KR101188355B1 - Separating method of microscopic parts using albumin solution - Google Patents

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김정대
이용구
황선욱
신현근
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광주과학기술원
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    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C3/00—Assembling of devices or systems from individually processed components

Abstract

PURPOSE: A method for separating a minute component using an albumin solution is provided to reduce bonding force between a minute component and a substrate by coating an albumin solution or a BSA(Bovine Serum Albumin) solution to the minute component attached on the substrate, thereby precisely controlling the minute component or separating the minute component from the substrate. CONSTITUTION: A method for separating a minute component is as follows. An albumin solution is coated on a substrate and a minute component(S10). The albumin solution is dried(S20). The minute component is separated from the substrate(S30). [Reference numerals] (AA) Start; (BB) Finish; (S10) Spreading an Albumin solution on a substrate and minute component; (S20) Drying an Albumin solution; (S30) Eliminating a minute component from a substrate

Description

알부민 용액을 사용하는 미세부품의 분리방법{Separating Method of Microscopic Parts using Albumin Solution}Separating Method of Microscopic Parts using Albumin Solution

본 발명은 알부민 용액을 사용하는 미세부품의 분리방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명은 기판에 제작되는 미세부품을 기판으로부터 용이하게 분리하기 위한 기술에 관한 것이며, 나아가 미세부품을 정밀하게 제어하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for separating microparts using an albumin solution. More specifically, the present invention relates to a technique for easily separating a microcomponent manufactured on a substrate from a substrate, and moreover, to a method for precisely controlling a microcomponent.

최근 미세부품(microscopic parts)을 조립하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 연구는 레이저 빔으로 물체를 포획 및 제어하는 기술인 광집게(Optical tweezers)를 이용하여 미세부품을 조립하는 것에 관한 연구도 포함한다. Recently, researches for assembling microscopic parts have been actively conducted. This research also includes the study of assembling micro components using optical tweezers, a technique for capturing and controlling objects with a laser beam.

미세부품들을 상호간 조립을 하려면 제작된 미세부품들이 분리된 상태에 있어야 하는데, 일반적으로 마이크로 제작 공정에서는 미세부품들을 기판(substrate)에 부착된 상태로 제작하고 조립 직전에 이들을 분리하게 된다.In order to assemble the micro parts to each other, the manufactured micro parts must be in a separated state. In general, in the micro fabrication process, the micro parts are manufactured in a state in which they are attached to a substrate and are separated immediately before assembly.

즉, 미세부품은 기판(substrate)에 부착되어 제작이 되는데, 이를 유체 안에서 광집게로 제어하기 위해서는 미세부품을 기판에서 분리하는 과정이 필요하다.That is, the micro component is attached to the substrate (substrate) is produced, in order to control it with the optical forceps in the fluid it is necessary to separate the micro component from the substrate.

이와 관련된 연구로 간단한 모양의 미세부품들을 탐침을 이용하여 떼어내는 시도가 있어왔다. 그런데, 미세부품 제작 후 남아있는 액체 상태의 감광제를 제거하기는 하나, 기판에 아주 얇게 감광제 일부가 잔존해 있게 되므로 미세부품을 용이하게 기판에서 분리하기는 어려운 문제점이 있었다. 즉, 이 감광제는 매우 접착성이 큰 성질이 있어 미세부품을 탐침을 이용하여 기판에서 분리 시 바로 다른 위치에서 기판에 강하게 부착되는 등 분리를 매우 어렵게 한다. 또는 경화되어 만들어진 미세부품이 수십 마이크론 크기로 매우 작아서 기판에서 떼어졌더라도 반데왈스 힘 등의 미시세계에서 작용하는 약력에 의해 탐침에 붙어 있게 되어 추후 조립을 어렵게 한다는 문제점이 있었다.In relation to this, there have been attempts to remove simple shaped microparts using a probe. However, although the liquid photoresist remaining after the manufacture of the micro component is removed, a very thin photoresist remains on the substrate, which makes it difficult to easily separate the micro component from the substrate. In other words, the photosensitive agent has a very adhesive property, which makes it very difficult to separate the microparts from the substrate by using a probe. Alternatively, even if the micro component is hardened to a size of several tens of microns, even if removed from the substrate, there is a problem in that it is difficult to assemble later because it is attached to the probe by the force acting in the micro world such as van der Waals force.

상술한 문제점을 해결하기 위한 관점으로부터 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판에서 미세부품을 용이하게 분리하기 위해 기판에 알부민 용액을 도포하여 미세부품과 기판 사이에 존재하는 접착력을 감소시키는 방법을 제안하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of solving the above-mentioned problems, and proposes a method for reducing the adhesion between the micropart and the substrate by applying an albumin solution to the substrate to easily separate the micropart from the substrate. Is in.

그러나, 본 발명의 기술적 과제는 상기에 언급된 사항으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the technical problem of the present invention is not limited to the above-mentioned matters, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위해서 본 발명에 따른 미세부품의 분리방법은, (a) 상기 기판(substrate) 및 미세부품에 알부민(albumin)용액을 도포하는 단계와, (b) 상기 알부민 용액을 건조시키는 단계 및 (c) 상기 미세부품을 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above technical problem, the method for separating microparts according to the present invention comprises the steps of: (a) applying an albumin solution to the substrate and the microparts; and (b) drying the albumin solution. And (c) separating the micropart from the substrate.

여기서, 상기 알부민 용액은 BSA(Bovine Serum Albumin)용액인 것이 바람직하다.Here, the albumin solution is preferably a BSA (Bovine Serum Albumin) solution.

그리고, 상기 (c)단계에서, 상기 미세부품은 탐침을 이용하여 상기 기판으로부터 분리되는 것도 바람직하다.And, in the step (c), it is also preferable that the fine component is separated from the substrate using a probe.

또한 바람직하게는, 상기 미세부품은 상기 기판에 액체 상태의 감광제를 도포한 후 레이저로 경화하여 제조되는 것일 수 있다.Also preferably, the micro component may be manufactured by applying a photoresist in a liquid state to the substrate and curing the same with a laser.

본 명세서의 기재내용으로부터 파악되는 본 발명에 따르면, 기판에 부착되어 있는 미세부품에 알부민 용액 또는 BSA(Bovine Serum Albumin)용액을 도포하여 미세부품과 기판과의 접착력을 감소시키므로 미세부품을 기판으로부터 분리하거나 미세부품의 제어를 정교하게 할 수 있다.According to the present invention grasped from the description of the present specification, by applying an albumin solution or BSA (Bovine Serum Albumin) solution to the micro-parts attached to the substrate to reduce the adhesion between the micro-parts and the substrate, the micro-parts are separated from the substrate Or fine control of the micro components.

도 1은 종래의 미세부품 분리방법을 설명하기 위해 도시한 도,
도 2는 본 발명에 따른 미세부품의 분리방법을 설명하기 위해 도시한 플로우 차트,
도 3은 본 발명에 따른 미세부품의 분리과정을 설명하기 위해 도시한 도이다.1 is a view illustrating a conventional method for separating microparts;
2 is a flowchart illustrating a method of separating fine parts according to the present invention;
3 is a view illustrating a separation process of a micropart according to the present invention.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 여기의 설명에서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 연결된다고 기술될 때, 이는 다른 구성 요소에 바로 연결될 수도 그 사이에 제3의 구성 요소가 개재될 수도 있음을 의미한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 이때 도면에 도시되고 또 이것에 의해서 설명되는 본 발명의 구성과 작용은 적어도 하나의 실시예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해서 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심 구성 및 작용이 제한되지는 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description herein, when a component is described as being connected to another component, this means that the component may be directly connected to another component or an intervening third component may be interposed therebetween. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. At this time, the configuration and operation of the present invention shown in the drawings and described by it will be described as at least one embodiment, by which the technical spirit of the present invention and its core configuration and operation is not limited.

본 발명에 대한 상세한 설명에 앞서, 종래의 미세부품 분리방법에 대한 설명을 개시한다. 이는, 본 발명의 발명 범주에 포함되는 것은 아니나, 대비적 이해를 통해 본 발명에 대한 보다 명확한 이해가 가능하게 할 것이다.Prior to the detailed description of the present invention, a description will be given of a conventional method for separating microparts. This is not included in the scope of the present invention, but will enable a clearer understanding of the present invention through a contrasting understanding.

종래의 미세부품 분리방법은 도 1을 참조하여 설명한다.A conventional method for separating microparts will be described with reference to FIG. 1.

도 1은 종래의 미세부품 분리방법을 설명하기 위해 도시한 도이다.1 is a view illustrating a conventional method for separating microparts.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래에는 기판(10)의 챔버(20)에 내부에 액체상태의 감광제를 도포한 후 이 감광제를 레이저로 경화시키는 이광자 중합 광조형(Two-photon photopolymerization)기술을 이용하여 미세부품(P)을 제작하였다. 여기서, 미세부품(P)은 기판(10)에 부착된 상태로 제작되는데, 미세부품(P)들을 이용하여 미세공정을 수행하기 위해서는 반드시 미세부품(P)을 분리하는 공정이 선행되어야 한다.As shown in FIG. 1, conventionally, a two-photon photopolymerization technique is used in which a liquid photosensitive agent is applied to a chamber 20 of a substrate 10, and then the photosensitive agent is cured with a laser. To produce a fine component (P). Here, the micro component P is manufactured in a state in which it is attached to the substrate 10. In order to perform the micro process using the micro component P, the process of separating the micro component P must be preceded.

이를 위해, 탐침(90, prove)을 이용하여 제작된 미세부품(P)을 기판(10)에서 떠어내는 과정이 필요하다. 그러나, 도 1의 (A)에 도시된 바와 같이, 미세부품(P)과 기판(10)에 잔존해 있는 감광제의 접착력 때문에 분리된 미세부품(P)이 탐침(90)에 달라붙게 되거나, 도 1의 (B)에 도시된 바와 같이, 순간적으로 분리된 미세부품(P)이 기판(10)의 다른 위치에 바로 달라붙게 되는 문제점이 발생하였다.To this end, a process of floating out the micro component P manufactured by using the probe 90 from the substrate 10 is required. However, as shown in FIG. 1A, the microparts P separated from each other due to the adhesion between the microparts P and the photoresist remaining on the substrate 10 stick to the probe 90, or FIG. As shown in FIG. 1B, a problem arises in that the microparts P, which are momentarily separated, directly adhere to other positions of the substrate 10.

이하에서는 상술한 문제점에 착안하여 안출된 본 발명에 따른 미세부품의 분리방법에 대한 설명을 개시한다.Hereinafter, a description will be given of a method for separating microparts according to the present invention devised in view of the above problems.

도 2는 본 발명에 따른 미세부품의 분리방법을 설명하기 위해 도시한 플로우 차트, 도 3은 본 발명에 따른 미세부품의 분리과정을 설명하기 위해 도시한 도이다.2 is a flowchart illustrating a method for separating microparts according to the present invention, and FIG. 3 is a view illustrating a process for separating microparts according to the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 미세부품의 분리방법은, 기판(substrate) 및 미세부품에 알부민(albumin)용액을 도포하는 단계(S10), 알부민 용액을 건조시키는 단계(S20), 및 미세부품을 기판에서 분리하는 단계(S30)를 포함한다.As shown in Figure 2, the separation method of the micro-parts, the step of applying an albumin (albumin) solution to the substrate (substrate) and the micro-parts (S10), drying the albumin solution (S20), and the micro-parts Separating from the substrate (S30).

상기의 과정들을 도 3을 참조하여 상세하게 설명한다.The above processes will be described in detail with reference to FIG. 3.

도 3에 도시된 바와 같이, 기판(10)의 챔버(20)안에는 제작된 미세부품(P)이 포함되어 있다. 일례로 미세부품(P)은 상술한 이광자 중합 광조형 기술에 의해 제작될 수 있다. 이광자 중합 광조형 기술에 의해 미세부품이 제작된 경우 경화되지 않은 액체 상태의 감광제는 아세톤을 이용하여 씻어내어 미세부품을 기판에서 분리할 수 있도록 준비한다. 여기의 이광자 중합 광조형 기술은 미세부품 제작의 일례이며, 그 밖의 다양한 방법에 의해서도 미세부품이 제작될 수 있음에 유의하여야 한다.As shown in FIG. 3, the manufactured micro part P is included in the chamber 20 of the substrate 10. In one example, the micro part P may be manufactured by the two-photon polymerization photoforming technique described above. When microparts are manufactured by two-photon polymerization photoforming technology, the uncured liquid photoresist is washed off with acetone to prepare the microparts from the substrate. The two-photon polymerization optical shaping technology here is an example of the production of micro components, and it should be noted that the micro components can be manufactured by various other methods.

다음으로, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 미세부품(P)이 담기 챔버(20)에 알부민 용액(100)을 도포한다. 알부민 용액(100)의 도포는 피펫(50)을 이용하여 할 수 있다. 바람직하게는 상기 알부민 용액(100)은 BSA(Bovine Serum Albumin)용액을 사용할 수 있음에 유의하여야 한다.Next, as shown in Figure 3 (a), the fine component (P) is applied to the albumin solution 100 to the holding chamber 20. Application of the albumin solution 100 can be performed using the pipette 50. Preferably, the albumin solution 100 should be noted that BSA (Bovine Serum Albumin) solution may be used.

다음, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 알부민 용액(100)을 상온에서 건조시킨다. Next, as shown in (b) of Figure 3, the albumin solution 100 is dried at room temperature.

다음, 도 3의 (c)에 도시된 바와 같이, 미세부품(P)을 기판(10)으로부터 분리하기 위해 탐침(90)을 사용하여 미세부품(P)을 기판(10)으로부터 분리한다. Next, as shown in (c) of FIG. 3, the micropart P is separated from the substrate 10 using the probe 90 to separate the micropart P from the substrate 10.

기판(10)와 미세부품(P)에는 알부민 용액 또는 BSA(Bovine Serum Albumin)용액이 도포된 후 건조된 상태이기 때문에 감광제와 미세부품 상기의 약력(발데왈스 힘) 또는 표면 장력등에 의한 접착력이 감소되게 되므로, 미세부품(P)은 기판(10)에서 쉽게 떨어져 분리된다. 또한, 상술한 도 1의 경우에서와 같이, 미세부품(P)이 탐침(90)에 달라붙거나 순간적으로 분리된 미세부품(P)이 다시 기판(10)의 다른 위치에 달라붙게 되지 않는다.Since the albumin solution or the BSA (Bovine Serum Albumin) solution is applied to the substrate 10 and the micro component P, and then dried, the adhesive force due to the photosensitive agent and the microcomponents (valdewals force) or surface tension is reduced. As a result, the micropart P is easily separated from the substrate 10 and separated. In addition, as in the case of FIG. 1 described above, the microparts P do not cling to the probe 90 or the microparts P, which are momentarily separated, do not stick to other positions of the substrate 10 again.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명의 사상적 범주에 속한다.
As described above, the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, which can be variously modified and modified by those skilled in the art to which the present invention pertains. Modifications are possible. Accordingly, the spirit of the invention should be understood only by the claims set forth below, and all equivalent or equivalent modifications thereof fall within the spirit of the invention.

10:기판 20:챔버
90:탐침 100:알부민 용액
P:미세부품(microscopic parts)10: substrate 20: chamber
90: probe 100: albumin solution
P: microscopic parts

Claims (4)

기판에 부착된 미세부품을 분리하는 방법에 있어서,
(a) 상기 기판(substrate) 및 미세부품에 알부민(albumin)용액을 도포하는 단계;
(b) 상기 알부민 용액을 건조시키는 단계; 및
(c) 상기 미세부품을 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 미세부품의 분리방법.In the method for separating the micro components attached to the substrate,
(a) applying an albumin solution to the substrate and the microparts;
(b) drying the albumin solution; And
(c) separating the microparts from the substrate. 제1항에 있어서,
상기 알부민 용액은 BSA(Bovine Serum Albumin)용액인 것을 특징으로 하는 미세부품의 분리방법.The method of claim 1,
The albumin solution is a separation method of the micro-parts, characterized in that the BSA (Bovine Serum Albumin) solution. 제1항에 있어서,
상기 (c)단계에서, 상기 미세부품은 탐침을 이용하여 상기 기판으로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 미세부품의 분리방법.The method of claim 1,
In the step (c), the fine component is separated from the substrate by using a probe. 제1항에 있어서, 상기 미세부품은
상기 기판에 액체 상태의 감광제를 도포한 후 레이저로 경화하여 제조되는 것임을 특징으로 하는 미세부품의 분리방법.The method of claim 1, wherein the microcomponents
Separation method of the micro-parts characterized in that the coating is made by applying a liquid photosensitive agent to the substrate and then curing with a laser.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003506020A (en) 1999-07-21 2003-02-18 ヒューマン ジノーム サイエンシーズ， インコーポレイテッド 25 human prostate proteins and prostate cancer-related proteins
JP2008514900A (en) 2004-07-30 2008-05-08 アデザ・バイオメデイカル・コーポレイシヨン Oncofetal fibronectin as a marker of disease and other conditions and methods for detection of oncofetal fibronectin

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003506020A (en) 1999-07-21 2003-02-18 ヒューマン ジノーム サイエンシーズ， インコーポレイテッド 25 human prostate proteins and prostate cancer-related proteins
JP2008514900A (en) 2004-07-30 2008-05-08 アデザ・バイオメデイカル・コーポレイシヨン Oncofetal fibronectin as a marker of disease and other conditions and methods for detection of oncofetal fibronectin
JP2011039068A (en) 2004-07-30 2011-02-24 Cytyc Corp Oncofetal fibronectin as marker of disease and other symptoms and method for detection of oncofetal fibronectin

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