasma display, etc. in a laminated state is conveyed as an article. When conveying a glass substrate container as an article, the article conveyance apparatus is installed in the clean room comprised so that the accommodating part may be kept in a dust-free environment by the purifying air ventilation means etc. (for example, Japanese Patent Application Laid-open No. 2000-16518) Publication).
그런데, 물품의 중량이 무거운 경우, 인출 처리 도중에, 물품 탑재체를 상승 개시 위치로부터 상승 종료 위치까지 상승시키는 동안, 물품이 수납부에서의 물품 지지 부재로부터 물품 탑재체에 이송 탑재될 때, 물품 탑재체에 대한 하중이 증가하고, 주행 대차에 세워져 설치된 승강 마스트 및 주행 대차가 수납 선반 측으로 약간 기울어서 넘어지는 경우가 있다. 그 경우, 돌출 위치에 있는 물품 탑재체가 출퇴 방향으로 돌출 측(수납부의 내측)으로 약간 변위될 경우가 있다.By the way, when the weight of the article is heavy, when the article is transported and mounted from the article supporting member in the storage section to the article mount during the takeout process, while the article mount is raised from the lift start position to the lift end position, The load may increase, and the lifting mast and the running trolley which are mounted on the traveling trolley may fall slightly inclined toward the storage shelf side. In that case, the article mounting body in the protruding position may be slightly displaced to the protruding side (inside the housing) in the retracting direction.
물품 반송 장치가 기울어서 넘어지는 현상은 수납부에 수납되어 있는 물품의 중량이 수납 선반의 물품 지지 부재로부터 물품 탑재체로 이동하는 과정에서 발생한다. 즉, 기울어서 넘어지는 현상이 발생하는 순간에는, 물품의 중량의 일부가 물품 탑재체에 지지되고, 물품의 나머지 중량이 수납 선반의 물품 지지 부재에 의해 지지된 상태로 되어 있다. 특히, 물품 탑재체를 상승시킴으로써 물품 탑재체에 실리는 물품의 중량이 증가하는 것은, 수납 선반의 물품 지지 부재에 실리는 물품의 중량이 감소한다는 의미이다.The phenomenon in which the article conveying apparatus is tilted and falls occurs in the process of moving the weight of the article stored in the receiving portion from the article supporting member of the storage shelf to the article mounting body. That is, at the moment when the tilting phenomenon occurs, a part of the weight of the article is supported by the article mounting body, and the remaining weight of the article is supported by the article supporting member of the storage shelf. In particular, increasing the weight of the article carried on the article mount by raising the article mount means that the weight of the article carried on the article support member of the storage shelf is reduced.
따라서, 물품 반송 장치가 기울어서 넘어지는 현상에 의해 물품 탑재체가 수납부의 내측으로 변위하면, 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여, 수납부의 안쪽으로 밀어넣으려고 하는 밀어넣는 조작력이 작용한다. 또한, 수납 선반의 물품 지지 부재에 실리는 물품의 중량이 감소함으로써, 물품과 물품 지지 부재 사이에 존재하는, 물품 지지 부재에 의한 수평 방향의 외력에 대한 마찰 유지력이 저하된 상태가 된다.Therefore, when the article mounting body is displaced to the inside of the housing part due to the phenomenon that the article carrying device tilts and falls, the pushing operation force to push the inside of the housing part against the article stored in the housing part acts. In addition, the weight of the article carried on the article support member of the storage shelf is reduced, so that the frictional holding force against the external force in the horizontal direction by the article support member existing between the article and the article support member is reduced.
그 결과, 물품 반송 장치가 기울어서 넘어지는 현상이 발생할 때, 물품에 작용하는 수납부의 안쪽으로 밀어넣으려고 하는 밀어넣는 조작력이, 물품과 물품 지지 부재 사이에 존재하는 마찰 유지력을 상회하면, 물품이 수납 선반의 물품 지지 부재와 마찰하면서 미끄러지면서, 물품 탑재체와 일체로 수납부의 안쪽을 향해 이동한다.As a result, when the phenomenon which the article conveyance apparatus inclines and falls occurs, when the pushing operation force which tries to push inward of the accommodating part which acts on an article exceeds the friction holding force which exists between an article and an article support member, While sliding with the article support member of this storage shelf, it slides and moves toward the inside of a storage unit integrally with the article mounting body.
이와 같은 물품의 이동에 의한 마찰 및 미끄러짐의 발생은, 수납 선반이나 물품의 마모를 유발시킴과 동시에, 서로 마찰하면서 미끄러지면서 먼지를 발생시킬 가능성이 있으므로, 특히 클린룸 내에 설치되는 물품의 품질 확보의 측면에서 바람 직하지 못한 현상이다.The occurrence of friction and slippage caused by the movement of the article may cause the wear of the storage shelf or the article and may also generate dust while sliding while rubbing each other. This is not desirable from the side.
그래서, 종래의 물품 반송 장치에서는, 인출 처리에 의해 수납부에 수납되어 있는 물품을 인출할 때, 돌출 위치에 있는 물품 탑재체에 대한 하중이 증가해도 물품 탑재체가 가능한 한 돌출 위치로부터 변위하지 않도록, 승강 마스트의 강성을 높이거나 승강 마스트의 장착 구조를 견고하게 하거나 주행 대차의 접지(接地) 안정성을 향상시키는 등의 대책을 강구하고 있다.Therefore, in the conventional article carrying apparatus, when taking out the article stored in the storage unit by the withdrawal process, even if the load on the article mounting body in the protruding position increases, the article mounting body is raised and lowered as far as possible from the protruding position. Measures are taken to increase the rigidity of the mast, to strengthen the mounting structure of the lifting mast, and to improve the ground stability of the traveling truck.
그러나, 전술한 바와 같은 대책으로는, 승강 마스트가 기울어서 넘어지는 양을 0(제로)로 하여 물품 반송 장치가 기울어서 넘어지는 현상을 완전하게 없앨 수는 없으므로, 돌출 위치에 있는 물품 탑재체를 출퇴 방향에서 돌출 측으로 전혀 변위하지 않도록 할 수는 없으며, 물품과 수납 선반 사이에 마찰 및 미끄러짐이 발생한다. 특히, 클린룸 내에 설치된 경우, 천정 측으로부터 바닥면 측을 향하는 정화 공기의 기류를 확보할 필요가 있으므로, 승강 마스트의 상단 측을 천정 안내 레일 등에서 천정 측에 연결하도록 구성할 수 없다. 따라서, 승강 마스트는, 그 하단부가 주행 대차에 의해 지지되고, 또한 캔틸레버 상태로 위쪽으로 돌출하는 형태로 설치되므로, 승강 마스트의 상단 측이 하단부를 중심으로 해서 쉽게 떨리며, 전술한 기울어서 넘어지는 현상의 발생을 억제하기 곤란하기 때문에, 물품과 수납 선반 사이에 발생하는 마찰 및 미끄러짐을 억제하기 곤란한 상황이다.However, the countermeasure as described above cannot completely eliminate the phenomenon that the article conveying device tilts and falls, with the amount of tilting the lifting mast tilted to zero (zero), thus leaving the article payload in the projecting position. It is not possible to displace at all from the direction to the protruding side, and friction and slippage occur between the article and the storage shelf. In particular, when installed in a clean room, it is necessary to secure the air flow of the purification air from the ceiling side to the bottom surface side, and therefore, the upper end side of the lifting mast cannot be configured to be connected to the ceiling side by a ceiling guide rail or the like. Therefore, the lifting mast is provided in such a manner that its lower end is supported by the traveling bogie and also protrudes upward in a cantilevered state, so that the upper end side of the lifting mast is easily shaken around the lower end, and the above-described tilting falls. It is difficult to suppress the occurrence of friction and slip between the article and the storage shelf because it is difficult to suppress the occurrence of.
또한, 전술한 유리 기판 용기를 물품으로서 반송할 때는, 최근의 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이의 대화면화에 대응하기 위해 물품이 대형화 및 대중량화되고 있어서, 기울어서 넘어지는 현상을 억제하는 것이 더욱 곤란해지고 있다.Moreover, when conveying the glass substrate container mentioned above as an article, in order to respond to the large screen of a recent liquid crystal display or a plasma display, an article is enlarged and large in weight, and it becomes more difficult to suppress the phenomenon which falls down. have.
본 발명은, 전술한 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 수납 선반의 수납부에 수납되어 있는 물품을 인출할 때, 수납 선반과 물품이 마찰하면서 미끄러지는 것을 가능한 방지할 수 있는 물품 반송 장치를 제공하는 점에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is an article carrying apparatus which can prevent the storage shelf and the article from sliding while rubbing when the article stored in the storage portion of the storage shelf is pulled out. In that it provides.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 물품 반송 장치의 특징적 구성은, 물품을 수납하는 수납부가 종횡으로 설치된 수납 선반의 앞면 측에 설정된 주행 경로를 따라 주행 가능한 주행 대차와, 상기 주행 대차에 설치되고, 상기 주행 대차에 세워져 설치된 승강 마스트를 따라 승강 가능하며, 또한 상기 수납 선반 측으로 돌출하는 돌출 위치와 상기 주행 경로 측으로 퇴피하는 퇴피 위치에 걸쳐서 출퇴 가능한 물품 탑재체를 포함하는 물품 반송 장치로서, 상기 물품 탑재체가, 출퇴 조작되는 탑재체 본체와, 물품을 탑재 지지하는 지지체를 포함하고, 상기 지지체가, 상기 탑재체 본체의 출퇴 방향을 따라 이동 가능하며, 또한 그 이동 방향의 초기 위치로 복귀 가압된 상태에서 상기 탑재체 본체에 설치되어 있는 점에 있다.A characteristic configuration of the article carrying apparatus according to the present invention for achieving the above object is a traveling trolley which can run along a traveling route set on the front side of a storage shelf vertically and horizontally provided with a storage section for storing articles, and installed in the traveling trolley. An article carrying apparatus, comprising: an article carrying apparatus including an article mounting body capable of lifting up and down along an elevating mast mounted on the traveling cart, and retracting from a projecting position projecting toward the storage shelf side and a evacuation position evacuating to the traveling route side. The payload includes a payload main body configured to withdraw and operate, and a support for mounting and supporting an article, wherein the support is movable along the exit direction of the payload main body and returned to an initial position in the moving direction. It is provided in the payload body.
즉, 수납부에 수납되어 있는 물품을 인출하는 인출 처리를 행할 때, 수납부에 수납되어 있는 물품의 중량이 수납 선반으로부터 물품 탑재체로 이동함에 수반하여, 물품 탑재체에 의해 지지되는 중량의 증가에 따라 승강 마스트가 서서히 수납 선반 측으로 넘어진다. 그리고, 승강 마스트가 기울어서 넘어지는 양에 대응하여 탑재체 본체가 수납부의 안쪽으로 변위한다.That is, when performing the withdrawal process of taking out the article stored in the storage section, the weight of the article stored in the storage section moves from the storage shelf to the article payload, and as the weight supported by the article payload increases, The lifting mast gradually falls to the storage shelf side. Then, the mounting body main body is displaced inward of the housing in response to the amount of the lifting mast tilting and falling down.
전술한 특징적 구성에 의하면, 물품과 접하고 있는 지지체는, 탑재체 본체에 대하여, 그 탑재체 본체의 출퇴 방향을 따라 상대 이동할 수 있다. 따라서, 승강 마스트가 기울어서 넘어짐에 수반하여 탑재체 본체가 수납부의 안쪽(물품 탑재체의 출퇴 방향에서 돌출 측)으로 변위되어도, 물품의 중량의 일부를 지지하고 있는 지지체는 수납부에서 출퇴 방향으로 이동하지 않도록 할 수 있다.According to the above-mentioned characteristic structure, the support body which contact | connects an article can move relatively with respect to the mounting body main body along the exiting direction of the mounting body main body. Therefore, even when the lifting mast is inclined and falls, the support body supporting a part of the weight of the article moves in the retracting direction from the storing portion even when the mounting body main body is displaced inwardly in the housing portion (the protruding side in the retracting direction of the article mounting body). You can do it.
요컨대, 승강 마스트가 기울어서 넘어지는 데 수반하는 탑재체 본체의 변위량을, 지지체와 탑재체 본체와의 상대 이동에 의해 상쇄함으로써, 수납부에서의 물품의 출퇴 방향의 위치를 가능한 변화하지 않도록 할 수 있다.In other words, by offsetting the displacement amount of the mounting body main body with which the lifting mast is tilted by the relative movement between the support and the mounting body main body, it is possible to prevent the position of the article in the retracting direction from changing as much as possible.
본 발명에 따른 물품 반송 장치의 다른 특징적 구성은, 복수의 상기 지지체가, 평면에서 볼 때 분산 배치된 상태에서 상기 탑재체 본체에 설치되어 있는 점에 있다.Another characteristic configuration of the article carrying apparatus according to the present invention resides in that a plurality of the supports are provided in the mounting body main body in a state in which they are dispersedly arranged in a plan view.
즉, 복수의 지지체를 탑재체 본체에 평면에서 볼 때 분산 배치함으로써, 복수의 지지체로 물품의 중량을 분담하여 지지하면 되므로, 각 지지체가 분담하는 물품의 중량을 저하시킬 수 있다. 따라서, 각 지지체를 소형화하여, 지지체 및 탑재체 본체로 구성되는 물품 탑재체의 평면에서 볼 때의 형상을, 탑재체 본체의 평면에서 볼 때의 형상과 동일하게 할 수 있다.That is, by distributing the plurality of supports in the planar body in a plan view, the weight of the article may be shared and supported by the plurality of supports, so that the weight of the article shared by each support can be reduced. Therefore, each support body can be miniaturized, and the shape when it sees from the plane of the article mounting body which consists of a support body and a mounting body main body can be made the same as the shape when it sees from the plane of the mounting body main body.
예를 들면, 본 특징적 구성에 의한 물품 반송 장치와는 달리, 물품의 하면 전체를 물품 탑재체로 탑재 지지하는 경우를 고려한다. 이 경우, 다운 플로우 방식의 클린룸 내에 설치되는 물품 반송 장치에 있어서, 천정 측으로부터 바닥면 측을 향하는 정화 공기의 기류는 물품 탑재체에 의해 많이 차단되는 문제가 생긴다..For example, unlike the article carrying apparatus by this characteristic structure, the case where the whole lower surface of an article is mounted and supported is considered. In this case, in the article conveying apparatus provided in the downflow type clean room, there exists a problem that the airflow of the purification air from the ceiling side to the bottom surface side is blocked by the article mounting body much.
그런데, 본 특징적 구성에 의한 물품 반송 장치에서는, 전술한 바와 같이, 지지체를 소형화하여, 지지체 및 탑재체 본체로 구성되는 물품 탑재체의 평면에서 볼 때의 형상을, 탑재체 본체의 평면에서 볼 때의 형상과 동일하게 할 수 있다. 따라서, 탑재체 본체의 평면에서 볼 때의 형상을, 천정 측으로부터 바닥면 측을 향하는 정화 공기의 기류를 가능한 차단하지 않는, 평면에서 볼 때의 형상으로 함으로써, 그리고 평면에서 볼 때 복수의 지지체를 탑재체 본체에 분산 배치함으로써, 물품 탑재체에 의한 물품의 확실한 지지와 정화 공기의 기류의 확보를 병행하여 달성할 수 있다.By the way, in the article conveyance apparatus by this characteristic structure, as mentioned above, the support body can be reduced in size, and the shape at the time of planar view of the goods mounting body which consists of a support body and a mounting body main body and the shape at the time of planar view of the mounting body main body The same can be done. Therefore, by making the shape when viewed from the plane of the payload body main body as the shape when viewed from the plane, which does not block the airflow of the purification air from the ceiling side to the bottom surface side as much as possible, and when viewed in plan view, the plurality of supports are mounted. By distributing to the main body, it is possible to achieve both the reliable support of the article by the article mounting body and the securing of the airflow of the purified air.
본 발명에 따른 물품 반송 장치의 또 다른 특징적 구성은, 상기 탑재체 본체는, 상기 출퇴 방향을 따라 신장되는 복수의 봉형 부재를 포함하고, 상기 복수의 지지체는, 상기 복수의 봉형 부재 각각의 상면에 상기 출퇴 방향을 따라 나란히 배치되어 있는 점에 있다.Another characteristic structure of the article carrying apparatus which concerns on this invention WHEREIN: The said mounting body main body contains the some rod-shaped member extended along the said retracting direction, The said some support body is the said upper surface of each said some rod-shaped member, They are located side by side along the exit direction.
즉, 지지체와 탑재체 본체 사이의 상기 출퇴 방향을 따른 상대 이동이, 상기 출퇴 방향을 따라 나란히 배치된 복수의 지지체에 의해 안정적으로 실시된다.That is, relative movement along the said retreat direction between a support body and a mounting body main body is stably performed by the some support body arrange | positioned side by side along the said retreat direction.
본 발명에 따른 물품 반송 장치의 또 다른 특징적 구성은, 상기 지지체는, 상기 탑재체 본체에 고정된 상태로 설치된, 상기 출퇴 방향을 따라 탄성 변형 가능하며 또한 상하 방향으로 두께를 가지는 탄성 부재의 상면부에 고정된 상태로 장착되어 있는 점에 있다.Another characteristic configuration of the article carrying apparatus according to the present invention is that the support is provided on the upper surface portion of the elastic member which is elastically deformable along the exit direction and has a thickness in the vertical direction, which is provided fixed to the mounting body main body. It is mounted in a fixed state.
즉, 지지체와 탑재체 본체 사이에 개재된 탄성 부재가 상기 출퇴 방향을 따라 탄성 변형 가능하므로, 상기 출퇴 방향을 따른 지지체와 탑재체 본체 사이의 상대 이동이 실현된다. 또한, 탄성 부재를 탄성 변형시키는 힘이 없어지면, 지지체가 초기 위치로 복귀한다. 따라서, 수납부에 수납되어 있는 물품을 인출하는 경 우, 물품 반송 장치가 기울어서 넘어지는 데 수반하여 물품 탑재체가 수납 선반의 안쪽으로 변위되어도, 탄성 부재가 탄성 변형됨으로써, 지지체는 물품을 지지한 수납부에 대한 위치를 유지할 수 있다. 이와 같이 하여, 물품이 수납부에서 수납부의 안쪽으로 밀어넣어지는 것을 방지할 수 있다.That is, since the elastic member interposed between the support body and the mounting body main body can be elastically deformed along the exit direction, relative movement between the support body and the mounting body main body along the exit direction is realized. In addition, when there is no force for elastically deforming the elastic member, the support body returns to the initial position. Therefore, in the case of taking out the article stored in the storage section, even if the article mounting apparatus is inclined to fall down and the article mounting body is displaced to the inside of the storage shelf, the support member supports the article by elastically deforming. The position with respect to the housing can be maintained. In this way, the article can be prevented from being pushed into the housing from the housing.
그리고, 탄성 부재는, 하면부가 탑재체 본체에 고정된 상태로 설치되고, 그리고 상면부가 지지체에 고정된 상태로 설치되어 있으므로, 물품 반송 장치가 기울어서 넘어지는 현상에 의해 탑재체 본체가 변위하려고 하는 힘에 의해 탄성 변형된다. 따라서, 지지체를 탑재체 본체에 대하여 상대 이동시키기 위한 특별한 구동 수단을 필요로 하지 않아서, 구성의 간소화를 도모할 수 있다.And since the elastic member is installed in the state where the lower surface part is fixed to the mounting body main body, and the upper surface is installed in the state fixed to the support body, the force of the mounting body main body to displace due to the phenomenon that the article conveying apparatus tilts and falls. By elastic deformation. Therefore, no special driving means for relatively moving the support body relative to the mounting body main body can be achieved, and the configuration can be simplified.
또한, 탄성 부재의 탄성 변형에 의해 지지체와 탑재체 본체 사이의 상대 이동이 실현되므로, 이러한 상대 이동 시에 탑재체 본체 측과 지지체 측 사이에서 부재의 마찰 및 미끄러짐이 발생하지 않아서, 물품 탑재체에서 먼지가 발생할 우려가 적어진다.In addition, since relative movement between the support body and the mounting body main body is realized by elastic deformation of the elastic member, friction and sliding of the member do not occur between the mounting body main body side and the support side side during such relative movement, and dust is generated in the article mounting body. There is less concern.
본 발명에 따른 물품 반송 장치의 또 다른 특징적 구성은, 상기 승강 마스트는, 하단부가 상기 주행 대차에 의해 지지되고, 또한 캔틸레버 상태로 위쪽으로 돌출하는 형태로 설치되어 있는 점에 있다.Another characteristic configuration of the article carrying apparatus according to the present invention is that the lifting mast is provided in such a manner that the lower end portion is supported by the traveling cart and protrudes upward in a cantilevered state.
즉, 승강 마스트의 상단 측을 천정 안내 레일 등에서 천정 측에 연결하도록 구성하지 않아도 되다. 따라서, 천정 측으로부터 바닥면 측을 향하는 정화 공기의 기류를 확보할 필요가 있는 클린룸, 즉 천정 측에 구조물을 설치할 수 없는 다운 플로우 방식의 클린룸에도 본 특징적 구성에 따른 물품 반송 장치를 설치할 수 있 다.In other words, the upper end side of the elevating mast may not be configured to be connected to the ceiling side from the ceiling guide rail or the like. Therefore, the article conveying apparatus which concerns on this characteristic structure can be installed also in the clean room which needs to ensure the airflow of the purification air from the ceiling side to the floor surface side, ie, the down-flow type clean room which cannot install a structure in a ceiling side. have.
다만, 승강 마스트는 그 하단부가 주행 대차에 의해 지지되고, 또한 캔틸레버 상태로 위쪽으로 돌출하는 형태로 설치되므로, 승강 마스트의 상단부는 하단부를 중심으로 하여 쉽게 떨리며, 물품 반송 장치가 기울어서 넘어지는 현상이 쉽게 발생한다.However, since the lower end of the elevating mast is supported by the traveling trolley and protrudes upward in a cantilevered state, the upper end of the elevating mast is easily shaken about the lower end, and the article conveying device tilts and falls. This happens easily.
그런데, 전술한 물품 반송 장치의 특징적 구성에 의해, 수납 선반의 수납부에 수납되어 있는 물품을 인출할 때 승강 마스트가 기울어서 넘어지는 현상이 발생하여 물품 탑재체가 수납부 안쪽으로 변위되어도, 수납 선반과 물품이 마찰하면서 미끄러지는 것을 최대한 방지할 수 있다.By the way, according to the characteristic structure of the above-mentioned goods conveying apparatus, when the article stored in the accommodating part of a storage shelf is pulled out, the lifting mast tilts and falls, and even if an article mounting body is displaced inside an accommodating part, The friction between the article and the article can be prevented as much as possible.
본 발명에 따른 물품 반송 장치의 또 다른 특징적 구성은, 상기 물품을 탑재 지지하는 상기 지지체의 상면에는, 미끄럼 방지용 시트가 장착되어 있는 점에 있다.Another characteristic configuration of the article carrying apparatus according to the present invention resides in that an anti-slip sheet is attached to an upper surface of the support on which the article is mounted.
즉, 미끄럼 방지용 시트에 의해, 물품을 지지체 상에서 확실하게 탑재 지지할 수 있다.That is, the sheet can be reliably mounted on the support by the anti-slip sheet.
이하, 본 발명에 따른 물품 반송 장치의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the Example of the article conveyance apparatus which concerns on this invention is described with reference to drawings.
도 1은 물품 반송 장치가 설치되는 물품 수납 설비의 종단 정면도이다. 도 2는 물품 반송 장치로서의 스태커 크레인의 상면도이다. 도 3의 (a)는, 퇴피 위치에 있을 때의 물품 탑재체와 수용 선반과의 위치 관계를 나타내는 횡단면도이며, 도 3의 (b)는, 돌출 위치에 있을 때의 물품 탑재체와 수용 선반과의 위치 관계를 나타낸 횡단면도이다.1 is a longitudinal front view of an article storage facility in which an article carrying apparatus is installed. 2 is a top view of a stacker crane as the article carrying apparatus. FIG. 3A is a cross-sectional view showing the positional relationship between the article mounting body and the storage shelf when in the retracted position, and FIG. 3B is the position of the article mounting body and the storage shelf when in the protruding position. A cross-sectional view showing the relationship.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 물품 반송 장치로서의 스태커 크레인(V)은 물품 수납 설비(W)에 설치되어 있다. 물품 수납 설비(W)는, 예를 들면 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판 등을 적층 상태로 수납하는 물품으로서의 용기(C)를 수용하여 보관하는 설비이다. 이 경우, 물품 수납 설비(W)는, 청정화된 정화 공기가 천정 측으로부터 바닥 측을 향해 아래 방향으로 흐르는 다운 플로우 방식의 클린룸(1) 내 등, 먼지가 적은 환경에서 용기(C)를 보관한다.As shown in FIG. 1, the stacker crane V as an article carrying apparatus which concerns on this invention is provided in the article storage facility W. As shown in FIG. The article storage facility W is a facility which accommodates and stores the container C as an article which accommodates the glass substrate used for a liquid crystal display, a plasma display, etc. in a laminated state, for example. In this case, the article storage facility W stores the container C in a dust-free environment, such as in the downflow type
다운 플로우 방식의 클린룸(1)에 대하여 설명을 덧붙이면, 클린룸용 순환 통풍 수단(F)은, 클린룸(1)의 측벽(18)의 마루부 가까이에 형성되는 측벽 흡인부(2)와, 클린룸(1)의 천정에 형성되는 천정 분출부(3)를 포함한다. 클린룸용 순환 통풍 수단(F)은, 측벽 흡인부(2)를 통해 흡인한 흡인 공기를 천정 분출부(3)로부터 분출하는 형태로, 정화 공기를 클린룸(1)에 순환시킨다. 클린룸(1)의 마루부는 무공형(無孔形)의 콘크리트에 의해 구성하고 있다.The description will be made of the downflow type
측벽 흡인부(2)는 측벽용 팬 필터 유닛(4)을 포함한다. 천정 분출부(3)는, HEPA 필터 등으로 이루어지고 나란히 배열된 복수의 에어 필터(5)를 포함한다. 또한, 클린룸용 순환 통풍 수단(F)은, 천정 분출부(3)의 위쪽으로 공기 챔버실(6)을 포함하고, 클린룸(1)의 하부와 공기 챔버실(6)을 접속 유로(7)에 의해 연통 접속하고 있다. 또한, 클린룸용 순환 통풍 수단(F)은, 접속 유로(7)에, 클린룸(1)의 공 기를 흡인하도록 순환용 송풍기(8)를 설치하고, 접속 유로(7)에서의 순환용 송풍기(8)의 공기 토출 측 부분에 프리 필터(9)가 설치되어 있다.The side
그 결과, 측벽용 팬 필터 유닛(4) 및 순환용 송풍기(8)가 동작함으로써, 클린룸(1) 내의 공기가 접속 유로(7)에 흡인되고, 이 흡인된 공기가 접속 유로(7)를 유동하여 프리 필터(9)를 통과하여 청정화된 후, 공기 챔버실(6)에 유입되고, 또한 에어 필터(5)를 통과하여 더욱 청정화된 후, 천정 분출부(3)로부터 클린룸(1) 내를 향하여 아래 방향으로 분출된다.As a result, by operating the side wall
따라서, 클린룸(1) 내의 공기가, 측벽용 팬 필터 유닛(4), 프리 필터(9) 및 에어 필터(5)를 통과하면서 전술한 경로를 통해 순환된다. 이에 따라, 정화 공기가 항상 천정 분출부(3)로부터 아래쪽으로 분출된 상태에서 클린룸(1)에 공급되어, 클린룸(1) 내의 청정도가 높은 상태로 유지된다.Therefore, the air in the
또한, 접속 유로(7)에서의 순환용 송풍기(8)의 흡인 측 부분에 외기 도입 유로(10)가 접속된다. 그리고, 외기 도입량 조절용 댐퍼(11)가 외기 도입 유로(10)에 설치된다. 접속 유로(7)에서의 순환용 송풍기(8)의 토출 측 부분[즉, 프리 필터(9)의 하류 측 부분]에 배기 유로(12)가 접속된다. 그리고, 배기량 조절용 댐퍼(13)가 배기 유로(12)에 설치된다. 외기 도입량 조절용 댐퍼(11) 및 배기량 조절용 댐퍼(13) 각각의 개방도를 조절함으로써, 클린룸용 순환 통풍 수단(F)에 의해 순환되는 클린룸(1) 내에서의 정화 공기중의 소정량을 신선한 공기와 교환할 수 있다.Moreover, the outside air
다음에, 물품 수납 설비(W)에 대하여 설명한다.Next, the article storage facility W is demonstrated.
물품 수납 설비(W)는, 클린룸(1) 내에 설치되고, 수납부(14)를 구비하는 물품 수납 선반(S), 스태커 크레인(V), 정화 공기 통풍 수단(B), 공기 유동 공간(20), 및 공기 안내체(17)를 포함하여 구성된다. 스태커 크레인(V)은, 물품 수납 선반(S)의 전방의 주행 경로(15)에서의 마루부를 주행하는 주행 대차(44)와 그 주행 대차(44)에 승강 가능하게 지지된 물품 이송 탑재 장치(46)를 포함한다. 정화 공기 통풍 수단(B)은, 정화 공기를 수납부(14)의 뒤쪽으로부터 주행 경로(15)를 향하여 수납부(14)를 통과하도록 유동시키고, 또한 주행 경로(15) 내를 아래쪽으로 유동시킨 후 배기부(22)로부터 배기하도록 유동시킨다. 공기 유동 공간(20)은, 수납부(14)와는 공기 유동이 불가능한 상태로 구획되고, 또한 주행 경로(15)와는 공기 유동이 가능한 상태로 연통되는 형태로, 수납부(14)의 아래쪽에 물품 수납 선반(S)의 선반 가로 폭 방향의 전체 길이 또는 실질적으로 전체 길이에 걸쳐서 형성된다. 공기 안내체(17)는, 주행 경로(15)를 주행하는 주행 대차(44)와 간섭하지 않도록 설치되어 있다. 구체적으로는, 공기 안내체(17)는, 공기 유동 공간(20)의 상단 측에서의 주행 경로(15) 측의 단부로부터 주행 경로(15) 내로 돌출한다. 다만, 공기 안내체(17)는, 스태커 크레인(V)의 주행 방향에서 볼 때, 주행 대차(44)의 가로 폭 방향(즉, 선반의 안길이 방향)에서의 단부 측 부분의 상부의 높이와 동일한 높이 또는 그보다 위쪽에 위치한다. 여기에 더하여, 공기 안내체(17)는, 물품 수납 선반(S)의 선반 가로 폭 방향의 전체 길이 또는 실질적으로 전체 길이에 걸친 상태로 연장된다.The article storage facility W is provided in the
본 실시예에서는, 2개의 물품 수납 선반(S)을, 각각의 전방 측을 서로 마주 보게 한 상태에서, 또한 상호간에 주행 경로(15)를 형성하기 위해 간격을 둔 상태에서, 주행 경로(15)의 차량 가로 폭 방향(선반의 안길이 방향과 동일한 방향)의 양쪽의 마루부 상에 설치하고 있다. 이들 물품 수납 선반(S) 각각은, 물품으로서의 용기(C)를 수납하며 선반 가로 폭 방향 및 선반 상하 방향으로 복수개 배열된 수납부(14)를 포함한다. 물품 수납 선반(S)에는 선반의 높이 방향을 따른 복수의 지지 기둥이 설치되어 있다. 수납부(14)에서, 용기(C)의 바닥부의 좌우 측부를 받아서 지지하기 위한 지지대(14D)가, 물품 수납 선반(S)의 지지 기둥의 높이 방향의 복수 개소에 설치되어 있다. 지지대(14D)는, 물품 수납 선반(S)의 지지 기둥으로부터 수납부(14)의 내측 방향으로 소정 길이 만큼 돌출되어 있다.In the present embodiment, the
이와 같이 구성된 한쌍의 물품 수납 선반(S)의 측 주위는, 직사각형 통 모양의 주위벽(16)에 의해 둘러싸인다. 주위벽(16)의 하단 측의 개구는 마루부에 의해 폐색되고, 주위벽(16)의 상단 측의 개구는 복수의 수납 선반용 팬 필터 유닛(21)에 의해 폐색된다. 또한, 각 물품 수납 선반(S)의 후부에, 클린룸(1)의 천정 분출부(3)로부터 분출되는 정화 공기를 수납부(14)에 안내하기 위한 유동용 공간(19)이 형성된다.The circumference | surroundings of the pair of article storage shelf S comprised in this way are surrounded by the rectangular cylindrical
다음에, 스태커 크레인(V)에 대하여 설명을 덧붙인다. 도 1~도 3에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(V)은, 주행 경로(15)의 바닥면에 부설된 주행 레일(48) 상을 선반 가로 폭 방향을 따라 주행하는 주행 대차(44)에, 물품 이송 탑재용 물품 이송 탑재 장치(46)의 차량 주행 방향(선반 가로 폭 방향과 동일한 방향)에서의 양 단부 각각을 별개로 승강 가능하게 안내 지지하는 전후 한쌍의 중앙 지지 기둥 체(45)가 세워져 설치되어 있다. 전후 한쌍의 중앙 지지 기둥체(45) 각각은, 차량 주행 방향의 양쪽 면을 차량 주행 방향으로 팽출시킨 곡면 형상으로 형성되어 있고, 전후 한쌍의 중앙 지지 기둥체(45)의 상단부끼리를 상부 프레임(47)에 의해 연결하고 있다.Next, description is added about the stacker crane V. FIG. As shown in FIGS. 1 to 3, the stacker crane V is a traveling
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 정류판으로서의 보조 지지 기둥체(49)를, 주행 대차(44)의, 중앙 지지 기둥체(45)로부터 차량 가로 폭 방향에서의 물품 수납 선반(S)이 존재하는 측으로 이격된 개소에 설치하고 있다. 보조 지지 기둥체(49)는, 차량 주행 방향을 따른 형상을 가지며, 또한 상하 방향의 길이가 중앙 지지 기둥체(45)와 동일하거나 실질적으로 동일하다. 보조 지지 기둥체(49)는, 중앙 지지 기둥체(45)가 위치하는 측과는 반대 측으로 향하는 외면이, 평면에서 볼 때에 있어서 차량 가로 폭 방향으로 팽출시킨 곡면 형상으로 형성된다.As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the article storage shelf S of the
더 설명하면, 중앙 지지 기둥체(45)는, 주행 대차(44)에서의 지지용 부분(44a)의 차량 가로 폭 방향의 중앙부에 세워져 설치된다. 보조 지지 기둥체(49)는, 중앙 지지 기둥체(45)로부터 차량 가로 폭 방향에서의 물품 수납 선반(S)이 존재하는 측으로 이격된 개소에 위치하도록, 주행 대차(44)에서의 지지용 부분(44a)의 차량 가로 폭 방향의 양 단부에 세워져 설치된다.If it demonstrates further, the
또한, 보조 지지 기둥체(49)는, 내면이 차량 주행 방향 및 상하 방향을 따라 평탄하게 형성되고, 외면을 평면에서 볼 때에 있어서 차량 가로 폭 방향의 물품 수납 선반(S)가 위치하는 측으로 원호형으로 팽출시킨 곡면 형상으로 형성한다. 즉, 보조 지지 기둥체(49)는, 평면에서 볼 때 차량 주행 방향의 단부 측일수록 점차 가 늘어지는 끝이 가는 형상을 가지며, 또한 차량 주행 방향 및 상하 방향을 따르는 편평한 모양으로 형성된다.In addition, the
중앙 지지 기둥체(45)와 좌우 양쪽의 보조 지지 기둥체(49)는 복수의 봉형 연결체(50)에 의해 접속된다. 중앙 지지 기둥체(45), 좌우 양쪽의 보조 지지 기둥체(49) 및 복수의 연결체(50)로 본 발명의 승강 마스트가 구성된다. 이와 같이, 본 실시예에서, 승강 마스트는, 그 하단부를 주행 대차(44)에 지지시키고, 또한 캔틸레버 상태로 위쪽으로 돌출하는 형태로 설치되어 있다.The
보조 지지 기둥체(49)는, 중앙 지지 기둥체(45)보다 차량 주행 방향으로 길게 형성된다. 즉, 보조 지지 기둥체(49)의 차량 주행 방향의 안쪽 방향의 측단부가 중앙 지지 기둥체(45)의 차량 주행 방향의 안쪽 방향의 측단부보다 차량 주행 방향의 안쪽 방향 측에 위치하고, 보조 지지 기둥체(49)의 차량 주행 방향의 바깥방향의 측단부가 중앙 지지 기둥체(45)의 차량 주행 방향의 바깥 방향의 측단부보다 차량 주행 방향의 바깥 방향 측에 위치하도록 형성되어 있다.The
도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 이송 탑재 장치(46)는, 수납부(14)와 자기 자신 사이에서 용기(C)를 이송 탑재 가능하다. 구체적으로는, 물품 이송 탑재 장치(46)는, 중앙 지지 기둥체(45)에 의해 안내 지지되는 승강대(55), 상하 축심 주위에 선회 가능한 선회대(56), 선회대(56) 상에 설치된 탑재체(57), 및 탑재체(57)를 출퇴 가능하게 지지하는 링크 기구(58)를 포함하는 포크식 이송 탑재 장치로서 구성된다.As shown in FIG. 3, the article
물품 이송 탑재 장치(46)는, 선회대(56)의 선회에 의해 탑재체(57)를 선회 이동시킬 수 있고, 또한 링크 기구(58)의 신축에 의해 탑재체(57)를 승강대(55) 상의 퇴피 위치(P0)에 퇴피시킨 상태[도 3의 (a) 참조] 및 탑재체(57)를 수납부(14) 측의 돌출 위치(P1)에 돌출된 상태[도 3의 (b) 참조]로 전환 가능하게 구성된다.The article
도 2에 나타낸 바와 같이, 선회대(56)의 선회에 의해 탑재체(57)의 출퇴 이동 방향을 주행 대차(44)의 주행 방향을 따르게 한 상태로 함으로써, 탑재체(57)의 출퇴 이동 방향을 차량 가로 폭 방향으로 한 상태에 비해, 물품 이송 탑재 장치(46)[특히, 링크 기구(58)나 탑재체(57)]의 차량 가로 폭 방향의 폭을 작게 할 수 있다. 따라서, 스태커 크레인(V)을 주행시킬 때는, 물품 이송 탑재 장치(46)를 탑재체(57)의 출퇴 이동 방향을 차량 주행 방향에 따르게 한 상태로 한다.As shown in FIG. 2, the withdrawal movement direction of the
링크 기구(58)는, 한쌍의 조작 링크(53)와, 한쌍의 요동 링크(54)를 포함한다. 한쌍의 조작 링크(53)는, 반송 장치 상하 방향의 축심(59) 주위에서 회전운동 가능하도록, 선회대(56)의 상면에 장착되어 있다. 각 조작 링크(53)는, 선회대(56)에 대하여 나란히 장착되고, 그 배열 방향은 탑재체(57)의 가로 폭 방향[즉, 탑재체(57)의 짧은 축 방향]과 평행하다. 한쌍의 요동 링크(54)의 일단은 한쌍의 조작 링크(53)의 여유단 측(유격단 측)에 연결되고, 타단은 탑재체(57)의 기단부의 하면 측에 별개로 연결된다.The
한쌍의 조작 링크(53, 53)는, 선회대(56)의 하면 측에 설치한 출퇴 전동 모터(도시하지 않음)에 의해 연동되어 축심(59) 주위에서 요동 조작된다. 각 요동 링크(54)는, 조작 링크(53)의 여유단 측에 대해서는 반송 장치 상하 방향의 축심(51) 주위에서, 탑재체(57)의 기단 측에 대해서는 반송 장치 상하 방향의 축 심(52) 주위에서, 각각 상대 회전 운동 가능하게 연결된다.The pair of operation links 53 and 53 are interlocked by a retracting electric motor (not shown) provided on the lower surface side of the swing table 56 and oscillated around the
이에 따라, 링크 기구(58)는, 출퇴 전동 모터에 의해 한쌍의 조작 링크(53, 53)를 연동시켜서 각각의 축심(59) 주위에서 요동 조작되고, 요동하는 한쌍의 조작 링크(53, 53)에 의해 한쌍의 요동 링크(54, 54)를 개재하여 탑재체(57)의 기단 측을 푸시 조작하거나 풀 조작함으로써, 탑재체(57)를 선회대(56)에 대하여 탑재체(57)의 길이 방향으로 출퇴 조작한다.As a result, the
즉, 링크 기구(58)는, 선회대(56)의 선회 조작에 의해 탑재체(57)의 선단 측이 한쪽 물품 수납 선반(S) 또는 다른 쪽 물품 수납 선반(S) 측으로 향하도록 탑재체(57)의 승강대(55)에 대한 방향 조정이 행해진 후에, 도 3의 (b)와 같이 탑재체(57)의 선단 측이 수납부(14)에 닿도록 선회대(56)로부터 물품 수납 선반(S) 측으로 길게 돌출된, 물품 수납 혹은 물품 인출을 위한 돌출 장착한 상태와, 도 3의 (a)와 같이 탑재체(57) 전체가 돌출 장착 상태의 경우보다 선회대(56) 측으로 퇴피 한 물품 반송을 위한 퇴피 장착 상태로 전환 조작된다.That is, the
이와 같이, 탑재체(57)는, 주행 대차(44a)에 세워져 설치된 중앙 지지 기둥체(45) 및 보조 지지 기둥체(49)를 따라 승강 가능하며, 또한 물품 수납 선반(S) 측으로 돌출하는 돌출 위치(P1)와 주행 경로(15) 측에 퇴피하는 퇴피 위치(P0)에 걸쳐서 출퇴 가능하게 구성되어 있고, 본 발명의 물품 탑재체에 해당한다.In this way, the mounting
도 4는 탑재체의 상면도이다. 탑재체(57)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 베이스 부재(31), 봉형 부재로서의 포크체(32), 중간 연결체(33M), 및 선단 연결체(33T)가 연결된 탑재체 본체(30)를 포함한다. 베이스 부재(31)는, 링크 기 구(58)가 연결되는 기단 측 부분이다. 좌우 한쌍의 포크체(32)[좌측 포크체(32L) 및 우측 포크체(32R)]는, 베이스 부재(31)의 좌우 양 단부에 접속된다. 중간 연결체(33M)는, 포크체(32)의 전후 길이 방향의 도중 2개소에서 좌측 포크체(32L) 및 우측 포크체(32R)를 연결한다. 선단 연결체(33T)는, 포크체(32)의 선단부에서 좌측 포크체(32L) 및 우측 포크체(32R)를 연결한다. 즉, 탑재체 본체(30)는, 출퇴 방향을 따라 연장되는 복수의 봉형 부재로서의 포크체(32)를 포함한다.4 is a top view of the payload. As shown in FIG. 4, the mounting
그리고, 탑재체(57)는, 출퇴 조작되는 탑재체 본체(30)와, 물품을 아래쪽으로부터 탑재 지지하는 지지체로서의 스테인리스 플레이트(34)를 포함한다. 이하에 설명하는 바와 같이, 스테인리스 플레이트(34)는, 탑재체 본체(30)의 출퇴 방향을 따라 이동 가능하며, 또한 그 이동 방향의 초기 위치(Pn)에 복귀 가압된 상태로 설치된다.The mounting
스테인리스 플레이트(34)는, 탑재체 본체(30)의 좌측 포크체(32L) 및 우측 포크체(32R)의 상면에서의 선단부로부터 후단부까지의 좌우 6개소, 합계 12개소의 장착 개소에 평면에서 볼 때 분산 배치된 상태로 설치되어 있다. 즉, 복수의 스테인리스 플레이트(34)는, 복수의 봉형 부재로서의 포크체(32) 각각의 상면에, 상기 출퇴 방향을 따라 나란히 배치되어 있다.The
도 5의 (a)는 스테인리스 플레이트의 구조를 나타낸 부분 절개도이며, 도 5의 (b)는 스테인리스 플레이트의 종단면도이다. 각 스테인리스 플레이트(34)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 스테인리스 제의 평판으로 형성되고, 탄성 부재로서의 우레탄 고무(35)의 상면부(35U)에 대하여, 배면을 접착제에 의해 고정시킨 상태로 장착되어 있다. 우레탄 고무(35)는, 출퇴 방향을 따라 탄성 변형 가능하며, 또한 상하 방향으로 두께 T(본 실시예에서는 15[mm]로 하고 있다)를 가진 평면에서 볼 때 정사각형 판형으로 형성되어 있다.Fig. 5A is a partial cutaway view showing the structure of a stainless plate, and Fig. 5B is a longitudinal sectional view of the stainless plate. As shown in FIG. 5, each
탑재체 본체(30)의 좌우의 포크체(32)의 상면에, 오목하게 들어간 장착구(36)가 용접되어 있다. 오목하게 들어간 장착구(36)는, 각 변이 포크체(32)의 가로 폭과 실질적으로 같은 길이를 가지며, 평면에서 볼 때 정사각형의 외측 둘레부(36E)에 의해 우레탄 고무 장착용 오목부를 형성하고 있다. 우레탄 고무(35)의 바닥면은, 오목하게 들어간 장착구(36)의 외측 둘레부(36E)와 우레탄 고무(35)의 외주부의 전후 좌우 개소에 간극이 형성된 상태로 오목하게 들어간 장착구(36)에 대하여 접착제에 의해 면 접착되어 있다. 스테인리스 플레이트(34)의 상면에는, 용기(C)의 바닥부 사이에서 미끄러짐이 쉽게 생기지 않도록, 미끄럼 방지용으로서 수지 시트(37)를 부착하고 있다.The mounting
그리고, 우레탄 고무(35)가 탑재체 본체(30)의 출퇴 방향을 따라 탄성 변형됨으로써, 각 스테인리스 플레이트(34)는, 탑재체 본체(30)의 출퇴 방향을 따라 이동할 수 있고, 또한 변형된 우레탄 고무(35)의 탄성력에 의해 이동 방향의 초기 위치(Pn)로 복귀한다. 즉, 스테인리스 플레이트(34)와 탑재체 본체(30) 사이에 개재된 우레탄 고무(35)가 상기 출퇴 방향을 따라 탄성 변형 가능하므로, 상기 출퇴 방향을 따른 스테인리스 플레이트(34)와 탑재체 본체(30) 사이의 상대 이동이 실현된다.And since the
이와 같이, 물품 탑재체로서의 탑재체(57)가, 출퇴 조작되는 탑재체 본 체(30)에서, 물품으로서의 용기(C)를 탑재 지지하는 지지체로서의 스테인리스 플레이트(34)를, 탑재체 본체(30)의 출퇴 방향을 따라 이동 가능하며, 또한 이동 방향의 초기 위치(Pn)로 복귀 가압된 상태로 설치되어 구성되어 있다. 또한, 지지체로서의 스테인리스 플레이트(34)가, 평면에서 볼 때 분산 배치된 상태에서 탑재체 본체(30)에 설치되어 있고, 또한 탑재체(57)에 고정된 상태로 설치된 탄성 부재로서의 우레탄 고무(35)의 상면부(35U)에 고정된 상태로 장착되어 있다.In this way, in the mounting body
스태커 크레인(V)은, 다음과 같이 용기(C)의 인출 및 수납을 행한다.Stacker crane V performs withdrawal and storage of container C as follows.
즉, 용기(C)의 인출을 행할 때, 주행 대차(44)의 주행과 승강대(55)의 승강을 행함으로써, 선회대(56)가 물품 수납 선반(S)의 앞면을 따라 수평 및 상하 방향으로 이동하고, 탑재체(57)를 물품을 인출할 수납부(14)에 이송한다. 다음에, 선회대(56)가 선회함으로써, 탑재체(57)를 물품을 인출할 수납부(14)에 대응한 소정의 위치 및 장착 방향으로 향하게 한다. 다음에, 탑재체(57)를 링크 기구(58)에 의해 돌출 위치(P1)까지 돌출 조작하고, 탑재체(57)의 선단 측을 수납부(14)에 수납되어 있는 용기(C)의 아래쪽에 들어가게 한다. 다음에, 승강대(55)를 상승시켜서 선회대(56)를 상승 조작함으로써 탑재체(57)를 용기(C)에 대하여 접근시키고, 탑재체(57)의 스테인리스 플레이트(34)[더 정확하게는, 스테인리스 플레이트(34)의 상면에 부착된 수지 시트(37)]가 용기(C)의 하부에 맞닿은 후에도, 승강대(55)의 상승 조작에 의해 선회대(56)를 약간 더 상승시킨다. 그리고, 탑재체(57)에 의해 용기(C)를 수납부(14)의 지지대(14D)로부터 밀어올려서 부상시킴으로써 용기(C)를 탑재체(57)의 스테인리스 플레이트(34)에 탑재한다. 다음에, 탑재체(57)를 링크 기구(58)에 의해 퇴피 위치(P0)까지 퇴피 조작함으로써, 용기(C)를 수납부(14)로부터 인출하고, 용기(C)를 탑재체(57)에 탑재하여 유지한다. 이 상태에서, 승강대(55)의 승강과 주행 대차(44)의 주행에 의해 용기(C)를 물품 반출입부에 반송한다.That is, when the container C is taken out, the swing table 56 is moved horizontally and vertically along the front surface of the article storage shelf S by carrying out the travel of the traveling
용기(C)의 수납을 행할 때, 퇴피 위치(P0)의 탑재체(57)에 용기(C)를 탑재하여 유지하고 있는 상태에서, 주행 대차(44)의 주행과 승강대(55)의 승강을 행함으로써, 선회대(56)를 물품 수납 선반(S)의 앞면을 따라 수평 및 상하 방향으로 이동시켜서, 탑재체(57)를 용기(C)를 수납할 수납부(14)에 이송한다. 다음에, 선회대(56)가 선회함으로써, 탑재체(57)를 수납할 수납부(14)에 대응한 소정의 위치 및 장착 방향으로 향하게 한다. 다음에, 탑재체(57)를 링크 기구(58)에 의해 돌출 위치(P1)까지 돌출시키고, 탑재체(57)의 선단측을 수납부(14)에 들어가도록 한다. 다음에, 승강대(55)를 하강시켜서 선회대(56)를 하강 조작함으로써 탑재체(57)를 수납부(14)에 대하여 접근시켜서, 탑재체(57)에 실려 있는 용기(C)의 바닥부를 수납부(14)의 지지대(14D)에 접촉시킨다. 그 후, 승강대(55)를 하강시켜서 선회대(56)를 약간 더 하강 조작함으로써, 탑재체(57)를 용기(C)로부터 아래쪽으로 이격시킨다. 이에 따라, 용기(C)를 수납부(14)의 지지대(14D)에 탑재하고, 용기(C)를 수납부(14)에 수납한다.When storing the container C, traveling of the traveling
도 6은 용기 인출 처리에 있어서의 스테인리스 플레이트의 탑재체 본체에 대한 위치 변화를 나타낸 도면이다. 스태커 크레인(V)에 의한 용기(C)를 인출할 때에는, 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이, 탑재체(57)를 수납부(14)의 지지대(14D)에 지지되어 있는 용기(C)의 아래쪽 공간에 위치시키기 위하여, 탑재체(57)를 돌출 위치(P1)에 돌출시킨다. 이 상태에서 탑재체(57)를 상승시키면, 수납부(14)에 수납되어 있는 용기(C)의 중량[본 실시예에서는 약 400[kg]~약 1000[kg]으로 되어 있다]이, 돌출 위치(P1)에 위치하는 탑재체(57)의 상승에 수반하여 탑재체(57)로 점차 이동하고, 최종적으로는, 용기(C)의 중량이 완전히 탑재체(57)로 옮겨진다. 탑재체(57)로의 하중이 증가하는 과정에서, 캔틸레버 상태로 윗 방향으로 돌출하는 형태로 주행 대차(44)에 지지되어 있는 중앙 지지 기둥체(45) 및 보조 지지 기둥체(49) 및 주행 대차(44), 즉 스태커 크레인(V)이, 수납부(14)가 설치된 물품 수납 선반(S)에 대하여 약간 기울어서 넘어진다. 이 때, 도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 탑재체 본체(30)가 돌출 위치(P1)로부터 수납부(14)의 내측[탑재체(57)의 출퇴 방향에서 돌출 측]으로 근소한 변위량 L(수mm 정도)만큼 어긋나게 기울어서 넘어질 때 돌출 위치(P1')로 변위하는 상태가 발생한다. 이 기울어서 넘어지는 현상이 생기는 초기 단계에서는, 용기(C)의 중량은 완전히는 탑재체(57)로 옮겨져 있지 않고, 용기(C)의 중량의 일부는 수납부(14)의 지지대(14D)가 부담하고 있으므로, 용기(C)의 바닥부와 수납부(14)의 지지대(14D) 사이에 마찰 유지력이 생길 수 있는 상태이다.It is a figure which shows the position change with respect to the mounting body main body of the stainless steel plate in a container take-out process. When taking out the container C by the stacker crane V, the container C which supports the mounting
그리고, 도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(V)이 기울어서 넘어짐에 따라 탑재체 본체(30)가 돌출 위치(P1)로부터 기울어서 넘어질 때의 돌출 위치(P1')로 변위하는 데 수반하여 복수의 스테인리스 플레이트(34)에 대응하는 각 우레탄 고무(35)가 변위량 L에 해당하는 양만큼 탄성 변형됨으로써, 스테인리스 프 레이트(34)가 용기(C)를 탑재 지지하는 위치를 유지한 채 탑재체 본체(30)가 기울어서 넘어질 때의 돌출 위치(P1')를 향해 수납부(14)의 내측으로 변위하는 것을 허용될 수 있다.And as shown in FIG.6 (b), as stacker crane V tilts and falls, it displaces to the protrusion position P1 'when the mounting body
따라서, 용기(C)의 인출 조작중에 스태커 크레인(V)이 기울어서 넘어지더라도, 우레탄 고무(35)가 탄성 변형됨으로써, 스테인리스 플레이트(34)는 실질적으로 변위하지 않고, 탑재체 본체(30)와 스테인리스 플레이트(34)가 상대 이동한다. 바꾸어 말하면, 용기(C)의 인출 조작중에 스태커 크레인(V)이 기울어서 넘어짐이 생겨서 용기(C)에 대하여 수납부(14)의 안쪽으로 밀어넣는 힘이 작용해도, 우레탄 고무(35)가 탄성 변형되는 것에 의해 용기(C)를 누르는 힘을 흡수하여, 지지대(14D)에 중량의 일부가 지지되어 있는 용기(C)가 선반의 안길이 방향으로 가능한 이동하지 않도록 하면서, 용기(C)를 인출할 수 있고, 용기(C)의 바닥부와 수납부(14)의 지지대(14D)가 서로 마찰하면서 미끄러지는 것을 억제할 수 있다.Therefore, even if the stacker crane V inclines and falls during the take-out operation of the container C, the
이와 같이, 본 실시예에 의하면, 탑재체(57)에 우레탄 고무(35) 및 여기에 지지된 스테인리스 플레이트(34)를 설치하여, 용기(C)를 스테인리스 플레이트(34)에 의해 탑재 지지함으로써, 용기(C)의 중량의 이동중의 스태커 크레인(V)이 기울어서 넘어지는 것에 의한 돌출 위치(P1)의 변화를 우레탄 고무(35)의 탄성 변형에 의해 상쇄하여, 용기(C)의 바닥부와 수납부(14)의 지지대(14D)가 서로 마찰하면서 미끄러지는 것을 방지하여, 먼지의 발생을 억제할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the
그리고, 탑재체(57)가 퇴피 위치(P0)까지 퇴피하여 용기(C)의 인출 처리가 완료될 때까지는, 도 6의 (c)에 나타낸 바와 같이, 우레탄 고무(35)의 탄성 변형이 회복되어서 스테인리스 플레이트(34)가 초기 위치(Pn)로 복귀하고, 용기(C)가 탑재체 본체(30)에서의 적정 탑재 위치[돌출 위치(P1)의 탑재체(57)가 용기(C)에 맞닿은 때의 상대 위치]에 탑재된 상태가 된다.Then, as shown in FIG. 6C, the elastic deformation of the
[다른 실시예][Other Embodiments]
이하, 다른 실시예에 대하여 기술한다.Hereinafter, another Example is described.
(1) 상기 실시예에서는, 물품 반송 장치가, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판 등을 적층 상태로 수납하는 용기를 물품으로서 반송하는 것을 예시했지만, 다른 것을 물품으로서 반송할 수도 있다.(1) In the said Example, although the article conveying apparatus illustrated conveying the container which accommodates the glass substrate used for a liquid crystal display, a plasma display, etc. in a laminated state as an article, you can convey another thing as an article.
(2) 상기 실시예에서는, 탄성 부재가, 평면에서 볼 때 직사각형으로 두께가 15[mm]인 우레탄 고무에 의해 구성된 것을 예시했지만, 탄성 부재의 재질은 우레탄 고무로 한정되지 않고, 인출 처리에 있어서 물품 탑재체가 돌출 위치로부터 수납부 내측으로 변위하는 양의 대소나 물품의 중량에 대응하여 적절하게 선택될 수 있다. 탄성 부재의 형상으로서는, 평면에서 볼 때 원형, 타원형, 삼각형 등 다양한 형태를 고려할 수 있다.(2) In the above embodiment, the elastic member is formed of a urethane rubber having a thickness of 15 [mm] in a rectangular shape in plan view, but the material of the elastic member is not limited to urethane rubber, The article mounting body can be appropriately selected in accordance with the magnitude of the amount of displacement of the article mounting body from the protruding position into the housing portion or the weight of the article. As the shape of the elastic member, various forms such as circular, elliptical, and triangular in plan view can be considered.
(3) 상기 실시예에서는, 지지체가 스테인리스 플레이트에 의해 구성된 것을 예시했지만, 이에 한정되지 않고, 지지체의 재질 및 형상은 다양하게 선택 가능하다.(3) In the said Example, although the support body comprised by the stainless plate was illustrated, it is not limited to this, The material and shape of a support body can be variously selected.
(4) 상기 실시예에서는, 물품 탑재체가 포크체를 포함하여 구성된 것을 예시했지만, 이에 한정되지 않고, 물품 탑재체의 구체적인 구성은 다양하게 선택 가능하다. 예를 들면, 상기 실시예에서는, 탑재체 본체가 포함하는 포크체가 2개의 봉 형 부재로 구성되는 경우의 예를 나타냈으나, 포크체가 3개 이상의 봉형 부재로 구성될 수도 있다.(4) In the above embodiment, the article mounting body is configured to include a fork body, but the present invention is not limited thereto, and the specific configuration of the article mounting body can be variously selected. For example, in the said embodiment, although the fork body which the mounting body main body consists of two rod-shaped members was shown, the fork body may be comprised with three or more rod-shaped members.
(5) 상기 실시예에서는, 승강 마스트가 주행 대차의 주행 방향으로 전후 한쌍 2개 설치된 것을 예시했지만, 이에 한정되지 않고, 승강 마스트가 1개 설치될 수도 있다.(5) In the above embodiment, the lifting masts are provided with two front and rear pairs in the traveling direction of the travel truck, but the present invention is not limited thereto, and one lifting mast may be provided.
(6) 상기 실시예에서는, 지지체와 탑재체 본체 사이에 탄성 부재를 개재시킨 구성을 예시했지만, 이와는 다른 구성에 의해 지지체와 탑재체 본체 사이의 상대 이동을 실현해도 된다. 예를 들면, 물품 탑재체가 탑재체 본체에 고정된 상태로 설치된 슬라이드 기대와, 이 슬라이드 기대의 상부에서, 베어링 등을 개재하여 탑재체 본체의 출퇴 방향을 따라 이동 가능한 지지체로서의 슬라이드 테이블을 포함하고, 이 슬라이드 테이블을 초기 위치로 복귀 가압하는 가압 스프링에 의해 슬라이드 기대와 슬라이드 테이블을 연결하여 구성할 수도 있다.(6) In the said embodiment, although the structure which provided the elastic member between the support body and the mounting body main body was illustrated, the relative movement between a support body and a mounting body main body may be implement | achieved by a different structure. For example, the slide base includes a slide base provided in a state where the article mounting body is fixed to the mounting body main body, and a slide table as a support that can move along the exit direction of the mounting body main body through a bearing or the like at the top of the slide base. The slide base and the slide table may be connected to each other by a pressure spring for pressing the table back to the initial position.
(7) 상기 실시예에서는, 물품 반송 장치가 클린룸에 설치된 것을 예시했지만, 클린룸이 아닌 옥내 환경에 설치될 수도 있다.(7) In the above embodiment, the article carrying apparatus is illustrated in the clean room, but may be installed in the indoor environment instead of the clean room.
(8) 상기 실시예에 있어서, 인출 처리 행하는 경우에, 돌출 위치(P1)까지 돌출된 탑재체(57)를 상승 개시 위치로부터 상승 종료 위치까지 상승시키는 동안의 특정 타이밍에서, 탑재체(57)를 퇴피 위치(PO) 측으로 설정 거리[예를 들면, 탑재체(57)의 변위량 L에 해당하는 거리 Lpull]만큼 퇴피시킬 수도 있다.(8) In the above embodiment, when the drawing process is performed, the
전술한 바와 같이 하면 하기의 작용 및 효과를 얻을 수 있다.If the above-described operation and effect can be obtained.
도 7 및 도 8은 다른 실시예의 용기 인출 처리에서의 탑재체 본체(30)에 대한 스테인리스 플레이트(34)의 위치 변화를 나타낸 도면이다. 이 경우, 도 7의 (a)에 나타낸 상태에서 탑재체(57)를 상승시키면, 수납부(14)에 수납되어 있는 용기(C)의 중량이, 돌출 위치(P1)에 위치하는 탑재체(57)의 상승에 수반하여 탑재체(57)로 점차 이동하는 과정에서, 스태커 크레인(V)이, 수납부(14)가 설치된 물품 수납 선반(S)에 대하여 약간 기울어서 넘어진다. 그리고, 도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이, 탑재체(57)는 돌출 측으로 변위한다. 스태커 크레인(V)이 기울어서 넘어지는 현상이 생기는 초기 단계에서는, 용기(C)의 중량의 대부분이 수납부(14)의 지지대(14D)에 실려 있으므로, 용기(C)와 수납부(14)의 지지대(14D) 사이에 존재하는 마찰 유지력은, 스테인리스 플레이트(34)를 통하여 용기(C)에 작용하는 수납부(14)의 내측으로 밀어넣는 조작력을 상회한다. 따라서, 이 밀어넣는 조작력은, 우레탄 고무(35)를 탄성 변형시키기 위해 사용되고, 스테인리스 플레이트(34)가 용기(C)를 탑재 지지하는 위치를 유지한 채 탑재체 본체(30)만 돌출 측으로 변위한다.7 and 8 are views showing the positional change of the
그리고, 인출 처리를 행하는 경우에, 돌출 위치(P1)까지 돌출된 탑재체(57)를 상승 개시 위치로부터 상승 종료 위치까지 상승시키는 동안의 이른 시기에 있어서, 탑재체(57)를 퇴피 위치(P0) 측으로 설정 거리[예를 들면, 탑재체(57)의 변위량 L에 해당하는 거리 Lpull)만큼 퇴피시키면, 우레탄 고무(35)가 탄성 변형됨으로써, 스테인리스 플레이트(34)가 탑재체 본체(3O)에 대하여 초기 위치(Pn)보다 퇴피 측의 위치로부터 돌출 측의 위치까지 상대 이동한다. 이에 따라, 도 7의 (c)에 나 타낸 바와 같이, 우레탄 고무(35)가 도 7의 (b)와는 반대 방향으로 탄성 변형된 상태로 되어, 탑재체 본체(30)에 대하여 초기 위치(Pn)로부터 돌출 측으로 상대 이동한 상태의 스테인리스 플레이트(34)에 의해 용기(C)를 지지시킬 수 있다.And when carrying out a drawing process, in the early stage while raising the mounting
그 후, 탑재체(57)를 상승시킴에 따라 용기(C)의 중량이 탑재체(57)에 많이 실리기 시작하고, 또한 수용부(14)의 지지대(14D)에 실리는 용기(C)의 중량이 감소하기 시작한다. 그리고, 탑재체(57)를 상승시킴에 따라 용기(C)에 작용하는 수납부(14)의 내측으로 밀어넣는 조작력이, 수납부(14)의 지지대(14D)에 의한 마찰 유지력을 상회하면, 스태커 크레인(V)이 단번에 경사져서 넘어지고, 탑재체(57)는 극히 짧은 시기에 출퇴 방향에서 돌출 측으로 변위한다. 여기에 더하여, 용기(C)에 작용하는 수납부(14)의 내측으로 밀어넣는 조작력이 용기(C)와 수납부(14)의 지지대(14D) 사이에 존재하는 마찰 유지력을 상회하므로, 탄성 변형되고 있는 우레탄 고무(35)의 복원력에 의해 스테인리스 플레이트(34)가 탑재체(57)의 돌출 측으로의 변위 속도에 대응한 속도로 초기 위치(Pn) 측으로 복귀 이동한다. 그 결과, 도 8의 (d)에 나타낸 바와 같이, 탑재체 본체(30)가 출퇴 방향으로 돌출 측으로 변위하면서도, 스테인리스 플레이트(34)가 탑재체 본체(30)에 대하여 상대 이동함으로써, 도 8의 (e)에 나타낸 바와 같이, 용기(C)의 수납부(14)에서의 출퇴 방향의 위치를 도 7의 (a)에 나타낸 위치에서 유지된다. 따라서, 스태커 크레인(V)이 기울어서 넘어짐으로써 용기(C)가 수납부(14)의 내측으로 밀어넣어져서 수납부(14)의 지지대(14D) 사이에서 마찰 및 미끄러짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Thereafter, as the mounting
도 1은 물품 수납 설비의 종단 정면도이다.1 is a longitudinal front view of an article storage facility.
도 2는 물품 반송 장치로서의 스태커 크레인의 상면도이다.2 is a top view of a stacker crane as the article carrying apparatus.
도 3의 (a)는 퇴피 위치에 있을 때의 물품 탑재체와 수용 선반과의 위치 관계를 나타내는 횡단면도이며, (b)는 돌출 위치에 있을 때의 물품 탑재체와 수용 선반과의 위치 관계를 나타내는 횡단면도이다.Fig. 3A is a cross sectional view showing the positional relationship between the article payload and the storage shelf when in the retracted position, and (b) is a cross sectional view showing the positional relationship between the article payload and the storage shelf when in the protruding position. .
도 4는 탑재체의 상면도이다.4 is a top view of the payload.
도 5의 (a)는 스테인리스 플레이트의 구조를 나타낸 부분 절개도이며, (b)는 스테인리스 플레이트의 종단면도이다.Fig. 5A is a partial cutaway view showing the structure of a stainless plate, and Fig. 5B is a longitudinal sectional view of the stainless plate.
도 6은 용기 인출 처리에 있어서의 스테인리스 플레이트의 탑재체 본체에 대한 위치 변화를 나타낸 도면이다.It is a figure which shows the position change with respect to the mounting body main body of the stainless steel plate in a container take-out process.
도 7은 다른 실시예에 있어서의 용기 인출 처리에서의 스테인리스 플레이트의 탑재체 본체에 대한 위치 변화를 나타낸 도면이다.It is a figure which shows the position change with respect to the mounting body main body of the stainless steel plate in the container take-out process in another Example.
도 8은 다른 실시예에 있어서의 용기 인출 처리에서의 스테인리스 플레이트의 탑재체 본체에 대한 위치 변화를 나타낸 도면이다.It is a figure which shows the position change with respect to the mounting body main body of the stainless steel plate in the container take-out process in another Example.
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090033170A KR101191846B1 (en) | 2008-04-22 | 2009-04-16 | Article transport apparatus |
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-
2009
- 2009-04-16 KR KR1020090033170A patent/KR101191846B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1148979A (en) | 1997-08-08 | 1999-02-23 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | Drum carriage and carriage storing device |
JP2008068964A (en) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Daifuku Co Ltd | Substrate storage facility and substrate treatment facility |
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