KR101179258B1 - Line Type Digital Radiography Sensor Using Direct Conversion Method, Digital Radiography Sensing Unit Composed of the Same and Digital Radiography System having the Same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 보다 적은 소모전력으로서 구동이 가능하며, 보다 약한 방사선 세기와 조사량으로서 보다 선명한 영상을 얻을 수 있는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서, 이로 이루어진 영상센싱유닛 및 이를 포함하여 이루어진 방사선 영상 촬영장치에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 방사선이 입사되는 방향으로 길이방향을 갖도록 배치되며, 입사된 방사선이 내부에서 상기 길이방향을 따라 진행되면서 전자-정공 쌍이 생성되는 포토 컨덕터와, 양극과 음극으로 이루어지며 방사선이 상기 포토 컨덕터 내에서 진행되는 방향과 평행하도록 상기 포토 컨덕터를 사이에 두고 서로 마주보도록 배치되어 상기 포토 컨덕터에서 발생된 전자나 정공을 이동시키는 전극 및 상기 정공이 이동되는 전극 과 상기 포토 컨덕터의 사이에 구비되어 상기 이동되는 전하 또는 정공을 감지하여 이미지를 구축하는 촬영소자를 포함하여 이루어지는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서가 개시된다.The present invention can be driven with less power consumption, a line-type radiation image sensor using a direct conversion method that can obtain a clearer image with a weaker radiation intensity and radiation dose, an image sensing unit comprising the same, and radiation comprising the same According to an embodiment of the present invention, a photoconductor is disposed to have a longitudinal direction in a direction in which radiation is incident, and a photoconductor in which an electron-hole pair is generated while the incident radiation proceeds in the longitudinal direction therein. And an electrode and a hole formed of an anode and a cathode and arranged to face each other with the photoconductor therebetween such that radiation is parallel to the direction of propagation in the photoconductor to move electrons or holes generated in the photoconductor. Between the moved electrode and the photoconductor Is provided with a radiation image sensor of the line type using the direct conversion method comprises the image sensing element to establish an image by detecting a charge or a hole is moved above is disclosed.

Description

직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서, 이로 이루어진 영상센싱유닛 및 이를 포함하여 이루어진 방사선 영상 촬영장치{Line Type Digital Radiography Sensor Using Direct Conversion Method, Digital Radiography Sensing Unit Composed of the Same and Digital Radiography System having the Same}Line type digital radiography sensor using direct conversion method, digital radiography sensing unit composed of the same and digital radiography system having the Same}

본 발명은 방사선 영상센서에 관한 것으로서, 좀 더 자세하게는 보다 적은 소모전력으로서 구동이 가능하며, 보다 약한 방사선 세기와 조사량으로서 보다 선명한 영상을 얻을 수 있는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서, 이로 이루어진 영상센싱유닛 및 이를 포함하여 이루어진 방사선 영상 촬영장치에 관한 것이다.The present invention relates to a radiation image sensor, and more particularly, can be driven with less power consumption, a line type radiation image sensor using a direct conversion method that can obtain a clearer image with a weaker radiation intensity and dose, The present invention relates to an image sensing unit and a radiographic imaging apparatus including the same.

방사선, 특히 엑스선(X-ray)을 이용한 검사는 검사대상물을 개방하거나 파괴하지 않아도 그 내부에 대한 검사를 실시할 수 있어 의료 및 산업분야의 전반에 걸쳐 비파괴 검사법으로 널리 사용되고 있다.Radiation, in particular X-ray (X-ray) inspection is widely used as a non-destructive testing method throughout the medical and industrial field because it can perform the inspection of the inside without opening or destroying the object.

종래에는 이러한 엑스선 촬영을 위하여 엑스선에 감광되는 필름을 사용하여 피사체의 두께나 밀도 차에 의한 음영으로서 피사체 내부를 영상화 하여 이로서 내부 결함을 판단하게 된다.Conventionally, for the X-ray imaging, the film that is exposed to the X-ray is used to image the inside of the subject as a shadow by the thickness or density difference of the subject, thereby determining the internal defect.

한편, 종래와 같은 필름을 사용한 아날로그식 촬영방법은 찍을 때마다 필름이 필요하며 필름의 인화에 시일이 걸리는 단점이 있고, 촬영된 필름을 보관하기 위한 별도의 보관시설이 필요하며, 촬영된 필름을 이동시키기 위한 작업도 필요하여 사용 및 운용이 번거로운 단점이 있었다.On the other hand, the analog recording method using the conventional film requires a film every time it takes a picture, there is a disadvantage that it takes a seal to print the film, and a separate storage facility for storing the film film is required, There is also a disadvantage in that it is cumbersome to use and operate because it requires work to move.

최근에 들어 전자기술 및 IT 기술이 발달함에 따라 종래의 필름을 이용한 아날로그식 촬영방법 대신 필름이 필요 없는 디지털 장치를 이용하여 방사선 영상을 획득하는 DR(Digital Radiography)장치가 소개되고 있다.Recently, with the development of electronic and IT technologies, a DR (Digital Radiography) apparatus for acquiring a radiographic image using a digital device that does not require a film has been introduced instead of an analog photographing method using a conventional film.

이러한 DR장치는 종래의 필름 대신 검사대상물을 투과한 엑스선을 조사받아 전기적인 신호를 생성하는 영상센서가 구비된다.The DR device is provided with an image sensor that generates an electrical signal by irradiating X-rays transmitted through the inspection object instead of the conventional film.

상기와 같은 영상센서는 X선을 전기적 신호로 변환시키는 방법에 따라 간접변환방법과 직접변환방법을 사용하는 방식으로 구분되는데, 그 중 직접변환방법을 사용하는 방식은 비정질 셀레늄등의 소자를 이용하여 X-선이 조사되면 중간단계를 거치지 않고 바로 전기적인 신호를 발생시키도록 이루어져 디지털 영상을 얻을 수 있다. 상기와 같은 DR장치는 디지털 방식으로 영상을 획득하고 기록하므로, 복사시 또는 장기간 보관시에도 화질의 저하가 없으며 촬영과 현상에 소요되는 시간을 획기적으로 줄일 수 있고, 또한 네트워크를 이용하여 현상 즉시 원격지에서 확인 할 수 있어 환자 대기시간을 줄일 수 있고 필름 보관장소가 필요치 않은 장점이 있어 그 사용이 확대되고 있다.The image sensor is classified into a method of using an indirect conversion method and a direct conversion method according to a method of converting X-rays into an electrical signal. Among the methods of using a direct conversion method, an element such as amorphous selenium is used. When X-rays are irradiated, they can generate an electrical signal without going through an intermediate step, thereby obtaining a digital image. As the DR device acquires and records the image digitally, there is no deterioration in image quality even during copying or long-term storage, and it can drastically reduce the time required for photographing and developing, and also remotely develops immediately by using a network. As it can be confirmed, the patient waiting time can be reduced and the film storage location is not necessary, and its use is expanding.

도 1은 이러한 영상센서가 구비된 종래의 직접변환방식의 방사선 영상센서를 이용한 촬영장치를 도시한 도면이다.1 is a view showing a photographing apparatus using a conventional direct conversion radiation image sensor equipped with such an image sensor.

종래의 일반적인 방사선 촬영장치는 검사대상체(O)에 방사선을 조사하는 방사선 조사기(100)와 상기 검사대상체(O)를 투과한 방사선을 감지하는 영상센서(200) 및 상기 영상센서(200)에서 감지한 전기적인 신호를 처리되어 구현된 영상을 디스플레이 하는 화면(300)등으로 이루어질 수 있다.Conventional general radiography apparatus detects in the image sensor 200 and the image sensor 200 for detecting the radiation transmitted through the radiation irradiation device 100 and the inspection object (O) to the inspection object (O). It may be made of a screen 300 for displaying an image implemented by processing an electrical signal.

이 때, 종래의 직접변환방식의 영상센서는 도 2에 도시된 바와 같이, 포토 컨덕터(220)와 전극(240) 및 촬영소자(260)로 이루어진다.In this case, the conventional direct conversion image sensor is composed of a photoconductor 220, an electrode 240 and a photographing element 260, as shown in FIG.

상기 포토 컨덕터(220)는 방사선이 조사됨에 따라 내부에서 전자-정공쌍을 형성하는 재질로 이루어지는 구성요소이며, 상기 전극(240)은 상기 포토 컨덕터의 내부에서 생성된 전자와 정공을 이동시키는 구성요소이다. 그리고, 상기 촬영소자(260)는 CCD나 CMOS등의 반도체를 사용하여 상기 전극(240)에 의해 이동된 전자 또는 정공을 감지하여 이미지를 구축하는 구성요소이다. 이하에서, 상기 전자와 정공을 통칭하여 전하라 칭하기로 한다.The photoconductor 220 is a component made of a material forming an electron-hole pair therein as the radiation is irradiated, and the electrode 240 is a component for moving electrons and holes generated in the photoconductor. to be. In addition, the photographing device 260 is a component that senses electrons or holes moved by the electrode 240 using a semiconductor such as a CCD or a CMOS to construct an image. Hereinafter, the electrons and holes will be collectively referred to as electric charges.

상기와 같이 이루어진 포토 컨덕터(220)는 도 1에 도시된 바와 같이, 넓은 면적의 촬영영역을 갖기 위하여 길이방향과 폭 방향으로 이루어진 면이 상기 방사선 조사기(100)를 향하도록 구비된다.As shown in FIG. 1, the photoconductor 220 formed as described above is provided such that a surface formed in a length direction and a width direction is directed toward the radiation irradiator 100 to have a large area photographing area.

따라서, 상기 영상센서(200)에서 구축된 이미지를 상기 화면(300)에 표시함으로써 촬영화면을 볼 수 있게 되는 것이다.Therefore, by displaying the image constructed by the image sensor 200 on the screen 300, the shooting screen can be seen.

그러나, 상기와 같은 종래의 직접변환방식의 방사선 영상센서를 이용한 촬영장치는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the conventional photographing apparatus using the conventional direct conversion radiation image sensor has the following problems.

첫째, 일반적으로 상기 포토 컨덕터(220)는 넓은 면적의 촬영영역을 갖기 위하여 길이방향과 폭 방향으로 이루어진 면이 상기 방사선 조사기(100)를 향하도록 구비되는데, 그에 따라 상기 포토 컨덕터(220)에 조사된 방사선이 상기 포토 컨덕터(220) 내부에서 진행되는 거리는 포토 컨덕터(220)의 두께 방향에 해당되어 그 거리가 짧게 된다.First, in general, the photoconductor 220 is provided such that the surface formed in the longitudinal direction and the width direction is directed toward the radiation irradiator 100 to have a large area of the photographing area. Accordingly, the photoconductor 220 is irradiated to the photoconductor 220. The distance at which the emitted radiation proceeds inside the photoconductor 220 corresponds to the thickness direction of the photoconductor 220, so that the distance is shortened.

따라서, 종래의 직접변환방식의 영상센서(200)는 이러한 생성된 정공을 전부 검출할 수 있다는 장점은 있으나, 엑스선 등의 방사선이 포토 컨덕터(220)의 내부에서 진행되는 거리가 짧아 엑스선이 포토 컨덕터(220)에 흡수되는 비율이 낮게 됨으로써 보다 센 강도와 큰 양의 방사선 조사량이 필요한 단점이 있으며, 그에 따라 피검사체의 방사선 피폭량이 많아지게 되는 단점이 있다. Accordingly, the conventional direct conversion image sensor 200 has an advantage of detecting all of the generated holes. However, since the radiation such as X-rays travels within the photoconductor 220, the X-rays are photoconductors. There is a disadvantage in that the ratio absorbed by the 220 is lower, the stronger intensity and a larger amount of radiation dose is required, thereby increasing the radiation exposure of the subject.

또한, 방사선이 포토 컨덕터(220)에 흡수되는 비율이 떨어짐에 따라 후측에 위치된 촬영소자(260)까지 방사선이 도달함에 따라 촬영소자(260)가 고장 나거나 오작동 하는 등 신뢰성과 내구성에서 문제가 되었다.In addition, as the rate at which radiation is absorbed by the photoconductor 220 decreases, as the radiation reaches the image pickup device 260 positioned at the rear side, the imaging device 260 may fail or malfunction. .

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 포토 컨덕터(220)를 두께방향으로 두껍게 형성함으로써 방사선이 포토 컨덕터(220)의 내부에서 진행되는 거리를 늘림으로써 방사선이 흡수되는 비율을 높이는 안이 제안되었으나, 이 또한, 포토 컨덕터(220)의 체적이 커지는데에 따른 비용이 증가할 뿐만 아니라, 상기 포토 컨덕터(220)의 내부에서 생성된 전하가 상기 전극에 의해 촬영소자 측으로 이동될 때 일직선으로 이동되지 아니하며 주변부로 확산되는 전하확산현상이 일어나는데, 포토 컨덕터(220)의 두께가 두꺼움으로 인해 전하가 이동되는 경로가 길어지게 되어 정동확산현상이 심화됨으로써 촬영소자(260)에서 구축되는 이미지의 해상도가 떨어지게 되는 문제점이 있다. 또한 두꺼운 포토 컨덕터의 전하를 효율적으로 감지하기 위하여 인가되는 전압도 증가되어 전력 소모 및 소자 파괴에 의한 수명단축등의 문제도 발생한다.In order to solve the above problems, as shown in FIG. 3, the photoconductor 220 is formed thick in the thickness direction so that the radiation is absorbed by increasing the distance that the radiation travels inside the photoconductor 220. Although it is proposed to increase the cost, this also increases the cost of increasing the volume of the photoconductor 220 as well as the charge generated inside the photoconductor 220 to be moved to the image pickup device side by the electrode. When the charge diffusion phenomenon does not move in a straight line and diffuses to the periphery occurs, due to the thick thickness of the photoconductor 220, the path of the charge is long, so that the static diffusion phenomenon is intensified to be built in the photographing device 260 There is a problem that the resolution of the image is reduced. In addition, the voltage applied to efficiently detect the charge of the thick photoconductor is also increased, causing problems such as power consumption and shortening of life due to device destruction.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 소모전력의 크기를 줄이면서, 방사선이 포토 컨덕터에서 흡수되는 비율을 증대시켜 보다 적은 양과 작은 세기의 방사선으로서도 촬영이 가능하고 신뢰성과 내구성이 향상될 수 있는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서, 이로 이루어진 영상센싱유닛 및 이를 포함하여 이루어진 방사선 영상 촬영장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.The present invention is to solve the above problems, the present invention is to reduce the size of the power consumption, while increasing the rate of absorption of the radiation in the photoconductor, it is possible to shoot with less amount and small intensity radiation, reliability and durability The object of the present invention is to provide a line-type radiation image sensor using the direct conversion method which can be improved, an image sensing unit including the same, and a radiation image photographing apparatus including the same.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 방사선이 입사되는 방향으로 길이방향을 갖도록 배치되며, 입사된 방사선이 내부에서 상기 길이방향을 따라 진행되면서 전자-정공 쌍이 생성되는 포토 컨덕터와, 양극과 음극으로 이루어지며 방사선이 상기 포토 컨덕터 내에서 진행되는 방향과 평행하도록 상기 포토 컨덕터를 사이에 두고 서로 마주보도록 배치되어 상기 포토 컨덕터에서 발생된 전자나 정공을 이동시키는 전극 및 상기 전자나 정공이 이동되는 전극 과 상기 포토 컨덕터의 사이에 구비되어 상기 이동되는 전자나 정공을 감지하여 이미지를 구축하는 촬영소자를 포함하여 이루어지는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서가 개시된다.In order to solve the above problems, according to an embodiment of the present invention, the radiation is disposed so as to have a longitudinal direction in the direction of incidence, the incident radiation proceeds along the longitudinal direction therein to generate an electron-hole pair An electrode which comprises a photoconductor, an anode and a cathode and is disposed to face each other with the photoconductor therebetween so that radiation is parallel to the direction of propagation in the photoconductor to move electrons or holes generated in the photoconductor; Disclosed is a line type radiation image sensor using a direct conversion method including an image pickup device provided between an electrode to move electrons or holes and the photoconductor to construct an image by detecting the moved electrons or holes.

상기 포토 컨덕터는 a-Se, CdZnTe, Hgl2 중 어느 하나를 포함하여 이루어질 수 있다.The photoconductor may include any one of a-Se, CdZnTe, and Hgl2.

상기 촬영소자 및 전극이 방사선에 직접 노출되는 것을 방지하는 차단판이 더 구비될 수 있다.A blocking plate may be further provided to prevent the photographing device and the electrode from being directly exposed to radiation.

상기 촬영소자는 복수개로 분할되어 배열될 수 있다.The imaging device may be divided into a plurality of arrangement.

상기 촬영소자는 상기 포토 컨덕터의 폭방향으로 복수개 분할되어 배열될 수 있다.The photographing device may be arranged in a plurality of divided in the width direction of the photoconductor.

한편, 상기 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서가 방사선 조사방향과 교차되는 방향으로 복수개 적층되어 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센싱유닛이 개시될 수 있다.On the other hand, a plurality of line-type radiation image sensor using the direct conversion method is laminated in a direction crossing the radiation direction may be disclosed a line-type radiation image sensing unit using a direct conversion method.

또 한편, 방사선을 조사하는 방사선 조사기, 상기 방사선 조사기로부터 방출되어 검사 대상물을 통과한 방사선이 입사되는 방향으로 길이방향을 갖도록 배치되며 입사된 방사선이 내부에서 상기 길이방향을 따라 진행되면서 전자-정공 쌍이 생성되는 포토 컨덕터, 양극과 음극으로 이루어지며 방사선이 상기 포토 컨덕터 내에서 진행되는 방향과 평행하도록 상기 포토 컨덕터를 사이에 두고 서로 마주보도록 배치되어 상기 포토 컨덕터에서 발생된 전자나 정공을 이동시키는 전극 및 상기 정공이 이동되는 전극 과 상기 포토 컨덕터의 사이에 구비되어 상기 이동되는 전자 또는 정공을 감지하여 이미지를 구축하는 촬영소자를 포함하여 이루어지는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서를 포함하여 이루어지는 직접변환방법을 이용한 라인타입 방사선 영상 촬영장치가 개시될 수 있다.On the other hand, a radiation irradiator for irradiating the radiation, the radiation emitted from the irradiator passed through the test object is arranged to have a longitudinal direction in the direction of incidence and the incident radiation proceeds along the longitudinal direction inside the electron-hole pair A photoconductor, an anode and a cathode, the electrodes being disposed so as to face each other with the photoconductors therebetween such that radiation is parallel to the direction of propagation in the photoconductor to move electrons or holes generated in the photoconductor; Directly comprising a line-type radiation image sensor using a direct conversion method comprising a photographing element provided between the electrode to move the hole and the photoconductor to detect the moving electrons or holes to build an image D using the conversion method Type have to be disclosed radiation image photographing apparatus.

그리고, 검사 대상물 전체에 걸쳐 상기 검사 대상물을 통과한 방사선을 스캔하도록, 상기 방사선 영상센서와 방사선 조사기를 동기되는 상태로 동일방향으로 슬라이딩 이동시키는 구동모듈이 더 구비될 수 있다.In addition, a driving module for slidingly moving in the same direction in synchronization with the radiation image sensor and the irradiator may be further provided to scan the radiation passing through the inspection object over the entire inspection object.

또한, 검사 대상물 전체에 걸쳐 상기 검사 대상물을 통과한 방사선을 스캔하도록 상기 방사선 조사기를 소정각도로 회전시키며, 상기 방사선 영상 센서를 상기 방사선 조사기로부터 방출되어 검사 대상물을 통과한 방사선을 스캔하도록 상기 방사선 조사기의 회전 각도에 대응하는 위치로 이동시키는 구동모듈이 구비될 수도 있다.In addition, the radiation irradiator is rotated at a predetermined angle to scan the radiation passed through the inspection object over the entire inspection object, the radiation image sensor to scan the radiation emitted from the radiation irradiator and passed through the inspection object. A driving module for moving to a position corresponding to the rotation angle of the may be provided.

본 발명의 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서, 이로 이루어진 영상센싱유닛 및 이를 포함하여 이루어진 방사선 영상 촬영장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.According to the line type radiation image sensor using the direct conversion method of the present invention, an image sensing unit comprising the same, and a radiation image photographing apparatus including the same, the following effects are obtained.

첫째, 포토 컨덕터가 방사선이 입사되는 방향으로 길이방향을 갖도록 배치되므로, 방사선이 포토 컨덕터의 내부에서 진행되는 길이가 비약적으로 증대되며 그에 따라 상기 방사선이 포토 컨덕터에 흡수되는 비율 또한 증대되며 동일한 양에 의해 발생되는 전자-정공쌍이 증대될 수 있다. 따라서, 보다 적응 양과 약한 세기의 방사선으로도 동일한 양의 전자-정공쌍을 생성시킬 수 있어 결과적으로 소비전력이 줄어들며 피 검사체에 조사되는 방사선의 피폭량이 줄어들게 되어 안전성이 향상될 수 있다.First, since the photoconductor is arranged to have a longitudinal direction in the direction in which the radiation is incident, the length of the radiation that travels inside the photoconductor is greatly increased, thus increasing the rate at which the radiation is absorbed by the photoconductor and at the same amount. The electron-hole pair generated by can be increased. Therefore, even with more adaptive and weaker intensity radiation, the same amount of electron-hole pairs can be generated, resulting in reduced power consumption and reduced exposure of radiation to the test subject, thereby improving safety.

둘째, 포토 컨덕터의 길이방향이 방사선의 진행방향과 같도록 형성되며 상기 포토 컨덕터의 두께가 얇게 형성되므로, 상기 전자나 정공이 촬영소자까지 이동되는 경로가 종래에 비하여 짧게 되어 전하확산현상이 줄어들게 되어 보다 선명한 영상을 얻을 수 있다는 장점이 있다.Second, since the longitudinal direction of the photoconductor is formed to be the same as the traveling direction of the radiation, and the thickness of the photoconductor is thin, the path through which the electrons or holes move to the photographing device is shorter than in the prior art, thereby reducing charge diffusion. The advantage is that a clearer image can be obtained.

셋째, 차단판이 구비되며, 촬영소자가 포토 컨덕터 내 방사선의 진행방향과 평행하게 배치되므로 촬영소자에 방사선이 직접적으로 조사되지 않아 신뢰성 및 내구성이 향상되는 효과가 있다.Third, a blocking plate is provided, and since the image pickup device is disposed in parallel with the traveling direction of the radiation in the photoconductor, radiation is not directly irradiated to the image pickup device, thereby improving reliability and durability.

도 1은 종래의 직접변환방식이 영상센서가 구비된 촬영장치를 간략하게 도시한 도면;
도 2는 도 1의 영상센서의 단면을 도시한 단면도;
도 3은 종래의 다른 실시예의 영상센서를 도시한 단면도;
도 4는 본 발명의 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서의 일 실시예를 도시한 사시도;
도 5는 도 4의 단면도;
도 6은 도 4의 다른 형태를 도시한 사시도;
도 7은 본 발명의 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센싱유닛을 도시한 단면도;
도 8은 본 발명의 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서가 구비된 방사선 영상 촬영장치의 일 실시예를 간략하게 도시한 도면;
도 9는 본 발명의 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서와 구동모듈이 구비된 방사선 영상 촬영장치의 일실시예를 간략하게 도시한 도면;
도 10은 본 발명의 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서와 구동모듈이 구비된 방사선 영상 촬영장치의 다른실시예를 간략하게 도시한 도면 이다.1 is a view schematically illustrating a photographing apparatus equipped with a conventional direct conversion image sensor;
2 is a cross-sectional view showing a cross section of the image sensor of FIG.
3 is a cross-sectional view showing an image sensor of another conventional embodiment;
4 is a perspective view showing an embodiment of a line-type radiation image sensor using the direct conversion method of the present invention;
5 is a cross-sectional view of FIG. 4;
FIG. 6 is a perspective view showing another form of FIG. 4; FIG.
7 is a cross-sectional view showing a line type radiation image sensing unit using the direct conversion method of the present invention;
8 is a view briefly showing an embodiment of a radiographic image photographing apparatus equipped with a line type radiographic image sensor using the direct conversion method of the present invention;
9 is a view briefly showing an embodiment of a radiographic image capturing apparatus equipped with a line type radiographic image sensor and a driving module using the direct conversion method of the present invention;
FIG. 10 is a view schematically illustrating another embodiment of a radiographic image capturing apparatus equipped with a line type radiographic image sensor and a driving module using the direct conversion method of the present invention.

이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiment, the same designations and the same reference numerals are used for the same components, and further description thereof will be omitted.

본 발명에 따른 직접변환방식에 따른 라인타입의 방사선 영상센서(이하, '영상센서'라 칭하기로 함)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 포토 컨덕터(420)와 전극(442,444) 및 촬영소자(460)로 이루어진다.The line type radiation image sensor according to the direct conversion method according to the present invention (hereinafter referred to as an "image sensor") is shown in Figures 4 and 5, the photoconductor 420 and the electrodes (442, 444) and It consists of a photographing element (460).

상기 포토 컨덕터(Photoconductor: 420)는 방사선이나 X-ray등의 빛을 조사받으면 내부에서 전기적인 신호를 발생시키는 광전물질로서 X-ray 등의 방사선이 조사되면 상기 광전물질 내부에서 전자-정공 쌍이 생성되는 구성요소이다.The photoconductor 420 is a photovoltaic material that generates an electrical signal when irradiated with light such as radiation or X-ray. When the radiation such as X-ray is irradiated, an electron-hole pair is generated inside the photoelectric material. It is a component.

상기와 같은 포토 컨덕터(420)는 비정질 셀레늄(a-Se), CdZnTe 또는 옥화 제2수은(Hgl2)중 어느 한 재질로 이루어질 수 있다.The photoconductor 420 as described above may be made of any one of amorphous selenium (a-Se), CdZnTe, and second mercury oxide (Hgl2).

이 때, 상기 포토 컨덕터(420)는 방사선이 입사되는 방향으로 길이방향을 갖도록 배치되며, 입사된 방사선이 내부에서 상기 길이방향을 따라 진행되면서 전자-정공 쌍을 생성하도록 이루어지는 것이 바람직하다.At this time, the photoconductor 420 is disposed to have a longitudinal direction in the direction in which the radiation is incident, it is preferable that the incident radiation is made to generate an electron-hole pair while traveling along the longitudinal direction therein.

여기서 길이방향이란, 대상물체의 각 외형 치수중 가장 긴 치수의 방향을 뜻하는 용어로 칭하기로 한다.Here, the longitudinal direction is referred to as a term meaning the direction of the longest dimension among the external dimensions of the object.

즉, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 포토 컨덕터(420)는 소정의 두께(t), 폭(w), 길이(l)를 가지는 대략 판형의 형태로 이루어질 수 있으며, 본 실시예의 포토 컨덕터(420)는 상기 길이방향(l)의 길이가 두께(t)나 폭(w) 방향의 길이보다 길게 형성된 것을 예로 들어 설명하기로 한다.That is, as shown in FIGS. 4 and 5, the photoconductor 420 may be formed in a substantially plate shape having a predetermined thickness t, a width w, and a length l. The photoconductor 420 will be described by taking an example in which the length of the length direction l is longer than the length of the thickness t or the width w direction.

여기서, 상기 포토 컨덕터(420)에 방사선이 입사되는 면은 상기 폭방향(w)과 길이방향(l)으로 이루어진 면이 아닌, 폭방향(w)과 두께방향(t)으로 이루어진 면이다. Here, the surface on which the radiation is incident on the photoconductor 420 is a surface consisting of the width direction (w) and the thickness direction (t), not the surface consisting of the width direction (w) and the longitudinal direction (l).

따라서, 방사선은 상기 포토 컨덕터(420)의 폭방향(w)과 두께방향(t)으로 형성된 면으로 입사되어 상기 포토 컨덕터(420) 내부에서 상기 포토 컨덕터(420)의 길이방향(l)으로 진행된다.Therefore, the radiation is incident on the surface formed in the width direction (w) and the thickness direction (t) of the photoconductor (420) to proceed in the longitudinal direction (l) of the photoconductor (420) inside the photoconductor (420) do.

따라서, 종래의 포토 컨덕터(420)와는 상기 방사선이 포토 컨덕터(420)의 내부에서 진행되는 길이가 비약적으로 증대되며 그에 따라 상기 방사선이 포토 컨덕터(420)에 흡수되는 비율 또한 증대되어 동일한 양에 의해 발생되는 전자(e)-정공(h)쌍이 증대될 수 있다.Therefore, compared with the conventional photoconductor 420, the length of the radiation propagating inside the photoconductor 420 is greatly increased, and accordingly, the rate at which the radiation is absorbed by the photoconductor 420 is also increased by the same amount. The generated electron (e) -hole (h) pair can be increased.

이 때, 상기 포토 컨덕터(420)의 두께는 마이크로 미터 단위의 두께로 매우 얇게 제작될 수 있다.At this time, the thickness of the photoconductor 420 may be made very thin in a thickness of a micrometer unit.

한편, 상기 전극(442,444)은 상기 포토 컨덕터 내부에서 생성된 전자나 정공을 이동시키는 구성요소로서, 양극(442)과 음극(444)으로 이루어지며, 상기 방사선이 상기 포토 컨덕터(420)의 내부에서 진행되는 방향과 평행하도록 상기 포토 컨덕터(420)를 사이에 두고 서로 마주보도록 배치된다. 즉, 도 5의 상기 포토 컨덕터(420)의 폭방향(w)과 길이방향(l)으로 형성된 면과 평행하도록 한 쌍이 배치되는 것이다.Meanwhile, the electrodes 442 and 444 are components that move electrons or holes generated in the photoconductor, and are composed of an anode 442 and a cathode 444, and the radiation is formed inside the photoconductor 420. The photoconductors 420 are disposed to face each other so as to be parallel to the traveling direction. That is, a pair is disposed to be parallel to a surface formed in the width direction w and the length direction l of the photoconductor 420 of FIG. 5.

이 때, 상기 포토 컨덕터(420)의 내부에서 발생된 전자(e)는 상기 전극(442,444) 중 양극(442)을 향하여 이동되며, 정공(h)은 상기 전극(442,444) 중 음극(444)을 향하여 이동된다. In this case, electrons e generated inside the photoconductor 420 are moved toward the anode 442 of the electrodes 442 and 444, and the hole h moves the cathode 444 of the electrodes 442 and 444. Is moved towards.

따라서, 상기 포토 컨덕터(420)의 길이방향(l)이 방사선의 진행방향과 같도록 형성되며 상기 포토 컨덕터(420)의 두께(t)가 얇게 형성되므로, 상기 정공(h)이 이동되는 경로가 종래에 비하여 짧을 수 있다.Therefore, since the longitudinal direction l of the photoconductor 420 is formed to be the same as the traveling direction of radiation, and the thickness t of the photoconductor 420 is formed thin, the path through which the hole h is moved is It may be shorter than conventional.

그리고, 상기 촬영소자(460)는 상기 포토 컨덕터(420)의 내부에서 발생된 정공(h)이 전극(444)에 의해 이동되는 측의 상기 전극(444)과 포토 컨덕터(420)의 사이에 구비되어 상기 정공(h)을 감지하여 이미지를 구축하는 구성요소이다. 상기 촬영소자(460)로서는 CCD 또는 CMOS 센서 등의 촬상소자가 적용될 수 있으며, 이러한 촬상소자는 널리 알려진 공지의 구성요소이므로 자세한 설명은 생략하기로 한다. 물론, 상기 촬영소자는 상기 전하를 감지하도록 구비될 수도 있으며, 그에 따라 상기 전자(e)가 이동되는 전극(442)측에 구비될 수도 있을 것이다.In addition, the photographing device 460 is provided between the photoconductor 420 and the electrode 444 on the side where the hole h generated inside the photoconductor 420 is moved by the electrode 444. And senses the hole (h) to build an image. An imaging device such as a CCD or a CMOS sensor may be used as the imaging device 460. Since the imaging device is a well-known component, a detailed description thereof will be omitted. Of course, the imaging device may be provided to sense the charge, and thus may be provided on the electrode 442 side to which the electron (e) is moved.

이하에서는, 상기 전자와 정공을 통칭하여 전하라 부르기로 한다.Hereinafter, the electrons and holes will be collectively called Hara.

또한, 차단판(480)이 더 구비될 수 있다. 상기 차단판(480)은 조사되는 방사선이 상기 포토 컨덕터(420) 외의 구성요소에 조사되는 것을 차폐하는 구성요소이다. 따라서, 상기 차단판(480)은 상기 포토 컨덕터(420)의 방사선이 입사되는 면은 개방하며 나머지는 감싸도록 형성된다. 따라서, 상기 방사선이 포토 컨덕터(420) 외의 촬영소자(460) 등의 다른 구성요소에 조사되는 것이 차단됨으로써 내구성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
In addition, the blocking plate 480 may be further provided. The blocking plate 480 is a component that shields the irradiated radiation from components other than the photoconductor 420. Therefore, the blocking plate 480 is formed to open the surface on which the radiation of the photoconductor 420 is incident and to surround the rest. Accordingly, the radiation is prevented from being irradiated to other components such as the image pickup device 460 other than the photoconductor 420, thereby improving durability and reliability.

상기와 같은 영상센서는 다음과 같이 작동한다.The image sensor as described above operates as follows.

먼저, 방사선이 상기 포토 컨덕터(420)의 폭방향(w)과 두께방향(t)으로 형성된 면에 입사된 후 상기 포토 컨덕터(420)의 내부에서 상기 포토 컨덕터(420)의 길이방향(l)으로 진행되면서 전자(e)-정공(h) 쌍이 형성된다. First, radiation is incident on a surface formed in the width direction (w) and the thickness direction (t) of the photoconductor 420, and then the longitudinal direction (l) of the photoconductor 420 in the photoconductor 420 As it proceeds to form an electron (e) -hole (h) pair.

그리고, 생성된 전하는 상기 전극(442,444)에 의해 촬영소자(460)측으로 이동되며, 상기 촬영소자(460)가 상기 전하를 감지하여 해당위치의 이미지를 구축하게 된다. 이 때, 상기 포토 컨덕터(420)가 얇은 두께의 판형의 형태로 이루어지며, 상기 방사선이 입사되는 입사면이 포토 컨덕터(420)의 폭방향(w)과 두께방향(t)으로 이루어진 면이므로, 상기 촬영소자(460)에서 구축되는 이미지는 상기 포토 컨덕터(420)의 방사선이 입사되는 입사면의 면적에 해당하는 라인 형태의 면적의 이미지일 수 있다.The generated charge is moved to the photographing device 460 by the electrodes 442 and 444, and the photographing device 460 senses the charge to build an image of a corresponding position. At this time, since the photoconductor 420 is formed in the form of a thin plate, and the incident surface to which the radiation is incident is a surface composed of the width direction w and the thickness direction t of the photoconductor 420, The image constructed by the imaging device 460 may be an image of an area having a line shape corresponding to an area of an incident surface on which the radiation of the photoconductor 420 is incident.

이 때, 종래의 포토 컨덕터(420)와는 달리 상기 방사선이 포토 컨덕터(420)의 내부에서 진행되는 길이가 비약적으로 증대되므로 그에 따라 상기 방사선이 포토 컨덕터(420)에 흡수되는 비율 또한 증대되며 동일한 양에 의해 발생되는 전자(e)-정공(h)쌍이 증대될 수 있다. 따라서, 그만큼 약한 세기의 방사선을 적은 양만을 사용할 수 있으므로 소비전력이 줄어들며 또한 인체 또는 검사대상물의 피폭량도 줄어들게 되어 안전이 향상될 수 있다.At this time, unlike the conventional photoconductor 420, since the length of the radiation propagates inside the photoconductor 420 is greatly increased, the ratio of the radiation to the photoconductor 420 is also increased and the same amount. The electron (e) -hole (h) pair generated by can be increased. Therefore, since only a small amount of radiation of the weak intensity can be used, power consumption is reduced, and the exposure amount of the human body or the test object is also reduced, thereby improving safety.

또한, 상기 포토 컨덕터(420)의 길이방향(l)이 방사선의 진행방향과 같도록 배치되며 상기 포토 컨덕터(420)의 두께가 얇게 형성되므로, 상기 정공(h)이 촬영소자(460)까지 이동되는 경로가 종래에 비하여 짧게 되어 정공확산현상에 의한 영향이 줄어들게 되어 보다 선명한 영상을 얻을 수 있다는 장점이 있다.In addition, since the length direction l of the photoconductor 420 is disposed to be the same as the direction of the radiation, and the thickness of the photoconductor 420 is thin, the hole h moves to the imaging device 460. Since the path becomes shorter than the conventional method, the effect of the hole diffusion phenomenon is reduced, so that a clearer image can be obtained.

한편, 상기 촬영소자(462)는 도 6에 도시된 바와 같이 복수개로 분할 될 수도 있다. 일반적으로 상기 CCD 또는 CMOS 촬영소자(460)는 단일소자의 면적이 커질수록 가격이 상승하는 경향이 있다. 따라서 상기 촬영소자(462)를 복수개로 분할함으로써 제품 단가를 하락시킬 수 있다. 본 실시예에서는 상기 촬영소자(462)가 폭 방향으로 복수개 분할되어 배치되는 것을 예시한다.
On the other hand, the image pickup device 462 may be divided into a plurality, as shown in FIG. In general, the CCD or CMOS imaging device 460 tends to increase in price as the area of a single device increases. Therefore, the unit cost of the product can be reduced by dividing the image pickup device 462 into a plurality. In the present exemplary embodiment, a plurality of photographing elements 462 are divided and disposed in the width direction.

전술한 실시예의 직접변환방식을 이용한 방사선 영상센서(400)는 얇은 두께의 라인 형태의 이미지를 구축하나, 도 7에 도시된 본 발명의 형태에 따른 직접변환방식을 이용한 라인타입의 방사선 영상센싱유닛(500)(이하, '영상센싱유닛'이라 칭함)은 전술한 직접변환방식을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서(400)를 복수개 적층하여 한 번에 촬영되는 이미지지가 소정면적을 가지도록 확장시킬 수도 있다.
The radiation image sensor 400 using the direct conversion method of the above-described embodiment constructs an image having a thin line shape, but is a line type radiation image sensing unit using the direct conversion method according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 7. (500) (hereinafter referred to as an "image sensing unit") may be extended to the image paper to be photographed at a time by stacking a plurality of line-type radiation image sensor 400 using the above-described direct conversion method. have.

이하에서는, 상기 직접변환방법을 이용한 라인타입 방사선 영상 촬영장치(이하, '촬영장치'라 칭하기로 함)의 여러 가지 실시예를 설명하고자 한다.Hereinafter, various embodiments of a line-type radiographic image capturing apparatus (hereinafter, referred to as a 'capturing apparatus') using the direct conversion method will be described.

본 실시예에 따른 촬영장치는 도 8에 도시된 바와 같이, 방사선 조사기(100)와 영상센서(400)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 8, the photographing apparatus according to the present exemplary embodiment includes a radiation irradiator 100 and an image sensor 400.

즉, 상기 방사선 조사기(100)에서는 엑스레이 파 등의 방사선을 검사대상물(O)에 조사하는 구성요소이다. 상기 검사대상물(O)은 인체일 수 있으며 또는 제품이나 물체 등의 비파괴 검사가 필요한 것일 수 있다.That is, the radiation irradiator 100 is a component that irradiates the inspection object O with radiation such as X-ray waves. The test object (O) may be a human body or may require a nondestructive test of a product or an object.

따라서, 상기 방사선 조사기(100)에서 방사된 엑스레이 파는 검사대상물(O)을 통과한 후에 상기 영상센서(400)로 입사된다.Therefore, the X-ray wave radiated from the radiation irradiator 100 is incident to the image sensor 400 after passing through the inspection object O.

그리고, 상기 영상센서(400)에서는 전술한 바와 같은 과정을 거쳐 검사영상을 획득할 수 있다.In addition, the image sensor 400 may obtain a test image through the above-described process.

이 때, 검사대상영역이 상기 영상센서(400)의 입사면적보다 넓은 면적일 경우, 상기 영상센서(400)가 적층된 영상센싱유닛(500)을 적용하여 넓은 면적의 검사대상영역을 한번에 촬영하도록 이루어질 수 있다.
At this time, when the inspection target area is an area larger than the incident area of the image sensor 400, the image sensor 400 is applied to the stacked image sensing unit 500 to shoot a large area of the inspection target area at once. Can be done.

또는, 상기 영상센서(400)의 입사면적보다 넓은 면적의 검사대상영역에 대해서 검사영상을 획득하기 위해서 구동모듈이 더 구비될 수 있다. Alternatively, a driving module may be further provided to acquire an inspection image for an inspection target area having an area larger than an incident area of the image sensor 400.

상기 구동모듈은 상기 방사선 조사기(100)를 이동시키거나 상기 영상센서(400) 또는 영상센싱유닛(500)을 이동시킴으로써, 상기 영상센서(400)의 입사면적보다 넓은 면적의 검사대상영역을 촬영 가능하게 하는 구성요소이다.The driving module may photograph the inspection target area having a larger area than the incident area of the image sensor 400 by moving the radiation irradiator 100 or by moving the image sensor 400 or the image sensing unit 500. This is the component that makes it work.

본 발명에 따른 구동모듈이 구비된 촬영장치의 제1실시예는 상기 방사선 조사기는 고정되게 구비되며, 상기 구동모듈은 상기 영상센서(400)를 상기 검사대상영역에 걸쳐 슬라이딩 시키도록 이루어진다. 물론, 상기 영상센서(400) 대신 영상센서가 복수층 적층되어 구비되는 영상센싱유닛(500)이 구비될 수도 있다.According to a first embodiment of a photographing apparatus equipped with a driving module according to the present invention, the radiation irradiator is fixed and the driving module is configured to slide the image sensor 400 over the inspection target area. Of course, an image sensing unit 500 may be provided in which a plurality of image sensors are stacked instead of the image sensor 400.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 구동모듈이 구비된 촬영장치를 도시한 도면이다. 본 실시예에 따른 촬영장치는 도 9에 도시된 바와 같이, 방사선 조사기(100)와 영상센서(400) 및 구동모듈(600)을 포함하여 이루어진다.9 is a diagram illustrating a photographing apparatus equipped with a driving module according to a second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 9, the photographing apparatus according to the present exemplary embodiment includes a radiation irradiator 100, an image sensor 400, and a driving module 600.

여기서, 상기 방사선 조사기(100)와 영상센서(400)는 전술한 실시예들과 실질적으로 유사하므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.Here, since the radiation irradiator 100 and the image sensor 400 are substantially similar to the above-described embodiments, a detailed description thereof will be omitted.

다만, 상기 구동모듈(600)이 전술한 실시예와 다소 상이하므로 상기 구동모듈(600)에 대해서 설명하기로 한다.However, since the driving module 600 is slightly different from the above-described embodiment, the driving module 600 will be described.

상기 구동모듈(600)은 상기 방사선 조사기(100)와 상기 영상센서(400)가 동기화되어 같은 방향으로 슬라이딩 되도록 이루어진다.The driving module 600 is made so that the radiation irradiator 100 and the image sensor 400 are synchronized and slide in the same direction.

이를 위하여, 상기 구동모듈(600)은 방사선 조사기 구동부(620)와 영상센서 구동부(640)로 이루어질 수 있다.To this end, the driving module 600 may include a radiation irradiator driver 620 and an image sensor driver 640.

상기 방사선 조사기 구동부(620)는 상기 방사선 조사기(100)를 일측으로 슬라이딩 시키도록 이루어진다. 이를 위하여, 상기 방사선 조사기(100)를 슬라이딩 시키는 슬라이딩 레일 등이 구비될 수 있으나 별도의 암의 형태로 이루어질 수도 있는 등 반드시 이에 한정된 것은 아니다.The irradiator driver 620 is configured to slide the irradiator 100 to one side. To this end, a sliding rail for sliding the irradiator 100 may be provided, but may be formed in the form of a separate arm is not necessarily limited thereto.

따라서, 상기 구동모듈(600)은 촬영이 진행됨에 따라 상기 방사선 조사기(100)와 영상센서(400)를 동기화시키면서 같은 방향으로 슬라이딩 시켜 전체 검사영역에 대하여 스캔(scan)함으로써 촬영을 할 수 있으며, 촬영된 영상은 PC 또는 디스플레이장치 등의 화면(300)에서 확인해 볼 수 있다.Therefore, the driving module 600 can be photographed by scanning the entire inspection area by sliding in the same direction while synchronizing the radiation irradiator 100 and the image sensor 400 as the photographing proceeds. The captured image may be checked on the screen 300 of a PC or a display device.

도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 구동모듈이 구비된 촬영장치를 도시한 도면이다. 본 실시예에 따른 촬영장치는 도 10에 도시된 바와 같이, 방사선 조사기(100)와 영상센서(400) 및 구동모듈(600)을 포함하여 이루어질 수 있다.10 is a view showing a photographing apparatus equipped with a driving module according to a third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 10, the photographing apparatus according to the present exemplary embodiment may include a radiation irradiator 100, an image sensor 400, and a driving module 600.

여기서, 상기 방사선 조사기(100)와 영상센서(400)는 전술한 실시예들과 실질적으로 유사하므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.Here, since the radiation irradiator 100 and the image sensor 400 are substantially similar to the above-described embodiments, a detailed description thereof will be omitted.

다만, 상기 구동모듈(600)이 전술한 실시예와 다소 상이하므로 상기 구동모듈(600)에 대해서 설명하기로 한다.However, since the driving module 600 is slightly different from the above-described embodiment, the driving module 600 will be described.

본 실시예에서는 상기 구동모듈(600)은 방사선 조사기 구동부(630)와 영상센서 구동부(640)로 이루어진다.In this embodiment, the driving module 600 includes a radiation irradiator driver 630 and an image sensor driver 640.

상기 방사선 조사기 구동부(630)는 촬영이 진행됨에 따라 방사선이 검사대상영역에 걸쳐 조사되도록 상기 방사선 조사기를 소정각도로 회전시키도록 이루어진다.The irradiator driver 630 rotates the irradiator at a predetermined angle so that the radiation is irradiated over the inspection target area as the imaging proceeds.

그리고, 상기 영상센서 구동부(640)는 상기 방사선 조사기(100)로부터 방출되어 검사 대상물을 통과한 방사선을 스캔하도록 상기 방사선 조사기(100)의 회전각도에 대응하는 위치로 상기 영상센서(400)를 이동시키도록 이루어진다.In addition, the image sensor driver 640 moves the image sensor 400 to a position corresponding to the rotation angle of the radiation irradiator 100 to scan the radiation emitted from the radiation irradiator 100 and passed through the inspection object. To be made.

따라서, 상기 구동모듈(600)은 촬영이 진행됨에 따라 상기 방사선 조사기(100)를 회전시키면서, 상기 영상센서(400)를 상기 방사선 조사기(100)의 회전각도에 대응하는 위치로 이동시켜 전체 검사영역에 대하여 스캔하여 촬영하도록 이루어지는 것이다. 또한, 전술한 바와 같이, 촬영된 영상은 PC 또는 디스플레이장치 등의 화면(300)에서 확인해 볼 수 있다.
Accordingly, the driving module 600 moves the image sensor 400 to a position corresponding to the rotation angle of the radiation irradiator 100 while rotating the radiation irradiator 100 as the photographing proceeds. It is made to scan and photograph about. In addition, as described above, the captured image may be checked on the screen 300 of the PC or the display device.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It is obvious to them. Therefore, the above-described embodiments should be regarded as illustrative rather than restrictive, and thus, the present invention is not limited to the above description and may be modified within the scope of the appended claims and their equivalents.

100: 방사선 조사기 300: 화면
400: 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서
420: 포토 컨덕터 442: 양극
444: 양극 460: 촬영소자
480: 차단판
500: 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센싱유닛
600: 구동모듈 620, 630: 방사선 조사기 구동부
640: 영상센서 구동부 O: 검사대상물
e: 전자 h: 정공100: irradiator 300: screen
400: line type radiation image sensor using direct conversion method
420: photoconductor 442: anode
444: anode 460: photographing element
480: blocking plate
500: line type radiation image sensing unit using direct conversion method
600: drive module 620, 630: radiation irradiator drive unit
640: image sensor driver O: inspection object
e: electron h: hole

Claims (9)

방사선이 입사되는 방향으로 길이방향을 갖도록 배치되며, 입사된 방사선이 내부에서 상기 길이방향을 따라 진행되면서 전자-정공 쌍이 생성되는 포토 컨덕터;
양극과 음극으로 이루어지며 방사선이 상기 포토 컨덕터 내에서 진행되는 방향과 평행하도록 상기 포토 컨덕터를 사이에 두고 서로 마주보도록 배치되어 상기 포토 컨덕터에서 발생된 전자나 정공을 이동시키는 전극; 및
상기 전자 또는 정공이 이동되는 전극 과 상기 포토 컨덕터의 사이에 구비되어 상기 이동되는 전자 또는 정공을 감지하여 이미지를 구축하는 촬영소자;
를 포함하여 이루어지는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서가 방사선의 조사방향과 교차되는 방향으로 복수개 적층되어 이루어지는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센싱유닛.
A photoconductor disposed to have a longitudinal direction in a direction in which the radiation is incident, wherein the photoconductor generates an electron-hole pair while the incident radiation travels in the longitudinal direction therein;
An electrode made of an anode and a cathode and arranged to face each other with the photoconductor therebetween so that radiation is parallel to a direction in which the photoconductor proceeds, thereby moving electrons or holes generated in the photoconductor; And
A photographing element provided between the electrode to which the electrons or holes are moved and the photoconductor to sense an image of the moved electrons or holes to construct an image;
A line type radiation image sensing unit using a direct conversion method comprising a plurality of line-type radiation image sensors using a direct conversion method comprising a plurality of stacked in a direction crossing the irradiation direction of radiation.
제1항에 있어서,
상기 포토 컨덕터는 a-Se, CdZnTe, Hgl2 중 어느 하나를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센싱유닛.The method of claim 1,
The photoconductor is a line-type radiation image sensing unit using a direct conversion method characterized in that it comprises any one of a-Se, CdZnTe, Hgl2. 제1항에 있어서,
상기 촬영소자 및 전극이 방사선에 직접 노출되는 것을 방지하는 차단판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센싱유닛.The method of claim 1,
Line type radiation image sensing unit using a direct conversion method, characterized in that the shielding plate is further provided to prevent the photographing device and the electrode directly exposed to radiation. 제1항에 있어서,
상기 촬영소자는 복수개로 분할되어 배열되는 것을 특징으로 하는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센싱유닛.The method of claim 1,
The imaging device is a line type radiation image sensing unit using a direct conversion method, characterized in that divided into a plurality. 제4항에 있어서,
상기 촬영소자는 상기 포토 컨덕터의 폭방향으로 복수개 분할되어 배열되는 것을 특징으로 하는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센싱유닛.
The method of claim 4, wherein
And a plurality of the photographing elements are arranged in a plural number in the width direction of the photoconductor.
삭제delete 방사선을 조사하는 방사선 조사기;
상기 방사선 조사기로부터 방출되어 검사 대상물을 통과한 방사선이 입사되는 방향으로 길이방향을 갖도록 배치되며 입사된 방사선이 내부에서 상기 길이방향을 따라 진행되면서 전자-정공 쌍이 생성되는 포토 컨덕터, 양극과 음극으로 이루어지며 방사선이 상기 포토 컨덕터 내에서 진행되는 방향과 평행하도록 상기 포토 컨덕터를 사이에 두고 서로 마주보도록 배치되어 상기 포토 컨덕터에서 발생된 전자나 정공을 이동시키는 전극 및 상기 전자 또는 정공이 이동되는 전극 과 상기 포토 컨덕터의 사이에 구비되어 상기 이동되는 전자 또는 정공을 감지하여 이미지를 구축하는 촬영소자를 포함하여 이루어지는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센서가 방사선의 조사방향과 교차되는 방향으로 복수개 적층되어 이루어지는 직접변환방법을 이용한 라인타입의 방사선 영상센싱유닛;
을 포함하여 이루어지는 직접변환방법을 이용한 라인타입 방사선 영상 촬영장치.A radiation irradiator for irradiating radiation;
The photoconductor is disposed to have a longitudinal direction in a direction in which the radiation emitted from the irradiator passes through the test object and is incident along the longitudinal direction. An electrode for moving the electrons or holes generated in the photoconductor so as to face each other with the photoconductor therebetween so that the radiation is parallel to the direction of propagation in the photoconductor; A plurality of line-type radiation image sensors using a direct conversion method comprising a photographing element provided between the photoconductors and sensing the moving electrons or holes to build an image are stacked in a direction crossing the radiation irradiation direction. Direct conversion room Radiation image sensing unit of a line type using a;
Line type radiographic imaging apparatus using a direct conversion method comprising a. 제7항에 있어서,
검사 대상물 전체에 걸쳐 상기 검사 대상물을 통과한 방사선을 스캔하도록,
상기 방사선 영상센서와 방사선 조사기를 동기되는 상태로 동일방향으로 슬라이딩 이동시키는 구동모듈이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 직접변환방식의 방사선 영상 촬영장치.The method of claim 7, wherein
To scan radiation that has passed through the inspection object across the inspection object,
And a driving module for slidingly moving in the same direction in synchronization with the radiation image sensor and the radiation irradiator. 제7항에 있어서,
검사 대상물 전체에 걸쳐 상기 검사 대상물을 통과한 방사선을 스캔하도록,
상기 방사선 조사기를 소정각도로 회전시키며,
상기 방사선 영상 센서를 상기 방사선 조사기로부터 방출되어 검사 대상물을 통과한 방사선을 스캔하도록 상기 방사선 조사기의 회전 각도에 대응하는 위치로 이동시키는 구동모듈이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 직접변환방식의 방사선 영상 촬영장치.The method of claim 7, wherein
To scan radiation that has passed through the inspection object across the inspection object,
Rotate the irradiator at a predetermined angle,
Direct conversion radiographic imaging, characterized in that the drive module for moving the radiation image sensor to the position corresponding to the rotation angle of the radiation irradiator to scan the radiation emitted from the irradiator passed through the inspection object Device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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